KR102011493B1 - 애널라이저 튜브 풀링용 카세트의 카세트 가이드 롤러 - Google Patents

애널라이저 튜브 풀링용 카세트의 카세트 가이드 롤러 Download PDF

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Abstract

본 발명은 애널라이저 튜브 풀링용 카세트 가이드 롤러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 공정 등 공정상의 공정가스 성분분석을 위해 분석기로 가스 등을 공급하는 애널라이저 튜브의 카세트의 위치를 고정하고, 카세트의 회전을 용이하게 하여 튜브 공급을 원활하게 할 수 있는 애널라이저 튜브 풀링용 카세트의 카세트 가이드 롤러에 관한 것으로서,
카세트 지지프레임에 장착되어 애널라이저 튜브를 풀링하는 카세트와, 상기 카세트의 측면에 장착되는 카세트 가이드 롤러에 있어서, 상기 카세트 가이드 롤러는, 상기 카세트 지지프레임의 단부에 장착된 한 쌍의 가이드봉에 삽입되어 장착되는 하부 롤러 프레임; 상기 카세트 지지프레임의 단부에 장착된 한 쌍의 가이드봉에 삽입되어 장착되며, 상기 하부 롤러 프레임과 일정간격 상부로 이격되어 설치되는 상부 롤러 프레임; 상기 하부 롤러 프레임의 일측에 장착되어 상기 카세트의 외측단부 저면과 접촉하는 한 쌍의 하부 측면 롤러; 상기 하부 롤러 프레임의 상부에 장착되어 상기 카세트의 외주면과 접촉하는 한 쌍의 하부 전면 롤러; 및 상기 상부 롤러 프레임에 장착되어 상기 카세트의 외측 단부 상부면과 접촉하는 한 쌍의 상부 측면 롤러;로 구성되는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링용 카세트의 카세트 가이드 롤러를 제공한다.

Description

애널라이저 튜브 풀링용 카세트의 카세트 가이드 롤러{CASSETTE GUIDE ROLLER OF CASSETTE FOR ANALYZER TUBE PULLING}
본 발명은 애널라이저 튜브 풀링용 카세트 가이드 롤러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 공정 등 공정상의 공정가스 성분분석을 위해 분석기로 가스 등을 공급하는 애널라이저 튜브의 카세트의 위치를 고정하고, 카세트의 회전을 용이하게 하여 튜브 공급을 원활하게 할 수 있는 애널라이저 튜브 풀링용 카세트의 카세트 가이드 롤러에 관한 것이다.
반도체 공정에는 다양한 화학물질들이 사용된다. 화학물질을 사용하게 됨에 따라 공정상에서 가스가 발생하거나, 공급된 공기에 화학물질이 함유되는 경우가 발생할 수 있다. 이러한 경우, 공기에 포함된 화학물질이나 공정상에서 발생되는 가스에 어떠한 물질이 포함되었는지를 파악하기 위해 공정상의 공기나 가스를 배출시켜 성분을 분석하기 위한 작업이 필요하다. 그 이유는 공정에 사용된 가스나 공기들을 바로 대기로 배출시켜도 무방한지 여부를 파악하기 위해서이다.
따라서, 반도체 공정에는 공정상의 공기나 가스를 뽑아내어 성분을 분석하기 위한 애널라이저 튜브가 장착된다.
애널라이저 튜브를 반도체 공정의 클린룸에 설치하는 경우, 풀링이 쉽지 않아서 작업상 여러가지 애로사항이 발생한다. 따라서, 튜브 풀링을 효율적으로 하여 작업성을 향상시킬 수 있는 카세트를 제공하기 위해, 카세트의 위치와 회전을 원활하게 할 필요가 있다.
등록특허공보 제10-1091708호 등록특허공보 제10-1027732호 등록특허공보 제10-1261458호 공개특허공보 제10-2015-0101772호
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명은 애널라이저 튜브의 풀링이 용이하고 작업성이 뛰어난 카세트를 제공하기 위해, 카세트의 위치를 견고히 하고 카세트의 회전을 원활하게 할 수 있는 애널라이저 튜브 풀링용 카세트의 카세트 가이드 롤러를 제공함을 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 카세트 지지프레임에 장착되어 애널라이저 튜브를 풀링하는 카세트와, 상기 카세트의 측면에 장착되는 카세트 가이드 롤러에 있어서, 상기 카세트 가이드 롤러는, 상기 카세트 지지프레임의 단부에 장착된 한 쌍의 가이드봉에 삽입되어 장착되는 하부 롤러 프레임; 상기 카세트 지지프레임의 단부에 장착된 한 쌍의 가이드봉에 삽입되어 장착되며, 상기 하부 롤러 프레임과 일정간격 상부로 이격되어 설치되는 상부 롤러 프레임; 상기 하부 롤러 프레임의 일측에 장착되어 상기 카세트의 외측단부 저면과 접촉하는 한 쌍의 하부 측면 롤러; 상기 하부 롤러 프레임의 상부에 장착되어 상기 카세트의 외주면과 접촉하는 한 쌍의 하부 전면 롤러; 및 상기 상부 롤러 프레임에 장착되어 상기 카세트의 외측 단부 상부면과 접촉하는 한 쌍의 상부 측면 롤러;로 구성되는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링용 카세트의 카세트 가이드 롤러를 제공한다.
본 발명에서 하부 롤러 프레임은 직사각형의 박스 형태로 이루어지고, 상기 하부 롤러 프레임의 상부면에서 하부면을 관통하여 형성되어, 상기 가이드봉이 삽입되는 한 쌍의 가이드봉 삽입홀; 상기 하부 롤러 프레임의 상부면 삽입홀의 양측에 돌출 형성되는 한 쌍의 하부 전면 롤러 장착부; 상기 하부 롤러 프레임의 길이방향 측면부 일측에 형성되는 한 쌍의 하부 측면 롤러 장착부; 상기 하부 롤러 프레임의 길이방향 측면부 타측에 형성되는 하부 롤러 프레임 고정부;로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상부 롤러 프레임은 직사각형의 박스형태로 이루어지고, 상기 상부 롤러 프레임의 상부면에서 하부면을 관통하여 형성되어, 상기 가이드봉이 삽입되는 한 쌍의 가이드봉 삽입홀; 상기 상부 롤러 프레임의 길이방향 측면부 일측에 형성되는 상부 측면 롤러 장착부; 상기 상부 롤러 프레임의 길이방향 측면부 타측에 형성되는 상부 롤러 프레임 고정부; 및 상기 상부 롤러 프레임의 하부면에 형성되되, 상기 한 쌍의 가이드봉 삽입홀의 양측에 형성되는 한 쌍의 거리 이격부;로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 하부 롤러 프레임 고정부는, 상기 하부 롤러 프레임의 배면에 어느 하나의 가이드봉에 상기 하부 롤러 프레임을 고정하기 위해 형성되는 체결홀과, 상기 체결홀에 체결되는 볼트로 구성되어, 상기 볼트를 체결하여 상기 가이드봉을 압축함으로써, 상기 하부 롤러 프레임을 고정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상부 롤러 프레임 고정부는, 상기 상부 롤러 프레임의 배면에 어느 하나의 가이드봉에 상기 상부 롤러 프레임을 고정하기 위해 형성되는 체결홀과, 상기 체결홀에 체결되는 볼트로 구성되어, 상기 볼트를 체결하여 상기 가이드봉을 압축함으로써, 상기 상부 롤러 프레임을 고정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 카세트를 프레임에 위치고정할 수 있기 때문에, 튜브 풀링 시 튜브가 외부로 이탈되는 것을 방지함과 아울러, 카세트의 회전을 원활하게 하여 주기 때문에 애널라이저 튜브의 풀링 작업이 원활히 이루어지도록 하는 효과를 가진다.
도 1은 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트가 장착된 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치에 본 발명의 카세트 가이드 롤러가 장착된 사시도.
도 2는 카세트와 본 발명에 따른 카세트 가이드 롤러가 장착되는 프레임부의 사시도.
도 3은 도 2의 프레임부의 평면도와 저면도.
도 4는 카세트와 본 발명에 따른 카세트 가이드 롤러가 장착되는 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치의 측면도.
도 5는 도 4의 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치의 평면도와 저면도.
도 6은 본 발명에 따른 카세트 가이드 롤러를 일측면에서 본 사시도.
도 7은 본 발명에 따른 카세트 가이드 롤러를 타측면에서 본 사시도.
도 8은 본 발명에 따른 카세트 가이드 롤러의 평면도.
도 9는 본 발명에 따른 카세트 가이드 롤러의 측면도.
이하에서는, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 다만, 이는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이지, 이로 인해 본 발명의 기술적 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하는 것은 아니다.
도 1은 애널라이저 튜브 풀링을 위한 카세트가 장착된 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치에 본 발명의 카세트 가이드 롤러가 장착된 사시도이고, 도 2는 카세트와 본 발명에 따른 카세트 가이드 롤러가 장착되는 프레임부의 사시도이고, 도 3은 도 2의 프레임부의 평면도와 저면도이고, 도 4는 카세트와 본 발명에 따른 카세트 가이드 롤러가 장착되는 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치의 측면도이고, 도 5는 도 4의 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치의 평면도와 저면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 카세트 가이드 롤러를 일측면에서 본 사시도이고, 도 7은 본 발명에 따른 카세트 가이드 롤러를 타측면에서 본 사시도이고, 도 8은 본 발명에 따른 카세트 가이드 롤러의 평면도이고, 도 9는 본 발명에 따른 카세트 가이드 롤러의 측면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 카세트 가이드 롤러(120)가 장착되는 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치(1)는, 프레임부(100)와, 상기 프레임부(100)에 다층으로 형성되는 카세트(110)와, 카세트(110)의 회전을 가이드함과 아울러 위치를 고정하여 주는 카세트 가이드 롤러(120)와, 상기 카세트(110)의 전방에 위치하며 상기 측면 프레임에 장착되는 튜브 안내부(130)와, 상기 튜브 안내부(130)의 전방에 위치하도록 상기 측면 프레임에 장착되는 길이측정부(140)와, 상기 카세트(110)를 구동하기 위한 웜부(150)와, 상기 웜부(150)와 길이측정부(140)에 전원을 공급하며 웜부(150)와 길이측정부(140)를 구동하기 위한 컨트롤러(160)와, 상기 프레임부(100)의 저면에 이동가능하도록 장착되는 바퀴부(170)로 이루어진다.
도 2는 본 발명에 따른 카세트(110)가 장착되는 프레임부(100)에 대한 사시도이고, 도 3은 평면도 및 저면도이다. 도면에 도시된 바와 같이 프레임부(100)는, 사각 패널로 이루어진 하부 프레임(101)과, 하부 프레임(101)에서 상부로 연장되어 형성되는 측면 프레임(102)과, 측면 프레임(102)의 상단에 형성되는 사각 패널로 이루어진 상부 프레임(106)과, 상부 프레임(106)과 하부 프레임(101)의 중앙에서 연결되는 한 쌍의 측면 중앙 프레임(104, 105)에 양단이 고정되는 카세트 지지프레임(109)으로 구성된다. 하부 프레임(101)에는 하부 프레임을 보강하기 위한 브라켓(101-1)과, 웜부(150)가 장착되는 웜부 장착프레임(101-2)이 더 형성된다. 측면 프레임((102)은 상부 및 하부 프레임의 꼭지점에서 서로 연결되며, 또한 중앙에서도 서로 연결되는 측면 중앙 프레임(104, 105)이 더 형성된다. 또한, 튜브 안내부(30)와 길이측정부(140)의 장착을 위해 한 쌍으로 이루어지는 측면 장착 프레임(103a, 103b)이 어느 일측의 측면 중앙 프레임(104)과 측면 프레임(102) 사이에 형성된다. 측면 장착 프레임(103a, 103b)에는 길이측정부(140)를 장착하기 위한 길이측정부 장착 프레임(107)이 돌출 형성된다. 또한, 측면 프레임(102)의 강도 보강을 위한 브라켓(102-1)이 상부 및 하부 프레임(106, 101)에 연결된다. 카세트 지지프레임(109)은 측면 중앙 프레임(104, 105)에 양측이 고정되는 메인 패널(109-1)과, 메인 패널(109-1)의 일측에 형성되는 일측 분기패널(109-2)과, 메인 패널(109-1)의 타측에 형성되는 타측 분기패널(109-3)과, 메인 패널(109-1)과 일측 및 타측 분기패널(109-2, 109-3)의 단부에 장착되는 가이드봉(109-4)으로 이루어진다. 또한, 측면 프레임(102)에는 컨트롤러(160)를 장착하기 위한 컨트롤러 장착프레임(108)이 더 형성된다.
도 4는 본 발명에 따른 카세트(110)가 장착되는 다층 애널라이저 튜브 풀링 장치(1)의 측면도이고, 도 5는 도 4의 평면도(도 5(a))와 저면도(도 5(b))이다. 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 튜브 안내부(130)는, 중앙 측으로 경사진 튜브 가이드 롤러(131)와, 튜브 가이드 롤러(131)를 회전 가능하게 고정하는 베어링(132)과, 튜브 가이드 롤러(131) 전방의 측면 장착 프레임에 고정되어 튜브가 튜브 가이드 롤러(131)에서 이탈되는 것을 방지하기 위한 이탈 방지봉(133)으로 이루어진다. 또한, 웜부(150)는 웜(151)과, 웜(151)을 고정하기 위한 상부 및 하부 프레임에 장착되는 베어링(152a, 152b)과, 웜(151)을 회전시키기 위한 모터(153)와, 모터(153)의 회전축에 장착되어 회전하는 구동 기어(154)와, 모터(153)를 고정하기 위한 모터 브라켓(155)으로 구성된다. 또한, 도면에 도시된 바와 같이, 카세트 지지 프레임(109)의 각 단부에는 가이드봉(109-4)이 장착되고, 상기 가이드봉(109-4)에 카세트 가이드 롤러(120)가 장착된다.
도 6 내지 도 9를 참조하여 본 발명에 따른 카세트 가이드 롤러(120)는, 카세트 지지프레임(109)의 단부에 장착된 한 쌍의 가이드봉(109-4)에 삽입되어 장착되는 하부 롤러 프레임(123)과, 카세트 지지프레임(109)의 단부에 장착된 한 쌍의 가이드봉(109-4)에 삽입되어 장착되며, 하부 롤러 프레임(123)과 일정간격 상부로 이격되어 설치되는 상부 롤러 프레임(121)과, 하부 롤러 프레임(123)의 일측에 장착되어 카세트(110)의 외측단부 저면과 접촉하는 한 쌍의 하부 측면 롤러(125)와, 하부 롤러 프레임(123)의 상부에 장착되어 카세트(110)의 외주면과 접촉하는 한 쌍의 하부 전면 롤러(124)와, 상부 롤러 프레임(121)에 장착되어 카세트(110)의 외측 단부 상부면과 접촉하는 한 쌍의 상부 측면 롤러(122)로 구성된다.
구체적으로 살펴보면, 하부 롤러 프레임(123)은 직사각형의 박스 형태로 이루어지고, 하부 롤러 프레임(123)의 상부면에서 하부면을 관통하여 형성되어, 가이드봉(109-4)이 삽입되는 한 쌍의 가이드봉 삽입홀(121-1)과, 하부 롤러 프레임(123)의 상부면 삽입홀(123-1)의 양측에 돌출 형성되는 한 쌍의 하부 전면 롤러 장착부(123-5)와, 하부 롤러 프레임(123)의 길이방향 측면부 일측에 형성되는 한 쌍의 하부 측면 롤러 장착부(123-4)와, 하부 롤러 프레임(123)의 길이방향 측면부 타측에 형성되는 하부 롤러 프레임 고정부(123-2)로 구성된다. 하부 측면 롤러 장착부(123-4)에는 먼저 베어링이 장착된 롤러(125)이 고정 장착되고, 롤러(125)의 위치 고정을 위해 내주면에 형성된 체결홀을 통해 볼트 등으로 고정된다. 하부 전면 롤러 장착부(123-5)에도 마찬가지로 베어링이 장착된 롤러(124)가 장착되고, 베어링의 고정을 위해 볼트 등을 체결홀에 장착하여 롤러(124)를 고정한다.
상부 롤러 프레임(121)은 직사각형의 박스형태로 이루어지고, 상부 롤러 프레임(121)의 상부면에서 하부면을 관통하여 형성되어, 가이드봉(109-4)이 삽입되는 한 쌍의 가이드봉 삽입홀(121-1)과, 상부 롤러 프레임(121)의 길이방향 측면부 일측에 형성되는 상부 측면 롤러 장착부(121-4)와, 상부 롤러 프레임(121)의 길이방향 측면부 타측에 형성되는 상부 롤러 프레임 고정부(121-2)와, 상부 롤러 프레임(121)의 하부면에 형성되되, 한 쌍의 가이드봉 삽입홀(121-1)의 양측에 형성되는 한 쌍의 거리 이격부(121-6)로 구성된다. 상부 측면 롤러 장착부(121-4)에는 상부 측면 롤러(122)가 장착되는데, 상부 측면 롤러(122)도 내부에 베어링이 형성되어 있어서 장착부(121-4)에 삽입한 후에 볼트 등을 체결홀(121-5)에 체결하여 고정하게 된다. 또한, 거리 이격부(121-6)가 더 형성되는데, 거리 이격부(121-6)는 카세트(110)의 가장자리가 롤러에 둘러싸여 회전할 수 있도록 하기 위한 구성이다. 거리 이격부(121-6)가 형성되어 있기 때문에 카세트(110)의 가장자리는 롤러로 둘러 싸여 회전할 수 있게 된다. 상부 롤러 프레임(121)의 배면측에 형성되는 고정부(121-2)는 어느 일측의 가이드봉(109-4)과 연통되도록 형성되는 체결홀이 형성되고, 상기 체결홀에 볼트(121-3)가 체결하여 가이드봉을 압박함으로써 상부 롤러 프레임(121)을 위치 고정하게 된다.
따라서, 상부 측면 롤러(122)와 하부 측면 롤러(125)와 하부 전면 롤러(124)와 카세트(110)의 가장자리가 접촉하게 되고, 그에 따라 카세트(110)의 회전을 용이하게 한다.
위에서 실시예가 예시적으로 설명되었음에도 불구하고, 본 발명이 이의 취지 및 범주에서 벗어남 없이 다른 여러 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 따라서 상술된 실시예는 제한적인 것이 아닌 예시적인 것으로 여겨져야 하며, 첨부된 청구항 및 이의 동등 범위 내의 모든 실시에는 본 발명의 범주 내에 포함된다고 할 것이다.
100 : 프레임 101 : 하부 프레임
102 : 측면 프레임 103 : 측면 장착 프레임
104, 105 : 측면 중앙 프레임 106 : 상부 프레임
107 : 길이측정부 장착 프레임 108 : 컨트롤러 장착 프레임
109 : 카세트 지지 프레임
110 : 카세트 111 : 상부 원판
112 : 하부 원판 113 : 튜브 가이드
114 : 축 기어부 115 : 십자형 스톱퍼
116 : 체결 너트
120 : 카세트 가이드 롤러 121 : 상부 롤러 프레임
122 : 상부 측면 롤러 123 : 하부 롤러 프레임
124 : 하부 전면 롤러 125 : 하부 측면 롤러
130 : 튜브 안내부 140 : 길이측정부
150 : 웜부 160 : 컨트롤러
170 : 바퀴부

Claims (5)

  1. 카세트 지지프레임에 장착되어 애널라이저 튜브를 풀링하는 카세트와, 상기 카세트의 측면에 장착되는 카세트 가이드 롤러에 있어서,
    상기 카세트 가이드 롤러는,
    상기 카세트 지지프레임의 단부에 장착된 한 쌍의 가이드봉에 삽입되어 장착되는 하부 롤러 프레임;
    상기 카세트 지지프레임의 단부에 장착된 한 쌍의 가이드봉에 삽입되어 장착되며, 상기 하부 롤러 프레임과 일정간격 상부로 이격되어 설치되는 상부 롤러 프레임;
    상기 하부 롤러 프레임의 일측에 장착되어 상기 카세트의 외측단부 저면과 접촉하는 한 쌍의 하부 측면 롤러;
    상기 하부 롤러 프레임의 상부에 장착되어 상기 카세트의 외주면과 접촉하는 한 쌍의 하부 전면 롤러; 및
    상기 상부 롤러 프레임에 장착되어 상기 카세트의 외측 단부 상부면과 접촉하는 한 쌍의 상부 측면 롤러;
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링용 카세트의 카세트 가이드 롤러.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 하부 롤러 프레임은 직사각형의 박스 형태로 이루어지고,
    상기 하부 롤러 프레임의 상부면에서 하부면을 관통하여 형성되어, 상기 가이드봉이 삽입되는 한 쌍의 가이드봉 삽입홀;
    상기 하부 롤러 프레임의 상부면 삽입홀의 양측에 돌출 형성되는 한 쌍의 하부 전면 롤러 장착부;
    상기 하부 롤러 프레임의 길이방향 측면부 일측에 형성되는 한 쌍의 하부 측면 롤러 장착부;
    상기 하부 롤러 프레임의 길이방향 측면부 타측에 형성되는 하부 롤러 프레임 고정부;
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링용 카세트의 카세트 가이드 롤러.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 상부 롤러 프레임은 직사각형의 박스형태로 이루어지고,
    상기 상부 롤러 프레임의 상부면에서 하부면을 관통하여 형성되어, 상기 가이드봉이 삽입되는 한 쌍의 가이드봉 삽입홀;
    상기 상부 롤러 프레임의 길이방향 측면부 일측에 형성되는 상부 측면 롤러 장착부;
    상기 상부 롤러 프레임의 길이방향 측면부 타측에 형성되는 상부 롤러 프레임 고정부; 및
    상기 상부 롤러 프레임의 하부면에 형성되되, 상기 한 쌍의 가이드봉 삽입홀의 양측에 형성되는 한 쌍의 거리 이격부;
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링용 카세트의 카세트 가이드 롤러.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 하부 롤러 프레임 고정부는, 상기 하부 롤러 프레임의 배면에 어느 하나의 가이드봉에 상기 하부 롤러 프레임을 고정하기 위해 형성되는 체결홀과, 상기 체결홀에 체결되는 볼트로 구성되어,
    상기 볼트를 체결하여 상기 가이드봉을 압축함으로써, 상기 하부 롤러 프레임을 고정하는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링용 카세트의 카세트 가이드 롤러.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 상부 롤러 프레임 고정부는, 상기 상부 롤러 프레임의 배면에 어느 하나의 가이드봉에 상기 상부 롤러 프레임을 고정하기 위해 형성되는 체결홀과, 상기 체결홀에 체결되는 볼트로 구성되어,
    상기 볼트를 체결하여 상기 가이드봉을 압축함으로써, 상기 상부 롤러 프레임을 고정하는 것을 특징으로 하는 애널라이저 튜브 풀링용 카세트의 카세트 가이드 롤러.
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