KR20200038343A - 증착 장치 - Google Patents

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고준혁
김의규
민수현
이승진
홍승주
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

증착 장치는 기판의 양측들을 지지하는 기판 지지부, 상기 기판 하부에 배치되고, 틀 형상을 갖는 마스크 프레임, 상기 기판 하부에 배치되어 제1 방향으로 연장하고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되며, 상기 마스크 프레임 상에 배치된 복수 개의 파인 메탈 마스크들, 상기 제1 방향으로 서로 대향하는 상기 마스크 프레임의 외측면들에 배치된복수 개의 제1 외력 인가부들, 및 상기 제1 방향으로 서로 마주보는 상기 마스크 프레임의 내측면들에 배치된 복수 개의 제2 외력 인가부들을 포함한다.

Description

증착 장치{DEPOSITION APPARATUS}
본 발명은 증착 장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는 마스크를 변형시킬 수 있는 증착 장치에 관한 것이다.
휘도 특성 및 시야각 특성이 우수하고, 액정표시장치와 달리 별도의 광원부를 요구하지 않는 유기발광 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display: OLED)가 차세대 평판표시장치로 주목받고 있다. 유기발광 표시장치는 별도의 광원을 필요로 하지 않아, 경량화 및 박형으로 제작되며, 낮은 소비 전력, 높은 휘도, 및 높은 반응 속도 등의 특성을 갖는다.
유기 발광 표시 장치는 애노드, 유기 발광층, 및 캐소드를 각각 포함하는 복수 개의 유기 발광 소자들을 포함한다. 애노드와 캐소드로부터 각각 정공 및 전자가 유기 발광층에 주입되어 여기자(exciton)가 형성되고, 여기자가 바닥 상태로 전이하면서 유기 발광 소자가 발광된다.
유기 발광 소자의 제조시, 모기판이 복수개의 단위 기판들로 절단되고, 각 단위 기판 상에 마스크가 배치된다. 마스크의 개구부들을 통해 유기 발광층들을 형성하기 위한 유기 물질이 단위 기판 상에 제공된다.
단위 기판들은 서로 동일한 사각형 형상을 가져야하나, 공정 상의 오차로 인해 실질적으로 서로 다른 사각형 형상들을 갖는 단위 기판들이 존재한다. 이러한 경우, 형상이 다른 단위 기판마다 별도의 마스크가 사용되어야 한다. 고가의 마스크가 단위 기판마다 별도로 사용되므로, 제조 비용이 증가한다.
본 발명의 목적은 마스크에 외력을 인가하여 마스크를 기판의 형상에 맞게 변형할 수 있는 증착 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치는 기판의 양측들을 지지하는 기판 지지부, 상기 기판 하부에 배치되고, 틀 형상을 갖는 마스크 프레임, 상기 기판 하부에 배치되어 제1 방향으로 연장하고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되며, 상기 마스크 프레임 상에 배치된 복수 개의 파인 메탈 마스크들, 상기 제1 방향으로 서로 대향하는 상기 마스크 프레임의 외측면들에 배치된복수 개의 제1 외력 인가부들, 및 상기 제1 방향으로 서로 마주보는 상기 마스크 프레임의 내측면들에 배치된 복수 개의 제2 외력 인가부들을 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치는 기판의 양측을 지지하는 기판 지지부, 상기 기판 하부에 배치되고, 틀 형상을 갖는 마스크 프레임, 상기 기판 하부에 배치되어 제1 방향으로 연장하고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되며, 상기 마스크 프레임 상에 배치된 복수 개의 파인 메탈 마스크들, 및 상기 제1 방향으로 서로 대향하는 상기 마스크 프레임의 외측면들 및 상기 제1 방향으로 서로 마주보는 상기 마스크 프레임의 내측면들 사이의 상기 마스크 프레임의 하부에 연결되고, 상기 제1 방향으로 왕복 이동하는 복수 개의 외력 인가부들을 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치는 마스크에 외력을 인가하여 마스크를 기판의 형상에 맞게 변형할 수 있다. 따라서, 복수 개의 기판들에 대응하는 마스크들이 별도로 사용될 필요가 없으므로, 제조 비용이 절감될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치의 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판, 기판 지지부, 및 고정 유닛들의 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 마스크 및 제1 및 제2 외력 인가부들의 사시도이다.
도 4는 도 1에 도시된 스테이지의 사시도이다.
도 5는 도 3 및 도 4에 도시된 마스크, 제1 및 제2 외력 인가부들, 및 스테이지의 단면들을 보여주는 도면이다.
도 6 내지 도 9은 제1 및 제2 외력 인가부들에 의한 마스크의 변형을 설명하기 위한 도면들이다.
도 10 내지 도 12는 증착 장치의 증착 공정을 설명하기 위한 도면들이다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 증착 장치의 외력 인가부들의 구성을 도시한 도면이다.
도 15은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 증착 장치의 외력 인가부들의 구성을 도시한 도면이다.
도 16은 도 15에 도시된 가이드 홀을 도시한 도면이다.
도 17은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 증착 장치의 외력 인가부들의 구성을 도시한 도면이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
"및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의됩니다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들이 상세히 설명될 것이다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치의 구성을 보여주는 도면이다. 도 1에는 증착 장치(DET)의 측면이 도시되었다.
도 1을 참조하면, 증착 장치(DET)는 복수 개의 기판 지지부들(SSP), 복수 개의 제1 구동부들(DV1), 복수 개의 고정 유닛들(FU), 마스크(MK), 스테이지(STG), 복수 개의 기둥들(CL), 자석판(MP), 제1 지지 부재(SM1), 제2 지지 부재(SM2), 복수 개의 제1 및 제2 연결 유닛들(CU1,CU2), 제2 구동부(DV2), 복수 개의 제1 외력 인가부들(OF1), 및 복수 개의 제2 외력 인가부들(OF2)을 포함할 수 있다.
기판 지지부들(SSP)은 기판(SUB)을 지지할 수 있다. 예를 들어, 기판 지지부들(SSP)은 제1 방향(DR1)으로 서로 대향하는 기판(SUB)의 양측들 하부에 각각 배치되어, 기판(SUB)의 양측들을 지지할 수 있다. 예시적으로 2개의 기판 지지부들(SSP)이 기판(SUB)의 양측들을 각각 지지할 수 있으나, 기판 지지부들(SSP)의 개수는 이에 한정되지 않는다. 기판 지지부들(SSP) 및 기판(SUB)의 평면 구성은 이하 도 2를 참조하여 상세히 설명될 것이다.
이하 제1 방향(DR1)과 교차하는 방향은 제2 방향(DR2)으로 정의되고, 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)에 의해 정의된 평면과 교차하는 방향은 제3 방향(DR3)으로 정의된다. 제2 방향(DR2)은 실질적으로 제1 방향(DR1)과 수직하게 교차하고, 제3 방향(DR3)은 실질적으로, 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)에 의해 정의된 평면과 수직하게 교차할 수 있다.
제1 구동부들(DV1)은 기판 지지부들(SSP)의 끝단들에 각각 연결되어 제3 방향(DR3)으로 연장할 수 있다. 예시적으로 2개의 제1 구동부들(DV1)이 기판 지지부들(SSP)에 각각 연결되어 상부로 연장될 수 있다. 제1 구동부들(DV1)은 상하로 이동(예를 들어 제3 방향(DR3)으로 왕복 이동)할 수 있다.
제3 방향(DR3)은 상부 방향 및 하부 방향을 포함할 수 있으며, 전술한 상부는 상부 방향으로 정의될 수 있다. 또한, 이하 기재될 하부는 하부 방향으로 정의될 수 있다.
고정 유닛들(FU)은 기판(SUB)의 양측들에 인접한 기판(SUB)의 소정의 부분들 상에 배치될 수 있다. 고정 유닛들(FU)은 하부 방향으로 기판(SUB)을 가압하여 기판(SUB)을 기판 지지부(SSP)에 고정할 수 있다. 도시되지 않았으나, 증착 장치(DET)는 고정 유닛들(FU)에 연결되어 고정 유닛들(FU)을 상하로 이동시키는 가압부를 포함할 수 있다.
기판(SUB) 상에 자석판(MP)이 배치될 수 있다. 자석판(MP)은 자력을 갖는 자석 물질을 포함할 수 있다. 자석판(MP)은 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)에 의해 정의되는 평면을 가질 수 있다. 자석판(MP)은 제1 지지 부재(SM1) 및 제2 지지 부재(SM2) 사이에 배치될 수 있다.
제1 지지 부재(SM1)는 자석판(MP) 상에 배치되어 자석판(MP)에 연결될 수 있다. 제1 지지 부재(SM1)는 제1 연결 유닛들(CU1)에 의해 자석판(MP)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 제1 연결 유닛들(CU1)은 제3 방향(DR3)으로 연장되어 제1 지지 부재(SM1) 및 자석판(MP)에 연결될 수 있다.
제2 구동부(DV2)는 제1 지지 부재(SM1) 상에 배치되어 제1 지지 부재(SM1)에 연결되고, 제3 방향(DR3)으로 연장할 수 있다. 예시적으로 제2 구동부(DV2)는 제1 지지 부재(SM1)의 중심부에 연결되어 상부로 연장할 수 있다. 제2 구동부(DV2)는 상하로 이동할 수 있다.
제2 지지 부재(SM2)는 기판(SUB)과 자석판(MP) 사이에 배치될 수 있다. 제1 및 제2 지지 부재들(SM1,SM2)은 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)에 의해 정의되는 평면을 가질 수 있다.
제2 연결 유닛들(CU2)은 자석판(MP) 상에 배치되어 하부로 연장할 수 있다. 제2 연결 유닛들(CU2)은 자석판(MP)에 정의된 복수 개의 홀들(H)을 통과하여 제2 지지 부재(SM2)에 연결될 수 있다. 도 1에는 설명의 편의를 위해 홀들(H)이 점선으로 도시되었다.
제2 연결 유닛들(CU2) 각각은 지지 유닛(SU) 및 지지 유닛(SU)의 하부에 연결되어 하부로 연장하는 연장 유닛(EU)을 포함할 수 있다. 평면 상에서 지지 유닛들(SU) 각각은 홀들(H) 각각보다 큰 면적을 가질 수 있다. 연장 유닛들(EU)은 홀들(H)을 각각 통과하여 제2 지지 부재(SM2)에 연결될 수 있다. 지지 유닛들(SU)은 자석판(MP)에 연결되지 않고, 연장 유닛들(EU)은 홀들(H)을 따라 이동될 수 있다.
마스크(MK)는 기판(SUB) 하부에 배치될 수 있다. 도시하지 않았으나, 마스크(MK) 하부에 증작 물질이 수용된 도가니가 배치될 수 있다. 도가니가 가열되어 증착 물질이 기화되고, 기화된 증착 물질은 마스크(MK)의 개구부들(이하 도 3에 도시됨)을 통해 기판(SUB)에 제공될 수 있다.
마스크(MK)는 마스크 프레임(MF) 및 마스크 프레임(MF) 상에 배치된 파인 메탈 마스크(FMM)를 포함할 수 있다. 실질적으로, 파인 메탈 마스크(FMM)는 복수 개로 제공될 수 있다. 마스크 프레임(MF)은 틀 형상을 가지며, 파인 메탈 마스크(FMM)의 양측들은 마스크 프레임(MF)에 연결될 수 있다. 이러한 구성은 이하 도 3을 참조하여 상세히 설명될 것이다. 기화된 증착 물질은 기판(SUB) 하부에 배치된 파인 메탈 마스크(FMM)의 개구부들을 통과하여 기판(SUB)에 제공될 수 있다.
마스크 프레임(MF)은 제1 마스크 프레임(MF1) 및 제1 마스크 프레임(MF1) 상에 배치된 제2 마스크 프레임(MF2)을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 마스크 프레임들(MF1,MF2)은 일체로 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 제1 및 제2 마스크 프레임들(MF1,MF2)은 개별적으로 제조되어 서로 연결될 수 있다. 파인 메탈 마스크(FMM)는 제2 마스크 프레임(MF2) 상에 배치될 수 있다.
스테이지(STG)는 마스크 프레임(MF) 하부에 배치되어 마스크 프레임(MF)을 지지할 수 있다. 스테이지(STG)는 틀 형상을 가질 수 있으며, 이러한 구성은 이하 도 4를 참조하여 상세히 설명될 것이다. 기둥들(CL)은 스테이지(STG)의 끝단에 연결되어 상부로 연장할 수 있다.
제1 외력 인가부들(OF1)은 제1 방향(DR1)으로 서로 대향하는 마스크 프레임(MF)의 양측면들에 배치될 수 있다. 마스크 프레임(MF)의 양측면들은 제1 마스크 프레임(MF1)의 양측면들로 정의될 수 있다. 제2 외력 인가부들(OF2)은 스테이지(STG) 하부 및 제1 외력 인가부들(OF1) 하부에 배치될 수 있다. 제2 외력 인가부들(OF2)은 실질적으로, 마스크 프레임(MF)의 하부에 배치될 수 있다. 이러한 구성은 이하 도 3 및 도 5를 참조하여 상세히 설명될 것이다.
제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)은 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동하여 마스크 프레임(MF)에 외력을 인가할 수 있다. 마스크 프레임(MF)의 형상은 제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)로부터 인가된 외력에 의해 변형될 수 있다. 이러한 구성은 이하, 도 6 및 도 7을 참조하여 상세히 설명될 것이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판, 기판 지지부, 및 고정 유닛들의 사시도이다.
도 2를 참조하면, 기판(SUB)은 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)에 의해 정의된 평면을 가질 수 있다. 기판(SUB)은 사각형 형상을 가질 수 있다. 모기판이 복수 개의 단위 기판들로 절단되고, 도 2에 도시된 기판(SUB)은 단위 기판들 중 어느 하나의 단위 기판일 수 있다.
기판(SUB)은 이상적으로는 직사각형 형상을 가져야 하나, 공정 상의 오차로 인해 직사각형 형상을 갖지 않을 수 있다. 예를 들어, 기판(SUB)의 상측면 및 하측면은 제1 방향(DR1)에 평행할 수 있으나, 기판(SUB)의 좌측면 및 우측면은 제2 방향(DR2)에 평행하지 않을 수 있다. 예시적으로 기판(SUB)은 사다리꼴 형상을 가질 수 있으나, 기판(SUB)이 사각형 형상을 갖는 한, 기판(SUB)의 형상은 이에 한정되지 않을 수 있다.
기판 지지부들(SSP)은 기판(SUB)의 양측들(예를 들어 좌측면 및 우측면)의 하부를 지지하고, 고정 유닛들(FU)은 기판(SUB)의 양측들을 따라 배치될 수 있다. 고정 유닛들(FU)은 기판(SUB)의 양측들을 따라 서로 일정한 간격으로 배치될 수 있으나, 고정 유닛들(FU)의 배치 간격은 이에 한정되지 않는다. 예시적으로 10개의 고정 유닛들(FU)이 도시되었으나, 고정 유닛들(FU)의 개수는 이에 한정되지 않는다.
도 3은 도 1에 도시된 마스크 및 제1 및 제2 외력 인가부들의 사시도이다.
도 3을 참조하면, 마스크 프레임(MF)은 사각형의 틀 형상을 가질 수 있다. 실질적으로, 제1 및 제2 마스크 프레임들(MF1,MF2) 각각이 사각형의 틀 형상을 가질 수 있다. 마스크 프레임(MF)에는 마스크 개구부(MOP)가 정의될 수 있다.
복수 개의 파인 메탈 마스크들(FMM)이 마스크 프레임(MF) 상에 배치될 수 있다. 파인 메탈 마스크들(FMM)은 제1 방향(DR1)으로 연장하고, 제2 방향(DR2)으로 배열될 수 있다. 파인 메탈 마스크들(FMM)은 막대 형상을 갖고 금속을 포함할 수 있다. 파인 메탈 마스크들(FMM) 각각은 제1 방향(DR1)으로 장변들을 갖고, 제2 방향(DR2)으로 단변들을 갖는 직사각형 형상을 가질 수 있다.
파인 메탈 마스크들(FMM)에는 복수 개의 개구부들(P_OP)이 정의될 수 있다. 증착 물질은 개구부들(P_OP)을 통과하여 기판(SUB)에 제공될 수 있다. 예시적으로 개구부들(P_OP)을 통과한 유기 물질에 의해 기판(SUB) 상에 유기 발광층들이 형성될 수 있다.
제1 방향(DR1)으로 서로 대향하는 제1 마스크 프레임(MF1)의 양측면들 각각에 제1 외력 인가부들(OF1)이 배치될 수 있다. 예시적으로, 제1 마스크 프레임(MF1)의 양측면들 각각에 5개의 제1 외력 인가부들(OF1)이 배치되었으나, 제1 외력 인가부들(OF1)의 개수는 이에 한정되지 않는다.
제1 마스크 프레임(MF1)의 하부에 제2 외력 인가부들(OF2)이 배치될 수 있다. 제2 외력 인가부들(OF2)이 제1 마스크 프레임(MF1)의 하부에 배치되는 구성은 이하 도 5에 도시된 단면도를 참조하여 상세히 설명될 것이다.
제2 외력 인가부들(OF2)은 제1 외력 인가부들(OF1)에 1:1 대응하도록 배치될 수 있다. 따라서, 제2 외력 인가부들(OF2)의 개수는 제1 외력 인가부들(OF1)의 개수와 같을 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 제2 외력 인가부들(OF2)의 개수는 제1 외력 인가부들(OF1)의 개수와 다를 수 있다. 제2 외력 인가부들(OF2)은 제1 외력 인가부들(OF1) 하부에 각각 배치될 수 있다.
도시하지 않았으나, 증착 장치(DET)는 제1 외력 인가부들(OF1)을 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동시키는 구동부 및 제2 외력 인가부들(OF2)을 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 스테이지의 사시도이다.
도 4를 참조하면, 스테이지(STG)는 사각형의 틀 형상을 가질 수 있다. 스테이지(STG)에는 스테이지 개구부(SOP)가 정의될 수 있다. 기둥들(CL)은 스테이지(STG)의 모서리들에 각각 배치되어 스테이지(STG)에 연결될 수 있다.
스테이지(STG)는 기둥들(CL)의 의해 이동되어 마스크 프레임(MF) 하부에 배치될 수 있다. 마스크 프레임(MF)이 스테이지(STG) 상에 배치되고, 마스크 개구부(MOP)는 스테이지 개구부(SOP)에 중첩할 수 있다.
도 5는 도 3 및 도 4에 도시된 마스크, 제1 및 제2 외력 인가부들, 및 스테이지의 단면들을 보여주는 도면이다.
도 5에 도시된 단면은 제2 방향(DR2)에서 바라본 마스크(MK), 제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2), 및 스테이지(STG)의 단면들이다. 설명의 편의를 위해 파인 메탈 마스크(FMM)의 개구부들(P_OP)을 생략되었다.
도 5를 참조하면, 마스크 개구부(MOP)은 사각형의 틀 형상을 갖는 제1 마스크 프레임(MF1)에 정의된 제1 마스크 개구부(MOP1) 및 사각형의 틀 형상을 갖는 제2 마스크 프레임(MF2)에 정의된 제2 마스크 개구부(MOP2)를 포함할 수 있다. 제1 마스크 개구부(MOP1)는 제2 마스크 개구부(MOP2)보다 클 수 있다.
제1 외력 인가부들(OF1)은 제1 방향(DR1)으로 서로 대향하는 마스크 프레임(MF)의 외측면들(OS)에 배치될 수 있다. 제2 외력 인가부들(OF2)은 제1 방향(DR1)으로 서로 마주보는 마스크 프레임(MF)의 내측면들(IS)에 배치될 수 있다. 제2 외력 인가부들(OF2)은 스테이지 개구부(SOP) 및 스테이지(STG) 하부를 경유하여 연장되어 제1 외력 인가부들(OF1) 하부에 배치될 수 있다.
마스크 프레임(MF)의 외측면들(OS)은 제1 방향(DR1)으로 서로 대향하는 제1 마스크 프레임(MF1)의 외측면들(OS)로 정의될 수 있다. 마스크 프레임(MF)의 내측면들(IS)은 제1 방향(DR1)으로 서로 마주보는 제1 마스크 프레임(MF1)의 내측면들(IS)로 정의될 수 있다.
제2 마스크 프레임(MF2)은 내측면들(IS)에 인접한 제1 마스크 프레임(MF1)의 부분 상에 배치되어 내측면들(IS)보다 더 내측으로 연장될 수 있다. 파인 메탈 마스크(FMM)의 양측들은 제2 마스크 프레임(MF2)의 상면에 연결될 수 있다. 예시적으로, 파인 메탈 마스크(FMM)는 용접에 의해 제2 마스크 프레임(MF2)에 연결될 수 있다.
제1 외력 인가부들(OF1)은 외측면들(OS)에 접촉할 수 있다. 제1 외력 인가부들(OF1)은 외측면들(OS)에 접촉만하거나 또는 외측면들(OS)에 연결될 수 있다. 제2 외력 인가부들(OF2)은 내측면들(IS)에 접촉할 수 있다. 제2 외력 인가부들(OF2)은 내측면들(IS)에 접촉만하거나 또는 내측면들(IS)에 연결될 수 있다.
제1 외력 인가부들(OF1) 각각은 제1 방향(DR1)으로 연장하는 제1 연장부(EX1) 및 제1 연장부(EX1)에 연결된 제1 이동부(MV1)를 포함할 수 있다. 제1 연장부(EX1)의 일측은 외측면들(OS) 중 대응하는 외측면(OS)에 접촉할 수 있다. 제1 연장부(EX1)의 일측은 외측면(OS)에 접촉만하거나 또는 외측면(OS)에 연결될 수 있다. 제1 연장부(EX1)의 일측의 반대측인 제1 연장부(EX1)의 타측은 제1 이동부(MV1)에 연결될 수 있다.
제1 이동부(MV1) 및 제1 연장부(EX1)는 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동할 수 있다. 도시하지 않았으나, 제1 이동부(MV1)는 제1 이동부(MV1)를 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동시킬 수 있는 외부의 구동부에 연결될 수 있다.
제2 외력 인가부들(OF2) 각각은 제3 방향(DR3)으로 연장하는 제2 연장부(EX2), 제2 연장부(EX2)의 하단에서부터 제1 방향(DR1)으로 연장하는 제3 연장부(EX3), 및 제3 연장부(EX3)의 끝단에 연결된 제2 이동부(MV2)를 포함할 수 있다. 제2 연장부(EX2)의 상부는 내측면들(IS) 중 대응하는 내측면(IS)에 접촉할 수 있다. 제2 연장부(EX2)의 상부는 내측면(IS)에 접촉만하거나 또는 내측면(IS)에 연결될 수 있다.
제2 연장부(EX2)는 스테이지 개구부(SOP)에 배치되고, 제3 연장부(EX3)는 스테이지(STG) 하부 및 제1 연장부(EX1) 하부에 배치될 수 있다. 제2 이동부(MV2)는 제1 연장부(EX1) 하부에 배치될 수 있다.
제2 이동부(MV2) 및 제2 및 제3 연장부들(EX2,EX3)은 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동할 수 있다. 도시하지 않았으나, 제2 이동부(MV2)는 제2 이동부(MV2)를 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동시킬 수 있는 외부의 구동부에 연결될 수 있다.
도 6 내지 도 9은 제1 및 제2 외력 인가부들에 의한 마스크의 변형을 설명하기 위한 도면들이다.
설명의 편의를 위해 도 6 및 도 7에는 마스크 프레임(MF), 마스크 프레인(MF) 상에 배치된 기판(SUB), 및 제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)이 도시되었으며, 다른 구성들은 생략되었다.
도 6 및 도 7에서 기판(SUB) 하부에 배치된 제2 마스크 프레임(MF2) 및 파인 메탈 마스크들(FMM)은 기판(SUB)에 가려지므로 도시하지 않았고, 기판(SUB)에 가려지지 않는 제1 마스크 프레임(MF1)이 도시되었다. 설명의 편의를 위해, 도 8 및 도 9는 도 5에 도시된 단면에 대응하는 단면으로 도시하였다.
도 6을 참조하면, 앞서 도 2에서 설명한 바와 같이 기판(SUB)은 공정 상의 오차로 인해 직사각형 형상을 갖지 않고, 사다리꼴 형상을 가질 수 있다. 제1 마스크 프레임(MF1)은 직사각형의 틀 형상을 가질 수 있다. 제1 마스크 프레임(MF1)은 제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)에 의해 변형될 수 있다.
도 7을 참조하면, 제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)은 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동하여 제1 마스크 프레임(MF1)에 외력을 인가할 수 있다. 서로 인접한 한 쌍의 제1 외력 인가부(OF1) 및 제2 외력 인가부(OF2)는 같은 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 제1 방향(DR1)은 좌측 방향 및 우측 방향을 포함할 수 있고, 한쌍의 제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)은 좌측 방향 및 우측 방향 중 어느 한 방향으로 함께 이동할 수 있다.
제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)에 의해 제1 마스크 프레임(MF1)이 제1 방향(DR1)으로 수축 또는 팽창하여 변형될 수 있다. 제1 마스크 프레임(MF1)은 제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)에 의해 기판(SUB)의 형상에 대응하는 형상을 갖도록 변형될 수 있다.
이하, 제1 마스크 프레임(MF1)의 중심부보다 하부에 배치된 제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)은 하부 외력 인가부들(L_OF)로 정의되고 제1 마스크 프레임(MF1)의 중심부보다 상부에 배치된 제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)은 상부 외력 인가부들(U_OF)로 정의된다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 하부 외력 인가부들(L_OF)은 제1 마스크 프레임(MF1)을 제1 방향(DR1)으로 팽창시키도록 이동할 수 있다. 외측면들(OS) 중 좌측면에 배치된 하부 외력 인가부들(L_OF)이 좌측으로 이동하고, 외측면들(OS) 중 우측면에 배치된 하부 외력 인가부들(L_OF)이 우측으로 이동할 수 있다.
가장 하부에 배치된 하부 외력 인가부들(L_OF)이 보다 더 좌측 및 우측으로 이동할 수 있다. 실질적으로, 하부 외력 인가부들(L_OF) 중 내측면(IS)에 배치된 제2 외력 인가부들(OF2)이 좌측 및 우측으로 이동하여 제1 마스크 프레임(MF1)을 끌어 당기면서, 제1 마스크 프레임(MF1)을 팽창시킬 수 있다.
도 7 및 도 9를 참조하면, 상부 외력 인가부들(U_OF)은 제1 마스크 프레임(MF1)을 수축시키도록 제1 방향(DR1)으로 이동할 수 있다. 외측면들(OS) 중 좌측면에 배치된 상부 외력 인가부들(U_OF)이 우측으로 이동하고, 외측면들(OS) 중 우측면에 배치된 상부 외력 인가부들(U_OF)이 좌측으로 이동할 수 있다.
가장 상부에 배치된 상부 외력 인가부들(U_OF)이 보다 더 우측 및 좌측으로 이동할 수 있다. 실질적으로, 상부 외력 인가부들(U_OF) 중 외측면(OS)에 배치된 제1 외력 인가부들(OF1)이 우측 및 좌측으로 이동하여 제1 마스크 프레임(MF1)을 밀면서, 제1 마스크 프레임(MF1)을 수축시킬 수 있다.
도 7에서 화살표의 길이는 하부 외력 인가부들(L_OF) 및 상부 외력 인가부들(U_OF)의 이동 길이에 대응하도록 도시되었다.
제1 마스크 프레임(MF1)이 변형되므로, 제2 마스크 프레임(MF2) 역시 기판(SUB)에 대응하는 형상으로 변형될 수 있다. 또한, 파인 메탈 마스크들(FMM) 역시 변형될 수 있다. 즉, 마스크(MK)는 제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)에 의해 기판(SUB)에 대응하는 형상으로 변형될 수 있다.
모기판을 복수 개의 기판들로 절단할 경우, 기판들은 서로 다른 사각형 형상을 가질 수 있다. 기판들에 대한 증착 공정을 수행하기 위해 기판들의 형상들에 대응하는 마스크들이 별도로 사용될 경우, 제조 비용이 증가할 수 있다.
그러나, 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치(DET)는 마스크(MK)에 외력을 인가하여 마스크(MK)를 기판(SUB)의 형상에 맞게 변형할 수 있다. 따라서, 복수 개의 기판들에 대응하는 마스크들이 별도로 사용될 필요가 없으므로, 제조 비용이 절감될 수 있다.
도 10 내지 도 12는 증착 장치의 증착 공정을 설명하기 위한 도면들이다.
도 10을 참조하면, 제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)에 의해 마스크(MK)가 기판(SUB)의 형상에 맞게 변형된 후, 제1 구동부(DV1)가 하부로 이동할 수 있다. 제1 구동부(DV1)가 하부로 이동함으로써, 기판 지지부(SSP) 및 기판(SUB)이 하부로 이동할 수 있다. 기판(SUB)은 마스크(MK)에 인접하게 배치될 수 있다.
도 11을 참조하면, 제2 구동부(DV2)가 하부로 이동할 수 있다. 제2 구동부(DV2)가 하부로 이동함으로써, 제1 및 제2 지지 부재들(SM1,SM2)과 자석판(MP)이 하부로 이동할 수 있다. 제2 지지 부재(SM2)는 하부로 이동하여 기판(SUB)의 상면에 접촉할 수 있다.
도 12를 참조하면, 제2 지지 부재(SM2)가 기판(SUB)에 접촉한 후, 제2 구동부(MV2)가 더 하부로 이동하여 제1 지지 부재(SM1) 및 자석판(MP)이 더 하부로 이동할 수 있다. 자석판(MP)은 홀들(H)에 삽입된 연장 유닛(EU)을 따라 하부로 이동할 수 있다. 자석판(MP)은 하부로 이동하여 제2 지지 부재(SM2)에 인접하게 배치될 수 있다.
파인 메탈 마스크들(FMM)의 양측들이 제2 마스크 프레임(MF2) 상에 배치되므로, 파인 메탈 마스크들(FMM)은 제2 마스크 개구부(MOP2)의 공간 상에 배치될 수 있다. 따라서, 파인 메탈 마스크들(FMM)은 제2 마스크 개구부(MOP2)의 공간을 향해 하부로 쳐질 수 있다. 자석판(MP)은 하부로 쳐진 파인 메탈 마스크들(FMM)을 자력으로 상부로 당겨 평평하게 펼칠 수 있다.
자석판(MP)과 제2 지지 부재(SM2) 사이의 거리는 다양하게 설정될 수 있다. 예를 들어, 파인 메탈 마스크들(FMM)을 당기기 위해, 더 큰 힘이 요구될 경우, 자석판(MP)은 파인 메탈 마스크들(FMM)과 보다 더 인접하기 위해 보다 더 하부로 이동할 수 있다. 또한, 파인 메탈 마스크들(FMM)을 당기기 위해, 보다 작은 힘이 요구될 경우, 자석판(MP)은 파인 메탈 마스크들(FMM)과 보다 더 이격되기 위해보다 더 상부로 이동할 수 있다.
이후, 앞서 설명한 대로 도가니에서 기화된 증착 물질들이 파인 메탈 마스크들(FMM)의 개구부들(P_OP)을 경유하여 기판(SUB)에 제공될 수 있다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 증착 장치의 외력 인가부들의 구성을 도시한 도면이다.
외력 인가부들(OF1,OF2,OF3,OF4)의 구성을 제외하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 증착 장치의 구성은 도 1에 도시된 증착 장치(DET)의 구성과 동일하다. 따라서, 이하 외력 인가부들(OF1,OF2,OF3,OF4)의 구성이 주로 설명될 것이며 동일한 구성은 동일한 부호를 사용하여 도시하였다. 설명의 편의를 위해 도 13 및 도 14는 도 6 및 도 7에 대응하는 평면으로 도시하였다.
도 13 및 도 14를 참조하면, 기판(SUB')은 도 6에 도시된 기판(SUB)과 다른 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 기판(SUB')의 상측면은 제1 방향(DR1)에 평행하지 않고, 기판(SUB')의 하측면은 제1 방향(DR1)에 평행할 수 있다. 기판(SUB')의 좌측면 및 우측면은 제2 방향(DR2)에 평행하지 않을 수 있다.
외력 인가부들(OF1,OF2,OF3,OF4)은 복수 개의 제1 외력 인가부들(OF1), 복수 개의 제2 외력 인가부들(OF2), 복수 개의 제3 외력 인가부들(OF3), 및 복수 개의 제4 외력 인가부들(OF4)을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)은 실질적으로, 도 6 및 도 7에 도시된 제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)과 동일할 수 있다.
제3 외력 인가부들(OF3)의 구성들은 실질적으로 제1 외력 인가부들(OF1)과 동일할 수 있다. 제4 외력 인가부들(OF4)의 구성들은 실질적으로 제2 외력 인가부들(OF2)과 동일할 수 있다. 제3 및 제4 외력 인가부들(OF3,OF4)은 제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)과 다른 위치에 배치될 수 있다.
제3 외력 인가부들(OF3)은 제2 방향(DR2)으로 서로 대향하는 제1 마스크 프레임(MF1)의 외측면들에 배치될 수 있다. 제4 외력 인가부들(OF4)은 제2 방향(DR2)으로 서로 마주보는 제1 마스크 프레임(MF1)의 내측면들에 배치될 수 있다. 또한, 제4 외력 인가부들(OF4)은 제2 외력 인가부들(OF2)과 유사하게 스테이지 개구부(SOP) 및 스테이지(STG) 하부를 경유하여 연장되어, 제3 외력 인가부들(OF3) 하부에 배치될 수 있다.
도 6 및 도 7에서 설명된 바와 같이, 마스크 프레임(MF)은 제1 및 제2 외력 인가부들(OF1,OF2)에 의해 제1 방향(DR1)으로 수축 또는 팽창될 수 있다. 또한 마스크 프레임(MF)은 제3 및 제4 외력 인가부들(OF3,OF4)에 의해 제2 방향(DR2)으로 수축 또는 팽창될 수 있다. 따라서, 도 14에 도시된 바와 같이, 마스크 프레임(MF)은 기판(SUB')에 대응하는 형상으로 변형될 수 있다.
도 15은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 증착 장치의 외력 인가부들의 구성을 도시한 도면이다. 도 16은 도 15에 도시된 가이드 홀을 도시한 도면이다.
외력 인가부들(OF)의 구성을 제외하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 증착 장치의 구성은 도 1에 도시된 증착 장치(DET)의 구성과 동일하며, 이하 외력 인가부들(OF)의 구성이 주로 설명될 것이다. 설명의 편의를 위해 도 15는 도 5에 대응하는 단면으로 도시하였다.
도 15 및 도 16을 참조하면, 외력 인가부들(OF)은 마스크 프레임(MF)의 하부에 연결될 수 있다. 예를 들어, 외력 인가부들(OF)은 제1 마스크 프레임(MF1)의 외측면들(OS)과 내측면들(IS) 사이의 제1 마스크 프레임(MF1)의 하부에 연결될 수 있다. 외력 인가부들(OF)은 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동하여 마스크 프레임(MF)에 외력을 인가할 수 있다.
외력 인가부들(OF) 각각은 제3 방향(DR3)으로 연장하여 제1 마스크 프레임(MF1)의 하부에 연결된 연결부(CP) 및 연결부(CP)의 하단에 연결된 이동부(MV)를 포함할 수 있다. 연결부(CP)는 스테이지(STG)에 정의된 가이드 홀(GH)을 통과하여 이동부(MV)에 연결될 수 있다. 이동부(MV)는 스테이지(STG) 하부에 배치될 수 있다.
연결부(CP)은 제1 마스크 프레임(MF1)의 하부에 연결된 제1 연결부(CP1) 및 제1 연결부(CP1)의 하부로부터 제3 방향(DR3)으로 연장하여 이동부(MV)에 연결되는 제2 연결부(CP2)를 포함할 수 있다.
제1 연결부(CP1)는 접시 모양의 단면을 가질 수 있다. 제1 연결부(CP1)는 외측면(OS)의 하부, 내측면(IS)의 하부, 및 외측면(OS)과 내측면(IS) 사이의 제1 마스크 프레임(MF1)의 하면에 배치될 수 있다.
제2 연결부(CP2)는 가이드 홀(GH)에 배치될 수 있다. 가이드 홀(GH)은 제1 방향(DR1)으로 연장할 수 있다. 이동부(MV)는 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동하고, 제2 연결부(CP2)는 가이드 홀(GH)을 따라 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동할 수 있다.
도 17은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 증착 장치의 외력 인가부들의 구성을 도시한 도면이다.
외력 인가부들(OF')의 구성을 제외하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 증착 장치의 구성은 도 1에 도시된 증착 장치(DET)의 구성과 동일하며, 이하 외력 인가부들(OF')의 구성이 주로 설명될 것이다. 설명의 편의를 위해 도 17은 도 5에 대응하는 단면으로 도시하였다.
도 17을 참조하면, 외력 인가부들(OF')은 제1 마스크 프레임(MF1)의 외측면들(OS)과 내측면들(IS) 사이의 제1 마스크 프레임(MF1)의 하부에 연결될 수 있다. 외력 인가부들(OF')은 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동하여 마스크 프레임(MF)에 외력을 인가할 수 있다.
외력 인가부들(OF') 각각은 제3 방향(DR3)으로 연장하여 제1 마스크 프레임(MF1)의 하부에 연결된 연결부(CP') 및 연결부(CP')의 하단에 연결된 이동부(MV')를 포함할 수 있다. 연결부(CP')는 스테이지(STG)에 정의된 가이드 홀(GH)을 통과하여 스테이지(STG) 하부에 배치된 이동부(MV')에 연결될될 수 있다. 가이드 홀(GH)은 도 16에 도시된 가이드 홀(GH)과 동일할 수 있다.
연결부(CP')의 상부는 제1 마스크 프레임(MF1)의 하부에 정의된 함몰부(RES)에 삽입될 수 있다. 이동부(MV')는 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동하고, 연결부(CP')는 가이드 홀(GH)을 따라 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동할 수 있다.
이상 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한 본 발명에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니고, 하기의 특허 청구의 범위 및 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
DET: 증착 장치 DV1,DV2: 제1 및 제2 구동부
SM1,SM2: 제1 및 제2 지지 부재 MP: 자석판
CU1,CU2: 제1 및 제2 연결 유닛 SSP: 기판 지지부
FU: 고정 유닛 SUB: 기판
MK: 마스크 FMM: 파인 메탈 마스크
MF: 마스크 프레임 STG: 스테이지
CL: 기둥 OF1,OF2: 제1 및 제2 외력 인가부
EX1,EX2,EX3: 제1, 제2, 및 제3 연장부
MV1,MV2: 제1 및 제2 이동부

Claims (20)

  1. 기판의 양측들을 지지하는 기판 지지부;
    상기 기판 하부에 배치되고, 틀 형상을 갖는 마스크 프레임;
    상기 기판 하부에 배치되어 제1 방향으로 연장하고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되며, 상기 마스크 프레임 상에 배치된 복수 개의 파인 메탈 마스크들;
    상기 제1 방향으로 서로 대향하는 상기 마스크 프레임의 외측면들에 배치된복수 개의 제1 외력 인가부들; 및
    상기 제1 방향으로 서로 마주보는 상기 마스크 프레임의 내측면들에 배치된 복수 개의 제2 외력 인가부들을 포함하는 증착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 외력 인가부들은 상기 제1 방향으로 왕복 이동하여 상기 마스크 프레임을 상기 제1 방향으로 수축 또는 팽창시키는 증착 장치
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임은 상기 제1 및 제2 외력 인가부들에 의해 상기 기판에 대응하는 형상으로 변형되는 증착 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 외력 인가부들 각각은,
    상기 제1 방향으로 연장하는 제1 연장부; 및
    상기 제1 연장부에 연결된 제1 이동부를 포함하고,
    상기 제1 연장부의 일측은 상기 외측면들 중 대응하는 외측면에 접촉하고, 상기 제1 연장부의 타측은 상기 제1 이동부에 연결되는 증착 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제2 외력 인가부들 각각은,
    상기 제1 및 제2 방향들에 의해 정의된 평면에 수직한 제3 방향으로 연장하는 제2 연장부;
    상기 제2 연장부의 하단에서부터 상기 제1 방향으로 연장하는 제3 연장부; 및
    상기 제3 연장부의 끝단에 연결된 제2 이동부를 포함하고,
    상기 제2 연장부의 상부는 상기 내측면들 중 대응하는 내측면에 접촉하는 증착 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1 외력 인가부들의 개수는 상기 제2 외력 인가부들의 개수와 같고, 상기 제2 외력 인가부들은 상기 제1 외력 인가부들 하부에 각각 대응하도록 배치되는 증착 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 외력 인가부들 중 서로 인접한 한 쌍의 제1 및 제2 외력 인가부들은 같은 방향으로 이동하는 증착 장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 틀 형상을 갖고 상기 마스크 프레임 하부에 배치된 스테이지를 더 포함하고,
    상기 마스크 프레임에 정의된 마스크 개구부는 상기 스테이지에 정의된 스테이지 개구부에 중첩하고, 상기 제2 외력 인가부들은 상기 스테이지 개구부 및 상기 스테이지 하부를 경유하여 연장되어 상기 제1 외력 인가부들 하부에 배치되는 증착 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제2 연장부는 상기 스테이지 개구부에 배치되고, 상기 제3 연장부는 상기 스테이지 하부 및 상기 제1 연장부 하부에 배치되고, 상기 제2 이동부는 상기 제1 연장부 하부에 배치된 증착 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임은,
    상기 틀 형상을 갖고 상기 외측면들 및 상기 내측면들을 정의하는 제1 마스크 프레임; 및
    상기 내측면들에 인접한 상기 제1 마스크 프레임의 부분 상에 배치되어 상기 내측면들보다 더 내측으로 연장되고 상기 틀 형상을 갖는 제2 마스크 프레임을 포함하고,
    상기 파인 메탈 마스크들의 양측들은 상기 제2 마스크 프레임의 상면에 연결되는 증착 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 마스크 프레임들은 일체로 형성된 증착 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판의 상기 양측들에 인접한 상기 기판의 소정의 부분들 상에 배치된 복수 개의 고정 유닛들; 및
    상기 기판 지지부에 연결되고 상하로 이동하는 제1 구동부를 더 포함하는 증착 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 상에 배치된 자석판;
    상기 자석판 상에 배치되어 상기 자석판에 연결된 제1 지지 부재;
    상기 제1 지지 부재에 연결되어 상하로 이동하는 제2 구동부;
    상기 기판과 상기 자석판 사이에 배치된 제2 지지 부재; 및
    상기 자석판 상에 배치되어 하부로 연장하고, 상기 자석판에 정의된 복수 개의 홀들을 통과하여 상기 제2 지지 부재에 연결된 복수 개의 연결 유닛들을 더 포함하는 증착 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 연결 유닛들 각각은,
    상기 자석판 상에 배치되고, 상기 제1 및 제2 방향들에 의해 정의되는 평면 상에서 상기 홀들 각각보다 큰 면적을 갖는 지지 유닛; 및
    상기 지지 유닛의 하부에 연결되어 상기 하부로 연장하고, 상기 홀들 중 대응하는 홀을 통과하여 상기 제2 지지 부재에 연결된 연장 유닛을 포함하는 증착 장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 방향으로 서로 대향하는 상기 마스크 프레임의 외측면들에 배치된복수 개의 제3 외력 인가부들; 및
    상기 제2 방향으로 서로 마주보는 상기 마스크 프레임의 내측면들에 배치된 복수 개의 제4 외력 인가부들을 더 포함하는 증착 장치.
  16. 기판의 양측을 지지하는 기판 지지부;
    상기 기판 하부에 배치되고, 틀 형상을 갖는 마스크 프레임;
    상기 기판 하부에 배치되어 제1 방향으로 연장하고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되며, 상기 마스크 프레임 상에 배치된 복수 개의 파인 메탈 마스크들; 및
    상기 제1 방향으로 서로 대향하는 상기 마스크 프레임의 외측면들 및 상기 제1 방향으로 서로 마주보는 상기 마스크 프레임의 내측면들 사이의 상기 마스크 프레임의 하부에 연결되고, 상기 제1 방향으로 왕복 이동하는 복수 개의 외력 인가부들을 포함하는 증착 장치.
  17. 제 16 항에 있어서
    상기 외력 인가부들 각각은,
    상기 제1 및 제2 방향들에 의해 정의되는 평면과 교차하는 제3 방향으로 연장하여 상기 마스크 프레임의 상기 하부에 연결된 연결부; 및
    상기 연결부의 하단에 연결된 이동부를 포함하고,
    상기 이동부는 상기 제1 방향으로 왕복 이동하는 증착 장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 틀 형상을 갖고 상기 마스크 프레임 하부에 배치된 스테이지를 더 포함하고,
    상기 이동부는 상기 스테이지 하부에 배치되고, 상기 연결부는 상기 마스크 프레임에 정의된 가이드 홀을 통과하여 상기 이동부에 연결되고, 상기 가이드 홀은 상기 제1 방향으로 연장하는 증착 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 연결부는,
    상기 마스크 프레임의 상기 하부에 연결된 제1 연결부; 및
    상기 제1 연결부의 하부로부터 상기 제3 방향으로 연장하여 상기 이동부에 연결되는 제2 연결부를 포함하고,
    상기 제2 연결부는 상기 가이드 홀에 배치되는 증착 장치.
  20. 제 17 항에 있어서,
    상기 연결부의 상부는 상기 마스크 프레임의 상기 하부에 정의된 함몰부에 삽입되는 증착 장치.
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