KR20200036743A - Curing device - Google Patents

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KR20200036743A
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Abstract

The present specification provides a curing exposure device. The curing exposure device includes: a UV LED light source unit which emits UV light to an object to be cured; an optical lens unit which is disposed at a predetermined distance between the UV LED light source unit and the object to be cured, allows the UV light emitted from the UV LED light source unit to pass through the entire area thereof, and is made of a UV silicon material, wherein at least one of both sides of a first fly-eye lens positioned in the direction of the UV LED light source unit is convex, and at least one of both sides of a second fly-eye lens located in the direction of the object to be cured is convex, but the radius of curvature of the second fly-eye lens is relatively larger than that of the first fly-eye lens; and a mask which includes an opening between the second fly-eye lens and the object to be cured. Accordingly, output and uniformity can be improved.

Description

경화 노광장치{CURING DEVICE}Curing exposure device {CURING DEVICE}

본 발명은 경화 노광장치에 관한 것으로, 구체적으로는 UV 램프를 사용하는 경화 노광 공정을 친환경적인 UV LED로 대체할 수 있는 UV LED를 이용한 경화 노광장치에 관한 것이다.The present invention relates to a curing exposure apparatus, specifically, to a curing exposure apparatus using a UV LED that can replace the curing exposure process using a UV lamp with an environmentally friendly UV LED.

최근 세계적으로 환경오염에 관한 이슈가 중요한 관심사로 떠오르고 있으며, 이에 따라 각종 환경 규제 정책들이 시행되고 있는 추세이다.Recently, issues related to environmental pollution have emerged as an important concern worldwide, and accordingly, various environmental regulation policies are being implemented.

현재 시장에 유통되고 있는 대부분의 UV 경화기는 광원으로서 UV 램프가 채택되고 있다. 이러한 UV 램프 방식은 초기투자 금액이 적은 장점이 있으나, 광원 수명이 2000시간 정도로 짧기 때문에 교체 비용의 부담이 있으며, 양산 효율성이 낮은 문제점이 있다.Most UV curing machines currently on the market use UV lamps as light sources. This UV lamp method has the advantage of having a small initial investment, but has a problem of low replacement cost because the light source life is short, about 2000 hours.

또한, UV 램프 방식은 100℃ 이상의 온도에서 열 변형이 매우 심하여 별도의 배기 라인 설치가 요구되며 냉각구 등이 필요한 단점이 있다. 또한, UV 램프 방식은 크기가 크고 무거우며, 파장 선택폭이 없고, On/Off가 지연되는 시간이 약 3분 내지 10분 정도로 길게 소요되는 문제점이 있다.In addition, the UV lamp method has a disadvantage in that a thermal exhaust is very severe at a temperature of 100 ° C. or higher, so that a separate exhaust line is required and a cooling hole is required. In addition, the UV lamp method has a problem that it is large and heavy in size, has no wavelength selection width, and takes a long time of about 3 minutes to 10 minutes to delay on / off.

또한, UV 램프 방식은 전체 전력의 70 내지 80%가 열로 소실되고, 15 내지 20%만 UV로 전환되기 때문에 높은 전력 소모로 원가 부담 등의 문제를 야기하여 효율성이 떨어지는 문제점이 있다.In addition, in the UV lamp method, 70 to 80% of the total power is dissipated as heat, and only 15 to 20% is converted to UV, resulting in problems such as cost burden due to high power consumption, and thus, there is a problem of low efficiency.

아울러, UV 램프에 봉입된 수은은 환경오염을 일으키는 물질로서 폐기 시 토양과 수질오염에 의한 2차 피해를 유발할 수 있다. 또한, 램프에서 발생하는 고열로 인해 경화 대상물이 변형되는 등의 여러 가지 문제점들이 있다.In addition, mercury enclosed in a UV lamp is a substance that causes environmental pollution and may cause secondary damage due to soil and water pollution when discarded. In addition, there are various problems such as deformation of the object to be cured due to high heat generated in the lamp.

이러한 UV 램프 광원을 친환경적인 LED 광원으로 대체하기 위해서는 기존의 방식이 아닌 대폭적인 성능 개선이 이루어질 필요가 있다. 즉, 출력과 균일도를 향상시킬 수 있는 새로운 방식의 UV LED 기술이 요구되고 있다.In order to replace the UV lamp light source with an eco-friendly LED light source, it is necessary to significantly improve the performance, not the conventional method. That is, a new type of UV LED technology that can improve output and uniformity is required.

공개특허공보 제10-2009-0122594호(20091201)Patent Publication No. 10-2009-0122594 (20091201)

본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 UV 램프를 사용하는 경화 노광 공정을 친환경적인 UV LED로 대체하여 출력 및 균일도를 향상시킬 수 있는 UV LED를 이용한 경화 노광장치를 제공하는 데 있다.The present invention has been devised to solve the above-mentioned conventional problems, and the object of the present invention is to use a UV LED that can improve the output and uniformity by replacing the curing exposure process using a UV lamp with an eco-friendly UV LED. It is to provide a curing exposure apparatus.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한, 본 발명은, 경화 대상물에 UV 광을 조사하는 UV LED 광원부, UV LED 광원부과 경화 대상물 사이에서 소정의 간격을 두고 배치되어 UV LED 광원부에서 조사된 UV 광이 전면적에 걸쳐서 통과하고, UV LED 광원부 방향에 위치하는 제1플라이아이 렌즈는 양면 중 적어도 하나가 볼록하고, 경화 대상물 방향에 위치하는 제2플라이아이 렌즈는 양면 중 적어도 하나가 볼록하되 곡률반경이 제1플라이 아이 렌즈의 곡률반경보다 상대적으로 크고, UV 실리콘 재질인 광학 렌즈부 및 제2플라이아이 렌즈와 경화 대상물 사이에 개구부를 포함하는 마스크를 포함하는 경화 노광장치를 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention, the UV LED light source unit for irradiating UV light to the object to be cured, UV LED light source and UV light source irradiated from the UV LED light source unit is disposed at a predetermined distance between the object to be cured The first fly-eye lens passing through and located in the direction of the UV LED light source is convex on at least one of the two surfaces, and the second fly-eye lens located on the direction of the object to be cured is convex on at least one of the surfaces, but has a first radius of curvature. Provided is a cured exposure apparatus that is relatively larger than the radius of curvature of the fly-eye lens and includes an optical lens unit made of UV silicone and a mask including an opening between the second fly-eye lens and the object to be cured.

본 발명은 경화 대상물에 UV 광을 조사하는 UV LED 광원; 상기 UV LED 광원과 상기 경화 대상물 사이의 광 경로 상에 배치되고, 상기 UV 광을 확산시키도록 구비된 광 도체(Light pipe); 및 상기 광 도체와 상기 경화 대상물 사이에서 소정의 간격을 두고 배치되어 상기 광 도체를 통과한 UV 광이 전면적에 걸쳐 통과하는 복수의 플라이 아이(Fly-eye) 렌즈를 포함하며, 상기 광 도체 및 상기 복수의 플라이 아이 렌즈는 UV 실리콘 재질인 것을 특징으로 하는 UV LED를 이용한 경화 노광장치를 제공한다. The present invention is a UV LED light source for irradiating UV light to the object to be cured; A light pipe disposed on a light path between the UV LED light source and the object to be cured, and provided to diffuse the UV light; And a plurality of fly-eye lenses disposed at predetermined intervals between the optical conductor and the object to be cured, and through which UV light passing through the optical conductor passes through the entire area, the optical conductor and the The plurality of fly-eye lenses provide a curing exposure apparatus using UV LEDs, which is made of UV silicone material.

본 발명에 따른 UV LED를 이용한 경화 노광장치는 UV 램프를 사용하는 경화 노광 공정을 친환경적인 UV LED로 대체할 수 있다는 장점이 있다.The curing exposure apparatus using a UV LED according to the present invention has an advantage that a curing exposure process using a UV lamp can be replaced with an environmentally friendly UV LED.

또한, 본 발명에 따른 UV LED를 이용한 경화 노광장치는 UV LED 광원과 경화 대상물 사이에 광 도체와 복수의 플라이 아이 렌즈가 적용되기 때문에 출력 및 균일도를 향상시킬 수 있다.In addition, the curing exposure apparatus using a UV LED according to the present invention can improve output and uniformity because a light conductor and a plurality of fly-eye lenses are applied between the UV LED light source and the object to be cured.

도 1은 일 실시예에 따른 경화 노광장치가 설치되는 경화 노광 시스템의 사사도이다.
도 2는 도 1의 일 실시예에 따른 경화 노광장치의 일부 분해사시도이다.
도 3은 도 2의 경화 노광장치의 두개의 광학렌즈들과 마스크의 위치 관계를 도시한 도면이다.
도 4a 및 도 4b는 도 2의 UV LED 광원과 광학렌즈부의 제1플라이아이 렌즈가 설치된 내부 케이스 및 Z축 이동수단의 사시도이다.
도 5는 도 2의 UV LED 광원부의 평면도이다.
도 6은 도 3의 제1플라이아이 렌즈와 제2플라이 아이 렌즈의 양면의 형상들의 다양한 예들을 도시한 도면들이다.
도 7a 및 도 7b는 도 2의 UV LED 광원부의 LED 칩들과 제1플라이아이 렌즈의 얼라인먼트가 틀어진 상태를 도시하고 있다.
도 8은 다른 실시예에 따른 경화 노광장치의 일부 결합상태도이다.
도 9는 도시한 바와 같이 UV LED 광원부의 LED 칩들과 제1플라이아이 렌즈의 틀어진 얼라인먼트를 조절한 상태를 도시하고 있다.
도 10은 또다른 실시예에 따른 경화 노광장치의 사시도이다.
도 11은 도 10의 경화 노광장치에서 UV LED 광원부, 광 도체 및 제1,2플라이 아이 렌즈들을 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 12는 도 10의 경화 노광장치에서 UV 광이 통과하는 상태를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 13은 도 10의 경화 노광장치에서 UV 광이 통과하는 상태를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 14는 도 10의 경화 노광장치에서 플라이 아이 렌즈가 단렌즈로 구비되고 광 도체가 구비되지 않았을 때 UV 광이 통과하는 상태를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 15는 또다른 실시예에 따른 경화 노광장치의 일부 사시도이다.
도 16는 또다른 실시예에 따른 경화 노광장치의 UV LED 광원부와 반사통의 단면도이다.1 is a perspective view of a curing exposure system in which a curing exposure apparatus according to an embodiment is installed.
2 is an exploded perspective view of part of the curing exposure apparatus according to the embodiment of FIG. 1.
3 is a view showing a positional relationship between two optical lenses and a mask of the curing exposure apparatus of FIG. 2.
4A and 4B are perspective views of the inner case and the Z-axis moving means in which the UV LED light source of FIG. 2 and the first fly-eye lens of the optical lens unit are installed.
5 is a plan view of the UV LED light source unit of FIG. 2.
6 is a diagram illustrating various examples of shapes of both surfaces of the first fly-eye lens and the second fly-eye lens of FIG. 3.
7A and 7B show a state in which the alignment of the LED chips and the first fly-eye lens of the UV LED light source unit of FIG. 2 is distorted.
8 is a partially coupled state diagram of a curing exposure apparatus according to another embodiment.
9 illustrates a state in which the misalignment of the LED chips and the first fly-eye lens of the UV LED light source is adjusted.
10 is a perspective view of a curing exposure apparatus according to another embodiment.
11 is a cross-sectional view schematically showing a UV LED light source unit, an optical conductor, and first and second fly-eye lenses in the curing exposure apparatus of FIG. 10.
12 is a perspective view schematically showing a state in which UV light passes in the curing exposure apparatus of FIG. 10.
13 is a cross-sectional view schematically showing a state in which UV light passes in the curing exposure apparatus of FIG. 10.
14 is a cross-sectional view schematically illustrating a state in which UV light passes when a fly-eye lens is provided as a single lens and an optical conductor is not provided in the curing exposure apparatus of FIG. 10.
15 is a partial perspective view of a curing exposure apparatus according to another embodiment.
16 is a cross-sectional view of a UV LED light source unit and a reflector of a curing exposure apparatus according to another embodiment.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 첨가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 실시될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, it should be noted that in adding reference numerals to the components of each drawing, the same components have the same reference numerals as possible even though they are displayed on different drawings. In addition, when it is determined that the subject matter of the present invention may be obscured, the detailed description thereof will be omitted. In addition, although the embodiments of the present invention will be described below, the technical spirit of the present invention is not limited to or limited thereto, and can be practiced by those skilled in the art.

도 1은 일 실시예에 따른 경화 노광장치가 설치되는 경화 노광 시스템의 사사도이다. 1 is a perspective view of a curing exposure system in which a curing exposure apparatus according to an embodiment is installed.

도 1 및 도 2를 참조하면, 일 실시예에 따른 경화 노광장치가 설치되는 경화 노광 시스템(100)은, 스테이지(110)가 그 양단에 설치된 안내레일(120)을 따라 소정 방향(이하, 이를 "Y축 방향"이라 한다)으로 왕복운동 하도록 구성될 수 있다. 이러한 스테이지(110)에는 감광액(Photo Resistive Liquid)이 도포되는 경화대상물(130)이 위치하게 된다. 스테이지(110)는 미도시한 리니어모터에 의해 안내레일(120) 상에서 Y축 방향으로 왕복운동하게 된다.1 and 2, the curing exposure system 100 in which the curing exposure apparatus according to an embodiment is installed, the stage 110 along a guide rail 120 installed at both ends thereof (hereinafter referred to as this) It may be configured to reciprocate in the "Y-axis direction". The curing object 130 to which the photoresist liquid is applied is positioned on the stage 110. The stage 110 reciprocates in the Y-axis direction on the guide rail 120 by a linear motor (not shown).

스테이지(110) 양단의 안내레일(120) 상에는 한 쌍의 지지대(140)가 마주보도록 고정 설치될 수 있다. 수직 지지대(140)의 상단에는 다시 이들을 가로질러 연결, 즉 스테이지(110) 상방을 가로질러 연결하는 수평 지지대(150)가 설치될 수 있다. 수평 지지대(150)에는 도시하지 않은 자체의 리니어모터에 의해 수평 지지대(150)를 가로지르는 방향(이하, 이를 "X축 방향"이라 한다)으로 왕복운동할 수 있는, 실시예들에 따른 경화 노광장치(200)가 설치될 수 있다. On the guide rail 120 at both ends of the stage 110, a pair of supports 140 may be fixed to face each other. At the top of the vertical support 140, a horizontal support 150 that connects them across again, that is, across the stage 110, may be installed. Curing exposure according to embodiments that can be reciprocated in the direction across the horizontal support 150 (hereinafter referred to as "X-axis direction") by the linear motor not shown on the horizontal support 150 Device 200 may be installed.

경화 노광 시스템(200)은 경화대상물(130)의 에지 부분에 그 표면을 촬영하여 얼라인하는 적어도 1개 이상의 에지 얼라인용 카메라가 설치될 수 있다. The curing exposure system 200 may be provided with at least one camera for edge alignment that photographs and aligns the surface of the object to be cured.

경화 노광 시스템(100)은 경화대상물(130)을 스테이지(110)에 고정시킨 상태에서 스테이지(110)와 경화 노광장치(200)를 각각 X축 또는 Y축 방향으로 이동시키며, 경화대상물(130)의 특정 위치를 경화 노광할 수 있다. 예를 들어, 경화대상물(130)이 디스플레이용 기판인 경우, 경화 노광 시스템(100)은 경화대상물(130)을 스테이지(110)에 고정시킨 상태에서 스테이지(110)와 경화 노광장치(200)를 각각 X축 또는 Y축 방향으로 이동시키며, 디스플레이용 기판(130)의 엣지 라인을 경화 노광할 수 있다. 디스플레이 장치 제조공정 중 경화 노광된 디스플레이용 기판(130)의 엣지 라인을 절단하여 최종 디스플레이 장치를 완성할 수 있다. The curing exposure system 100 moves the stage 110 and the curing exposure apparatus 200 in the X-axis or Y-axis direction while the curing object 130 is fixed to the stage 110, and the curing object 130 The specific position of can be cured and exposed. For example, when the object to be cured 130 is a substrate for display, the curing exposure system 100 sets the stage 110 and the curing exposure apparatus 200 in a state where the object to be cured 130 is fixed to the stage 110. Each is moved in the X-axis or Y-axis direction, and the edge line of the display substrate 130 can be cured and exposed. The final display device may be completed by cutting the edge line of the display substrate 130 that has been cured and exposed during the display device manufacturing process.

도 2는 도 1의 일 실시예에 따른 경화 노광장치의 일부 분해사시도이다. 도 3은 도 2의 경화 노광장치의 두개의 광학렌즈들과 마스크의 위치 관계를 도시한 도면이다. 도 4a 및 도 4b는 도 2의 UV LED 광원과 광학렌즈부의 제1플라이아이 렌즈가 설치된 내부 케이스 및 Z축 이동수단의 사시도이다. 2 is an exploded perspective view of part of the curing exposure apparatus according to the embodiment of FIG. 1. 3 is a view showing a positional relationship between two optical lenses and a mask of the curing exposure apparatus of FIG. 2. 4A and 4B are perspective views of the inner case and the Z-axis moving means in which the UV LED light source of FIG. 2 and the first fly-eye lens of the optical lens unit are installed.

도 2 및 도 3을 참조하면, 경화 노광장치(200)는 경화 대상물(130)에 UV 광을 조사하는 UV LED 광원부(210)과, UV LED 광원부(210)과 경화 대상물(130) 사이에서 소정의 간격을 두고 배치되어 UV LED 광원부(210)에서 조사된 UV 광이 전면적에 걸쳐서 통과하는 광학렌즈부(220), 광학렌즈부(220)와 경화대상물(130) 사이에 개구부(232)를 포함하는 마스크(230)를 포함한다. 2 and 3, the curing exposure apparatus 200 is predetermined between the UV LED light source unit 210 for irradiating UV light to the object to be cured 130, the UV LED light source unit 210 and the object to be cured 130 The optical lens unit 220 through which the UV light irradiated from the UV LED light source unit 210 passes through the entire area, and an opening 232 between the optical lens unit 220 and the object to be cured 130 are disposed at intervals of It includes a mask 230.

광학렌즈부(220)는 UV LED 광원 방향에 위치하는 제1플라이아이 렌즈(222)와 경화 대상물 방향에 위치하는 제2플라이 아이 렌즈(224)를 포함한다. 제1플라이아이 렌즈(222)와 제2플라이아이 렌즈(224) 중 적어도 하나 또는 둘 모두는 UV 실리콘 재질일 수 있다. The optical lens unit 220 includes a first fly-eye lens 222 positioned in the direction of the UV LED light source and a second fly-eye lens 224 positioned in the direction of the object to be cured. At least one or both of the first fly-eye lens 222 and the second fly-eye lens 224 may be made of UV silicone material.

도 2 및 도 3을 참조하면, 경화 노광장치(200)에서 외부 케이스(240)는 판재들의 조립체로 구성되고, 내부 케이스(242) 및 마스크(230), 제2플라이아이 렌즈(224)를 고정시키는 렌즈 홀더(244) 등 구성요소들이 일반적으로 알려진 조립방식, 예를 들어 볼트-너트 체결방식이나, 홈-돌출부 삽입 방식에 의해 내부에 내장될 수 있다. 2 and 3, in the curing exposure apparatus 200, the outer case 240 is composed of an assembly of plate materials, and fixes the inner case 242, the mask 230, and the second fly-eye lens 224. Components such as the lens holder 244 may be embedded therein by a commonly known assembly method, for example, a bolt-nut fastening method or a groove-protruding portion insertion method.

내부 케이스(242)는 외부 케이스(240)의 일단에 배치되고, 마스크(230)는 그 타단에 배치된다. 렌즈 홀더(244)가 내부 케이스(242)와 마스크(230) 사이에 배치된다. The inner case 242 is disposed at one end of the outer case 240, and the mask 230 is disposed at the other end. The lens holder 244 is disposed between the inner case 242 and the mask 230.

즉, 마스크(230)의 개구부(232)는 제2플라이아이 렌즈(224)와 경화 대상물(130) 사이에 위치할 수 있다. 개구부(232)의 모서리들은 라운딩질 수 있다. That is, the opening 232 of the mask 230 may be located between the second fly-eye lens 224 and the object to be cured 130. The corners of the opening 232 may be rounded.

내부 케이스(242)는 통형상, 예를 들어 사각형 단면의 통형상이며, 하면에 관통구멍(242a)을 형성되어 있고, 상면은 개방되어 있을 수 있다. The inner case 242 has a cylindrical shape, for example, a cylindrical shape having a rectangular cross section, and has a through hole 242a formed on a lower surface thereof, and an upper surface thereof may be opened.

광학렌즈부(220)의 제1플라이아이 렌즈(222)는 내부 케이스(242)에 내장되어 있다. 제1플라이아이 렌즈(222)는 내부 케이스(242)의 하면에 관통구멍(242a)을 향하여 배치되어 있다. 제1플라이아이 렌즈(222)에서 굴절된 UV 광은 관통구멍(242a)을 통해 제2플라이아이 렌즈(224) 방향으로 진행한다. The first fly-eye lens 222 of the optical lens unit 220 is embedded in the inner case 242. The first fly-eye lens 222 is disposed on the lower surface of the inner case 242 toward the through hole 242a. The UV light refracted by the first fly-eye lens 222 travels in the direction of the second fly-eye lens 224 through the through hole 242a.

내부 케이스(242)는 판재들의 조립체로 구성되고, 제1플라이아이 렌즈(222) 등 구성요소들이 일반적으로 알려진 조립방식, 예를 들어 볼트-너트 체결방식이나, 홈-돌출부 삽입 방식에 의해 내부에 내장될 수 있다. The inner case 242 is composed of an assembly of plate materials, and components such as the first fly-eye lens 222 are generally known as an assembly method, for example, a bolt-nut fastening method or a groove-protrusion insertion method. It can be built.

Z축 이동수단(246)은 내부 케이스(242)의 외부, 내부 케이스(242) 상에 배치된다. UV LED 광원부(210)는 Z축 이동수단(246) 상에 배치된다. Z축 이동수단(246)은 내부 케이스(242)의 외측 상면을 덮고, 양측면을 감싸는 구조이다. The Z-axis moving means 246 is disposed on the outer and inner cases 242 of the inner case 242. The UV LED light source unit 210 is disposed on the Z-axis moving means 246. The Z-axis moving means 246 covers the outer upper surface of the inner case 242 and wraps both sides.

UV LED 광원부(210)는 Z축 이동수단(246) 상에 배치된다. Z축 이동수단(246)은 UV LED 광원부(210)이 배치된 면에 홀(247)을 포함한다. UV LED 광원부(210)에서 발광한 UV 광이 이 홀(243)을 통해 제1플라이아이 렌즈(222)에 도달할 수 있다.The UV LED light source unit 210 is disposed on the Z-axis moving means 246. The Z-axis moving means 246 includes a hole 247 on the surface on which the UV LED light source unit 210 is disposed. The UV light emitted from the UV LED light source unit 210 may reach the first fly-eye lens 222 through this hole 243.

Z축 이동수단(246)이 외부 케이스(240)에 고정된 상태에서, 내부 케이스(242)가 Z축 이동수단(246)에 대해 상대적으로 이동하여, 내부 케이스(242)에 내장된 제1플라이아이 렌즈(222)와 외부 케이스(240)에 고정된 제2플라이아이 렌즈(224) 사이의 상대적인 거리를 조절할 수 있다. 이를 통해 UV LED 광원부(210)으로부터 발광한 UV 광이 제1플라이아이 렌즈(222)과 제2플라이아이 렌즈(224)을 통과하여 마스크(230)의 개구부(232)를 통과하여, 최종적으로 경화 대상물(130)에 도달하는 UV 광이 균질하게 형성되어 평행광이 구현되도록 조절할 수 있다. In the state in which the Z-axis moving means 246 is fixed to the outer case 240, the inner case 242 moves relative to the Z-axis moving means 246, so that the first ply embedded in the inner case 242 The relative distance between the eye lens 222 and the second fly-eye lens 224 fixed to the outer case 240 may be adjusted. Through this, the UV light emitted from the UV LED light source unit 210 passes through the first fly-eye lens 222 and the second fly-eye lens 224, passes through the opening 232 of the mask 230, and finally cures. The UV light reaching the object 130 is formed homogeneously so that the parallel light can be controlled.

제1플라이아이 렌즈(222)는 도 3에 도시한 바와 같이 볼록부의 곡률반경(Radius of Curvature)이 제1플라이아이 렌즈(222)의 볼록부의 곡률반경보다 상대적으로 클 수 있다.The first fly-eye lens 222 may have a relatively larger radius of curvature than the radius of curvature of the convex portion of the first fly-eye lens 222 as illustrated in FIG. 3.

도 3에는 제1플라이아이 렌즈(222)는 양면 모두 볼록하고 제2플라이아이 렌즈(224)는 양면 모두 볼록한 것으로 도시하였으나, 제1플라이아이 렌즈(222)는 양면 중 적어도 하나가 볼록하고, 제2플라이아이 렌즈(224)는 양면 중 적어도 하나가 볼록할 수 있다. Although the first fly-eye lens 222 is convex on both sides and the second fly-eye lens 224 is convex on both sides in FIG. 3, at least one of the first fly-eye lenses 222 is convex. At least one of the two fly-eye lenses 224 may be convex.

도 5는 도 2의 UV LED 광원부의 평면도이다.5 is a plan view of the UV LED light source unit of FIG. 2.

도 5를 참조하면, UV LED 광원부(210)는 둘 이상의 파장들의 UV 광원을 조사하는 칩 온 보드(Chip On Board, COB) 타입 LED 광원장치일 수 있다. COB 타입 LED 광원장치는 단일 모듈을 형성하기 위해 제조업체에서 기판에 직접 결합한 여러 개의 LED 칩들(212)을 포함한다. LED 칩들(212)은 둘 이상의 파장들, 예를 들어 365nm, 375nm, 385nm, 405nm의 파장들의 UV 광원을 조사할 수 있다. UV LED 광원부(210)는 경화 대상물(130)의 필요에 따라서 둘 이상의 파장들 중 하나의 파장의 UV 광원을 조사할 수 있다. Referring to FIG. 5, the UV LED light source unit 210 may be a chip on board (COB) type LED light source device that irradiates UV light sources having two or more wavelengths. The COB type LED light source device includes several LED chips 212 directly coupled to a substrate by a manufacturer to form a single module. The LED chips 212 may irradiate UV light sources having two or more wavelengths, for example, wavelengths of 365 nm, 375 nm, 385 nm, and 405 nm. The UV LED light source unit 210 may irradiate a UV light source of one of two or more wavelengths according to the needs of the object to be cured 130.

UV LED 광원부(210)는 Z축 이동수단(246) 상에 LED 칩들(212)이 제1플라이아이 렌즈(222)를 향하도록 배치된다. UV LED 광원부(210)의 LED 칩들(212)에서 발광한 UV 광이 Z축 이동수단(246)의 홀(243)을 통과하여 제1플라이아이 렌즈(222)에 도달할 수 있다.The UV LED light source unit 210 is disposed such that the LED chips 212 face the first fly-eye lens 222 on the Z-axis moving means 246. UV light emitted from the LED chips 212 of the UV LED light source unit 210 may pass through the hole 243 of the Z-axis moving means 246 to reach the first fly-eye lens 222.

도 6은 도 3의 제1플라이아이 렌즈(222)와 제2플라이 아이 렌즈(224)의 양면의 형상들의 다양한 예들을 도시한 도면들이다. 6 is a diagram illustrating various examples of shapes of both surfaces of the first fly-eye lens 222 and the second fly-eye lens 224 of FIG. 3.

도 3 및 도 6의 (a)에 도시한 바와 같이, 전술한 바와 같이 제1플라이아이 렌즈(222)는 양면 모두 볼록하고 제2플라이아이 렌즈(224)는 양면 모두 볼록할 수 있다. As shown in FIGS. 3 and 6 (a), as described above, the first fly-eye lens 222 may be convex on both sides, and the second fly-eye lens 224 may be convex on both sides.

도 6의 (b) 내지 (f)에 도시한 바와 같이, 제1플라이아이 렌즈(222)는 양면 중 적어도 하나가 볼록하고, 제2플라이아이 렌즈(224)는 양면 중 적어도 하나가 볼록할 수 있다.6 (b) to 6 (f), at least one of the first fly-eye lenses 222 is convex, and at least one of the second fly-eye lenses 224 is convex. have.

예를 들어, 도 6의 (b) 및 (c)에 도시한 바와 같이 제1플라이아이 렌즈(222)는 양면 모두 볼록하고 제2플라이아이 렌즈(224)는 양면 중 적어도 하나가 볼록할 수 있다. 특히, 도 6의 제2플라이아이 렌즈(224)는 경화 대상물 방향의 일면이 볼록할 수 있다. 이때 제2플라이아이 렌즈(224)의 다른 면은 평면할 수 있다. 이때 제2플라이아이 렌즈(224)의 다른 면이 평면이라는 것은 렌즈 제조 공정 중에 발생하는 설계공차나 공정 오차, 제품 공차에 따라 비평면화되는 것을 포함한다. For example, as illustrated in FIGS. 6B and 6C, the first fly-eye lens 222 may be convex on both sides, and the second fly-eye lens 224 may be convex on at least one of both sides. . In particular, the second fly-eye lens 224 of FIG. 6 may have a convex surface in the direction of the object to be cured. At this time, the other surface of the second fly-eye lens 224 may be flat. At this time, that the other surface of the second fly-eye lens 224 is flat includes non-planarization according to design tolerances, process errors, and product tolerances that occur during the lens manufacturing process.

도 7a 및 도 7b는 도 2의 UV LED 광원부의 LED 칩들과 제1플라이아이 렌즈의 얼라인먼트가 틀어진 상태를 도시하고 있다. 7A and 7B show a state in which the alignment of the LED chips and the first fly-eye lens of the UV LED light source unit of FIG. 2 is wrong.

도 7a 및 도 7b에 도시한 바와 같이, 도 2의 경화 노광장치(200)를 도 1에 도시한 경화 노광시스템에 설치할 경우 다양한 원인에 따라 UV LED 광원부의 LED 칩들과 제1플라이아이 렌즈의 얼라인먼트가 틀어질 수 있다. 7A and 7B, when the curing exposure apparatus 200 of FIG. 2 is installed in the curing exposure system illustrated in FIG. 1, alignment of the LED chips and the first fly-eye lens of the UV LED light source according to various causes Can be wrong.

도 8은 다른 실시예에 따른 경화 노광장치의 일부 결합상태도이다. 8 is a partially coupled state diagram of a curing exposure apparatus according to another embodiment.

도 8을 참조하면, 다른 실시예에 따른 경화 노광장치(200a)는 전체적으로 도 2를 참조하여 설명한 경화 노광장치(200)와 실질적으로 동일하다. UV LED 광원부(210)과 제1플라이아이 렌즈(210)이 내부 케이스(242)에 상하로 배치된다. 8, the curing exposure apparatus 200a according to another embodiment is substantially the same as the curing exposure apparatus 200 described with reference to FIG. The UV LED light source unit 210 and the first fly-eye lens 210 are disposed vertically on the inner case 242.

다만, 다른 실시예에 따른 경화 노광장치(200a)는 제1플라이아이 렌즈(210)를 거치하고, 내부 케이스(242)의 하면에 배치되고, Z축을 중심으로 XY축 회전이 가능한 XY축 이동장치(248)를 추가로 포함한다. However, the curing exposure apparatus 200a according to another embodiment is mounted on the first fly-eye lens 210, is disposed on the lower surface of the inner case 242, and the XY-axis moving device capable of rotating the XY-axis around the Z-axis (248).

XY축 이동장치(248)는 제1플라이아이 렌즈(210)이 외부로 노출되는 관통홀(248a)와 관통홀(248a) 주위에 위치하는 체결홀(248b), 체결홀(248b)을 통해 XY축 이동장치(248)를 내부 케이스(242)에 고정시키는 체결구(248c)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 체결홀(248b)는 나사홀이고 체결구(248c)는 나사일 수 있다. The XY-axis moving device 248 is XY through the fastening hole 248b and the fastening hole 248b positioned around the through-hole 248a and the through-hole 248a where the first fly-eye lens 210 is exposed to the outside. A fastener 248c for fixing the shaft moving device 248 to the inner case 242 may be included. For example, the fastening hole 248b may be a screw hole and the fastener 248c may be a screw.

XY축 이동장치(248)는 Z축을 중심으로 XY축 회전이 가능하므로, XY축 이동장치(248)를 XY축 회전시킨 후 후 체결홈(248b)에 체결구(248c)를 체결하여 UV LED 광원부(210)의 LED 칩들(212)과 제1플라이아이 렌즈(210)의 틀어진 얼라인먼트를 조절할 수 있다. 도 9는 도시한 바와 같이 UV LED 광원부의 LED 칩들과 제1플라이아이 렌즈의 틀어진 얼라인먼트를 조절한 상태를 도시하고 있다. Since the XY-axis moving device 248 is capable of rotating the XY-axis around the Z-axis, after rotating the XY-axis moving device 248 by the XY-axis, the fastener 248c is fastened to the fastening groove 248b, and then the UV LED light source unit The misalignment of the LED chips 212 of the 210 and the first fly-eye lens 210 may be adjusted. 9 illustrates a state in which the misalignment of the LED chips and the first fly-eye lens of the UV LED light source is adjusted.

도 4a 및 도 4b를 참조하여 설명한 경화 노광장치(200)에 도 8을 참조하여 설명한 XY축 이동장치(248)를 적용하므로, 경화 노광장치(200)가 얼라인먼트를 조절하기 위한 XY 축으로 회전과 상기 제2플라이아이 렌즈와 상대적인 거리를 조절하기 위해 Z축 이동이 가능할 수 있다.Since the XY axis shifter 248 described with reference to FIG. 8 is applied to the curing exposure apparatus 200 described with reference to FIGS. 4A and 4B, the curing exposure apparatus 200 rotates and rotates in the XY axis for adjusting alignment. The Z-axis movement may be possible to adjust the relative distance from the second fly-eye lens.

다시 말해 도 8을 참조하여 설명한 XY축 이동장치(248)가 도 4a 및 도 4b를 참조하여 설명한 내부 케이스(242)의 하면에 설치될 수 있다. In other words, the XY-axis moving device 248 described with reference to FIG. 8 may be installed on the lower surface of the inner case 242 described with reference to FIGS. 4A and 4B.

도 1은 본 발명에 따른 UV LED를 이용한 경화 노광장치에서 UV 광이 통과하는 상태를 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 UV LED를 이용한 경화 노광장치에서 UV 광이 통과하는 상태를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 UV LED를 이용한 경화 노광장치에서 UV LED 광원, 광 도체 및 복수의 플라이 아이 렌즈를 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 UV LED를 이용한 경화 노광장치에서 플라이 아이 렌즈가 단렌즈로 구비되고 광 도체가 구비되지 않았을 때 UV 광이 통과하는 상태를 개략적으로 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a state in which UV light passes in a curing exposure apparatus using a UV LED according to the present invention, and FIG. 2 shows a state in which UV light passes in a curing exposure apparatus using a UV LED according to the present invention. Figure 3 is a schematic perspective view, Figure 3 is a cross-sectional view schematically showing a UV LED light source, a light conductor and a plurality of fly-eye lenses in a curing exposure apparatus using a UV LED according to the present invention, Figure 4 is a UV LED according to the present invention It is a cross-sectional view schematically showing a state in which UV light passes when a fly-eye lens is provided as a single lens and an optical conductor is not provided in the used curing exposure apparatus.

도 10은 또다른 실시예에 따른 경화 노광장치의 사시도이다. 도 11은 도 10의 경화 노광장치에서 UV LED 광원부, 광 도체 및 제1,2플라이 아이 렌즈들을 개략적으로 나타낸 단면도이다. 도 12는 도 10의 경화 노광장치에서 UV 광이 통과하는 상태를 개략적으로 나타낸 사시도이다. 도 13은 도 10의 경화 노광장치에서 UV 광이 통과하는 상태를 개략적으로 나타낸 단면도이다.10 is a perspective view of a curing exposure apparatus according to another embodiment. 11 is a cross-sectional view schematically showing a UV LED light source unit, an optical conductor, and first and second fly-eye lenses in the curing exposure apparatus of FIG. 10. 12 is a perspective view schematically showing a state in which UV light passes in the curing exposure apparatus of FIG. 10. 13 is a cross-sectional view schematically showing a state in which UV light passes in the curing exposure apparatus of FIG. 10.

도 10 내지 도 13을 참조하면, 또다른 실시예에 따른 경화 노광장치(200b)는 경화 대상물(130)에 UV 광을 조사하는 UV LED 광원부(210)과, UV LED 광원부(210)과 경화 대상물(130) 사이에서 소정의 간격을 두고 배치되어 UV LED 광원부(210)에서 조사된 UV 광이 전면적에 걸쳐서 통과하는 광학렌즈부(220), 광학렌즈부(220)와 경화대상물(130) 사이에 개구부(232)를 포함하는 마스크(230)를 포함한다. 10 to 13, the curing exposure apparatus 200b according to another embodiment includes a UV LED light source unit 210 that irradiates UV light to a curing object 130, a UV LED light source unit 210, and a curing object Between the optical lens unit 220, the optical lens unit 220 and the object to be cured 130 through which the UV light irradiated from the UV LED light source unit 210 passes through the entire area is disposed at a predetermined interval between the 130 A mask 230 including an opening 232 is included.

광학렌즈부(220)는 UV LED 광원 방향에 위치하는 제1플라이아이 렌즈(222)와 경화 대상물 방향에 위치하는 제2플라이 아이 렌즈(224)를 포함한다. 제1플라이아이 렌즈(222)와 제2플라이아이 렌즈(224) 중 적어도 하나 또는 둘 모두는 UV 실리콘 재질일 수 있다. The optical lens unit 220 includes a first fly-eye lens 222 positioned in the direction of the UV LED light source and a second fly-eye lens 224 positioned in the direction of the object to be cured. At least one or both of the first fly-eye lens 222 and the second fly-eye lens 224 may be made of UV silicone material.

또다른 실시예에 따른 경화 노광장치(200b)는 종래에 UV 경화기에 주로 사용되어 온 UV 램프 광원 대신에 UV LED 광원부(210)을 사용한다. 전술한 바와 같이 UV LED 칩(212)은 UV 램프 방식과 달리 초기 투자금액이 고가라는 단점이 있으나, 광원 수명이 20000시간 정도로 길고, 열 변형이 거의 없기 때문에 별도의 배기 장치가 불필요하다는 장점이 있다. 또한, UV 칩(212)은 파장별로 선택적 광출력이 가능하여 원하는 파장의 UV만을 출력할 수 있으며, On/Off가 지연되는 시간이 없고, UV 램프 방식과 비교하여 크기가 소형인 장점도 가지고 있다.The curing exposure apparatus 200b according to another embodiment uses the UV LED light source unit 210 instead of the UV lamp light source that has been mainly used in a UV curing machine. Unlike the UV lamp method, the UV LED chip 212 has the disadvantage that the initial investment amount is expensive, but the light source has a long life of about 20000 hours, and there is almost no thermal deformation, so that a separate exhaust device is unnecessary. . In addition, the UV chip 212 is capable of selectively outputting light for each wavelength, so that only UV of a desired wavelength can be output, there is no delay in on / off, and it has an advantage of being small in size compared to the UV lamp method. .

또다른 실시예에 따른 경화 노광장치(200b)는 LED 광원부(210)과 경화 대상물(130) 사이의 광 경로 상에 UV LED 광원부(210)에 대응하여 배치되고, UV LED 광원부 방향보다 경화 대상물 방향으로 단면적이 넓어 광을 확산시키도록 구비되고, UV 실리콘 재질인 광 도체(Light pipe, 250)를 추가로 포함할 수 있다. The curing exposure apparatus 200b according to another embodiment is disposed in correspondence with the UV LED light source unit 210 on the light path between the LED light source unit 210 and the curing object 130, and the direction of the curing object than the direction of the UV LED light source unit As the cross-sectional area is wide, it is provided to diffuse light, and may further include a light conductor (250) made of UV silicone.

UV LED 광원부(210)의 LED 칩들(212)이 복수이고 UV LED 광원부(210)의 LED 칩들(212)의 수에 대응하는 수의 광 도체들(250)이 구비될 수 있다..A plurality of LED chips 212 of the UV LED light source unit 210 and a number of optical conductors 250 corresponding to the number of LED chips 212 of the UV LED light source unit 210 may be provided.

제1플라이아이 렌즈(210)의 단면적은 광 도체(250)의 단면적보다 크고, 마스크(230)의 개구부(232)의 개구면적은 제1플라이아이 렌즈(210)의 단면적보다 클 수 있다. The cross-sectional area of the first fly-eye lens 210 may be larger than the cross-sectional area of the optical conductor 250, and the opening area of the opening 232 of the mask 230 may be larger than the cross-sectional area of the first fly-eye lens 210.

광 도체(250)는 UV LED 광원부(210)과 경화 대상물(130) 사이의 광 경로 상에 배치되고, UV LED 광원부(210)으로부터 조사되는 UV 광을 확산시키도록 구비된다. 여기서, 비록 자세히 도시되지는 않았으나, 광 도체(250)는 UV LED 광원부(210)로부터 약 0.1mm 내외의 간격을 두고 배치될 수 있다. 이와 같이, 광 도체(250)는 UV LED 광원부(210) 상에 소정의 간격을 두고 배치될 수 있으나, 이에 한정되지는 않으며, UV LED 광원부(210) 및 광 도체(250) 사이의 간격 크기는 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.The optical conductor 250 is disposed on the light path between the UV LED light source unit 210 and the object to be cured 130 and is provided to diffuse UV light emitted from the UV LED light source unit 210. Here, although not shown in detail, the optical conductor 250 may be disposed at intervals of about 0.1 mm from the UV LED light source unit 210. As such, the optical conductor 250 may be disposed at a predetermined distance on the UV LED light source unit 210, but is not limited thereto, and the size of the gap between the UV LED light source unit 210 and the optical conductor 250 is Any number can be changed by those skilled in the art.

광 도체(250)가 UV LED 광원부(210)과 경화 대상물 사이의 광 경로 상에 배치됨으로써, UV LED 광원부(210)로부터 조사되는 UV 광의 손실률이 적어지고, 광 도체(250)를 통과한 UV 광이 균질하게 형성되어 평행광이 보다 쉽게 구현될 수 있다.As the optical conductor 250 is disposed on the light path between the UV LED light source unit 210 and the object to be cured, the loss rate of UV light emitted from the UV LED light source unit 210 is reduced, and the UV light passing through the optical conductor 250 This homogeneous formation makes parallel light easier to implement.

전술한 바와 같이, 복수의 UV LED 광원부(210)가 구비될 경우, UV LED 광원부(210)의 수에 대응하는 수의 광 도체(250)가 구비될 수 있다.As described above, when a plurality of UV LED light source units 210 are provided, a number of optical conductors 250 corresponding to the number of UV LED light source units 210 may be provided.

제1,2플라이 아이 렌즈(220, 230)는 광 도체(250)와 경화 대상물(130) 사이에서 소정의 간격을 두고 배치되어 광 도체(250)를 통과한 UV 광이 전면적에 걸쳐서 통과한다. 여기서, 제1,2플라이 아이 렌즈(220, 230)는 복수개로 구비되는 것이 바람직하다.The first and second fly-eye lenses 220 and 230 are disposed at predetermined intervals between the optical conductor 250 and the object to be cured, and the UV light passing through the optical conductor 250 passes through the entire area. Here, it is preferable that the first and second fly-eye lenses 220 and 230 are provided in plural.

도 14는 도 10의 경화 노광장치에서 플라이 아이 렌즈가 단렌즈로 구비되고 광 도체가 구비되지 않았을 때 UV 광이 통과하는 상태를 개략적으로 나타낸 단면도이다.14 is a cross-sectional view schematically illustrating a state in which UV light passes when a fly-eye lens is provided as a single lens and an optical conductor is not provided in the curing exposure apparatus of FIG. 10.

도 14에 도시된 바와 같이, 제2플라이 아이 렌즈(230)가 단렌즈로 구비되고 광 도체(250)가 구비되지 않을 경우, UV LED 광원부(210)로부터 조사된 광이 점차 퍼지게 되어 정밀한 경화, 노광 작업이 불가능한 문제점이 있다. 따라서, UV LED 광원부(210)과 경화 대상물(130) 사이에서 광 도체(250) 및 제1,2플라이 아이 렌즈(220, 230)가 모두 구비되는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 14, when the second fly-eye lens 230 is provided as a single lens and the optical conductor 250 is not provided, the light irradiated from the UV LED light source unit 210 gradually spreads, resulting in precise curing. There is a problem that the exposure operation is impossible. Therefore, it is preferable that both the optical conductor 250 and the first and second fly-eye lenses 220 and 230 are provided between the UV LED light source unit 210 and the object to be cured 130.

이와 같이, UV LED 광원부(210)로부터 조사된 UV 광은 광 도체(250), 제1,2플라이 아이 렌즈(220, 230)를 통과하면서 넓은 면적으로 경화 대상물에 균일하게 조사될 수 있다.As described above, UV light irradiated from the UV LED light source unit 210 may be uniformly irradiated to the object to be cured with a large area while passing through the optical conductor 250 and the first and second fly-eye lenses 220 and 230.

한편, 광 도체(250) 및 제1,2플라이 아이 렌즈(220, 230)는 UV 실리콘 재질인 것이 바람직하다. 종래의 광학 소재는 주로 쿼츠(Quartz) 소재, BK7소재 등이 사용되었으나, 이러한 소재들은 제작 작업 시 파손의 우려가 있기 때문에 로스(Loss)율이 높고, 생산 속도가 느린 단점이 있다.Meanwhile, the optical conductor 250 and the first and second fly-eye lenses 220 and 230 are preferably made of UV silicone material. Conventional optical materials are mainly quartz materials, BK7 materials, etc., but these materials have disadvantages such as high loss rate and slow production speed because of fear of damage during production.

따라서, 본 발명은 광 도체(250) 및 제1,2플라이 아이 렌즈(220, 230)와 같은 광학 물질을 유리 소재가 아닌 UV 실리콘 소재로 제작함으로써, 생산속도를 높이고 파손의 우려를 감소시킬 수 있다. 구체적인 UV 실리콘 소재로서 Momentive 사(社)의 LST-7080J 소재가 사용될 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.Therefore, the present invention is made of an optical material such as the optical conductor 250 and the first and second fly-eye lenses 220 and 230 made of a UV silicone material rather than a glass material, thereby increasing production speed and reducing risk of damage. have. As a specific UV silicone material, Momentive LST-7080J material may be used, but is not limited thereto.

LST-7080J 소재는 현재 사용되는 UV 광에 대한 저항성이 있으며, 적용 온도가 약150℃ 정도로 높고, 광 투과율이 94%로 높아 광출력에 효과적이기 때문에 광학 물질의 소재로 사용하기에 적합하다.The LST-7080J material is suitable for use as a material for optical materials because it is resistant to UV light currently used, its application temperature is about 150 ° C, and its light transmittance is 94%, which is effective for light output.

이와 같이, 본 발명에 따른 UV LED를 이용한 경화 노광장치는 UV 램프를 사용하는 경화 노광 공정을 친환경적인 UV LED로 대체하여 출력 및 균일도를 향상시킬 수 있다.As described above, the curing exposure apparatus using a UV LED according to the present invention can improve the output and uniformity by replacing the curing exposure process using a UV lamp with an eco-friendly UV LED.

도 15는 또다른 실시예에 따른 경화 노광장치의 일부 사시도이다.15 is a partial perspective view of a curing exposure apparatus according to another embodiment.

또다른 실시예에 따른 경화 노광장치(200c)는 전술한 실시예들에 따른 경화 노광장치들(200a, 200b)에, 통형상의 적어도 일면에 냉각관통(245)이 배치된 내부케이스(242)와 내부 케이스(242) 내에 내장되면 냉각관통 방향으로 배치된 냉각기(247)를 추가로 포함할 수 있다. The curing exposure apparatus 200c according to another embodiment includes an inner case 242 in which the cooling through holes 245 are disposed on at least one surface of a cylindrical shape in the curing exposure apparatuses 200a and 200b according to the above-described embodiments. And an inner case 242, a cooler 247 disposed in a cooling through direction may be further included.

냉각관통(245)과 냉각기(247)는 UV LED 광원부(210)에서 발생하는 열을 냉각시키기 위해 사용된다. 냉각기(247)는 예를 들어 바람을 일으키는 냉각팬이나 예를 들어 유체의 이동을 통해 열펌핑하는 냉각장치 등일 수 있다. 냉각관통(245)은 외부로 가열된 공기를 방출하는 기능을 할 수 있다. The cooling through 245 and the cooler 247 are used to cool the heat generated from the UV LED light source unit 210. The cooler 247 may be, for example, a cooling fan that generates wind or a cooling device that heat-pumps through movement of the fluid. The cooling through hole 245 may function to discharge heated air to the outside.

또다른 실시예에 따른 경화 노광장치(200c)는 냉각기(247) 주위에 열전도가 낮은 금속 또는 합금의 냉각판을 추가로 포함할 수 있다. The curing exposure apparatus 200c according to another embodiment may further include a cooling plate of a metal or alloy having low thermal conductivity around the cooler 247.

도 16는 또다른 실시예에 따른 경화 노광장치의 UV LED 광원부와 반사통의 단면도이다. 16 is a cross-sectional view of a UV LED light source unit and a reflector of a curing exposure apparatus according to another embodiment.

또다른 실시예에 따른 경화 노광장치(200d)는 UV LED 광원부(210)과 광원ㄹ렌즈(220) 사이에 속이 빈 반사통(260)을 추가로 포함할 수 있다. 반사통(260)은 도 16에 도시된 바와 같이, 예를 들어 원뿔형상으로 UV LED 광원부(210)로부터 광원렌즈부(220)로 단면적이 크질 수 있다. 반사통(260)은 UV LED 광원부(210)과 접촉할 수 있다. 반사통(260)은 UV LED 광원부(210)에서 발광한 광을 일정한 방향으로 진행하도록 균일도를 향상시킬 수 있다. The curing exposure apparatus 200d according to another embodiment may further include a hollow reflector 260 between the UV LED light source unit 210 and the light source d lens 220. As shown in FIG. 16, the reflector 260 may have a large cross-sectional area from the UV LED light source unit 210 to the light source lens unit 220 in a conical shape. The reflector 260 may contact the UV LED light source unit 210. The reflector 260 may improve uniformity so that light emitted from the UV LED light source unit 210 proceeds in a certain direction.

이상 도면들을 참조하여 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되지 않은다. Embodiments have been described with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto.

이상, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.The preferred embodiments of the present invention have been described above in detail, but the technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments and should be interpreted by the claims. At this time, those skilled in the art should consider that many modifications and variations are possible without departing from the scope of the present invention.

Claims (12)

경화 대상물에 UV 광을 조사하는 UV LED 광원부;
상기 UV LED 광원부과 상기 경화 대상물 사이에서 소정의 간격을 두고 배치되어 상기 UV LED 광원부에서 조사된 상기 UV 광이 전면적에 걸쳐서 통과하고, 상기 UV LED 광원부 방향에 위치하는 제1플라이아이 렌즈는 양면 중 적어도 하나가 볼록하고, 상기 경화 대상물 방향에 위치하는 제2플라이아이 렌즈는 양면 중 적어도 하나가 볼록하되 곡률반경이 제1플라이 아이 렌즈의 곡률반경보다 상대적으로 크고, UV 실리콘 재질인 광학 렌즈부; 및
상기 제2플라이아이 렌즈와 상기 경화 대상물 사이에 개구부를 포함하는 마스크를 포함하는 경화 노광장치.UV LED light source unit for irradiating UV light to the object to be cured;
The first fly-eye lens disposed at a predetermined distance between the UV LED light source part and the curing object passes through the entire area of the UV light irradiated from the UV LED light source part, and the first fly-eye lens positioned in the direction of the UV LED light source part has two sides. At least one of the convex, the second fly-eye lens positioned in the direction of the object to be cured is at least one of the convex, but the radius of curvature is relatively larger than the radius of curvature of the first fly-eye lens, an optical lens unit made of UV silicone material; And
A curing exposure apparatus comprising a mask including an opening between the second fly-eye lens and the object to be cured. 제1항에 있어서,
상기 제1플라이아이 렌즈는 양면 모두 볼록하고 상기 제2플라이아이 렌즈는 상기 경화 대상물 방향의 일면이 볼록한 경화 노광장치.According to claim 1,
The first fly-eye lens is convex on both sides, and the second fly-eye lens is a curing exposure apparatus having one surface convex in the direction of the object to be cured. 제2항에 있어서,
상기 제2플라이아이 렌즈의 다른 면은 평면인 경화 노광장치.According to claim 2,
The other surface of the second fly's eye lens is a flat curing exposure apparatus. 제1항에 있어서,
상기 제1플라이아이 렌즈는 양면 중 상기 UV LED 광원부 방향의 일면이 하나의 볼록한 면을 구성하는 경화 노광장치.According to claim 1,
The first fly-eye lens is a curing exposure apparatus in which one surface in the direction of the UV LED light source unit constitutes one convex surface. 제1항에 있어서,
상기 UV LED 광원과 상기 경화 대상물 사이의 광 경로 상에 상기 UV LED 광원부에 대응하여 배치되고, 상기 UV LED 광원부 방향보다 상기 경화 대상물 방향으로 단면적이 넓어 광을 확산시키도록 구비되고, UV 실리콘 재질인 광 도체(Light pipe)를 추가로 포함하는 경화 노광장치.According to claim 1,
It is arranged to correspond to the UV LED light source on the light path between the UV LED light source and the object to be cured, and is provided to diffuse light because the cross-sectional area is wider in the direction of the object to be cured than the direction of the UV LED light source. Curing exposure apparatus further comprising an optical conductor (Light pipe). 제4항에 있어서,
상기 UV LED 광원부의 광원이 복수이고 복수의 광원의 수에 대응하는 수의 상기 광 도체가 구비되는 경화 노광장치.According to claim 4,
A curing exposure apparatus in which the number of light sources of the UV LED light source unit is plural and the number of the light conductors corresponding to the number of light sources is provided. 제5항에 있어서,
상기 제1플라이아이 렌즈의 단면적은 상기 광 도체의 단면적보다 크고, 상기 마스크의 개구부의 개구면적은 상기 제1플라이아이 렌즈의 단면적보다 큰 경화 노광장치.The method of claim 5,
The cross-sectional area of the first fly-eye lens is larger than the cross-sectional area of the optical conductor, and the opening area of the opening of the mask is larger than the cross-sectional area of the first fly-eye lens. 제5항에 있어서,
상기 개구부의 모서리들은 라운딩진 경화 노광장치.The method of claim 5,
The edges of the opening are rounding jin curing exposure apparatus. 제1항에 있어서,
상기 제1플라이아이 렌즈와 UV LED 광원부의 얼라인먼트를 조절하기 위한 XY 축 이동수단과, 상기 제1플라이아이 렌즈와 상기 제2플라이아이 렌즈 사이 상대적인 거리를 조절하기 위해 Z축 이동수단을 추가로 포함하는 경화 노광장치.According to claim 1,
XY axis moving means for adjusting the alignment of the first fly-eye lens and the UV LED light source, and Z-axis moving means for adjusting the relative distance between the first fly-eye lens and the second fly-eye lens are additionally included. Curing exposure apparatus. 제1항에 있어서,
상기 경화 노광장치는,
통형상의 적어도 일면에 관통공이 배치된 케이스;
상기 케이스 내에 내장되면 상기 관통관 방향으로 배치된 냉각기; 및
냉각판을 추가로 포함하는 경화 노광장치.According to claim 1,
The curing exposure apparatus,
A case in which a through hole is disposed on at least one surface of a cylindrical shape;
A cooler disposed in the through-tube direction when embedded in the case; And
Curing exposure apparatus further comprising a cooling plate. 제1항에 있어서,
상기 UV LED 광원부는 둘 이상의 파장들의 UV 광원을 조사하는 COB 타입 LED 광원장치인 경화 노광장치.According to claim 1,
The UV LED light source unit is a COB type LED light source device that irradiates a UV light source of two or more wavelengths. 제1항에 있어서,
상기 UV LED 광원부와 광원렌즈부 사이에 속이 빈 반사통을 추가로 포함하는 경화 노광장치.According to claim 1,
A curing exposure apparatus further comprising a hollow reflector between the UV LED light source unit and the light source lens unit.
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