KR20190111820A - 석영 유리 도가니 및 석영 유리 도가니의 제조 방법 - Google Patents

석영 유리 도가니 및 석영 유리 도가니의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 실리콘 단결정의 제조에 있어서 이용되는, 저부 및 측벽을 구비한 바닥이 있는 원통 형상의 석영 유리 도가니로서, 상기 측벽의 상단면을 정반에 접촉시켰을 때에 발생하는 정반과 상단면의 간극이, 상기 상단면의 전체 영역에 있어서, 0.5㎜의 범위 이내에 있는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니 및 석영 유리 도가니의 제조 방법에 관한 것이다.

Description

석영 유리 도가니 및 석영 유리 도가니의 제조 방법{QUARTZ GLASS CRUCIBLE AND METHOD OF PRODUCING THE SAME}
본 발명은, 실리콘 단결정의 제조에 있어서 이용되는 석영 유리 도가니 및 석영 유리 도가니의 제조 방법에 관한 것이다.
실리콘 단결정의 제조에 있어서는, 초크랄스키법(Czochralski method)이 널리 이용되고 있다. 이 방법은, 석영 유리 도가니 내에 수용된 원료 실리콘 융액의 표면에 종결정(種結晶)을 접촉시켜, 석영 유리 도가니를 회전시킴과 함께, 종결정을 반대 방향으로 회전시키면서 상방으로 인상함으로써, 종결정의 하단에 단결정 잉곳(single crystal ingot)이 육성되어 가는 것이다.
이 원료 실리콘 융액을 수용하기 위한 석영 유리 도가니로는, 예를 들면, 내열성이 우수한 천연 실리카 유리에 의해 형성된 외측층과, 고순도의 합성 실리카 유리에 의해 형성된 내측층을 갖는 2층 구조의 석영 유리 도가니가 이용되고 있다.
이러한 석영 유리 도가니의 제조 방법으로서, 회전 몰드법이 알려져 있다.
이 회전 몰드법에서는, 회전하는 몰드의 측벽 및 저면에, 합성 실리카 유리 및 천연 실리카 유리의 원료 분말의 각각을 원심력으로 적층 형성하고, 이 성형체를 아크(arc)로 가열 용융하여 유리화한다.
이 회전 몰드법으로 형성되는 석영 유리 도가니는, 높이 치수가 요구 치수보다 높게 형성되고, 아크로 가열 용융하여 유리화한 후, 높이가 요구 치수가 되도록, 개구부의 측벽을 절단하여, 요구되는 높이 치수의 석영 유리 도가니를 이루고 있다.
그러나, 이 석영 유리 도가니의 반송에는, 석영 유리 도가니 상부의 개구부를 덮는 덮개 형상의 지그(jig)가 이용된다.
이 석영 유리 도가니 반송용 지그는, 덮개 형상의 지그가 석영 유리 도가니 상부의 개구부를 덮고, 석영 유리 도가니의 내부를 감압함으로써, 석영 유리 도가니를 흡착하고, 반송하는 것이다(예를 들면 특허문헌 1 참조).
일본공개특허공보 2005-281028호
그러나, 상기와 같이, 석영 유리 도가니 상부의 개구부의 측벽을 절단하여, 요구되는 높이 치수를 이룰 때, 개구부의 단면(측벽의 상단면)에 변형이 발생할 우려가 있다.
즉, 석영 유리 도가니의 개구부의 단면(측벽의 상단면)의 절단면은, 전체 둘레에 걸쳐 동일 평면상(동일 높이)에 있는 것이 이상적이지만, 개구부의 단면(측벽의 상단면)의 절단면의 일부가 다른 일부와 어긋남이 발생하여, 석영 유리 도가니의 개구부의 단면(측벽의 상단면)의 절단면이 동일 평면상(동일 높이)이 되지 않는다는 과제가 있었다.
또한, 석영 유리 도가니를, 재차 아크 용융시키는 리아크 등의 열처리를 실시하는 경우도, 열처리의 영향으로 개구부의 단면에 변형이 발생하고, 석영 유리 도가니의 개구부의 단면(측벽의 상단면)이, 전체 둘레에 걸쳐 동일 평면상(동일 높이)이 되지 않는다는 과제가 있었다.
이와 같이, 석영 유리 도가니의 개구부의 단면(측벽의 상단면)의 절단면이, 전체 둘레에 걸쳐 동일 평면상(동일 높이)이 되지 않는 경우에는, 개구부를 덮는 덮개 형상의 석영 유리 도가니 반송용 지그와의 사이에 틈새가 발생한다.
그 결과, 석영 유리 도가니 반송용 지그를 이용해도, 석영 유리 도가니의 내부를 충분히 감압할 수 없어, 석영 유리 도가니의 매달아 올림이 곤란해지고, 또한 반송 도중에서 석영 유리 도가니가 탈락하는 등의 과제가 있었다.
본 발명은, 상기한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 석영 유리 도가니 반송용 지그에 확실하게 흡착시킬 수 있는 석영 유리 도가니 및 석영 유리 도가니의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해 이루어진 본 발명에 따른 석영 유리 도가니는, 실리콘 단결정의 제조에 있어서 이용되는, 저부 및 측벽을 구비한 바닥이 있는 원통 형상의 석영 유리 도가니로서, 상기 측벽의 상단면을 정반(定盤)에 접촉시켰을 때에 발생하는 정반과 상단면의 간극이, 상기 상단면의 전체 영역에 있어서, 0.5㎜의 범위 이내에 있는 것을 특징으로 하고 있다.
이와 같이, 석영 유리 도가니의 측벽의 상단면과 정반의 간극이, 상기 상단면의 전체 영역에 있어서, 0.5㎜의 범위 이내에 있는 경우에는, 석영 유리 도가니 반송용 지그에 의해, 석영 유리 도가니를 확실하게 흡착시킬 수 있어, 탈락하는 일 없이 반송할 수 있다.
여기에서, 상기 측벽의 상단면을 정반에 접촉시켰을 때에 발생하는 정반과 상단면의 간극이 0.01㎜ 이상 0.5㎜의 범위 이내에 있는 것이 바람직하다.
상기 틈새가 0.01㎜ 미만의 범위 내가 되도록 절단하는 것은, 고(高)정밀도의 절단을 행하지 않으면 안되어, 현실적이지 않다. 또한, 상기 틈새가 0.5㎜의 범위를 초과하는 경우에는, 상기한 바와 같이, 석영 유리 도가니 반송용 지그에 의해, 석영 유리 도가니를 흡착할 수 없어, 석영 유리 도가니가 탈락할 우려가 있다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해 이루어진 본 발명에 따른 석영 유리 도가니의 제조 방법은,
도가니 성형용 몰드를 고속으로 회전시키면서, 합성 실리카 유리 및 천연 실리카 유리의 원료 분말의 각각을 원심력으로 적층 형성하고, 형성된 성형체를 가열 용융함으로써 석영 유리 도가니를 형성하는 공정과, 상기 석영 유리 도가니를 형성한 후, 상기 측벽의 상단면을 절단하여, 소정의 높이로 하는 절단 공정과, 상기 측벽의 상단면을 정반에 접촉시켜, 상기 정반과 상기 상단면의 사이에 형성된 간극이 0.5㎜ 이하인 경우에 양품이라고 판정을 하는 검사 공정을 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.
이와 같이, 측벽의 상단면을 정반에 접촉시켜, 상기 정반과 상기 상단면의 사이에 형성된 간극을 측정함으로써, 양품·불량품을, 용이하게 판정을 할 수 있다.
또한, 상기 정반과 상기 상단면의 사이에 형성된 간극은, 틈새 게이지(시크니스 게이지(thickness gauge))를 이용하여 측정할 수 있다.
본 발명에 의하면, 석영 유리 도가니 반송용 지그에 확실하게 흡착시킬 수 있는 석영 유리 도가니 및 석영 유리 도가니의 제조 방법을 얻을 수 있다.
도 1은, 회전 몰드법에 있어서의 석영 유리 도가니의 형성 방법을 나타내는 개략도이다.
도 2는, 형성된 석영 유리 도가니의 형상을 나타내는 개략 단면도이다.
도 3은, 절단 공정 후의 석영 유리 도가니의 상단면의 검사 방법을 나타내는 단면도이다.
도 4는, 도 3에 나타내는 검사 방법에 있어서의 일부 확대 단면도이다.
도 5는, 석영 유리 도가니의 반송 방법을 나타내는 개략도이다.
(발명을 실시하기 위한 형태)
이하, 본 발명의 실시 형태에 따른 석영 유리 도가니 및 석영 유리 도가니의 제조 방법에 대해서, 도 1 내지 도 5에 기초하여 설명한다. 또한, 석영 유리 도가니로서, 2층 구조의 석영 유리 도가니를 예로 들어 설명하지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고, 3층 이상의 층 구조를 갖는 석영 유리 도가니에도 적용할 수 있다.
회전 몰드법에 있어서의 석영 유리 도가니의 형성 방법에서는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 도가니 성형용 몰드(11)가 이용된다.
이 도가니 성형용 몰드(11)는, 원료 분말층이 형성되는 내측 부재(12)와, 내측 부재(12)를 보유지지하는 보유지지체(14)를 구비하고 있다. 또한, 도가니 성형용 몰드(11)는, 회전축(15)에 의해 화살표 방향으로 회전 가능하게 구성되어 있다.
또한, 도가니 성형용 몰드(11)의 내측 부재(12)에는 관통 구멍(12a)이 형성되고, 내측 부재(12)와 보유지지체(14)의 사이에는, 관통 구멍(12a)이 연통하는 통기로(13)가 형성되어 있다. 통기로(13)는 흡인부(16)를 통하여, 펌프 등의 감압 기구(18)에 접속되어 있다.
이 회전 몰드법에 있어서의 석영 유리 도가니의 성형 방법에서는, 도가니 성형용 몰드(11)를 회전시키면서, 도가니 성형용 몰드(11) 내의 상부로부터, 처음에 천연 실리카 원료 분말을 장전하고, 추가로 그 내표면에 합성 실리카 원료 분말을 장전한다.
그 결과, 처음에 공급된 천연 실리카 원료 분말은, 원심력에 의해, 도가니 성형용 몰드(11)의 내측 부재(12)에 압압되어, 천연 실리카 원료 분말층(10b)이 형성된다. 그 후, 이 천연 실리카 원료 분말에 이어서, 합성 실리카 원료 분말이 도가니 성형용 몰드(11) 내에 공급되면, 원심력에 의해 천연 실리카 원료 분말층(10b)에 압압되어, 합성 실리카 원료 분말층(10a)이 형성된다. 이와 같이, 도가니 성형용 몰드(11)의 형상으로 본떠진 실리카분 성형체(10)가 형성된다.
그 후, 감압 기구(18)의 작동에 의해, 내측 부재(12)의 관통 구멍(12a) 및 통기로(13)를 통하여, 실리카분 성형체(10)를 외측 방향으로 흡인하면서, 카본 전극(17)에 통전하여 아크 방전시키고, 실리카분 성형체(10)의 내측으로부터 가열 용융하여, 실리카분 성형체(10)를 유리화한다.
이를 냉각하면, 내면측에는 실질적으로 무기포화 상태에서 산소 과잉 결함이 억제된 투명 실리카 유리층이 형성되고, 외표측에는 다수의 기포가 존재하는 불투명 실리카 유리층이 형성된다.
이와 같이 형성된 석영 유리 도가니(1)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 저부(3)및 측벽(2)을 구비한 바닥이 있는 원통 형상으로 형성되고, 상부에는 개구부(1a)가 형성되어 있다. 또한, 도 2는, 회전 몰드법으로 형성된 석영 유리 도가니의 형상을 나타내는 단면도로서, 석영 유리 도가니의 중앙 단면을 도시하고 있다.
그러나, 회전 몰드법으로 형성된 상태의 석영 유리 도가니(1)는, 측벽(2)의 상단 부분에는, 두께가 서서히 얇아져 있는 박육부(2a)가 형성되는 경우가 있다.
이와 같이, 회전 몰드법으로 형성된 상태의 석영 유리 도가니(1)의 측벽(2)의 상단 부분은, 제품으로서 부적절한 경우도 많다. 또한, 석영 유리 도가니(1)의 사용자의 요구에 따라서, 소정의 높이가 되도록 측벽을 절단하여, 요구 치수의 석영 유리 도가니를 제조하는 경우가 있다.
그 때문에, 일반적으로, 석영 유리 도가니(1)는, 요구 치수의 높이보다도 높게 형성해 두고, 측벽(2)의 상단 부분(도면 중 파선보다 상측)을 절단하여 상단면을 형성하는 절단 공정이 이루어진다.
이 절단 공정은, 다이아몬드 휠로, 측벽(2)의 상단 부분의 절제를 행하여, 요구 치수의 높이로 한다. 또한, 절단 후의 단면, 즉 측벽(2)의 상단면(5)의 내외주를 연삭용 지석으로 적절히 모따기한다.
그리고, 상기 절단 공정 후, 도 3에 나타내는 바와 같이, 절단 공정 후의 석영 유리 도가니(1)를, 상하를 반대로 하여, 정반(4)의 위에 올려놓고, 측벽(2)의 상단면(5)의 형상 검사를 행한다. 정반(4)으로는 평면도가 20 ㎛미만인 정반이면 특별히 한정되지는 않지만, 예를 들면, 츠바키모토 코교 가부시키가이샤제의 정밀석 정반(품번: TT00-1010, 등급: 00급, 평면도 3.5㎛)을 사용할 수 있다.
또한, 도 3은, 절단 공정 후의 석영 유리 도가니의 상단면의 검사 방법을 나타내는 도면이고, 도 4는, 도 3의 일부 확대 단면도이다(도 3의 영역 A에 상당).
구체적으로 도 4에 기초하여, 형상 검사 공정을 설명하면, 정반(4) 위에 측벽(2)의 상단면(5)을 접하도록 올려놓으면, 측벽(2)의 상단면의 전체가 정반(4)에 접할 일은 없고, 상단면(5)의 일부의 점이, 정반(4)으로부터 어느 정도의 범위에서 틈새(G)가 발생한다.
당해 틈새(G)는, 나중에 검증 실험으로 나타내는 바와 같이, 석영 유리 도가니 반송용 지그에 확실하게 흡착시킨다는 관점에서, 측벽(2)의 상단면(5)의 전체가, 정반(4)으로부터 0.5㎜의 범위 이내이다.
한편, 절단의 관점에서 보면, 측벽(2)의 상단면(5)의 전체가, 정반(4)으로부터 0.01㎜ 미만의 범위로 이루는 것은 곤란하고, 상기 범위 내로 이루는 것은 제조 비용의 점에서 바람직하지 않다.
따라서, 당해 틈새(G)는, 측벽(2)의 상단면(5)의 전체가, 정반(4)으로부터 0.01㎜ 이상 0.5㎜ 이하의 범위 이내인 것이 바람직하다.
그 때문에, 본 발명의 실시 형태에 따른 석영 유리 도가니의 제조 방법에서는, 개구부(1a)를 형성하는 측벽(2)의 상단면(5)을 정반(4)에 접촉시켜, 정반(4)과 상단면(5)의 사이에 형성된 간극이 0.5㎜ 이하인 경우에 양품 판정을 하는 검사 공정을 행한다.
이 검사 공정에서는, 예를 들면, 틈새 게이지(JIS B 7524:2008)를 얇은 것부터 순서대로 정반(4)과 상단면(5)의 사이에 형성된 간극에 삽입함으로써, 정반(4)과 상단면(5)의 사이에 형성된 간극이 0.5㎜ 이하인 경우에 양품 판정한다.
한편, 0.6㎜의 틈새 게이지를 검사 지그로서 이용하여, 0.6㎜의 틈새 게이지가 정반(4)과 상단면(5)의 사이에 형성된 간극에 삽입할 수 있었던 제품을 부적합으로서 판정해도 좋다.
이상과 같이, 개구부(1a)를 형성하는 측벽(2)의 상단면(5)의 형상이 규정된 석영 유리 도가니(1)는, 석영 유리 도가니 반송용 지그에 흡착시켜 반송하는 데에 적합하다.
도 5에 기초하여, 석영 유리 도가니 반송용 지그 및 석영 유리 도가니의 반송에 대해서 설명한다. 또한, 도 5는, 석영 유리 도가니의 반송 방법을 나타내는 도면이다.
이 도 5에 나타나는 석영 유리 도가니(1)는, 상기 설명한 제조 방법에 의해 얻어진 것으로서, 개구부(1a)를 형성하는 측벽(2)의 상단면(5)의 전체가, 상단면(5)에 접하는 평면으로부터 0.5㎜의 범위 이내에 형성되어 있다.
석영 유리 도가니 반송용 지그(20)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 덮개체(21)와, 흡인구(22)와, 맞닿음 부재(23)와, 피계합부(被係合部;24)를 구비하고 있다.
상기 덮개체(21)는, 석영 유리 도가니(1)의 측벽(2)이 형성하는 개구를 폐색하는 데에 충분한 크기의 판 형상 부재로서, 예를 들면, 알루미늄 합금, 스테인리스강(SUS), 철로 형성되어 있다.
또한 상기 맞닿음 부재(23)는, 덮개체(21)가 석영 유리 도가니(1)의 개구(상단면)를 틈새 없이 밀착하도록, 덮개체(21)의 하면에 부착되어 있다.
이 맞닿음 부재(23)는, 밀착성을 높이기 위해 탄성체, 예를 들면, 실리콘 고무, 테플론(등록상표) 수지, 니트릴 고무로 구성되어 있는 것이 바람직하다.
그러나, 맞닿음 부재에 사용하는 재질이 부드러운 소재인 경우, 밀착성은 향상한다. 그러나, 도가니의 중량에 따라서는, 덮개체와 맞닿음 부재의 접착면이 벗겨지고, 맞닿음 부재가 신장하여 파손할 가능성이 있다.
한편, 맞닿음 부재에 사용하는 재질이 단단한 경우에는, 덮개체와 맞닿음 부재의 접착면의 벗겨짐이나 도가니 매달아 올림 시의 맞닿음 부재의 변형은 방지할 수 있다. 그러나, 도가니와의 밀착성이 저하하여, 단면 틈새량이 매우 작은 경우 이외에는 매달아 올림이 곤란해진다.
그 때문에, 맞닿음 부재의 재질은 적절한 탄성을 갖는 것, 예를 들면, 실리콘 고무, 테플론(등록상표) 수지, 니트릴 고무의 어느 하나로 구성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 흡인구(22)는, 덮개체(21)에 의해 폐색된 석영 유리 도가니(1)의 내부 공간의 분위기를 외부로 배출하고, 내부 공간을 감압하기 위해 이용된다. 이 흡인구(22)는, 흡인 펌프(도시하지 않음)에 접속된다.
그리고, 흡인구(22)로부터, 덮개체(21)에 의해 폐색된 석영 유리 도가니(1)의 내부 공간 내의 분위기를 외부로 배출하고, 석영 유리 도가니(1)의 내부 공간을 감압하면, 석영 유리 도가니(1)는 덮개체(21)에 흡착된다.
그 결과, 덮개체(21)에 부착된 피계합부(24)에, 크레인 등의 반송 기계의 훅을 계합시킴으로써, 석영 유리 도가니(1)를 반송할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명의 실시 형태에 따른 석영 유리 도가니의 제조 방법에서는, 개구부를 형성하는 측벽(2)의 상단면(5)을 정반(4)에 접촉시켜, 정반(4)과 상단면(5)의 사이에 형성된 틈새(G)가 0.5㎜ 이하인 경우에 양품이라고 판정을 하는 검사 공정을 포함하고, 양품은 측벽(2)의 상단면(5)의 전체가, 상단면(5)에 접하는 평면으로부터 0.5㎜의 범위 이내이다.
따라서, 맞닿음 부재(23)와 측벽(2)의 상단면(5)의 사이의 밀접성이 매우 높아, 석영 유리 도가니 반송용 지그(20)에 의해 폐색된 석영 유리 도가니(1)의 내부 공간을 충분히 감압할 수 있고, 석영 유리 도가니의 매달아 올림을 용이하게 행할 수 있음과 함께, 석영 유리 도가니가 반송 도중에서 탈락하는 등의 사고를 방지할 수 있다.
[실시예]
개구를 형성하는 측벽(2)의 상단면(5)을 정반(4)에 접촉시켜, 정반(4)과 상단면(5)의 사이에 형성된 간극이 0.0㎜, 0.1㎜, 0.2㎜, 0.3㎜, 0.4㎜, 0.5㎜ 및 0.6㎜인 석영 유리 도가니를 각각 준비했다. 또한, 정반(4)으로서, 츠바키모토 코교 가부시키가이샤제의 정밀석 정반(품번: TT00-1010, 등급: 00급, 평면도: 3.5㎛)을 사용하였다. 이들 석영 유리 도가니의 치수는 각각, 외경 812㎜, 내경 783㎜, 높이 500㎜였다. 또한, 간극의 둘레 방향의 길이는, 13.5㎜ 이상으로 했다.
그리고, 매달아 올림 실험을 행했다. 또한, 매달아 올림 실험은, 중량 58㎏의 32인치 도가니를 사용하고, 도가니 내에는 폴리실리콘 원재료를 342㎏ 충전했다. 이 상태로, 석영 유리 도가니 반송용 지그(20)의 맞닿음 부재(23)와 석영 유리 도가니(1)의 측벽(2)의 상단면(5)을 밀착시켜, 도가니 내를 －70㎪의 감압 상태로 했다. 그 후, 석영 유리 도가니 반송용 지그(20)에 접속한 반송 기계에 의해, 도가니 저부가 10㎝ 부상한 상태까지 들어올리는 실험을 행했다. 이때의 맞닿음 부재(23)의 재질은, 니트릴 고무로 했다.
그 결과를 표 1에 나타낸다.
Figure pat00001
상기 실험으로부터 알 수 있는 바와 같이, 측벽(2)의 상단면(5)의 전체가, 상단면(5)에 접하는 평면으로부터 0.5㎜의 범위 이내인 석영 유리 도가니(1)는, 석영 유리 도가니 반송용 지그(20)를 이용하여 매달아 올림이 가능했다.
이상과 같이 본 발명의 실시 형태에 따른 석영 유리 도가니 및 석영 유리 도가니의 제조 방법에 의하면, 석영 유리 도가니 반송용 지그로 폐색된 석영 유리 도가니의 내부 공간을 충분히 감압할 수 있어, 석영 유리 도가니의 매달아 올림을 용이하게 행할 수 있음과 함께, 석영 유리 도가니가 반송 도중에서 탈락하는 등의 사고를 방지할 수 있다.
본 출원은, 2018년 3월 23일 출원의 일본특허출원 2018-055945에 기초하는 것으로서, 그 내용은 여기에 참조로서 넣어진다.
1 : 석영 유리 도가니
1a : 개구부
2 : 측벽
2a : 박육부
3 : 저부
4 : 정반
5 : 상단면
10 : 실리카분 성형체
10a : 합성 실리카 원료 분말층
10b : 천연 실리카 원료 분말층
11 : 도가니 성형용 몰드
12 : 내측 부재
12a : 관통 구멍
13 : 통기로
14 : 보유지지체
15 : 회전축
16 : 흡인부
17 : 카본 전극
18 : 감압 기구
20 : 석영 유리 도가니 반송용 지그
21 : 덮개체
22 : 흡인구
23 : 맞닿음 부재
24 : 피계합부

Claims (4)

  1. 실리콘 단결정의 제조에 있어서 이용되는, 저부 및 측벽을 구비한 바닥이 있는 원통 형상의 석영 유리 도가니로서,
    상기 측벽의 상단면을 정반에 접촉시켰을 때에 발생하는 정반과 상단면의 간극이, 상기 상단면의 전체 영역에 있어서, 0.5㎜의 범위 이내에 있는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 측벽의 상단면을 정반에 접촉시켰을 때에 발생하는 정반과 상단면의 간극이 0.01㎜ 이상 0.5㎜의 범위 이내에 있는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니.
  3. 도가니 성형용 몰드를 고속으로 회전시키면서, 합성 실리카 유리 및 천연 실리카 유리의 원료 분말의 각각을 원심력으로 적층 형성하고, 형성된 성형체를 가열 용융함으로써 석영 유리 도가니를 형성하는 공정과,
    상기 석영 유리 도가니를 형성한 후, 상기 측벽의 상단면을 절단하여, 소정의 높이로 하는 절단 공정과,
    상기 측벽의 상단면을 정반에 접촉시켜, 상기 정반과 상기 상단면의 사이에 형성된 간극이 0.5㎜ 이하인 경우에 양품이라고 판정을 하는 검사 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 제조 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 정반과 상기 상단면의 사이에 형성된 간극을, 틈새 게이지를 이용하여 측정하여, 양품과 불량품을 판정하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 제조 방법.
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