KR20190075283A - 금속입자 검출 시스템 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 도 1의 금속입자 검출장치의 구성요소를 설명하는 블럭도이다.
도 3은 도 2의 금속입자 검출장치의 주요 구성요소들의 관계를 설명하는 개념도이다.
도 4는 도 1의 분석장치의 기능을 설명하는 블럭도이다.
도 5는 일 실시예에 따른 금속입자 검출장치가 시료를 촬영하는 예시도이다.
도 6은 일 실시예에 따른 1차 편광 이미지와 2차 편광 이미지를 보여주는 예시도이다.
도 7은 일 실시예에 따른 1차 편광 이미지 및 2차 편광 이미지의 밝기 차이 분석으로 검출된 금속입자의 예시도이다.
도 8은 다른 실시예에 따른 금속입자 검출방법을 설명하는 흐름도이다.
도 9는 도 8의 금속입자 검출단계를 상세하게 설명하는 흐름도이다.
12a: 제1 편광필름 12b: 제2 편광필름
13: 렌즈 14: 조명
20: 분석장치 21: 이미지 획득부
22: 금속입자 검출부 23: 금속입자 표시부
Claims (12)
- 조명에서 조사된 광을 편광시켜 시료로 투사하는 제1 편광필름과, 상기 시료에서 반사된 광을 선택적으로 차단하는 제2 편광필름과, 상기 제2 편광필름을 통해 상기 시료를 촬영하는 카메라를 포함하는 금속입자 검출장치; 및
상기 제1 편광필름과 상기 제2 편광필름 중 적어도 하나의 편광축의 방향을 변경하며 상기 카메라로 촬영된 1차 편광 이미지와 2차 편광 이미지의 밝기 차이를 비교하여 상기 시료에서 금속입자를 검출하는 분석장치;
를 포함하는 금속입자 검출 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 금속입자 검출장치는,
상기 제1 편광필름과 상기 제2 편광필름의 편광축이 서로 평행한 상태에서 상기 1차 편광 이미지를 획득하고, 상기 제1 편광필름과 상기 제2 편광필름의 편광축이 서로 수직한 상태에서 상기 2차 편광 이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 금속입자 검출 시스템. - 제2항에 있어서,
상기 분석장치는,
상기 1차 편광 이미지 및 상기 2차 편광 이미지에서 밝기가 임계치 이상 차이 나는 동일 위치의 픽셀을 금속입자가 위치한 픽셀들로 분류하고 그 픽셀들의 좌표를 저장하는 것을 특징으로 하는 금속입자 검출 시스템. - 제3항에 있어서,
상기 분석장치는,
상기 금속입자가 위치한 픽셀들의 색을 주변과 다르게 변경하여 화면에 표시하는 것을 특징으로 하는 금속입자 검출 시스템. - 제4항에 있어서,
상기 분석장치는,
상기 금속입자가 위치한 픽셀들을 서로 인접한 픽셀들로 구성되는 복수의 그룹으로 그룹핑하고, 각 그룹마다 그룹에 포함된 픽셀 중 최외곽의 픽셀들을 잇는 영역의 중심 좌표를 금속입자의 위치 좌표로서 저장하는 것을 특징으로 하는 금속입자 검출 시스템. - 제 5 항에 있어서,
상기 분석장치는,
상기 금속입자의 위치 좌표들을 화면에 표시하고, 사용자에 의해 선택된 특정 금속입자의 위치 좌표에 대응하는 그룹에 속하는 픽셀들의 색을 다른 그룹들의 픽셀들의 색과 다르게 변경하는 것을 특징으로 하는 금속입자 검출 시스템. - 조명에서 조사된 광을 편광시켜 시료로 투사하는 제1 편광필름과, 상기 시료에서 반사된 광을 선택적으로 차단하는 제2 편광필름 중 적어도 하나의 편광축의 방향을 변경하며 상기 제2 편광필름을 통해 제1 편광 이미지와 제2 편광 이미지를 획득하는 단계; 및
상기 1차 편광 이미지와 상기 2차 편광 이미지의 밝기 차이를 비교하여, 상기 시료에서 금속입자를 검출하는 단계;
를 포함하는 금속입자 검출 방법. - 제7항에 있어서,
상기 제1 편광 이미지와 제2 편광 이미지를 획득하는 단계는,
상기 제1 편광필름과 상기 제2 편광필름의 편광축이 서로 평행한 상태에서 상기 1차 편광 이미지를 획득하고, 상기 제1 편광필름과 상기 제2 편광필름의 편광축이 서로 수직한 상태에서 상기 2차 편광 이미지를 획득하는 금속입자 검출 방법. - 제8항에 있어서,
상기 금속입자를 검출하는 단계는,
상기 1차 편광 이미지 및 상기 2차 편광 이미지에서 밝기가 임계치 이상 차이 나는 동일 위치의 픽셀을 금속입자가 위치한 픽셀들로 분류하고 그 픽셀들의 좌표를 저장하는 단계;를 포함하는 금속입자 검출 방법. - 제9항에 있어서,
상기 금속입자를 검출하는 단계는,
상기 금속입자가 위치한 픽셀들의 색을 주변과 다르게 변경하여 화면에 표시하는 단계;를 더 포함하는 금속입자 검출 방법. - 제10항에 있어서,
상기 금속입자를 검출하는 단계는,
상기 금속입자가 위치한 픽셀들을 서로 인접한 픽셀들로 구성되는 복수의 그룹으로 그룹핑하고, 각 그룹마다 그룹에 포함된 픽셀 중 최외곽의 픽셀들을 잇는 영역의 중심 좌표를 금속입자의 위치 좌표로서 저장하는 단계;를 더 포함하는 금속입자 검출 방법. - 제11항에 있어서,
상기 금속입자를 검출하는 단계는,
상기 금속입자의 위치 좌표들을 화면에 표시하고, 사용자에 의해 선택된 특정 금속입자의 위치 좌표에 대응하는 그룹에 속하는 픽셀들의 색을 다른 그룹들의 픽셀들의 색과 다르게 변경하는 단계;를 더 포함하는 금속입자 검출 방법.
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