KR20190124502A - 증착물질 증발장치 - Google Patents

Abstract

증착물질 증발장치가 개시된다. 본 발명의 증착물질 증발장치는, 내부에 증착물질이 수용되는 도가니유닛과, 도가니유닛에 인접하게 배치되며 도가니유닛을 가열하는 히팅유닛과, 히팅유닛에 인접하게 배치되며 히팅유닛에서 방사된 열을 상기 도가니유닛으로 반사하는 열반사유닛을 포함하며, 열반사유닛은, 열을 반사하는 반사면적이 가변되는 반사면적 가변형 열반사유닛을 포함한다.

Description

증착물질 증발장치{A evaporation source for deposition material}

본 발명은, 증착물질 증발장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 열반사면적이 가변되는 반사판을 이용하여 도가니유닛에 전달되는 열량을 조절할 수 있는 증착물질 증발장치에 관한 것이다.

정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광 받고 있다.

이러한 평판표시소자에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이장치(Plasma Display Panel), 유기발광다이오드 디스플레이(Organic Light Emitting Diode Display) 등이 있다.

이 중에서 유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)는, 빠른 응답속도, 기존의 액정표시장치(LCD)보다 낮은 소비 전력, 경량성, 별도의 백라이트(back light) 장치가 필요 없어서 초박형으로 만들 수 있는 점, 고휘도 등의 매우 좋은 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 소자로 각광받고 있다.

유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)는 구동방식에 따라 수동형인 PMOLED와 능동형인 AMOLED로 나눌 수 있다. 특히 AMOLED는 자발광형 디스플레이로서 기존의 디스플레이보다 응답속도가 빠르며, 색감도 자연스럽고 전력 소모가 적다는 장점이 있다. 또한 AMOLED는 기판이 아닌 필름(Film) 등에 적용하면 플렉시블 디스플레이(Flexible Display)의 기술을 구현할 수 있게 된다.

이러한 유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)는 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 에칭 공정, 봉지 공정, 그리고 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정 등을 통해 제품으로 생산될 수 있다.

이러한 유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)에 사용되는 유기전계발광소자는 기판 위에 양극 막, 유기 박막, 음극 막을 순서대로 입히고, 양극과 음극 사이에 전압을 걸어줌으로써 적당한 에너지의 차이가 유기 박막에 형성되어 스스로 발광하는 원리이다.

다시 말해, 주입되는 전자와 정공(hole)이 재결합하며, 남는 여기 에너지가 빛으로 발생되는 것이다. 이때 유기 물질의 도펀트의 양에 따라 발생하는 빛의 파장을 조절할 수 있으므로 풀 칼라(full color)의 구현이 가능하다.

도 1은 유기전계발광소자의 구조도이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 유기전계발광소자는 기판 상에 애노드(anode), 정공 주입층(hole injection layer), 정공 운송층(hole transfer layer), 발광층(emitting layer), 정공 방지층(hole blocking layer), 전자 운송층(electron transfer layer), 전자 주입층(electron injection layer), 캐소드(cathode) 등의 막이 순서대로 적층되어 형성된다.

이러한 구조에서 애노드로는 면 저항이 작고 투과성이 좋은 ITO(Indium Tin Oxide)가 주로 사용된다. 그리고 유기 박막은 발광 효율을 높이기 위하여 정공 주입층, 정공 운송층, 발광층, 정공 방지층, 전자 운송층, 전자 주입층의 다층으로 구성된다. 발광층으로 사용되는 유기물질은 Alq3, TPD, PBD, m-MTDATA, TCTA 등이 있다.

캐소드로는 LiF-Al 금속막이 사용된다. 그리고 유기 박막이 공기 중의 수분과 산소에 매우 약하므로 소자의 수명(life time)을 증가시키기 위해 봉합하는 봉지막이 최상부에 형성된다.

도 1에 도시된 유기전계발광소자를 다시 간략하게 정리하면, 유기전계발광소자는 애노드, 캐소드, 그리고 애노드와 캐소드 사이에 개재된 발광층을 포함하며, 구동 시 정공은 애노드로부터 발광층 내로 주입되고, 전자는 캐소드로부터 발광층 내로 주입된다. 발광층 내로 주입된 정공과 전자는 발광층에서 결합하여 엑시톤(exciton)을 생성하고, 이러한 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 전이하면서 빛을 방출하게 된다.

이러한 유기전계발광소자는 구현하는 색상에 따라 단색 또는 풀 칼라(full color) 유기전계발광소자로 구분될 수 있는데, 풀 칼라 유기전계발광소자는 빛의 삼원색인 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 별로 패터닝된 발광층을 구비함으로써 풀 칼라를 구현한다.

풀 칼라(full color)를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 대형 유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)를 제작하는 방식으로는 FMM(Fine Metal Mask, 이하 마스크라 함)을 이용한 직접 패터닝 방식과 LITI(Laser Induced Thermal Imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러 필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 있다.

도 1과 같은 구조의 유기전계발광소자를 만들기 위해 증착물질을 증발시키는 증착물질 증발장치가 사용된다.

이러한 증착물질 증발장치는 내부 압력이 대기압보다 낮은 상태의 진공 챔버 내부에 위치한다. 이러한 진공 분위기에서 열원을 통해 증착물질을 증발될 수 있는 온도까지 가열하여 기판에 증착물질을 증착한다.

이러한 종래기술에 따른 증착물질 증발장치는, 상부에 개구부가 형성된 통 형상으로 마련되며 내부에 증착물질이 수용되는 도가니와, 도가니에 열을 공급하여 도가니를 가열하는 발열체와, 발열체에서 방사된 열을 도가니를 열반사하는 반사판을 구비한다.

이러한 종래기술에 따른 증발방치에서 도가니의 전달되는 열량이 적어 개구부 주위의 온도가 낮으면 개구부가 막히는 클로깅(clogging) 현상이 발생되고, 도가니에 전달되는 열량이 많아 개구부 주위의 온도가 높으면 용융된 증착물질이 개구부로 분출하는 크리핑(creeping) 현상이 발생된다.

증착공정 중에 이러한 클로깅(clogging) 및 크리핑(creeping) 현상이 발생되는 것을 방지하기 위해 도가니의 온도는 적절하게 조절되어야 하는데, 도가니의 온도를 조절하기 위해 발열체에서 방사되는 열량을 가변시키는 것은 용이하지 않으며, 설사 발열체에서 방사되는 열량을 가변시키더라도 도가니의 온도를 국부적으로 상이하게 하는 것이 용이하지 않은 문제점이 있다.

대한민국특허청 출원번호 제10-2006-0063602호

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 발열체에서 방사되는 열량을 가변시키지 않으면서도 도가니의 온도를 조절할 수 있으며, 더 나아가 도가니의 온도를 국부적으로 상이하게 할 수 있는 증착물질 증발장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 증착물질이 수용되는 도가니유닛; 상기 도가니유닛에 인접하게 배치되며, 상기 도가니유닛을 가열하는 히팅유닛; 및 상기 히팅유닛에 인접하게 배치되며, 상기 히팅유닛에서 방사된 열을 상기 도가니유닛으로 반사하는 열반사유닛을 포함하며, 상기 열반사유닛은, 상기 열을 반사하는 반사면적이 가변되는 반사면적 가변형 열반사유닛을 포함하는 증착물질 증발장치가 제공될 수 있다.

상기 반사면적 가변형 열반사유닛은, 상기 도가니유닛에 대해 이격되어 배치되며, 내측 반사부용 절개공이 형성된 내측 반사부; 및 상기 도가니유닛을 기준으로 상기 내측 반사부보다 상기 도가니유닛에 대하여 더 멀리 이격되어 배치되며, 외측 반사부용 절개공이 형성된 외측 반사부를 포함할 수 있다.

상기 내측 반사부 및 상기 외측 반사부 중 적어도 어느 하나는 상기 다른 하나에 대해 상대회전 가능하게 연결될 수 있다.

상기 내측 반사부는, 내부가 중공되며, 미리 결정된 내경을 가지는 원통 형상으로 마련되며, 상기 외측 반사부는, 내부가 중공되며, 상기 내측 반사부의 내경보다 큰 내경을 가지는 원통 형상으로 마련되고, 상기 도가니유닛은 상기 내측 반사부의 내부에 배치되며, 상기 내측 반사부는 상기 외측 반사부의 내부에 배치될 수 있다.

상기 내측 반사부용 절개공은 다수개로 마련되며, 다수개의 내측 반사부용 절개공은 내측 반사부의 둘레방향을 따라 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되며, 상기 외측 반사부용 절개공은 다수개로 마련되며, 다수개의 외측 반사부용 절개공은 외측 반사부의 둘레방향을 따라 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치될 수 있다.

상기 내측 반사부용 절개공은, 상기 내측 반사부의 상부 영역에 마련되는 상부 내측 반사부용 절개공; 및 상기 내측 반사부의 하부 영역에 마련되는 하부 내측 반사부용 절개공을 포함할 수 있다.

상기 상부 내측 반사부용 절개공들과 상기 하부 내측 반사부용 절개공들 중 적어도 어느 하나는, 상기 내측 반사부의 가상의 중심 축선에 대해 상호 어긋나게 배치될 수 있다.

상기 하부 내측 반사부용 절개공들 중 어느 하나의 하부 내측 반사부용 절개공과 상기 내측 반사부의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하고 인접한 상기 상부 하부 내측 반사부용 절개공을 지나가는 가상의 직선과의 최단거리는, 다른 하나의 하부 내측 반사부용 절개공과 상기 내측 반사부의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하고 인접한 다른 상기 상부 하부 내측 반사부용 절개공을 지나가는 가상의 직선과의 최단거리와 상이할 수 있다.

상기 외측 반사부용 절개공은, 상기 외측 반사부의 상부 영역에 마련되는 상부 외측 반사부용 절개공; 및 상기 외측 반사부의 하부 영역에 마련되는 하부 외측 반사부용 절개공을 포함할 수 있다.

상기 상부 외측 반사부용 절개공들과 상기 하부 외측 반사부용 절개공들 중 적어도 어느 하나는, 상기 외측 반사부의 가상의 중심 축선에 대해 상호 어긋나게 배치될 수 있다.

상기 하부 외측 반사부용 절개공들 중 어느 하나의 하부 외측 반사부용 절개공과 상기 외측 반사부의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하고 인접한 상기 상부 하부 외측 반사부용 절개공을 지나가는 가상의 직선과의 최단거리는, 다른 하나의 하부 외측 반사부용 절개공과 상기 외측 반사부의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하고 인접한 다른 상기 상부 하부 외측 반사부용 절개공을 지나가는 가상의 직선과의 최단거리와 상이할 수 있다.

상기 내측 반사부용 절개공은, 적어도 하나 이상으로 마련되어 상기 내측 반사부의 길이 방향을 따라 이격되어 배치되는 제1 단위 내측 반사부용 절개공; 및 적어도 하나 이상으로 마련되어 상기 내측 반사부의 길이 방향을 따라 이격되어 배치되며, 상기 제1 단위 내측 반사부용 절개공에 대해 상기 내측 반사부의 둘레 방향으로 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되는 제2 단위 내측 반사부용 절개공을 포함하되, 상기 제1 단위 내측 반사부용 절개공과 상기 제2 단위 내측 반사부용 절개공의 개수는 서로 상이할 수 있다.

상기 외측 반사부용 절개공은, 적어도 하나 이상으로 마련되어 상기 외측 반사부의 길이 방향을 따라 이격되어 배치되는 제1 단위 외측 반사부용 절개공; 및 적어도 하나 이상으로 마련되어 상기 외측 반사부의 길이 방향을 따라 이격되어 배치되며, 상기 제1 단위 외측 반사부용 절개공에 대해 상기 외측 반사부의 둘레 방향으로 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되는 제2 단위 외측 반사부용 절개공을 포함하되, 상기 제1 단위 외측 반사부용 절개공과 상기 제2 단위 외측 반사부용 절개공의 개수는 서로 상이할 수 있다.

상기 반사면적 가변형 열반사유닛은, 상기 내측 반사부와 상기 외측 반사부를 지지하며, 상기 내측 반사부와 상기 외측 반사부 중 적어도 어느 하나가 상대회전 가능하게 연결되는 지지부를 더 포함할 수 있다.

상기 반사면적 가변형 열반사유닛은, 상기 내측 반사부와 상기 외측 반사부 중 적어도 어느 하나의 지지부에 대한 상대회전을 제한하는 회전 제한부를 더 포함할 수 있다.

상기 회전 제한부는 상기 외측 반사부의 상기 지지부에 대한 상대회전을 제한하며, 상기 지지부에는, 상기 지지부에 측벽에는 함몰되어 형성되며 내벽에 나사산이 형성된 나사공이 마련되며, 상기 회전 제한부는, 상기 외측 반사부에 형성된 관통공을 관통하여 상기 나사공에 치합되어 상기 외측 반사부를 상기 지지부로 가압하는 가압 볼트를 포함할 수 있다.

상기 관통공은, 상기 외측 반사부의 둘레방향을 따라 연장된 장홀 형상으로 마련할 수 있다.

상기 외측 반사부에 인접하게 배치되며, 냉각수가 유동되는 냉각라인이 마련된 냉각유닛을 더 포함하며, 상기 냉각유닛은, 내부가 중공되고 상기 외측 반사부의 내경보다 큰 내경을 가지는 원통 형상으로 마련되며, 상기 냉각라인을 지지하는 냉각유닛 본체; 상기 냉각유닛 본체의 상부 영역에 배치되며, 상기 냉각라인과 연통되는 상부 연통부; 및 상기 냉각유닛 본체의 하부 영역에 배치되며, 상기 냉각라인과 연통되는 하부 연통부를 포함할 수 있다.

상기 냉각유닛은, 상기 상부 연통부 및 상기 하부 연통부 중 어느 하나에 상기 냉각수를 공급하고 다른 하나에서 상기 냉각수가 배출되도록 상기 냉각유닛을 선택적으로 제어하는 냉각유닛 제어부를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면, 열을 반사하는 반사면적이 가변되는 반사면적 가변형 열반사유닛을 통해 발열체에서 방사된 열을 도가니유닛으로 전달함으로써, 발열체에서 방사되는 열량을 가변시키지 않으면서도 도가니유닛의 온도를 조절할 수 있으며, 더 나아가 도가니유닛의 온도를 국부적으로 상이하게 할 수 있다.

도 1은 유기전계발광소자의 구조도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 증착물질 증발장치가 사용되는 기판 증착 시스템이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 3은 도 2의 증착물질 증발장치가 도시된 도면이다.
도 4는 도 3의 내측 반사부가 도시된 도면이다.
도 5는 도 3의 외측 반사부가 도시된 도면이다.
도 6은 도 3의 내측 반사부와 외측 반사부를 평면 형상으로 전개하여 도시한 도면이다.
도 7은 도 3의 A의 확대도이다.
도 8 및 도 9는 도 6의 동작상태도이다.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 내측 반사부가 도시된 도면이다.
도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 외측 반사부가 도시된 도면이다.
도 12은 본 발명의 제3 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 내측 반사부와 내측 반사부를 전개하여 도시한 도면이다.
도 13은 본 발명의 제4 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 내측 반사부와 내측 반사부를 전개하여 도시한 도면이다.
도 14는 본 발명의 제5 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 내측 반사부와 내측 반사부를 전개하여 도시한 도면이다.
도 15는 본 발명의 제6 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 내측 반사부와 내측 반사부를 전개하여 도시한 도면이다.
도 16는 본 발명의 제7 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 내측 반사부와 내측 반사부를 전개하여 도시한 도면이다.
도 17는 본 발명의 제8 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 내측 반사부와 내측 반사부를 전개하여 도시한 도면이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도면 대비 설명에 앞서, 기판은 액정표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기전계발광소자(Organic Light Emitting Diodes) 등을 사용되는 기판일 수 있으며, 설명의 편의를 위해 이하에서는 유기전계발광소자(OLED)용 기판이라 하여 설명한다.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 증착물질 증발장치가 사용되는 기판 증착 시스템이 개략적으로 도시된 도면이고, 도 3은 도 2의 증착물질 증발장치가 도시된 도면이며, 도 4는 도 3의 내측 반사부가 도시된 도면이고, 도 5는 도 3의 외측 반사부가 도시된 도면이며, 도 6은 도 3의 내측 반사부와 외측 반사부를 평면 형상으로 전개하여 도시한 도면이고, 도 7은 도 3의 A의 확대도이며, 도 8 및 도 9는 도 6의 동작상태도이다.

도 6, 도 8 및 도 9에서는 설명의 편의를 위해 원통 형상의 내측 반사부(140)와 외측 반사부(150)를 평면 형상으로 전개하여 도시하였다.

도 2를 참조하면 기판 증착시스템은, 기판에 대한 증착 공정이 진행되는 공정 챔버(10)와, 공정 챔버(10)의 일측에 마련되어 기판을 향해 증착물질(M)을 분사하는 증착물질 증발장치(100)을 포함한다.

공정 챔버(10)는 기판에 대한 증착 공정이 진행되는 장소이다. 즉, 공정 챔버(10)는 도 1에 도시된 유기전계발광소자의 제조를 위해 발광층(유기물) 및 전극층(무기물)을 증착하는 장소를 형성한다.

증착 공정 시 공정 챔버(10)의 내부는 진공 분위기를 유지한다. 때문에 공정 챔버(10)에는 진공 펌프(미도시) 등이 연결될 수 있다.

한편, 증착물질 증발장치(100)은 공정 챔버(10)의 일측에 마련되어 기판을 향해 증착물질(M)을 분사한다. 이러한 증착물질 증발장치(100)는, 도 2 내지 도 9에 자세히 도시된 바와 같이, 내부에 증착물질(M)이 수용되는 도가니유닛(110)과, 도가니유닛(110)에 인접하게 배치되며 도가니유닛(110)을 가열하는 히팅유닛(120)과, 히팅유닛(120)에 인접하게 배치되며 히팅유닛(120)에서 방사된 열을 도가니유닛(110)으로 반사하는 열반사유닛(130)과, 열반사유닛(130)에 인접하게 배치되며 냉각수가 유동되는 냉각라인(181)이 마련된 냉각유닛(180)을 포함한다.

본 실시예에서 도가니유닛(110)은 병(bottle) 형상의 구조물이다. 이러한 도가니유닛(110)의 내부에는 가열 시 증발되면서 도 2의 기판 표면에 증착되는 증착물질(M)이 수용된다. 도가니유닛(110) 내에 수용되는 증착물질(M)은 유기물 또는 무기물일 수 있다.

본 실시예에서 도가니유닛(110)의 상부영역에는 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 도가니유닛(110)의 내부와 연통되는 개구부(111)가 마련된다. 이러한 개구부(111)는 가열에 의해 증발된 증착물질(M)을 도가니유닛(110)에서 배출하는 역할을 한다.

히팅유닛(120)은, 도가니유닛(110)에 인접하게 배치되며, 열을 발산하여 도가니유닛(110)을 가열한다. 이러한 히팅유닛(120)은 와이어 또는 플레이트 형상으로 마련될 수 있다. 본 실시예에서 히팅유닛(120)은, 플레이트 형상으로 마련되고, 다수개로 마련되어 도가니유닛(110)을 기준으로 하여 방사상으로 상호 이격되어 배치되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니며, 히팅유닛(120)은 다양한 형상으로 마련될 수 있다.

열반사유닛(130)은, 히팅유닛(120)에 인접하게 배치되며, 히팅유닛(120)에서 방사된 열을 도가니유닛(110)으로 반사한다. 이러한 열반사유닛(130)은, 히팅유닛(120)에서 방출된 열을 도가니유닛(110)으로 반사시킴으로써, 열효율을 높일 수 있다.

본 실시예에 따른 열반사유닛(130)은, 열을 반사하는 반사면적이 가변되는 반사면적 가변형 열반사유닛(130)을 포함한다. 이러한 반사면적 가변형 열반사유닛(130)은, 히팅유닛(120)에서 방사된 열을 반사면적을 가변시킴으로써, 발열체에서 방사되는 열량을 변경시키지 않으면서도 도가니유닛(110)의 온도를 조절할 수 있으며, 더 나아가 도가니유닛(110)의 온도를 국부적으로 상이하게 할 수 있다.

이러한 반사면적 가변형 열반사유닛(130)은, 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 도가니유닛(110)에 대해 이격되어 배치되며 내측 반사부용 절개공(141)이 형성된 내측 반사부(140)와, 도가니유닛(110)을 기준으로 내측 반사부(140)보다 도가니유닛(110)에 대하여 더 멀리 이격되어 배치되며 외측 반사부용 절개공(151)이 형성된 외측 반사부(150)와, 내측 반사부(140)와 외측 반사부(150)를 지지하는 지지부(160)와, 외측 반사부(150)의 지지부(160)에 대한 상대회전을 제한하는 회전 제한부(170)를 포함한다.

내측 반사부(140)는 지지부(160)에 지지된다. 이러한 내측 반사부(140)는, 내부가 중공되며, 미리 결정된 내경을 가지는 원통 형상으로 마련된다. 본 실시예에서 내측 반사부(140)의 내부에는 도가니유닛(110)과 히팅유닛(120)이 배치된다. 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 도가니유닛(110)은 내측 반사부(140)의 내부 중앙 영역에 배치되며, 히팅유닛(120)은 도가니유닛(110)과 내측 반사부(140)의 사이에 배치된다.

이러한 내측 반사부(140)에는, 도 4에 자세히 도시된 바와 같이, 내측 반사부용 절개공(141)이 형성된다. 내측 반사부용 절개공(141)은 다수개로 마련된다. 다수개의 내측 반사부용 절개공(141)은 내측 반사부(140)의 둘레방향을 따라 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치된다. 도 4에서 내측 반사부용 절개공(141)은 직사각 형상으로 마련되지만, 이에 권리범위가 한정되지 않으며, 내측 반사부용 절개공(141)은 다양한 형상으로 마련될 수 있다.

내측 반사부용 절개공(141)이 형성된 내측 반사부(140)에 의해 열반사유닛(130)의 반사면적은 외측 반사부(150)와의 상호 작용에 의해 가변될 수 있다. 여기서, 외측 반사부(150)와의 상호 작용은 설명의 편의를 위해 외측 반사부(150)를 설명할 때 함께 설명한다.

또한 내측 반사부용 절개공(141)은, 도 4에 자세히 도시된 바와 같이, 내측 반사부(140)의 상부 영역에 마련되는 상부 내측 반사부용 절개공(142)과, 내측 반사부(140)의 하부 영역에 마련되는 하부 내측 반사부용 절개공(143)을 포함한다.

상부 내측 반사부용 절개공(142)과 하부 내측 반사부용 절개공(143)은 내측 반사부(140)의 축방향으로 이격되어 배치되되, 내측 반사부(140)의 가상의 중심 축선에 대해 상호 어긋나게 배치된다. 즉, 상부 내측 반사부용 절개공(142)과 하부 내측 반사부용 절개공(143)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 내측 반사부(140)의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하는 가상의 직선(G) 상에 함께 배치되지 않는다.

이와 같이 상부 내측 반사부용 절개공(142)과 하부 내측 반사부용 절개공(143)이 내측 반사부(140)의 가상의 중심 축선에 대해 상호 어긋나게 배치되면, 외측 반사부(150)와의 상호 작용에 의해 열반사유닛(130)의 상부 영역의 반사면적과 하부 영역의 반사면적의 크기가 서로 다를 수 있다.

이렇게 열반사유닛(130)의 상부 영역의 반사면적과 하부 영역의 반사면적의 크기가 달라지면, 그에 따라 도가니유닛(110)의 상부 영역과 하부영역에 반사되는 열량에 차이가 발생되고, 그에 따라 도가니유닛(110)의 상부 영역의 온도와 하부 영역의 온도가 서로 달라질 수 있다.

외측 반사부(150)는 지지부(160)에 회전 가능하게 지지된다. 외측 반사부(150)는 내부가 중공되며, 내측 반사부(140)의 내경보다 큰 내경을 가지는 원통 형상으로 마련된다.

이러한 외측 반사부(150)에는, 도 5에 자세히 도시된 바와 같이, 외측 반사부용 절개공(151)이 형성된다. 외측 반사부용 절개공(151)은 다수개로 마련된다. 다수개의 외측 반사부용 절개공(151)은 외측 반사부(150)의 둘레방향을 따라 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치된다. 도 5에서 외측 반사부용 절개공(151)은 직사각 형상으로 마련되지만, 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며, 외측 반사부용 절개공(151)은 다양한 형상으로 마련될 수 있다.

본 실시예에서 외측 반사부(150)의 내부에는, 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 내측 반사부(140)가 배치된다. 이러한 외측 반사부(150)는 지지부(160)에 회전 가능하게 지지됨으로써, 내측 반사부(140)에 대해 상대회전 될 수 있다. 따라서, 내측 반사부(140)에 대한 외측 반사부(150)의 상대회전으로 내측 반사부용 절개공(141)과 외측 반사부용 절개공(151)이 서로 대향될 수도 있고, 내측 반사부용 절개공(141)이 외측 반사부(150)에 의해 차폐될 수 있다

내측 반사부용 절개공(141)과 외측 반사부용 절개공(151)이 상호 대향되면, 열반사유닛(130)의 반사면적은 내측 반사부(140)의 내주면의 표면적에서 내측 반사부용 절개공(141)의 면적을 뺀 크기에 해당된다.

이에 비하여, 내측 반사부용 절개공(141)과 외측 반사부용 절개공(151)이 상호 대향되지 않아 내측 반사부용 절개공(141)이 외측 반사부(150)에 의해 차폐되면, 열반사유닛(130)의 반사면적은 내측 반사부(140)의 내주면의 표면적에 해당된다.

이와 같이 내측 반사부(140)에 대한 외측 반사부(150)의 상대회전에 의해 내측 반사부용 절개공(141)과 외측 반사부용 절개공(151)이 겹치는 정도가 달라지고, 이러한 내측 반사부용 절개공(141)과 외측 반사부용 절개공(151)이 겹치는 정도에 따라 열반사유닛(130)의 반사면적이 달라지므로, 내측 반사부(140)에 대한 외측 반사부(150)의 회전에 의해 히팅유닛(120)에서 방출된 열을 도가니유닛(110)으로 반사하는 열반사유닛(130)의 반사면적이 가변된다.

또한 외측 반사부용 절개공(151)은, 도 5에 자세히 도시된 바와 같이, 외측 반사부(150)의 상부 영역에 마련되는 상부 외측 반사부용 절개공(152)과, 외측 반사부(150)의 하부 영역에 마련되는 하부 외측 반사부용 절개공(153)을 포함한다.

상부 외측 반사부용 절개공(152)과 하부 외측 반사부용 절개공(153)은 외측 반사부(150)의 중심 축선 방향으로 이격되어 배치된다. 본 실시예에서 상부 외측 반사부용 절개공(152)과 하부 외측 반사부용 절개공(153)은, 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 외측 반사부(150)의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하는 가상의 직선(H) 상에 배치된다.

상술한 바와 같이 내측 반사부(140)의 상부 내측 반사부용 절개공(142)과 하부 내측 반사부용 절개공(143)은 내측 반사부(140)의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하는 가상의 직선(G) 상에 함께 배치되지 않으므로, 외측 반사부(150)의 회전에 의해 도 9에 도시된 바와 같이 상부 내측 반사부용 절개공(142)과 상부 외측 반사부용 절개공(152)이 겹쳐질 때 하부 내측 반사부용 절개공(143)과 하부 외측 반사부용 절개공(153)은 겹쳐지지 않는다.

이렇게 상부 내측 반사부용 절개공(142)과 상부 외측 반사부용 절개공(152)이 겹쳐지고 하부 내측 반사부용 절개공(143)과 하부 외측 반사부용 절개공(153)은 겹쳐지지 않으면, 열반사유닛(130)의 상부 영역의 반사면적은 하부 영역의 반사면적 보다 작아진다. 따라서, 도가니유닛(110)의 상부 영역에 전달되는 열량은 도가니유닛(110)의 하부 영역에 전달되는 열량보다 작아진다.

마찬가지로, 도 8에 도시된 바와 같이 외측 반사부(150)의 회전에 의해 하부 내측 반사부용 절개공(143)과 하부 외측 반사부용 절개공(153)이 겹쳐질 때 상부 내측 반사부용 절개공(142)과 상부 외측 반사부용 절개공(152)은 겹쳐지지 않는다.

이렇게 하부 내측 반사부용 절개공(143)과 하부 외측 반사부용 절개공(153)이 겹쳐지고 상부 내측 반사부용 절개공(142)과 상부 외측 반사부용 절개공(152)은 겹쳐지지 않으면, 열반사유닛(130)의 하부 영역의 반사면적은 상부 영역의 반사면적 보다 작아진다. 따라서 도가니유닛(110)의 하부 영역에 전달되는 열량은 도가니유닛(110)의 상부 영역에 전달되는 열량보다 작아진다.

이와 같이 외측 반사부(150)의 내측 반사부(140)에 대한 상대회전을 통해 열반사유닛(130)의 상부 영역과 하부 영역의 반사면적이 가변됨으로써, 도가니유닛(110)의 상부 영역의 온도와 하부 영역의 온도가 서로 다르게 할 수 있어 클로깅(clogging) 및 크리핑(creeping) 현상의 발생을 방지할 수 있다.

한편, 외측 반사부(150)의 하부 영역에는 외측 반사부(150)의 둘레방향을 따라 연장된 장홀 형상의 관통공(155)이 마련된다. 본 실시예에서 관통공(155)은 다수개로 마련되어 외측 반사부(150)의 둘레방향을 따라 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치될 수 있다. 이러한 관통공(155)에는 회전 제한부(170)의 후술할 가압 볼트(171)가 관통한다.

지지부(160)는 내측 반사부(140)와 외측 반사부(150)를 지지한다. 이러한 지지부(160)에는 외측 반사부(150)가 상대회전 가능하게 연결된다. 본 실시예에서 지지부(160)에는 지지부(160)의 측벽에는 함몰되어 형성되며 내벽에 나사산이 형성되는 나사공(161)이 마련된다. 본 실시예에서 나사공(161)은 다수개로 마련되어 외측 반사부(150)의 둘레방향을 따라 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치될 수 있다.

회전 제한부(170)는 외측 반사부(150)를 지지부(160)로 가압 및 가압해제 하여 외측 반사부(150)의 지지부(160)에 대한 상대회전을 선택적으로 제한한다. 이러한 회전 제한부(170)는 외측 반사부(150)의 지지부(160)에 대한 상대회전을 선택적으로 제한함으로써, 외측 반사부(150)의 내측 반사부(140)에 대한 상대회전을 선택적으로 제한할 수 있다.

본 실시예에서 회전 제한부(170)는 외측 반사부(150)에 형성된 관통공(155)을 관통하여 나사공(161)에 치합되어 외측 반사부(150)를 지지부(160)로 가압하는 가압 볼트(171)를 포함한다.

본 실시예에서 가압 볼트(171)는, 나사공(161)에 치합되는 나사산이 형성된 볼트 몸체부(171a)와, 볼트 몸체부(171a)보다 큰 직경을 가지는 형상으로 마련되는 볼트 헤드부(171b)를 포함한다.

이러한 가압 볼트(171)는 나사공(161)에 치합되어 볼트 헤드부(171b)로 외측 반사부(150)를 지지부(160)로 가압 및 가압 해제함으로써, 외측 반사부(150)의 회전을 선택적으로 제한한다.

한편, 냉각유닛(180)은 외측 반사부(150)에 인접하게 배치된다. 이러한 냉각유닛(180)은, 냉각수가 유동되는 냉각라인(181)과, 냉각라인(181)을 지지하는 냉각유닛 본체(182)와, 냉각유닛 본체(182)의 상부 영역에 배치되며 냉각라인(181)과 연통되는 상부 연통부(183)와, 냉각유닛 본체(182)의 하부 영역에 배치되며 냉각라인(181)과 연통되는 하부 연통부(184)와, 냉각라인(181)과 연통되며 냉각수를 순환시키는 냉각수 순환부(P1, P2)를 포함한다.

냉각유닛 본체(182)는, 내부가 중공되고 외측 반사부(150)의 내경보다 큰 내경을 가지는 원기둥 형상으로 마련된다. 이러한 냉각유닛(180)의 내측 중앙 영역에는 도가니유닛(110)이 배치되고, 도가니유닛(110)과 냉각유닛 본체(182) 사이에 내측 반사부(140)와 외측 반사부(150)가 배치된다.

냉각라인(181)은 파이프 형상으로 마련되며 나선형으로 감겨 냉각유닛 본체(182)에 지지된다. 이러한 냉각라인(181)을 따라 냉각수가 유동된다.

상부 연통부(183)는 냉각유닛 본체(182)에 지지되어 냉각유닛 본체(182)의 상부 영역에 배치된다. 이러한 상부 연통부(183)는, 냉각라인(181)과 연통되며, 냉각수를 순환시키는 냉각수 순환부(P1, P2)에 연결된다. 본 실시예에서 상부 연통부(183)는 냉각수 순환부(P1, P2)에 착탈 가능하게 결합된다.

하부 연통부(184)는 냉각유닛 본체(182)에 지지되어 냉각유닛 본체(182)의 하부 영역에 배치된다. 이러한 하부 연통부(184)는, 냉각라인(181)과 연통되며, 냉각수를 순환시키는 냉각수 순환부(P1, P2)에 연결된다. 본 실시예에서 하부 연통부(184)는 냉각수 순환부(P1, P2)에 착탈 가능하게 결합된다.

본 실시예에서 냉각수 순환부(P1, P2)은, 냉각수를 냉각라인(181)으로 공급하는 냉각수 공급배관(P1)과, 냉각라인(181)에서 배출된 냉각수를 회수하는 냉각수 배출배관(P2)과, 냉각수 공급배관(P1)과 냉각수 배출배관(P2)에 연결되며 냉각수 배출배관(P2)에서 전달받은 냉각수의 온도를 낮추는 열교환기(미도시)와, 냉각수 공급배관(P1) 또는 냉각수 배출배관(P2)에 연결되며 냉각수를 순환시키는 순환펌프(미도시)를 포함한다.

상술한 바와 같이 상부 연통부(183)와 하부 연통부(184)가 냉각유닛 본체(182)의 길이방향으로 이격되어 배치됨으로써, 냉각수 공급배관(P1)과 냉각수 배출배관(P2)이 연결되는 위치에 따라 열반사유닛(130)의 상부 영역 및 하부 영역의 온도가 달라질 수 있고, 그에 따라 열반사유닛(130)에서 반사되는 열량이 달라져 도가니유닛(110)의 유닛의 상부 영역 및 하부 영역의 온도가 달라질 수 있다.

즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 냉각수 공급배관(P1)이 상부 연통부(183)에 연결되고 냉각수 배출배관(P2)이 하부 연통부(184)에 연결된 경우, 냉각수 공급배관(P1)을 따라 흐르는 냉각수의 온도는 냉각수 배출배관(P2)을 따라 유동되는 냉각수의 온도보다 상대적으로 낮으므로, 열반사유닛(130)의 상부 영역의 온도가 하부 영역의 온도보다 상대적으로 낮아지고, 그에 따라 도가니유닛(110)의 상부 영역의 전달되는 열량이 하부 영역에 전달되는 열량보다 상대적으로 작아 도가니유닛(110)의 상부 영역의 온도가 하부 영역의 온도보다 상대적으로 낮게 된다.

이에 반하여, 도 3과 반대로 냉각수 공급배관(P1)이 하부 연통부(184)에 연결되고 냉각수 배출배관(P2)이 상부 연통부(183)에 연결된 경우, 열반사유닛(130)의 하부 영역 온도가 상부 영역의 온도보다 더 낮아지고, 그에 따라 도가니유닛(110)의 유닛의 하부 영역 온도가 상부 영역의 온도보다 낮게 된다.

이와 같이 본 실시예에 따른 증착물질 증발장치(100)는, 냉각유닛 본체(182)의 길이방향으로 이격되어 배치되어 냉각라인(181)과 연통되는 상부 연통부(183)와 하부 연통부(184)를 구비함으로써, 상부 연통부(183)와 하부 연통부(184)를 냉각수 공급배관(P1)과 냉각수 배출배관(P2)에 결합 시 결합 대상을 변경하여 도가니유닛(110)의 상부 영역과 하부 영역의 상대적인 온도 높낮이를 변경시킬 수 있다.

한편, 다른 방식으로 냉각수 순환부(미도시)는, 상부 연통부(183)와 연결되는 제1 냉각수 전달관(미도시)과, 하부 연통부(184)와 연결되는 제2 냉각수 전달관(미도시)과, 제1 냉각수 전달관(미도시)과 제2 냉각수 전달관(미도시)에 연결되어 냉각수를 전달받으며 냉각수의 온도를 낮추는 열교환기(미도시)와, 제1 냉각수 전달관(미도시) 또는 제2 냉각수 전달관(미도시)에 연결되며 냉각수를 순환시키는 냉각유닛 제어부(미도시)를 포함한다.

본 실시예에서 냉각유닛 제어부(미도시)는 선택적으로 정역 변환이 가능한 순환펌프로 마련된다. 이러한 냉각유닛 제어부(미도시) 냉각수의 유동방향을 반대방향으로 변경할 수 있다. 예를 들어, 순환펌프의 정방향 작동 시 상부 연통부(183)로 열교환기를 통과하여 냉각된 냉각수가 공급될 수 있고 하부 연통부(184)로 냉각라인(181)의 냉각수가 배출될 있다. 반대로, 정역 변환 순환펌프의 역방향 작동 시 상부 연통부(183)로 냉각라인(181)의 냉각수가 배출될 수 있고 하부 연통부(184)로 열교환기를 통과하여 냉각된 냉각수가 공급될 수 있다.

이하에서는 상술한 구성을 갖는 증착물질 증발장치(100)의 동작에 대해 도 2 내지 도 9를 참조하여 설명한다.

먼저, 도가니유닛(110)의 개구부(111)가 막히는 클로깅(clogging) 현상을 방지하기 위해 도가니유닛(110)의 상부 영역의 온도를 높이는 방법을 설명한다.

도가니유닛(110)의 상부 영역의 온도를 하부 영역의 온도보다 상대적으로 높이기 위해, 도 8에 도시된 바와 같이, 외측 반사부(150)를 내측 반사부(140)에 대해 상대회전 시켜 상부 내측 반사부용 절개공(142)과 상부 외측 반사부용 절개공(152)에 겹쳐지지 않게 하고 하부 내측 반사부용 절개공(143)과 하부 외측 반사부용 절개공(153)이 겹쳐지도록 한다.

이렇게 하부 내측 반사부용 절개공(143)과 하부 외측 반사부용 절개공(153)이 겹쳐지고 상부 내측 반사부용 절개공(142)과 상부 외측 반사부용 절개공(152)은 겹쳐지지 않으면, 열반사유닛(130)의 상부 영역의 반사면적은 하부 영역의 반사면적 보다 커진다. 따라서 열반사유닛(130)에 의해 도가니유닛(110)의 상부 영역에 전달되는 열량이 도가니유닛(110)의 하부 영역에 전달되는 열량 보다 크게 되고, 그에 따라 도가니유닛(110)의 상부 영역의 온도가 상대적으로 높아져 클로깅(clogging) 현상이 방지된다.

다음, 도가니유닛(110)의 개구부(111)로 증착물질(M)이 분출하는 크리핑(creeping) 현상을 방지하기 위해 도가니유닛(110)의 상부 영역의 온도를 낮추는 방법을 설명한다.

도가니유닛(110)의 상부 영역의 온도를 하부 영역의 온도보다 상대적으로 낮추기 위해, 도 9에 도시된 바와 같이, 외측 반사부(150)를 내측 반사부(140)에 대해 상대회전 시켜 상부 내측 반사부용 절개공(142)과 상부 외측 반사부용 절개공(152)에 겹쳐지게 하고 하부 내측 반사부용 절개공(143)과 하부 외측 반사부용 절개공(153)이 겹쳐지지 않도록 한다.

이렇게 하부 내측 반사부용 절개공(143)과 하부 외측 반사부용 절개공(153)이 겹쳐지지 않고 상부 내측 반사부용 절개공(142)과 상부 외측 반사부용 절개공(152)이 겹쳐지면, 열반사유닛(130)의 상부 영역의 반사면적은 하부 영역의 반사면적 보다 작아진다. 따라서, 열반사유닛(130)에 의해 도가니유닛(110)의 상부 영역에 전달되는 열량은 도가니유닛(110)의 하부 영역에 전달되는 열량 보다 작아짐으로써, 도가니유닛(110)의 상부 영역의 온도가 상대적으로 낮아져 크리핑(creeping) 현상이 방지된다.

이와 같이 본 실시예에 따른 증착물질 증발장치(100)는, 열을 반사하는 반사면적이 가변되는 반사면적 가변형 열반사유닛(130)을 통해 발열체에서 방사된 열을 도가니유닛(110)으로 전달함으로써, 발열체에서 방사되는 열량을 가변시키지 않으면서도 도가니유닛(110)의 온도를 조절할 수 있으며, 더 나아가 도가니유닛(110)의 온도를 국부적으로 상이하게 할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따른 증착물질 증발장치(100)는, 냉각유닛 본체(182)의 길이방향으로 이격되어 배치되어 냉각라인(181)과 연통되는 상부 연통부(183)와 하부 연통부(184)를 구비함으로써, 상부 연통부(183)를 통해 냉각수를 공급하고 하부 연통부(184)를 통해 냉각수를 배출시킬 수도 있고 상부 연통부(183)를 통해 냉각수를 배출하고 하부 연통부(184)를 통해 냉각수를 공급시킬 수도 있어 냉각유닛(180)에서 흡수하는 열량을 냉각유닛 본체(182)에 따라 가변시킬 수 있고, 그에 따라 도가니유닛(110)의 상부 영역과 하부 영역의 상대적인 온도 높낮이를 변경시킬 수 있다.

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 내측 반사부가 도시된 도면이고, 도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 외측 반사부가 도시된 도면이다.

본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 내측 반사부용 절개공(241)과 외측 반사부용 절개공이 배열방식이 반대로 변경된 점에서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 2 내지 도 9의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고 그 설명을 생략한다.

본 실시예에서 상부 외측 반사부용 절개공(252)과 하부 외측 반사부용 절개공(253)은, 도 11에 도시된 바와 같이, 외측 반사부(250)의 가상의 중심 축선 방향으로 이격되어 배치되되, 외측 반사부(250)의 가상의 중심 축선에 대해 상호 어긋나게 배치된다.

또한, 본 실시예에서 상부 내측 반사부용 절개공(242)과 하부 내측 반사부용 절개공(243)은, 도 10에 도시된 바와 같이, 내측 반사부(240)의 가상의 중심 축선 상에 배치된다.

본 실시예는 내측 반사부(140)의 내측 반사부용 절개공(141)과 외측 반사부(150)의 외측 반사부용 절개공(151)의 배열이 제1 실시예와 반대인 점에서만 차이가 있을 뿐, 기능 및 동작에는 차이가 없으므로 제1 실시예에서 설명한 기능 및 동작은 생략한다.

이러한 본 실시예에 따른 증착물질 증발장치는, 중심 축선에 대해 상호 어긋나게 배치되는 상부 외측 반사부용 절개공(252)과 하부 외측 반사부용 절개공(253)을 구비하는 외측 반사부(250)와, 중심 축선 상에 배치되는 상부 내측 반사부용 절개공(242)과 하부 내측 반사부용 절개공(243)을 구비하는 내측 반사부(240)를 포함함으로써, 열반사유닛(미도시)의 상부 영역의 반사면적과 하부 영역의 반사면적을 서로 다르게 할 수 있다.

도 12은 본 발명의 제3 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 내측 반사부와 내측 반사부를 전개하여 도시한 도면이다.

본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 내측 반사부용 절개공(341)과 외측 반사부용 절개공(351)의 형상에 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 2 내지 도 9의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고 그 설명을 생략한다.

본 실시예에서 내측 반사부용 절개공(341)은 원형 형상으로 마련된다. 이러한 내측 반사부용 절개공(341)은 다수개로 마련되어 내측 반사부(340)의 둘레 방향을 따라 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치된다.

또한, 내측 반사부용 절개공(341)은, 적어도 하나 이상으로 마련되어 내측 반사부(340)의 길이 방향(내측 반사부의 중심 축선 방향)을 따라 이격되어 배치되는 제1 단위 내측 반사부용 절개공(341a)과, 적어도 하나 이상으로 마련되어 내측 반사부(340)의 길이 방향(내측 반사부의 중심 축선 방향)을 따라 이격되어 배치되며 제1 단위 내측 반사부용 절개공(341a)에 대해 내측 반사부(340)의 둘레 방향으로 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되는 제2 단위 내측 반사부용 절개공(341b)을 포함한다.

본 실시예에서 내측 반사부용 절개공(341)은, 도 12에 자세히 도시된 바와 같이, 2열로 배치된다. 제1열인 제1 단위 내측 반사부용 절개공(341a)은 3개로 마련되어 내측 반사부(340)의 길이방향을 따라 이격되어 배치된다. 제2열인 제2 단위 내측 반사부용 절개공(341b)은 1개로 마련된다.

제1 단위 내측 반사부용 절개공(341a)과 제2 단위 내측 반사부용 절개공(341b)의 개수는 다양하게 변화될 수 있되, 제1 단위 내측 반사부용 절개공(341a)과 제2 단위 내측 반사부용 절개공(341b)의 개수는 서로 상이하게 마련된다.

한편, 본 실시예에서 외측 반사부용 절개공(351)은 원형 형상으로 마련된다. 이러한 외측 반사부용 절개공(351)은 다수개로 마련되어 외측 반사부(350)의 둘레 방향을 따라 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치된다.

또한, 본 실시예에서 외측 반사부용 절개공(351)은 외측 반사부(350)의 길이방향(외측 반사부의 중심 축선 방향)으로 이격되어 배치되는 다수개의 단위 외측 반사부용 절개공(351)을 포함한다.

본 실시예에서 단위 외측 반사부용 절개공(351)은, 3개로 마련되어 외측 반사부(350)의 길이방향을 따라 배치된다. 본 실시예에서 단위 외측 반사부용 절개공(351)의 개수는 다양하게 변화될 수 있다.

본 실시예에서 내측 반사부용 절개공(341)은 내측 반사부(340)의 상부 영역에 마련되고, 외측 반사부용 절개공(351)은 외측 반사부(350)의 상부 영역에 마련된다. 따라서, 외측 반사부(350)의 내측 반사부(340)에 대한 상대회전에 따라 제1 단위 내측 반사부용 절개공(341a)이 단위 외측 반사부용 절개공(351)에 겹쳐지는 경우, 제2 단위 내측 반사부용 절개공(341b)이 단위 외측 반사부용 절개공(351)에 겹쳐지는 경우, 제1 단위 내측 반사부용 절개공(341a) 및 제2 단위 내측 반사부용 절개공(341b) 모두가 단위 외측 반사부용 절개공(351)에 겹쳐지지 않는 경우가 발생되고, 그에 따라 열반사유닛(130)의 반사면적이 3단계로 가변됨으로써, 도가니유닛(110)의 상부 영역의 온도가 3단계로 세분화되어 조절될 수 있는 이점이 있다.

도 13은 본 발명의 제4 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 내측 반사부와 내측 반사부를 전개하여 도시한 도면이다.

본 실시예는 제3 실시예와 비교할 때에 내측 반사부용 절개공(441)과 외측 반사부용 절개공(451)의 배치 위치에 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 12의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고 그 설명을 생략한다.

본 실시예에서 내측 반사부용 절개공(441)은 내측 반사부(440)의 하부 영역에 마련되고, 외측 반사부용 절개공(451)은 외측 반사부(450)의 하부 영역에 마련된다. 따라서, 외측 반사부(450)의 내측 반사부(440)에 대한 상대회전에 따라 제1 단위 내측 반사부용 절개공(441a)이 단위 외측 반사부용 절개공(451)에 겹쳐지는 경우, 제2 단위 내측 반사부용 절개공(441b)이 단위 외측 반사부용 절개공(451)에 겹쳐지는 경우, 제1 단위 내측 반사부용 절개공(441a) 및 제2 단위 내측 반사부용 절개공(441b) 모두가 단위 외측 반사부용 절개공(451)에 겹쳐지지 않는 경우가 발생되고, 그에 따라 열반사유닛(130)의 반사면적이 3단계로 가변됨으로써, 도가니유닛(110)의 하부 영역의 온도를 3단계로 세분화하여 조절할 수 있는 이점이 있다.

도 14는 본 발명의 제5 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 내측 반사부와 내측 반사부를 전개하여 도시한 도면이다.

본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 내측 반사부용 절개공(541)과 외측 반사부용 절개공(551)의 형상에 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 2 내지 도 9의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고 그 설명을 생략한다.

본 실시예에서 외측 반사부용 절개공(551)은 원형 형상으로 마련된다. 이러한 외측 반사부용 절개공(551)은 다수개로 마련되어 외측 반사부(550)의 둘레 방향을 따라 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치된다.

또한, 외측 반사부용 절개공(551)은, 적어도 하나 이상으로 마련되어 외측 반사부(550)의 길이 방향(외측 반사부의 중심 축선 방향)을 따라 이격되어 배치되는 제1 단위 외측 반사부용 절개공(551a)과, 적어도 하나 이상으로 마련되어 외측 반사부(550)의 길이 방향(외측 반사부의 중심 축선 방향)을 따라 이격되어 배치되며 제1 단위 외측 반사부용 절개공(551a)에 대해 외측 반사부(550)의 둘레 방향으로 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되는 제2 단위 외측 반사부용 절개공(551b)을 포함한다.

본 실시예에서 외측 반사부용 절개공(551)은, 도 14에 자세히 도시된 바와 같이, 2열로 배치된다. 제1열인 제1 단위 외측 반사부용 절개공(551a)은 3개로 마련되어 외측 반사부(550)의 길이방향을 따라 이격되어 배치된다. 제2열인 제2 단위 외측 반사부용 절개공(551b)은 1개로 마련되어 제1 단위 외측 반사부용 절개공(551a)에 대해 외측 반사부(550)의 둘레 방향으로 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치된다.

제1 단위 외측 반사부용 절개공(551a)과 제2 단위 외측 반사부용 절개공(551b)의 개수는 다양하게 변화될 수 있되, 제1 단위 외측 반사부용 절개공(551a)과 제2 단위 외측 반사부용 절개공(551b)의 개수는 서로 상이해야 한다.

한편, 본 실시예에서 내측 반사부용 절개공(541)은 원형 형상으로 마련된다. 이러한 내측 반사부용 절개공(541)은 다수개로 마련되어 내측 반사부(540)의 둘레 방향을 따라 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치된다.

또한, 본 실시예에서 내측 반사부용 절개공(541)은 내측 반사부(540)의 길이방향(내측 반사부의 중심 축선 방향)으로 이격되어 배치되는 다수개의 단위 내측 반사부용 절개공(541)을 포함한다.

본 실시예에서 다수개의 단위 내측 반사부용 절개공(541)은, 3개로 마련되어 외측 반사부(550)의 길이방향을 따라 배치된다. 본 실시예에서 단위 내측 반사부용 절개공(541)의 개수는 다양하게 변화될 수 있다.

본 실시예에서 외측 반사부용 절개공(551)은 외측 반사부(550)의 상부 영역에 마련되고, 내측 반사부용 절개공(541)은 외측 반사부(550)의 상부 영역에 마련된다. 따라서, 외측 반사부(550)의 내측 반사부(540)에 대한 상대회전에 따라 제1 단위 외측 반사부용 절개공(551a)이 단위 내측 반사부용 절개공(541)에 겹쳐지는 경우, 제2 단위 외측 반사부용 절개공(551b)이 단위 내측 반사부용 절개공(541)에 겹쳐지는 경우, 제1 단위 외측 반사부용 절개공(551a) 및 제2 단위 외측 반사부용 절개공(551b) 모두가 단위 내측 반사부용 절개공(541)에 겹쳐지지 않는 경우가 발생되고, 그에 따라 열반사유닛(130)의 반사면적이 3단계로 가변됨으로써, 도가니유닛(110)의 상부 영역의 온도를 3단계로 세분화하여 조절할 수 있는 이점이 있다.

도 15는 본 발명의 제6 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 내측 반사부와 내측 반사부를 전개하여 도시한 도면이다.

본 실시예는 제5 실시예와 비교할 때에 내측 반사부용 절개공(641)과 외측 반사부용 절개공(651)의 배치 위치에 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 15의 제5 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고 그 설명을 생략한다.

본 실시예에서 내측 반사부용 절개공(641)은 내측 반사부(640)의 하부 영역에 마련되고, 외측 반사부용 절개공(651)은 외측 반사부(650)의 하부 영역에 마련된다. 따라서, 외측 반사부(650)의 내측 반사부(640)에 대한 상대회전에 따라 제1 단위 외측 반사부용 절개공(651a)이 단위 내측 반사부용 절개공(641)에 겹쳐지는 경우, 제2 단위 외측 반사부용 절개공(651b)이 단위 내측 반사부용 절개공(641)에 겹쳐지는 경우, 제1 단위 외측 반사부용 절개공(651a) 및 제2 단위 외측 반사부용 절개공(651b) 모두가 단위 내측 반사부용 절개공(641)에 겹쳐지지 않는 경우가 발생되고, 그에 따라 열반사유닛(130)의 반사면적이 3단계로 가변됨으로써, 도가니유닛(110)의 하부 영역의 온도를 3단계로 세분화하여 조절할 수 있는 이점이 있다.

도 16는 본 발명의 제7 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 내측 반사부와 내측 반사부를 전개하여 도시한 도면이다.

본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 내측 반사부용 절개공(741)과 외측 반사부용 절개공(751)의 형상과 배열에 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 2 내지 도 9의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고 그 설명을 생략한다.

본 실시예에서 내측 반사부용 절개공(741)은 원형 형상으로 마련된다. 이러한 내측 반사부용 절개공(741)은 내측 반사부(740)의 상부 영역에 마련되는 상부 내측 반사부용 절개공(742)과, 내측 반사부(740)의 하부 영역에 마련되는 하부 내측 반사부용 절개공(743)을 포함한다.

상부 내측 반사부용 절개공(742)은 다수개로 마련되어 내측 반사부(740)의 둘레 방향을 따라 이격되어 배치된다. 이러한 상부 내측 반사부용 절개공(742)은 원형 형상으로 마련되어 내측 반사부(740)의 길이방향(내측 반사부의 중심 축선 방향)으로 이격되어 배치되는 다수개의 단위 상부 내측 반사부용 절개공(742)을 포함한다.

본 실시예에서 단위 상부 내측 반사부용 절개공(742)은 3개로 마련되어 내측 반사부(740)의 길이방향을 따라 배치되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며, 단위 상부 내측 반사부용 절개공(742)의 개수는 다양하게 변화될 수 있다.

하부 내측 반사부용 절개공(743)은 다수개로 마련되어 내측 반사부(740)의 둘레 방향을 따라 이격되어 배치된다. 이러한 하부 내측 반사부용 절개공(743)은 원형 형상으로 마련되어 내측 반사부(740)의 길이방향(내측 반사부의 중심 축선 방향)으로 이격되어 배치되는 다수개의 단위 하부 내측 반사부용 절개공(743)을 포함한다.

본 실시예에서 단위 하부 내측 반사부용 절개공(743)은 3개로 마련되어 내측 반사부(740)의 길이방향을 따라 배치되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며, 단위 하부 내측 반사부용 절개공(743)의 개수는 다양하게 변화될 수 있다.

본 실시예에서 상부 내측 반사부용 절개공(742)과 하부 내측 반사부용 절개공(743)은, 내측 반사부(740)의 가상의 중심 축선에 대해 상호 어긋나게 배치된다. 즉, 상부 내측 반사부용 절개공(742)과 하부 내측 반사부용 절개공(743)은, 도 16에 도시된 바와 같이, 내측 반사부(740)의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하는 가상의 직선(G) 상에 함께 배치되지 않는다.

또한, 본 실시예에서 내측 반사부(740)의 둘레 방향을 따라 배치되는 하부 내측 반사부용 절개공(743)들 중 적어도 어느 하나는, 도 16에 자세히 도시된 바와 같이, 내측 반사부(740)의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하고 인접한 상부 내측 반사부용 절개공(742)을 지나가는 가상의 직선(G)과의 최단거리(a)가 다른 내측 반사부용 절개공(742)을 지나가는 가상의 직선(G)과 다른 하부 내측 반사부용 절개공(743) 사이의 최단거리(b)와 상이하게 배치된다.

한편, 본 실시예에서 외측 반사부용 절개공(751)은 원형 형상으로 마련된다. 이러한 외측 반사부용 절개공(751)은 외측 반사부(750)의 상부 영역에 마련되는 상부 외측 반사부용 절개공(752)과, 외측 반사부(750)의 하부 영역에 마련되는 하부 외측 반사부용 절개공(753)을 포함한다.

상부 외측 반사부용 절개공(752)은 다수개로 마련되어 외측 반사부(750)의 둘레 방향을 따라 이격되어 배치된다. 이러한 상부 외측 반사부용 절개공(752)은 원형 형상으로 마련되어 외측 반사부(750)의 길이방향(외측 반사부의 중심 축선 방향)으로 이격되어 배치되는 다수개의 단위 상부 외측 반사부용 절개공(752)을 포함한다.

본 실시예에서 단위 상부 외측 반사부용 절개공(752)은 3개로 마련되어 내측 반사부(740)의 길이방향을 따라 배치되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며, 단위 상부 외측 반사부용 절개공(752)의 개수는 다양하게 변화될 수 있다.

하부 외측 반사부용 절개공(753)은 다수개로 마련되어 외측 반사부(750)의 둘레 방향을 따라 이격되어 배치된다. 이러한 하부 외측 반사부용 절개공(753)은 원형 형상으로 마련되어 외측 반사부(750)의 길이방향(외측 반사부의 중심 축선 방향)으로 이격되어 배치되는 다수개의 단위 하부 외측 반사부용 절개공(753)을 포함한다.

본 실시예에서 단위 하부 외측 반사부용 절개공(753)은 3개로 마련되어 외측 반사부(750)의 길이방향을 따라 배치되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며, 단위 하부 외측 반사부용 절개공(753)의 개수는 다양하게 변화될 수 있다.

한편, 본 실시예에서 외측 반사부(750)의 둘레 방향을 따라 배치되는 하부 외측 반사부용 절개공(753)들 중 적어도 어느 하나는, 도 16에 자세히 도시된 바와 같이, 외측 반사부(750)의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하는 가상의 직선(H) 상에 함께 배치되지 않는다. 즉, 일부의 하부 외측 반사부용 절개공(753)은, 도 16에 도시된 바와 같이, 외측 반사부(750)의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하고 인접한 상부 외측 반사부용 절개공(752)을 지나는 가상의 직선(H) 상에 배치되지 않는다.

상술한 구성을 갖는 증착물질 증발장치(100)의 동작에 대해 도 16을 참조하여 설명한다.

외측 반사부(750)를 내측 반사부(740)에 대해 왼쪽으로 회전시키면, 상부 내측 반사부용 절개공(742)과 상부 외측 반사부용 절개공(752)이 겹쳐지는 동시에 일부 하부 내측 반사부용 절개공(743)과 일부 하부 외측 반사부용 절개공(753)이 겹쳐진다.

이와 같이 외측 반사부(750)가 내측 반사부(740)에 대해 왼쪽으로 소정 각도 회전됨에 따라 상부 내측 반사부용 절개공(742)과 상부 외측 반사부용 절개공(752) 모두가 겹쳐지고 일부 하부 내측 반사부용 절개공(743)과 단위 하부 외측 반사부용 절개공(753)이 겹쳐짐으로써, 열반사유닛(130)의 반사면적이 줄어들어 도가니유닛(110)의 온도가 낮아진다.

또한, 상부 내측 반사부용 절개공(742)과 상부 외측 반사부용 절개공(752)은 전부가 겹쳐지되 하부 내측 반사부용 절개공(743)과 하부 외측 반사부용 절개공(753)은 일부가 겹쳐짐으로써, 열반사유닛(130)의 상부 영역의 반사면적이 하부 영역의 반사면적보다 상대적으로 더 작아짐으로써, 도가니유닛(110)의 상부 영역의 온도를 하부 영역보다 상대적으로 낮아질 수 있다.

한편, 외측 반사부(750)를 내측 반사부(740)에 대해 오른쪽으로 회전시키면, 상부 내측 반사부용 절개공(742)과 상부 외측 반사부용 절개공(752)은 겹쳐지지 않고 일부 하부 내측 반사부용 절개공(743)과 일부 하부 외측 반사부용 절개공(753)만이 겹쳐진다.

따라서, 열반사유닛(130)의 상부 영역의 반사면적이 하부 영역의 반사면적보다 상대적으로 넓어짐으로써 도가니유닛(110)의 상부 영역의 온도를 하부 영역의 온도보다 상대적으로 높일 수 있다.

도 17는 본 발명의 제8 실시예에 따른 증착물질 증발장치의 내측 반사부와 내측 반사부를 전개하여 도시한 도면이다.

본 실시예는 제7 실시예와 비교할 때에 내측 반사부용 절개공(841)과 외측 반사부용 절개공(851)이 배열방식이 반대로 배열되는 점에서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 16의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고 그 설명을 생략한다.

본 실시예에서 외측 반사부용 절개공(851)은 원형 형상으로 마련된다. 이러한 외측 반사부용 절개공(851)은 외측 반사부(850)의 상부 영역에 마련되는 상부 외측 반사부용 절개공(852)과, 외측 반사부(850)의 하부 영역에 마련되는 하부 외측 반사부용 절개공(853)을 포함한다.

상부 외측 반사부용 절개공(852)은 다수개로 마련되어 외측 반사부(850)의 둘레 방향을 따라 이격되어 배치된다. 이러한 상부 외측 반사부용 절개공(852)은 원형 형상으로 마련되어 외측 반사부(850)의 길이방향(외측 반사부의 중심 축선 방향)으로 이격되어 배치되는 다수개의 단위 상부 외측 반사부용 절개공(852)을 포함한다.

본 실시예에서 단위 상부 외측 반사부용 절개공(852)은 3개로 마련되어 외측 반사부(850)의 길이방향을 따라 배치되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며, 단위 상부 외측 반사부용 절개공(852)의 개수는 다양하게 변화될 수 있다.

하부 외측 반사부용 절개공(853)은 다수개로 마련되어 외측 반사부(850)의 둘레 방향을 따라 이격되어 배치된다. 이러한 하부 외측 반사부용 절개공(853)은 원형 형상으로 마련되어 외측 반사부(850)의 길이방향(외측 반사부의 중심 축선 방향)으로 이격되어 배치되는 다수개의 단위 하부 외측 반사부용 절개공(853)을 포함한다.

본 실시예에서 단위 하부 외측 반사부용 절개공(853)은 3개로 마련되어 외측 반사부(850)의 길이방향을 따라 배치되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며, 단위 하부 외측 반사부용 절개공(853)의 개수는 다양하게 변화될 수 있다.

본 실시예에서 상부 외측 반사부용 절개공(852)과 하부 외측 반사부용 절개공(853)은, 외측 반사부(850)의 가상의 중심 축선에 대해 상호 어긋나게 배치된다. 즉, 상부 외측 반사부용 절개공(852)과 하부 외측 반사부용 절개공(853)은, 도 17에 도시된 바와 같이, 외측 반사부(850)의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하는 가상의 직선(H) 상에 함께 배치되지 않는다.

또한, 본 실시예에서 외측 반사부(850)의 둘레 방향을 따라 배치되는 하부 외측 반사부용 절개공(853)들 중 적어도 어느 하나는, 도 17에 자세히 도시된 바와 같이, 외측 반사부(850)의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하고 인접한 상부 외측 반사부용 절개공(852)을 지나가는 가상의 직선(H)과의 최단거리(c)가 다른 외측 반사부용 절개공(851)을 지나가는 가상의 직선(H)과 다른 하부 외측 반사부용 절개공(853) 사이의 최단거리(d)와 상이하게 배치된다.

한편, 본 실시예에서 내측 반사부용 절개공(841)은 원형 형상으로 마련된다. 이러한 내측 반사부용 절개공(841)은 내측 반사부(840)의 상부 영역에 마련되는 상부 내측 반사부용 절개공(842)과, 내측 반사부(840)의 하부 영역에 마련되는 하부 내측 반사부용 절개공(843)을 포함한다.

상부 내측 반사부용 절개공(842)은 다수개로 마련되어 내측 반사부(840)의 둘레 방향을 따라 이격되어 배치된다. 이러한 상부 내측 반사부용 절개공(842)은 원형 형상으로 마련되어 내측 반사부(840)의 길이방향(내측 반사부의 중심 축선 방향)으로 이격되어 배치되는 다수개의 단위 상부 내측 반사부용 절개공(842)을 포함한다.

본 실시예에서 단위 상부 내측 반사부용 절개공(842)은 3개로 마련되어 내측 반사부(840)의 길이방향을 따라 배치되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며, 단위 상부 내측 반사부용 절개공(842)의 개수는 다양하게 변화될 수 있다.

하부 내측 반사부용 절개공(843)은 다수개로 마련되어 내측 반사부(840)의 둘레 방향을 따라 이격되어 배치된다. 이러한 하부 내측 반사부용 절개공(843)은 원형 형상으로 마련되어 내측 반사부(840)의 길이방향(내측 반사부의 중심 축선 방향)으로 이격되어 배치되는 다수개의 단위 하부 내측 반사부용 절개공(843)을 포함한다.

본 실시예에서 단위 하부 내측 반사부용 절개공(843)은 3개로 마련되어 내측 반사부(840)의 길이방향을 따라 배치되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며, 단위 하부 내측 반사부용 절개공(843)의 개수는 다양하게 변화될 수 있다.

한편, 본 실시예에서 내측 반사부(840)의 둘레 방향을 따라 배치되는 하부 내측 반사부용 절개공(843)들 중 적어도 어느 하나는, 도 17에 자세히 도시된 바와 같이, 내측 반사부(840)의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하는 가상의 직선(G) 상에 함께 배치되지 않는다. 즉, 일부의 하부 내측 반사부용 절개공(843)은, 도 17에 도시된 바와 같이, 내측 반사부(840)의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하고 인접한 상부 내측 반사부용 절개공(842)을 지나는 가상의 직선(G) 상에 배치되지 않는다.

상술한 구조를 가지는 내측 반사부(840) 및 외측 반사부(850)의 상호 작용, 즉 외측 반사부(850)의 내측 반사부(840)에 대한 상대회전을 통해 제7 실시예에서 설명한 것과 마찬가지로 열반사유닛(130)의 반사면적을 가변시킬 수 있다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

110: 도가니유닛 111: 개구부
120: 히팅유닛 130: 열반사유닛
140, 240, 340, 440, 540, 640, 740, 840: 내측 반사부
141, 241, 341, 441, 541, 641, 741, 841: 내측 반사부용 절개공
341a: 제1 단위 내측 반사부용 절개공
341b: 제2 단위 내측 반사부용 절개공
142, 242, 742, 842: 상부 내측 반사부용 절개공
143, 243, 743, 843: 하부 내측 반사부용 절개공
150, 250, 350, 450, 550, 650, 750, 850: 외측 반사부
151, 251, 351, 451, 551, 651, 751, 851: 외측 반사부용 절개공
551a, 651a: 제1 단위 외측 반사부용 절개공
551b, 651b: 제2 단위 외측 반사부용 절개공
152, 252, 752, 852: 상부 외측 반사부용 절개공
153, 253, 753, 853: 하부 외측 반사부용 절개공
155: 관통공 160: 지지부
161: 나사공 170: 회전 제한부
171: 가압 볼트 171a: 볼트 몸체부
171b: 볼트 헤드부 180: 냉각유닛
181: 냉각라인 182: 냉각유닛 본체
183: 상부 연통부 184: 하부 연통부
M: 증착물질 P1: 냉각수 공급배관
P2: 냉각수 배출배관

Claims (19)

1. 내부에 증착물질이 수용되는 도가니유닛;
   상기 도가니유닛에 인접하게 배치되며, 상기 도가니유닛을 가열하는 히팅유닛; 및
   상기 히팅유닛에 인접하게 배치되며, 상기 히팅유닛에서 방사된 열을 상기 도가니유닛으로 반사하는 열반사유닛을 포함하며,
   상기 열반사유닛은,
   상기 열을 반사하는 반사면적이 가변되게 배치 가능한 반사면적 가변형 열반사유닛을 포함하는 증착물질 증발장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 반사면적 가변형 열반사유닛은,
   상기 도가니유닛에 대해 이격되어 배치되며, 내측 반사부용 절개공이 형성된 내측 반사부; 및
   상기 도가니유닛을 기준으로 상기 내측 반사부보다 상기 도가니유닛에 대하여 더 멀리 이격되어 배치되며, 외측 반사부용 절개공이 형성된 외측 반사부를 포함하는 증착물질 증발장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 내측 반사부 및 상기 외측 반사부 중 적어도 어느 하나는 상기 다른 하나에 대해 상대회전 가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 증착물질 증발장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 내측 반사부는,
   내부가 중공되며, 미리 결정된 내경을 가지는 원통 형상으로 마련되며,
   상기 외측 반사부는,
   내부가 중공되며, 상기 내측 반사부의 내경보다 큰 내경을 가지는 원통 형상으로 마련되고,
   상기 도가니유닛은 상기 내측 반사부의 내부에 배치되며,
   상기 내측 반사부는 상기 외측 반사부의 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 증착물질 증발장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 내측 반사부용 절개공은 다수개로 마련되며, 다수개의 내측 반사부용 절개공은 내측 반사부의 둘레방향을 따라 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되며,
   상기 외측 반사부용 절개공은 다수개로 마련되며, 다수개의 외측 반사부용 절개공은 외측 반사부의 둘레방향을 따라 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 증착물질 증발장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 내측 반사부용 절개공은,
   상기 내측 반사부의 상부 영역에 마련되는 상부 내측 반사부용 절개공; 및
   상기 내측 반사부의 하부 영역에 마련되는 하부 내측 반사부용 절개공을 포함하는 증착물질 증발장치.
7. 제6항에 있어서,
   상기 상부 내측 반사부용 절개공들과 상기 하부 내측 반사부용 절개공들 중 적어도 어느 하나는, 상기 내측 반사부의 가상의 중심 축선에 대해 상호 어긋나게 배치되는 것을 특징으로 하는 증착물질 증발장치.
8. 제7항에 있어서,
   상기 하부 내측 반사부용 절개공들 중 어느 하나의 하부 내측 반사부용 절개공과 상기 내측 반사부의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하고 인접한 상기 상부 하부 내측 반사부용 절개공을 지나가는 가상의 직선과의 최단거리는, 다른 하나의 하부 내측 반사부용 절개공과 상기 내측 반사부의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하고 인접한 다른 상기 상부 하부 내측 반사부용 절개공을 지나가는 가상의 직선과의 최단거리와 상이한 것을 특징으로 하는 증착물질 증발장치.
9. 제5항에 있어서,
   상기 외측 반사부용 절개공은,
   상기 외측 반사부의 상부 영역에 마련되는 상부 외측 반사부용 절개공; 및
   상기 외측 반사부의 하부 영역에 마련되는 하부 외측 반사부용 절개공을 포함하는 증착물질 증발장치.
10. 제9항에 있어서,
    상기 상부 외측 반사부용 절개공들과 상기 하부 외측 반사부용 절개공들 중 적어도 어느 하나는, 상기 외측 반사부의 가상의 중심 축선에 대해 상호 어긋나게 배치되는 것을 특징으로 하는 증착물질 증발장치.
11. 제10항에 있어서,
    상기 하부 외측 반사부용 절개공들 중 어느 하나의 하부 외측 반사부용 절개공과 상기 외측 반사부의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하고 인접한 상기 상부 하부 외측 반사부용 절개공을 지나가는 가상의 직선과의 최단거리는, 다른 하나의 하부 외측 반사부용 절개공과 상기 외측 반사부의 가상의 중심 축선에 나란하게 위치하고 인접한 다른 상기 상부 하부 외측 반사부용 절개공을 지나가는 가상의 직선과의 최단거리와 상이한 것을 특징으로 하는 증착물질 증발장치.
12. 제5항에 있어서,
    상기 내측 반사부용 절개공은,
    적어도 하나 이상으로 마련되어 상기 내측 반사부의 길이 방향을 따라 이격되어 배치되는 제1 단위 내측 반사부용 절개공; 및
    적어도 하나 이상으로 마련되어 상기 내측 반사부의 길이 방향을 따라 이격되어 배치되며, 상기 제1 단위 내측 반사부용 절개공에 대해 상기 내측 반사부의 둘레 방향으로 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되는 제2 단위 내측 반사부용 절개공을 포함하되,
    상기 제1 단위 내측 반사부용 절개공과 상기 제2 단위 내측 반사부용 절개공의 개수는 서로 상이한 것을 특징으로 하는 증착물질 증발장치.
13. 제5항에 있어서,
    상기 외측 반사부용 절개공은,
    적어도 하나 이상으로 마련되어 상기 외측 반사부의 길이 방향을 따라 이격되어 배치되는 제1 단위 외측 반사부용 절개공; 및
    적어도 하나 이상으로 마련되어 상기 외측 반사부의 길이 방향을 따라 이격되어 배치되며, 상기 제1 단위 외측 반사부용 절개공에 대해 상기 외측 반사부의 둘레 방향으로 미리 결정된 간격만큼 이격되어 배치되는 제2 단위 외측 반사부용 절개공을 포함하되,
    상기 제1 단위 외측 반사부용 절개공과 상기 제2 단위 외측 반사부용 절개공의 개수는 서로 상이한 것을 특징으로 하는 증착물질 증발장치.
14. 제4항에 있어서,
    상기 반사면적 가변형 열반사유닛은,
    상기 내측 반사부와 상기 외측 반사부를 지지하며, 상기 내측 반사부와 상기 외측 반사부 중 적어도 어느 하나가 상대회전 가능하게 연결되는 지지부를 더 포함하는 증착물질 증발장치.
15. 제12항에 있어서,
    상기 반사면적 가변형 열반사유닛은,
    상기 내측 반사부와 상기 외측 반사부 중 적어도 어느 하나의 지지부에 대한 상대회전을 제한하는 회전 제한부를 더 포함하는 증착물질 증발장치.
16. 제15항에 있어서,
    상기 회전 제한부는 상기 외측 반사부의 상기 지지부에 대한 상대회전을 제한하며,
    상기 지지부에는, 상기 지지부에 측벽에는 함몰되어 형성되며 내벽에 나사산이 형성된 나사공이 마련되며,
    상기 회전 제한부는,
    상기 외측 반사부에 형성된 관통공을 관통하여 상기 나사공에 치합되어 상기 외측 반사부를 상기 지지부로 가압하는 가압 볼트를 포함하는 증착물질 증발장치.
17. 제16항에 있어서,
    상기 관통공은, 상기 외측 반사부의 둘레방향을 따라 연장된 장홀 형상으로 마련되는 것을 특징으로 하는 증착물질 증발장치.
18. 제4항에 있어서,
    상기 외측 반사부에 인접하게 배치되며, 냉각수가 유동되는 냉각라인이 마련된 냉각유닛을 더 포함하며,
    상기 냉각유닛은,
    내부가 중공되고 상기 외측 반사부의 내경보다 큰 내경을 가지는 원통 형상으로 마련되며, 상기 냉각라인을 지지하는 냉각유닛 본체;
    상기 냉각유닛 본체의 상부 영역에 배치되며, 상기 냉각라인과 연통되는 상부 연통부; 및
    상기 냉각유닛 본체의 하부 영역에 배치되며, 상기 냉각라인과 연통되는 하부 연통부를 포함하는 증착물질 증발장치.
19. 제18항에 있어서,
    상기 냉각유닛은,
    상기 상부 연통부 및 상기 하부 연통부 중 어느 하나로 상기 냉각수가 공급되고 다른 하나에서 상기 냉각수가 배출되도록, 상기 냉각유닛을 선택적으로 제어하는 냉각유닛 제어부를 더 포함하는 증착물질 증발장치.

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