KR20190136695A - 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 다양한 유기물을 증착할 수 있는 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템에 관한 것으로서, 대상 기판에 제 1 유기물을 증착시킬 수 있는 제 1 유기물 증착부; 상기 대상 기판을 이송하는 이송 장치; 상기 이송 장치에 의해 이송된 상기 대상 기판에 제 2 유기물을 증착시킬 수 있는 제 2 유기물 증착부;를 포함하고, 상기 제 1 유기물 증착부는, 제 1 증착 챔버; 및 상기 제 1 증착 챔버 내부에 설치되고, 상기 대상 기판의 이송 방향과 수직 방향으로 길게 배치되는 유기 발광 소자용 선형 증착 장치;를 포함하며, 상기 유기 발광 소자용 선형 증착 장치는, 내부에 상기 제 1 유기물을 수용하거나 또는 안내할 수 있는 공간이 형성되고, 기판에 상기 제 1 유기물이 증착될 수 있도록 일측에 증발된 상기 제 1 유기물이 배출되는 유기물 배출구가 형성되며, 전체적으로 길이 방향으로 길게 형성되는 선형 몸체; 및 상기 제 1 유기물을 가열할 수 있도록 상기 선형 몸체의 표면에 면상으로 부착되는 면상 히터;를 포함할 수 있다.

Description

유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템{Scan type in-line manufacturing system for organic light emitting device}

본 발명은 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다양한 유기물을 증착할 수 있는 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템에 관한 것이다.

일반적으로, 유기전계 발광소자는 전자(electron)를 주입하는 음극(cathode)과 정공(hole)을 주입하는 양극(anode)으로부터 이들 두 전극 사이에 개재된 유기 발광층 내부로 각각 전자와 정공을 주입시켜, 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 결합한 엑시톤(exciton)이 여기 상태로부터 기저상태로 떨어질 때 발광하는 것을 이용한 표시소자이다.

이러한 원리에 의해 유기전계 발광소자가 구동되므로 인해 종래의 박막 액정표시소자와는 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 소자의 부피와 무게를 줄일 수 있는 장점이 있으므로 최근 평판 표시 소자로써 주목받고 있다.

통상적으로, 유기 전계 발광 소자의 유기 발광층은 복수의 기능층(정공 주입층, 정공 전달층, 발광층, 전자 전달층, 전자 주입층 등)을 포함하고, 이러한 기능층의 조합 및 배열 등을 통해 발광 성능을 더욱 개선하게 된다.

전술한 구성을 갖는 유기 발광 소자의 제조에 있어, 유기 발광층은 열 진공 증착 프로세스를 이용하여 유기 발광 물질을 기판 상에 증착함으로써 형성하는 것이 일반적이다.

유기 발광층을 형성하는 유기 발광 물질은 밑면 및 측면에 몸통 전체를 가열할 수 있는 가열수단을 포함하는 도가니의 내부에 고체 상태로 위치한다. 이때, 진공이 유지되는 챔버 내부에서 상기 도가니에 구비된 가열수단이 가동하여 상기 도가니를 가열하게 되면, 상기 도가니 내부에 위치하는 유기 발광 물질이 가열됨으로써 승화된다. 이렇게 승화된 유기 발광 물질은 상기 도가니의 배출구를 통해 증발되며, 상기 도가니의 배출구 상부에 위치하는 다수의 개구부를 갖는 쉐도우 마스크를 통해 선택적으로 기판 상에 증착됨으로서 유기 발광층이 상기 기판 상에 형성된다.

이러한 열 진공 증착을 이용한 유기 발광 물질을 기판 상에 증착하는데 사용되는 상기 도가니는 그 내부에 장착된 가열수단에 의해 높은 온도로 가열됨을 특징으로 함으로서 고온에서 변형되지 않고, 소스 물질로의 열전달이 원활하게 이루어지며, 열 진공 증착 프로세스 후 세정이 원활이 진행될 수 있도록 상대적으로 가벼운 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 도가니는 통상적으로 세라믹 재질인 그레파이트(graphite)로 이루어지고 있다.

본 발명의 목적은 다양한 유기물을 스캔 타입으로 순차적으로 증착시킬 수 있고, 도가니에서 승화된 유기 발광 물질이 대상 기판 방향으로 유도되는 과정에서 급격하게 냉각되어 대상 기판 이외의 다른 곳에 트랩되는 것을 방지함으로써 낭비되는 유기물을 절감시키고, 고가인 유기물의 증착 효율을 향상시킬 수 있으며, 승화된 유기 발광 물질의 유도를 용이하게 하여 대상 기판으로의 증착성을 향상시킬 수 있고, 연장부의 폭을 베이스부의 폭 보다 좁게 하여 증착된 유기물층의 증착 균일도를 향상시킬 수 있으며, 플렉시블한 재질의 면상 히터를 이용하여 부품 제조시 설치의 용이성과, 부착성과, 부품의 내구성 및 열적 균일성을 향상시키고, 청정 재질인 플렉시블한 글라스층을 면상 히터에 이용하여 발열층으로 인한 이물질의 발생을 방지함으로써 제품 불량을 방지할 수 있게 하는 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치를 제공함에 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로서, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템은, 대상 기판에 제 1 유기물을 증착시킬 수 있는 제 1 유기물 증착부; 상기 대상 기판을 이송하는 이송 장치; 및 상기 이송 장치에 의해 이송된 상기 대상 기판에 제 2 유기물을 증착시킬 수 있는 제 2 유기물 증착부;를 포함하고, 상기 제 1 유기물 증착부는, 제 1 증착 챔버; 및 상기 제 1 증착 챔버 내부에 설치되고, 상기 대상 기판의 이송 방향과 수직 방향으로 길게 배치되는 유기 발광 소자용 선형 증착 장치;를 포함하며, 상기 유기 발광 소자용 선형 증착 장치는, 내부에 상기 제 1 유기물을 수용하거나 또는 안내할 수 있는 공간이 형성되고, 기판에 상기 제 1 유기물이 증착될 수 있도록 일측에 증발된 상기 제 1 유기물이 배출되는 유기물 배출구가 형성되며, 전체적으로 길이 방향으로 길게 형성되는 선형 몸체; 및 상기 제 1 유기물을 가열할 수 있도록 상기 선형 몸체의 표면에 면상으로 부착되는 면상 히터;를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 선형 몸체는, 제 1 폭을 갖는 전체적으로 원통 또는 사각통 형상이고, 일측에 슬릿이 형성되는 베이스부; 상기 제 1 폭 보다 좁은 제 2 폭을 갖는 전체적으로 사각통 형상이며, 일측에 상기 베이스부의 상기 슬릿과 연결되도록 개구가 형성되는 연장부; 및 상기 연장부의 상기 유기물 배출구에 설치되는 노즐;을 포함할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 면상 히터는, 플렉시블한 필름 형태의 제 1 글라스층; 상기 제 1 글라스층 상에 형성되고, 전원을 공급받아 발열되는 플렉시블한 필름 형태의 발열층; 및 상기 발열층 상에 형성되고, 플렉시블한 필름 형태의 제 2 글라스층;을 포함할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 발열층이 상기 제 1 글라스층과 상기 제 2 글라스층에 의해 밀봉되도록 상기 제 1 글라스층과 상기 제 2 글라스층을 연결하는 실링부가 형성될 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 실링부는, 플렉시블한 필름 형태의 제 3 글라스층일 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치는, 상기 유기물이 상기 유기물 배출구를 통해 상기 기판에 하향 증착될 수 있도록 상기 선형 몸체를 하향식으로 수평 지지하고, 수직 방향으로 증발된 상기 유기물을 공급받아서 상기 선형 몸체의 상기 내부 공간에 수평 방향으로 공급할 수 있도록 절곡부가 형성되는 유기물 공급관; 및 상기 유기물 공급관과 수직으로 연결되고, 내부에 상기 유기물 소스를 가열시키는 도가니;를 더 포함할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 유기물 공급관은, 상기 선형 몸체의 좌측에 설치되는 제 1 유기물 공급관; 및 상기 선형 몸체의 우측에 설치되는 제 2 유기물 공급관;을 포함하고, 상기 도가니는, 상기 제 1 유기물 공급관과 연결되는 제 1 도가니; 및 상기 제 2 유기물 공급관과 연결되는 제 2 도가니;를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치는, 상기 선형 몸체가 상기 기판을 스캔하면서 상기 유기물이 증착될 수 있도록 상기 선형 몸체 또는 상기 기판을 서로 상대적으로 이송시키는 이송 장치;를 더 포함할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치는, 다양한 유기물을 스캔 타입으로 순차적으로 증착시킬 수 있고, 도가니에서 승화된 유기 발광 물질이 대상 기판 방향으로 유도되는 과정에서 급격하게 냉각되어 대상 기판 이외의 다른 곳에 트랩되는 것을 방지함으로써 낭비되는 유기물을 절감시키고, 고가인 유기물의 증착 효율을 향상시킬 수 있으며, 승화된 유기 발광 물질의 유도를 용이하게 하여 대상 기판으로의 증착성을 향상시킬 수 있고, 연장부의 폭을 베이스부의 폭 보다 좁게 하여 증착된 유기물층의 증착 균일도를 향상시킬 수 있으며, 플렉시블한 재질의 면상 히터를 이용하여 부품 제조시 설치의 용이성과, 부착성 및 부품의 내구성 및 열적 균일성을 향상시키고, 청정 재질인 플렉시블한 글라스층을 면상 히터에 이용하여 발열층으로 인한 이물질의 발생을 방지함으로써 제품 불량을 방지할 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템을 개념적으로 나타내는 측면도이다.
도 2는 도 1의 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 1의 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템의 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치를 나타내는 외관 사시도이다.
도 4는 도 1의 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템의 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치의 부품 분해 사시도이다.
도 5는 도 1의 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템의 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치의 면상 히터를 나타내는 단면도이다.
도 6은 도 1의 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템의 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치를 나타내는 사용 상태 사시도이다.
도 7은 도 6의 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템의 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치를 나타내는 측면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.

본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.

본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.

이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.

이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템(1000)을 개념적으로 나타내는 측면도이다. 그리고, 도 2는 도 1의 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템(1000)을 개념적으로 나타내는 평면도이다.

먼저, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템(1000)은, 크게 대상 기판(1)에 제 1 유기물을 증착시킬 수 있는 제 1 유기물 증착부(E1)와, 상기 대상 기판(1)에 제 2 유기물을 증착시킬 수 있는 제 2 유기물 증착부(E2)와, 상기 대상 기판(1)에 제 3 유기물을 증착시킬 수 있는 제 3 유기물 증착부(E3) 및 상기 대상 기판(1)을 이송하는 이송 장치(50)를 포함할 수 있다.

여기서, 상기 제 1 유기물 증착부(E1)는, 제 1 증착 챔버(C1) 및 상기 제 1 증착 챔버(C1) 내부에 설치되고, 상기 대상 기판(1)의 이송 방향과 수직 방향으로 길게 배치되는 유기 발광 소자용 선형 증착 장치(100)를 포함할 수 있다.

따라서, 본 발명의 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템(1000)에 의하면, 다양한 유기물 즉, R, G, B 발광층은 물론이고, 정공 주입층, 정공 전달층, 발광층, 전자 전달층, 전자 주입층 등을 이루는 각종 유기물을 장비 인라인화로 순차적으로 기판 상에 증착시킬 수 있다.

더욱 상세하게 예를 들면, 상기 제 1 유기물 증착부(E1)는, 제 1 증착 챔버(C1) 및 상기 제 1 증착 챔버(C1) 내부에 설치되고, 상기 대상 기판(1)의 이송 방향과 수직 방향으로 길게 배치되는 유기 발광 소자용 선형 증착 장치(100)를 포함할 수 있다.

여기서, 상기 제 2 유기물 증착부(E2) 역시, 제 2 증착 챔버(C2) 및 유기 발광 소자용 선형 증착 장치(200)를 포함할 수 있고, 상기 제 3 유기물 증착부(E3) 역시, 제 3 증착 챔버(C3) 및 유기 발광 소자용 선형 증착 장치(300)를 포함할 수 있다.

도 3은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템(1000)의 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치(100)를 나타내는 외관 사시도이다. 그리고, 도 4는 도 1의 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템(1000)의 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치(100)의 부품 분해 사시도이다.

먼저, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치(100)는, 크게 선형 몸체(10) 및 면상 히터(20)를 포함할 수 있다.

예컨대, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 선형 몸체(10)는, 내부에 유기 발광 소자용 유기물을 수용하거나 또는 증발된 유기물을 안내할 수 있는 내부 공간(A)이 형성되는 통체 형상일 수 있다.

또한, 예컨대, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 선형 몸체(10)는, 기판(1)에 상기 유기물이 증착될 수 있도록 일측에 증발된 상기 유기물이 배출되는 유기물 배출구(10a)가 형성되며, 전체적으로 길이 방향으로 길게 형성될 수 있다.

더욱 구체적으로 예를 들면, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 선형 몸체(10)는, 제 1 폭(W1)을 갖는 전체적으로 원통 또는 사각통 형상이고, 일측에 슬릿(S)이 형성되는 베이스부(11)와, 상기 제 1 폭(W1) 보다 좁은 제 2 폭(W2)을 갖는 전체적으로 사각통 형상이며, 일측에 상기 베이스부(11)의 상기 슬릿(S)과 연결되도록 개구(12a)가 형성되는 연장부(12) 및 상기 연장부(12)의 상기 유기물 배출구(10a)에 설치되는 노즐(13)을 포함할 수 있다.

여기서, 상기 기판(1) 또는 상기 대상 기판은 유기 발광 소자를 형성할 수 있는 각종 기판일 수 있고, 이러한 상기 기판(1)은 전면 증착되거나 마스크(M)를 이용하여 패턴이 형성될 수 있도록 부분 증착될 수 있다.

따라서, 도가니에 의해 승화된 유기 발광 물질, 즉 유기물은 보다 넓은 폭을 가진 상기 선형 몸체(10)의 상기 베이스부(11) 내부에 일차적으로 저장되어 있다가 내부 유기물의 압력이 높아지면 상대적으로 좁은 폭을 가진 상기 연장부(12)를 따라 방향성을 갖고 이동될 수 있으며, 이로 인하여 상기 유기물 배출구(10a)를 통과하고, 상기 노즐에 의해 상기 기판(1) 방향으로 유도될 수 있다.

이러한, 상기 선형 몸체(10)는 후술될 상기 면상 히터(20)를 지지할 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 것으로서, 도면에 국한되지 않고 매우 다양한 형상과 종류로 적용될 수 있다. 아울러, 상기 선형 몸체(10)는 상기 면상 히터(20)로부터 전달받은 열에너지를 상기 유기물에 전달될 수 있도록 열전도도가 우수한 금속이나 세라믹이나 수지나 그라파이트 등의 다양한 재질로 제조될 수 있다.

한편, 예컨대, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 면상 히터(20)는, 상기 유기물을 가열할 수 있도록 상기 선형 몸체(10)의 표면에 면상으로 부착되고, 부착이 용이하도록 플렉시블한 재질로 형성되는 히터일 수 있다.

따라서, 상기 면상 히터(20)는 넓은 면적으로 히팅을 골고루 수행할 수 있을 뿐만이 아니라 플렉시블한 재질로 제조되어 상기 선형 몸체(10)의 표면을 따라 능동적으로 부착될 수 있다.

그러므로, 솔리드한 재질의 히터를 부착하는 방식 보다 열전달 효율이나 열적 균일도 면에서 매우 우수하여 제품의 성능을 크게 향상시킬 수 있다.

또한, 이러한 상기 면상 히터(20)로 인하여 후술될 도가니에서 승화된 유기 발광 물질이 기판(1) 방향으로 유도되는 과정에서 급격하게 냉각되어 기판(1) 이외의 다른 곳에 트랩되는 것을 방지함으로써 낭비되는 유기물을 절감시키고, 고가인 유기물의 증착 효율을 향상시킬 수 있으며, 승화된 유기 발광 물질의 유도를 용이하게 하여 기판(1)으로의 증착성을 향상시킬 수 있고, 상기 연장부(12)의 상기 제 2 폭(W2)을 상기 베이스부(11)의 상기 제 1 폭(W1) 보다 좁게 하여 증착된 유기물층의 증착 균일도를 향상시킬 수 있으며, 플렉시블한 재질의 상기 면상 히터(20)를 이용하여 부품 제조시 설치의 용이성과, 부착성 및 부품의 내구성 및 열적 균일성을 향상시킬 수 있다.

도 5은 도 1의 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템(1000)의 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치(100)의 면상 히터(20)를 나타내는 단면도이다.

더욱 구체적으로 예를 들면, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 면상 히터(20)는, 플렉시블한 필름 형태의 제 1 글라스층(21)과, 상기 제 1 글라스층(21) 상에 형성되고, 전원을 공급받아 발열되는 플렉시블한 필름 형태의 발열층(23) 및 상기 발열층(23) 상에 형성되고, 플렉시블한 필름 형태의 제 2 글라스층(22)을 포함할 수 있다.

또한, 예컨대, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 발열층(23)이 상기 제 1 글라스층(21)과 상기 제 2 글라스층(22)에 의해 밀봉되도록 상기 제 1 글라스층(21)과 상기 제 2 글라스층(22)을 연결하는 실링부(24)가 형성될 수 있다.

이러한, 상기 실링부(24)는, 플렉시블한 필름 형태의 제 3 글라스층(241)일 수 있고, 이러한 상기 제 1 글라스층(21)과, 상기 제 2 글라스층(22) 및 상기 제 2 글라스층(241) 모두 동일한 재질로 동시에 제조될 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정되지 않고, 매우 다양한 방법으로 제조될 수 있다.

이러한 상기 플렉시블한 글라스층은 깨지지 않게 연성을 강화시킨 매우 얇은 글라스층으로 이루어지거나, 이러한 글라스층에 연성을 더욱 보강하기 위해서 탄소 결합층을 형성하거나 각종 수지 복합체를 덧붙이는 방법 등으로 제조될 수 있다.

또한, 상기 발열층(23)은 전원을 공급받아서 발열될 수 있도록 발열 와이어, 발열 면상체, 발열 플레이트, 발열 열선 등의 형태로 이루어질 수 있고, 이러한 발열층(23)의 재질은 예컨대, 저항 가열이 가능한 니켈, 크롬, 구리, 스테인리스 스틸, 철, 크롬, 알루미나, 몰리브덴 등의 금속 또는 합금 등의 재질로 이루어질 수 있다.

또한, 예컨대, 도 4에서는 상기 선형 몸체(10)의 하면과 좌우 측면에만 상기 면상 히터(20)가 설치된 것을 예시하였지만, 전면 및 후면은 물론이고, 상기 노즐(13)의 인근에도 설치되어 상기 유기물(1)을 충분히 가열시킬 수 있다.

이외에도, 상기 면상 히터(20)는 단일 조각이 아닌 여러 조각이 표면에 부착될 수 있고, 이러한 부착을 위해서 열전도성이 우수한 각종 접착물질들이 사이에 도포될 수 있다.

따라서, 이러한 상기 실링부(24)는 상기 발열층(23)을 외부의 물질들로부터 보호할 수 있는 것은 물론이고, 상기 발열층(23)에서 발생될 수 있는 이물질들이 외부로 누출되는 것을 방지하여 양질의 제품을 생산할 수 있게 할 수 있다.

도 6는 도 1의 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템(1000)의 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치(100)를 나타내는 사용 상태 사시도이고, 도 7는 도 6의 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템(1000)의 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치(100)를 나타내는 측면도이다.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템(1000)의 상기 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치(100)는, 상기 유기물이 상기 유기물 배출구(10a)를 통해 상기 기판(1)에 하향 증착될 수 있도록 상기 선형 몸체(10)를 하향식으로 수평 지지하고, 수직 방향으로 증발된 상기 유기물을 공급받아서 상기 선형 몸체(10)의 상기 내부 공간(A)에 수평 방향으로 공급할 수 있도록 절곡부(R)가 형성되는 유기물 공급관(30) 및 상기 유기물 공급관(30)과 수직으로 연결되고, 내부에 상기 유기물 소스를 가열시키는 도가니(40)를 더 포함할 수 있다.

더욱 구체적으로 예를 들면, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 유기물 공급관(30)은, 상기 선형 몸체(10)의 좌측에 설치되는 제 1 유기물 공급관(31) 및 상기 선형 몸체(10)의 우측에 설치되는 제 2 유기물 공급관(32)을 포함할 수 있다.

또한, 예컨대, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 도가니(40)는, 상기 제 1 유기물 공급관(31)과 연결되는 제 1 도가니(41) 및 상기 제 2 유기물 공급관(32)과 연결되는 제 2 도가니(42)를 포함할 수 있다.

또한, 예컨대, 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치(100)는, 상기 선형 몸체(10)가 상기 기판(1)을 스캔하면서 상기 유기물이 증착될 수 있도록 상기 선형 몸체(10) 또는 상기 기판(1)을 서로 상대적으로 이송시키는 이송 장치(50)를 더 포함할 수 있다.

이러한 상기 이송 장치(50)는 각종 이송암, 이송 로봇, 트랜스퍼, 컨베이어 등 다양한 장치들이 적용될 수 있고, 도면에서는 상기 기판(1)을 이송시키는 기판 이송 장치를 예시하였으나, 이외에도, 상기 선형 몸체(10)를 이송시키는 다양한 이송 장치들이 적용될 수 있다.

따라서, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 이송 장치(50)에 의해서 기판(1) 또는 상기 선형 몸체(10)가 서로 상대적으로 이송되면서 상기 도가니(40)로부터 승화된 상기 유기물이 상기 유기물 공급관(30)을 따라 상기 선형 몸체(10)로 공급될 수 있고, 상기 유기물은 상기 선형 몸체(10)의 상기 베이스부(11)에서 상기 연장부(12) 방향으로 유도되어 상기 노즐(13)을 통해서 상기 기판(1)에 하향 증착될 수 있다.

그러므로, 이러한 본 발명의 일부 실시예들에 따른 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치(100)를 이용하여 상향식 기판을 뒤집을 필요 없이 그대로 운행하면서 상기 기판(1) 상에 유기물을 하향식으로 증착시킬 수 있다.

즉, 상기 도가니(40)에서 승화된 유기 발광 물질이 기판(1) 방향으로 하향식으로 유도되는 과정에서 급격하게 냉각되어 대상 기판 이외의 다른 곳에 트랩되는 것을 방지함으로써 낭비되는 유기물을 절감시키고, 플렉시블한 재질의 상기 면상 히터(20)를 이용하여 부품 제조시 설치의 용이성과, 부착성 및 부품의 내구성 및 열적 균일성을 향상시키고, 청정 재질인 플렉시블한 글라스층을 상기 면상 히터(20)에 이용하여 발열층으로 인한 이물질의 발생을 방지함으로써 제품 불량을 방지할 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

1: 대상 기판
M: 마스크
1-1: 제 1 유기물
1-2: 제 2 유기물
1-3: 제 3 유기물
E1: 제 1 유기물 증착부
E2: 제 2 유기물 증착부
E3: 제 3 유기물 증착부
C1: 제 1 증착 챔버
C2: 제 2 증착 챔버
C3: 제 3 증착 챔버
10: 선형 몸체
10a: 유기물 배출구
A: 내부 공간
11: 베이스부
12: 연장부
12a: 개구
13: 노즐
20: 면상 히터
S: 슬릿
21: 제 1 글라스층
22: 제 2 글라스
23: 발열층
24: 실링부
241: 제 3 글라스층
R: 절곡부
30: 유기물 공급관
31: 제 1 유기물 공급관
32: 제 2 유기물 공급관
40: 도가니
41: 제 1 도가니
42: 제 2 도가니
50: 이송 장치
100, 200, 300: 유기 발광 소자의 선형 타입 제조 장치
1000: 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템

Claims (8)

1. 대상 기판에 제 1 유기물을 증착시킬 수 있는 제 1 유기물 증착부;
   상기 대상 기판을 이송하는 이송 장치;
   상기 이송 장치에 의해 이송된 상기 대상 기판에 제 2 유기물을 증착시킬 수 있는 제 2 유기물 증착부;를 포함하고,
   상기 제 1 유기물 증착부는,
   제 1 증착 챔버; 및
   상기 제 1 증착 챔버 내부에 설치되고, 상기 대상 기판의 이송 방향과 수직 방향으로 길게 배치되는 유기 발광 소자용 선형 증착 장치;를 포함하며,
   상기 유기 발광 소자용 선형 증착 장치는,
   내부에 상기 제 1 유기물을 수용하거나 또는 안내할 수 있는 공간이 형성되고, 기판에 상기 제 1 유기물이 증착될 수 있도록 일측에 증발된 상기 제 1 유기물이 배출되는 유기물 배출구가 형성되며, 전체적으로 길이 방향으로 길게 형성되는 선형 몸체; 및
   상기 제 1 유기물을 가열할 수 있도록 상기 선형 몸체의 표면에 면상으로 부착되는 면상 히터;를 포함하는, 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 선형 몸체는,
   제 1 폭을 갖는 전체적으로 원통 또는 사각통 형상이고, 일측에 슬릿이 형성되는 베이스부;
   상기 제 1 폭 보다 좁은 제 2 폭을 갖는 전체적으로 사각통 형상이며, 일측에 상기 베이스부의 상기 슬릿과 연결되도록 개구가 형성되는 연장부; 및
   상기 연장부의 상기 유기물 배출구에 설치되는 노즐;
   을 포함하는, 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 면상 히터는,
   플렉시블한 필름 형태의 제 1 글라스층;
   상기 제 1 글라스층 상에 형성되고, 전원을 공급받아 발열되는 플렉시블한 필름 형태의 발열층; 및
   상기 발열층 상에 형성되고, 플렉시블한 필름 형태의 제 2 글라스층;
   을 포함하는, 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 발열층이 상기 제 1 글라스층과 상기 제 2 글라스층에 의해 밀봉되도록 상기 제 1 글라스층과 상기 제 2 글라스층을 연결하는 실링부가 형성되는, 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 실링부는, 플렉시블한 필름 형태의 제 3 글라스층인, 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템.
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 유기물이 상기 유기물 배출구를 통해 상기 기판에 하향 증착될 수 있도록 상기 선형 몸체를 하향식으로 수평 지지하고, 수직 방향으로 증발된 상기 유기물을 공급받아서 상기 선형 몸체의 상기 내부 공간에 수평 방향으로 공급할 수 있도록 절곡부가 형성되는 유기물 공급관; 및
   상기 유기물 공급관과 수직으로 연결되고, 내부에 상기 유기물 소스를 가열시키는 도가니;
   를 더 포함하는, 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템.
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 유기물 공급관은, 상기 선형 몸체의 좌측에 설치되는 제 1 유기물 공급관; 및 상기 선형 몸체의 우측에 설치되는 제 2 유기물 공급관;을 포함하고,
   상기 도가니는, 상기 제 1 유기물 공급관과 연결되는 제 1 도가니; 및 상기 제 2 유기물 공급관과 연결되는 제 2 도가니;를 포함하는, 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템.
8. 제 1 항에 있어서,
   상기 선형 몸체가 상기 기판을 스캔하면서 상기 유기물이 증착될 수 있도록 상기 선형 몸체 또는 상기 기판을 서로 상대적으로 이송시키는 이송 장치;
   를 더 포함하는, 유기 발광 소자의 스캔 타입 인라인 제조 시스템.

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