KR20190119735A - 공압 펄스 발생장치 및 이를 이용한 정량공급장치 - Google Patents

공압 펄스 발생장치 및 이를 이용한 정량공급장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 공압 펄스 발생장치로부터 발생되는 2개의 교대주기를 갖는 공압펄스에 대하여 제1 배출포트 및 제2 배출포트 각각에 연결되어 공압 펄스를 분기시키는 분기관에 의하여 분기된 공압펄스에 따라 피스톤로드를 왕복시키는 제2 공압실린더 및 상기 제2 공압실린더의 피스톤 로드의 왕복운동에 따라 약품을 이송하는 제1 이송부를 포함하는 정량공급장치를 제공한다.
본 발명에 따르면 공압실린더를 구동시키기 위한 공압 펄스 발생시 솔레노이드를 이용하지 않음으로 과도 전압 발생을 원천적으로 방지함으로써 방폭설비를 구축할 필요가 없어 설치 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

Description

공압 펄스 발생장치 및 이를 이용한 정량공급장치{PNEUMATIC PULSE GENERATOR AND FIXED QUANTITY SUPPPLY DEVICE USING THEROF}
본 발명은 공압 펄스 발생장치 및 이를 이용한 정량공급장치에 관한 것으로, 주기적인 공압 펄스를 발생시켜 공압실린더를 동작함으로써 약품 및 원료를 정량적으로 투입할 수 있는 공압 펄스 발생장치 및 이를 이용한 정량공급장치에 관한 것이다.
공압기기란 주로 산업자동화 현장에서 원하는 제어를 수행하기 위하여 공기압을 이용하는 기기로 컴프레셔로부터 배출되는 압축공기를 동력전달매체로서 이용하는 기기로 공압실린더가 있다. 공압실린더는 압축공기가 2개의 포트를 통하여 각각 공급되고, 한 포트에 압축공기가 유입되면 피스톤을 전진시키고 다른 포트에 압축공기가 유입되면 피스톤을 후진시킴으로써 피스톤로드를 왕복운동시킬 수 있다. 2개의 포트를 갖는 공압실린더는 피스톤로드의 왕복에 의하여 기구물에 동력을 전달하거나 체크밸브를 이용하여 액체물질을 이송하여 원하는 곳에 정량으로 주입하는데 이용될 수 있다. 한편 상기 공압실린더의 2개의 포트에 압축공기(공압 펄스)를 인가하기 위하여 공기의 흐름을 제어하는 서보 밸브가 사용된다.
상기 공압실린더의 공압 펄스 발생과 관련된 선행기술로 대한민국 등록특허공보 제10-0430052호의 공압 서보밸브는 유체흐름을 단속하는 스풀을 전기적인 신호를 통하여 제어하는 토크모터를 이용하고 있다. 즉 스풀의 위치를 제어함에 있어 상기 선행기술은 자기력을 이용한 솔레노이드 방식을 사용하므로 솔레노이드 코일의 전류를 차단시 정상 전압의 수백 배에 이르는 과도 전압이 발생할 수 있다.
한편 유증기가 공기증에 따라 분포되는 환경의 석유화학공장에서는 첨가제, 부식방지제, 청관제 등을 배관 및 탱크에 정량적으로 주입하기 위하여 솔레노이드 타입의 정량펌프가 이용된다. 상기 전기 신호에 의한 솔레노이드 방식은 과도 전압 발생에 따라 폭발할 위험이 있어 석유화학공장에서는 방폭모터를 사용해야 하므로 설비비용이 높다는 문제점이 있다. 또한 반도체 장비내에 고압으로 약품을 분사하는 시스템에 사용되는 정량펌프는 방폭모터를 사용해야 하고 이러한 방폭모터는 방폭설비를 갖추어야 하므로 크기가 커서 협소한 공간에 사용된기 어려운 문제점이 있다. 또한 수처리 공정을 많이 수행하는 제지공장은 제지 및 분말 가루에 의한 환경을 정화하기 위하여 잦은 물청소를 하여야 하므로 모터를 사용하는 경우 물에 의한 모터의 오작동이 발생한다는 문제점이 있다.
따라서 솔레노이드 방식에 의한 공압실린더를 제어함에 있어 석유화학공장에서의 방폭문제, 반도체 공장에서의 설치공간문제 및 제지공장에서의 물에 의한 오작동 문제를 해결할 수 있는 새로운 구조를 갖는 공압 펄스 발생장치 및 이를 이용한 정량공급장치의 개발이 필요하다 할 것이다.
대한민국 등록특허공보 제10-0430052호(2004.05.04)
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 전기적인 솔레노이드 구조를 사용하지 않고 컴프레셔로부터 배출되는 압축공기만으로 공압 펄스를 발생시키고, 발생된 공압펄스에 의하여 공압실린더를 제어하여 배관 또는 탱크 등에 약품을 정량 주입할 수 있는 공압 펄스 발생장치 및 이를 이용한 정량공급장치를 제공하기 위한 것이다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 공압 펄스 발생장치는 유입포트를 통하여 유입된 압축 공기를 제1 공압실린더의 피스톤로드의 왕복운동에 따라 제1 배출포트 또는 제2 배출포트를 통하여 주기적인 공압 펄스로 배출하는 공압작동밸브 및 상기 제1 배출포트 또는 제2 배출포트를 통하여 주기적으로 배출되는 공압 펄스가 제1 공급포트 또는 제2 공급포트에 공급되어 피스톤로드를 왕복시키는 제1 공압실린더를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 공압 펄스 발생장치는 스톱밸브에 의하여 공압작동밸브로 유입되는 공기를 차단함으로써 온, 오프되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 정량공급장치는 상기 공압 펄스 발생장치로부터 발생되는 2개의 교대주기를 갖는 공압펄스에 대하여 제1 배출포트 및 제2 배출포트 각각에 연결되어 공압 펄스를 분기시키는 분기관에 의하여 분기된 공압펄스에 따라 피스톤로드를 왕복시키는 제2 공압실린더 및 상기 제2 공압실린더의 피스톤 로드의 왕복운동에 따라 약품을 이송하는 제1 이송부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 정량공급장치는 또 다른 분기관에 의하여 공압 펄스가 분기되고, 분기된 공압펄스에 따라 피스톤로드를 왕복시키는 제3 공압실린더 및 상기 제3 공압실린더의 피스톤 로드의 왕복운동에 따라 약품을 이송하는 제2 이송부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 제1 및 제2 이송부의 일측은 약품저장부와 연결되는 제1 체크밸브 및 타측은 약품주입부와 연결되는 제2 체크밸브를 포함하고, 제2 공압실린더 및 제3 공압실린더의 피스톤로드는 상호 교대로 왕복운동하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 공압실린더를 구동시키기 위한 공압 펄스 발생시 솔레노이드를 이용하지 않음으로 과도 전압 발생을 원천적으로 방지함으로써 방폭설비를 구축할 필요가 없어 설치 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한 하나의 공압작동밸브 및 하나의 공압실린더에 의하여 공압 펄스를 주기적으로 발생시켜 정량주입에 이용되는 다른 공압실린더를 제어할 수 있음으로 방폭설비를 구비할 필요가 없음으로 구조가 간단하고, 크기가 작아 설치공간이 협소한 공간에 설치할 수 있다.
또한 공압작동밸브 및 공압실린더 등의 기계적 구조만을 가지므로 물에 의한 오작동을 원천적으로 방지할 수 있다.
또한 분기관에 의하여 공압작동밸브로부터 발생되는 공압 펄스를 분기하여 정량주입시 추가적인 공압실린더를 간편하게 추가함으로써 소정의 시간범위에서 약품 공급 효율을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공압 펄스 발생장치를 이용한 정량공급장치를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공압 펄스 발생장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 공압작동밸브의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 두개의 피스톤로드가 교대로 왕복운동하여 약품을 이송하는 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 공압 펄스 발생장치의 실물사진을 도시한 도면이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. 이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. 또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공압 펄스 발생장치를 이용한 정량공급장치를 도시한 도면이다.
도 1에서 보는 바와 같이, 정량 공급장치(1000)는 컴프레셔(미도시)로부터 배출되는 압축공기를 유입받아 2개의 공압펄스를 주기적으로 교대로 발생시켜 액체를 정량적으로 배관 또는 탱크 등의 약품 주입부에 이송하는 이송부(200)에 공급하는 공압 펄스 발생장치(100)를 포함할 수 있다.
정량 공급장치(1000)는 컴프레셔로부터 배출되는 압축공기를 공압 펄스 발생장치(100)에서 필요로 하는 미리 설정된 공압으로 조정할 수 있는 에어 레귤레이터(3)를 포함할 수 있다. 정량 공급장치(1000)는 공압 펄스 발생장치(100)로부터 배출되는 2개의 교대 주기를 갖는 공압펄스를 분기할 수 있는 다수의 분기관(5)을 포함하고, 상기 분기관(5)에 의하여 분기되는 공압펄스는 공압 펄스 발생장치(100)의 제1 공압실린더(120)로 피드백될 수 있고, 또한 약품을 정량적으로 약품 주입부에 이송할 수 있는 이송부(200)로 공급될 수 있다. 공압작동밸브(110)의 제1 배출포트(11) 및 제2 배출포트(12) 통하여 배출되는 공압 펄스는 분기관(5)을 통하여 제1 실린더(120) 및 이송부(200)로 분기될 수 있다. 또한 이송부(200)로 분기되는 공압 펄스는 분기관(5a,5b)를 통하여 제2 실린더(210) 및 제3 실린더(220)로 공급되어 각 피스톤로드를 왕복운동 시킴으로써 약품을 약품 주입부로 정량공급할 수 있다.
이송부(200)는 공급되는 공압펄스에 의하여 피스톤로드를 왕복운동시키는 제1 공압실린더(210)에 의하여 약품 저장부에 있는 약품을 흡입하고 약품 주입부로 배출할 수 있다. 이송부(200)는 공압펄스 발생장치(100)로부터 배출되는 공압펄스를 분기관(5a,5b)에 의하여 분기시켜 제3 공압실린더(220)를 추가적으로 더 포함할 수 있다. 이송부(200)는 추가로 설치되는 제3 공압실린더(220)에 의하여 약품을 정량적으로 공급시 소정의 시간동안 다수의 공압실린더의 동작에 따라 약품 공급 효율을 높일 수 있다. 정량 공급장치(1000)는 기계적 요소로만 이루어져 공압 실린더를 왕복시키기 위한 다수의 공압 펄스를 발생시킴으로써 유증기 등의 환경하에서도 폭발위험을 원천적으로 방지할 수 있으며, 이에 따라 방폭설비에 소요되는 비용이 투입되지 않음으로 설치비용을 감소시킬 수 있다.
이하 2개의 교대 주기를 갖는 공압 펄스를 발생시키는 공압 펄스 발생장치(100)에 대하여 도 2 내지 도 3b를 통하여 설명하고, 이송부(200)에 대하여 도 2 및 도 4를 통하여 상세히 설명하도록 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공압 펄스 발생장치의 동작을 설명하기 위한 도면이이고, 도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 공압작동밸브의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 2 내지 도 3b에서 보는 바와 같이, 공압 펄스 발생장치(100)는 유입포트(10)를 통하여 유입된 압축 공기를 제1 공압실린더(120)의 피스톤로드의 왕복운동에 따라 제1 배출포트(11) 또는 제2 배출포트(12)를 통하여 주기적인 공압 펄스로 배출하는 공압작동밸브(110) 및 상기 제1 배출포트(11) 또는 제2 배출포트(12)를 통하여 주기적으로 배출되는 공압 펄스가 제1공급포트(11) 또는 제2 공급포트(12)에 공급되어 피스톤로드를 왕복시키는 제1 공압실린더(120)를 포함할 수 있다.
도 3a를 참고하면, 공압 펄스 발생장치(100)는 유입포트(10)를 통하여 공압작동밸브(110) 내부로 공급된 압축공기는 제1 배출포트(11)로 배출되고 제1 공압실린더(120)의 제1 공급포트(21)로 유입되어 피스톤로드(121)를 신장시켜 공압작동밸브(110)는 도 3b의 위치로 이동시킬 수 있다. 이때 피스톤로드(121)의 신장에 따라 제1 공압실린더(120) 내부에 있는 압축공기는 제2 공급포트(22)를 통하여 배출되고 공압작동밸브(110)의 제2 배출포트(12)로 유입되어 배기포트(13)를 통하여 배출될 수 있다. 계속적으로 도 3b의 위치에 있는 공압작동밸브(110)는 유입포트(10)를 통하여 공압작동밸브(110) 내부로 공급된 압축공기는 제2 배출포트(12)로 배출되고 제1 공압실린더(120)의 제2 공급포트(22)로 유입되어 피스톤로드(121)를 압축시켜 공압작동밸브(110)는 다시 도 3a의 위치로 이동될 수 있다. 이때 피스톤로드(121)의 압축에 따라 제1 공압실린더(120) 내부에 있는 압축공기는 제1 공급포트(21)를 통하여 배출되고 공압작동밸브(110)의 제1 배출포트(11)로 유입되어 배기포트(14)를 통하여 배출될 수 있다. 공압 펄스 발생장치(100)는 스톱밸브(1)에 의하여 공압작동밸브로 유입되는 공기를 차단함으로써 온, 오프될 수 있다. 즉 공압 펄스 발생장치(100)는 유입된 압축공기를 2개의 교대 주기를 갖는 공압 펄스를 배출하고 이를 공압작동밸브(110)의 위치(포지션)을 변경하기 위한 제1 공압실린더(120)의 피스톤로드를 왕복운동시키는 동력으로 사용함으로써 공압작동밸브의 위치는 도 3a와 도 3b로 왕복될 수 있다(도 5의 공압 펄스 발생장치의 실물사진 참고). 한편 공압 펄스 발생장치(100)는 공압작동밸브(110)로부터 배출되는 압축공기를 제1 공압실린더(120)에 공급시 소정의 공압을 유지시키기 위한 에어 레귤레이터(6) 및 스피트 컨트롤러(7)를 포함할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 두개의 피스톤로드가 교대로 왕복운동하여 약품을 이송하는 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 4를 참고하면, 이송부는 공압 펄스에 의하여 동작하는 제2 공압실린더(210) 및 상기 공압실린더의 동작에 의하여 약품을 이송하는 제1 이송부(240)를 포함할 수 있다. 이송부는 분기관(5a,5b)에 의하여 분기되는 공압 펄스에 의하여 추가적으로 제3 공압실린더(220) 및 제2 이송부(250)를 더 포함할 수 있다. 분기관(5a,5b)를 통하여 공압작동밸브(110)로부터 배출되는 2개의 교대 주기를 갖는 공압 펄스는 각각 제2 공압실린더(210) 및 제3 공압실린더(220)의 제1 공급포트(31,41) 및 제2 공급포트(32,42)로 유입될 수 있다. 제2 공압실린더(210) 및 제3 공압실린더(220)는 피스톤로드의 왕복운동을 반대로 하기위하여 제2 공압실린더(210)의 피스톤로드(211)를 신장시키기(정방향) 위하여 공압펄스는 제1 공급포트(31)로 유입되고, 제3 공압실린더(220)의 피스톤로드(221)를 압축시키기(역방향) 위하여 공압펄스는 제1 공급포트(41)로 유입될 수 있다. 즉 2개의 공압실린더의 피스톤로드 왕복운동을 반대로 하기 위하여 미리 설정되어 있는 공압실린더를 정방향 및 역방향을 상호 반대로 공압 펄스를 인가함으로써 이루어 질 수 있다.
제1 이송부(240) 및 제2 이송부(250)는 각 피스톤로드(211,221)의 왕복운동에 따라 저장부(245,255)에 있는 약품을 약품 주입부쪽으로 이송시켜 정량 공급하기 위하여 저장부(245,255)의 양측에 체크밸브가 연결될 수 있다. 즉 제1 및 제2 이송부(240,250)의 일측은 약품저장부와 연결되는 제1 체크밸브(241a,251a) 및 타측은 약품주입부와 연결되는 제2 체크밸브(241b,251b)를 포함할 수 있다. 상기 제1 체크밸브(241a,251a) 및 제2 체크밸브(241b,251b)는 각 피스톤로드(211,221)가 신장되어 저장부(245,255)에 압력이 증가할 때 저장부에 있는 약품을 약품 주입부로 배출하고, 각 피스톤로드(211,221)가 압축되어 저장부(245,255)에 압력이 낮아질 때 약품 저장부로부터 약품을 저장부(245)로 유입할 수 있도록 적절한 방향성을 가지고 저장부(245)의 양측에 연결될 수 있다. 즉 상기 제1 체크밸브(241a,251a) 및 제2 체크밸브(241b,251b)는 약품을 이송하기 위하여 저장부(공압실린더 내부 일부 공간이거나 또는 피스톤로드가 왕복운동할 수 있는 공간)의 압력에 따라 어느 하나만이 개폐될 수 있도록 저장부에 각각 연결될 수 있고, 체크밸브는 스윙타입, 판타입, 볼타입 등의 구조를 가질 수 있다.
이송부는 2개의 공압피스톤이 공압작동밸브로부터 발생되는 2개의 교대주기를 갖는 공압펄스에 의하여 각각 반대방향으로 움직이는 피스톤로드의 왕복운동에 의하여 소정의 시간동안 정량적인 약품을 공급함에 있어 공급효율을 높일 수 있다. 예를 들어 제2 공압실린더의 피스톤로드(211)가 압축되어 약품저장부로부터 저장부(245)로 약품을 주입하는 동안 제3 공압실린더의 피스톤로드(221)는 신장되어 저장부(255)에 있는 약품을 약품 주입부쪽으로 공급할 수 있다. 또한 2 개의 공압실린더를 사용하여 약품을 공급함에 따라 하나의 실린더로 약품을 공급할 수 범위를 초과하는 경우에도 규격에 따른 약품정량을 공급할 수 있다. 또한 이송부는 각 공압실린더의 피스톤로드이 신장 또는 압축되는 길이를 조정함으로써 약품 주입량을 제어할 수 있다. 상기 피스톤로드의 신장 또는 압축은 공압실린더의 피스톤로드와 수평선상에 공압실린더의 내부와 나사체결되고 표면에 눈금이 표시되는 거리조절부재(미도시)를 통하여 이루어질 수 있다. 즉 거리조절부재의 회전에 의하여 피스톤로드의 신장되는 길이를 조절함으로써 이에 따라 저장실에 유입, 유출되는 약품량을 제어할 수 있다.
이상에서는 대표적인 실시 예를 통하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시 예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다.
그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
1:스톱 밸브 3:에어 레귤레이터
5:분기관 6:에어 레귤레이터
7:스피드 컨트롤러 10:유입포트
11:제1 배출포트 12:제2 배출포트
13,14:배기포트 21,31,41:제1 공급포트
22,32,42:제2 공급포트 100:공압 펄스 발생장치
110:공압작동밸브 120:제1 공압실린더
121,211,221:피스톤로드 200:약품 이송부
210:제2 공압실린더 220:제3 공압실린더
240:제1 이송부 250:제2 이송부
245,255:저장부 241a,251a:제1 체크밸브
241b,251b:제2 체크밸브 1000:정량공급장치

Claims (5)

  1. 유입포트를 통하여 유입된 압축 공기를 제1 공압실린더의 피스톤로드의 왕복운동에 따라 제1 배출포트 또는 제2 배출포트를 통하여 주기적인 공압 펄스로 배출하는 공압작동밸브 및
    상기 제1 배출포트 또는 제2 배출포트를 통하여 주기적으로 배출되는 공압 펄스가 제1공급포트 또는 제2 공급포트에 공급되어 피스톤로드를 왕복시키는 제1 공압실린더를 포함하는 공압 펄스 발생장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 공압 펄스 발생장치는 스톱밸브에 의하여 공압작동밸브로 유입되는 공기를 차단함으로써 온, 오프되는 것을 특징으로 하는 공압펄스 발생장치.
  3. 유입포트를 통하여 유입된 압축 공기를 제1 공압실린더의 피스톤로드의 왕복운동에 따라 제1 배출포트 또는 제2 배출포트를 통하여 주기적인 공압 펄스로 배출하는 공압작동밸브,
    상기 제1 배출포트 또는 제2 배출포트를 통하여 주기적으로 배출되는 공압 펄스가 제1공급포트 또는 제2 공급포트에 공급되어 피스톤로드를 왕복시키는 제1 공압실린더,
    상기 제1 배출포트 및 제2 배출포트 각각에 연결되어 공압 펄스를 분기시키는 분기관에 의하여 분기된 공압펄스에 따라 피스톤로드를 왕복시키는 제2 공압실린더 및
    상기 제2 공압실린더의 피스톤 로드의 왕복운동에 따라 약품을 이송하는 제1 이송부를 포함하는 정량공급장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    또 다른 분기관에 의하여 공압 펄스가 분기되고, 분기된 공압펄스에 따라 피스톤로드를 왕복시키는 제3 공압실린더 및
    상기 제3 공압실린더의 피스톤 로드의 왕복운동에 따라 약품을 이송하는 제2 이송부를 더 포함하는 정량공급장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 이송부의 일측은 약품저장부와 연결되는 제1 체크밸브 및 타측은 약품주입부와 연결되는 제2 체크밸브를 포함하고, 제2 공압실린더 및 제3 공압실린더의 피스톤로드는 상호 교대로 왕복운동하는 것을 특징으로 하는 정량공급장치.
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