KR20190098113A - Plasma Electrolytic Polishing Method with Luster and Dimensional Stability - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a plasma electrolytic polishing method with luster and dimensional stability. Specifically, according to an embodiment of the present invention, the plasma electrolytic polishing method with luster and dimensional stability includes: a step of preparing a subject; a step of installing an anode and cathode in an electrolyte and connecting the subject to the anode; a step of generating first plasma by applying voltage to the anode and cathode; a step of electrolytic-polishing the subject with the first plasma; a step of generating second plasma by applying a lower voltage than the voltage applied in the step of generating the first plasma; and a step of electrolytic-polishing the subject with the second plasma. The step of electrolytic-polishing the first plasma is performed in an area with a high voltage of 380 V or more. The step of electrolytic-polishing the second plasma is performed in an area with a low voltage of 370 V or less.

Description

광택 및 치수 안정성이 가능한 플라즈마 전해연마 방법{Plasma Electrolytic Polishing Method with Luster and Dimensional Stability}Plasma Electrolytic Polishing Method with Luster and Dimensional Stability}

본 발명은 광택 및 치수 안정성이 가능한 플라즈마 전해 연마 방법으로서, 더욱 상세하게는, 얻고자 하는 표면광택과 동시에 제품의 치수를 유지하는 방법으로 플라즈마 전해 연마 방법을 2단으로 구성한 기술을 제공하는 것에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma electropolishing method capable of gloss and dimensional stability, and more particularly, to providing a technique in which a plasma electrolytic polishing method is constructed in two stages by a method of maintaining a product dimension at the same time as desired surface gloss. will be.

대부분의 금속 제품들은 열처리를 포함하여 기계가공, 용접 및 성형 공정을 통해 최종 제품 형상으로 제작된다. 형상이 완성된 후 목적에 따라 금속표면은 도색, 도금 등 여러 표면처리 방법을 통해 원하는 표면특성으로 개질된다. 이 중 연마는 금속제품의 외관, 또는 도금 등 추가적인 표면처리를 적용시키기 위해 종종 적용된다. 일반적으로 가장 널리 사용되는 연마방법은 전해연마로 전기화학적 방법을 통해 표면 광택과 함께 표면을 평활면으로 만드는 방법이다.Most metal products are manufactured into final product shapes through machining, welding and forming processes, including heat treatment. After the shape is completed, the metal surface is modified to desired surface properties through various surface treatment methods such as painting and plating according to the purpose. Polishing is often applied to apply additional surface treatments such as the appearance of metal products, or plating. In general, the most widely used polishing method is electropolishing, which makes the surface smooth with surface gloss by electrochemical method.

전해연마(Electro polishing)는 도금의 역과정으로, 최근 반도체 사업 등 청정도를 요구하는 요구하는 산업의 발달로 재료의 정밀도와 청정도가 동시에 요구되며 이를 달성하기 위하여 기존의 공구와 공작물이 접촉하는 방식의 가공법에서 탈피한 새로운 비접촉 연마 방식인 전해연마가 필요하게 되었다. 기존의 기계적 가공방법으로는 공작물 표면에 미소한 가공 흔적 등이 남아있어 근복적으로 청정한 표면을 얻을 수가 없었다.Electropolishing is the reverse process of plating, and the recent development of industries that require cleanliness, such as semiconductor business, requires the precision and cleanliness of materials at the same time. There is a need for electropolishing, a new non-contact polishing method away from processing. Existing mechanical machining methods have left traces of micro-processing on the workpiece surface, resulting in a near clean surface.

일반적으로 전해연마는 전해액에 용해되는 금속 제품을 양극(anode)으로 사용하고, 전해액에 불용성인 금속을 음극(Cathode)으로 사용하여, 상기 양극과 음극 사이에 전압을 인가함으로써, 금속 제품의 표면을 녹임으로써(산화) 금속 제품의 표면을 연마하는 방법이다. 전해연마를 이용하여 금속 제품을 연마하기 위해서는, 전해조에 전해액을 채우고, 연마하고자 하는 제품을 양극으로 설치하고, 전해액에 용해하지 않는 음극을 설치한 다음, 상기 양극과 음극 사이에 직류 또는 펄스파형의 전원을 인가한다. 전해연마에 있어서, 금속 제품이 전해액에 쉽게 용해되지 않는 조건에서도 전류를 인가하면, 금속제품이 강제적으로 조금씩 용해된다. 전해연마가 진행되면, 볼록한 부분이 오목한 부분보다 전류가 집중되기 때문에 보다 빨리 용해가 일어나게 되어 결국에는 제품 표면을 전체적으로 평활하게 하는 것이다. In general, electropolishing is performed by applying a voltage between the anode and the cathode by using a metal product dissolved in an electrolyte as an anode and using an insoluble metal as a cathode. It is a method of polishing the surface of a metal product by melting (oxidizing) it. In order to polish a metal product using electrolytic polishing, an electrolytic solution is filled in an electrolytic cell, a product to be polished is installed as an anode, a cathode which is not dissolved in the electrolyte is installed, and a DC or pulse wave is formed between the anode and the cathode. Apply power. In electropolishing, when a current is applied even under conditions in which the metal product is not easily dissolved in the electrolyte, the metal product is forcibly dissolved little by little. As the electropolishing progresses, the convex portion concentrates the current more than the concave portion, so that dissolution occurs more quickly, and eventually the surface of the product is smoothed overall.

이상과 같이, 금속 표면의 미소부위를 선택적으로 용해함으로써 목적에 따라 금속 제품 표면의 평탄화(연마)는 물론 광택, 외관개선, 반사력 및 내부식성 개선, 표면 응력완화 및 스케일제거 등의 효과를 가져올 수 있다.As described above, by selectively dissolving the micro-parts of the metal surface, the surface of the metal product can be smoothed (polishing) as well as the effect of gloss, appearance improvement, reflection and corrosion resistance, surface stress relaxation and scale removal according to the purpose. Can be.

하지만, 전해연마 방법은 목적된 표면 평활도를 구현하기 위해서는 연마되는 소재에도 많은 손실을 유발한다. 이 경우, 표면상태는 원하는 수준으로 얻을 수 있으나 연마 중 재료 손실로 인해 가공된 제품의 치수와 형상 등에서 변화를 발생시켜 불량을 일으킬 수 있다.However, the electropolishing method also causes a lot of losses in the material to be polished to achieve the desired surface smoothness. In this case, the surface state can be obtained at a desired level, but a change may occur in the dimensions and shape of the processed product due to material loss during polishing, which may cause a defect.

다른 문제점은 전해연마는 원활한 연마를 위해 사용되는 연마액(전해액)으로 독성이 있는 화학약품을 사용하는 것이다. 예를 들어, 전해연마에 가장 많이 사용되는 약품은 인산(H3PO4)으로 작업시 독성으로 인한 안정성뿐 아니라 점성이 있는 성질로 인해 많은 수세 작업이 필요하고 이로 인해 폐수 발생량 또한 증가하게 된다.Another problem is that electropolishing uses toxic chemicals as the polishing liquid (electrolyte) used for smooth polishing. For example, the most commonly used chemicals for electropolishing are phosphoric acid (H 3 PO 4 ), which requires a lot of washing operations due to its viscous nature as well as its stability due to toxicity.

따라서, 이러한 문제점들을 해결하고 소재 손실로 인한 치수 안정성 유지와 동시에 표면광택을 유지하는 연마 방법으로 플라즈마 전해연마 기술이 검토되고 있다. 플라즈마 전해연마가 기존 전해연마와의 가장 큰 차이점은 인가되는 전압값 범위로 전해연마의 경우는 일반적으로 50V 이내의 전압이 인가되지만, 플라즈마 전해연마의 경우, 최소 250V 이상의 고전압이 인가되어 전해질 내에서 플라즈마를 발생시킨다.Accordingly, plasma electropolishing technology has been studied as a polishing method for solving these problems and maintaining surface gloss while maintaining dimensional stability due to material loss. The biggest difference between the plasma electropolishing and the conventional electropolishing is the range of applied voltage values. In the case of electropolishing, a voltage within 50V is generally applied. However, in the case of plasma electropolishing, a high voltage of at least 250V is applied to the electrolytic polishing. Generate a plasma.

일본 공개특허 JP 2016-037622 AJapanese Laid-Open Patent JP 2016-037622 A

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 종래에 전해연마로 금속 제품의 표면을 개질 할 때에 소재손실의 문제점을 해결하기 위해 2단 플라즈마 전해연마 방법을 사용하여 소재손실 없이 치수 안정성을 유지하는 효과를 제공하는 것이다.The technical problem to be achieved by the present invention is to provide the effect of maintaining the dimensional stability without material loss by using a two-stage plasma electropolishing method to solve the problem of material loss when modifying the surface of the metal product by electropolishing in the prior art will be.

보다 구체적으로는 금속의 전해연마시 플라즈마 전해연마방법을 사용하고 전압 범위를 달리하여 2단으로 구성한다.More specifically, the plasma electropolishing method is used in electrolytic polishing of metals and is composed of two stages with different voltage ranges.

본 발명의 2단 플라즈마 전해연마로 치수안정성을 확보하고 동시에 표면의 조도를 감소 및 표면의 광택 효과를 얻을 수 있다. The two-stage plasma electropolishing of the present invention ensures dimensional stability and at the same time reduces the surface roughness and obtains the surface gloss effect.

또한, 기존의 전해연마 할 경우에 독성이 있는 연마액을 사용하여 환경오염의 문제점을 화학적 독성이 포함되지 않은 연마액을 사용하여 해결하고자 한다. In addition, to solve the problem of environmental pollution by using a polishing liquid toxic in the case of conventional electropolishing using a polishing liquid that does not contain chemical toxicity.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problem to be achieved by the present invention is not limited to the technical problem mentioned above, and other technical problems not mentioned above may be clearly understood by those skilled in the art from the following description. There will be.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 플라즈마 전해연마 방법을 제공한다. 이러한 플라즈마 전해연마 방법은 피대상체를 준비하는 단계, 전해액 내에 양극(anode) 및 음극(cathode) 를 설치하고 양극(anode)에 피대상체를 연결하는 단계, 상기 양극(anode) 및 상기 음극(cathode) 에 전압을 걸어 제1플라즈마를 발생시키는 단계, 상기 피대상체를 상기 제1 플라즈마로 전해연마 처리 하는 단계, 상기 제1 플라즈마 발생시키는 단계에서 걸어준 전압보다 낮은 전압을 걸어 제2 플라즈마를 발생시키는 단계 및 상기 피대상체를 상기 제2 플라즈마로 전해연마 처리 하는 단계를 포함하고, 상기 제1 플라즈마 전해연마 처리하는 단계는380V 이상의 고전압 영역에서 수행되고, 상기 제2 플라즈마 전해연마 처리하는 단계는 370V 이하의 저전압 영역에서 수행되는 것을 특징으로 할 수 있다.In order to achieve the above technical problem, an embodiment of the present invention provides a plasma electrolytic polishing method. The plasma electropolishing method includes the steps of preparing an object, installing an anode and a cathode in an electrolyte, and connecting the object to an anode, the anode and the cathode. Generating a first plasma by applying a voltage to the substrate, subjecting the object to the first plasma by electropolishing, and generating a second plasma by applying a voltage lower than that applied in the generating of the first plasma. And electrolytic polishing the object with the second plasma, wherein the first plasma electropolishing treatment is performed in a high voltage region of 380V or more, and the second plasma electropolishing treatment is 370V or less. It may be characterized in that performed in the low voltage region.

또한, 상기 피대상체는 스테인리스, Ni합금, Cu합금 또는 Co-Cr합금을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the object is characterized in that it comprises a stainless steel, Ni alloy, Cu alloy or Co-Cr alloy.

또한, 상기 전해액은 황산암모늄, 수산화칼륨 또는 수산화나트륨을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the electrolyte solution is characterized in that it comprises ammonium sulfate, potassium hydroxide or sodium hydroxide.

또한, 상기 전해액의 pH는 4 내지 8인 것을 특징으로 한다.In addition, the pH of the electrolyte is characterized in that 4 to 8.

상기 전해액의 황산암모늄, 수산화칼륨 또는 수산화나트륨의 몰 농도는 0.01 M 내지 1 M인 것을 특징으로 한다.The molar concentration of ammonium sulfate, potassium hydroxide or sodium hydroxide in the electrolyte solution is characterized in that 0.01 M to 1 M.

또한, 상기 전해액의 온도는 20℃ 내지 90℃인 것을 특징으로 한다.In addition, the temperature of the electrolyte is characterized in that 20 ℃ to 90 ℃.

또한, 상기 제1 플라즈마 전해연마의 고전압 영역은 380V 내지 500V 인 것을 특징으로 한다.In addition, the high voltage region of the first plasma electropolishing is characterized in that the 380V to 500V.

또한, 상기 제1 플라즈마를 발생시키는 단계는 20초 내지 10분으로 수행하는 것을 특징으로 한다.In addition, the step of generating the first plasma is characterized in that performed for 20 seconds to 10 minutes.

또한, 상기 제2 플라즈마 전해연마의 저전압 영역은 260V 내지 370V 인 것을 특징으로 한다.In addition, the low voltage region of the second plasma electropolishing is characterized in that the 260V to 370V.

또한, 상기 제2 플라즈마를 발생시키는 단계는 20초 내지 5분으로 수행하는 것을 특징으로 한다.In addition, the step of generating the second plasma is characterized in that performed for 20 seconds to 5 minutes.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 다른 실시예는 상기 상술한 플라즈마 전해연마 방법으로 전해연마 하여 제조된 금속 소재를 제공한다.In order to achieve the above technical problem, another embodiment of the present invention provides a metal material prepared by electropolishing by the above-described plasma electropolishing method.

본 발명의 실시예에 따르면, 독성 및 점성이 없는 전해액을 사용하여 독성으로부터의 안정성 및 점성으로 인한 수세작업의 폐수발생 문제점을 해결하고 환경오염을 개선하는 효과를 얻을 수 있다.According to the embodiment of the present invention, it is possible to obtain the effect of solving the problem of wastewater generation and the environmental pollution of the washing operation due to the stability and viscosity from toxicity by using an electrolyte solution without toxicity and viscosity.

또한, 2단으로 구성한 플라즈마 전해연마를 통해 금속소재의 광택과 치수 안정성을 동시에 갖는 효과를 얻을 수 있다.In addition, it is possible to obtain the effect of having the gloss and dimensional stability of the metal material at the same time through the plasma electropolishing composed of two stages.

또한, 플라즈마 전해연마를 통해 금속소재의 표면은 밀착성이 높은 효과를 얻을 수 있다.In addition, the surface of the metal material through the plasma electropolishing can obtain an effect of high adhesion.

또한, 플라즈마 전해연마를 통해 금속소재 표면의 내식성, 내열성 및 내마모성을 제공하는 효과를 얻을 수 있다.In addition, plasma electropolishing can provide an effect of providing corrosion resistance, heat resistance, and wear resistance of the surface of the metal material.

또한, 플라즈마 전해연마를 통해 금속소재 표면의 박테리아 성장을 유도하는 수소를 제거하여 표면 손실을 줄이는 효과를 얻을 수 있다.In addition, plasma electropolishing removes hydrogen which induces bacterial growth on the surface of the metal material, thereby reducing the surface loss.

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The effects of the present invention are not limited to the above-described effects, but should be understood to include all the effects deduced from the configuration of the invention described in the detailed description or claims of the present invention.

도 1은 플라즈마 전해연마 방법의 순서도 이다.
도 2는 전해연마와 플라즈마 전해연마시 원소재 손실 정도를 나타낸 그림이다.
도 3은 전해연마와 플라즈마 전해연마에서의 인가되는 전압 값 범위를 나타낸 그래프이다.
도 4는 저전압 영역에서 플라즈마 전해연마시 발생한 치수 변형을 나타낸 사진이다.
도 5는 고전압 여역에서 플라즈마 전해연마시 얻은 표면 광택 정도를 나타낸 사진이다.
도 6은 2단 플라즈마 전해연마법 적용시 얻은 제품 품질을 나타낸 사진이다.
1 is a flowchart of a plasma electropolishing method.
2 is a diagram showing the degree of loss of raw materials during electrolytic polishing and plasma electropolishing.
3 is a graph showing a range of voltage values applied in electropolishing and plasma electropolishing.
4 is a photograph showing dimensional deformation generated during plasma electropolishing in a low voltage region.
5 is a photograph showing the degree of surface gloss obtained during plasma electropolishing in a high voltage region.
6 is a photograph showing the product quality obtained when the two-stage plasma electropolishing method is applied.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. In the drawings, parts irrelevant to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and like reference numerals designate like parts throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is said to be "connected (connected, contacted, coupled)" with another part, it is not only "directly connected" but also "indirectly connected" with another member in between. "Includes the case. In addition, when a part is said to "include" a certain component, this means that it may further include other components, without excluding the other components unless otherwise stated.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. As used herein, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, components, or a combination thereof.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 전해연마 방법을 나타낸 순서도이다.1 is a flow chart showing a plasma electropolishing method according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 플라즈마 전해 연마 방법은 피대상체를 준비하는 단계(S100), 전해액 내에 양극(anode) 및 음극(cathode)를 설치하고 양극(anode)에 피대상체를 연결하는 단계(S200), 상기 양극(anode) 및 상기 음극(cathode)에 전압을 걸어 제1 플라즈마를 발생시키는 단계(S300), 상기 피대상체를 상기 제1 플라즈마로 전해연마 처리 하는 단계(S400), 상기 제1 플라즈마 발생시키는 단계에서 걸어준 전압보다 낮은 전압을 걸어 제2 플라즈마를 발생시키는 단계(S500) 및 상기 피대상체를 상기 제2 플라즈마로 전해연마 처리 하는 단계(S600)를 포함하고, 상기 제1 플라즈마 전해연마 처리하는 단계는 380V이상의 고전압 영역에서 수행되고, 상기 제2 플라즈마 전해연마 처리하는 단계는 370V이하의 저전압 영역에서 수행되는 것을 특징으로 할 수 있다.Referring to FIG. 1, in the plasma electrolytic polishing method according to an embodiment of the present invention, preparing an object (S100), an anode and a cathode are installed in the electrolyte, and the object is placed on the anode. Connecting (S200), applying a voltage to the anode and the cathode to generate a first plasma (S300), and subjecting the object to the first plasma by electrolytic polishing (S400). And generating a second plasma by applying a voltage lower than that applied in the first plasma generating step (S500) and subjecting the object to the second plasma by electropolishing (S600). The first plasma electropolishing may be performed in a high voltage region of 380V or more, and the second plasma electropolishing process may be performed in a low voltage region of 370V or less.

먼저, 피대상체를 준비한다(S100).First, prepare a target object (S100).

예를 들어, 피대상체는 스테인리스, Ni합금, Cu합금 또는 Co-Cr합금을 포함할 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니다.For example, the object may include stainless steel, Ni alloy, Cu alloy or Co—Cr alloy. However, the present invention is not limited thereto.

또한, 상기 피대상체는 전해액에 쉽게 용해되지 않고 전류를 인가하면, 피대상체는 강제적으로 조금씩 용해되는 것일 수 있다.In addition, when the subject is not easily dissolved in the electrolyte and a current is applied, the subject may be forcibly dissolved little by little.

그 다음에, 전해액 내에 양극(anode) 및 음극(cathode)를 설치하고 양극(anode)에 피대상체를 연결한다(S200).Next, an anode and a cathode are installed in the electrolyte and the object is connected to the anode (S200).

상기 전해액은 황산암모늄, 수산화칼륨 또는 수산화나트륨을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.The electrolyte may be characterized by containing ammonium sulfate, potassium hydroxide or sodium hydroxide.

또한, 상기 전해액의 pH는 4 내지 8인 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the pH of the electrolyte may be characterized in that 4 to 8.

상기 전해액은 종래 전해연마에서 사용되는 전해질에 비해 물에 전해질의 전도도 및 발생된 플라즈마의 안정성을 위해 소량의 염만 첨가하면 되어 친환경적인 성분의 전해액을 구성할 수 있다. The electrolyte solution may be configured to add an environmentally friendly electrolyte solution only by adding a small amount of salt to the conductivity of the electrolyte and stability of the generated plasma compared to the electrolyte used in the conventional electrolytic polishing.

또한, 종래에 독성 및 점성이 있는 전해액을 사용하며, 전해연마를 통해 제조한 물품에 묻어나는 액의 손실이 많고, 크롬산, 황산 및 인산과 같은 공해물질이 다량으로 폐수처리장으로 유입되면서 폐수처리원가가 상당히 높은 단점 및 환경오염 문제점을 해결하는 효과를 제공할 수 있다.In addition, it uses a toxic and viscous electrolyte in the prior art, there is a lot of loss of the liquid buried in the product produced by electropolishing, wastewater treatment costs as a large amount of pollutants such as chromic acid, sulfuric acid and phosphoric acid flow into the wastewater treatment plant Can provide the effect of solving the high disadvantage and environmental pollution problem.

또한, 산도 범위 또한 중성범위의 전해액을 사용함으로 산성이나 염기성을 사용했을 때 발생하는 후처리 과정을 단축할 수 있다.In addition, since the acidity range and the neutral range electrolyte are used, the post-treatment process generated when acidic or basic is used can be shortened.

또한, 상기 전해액의 몰 농도는 0.01M 내지 1M인 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the molar concentration of the electrolyte may be characterized in that 0.01M to 1M.

상기 전해액의 몰농도가 0.01M미만 인 것은 전도도 역할을 하는 전해액의 역할을 상실 하여 임계 전압을 높여서 방전이 일어날 수 있고, 1M 초과 인 것은 피대상체의 표면에 크고 깊은 기공들이 형성되 기공의 체적도 증가하여 내식성이 악화함을 보일 수 있다.If the molar concentration of the electrolyte is less than 0.01M can lose the role of the electrolyte to play the role of conductance to increase the threshold voltage, the discharge can occur, the greater than 1M is large and deep pores are formed on the surface of the object to increase the volume of pores Corrosion resistance may deteriorate.

또한, 상기 전해액의 온도는 20℃ 내지 90℃인 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the temperature of the electrolyte may be characterized in that 20 ℃ to 90 ℃.

상기 전해액의 온도가 20℃ 미만일 경우 반응속도가 저하하여 전해연마 반응을 억제할 수 있고, 90℃ 초과일 경우 물이 끓기 시작하여 플라즈마 발생을 불안정하게 한다. 따라서, 전해액의 온도는 20℃ 내지 90℃로 유지하는 것이 적절할 수 있다.When the temperature of the electrolyte is less than 20 ℃ reaction rate is lowered to suppress the electropolishing reaction, when the temperature exceeds 90 ℃ water starts to boil unstable plasma generation. Therefore, it may be appropriate to maintain the temperature of the electrolyte at 20 ° C to 90 ° C.

또한, 상기 양극(anode)에 피대상체 연결 하고, 전해액에 불용성인 금속을 음극(cathode)에 연결한다.In addition, the object is connected to the anode, and a metal insoluble in the electrolyte is connected to the cathode.

상기 피대상체는 양극에 연결되어서 피대상체 표면에서 전기분해를 일으켜 표면을 연마될 수 있다.The object may be connected to an anode to cause electrolysis at the surface of the object, thereby polishing the surface.

그 다음에, 상기 양극(anode) 및 상기 음극(cathode)에 전압을 걸어 제1플라즈마를 발생시킨다(S300).Next, a voltage is applied to the anode and the cathode to generate a first plasma (S300).

상기 제1 플라즈마를 발생시키면, 볼록한 부분이 오목한 부분보다 전류가 집중되기 때문에 보다 빨리 용해가 일어나게 되어 상기 피대상체 표면이 전체적으로 평활하게 되어, 원하는 조도를 얻을 수 있고 치수안정성을 높일 수 있다.When the first plasma is generated, since the convex portion concentrates the current more than the concave portion, dissolution occurs more quickly, and the surface of the object is smoothed as a whole, so that the desired roughness can be obtained and the dimensional stability can be improved.

상기 제1 플라즈마 전해연마의 고전압 영역은 380V 내지 500V 인 것을 특징으로 할 수 있다.The high voltage region of the first plasma electropolishing may be 380V to 500V.

상기 제1 플라즈마 전해연마의 고전압 영역 380V 내지 500V에서는 플라즈마가 균질하게 형성될 것이고, 이에 따라 이러한 형성된 플라즈마에 의해 표면거칠기를 낮추기 때문에 치수안정성을 유지하면서 조도를 감소시킬 수 있다.In the high voltage region 380V to 500V of the first plasma electropolishing, the plasma will be homogeneously formed, and thus the roughness can be reduced while maintaining the dimensional stability because the surface roughness is reduced by the formed plasma.

그 다음에, 상기 피대상체를 상기 제1 플라즈마로 전해연마 처리 한다(S400).Next, the subject is subjected to electropolishing with the first plasma (S400).

상기 제1 플라즈마를 발생시키는 단계는 20초 내지 10분으로 수행하는 것을 특징으로 할 수 있다.Generating the first plasma may be performed in 20 seconds to 10 minutes.

상기 제1 플라즈마를 발생하는 시간이 20초 미만일 경우 피대상체의 표면의 거칠기를 충분히 낮출 수 없고, 10분을 초과할 경우 피대상체의 치수 변화가 심할 뿐 아니라 연마가 과하게 되어 표면 거칠기가 다시 증가하게 된다.If the time for generating the first plasma is less than 20 seconds, the roughness of the surface of the object cannot be sufficiently lowered, and if it exceeds 10 minutes, not only the dimensional change of the object is severe, but also the polishing is excessive, thereby increasing the surface roughness again. do.

그 다음에, 상기 제1 플라즈마 발생시키는 단계에서 걸어준 전압보다 낮은 전압을 걸어 제2 플라즈마를 발생시킨다(S500).Next, a second plasma is generated by applying a voltage lower than the voltage applied in the first plasma generation step (S500).

상기 제2 플라즈마 전해연마의 저전압 영역은 260V 내지 370V 인 것을 특징으로 할 수 있다.The low voltage region of the second plasma electropolishing may be 260V to 370V.

제1 플라즈마에 의한 전해연마처리에 의해 치수안정성을 유지하면서 조도를 낮출 수 있으나, 광택효과가 떨어지는 문제가 있다.The roughness can be lowered while maintaining the dimensional stability by the electropolishing treatment by the first plasma, but there is a problem that the gloss effect is inferior.

한편, 260V 내지 370V의 저전압 영역으로 발생된 제2 플라즈마의 경우 제1 플라즈마보다 상대적으로 적게 발생되기 때문에 조도를 감소시키는 효과보다는 상기 피대상체의 표면을 전해액에 의해 녹여 광택을 발휘하는 효과가 상대적으로 더 크다.On the other hand, the second plasma generated in the low voltage region of 260V to 370V is relatively less generated than the first plasma, so that the surface of the object is melted by the electrolyte and exhibits glossiness rather than reducing the roughness. Bigger

따라서, 제1 플라즈마 처리에 의해 치수안정성을 유지하면서 조도를 낮춘 후에 후술하는 제2 플라즈마 처리를 할 경우 광택효과까지 동시에 얻을 수 있는 장점이 있다.Therefore, when the second plasma treatment described later after lowering the illuminance while maintaining the dimensional stability by the first plasma treatment, there is an advantage that the gloss effect can be simultaneously obtained.

또한, 기존의 전해연마 기술은 50V이내로 전압이 인가되지만 플라즈마 전해연마의 경우 플라즈마 형성에 필요한 최소 전압이 250V이므로 250V미만의 전압에서는 플라즈마 전해연마가 일어나지 않을 수 있다.In addition, in the conventional electropolishing technique, a voltage is applied within 50V, but in the case of plasma electropolishing, since the minimum voltage required for plasma formation is 250V, plasma electropolishing may not occur at a voltage of less than 250V.

그 다음에, 상기 피대상체를 상기 제2 플라즈마로 전해연마 처리 한다(S600).Next, the subject is subjected to electropolishing with the second plasma (S600).

상기 제2 플라즈마를 발생시키는 단계는 20초 내지 5분으로 수행하는 것을 특징으로 할 수 있다.Generating the second plasma may be performed in 20 seconds to 5 minutes.

상기 제2 플라즈마를 발생하는 시간이 20초 미만일 경우 피대상체의 표면의 거칠기를 충분히 낮출 수 없고, 5분을 초과할 경우 피대상체의 치수 변화가 심할 뿐 아니라 연마가 과하게 되어 표면 거칠기가 다시 증가하게 된다. If the time for generating the second plasma is less than 20 seconds, the surface roughness of the object cannot be sufficiently lowered. If the second plasma is longer than 5 minutes, the surface roughness is increased again due to excessive dimensional change and excessive polishing. do.

상기 제2 플라즈마는 260V 내지 370V의 저전압 영역으로 발생되어 상기 제1 플라즈마보다 상대적으로 적게 발생되기 때문에 조도를 감소시키는 효과보다는 상기 피대상체의 표면을 전해액에 의해 녹여 광택을 발휘하는 효과가 상대적으로 더 크다.Since the second plasma is generated in the low voltage region of 260V to 370V and is generated relatively less than the first plasma, the second plasma melts the surface of the target object by the electrolyte solution and exerts the gloss more than the effect of reducing the roughness. Big.

따라서, 본 발명의 제1 플라즈마 전해연마 단계(S400) 및 제2 플라즈마 전해연마 단계(S600)를 포함한 본 발명의 2단 플라즈마 전해연마 방법을 사용하면 제1 플라즈마 전해연마 단계에서 소재손실 없이 치수의 안정성을 유지 및 조도를 감소시키고, 제2 플라즈마 전해연마 단계를 통해 피대상체에 광택을 얻어 표면의 조도감소, 치수안정성 유지 및 표명의 광택효과를 동시에 얻을 수 있다.Therefore, using the two-stage plasma electropolishing method of the present invention including the first plasma electropolishing step (S400) and the second plasma electropolishing step (S600) of the present invention, it is possible to measure dimensions without material loss in the first plasma electropolishing step. It is possible to maintain stability and reduce roughness and to obtain gloss on the subject through the second plasma electropolishing step, thereby simultaneously reducing surface roughness, maintaining dimensional stability, and expressing gloss.

또한, 제1 플라즈마 전해연마 단계(S400)의 20초 내지 10분 및 제2 플라즈마 전해연마 단계(S600)의 20초 내지 5분 반응시간 범위를 통해 본 발명의 2단 플라즈마 전해연마를 수행하는 단계는 피막의 형상, 피막 두께가 플라즈마 전해연마를 수행하는 시간에 비례하는 것 및 밀착성 등을 통하여 표면 거칠기, 표면경도, 내마모성, 내식성 등 모든 면의 영향을 미치는 것을 알 수 있다.In addition, performing the second stage electrolytic polishing of the present invention through the reaction time range of 20 seconds to 10 minutes of the first plasma electrolytic polishing step (S400) and 20 seconds to 5 minutes of the second plasma electrolytic polishing step (S600). It can be seen that the shape of the film, the film thickness is proportional to the time to perform the electrolytic polishing, and the adhesion and the like affects all aspects such as surface roughness, surface hardness, wear resistance, corrosion resistance.

또한, 본 발명의 2단 플라즈마 전해연마를 통해 피 대상체 표면의 수소를 제거하여 박테리아로 인한 표면 손실을 줄일 수 있다.In addition, the surface loss due to bacteria can be reduced by removing hydrogen on the surface of the object through the two-stage plasma electropolishing of the present invention.

따라서, 2단 플라즈마 전해연마의 효과로 치수안정성 유지, 조도감소 효과, 광택, 밀착성, 내식성, 내열성, 내마모성 및 금속표면 박테리아 성장을 유도하는 수소를 제거하여 박테리아로 인한 표면 손실을 줄이는 등의 효과를 얻을 수 있다.Therefore, the effect of two-stage plasma electropolishing reduces dimensional stability, roughness reduction effect, gloss, adhesion, corrosion resistance, heat resistance, abrasion resistance, and metal surface by removing hydrogen that induces bacterial growth, thereby reducing surface loss caused by bacteria. You can get it.

제조예Production Example

1) 전해조에 40℃온도 전해액 0.1M의 황산암모늄(NH4)2SO4을 채웠다.1) The electrolytic cell was filled with ammonium sulfate (NH 4 ) 2 SO 4 of 0.1 M of 40 ° C temperature electrolyte.

2) 전해액 내에 anode및 cathode를 설치하고 anode에 스테인리스를 연결했다.2) An anode and a cathode were installed in the electrolyte and stainless steel was connected to the anode.

3) 380V 내지 500V 전압을 가하여 제1 플라즈마 전해연마를 했다.3) The first plasma electropolishing was performed by applying a voltage of 380V to 500V.

4) 260V 내지 370V 전압을 가하여 제2 플라즈마 전해연마를 했다.4) A second plasma electropolishing was performed by applying a voltage of 260V to 370V.

5) 전해연마로 표면에 광택이 돌고 치수안정성을 유지한 스테인리스를 얻었다.5) Electrolytic polishing yielded stainless steel with gloss on the surface and dimensional stability.

도 2는 전해연마와 플라즈마 전해연마시 원소재 손실 정도를 나타낸 그림이다.2 is a diagram showing the degree of loss of raw materials during electrolytic polishing and plasma electropolishing.

도 2를 참조하면, 기존의 전해연마는 표면의 평활도를 구현하기 위해서 소재의 손실이 큰 반면 플라즈마 전해연마를 통해 소재의 손실을 줄이고 표면 조도 또한 줄이는 효과를 가져오는 것을 확인 할 수 있다.Referring to FIG. 2, it can be seen that the conventional electropolishing has a large material loss in order to realize the smoothness of the surface while reducing the loss of the material and the surface roughness through plasma electropolishing.

도 3은 전해연마와 플라즈마 전해연마에서의 인가되는 전압 값 범위를 나타낸 그래프이다.3 is a graph showing a range of voltage values applied in electropolishing and plasma electropolishing.

도 3을 참조하면, 기존의 전해연마는 일반적으로 50V 이내로 전압이 인가되지만, 플라즈마 전해연마의 경우 최소 250V 이상의 전압을 인가하여 작동할 경우 전해질 내에서 플라즈마가 발생되는 것을 알 수 있다.Referring to FIG. 3, a voltage is generally applied within 50V of the conventional electropolishing, but it can be seen that plasma is generated in the electrolyte when operating by applying a voltage of at least 250V in the case of plasma electropolishing.

도 4는 저전압 영역에서 플라즈마 전해연마시 발생한 치수 변형을 나타낸 사진이다.4 is a photograph showing dimensional deformation generated during plasma electropolishing in a low voltage region.

도 4를 참조하면, 본 발명의 저전압 영역인 260V 내지 370V 영역에서 플라즈마 전해연마 할 경우에 조도가 줄어드는 연마 효과보다는 금속 표면에 광택을 나게하는 효과가 크다. 또한, 소재 손실로 치수 안정성을 유지하기 어려운 영역임을 알 수 있다.Referring to FIG. 4, when plasma electropolishing is performed in the low voltage region of 260V to 370V, the effect of glossing on the metal surface is greater than the polishing effect of decreasing roughness. In addition, it can be seen that the material loss is difficult to maintain the dimensional stability.

도 5는 고전압 영역에서 플라즈마 전해연마시 얻은 표면 광택 정도를 나타낸 사진이다.5 is a photograph showing the degree of surface gloss obtained during plasma electropolishing in a high voltage region.

도 5를 참조하면, 본 발명의 고전압 영역인 280V 내지 500V영역에서 플라즈마 전해연마 할 경우에 조도감소와 치수안정성 측면에서 원하는 조도를 얻고 치수안정성 또한 높지만 도 5 와 같이 광택효과가 떨어지는 영역임을 알 수 있다.Referring to FIG. 5, in the case of plasma electropolishing in the high voltage region of 280V to 500V of the present invention, the desired roughness is obtained in terms of roughness reduction and dimensional stability, and the dimensional stability is also high but the gloss effect is poor as shown in FIG. have.

도 6은 2단 플라즈마 전해연마법 적용시 얻은 제품 품질을 나타낸 사진이다.6 is a photograph showing the product quality obtained when the two-stage plasma electropolishing method is applied.

도 6을 참조하면, 본 발명의 제1플라즈마 전해연마를 하는 단계에서 원하는 조도를 얻고, 제2플라즈마 전해연마를 하는 단계에서 표면 광택을 얻어 본 발명의 2단 플라즈마 전해연마를 통해 얻고자 하는 표면상태(조도, 광택)와 제조된 제품의 치수가 동시에 구현된 금속소재를 얻을 수 있는 것을 확인 할 수 있다.Referring to FIG. 6, the surface to be obtained by obtaining the desired roughness in the first plasma electropolishing step of the present invention and the surface gloss in the second plasma electropolishing step is obtained through the two-stage plasma electropolishing of the present invention. It can be seen that the metal material embodied at the same time (roughness, gloss) and the dimensions of the manufactured product can be obtained.

따라서, 도 4 및 도 5와 도 6을 비교하면 도 6에서 도 4의 표면 광택 효과 및 도 5의 높은 치수안정성 효과의 각 다른 효과를 동시에 얻은 것을 확인 할 수 있다.Therefore, when comparing FIG. 4 and FIG. 5 with FIG. 6, it can be confirmed that different effects of the surface gloss effect of FIG. 4 and the high dimensional stability effect of FIG. 5 are simultaneously obtained.

본 발명의 실시예에 따르면, 독성 및 점성이 없는 전해액을 사용하여 독성으로부터의 안정성 및 점성으로 인한 수세작업의 폐수발생 문제점을 해결하고 환경오염을 개선하는 효과를 얻을 수 있다.According to the embodiment of the present invention, it is possible to obtain the effect of solving the problem of wastewater generation and the environmental pollution of the washing operation due to the stability and viscosity from toxicity by using an electrolyte solution without toxicity and viscosity.

또한, 2단으로 구성한 플라즈마 전해연마를 통해 금속소재의 광택과 치수 안정성을 동시에 갖는 효과를 얻을 수 있다.In addition, it is possible to obtain the effect of having the gloss and dimensional stability of the metal material at the same time through the plasma electropolishing composed of two stages.

또한, 플라즈마 전해연마를 통해 금속소재의 표면은 밀착성이 높은 효과를 얻을 수 있다.In addition, the surface of the metal material through the plasma electropolishing can obtain an effect of high adhesion.

또한, 플라즈마 전해연마를 통해 금속소재 표면의 내식성, 내열성 및 내마모성을 제공하는 효과를 얻을 수 있다.In addition, plasma electropolishing can provide an effect of providing corrosion resistance, heat resistance, and wear resistance of the surface of the metal material.

또한, 플라즈마 전해연마를 통해 금속소재 표면의 박테리아 성장을 유도하는 수소를 제거하여 표면 손실을 줄이는 효과를 얻을 수 있다.In addition, plasma electropolishing removes hydrogen which induces bacterial growth on the surface of the metal material, thereby reducing the surface loss.

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The effects of the present invention are not limited to the above-described effects, but should be understood to include all the effects deduced from the configuration of the invention described in the detailed description or claims of the present invention.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The foregoing description of the present invention is intended for illustration, and it will be understood by those skilled in the art that the present invention may be easily modified in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as distributed may be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is represented by the following claims, and it should be construed that all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are included in the scope of the present invention.

Claims (11)

피대상체를 준비하는 단계;
전해액 내에 양극(anode) 및 음극(cathode)를 설치하고 양극(anode)에 피대상체를 연결하는 단계;
상기 양극(anode) 및 상기 음극(cathode) 에 전압을 걸어 제1플라즈마를 발생시키는 단계;
상기 피대상체를 상기 제1 플라즈마로 전해연마 처리 하는 단계;
상기 제1 플라즈마 발생시키는 단계에서 걸어준 전압보다 낮은 전압을 걸어 제2 플라즈마를 발생시키는 단계; 및
상기 피대상체를 상기 제2 플라즈마로 전해연마 처리 하는 단계를 포함하고,
상기 제1 플라즈마 전해연마 처리하는 단계는 380V이상의 고전압 영역에서 수행되고, 상기 제2 플라즈마 전해연마 처리하는 단계는 370V이하의 저전압 영역에서 수행되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해연마 방법.
Preparing a subject;
Installing an anode and a cathode in the electrolyte and connecting the object to the anode;
Applying a voltage to the anode and the cathode to generate a first plasma;
Electropolishing the object with the first plasma;
Generating a second plasma by applying a voltage lower than that applied in the first plasma generating step; And
Electrolytically polishing the object with the second plasma,
The first plasma electrolytic polishing step is performed in a high voltage region of 380V or more, and the second plasma electrolytic polishing process is performed in a low voltage region of 370V or less.
제1항에 있어서,
상기 피대상체는 스테인리스, Ni합금, Cu합금 또는 Co-Cr합금을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해연마 방법.
The method of claim 1,
The object is plasma electropolishing method characterized in that the stainless steel, Ni alloy, Cu alloy or Co-Cr alloy.
제1항에 있어서,
상기 전해액은 황산암모늄, 수산화칼륨 또는 수산화나트륨을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해연마 방법.
The method of claim 1,
The electrolytic solution is plasma electrolytic polishing method comprising ammonium sulfate, potassium hydroxide or sodium hydroxide.
제1항에 있어서,
상기 전해액의 pH는 4 내지 8인 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해연마 방법.
The method of claim 1,
PH of the electrolytic solution is a plasma electrolytic polishing method, characterized in that 4 to 8.
제3항에 있어서,
상기 전해액의 황산암모늄, 수산화칼륨 또는 수산화나트륨의 몰 농도는 0.01 M 내지 1 M인 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해연마 방법.
The method of claim 3,
The molar concentration of ammonium sulfate, potassium hydroxide or sodium hydroxide in the electrolyte solution is 0.01 M to 1 M plasma electrolytic polishing method.
제1항에 있어서,
상기 전해액의 온도는 20℃ 내지 90℃인 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해연마 방법.
The method of claim 1,
Plasma electrolytic polishing method, characterized in that the temperature of the electrolyte solution is 20 ℃ to 90 ℃.
제1항에 있어서,
상기 제1 플라즈마 전해연마의 고전압 영역은 380V 내지 500V 인 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해연마 방법.
The method of claim 1,
The high voltage region of the first plasma electropolishing polishing is 380V to 500V.
제1항에 있어서,
상기 제1 플라즈마를 발생시키는 단계는 20초 내지 10분으로 수행하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해연마 방법.
The method of claim 1,
The step of generating the first plasma electrolytic polishing method, characterized in that performed for 20 seconds to 10 minutes.
제1항에 있어서,
상기 제2 플라즈마 전해연마의 저전압 영역은 260V 내지 370V 인 것을 특징으로 하는 플라즈마 전해연마 방법.
The method of claim 1,
The low-voltage region of the second plasma electropolishing polishing method is characterized in that the 260V to 370V.
제1항에 있어서,
상기 제2 플라즈마를 발생시키는 단계는 20초 내지 5분으로 수행하는 것을 특징으로 하는 전해연마 방법.
The method of claim 1,
Generating the second plasma is electrolytic polishing method, characterized in that performed for 20 seconds to 5 minutes.
제1항의 전해연마 방법으로 전해연마 하여 제조된 금속 소재.A metal material produced by electropolishing by the electropolishing method of claim 1.
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