KR100839503B1 - Inline Buffer Apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 일시보관 작업의 효율이 좋고, 콤팩트하고 저가의 인라인 버퍼장치를 제공한다. 컨베이어 장치(11)의 반송경로 상에 배설되고 상기 반송경로에 그 아래쪽에서 밀어 올려 피검사 기판(12)을 위쪽으로 들어올려서 일시적으로 보관하는 일시보관기구(22)와, 상기 일시보관기구(22)를 상하로 승강시키는 승강기구(23)와, 피검사 기판(12)을 일시보관기구(22)에 장착시키는 위치결정기구(24)를 갖춘다. 일시보관기구(22)는, 컨베이어 장치(11)의 반송경로에 그 아래쪽으로부터 상승하여 밀어 올리는 지주(27)와, 상기 지주(27)에 복수개 설치되고 상기 지주의 상승에 의해 상기 반송물을 지지하여 들어올리는 기판 리시버(receiver)(28)와, 피검사 기판(12)의 위치 결정을 하는 스토퍼(30)로 구성되어 있다. 위치결정기구(24)에는 피검사 기판(12)의 위치를 검지하는 센서(45)를 구비하고, 일시보관기구(22)에는 그 폭을 피검사 기판(12)의 폭에 맞추어 조정하는 폭 조정부(29)를 갖춘다.
인라인 버퍼장치, 피검사 기판, 승강기구, 일시보관기구, 위치결정기구, 컨베이어 장치
The present invention provides a compact and inexpensive inline buffer device having high efficiency of temporary storage operations. A temporary storage mechanism 22 disposed on the conveying path of the conveyor apparatus 11 and being pushed from the lower portion thereof to the conveying path to temporarily lift the inspected substrate 12 upwards, and temporarily storing the temporary holding mechanism 22; ) Is provided with an elevating mechanism 23 for raising and lowering the upper and lower sides thereof, and a positioning mechanism 24 for attaching the substrate 12 under test to the temporary storage mechanism 22. The temporary storage mechanism 22 is provided with a plurality of props 27 which are lifted and pushed up from the bottom of the conveying path of the conveyor apparatus 11, and a plurality of props which are supported on the conveyed material by the rise of the props. It comprises a board | substrate receiver 28 which lifts, and the stopper 30 which positions the board | substrate 12 to be tested. The positioning mechanism 24 is provided with a sensor 45 for detecting the position of the inspected substrate 12, and the temporary storage mechanism 22 has a width adjusting portion for adjusting the width thereof to match the width of the inspected substrate 12. Equipped with 29.
In-line buffer device, board to be tested, lifting device, temporary storage device, positioning device, conveyor device
Description
도1은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 컨베이어 장치에 조립한 상태를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a state in which an inline buffer device according to an embodiment of the present invention is assembled to a conveyor device.
도2는 종래의 버퍼장치, 컨베이어 장치 및 검사장치의 전체 구성을 나타내는 개략 평면도이다.Fig. 2 is a schematic plan view showing the overall configuration of a conventional buffer device, conveyor device and inspection device.
도3은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치, 컨베이어 장치 및 검사장치의 전체 구성을 나타내는 개략 평면도이다.3 is a schematic plan view showing the overall configuration of an inline buffer device, a conveyor device, and an inspection device according to an embodiment of the present invention.
도4는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 나타내는 정면도이다.4 is a front view showing an inline buffer device according to an embodiment of the present invention.
도5는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 나타내는 좌측면도이다.5 is a left side view of the inline buffer device according to the embodiment of the present invention.
도6은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 나타내는 평면도이다.Fig. 6 is a plan view showing an inline buffer device according to an embodiment of the present invention.
도7은 본 발명의 실시형태에 따른 패널 크램프의 동작을 나타내는 평면도이다.7 is a plan view showing the operation of the panel clamp according to the embodiment of the present invention.
도8은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 컨베이어 장치에 조립한 상태를 나타내는 정면도이다.Fig. 8 is a front view showing a state in which the inline buffer device according to the embodiment of the present invention is assembled to the conveyor device.
도9는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 컨베이어 장치에 조립 한 상태를 나타내는 평면도이다.9 is a plan view showing a state in which the inline buffer device according to the embodiment of the present invention is assembled to a conveyor device.
* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *Description of the main symbols in the drawings
1: 컨베이어 2: 버퍼장치1: conveyor 2: buffer
3: 검사장치 4, 5: 이동기구3: inspection device 4, 5: moving mechanism
11: 컨베이어 장치 12: 피검사 기판11: conveyor apparatus 12: test target substrate
13: 검사장치 14: 이동장치13: inspection device 14: moving device
15: 인라인 버퍼장치 17: 반송 롤러15: inline buffer device 17: conveying roller
18: 구동축 22: 일시보관기구18: drive shaft 22: temporary storage mechanism
23: 승강기구 24: 위치결정기구23: lifting mechanism 24: positioning mechanism
27: 지주 28: 기판 리시버(receiver)27: prop 28: substrate receiver
29: 폭 조정부 30: 스토퍼29: width adjustment part 30: stopper
32, 43: 가이드 33, 44: 레일32, 43:
35: 승강판 36: 가이드 봉35: lifting plate 36: guide rod
37: 구동 봉 38: 베이스 판37: driving rod 38: base plate
39: 구동 모터 40: 프레임39: drive motor 40: frame
41: 패널 클램프 42: 실린더41: panel clamp 42: cylinder
45: 센서45: sensor
발명의 분야Field of invention
본 발명은 반송물이 밀릴 때에 그 반송물을 일시적으로 보관하는 인라인 버퍼장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inline buffer device for temporarily storing a conveyed article when the conveyed article is pushed.
발명의 배경Background of the Invention
컨베이어 반송설비에 있어서 버퍼장치는 일반적으로 알려져 있다. 이 버퍼장치의 개략을 도2에 나타내었다. 도면 중의 1은 컨베이어이다. 상기 컨베이어(1)의 일측에 버퍼장치(2)와 검사장치(3)가 설치되어 있다. 이들 컨베이어(1)와 버퍼장치(2)와의 사이 및 컨베이어(1)와 검사장치(3)와의 사이에는 이동기구(4, 5)가 설치되어, 피검사판을 적절히 옮겨 바꾼다.Buffer devices are generally known in conveyor conveying equipment. An outline of this buffer device is shown in FIG. 1 in the figure is a conveyor. A
이 구성에 의해, 컨베이어(1)로 피검사판이 반송되고, 이동기구(5)에 의해 검사장치(3)로 옮겨져 검사된다. 검사가 끝나면, 다시 컨베이어(1)로 되돌아가 반송된다.By this structure, a test plate is conveyed to the
이 때, 검사장치(3)에서 장애가 발생하는 등에 의해 검사가 밀린 때는, 컨베이어(1)로 반송되어 오는 피검사판을 이동기구(4)에 의해 버퍼장치(2)로 옮겨 일시적으로 보관한다.At this time, when the inspection is pushed due to the occurrence of an obstacle in the
상기 버퍼장치(2)로는, 여러 종류가 있다. 예를 들어, 일본 특개평11-322024호 공보와 같이, 버퍼장치(2)를 컨베이어(1)의 옆에 쌓아올리는 것이 있다.There are various types of the
그러나 이와 같이 컨베이어(1)의 옆에 버퍼장치(2)를 배설하면, 버퍼장치(2)를 위한 스페이스가 필요하다. 게다가 컨베이어(1)와 버퍼장치(2)와의 사이에서 피검사판을 이동시킬 이동기구(4)를 설치할 필요도 있다. 이동기구(4)를 위한 스페이스도 필요하다.However, if the
이 때문에 장치가 대규모의 것이 되어 커진다.As a result, the apparatus becomes large and large.
또 이동기구(4)가 필요하기 때문에 제조비용이 늘어난다.Moreover, since the moving mechanism 4 is needed, manufacturing cost increases.
게다가 이동기구(4)로 피검사판을 컨베이어(1)와 버퍼장치(2)와의 사이에서 옮겨 바꾸면 작업효율이 나쁘다.In addition, when the test plate is moved between the
본 발명은, 스페이스 생략화를 실현하고, 작업효율이 좋고, 콤팩트하고 저비용의 인라인 버퍼장치를 제공하기 위한 것이다. Disclosure of Invention The present invention is to provide a space-saving, high work efficiency, compact and low cost inline buffer device.
본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below.
발명의 요약Summary of the Invention
본 발명의 인라인 버퍼장치는, 컨베이어 장치의 반송경로 상에 배설되고, 상기 반송경로에 그 아래쪽으로부터 밀어 올려 반송물을 위쪽으로 들어올려서 일시적으로 보관하는 일시보관기구와, 상기 일시보관기구를 상하로 승강시키는 승강기구 를 갖추어 구성된 것을 특징으로 한다.An in-line buffer device of the present invention is disposed on a conveying path of a conveyor apparatus, and is temporarily held on the conveying path by lifting it from its lower side, temporarily holding a conveyed object upward, and temporarily lifting the temporary storage device up and down. It is characterized by consisting of a lifting mechanism.
상기 일시보관기구는, 상기 컨베이어 장치의 반송경로에 그 아래쪽으로부터 상승하여 밀어 올리는 지주와, 상기 지주에 1 또는 복수개 설치되어 상기 지주의 상승에 의해 상기 반송물을 지지하여 들어올리는 리시버를 갖추어 구성하는 것이 바람직하다.The temporary storage mechanism is constituted by a prop which rises and pushes up from the bottom of the conveying path of the conveyor apparatus, and a receiver which is provided in one or a plurality of the posts to support and lift the conveyed material by the rise of the prop. desirable.
또 상기 컨베이어 장치로 반송되어 온 상기 반송물을 일시보관기구에 장착시키기 위한 위치결정기구를 갖추는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable to provide the positioning mechanism for attaching the said conveyed thing conveyed by the said conveyor apparatus to the temporary storage mechanism.
상기 위치결정기구는 통과하는 상기 반송물을 검지하고, 소정의 위치에서 상기 컨베이어 장치를 정지시키는 센서를 갖추는 것이 바람직하다.Preferably, the positioning mechanism is provided with a sensor that detects the conveyed object passing through and stops the conveyor apparatus at a predetermined position.
상기 일시보관기구의 폭을 상기 반송물의 폭에 맞추어 조정하는 폭 조정부를 갖추는 것이 바람직하다.It is preferable to have a width adjusting portion for adjusting the width of the temporary storage mechanism in accordance with the width of the conveyed material.
발명의 구체예에 대한 상세한 설명Detailed Description of the Invention
이하, 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치에 대해서 첨부도면을 참조하면서 설명한다. 도1은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 컨베이어 장치에 조립한 상태를 나타내는 사시도, 도3은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치, 컨베이어 장치 및 검사장치의 전체 구성을 나타내는 개략 평면도, 도4는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 나타내는 정면도, 도5는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 나타내는 좌측면도, 도6은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 나타내는 평면도, 도7은 본 발명의 실시형태에 따른 패 널 클램프의 동작을 나타내는 평면도, 도8은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 컨베이어 장치에 조립한 상태를 나타내는 정면도, 도9는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 컨베이어 장치에 조립한 상태를 나타내는 평면도이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the inline buffer apparatus which concerns on embodiment of this invention is demonstrated, referring an accompanying drawing. 1 is a perspective view showing a state in which an inline buffer device according to an embodiment of the present invention is assembled to a conveyor device, and FIG. 3 is a schematic plan view showing the overall configuration of an inline buffer device, a conveyor device, and an inspection device according to an embodiment of the present invention. 4 is a front view showing an inline buffer device according to an embodiment of the present invention, FIG. 5 is a left side view showing an inline buffer device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is an inline buffer device according to an embodiment of the present invention. 7 is a plan view showing the operation of the panel clamp according to the embodiment of the present invention, FIG. 8 is a front view showing a state in which the inline buffer device according to the embodiment of the present invention is assembled to the conveyor apparatus. Is a plan view showing a state in which an inline buffer device according to an embodiment of the present invention is assembled to a conveyor device.
우선, 전체 구성을 도3에 기초하여 설명한다.First, the whole configuration will be described based on FIG.
도면 중의 11은 컨베이어 장치이다. 컨베이어 장치(11)는 소정 길이로 배설되고, 피검사 기판(12)(도1 참조)이 반송된다. 컨베이어 장치(11)의 옆에는 검사장치(13)가 설치되어 있다. 검사장치(13)와 컨베이어 장치(11)와의 사이에는 이동장치(14)가 배치되어 있다. 상기 이동장치(14)가 컨베이어 장치(11)로 반송된 피검사 기판(12)을 검사장치(13)로 옮겨 검사장치(13)에서 검사가 행해진다. 검사장치(13)에서의 검사가 종료하면, 이동장치(14)에 의해 피검사 기판(12)이 컨베이어 장치(11)로 되돌아가 반송된다. 그리고 인라인 버퍼장치(15)가 컨베이어 장치(11)의 반송경로 상에 배설되어 있다.11 in the figure is a conveyor apparatus. The
컨베이어 장치(11)는 도1에 나타낸 바와 같이, 피검사 기판(12)의 아래쪽 면에 직접적으로 접촉하여 피검사 기판(12)을 이동시키는 반송 롤러(17)와, 상기 반송 롤러(17)를 복수개 일체적으로 지지하는 구동축(18)과, 상기 구동축(18)의 양단부를 회전 가능하게 지지함과 동시에, 모든 구동축(18)을 회전 구동하는 측면 판(板)부(19, 20)로 구성되어 있다. 게다가 컨베이어 장치(11)에는 상기 구동축(18)을 회전 구동하는 구동 모터, 전체 동작을 제어하는 제어장치 등이 설치되어 있다.As shown in FIG. 1, the
인라인 버퍼장치(15)는 도1, 4∼6에 나타낸 바와 같이 주로 일시보관기 구(22)와 승강기구(23)와 위치결정기구(24)로 구성되어 있다.As shown in Figs. 1 and 4 to 6, the
일시보관기구(22)는, 컨베이어 장치(11)의 반송경로 상에 그 아래쪽으로부터 밀어 올려 피검사 기판(12)을 위쪽으로 들어 올려서 일시적으로 보관하기 위한 기구(카세트)이다. 상기 일시보관기구(22)는 지주(27)와 기판 리시버(28)와 스토퍼(30)와 폭 조정부(29)로 구성되어 있다.The
지주(27)는, 양측에 4개씩 마주보고 배설되고, 피검사 기판(12)을 한쪽 4곳에서 지지하기 위한 기둥이다. 각 지주(27)는 그 기단부가 고정되고 상단측은 고정되어 있지 않다. 각 지주(27)는 컨베이어 장치(11)의 각 구동축(18)과 같은 간격으로 4개가 늘어서 배설되어 있다. 이에 의해 지주(27)는 그 기단부가 고정된 상태로, 상단측이 컨베이어 장치(11)의 각 구동축(18)의 사이에서 위쪽으로 자유롭게 밀어 올려지도록 되어 있다.The
기판 리시버(28)는, 각 지주(27)에 설치되어, 피검사 기판(12)을 그 아래쪽으로부터 직접적으로 지지하기 위한 지지 편(片)이다. 기판 리시버(28)는 지주(27)로부터 수평으로 밀어 올려진 판 조각(板片)으로 구성되어 있다. 각 기판 리시버(28)는 4개의 지주(27)에 각각 같은 높이 위치에 맞추어 설치되어 있다. 마주보는 쪽의 4개의 지주(27)도 동일하게 각 기판 리시버(28)가 같은 높이 위치에 맞추어 설치되어 있다. 이에 의해, 피검사 기판(12)을 수평으로 유지된 상태로 지지한다. 4개의 지주(27)에 설치되는 기판 리시버(28) 중, 맨 나중의 기판 리시버(28)(도6 중의 오른쪽 끝 기판 리시버(28))에는 스토퍼(30)가 설치되어 있다. 상기 스토퍼(30)는 피검사 기판(12)의 위치결정을 하기 위한 것이다. 위치결정기구(24) 에 의해 일단부를 눌러 이동되는 피검사 기판(12)의 타단부가 스토퍼(30)에 접하여 위치 결정된다.The board |
기판 리시버(28)는 복수개의 단(段)으로 설정된다. 여기에서는, 상하 6단으로 적층하여 배설되어 있다. 이 때문에 각 지주(27)에 6개의 기판 리시버(28)가 일정 간격을 두고 배설되어 있다. 상기 기판 리시버(28)의 설정 단수는 컨베이어 장치(11)를 지나는 피검사 기판(12)의 단위시간당 매수 등의 모든 조건에 따라 정해진다. 이 때문에, 기판 리시버(28)는 7단 이상이거나 5단 이하이다. 통상 10단 정도로 설정된다.The
폭 조정부(29)는, 좌우로 4개씩 배설되는 지주(27)의 폭(도5 중의 좌우방향의 폭)을 조정하기 위한 장치이다. 폭 조정부(29)는 주로 기단 지지부(31)와, 가이드(32)와, 레일(33)로 구성되어 있다. 기단 지지부(31)는 4개의 지주(27)를 일체적으로 지지하기 위한 부재이다. 기단 지지부(31)는 수평으로 배설된 판재(板材)로 구성되고, 각 지주(27)를 설정 간격으로 유지하여 그 기단부를 고정하여 수직으로 지지하고 있다. 가이드(32)는, 기단 지지부(31)의 양단부에 설치되어, 기단 지지부(31)에 고정된 4개의 지주(27)를 레일(33)을 따라 일체적으로 이동 가능하게 지지하고 있다. 레일(33)은, 가이드(32) 및 기단 지지부(31)를 사이에 두고 4개의 지주(27)를 마주보는 4개의 지주(27)와의 사이에서 근접 이간하기 위한 부재이다. 레일(33)은 컨베이어 장치(11)의 반송경로에 직교하는 방향으로 배설되어 있다. 가이드(32)는 레일(33)을 슬라이드하여 소정 위치에서 고정되도록 되어 있다. 상기 가이드(32)의 슬라이드 및 고정은 각 지주(27)의 폭을 피검사 기판(12)의 폭에 맞추 는 조정이고, 구동 모터(도시하지 않음)를 장착하여 자동적으로 행한다. 피검사 기판(12)의 사이즈에 따라 자동적으로 지주(27)의 폭을 조정한다. 또한 수동으로 행해도 좋다. 이 폭 조정은 검사 개시 전에 피검사 기판(12)의 크기에 맞추어 1회만 행한다.The width |
승강기구(23)는, 일시보관기구(22)를 상하로 승강시키기 위한 기구이다. 상기 승강기구(23)는 승강판(35)과 가이드 봉(36)과 구동 봉(37)과 베이스 판(38)과 구동 모터(39)로 구성되어 있다.The
승간판(35)은 일시보관기구(22)의 레일(33)을 고정 지지하기 위한 판재이다. 승강판(35)은 레일(33)을 사이에 두고 일시보관기구(22)를 지지하여 승강시킨다.The
가이드 봉(36)은, 승강판(35)의 승강 이동을 지지하기 위한 봉재(棒材)이다. 가이드 봉(36)은 승강판(35)의 아래쪽 면의 4모퉁이 근방에 아래쪽을 향해 4개 배설되어 있다. 상기 가이드 봉(36)이 베이스 판(38)의 가이드 구멍(도시하지 않음)에 슬라이드 가능하게 삽입되어 상하로 이동하고, 승강판(35)의 승강 이동을 지지하고 있다.The
구동 봉(37)은, 구동 모터(39)에 의해 상하로 이동되는 봉재이다. 상기 구동 봉(37)은 승강판(35)의 이면(裏面) 중앙부에 설치되어 있다. 구동 봉(37)이 구동 모터(39)에 의해 상하로 이동됨으로써, 승강판(35)을 사이에 두고 일시보관기구(22)를 승강시킨다.The
베이스 판(38)은, 프레임(40) 등을 사이에 두고 컨베이어 장치(11) 측과 일체적으로 고정된 판재이다. 상기 베이스 판(38)에서 일시보관기구(22) 및 승강기 구(23)가 지지되어 있다. 베이스 판(38)의 4모퉁이 근방에는 가이드 구멍(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 상기 가이드 구멍은 가이드 봉(36)을 슬라이드 가능하게 지지하기 위한 구멍이다. 각 가이드 구멍에 가이드 봉(36)이 각각 삽입되고, 승강판(35)이 수평을 유지한 상태로 부드럽게 승강하도록 되어 있다.The
구동 모터(39)는, 구동 봉(37)을 상하로 이동시키기 위한 모터이다. 구동 모터(39)는 일시보관기구(22)의 기판 리시버(28)를 피검사 기판(12)에 맞추어 정확하게 높이 조정할 필요가 있기 때문에, 정밀한 위치 조정이 가능한 것을 사용한다. 구동 방식으로는 각종의 것이 가능하다. 예를 들어, 구동 봉(37)의 외주면에 나사산(도시하지 않음)을 설치하고, 상기 나사산에 끼워진 너트(도시하지 않음)를 정확하게 회전 제어하여 구동 봉(37)을 정확하게 상하 구동시킨다.The
위치결정기구(24)는, 컨베이어 장치(11)로 반송되어 온 피검사 기판(12)을 일시보관기구(22)에 장착시키기 위한 장치이다.The
위치결정기구(24)는 주로 패널 클램프(41)와, 실린더(42)와, 가이드(43)와, 레일(44)과, 센서(45)로 구성되어 있다.The
패널 클램프(41)는, 피검사 기판(12)의 주연부(周緣部)에 접하여 피검사 기판(12)을 이동시키기 위한 부재이다. 패널 클램프(41)는 낮은 원주상으로 형성한 탄성을 갖는 합성수지로 구성되고, 피검사 기판(12)의 주연부에 탄성적으로 접하도록 되어 있다. 상기 패널 클램프(41)는 피검사 기판(12)의 주연부에 접하여 피검사 기판(12)을 이동시킴으로써, 위치 조정을 한다. 패널 클램프(41)는 지지판부(47) 위에 2개 설치되고, 2개의 패널 클램프(41)로 피검사 기판(12)의 주연부를 밀도록 되어 있다.The
실린더(42)는 패널 클램프(41)를 상하 구동시키기 위한 것이다. 실린더(42)는 그 피스톤 축(도시하지 않음)이 지지판부(47)에 설치되고, 피스톤 축이 출몰 구동함으로써, 패널 클램프(41)를 상하 구동시키도록 되어 있다.The
가이드(43)는 패널 클램프(41)를 반송경로방향(도4의 좌우방향)으로 이동시키기 위한 부재이다. 가이드(43)는 실린더(42)의 기단부에 일체적으로 설치되어 있고, 실린더(42)를 지지하여 패널 클램프(41)를 반송경로방향으로 이동시킨다.The
레일(44)은 가이드(43)를 지지하여 반송경로방향의 이동을 안내하기 위한 부재이다. 레일(44)은 지지 기반(48) 위에 반송경로방향을 향해 설치되어 있다. 지지 기반(48) 쪽에는 가이드(43)를 이동시키기 위한 구동부(도시하지 않음)가 설치된다. 상기 구동부에 의해 가이드(43)가 반송경로방향으로 이동되고, 패널 클램프(41)로 피검사 기판(12)이 위치 조정된다.The
센서(45)는 피검사 기판(12)의 위치를 검출하고, 소정의 위치에서 정지시키기 위한 센서이다. 센서(45)로는, 각종의 것을 이용할 수 있다. 예를 들어, 센서(45)로서 발광소자와 수광소자로 이루어지는 광학 센서를 이용할 수 있다. 상기 센서(45)에 의해, 바로 위를 피검사 기판(12)이 통과하고 있을 때의 반사광을 검출하고, 이 반사광이 끊긴 시점을 피검사 기판(12)의 주연부로서 검출한다. 상기 센서(45)는 컨베이어 장치(11)의 제어부(도시하지 않음)에 접속되어 있고, 검사가 밀려 피검사 기판(12)을 일시 보관할 때에 컨베이어 장치(11)의 정지 센서로서 기능한다.The
상술한 인라인 버퍼장치(15)의 각 구동부분은 컨베이어 장치(11)의 제어장치에 각각 접속되어 있다. 상기 제어장치는, 통상의 반송처리와 일시보관처리의 기능을 갖추고 있고, 검사가 밀린 때에 일시보관처리로 전환되도록 되어 있다.Each drive portion of the
[동작][action]
이상과 같이 구성된 인라인 버퍼장치(15)는 다음과 같이 동작한다.The
통상의 검사작업에 있어서는, 상기 제어장치는 통상의 반송처리를 행한다. 이에 의해, 인라인 버퍼장치(15)의 일시보관기구(22)는 승강기구(23)에 의해 아래쪽으로 강하되어 대기상태로 되어 있다. 피검사 기판(12)은 컨베이어 장치(11)의 반송 롤러(17) 위를 이동하여 일시보관기구(22)를 통과하고, 검사장치(13)로 운반된다.In a normal inspection operation, the control device performs a normal conveyance process. As a result, the
검사장치(13)에서 장애가 발생하는 등에 의해 피검사 기판(12)의 반송이 밀린 때는 상기 처리장치가 일시보관처리로 전환된다. 이에 의해 인라인 버퍼장치(15)가 작동하여 다음 일시보관처리를 행한다.When the conveyance of the test | inspection board |
센서(45)에 의한 피검사 기판(12)의 주연부의 검출을 받아, 컨베이어 장치(11)를 정지시킨다. 이에 의해, 피검사 기판(12)은 센서(45)를 통과한 부근에 위치한다.The
이어서, 승강기구(23)의 구동 모터(39)를 작동시켜 승강판(35)에 지지된 일시보관기구(22)를 약간 상승시킨다. 구체적으로는 기판 리시버(28)의 스토퍼(30)가 피검사 기판(12)의 이동경로를 차단하고, 기판 리시버(28)가 피검사 기판(12)의 이 동경로를 차단하지 않는 높이로 설정한다.Next, the
계속해서, 위치결정기구(24)의 실린더(42)를 신장시켜 패널 클램프(41)를 위쪽으로 연출(延出)시킨다. 이어서, 가이드(43)를 레일(44)을 따라 슬라이드시켜 패널 클램프(41)를 피검사 기판(12)의 주연부에 접하게 한다. 게다가 가이드(43)를 슬라이드시켜 피검사 기판(12)을 상기 스토퍼(30)에 접할 때까지(도7의 실선 상태에서 2점 쇄선 상태까지) 이동시킨다.Subsequently, the
이어서, 일시보관기구(22)를 더 상승시켜 기판 리시버(28)에서 피검사 기판(12)을 그 아래쪽에서 지지하여 들어올린다.Subsequently, the
계속해서, 2장째 피검사 기판(12)을 일시 보관하는 경우는, 2단째 기판 리시버(28)의 스토퍼(30)가 피검사 기판(12)의 이동경로를 차단하고, 기판 리시버(28)가 피검사 기판(12)의 이동경로를 차단하지 않는 높이로 일시보관기구(22)를 상승시킨다.Subsequently, in the case of temporarily storing the second
이어서, 컨베이어 장치(11)를 작동시켜 센서(45)로 피검사 기판(12)의 주연부를 검출한 시점에서 컨베이어 장치(11)를 정지시키고, 위치결정기구(24)로 피검사 기판(12)의 위치를 조정하여 일시보관기구(22)를 상승시키고, 상기 처리를 반복한다.Subsequently, the
컨베이어 장치(11)를 지나 온 피검사 기판(12)을 일시 보관시키지 않고 통과시키는 경우는, 피검사 기판(12)을 지지한 기판 리시버(28)의 바로 아래 기판 리시버(28)의 스토퍼(30)가 피검사 기판(12)의 이동경로를 차단하지 않는 위치로 조정하거나, 일시보관기구(22)를 상승시켜 최하단의 기판 리시버(28)가 반송 롤러(17) 보다도 위쪽에 위치하도록 한다.When passing the
이어서, 일시 보관한 피검사 기판(12)을 컨베이어 장치(11)로 되돌릴 때는, 승강기구(23)로 일시보관기구(22)를 강하시킨다. 구체적으로는, 기판 리시버(28)에서 지지한 피검사 기판(12)이 컨베이어 장치(11)의 반송 롤러(17)에 놓이고, 스토퍼(30)가 상기 피검사 기판(12)의 반송경로를 차단하지 않는 위치까지 강하시킨다.Next, when returning the temporarily inspected board |
계속해서, 컨베이어 장치(11)를 작동시켜 피검사 기판(12)을 반송한다.Subsequently, the
이상과 같이, 인라인 버퍼장치(15)는, 피검사 기판(12)의 흐름이 밀린 때에, 일시보관기구(22)가 컨베이어 장치(11)의 반송경로에 그 아래쪽으로부터 밀어 올려 피검사 기판(12)을 위쪽으로 들어올려서 일시적으로 보관하고, 게다가 필요에 따라 피검사 기판(12)을 복수 단(段)으로 적층하여 들어올려서 일시적으로 보관함과 동시에, 밀림이 해소한 시점에서 일시보관기구(22)를 강하시켜 일시 보관한 피검사 기판(12)을 순차 컨베이어 장치(11)로 되돌리기 때문에, 일시보관처리가 용이해짐과 동시에, 일시 보관한 피검사 기판(12)을 용이하게 컨베이어 장치(11)로 되돌릴 수 있다. 그 결과 일시보관 작업의 효율이 향상한다.As described above, when the flow of the
인라인 버퍼장치(15)는 컨베이어 장치(11) 위에 겹쳐 배치했기 때문에, 인라인 버퍼장치(15)를 콤팩트하게 설치할 수 있고, 스페이스 생략화를 실현할 수 있다.Since the
종래와 같은 이동기구(4)를 필요로 하지 않아, 그 만큼의 비용을 저감할 수 있다.The conventional moving mechanism 4 is not required, and the cost can be reduced by that much.
일시보관기구(22)가 컨베이어 장치(11)의 반송경로에 그 아래쪽에서 상승하 여 밀어 올려지는 지주(27)와, 상기 지주(27)에 복수개 설치되어 피검사 기판(12)을 지지하여 들어올리는 기판 리시버(28)를 갖추어 구성했기 때문에, 지주(27)를 상승시키는 것만으로 피검사 기판(12)을 용이하게 일시보관상태로 할 수 있음과 동시에, 지주(27)를 하강시키는 것만으로 피검사 기판(12)을 용이하게 컨베이어 장치(11)로 되돌릴 수 있어, 일시보관 작업의 효율화를 도모할 수 있다.A plurality of
위치결정기구(24)로 피검사 기판(12)을 일시보관기구(22)에 장착시킬 때에 피검사 기판(12)을 위치 결정하기 때문에, 기판 리시버(28)가 피검사 기판(12)을 정확하게 지지하여 들어올릴 수 있고, 안정하게 보관할 수 있다.Since the
센서(45)가 피검사 기판(12)의 위치를 검지하고, 피검사 기판(12)이 일시보관기구(22) 근방으로 이동한 때에 컨베이어 장치(11)를 정지시키기 때문에, 피검사 기판(12)을 일시보관기구(22)에 용이하게 장착할 수 있다.Since the
또, 폭 조정부(29)로 일시보관기구(22)의 폭을 피검사 기판(12)의 폭에 맞추어 조정하기 때문에, 각종 폭의 피검사 기판(12)에 대하여 인라인 버퍼장치(15)를 사용할 수 있다.In addition, since the width of the
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and various changes can be made without departing from the spirit thereof.
본 발명은, 스페이스 생략화를 실현하고, 작업효율이 좋고, 콤팩트하고 저비용의 인라인 버퍼장치를 제공할 수 있는 발명의 효과를 갖는다.This invention has the effect of the invention which can realize space omission, and can provide an inline buffer apparatus which is good in work efficiency, compact, and low cost.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.
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