KR20190118093A - Tilting Dispenser - Google Patents

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홍승민
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Abstract

The present invention relates to a tilt dispenser. More particularly, the present invention relates to a tilt dispenser having a function of applying a viscous solution by approaching a side surface of a material placed horizontally in an inclined direction. The tilt dispenser according to the present invention can adjust not only an angle of a pump but also an inclined distance to the material.

Description

틸트 디스펜서{Tilting Dispenser}Tilt Dispenser

본 발명은 틸트 디스펜서에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 수평하게 배치된 자재의 측면에 대해 경사 방향으로 접근하여 점성 용액을 도포할 수 있는 기능을 가지는 틸트 디스펜서에 관한 것이다.The present invention relates to a tilt dispenser, and more particularly to a tilt dispenser having a function of applying a viscous solution in the oblique direction to the side of the horizontally placed material.

기판에 실장된 플립칩 반도체 칩의 측면에 점성 용액을 도포하여 언더필 공정을 수행함에 있어서, 경사 방향으로 자재의 측면에 접근하여 점성 용액을 도포할 수 있는 기능을 가진 틸트 디스펜서가 필요하다.In performing the underfill process by applying a viscous solution to a side of a flip chip semiconductor chip mounted on a substrate, a tilt dispenser having a function of applying a viscous solution by approaching the side of the material in an oblique direction is required.

킵 아웃 존(KOZ; Keep Out Zone)은 언더필 공정 등을 수행하기 위해 요구되는 자재 외곽 영역을 의미한다. 킵 아웃 존을 최소화하면 더욱 작은 크기의 반도체 칩을 설계 및 제작하는 것이 가능하다. 또한, 반도체 칩 사이의 간격을 줄일 수 있어 같은 면적의 웨이퍼에 더 많은 반도체 칩을 제작할 수 있다.A keep out zone (KOZ) refers to a material outer region required for performing an underfill process or the like. Minimizing the keep-out zone makes it possible to design and fabricate smaller semiconductor chips. In addition, the spacing between semiconductor chips can be reduced, allowing more semiconductor chips to be manufactured on wafers of the same area.

종래에는 언더 필 공정은 점성 용액을 디스펜싱하는 노즐이 수직 상측에서 수직 방향으로 자재에 대해 접근하여 수행되었다. 이와 같이, 수직 상측에서 점성 용액을 디스펜싱 하는 경우 점성 용액에 의해 형성되는 액적(droplet)의 크기나 그 액적이 기판에 떨어져서 흐르는 면적 등을 고려하면 킵 아웃 존을 감소시키는 데에 한계가 있다.The underfill process has conventionally been performed with a nozzle for dispensing a viscous solution approaching the material in a vertical direction from above vertical. As described above, when dispensing a viscous solution from the vertical upper side, there is a limit in reducing the keep-out zone in consideration of the size of the droplet formed by the viscous solution or the area in which the droplet flows off the substrate.

점성 용액의 종류, 노즐의 크기, 액적의 크기 또는 점성 용액의 토출 방법을 변경하여 킵 아웃 존을 감소시키는 것은 한계가 있다. 따라서, 언더필 공정이나 점성 수지에 의한 댐 형성 공정의 수행을 위한 킵 아웃 존을 줄일 수 있는 기능을 가진 틸트 디스펜서가 필요하게 되었다.There are limitations in reducing the keep out zone by changing the type of viscous solution, the size of the nozzle, the size of the droplets, or the discharge method of the viscous solution. Accordingly, there is a need for a tilt dispenser having a function of reducing a keep out zone for performing an underfill process or a dam forming process using a viscous resin.

또한, 반도체 칩을 포함한 다양한 점성 용액을 디스펜싱하는 대상 제품의 형상과 종류가 다양화 됨에 따라 수직 방향이 아닌 방향으로 점성 용액을 자재에 디스펜싱할 수 있으면서도 컴팩트한 구조를 가진 틸트 디스펜서가 필요하게 되었다.In addition, as the shape and type of the product for dispensing various viscous solutions including semiconductor chips are diversified, a tilt dispenser having a compact structure while dispensing viscous solutions to materials in a direction other than the vertical direction is required. It became.

본 발명은 상술한 바와 같은 필요성을 충족하기 위하여 안출된 것으로, 반도체 칩과 같은 자재의 측면에 기울어진 상태로 점성 용액을 도포할 수 있는 틸트 디스펜서를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to meet the necessity as described above, and an object thereof is to provide a tilt dispenser capable of applying a viscous solution in an inclined state to a side surface of a material such as a semiconductor chip.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 틸트 디스펜서는, 점성 용액을 디스펜싱하는 펌프 유닛; 상기 펌프 유닛에 의해 디스펜싱되는 점성 용액의 토출 방향의 각도를 조절하도록 상기 펌프 유닛에 결합되어 상기 펌프 유닛을 수평 방향 중심축에 대해 회전시키는 틸트 유닛; 상기 펌프 유닛의 방향을 조절하도록 상기 틸트 유닛에 결합되어 상기 틸트 유닛을 수직 방향 중심축에 대해 회전시키는 회전 유닛; 및 상기 회전 유닛에 결합되어 상기 회전 유닛을 이송하는 펌프 이송 유닛;을 포함하는 점에 특징이 있다.Tilt dispenser according to the present invention for achieving the above object, the pump unit for dispensing a viscous solution; A tilt unit coupled to the pump unit to adjust the angle of the discharge direction of the viscous solution dispensed by the pump unit to rotate the pump unit about a horizontal central axis; A rotating unit coupled to the tilt unit to adjust the direction of the pump unit to rotate the tilt unit about a vertical central axis; And a pump transfer unit coupled to the rotary unit to transfer the rotary unit.

본 발명에 의한 틸트 디스펜서는, 펌프의 각도를 자유롭게 조절하여 효과적인 디스펜싱을 수행할 수 있는 효과가 있다.The tilt dispenser according to the present invention has the effect of performing effective dispensing by freely adjusting the angle of the pump.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 디스펜서의 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 틸트 디스펜서의 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 틸트 디스펜서의 펌프 유닛의 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 틸트 디스펜서의 펌프 유닛이 자재에 접근한 상태를 도시한 것이다.1 is a front view of a tilt dispenser according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view of the tilt dispenser shown in FIG. 1. FIG.
3 is a cross-sectional view of the pump unit of the tilt dispenser shown in FIG. 1.
4 shows a state in which the pump unit of the tilt dispenser shown in FIG. 1 approaches the material.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 디스펜서에 대해 설명한다.Hereinafter, a tilt dispenser according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 디스펜서의 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 틸트 디스펜서의 측면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 틸트 디스펜서의 펌프 유닛(100)의 단면도이다.1 is a front view of the tilt dispenser according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of the tilt dispenser shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the pump unit 100 of the tilt dispenser shown in FIG. 1. .

도 1 및 도 2에 도시된 것과 같이 본 실시예에 따른 틸트 디스펜서는 펌프 유닛(100)과 틸트 유닛(200)과 전후진 유닛(500)과 틸트 브라켓(600)과 회전 유닛(300)과 펌프 이송 유닛(400)를 포함하여 구성된다. 본 실시예에 따른 틸트 디스펜서는 자재(S)에 점성 용액(L)을 디스펜싱을 수행하는 장치이다.As shown in FIGS. 1 and 2, the tilt dispenser according to the present embodiment includes a pump unit 100, a tilt unit 200, a forward and backward unit 500, a tilt bracket 600, a rotation unit 300, and a pump. It is configured to include a transfer unit 400. The tilt dispenser according to the present embodiment is a device for dispensing a viscous solution (L) to the material (S).

본 실시예에 따른 틸트 디스펜서의 경우 펌프 유닛(100)은 압전 액튜에이터를 이용하여 점성 용액(L)을 디스펜싱하는 압전 펌프로 구성된다. 펌프 유닛(100)은 도 3에 도시된 것과 같이 두 개의 압전 액튜에이터와(제1압전 액튜에이터(110) 및 제2압전 액튜에이터(120)), 레버(130)와, 밸브 로드(140)와, 저장부(150)와, 노즐(160)로 구성된다.In the case of the tilt dispenser according to the present embodiment, the pump unit 100 is configured of a piezoelectric pump for dispensing a viscous solution L using a piezoelectric actuator. The pump unit 100 includes two piezoelectric actuators (the first piezoelectric actuator 110 and the second piezoelectric actuator 120), the lever 130, the valve rod 140, and the storage as shown in FIG. 3. The part 150 and the nozzle 160 are comprised.

제1압전 액튜에이터(110)와 제2압전 액튜에이터(120)는 인가되는 전압에 따라 길이가 변화하는 압전 소자로 구성된다. 본 실시예에서는 다수의 압전 소자를 적층하여 구성되는 멀티 스택(multi stack) 타입의 압전 액튜에이터(110, 120)를 사용한다. 제1압전 액튜에이터(110)와 제2압전 액튜에이터(120)는 서로 나란하게 배치된다. 레버(130)는 그 회전축이 제1압전 액튜에이터(110)와 제2압전 액튜에이터(120) 사이에 놓이도록 배치된다. 레버(130)는 두 개의 압전 액튜에이터(110, 120)에 접촉하도록 구성되어, 압전 액튜에이터(110, 120)의 길이 변화에 따라 회전한다. 밸브 로드(140)는 레버(130)에 연결되어 레버(130)의 회전에 따라 전후진한다. 저장부(150)는 점성 용액(L)을 저장한다. 저장부(150)에는 밸브 로드(140)가 삽입된다. 노즐(160)은 저장부(150)에 연결된다. 저장부(150)에 저장된 점성 용액(L)은 밸브 로드(140)의 움직임에 따라 노즐(160)을 통해 토출된다. The first piezoelectric actuator 110 and the second piezoelectric actuator 120 are composed of a piezoelectric element whose length varies according to an applied voltage. In this embodiment, a multi-stack type piezoelectric actuator 110 or 120 configured by stacking a plurality of piezoelectric elements is used. The first piezoelectric actuator 110 and the second piezoelectric actuator 120 are arranged parallel to each other. The lever 130 is disposed such that its axis of rotation lies between the first piezoelectric actuator 110 and the second piezoelectric actuator 120. The lever 130 is configured to contact the two piezoelectric actuators 110 and 120, and rotates according to the change in the length of the piezoelectric actuators 110 and 120. The valve rod 140 is connected to the lever 130 and moves back and forth according to the rotation of the lever 130. The storage unit 150 stores the viscous solution (L). The valve rod 140 is inserted into the storage unit 150. The nozzle 160 is connected to the reservoir 150. The viscous solution L stored in the storage 150 is discharged through the nozzle 160 as the valve rod 140 moves.

틸트 유닛(200)은 펌프 유닛(100)을 회전시킨다. 틸트 유닛(200)은 펌프 유닛(100)을 수평 방향 중심축에 대해 회전시킨다. 도 2에 도시된 것과 같은 상태의 경우, 틸트 유닛(200)은 펌프 유닛(100)을 X 방향 회전축을 중심으로 회전시킨다. 틸트 유닛(200)이 펌프 유닛(100)을 회전시키면 펌프 유닛(100)의 노즐(160)의 방향이 변하게 된다. 이와 같이 펌프 유닛(100)의 노즐(160)의 방향이 Z 방향의 수직축에 대해 기울어지도록 펌프 유닛(100)을 회전시키는 것을 이하에서 '틸트'라고 정의한다. The tilt unit 200 rotates the pump unit 100. The tilt unit 200 rotates the pump unit 100 about the horizontal central axis. In the state as shown in FIG. 2, the tilt unit 200 rotates the pump unit 100 about the X-axis rotation axis. When the tilt unit 200 rotates the pump unit 100, the direction of the nozzle 160 of the pump unit 100 is changed. As such, the rotation of the pump unit 100 such that the direction of the nozzle 160 of the pump unit 100 is inclined with respect to the vertical axis in the Z direction is defined as 'tilt' below.

도 2를 참조하면, 전후진 유닛(500)은 펌프 유닛(100)과 틸트 유닛(200) 사이에 설치된다. 전후진 유닛(500)의 전면은 틸트 유닛(200)의 한쪽 면에 결합된다. 전후진 유닛(500)은 펌프 유닛(100)을 전후진시킨다. 전후진 유닛(500)이 펌프 유닛(100)을 전후진시키는 방향은 펌프 유닛(100)의 노즐의 방향과 동일하다. 즉, 전후진 유닛(500)은 펌프 유닛(100)의 노즐을 통해 점성 용액이 토출되는 방향으로 펌프 유닛(100)을 전진시키거나 후퇴시킨다.Referring to FIG. 2, the forward and backward units 500 are installed between the pump unit 100 and the tilt unit 200. The front surface of the forward and backward unit 500 is coupled to one side of the tilt unit 200. The forward and backward unit 500 advances the pump unit 100 forward and backward. The direction in which the forward and backward unit 500 advances the pump unit 100 is the same as the direction of the nozzle of the pump unit 100. That is, the forward and backward unit 500 advances or retracts the pump unit 100 in the direction in which the viscous solution is discharged through the nozzle of the pump unit 100.

틸트 브라켓(600)은 제1브라켓(610)과 제2브라켓(620)으로 구성된다. 틸트 브라켓(600)은 제1브라켓(610)과 제2브라켓(620)이 90도 각도로 결합되어 형성된다. 도 2를 참조하면, 제1브라켓(610)은 회전 유닛(300)에 결합되고, 제2브라켓(620)은 틸트 유닛(200)이 결합된다. 즉, 틸트 브라켓(600)은 회전 유닛(300)과 틸트 유닛(200) 사이에 설치되고, 틸트 유닛(200)은 틸트 브라켓(600)을 통해서 회전 유닛(300)에 설치된다. 틸트 브라켓(600)은 회전 유닛(300)에 대해 틸트 유닛(200)을 지지하게 된다.The tilt bracket 600 includes a first bracket 610 and a second bracket 620. The tilt bracket 600 is formed by combining the first bracket 610 and the second bracket 620 at an angle of 90 degrees. Referring to FIG. 2, the first bracket 610 is coupled to the rotation unit 300, and the second bracket 620 is coupled to the tilt unit 200. That is, the tilt bracket 600 is installed between the rotation unit 300 and the tilt unit 200, and the tilt unit 200 is installed in the rotation unit 300 through the tilt bracket 600. The tilt bracket 600 supports the tilt unit 200 with respect to the rotating unit 300.

회전 유닛(300)은 수직 방향을 축으로 하여 틸트 브라켓(600)을 회전시킨다. 여기서 수직 방향은 도 1 및 도 2에 도시된 Z 방향이다. 회전 유닛(300)이 틸트 브라켓(600)을 회전시키면, 틸트 브라켓(600)에 설치된 틸트 유닛(200) 및 펌프 유닛(100)이 회전하게 된다.The rotation unit 300 rotates the tilt bracket 600 with the axis in the vertical direction. The vertical direction here is the Z direction shown in FIGS. 1 and 2. When the rotating unit 300 rotates the tilt bracket 600, the tilt unit 200 and the pump unit 100 installed on the tilt bracket 600 is rotated.

회전 유닛(300)에는 펌프 이송 유닛(400)이 결합된다. 펌프 이송 유닛(400)은 회전 유닛(300)을 이송한다. 펌프 이송 유닛(400)은 제1이송부(410)와 제2이송부(420)로 구성된다. 제1이송부(410)는 회전 유닛(300)을 X 방향으로 이송하고, 제2이송부(420)는 회전 유닛(300)을 Y 방향으로 이송한다.The pump transfer unit 400 is coupled to the rotary unit 300. The pump transfer unit 400 transfers the rotary unit 300. The pump transfer unit 400 includes a first transfer unit 410 and a second transfer unit 420. The first transfer unit 410 transfers the rotation unit 300 in the X direction, and the second transfer unit 420 transfers the rotation unit 300 in the Y direction.

이하에서는 본 실시예에 따른 틸트 디스펜서의 작동에 대해 설명한다.Hereinafter, the operation of the tilt dispenser according to the present embodiment will be described.

먼저, 도 3을 참조하여 펌프 유닛(100)이 점성 용액(L)을 디스펜싱하는 과정에 대해 설명한다. First, a process of dispensing the viscous solution L by the pump unit 100 will be described with reference to FIG. 3.

제1압전 액튜에이터(110)와 제2압전 액튜에이터(120)에 전압이 교대로 인가된다. 제1압전 액튜에이터(110)에 전압이 인가되면 제1압전 액튜에이터(110)의 길이가 늘어난다. 제1압전 액튜에이터(110)의 길이가 늘어나면, 제1압전 액튜에이터(110)와 접촉한 레버(130)가 도 3을 기준으로 반시계 방향으로 회전한다. 반대로 제2압전 액튜에이터(120)에 전압이 인가되면 제2압전 액튜에이터(120)의 길이가 늘어난다. 제2압전 액튜에이터(120)의 길이가 늘어나면, 제2압전 액튜에이터(120)와 접촉한 레버(130)가 도 3을 기준으로 시계 방향으로 회전한다. Voltages are alternately applied to the first piezoelectric actuator 110 and the second piezoelectric actuator 120. When a voltage is applied to the first piezoelectric actuator 110, the length of the first piezoelectric actuator 110 is increased. When the length of the first piezoelectric actuator 110 is increased, the lever 130 in contact with the first piezoelectric actuator 110 rotates counterclockwise with reference to FIG. 3. On the contrary, when a voltage is applied to the second piezoelectric actuator 120, the length of the second piezoelectric actuator 120 increases. When the length of the second piezoelectric actuator 120 is increased, the lever 130 in contact with the second piezoelectric actuator 120 rotates in a clockwise direction with reference to FIG. 3.

이렇게 제1압전 액튜에이터(110)와 제2압전 액튜에이터(120)에 전압이 교대로 인가되면, 레버(130)는 반시계 방향 또는 시계 방향으로 회전한다. 레버(130)의 회전에 따라 밸브 로드(140)가 저장부(150)에 대해 전후진한다. 레버(130)가 반시계 방향으로 회전하면, 도 3을 기준으로 밸브 로드(140)는 후진한다. 레버(130)가 시계 방향으로 회전하면, 도 3을 기준으로 밸브 로드(140)는 전진한다. 상술한 바와 같이 밸브 로드(140)는 저장부(150)에 삽입되어 전후진한다. 밸브 로드(140)의 전후진 스크토크는 저장부(150)에 저장된 점성 용액(L)에 전달된다. 이 스트로크로 인해 저장부(150)에 저장된 점성 용액(L)이 저장부(150)에 연결된 노즐(160)을 통해 펌프 유닛(100) 외부로 토출된다.When the voltage is alternately applied to the first piezoelectric actuator 110 and the second piezoelectric actuator 120, the lever 130 rotates in the counterclockwise or clockwise direction. As the lever 130 rotates, the valve rod 140 moves forward and backward with respect to the storage 150. When the lever 130 rotates in the counterclockwise direction, the valve rod 140 moves backward based on FIG. 3. When the lever 130 rotates in the clockwise direction, the valve rod 140 moves forward based on FIG. 3. As described above, the valve rod 140 is inserted into the storage 150 to move forward and backward. The forward and backward sctorks of the valve rod 140 are transmitted to the viscous solution L stored in the storage 150. Due to this stroke, the viscous solution L stored in the reservoir 150 is discharged to the outside of the pump unit 100 through the nozzle 160 connected to the reservoir 150.

다음으로, 펌프 유닛(100)의 위치 및 각도가 조절되는 과정에 대해 설명한다. 본 실시예에 따른 틸트 디스펜서의 펌프 유닛(100)은 X 방향 및 Y 방향으로 이송될 수 있고, 틸트 및 회전될 수 있다.Next, the process of adjusting the position and angle of the pump unit 100 will be described. The pump unit 100 of the tilt dispenser according to the present embodiment may be transferred in the X direction and the Y direction, and may be tilted and rotated.

먼저, 펌프 유닛(100)이 X 방향 및 Y 방향으로 이송되는 과정에 대해 설명한다.First, a process in which the pump unit 100 is transferred in the X direction and the Y direction will be described.

펌프 이송 유닛(400)은 회전 유닛(300)을 이송시킨다. 회전 유닛(300)이 펌프 이송 유닛(400)에 의해 이송되면, 회전 유닛(300)에 설치된 틸트 브라켓(600)도 회전 유닛(300)과 함께 이송된다. 상술한 바와 같이, 펌프 유닛(100)은 전후진 유닛(500)에 결합되고, 전후진 유닛(500)은 다시 틸트 유닛(200)에 결합되며 틸트 유닛(200)은 틸트 브라켓(600)의 제2브라켓(620)에 결합된다. 따라서, 펌프 유닛(100)은 틸트 브라켓(600)과 함께 움직인다. 틸트 브라켓(600)이 이송되면 펌프 유닛(100)도 틸트 브라켓(600)과 함께 이송된다. 결국 펌프 이송 유닛(400)이 회전 유닛(300)을 X 방향 및 Y 방향으로 이송하면, 펌프 유닛(100)도 X 방향 및 Y 방향으로 이송된다.The pump transfer unit 400 transfers the rotating unit 300. When the rotary unit 300 is transferred by the pump transfer unit 400, the tilt bracket 600 installed in the rotary unit 300 is also transferred together with the rotary unit 300. As described above, the pump unit 100 is coupled to the forward and backward unit 500, the forward and backward unit 500 is again coupled to the tilt unit 200, and the tilt unit 200 is formed of the tilt bracket 600. It is coupled to the two brackets (620). Thus, the pump unit 100 moves with the tilt bracket 600. When the tilt bracket 600 is transferred, the pump unit 100 is also transferred together with the tilt bracket 600. As a result, when the pump transfer unit 400 transfers the rotation unit 300 in the X direction and the Y direction, the pump unit 100 is also transferred in the X direction and the Y direction.

다음으로, 펌프 유닛(100)이 틸트 및 회전되는 과정에 대해 설명한다.Next, a process in which the pump unit 100 is tilted and rotated will be described.

틸트 유닛(200)은 펌프 유닛(100)과 전후진 유닛(500)을 함께 틸트시킨다. 도 1 및 도 2에 도시한 상태의 경우 틸트 유닛(200)은 X 방향 회전축을 중심으로 펌프 유닛(100)을 틸트시킨다. 틸트 유닛(200)이 펌프 유닛(100)을 틸트시키면, 도 1에 도시된 것과 같이 펌프 유닛(100)에 의해 디스펜싱되는 점성 용액(L)이 토출되는 방향의 각도가 조절된다.The tilt unit 200 tilts the pump unit 100 and the forward and backward units 500 together. 1 and 2, the tilt unit 200 tilts the pump unit 100 around the X-axis rotation axis. When the tilt unit 200 tilts the pump unit 100, as shown in FIG. 1, the angle in the direction in which the viscous solution L dispensed by the pump unit 100 is discharged is adjusted.

본 실시예와 같이 펌프 유닛(100)에 압전 액튜에이터(110, 120)를 사용하는 경우, 펌프 유닛(100)은 본 실시예에 포함된 레버(130)와 같은 구성이 필요하다. 레버(130)는 비교적 작은 작동 변위를 가지는 압전 액튜에이터(110, 120)의 변위를 확대하여 밸브 로드(140)을 전후진시키기 위한 구성이다. 밸브 로드(140) 및 노즐(160)은 레버(130)의 회전 중심으로부터 압전 액튜에이터(110, 120)보다 멀리 배치된다. 이로 인해 압전 액튜에이터(110, 120)를 사용하는 펌프 유닛(100)의 노즐(160)은 도 3에 도시된 것과 같이 한쪽으로 치우친 위치에 배치된다. 본 실시예의 틸트 디스펜서의 경우 이와 같은 압전 펌프 형태의 펌프 유닛(100)의 구조를 고려하여, 틸트 유닛(200)은 압전 액튜에이터(110, 120)의 배열 방향 회전축을 중심으로 펌프 유닛(100)을 틸트시킨다. 여기서 압전 액튜에이터(110, 120)의 배열 방향은 레버(130)의 연장 방향과 유사한 방향이다. 레버(130)는 압전 액튜에이터(110, 120)의 작동에 따라 그 연장 방향이 고정되지 않고 변하게 되지만, 레버(130)의 연장 방향은 본 실시예에서 두 개의 압전 액튜에이터(110, 120)가 배열되는 방향과 대략적으로 일치한다. 틸트 유닛(200)의 회전축을 위와 같이 구성하면, 주변 구성 및 자재(S)에 큰 간섭 없이 틸트 유닛(200)이 펌프 유닛(100)을 틸트시켜 노즐(160) 방향을 조절하는 것이 가능하다. 만약, 틸트 유닛(200)이 앞에서 설명한 것과 다른 방향의 회전축을 중심으로 펌프 유닛(100)을 틸트시키면 펌프 유닛(100) 하부의 노즐(160) 이외의 다른 구성이 자재(S)에 충돌하거나 다른 주위 구성에 간섭될 수 있다.When the piezoelectric actuators 110 and 120 are used in the pump unit 100 as in the present embodiment, the pump unit 100 requires the same configuration as the lever 130 included in the present embodiment. The lever 130 is a configuration for expanding the displacement of the piezoelectric actuators 110 and 120 having a relatively small operating displacement to move the valve rod 140 forward and backward. The valve rod 140 and the nozzle 160 are disposed farther than the piezoelectric actuators 110 and 120 from the center of rotation of the lever 130. As a result, the nozzles 160 of the pump unit 100 using the piezoelectric actuators 110 and 120 are disposed at one side as shown in FIG. 3. In the case of the tilt dispenser of the present embodiment, in consideration of the structure of the pump unit 100 in the form of a piezoelectric pump, the tilt unit 200 moves the pump unit 100 around the axis of rotation of the piezoelectric actuators 110 and 120. Tilt it. Here, the arrangement direction of the piezoelectric actuators 110 and 120 is a direction similar to the extending direction of the lever 130. The lever 130 is not fixed in its extension direction according to the operation of the piezoelectric actuators 110 and 120, but the extension direction of the lever 130 is two piezoelectric actuators 110 and 120 in this embodiment. Roughly coincident with the direction. When the rotation axis of the tilt unit 200 is configured as described above, the tilt unit 200 can tilt the pump unit 100 to adjust the nozzle 160 direction without significant interference with the surrounding configuration and material S. If the tilt unit 200 tilts the pump unit 100 about the rotation axis in a direction different from that described above, other components other than the nozzle 160 under the pump unit 100 may collide with the material S or may be different. It may interfere with the surrounding configuration.

전후진 유닛(500)은 펌프 유닛(100)을 점성 용액(L)이 토출되는 방향으로 전후진시킨다. 틸트 유닛(200)이 펌프 유닛(100)과 전후진 유닛(500)을 함께 틸트시키기 때문에, 전후진 유닛(500)은 펌프 유닛(100)이 틸트된 상태에서 펌프 유닛(100)을 전후진시킬 수 있다. The forward and backward unit 500 forwards and backwards the pump unit 100 in the direction in which the viscous solution L is discharged. Since the tilt unit 200 tilts the pump unit 100 and the forward and backward unit 500 together, the forward and backward unit 500 may move the pump unit 100 forward and backward while the pump unit 100 is tilted. Can be.

회전 유닛(300)은 Z 방향 회전축을 중심으로 틸트 브라켓(600)을 회전시킨다. 펌프 유닛(100)도 틸트 브라켓(600)과 함께 회전한다. 도 2를 참조하면, 회전 유닛(300)의 회전축과 제2브라켓(620)은 이격된다. 이로 인해, 제2브라켓(620)에 의해 지지되는 펌프 유닛(100)은 회전 유닛(300)의 회전 중심에 편심된 상태로 회전한다.The rotation unit 300 rotates the tilt bracket 600 about the rotation axis Z direction. The pump unit 100 also rotates with the tilt bracket 600. Referring to FIG. 2, the rotating shaft of the rotating unit 300 and the second bracket 620 are spaced apart from each other. Thus, the pump unit 100 supported by the second bracket 620 rotates in an eccentric state with respect to the rotation center of the rotation unit 300.

이하에서는 본 실시예에 따른 틸트 디스펜서를 사용하여 자재(S)에 점성 용액(L)을 디스펜싱하는 과정에 대해 설명한다.Hereinafter, a process of dispensing a viscous solution L on the material S using the tilt dispenser according to the present embodiment will be described.

먼저, 자재(S) 측면에 펌프 유닛(100)의 노즐(160)이 접근한다. 이때, 펌프 유닛(100)이 틸트된 상태에서 자재(S) 측면으로 전진한다. 도 4에 도시된 것과 같이 펌프 유닛(100)은 자재(S) 측면에 대해 기울어진 방향으로 접근한다. First, the nozzle 160 of the pump unit 100 approaches the material S side. At this time, the pump unit 100 is advanced to the material (S) side in the tilted state. As shown in FIG. 4, the pump unit 100 approaches in an inclined direction with respect to the material S side.

펌프 유닛(100)이 자재(S) 측면에 충분히 접근하면, 펌프 유닛(100)의 노즐(160)을 통해 점성 용액(L)을 자재(S)에 대해 디스펜싱한다. 언더 필 공정을 수행하는 경우 펌프 이송 유닛(400)에 의패 펌프 유닛(100)을 자재(S)의 한쪽 측면을 따라 움직이면서 연속적으로 점성 용액(L)을 자재(S)에 디스펜싱한다. 자재(S)의 측면 하부에 디스펜싱된 점성 용액(L)은 모세관 현상에 의해 기판과 자재(S) 사이의 공간으로 흐르면서, 자재(S) 하부에 채워지게 된다. 이와 같이 본 실시예의 틸트 디스펜서는 펌프 유닛(100)의 노즐(160)을 기울여서 자재(S)의 측면 하부와 기판이 만나는 모서리 부분에 더욱 가깝게 접근하여 점성 용액(L)의 디스펜싱할 수 있다. 때문에 본 실시예에 따른 틸트 디스펜서를 이용하여 디스펜싱 공정을 수행하면, 종래의 경우에 비해 반도체 칩의 킵 아웃 존을 줄이는 것이 가능하다. 즉, 기판에 대해 수직 방향으로 점성 용액을 디스펜싱하는 종래의 디스펜싱 공정에 비해 경사 방향으로 점성 용액(L)을 디스펜싱하는 본 실시예의 틸트 디스펜서는 점성 용액이 자재(S) 외곽으로 흐르는 영역(킵 아웃 존)의 면적을 더욱 감소시키고 자재 하부로 더욱 원활하게 흐르도록 하는 장점이 있다. 또한, 상술한 바와 같이 펌프 유닛(100)이 틸트된 상태에서 전후진 유닛(500)이 그 경사 방향으로 노즐(160)을 전후진시키므로, 노즐(160)과 자재(S)의 충돌 가능성을 줄이면서도 노즐(160)을 자재(S)의 필요한 부분에 더욱 가깝게 접근시키는 것이 가능하다. 이와 같은 구성에 의해 언더 필 공정과 같은 점성 용액 디스펜싱 공정의 품질을 향상시킬 수 있는 장점이 있다. When the pump unit 100 approaches the material S side sufficiently, the viscous solution L is dispensed with respect to the material S through the nozzle 160 of the pump unit 100. When the underfill process is performed, the viscous solution L is continuously dispensed onto the material S while the pump pump unit 100 is moved along one side of the material S in the pump transfer unit 400. The viscous solution L dispensed on the lower side of the material S flows into the space between the substrate and the material S by capillary action, and is filled in the lower material S. As described above, the tilt dispenser according to the present embodiment may be inclined to the nozzle 160 of the pump unit 100 to approach the corner portion where the lower side of the material S and the substrate meet to dispense the viscous solution L. FIG. Therefore, when the dispensing process is performed using the tilt dispenser according to the present embodiment, it is possible to reduce the keep out zone of the semiconductor chip as compared with the conventional case. That is, the tilt dispenser of the present embodiment dispenses the viscous solution L in the oblique direction as compared to the conventional dispensing process of dispensing the viscous solution in the vertical direction with respect to the substrate. There is an advantage that the area of the (keep out zone) is further reduced and flows more smoothly under the material. In addition, as described above, since the forward and backward unit 500 advances the nozzle 160 in the inclined direction while the pump unit 100 is tilted, the possibility of collision between the nozzle 160 and the material S may be reduced. In addition, it is possible to bring the nozzle 160 closer to the required portion of the material (S). Such a configuration has an advantage of improving the quality of a viscous solution dispensing process such as an underfill process.

도 4에 도시된 것과 같이, 틸트된 상태로 점성 용액(L)을 디스펜싱하면 자재(S) 외곽으로 흐르는 점성 용액(L)의 양을 줄일 수 있으므로, 킵 아웃 존(Keep Out Zone)이 줄어든다. 킵 아웃 존을 줄이면, 반도체 칩 형태의 자재(S)의 크기를 줄이는 것이 가능하고 동일 면적에 더 많은 자재(S)를 배치하여 제작이 가능하므로 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 자재(S)의 특성과 형상에 따라 틸트 유닛(200)으로 노즐(160)의 경사 각도를 조절할 수 있으므로 더욱 효과적인 점성 용액(L) 디스펜싱 작업이 가능하다. As shown in FIG. 4, dispensing the viscous solution L in a tilted state reduces the amount of the viscous solution L flowing out of the material S, thereby reducing the keep out zone. . If the keep-out zone is reduced, it is possible to reduce the size of the material S in the form of a semiconductor chip and to increase the productivity by placing more materials S in the same area. In addition, since the inclination angle of the nozzle 160 can be adjusted by the tilt unit 200 according to the characteristic and shape of the material S, more effective dispensing of the viscous solution L is possible.

경우에 따라서는 자재(S)의 2개 이상의 측면을 따라 점성 용액(L)을 디스펜싱할 수도 있고, 꺾인 선이나 곡선 경로로 형성된 자재(S)의 측면에 점성 용액(L)을 디스펜싱할 수도 있다. 이러한 경우에는 회전 유닛(300)을 통해 펌프 유닛(100)을 회전시키면서 디스펜싱을 실시할 수 있다. 회전 유닛(300)의 회전축과 틸트 유닛(200)의 회전축이 서로 상이하므로, 자재(S)의 측면의 방향이 바뀌더라도 그 자재(S) 측면에 대한 방향과 경사 각도를 일정하게 유지하면서 점성 용액(L)을 디스펜싱하는 것이 가능하다. In some cases, the viscous solution L may be dispensed along two or more sides of the material S, or the viscous solution L may be dispensed on the side of the material S formed by a broken line or a curved path. It may be. In this case, dispensing may be performed while rotating the pump unit 100 through the rotation unit 300. Since the rotation axis of the rotation unit 300 and the rotation axis of the tilt unit 200 are different from each other, the viscous solution while maintaining a constant direction and inclination angle with respect to the material S side even if the direction of the side surface of the material S is changed. It is possible to dispense (L).

예컨대, 사각형 자재(S)의 평행한 두 측면에 점성 용액(L)을 디스펜싱하는 경우에는 한쪽 측면에 디스펜싱이 완료된 뒤, 회전 유닛(300)이 틸트 브라켓(600)을 180도 회전시키면, 자재(S)의 반대쪽 측면에 대한 점성 용액(L) 디스펜싱 작업이 가능하다. 틸트 브라켓(600)이 180도 회전하면, 펌프 유닛(100)은 자재(S)에 대한 틸트 각도가 유지된 상태에서 반대쪽 측면과 마주보게 배치될 수 있다. 사각형 자재(S)에 수직한 두 측면에 점성 용액(L)을 디스펜싱하는 경우에는 회전 유닛(300)이 틸트 브라켓(600)을 90도 회전시키면 된다. 이와 같이 본 실시예에 따른 틸트 디스펜서는 펌프 유닛(100)의 틸트 각도를 유지하면서 자재(S)의 여러 측면이나 곡면에 대해 디스펜싱을 수행할 수 있는 효과를 갖는다.For example, when dispensing a viscous solution (L) on two parallel sides of the rectangular material (S), after dispensing is completed on one side, when the rotating unit 300 rotates the tilt bracket 600 180 degrees, A viscous solution (L) dispensing operation on the opposite side of the material (S) is possible. When the tilt bracket 600 rotates 180 degrees, the pump unit 100 may be disposed to face the opposite side while the tilt angle with respect to the material S is maintained. When dispensing viscous solution L on two sides perpendicular to the rectangular material S, the rotary unit 300 may rotate the tilt bracket 600 by 90 degrees. As described above, the tilt dispenser according to the present exemplary embodiment has the effect of dispensing on various side surfaces or curved surfaces of the material S while maintaining the tilt angle of the pump unit 100.

또한, 본 실시예에 따른 틸트 디스펜서의 틸트 브라켓(600)을 활용하여 효율적인 디스펜싱 작업을 수행하는 것도 가능하다. 상술한 바와 같이, 회전 유닛(300)이 틸트 브라켓(600)을 회전시키면, 펌프 유닛(100)은 회전 유닛(300)의 회전 중심에 대해 편심된 상태로 회전한다. 틸트 브라켓(600)의 크기를 적절하게 조절하면, 회전 유닛(300)의 회전만으로 펌프 유닛(100)의 노즐(160)이 자재의 여러 측면과 마주보도록 하는 것이 가능하다. 이로 인해, 공정의 효율성을 더욱 증가시킬 수 있다.In addition, it is also possible to perform an efficient dispensing operation by utilizing the tilt bracket 600 of the tilt dispenser according to the present embodiment. As described above, when the rotation unit 300 rotates the tilt bracket 600, the pump unit 100 rotates in an eccentric state with respect to the rotation center of the rotation unit 300. By properly adjusting the size of the tilt bracket 600, it is possible to make the nozzle 160 of the pump unit 100 face various sides of the material only by the rotation of the rotating unit 300. This can further increase the efficiency of the process.

이와 같이, 본 발명은 틸트 유닛(200)과 회전 유닛(300)의 작동을 조합하여 다양한 위치와 각도 및 방향으로 펌프 유닛(100)의 노즐(160)의 방향을 조절하면서 점성 용액(L)을 디스펜싱할 수 있는 장점이 있다. 또한, 본 발명은 위와 같은 기능을 수행하면서도 틸트 디스펜서의 구조를 비교적 단순하고 컴팩트하게 구성한 장점이 있다. As described above, the present invention combines the operation of the tilt unit 200 and the rotation unit 300 to adjust the direction of the nozzle 160 of the pump unit 100 in various positions, angles, and directions while maintaining a viscous solution L. There is an advantage to dispensing. In addition, the present invention has the advantage that the structure of the tilt dispenser relatively simple and compact while performing the above functions.

한편, 반도체 칩 형태의 자재(S)를 다층으로 쌓아 각 자재(S) 사이의 공간에 점성 용액(L)을 디스펜싱하는 경우에도, 자재(S)의 불필요한 부분에 점성 용액(L)이 묻는 것을 방지하면서 킵 아웃 존을 최소화하여 점성 용액(L)을 도포하는 것이 가능하다. On the other hand, even when the viscous solution L is dispensed into the space between the materials S by stacking the materials S in the form of a semiconductor chip in multiple layers, the viscous solution L is applied to an unnecessary portion of the material S. It is possible to apply the viscous solution L by minimizing the keep out zone while preventing it.

수 개의 자재(S)가 적층될 때 적층된 자재(S)의 측면에 돌출부가 존재하는 경우에는 기존과 같이 수직 방향으로 노즐을 움직이는 경우에는 돌출부 하측의 공간에 점성 용액(L)을 도포하는 것이 불가능하다. 이와 달리 본 실시예에 따른 틸트 디스펜서는 노즐(160)의 각도를 변화시켜 점성 용액(L)을 도포할 수 있으므로, 돌출부 하측의 공간에도 용이하게 노즐(160)을 접근시켜 점성 용액(L)을 디스펜싱 할 수 있는 장점이 있다.When protrusions are present on the side of the stacked material S when several materials S are stacked, when the nozzle is moved in the vertical direction as in the past, it is preferable to apply a viscous solution L to the space under the protrusions. impossible. On the contrary, since the tilt dispenser according to the present exemplary embodiment may apply the viscous solution L by changing the angle of the nozzle 160, the viscous solution L may be easily accessed by approaching the nozzle 160 in the space under the protrusion. It has the advantage of dispensing.

이상 본 발명에 따른 틸트 디스펜서에 대해 바람직한 실시예를 들어 설명하였으나, 본 발명의 범위가 앞에서 설명하고 도시한 형태로 한정되는 것은 아니다.As mentioned above, the tilt dispenser according to the present invention has been described with reference to a preferred embodiment, but the scope of the present invention is not limited to the form described and illustrated above.

예를 들어, 앞에서는 틸트 브라켓(600)이 제1브라켓(610)과 제2브라켓(620)으로 구성되는 것으로 설명하였으나 틸트 브라켓의 구조는 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 경우에 따라서는 틸트 브라켓을 생략하여 본 발명에 따른 틸트 디스펜서를 구성하는 것도 가능하다. 이 경우에는 회전 유닛이 틸트 유닛에 직접 결합된다.For example, in the above, the tilt bracket 600 has been described as being composed of the first bracket 610 and the second bracket 620, but the structure of the tilt bracket may be variously changed as necessary. In some cases, it is also possible to configure the tilt dispenser according to the present invention by omitting the tilt bracket. In this case, the rotary unit is directly coupled to the tilt unit.

또한, 앞에서는 펌프 유닛(100)이 두 개의 압전 액튜에이터(110, 120)를 포함하는 압전 펌프인 것으로 설명하였으나, 하나의 압전 액튜에이터를 가진 압전 펌프로 펌프 유닛을 구성하는 것도 가능하다. 경우에 따라서는, 압전 펌프 이외의 다른 종류의 펌프로 펌프 유닛을 구성하는 것도 가능하다.In addition, although the pump unit 100 has been described as being a piezoelectric pump including two piezoelectric actuators 110 and 120, it is also possible to configure the pump unit with a piezoelectric pump having one piezoelectric actuator. In some cases, it is also possible to configure the pump unit with a pump other than the piezoelectric pump.

또한, 앞에서는 틸트 유닛(200)은 압전 액튜에이터(110, 120)가 배열된 방향과 나란한 회전축을 중심으로 펌프 유닛(100)을 회전시키는 것으로 설명하였으나, 틸트 유닛이 펌프 유닛을 회전시키는 회전축의 방향은 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 또한, 틸트 유닛, 전후진 유닛, 펌프 유닛의 결합관계는 다양하게 변형될 수 있다. 예를 들어 전후진 유닛, 틸트 유닛, 펌프 유닛 순서로 결합되게 구성하는 것도 가능하다. In addition, in the above, the tilt unit 200 has been described as rotating the pump unit 100 around the axis of rotation parallel to the direction in which the piezoelectric actuators 110 and 120 are arranged, but the direction of the axis of rotation in which the tilt unit rotates the pump unit. May be variously changed as necessary. In addition, the coupling relationship between the tilt unit, the forward and backward units, and the pump unit may be variously modified. For example, it can also be configured to be combined in the forward and backward units, the tilt unit, the pump unit.

또한, 앞에서 전후진 유닛(500)을 포함하는 틸트 디스펜서를 예로 들어 설명하였으나 전후진 유닛을 생략하여 본 발명에 따른 틸트 디스펜서를 구성하는 것도 가능하다.In addition, the tilt dispenser including the forward and backward unit 500 has been described as an example, but it is also possible to configure the tilt dispenser according to the present invention by omitting the forward and backward unit.

또한, 앞에서 펌프 이송 유닛(400)은 X 방향 및 Y 방향으로 펌프 유닛(100)을 이송하는 것으로 설명하였으나, 펌프 이송 유닛이 펌프 유닛을 Z 방향으로도 이송할 수 있도록 펌프 이송 유닛을 구성하는 것도 얼마든지 가능하다.In addition, the pump transfer unit 400 has been described as transferring the pump unit 100 in the X direction and the Y direction, but it is also configured to configure the pump transfer unit so that the pump transfer unit can also transfer the pump unit in the Z direction. It is possible.

100: 펌프 유닛 110: 제1압전 액튜에이터
120: 제2압전 액튜에이터 130: 레버
140: 밸브 로드 150: 저장부
160: 노즐 200: 틸트 유닛
300: 회전 유닛 400: 펌프 이송 유닛
410: 제1이송부 420: 제2이송부
500: 전후진 유닛 600: 틸트 브라켓
610: 제1브라켓 620: 제2브라켓
S: 자재 L: 점성 용액
KOZ: 킵 아웃 존100: pump unit 110: first piezoelectric actuator
120: second piezoelectric actuator 130: lever
140: valve rod 150: reservoir
160: nozzle 200: tilt unit
300: rotary unit 400: pump transfer unit
410: first transfer unit 420: second transfer unit
500: forward and backward unit 600: tilt bracket
610: first bracket 620: second bracket
S: Material L: Viscous Solution
KOZ: Keep out zone

Claims (6)

점성 용액을 디스펜싱하는 펌프 유닛;
상기 펌프 유닛에 의해 디스펜싱되는 점성 용액의 토출 방향의 각도를 조절하도록 상기 펌프 유닛에 결합되어 상기 펌프 유닛을 수평 방향 중심축에 대해 회전시키는 틸트 유닛;
상기 펌프 유닛의 방향을 조절하도록 상기 틸트 유닛에 결합되어 상기 틸트 유닛을 수직 방향 중심축에 대해 회전시키는 회전 유닛; 및
상기 회전 유닛에 결합되어 상기 회전 유닛을 이송하는 펌프 이송 유닛;을 포함하는 틸트 디스펜서.A pump unit for dispensing a viscous solution;
A tilt unit coupled to the pump unit to adjust the angle of the discharge direction of the viscous solution dispensed by the pump unit to rotate the pump unit about a horizontal central axis;
A rotating unit coupled to the tilt unit to adjust the direction of the pump unit to rotate the tilt unit about a vertical central axis; And
And a pump conveying unit coupled to the rotating unit to convey the rotating unit. 제1항에 있어서,
상기 틸트 유닛에 설치되어 상기 틸트 유닛에 대해 펌프 유닛을 상기 펌프 유닛에 의해 디스펜싱되는 점성 용액의 토출 방향으로 전후진시키는 전후진 유닛;을 더 포함하는 틸트 디스펜서.The method of claim 1,
And a forward and backward unit installed in the tilt unit to move the pump unit back and forth in the discharge direction of the viscous solution dispensed by the pump unit with respect to the tilt unit. 제2항에 있어서,
상기 회전 유닛과 틸트 유닛 사이에 설치되고, 상기 틸트 유닛을 지지하는틸트 브라켓;을 더 포함하고,
상기 틸트 유닛은 상기 틸트 브라켓에 대해 상기 펌프 유닛을 회전시키고,
상기 회전 유닛은 상기 틸트 브라켓을 회전시킴으로써, 상기 틸트 유닛과 펌프 유닛을 회전시키는 틸트 디스펜서.The method of claim 2,
A tilt bracket installed between the rotation unit and the tilt unit and supporting the tilt unit;
The tilt unit rotates the pump unit with respect to the tilt bracket,
And the rotating unit rotates the tilt bracket to rotate the tilt unit and the pump unit. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 펌프 유닛은, 압전 액튜에이터를 이용하여 점성 용액을 디스펜싱하는 압전 펌프인 틸트 디스펜서.The method according to any one of claims 1 to 3,
The pump unit is a tilt dispenser that is a piezoelectric pump that dispenses a viscous solution using a piezoelectric actuator. 제4항에 있어서,
상기 펌프 유닛은,
인가 전압에 따라 길이가 변하는 적어도 하나의 압전 액튜에이터와, 상기 압전 액튜에이터에 접촉하도록 배치되어 상기 압전 액튜에이터의 길이 변화에 따라 회전하는 레버와, 상기 레버에 연결되어 상기 레버의 회전에 따라 전후진하는 밸브 로드와, 상기 밸브 로드가 삽입되어 전후진하고 상기 점성 용액이 저장되는 저장부와, 상기 저장부에 연결되어 상기 점성 용액이 토출되는 노즐을 포함하는 틸트 디스펜서.The method of claim 4, wherein
The pump unit,
At least one piezoelectric actuator whose length varies according to an applied voltage, a lever disposed to contact the piezoelectric actuator and rotating according to a change in the length of the piezoelectric actuator, and a valve connected to the lever and moving forward and backward as the lever rotates A tilt dispenser comprising a rod, a storage unit in which the valve rod is inserted back and forth and the viscous solution is stored, and a nozzle connected to the reservoir to discharge the viscous solution. 제5항에 있어서,
상기 펌프 유닛은,
상기 압전 액튜에이터를 두 개 구비하고,
상기 두 개의 압전 액튜에이터는 상기 레버의 회전축을 중심으로 양측에 배치되며,
상기 틸트 유닛은, 상기 두 개의 압전 액튜에이터가 배열된 방향과 나란한 회전축을 중심으로 상기 펌프 유닛을 회전시키는 틸트 디스펜서.The method of claim 5,
The pump unit,
Two piezoelectric actuators,
The two piezoelectric actuators are disposed on both sides about the axis of rotation of the lever,
The tilt unit is a tilt dispenser for rotating the pump unit about the axis of rotation parallel to the direction in which the two piezoelectric actuators are arranged.
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