KR20190088314A - 잉곳 도가니의 열처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 열팽창에 따른 가변구조의 장치로 구비되어 열처리 과정 중에 장치나 도가니 자체의 손상을 방지할 수 있고, 안정적인 전원공급 구조에 의해 도가니를 대량으로 열처리하거나 대용량의 도가니를 용이하게 열처리할 수 있는 잉곳 도가니의 열처리장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 도가니 본체(10)를 수용하는 진공챔버(32)가 형성된 가열로(31)와; 상기 가열로(31)의 외부 일측에 위치되는 전원공급부(37)와, 상기 전원공급부(37)에 연결되어 일정 길이로 연장되는 케이블부(38)와, 상기 케이블부(38)에 연결되어 상기 진공챔버(32) 내에 대향되도록 위치되는 제1 및 제2 전극부(39,40)와, 상기 제1 전극부(39)와 제2 전극부(40) 사이에 발열 가능하도록 개재되어 상기 도가니 본체(10)를 가열하도록 된 히터부(41)로 구성된 가열수단(34)과; 상기 가열로(31)에 연결되어 상기 진공챔버(32) 내로 가스를 주입하도록 된 가스공급수단(35)과; 상기 가열로(31)의 외부 타측에 위치되어 가열 전후에 상기 도가니 본체(10)를 세팅 또는 배출할 수 있도록 상기 제1 전극부(39)를 전체적으로 이동시키는 전극이동수단(42)과: 상기 전극이동수단(42) 측에 구비되어 가열 도중에 상기 도가니 본체(10)의 열팽창에 의해 상기 제1 전극부(39)의 위치를 미세하게 변경시키도록 된 전극가동부(43)를 포함하는 잉곳 도가니의 열처리장치가 제공된다.

Description

잉곳 도가니의 열처리장치{Heat treatment apparatus of an ingot crucible}
본 발명은 잉곳 도가니의 열처리장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 열처리 과정 중에 장치나 도가니 자체의 손상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 도가니를 대량으로 열처리하거나 대용량의 도가니를 용이하게 열처리할 수 있도록 된 잉곳 도가니의 열처리장치에 관한 것이다.
일반적으로 잉곳은 철이나 실리콘과 같은 물질을 용융상태로 가열하여 주형에 의해 봉이나 괴형태로 제작한 것이고, 이러한 잉곳을 제작하기 위해 도가니에 원석을 담아 일정 온도 이상으로 가열하여 철이나 실리콘 등의 용융물을 제조하는 과정을 거치게 된다.
이러한 용융물을 제조하기 위해 재료를 담아 가열하기 위한 도가니(이하 "잉곳 도가니"라 칭함)는 카본이나 석영 등의 재료로 본체를 제작하고, 추가적으로 가스증착 등의 열처리 방법으로 카본코팅을 행하여 1200도 이상의 고온에서도 견딜 수 있도록 제작되는 것이 통상적이다.
한편, 가스증착을 위한 열처리장치는 도가니 본체를 수용하도록 된 일정 용적의 진공챔버가 구비되고, 상기 진공챔버 내에 가스를 주입하도록 된 가스공급수단와 진공챔버 및 도가니 본체를 가열하도록 된 히팅수단을 포함하여 구성된 것으로, 히팅수단에 의해 가열된 가스 중의 카본성분이 도가니 본체의 표면에 증착되어 내열성의 카본코팅을 형성하는 것이다.
이러한 종래의 열처리장치에 있어서, 상기 히팅수단은 통상적으로 전류를 인가하는 전극과 이 전극에 연결되어 도가니 본체에 장착되는 히터로 구성될 수 있는데, 종래의 히팅수단은 상기 전극이 일정 위치에 고정 설치됨으로 인해 가열과정에서 열팽창에 의해 도가니 본체 자체의 부피가 가변되는 것에 용이하게 대처하지 못하는 단점이 있을 뿐만 아니라 그로 인해 장치나 도가니 본체 자체가 파손되는 문제점이 발생될 수 있는 것이다.
또한 종래에는 진공챔버 내에 다수의 도가니 본체를 수용하여 일시에 가열하거나 대용량의 도가니 본체를 가열하는 데에 한계가 있는 것으로, 이는 진공챔버의 용적이나 도가니 본체 자체의 수용량 또는 크기 등에 따라 대용량의 전원을 안정적으로 공급할 수 있는 전원공급 구조를 갖추지 못한 점에서 장치의 생산성이나 안정성 등에서 아쉬움이 있는 것이다.
한국 등록특허공보 제10-1547917호(2015. 08. 21)
본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 열팽창에 따른 가변구조의 장치로 구비되어 열처리 과정 중에 장치나 도가니 자체의 손상을 방지할 수 있고, 안정적인 전원공급 구조에 의해 도가니를 대량으로 열처리하거나 대용량의 도가니를 용이하게 열처리할 수 있는 잉곳 도가니의 열처리장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 특징에 따르면, 도가니 본체(10)를 수용하는 진공챔버(32)가 형성된 가열로(31)와;
상기 가열로(31)의 외부 일측에 위치되는 전원공급부(37)와, 상기 전원공급부(37)에 연결되어 일정 길이로 연장되는 케이블부(38)와, 상기 케이블부(38)에 연결되어 상기 진공챔버(32) 내에 대향되도록 위치되는 제1 및 제2 전극부(39,40)와, 상기 제1 전극부(39)와 제2 전극부(40) 사이에 발열 가능하도록 개재되어 상기 도가니 본체(10)를 가열하도록 된 히터부(41)로 구성된 가열수단(34)과;
상기 가열로(31)에 연결되어 상기 진공챔버(32) 내로 가스를 주입하도록 된 가스공급수단(35)과;
상기 가열로(31)의 외부 타측에 위치되어 가열 전후에 상기 도가니 본체(10)를 세팅 또는 배출할 수 있도록 상기 제1 전극부(39)를 전체적으로 이동시키는 전극이동수단(42)과:
상기 전극이동수단(42) 측에 구비되어 가열 도중에 상기 도가니 본체(10)의 열팽창에 의해 상기 제1 전극부(39)의 위치를 미세하게 변경시키도록 된 전극가동부(43)를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 도가니의 열처리장치가 제공된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 케이블부(38)는 상기 전원공급부(37)로부터 상기 제1 및 제2 전극부(39,40)로 연장되는 막대형태의 부스바(46)와, 상기 부스바(46) 측에 일단이 착탈 가능하게 결합됨과 동시에 타단이 상기 제1 전극부(39)에 결합되어 상기 전극이동수단(42)에 의해 일체로 이동 가능한 플렉시블케이블(47)로 구성된 것을 특징으로 하는 잉곳 도가니의 열처리장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 가열로(31)와 제1 전극부(39) 및 플렉시블케이블(47)은 냉각재킷(48)이나 쿨링통로(49)가 형성된 것을 특징으로 하는 잉곳 도가니의 열처리장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 가열로(31) 상에는 상기 진공챔버(32) 내로 연장되어 상기 도가니 본체(10)에 접촉 또는 근접되는 프로브(52)를 포함한 온도센서(51)와, 상기 온도센서(51)의 프로브(52) 위치를 미세하게 조정하는 센서가동부(53)가 구비된 것을 특징으로 하는 잉곳 도가니의 열처리장치가 제공된다.
이상에서와 같이 본 발명에 의하면, 도가니 본체(10)를 가열하도록 된 제1 전극부(39)와 제2 전극부(40) 중에서 제1 전극부(39)를 전체적으로 이동시키도록 된 전극이동수단(42)이 구비되고, 상기 전극이동수단(42) 측에 상기 제1 전극부(39)를 미세하게 위치 변경하도록 된 전극가동부(43)가 구비됨에 따라, 가열로(31)의 진공챔버(32) 내에 도가니 본체(10)를 세팅하는 데에 편리할 뿐만 아니라 가열 도중에 상기 도가니 본체(10)가 열팽창될 때에 그 팽창정도에 맞추어 상기 제1 전극부(39)가 미세하기 위치 변경되어 장치나 도가니 본체(10) 자체의 파손 등을 방지할 수 있는 장점이 있다.
또한 본 발명은 전원을 공급하기 위한 케이블부(38)의 구성이 막대형태의 부스바(46)와 상기 전극이동수단(42)에 의해 일체로 이동 가능한 플렉시블케이블(47)로 구성됨에 따라, 고전류의 전원을 공급하더라도 전기적인 안정성을 유지하여 대용량의 가열로(31)를 사용하는 데에 적합할 뿐만 아니라 전술된 바와 같은 전극이동수단(42)의 작동 등에 간섭됨이 없이 안정적인 장치의 작동이 가능한 장점이 있다.
또한 본 발명은 가열로(31)와 제1 전극부(39) 및 플렉시블케이블(47) 상에 냉각재킷(48) 또는 쿨링통로(49)가 형성됨에 따라, 고전류에 의한 고온발생에 의해서도 장치의 안전성을 확보할 수 있고, 상기 가열로(31) 상에는 도가니 본체(10)에 접촉 또는 근접되는 프로브(52)를 포함한 온도센서(51)와 상기 프로브(52)의 위치를 미세하게 조정하는 센서가동부(53)가 구비되어 전술된 바와 같은 도가니 본체(10)의 열팽창에 따른 온도센서(51)의 위치 조정과 그에 따른 장치 및 도가니 본체(10)의 손상을 방지할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예를 도시한 구성도
도 2는 도 1의 A부분에 따른 단면도
도 3은 도 1의 B부분에 따른 단면도
상술한 본 발명의 목적, 특징들 및 장점은 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이다. 이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시한 것이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 열처리장치(30)는 도가니 본체(10)를 수용하는 진공챔버(32)가 형성된 가열로(31)가 구비되고, 이 가열로(31)에는 일측에 상기 진공챔버(32)를 형성하기 위한 진공펌프(33)가 연결되며, 타측에 상기 진공챔버(32) 내에 수용된 도가니 본체(10)를 가열하기 위한 가열수단(34)이 연결되게 된다.
또한 상기 가열로(31)에는 상기 가열수단(34)에 의한 가열과정 중에 프로판 가스 등을 진공챔버(32) 내에 주입하는 가스공급수단(35)과 진공챔버(32) 내의 잔류 또는 과잉가스를 배출 처리하는 가스처리수단(36)이 연결되는데, 상기 가스공급수단(35)에 의해 가스를 공급하는 것은 상기 가열수단(34)에 의해 도가니 본체(10)를 가열과정에서 가스가 도가니 본체(10)의 표면에 증착되는 카본코팅(11)이 이루어짐에 따라 도가니 본체(10)의 내열성을 개선하기 위한 것이고, 상기 가스처리수단(36)은 가스증착 과정에서 잔류 또는 과잉된 가스를 배출 처리하기 위한 것이다.
구체적으로, 상기 가열수단(34)은 상기 가열로(31)의 외부 일측에 위치되는 전원공급부(37)와, 상기 전원공급부(37)에 연결되어 상기 가열로(31)의 상부와 하부로 연장되는 케이블부(38)와, 상기 케이블부(38)의 양단부에 구비된 제1 및 제2 전극부(39,40) 그리고 상기 제1 및 제2 전극부(39,40) 사이에 개재되는 히터부(41)로 구성되는데, 상기 제1 전극부(39)와 제2 전극부(40)는 상기 진공챔버(32) 내에 상하로 간격을 두고 위치되고, 그 제1 및 제2 전극부(39,40) 사이에 도가니 본체(10)를 위치시키게 되며, 상기 도가니 본체(10)에는 시트형태 등으로 된 히터부(41)를 설치하여 상기 제1 및 제2 전극부(39,40)를 상호 연결하게 된다.
한편, 상기 가열로(31)의 상부에는 상기 제1 전극부(39)를 전체적으로 이동시킬 수 있는 전극이동수단(42)이 구비되어 상기 도가니 본체(10)의 세팅이나 배출이 용이하도록 구비되는데, 이를 포함한 세부적인 구성 및 작동상태를 도 2와 도 3에 의해 설명하면 다음과 같다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 전극이동수단(42)은 일정 스트로크로 승강되는 실린더로 구비되고, 그 실린더의 로드 하단에 상기 제1 전극부(39)가 결합되는 것으로, 상기 진공챔버(32) 내에 도가니 본체(10)를 세팅하거나 배출할 때에 상기 제1 전극부(39)를 정위치로부터 이탈 또는 복귀시키게 된다.
또한 상기 전극이동수단(42)에는 상기 제1 전극부(39)의 위치를 미세하게 변경하도록 된 전극가동부(43)가 구비되는데, 상기 전극가동부(43)는 상기 제1 전극부(39)에 결합되는 승강블록(44)과 이 승강블록(44)을 가이드하도록 상기 전극이동수단(42)에 구비된 가이더(45) 등으로 구성될 수 있는 것이다.
이러한 전극가동부(43)는 상기 전극이동수단(42)이 정위치된 상태에서 상기 가열수단(34)에 의해 진공챔버(32) 및 도가니 본체(10)를 가열하는 도중에 상기 도가니 본체(10)가 열팽창됨에 따라 상기 제1 전극부(39)가 밀려 올라가도록 하여 장치나 도가니 본체(10) 자체의 파손 등을 방지하게 된다.
여기에서, 상기 가열수단(34)의 케이블부(38)는 상기 전원공급부(37)로부터 상기 제1 및 제2 전극부(39,40)로 연장되는 막대형태의 부스바(46)와, 상기 부스바(46)의 일측에 결합되는 플렉시블케이블(47)로 구성된 것으로, 이러한 케이블부(38)는 대부분의 구성이 상기 부스바(46)로 이루어지고, 그 일부분에 상기 플렉시블케이블(47)이 연결된 것이다.
이러한 케이블부(38)에 있어서, 상기 부스바(46)는 상기 전원공급부(37)의 구성을 저전압 고전류의 대용량으로 하는 경우에도 전기적인 안정성을 줄 수 있는 것이고, 상기 플렉시블케이블(47)은 상기 전극이동수단(42)의 승강작동을 원활하도록 구비된 것인데, 예를 들면, 상기 전원공급부(37)의 파워를 25V 30,000A의 저전압 대전류로 공급하는 데에 전기적인 안정성을 보장된다면 상기 가열로(31)를 대용량으로 제작하는 것이 가능할 뿐만 아니라 이로 인해 다수의 도가니 본체(10)나 용량이 큰 도가니 본체(10)를 가열할 수 있는 대형의 진공챔버(32)를 구현할 수 있게 된다.
이와 같은 대용량의 전원공급부(37)에 의하면, 대략 1200도 정도의 가열이 가능한 것이기는 하나, 이로 인해 상기 가열로(31) 자체나 케이블부(38), 제1 및 제2 전극부(39,40) 측이 고온으로 발열되는데, 이러한 발열에 따른 장치를 보호하기 위해 냉각재킷(48)이나 쿨링통로(49)를 형성하여 수랭 또는 공랭방식의 냉각작동이 가능하게 된다.
또한 상기 플렉시블케이블(47)은 그 일단이 통전볼트(50) 등에 의해 착탈 가능하게 체결되고, 타단이 상기 제1 전극부(39)에 결합된 것으로, 이러한 플렉시블케이블(47)은 상기 전극이동수단(42)의 승강작동시에 통전볼트(50)를 분리하여 간섭됨을 방지함과 동시에 가열과정 중에 도가니 본체(10)의 열팽창에 따른 상기 전극가동부(43) 및 제1 전극부(39)의 밀림작동에 간섭됨을 방지할 수 있도록 된 것이다.
한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 가열로(31)에는 도가니 본체(10)의 온도를 감지하도록 된 온도센서(51)가 구비되고, 이 온도센서(51)를 미세하게 조정하기 위한 센서가동부(53)가 구비되는데, 상기 온도센서(51)는 진공챔버(32) 내로 연장되어 도가니 본체(10)의 측벽에 접촉 또는 근접되는 프로브(52)를 포함하여 구성되고, 상기 센서가동부(53)는 서보모터(54)와 이에 결합된 볼스크류(55) 등의 구성으로 이루어진 것이다.
이러한 온도센서(51)와 센서가동부(53)는 상기 도가니 본체(10)의 가열과정에서 좌우방향의 열팽창에 대응하여 센서의 위치를 미세하게 조정하기 위한 것으로, 이는 전술된 전극가동부(53)에 의해 제1 전극부(39)를 이동 가능하게 구비하여 도가니 본체(10)의 상하방향에 대한 열팽창에 대비한 것에 유사한 것이다.
이상에서 설명되지 않은 구성 중에서 상기 가스처리수단(36)은 상기 가열로(31) 상에 연결되는 배출덕트(56)와 그에 연결되는 로터리펌프(57) 및 필터(58,59) 그리고 밸브(60~63) 등을 나타낸 것으로, 이러한 가스처리수단(36)은 전술된 같이 가열로 내에 잔류 또는 과잉된 가스를 배출시켜 필터링 및 버닝 처리하도록 된 통상적인 구성이다.
또한 이상에서 설명되지 않은 부호는 상기 제1 및 제2 전극부(39,40)의 구성이 동전극(64)과 카본전극(65)으로 이루어진 것으로 나타낸 것이고, 다른 부호는 상기 플렉시블케이블(47)의 피복(66)과 동와이어(67)를 나타낸 것이다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.
10: 도가니 본체 11: 카본코팅
30: 열처리장치 31: 가열로
32: 진공챔버 33: 진공펌프
34: 가열수단 35: 가스공급수단
36: 가스처리수단 37: 전원공급부
38: 케이블부 39: 제1 전극부
40: 제2 전극부 41: 히터부
42: 전극이동수단 43: 전극가동부
44: 승강블록 45: 가이더
46: 부스바 47: 플렉시블케이블
48: 냉각재킷 49: 쿨링통로
50: 통전볼트 51: 온도센서
52: 프로브 53: 센서가동부
54: 서보모터 55: 볼스크류
56: 배출덕트 57: 로터리펌프
58,59: 필터 60~63: 밸브
64: 동전극 65: 카본전극
66: 피복 67: 동와이어

Claims (4)

  1. 도가니 본체(10)를 수용하는 진공챔버(32)가 형성된 가열로(31)와;
    상기 가열로(31)의 외부 일측에 위치되는 전원공급부(37)와, 상기 전원공급부(37)에 연결되어 일정 길이로 연장되는 케이블부(38)와, 상기 케이블부(38)에 연결되어 상기 진공챔버(32) 내에 대향되도록 위치되는 제1 및 제2 전극부(39,40)와, 상기 제1 전극부(39)와 제2 전극부(40) 사이에 발열 가능하도록 개재되어 상기 도가니 본체(10)를 가열하도록 된 히터부(41)로 구성된 가열수단(34)과;
    상기 가열로(31)에 연결되어 상기 진공챔버(32) 내로 가스를 주입하도록 된 가스공급수단(35)과;
    상기 가열로(31)의 외부 타측에 위치되어 가열 전후에 상기 도가니 본체(10)를 세팅 또는 배출할 수 있도록 상기 제1 전극부(39)를 전체적으로 이동시키는 전극이동수단(42)과:
    상기 전극이동수단(42) 측에 구비되어 가열 도중에 상기 도가니 본체(10)의 열팽창에 의해 상기 제1 전극부(39)의 위치를 미세하게 변경시키도록 된 전극가동부(43)를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 도가니의 열처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 케이블부(38)는 상기 전원공급부(37)로부터 상기 제1 및 제2 전극부(39,40)로 연장되는 막대형태의 부스바(46)와, 상기 부스바(46) 측에 일단이 착탈 가능하게 결합됨과 동시에 타단이 상기 제1 전극부(39)에 결합되어 상기 전극이동수단(42)에 의해 일체로 이동 가능한 플렉시블케이블(47)로 구성된 것을 특징으로 하는 잉곳 도가니의 열처리장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 가열로(31)와 제1 전극부(39) 및 플렉시블케이블(47)은 냉각재킷(48)이나 쿨링통로(49)가 형성된 것을 특징으로 하는 잉곳 도가니의 열처리장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 가열로(31) 상에는 상기 진공챔버(32) 내로 연장되어 상기 도가니 본체(10)에 접촉 또는 근접되는 프로브(52)를 포함한 온도센서(51)와, 상기 온도센서(51)의 프로브(52) 위치를 미세하게 조정하는 센서가동부(53)가 구비된 것을 특징으로 하는 잉곳 도가니의 열처리장치.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0826759A (ja) * 1994-07-19 1996-01-30 Shinetsu Quartz Prod Co Ltd 石英ガラスルツボ、その製造方法及び製造装置
JPH10316440A (ja) * 1998-05-26 1998-12-02 Shinetsu Quartz Prod Co Ltd 石英ガラスルツボの製造装置
JP2003313035A (ja) * 2002-04-23 2003-11-06 Japan Siper Quarts Corp 石英ルツボ製造用加熱炉
JP2004315917A (ja) * 2003-04-17 2004-11-11 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 熱処理方法及び装置並びに熱処理方法に用いる熱処理炉
KR101547917B1 (ko) 2014-02-06 2015-08-27 (주) 주원테크 반도체 패키지 공정용 복합장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0826759A (ja) * 1994-07-19 1996-01-30 Shinetsu Quartz Prod Co Ltd 石英ガラスルツボ、その製造方法及び製造装置
JPH10316440A (ja) * 1998-05-26 1998-12-02 Shinetsu Quartz Prod Co Ltd 石英ガラスルツボの製造装置
JP2003313035A (ja) * 2002-04-23 2003-11-06 Japan Siper Quarts Corp 石英ルツボ製造用加熱炉
JP2004315917A (ja) * 2003-04-17 2004-11-11 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 熱処理方法及び装置並びに熱処理方法に用いる熱処理炉
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