CN108816678B - 涂布液供给装置及操作方法、涂布机、隔垫物的制作方法 - Google Patents

Abstract

一种涂布液供给装置及操作方法、涂布机、隔垫物的制作方法，该涂布液供给装置包括依次连接的加压控制阀、涂布液存储容器、缓冲存储容器和吸液泵；在加压控制阀打开的情况下，涂布液存储容器的加压口被施加压力，以使涂布液存储容器中的涂布液流入缓冲存储容器中；缓冲存储容器用于存储来自涂布液存储容器的涂布液；吸液泵用于从缓冲存储容器中吸取涂布液。加压控制阀包括输入口、第一输出口和第二输出口，第一输出口连接涂布液存储容器的加压口，第二输出口在涂布液存储容器中存储有涂布液时保持关闭；或者，加压控制阀为两通阀，其包括输入口以及连接涂布液存储容器的加压口的输出口。该涂布液供给装置可以提高隔垫物高度的一致性。

Description

涂布液供给装置及操作方法、涂布机、隔垫物的制作方法

技术领域

本公开实施例涉及一种涂布液供给装置及操作方法、涂布机、隔垫物的制作方法。

背景技术

在显示面板的生产过程中，通常采用涂布机将涂布液涂在基板上以形成薄膜。例如，在薄膜的制备过程中，使涂布机的涂布头以设定的速度沿待涂布基板表面从基板的一侧边缘移动到相对的另一侧边缘，同时涂布头的涂布口处以设定的速度吐出涂布液，随着涂布头的移动，涂布液被涂布到基板的表面上以形成相应的薄膜。

发明内容

本公开实施例提供一种涂布液供给装置及操作方法、涂布机、隔垫物的制作方法，本公开实施例可以提高隔垫物的平均高度的一致性。

本公开的至少一个实施例提供一种涂布液供给装置，其包括依次连接的加压控制阀、涂布液存储容器、缓冲存储容器和吸液泵；所述涂布液存储容器用于存储涂布液并且包括加压口和出液口；在所述加压控制阀打开的情况下，所述涂布液存储容器的加压口被施加压力，以使所述涂布液存储容器中的涂布液通过所述出液口流入所述缓冲存储容器中；所述缓冲存储容器用于存储从所述涂布液存储容器的出液口流出的涂布液；所述吸液泵用于从所述缓冲存储容器中吸取涂布液。所述加压控制阀包括输入口、第一输出口和第二输出口，所述第一输出口连接所述涂布液存储容器的加压口，所述第二输出口在所述涂布液存储容器中存储有涂布液时保持关闭；或者，所述加压控制阀为两通阀，其包括输入口以及连接所述涂布液存储容器的加压口的输出口。

例如，所述涂布液存储容器还设置有安全阀，所述安全阀在所述涂布液存储容器内的气压超过所述安全阀的规定值的情况下自动打开，以减小所述涂布液存储容器内的气压。

例如，在所述加压控制阀包括输入口、第一输出口和第二输出口的情况下，所述安全阀与所述加压控制阀信号连接。

例如，所述的涂布液供给装置还包括液位控制阀，所述液位控制阀与所述涂布液存储容器的出液口和所述缓冲存储容器连接；在所述涂布液存储容器的加压口被施加压力的情况下，所述液位控制阀打开；在所述吸液泵从所述缓冲存储容器中吸取涂布液的过程中，所述液位控制阀关闭。

例如，所述的涂布液供给装置还包括液位传感器，所述液位传感器用于检测所述缓冲存储容器中的涂布液的液位，并且将液位检测结果输出至所述液位控制阀。

例如，所述缓冲存储容器包括下进液口、下出液口和上排废口，所述下进液口与所述涂布液存储容器的出液口连接，所述下出液口与所述吸液泵连接，所述上排废口在所述涂布液存储容器中的涂布液流入所述缓冲存储容器的过程中保持打开。

例如，所述缓冲存储容器还包括上加压口，所述上加压口在所述吸液泵从所述缓冲存储容器中吸取涂布液的过程中被施加压力。

例如，所述的涂布液供给装置还包括预处理装置，所述预处理装置包括：过滤器，其用于对从所述缓冲存储容器中流出的涂布液进行过滤处理；以及脱气模组，其用于去除从所述过滤器流出的涂布液中的气泡。

本公开的至少一个实施例还提供一种涂布机，其包括涂布头以及以上任一项实施例所述的涂布液供给装置，所述涂布液供给装置中的吸液泵用于向所述涂布头提供涂布液。

本公开的至少一个实施例还提供一种以上任一项实施例提供的涂布液供给装置的操作方法，其包括：检测所述缓冲存储容器中的液位；在所述缓冲存储容器中的液位低于最低允许液位的情况下，向所述涂布液存储容器的加压口施加压力，以使所述涂布液存储容器中的涂布液流入所述缓冲存储容器中；在所述缓冲存储容器中的液位超过最高允许液位的情况下，停止向所述涂布液存储容器施加压力，并且控制所述吸液泵从所述缓冲存储容器中吸取涂布液。在该操作方法中，在所述涂布液存储容器中的气压不超过所述安全阀的规定值的情况下，保持所述涂布液存储容器内的气压不被释放。

例如，所述的操作方法还包括：在所述涂布液存储容器中的气压超过所述安全阀的规定值的情况下，打开所述安全阀和所述加压控制阀的第二输出口，以减小所述涂布液存储容器内的气压。

本公开的至少一个实施例还提供一种隔垫物的制作方法，其包括：利用以上所述的涂布机在基板上涂布初始薄膜；对所述初始薄膜进行图案化处理，以形成多个彼此间隔开的隔垫物。

本公开实施例提供了一种涂布液供给装置、该涂布液供给装置的操作方法、包括该涂布液供给装置的涂布机、以及利用该涂布机制作隔垫物的制作方法，通过使涂布液存储容器基本上保持恒压状态，减小涂布液中易挥发物质的挥发来提高涂布液的固含量的一致性，进行提高隔垫物的平均高度的一致性。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例，而非对本公开的限制。

图1A为本公开至少一个实施例提供的涂布液供给装置的结构示意图一；

图1B为本公开至少一个实施例提供的涂布液供给装置的结构示意图二。

图2A为本公开至少一个实施例提供的涂布液供给装置中涂布液从涂布液存储容器流入缓冲存储容器的示意图；

图2B为本公开至少一个实施例提供的涂布液供给装置中吸液泵从缓冲存储容器吸取涂布液的示意图；

图3为本公开至少一个实施例提供的涂布机的结构示意图；

图4A和图4B为本公开至少一个实施例提供的隔垫物制作方法的步骤图；

图5A至图5C为本公开至少一个实施例提供的隔垫物制作方法中对初始薄膜进行图案化处理的步骤图。

具体实施方式

为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

以液晶显示面板为例，隔垫物高度的一致性对液晶显示面板的性能有较大影响，例如，过高的隔垫物使液晶显示面板在低温测试时出现低温气泡，过低的隔垫物造成液晶显示面板显示发黄等不良。

在液晶显示面板的制作过程中，隔垫物是这样制作的：利用同一桶涂布液依次在数百个基板上涂布用于形成隔垫物的薄膜；然后，对这些薄膜进行图案化处理（例如包括曝光、显影、刻蚀和烘干等步骤）以形成隔垫物；之后，测量每个基板上的多个隔垫物的平均高度，并且选取隔垫物的平均高度符合要求的基板以进行后续步骤。

本申请的发明人在研究中注意到，在上述隔垫物的制作方式中，隔垫物的平均高度的一致性较差，并且本申请的发明人发现造成隔垫物的平均高度的一致性较差的原因包括：对于同一桶涂布液而言，被使用的涂布液越多，涂布液桶中剩余的涂布液的固含量（即涂布液中非易挥发物质在涂布液中的质量含量）越高，并且涂布液的固含量在涂布液被使用至桶底时增至峰值，这导致隔垫物的平均高度的一致性较差。

基于上述发现，本申请的发明人提出了一种涂布液供给装置、该涂布液供给装置的操作方法、包括该涂布液供给装置的涂布机、以及利用该涂布机制作隔垫物的制作方法，通过减小涂布液中易挥发物质的挥发来提高涂布液的固含量的一致性，进行提高隔垫物的平均高度的一致性。

下面结合附图对本公开实施例进行详细说明。

图1A为本公开至少一个实施例提供的涂布液供给装置的结构示意图一；图1B为本公开至少一个实施例提供的涂布液供给装置的结构示意图二。例如，如图1A和图1B所示，本公开的至少一个实施例提供一种涂布液供给装置01，其包括依次连接的加压控制阀10、涂布液存储容器20、缓冲存储容器30和吸液泵40。

涂布液存储容器20用于存储涂布液（例如光刻胶等包括多种有机物的液态有机材料）并且包括加压口21和出液口22；在加压控制阀10打开的情况下，涂布液存储容器20的加压口21被施加压力，以使涂布液存储容器20中的涂布液通过出液口22流入缓冲存储容器30中。

缓冲存储容器30用于存储从涂布液存储容器20的出液口22流出的涂布液，并且吸液泵40用于从缓冲存储容器30中吸取涂布液。随着流入缓冲存储容器30中的涂布液的增多，流入缓冲存储容器30中的涂布液中的气泡逐渐聚集到缓冲存储容器30的上方，因此减少了流入吸液泵40的涂布液中的气泡。例如，缓冲存储容器30包括下进液口31、下出液口32和上排废口33，下进液口31与涂布液存储容器20的出液口22连接，下出液口32与吸液泵40连接，上排废口33在涂布液存储容器20中的涂布液流入缓冲存储容器30的过程中保持打开，以排出缓冲存储容器30中的废料。例如，缓冲存储容器30还包括上加压口34，上加压口34在吸液泵40从缓冲存储容器30中吸取涂布液的过程中被施加压力，以促进涂布液从缓冲存储容器30中流向吸液泵40。

如图1A所示，加压控制阀10包括输入口13、第一输出口11和第二输出口12，第一输出口11连接涂布液存储容器20的加压口21，第二输出口12在涂布液存储容器20中存储有涂布液时保持关闭；或者，如图1B所示，加压控制阀10为两通阀，其包括输入口13以及连接涂布液存储容器20的加压口21的输出口14。在这种情况下，例如，如图1A和图1B所示，涂布液供给装置01还包括连接加压控制阀10和涂布液存储容器20的管道A，管道A与加压控制阀10的第二输出口12或者输出口14直接连接，并且管道A与涂布液存储容器20的加压口21直接连接。

在本公开实施例中，在加压控制阀10为三通阀的情况下，由于加压控制阀10的第二输出口12在涂布液存储容器20中存储有涂布液时保持关闭，涂布液中的易挥发物质（例如小分子溶剂）不会从涂布液存储容器20的加压口21释放出去，这使涂布液的固含量基本上保持不变，从而利用该涂布液在数百个基板上涂布的薄膜的固含量具有较高的一致性，并且在将薄膜制成隔垫物后得到的隔垫物的平均高度也具有较高的一致性。

在本公开实施例中，在加压控制阀10为两通阀的情况下，由于加压控制阀10未设置如上所述的第二输出口12，因此涂布液无法从涂布液存储容器20的加压口21释放出去，从而可以提高利用该涂布液形成的隔垫物的平均高度的一致性。

例如，如图1A和图1B所示，涂布液存储容器20还设置有安全阀23，安全阀23在涂布液存储容器20内的气压超过规定值的情况下自动打开，以减小涂布液存储容器20内的气压。安全阀23属于自动阀，处于常闭状态，当涂布液存储容器20内的气压超过规定值时，通过向涂布液存储容器20外排放气体来防止涂布液存储容器20内的气压超过安全阀的规定值，因此安全阀23对人身安全和设备运行起到保护作用。需要说明的是，安全阀的规定值根据实际需要进行设置。

例如，如图1A和图1B所示，在加压控制阀10包括输入口13、第一输出口11和第二输出口12的情况下，安全阀23与加压控制阀10信号连接。在这种情况下，当安全阀23打开时，加压控制阀10接收到来自安全阀23的信号并且相应地打开，从而可以提高针对涂布液存储容器20的泄压速度。

例如，如图1A和图1B所示，本公开的至少一个实施例提供的涂布液供给装置01还包括液位控制阀50，液位控制阀50与涂布液存储容器20的出液口22和缓冲存储容器30连接。例如，液位控制阀50与涂布液存储容器20通过管道B连接，例如，管道B直接连接液位控制阀50并且直接连接涂布液存储容器20的出液口22；液位控制阀50与涂布液存储容器30通过管道C连接，例如，管道C直接连接液位控制阀50并且直接连接缓冲存储容器30的下进液口31。

液位控制阀50用于控制涂布液在涂布液存储容器20和缓冲存储容器30之间的流动。在涂布液存储容器20的加压口21被施加压力的情况下，液位控制阀50打开，从而涂布液存储容器20中的涂布液流向缓冲存储容器30；在吸液泵40从缓冲存储容器30中吸取涂布液的过程中，液位控制阀50关闭，以避免涂布液存储容器20中的涂布液流向缓冲存储容器30，这样有利于控制涂布液流向吸液泵40的速度。

例如，如图1A和图1B所示，本公开的至少一个实施例提供的涂布液供给装置还包括液位传感器60，液位传感器60用于检测缓冲存储容器30中的涂布液的液位，并且将液位检测结果输出至液位控制阀50，以控制液位控制阀50的工作状态。例如，在液位传感器60检测到缓冲存储容器30中的液位低于最低允许液位的情况下，液位控制阀50和加压控制阀10的第一输出口11被打开，通过加压控制阀10的第一输出口11向涂布液存储容器20的加压口21施加压力，使涂布液存储容器20中的涂布液流入缓冲存储容器30中，直至缓冲存储容器30中的涂布液不超过缓冲存储容器30的最高允许液位。例如，在液位传感器60检测到缓冲存储容器30中的液位超过最高允许液位的情况下，液位控制阀50被关闭，涂布液存储容器20的加压口21未被施加压力，并且吸液泵40开始从缓冲存储容器30中吸取涂布液。需要说明的是，最低允许液位和最高允许液位根据实际需要进行设置。

例如，如图1A和图1B所示，本公开的至少一个实施例提供的涂布液供给装置还包括预处理装置70，预处理装置70包括过滤器71和脱气模组72。过滤器71用于对从缓冲存储容器30中流出的涂布液进行过滤处理，脱气模组72用于去除从过滤器71流出的涂布液中的气泡。

例如，过滤器71包括用于去除涂布液中的固体杂质的滤网。例如，如图1A和图1B所示，过滤器71包括进液口71a、排废口71c和出液口71b，进液口71a接收来自缓冲存储容器30的涂布液，排废口71c在涂布液流入过滤器71的过程中保持打开状态，出液口71b与脱气模组72连接。

例如，脱气模组72中形成有真空环境，使涂布液中的气泡在真空环境中破裂以去除涂布液中的气泡。例如，如图1A和图1B所示，脱气模组72包括用于接收来自过滤器71的涂布液的进液口72a和与吸液泵40连接的出液口72b。

例如，如图1A和图1B所示，缓冲存储容器30与预处理装置70通过管道D连接，预处理装置70包括的过滤器71和脱气模组72通过管道E连接，并且预处理装置70与吸液泵40通过管道F连接。例如，如图1A和图1B所示，管道D的一端直接连接缓冲存储容器30且另一端直接连接过滤器71，管道E的一端直接连接过滤器71且另一端直接连接脱气模组72，管道F的一端直接连接脱气模组72且另一端直接连接吸液泵40。

图2A为本公开至少一个实施例提供的涂布液供给装置中涂布液从涂布液存储容器流入缓冲存储容器的示意图；图2B为本公开至少一个实施例提供的涂布液供给装置中吸液泵从缓冲存储容器吸取涂布液的示意图；在图2A和图2B中，箭头表示流体的走向。下面结合图2A和图2B对本公开实施例提供的涂布液供给装置01的工作原理进行说明。

例如，如图2A所示，在液位传感器60检测到缓冲存储容器30中的液位低于最低允许液位的情况下，加压控制阀10的第二输出口12关闭，液位控制阀50打开，缓冲存储容器30的上排废口33打开且上加压口34关闭，通过向加压控制阀10的输入口13提供压缩气体（例如CDA，即干净干燥的空气）来向涂布液存储容器20的加压口21施加压力，使涂布液存储容器20中的涂布液沿管道C流入缓冲存储容器30中，直至缓冲存储容器30中的涂布液不超过缓冲存储容器30的最高允许液位。在该过程中，吸液泵40不从缓冲存储容器20中吸取涂布液。

例如，如图2B所示，在液位传感器60检测到缓冲存储容器30中的液位超过最高允许液位的情况下，加压控制阀10的输入口13未被提供压缩气体，加压控制阀10的第二输出口12仍处于关闭状态，液位控制阀50关闭，缓冲存储容器30的上排废口33关闭并且上加压口34被提供压缩气体（例如CDA，即干净干燥的空气），过滤器71的排废口71c打开，并且吸液泵40从缓冲存储容器30中吸取涂布液。在该过程中，来自缓冲存储容器30的涂布液依次流经管道D、过滤器71、管道E、脱气模组72和管道F后到达吸液泵40。

通过以上关于工作原理的描述可知，在本公开实施例中，加压控制阀10的第二输出口12在涂布液从涂布液存储容器20流向缓冲存储容器30的过程中并且在吸液泵40从缓冲存储容器30吸取涂布液的过程中都保持关闭状态，因此加压控制阀10的第二输出口12在涂布液存储容器20中存储有涂布液的过程中保持关闭状态，这使涂布液存储容器20内的气压基本恒定，并且使涂布液的固含量基本上保持恒定，从而可以提高后续制得的隔垫物的平均高度的一致性。

本公开的至少一个实施例还提供一种涂布机，如图3所示，该涂布机包括涂布头02以及以上任一项实施例提供的涂布液供给装置01，并且涂布液供给装置01中的吸液泵40用于向涂布头02提供涂布液。在使用过程中，通过利用涂布头02在基板上涂布涂布液的方式可以形成薄膜。

本公开的至少一个实施例还提供一种如图1A和图1B所示涂布液供给装置01的操作方法，该操作方法包括以下步骤S011至步骤S013。

步骤S011：检测缓冲存储容器30中的液位。例如，在步骤S011中，利用液位传感器60检测缓冲存储器30中的液位。

步骤S012：在缓冲存储容器30中的液位低于最低允许液位的情况下，对涂布液存储容器20的加压口21施加压力，以使涂布液存储容器20中的涂布液流入缓冲存储容器30中，直至缓冲存储容器30中的液位到达最高允许液位。例如，在步骤S012中，通过向加压控制阀10的输入口13输入压缩气体的方式对涂布液存储容器20的加压口21施加压力。

步骤S013：在缓冲存储容器30中的液位超过最高允许液位的情况下，停止向涂布液存储容器20施加压力，并且控制吸液泵40从缓冲存储容器30中吸取涂布液。例如，在步骤S013中，缓冲存储容器30的上加压口34也被输入压缩气体，以促进涂布液从缓冲存储容器30流向吸液泵40。

在以上步骤S011至步骤S013中，在涂布液存储容器20中的气压不超过安全阀23的规定值的情况下，保持涂布液存储容器20内的气压不被释放。

例如，本公开的至少一个实施例提供的操作方法还包括：在涂布液存储容器20中的气压超过安全阀23的规定值的情况下，打开安全阀23和加压控制阀10的第二输出口12，以减小涂布液存储容器20内的气压。

本公开实施例提供的操作方法中所涉及的各结构的设置方式可参照涂布液供给装置的实施例中的相关描述。

本公开的至少一个实施例还提供一种隔垫物的制作方法，该方法包括：如图4A所示，利用本公开实施例提供的涂布机在多个基板03（图4A中仅示出了一个基板03）上涂布初始薄膜04；之后，如图4B所示，对每个基板03上的初始薄膜04进行图案化处理，以在同一基板03上形成多个彼此间隔开的隔垫物4。

例如，对初始薄膜04进行的图案化处理包括：如图5A所示，在初始薄膜04上涂布光刻胶05；然后，如图5B所示，利用掩膜板06对光刻胶05进行曝光处理；之后，如图5C所示，进行显影处理以形成光刻胶图案05A；之后，利用光刻胶图案05A对初始薄膜04进行刻蚀处理，以形成如图4B所示的隔垫物4。

例如，在后续步骤中，本公开至少一个实施例提供的隔垫物制作方法还包括：通过测量每个基板03上的隔垫物4的平均高度来选取符合要求的基板03。

在本公开实施例提供的隔垫物制作方法中，由于采用本公开实施例提供的涂布机在多个基板03上分别形成初始薄膜04，因此这些基板03上的初始薄膜04的固含量具有较高的一致性，从而经图案化处理后得到的隔垫物4的平均高度也具有较高的一致性。

本公开实施例提供的制作方法中所涉及的各结构的设置方式可参照以上实施例中的相关描述。

综上所述，本公开实施例提供了一种涂布液供给装置、该涂布液供给装置的操作方法、包括该涂布液供给装置的涂布机、以及利用该涂布机制作隔垫物的制作方法，通过使涂布液存储容器基本上保持恒压状态，减小涂布液中易挥发物质的挥发来提高涂布液的固含量的一致性，进行提高隔垫物的平均高度的一致性。

有以下几点需要说明：（1）本公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计；（2）在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

以上所述仅是本公开的示范性实施方式，而非用于限制本公开的保护范围，本公开的保护范围由所附的权利要求确定。

Claims (10)

1.一种涂布液供给装置，包括依次连接的加压控制阀、涂布液存储容器、缓冲存储容器和吸液泵，其中，

所述涂布液存储容器用于存储涂布液并且包括加压口和出液口；

在所述加压控制阀打开的情况下，所述涂布液存储容器的加压口被施加压力，以使所述涂布液存储容器中的涂布液通过所述出液口流入所述缓冲存储容器中；

所述缓冲存储容器用于存储从所述涂布液存储容器的出液口流出的涂布液；

所述吸液泵用于从所述缓冲存储容器中吸取涂布液，

其中，

所述加压控制阀包括输入口、第一输出口和第二输出口，所述第一输出口连接所述涂布液存储容器的加压口；

所述涂布液存储容器还设置有安全阀；

在所述涂布液存储容器中的气压不超过所述安全阀的规定值的情况下，保持所述涂布液存储容器内的气压不被释放；

在所述涂布液存储容器中的气压超过所述安全阀的规定值的情况下，打开所述安全阀和所述加压控制阀的第二输出口，以减小所述涂布液存储容器内的气压。

2.根据权利要求1所述的涂布液供给装置，其中，在所述加压控制阀包括输入口、第一输出口和第二输出口的情况下，所述安全阀与所述加压控制阀信号连接。

3.根据权利要求1所述的涂布液供给装置，还包括液位控制阀，其中，

所述液位控制阀与所述涂布液存储容器的出液口和所述缓冲存储容器连接；

在所述涂布液存储容器的加压口被施加压力的情况下，所述液位控制阀打开；

在所述吸液泵从所述缓冲存储容器中吸取涂布液的过程中，所述液位控制阀关闭。

4.根据权利要求3所述的涂布液供给装置，还包括液位传感器，其中，所述液位传感器用于检测所述缓冲存储容器中的涂布液的液位，并且将液位检测结果输出至所述液位控制阀。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的涂布液供给装置，其中，所述缓冲存储容器包括下进液口、下出液口和上排废口，所述下进液口与所述涂布液存储容器的出液口连接，所述下出液口与所述吸液泵连接，所述上排废口在所述涂布液存储容器中的涂布液流入所述缓冲存储容器的过程中保持打开。

6.根据权利要求5所述的涂布液供给装置，其中，所述缓冲存储容器还包括上加压口，所述上加压口在所述吸液泵从所述缓冲存储容器中吸取涂布液的过程中被施加压力。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的涂布液供给装置，还包括预处理装置，其中，所述预处理装置包括：

过滤器，其用于对从所述缓冲存储容器中流出的涂布液进行过滤处理；以及

脱气模组，其用于去除从所述过滤器流出的涂布液中的气泡。

8.一种涂布机，包括涂布头以及权利要求1-7中任一项所述的涂布液供给装置，其中，所述涂布液供给装置中的吸液泵用于向所述涂布头提供涂布液。

9.一种如权利要求1或2所述涂布液供给装置的操作方法，包括：

检测所述缓冲存储容器中的液位；

在所述缓冲存储容器中的液位低于最低允许液位的情况下，向所述涂布液存储容器的加压口施加压力，以使所述涂布液存储容器中的涂布液流入所述缓冲存储容器中；

在所述缓冲存储容器中的液位超过最高允许液位的情况下，停止向所述涂布液存储容器施加压力，并且控制所述吸液泵从所述缓冲存储容器中吸取涂布液。

10.一种隔垫物的制作方法，包括

利用权利要求8所述的涂布机在基板上涂布初始薄膜；

对所述初始薄膜进行图案化处理，以形成多个彼此间隔开的隔垫物。

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