KR20190124880A - 광학적 검사 기계의 경계 검출기 - Google Patents

광학적 검사 기계의 경계 검출기 Download PDF

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KR20190124880A KR1020180048889A KR20180048889A KR20190124880A KR 20190124880 A KR20190124880 A KR 20190124880A KR 1020180048889 A KR1020180048889 A KR 1020180048889A KR 20180048889 A KR20180048889 A KR 20180048889A KR 20190124880 A KR20190124880 A KR 20190124880A
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Abstract

경계 검출기는 투명판과 프레임 사이의 경계를 검출한다. 경계 검출기는 광원, 쉴드 및 2 개의 빔-조정 유닛들을 포함한다. 광원은 본래 빔을 방출한다. 쉴드는 제2차 반사 빔을 막고 본래 빔을 중간 입사 빔 및 2 개의 측면 입사 빔들로 가른다. 중간 입사 빔은 투명판으로부터 반사되고 중간 반사 빔이 된다. 측면 입사 빔들은 프레임의 2 개의 측면 부분들로부터 반사되고 2 개의 측면 반사 빔이 된다. 빔-조정 유닛들은 측면 입사 빔들을 안내한다. 중간 반사 빔의 세기는 측면 반사 빔들과 달라서 경계가 검출된다.

Description

광학적 검사 기계의 경계 검출기{BOUNDARY DETECTOR OF AN OPTICAL INSPECTION MACHINE}
본 발명은 리소그래피에서 사용되는 마스크의 광학적 검사에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 광학적 검사 장치에 사용되는 경계 검출기에 관한 것이다.
마스크는 웨이퍼의 표면 상에 집적 회로("IC")를 만들기 위한 리소그래피에서 사용되는 필수 요소이다. IC 내의 배선의 치수는 10 나노미터보다 더 작게 만들어질 수 있다. 따라서, IC 제품들을 만들기 위한 프로세스에 있어서 마스크 상의 오염물은 생산 수율에 영향을 미칠 수 있다.
도 1을 참조하면, 마스크(100)는 기판(110), 패턴 층(115), 프레임(120) 및 펠리클(150, pellicle)을 포함한다. 기판(100)은 석영 및 유리와 같은 투명 물질로 만들어진다. 펠리클(150)은 입자들, 얼룩들 또는 휘발성 가스들과 같은 오염물들로부터 패턴 층(115)을 보호한다. 하지만, 기판(110)의 면(112) 상에 A로 표시된 것과 같은 오염물들 및 펠리클(150)의 면(151) 상에 B로 표시된 것과 같은 오염물들은 불가피하다.
도 2를 참조하면, 종래의 마스크-검사 장치는 광원(L) 및 CCD(charge-coupled device) 또는 CMOS(complementary metal-oxide semiconductor)와 같은 광 센서(C)를 포함한다. 광원(L)은 기판(110)의 면(112) 상에 빔("입사 빔")(Lo)를 보낸다. 면(112)은 입사 빔(Lo)을 반사시키고 또한 반사된 빔(Lr)(1차 반사 빔(Lr1))을 광 센서(C)로 전달한다. 입사 빔(Lo)과 면(112)의 수직선(In) 사이에 입사 각(
Figure pat00001
1)이 있고, 1차 반사 빔(Lr1)과 면(112)의 수직선(In) 사이에 반사 각(
Figure pat00002
2)이 있다. 입사 각(
Figure pat00003
1)은 반사 각(
Figure pat00004
2)과 실질적으로 동일하다. 광 센서(C)는 면(112) 상의 오염물을 검출하기 위해 면(112)으로부터 1차 반사 빔(Lr1)을 수신 및 처리한다.
하지만, 스넬의 법칙에 따르면, 입사 빔(Lo)("빔(Lc)")의 일부는 면(112)을 지나 굴절되고, 그후 기판(110)의 면(111)에 도달한다. 빔(Lc)의 일부는 면(111)으로부터 반사된다. 면(111)으로부터 반사된 빔의 일부는 면(112)에 의해 굴절되고 2차 반사 빔(Lr2)이 된다. 이러한 프로세스는 빔이 너무 약해서 광 센서(C)에 의해 검출되지 않을 때까지 계속된다.
광 센서(C)는 1차 반사 빔(Lr1)에 더하여 면(111)으로부터 반사되고 면(112)에 의해 굴절된 다른 빔 또는 2차 반사 빔(Lr2)을 수신하기 때문에 중첩된 이미지들이 있다. 예를 들어, 오염물(A)은 기판(110)의 면(112) 상에 있고, 오염물(B)는 펠리클(150)의 면(151) 상에 있다. 오염물들(A 및 B)의 이미지들이 중첩되기 때문에 오염의 실제 상태는 효과적으로 검출될 수 없다.
이미지들은 오염의 실제 상태를 판단하기 위해 처리된다. 펠리클(150)의 경계는 적절하게 이미지들을 처리하기 위해 검출되어야 한다. 하지만, 펠리클(150)의 면(151)의 경계를 검출하기 위해 종래의 광학적 검사 장치를 이용하는 것은 어렵다.
그러므로 본 발명은 종래 기술에서 만나게 되는 문제들을 소거하거나 또는 적어도 경감시키고자 하는 것이다.
본 발명의 주요 목적은 광학적 검사 기계에 제1 층 및 제1 층 아래 연장되는 제2 층을 포함하는 라미네이트를 검사하기 위한 경계 검출기를 제공하는 데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위해, 경계 검출기는 투명판과 프레임 사이의 경계를 검출한다. 경계 검출기는 광원, 쉴드 및 2 개의 빔-조정 유닛들을 포함한다. 광원은 본래 빔을 방출한다. 쉴드는 제2차 반사 빔을 막고 본래 빔을 중간 입사 빔 및 2 개의 측면 입사 빔들로 가른다. 중간 입사 빔은 투명판으로부터 반사되고 중간 반사 빔이 된다. 측면 입사 빔들은 프레임의 2 개의 측면 부분들로부터 반사되고 2 개의 측면 반사 빔이 된다. 빔-조정 유닛들은 측면 입사 빔들을 안내한다. 중간 반사 빔의 세기는 측면 반사 빔들과 달라서 경계가 검출된다.
본 발명의 다른 목적들, 장점들 및 특징들은 첨부된 도면들을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백해질 것이다.
본 발명은 도면들을 참조하여 종래 기술의 측면에서 바람직한 실시예의 상세한 설명을 통해 설명될 것이다.
도 1은 통상적인 마스크의 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크를 검사하기 위한 종래의 광학적 장치의 전면도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 경계 검출기의 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 경계 검출기의 분해도이다.
도 5는 작동 시 빔들을 보여주는, 도 3에 도시된 경계 검출기의 다른 사시도이다.
도 6은 도 1에 도시된 마스크의 프레임 상에 지지되는 펠리클 상에서 작동하는 도 5의 경계 검출기의 단면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 경계 검출기의 다른 단면도이다.
도 8은 도 5에 도시된 것과 같은 2 개의 경계 검출기들을 이용하는 마스크-검사 장치의 단면도이다.
도 1을 참조하여 발명의 배경이 되는 기술 부분에서 설명된 바와 같이, 통상적인 마스크(100)는 기판(110), 패턴 층(115), 프레임(120) 및 펠리클(150)을 포함한다. 기판(110)은 석영 및 유리와 같은 투명 물질로 만들어지고, 2 개의 면들(111 및 112)을 포함한다. 프레임(120)은 불투명 물질로 만들어진다. 프레임(120)은 면(111) 상에 지지된다. 펠리클(150)은 면(151)을 포함한다. 펠리클(150)은 프레임(120) 상에 지지된다. 프레임(120)은 펠리클(150)의 경계를 따라 연장된다. 면(111) 및 면(151)은 다른 높이들로 연장된다.
도 3 내지 도 7을 참조하면, 경계 검출기는 마스크(100)를 검사하는 데 사용될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 케이스(10), 광원(20), 쉴드(30) 및 2 개의 빔-조정 유닛들(40)을 포함한다. 경계 검출기는 기판(110)의 면(112) 및 펠리클(150)의 면(151)을 검사하는 데 사용된다.
광원(20)은 기판(110)의 면(112)을 검사하는 데 사용될 때 기판(110)의 면(112) 상에 입사 빔을 보낸다. 입사 빔은 기판(110)의 면들(112, 및 111)에 도달하고 반사되어, 이로써 1차 반사 빔 및 적어도 하나의 2차 반사 빔을 제공한다. 쉴드(30)는 2차 반사 빔을 막는다. 이후에, 1차 반사 빔은 이미지 센서(50)에 의해 수신된다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 경계 검출기는 바람직하게 광원(20), 쉴드(30) 및 빔-조정 유닛들(40)을 수용하기 위한 케이스(10)를 포함한다. 케이스(10)는 불투명판들로 만들어지고 2 개의 분리된 챔버들(11 및 12)을 포함한다. 바람직하게, 케이스(10)는 한 피스로 만들어지고, 쉴드(30)는 챔버들(11 및 12)의 개방된 하부 끝단들을 폐쇄하기 위해 케이스(10)의 하부 부분에 부착된다. 또는, 챔버(11)는 서브케이스 내에 만들어지고 챔버(12)는 다른 서브케이스 내에 만들어지고, 서브케이스들은 케이스(10)를 형성하기 위해 서로 연결된다. 또는, 서브케이스들은 서로 분리되어 있다. 챔버(12)는 챔버(11)에 반대되는 케이스(10)의 벽 내에 윈도우(18)를 포함한다.
광원(20)은 케이스(10)의 챔버(11) 내에 삽입된다. 광원(20)은 쉘(21) 내에 삽입되는 광 방출기(22)를 포함한다. 광 방출기(22)는 빔에 소정의 폭을 제공한다. 광 방출기(22)는 보이는 또는 보이지 않는 광을 방출한다. 광 방출기(22)는 예를 들어 할로겐 램프, LED, 고주파 형광등, 금속 백열 전구, 네온 램프 또는 레이저 램프이다. CCD 및 CMOS와 같은 이미지 센서(50)는 광 방출기(22)로부터 방출되는 빔을 검출할 수 있어야 한다. 광원(20)의 쉘(21)은 케이스(10)의 챔버(11)의 내부 면에 부착되는 2 개의 브라켓들(25) 상에 지지된다. 브라켓들(25) 각각은 축상 구멍(26) 및 동심축의 아치형의 슬롯(27)을 포함한다. 쉘(21)은 축상 구멍(26) 내에 삽입되는 차축(291)을 포함한다. 고정자(292)는 아치형의 슬롯(27)을 통해 쉘(21) 내에 삽입된다. 따라서, 쉘(21)은 브라켓들(25)에 대하여 다양한 각도들로 위치될 수 있다. 그러므로, 광 방출기(22)는 서로 다른 각도들로 빔을 보낼 수 있다.
쉴드(30)는 챔버(11)의 개방된 하부 끝단 및 챔버(12)의 개방된 하부 끝단을 덮기 위해 케이스(10)의 하부 부분에 부착된다. 쉴드(30)는 챔버(11)와 소통하는 출구(31) 및 챔버(12)와 소통하는 입구(32)를 포함한다. 출구(31)는 슬롯의 형태이고, 입구도 마찬가지다. 광원(20)으로부터 방출되는 빔은 출구(31)를 통해 검사되는 면으로 가고 검사되는 면으로부터 반사된다. 반사된 빔은 입구(32)를 통해 챔버(12)로 간다. 그후, 반사된 빔은 윈도우(18)를 통해 챔버(12)로부터 나간다. 마지막으로, 반사된 빔은 케이스(10) 밖에 위치한 이미지 센서(50)에 도달하게 된다.
쉴드(30)는 2 개의 슬롯들(33)을 더 포함하는데, 슬롯들(33) 각각은 출구(31)의 대응하는 끝단의 근처에 있다. 출구(31)의 축과 슬롯들(33)의 축 사이의 거리는 펠리클(150)의 면(151)과 기판(110)의 면(111) 사이의 거리와 동일하다. 슬롯들(33)은 5 내지 20 mm 정도 연장된다. 슬롯들(33)의 중심들 사이의 거리는 펠리클(150)의 면(151)의 폭과 동일하다.
출구(31)의 폭은 슬롯들(33)의 폭과 실질적으로 동일하다. 출구(31)의 폭과 슬롯들(33)의 폭은 바람직하게 0.1 내지 5 mm이고, 입구(32)의 폭보다 더 작다. 출구(31)의 폭, 슬롯들(33)의 폭 및 입구(32)의 폭은 기판(110)의 두께보다 더 작다.
바람직하게, 출구(31) 및 입구(32)의 위치들은 조정가능하다. 이를 위해, 쉴드(30)는 2 개의 판들(35 및 36)을 포함한다. 출구(31) 및 슬롯들(33)은 판(35) 내에 만들어진다. 입구(32)는 판(36) 내에 만들어진다. 케이스(10)는 쉴드(30)의 2 개의 대향하는 측면들 상에 2 개의 플랭크들(39, planks)을 더 포함한다. 판들(35 및 36)은 플랭크들(39) 상에 이동가능하게 지지되어 판들(35 및 36)의 위치들은 조정가능하다. 그러므로, 기판(110) 상의 입사 빔의 각 및 기판(110)으로부터 반사 빔의 각은 조정가능하다.
빔-조정 유닛들(40)은 쉴드(30) 상에서, 챔버(11) 내에 삽입된다. 빔-조정 유닛들(40) 각각은 탭(41), 마운트(42), 2 개의 반사기들(43 및 47), 지지 요소(45) 및 보드(46)를 포함한다. 이하의 설명은 명확함을 위해 빔-조정 유닛들(40) 중 단지 하나에 주어질 것이다. 반사기들(43 및 47)은 광원(20)으로부터 방출되는 빔을 쉴드(30)의 슬롯들(33) 중 대응하는 하나를 통해 안내한다. 탭(41)은 슬롯들(33) 중 대응하는 하나의 근처에서, 판(35) 상에 지지된다. 마운트(42)는 탭(41) 상에 지지된다. 반사기(43)는 마운트(42)에 연결된다. 마운트(42)는 축상 구멍(421) 및 아치형의 슬롯(422)을 포함한다. 2 개의 고정자들(426 및 427)은 축상 구멍(421) 및 동심축의 아치형의 슬롯(422)을 각각 거쳐, 탭(41) 내에 삽입된다. 축상 구멍(421) 및 아치형의 슬롯(427)의 사용을 위해, 광 방출기(22)에 대한 반사기(43)의 각은 조정가능하다. 지지 요소(45)는 쉴드(30) 상에 지지되어 대응하는 슬롯(33)은 마운트(42)와 지지 요소(54) 사이에 위치된다. 보드(46)는 지지 요소(45) 상에서 이동가능하다. 반사기(47)는 보드(46)의 하부 면에 부착된다. 반사기(47)는 반사기(43)로부터 반사되는 빔을 반사시켜, 이로써 케이스(10)로부터 반사된 빔을 대응하는 슬롯(33)을 통해 안내한다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 경계 검출기는 펠리클(150)의 면(151)의 경계를 스캔하는 데 사용된다. 상기에서 언급된 바와 같이, 펠리클(150)은 프레임(120)에 의해 기판(110)의 면(111) 상에 지지된다. 펠리클(150)의 면(151)은 프레임(120)의 면과 실질적으로 동일 평면 상에 있다.
챔버(11) 내에서, 광 방출기(22)는 빔("본래 빔")을 방출한다. 본래 빔의 중간 부분은 출구(31)를 통해 챔버(11)로부터 이동되어 중간 입사 빔이 된다. 본래 빔의 2 개의 측면 부분들은 빔-조정 유닛들(40)에 의해 반사되어 슬롯들(33)을 통해 챔버(11)로부터 이동하고 2 개의 측면 입사 빔들이 된다.
중간 입사 빔은 펠리클(150)의 면(151) 상에 보내지고 이로부터 반사되고, 이로써 중간 반사 빔이 제공된다. 측면 입사 빔들 각각은 프레임(120)의 측면 부분 및 펠리클(150)의 면(151)의 측면 부분 상에 보내지고 이로부터 반사되고, 이로써 측면 반사 빔이 제공된다. 중간 및 측면 반사 빔들은 입구(32)를 통해 챔버(12)로 들어가고, 그후 윈도우(18)를 통해 챔버(12)로부터 이동한다. 마지막으로, 중간 및 측면 반사 빔들은 이미지 센서(50)에 도달한다. 이미지는 중간 및 측면 반사 빔들에 따라 생성된다. 출구(31) 및 입구(32)의 폭으로 인해, 프레임(12)의 면 및 펠리클(150)의 면(151)으로부터의 어떠한 2차 반사 빔도 입구(32)를 통해 챔버(12)로 들어갈 수 없다.
중간 입사 빔은 각(
Figure pat00005
1)으로 면(151) 상에 보내지고 각(
Figure pat00006
2)으로 면(151)으로부터 반사된다. 측면 입사 빔들 각각은 각(
Figure pat00007
3)으로 프레임(120)의 대응하는 측면 부분 상에 보내지고 각(
Figure pat00008
4)으로 프레임(120)의 대응하는 측면 부분으로부터 반사된다. 각(
Figure pat00009
1)은 각(
Figure pat00010
2)과 실질적으로 동일하다. 각(
Figure pat00011
3)은 각(
Figure pat00012
4)과 실질적으로 동일하다. 하지만 각(
Figure pat00013
2)은 각(
Figure pat00014
4)과 다르다. 따라서, 펠리클(150)로부터의 중간 반사 빔의 세기는 프레임(120)으로부터의 측면 반사 빔들의 세기와는 다르다.
중간 및 측면 반사 빔들에 기초한 이미지는 중간 부분, 2 개의 측면 부분들 및 2 개의 중첩 부분들을 포함한다. 이미지의 중간 부분은 중간 반사 빔으로부터 획득되고 면(151)만을 커버한다. 이미지의 측면 부분들 각각은 대응하는 측면 반사 빔으로부터 획득되고 프레임(12)의 대응하는 측면 부분만을 커버한다. 이미지의 중첩 부분들 각각은 중간 반사 빔 및 대응하는 측면 반사 빔으로부터 획득되고 면(151)의 대응하는 측면 부분 및 프레임(12)의 대응하는 측면 부분을 커버한다. 그후, 이미지는 펠리클(150)의 면(151)의 경계를 결정하기 위해 처리된다. 면(151)의 정확한 결정은 오염의 실제 상태를 획득하는 데 사용된다. 따라서, 경계 검출기는 정확도를 증가시키고 오판의 위험성을 감소시킨다.
도 8을 참조하면, 광학적 검사 기계(60)는 도 3 내지 도 7을 참조하여 설명된 것과 같은 2 개의 경계 검출기들을 포함한다. 광학적 검사 기계(60)는 작업테이블(61), 직선 방식으로 작업테이블(61) 상에서 이동가능한 캐리어(62), 및 2 개의 광학적 모듈들을 포함한다. 마스크(100)는 캐리어(62) 상에 지지된다. 광학적 모듈들 각각은 경계 검출기(10) 및 이미지 센서(50)를 포함한다. 광학적 모듈들 중 하나는 기판(110)의 면(112)을 검사하기 위해 작업테이블(61) 위에 위치된다. 다른 광학적 모듈은 펠리클(150)의 면(151)을 검사하기 위해 작업테이블(61) 아래에 위치된다. 이미지 센서들(50)은 윈도우들(18)을 통해 케이스들(10)로부터 빔을 수신한다. 광원(20) 및 이미지 센서들(50)은 계산, 비교 및 분석을 위해 작동가능하게 프로세서(70)에 전기적으로 연결된다. 프로세서(70)는 디스플레이(75)를 포함한다. 프로세서(70)는 광 방출기(22)로부터 방출되는 빔의 세기를 제어하도록 작동가능하고, 이미지 센서(50)에 의해 수신된 반사 빔에 기초하여 디스플레이(75) 상에 마스크(100)의 이미지들을 제공한다. 따라서, 어떠한 오염물의 크기, 형태 및 종류든 적절한 방식으로 오염물의 제거를 제공하기 위해 결정될 수 있다.
본 발명은 바람직한 실시예의 예를 통해 설명되었다. 당업자는 본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서 바람직한 실시예로부터 변형들을 유도할 수 있다. 그러므로, 바람직한 실시예는 청구항들에 정의된 본 발명의 범위를 한정해서는 안된다.

Claims (12)

  1. 투명판과 프레임 사이 경계를 검출하기 위한 경계 검출기에 있어서,
    본래 빔을 방출하기 위한 광원;
    2차 반사 빔을 막고 본래 빔을 중간 입사 빔과 2 개의 측면 입사 빔들로 가르기 위한 쉴드. 상기 중간 입사 빔은 상기 투명판으로부터 반사되어 중간 반사 빔이 되고, 상기 측면 입사 빔들은 상기 프레임의 2 개의 측면 부분들로부터 반사되어 2 개의 측면 반사 빔들이 되고; 및
    상기 측면 입사 빔들을 안내하도록 작동가능한 2 개의 빔-조정 유닛들을 포함하고, 상기 중간 반사 빔의 세기는 상기 측면 반사 빔들과 달라 상기 경계가 검출되는, 경계 검출기.
  2. 제 1 항에 있어서, 제1 챔버 및 제2 챔버를 포함하는 불투명 케이스를 더 포함하고, 상기 쉴드는 상기 제1 및 제2 챔버들의 개방된 하부 끝단들을 덮기 위해 상기 케이스의 하부 부분에 부착되고, 상기 광원은 상기 제1 챔버에 위치되고, 상기 케이스는 상기 제1 챔버에 반대되는 벽 내에 윈도우를 포함하고, 상기 윈도우는 상기 제2 챔버와 소통하여 상기 1차 반사 빔이 상기 윈도우를 통해 상기 챔버로부터 나가는, 경계 검출기.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 광원은 쉘 및 상기 쉘 내에 위치되는 광 방출기를 포함하는, 경계 검출기.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 광원은 상기 제1 챔버의 벽에 부착되는 2 개의 브라켓들을 더 포함하고, 상기 쉘은 상기 브라켓들 상에 피봇으로 지지되는, 경계 검출기.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 브라켓들 각각은 축상 구멍 및 상기 축상 구멍과 동심축을 이루는 아치형의 슬롯을 포함하고, 상기 광원은 상기 축상 구멍을 통해 상기 쉘 내에 삽입되는 차축 및 상기 아치형의 슬롯을 통해 상기 쉘 내에 삽입되는 고정자를 포함하는, 경계 검출기.
  6. 제 2 항에 있어서, 상기 쉴드는
    상기 제1 챔버와 소통하는 출구. 이로써 상기 중간 입사 빔이 상기 쉴드의 출구를 통해 상기 제1 챔버로부터 나가고; 및
    상기 제2 챔버와 소통하는 입구. 이로써 상기 1차 반사 빔이 입구를 통해 상기 제2 챔버로 들어가고; 및
    상기 출구의 2 개의 끝단 근처의 2 개의 슬롯들을 포함하고, 이로써 상기 경계로부터 반사된 빔은 상기 출구를 거쳐 상기 제1 챔버로부터 나가는, 경계 검출기.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 쉴드는 제1 판 및 제2 판을 포함하고, 상기 출구 및 상기 슬롯들은 상기 제1 판 내에 만들어지고, 상기 쉴드의 입구는 상기 제2 판 내에 만들어지는, 경계 검출기.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 쉴드는 플랭크들을 제한하는 데 사용되고 또한 상기 케이스에 연결되는 2 개의 플랭크들을 더 포함하는, 경계 검출기.
  9. 제 6 항에 있어서, 상기 빔-조정 유닛들은 상기 광원 근처의 제1 챔버 내에 위치되고, 상기 빔-조정 유닛들 각각은 상기 대응하는 슬롯을 통해 상기 제1 챔버로부터 대응하는 측면 입사 빔을 안내하도록 동작가능한 제1 반사기 및 제2 반사기를 포함하는, 경계 검출기.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 빔-조정 유닛은
    상기 제1 챔버 내에, 상기 쉴드 상에 지지되는 탭;
    상기 탭 상에 지지되는 마운트. 상기 제1 반사기는 상기 마운트 상에 지지되고;
    상기 제1 챔버 내에, 상기 쉴드 상에 지지되는 지지 요소. 이로써 상기 쉴드의 상기 출구는 상기 지지 요소와 상기 탭 사이에 위치되고; 및
    상기 짖 요소 상에 지지되는 보드를 포함하고, 상기 제2 반사기는 상기 보드의 하부 면에 부착되는, 경계 검출기.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 마운트는 축상 구멍 및 상기 축상 구멍과 동심축을 이루는 아치형의 슬롯을 포함하고, 상기 빔-조정 유닛은 상기 축상 구멍을 통해 상기 탭 내에 삽입되는 고정자 및 상기 아치형의 슬롯을 통해 상기 탭 내에 삽입되는 다른 고정자를 포함하는, 경계 검출기.
  12. 광학적 검사 기계에 있어서,
    작업테이블;
    상기 작업테이블 상에 이동가능하게 지지되고 검사될 물체를 운반하도록 작동가능한 캐리어;
    상기 작업테이블의 일 측 상에 또한 제 1 항에 따른 경계 검출기 및 이미지 센서를 포함하는, 적어도 하나의 광학적 모듈. 상기 이미지 센서는 제1 층의 상부 면의 경계로부터 반사된 빔과 제2 층으로부터의 1차 반사 빔을 수신하고; 및
    상기 경계 검출기 및 상기 이미지 센서에 전기적으로 연결되고 또한 상기 경계로부터 반사된 빔 및 상기 1차 반사 빔의 세기를 계산하도록 작동가능한 프로세서를 포함하고, 상기 프로세서는 상기 반사 빔들에 따라 상기 제1 층의 상부 면 및 상기 제2 층의 상부 면의 이미지들을 제공하기 위한 디스플레이를 포함하는, 광학적 검사 기계.
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