KR20190141407A - Buffer apparatus - Google Patents

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KR20190141407A KR1020180068125A KR20180068125A KR20190141407A KR 20190141407 A KR20190141407 A KR 20190141407A KR 1020180068125 A KR1020180068125 A KR 1020180068125A KR 20180068125 A KR20180068125 A KR 20180068125A KR 20190141407 A KR20190141407 A KR 20190141407A
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Abstract

According to the present invention, a buffer apparatus is provided on a ceiling so as to be adjacent to a driving rail on which a vehicle is driven and temporarily loads a carrier transferred by the vehicle. The buffer apparatus can include: an upper structure fixed to the ceiling; a lower structure having slots on which the carrier is loaded; and a lifting member connecting the upper structure and the lower structure and lifting the lower structure with respect to the upper structure.

Description

버퍼 장치{Buffer apparatus}Buffer apparatus

본 발명은 버퍼 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OHT의 비히클에 의해 이송되는 캐리어를 임시로 보관하기 위한 버퍼 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a buffer device, and more particularly to a buffer device for temporarily storing a carrier carried by the vehicle of the OHT.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 캐리어를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. Generally, semiconductor processing apparatuses for manufacturing a semiconductor device are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. An object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state of being contained in a carrier or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the carrier.

상기 캐리어는 OHT(Overhead Hoist Transport)의 비히클에 의해 이송된다. 상기 비히클은 상기 대상물이 수납된 상기 캐리어를 이송하여 상기 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 수납된 캐리어를 상기 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다.The carrier is carried by a vehicle of overhead hoist transport (OHT). The vehicle transfers the carrier containing the object to the load port of the semiconductor processing apparatuses, and picks up the carrier containing the processed object from the load port and transports the carrier to the outside.

상기 반도체 공정 장치의 로드 포드에 캐리어가 존재하는 경우, 상기 비히클에 의해 이송된 캐리어를 임시로 수납하기 위한 버퍼 장치가 구비된다. When a carrier is present in the load pod of the semiconductor processing apparatus, a buffer device for temporarily receiving the carrier carried by the vehicle is provided.

상기 버퍼 장치는 특정 위치에 고정되므로 상기 버퍼 장치의 높이를 조절할 수 없다. 따라서 상기 반도체 공정 장치들의 설치를 위해 상기 반도체 공정 장치들을 반입할 때 상기 버퍼 장치와 간섭이 발생할 수 있다. Since the buffer device is fixed at a specific position, the height of the buffer device cannot be adjusted. Therefore, when the semiconductor processing apparatuses are brought in to install the semiconductor processing apparatuses, interference with the buffer device may occur.

상기 간섭을 해소하기 위해서는 상기 버퍼 장치를 해체 후 재 설치하거나 상기 버퍼 장치의 위치를 옮겨야 한다. 상기 버퍼 장치를 재 설치하거나 위치를 옮기는 경우, 상기 버퍼 장치에 대한 매핑, 오토 티칭, 위치 등의 설정을 다시 수행해야 한다. 따라서, 상기 버퍼 장치의 간섭을 해소하는데 많은 시간과 인력이 요구된다. In order to eliminate the interference, the buffer device needs to be disassembled and reinstalled or the position of the buffer device moved. When reinstalling or relocating the buffer device, the setting of mapping, auto teaching, location, etc. for the buffer device should be performed again. Therefore, a lot of time and manpower is required to eliminate the interference of the buffer device.

본 발명은 높이 조절이 가능한 버퍼 장치를 제공한다. The present invention provides a buffer device capable of height adjustment.

본 발명에 따른 비히클이 주행하는 주행 레일과 인접하도록 천장에 구비되며, 상기 비히클이 이송하는 캐리어를 임시로 적재하는 버퍼 장치는, 상기 천장에 고정되는 상부 구조물과, 상기 캐리어가 적재되는 슬롯들이 구비되는 하부 구조물 및 상기 상부 구조물과 상기 하부 구조물을 연결하며, 상기 상부 구조물에 대해 상기 하부 구조물을 승강시키는 승강 부재를 포함할 수 있다. The buffer device is provided on the ceiling such that the vehicle is adjacent to the traveling rail running, and the buffer device for temporarily loading the carrier transported by the vehicle, the upper structure is fixed to the ceiling, and the slot on which the carrier is loaded And a lifting member connecting the lower structure to the upper structure and the lower structure, and elevating the lower structure with respect to the upper structure.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 승강 부재는, 상기 상부 구조물에 고정되는 너트 및 상기 하부 구조물에 회전 가능하도록 고정되며 상기 너트와 체결되며 상기 상부 구조물에 대해 상기 하부 구조물을 승강시키기 위해 상기 너트에 대해 회전하는 스크류축을 포함하는 볼 스크류일 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the elevating member is fixed to the nut and the lower structure is rotatably fixed to the upper structure and fastened to the nut and the elevating the lower structure relative to the upper structure It may be a ball screw comprising a screw shaft rotating about a nut.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 승강 부재는 상기 스크류축의 상단 부위에 고정되는 고정 블록을 더 포함하고, 상기 고정 블록이 상기 너트에 걸림으로써 상기 하부 구조물의 하강 범위를 한정할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the elevating member may further include a fixing block fixed to the upper portion of the screw shaft, the fixing block may limit the falling range of the lower structure by engaging the nut.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 승강 부재는 상기 상부 구조물의 상부면에 상기 스크류축의 중심을 향하도록 배치되는 다수의 볼 플런저들을 더 포함하며, 상기 볼 플런저들이 상기 고정 블록을 둘레를 따라 형성된 홈에 걸림으로써 상기 하부 구조물의 상승 범위를 한정할 수 있다. According to one embodiment of the invention, the elevating member further comprises a plurality of ball plungers disposed on the upper surface of the upper structure to face the center of the screw shaft, wherein the ball plungers along the fixing block around By engaging the formed groove can limit the rising range of the lower structure.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 승강 부재는, 상기 상부 구조물에 구비되며 로드의 단부가 상기 하부 구조물에 고정되는 실린더일 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the elevating member may be a cylinder provided in the upper structure and the end of the rod is fixed to the lower structure.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 버퍼 장치는, 상기 하부 구조물에 고정되며 상기 상부 구조물을 관통하여 구비되는 가이드 봉들 및 상기 상부 구조물에 구비되며, 상기 하부 구조물의 승강시 상기 하부 구조물이 수평 방향으로 흔들리는 것을 방지하기 위해 상기 가이드 봉들을 수용하여 지지하는 부싱들을 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the buffer device is provided in the guide rods and the upper structure is fixed to the lower structure and provided through the upper structure, the lower structure when the lower structure of the lower structure is horizontal It may further include a bushing for receiving and supporting the guide rods to prevent shaking in the direction.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 상부 구조물의 양 측면에 제1 플레이트들이 각각 구비되고, 상기 하부 구조물의 양 측면에 제2 플레이트들이 각각 구비되며, 상기 하부 구조물의 승강을 가이드하기 위해 상기 제1 플레이트들과 상기 제2 플레이트들 사이에는 상하 방향으로 연장하는 가이드 레일들 및 상기 가이드 레일들을 따라 승강하는 이동 블록들이 각각 구비될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, first plates are respectively provided on both sides of the upper structure, and second plates are provided on both sides of the lower structure, respectively, to guide the lifting of the lower structure. Guide rails extending in the vertical direction and moving blocks that move up and down along the guide rails may be provided between the first plates and the second plates, respectively.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 버퍼 장치는, 상기 제2 플레이트들 각각에 상하 방향을 따라 구비되는 한 쌍의 가이드 바들 및 상기 제1 플레이트들 각각에 구비되며, 상기 하부 구조물이 승강할 때 상기 하부 구조물이 수평 방향으로 흔들리는 것을 방지하기 위해 상기 가이드 바들의 측면과 접촉하여 지지하는 롤러들을 더 포함할 수 있다.According to one embodiment of the invention, the buffer device is provided on each of the pair of guide bars and the first plate provided in each of the second plate in the vertical direction, the lower structure is to be elevated The lower structure may further include rollers that come into contact with and support the sides of the guide bars to prevent the lower structure from shaking in the horizontal direction.

본 발명에 따른 상기 버퍼 장치는 상기 승강 유닛을 이용하여 상기 상부 구조물에 대해 상기 하부 구조물을 신속하게 승강시킬 수 있다. 상기 버퍼 장치가 반입되는 반도체 공정 장치와 간섭하는 경우, 상기 버퍼 장치의 높이를 조절하여 상기 간섭을 신속하게 해소할 수 있다. The buffer device according to the present invention can quickly elevate the lower structure with respect to the upper structure using the lifting unit. When the buffer device interferes with the semiconductor processing apparatus to be loaded, the interference may be promptly eliminated by adjusting the height of the buffer device.

또한 상기 버퍼 장치는 상기 승강 유닛으로 볼 스크류나 실린더를 사용하므로, 상기 버퍼 장치의 설치 비용 및 유지 비용을 줄일 수 있다. In addition, the buffer device uses a ball screw or a cylinder as the lifting unit, it is possible to reduce the installation cost and maintenance cost of the buffer device.

그리고, 상기 버퍼 장치는 상기 가이드 봉들과 상기 부싱들, 상기 가이드 레일들과 상기 이동 블록들, 상기 가이드 바들과 상기 롤러들을 이용하여 상기 하부 구조물의 승강을 가이드하고 상기 하부 구조물의 수평 방향 흔들림을 최소화할 수 있다. 따라서, 상기 하부 구조물을 안정적으로 승강시킬 수 있다.The buffer device guides the lifting and lowering of the lower structure by using the guide rods and the bushings, the guide rails and the moving blocks, the guide bars and the rollers, and minimizes horizontal shaking of the lower structure. can do. Therefore, the lower structure can be raised and lowered stably.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 장치를 설명하기 위한 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 버퍼 장치에서 하부 구조물이 상승한 상태를 설명하기 위한 정면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 C 영역을 확대한 확대도이다.
도 4는 도 1에 도시된 A-A'선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 B-B'선을 기준으로 절단한 단면도이다. 1 is a front view illustrating a buffer device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a front view illustrating a state in which the lower structure is raised in the buffer device shown in FIG. 1.
FIG. 3 is an enlarged view illustrating region C shown in FIG. 2.
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 1.
FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line BB ′ shown in FIG. 1.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the present invention. As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown in an enlarged scale than actual for clarity of the invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 장치를 설명하기 위한 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 버퍼 장치에서 하부 구조물이 상승한 상태를 설명하기 위한 정면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 C 영역을 확대한 확대도이고, 도 4는 도 1에 도시된 A-A'선을 기준으로 절단한 단면도이고, 도 5는 도 1에 도시된 B-B'선을 기준으로 절단한 단면도이다. FIG. 1 is a front view illustrating a buffer device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view illustrating a state in which a lower structure is raised in the buffer device shown in FIG. 1, and FIG. 3 is shown in FIG. 2. 4 is an enlarged view illustrating the enlarged region C, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 1, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line B-B ′ of FIG. 1. to be.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 상기 버퍼 장치(100)는 비히클이 주행하는 주행 레일과 인접하도록 천장에 구비되며, 상기 비히클이 이송하는 캐리어(10)를 임시로 적재한다. 상기 캐리어(10)는 FOUP, FOSB, 매거진 등일 수 있다. 1 to 5, the buffer device 100 is provided on the ceiling to be adjacent to a traveling rail on which the vehicle travels, and temporarily loads a carrier 10 transported by the vehicle. The carrier 10 may be a FOUP, a FOSB, a magazine, or the like.

상기 버퍼 장치(100)는 상부 구조물(110), 하부 구조물(120), 승강 유닛(130)을 포함한다. The buffer device 100 includes an upper structure 110, a lower structure 120, and a lifting unit 130.

상기 상부 구조물(110)은 상기 천장에 고정된다. 예를 들면, 상기 천장에 몰드바(20)가 구비되며, 고정 부재(30)들이 상기 상부 구조물(110)을 상기 몰드바(20)에 고정한다. 상기 몰드바(20)는 서로 나란한 형태 또는 격자 형태를 가질 수 있다. 상기 고정 부재(30)들의 예로는 전산 볼트, 턴 버클 등을 들 수 있다. 상기 고정 부재(30)들은 상기 천장에 직접 고정될 수도 있다. The upper structure 110 is fixed to the ceiling. For example, a mold bar 20 is provided on the ceiling, and fixing members 30 fix the upper structure 110 to the mold bar 20. The mold bar 20 may have a form parallel or parallel to each other. Examples of the fixing member 30 may be a computer bolt, a turn buckle and the like. The fixing members 30 may be directly fixed to the ceiling.

상기 상부 구조물(110)은 제1 수평 부재(112), 수직 부재(114), 지지부재(116), 제1 플레이트(118)를 포함한다. The upper structure 110 may include a first horizontal member 112, a vertical member 114, a support member 116, and a first plate 118.

상기 제1 수평 부재(112)는 대략 사각 프레임 형태를 가지며, 상기 고정 부재(130)들에 고정된다. 상기 수직 부재(114)들은 바 형태를 가지며, 상기 제1 수평 부재(112)의 양단에 하방을 향하도록 각각 한 쌍씩 구비된다. 상기 지지부재(116)는 상기 제1 수평 부재(112)의 하부면 중앙 부위에 구비되며, 상기 승강 유닛(130)을 지지할 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제1 플레이트(118)는 상기 수직 부재(114)들 사이에 구비된다. The first horizontal member 112 has a substantially rectangular frame shape and is fixed to the fixing members 130. The vertical members 114 have a bar shape, and are provided in pairs at both ends of the first horizontal member 112 to face downward. The support member 116 may be provided at a central portion of the lower surface of the first horizontal member 112 and may support the lifting unit 130. As shown in FIG. 5, the first plate 118 is provided between the vertical members 114.

상기 하부 구조물(120)은 제2 수평 부재(122), 제2 플레이트(128)를 포함한다. The lower structure 120 includes a second horizontal member 122 and a second plate 128.

상기 제2 수평 부재(122)는 대략 평판 형태를 가지며, 상기 캐리어(10)들이 적재되는 다수의 슬롯들(미도시)을 갖는다. 상기 슬롯들은 상기 비히클이 주행하는 방향을 따라 배열될 수 있다. The second horizontal member 122 has a substantially flat plate shape and has a plurality of slots (not shown) in which the carriers 10 are loaded. The slots may be arranged along the direction in which the vehicle travels.

상기 제2 수평 부재(122)에는 다수의 가이드(124)들이 구비된다. 상기 가이드(124)들은 상기 제2 수평 부재(122)에 안착되는 상기 캐리어(10)를 가이드한다. 따라서, 상기 캐리어(10)가 상기 제2 수평 부재(122)의 기준 위치에 정확하게 안착되도록 한다. The second horizontal member 122 is provided with a plurality of guides 124. The guides 124 guide the carrier 10 seated on the second horizontal member 122. Thus, the carrier 10 is accurately seated at the reference position of the second horizontal member 122.

하나의 캐리어(10)를 가이드하기 위해 네 개의 가이드(124)들이 필요하다. 즉, 네 개의 가이드(124)들이 상기 캐리어(10)가 적재되는 하나의 상기 슬롯을 형성할 수 있다. Four guides 124 are needed to guide one carrier 10. That is, four guides 124 may form one slot in which the carrier 10 is loaded.

또한, 상기 제2 수평 부재(122)에는 반사판(126)이 구비된다. 상기 반사판(126)은 상기 가이드(124)들의 후단에 구비되며, 상기 비히클과 마주 보도록 배치된다. 상기 반사판(126)은 상기 비히클에 구비된 광센서(미도시)에서 조사된 광을 반사한다. 상기 광 센서는 상기 반사판(126)으로부터 반사된 광을 수신하여 상기 수평 부재(122)에 상기 캐리어(10)가 적재되었는지 여부를 확인할 수 있다. In addition, the second horizontal member 122 is provided with a reflecting plate 126. The reflective plate 126 is provided at the rear ends of the guides 124 and is disposed to face the vehicle. The reflector 126 reflects light emitted from an optical sensor (not shown) provided in the vehicle. The optical sensor may receive light reflected from the reflective plate 126 to determine whether the carrier 10 is loaded on the horizontal member 122.

상기 제2 플레이트(128)는 상기 제2 수평 부재(122)의 양단에 각각 구비된다. 상기 제2 플레이트(128)는 상기 제2 수평 부재(122)와 수직하며, 상기 제2 수평 부재(122)의 상방으로 돌출된다. 이때, 상기 제2 플레이트(128)는 상기 제1 플레이트(118)와 서로 평행하며 서로 약간 이격될 수 있다. The second plate 128 is provided at both ends of the second horizontal member 122, respectively. The second plate 128 is perpendicular to the second horizontal member 122 and protrudes above the second horizontal member 122. In this case, the second plate 128 may be parallel to each other and slightly spaced apart from the first plate 118.

상기 승강 유닛(130)은 상기 상부 구조물(110)과 상기 하부 구조물(120)을 연결한다. 또한, 상기 승강 유닛(130)은 상기 상부 구조물(110)에 대해 상기 하부 구조물(120)을 승강시킨다. The elevating unit 130 connects the upper structure 110 and the lower structure 120. In addition, the elevating unit 130 elevates the lower structure 120 with respect to the upper structure 110.

구체적으로, 상기 승강 유닛(130)은 상기 상부 구조물(110)에 고정되는 너트(132) 및 상기 하부 구조물(120)에 회전 가능하도록 고정되며 상기 너트(132)와 체결되어 상기 너트(132)에 대해 회전하는 스크류축(134)을 포함하는 볼 스크류일 수 있다 .In detail, the elevating unit 130 is rotatably fixed to the nut 132 and the lower structure 120 fixed to the upper structure 110 and fastened to the nut 132 to the nut 132. It may be a ball screw including a screw shaft 134 rotating about.

상기 너트(132)는 상기 지지부재(116)에 고정될 수 있다. 상기 스크류축(134)은 상기 제2 수평 부재(122)에 회전 가능하도록 고정된다. The nut 132 may be fixed to the support member 116. The screw shaft 134 is fixed to the second horizontal member 122 to be rotatable.

상기 스크류축(134)을 회전시키면 상기 너트(132)에 대해 상기 스크류축(134)이 승강할 수 있다 .따라서, 상기 상부 구조물(110)에 대해 상기 하부 구조물(120)을 승강시킬 수 있다. When the screw shaft 134 is rotated, the screw shaft 134 may be elevated with respect to the nut 132. Accordingly, the lower structure 120 may be elevated with respect to the upper structure 110.

상기 스크류축(134)의 하단부에는 고리부(135)가 구비될 수 있다. 작업자가 상기 스크류축(134)을 수작업으로 회전시킬 때, 폴 샤프트를 상기 고리부(135)에 걸어 이용할 수 있다. The lower end of the screw shaft 134 may be provided with a ring portion 135. When the worker manually rotates the screw shaft 134, the pawl shaft may be hooked to the hook portion 135 to be used.

한편, 상기 스크류축(134)은 모터(미도시)를 이용하여 회전시킬 수도 있다 .On the other hand, the screw shaft 134 may be rotated by using a motor (not shown).

상기 승강 유닛(130)은 상기 스크류축(134)의 상단 부위에 고정되는 고정 블록(136)을 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 고정 블록(136)은 상기 너트(132)보다 상방에 위치한다. 상기 스크류축(134)의 회전에 따라 상기 하부 구조물(120)이 하강하면 상기 고정 블록(136)이 상기 너트(132)에 걸린다. 상기 고정 블록(136)이 상기 너트(132)에 걸리면, 상기 스크류축(134)이 더 이상 회전하지 못하므로, 상기 하부 구조물(120)이 더 이상 하강하지 못한다. 따라서, 상기 고정 블록(136)과 상기 너트(132)를 이용하여 상기 하부 구조물(120)의 하강 범위를 한정할 수 있다. The lifting unit 130 may further include a fixing block 136 fixed to an upper portion of the screw shaft 134. At this time, the fixing block 136 is located above the nut 132. When the lower structure 120 is lowered as the screw shaft 134 rotates, the fixing block 136 is caught by the nut 132. When the fixing block 136 is caught by the nut 132, the screw shaft 134 is no longer rotated, the lower structure 120 is no longer lowered. Therefore, the lowering range of the lower structure 120 may be defined using the fixing block 136 and the nut 132.

상기 승강 유닛(130)은 상기 상부 구조물(110)의 상부면에 상기 스크류축(134)의 중심축을 향하도록 배치되는 다수의 볼 플런저들(138)을 더 포함한다. 상기 고정 블록(136)은 둘레를 따라 홈(137)이 형성된다. The elevating unit 130 further includes a plurality of ball plungers 138 disposed on the upper surface of the upper structure 110 so as to face the central axis of the screw shaft 134. The fixing block 136 is formed with a groove 137 along the circumference.

상기 스크류축(134)의 회전에 따라 상기 하부 구조물(120)이 상승하면 상기 볼 플런저들(138)이 상기 고정 블록(136)의 홈(137)에 삽입된다. 상기 볼 플런저들(138)이 상기 고정 블록(136)을 고정하므로, 상기 스크류축(134)이 더 이상 회전하지 못한다. 따라서, 상기 하부 구조물(120)이 더 이상 상승하지 못한다. 그러므로, 상기 고정 블록(136)의 홈(137)과 상기 볼 플런저들(138)을 이용하여 상기 하부 구조물(120)의 상승 범위를 한정할 수 있다. When the lower structure 120 rises as the screw shaft 134 rotates, the ball plungers 138 are inserted into the grooves 137 of the fixing block 136. Since the ball plungers 138 hold the fixing block 136, the screw shaft 134 can no longer rotate. Thus, the lower structure 120 can no longer rise. Therefore, the groove 137 of the fixing block 136 and the ball plungers 138 may be used to define the rising range of the lower structure 120.

상기 하부 구조물(120)은 일정한 범위에서 상승 및 하강이 이루어진다. 따라서, 상기 하부 구조물(120)이 과도하게 상승 및 하강하는 것을 방지할 수 있다. The lower structure 120 is raised and lowered in a certain range. Therefore, the lower structure 120 can be prevented from excessively rising and falling.

한편, 도시되지는 않았지만, 상기 승강 유닛(130)은 실린더일 수 있다. On the other hand, although not shown, the lifting unit 130 may be a cylinder.

구체적으로, 상기 실린더는 상기 상부 구조물(110)에 구비되며 상기 실린더에서 로드의 단부가 상기 하부 구조물(120)에 고정될 수 있다. 상기 실린더는 상기 하부 구조물(120)에 구비되며 상기 실린더에서 로드의 단부가 상기 상부 구조물(110)에 고정될 수도 있다. Specifically, the cylinder is provided in the upper structure 110, the end of the rod in the cylinder may be fixed to the lower structure 120. The cylinder may be provided in the lower structure 120, and an end of the rod in the cylinder may be fixed to the upper structure 110.

상기 실린더의 예로는 공압 실린더, 유압 실린더 등을 들 수 있다. Examples of the cylinders include pneumatic cylinders and hydraulic cylinders.

상기 승강 유닛(130)은 상기 상부 구조물(110) 및 상기 하부 구조물(120)의 중앙 부위에 하나 구비되는 것으로 설명되었지만, 상기 상부 구조물(110) 및 상기 하부 구조물(120)의 양단에 각각 구비될 수도 있다. The elevating unit 130 has been described as being provided with one at the central portion of the upper structure 110 and the lower structure 120, but will be provided at both ends of the upper structure 110 and the lower structure 120, respectively. It may be.

상기 버퍼 장치(100)는 가이드 봉들(140) 및 부싱들(142)을 더 포함할 수 있다. The buffer device 100 may further include guide rods 140 and bushings 142.

상기 가이드 봉들(140)은 하단부가 상기 하부 구조물(120)의 상기 제2 수평 부재(122)에 고정된다. 또한, 상기 가이드 봉들(140)은 상기 상부 구조물(110)의 상기 지지부재(116)를 관통하여 구비된다. 이때, 상기 가이드 봉들(140)은 상기 스크류축(134)의 전후 방향 양측에 배치될 수 있다.The lower end of the guide rods 140 is fixed to the second horizontal member 122 of the lower structure 120. In addition, the guide rods 140 are provided through the support member 116 of the upper structure 110. In this case, the guide rods 140 may be disposed on both sides of the front and rear directions of the screw shaft 134.

상기 부싱들(142)은 상기 상부 구조물(110)의 상기 지지부재(116)에 고정된다. 이때, 상기 부싱들(142)은 상기 너트(132)의 전후 방향 양측에 배치될 수 있다. 상기 부싱들(142)은 상기 가이드 봉들(140)을 수용하여 지지한다. The bushings 142 are fixed to the support member 116 of the upper structure 110. In this case, the bushings 142 may be disposed at both sides of the front and rear directions of the nut 132. The bushings 142 accommodate and support the guide rods 140.

따라서, 상기 하부 구조물(120)의 승강시 상기 하부 구조물(120)이 수평 방향으로 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 상기 하부 구조물(120)이 안정적으로 승하강할 수 있다. Therefore, when the lower structure 120 is elevated, the lower structure 120 may be prevented from shaking in the horizontal direction. Therefore, the lower structure 120 can be raised and lowered stably.

상기 버퍼 장치(100)는 가이드 레일(150)들 및 이동 블록(152)들을 더 포함할 수 있다. 상기 가이드 레일(150)들 및 상기 이동 블록(152)들은 서로 인접하는 상기 제1 플레이트(118)들 및 상기 제2 플레이트(128)들 사이에 각각 구비된다. The buffer device 100 may further include guide rails 150 and moving blocks 152. The guide rails 150 and the moving blocks 152 are provided between the first plates 118 and the second plates 128 adjacent to each other.

구체적으로, 상기 가이드 레일(150)들은 상기 제1 플레이트(118)들에서 상기 제2 플레이트(128)들과 마주보는 면에 각각 고정되며, 상기 상하 방향을 따라 배치된다. Specifically, the guide rails 150 are fixed to surfaces facing the second plates 128 in the first plates 118, respectively, and are disposed along the vertical direction.

상기 이동 블록(152)들은 상기 제2 플레이트(128)들에서 상기 제1 플레이트(118)들과 마주보는 면에 각각 고정되며, 상기 가이드 레일(150)들을 따라 상기 상하 방향으로 이동가능하도록 구비된다. 따라서, 상기 이동 블록(152)들은 상기 가이드 레일(150)들을 따라 상기 상하 방향으로 이동할 수 있다. The moving blocks 152 are fixed to surfaces facing the first plates 118 in the second plates 128, and are provided to be movable in the vertical direction along the guide rails 150. . Therefore, the moving blocks 152 may move in the vertical direction along the guide rails 150.

예를 들면, 상기 가이드 레일(150) 및 상기 이동 블록(152)은 LM 가이드일 수 있다. For example, the guide rail 150 and the moving block 152 may be an LM guide.

한편, 상기 가이드 레일(150)들이 상기 제2 플레이트(128)들에 고정되고, 상기 이동 블록(152)들이 상기 제1 플레이트(118)들에 고정될 수도 있다. The guide rails 150 may be fixed to the second plates 128, and the moving blocks 152 may be fixed to the first plates 118.

상기 하부 구조물(120)의 승강시 상기 하부 구조물(120)이 상기 가이드 레일(150)들 및 상기 이동 블록(152)들에 의해 가이드되므로, 상기 하부 구조물(120)이 보다 안정적으로 승하강할 수 있다. Since the lower structure 120 is guided by the guide rails 150 and the moving blocks 152 when the lower structure 120 is elevated, the lower structure 120 may be more stably raised and lowered. .

상기 버퍼 장치(100)는 가이드 바(160)들 및 롤러(162)들을 더 포함할 수 있다. 상기 가이드 바(160)들 및 상기 롤러(162)들도 서로 인접하는 상기 제1 플레이트(118)들 및 상기 제2 플레이트(128)들 사이에 각각 구비된다. The buffer device 100 may further include guide bars 160 and rollers 162. The guide bars 160 and the rollers 162 are also provided between the first plates 118 and the second plates 128 adjacent to each other.

구체적으로, 상기 가이드 바(160)들은 상기 제2 플레이트(128)들에서 상기 제1 플레이트(118)들과 마주보는 면에 각각 고정되며, 상기 상하 방향을 따라 배치된다. 이때, 상기 가이드 바(160)들은 상기 이동 블록(152)의 상기 전후 방향 양측에 각각 배치될 수 있다. In detail, the guide bars 160 are fixed to the surfaces of the second plates 128 that face the first plates 118 and are disposed along the vertical direction. In this case, the guide bars 160 may be disposed on both sides of the front and rear directions of the moving block 152.

상기 롤러(162)들은 상기 제1 플레이트(118)들에서 상기 제2 플레이트(128)들과 마주보는 면에 각각 고정된다. 상기 롤러(162)들도 상기 가이드 레일(150)의 상기 전후 방향 양측에 각각 배치될 수 있다. The rollers 162 are fixed to surfaces facing the second plates 128 in the first plates 118, respectively. The rollers 162 may also be disposed on both sides of the front and rear directions of the guide rail 150, respectively.

상기 하부 구조물(120)이 승강할 때 상기 롤러(162)들은 상기 가이드 바(160)들과 각각 접촉하여 지지한다. When the lower structure 120 is elevated, the rollers 162 contact and support the guide bars 160, respectively.

예를 들면, 상기 롤러(162)들은 상기 가이드 바(162)들의 일측면과 각각 접촉할 수 있다. 상기 가이드 바(160)들은 상기 이동 블록(152)의 상기 전후 방향 양측에 각각 배치되고, 상기 롤러(162)들도 상기 가이드 레일(150)의 상기 전후 방향 양측에 각각 배치되는 경우, 상기 롤러(162)들이 상기 가이드 바(160)들과 접촉하는 부위가 상기 가이드 레일(150)이나 상기 이동 블록(152)을 기준으로 대칭될 수 있다. For example, the rollers 162 may be in contact with one side of the guide bar 162, respectively. The guide bars 160 are disposed at both sides of the front and rear directions of the moving block 152, and the rollers 162 are also disposed at both sides of the front and rear directions of the guide rail 150, respectively. An area where the 162 contacts the guide bars 160 may be symmetrical with respect to the guide rail 150 or the moving block 152.

다른 예로, 도시되지는 않았지만 상기 롤러(162)들이 상기 가이드 바(162)들의 세 측면과 동시에 접촉할 수도 있다.As another example, although not shown, the rollers 162 may contact the three sides of the guide bars 162 simultaneously.

한편, 상기 가이드 바(160)들이 상기 제1 플레이트(118)들에 고정되고, 상기 롤러(162)들이 상기 제2 플레이트(128)들에 고정될 수도 있다. The guide bars 160 may be fixed to the first plates 118, and the rollers 162 may be fixed to the second plates 128.

상기 롤러(162)들이 상기 가이드 바(160)들을 지지하므로, 상기 하부 구조물(120)의 승강시 상기 하부 구조물(120)이 수평 방향으로 흔들리는 것을 추가로 방지할 수 있다. 그러므로, 상기 하부 구조물(120)이 더욱 안정적으로 승하강할 수 있다. Since the rollers 162 support the guide bars 160, the lower structure 120 may further be prevented from shaking in the horizontal direction when the lower structure 120 is elevated. Therefore, the lower structure 120 can be raised and lowered more stably.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 버퍼 장치는 상부 구조물에 대해 하부 구조물을 신속하게 승강시킬 수 있다. 상기 버퍼 장치가 반입되는 반도체 공정 장치와 간섭하는 경우, 상기 버퍼 장치의 높이를 조절하여 상기 간섭을 신속하게 해소할 수 있다. As described above, the buffer device according to the present invention can quickly raise and lower the lower structure relative to the upper structure. When the buffer device interferes with the semiconductor processing apparatus to be loaded, the interference may be promptly eliminated by adjusting the height of the buffer device.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.

100 : 버퍼 장치 110 : 상부 구조물
120 : 하부 구조물 130 : 승강 유닛
10 : 캐리어 20 : 몰드바
30 : 고정 부재100: buffer device 110: upper structure
120: lower structure 130: lifting unit
10 carrier 20 mold bar
30: fixed member

Claims (8)

비히클이 주행하는 주행 레일과 인접하도록 천장에 구비되며, 상기 비히클이 이송하는 캐리어를 임시로 적재하는 버퍼 장치에 있어서,
상기 버퍼 장치는,
상기 천장에 고정되는 상부 구조물;
상기 캐리어가 적재되는 슬롯들이 구비되는 하부 구조물; 및
상기 상부 구조물과 상기 하부 구조물을 연결하며, 상기 상부 구조물에 대해 상기 하부 구조물을 승강시키는 승강 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 버퍼 장치. In the buffer device is provided on the ceiling so as to be adjacent to the traveling rail running vehicle, the buffer device for temporarily loading the carrier transported by the vehicle,
The buffer device,
An upper structure fixed to the ceiling;
A lower structure provided with slots on which the carrier is loaded; And
And an elevating member connecting the upper structure and the lower structure and elevating the lower structure with respect to the upper structure. 제1항에 있어서, 상기 승강 부재는,
상기 상부 구조물에 고정되는 너트 및 상기 하부 구조물에 회전 가능하도록 고정되며 상기 너트와 체결되며 상기 상부 구조물에 대해 상기 하부 구조물을 승강시키기 위해 상기 너트에 대해 회전하는 스크류축을 포함하는 볼 스크류인 것을 특징으로 하는 버퍼 장치. The method of claim 1, wherein the lifting member,
A ball screw including a nut fixed to the upper structure and a screw shaft fixed to the lower structure to be rotatably coupled to the nut and rotating relative to the nut to elevate the lower structure with respect to the upper structure. Buffer device. 제2항에 있어서, 상기 승강 부재는 상기 스크류축의 상단 부위에 고정되는 고정 블록을 더 포함하고,
상기 고정 블록이 상기 너트에 걸림으로써 상기 하부 구조물의 하강 범위를 한정하는 것을 특징으로 하는 버퍼 장치. The method of claim 2, wherein the lifting member further comprises a fixing block fixed to the upper portion of the screw shaft,
The fixing device is a buffer device, characterized in that for limiting the falling range of the lower structure by engaging the nut. 제3항에 있어서, 상기 승강 부재는 상기 상부 구조물의 상부면에 상기 스크류축의 중심을 향하도록 배치되는 다수의 볼 플런저들을 더 포함하며,
상기 볼 플런저들이 상기 고정 블록을 둘레를 따라 형성된 홈에 걸림으로써 상기 하부 구조물의 상승 범위를 한정하는 것을 특징으로 하는 버퍼 장치. The method of claim 3, wherein the elevating member further comprises a plurality of ball plungers disposed on the upper surface of the upper structure to face the center of the screw shaft,
And the ball plungers limit the rising range of the substructure by engaging the fixing block in a groove formed along the circumference. 제1항에 있어서, 상기 승강 부재는, 상기 상부 구조물에 구비되며 로드의 단부가 상기 하부 구조물에 고정되는 실린더인 것을 특징으로 하는 버퍼 장치. The buffer device according to claim 1, wherein the elevating member is a cylinder provided in the upper structure and an end of the rod is fixed to the lower structure. 제1항에 있어서, 상기 하부 구조물에 고정되며 상기 상부 구조물을 관통하여 구비되는 가이드 봉들; 및
상기 상부 구조물에 구비되며, 상기 하부 구조물의 승강시 상기 하부 구조물이 수평 방향으로 흔들리는 것을 방지하기 위해 상기 가이드 봉들을 수용하여 지지하는 부싱들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 버퍼 장치. According to claim 1, Guide rods fixed to the lower structure and provided through the upper structure; And
And a bushing provided in the upper structure and accommodating and supporting the guide rods to prevent the lower structure from shaking in the horizontal direction when the lower structure is lifted. 제1항에 있어서, 상기 상부 구조물의 양 측면에 제1 플레이트들이 각각 구비되고, 상기 하부 구조물의 양 측면에 제2 플레이트들이 각각 구비되며,
상기 하부 구조물의 승강을 가이드하기 위해 상기 제1 플레이트들과 상기 제2 플레이트들 사이에는 상하 방향으로 연장하는 가이드 레일들 및 상기 가이드 레일들을 따라 승강하는 이동 블록들이 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 버퍼 장치. According to claim 1, The first plate is provided on both sides of the upper structure, respectively, The second plate is provided on both sides of the lower structure,
Buffer device, characterized in that provided between the first plate and the second plate to guide the lifting of the lower structure, guide rails extending in the vertical direction and moving blocks to move up and down along the guide rails, respectively . 제7항에 있어서, 상기 제2 플레이트들 각각에 상하 방향을 따라 구비되는 한 쌍의 가이드 바들; 및
상기 제1 플레이트들 각각에 구비되며, 상기 하부 구조물이 승강할 때 상기 하부 구조물이 수평 방향으로 흔들리는 것을 방지하기 위해 상기 가이드 바들의 측면과 접촉하여 지지하는 롤러들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 버퍼 장치. According to claim 7, A pair of guide bars provided in each of the second plate in the vertical direction; And
And a roller provided on each of the first plates, the roller supporting the side surfaces of the guide bars to prevent the lower structure from shaking in the horizontal direction when the lower structure moves up and down. .
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