KR20190131200A - 애널라이저 튜브의 풀링을 위한 카세트 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 공정 등 공정상의 공정가스 성분분석을 위해 분석기로 가스 등을 공급하는 애널라이저 튜브의 설치를 용이하게 하기 위한 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트에 관한 것으로서,
프레임에 장착되어 애널라이저 튜브를 풀링하기 위한 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트에 있어서, 상기 카세트는, 상부 원판; 상기 상부 원판의 하부에 장착되는 하부 원판; 상기 상부 원판과 하부 원판을 관통하여 장착되는 튜브 가이드; 및 상기 상부 원판과 하부 원판의 중앙을 관통하여 장착되는 축 기어부;로 구성되는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트를 제공한다.

Description

애널라이저 튜브의 풀링을 위한 카세트{CASSETTE FOR ANALYZER TUBE PULLING}
본 발명은 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 공정 등 공정상의 공정가스 성분분석을 위해 분석기로 가스 등을 공급하는 애널라이저 튜브의 설치를 용이하게 하기 위한 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트에 관한 것이다.
반도체 공정에는 다양한 화학물질들이 사용된다. 화학물질을 사용하게 됨에 따라 공정상에서 가스가 발생하거나, 공급된 공기에 화학물질이 함유되는 경우가 발생할 수 있다. 이러한 경우, 공기에 포함된 화학물질이나 공정상에서 발생되는 가스에 어떠한 물질이 포함되었는지를 파악하기 위해 공정상의 공기나 가스를 배출시켜 성분을 분석하기 위한 작업이 필요하다. 그 이유는 공정에 사용된 가스나 공기들을 바로 대기로 배출시켜도 무방한지 여부를 파악하기 위해서이다.
따라서, 반도체 공정에는 공정상의 공기나 가스를 뽑아내어 성분을 분석하기 위한 애널라이저 튜브가 장착된다.
애널라이저 튜브를 반도체 공정의 클린룸에 설치하는 경우, 풀링이 쉽지 않아서 작업상 여러가지 애로사항이 발생한다. 따라서, 튜브 풀링을 효율적으로 하여 작업성을 향상시킬 수 있는 카세트가 필요하다.
등록특허공보 제10-1091708호 등록특허공보 제10-1027732호 등록특허공보 제10-1261458호 공개특허공보 제10-2015-0101772호
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명은 애널라이저 튜브의 풀링이 용이하여 작업성이 좋도록 할 수 있는 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트를 제공함을 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 프레임에 장착되어 애널라이저 튜브를 풀링하기 위한 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트에 있어서, 상기 카세트는, 상부 원판; 상기 상부 원판의 하부에 장착되는 하부 원판; 상기 상부 원판과 하부 원판을 관통하여 장착되는 튜브 가이드; 및 상기 상부 원판과 하부 원판의 중앙을 관통하여 장착되는 축 기어부;로 구성되는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트를 제공한다.
본 발명에서 상부 원판은, 중앙에 형성되는 축홀; 상기 축홀을 중심으로 형성되는 십자형 홈; 및 상기 튜브 가이드가 장착되어 이동하도록 방사상으로 형성되는 직선형 가이드 홈;으로 구성되는 것을 특징으로 한다. 상기 상부 원판에는, 상부 원판의 무게를 줄이기 위한 다수의 홀이 형성될 수 있다.
본 발명에서 하부 원판은, 중앙에 형성되는 축홀; 및 상기 튜브 가이드가 장착되어 이동하도록 방사상으로 형성되는 곡선형 가이드 홈;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 튜브 가이드는, 애널라이저 튜브를 상부에서 홀딩하기 위한 수평부; 상기 수평부의 하부에 연결되어 애널라이저 튜브를 측면에서 홀딩하기 위한 수직부; 상기 수직부의 하단에 형성되고, 상기 상부 원판과 하부 원판의 직선형 및 곡선형 가이드홈을 관통하도록 축소되어 형성되는 장착부; 상기 장착부에 삽입되고, 상기 상부 원판과 하부 원판 사이를 이격하기 위한 스페이서; 및 상기 장착부의 하단에 체결되어 튜브 가이드를 상부 원판 및 하부 원판에 고정하기 위한 고정부;로 구성되는 것을 특징으로 한다. 상기 수평부에는 케이블의 전체 두께에 따라 조정이 가능하도록 슬롯이 길이방향으로 형성될 수 있다.
본 발명에서 축 기어부는, 베벨기어; 상기 베벨기어의 상부에 일체로 형성되어 연장되는 원통부; 상기 원통부의 상부에 일체로 형성되는 사각 단턱부; 상기 사각 단턱부의 상부에 일체로 형성되는 체결부; 상기 십자형 홈에 안착되고, 중앙에는 상기 체결부가 삽입되는 축홀이 형성된 십자형 스톱퍼; 및 상기 체결부에 체결되어 상부 원판과 하부 원판 및 축 기어부를 고정하는 체결너트;로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 애널라이저 튜브를 쉽게 홀딩할 수 있고, 애널라이저 튜브의 전체 부피에 따라 가변적으로 튜브 가이드를 조절할 수 있기 때문에 취급이 용이한 장점이 있다.
또한, 본 발명은 튜브의 전체 부피에 따라 튜브 가이드의 위치를 이동시킬 수 있기 때문에, 하나의 카세트로 다양한 부피의 튜브를 홀딩할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트가 장착된 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치의 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 카세트가 장착되는 프레임부의 사시도.
도 3은 도 2의 프레임부의 평면도와 저면도.
도 4는 본 발명에 따른 카세트가 장착되는 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치의 측면도.
도 5는 본 발명에 따른 카세트가 장착되는 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치의 평면도와 저면도.
도 6은 본 발명에 따른 카세트의 분해사시도.
도 7은 본 발명에 따른 카세트의 평면도와 저면도.
도 8은 본 발명에 따른 카세트에 튜브를 장착한 상태를 표시한 측면도.
이하에서는, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 다만, 이는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이지, 이로 인해 본 발명의 기술적 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하는 것은 아니다.
도 1은 본 발명에 따른 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트가 장착된 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 카세트가 장착되는 프레임부의 사시도이고, 도 3은 도 2의 프레임부의 평면도와 저면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 카세트가 장착되는 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치의 측면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 카세트가 장착되는 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치의 평면도와 저면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 카세트의 분해사시도이고, 도 7은 본 발명에 따른 카세트의 평면도(a)와 저면도(b)이고, 도 8은 본 발명에 따른 카세트에 튜브를 장착한 상태를 표시한 측면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 카세트(110)가 장착되는 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치(1)는, 프레임부(100)와, 상기 프레임부(100)에 다층으로 형성되는 카세트(110)와, 카세트(110)의 회전을 가이드함과 아울러 위치를 고정하여 주는 카세트 가이드 롤러부(120)와, 상기 카세트(110)의 전방에 위치하며 상기 측면 프레임에 장착되는 튜브 안내부(130)와, 상기 튜브 안내부(130)의 전방에 위치하도록 상기 측면 프레임에 장착되는 길이측정부(140)와, 상기 카세트(110)를 구동하기 위한 웜부(150)와, 상기 웜부(150)와 길이측정부(140)에 전원을 공급하며 웜부(150)와 길이측정부(140)를 구동하기 위한 컨트롤러(160)와, 상기 프레임부(100)의 저면에 이동가능하도록 장착되는 바퀴부(170)로 이루어진다.
도 2는 본 발명에 따른 카세트(110)가 장착되는 프레임부(100)에 대한 사시도이고, 도 3은 평면도 및 저면도이다. 도면에 도시된 바와 같이 프레임부(100)는, 사각 패널로 이루어진 하부 프레임(101)과, 하부 프레임(101)에서 상부로 연장되어 형성되는 측면 프레임(102)과, 측면 프레임(102)의 상단에 형성되는 사각 패널로 이루어진 상부 프레임(106)과, 상부 프레임(106)과 하부 프레임(101)의 중앙에서 연결되는 한 쌍의 측면 중앙 프레임(104, 105)에 양단이 고정되는 카세트 지지프레임(109)으로 구성된다. 하부 프레임(101)에는 하부 프레임을 보강하기 위한 브라켓(101-1)과, 웜부(150)가 장착되는 웜부 장착프레임(101-2)이 더 형성된다. 측면 프레임((102)은 상부 및 하부 프레임의 꼭지점에서 서로 연결되며, 또한 중앙에서도 서로 연결되는 측면 중앙 프레임(104, 105)이 더 형성된다. 또한, 튜브 안내부(30)와 길이측정부(140)의 장착을 위해 한 쌍으로 이루어지는 측면 장착 프레임(103a, 103b)이 어느 일측의 측면 중앙 프레임(104)과 측면 프레임(102) 사이에 형성된다. 측면 장착 프레임(103a, 103b)에는 길이측정부(140)를 장착하기 위한 길이측정부 장착 프레임(107)이 돌출 형성된다. 또한, 측면 프레임(102)의 강도 보강을 위한 브라켓(102-1)이 상부 및 하부 프레임(106, 101)에 연결된다. 카세트 지지프레임(109)은 측면 중앙 프레임(104, 105)에 양측이 고정되는 메인 패널(109-1)과, 메인 패널(109-1)의 일측에 형성되는 일측 분기패널(109-2)과, 메인 패널(109-1)의 타측에 형성되는 타측 분기패널(109-3)과, 메인 패널(109-1)과 일측 및 타측 분기패널(109-2, 109-3)의 단부에 장착되는 가이드봉(109-4)으로 이루어진다. 또한, 측면 프레임(102)에는 컨트롤러(160)를 장착하기 위한 컨트롤러 장착프레임(108)이 더 형성된다.
도 4는 본 발명에 따른 카세트(110)가 장착되는 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치(1)의 측면도이고, 도 5는 도 4의 평면도(도 5(a))와 저면도(도 5(b))이다. 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 튜브 안내부(130)는, 중앙 측으로 경사진 튜브 가이드 롤러(131)와, 튜브 가이드 롤러(131)를 회전 가능하게 고정하는 베어링(132)과, 튜브 가이드 롤러(131) 전방의 측면 장착 프레임에 고정되어 튜브가 튜브 가이드 롤러(131)에서 이탈되는 것을 방지하기 위한 이탈 방지봉(133)으로 이루어진다. 또한, 웜부(150)는 웜(151)과, 웜(151)을 고정하기 위한 상부 및 하부 프레임에 장착되는 베어링(152a, 152b)과, 웜(151)을 회전시키기 위한 모터(153)와, 모터(153)의 회전축에 장착되어 회전하는 구동 기어(154)와, 모터(153)를 고정하기 위한 모터 브라켓(155)으로 구성된다.
도 6은 카세트(110)의 분해사시도이고 도 7은 평면도(a)와 저면도(b)이다. 도면에 도시된 바와 같이, 카세트(110)는 방사상으로 직선형 가이드 홈(111-2)이 형성되는 상부 원판(111)과, 상부 원판(111)의 배면 측에 위치하여 방사상으로 곡선형 가이드 홈(112-1)이 형성되는 하부 원판(112)과, 상부 원판(111)의 직선형 가이드 홈(111-1)과 하부 원판(112)의 곡선형 가이드 홈(112-1)에 안착되어 가이드 홈(111-1, 112-1)을 따라 움직이는 튜브 가이드(113)와, 하부 원판(112)과 상부 원판(111)을 축 고정하면서 상부 및 하부 원판을 회전하기 위한 축 기어부(114)와, 축 기어부(114)로 구성된다.
구체적으로 상부 원판(111)은 무게를 줄이기 위해 원형 홀(111-1)이 다수 형성될 수 있고, 중앙에는 축 기어부(114)와 위치 고정을 위한 십자형 홈(111-3)이 형성되고, 십자형 홈(111-3)의 중앙에는 축 기어부(114)가 삽입되도록 축홀(111-4)이 형성된다. 또한, 방사상으로 튜브 가이드(113)가 삽입되어 고정되는 직선형 가이드 홈(111-2)이 형성되는데, 방사상으로 다수 형성된다.
하부 원판(112)은 중앙에 축홀(112-2)이 형성되고, 방사상으로 곡선형의 가이드 홈(112-1)이 전면에 형성된다. 배면에는 카세트 지지프레임(109)에서 일정각도만 움직일 수 있도록 돌기(112-3)가 형성된다. 돌기(112-3)이 형성됨에 따라 하부카세트의 회전은 180도로 제한될 수밖에 없고, 분기 패널(109-2, 109-3)에 의해 회전할 수 있는 각도는 더 제한될 수밖에 없다. 즉, 튜브 가이드(113)의 이동각도는 곡선형 가이드 홈(112-1)에 의해 형성되는 각도 내에서 움직이기 때문에 하부 원판(112)을 완전히 회전시킬 필요는 없다.
튜브 가이드(113)는 수평부(113-1)와 수직부(113-2)에 의해 'ㄱ'자형으로 이루어지고, 수평부(11-31)에는 수평부의 길이를 조절하기 위한 슬롯(113-11)이 더 형성될 수 있다. 즉, 튜브의 전체 부피가 작을 때는 슬롯(113-11)을 이동하여 수평부(113-1)와 수직부(113-2)가 'ㄱ' 자형에서 'T' 자형을 이루도록 하여 튜브의 부피에 따라 길이를 조절할 수 있다. 또한, 수직부(113-2)의 하단은 직선형 가이드 홈(111-1)과 곡선형 가이드 홈(112-1)에 삽입될 수 있도록 수직부(113-2)의 하단이 축소되어 형성되는 장착부(113-21)가 더 형성된다. 또한, 장착부(113-21)의 하단에는 고정부(113-4)가 체결되는데, 고정부(113-4)에 의해 상부 원판(111)과 하부 원판(112)에 튜브 가이드(113)가 장착될 수 있다. 고정부(113-4)는 볼트(113-5)에 의해 고정될 수 있다. 또한, 상부 카세트(111)와 하부 카세트(112)의 이격을 위해 스페이서(113-3)가 상부 카세트(111)와 하부 카세트(112) 사이에 삽입되고, 상기 장착부(113-21)에 삽입 장착될 수 있다.
축 기어부(114)는, 베벨기어(114-1)와, 베벨기어(114-1)의 상부에 일체로 형성되어 연장되는 원통부(114-2)와, 원통부(114-2)의 상부에 일체로 형성되는 사각 단턱부(114-3)와, 사각 단턱부(114-3)의 상부에 일체로 형성되는 체결부(114-4)와, 십자형 홈(111-3)에 안착되고, 중앙에는 체결부(114-4)가 삽입되는 축홀(115-1)이 형성된 십자형 스톱퍼(115)와, 체결부(114-4)에 체결되어 상부 원판(111)과 하부 원판(112) 및 축 기어부(114)를 고정하는 체결너트(116)로 구성된다.
사각 단턱부(114-2)에는 십자형 스톱퍼(115)의 사각홀(115-1)이 안착되며, 십자형 스톱퍼(115)에 의해 상부 원판(111)은 축 기어부(114)에 고정되어 항상 축 기어부(114)와 함께 회전한다.
튜브 가이드(113)의 조절 방법을 살펴보면, 하부 원판(112)은 사각 단턱부(114-3)에 의해 고정되지 않기 때문에 일정 각도 회전가능하게 되고, 하부 원판(112)과 튜브 가이드(113)를 함께 움직여서 튜브 가이드(113)의 위치를 이동시킬 수 있다. 즉, 튜브 가이드(113)는 하부 원판의 곡선형 가이드 홈(112-1)의 움직임에 따라 직선형 가이드 홈(111-2)을 따라 외측과 내측으로 움직이게 된다.
베벨기어(114-1)는 피니언(117)과 연결되어 동력전달이 이루어지고, 피니언(117)과 연결되는 웜기어(118)는 웜부(150)에 의해 동력을 전달 받는다, 피니언(117)과 웜기어(118)는 동력전달부(119)를 구성한다.
도 8은 카세트(110)에 튜브(200)가 안착되어 있는 것을 도시하고 있다. 도면에 도시된 바와 같이, 튜브(200)의 양에 따라서 튜브 가이드(113)의 위치를 조정하여 튜브(200)를 안착시킬 수 있다.
위에서 실시예가 예시적으로 설명되었음에도 불구하고, 본 발명이 이의 취지 및 범주에서 벗어남 없이 다른 여러 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 따라서 상술된 실시예는 제한적인 것이 아닌 예시적인 것으로 여겨져야 하며, 첨부된 청구항 및 이의 동등 범위 내의 모든 실시에는 본 발명의 범주 내에 포함된다고 할 것이다.
100 : 프레임 101 : 하부 프레임
102 : 측면 프레임 103 : 측면 장착 프레임
104, 105 : 측면 중앙 프레임 106 : 상부 프레임
107 : 길이측정부 장착 프레임 108 : 컨트롤러 장착 프레임
109 : 카세트 지지 프레임
110 : 카세트 111 : 상부 원판
112 : 하부 원판 113 : 튜브 가이드
114 : 축 기어부 115 : 십자형 스톱퍼
116 : 체결 너트
120 : 카세트 가이드 롤러부 130 : 튜브 안내부
140 : 길이측정부 150 : 웜부
160 : 컨트롤러 170 : 바퀴부

Claims (7)

  1. 프레임에 장착되어 애널라이저 튜브를 풀링하기 위한 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트에 있어서,
    상기 카세트는,
    상부 원판;
    상기 상부 원판의 하부에 장착되는 하부 원판;
    상기 상부 원판과 하부 원판을 관통하여 장착되는 튜브 가이드; 및
    상기 상부 원판과 하부 원판의 중앙을 관통하여 장착되는 축 기어부;
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부 원판은,
    중앙에 형성되는 축홀;
    상기 축홀을 중심으로 형성되는 십자형 홈; 및
    상기 튜브 가이드가 장착되어 이동하도록 방사상으로 형성되는 직선형 가이드 홈;
    으로 구성되는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 하부 원판은,
    중앙에 형성되는 축홀; 및
    상기 튜브 가이드가 장착되어 이동하도록 방사상으로 형성되는 곡선형 가이드 홈;
    으로 구성되는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 튜브 가이드는,
    애널라이저 튜브를 상부에서 홀딩하기 위한 수평부;
    상기 수평부의 하부에 연결되어 애널라이저 튜브를 측면에서 홀딩하기 위한 수직부;
    상기 수직부의 하단에 형성되고, 상기 상부 원판과 하부 원판의 직선형 및 곡선형 가이드홈을 관통하도록 축소되어 형성되는 장착부;
    상기 장착부에 삽입되고, 상기 상부 원판과 하부 원판 사이를 이격하기 위한 스페이서; 및
    상기 장착부의 하단에 체결되어 튜브 가이드를 상부 원판 및 하부 원판에 고정하기 위한 고정부;
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 수평부에는 케이블의 전체 두께에 따라 조정이 가능하도록 슬롯이 길이방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 축 기어부는,
    베벨기어;
    상기 베벨기어의 상부에 일체로 형성되어 연장되는 원통부;
    상기 원통부의 상부에 일체로 형성되는 사각 단턱부;
    상기 사각 단턱부의 상부에 일체로 형성되는 체결부;
    상기 십자형 홈에 안착되고, 중앙에는 상기 체결부가 삽입되는 축홀이 형성된 십자형 스톱퍼; 및
    상기 체결부에 체결되어 상부 원판과 하부 원판 및 축 기어부를 고정하는 체결너트;
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 상부 원판에는, 상부 원판의 무게를 줄이기 위한 다수의 홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트.
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