KR20200050482A - 저분진 리니어 모듈 - Google Patents

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KR20200050482A KR1020180132640A KR20180132640A KR20200050482A KR 20200050482 A KR20200050482 A KR 20200050482A KR 1020180132640 A KR1020180132640 A KR 1020180132640A KR 20180132640 A KR20180132640 A KR 20180132640A KR 20200050482 A KR20200050482 A KR 20200050482A
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Abstract

저분진 리니어 모듈은 레일 유닛, 활주 시트 유닛, 방진 스트립 및 두 개의 자기 부재를 포함한다. 두 개의 자기 부재는 활주 시트의 두 개의 활주 시트 단부 부분에 배치되고, 제1 자기 흡인 간극이 자기 흡인 영역과 자기 부재 중 대응하는 하나 사이에 형성되고, 제2 자기 흡인 간극이 자기 흡인 영역과 활주 시트 커버 사이에 형성된다. 방진 스트립이 자기 부재를 통과하고 자기 부재에 의해 자기적으로 흡인될 때, 자기 부재와 활주 시트와 활주 시트 커버 사이에 간극이 나타나서, 자기 부재 및 방진 스트립이 마찰 없이 간극 내에 유지되어, 마찰로 인한 분진의 발생을 방지하므로, 리니어 모듈은 정상적으로 작동하고 작업 환경의 기준을 유지할 수 있다.

Description

저분진 리니어 모듈{LOW DUST LINEAR MODULE}
본 발명은 리니어 모듈, 특히 저분진 리니어 모듈에 관한 것이다.
일반적인 리니어 모듈은 레일 시트, 레일 시트 상에 배치되는 활주대, 및 레일 시트 및 활주대 사이에 배치되는 방진 벨트를 포함한다. 방진 벨트는 활주대가 이동할 때 발생되는 작은 입자가 작업 환경 기준에 맞게 작업장으로 분산되는 것을 방지하는 데 사용되고, 방진 벨트는 작업장의 분진이 레일 시트로 떨어지는 것을 방지할 수 있고, 이에 의해 리니어 모듈의 작동에 영향을 미친다.
리니어 모듈용으로 적합한 활주대(111)를 도시하는, 대만 특허 I530627의 도면들 중 하나의 도면인, 도 1a를 참조하면, 자기 부재(113)가 방진 벨트(114)를 자기적으로 흡인하기 위해 활주대(111)의 활주 시트(112)의 양 단부에 장착되어, 활주 시트(112) 상의 방진 벨트(114)는 볼록하게 융기되고 활주대(111)의 상부 표면에 부착되고, 이에 의해 우수한 방진 효과를 달성하고, 구조가 간단하고 설치가 용이한 장점을 갖는다.
그러나, 활주 시트(112)의 양 단부에 있는 자기 부재(113)는 활주대(111)의 변위 동안 방진 벨트(114)를 자기적으로 흡인하고, 자기 부재(113) 및 방진 벨트(114)는 서로 접촉된 상태로 유지된다. 활주대(111)가 이동되면 각각의 자기 부재(113)는 방진 벨트(114)와 마찰되어 분진을 발생시키며, 결국 분진은 활주대(111) 내로 떨어지면서 리니어 모듈의 작동에 영향을 미친다.
리니어 모듈용으로 적합한 활주대를 도시하는, 대만 특허 M319110의 도면들 중 하나의 도면인, 도 1b를 참조하면, 레일(121) 및 활주 시트(122)가 자기 층으로 피복되고, 커버(123)가 활주 시트(122)의 상부 측면 상에 배치된다. 스프링 편부(124)가 커버(123)의 하부 표면의 두 개의 측면 상에 각각 고정된다. 각각의 스프링 편부(124)의 하부 표면은 테플론 층으로 피복되고, 스틸 스트립(125)이 레일(121) 상에 고정되고 활주 시트(122) 및 커버(123) 사이에 개재되어, 스틸 스트립(125)은 레일(121)을 완전히 덮을 수 있어서, 작업장 내의 분진이 레일(121)에 진입하는 것을 방지하고, 리니어 모듈의 정상 작동에 영향을 미치며, 활주 시트(122)가 이동할 때 발생되는 작은 입자가 클린 룸의 작업 환경 기준에 맞게 작업장으로 분산되는 것을 방지한다.
그러나, 활주 시트(122)가 자기 층에 의해 스틸 스트립(125)으로 자기적으로 흡인되고, 이들 둘은 서로 접촉 상태로 유지되고, 커버(123)의 하부 표면 상의 스프링 편부(124)는 스틸 스트립(125)에 대해 맞닿는다. 따라서, 활주 시트(122)가 이동되면, 활주 시트(122) 및 스프링 편부(124)는 스틸 스트립(125)과 마찰되어 분진 및 작은 입자를 발생시키고, 결국 분진은 레일(121) 내로 떨어지면서 리니어 모듈의 작동에 영향을 미친다. 또한, 작은 입자는 작업장 내로 유동하여 작업 환경에 영향을 미칠 것이다. 둘째, 레일(121) 및 활주 시트(122) 양자 모두에는 코팅 또는 부착에 의해 자기 층이 형성되어야 하고, 스프링 편부(124)의 하부 표면에는 테플론 층이 형성되어야 하므로, 가공 비용이 높다.
리니어 모듈용으로 적합한 활주대를 도시하는, 일본 특허 JP-A-2011-21745의 도면들 중 하나의 도면인, 도 1c를 참조하면, 주로 측면 커버(131) 상에 배치되는 자석(132)이 제공되고 밀봉 스트립(133)의 양 측면과 자기적으로 접촉하여 밀봉 효과를 달성하고, 탄성 가압 부재(135)가 단부 커버(134) 내에 배치되어, 탄성 가압 부재(135)를 통해 밀봉 스트립(133)에 대해 탄성적으로 가압되어 밀봉 효과를 좋게 한다.
그러나, 활주 시트가 이동되면, 탄성 가압 부재(135)는 밀봉 스트립(133)과 마찰되어 분진 및 작은 입자를 발생시키고, 결국 분진은 레일(136) 내로 떨어지면서 리니어 모듈의 작동에 영향을 미친다. 또한, 작은 입자는 작업장 내로 유동하여 작업 환경에 영향을 미칠 것이다.
본 발명은 상술된 단점들을 없애고 그리고/또는 완화하려는 것이다.
본 발명의 목적은 마찰에 의한 분진 또는 미립자의 발생을 방지할 수 있어서, 리니어 모듈이 정상적으로 작동하고 작업 환경의 기준을 유지할 수 있는, 저분진 리니어 모듈을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 저분진 리니어 모듈은, 변위 방향을 갖는 레일 유닛, 활주 시트 및 활주 시트 커버를 포함하는 활주 시트 조립체로서, 활주 시트는 변위 방향을 따라 레일 유닛 내에 활주 가능하게 배치되고, 변위 방향을 따라 배치되는 두 개의 활주 시트 단부 부분을 갖고, 활주 시트 커버는 활주 시트 상에 배치되는, 활주 시트 조립체를 포함하고, 방진 스트립이 레일 유닛에 고정되는 두 개의 단부 부분과, 두 개의 단부 부분 사이에 배치되고 활주 시트 및 활주 시트 커버 사이에 삽입되는 자기 흡인 섹션을 포함하고, 자기 부재가 방진 스트립에 대면하는 활주 시트의 측면 상에 배치되고, 자기 부재에 의해 자기적으로 흡인되는 자기 흡인 섹션의 일부가 자기 흡인 영역으로 정의되고, 제1 자기 흡인 간극이 자기 흡인 영역 및 자기 부재 사이에 형성되고, 제2 자기 흡인 간극이 자기 흡인 영역 및 활주 시트 커버 사이에 형성된다.
본 발명은 적어도 다음과 같은 효과를 달성할 수 있다.
두 개의 자기 부재는 활주 시트의 두 개의 활주 시트 단부 부분에 배치되고, 제1 자기 흡인 간극이 자기 흡인 영역과 자기 부재 중 대응하는 하나 사이에 형성되고, 제2 자기 흡인 간극이 자기 흡인 영역과 활주 시트 커버 사이에 형성된다. 방진 스트립이 자기 부재를 통과하고 자기 부재에 의해 자기적으로 흡인될 때, 자기 부재와 활주 시트와 활주 시트 커버 사이에 간극이 나타나서, 자기 부재 및 방진 스트립이 마찰 없이 간극 내에 유지되어, 마찰로 인한 분진의 발생을 방지하므로, 리니어 모듈은 정상적으로 작동하고 작업 환경의 기준을 유지할 수 있다.
양호하게는, 제1 자기 흡인 간극의 크기는 자기 부재의 자기 흡인 영역의 크기, 자기 흡인력, 및 자속 밀도와 관련되고, 이에 의해 다양한 치수의 리니어 모듈에 적용 가능하며, 자기 흡인 영역과 자기 부재 중 대응하는 하나 사이의 제1 자기 흡인 간극 및 자기 흡인 영역과 활주 시트 커버 사이의 제2 자기 간극의 존재를 보장한다.
양호하게는, 각각의 자기 부재의 자기 흡인력은 2.3 내지 5.6 kgf이고, 자속 밀도 Gauss는 3900 내지 4100이고, 각각의 자기 부재의 자기 표면은 직사각형 형상을 갖고, 자기 표면의 길이 및 폭은 10 ㎜ × 10 ㎜ 및 12 ㎜ × 12 ㎜이고, 제1 자기 흡인 간극은 0.1 ㎜ 내지 0.8 ㎜이고, 이에 의해 자기 흡인 영역과 자기 부재 중 대응하는 하나 사이의 제1 자기 흡인 간극과, 자기 흡인 영역과 활주 시트 커버 사이의 제2 자기 흡인 간극의 존재를 보장한다.
양호하게는, 각각의 자기 부재의 자기 흡인력은 2.3 내지 5.6 kgf이고, 자속 밀도 Gauss는 3900 내지 4100이고, 각각의 자기 부재의 자기 표면은 원형 형상을 갖고, 자기 표면의 직경은 10 ㎜ 내지 18 ㎜이고, 각각의 자기 부재의 두께는 3 ㎜ × 5 ㎜이고, 이에 의해 자기 흡인 영역과 자기 부재 중 대응하는 하나 사이의 제1 자기 흡인 간극과, 자기 흡인 영역과 활주 시트 커버 사이의 제2 자기 흡인 간극의 존재를 보장한다.
양호하게는, 레일 유닛은 레일 및 두 개의 측면 커버를 포함하고, 두 개의 측면 커버는 레일의 두 개의 측면에 배치되고, 각각은 레일의 두 개의 측면에 배치되는 길이방향 부분과 길이방향 부분에 연결되는 횡방향 부분을 포함하고, 방진 스트립을 수용하기 위해 두 개의 횡방향 부분 사이에 공간이 형성된다.
양호하게는, 각각의 횡방향 부분에는 지지 홈이 제공되고, 자기 스트립이 방진 스트립의 자기 흡인 섹션의 두 개의 측면을 자기적으로 흡인하도록 각각의 지지 홈 내에 배치되어, 방진 스트립의 자기 흡인 섹션은 두 개의 측면 커버 사이에서 밀봉된다.
양호하게는, 활주 시트는 두 개의 활주 시트 단부 부분 사이에 배치되는 중간 돌출 부분과, 중간 돌출 부분의 두 개의 측면 상에 형성되는 두 개의 활주 시트 측벽을 더 포함하고, 활주 시트 홈이 두 개의 활주 시트 측벽 사이에 형성되고, 방진 스트립의 자기 흡인 섹션은 활주 시트 홈을 통해 삽입되고, 중간 돌출 부분에 삽입되는 방진 스트립의 자기 흡인 섹션의 일부가 상방으로 돌출된다.
양호하게는, 자기 부재는 활주 시트의 두 개의 활주 시트 단부 부분에 각각 배치된다.
양호하게는, 각각의 자기 부재의 상부 표면이 측면 커버의 횡방향 부분의 상부 표면보다 낮다.
이들은 본 발명의 다른 목적들과 함께, 본 발명을 특징짓는 신규한 다양한 특징들과 함께, 본 명세서에 후속되어 그 일부를 형성하는 청구범위에서 특히 지적될 것이다. 본 발명, 그 작동 장점 및 그 사용에 의해 얻어지는 특정 목적들에 대한 더 나은 이해를 위해서는, 첨부 도면과 본 발명의 양호한 실시예들에 대해 기술된 상세한 설명을 참조하여야 한다.
본 발명에 따르면, 마찰에 의한 분진 또는 미립자의 발생을 방지할 수 있어서, 리니어 모듈이 정상적으로 작동하고 작업 환경의 기준을 유지할 수 있는, 저분진 리니어 모듈을 제공할 수 있다.
도 1a는 대만 특허 I530627의 도면들 중 하나의 도면.
도 1b는 대만 특허 M319110의 도면들 중 하나의 도면.
도 1c는 일본 특허 JP-A-2011-21745의 도면들 중 하나의 도면.
도 2는 본 발명의 양호한 실시예에 따른 저분진 리니어 모듈의 사시도.
도 3은 본 발명의 양호한 실시예에 따른 저분진 리니어 모듈의 분해도.
도 4는 도 3의 선4-4를 따라 취해진 단면도.
도 5는 도 4의 일부 확대도.
도 6은 본 발명의 양호한 실시예에 따른 저분진 리니어 모듈의 단면도.
도 7은 도 6의 확대도.
본 발명은 본 발명에 따른 양호한 실시예를 단지 설명을 목적으로 도시하는 첨부 도면과 함께 보았을 때 이하의 설명으로부터 더 명확해질 것이다.
도 2 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 양호한 실시예에 따른 저분진 리니어 모듈은 레일 유닛(20), 활주 시트 조립체(30), 방진 스트립(40), 및 두 개의 자기 부재(50)를 포함한다.
레일 유닛(20)은 레일(21) 및 두 개의 측면 커버(22)를 포함한다. 레일(21)은 변위 방향(X)과 변위 방향(X)를 따라 배치되는 두 개의 레일 단부(211)를 포함한다. 두 개의 측면 커버(22)는 레일(21)의 두 개의 측면에 배치되고, 각각 레일(21)의 두 개의 측면에 배치되는 길이방향 부분(221)과 길이방향(221)에 연결되는 횡방향 부분(222)을 포함한다. 두 개의 횡방향 부분(222) 사이에 공간이 형성되고, 각각의 횡방향 부분(222)에는 지지 홈(2221)이 제공되고, 각각의 지지 홈(2221) 내에 자기 스트립(23)이 배치된다.
활주 시트 조립체(30)는 활주 시트(31) 및 활주 시트 커버(32)를 포함한다. 활주 시트(31)는 변위 방향(X)을 따라 레일(21) 내에 활주가능하게 배치되고, 변위 방향(X)을 따라 배치되는 두 개의 활주 시트 단부 부분(311), 두 개의 활주 시트 단부(311) 사이에 배치되는 중간 돌출 부분(312), 및 중간 돌출 부분(312)의 두 개의 측면 상에 형성되는 두 개의 활주 시트 측벽(313)을 포함한다. 활주 시트 홈(314)이 두 개의 활주 시트 측벽(313) 사이에 형성된다. 활주 시트 커버(32)가 활주 시트(31) 상에 배치된다.
방진 스트립(40)은 스틸과 같은 자기 재료로 제조되고, 가압 판(41)에 의해 두 개의 레일 단부(211)에 고정되는 두 개의 단부 부분(42) 및 두 개의 단부 부분(42) 사이에 배치되고 활주 시트(31) 및 활주 시트 커버(32) 사이에 삽입되는 자기 흡인 섹션(43)을 포함한다. 이 실시예에서, 방진 스트립(40)의 자기 흡인 섹션(43)은 활주 시트 홈(314)을 통해 삽입되고, 중간 돌출 부분(312)에 삽입되는 방진 스트립(40)의 자기 흡인 섹션(43)의 일부가 상방으로 돌출되고, 중간 돌출 부분(312)에 삽입되지 않는 나머지 부분은 측면 커버(22)의 두 개의 지지 홈(2221) 내에 배치되는 자기 스트립(23)에 의해 자기적으로 흡인되는 두 개의 측방향 에지를 갖고, 방진 스트립(40)의 자기 흡인 섹션(43)은 두 개의 측면 커버(22) 사이에서 밀봉된다.
두 개의 자기 부재(50)는 방진 스트립(40)에 대면하는 활주 시트(31)의 측면 상에 배치된다. 두 개의 자기 부재(50)가 방진 스트립(40)의 자기 흡인 섹션(43)을 자기적으로 흡인하도록 활주 시트(31)의 두 개의 활주 시트 단부 부분(311)에 각각 배치되고, 자기 부재(50)의 상부 표면이 측면 커버(22)의 횡방향 부분(222)의 상부 표면보다 낮다는 것은 언급할 가치가 있다. 자기 부재(50)에 의해 자기적으로 흡인되는 자기 흡인 섹션(43)의 일부가 자기 흡인 영역(431)로 정의된다. 제1 자기 흡인 간극(H1)이 자기 흡인 영역(431)과 자기 부재(50) 중 대응하는 하나 사이에 형성되고, 제2 자기 흡인 간극(H2)이 자기 흡인 영역(431)과 활주 시트 커버(32) 사이에 형성된다. 이 실시예에서, 각각의 부재의 자기 재료는 네오디뮴이지만, 이제 제한되는 것은 아니고, 네오디뮴 철 붕소 자석일 수 있다.
전술한 내용은 본 발명의 구조적 구성 및 이들의 연결 관계이다. 따라서, 본 발명은 적어도 다음과 같은 효과를 달성할 수 있다.
마찰로 인한 분진 또는 작은 입자의 발생을 방지한다. 두 개의 자기 부재(50)는 활주 시트(31)의 두 개의 활주 시트 단부 부분(311)에 각각 배치되고, 제1 자기 흡인 간극(H1)은 자기 흡인 영역(431)과 자기 부재(50) 중 대응하는 하나 사이에 형성되고 제2 자기 흡인 간극(H2)은 자기 흡인 영역(431)과 활주 시트 커버(32) 사이에 형성된다. 방진 스트립(40)이 자기 부재(50)를 통과하고 자기 부재(50)에 의해 자기적으로 흡인될 때, 자기 부재(50)와 활주 시트(31)와 활주 시트 커버(32) 사이에 간극이 나타나서, 자기 부재(50) 및 방진 스트립(40)이 마찰 없이 간극이 유지되어, 마찰로 인한 분진 또는 미립자의 발생을 방지하므로, 리니어 모듈은 정상적으로 작동하고 작업 환경의 기준을 유지할 수 있다.
이 실시예에서, 각각의 자기 부재(50)는 직사각형 형상을 갖지만, 이제 한정되는 것은 아니고, 원형 형상, 원호 형상, 반달 형상 등일 수 있는 점에 유의하여야 한다.
각각의 자기 부재(50)의 자기 표면(51)은 직사각형 형상을 갖고, 자기 표면(51)의 길이 및 폭은 10 ㎜ × 10 ㎜ 및 12 ㎜ × 12 ㎜이고, 각각의 자기 부재의 자기 흡인력은 2.3 내지 5.6 kgf이고, 자속 밀도 Gauss는 3900 내지 4100이고, 이에 의해 제1 자기 흡인 간극(H1)은 0.1 ㎜ 내지 0.8 ㎜이고, 이에 의해 자기 흡인 영역(431)과 자기 부재(50) 중 대응하는 하나 사이의 제1 자기 흡인 간극(H1)과, 자기 흡인 영역(431)과 활주 시트 커버(32) 사이의 제2 자기 흡인 간극(H2)의 존재를 보장한다. 또한, 각각의 자기 부재의 자기 표면은 원형 형상을 갖고, 자기 표면의 직경은 10 ㎜ 내지 18 ㎜이고, 각각의 자기 부재의 두께는 3 ㎜ × 5 ㎜이고, 이는 자기 흡인 영역(431)과 자기 부재(50) 중 대응하는 하나 사이의 제1 자기 흡인 간극(H1)과, 자기 흡인 영역(431)과 활주 시트 커버(32) 사이의 제2 자기 흡인 간극(H2)의 존재를 보장한다.
둘째, 제1 자기 흡인 간극(H1) 및 제2 자기 흡인 간극(H2)의 크기는 자기 부재(50)의 자기 흡인 영역의 크기, 자기 흡인력, 및 자속 밀도와 관련되고, 이에 의해 다양한 치수의 리니어 모듈에 적용 가능하며, 자기 흡인 영역(431)과 자기 부재(50) 중 대응하는 하나 사이의 제1 자기 흡인 간극(H1) 및 자기 흡인 영역(431)과 활주 시트 커버(32) 사이의 제2 자기 간극(H2)의 존재를 보장한다.
본 발명에 따른 다양한 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본 발명의 범주 내에서 추가의 실시예들이 있을 수도 있다는 것을 당업자라면 명확히 알 수 있을 것이다.
20 : 레일 유닛 30 : 활주 시트 조립체
40 : 방진 스트립 50 : 자기 부재

Claims (3)

  1. 저분진 리니어 모듈이며,
    변위 방향(X)을 갖는 레일 유닛(20), 및
    활주 시트(31) 및 활주 시트 커버(32)를 포함하는 활주 시트 조립체(30)로서, 상기 활주 시트(31)는 상기 변위 방향(X)을 따라 상기 레일 유닛(20) 내에 활주 가능하게 배치되고, 상기 변위 방향(X)을 따라 배치되는 두 개의 활주 시트 단부 부분(311)을 갖고, 상기 활주 시트 커버(32)는 상기 활주 시트(31) 상에 배치되는, 활주 시트 조립체(30)를 포함하는 저분진 리니어 모듈에 있어서,
    방진 스트립(40)이 상기 레일 유닛(20)에 고정되는 두 개의 단부 부분(42)과, 상기 두 개의 단부 부분(42) 사이에 배치되고 상기 활주 시트(31) 및 상기 활주 시트 커버(32) 사이에 삽입되는 자기 흡인 섹션(43)을 포함하고,
    자기 부재(50)가 상기 방진 스트립(40)에 대면하는 상기 활주 시트(31)의 측면 상에 배치되고, 상기 자기 부재(50)에 의해 자기적으로 흡인되는 상기 자기 흡인 섹션(43)의 일부가 자기 흡인 영역(431)으로 정의되고, 제1 자기 흡인 간극(H1)이 상기 자기 흡인 영역(431) 및 상기 자기 부재(50) 사이에 형성되고, 제2 자기 흡인 간극(H2)이 상기 자기 흡인 영역(431) 및 상기 활주 시트 커버(32) 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는, 저분진 리니어 모듈.
  2. 제1항에 있어서, 상기 레일 유닛(20)은 레일(210 및 두 개의 측면 커버(22)를 포함하고, 상기 두 개의 측면 커버(22)는 상기 레일(21)의 두 개의 측면에 배치되고, 각각 상기 레일(21)의 두 개의 측면에 배치되는 길이방향 부분(221)과 상기 길이방향 부분(221)에 연결되는 횡방향 부분(222)을 포함하고, 상기 방진 스트립(40)을 수용하기 위해 상기 두 개의 횡방향 부분(222) 사이에 공간(223)이 형성되고, 상기 각각의 횡방향 부분(222)에는 지지 홈(2221)이 제공되고, 자기 스트립(23)이 상기 방진 스트립(40)의 상기 자기 흡인 섹션(43)의 두 개의 측면을 자기적으로 흡인하도록 상기 각각의 지지 홈(2221) 내에 배치되고, 상기 각각의 자기 부재(50)의 상부 표면이 상기 각각의 측면 커버(22)의 상기 횡방향 부분(222)의 상부 표면보다 낮은, 저분진 리니어 모듈.
  3. 제1항에 있어서, 상기 활주 시트(31)는 상기 두 개의 활주 시트 단부 부분(311) 사이에 배치되는 중간 돌출 부분(312)과, 상기 중간 돌출 부분(312)의 두 개의 측면 상에 형성되는 두 개의 활주 시트 측벽(313)을 더 포함하고, 활주 시트 홈(314)이 상기 두 개의 활주 시트 측벽(313) 사이에 형성되고, 상기 방진 스트립(40)의 상기 자기 흡인 섹션(43)은 상기 활주 시트 홈(314)을 통해 삽입되고, 상기 중간 돌출 부분(312)에 삽입되는 상기 방진 스트립(40)의 상기 자기 흡인 섹션(43)의 일부가 상방으로 돌출되는, 저분진 리니어 모듈.
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