KR20190105464A - 압력 분포 센서 - Google Patents

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KR20190105464A
KR20190105464A KR1020180026045A KR20180026045A KR20190105464A KR 20190105464 A KR20190105464 A KR 20190105464A KR 1020180026045 A KR1020180026045 A KR 1020180026045A KR 20180026045 A KR20180026045 A KR 20180026045A KR 20190105464 A KR20190105464 A KR 20190105464A
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Abstract

일 실시 예에 따른 센싱 필름은, 10㎛ 이상 50㎛ 이하의 두께를 갖는 합성 섬유 소재로 형성되는 베이스 레이어; 상기 베이스 레이어 상에 인쇄되고 복수 개의 열을 구비하는 제 1 실버 패턴; 및 상기 제 1 실버 패턴 상에 인쇄되는 제 1 압 저항 소재를 포함할 수 있다.

Description

센싱 필름, 압력 분포 센서 및 센싱 필름 제조 방법{SENSING FILM, PRESSURE DISTRIBUTION SENSOR AND MANUFACTURING METHOD OF SENSING FILM}
본 발명은 센싱 필름, 압력 분포 센서 및 센싱 필름 제조 방법에 관한 것이다.
압력 분포 센서는 크게 필름 형태의 압력 분포 센서와, FPCB(Flexible Printed Circuit Board) 형태의 압력 분포 센서로 나뉜다. 필름 형태의 압력 분포 센서는 레이어 상에 실버 패턴 및 압 저항 소재를 두 번에 걸쳐 인쇄하는 방식으로 제작된다. FPCB 형태의 압력 분포 센서는 얇은 플레이트 상에 동박 배열을 코팅하는 방식으로 제작된다.
필름 형태의 압력 분포 센서는 상대적으로 작은 압력을 민감하게 감지할 수 있다. 필름 형태의 압력 분포 센서의 측정 정확도를 향상시키기 위한 다양한 연구가 진행 중이다.
일 실시 예의 목적은, 작은 압력을 정확하게 감지할 수 있는 고감도의 센싱 필름 및 압력 분포 센서를 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 센싱 필름은, 10㎛ 이상 50㎛ 이하의 두께를 갖는 합성 섬유 소재로 형성되는 베이스 레이어; 상기 베이스 레이어 상에 인쇄되고 복수 개의 열을 구비하는 제 1 실버 패턴; 및 상기 제 1 실버 패턴 상에 인쇄되는 제 1 압 저항 소재를 포함할 수 있다.
상기 베이스 레이어는 복수 개의 방향으로 휘어질 수 있도록 유연한 재질로 형성될 수 있다.
상기 베이스 레이어는 10gf/㎠ 내지 20gf/㎠의 압력에 대하여 휘어질 수 있는 유연한 재질로 형성될 수 있다.
상기 베이스 레이어는 폴리에틸렌 테레프타레이트로 형성될 수 있다.
일 실시 예에 따른 압력 분포 센서는, 센싱 필름; 및 상기 센싱 필름을 마주보도록 배치되는 센싱 플레이트를 포함하고, 상기 센싱 플레이트는, 상기 센싱 필름의 하부에 위치하고 상기 베이스 레이어보다 높은 강성을 갖는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에 배치되고 상기 제 1 실버 패턴과 교차되는 복수 개의 열을 구비하는 제 2 실버 패턴; 및 상기 제 2 실버 패턴 상에 배치되는 제 2 압 저항 소재를 포함할 수 있다.
상기 센싱 플레이트의 두께는 상기 센싱 레이어의 두께보다 두꺼울 수 있다.
일 실시 예에 따른 센싱 필름 제조 방법은, 베이스 레이어 상에 복수 개의 제 1 실버 패턴 및 복수 개의 압 저항 소재가 모두 인쇄된 상태에서, 상기 복수 개의 압 저항 소재 중 인접한 2개의 압 저항 소재 사이의 간격을 설정 간격이라고 할 때, 상기 베이스 레이어 상에 상기 설정 간격 보다 큰 제 1 간격으로 상기 복수 개의 실버 패턴을 인쇄하는 단계; 및 상기 복수 개의 실버 패턴 상에, 상기 설정 간격 보다 크고 상기 제 1 간격 보다 작은 제 2 간격으로 상기 복수 개의 압 저항 소재를 인쇄하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 센싱 필름은 50㎛이하의 얇은 두께를 가지므로 작은 압력을 고감도로 정확하게 감지할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 센싱 필름은 폴리에틸렌 테레프타레이트로 형성되므로 작은 압력을 고감도를 정확하게 감지할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 센싱 필름 상에 실버 패턴 및 압 저항 소재를 설정 패턴보다 큰 간격으로 차례로 인쇄하여, 인쇄 후의 실버 패턴 및 압 저항 소재의 어긋남을 방지할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 압력 분포 센서의 센싱 플레이트는 센싱 필름 보다 큰 강성을 가지므로, 지면에 높은 평탄도를 가진 상태로 안정적으로 지지될 수 있다.
도 1은 일 실시 예에 따른 압력 분포 센서의 분해 사시도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 압력 분포 센서의 측면도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 센싱 필름이 제 1 방향으로 휘어지는 모습을 도시한 평면도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 센싱 필름이 제 2 방향으로 휘어지는 모습을 도시한 평면도이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 센싱 필름 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 6은 일 실시 예에 따른 센싱 필름이 제조되는 모습을 시간 순서대로 개략적으로 나타내는 개념도이다.
도 7은 일 실시 예에 따른 압력 분포 센서와, 종래의 3가지 압력 분포 센서 각각에 500g 분동추를 올려놓은 상태에서, 각각의 압력 분포 센서가 감지하는 압력 분포를 나타내는 도면이다.
도 8은 일 실시 예에 따른 압력 분포 센서와, 종래의 3가지 압력 분포 센서 각각에 액상의 스프레이를 뿌려놓은 상태에서, 각각의 압력 분포 센서가 감지하는 압력 분포를 나타내는 도면이다.
이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방/해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 압력 분포 센서의 분해 사시도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 압력 분포 센서의 측면도이고, 도 3은 일 실시 예에 따른 센싱 필름이 제 1 방향으로 휘어지는 모습을 도시한 평면도이고, 도 4는 일 실시 예에 따른 센싱 필름이 제 2 방향으로 휘어지는 모습을 도시한 평면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 압력 분포 센서(1)는 평면 상에 가해지는 압력 분포를 감지할 수 있다. 예를 들어, 압력 분포 센서(1)는 압력 분포를 칼라 맵(color map), 3차원 이미지 또는 데이터 등으로 나타낼 수 있다. 압력 분포 센서(1)는 센싱 필름(10) 및 센싱 플레이트(20)를 포함할 수 있다.
센싱 필름(10)은 후술하는 센싱 플레이트(20)와의 상호 작용을 통해 대상체의 압력을 감지할 수 있다. 대상체는 압력 분포 센서(1) 상에 올려지는 물체일 수 있다. 대상체는 고체 또는 액체일 수 있다. 센싱 필름(10)은 센싱 플레이트(20) 상에 부착될 수 있다. 예를 들어, 센싱 필름(10) 및 센싱 플레이트(20) 사이에는 접착 부재(미도시)가 구비될 수 있다. 센싱 필름(10)은 베이스 레이어(11), 제 1 실버 패턴(12) 및 제 1 압 저항 소재(13)를 포함할 수 있다.
베이스 레이어(11)는 10㎛ 이상 50㎛ 이하의 두께를 갖는 합성 섬유 소재로 형성될 수 있다. 베이스 레이어(11)는 복수 개의 방향으로 휘어질 수 있다. 예를 들어, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 베이스 레이어(11)는 가로 방향 또는 세로 방향으로 휘어질 수 있다. 여기서 가로 방향이란 복수 개의 제 1 압 저항 소재(13)의 길이 방향과 나란한 방향을 의미하고, 세로 방향이란 복수 개의 제 1 압 저항 소재(13)의 길이 방향에 수직한 방향을 의미한다. 베이스 레이어(11)가 휘어지는 방향은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 베이스 레이어(11)는 대각선 방향으로도 휘어질 수 있다.
베이스 레이어(11)는 10gf/㎠ 내지 50gf/㎠의 압력에 대하여 휘어질 수 있는 유연한 재질로 형성될 수 있다. 스프레이에서 분사되는 작은 물방울이 압력 분포 센서에 가하는 압력은 대략 10gf/㎠ 내지 50gf/㎠ 사이의 압력일 수 있다. 베이스 레이어(11)는 작은 물방울의 압력을 감지할 수 있다.
예를 들어, 베이스 레이어(11)는 폴리에틸렌 테레프타레이트(PET, polyethylene　terephthalate)로 형성될 수 있다. 베이스 레이어(11)는 작은 압력에도 쉽게 휘어짐으로써, 압력 분포 센서(1)의 측정 정확도를 향상시킬 수 있다.
베이스 레이어(11)는 레이어 중앙부(111) 및 레이어 연장부(112)를 포함할 수 있다. 레이어 중앙부(111)는 측정 대상체가 올려지는 부분일 수 있다. 레이어 중앙부(111)는 사용 공간에 맞게 다양한 형상을 가질 수 있다. 도 1에 레이어 중앙부(111)가 사각형으로 도시되어 있으나, 이에 제한되지 않음을 밝혀둔다. 레이어 연장부(112)는 레이어 중앙부(111)로부터 일측으로 연장되는 부분일 수 있다. 레이어 연장부(112) 상에는 후술하는 제 1 실버 패턴(12)이 배치될 수 있다. 레이어 연장부(112)는 제 1 실버 패턴(12)을 외부 제어부(미도시)에 연결시킬 수 있다.
제 1 실버 패턴(12)은 베이스 레이어(11) 상에 인쇄되고, 복수 개의 열을 구비할 수 있다. 예를 들어, 제 1 실버 패턴(12)은 레이어 연장부(112)에 수직한 방향으로 이격 배치될 수 있다. 또는, 제 1 실버 패턴(12)은 레이어 연장부(112)에 나란한 방향으로 이격 배치될 수 있다. 제 1 실버 패턴(12) 간의 간격은 사용 목적에 따라 조절될 수 있다. 예를 들어, 중앙부의 압력을 상대적으로 민감하게 측정해야 하고, 테두리부의 압력을 상대적으로 덜 민감하게 측정해야 할 경우, 중앙부의 제 1 실버 패턴(12) 간의 간격은 상대적으로 좁을 수 있고, 테두리부의 제 1 실버 패턴(12) 간의 간격은 상대적으로 넓을 수 있다. 이와 반대로, 중앙부의 압력을 상대적으로 덜 민감하게 측정하고, 테두리부의 압력을 상대적으로 민감하게 측정해야 할 경우, 중앙부의 제 1 실버 패턴(12) 간의 간격은 상대적으로 넓을 수 있고, 테두리부의 제 1 실버 패턴(12) 간의 간격은 상대적으로 좁을 수 있다. 제 1 실버 패턴(12)은 베이스 레이어(11)가 휘어질 때 함께 휘어질 수 있다.
제 1 압 저항 소재(13)는 제 1 실버 패턴(12) 상에 인쇄될 수 있다. 제 1 압 저항 소재(13)는 제 1 실버 패턴(12) 중 레이어 중앙부(111)에 길이 방향으로 배치된 부분을 커버할 수 있다. 제 1 압 저항 소재(13)는 베이스 레이어(11)가 휘어질 때 함께 휘어질 수 있다.
센싱 플레이트(20)는 전술한 센싱 필름(10)과 상호 작용하여 압력을 감지할 수 있다. 센싱 플레이트(20)는 베이스 플레이트(21), 제 2 실버 패턴(22) 및 제 2 압 저항 소재(23)를 포함할 수 있다.
베이스 플레이트(21)는 센싱 필름(10)의 하부에 위치하고, 베이스 레이어(11)보다 높은 강성을 가진다. 예를 들어, 베이스 플레이트(21)는 외력에 의해 쉽게 휘어지지 않는 충분한 강성을 갖는 소재로 형성될 수 있다. 베이스 플레이트(21)는 지면에 안정적으로 배치될 수 있으므로, 압력 분포 센서(1)는 충분한 평탄도를 확보할 수 있다. 베이스 플레이트(21)는 플레이트 중앙부(211) 및 플레이트 연장부(212)를 포함할 수 있다.
플레이트 중앙부(211)는 측정 대상체가 올려지는 부분일 수 있다. 플레이트 중앙부(211)는 레이어 중앙부(111)에 대응하는 형상을 가질 수 있다. 플레이트 연장부(212)는 플레이트 중앙부(211)로부터 일측으로 연장되는 부분일 수 있다. 플레이트 연장부(212) 상에는 후술하는 제 2 실버 패턴(22)이 배치될 수 있다. 플레이트 연장부(212)는 제 2 실버 패턴(22)을 외부 제어부(미도시)에 연결시킬 수 있다. 플레이트 연장부(212)는 레이어 연장부(112)와 같은 방향으로 연장될 수 있다.
제 2 실버 패턴(22)은 베이스 플레이트(21) 상에 인쇄되고, 복수 개의 열을 구비할 수 있다. 예를 들어, 제 2 실버 패턴(22)은 플레이트 연장부(212)에 나란한 방향으로 이격 배치될 수 있다. 또는, 제 2 실버 패턴(22)은 플레이트 연장부(212)에 수직한 방향으로 이격 배치될 수 있다. 제 2 실버 패턴(22) 간의 간격은 사용 목적에 따라 조절될 수 있다. 제 2 실버 패턴(22)은 제 1 실버 패턴(12)과 교차될 수 있다.
제 2 압 저항 소재(23)는 제 2 실버 패턴(22) 상에 인쇄될 수 있다. 제 2 압 저항 소재(23)는 제 2 실버 패턴(22) 중 플레이트 중앙부(211)에 길이 방향으로 배치된 부분을 커버할 수 있다. 센싱 필름(10) 및 센싱 플레이트(20)가 부착될 때, 제 1 압 저항 소재(13) 및 제 2 압 저항 소재(23)는 서로 마주할 수 있다.
베이스 레이어(11)의 두께(t1)는 베이스 플레이트(21)의 두께(t2) 보다 얇을 수 있다. 압력 분포 센서(1)는 상대적으로 두껍고 강성한 베이스 플레이트(21)를 통해 평탄도를 확보하여 측정 정확도를 향상시킬 수 있고, 50㎛ 이하의 두께를 갖는 합성 섬유 소재로 형성되는 베이스 레이어(11)를 통해 작은 압력에도 잘 휘어지게 하여 측정 정확도를 향상시킬 수 있다.
도 5는 일 실시 예에 따른 센싱 필름 제조 방법을 나타내는 순서도이고, 도 6은 일 실시 예에 따른 센싱 필름이 제조되는 모습을 시간 순서대로 개략적으로 나타내는 개념도이다.
제 1 실버 패턴(12) 및 제 1 압 저항 소재(13)가 베이스 레이어(11) 상에 인쇄될 때 베이스 레이어(11)에는 열이 가해지게 된다. 베이스 레이어(11)가 50㎛ 이하의 두께를 갖는 합성 섬유 소재를 갖도록 형성됨에 따라, 열이 가해질 경우 베이스 레이어(11)가 수축될 수 있다. 베이스 레이어(11)가 인쇄 과정에서 수축하게 되면, 제 1 실버 패턴(12) 및 제 1 압 저항 소재(13)가 서로 어긋날 수 있다.
이러한 어긋남을 방지하기 위한 센싱 필름 제조 방법이 요구된다.
일 실시 예에 따른 센싱 필름 제조 방법은, 베이스 레이어(11) 상에 설정 간격 보다 큰 제 1 간격으로 복수 개의 실버 패턴(12)을 인쇄하는 단계와, 복수 개의 실버 패턴(12) 상에, 설정 간격 보다 크고 제 1 간격 보다 작은 제 2 간격으로 복수 개의 압 저항 소재(13)를 인쇄하는 단계를 포함할 수 있다. 여기서, 설정 간격이란, 베이스 레이어(11) 상에 복수 개의 제 1 실버 패턴(12) 및 복수 개의 압 저항 소재(13)가 모두 인쇄된 상태에서, 복수 개의 압 저항 소재(13) 중 인접한 2개의 압 저항 소재(13) 사이의 간격을 의미한다.
복수 개의 실버 패턴(12)을 인쇄하는 단계에서, 복수 개의 실버 패턴(12)은 베이스 레이어(11) 상에 제 1 간격(w1)으로 인쇄될 수 있다. 인쇄되는 동안, 베이스 레이어(11)는 열에 의해 점차 수축될 수 있다. 복수 개의 실버 패턴(12)은 베이스 레이어(11) 상에서 제 1 간격(w1) 보다 다소 작은 간격(w1')으로 배치될 수 있다.
복수 개의 압 저항 소재(13)를 인쇄하는 단계에서, 복수 개의 압 저항 소재(13)는 베이스 레이어(11) 상에 제 2 간격(w2)으로 인쇄될 수 있다. 인쇄되는 동안, 베이스 레이어(11)는 열에 의해 점차 수축될 수 있다. 복수 개의 압 저항 소재(13)는 베이스 레이어(11) 상에서 제 2 간격(w2) 보다 다소 작은 설정 간격으로 인쇄될 수 있다. 복수 개의 실버 패턴(12) 간의 간격도 설정 간격으로 맞춰지고, 복수 개의 압 저항 소재(13)는 복수 개의 실버 패턴(12) 상에 배치될 수 있다. 이러한 방식으로, 50㎛ 이하의 두께를 갖는 합성 섬유 소재를 갖는 베이스 레이어(11) 상에 복수 개의 실버 패턴(12) 및 압 저항 소재(13)를 어긋남 없이 인쇄할 수 있다.
도 7은 일 실시 예에 따른 압력 분포 센서와, 종래의 3가지 압력 분포 센서 각각에 500g 분동추를 올려놓은 상태에서, 각각의 압력 분포 센서가 감지하는 압력 분포를 나타내는 도면이다.
도 7(a)는 일 실시 예에 따른 압력 분포 센서이고, 도 7(b)는 Sensel의 압력 분포 센서이고, 도 7(c)는 Velostat의 압력 분포 센서이고, 도 7(d)는 우정물산의 압력 분포 센서이다.
일 실시 예에 따른 센싱 필름(10, 도 1 참조)의 얇은 두께로 인해, 일 실시 예에 따른 압력 분포 센서는 분동추의 압력 분포를 상대적으로 정밀하게 측정할 수 있음을 확인하였다. 예를 들어, 일 실시 예에 따른 압력 분포 센서는, 분동추의 테두리 부분과 중앙 부분의 압력 차이까지 감지할 수 있었다.
도 8은 일 실시 예에 따른 압력 분포 센서와, 종래의 3가지 압력 분포 센서 각각에 액상의 스프레이를 뿌려놓은 상태에서, 각각의 압력 분포 센서가 감지하는 압력 분포를 나타내는 도면이다.
도 8(a)는 일 실시 예에 따른 압력 분포 센서이고, 도 8(b)는 Sensel의 압력 분포 센서이고, 도 8(c)는 Velostat의 압력 분포 센서이고, 도 8(d)는 우정물산의 압력 분포 센서이다.
일 실시 예에 따른 센싱 필름(10, 도 1 참조)의 얇은 두께로 인해, 일 실시 예에 따른 압력 분포 센서는 스프레이에서 분사되는 물방울과 같이 작은 압력도 고감도로 감지할 수 있음을 확인하였다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다. 그러므로, 다른 구현들, 다른 실시 예들 및 청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.

Claims (7)

10㎛ 이상 50㎛ 이하의 두께를 갖는 합성 섬유 소재로 형성되는 베이스 레이어;
상기 베이스 레이어 상에 인쇄되고 복수 개의 열을 구비하는 제 1 실버 패턴; 및
상기 제 1 실버 패턴 상에 인쇄되는 제 1 압 저항 소재를 포함하는 센싱 필름.
제 1 항에 있어서,
상기 베이스 레이어는 복수 개의 방향으로 휘어질 수 있도록 유연한 재질로 형성되는 센싱 필름.
제 1 항에 있어서,
상기 베이스 레이어는 10gf/㎠ 내지 50gf/㎠의 압력에 대하여 휘어질 수 있는 유연한 재질로 형성되는 센싱 필름.
제 1 항에 있어서,
상기 베이스 레이어는 폴리에틸렌 테레프타레이트로 형성되는 센싱 필름.
제 1 항에 기재된 센싱 필름; 및
상기 센싱 필름을 마주보도록 배치되는 센싱 플레이트를 포함하고,
상기 센싱 플레이트는,
상기 센싱 필름의 하부에 위치하고 상기 베이스 레이어보다 높은 강성을 갖는 베이스 플레이트;
상기 베이스 플레이트 상에 배치되고 상기 제 1 실버 패턴과 교차되는 복수 개의 열을 구비하는 제 2 실버 패턴; 및
상기 제 2 실버 패턴 상에 배치되는 제 2 압 저항 소재를 포함하는 압력 분포 센서.
제 5 항에 있어서,
상기 베이스 플레이트의 두께는 상기 베이스 레이어의 두께보다 두꺼운 압력 분포 센서.
베이스 레이어 상에 복수 개의 제 1 실버 패턴 및 복수 개의 압 저항 소재가 모두 인쇄된 상태에서, 상기 복수 개의 압 저항 소재 중 인접한 2개의 압 저항 소재 사이의 간격을 설정 간격이라고 할 때,
상기 베이스 레이어 상에 상기 설정 간격 보다 큰 제 1 간격으로 상기 복수 개의 실버 패턴을 인쇄하는 단계; 및
상기 복수 개의 실버 패턴 상에, 상기 설정 간격 보다 크고 상기 제 1 간격 보다 작은 제 2 간격으로 상기 복수 개의 압 저항 소재를 인쇄하는 단계를 포함하는 센싱 필름 제조 방법.
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KR20090060877A (ko) * 2007-12-10 2009-06-15 한국표준과학연구원 고온용 촉각센서 및 그 제조 방법
KR20160015970A (ko) * 2014-08-01 2016-02-15 삼성전기주식회사 터치센서 모듈
KR20170143474A (ko) * 2017-12-01 2017-12-29 전남대학교산학협력단 웨어러블 직접묘화 입력장치

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