KR100839503B1 - Inline Buffer Apparatus - Google Patents

Inline Buffer Apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR100839503B1
KR100839503B1 KR1020060050661A KR20060050661A KR100839503B1 KR 100839503 B1 KR100839503 B1 KR 100839503B1 KR 1020060050661 A KR1020060050661 A KR 1020060050661A KR 20060050661 A KR20060050661 A KR 20060050661A KR 100839503 B1 KR100839503 B1 KR 100839503B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
temporary storage
conveyor
storage mechanism
buffer device
Prior art date
Application number
KR1020060050661A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20070005465A (en
Inventor
유타카 코사카
요시유끼 안도
Original Assignee
가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 filed Critical 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Publication of KR20070005465A publication Critical patent/KR20070005465A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100839503B1 publication Critical patent/KR100839503B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/22Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
    • B65G47/26Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles
    • B65G47/28Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles during transit by a single conveyor
    • B65G47/29Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles during transit by a single conveyor by temporarily stopping movement
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02Control or detection
    • B65G2203/0208Control or detection relating to the transported articles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04Detection means
    • B65G2203/042Sensors

Abstract

본 발명은, 일시보관 작업의 효율이 좋고, 콤팩트하고 저가의 인라인 버퍼장치를 제공한다. 컨베이어 장치(11)의 반송경로 상에 배설되고 상기 반송경로에 그 아래쪽에서 밀어 올려 피검사 기판(12)을 위쪽으로 들어올려서 일시적으로 보관하는 일시보관기구(22)와, 상기 일시보관기구(22)를 상하로 승강시키는 승강기구(23)와, 피검사 기판(12)을 일시보관기구(22)에 장착시키는 위치결정기구(24)를 갖춘다. 일시보관기구(22)는, 컨베이어 장치(11)의 반송경로에 그 아래쪽으로부터 상승하여 밀어 올리는 지주(27)와, 상기 지주(27)에 복수개 설치되고 상기 지주의 상승에 의해 상기 반송물을 지지하여 들어올리는 기판 리시버(receiver)(28)와, 피검사 기판(12)의 위치 결정을 하는 스토퍼(30)로 구성되어 있다. 위치결정기구(24)에는 피검사 기판(12)의 위치를 검지하는 센서(45)를 구비하고, 일시보관기구(22)에는 그 폭을 피검사 기판(12)의 폭에 맞추어 조정하는 폭 조정부(29)를 갖춘다.

Figure R1020060050661

인라인 버퍼장치, 피검사 기판, 승강기구, 일시보관기구, 위치결정기구, 컨베이어 장치

The present invention provides a compact and inexpensive inline buffer device having high efficiency of temporary storage operations. A temporary storage mechanism 22 disposed on the conveying path of the conveyor apparatus 11 and being pushed from the lower portion thereof to the conveying path to temporarily lift the inspected substrate 12 upwards, and temporarily storing the temporary holding mechanism 22; ) Is provided with an elevating mechanism 23 for raising and lowering the upper and lower sides thereof, and a positioning mechanism 24 for attaching the substrate 12 under test to the temporary storage mechanism 22. The temporary storage mechanism 22 is provided with a plurality of props 27 which are lifted and pushed up from the bottom of the conveying path of the conveyor apparatus 11, and a plurality of props which are supported on the conveyed material by the rise of the props. It comprises a board | substrate receiver 28 which lifts, and the stopper 30 which positions the board | substrate 12 to be tested. The positioning mechanism 24 is provided with a sensor 45 for detecting the position of the inspected substrate 12, and the temporary storage mechanism 22 has a width adjusting portion for adjusting the width thereof to match the width of the inspected substrate 12. Equipped with 29.

Figure R1020060050661

In-line buffer device, board to be tested, lifting device, temporary storage device, positioning device, conveyor device

Description

인라인 버퍼장치{Inline Buffer Apparatus}Inline Buffer Apparatus}

도1은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 컨베이어 장치에 조립한 상태를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a state in which an inline buffer device according to an embodiment of the present invention is assembled to a conveyor device.

도2는 종래의 버퍼장치, 컨베이어 장치 및 검사장치의 전체 구성을 나타내는 개략 평면도이다.Fig. 2 is a schematic plan view showing the overall configuration of a conventional buffer device, conveyor device and inspection device.

도3은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치, 컨베이어 장치 및 검사장치의 전체 구성을 나타내는 개략 평면도이다.3 is a schematic plan view showing the overall configuration of an inline buffer device, a conveyor device, and an inspection device according to an embodiment of the present invention.

도4는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 나타내는 정면도이다.4 is a front view showing an inline buffer device according to an embodiment of the present invention.

도5는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 나타내는 좌측면도이다.5 is a left side view of the inline buffer device according to the embodiment of the present invention.

도6은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 나타내는 평면도이다.Fig. 6 is a plan view showing an inline buffer device according to an embodiment of the present invention.

도7은 본 발명의 실시형태에 따른 패널 크램프의 동작을 나타내는 평면도이다.7 is a plan view showing the operation of the panel clamp according to the embodiment of the present invention.

도8은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 컨베이어 장치에 조립한 상태를 나타내는 정면도이다.Fig. 8 is a front view showing a state in which the inline buffer device according to the embodiment of the present invention is assembled to the conveyor device.

도9는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 컨베이어 장치에 조립 한 상태를 나타내는 평면도이다.9 is a plan view showing a state in which the inline buffer device according to the embodiment of the present invention is assembled to a conveyor device.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *Description of the main symbols in the drawings

1: 컨베이어 2: 버퍼장치1: conveyor 2: buffer

3: 검사장치 4, 5: 이동기구3: inspection device 4, 5: moving mechanism

11: 컨베이어 장치 12: 피검사 기판11: conveyor apparatus 12: test target substrate

13: 검사장치 14: 이동장치13: inspection device 14: moving device

15: 인라인 버퍼장치 17: 반송 롤러15: inline buffer device 17: conveying roller

18: 구동축 22: 일시보관기구18: drive shaft 22: temporary storage mechanism

23: 승강기구 24: 위치결정기구23: lifting mechanism 24: positioning mechanism

27: 지주 28: 기판 리시버(receiver)27: prop 28: substrate receiver

29: 폭 조정부 30: 스토퍼29: width adjustment part 30: stopper

32, 43: 가이드 33, 44: 레일32, 43: guide 33, 44: rail

35: 승강판 36: 가이드 봉35: lifting plate 36: guide rod

37: 구동 봉 38: 베이스 판37: driving rod 38: base plate

39: 구동 모터 40: 프레임39: drive motor 40: frame

41: 패널 클램프 42: 실린더41: panel clamp 42: cylinder

45: 센서45: sensor

발명의 분야Field of invention

본 발명은 반송물이 밀릴 때에 그 반송물을 일시적으로 보관하는 인라인 버퍼장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inline buffer device for temporarily storing a conveyed article when the conveyed article is pushed.

발명의 배경Background of the Invention

컨베이어 반송설비에 있어서 버퍼장치는 일반적으로 알려져 있다. 이 버퍼장치의 개략을 도2에 나타내었다. 도면 중의 1은 컨베이어이다. 상기 컨베이어(1)의 일측에 버퍼장치(2)와 검사장치(3)가 설치되어 있다. 이들 컨베이어(1)와 버퍼장치(2)와의 사이 및 컨베이어(1)와 검사장치(3)와의 사이에는 이동기구(4, 5)가 설치되어, 피검사판을 적절히 옮겨 바꾼다.Buffer devices are generally known in conveyor conveying equipment. An outline of this buffer device is shown in FIG. 1 in the figure is a conveyor. A buffer device 2 and an inspection device 3 are provided at one side of the conveyor 1. Moving mechanisms 4 and 5 are provided between the conveyor 1 and the buffer device 2 and between the conveyor 1 and the inspection device 3 to change the inspection plate as appropriate.

이 구성에 의해, 컨베이어(1)로 피검사판이 반송되고, 이동기구(5)에 의해 검사장치(3)로 옮겨져 검사된다. 검사가 끝나면, 다시 컨베이어(1)로 되돌아가 반송된다.By this structure, a test plate is conveyed to the conveyor 1, and it is moved to the test | inspection apparatus 3 by the moving mechanism 5, and is examined. After the inspection, it returns to the conveyor 1 again and is conveyed.

이 때, 검사장치(3)에서 장애가 발생하는 등에 의해 검사가 밀린 때는, 컨베이어(1)로 반송되어 오는 피검사판을 이동기구(4)에 의해 버퍼장치(2)로 옮겨 일시적으로 보관한다.At this time, when the inspection is pushed due to the occurrence of an obstacle in the inspection apparatus 3 or the like, the inspection plate conveyed to the conveyor 1 is transferred to the buffer device 2 by the moving mechanism 4 and temporarily stored.

상기 버퍼장치(2)로는, 여러 종류가 있다. 예를 들어, 일본 특개평11-322024호 공보와 같이, 버퍼장치(2)를 컨베이어(1)의 옆에 쌓아올리는 것이 있다.There are various types of the buffer device 2. For example, as in Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 11-322024, there is a case where the buffer device 2 is stacked next to the conveyor 1.

그러나 이와 같이 컨베이어(1)의 옆에 버퍼장치(2)를 배설하면, 버퍼장치(2)를 위한 스페이스가 필요하다. 게다가 컨베이어(1)와 버퍼장치(2)와의 사이에서 피검사판을 이동시킬 이동기구(4)를 설치할 필요도 있다. 이동기구(4)를 위한 스페이스도 필요하다.However, if the buffer device 2 is arranged beside the conveyor 1 in this way, a space for the buffer device 2 is required. In addition, it is also necessary to provide a moving mechanism 4 for moving the inspection plate between the conveyor 1 and the buffer device 2. Space for the moving mechanism 4 is also required.

이 때문에 장치가 대규모의 것이 되어 커진다.As a result, the apparatus becomes large and large.

또 이동기구(4)가 필요하기 때문에 제조비용이 늘어난다.Moreover, since the moving mechanism 4 is needed, manufacturing cost increases.

게다가 이동기구(4)로 피검사판을 컨베이어(1)와 버퍼장치(2)와의 사이에서 옮겨 바꾸면 작업효율이 나쁘다.In addition, when the test plate is moved between the conveyor 1 and the buffer device 2 by the moving mechanism 4, the work efficiency is poor.

본 발명은, 스페이스 생략화를 실현하고, 작업효율이 좋고, 콤팩트하고 저비용의 인라인 버퍼장치를 제공하기 위한 것이다. Disclosure of Invention The present invention is to provide a space-saving, high work efficiency, compact and low cost inline buffer device.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below.

발명의 요약Summary of the Invention

본 발명의 인라인 버퍼장치는, 컨베이어 장치의 반송경로 상에 배설되고, 상기 반송경로에 그 아래쪽으로부터 밀어 올려 반송물을 위쪽으로 들어올려서 일시적으로 보관하는 일시보관기구와, 상기 일시보관기구를 상하로 승강시키는 승강기구 를 갖추어 구성된 것을 특징으로 한다.An in-line buffer device of the present invention is disposed on a conveying path of a conveyor apparatus, and is temporarily held on the conveying path by lifting it from its lower side, temporarily holding a conveyed object upward, and temporarily lifting the temporary storage device up and down. It is characterized by consisting of a lifting mechanism.

상기 일시보관기구는, 상기 컨베이어 장치의 반송경로에 그 아래쪽으로부터 상승하여 밀어 올리는 지주와, 상기 지주에 1 또는 복수개 설치되어 상기 지주의 상승에 의해 상기 반송물을 지지하여 들어올리는 리시버를 갖추어 구성하는 것이 바람직하다.The temporary storage mechanism is constituted by a prop which rises and pushes up from the bottom of the conveying path of the conveyor apparatus, and a receiver which is provided in one or a plurality of the posts to support and lift the conveyed material by the rise of the prop. desirable.

또 상기 컨베이어 장치로 반송되어 온 상기 반송물을 일시보관기구에 장착시키기 위한 위치결정기구를 갖추는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable to provide the positioning mechanism for attaching the said conveyed thing conveyed by the said conveyor apparatus to the temporary storage mechanism.

상기 위치결정기구는 통과하는 상기 반송물을 검지하고, 소정의 위치에서 상기 컨베이어 장치를 정지시키는 센서를 갖추는 것이 바람직하다.Preferably, the positioning mechanism is provided with a sensor that detects the conveyed object passing through and stops the conveyor apparatus at a predetermined position.

상기 일시보관기구의 폭을 상기 반송물의 폭에 맞추어 조정하는 폭 조정부를 갖추는 것이 바람직하다.It is preferable to have a width adjusting portion for adjusting the width of the temporary storage mechanism in accordance with the width of the conveyed material.

발명의 구체예에 대한 상세한 설명Detailed Description of the Invention

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치에 대해서 첨부도면을 참조하면서 설명한다. 도1은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 컨베이어 장치에 조립한 상태를 나타내는 사시도, 도3은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치, 컨베이어 장치 및 검사장치의 전체 구성을 나타내는 개략 평면도, 도4는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 나타내는 정면도, 도5는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 나타내는 좌측면도, 도6은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 나타내는 평면도, 도7은 본 발명의 실시형태에 따른 패 널 클램프의 동작을 나타내는 평면도, 도8은 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 컨베이어 장치에 조립한 상태를 나타내는 정면도, 도9는 본 발명의 실시형태에 따른 인라인 버퍼장치를 컨베이어 장치에 조립한 상태를 나타내는 평면도이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the inline buffer apparatus which concerns on embodiment of this invention is demonstrated, referring an accompanying drawing. 1 is a perspective view showing a state in which an inline buffer device according to an embodiment of the present invention is assembled to a conveyor device, and FIG. 3 is a schematic plan view showing the overall configuration of an inline buffer device, a conveyor device, and an inspection device according to an embodiment of the present invention. 4 is a front view showing an inline buffer device according to an embodiment of the present invention, FIG. 5 is a left side view showing an inline buffer device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is an inline buffer device according to an embodiment of the present invention. 7 is a plan view showing the operation of the panel clamp according to the embodiment of the present invention, FIG. 8 is a front view showing a state in which the inline buffer device according to the embodiment of the present invention is assembled to the conveyor apparatus. Is a plan view showing a state in which an inline buffer device according to an embodiment of the present invention is assembled to a conveyor device.

우선, 전체 구성을 도3에 기초하여 설명한다.First, the whole configuration will be described based on FIG.

도면 중의 11은 컨베이어 장치이다. 컨베이어 장치(11)는 소정 길이로 배설되고, 피검사 기판(12)(도1 참조)이 반송된다. 컨베이어 장치(11)의 옆에는 검사장치(13)가 설치되어 있다. 검사장치(13)와 컨베이어 장치(11)와의 사이에는 이동장치(14)가 배치되어 있다. 상기 이동장치(14)가 컨베이어 장치(11)로 반송된 피검사 기판(12)을 검사장치(13)로 옮겨 검사장치(13)에서 검사가 행해진다. 검사장치(13)에서의 검사가 종료하면, 이동장치(14)에 의해 피검사 기판(12)이 컨베이어 장치(11)로 되돌아가 반송된다. 그리고 인라인 버퍼장치(15)가 컨베이어 장치(11)의 반송경로 상에 배설되어 있다.11 in the figure is a conveyor apparatus. The conveyor apparatus 11 is arrange | positioned by predetermined length, and the test | inspection board | substrate 12 (refer FIG. 1) is conveyed. The inspection apparatus 13 is provided next to the conveyor apparatus 11. The moving device 14 is arranged between the inspection device 13 and the conveyor device 11. The inspection apparatus 13 carries out the test | inspection board | substrate 12 conveyed by the conveyor apparatus 11 to the inspection apparatus 13, and an inspection is performed by the inspection apparatus 13. As shown in FIG. When the test | inspection in the test | inspection apparatus 13 is complete | finished, the test | inspection board | substrate 12 is returned to the conveyor apparatus 11 by the moving apparatus 14, and is conveyed. The inline buffer device 15 is disposed on the conveyance path of the conveyor device 11.

컨베이어 장치(11)는 도1에 나타낸 바와 같이, 피검사 기판(12)의 아래쪽 면에 직접적으로 접촉하여 피검사 기판(12)을 이동시키는 반송 롤러(17)와, 상기 반송 롤러(17)를 복수개 일체적으로 지지하는 구동축(18)과, 상기 구동축(18)의 양단부를 회전 가능하게 지지함과 동시에, 모든 구동축(18)을 회전 구동하는 측면 판(板)부(19, 20)로 구성되어 있다. 게다가 컨베이어 장치(11)에는 상기 구동축(18)을 회전 구동하는 구동 모터, 전체 동작을 제어하는 제어장치 등이 설치되어 있다.As shown in FIG. 1, the conveyor apparatus 11 carries a conveyance roller 17 and a conveyance roller 17 for moving the inspected substrate 12 in direct contact with the lower surface of the inspected substrate 12. It consists of a drive shaft 18 which supports a plurality of integrally, and the side plate parts 19 and 20 which rotatably support the both ends of the said drive shaft 18, and rotationally drive all the drive shafts 18. As shown in FIG. It is. Moreover, the conveyor apparatus 11 is provided with the drive motor which rotates the said drive shaft 18, the control apparatus which controls the whole operation | movement, and the like.

인라인 버퍼장치(15)는 도1, 4∼6에 나타낸 바와 같이 주로 일시보관기 구(22)와 승강기구(23)와 위치결정기구(24)로 구성되어 있다.As shown in Figs. 1 and 4 to 6, the inline buffer device 15 is mainly composed of a temporary storage mechanism 22, a lifting mechanism 23, and a positioning mechanism 24.

일시보관기구(22)는, 컨베이어 장치(11)의 반송경로 상에 그 아래쪽으로부터 밀어 올려 피검사 기판(12)을 위쪽으로 들어 올려서 일시적으로 보관하기 위한 기구(카세트)이다. 상기 일시보관기구(22)는 지주(27)와 기판 리시버(28)와 스토퍼(30)와 폭 조정부(29)로 구성되어 있다.The temporary storage mechanism 22 is a mechanism (cassette) for temporarily holding the inspection target substrate 12 upward by pushing it upward from its lower side on the conveying path of the conveyor apparatus 11. The temporary storage mechanism 22 is composed of a support 27, a substrate receiver 28, a stopper 30, and a width adjusting portion 29.

지주(27)는, 양측에 4개씩 마주보고 배설되고, 피검사 기판(12)을 한쪽 4곳에서 지지하기 위한 기둥이다. 각 지주(27)는 그 기단부가 고정되고 상단측은 고정되어 있지 않다. 각 지주(27)는 컨베이어 장치(11)의 각 구동축(18)과 같은 간격으로 4개가 늘어서 배설되어 있다. 이에 의해 지주(27)는 그 기단부가 고정된 상태로, 상단측이 컨베이어 장치(11)의 각 구동축(18)의 사이에서 위쪽으로 자유롭게 밀어 올려지도록 되어 있다.The struts 27 are arranged so as to face each other on both sides, and are pillars for supporting the inspected substrate 12 at one of four locations. Each strut 27 is fixed at its proximal end and not at its upper end. Each strut 27 is arrange | positioned 4 in the same interval as each drive shaft 18 of the conveyor apparatus 11, and is arrange | positioned. As a result, the support 27 is pushed upwards freely between the drive shafts 18 of the conveyor apparatus 11 in a state where the proximal end thereof is fixed.

기판 리시버(28)는, 각 지주(27)에 설치되어, 피검사 기판(12)을 그 아래쪽으로부터 직접적으로 지지하기 위한 지지 편(片)이다. 기판 리시버(28)는 지주(27)로부터 수평으로 밀어 올려진 판 조각(板片)으로 구성되어 있다. 각 기판 리시버(28)는 4개의 지주(27)에 각각 같은 높이 위치에 맞추어 설치되어 있다. 마주보는 쪽의 4개의 지주(27)도 동일하게 각 기판 리시버(28)가 같은 높이 위치에 맞추어 설치되어 있다. 이에 의해, 피검사 기판(12)을 수평으로 유지된 상태로 지지한다. 4개의 지주(27)에 설치되는 기판 리시버(28) 중, 맨 나중의 기판 리시버(28)(도6 중의 오른쪽 끝 기판 리시버(28))에는 스토퍼(30)가 설치되어 있다. 상기 스토퍼(30)는 피검사 기판(12)의 위치결정을 하기 위한 것이다. 위치결정기구(24) 에 의해 일단부를 눌러 이동되는 피검사 기판(12)의 타단부가 스토퍼(30)에 접하여 위치 결정된다.The board | substrate receiver 28 is provided in each support | pillar 27, and is a support piece for directly supporting the test | inspection board | substrate 12 from the lower side. The board | substrate receiver 28 is comprised from the board piece pushed horizontally from the support | pillar 27. As shown in FIG. Each board | substrate receiver 28 is provided in four struts 27 at the same height position, respectively. Similarly, each of the four posts 27 on the opposite side is provided at the same height position with each substrate receiver 28. Thereby, the to-be-tested board | substrate 12 is supported in the state maintained horizontally. The stopper 30 is provided in the last board | substrate receiver 28 (right-end board | substrate receiver 28 in FIG. 6) among the board | substrate receivers 28 provided in four support | pillars 27. As shown in FIG. The stopper 30 is for positioning the inspected substrate 12. The other end part of the board | substrate 12 to be tested which presses one end part by the positioning mechanism 24 is located in contact with the stopper 30, and is positioned.

기판 리시버(28)는 복수개의 단(段)으로 설정된다. 여기에서는, 상하 6단으로 적층하여 배설되어 있다. 이 때문에 각 지주(27)에 6개의 기판 리시버(28)가 일정 간격을 두고 배설되어 있다. 상기 기판 리시버(28)의 설정 단수는 컨베이어 장치(11)를 지나는 피검사 기판(12)의 단위시간당 매수 등의 모든 조건에 따라 정해진다. 이 때문에, 기판 리시버(28)는 7단 이상이거나 5단 이하이다. 통상 10단 정도로 설정된다.The substrate receiver 28 is set to a plurality of stages. Here, it is laminated | stacked and arrange | positioned in 6 steps of top and bottom. For this reason, six board | substrate receivers 28 are arrange | positioned at each strut 27 at regular intervals. The set number of stages of the substrate receiver 28 is determined according to all conditions such as the number of sheets per unit time of the substrate 12 to be inspected passing through the conveyor apparatus 11. For this reason, the board | substrate receiver 28 is seven stages or more or five stages or less. It is usually set to about 10 steps.

폭 조정부(29)는, 좌우로 4개씩 배설되는 지주(27)의 폭(도5 중의 좌우방향의 폭)을 조정하기 위한 장치이다. 폭 조정부(29)는 주로 기단 지지부(31)와, 가이드(32)와, 레일(33)로 구성되어 있다. 기단 지지부(31)는 4개의 지주(27)를 일체적으로 지지하기 위한 부재이다. 기단 지지부(31)는 수평으로 배설된 판재(板材)로 구성되고, 각 지주(27)를 설정 간격으로 유지하여 그 기단부를 고정하여 수직으로 지지하고 있다. 가이드(32)는, 기단 지지부(31)의 양단부에 설치되어, 기단 지지부(31)에 고정된 4개의 지주(27)를 레일(33)을 따라 일체적으로 이동 가능하게 지지하고 있다. 레일(33)은, 가이드(32) 및 기단 지지부(31)를 사이에 두고 4개의 지주(27)를 마주보는 4개의 지주(27)와의 사이에서 근접 이간하기 위한 부재이다. 레일(33)은 컨베이어 장치(11)의 반송경로에 직교하는 방향으로 배설되어 있다. 가이드(32)는 레일(33)을 슬라이드하여 소정 위치에서 고정되도록 되어 있다. 상기 가이드(32)의 슬라이드 및 고정은 각 지주(27)의 폭을 피검사 기판(12)의 폭에 맞추 는 조정이고, 구동 모터(도시하지 않음)를 장착하여 자동적으로 행한다. 피검사 기판(12)의 사이즈에 따라 자동적으로 지주(27)의 폭을 조정한다. 또한 수동으로 행해도 좋다. 이 폭 조정은 검사 개시 전에 피검사 기판(12)의 크기에 맞추어 1회만 행한다.The width | variety adjustment part 29 is an apparatus for adjusting the width | variety (width of the left-right direction in FIG. 5) of the support | pillar 27 arrange | positioned 4 by right and left. The width adjustment part 29 is mainly comprised by the base end support part 31, the guide 32, and the rail 33. As shown in FIG. The base support part 31 is a member for integrally supporting the four struts 27. The base end support part 31 is comprised from the board | substrate arrange | positioned horizontally, hold | maintains each strut 27 at a predetermined space | interval, and fixes the base end part, and supports it vertically. The guide 32 is attached to both ends of the base end support part 31, and supports the four support | pillars 27 fixed to the base end support part 31 so that a movable movement can be carried out integrally along the rail 33. As shown in FIG. The rail 33 is a member for closely spaced apart from the four struts 27 which face the four struts 27 with the guide 32 and the base end support part 31 interposed therebetween. The rail 33 is arrange | positioned in the direction orthogonal to the conveyance path | route of the conveyor apparatus 11. As shown in FIG. The guide 32 slides the rail 33 to be fixed at a predetermined position. The slide and fixing of the guide 32 are adjustments to match the width of each strut 27 to the width of the substrate 12 to be inspected, and are automatically performed by mounting a drive motor (not shown). The width of the strut 27 is automatically adjusted in accordance with the size of the inspected substrate 12. It may also be done manually. This width adjustment is performed only once in accordance with the size of the inspected substrate 12 before the inspection starts.

승강기구(23)는, 일시보관기구(22)를 상하로 승강시키기 위한 기구이다. 상기 승강기구(23)는 승강판(35)과 가이드 봉(36)과 구동 봉(37)과 베이스 판(38)과 구동 모터(39)로 구성되어 있다.The lifting mechanism 23 is a mechanism for raising and lowering the temporary storage mechanism 22 up and down. The lifting mechanism 23 is composed of a lifting plate 35, a guide rod 36, a driving rod 37, a base plate 38, and a driving motor 39.

승간판(35)은 일시보관기구(22)의 레일(33)을 고정 지지하기 위한 판재이다. 승강판(35)은 레일(33)을 사이에 두고 일시보관기구(22)를 지지하여 승강시킨다.The pedestrian plate 35 is a plate for holding and supporting the rail 33 of the temporary storage mechanism 22. The lifting plate 35 supports and lifts the temporary storage mechanism 22 with the rail 33 therebetween.

가이드 봉(36)은, 승강판(35)의 승강 이동을 지지하기 위한 봉재(棒材)이다. 가이드 봉(36)은 승강판(35)의 아래쪽 면의 4모퉁이 근방에 아래쪽을 향해 4개 배설되어 있다. 상기 가이드 봉(36)이 베이스 판(38)의 가이드 구멍(도시하지 않음)에 슬라이드 가능하게 삽입되어 상하로 이동하고, 승강판(35)의 승강 이동을 지지하고 있다.The guide rod 36 is a rod for supporting the lifting movement of the lifting plate 35. Four guide rods 36 are disposed downward in the vicinity of four corners of the lower surface of the elevating plate 35. The guide rod 36 is slidably inserted into the guide hole (not shown) of the base plate 38 to move up and down to support the lifting movement of the lifting plate 35.

구동 봉(37)은, 구동 모터(39)에 의해 상하로 이동되는 봉재이다. 상기 구동 봉(37)은 승강판(35)의 이면(裏面) 중앙부에 설치되어 있다. 구동 봉(37)이 구동 모터(39)에 의해 상하로 이동됨으로써, 승강판(35)을 사이에 두고 일시보관기구(22)를 승강시킨다.The drive rod 37 is a rod moved up and down by the drive motor 39. The drive rod 37 is provided at the center of the rear surface of the elevating plate 35. The drive rod 37 is moved up and down by the drive motor 39, thereby elevating the temporary storage mechanism 22 with the lifting plate 35 interposed therebetween.

베이스 판(38)은, 프레임(40) 등을 사이에 두고 컨베이어 장치(11) 측과 일체적으로 고정된 판재이다. 상기 베이스 판(38)에서 일시보관기구(22) 및 승강기 구(23)가 지지되어 있다. 베이스 판(38)의 4모퉁이 근방에는 가이드 구멍(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 상기 가이드 구멍은 가이드 봉(36)을 슬라이드 가능하게 지지하기 위한 구멍이다. 각 가이드 구멍에 가이드 봉(36)이 각각 삽입되고, 승강판(35)이 수평을 유지한 상태로 부드럽게 승강하도록 되어 있다.The base plate 38 is a plate material fixed integrally with the conveyor apparatus 11 side with the frame 40 etc. interposed. In the base plate 38, the temporary storage mechanism 22 and the elevator tool 23 are supported. Guide holes (not shown) are provided near four corners of the base plate 38. The guide hole is a hole for slidably supporting the guide rod 36. Guide rods 36 are inserted into the respective guide holes, and the lifting plate 35 is lifted and lowered smoothly while keeping the level.

구동 모터(39)는, 구동 봉(37)을 상하로 이동시키기 위한 모터이다. 구동 모터(39)는 일시보관기구(22)의 기판 리시버(28)를 피검사 기판(12)에 맞추어 정확하게 높이 조정할 필요가 있기 때문에, 정밀한 위치 조정이 가능한 것을 사용한다. 구동 방식으로는 각종의 것이 가능하다. 예를 들어, 구동 봉(37)의 외주면에 나사산(도시하지 않음)을 설치하고, 상기 나사산에 끼워진 너트(도시하지 않음)를 정확하게 회전 제어하여 구동 봉(37)을 정확하게 상하 구동시킨다.The drive motor 39 is a motor for moving the drive rod 37 up and down. Since the drive motor 39 needs to adjust the height of the board | substrate receiver 28 of the temporary storage mechanism 22 correctly with the to-be-tested board | substrate 12, the thing which can perform precise position adjustment is used. Various methods are possible as a drive system. For example, a screw thread (not shown) is provided on the outer circumferential surface of the driving rod 37, and the nut (not shown) fitted to the thread is accurately rotated to drive the driving rod 37 up and down accurately.

위치결정기구(24)는, 컨베이어 장치(11)로 반송되어 온 피검사 기판(12)을 일시보관기구(22)에 장착시키기 위한 장치이다.The positioning mechanism 24 is a device for attaching the inspected substrate 12 conveyed to the conveyor apparatus 11 to the temporary storage mechanism 22.

위치결정기구(24)는 주로 패널 클램프(41)와, 실린더(42)와, 가이드(43)와, 레일(44)과, 센서(45)로 구성되어 있다.The positioning mechanism 24 is mainly composed of a panel clamp 41, a cylinder 42, a guide 43, a rail 44, and a sensor 45.

패널 클램프(41)는, 피검사 기판(12)의 주연부(周緣部)에 접하여 피검사 기판(12)을 이동시키기 위한 부재이다. 패널 클램프(41)는 낮은 원주상으로 형성한 탄성을 갖는 합성수지로 구성되고, 피검사 기판(12)의 주연부에 탄성적으로 접하도록 되어 있다. 상기 패널 클램프(41)는 피검사 기판(12)의 주연부에 접하여 피검사 기판(12)을 이동시킴으로써, 위치 조정을 한다. 패널 클램프(41)는 지지판부(47) 위에 2개 설치되고, 2개의 패널 클램프(41)로 피검사 기판(12)의 주연부를 밀도록 되어 있다.The panel clamp 41 is a member for moving the inspected substrate 12 in contact with the periphery of the inspected substrate 12. The panel clamp 41 is made of a synthetic resin having elasticity formed in a low circumferential shape, and is elastically in contact with the periphery of the substrate 12 to be inspected. The panel clamp 41 adjusts the position by moving the inspected substrate 12 in contact with the periphery of the inspected substrate 12. Two panel clamps 41 are provided on the support plate part 47, and two panel clamps 41 push the periphery of the board | substrate 12 to be tested.

실린더(42)는 패널 클램프(41)를 상하 구동시키기 위한 것이다. 실린더(42)는 그 피스톤 축(도시하지 않음)이 지지판부(47)에 설치되고, 피스톤 축이 출몰 구동함으로써, 패널 클램프(41)를 상하 구동시키도록 되어 있다.The cylinder 42 is for driving the panel clamp 41 up and down. As for the cylinder 42, the piston shaft (not shown) is provided in the support plate part 47, and the piston clamp drives the panel clamp 41 up and down by driving.

가이드(43)는 패널 클램프(41)를 반송경로방향(도4의 좌우방향)으로 이동시키기 위한 부재이다. 가이드(43)는 실린더(42)의 기단부에 일체적으로 설치되어 있고, 실린더(42)를 지지하여 패널 클램프(41)를 반송경로방향으로 이동시킨다.The guide 43 is a member for moving the panel clamp 41 in the conveying path direction (left and right directions in FIG. 4). The guide 43 is integrally provided at the proximal end of the cylinder 42 and supports the cylinder 42 to move the panel clamp 41 in the conveying path direction.

레일(44)은 가이드(43)를 지지하여 반송경로방향의 이동을 안내하기 위한 부재이다. 레일(44)은 지지 기반(48) 위에 반송경로방향을 향해 설치되어 있다. 지지 기반(48) 쪽에는 가이드(43)를 이동시키기 위한 구동부(도시하지 않음)가 설치된다. 상기 구동부에 의해 가이드(43)가 반송경로방향으로 이동되고, 패널 클램프(41)로 피검사 기판(12)이 위치 조정된다.The rail 44 is a member for supporting the guide 43 to guide the movement in the conveying path direction. The rail 44 is provided on the support base 48 in the conveying path direction. On the support base 48 side, a driving unit (not shown) for moving the guide 43 is installed. The guide 43 is moved in the conveyance path direction by the drive unit, and the inspected substrate 12 is positioned by the panel clamp 41.

센서(45)는 피검사 기판(12)의 위치를 검출하고, 소정의 위치에서 정지시키기 위한 센서이다. 센서(45)로는, 각종의 것을 이용할 수 있다. 예를 들어, 센서(45)로서 발광소자와 수광소자로 이루어지는 광학 센서를 이용할 수 있다. 상기 센서(45)에 의해, 바로 위를 피검사 기판(12)이 통과하고 있을 때의 반사광을 검출하고, 이 반사광이 끊긴 시점을 피검사 기판(12)의 주연부로서 검출한다. 상기 센서(45)는 컨베이어 장치(11)의 제어부(도시하지 않음)에 접속되어 있고, 검사가 밀려 피검사 기판(12)을 일시 보관할 때에 컨베이어 장치(11)의 정지 센서로서 기능한다.The sensor 45 is a sensor for detecting the position of the inspected substrate 12 and stopping at a predetermined position. As the sensor 45, various things can be used. For example, an optical sensor composed of a light emitting element and a light receiving element can be used as the sensor 45. The said sensor 45 detects the reflected light when the board | substrate 12 under test has just passed, and detects the time when this reflected light was interrupted as the periphery of the board | substrate 12 under test. The sensor 45 is connected to a control unit (not shown) of the conveyor apparatus 11, and functions as a stop sensor of the conveyor apparatus 11 when the inspection is pushed and the substrate 12 is temporarily stored.

상술한 인라인 버퍼장치(15)의 각 구동부분은 컨베이어 장치(11)의 제어장치에 각각 접속되어 있다. 상기 제어장치는, 통상의 반송처리와 일시보관처리의 기능을 갖추고 있고, 검사가 밀린 때에 일시보관처리로 전환되도록 되어 있다.Each drive portion of the inline buffer device 15 described above is connected to a control device of the conveyor device 11, respectively. The control apparatus has functions of normal conveyance processing and temporary storage processing, and is switched to temporary storage processing when the inspection is pushed.

[동작][action]

이상과 같이 구성된 인라인 버퍼장치(15)는 다음과 같이 동작한다.The inline buffer device 15 configured as described above operates as follows.

통상의 검사작업에 있어서는, 상기 제어장치는 통상의 반송처리를 행한다. 이에 의해, 인라인 버퍼장치(15)의 일시보관기구(22)는 승강기구(23)에 의해 아래쪽으로 강하되어 대기상태로 되어 있다. 피검사 기판(12)은 컨베이어 장치(11)의 반송 롤러(17) 위를 이동하여 일시보관기구(22)를 통과하고, 검사장치(13)로 운반된다.In a normal inspection operation, the control device performs a normal conveyance process. As a result, the temporary storage mechanism 22 of the inline buffer device 15 is lowered downward by the elevating mechanism 23 to be in a standby state. The board | substrate 12 to test moves on the conveyance roller 17 of the conveyor apparatus 11, passes through the temporary storage mechanism 22, and is conveyed to the inspection apparatus 13.

검사장치(13)에서 장애가 발생하는 등에 의해 피검사 기판(12)의 반송이 밀린 때는 상기 처리장치가 일시보관처리로 전환된다. 이에 의해 인라인 버퍼장치(15)가 작동하여 다음 일시보관처리를 행한다.When the conveyance of the test | inspection board | substrate 12 is pushed by the failure | occurrence | production of the inspection apparatus 13, etc., the said processing apparatus is switched to temporary storage process. As a result, the inline buffer device 15 is operated to perform the next temporary storage process.

센서(45)에 의한 피검사 기판(12)의 주연부의 검출을 받아, 컨베이어 장치(11)를 정지시킨다. 이에 의해, 피검사 기판(12)은 센서(45)를 통과한 부근에 위치한다.The conveyor apparatus 11 is stopped by detecting the peripheral part of the test | inspection board | substrate 12 by the sensor 45. FIG. Thereby, the board | substrate 12 to test is located in the vicinity which passed the sensor 45. FIG.

이어서, 승강기구(23)의 구동 모터(39)를 작동시켜 승강판(35)에 지지된 일시보관기구(22)를 약간 상승시킨다. 구체적으로는 기판 리시버(28)의 스토퍼(30)가 피검사 기판(12)의 이동경로를 차단하고, 기판 리시버(28)가 피검사 기판(12)의 이 동경로를 차단하지 않는 높이로 설정한다.Next, the drive motor 39 of the lifting mechanism 23 is operated to slightly raise the temporary storage mechanism 22 supported by the lifting plate 35. Specifically, the stopper 30 of the substrate receiver 28 blocks the movement path of the substrate 12 to be inspected, and the substrate receiver 28 is set to a height that does not block the movement path of the substrate 12 to be inspected. do.

계속해서, 위치결정기구(24)의 실린더(42)를 신장시켜 패널 클램프(41)를 위쪽으로 연출(延出)시킨다. 이어서, 가이드(43)를 레일(44)을 따라 슬라이드시켜 패널 클램프(41)를 피검사 기판(12)의 주연부에 접하게 한다. 게다가 가이드(43)를 슬라이드시켜 피검사 기판(12)을 상기 스토퍼(30)에 접할 때까지(도7의 실선 상태에서 2점 쇄선 상태까지) 이동시킨다.Subsequently, the cylinder 42 of the positioning mechanism 24 is extended to extend the panel clamp 41 upward. Subsequently, the guide 43 slides along the rail 44 to bring the panel clamp 41 into contact with the periphery of the substrate 12 to be inspected. In addition, the guide 43 is slid to move the inspected substrate 12 until it comes into contact with the stopper 30 (from the solid line state in FIG. 7 to the two-dot chain line state).

이어서, 일시보관기구(22)를 더 상승시켜 기판 리시버(28)에서 피검사 기판(12)을 그 아래쪽에서 지지하여 들어올린다.Subsequently, the temporary storage mechanism 22 is further raised so that the substrate 12 under test is supported by the substrate receiver 28 and lifted from below.

계속해서, 2장째 피검사 기판(12)을 일시 보관하는 경우는, 2단째 기판 리시버(28)의 스토퍼(30)가 피검사 기판(12)의 이동경로를 차단하고, 기판 리시버(28)가 피검사 기판(12)의 이동경로를 차단하지 않는 높이로 일시보관기구(22)를 상승시킨다.Subsequently, in the case of temporarily storing the second inspection target substrate 12, the stopper 30 of the second stage substrate receiver 28 blocks the movement path of the inspection target substrate 12, and the substrate receiver 28 The temporary storage mechanism 22 is raised to a height that does not block the movement path of the inspected substrate 12.

이어서, 컨베이어 장치(11)를 작동시켜 센서(45)로 피검사 기판(12)의 주연부를 검출한 시점에서 컨베이어 장치(11)를 정지시키고, 위치결정기구(24)로 피검사 기판(12)의 위치를 조정하여 일시보관기구(22)를 상승시키고, 상기 처리를 반복한다.Subsequently, the conveyor apparatus 11 is operated to stop the conveyor apparatus 11 at the time when the sensor 45 detects the periphery of the substrate 12 to be inspected, and the substrate 12 to be inspected by the positioning mechanism 24. The temporary storage mechanism 22 is raised by adjusting the position of, and the above process is repeated.

컨베이어 장치(11)를 지나 온 피검사 기판(12)을 일시 보관시키지 않고 통과시키는 경우는, 피검사 기판(12)을 지지한 기판 리시버(28)의 바로 아래 기판 리시버(28)의 스토퍼(30)가 피검사 기판(12)의 이동경로를 차단하지 않는 위치로 조정하거나, 일시보관기구(22)를 상승시켜 최하단의 기판 리시버(28)가 반송 롤러(17) 보다도 위쪽에 위치하도록 한다.When passing the test target substrate 12 passing through the conveyor apparatus 11 without temporarily storing the stopper 30 of the substrate receiver 28 immediately below the substrate receiver 28 supporting the test target substrate 12. ) Is adjusted to a position where the moving path of the substrate 12 to be inspected is not blocked, or the temporary storage mechanism 22 is raised so that the lowermost substrate receiver 28 is positioned above the conveying roller 17.

이어서, 일시 보관한 피검사 기판(12)을 컨베이어 장치(11)로 되돌릴 때는, 승강기구(23)로 일시보관기구(22)를 강하시킨다. 구체적으로는, 기판 리시버(28)에서 지지한 피검사 기판(12)이 컨베이어 장치(11)의 반송 롤러(17)에 놓이고, 스토퍼(30)가 상기 피검사 기판(12)의 반송경로를 차단하지 않는 위치까지 강하시킨다.Next, when returning the temporarily inspected board | substrate 12 to the conveyor apparatus 11, the temporary storage mechanism 22 is dropped by the lifting mechanism 23. As shown in FIG. Specifically, the inspected substrate 12 supported by the substrate receiver 28 is placed on the conveying roller 17 of the conveyor apparatus 11, and the stopper 30 fixes the conveying path of the inspected substrate 12. Lower to the position where you do not block.

계속해서, 컨베이어 장치(11)를 작동시켜 피검사 기판(12)을 반송한다.Subsequently, the conveyor apparatus 11 is operated to convey the substrate 12 to be inspected.

이상과 같이, 인라인 버퍼장치(15)는, 피검사 기판(12)의 흐름이 밀린 때에, 일시보관기구(22)가 컨베이어 장치(11)의 반송경로에 그 아래쪽으로부터 밀어 올려 피검사 기판(12)을 위쪽으로 들어올려서 일시적으로 보관하고, 게다가 필요에 따라 피검사 기판(12)을 복수 단(段)으로 적층하여 들어올려서 일시적으로 보관함과 동시에, 밀림이 해소한 시점에서 일시보관기구(22)를 강하시켜 일시 보관한 피검사 기판(12)을 순차 컨베이어 장치(11)로 되돌리기 때문에, 일시보관처리가 용이해짐과 동시에, 일시 보관한 피검사 기판(12)을 용이하게 컨베이어 장치(11)로 되돌릴 수 있다. 그 결과 일시보관 작업의 효율이 향상한다.As described above, when the flow of the test target substrate 12 is pushed, the in-line buffer device 15 pushes the temporary storage mechanism 22 up from the bottom of the conveyance path of the conveyor apparatus 11 to the test target substrate 12. ) Is temporarily stored by lifting upwards, and furthermore, if necessary, the substrate 12 is stacked in multiple stages as needed to temporarily lift and temporarily stored and the temporary storage mechanism 22 at the time when the jungle is released. Since the test substrate 12 temporarily stored and returned to the conveyor apparatus 11 are sequentially returned to the conveyor apparatus 11, the temporary storage process is facilitated and the temporarily stored test substrate 12 is easily transferred to the conveyor apparatus 11. Can be reversed. As a result, the efficiency of temporary storage operations is improved.

인라인 버퍼장치(15)는 컨베이어 장치(11) 위에 겹쳐 배치했기 때문에, 인라인 버퍼장치(15)를 콤팩트하게 설치할 수 있고, 스페이스 생략화를 실현할 수 있다.Since the inline buffer device 15 is disposed on the conveyor device 11, the inline buffer device 15 can be compactly installed, and space can be omitted.

종래와 같은 이동기구(4)를 필요로 하지 않아, 그 만큼의 비용을 저감할 수 있다.The conventional moving mechanism 4 is not required, and the cost can be reduced by that much.

일시보관기구(22)가 컨베이어 장치(11)의 반송경로에 그 아래쪽에서 상승하 여 밀어 올려지는 지주(27)와, 상기 지주(27)에 복수개 설치되어 피검사 기판(12)을 지지하여 들어올리는 기판 리시버(28)를 갖추어 구성했기 때문에, 지주(27)를 상승시키는 것만으로 피검사 기판(12)을 용이하게 일시보관상태로 할 수 있음과 동시에, 지주(27)를 하강시키는 것만으로 피검사 기판(12)을 용이하게 컨베이어 장치(11)로 되돌릴 수 있어, 일시보관 작업의 효율화를 도모할 수 있다.A plurality of temporary holding mechanisms 22 are provided on the conveying path of the conveyor apparatus 11 so as to be pushed up from the bottom thereof, and a plurality of temporary holding mechanisms 22 are provided to support the inspection target board 12. Since the board | substrate receiver 28 which raises is provided and comprised, the test | inspection board | substrate 12 can be easily put into temporary storage state only by raising the support | pillar 27, and only by lowering the support | pillar 27 is avoided. The inspection board 12 can be easily returned to the conveyor apparatus 11, and the efficiency of temporary storage operation can be aimed at.

위치결정기구(24)로 피검사 기판(12)을 일시보관기구(22)에 장착시킬 때에 피검사 기판(12)을 위치 결정하기 때문에, 기판 리시버(28)가 피검사 기판(12)을 정확하게 지지하여 들어올릴 수 있고, 안정하게 보관할 수 있다.Since the substrate 12 is positioned when the substrate 12 to be inspected is attached to the temporary storage mechanism 22 by the positioning mechanism 24, the substrate receiver 28 accurately fixes the substrate 12 to be inspected. It can be supported and lifted up and stored stably.

센서(45)가 피검사 기판(12)의 위치를 검지하고, 피검사 기판(12)이 일시보관기구(22) 근방으로 이동한 때에 컨베이어 장치(11)를 정지시키기 때문에, 피검사 기판(12)을 일시보관기구(22)에 용이하게 장착할 수 있다.Since the sensor 45 detects the position of the inspected substrate 12 and stops the conveyor apparatus 11 when the inspected substrate 12 moves near the temporary storage mechanism 22, the inspected substrate 12 ) Can be easily attached to the temporary storage mechanism 22.

또, 폭 조정부(29)로 일시보관기구(22)의 폭을 피검사 기판(12)의 폭에 맞추어 조정하기 때문에, 각종 폭의 피검사 기판(12)에 대하여 인라인 버퍼장치(15)를 사용할 수 있다.In addition, since the width of the temporary storage mechanism 22 is adjusted to the width of the inspected substrate 12 by the width adjuster 29, an inline buffer device 15 can be used for the inspected substrate 12 having various widths. Can be.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and various changes can be made without departing from the spirit thereof.

본 발명은, 스페이스 생략화를 실현하고, 작업효율이 좋고, 콤팩트하고 저비용의 인라인 버퍼장치를 제공할 수 있는 발명의 효과를 갖는다.This invention has the effect of the invention which can realize space omission, and can provide an inline buffer apparatus which is good in work efficiency, compact, and low cost.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.

Claims (5)

컨베이어 장치(11)의 반송경로 상에 배설되고, 상기 컨베이어 장치의 아래쪽에 설치되어 상기 반송경로에 그 아래쪽으로부터 밀어 올려 반송물을 위쪽으로 들어올려서 일시적으로 보관하는 일시보관기구(22); 및A temporary storage mechanism (22) disposed on the conveying path of the conveyor device (11) and installed under the conveyor device to push the conveying object upward from the lower part of the conveying path to temporarily lift the conveyed object; And 상기 일시보관기구(22)를 상하로 승강시키는 승강기구(23);An elevating mechanism 23 for elevating the temporary storage mechanism 22 up and down; 를 갖추어 구성되고,Is equipped with 상기 일시보관기구(22)는 상기 컨베이어 장치(11)의 아래쪽에 배치되고 상기 컨베이어 장치(11)의 각 구동축 사이에서 위쪽으로 자유롭게 밀어 올릴 수 있음과 동시에 상기 컨베이어 장치의 각 구동축 사이에서 서로 근접 이격하여 상기 반송물의 폭에 맞추어 조정되는 복수의 지주(27);The temporary storage mechanism 22 is disposed below the conveyor apparatus 11 and can be freely pushed upwards between the drive shafts of the conveyor apparatus 11 while being spaced apart from each other between the drive shafts of the conveyor apparatus. A plurality of struts 27 which are adapted to the width of the conveyed article; 상기 각 지주(27)에 하나 또는 복수개 설치되고 상기 지주(27)의 상승에 의하여 상기 반송물을 지지하여 들어올리는 기판 리시버(28); 및One or more substrate receivers 28 installed on each support 27 to support and lift the conveyed material by the rise of the support 27; And 상기 각 지주의 간격을 상기 반송물의 폭에 맞추어 조정하는 폭 조정부;A width adjustment unit for adjusting the interval of each post to the width of the conveyed material; 를 갖추어 구성되는 것을 특징으로 하는 인라인 버퍼장치.Inline buffer device characterized in that the configuration. 제1항에 있어서, 상기 컨베이어 장치(11)로 반송되어 온 상기 반송물을 이동시켜 일시보관기구(22)에 장착시키기 위한 위치결정기구(24)를 갖춘 것을 특징으로 하는 인라인 버퍼장치.The in-line buffer device according to claim 1, further comprising a positioning mechanism (24) for moving the conveyed material conveyed to the conveyor apparatus (11) to be mounted on a temporary storage mechanism (22). 제2항에 있어서, 상기 위치결정기구(24)는 통과하는 상기 반송물을 검지하고, 소정의 위치에서 상기 컨베이어 장치(11)를 정지시키는 센서(45)를 갖춘 것을 특징으로 하는 인라인 버퍼장치.The in-line buffer device according to claim 2, wherein the positioning mechanism (24) is provided with a sensor (45) for detecting the conveyed object passing through and stopping the conveyor device (11) at a predetermined position. 삭제delete 삭제delete
KR1020060050661A 2005-07-05 2006-06-07 Inline Buffer Apparatus KR100839503B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005196429A JP2007015789A (en) 2005-07-05 2005-07-05 In-line buffer device
JPJP-P-2005-00196429 2005-07-05

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070005465A KR20070005465A (en) 2007-01-10
KR100839503B1 true KR100839503B1 (en) 2008-06-19

Family

ID=37753291

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060050661A KR100839503B1 (en) 2005-07-05 2006-06-07 Inline Buffer Apparatus

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2007015789A (en)
KR (1) KR100839503B1 (en)
TW (1) TWI301818B (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101089710B1 (en) 2009-05-28 2011-12-07 (주) 성훈테크 Apparutus for extract and transfer Soundproofing material
KR101182774B1 (en) * 2010-05-03 2012-09-13 (주)현대산기 Edge vending machine

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100813291B1 (en) 2007-02-23 2008-03-13 주식회사 코윈디에스티 Apparatus for inspecting and repairing substrate
CN101767079B (en) 2009-01-05 2011-11-16 富葵精密组件(深圳)有限公司 Plate loading machine, circuit board production system and method for manufacturing base plate
JP2010245250A (en) * 2009-04-06 2010-10-28 Ihi Corp Substrate-sorting device
CN102602695A (en) * 2011-01-25 2012-07-25 佶新科技股份有限公司 Substrate conveying and sorting device
CN109205222B (en) * 2017-07-07 2021-03-16 宁波舜宇光电信息有限公司 Material conveying device and method
CN108357929A (en) * 2018-04-18 2018-08-03 昆山精讯电子技术有限公司 A kind of front panel migrating apparatus
CN110683372A (en) * 2019-10-29 2020-01-14 惠州市诚业家具有限公司 Circular tube conveying device and method
CN115092691A (en) * 2022-06-16 2022-09-23 苏州镁伽科技有限公司 Blocking mechanism, panel transmission mechanism and panel detection equipment

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005022719A (en) * 2003-07-04 2005-01-27 Dainippon Printing Co Ltd Board material housing cassette and board material sorting device

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57131377A (en) * 1981-02-05 1982-08-14 Asahi Glass Co Ltd Manufacture of caustic alkali
JPS5836824A (en) * 1981-08-27 1983-03-03 Nikkei:Kk Transfer method and device of tile base
JPH01268198A (en) * 1988-04-20 1989-10-25 Hitachi Ltd Device for supply of magazine
JP2001122430A (en) * 1999-10-26 2001-05-08 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Device for reversing front and rear sides of thin plate during carrying

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005022719A (en) * 2003-07-04 2005-01-27 Dainippon Printing Co Ltd Board material housing cassette and board material sorting device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101089710B1 (en) 2009-05-28 2011-12-07 (주) 성훈테크 Apparutus for extract and transfer Soundproofing material
KR101182774B1 (en) * 2010-05-03 2012-09-13 (주)현대산기 Edge vending machine

Also Published As

Publication number Publication date
TW200706475A (en) 2007-02-16
KR20070005465A (en) 2007-01-10
TWI301818B (en) 2008-10-11
JP2007015789A (en) 2007-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100839503B1 (en) Inline Buffer Apparatus
KR101436764B1 (en) Plate-shaped member transfer facility
CN108045821B (en) Automatic plane warehouse of copper bar
KR100958275B1 (en) Stacker of Handler
KR20070088490A (en) Apparatus for carrying in/out substrate and method for carrying in/out substrate
US6789659B2 (en) Stator winding system and method with pallet on pallet arrangement
CN111530772A (en) Detection equipment for PCB
KR960039106A (en) Board alignment apparatus and substrate alignment method
KR101231155B1 (en) Tray Distribution System
KR100748072B1 (en) Apparatus for Electric Inspecting of Display Panel
KR101849352B1 (en) Tray suppling and discharging apparatus
KR100354103B1 (en) Panel Sending Apparatus of Liquid Crystal Display Panel Inspection System
JP2529365B2 (en) Work loading / unloading device
KR100358704B1 (en) Panel Supplying Apparatus of Liquid Crystal Display Panel System
KR200276543Y1 (en) Elevator for Transferring Tray of Handler
JP3849696B2 (en) Game board stacking equipment
CN115799147B (en) Wafer transmission device
CN212349507U (en) Detection equipment for PCB
CN220438196U (en) Wafer detecting device
JP4249930B2 (en) Pre-positioning mechanism and method
CN115676384B (en) Detection stacking equipment for manufacturing printed circuit board
US20090245979A1 (en) Carrier Supporting Apparatus
JP3117447U (en) Game board stacking equipment
JP3890508B2 (en) Corrugated equipment for game boards
CN109029534B (en) Load bearing measuring device for OLED substrate

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110512

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140509

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170511

Year of fee payment: 12