KR20190066813A - 잔류 약액 이용을 위한 약액 공급 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 잔류 약액 이용을 위한 약액 공급 장치는, 약액 용기에 약액이 일정 이하로 남아 있는 경우에 기울임 장치를 이용하여 약액 용기를 기울여서, 잔류 약액을 모으고, 이를 공급관을 통해 공급하여 이용할 수 있도록 구성됨으로써 용기 내에 잔류 약액을 최소화할 수 있고, 잔류 약액 이용으로 경제성을 높일 수 있으며, 잔류 약액이 최소화되어 폐기 처리도 용이해질 수 있는 효과를 제공한다.

Description

잔류 약액 이용을 위한 약액 공급 장치{Chemical liquid supply device for using residual chemical liquid}
본 발명은 디스플레이 제조 공정, 반도체 제조 공정 등에 사용되는 약액을 공급하는 약액 공급 장치에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이 제조 공정이나 반도체 제조 공정에서는 기판 처리 등을 위해 약액을 사용하게 된다.
디스플레이 제조 공정에서는 LCD, OLED 등 디스플레이 기판을 제조하는 공정 라인에서 감광제 도포, 노광, 현상, 에칭, 박리, 세정, 건조 등의 과정을 거치게 되고, 이러한 일련의 기판 처리 공정에서 해당되는 약액 또는 처리액을 사용하게 된다.
반도체 제조 공정에서도 반도체 기판을 제조하기 위해 증착, 코팅, 성장, 확산, 식각, 폴리싱, 현상 공정 등을 거치게 되고, 이러한 일련의 기판 처리 공정에서 해당되는 약액 또는 처리액을 사용하게 된다.
약액은 약액 탱크에 저장된 상태에서 필요로 하는 곳에 공급하면서 이용하게 된다. 이때 약액 탱크 내에는 약액을 빨아들여 공급하기 위한 공급관이 연결되는데, 약액 탱크 내에 저장된 약액이 거의 소진될 경우에, 잔류 약액에 공급관이 닿지 않아 약액 공급이 어려워지고, 잔류 약액이 용기 저면에 남아 있게 된다.
이와 같이 잔류 약액이 남아 있는 상태에서 약액 탱크에 추가 약액을 공급하여 사용할 수 있지만, 추가 약액과 잔류 약액이 혼합되는 경우에 약액의 품질이 떨어질 수 있는 문제가 발생한다.
또한, 약액 탱크에 남아 있는 잔류 약액을 버리고자 할 경우에는 고가의 약액 비용을 감안하면 경제성 측면에서 상당한 손실이 발생할 뿐만 아니라 잔류 약액을 처리하는 작업도 쉽지 않고, 또 약액 용기가 병으로 된 경우에 함께 폐기할 때 잔류 약액은 따로 수거하여 처리해야 되는 문제도 있다.
한국 등록특허 제10-1705376호(공고일 2017.02.09.) 일본 공개특허 제2007-297126호(공개일 2007.11.15.)
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 약액 용기를 기울인 상태에서 잔류 약액을 이용할 수 있도록 구성함으로써 간단한 구조로 용기 내의 잔류 약액을 최소화할 수 있고, 잔류 약액 이용으로 경제성을 높일 수 있으며, 잔류 약액 폐기 처리 작업도 용이해질 수 있는 잔류 약액 이용을 위한 약액 공급 장치를 제공하는 데 목적이 있다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 잔류 약액 이용을 위한 약액 공급 장치는, 약액이 저장되는 약액 용기와; 상기 약액 용기를 기울어지게 하는 기울임 장치와; 상기 기울임 장치에 의해 상기 약액 용기가 기울어진 경우에 상기 약액 용기의 상대적으로 낮은 부분에 흡입단이 위치되면서 약액 용기 내에 남아 있는 약액을 공급하는 공급관을 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 약액 공급 장치는, 상기 약액 용기 내에 저장된 약액의 저장량을 측정하는 약액측정수단을 더 포함할 수 있다.
상기 약액 공급 장치는, 상기 약액측정수단의 신호를 입력받아 상기 약액 용기 내에 저장된 약액이 일정 이하일 경우에 상기 약액 용기가 기울어지도록 상기 기울임 장치 쪽에 구동 신호를 출력하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기 기울임 장치는 상기 약액 용기의 밑면 일측을 들어 올릴 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
이때, 상기 기울임 장치는, 베이스와, 상기 약액 용기의 하부를 지지하는 것으로 상기 베이스의 상부에 위치된 상태에서 일측이 상기 베이스에 힌지로 연결되는 하부 지지대와, 상기 베이스와 하부 지지대 사이에 연결되어 상기 하부 지지대를 들어 올려 약액 용기가 기울어지도록 하는 리프팅 기구를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 리프팅 기구는 유압 실린더를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 공급관은 상기 약액 용기가 기울어진 쪽으로 휘어지면서 흡입단이 위치되도록 연성 튜브로 구성될 수 있다.
상기 공급관은 상기 약액 용기 내에서 중력에 의해 흡입단이 상대적으로 낮은 부분에 위치되도록 하는 중량체가 구비될 수 있다.
상기 중량체는 상기 흡입단에 무게추를 설치하여 구성되는 것이 바람직하다.
상기 무게추는 상기 약액 용기의 바닥면에 접촉하되, 구름 운동이 가능하도록 구성될 수 있다.
상기 공급관은 상기 약액 용기를 관통하여 설치되고, 상기 약액 용기에는 상기 공급관이 관통하는 부분에 상기 공급관이 약액 용기의 종축에 대하여 기울어질 수 있도록 하는 회전 조인트가 구비될 수 있다.
상기 약액 용기는 탱크를 개폐하는 뚜껑체를 포함하고, 상기 공급관은 상기 뚜껑체를 관통하여 설치되며, 상기 뚜껑체와 공급관 사이에는 상기 공급관이 약액 용기의 종축에 대하여 기울어질 수 있도록 하는 회전 조인트가 구비될 수 있다.
상기 회전 조인트는 상기 공급관이 관통하는 볼 조인트로 이루어질 수 있다.
상기 공급관은 길이 조절 및 절곡이 가능하도록 신축부가 포함되어 구성될 수 있다. 이때, 상기 신축부는 벨로우즈 구조를 갖도록 구성될 수 있다.
상기 공급관은 커플링으로 연결되어 구성되고, 상기 커플링으로 연결된 부분이 일정 정도 직선 이동이 가능하여 길이 조절이 가능하도록 구성될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.
본 발명에 따른 잔류 약액 이용을 위한 약액 공급 장치는, 약액 용기에 약액이 일정 이하로 남아 있는 경우에 기울임 장치를 이용하여 약액 용기를 기울여서, 잔류 약액을 모으고, 이를 공급관을 통해 공급하여 이용할 수 있도록 구성되기 때문에 용기 내에 잔류 약액을 최소화할 수 있고, 잔류 약액 이용으로 경제성을 높일 수 있으며, 잔류 약액이 최소화되어 폐기 처리도 용이해지도록 하는 효과를 제공한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 약액 공급 장치가 도시된 도면으로서, 약액 용기가 바로 세워진 상태의 단면 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 약액 공급 장치가 도시된 도면으로서,약액 용기가 기울어진 상태의 단면 구성도이다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 약액 공급 장치가 도시된 도면으로서,약액 용기가 기울어진 상태의 단면 구성도이다.
도 4는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 약액 공급 장치가 도시된 도면으로서,약액 용기가 기울어진 상태의 단면 구성도이다.
도 5는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 약액 공급 장치가 도면으로서,약액 용기가 기울어진 상태의 단면 구성도이다.
첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 약액 공급 장치가 도시된 도면들로서, 도 1은 바로 세워진 상태 단면도, 도 2는 기울어진 상태의 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 약액 공급 장치는, 약액이 저장되는 약액 용기(10)와, 이 약액 용기(10)를 기울어지게 하는 기울임 장치(20)와, 이 기울임 장치(20)에 의해 약액 용기(10)가 기울어진 경우에 약액 용기(10)의 상대적으로 낮은 부분으로 흡입단(34a)이 위치하여 약액 용기(10) 내에 저장된 약액을 공급하는 공급관(30)과, 상기 약액 용기(10) 내에 저장된 약액의 저장량을 측정하는 약액측정수단(50)과, 이 약액측정수단(50)의 신호를 입력받아 약액 용기(10) 내에 저장된 약액이 일정 이하이면 약액 용기(10)가 기울어지도록 상기 기울임 장치(20)에 신호를 출력하여 구동하는 제어부(55)를 포함하여 구성된다.
이와 같이 구성되는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 약액 공급 장치의 주요 구성 부분에 대하여 상세히 설명한다.
먼저, 상기 약액 용기(10)는 상부가 개방된 통형 구조로 형성되어 그 내부에 약액을 저장할 수 있는 용기 본체(12)가 구성되는데, 본 실시예에서는 탱크 구조로 이루어진다.
용기 본체(12)의 개방된 상부에는 용기를 개폐할 수 있도록 뚜껑체(14)가 설치되고, 이 뚜껑체(14)에는 공급관(30)이 관통되게 설치된다. 그리고 뚜껑체(14)에는 약액이 원활하게 공급될 수 있도록 약액 용기(10) 내부로 외부 공기가 유입하여 내압을 해소하는 유입구가 구성될 수 있다.
이러한 약액 용기(10)의 형상 및 구조는 탱크 구조, 병 구조 등 약액을 저장할 수 있으면, 공지의 다양한 용기 구조를 적용하여 구성할 수 있다.
다음, 상기 기울임 장치(20)는, 약액 용기(10)가 기울어지도록 약액 용기(10)의 밑면 일측을 들어 올리도록 구성된다.
이러한 기울임 장치(20)는 약액 용기를 기울일 수 있는 구조이면 다양하게 구성할 수 있는데, 본 실시예의 기울임 장치(20A)는, 약액 용기(10)의 설치 공간에 배치되는 베이스(21)와, 약액 용기(10)의 하부를 지지하고 베이스(21)의 상부에 위치되어 일측이 베이스(21)에 힌지(22)로 연결되는 용기 지지대(23)와, 베이스(21)와 용기 지지대(23) 사이에 연결되어 용기 지지대(23)를 들어 올려 약액 용기(10)가 기울어지도록 하는 리프팅 기구(25)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 용기 지지대(23)에는 베이스(21)와 힌지(22)로 연결된 부분의 반대쪽에 상기 리프팅 기구(25)가 연결될 수 있도록 연결 브래킷(24)이 구성될 수 있다.
리프팅 기구(25)는 유압을 이용하여 용기 지지대(23)를 들어 올리도록 유압 실린더(26)로 구성될 수 있다.
리프팅 기구(25)는 유압 실린더(26) 외에도 볼 스크류 등 직선 운동력을 발생시켜 용기 지지대(23)를 들어 올릴 수 있는 공지의 여러 리프팅 장치를 이용하여 구성할 수 있다.
다음, 상기 공급관(30)은, 상기 뚜껑체(14)를 관통하여 약액 용기(10)의 바닥 쪽까지 길게 연결되어, 펌프 등을 이용하여 약액 용기(10)에 저장된 약액을 송액하여 공급할 수 있도록 구성된다.
특히, 본 실시예의 공급관(30A)은 도 2에 도시된 바와 같이 약액 용기(10)가 기울어진 쪽으로 휘어지면서 상대적으로 낮은 부분에 흡입단(34a)이 위치될 수 있도록 연성 튜브(32a)로 구성된다.
연성 튜브(32a)는 약액 용기(10)가 기울어진 쪽으로 휘어질 수 있도록 고무 재질 또는 연성의 합성수지 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.
이러한 연성 튜브(32a)는 뚜껑체(14)에 설치된 연결 니플(36a)에 연결되게 구성될 수 있고, 하단부에는 약액이 유입 또는 흡입되는 흡입단(34a)이 위치되게 구성될 수 있다.
흡입단(34a)은 약액이 흡입될 수 있는 홀이 하나 또는 다수개가 형성되고, 흡입 경로 상에는 스크린 등 필터가 구비될 수 있다. 흡입단(34a)의 형상 및 구조는 실시 조건에 따라 다양하게 형성하여 구성할 수 있으므로 구체적인 도면 예시 및 그에 대한 설명은 생략한다.
특히, 흡입단(34a)은 약액 용기(10)가 기울어질 때 상대적으로 낮은 부분으로 이동하면서 약액을 흡입할 수 있도록 중력의 영향을 원활하게 받을 수 있는 중량체로 구성될 수 있다. 중량체는 연성 튜브(32a)를 아래로 당겨서 흡입단(34a)이 약액 용기(10)의 하부에 위치되도록 함과 아울러, 약액 용기(10)가 기울어질 경우에 흡입단(34a)이 중력에 의해 이동할 수 있을 정도의 중량을 갖도록 구성되는 것이 바람직하다. 이를 위해 흡입단(34a) 자체를 금속재 등 일정 이상의 중량을 갖는 소재로 구성하거나, 흡입단(34a)에 추가로 무게를 갖는 중량체(또는 무게추)를 부가하여 구성하는 것도 가능하다.
다음, 상기 약액측정수단(50)은, 약액 용기(10) 내에 약액이 저장된 상태를 감지할 수 있는 무게 측정 센서, 레벨 센서 등을 이용하여 구성할 수 있다.
무게 측정 센서는 약액 용기(10)의 무게를 측정하여 약액의 저장량을 측정할 수 있도록 구성된 것으로, 본 실시예의 도면에서는 베이스(21)에 설치되어 약액 용기(10) 및 용기 지지대(23)의 무게를 측정할 수 있는 구성을 보여준다. 이와는 달리 무게 측정 센서를 약액 용기(10)와 용기 지지대(23) 사이에 설치하여 구성하는 것도 가능하다.
레벨 센서(미도시)는 약액 용기(10) 내에 저장된 약액의 수위를 감지하여 신호를 출력하도록 구성된다. 이러한 수위를 감지하는 레벨 센서는 널리 공지된 기술이므로, 구체적인 도면 예시 및 그에 대한 설명은 생략한다.
약액측정수단(50)으로 무게 측정 센서, 레벨 센서 외에도 약액의 저장량을 감지할 수 있는 공지의 여러 수위측정장치 중 하나를 이용하여 구성하는 것도 가능하다.
다음, 상기 제어부(55)는, 무게 측정 센서 등 약액측정수단(50)으로부터 측정 신호를 입력받아 약액 저장량을 산출하고, 이때 약액 저장량이 일정량 이하일 경우에 상기 기울임 장치(20)에 구동 신호를 출력하도록 구성된다.
본 실시예에서는 리프팅 기구(25)가 유압 실린더(26)로 구성되므로, 제어부(55)에서 유압제어장치(57)에 제어 신호를 출력할 수 있도록 구성된다.
유압제어장치(57)는 유압 실린더(26)에 유압을 제공하여 유압 실린더(26)를 작동시키도록 구성된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 약액 공급 장치의 작동 과정을 설명하면 다음과 같다.
약액측정수단(50)에서 약액 용기(10) 내에 저장된 약액량을 측정하여, 제어부(55)에 입력하고, 제어부(55)에서 약액량 측정값이 일정량 이하라고 판단되면, 약액 용기(10)가 기울어지게 위치되도록 유압제어장치(57)에 제어 신호를 출력한다.
제어부(55)에서 유압제어장치(57)에 신호를 출력하면, 유압제어장치(57)가 구동되면서, 유압 실린더(26)에 유압을 공급하여 용기 지지대(23)를 밀어 올린다. 이때 용기 지지대(23)는 베이스(21)에 힌지(22)로 연결되어 있으므로 힌지(22)를 중심으로 회전하면서 한쪽이 들어 올려지고, 이때 상부에 위치된 약액 용기(10)도 함께 들어 올려지면서 기울어지게 된다.
약액 용기(10)가 기울어지면, 내부에 저장된 약액이 가장 낮은 한쪽으로 모이게 되고, 이때 연성 튜브(32a)로 이루어진 공급관(30A)도 중력에 의해 휘어지면서 흡입단(34a)이 약액이 모여 있는 낮은 쪽으로 이동하게 된다.
이와 같이 약액 용기(10)가 기울어지고, 흡입단(34a)도 상대적으로 낮은 쪽으로 이동된 상태에서 약액을 흡입하게 되면, 약액 용기(10) 내에 잔류하는 약액이 소량이더라도 보다 원활하게 약액을 흡입하여 공급할 수 있게 된다.
한편, 약액측정수단(50)을 통해 약액 용기(10) 내에 저장된 약액의 저장량을 지속적으로 측정하여, 약액의 잔류 저장량에 따라 제어부(55)에서 약액 용기(10)의 기울기를 적절하게 제어하여 잔류 약액을 공급하도록 구성하는 것도 가능하다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 약액 공급 장치가 도시된 기울어진 상태의 단면 구성도이다.
본 발명의 제 2 실시예에서는, 앞서 설명한 본 발명의 제 1 실시예에서 공급관(30A)이 연성 튜브(32a)로 구성된 것과 달리, 공급관(30B)이 직선관(32b)으로 이루어지고, 회전 조인트(40)에 의해 약액 용기(10)에 대하여 상대 회전이 가능하도록 구성된다.
즉, 공급관(30B)은 직선관(32b)으로 잘 휘어지지 않은 경질의 합성수지 또는 금속관으로 구성될 수 있고, 하단부에는 흡입단(34b)이 위치된다. 제 1 실시예에서와 마찬가지로 흡입단(34b)이 중력에 영향을 원활하게 받을 수 있도록 중량체로 구성되거나, 무게추 등 중량체가 추가로 설치되어 구성될 수 있다.
그리고 회전 조인트(40)는 공급관(30B)이 관통하는 뚜껑체(14)에 설치되어 공급관(30B)이 약액 용기(10)의 종축에 대하여 기울어질 수 있도록 하는 기능을 하게 된다.
이러한 회전 조인트(40)는 도 3에 도시된 바와 같이 공급관(30B)이 관통하는 볼 조인트 방식으로 구성될 수 있는데, 통상의 볼 조인트를 적용한 것으로, 공급관(30B)이 관통하는 볼(42)과, 이 볼(42)의 둘레에서 자유 회전이 가능하도록 볼(42)을 지지하는 볼 지지구(44)로 구성될 수 있다.
그리고 뚜껑체(14)에는 볼 지지구(44)를 지지할 수 있는 지지부(16)가 구성된다. 지지부(16)는 회전 조인트(40)의 설치 위치, 형성 및 구조에 따라 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
이와 같이 구성되는 본 발명의 제 2 실시예에서는 회전 조인트(40)에 지지된 공급관(30B)이 항상 중력이 작용하는 방향으로 위치되므로, 약액 용기(10)가 기울어지더라도 실제 공급관(30B)은 그대로 있는 상태에서 흡입단(34b)이 약액이 모이는 위치(탱크의 모서리 부분)에 잠겨 있게 된다. 이때, 공급관(30B)은 약액 용기(10)에 대하여 회전 조인트(40)에 의해 상대 회전된 상태가 된다.
이 외의 구성 부분은 앞서 설명한 본 발명의 제 1 실시예의 구성과 동일 또는 유사하게 구성될 수 있으므로, 도면에 동일한 도면 부호를 부여하고, 그에 대한 반복 설명은 생략한다.
도 4는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 약액 공급 장치가 도시된 기울어진 상태의 단면 구성도이다.
본 발명의 제 3 실시예에는 앞서 설명한 본 발명의 제 2 실시예에서와 같이 공급관(30C)이 회전 조인트(40)에 지지되는 구성은 같으나, 공급관(30C)의 길이가 가변되도록 구성되고, 기울임 장치(20B)도 스크류 잭(27)으로 구성된다.
즉, 공급관(30C)이 제 1 공급관(31c)과 제 2 공급관(32c)으로 나누어지고, 그 사이에 커플링(33c)이 설치되는 구성으로 이루어진다. 이때 제 1 공급관(31c)은 회전 조인트(40)에 지지되어 상대 회전 가능하게 구성되고, 제 2 공급관(32c)은 그 상단부가 커플링(33c)에 삽입된 상태에서 관의 길이 방향으로 일정 정도 이동이 가능하도록 구성된다.
또한, 제 2 공급관(32c) 끝단의 흡입단(34c)에는 중력체인 무게추(36c)가 연결되어 구성된다. 이때 무게추(36c)는 약액 탱크의 바닥에 닺을 수 있도록 구성되고, 또 무게추(36c)는 흡입단(34c)이 약액 용기(10) 바닥면에서 일정 정도 떨어진 상태, 즉 흡입 간격 유지 상태가 지속되도록 간격유지수단 기능도 함께 하도록 구성될 수 있다.
이와 같이 구성되는 본 발명의 제 3 실시예에서는 약액 용기(10)가 수직으로 세워진 정상 상태에서는 제 2 공급관(32c)의 상단이 도면의 점선으로 나타낸 것과 같이 커플링(33c)의 상측으로 삽입된 상태에 있다가 약액 용기(10)가 기울어지면, 흡입단(34c)과 무게추(36c)가 용기의 낮은 모서리 쪽에 위치되고, 이때 무게추(36c)의 무게에 따라 제 2 공급관(32c)이 당겨지면서 커플링(33c)으로부터 길어지게 되고, 흡입단(34c)이 한쪽에 모여 있는 약액 속에 위치하게 되면서 잔류 약액을 원활하게 흡입할 수 있게 된다.
한편, 기울임 장치(20B)가 스크류 잭(27) 등으로 구성될 수 있는데, 스크류 잭(27)은 볼 스크류에 사절 링크가 연결된 구조로서 전동 모터(28)에 의해 스크류가 회전하면서 용기 지지대(23)를 들어 올리고 내릴 수 있도록 구성된다. 물론, 전동 모터(28)는 본 발명의 제 1실시예에서 설명하였던 제어부(55; 도 1 참조)의 신호에 의해 작동하도록 구성되는 것이 바람직하다.
도 4에서 도면 부호 29는 스크류 잭(27)의 상단부가 용기 지지대(23)에 대하여 일정 정도 슬라이딩할 수 있도록 구성된 부분으로서 스크류 잭(27)의 작동이 원활하게 이루어지도록 구성된 부분이다.
이 외의 구성 부분은 앞서 설명한 본 발명의 제 1 실시예 및 제 2 실시예의 구성과 동일 또는 유사하게 구성될 수 있으므로, 도면에 동일한 도면 부호를 부여하고, 그에 대한 반복 설명은 생략한다.
도 5는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 약액 공급 장치가 도시된 기울어진 상태의 단면 구성도이다.
본 발명의 제 4 실시예의 도면에서는 약액 용기(10B)가 병 구조로 형성된 것을 예시하고 있다. 이때 약액 용기(10B)는 약액이 저장되는 병체(12b)와 마개(14b)로 구성될 수 있다.
약액 용기(10B)가 병 구조로 이루어진 경우에도 앞서 제 1 실시예 등에서 설명하였던, 기울임 장치(20A)를 이용하여 약액 용기(10)의 일측을 들어 올려 기울어지게 위치시킬 수 있다. 기울임 장치(20A)는 마찬가지로 베이스(21), 용기 지지대(23), 리프트 기구(25)로 구성될 수 있다.
특히, 본 발명의 제 4 실시예에서는 공급관(30D)에 신축부(33d)가 구성된다.
즉, 공급관(30D)은 제 1 공급관(31d) 제 2 공급관(32d)으로 이루어지고, 제 1 공급관(31d)과 제 2 공급관(32d) 사이에 신축부(33d)가 구성되어 약액 용기(10B)가 기울어짐에 따라 신축부(33d)를 중심으로 휘어질 수 있도록 구성되고, 또한 공급관(30D)의 길이도 신축부(33d)에 의해 가변되도록 구성된다.
여기서 신축부(33d)는 주름 구조의 벨로우즈 형태를 갖는 관으로 구성되는 것이 바람직하며, 이외에도 휨이 가능한 고무관 등 연질관으로 구성되는 것도 가능하다.
이에 따라 공급관(30D)의 흡입단(34d)은 약액 용기(10B)가 기울어질 때 신축부(33d)에 의해 약액이 모여 있는 쪽으로 이동할 수 있고, 또 신축부(33d)에 의해 길이가 길어짐에 따라 약액 내에 충분히 잠긴 상태에서 약액을 흡입할 수 있게 된다. 이때, 공급관(30D)의 길이 가변은 흡입단(34d)에 구성된 무게추(36d) 또는 중량체의 하중에 의해 이루어진다.
또한, 본 발명의 제 4 실시예에서는 흡입단(34d)에 연결된 무게추(36d)가 약액 용기(10B)의 바닥을 따라 구름 운동할 수 있도록 구성된다. 즉, 무게추(36d)가 구름 운동하는 볼(38)과 이 볼(38)을 지지하는 지지체(37)로 구성되어, 흡입단(34d)에 연결되는 구성으로 이루어진다. 여기서 볼(38) 대신에 바퀴를 설치하여 구름 운동이 가능하도록 구성하는 것도 가능하다.
이에 따라, 약액 용기(10B)가 기울어질 때 무게추(36d)의 볼(38)이 용기의 바닥을 따라 구름 운동하면서 이동하게 되므로 저항이 최소화되어 흡입단(34d)이 보다 원활하게 약액이 모여 있는 모서리 위치로 이동할 수 있게 된다.
이와 함께 무게추(36d)는 흡입단(34d)의 위치가 약액 용기(10B)의 바닥면으로부터 어느 정도 떨어진 상태가 유지되도록 간격유지기능을 제공하도록 구성되는 것이 바람직하다.
이 외의 구성 부분은 앞서 설명한 본 발명의 제 1 실시예 및 제 2 실시예의 구성과 동일 또는 유사하게 구성될 수 있으므로, 도면에 동일한 도면 부호를 부여하고, 그에 대한 반복 설명은 생략한다.
상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
10, 10B : 약액 용기 20 : 기울임 장치
21 : 베이스 22 : 힌지
23 : 용기 지지대 25 : 리프팅 기구
26 : 유압 실린더 27 : 스크류 잭
30 : 공급관 32a : 연성 튜브
32b : 직선관 33c : 커플링
33d : 신축부 34a, 34b, 34c, 34d : 흡입단
36c, 36d : 무게추 38 : 볼
40 : 회전 조인트 50 : 약액측정수단
55 : 제어부 57 : 유압제어장치

Claims (15)

  1. 약액이 저장되는 약액 용기와;
    상기 약액 용기를 기울어지게 하는 기울임 장치와;
    상기 기울임 장치에 의해 상기 약액 용기가 기울어진 경우에 상기 약액 용기의 상대적으로 낮은 부분에 흡입단이 위치되면서 약액 용기 내에 남아 있는 약액을 공급하는 공급관을 포함한 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 약액 공급 장치는, 상기 약액 용기 내에 저장된 약액의 저장량을 측정하는 약액측정수단을 더 포함한 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 약액 공급 장치는, 상기 약액측정수단의 신호를 입력받아 상기 약액 용기 내에 저장된 약액이 일정 이하일 경우에 상기 약액 용기가 기울어진 상태에 있도록 상기 기울임 장치 쪽에 구동 신호를 출력하는 제어부를 더 포함한 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기울임 장치는 상기 약액 용기의 밑면 일측을 들어 올릴 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 기울임 장치는, 베이스와, 상기 약액 용기의 하부를 지지하는 것으로 상기 베이스의 상부에 위치된 상태에서 일측이 상기 베이스에 힌지로 연결되는 하부 지지대와, 상기 베이스와 하부 지지대 사이에 연결되어 상기 하부 지지대를 들어 올려 약액 용기가 기울어지도록 하는 리프팅 기구를 포함한 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 리프팅 기구는 유압 실린더를 포함한 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  7. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공급관은 상기 약액 용기가 기울어진 쪽으로 휘어지면서 흡입단이 위치되도록 연성 튜브로 구성된 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  8. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공급관은 중력에 의해 흡입단이 상기 약액 용기 내에서 상대적으로 낮은 부분에 위치되도록 하는 중량체가 구비된 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 중량체는 상기 흡입단에 무게추를 설치하여 구성된 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 무게추는 상기 약액 용기의 바닥면에 접촉하되, 구름 운동이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  11. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공급관은 상기 약액 용기를 관통하여 설치되고,
    상기 약액 용기에는 상기 공급관이 관통하는 부분에 상기 공급관이 약액 용기의 종축에 대하여 기울어질 수 있도록 하는 회전 조인트가 구비된 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  12. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 약액 용기는 탱크를 개폐하는 뚜껑체를 포함하고,
    상기 공급관은 상기 뚜껑체를 관통하여 설치되며,
    상기 뚜껑체와 공급관 사이에는 상기 공급관이 약액 용기의 종축에 대하여 기울어질 수 있도록 하는 회전 조인트가 구비된 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 회전 조인트는 상기 공급관이 관통하는 볼 조인트로 이루어진 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  14. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공급관은 길이 조절 및 절곡이 가능하도록 신축부가 포함된 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  15. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공급관은 커플링으로 연결되어 구성되고, 상기 커플링으로 연결된 부분이 일정 정도 직선 이동이 가능하여 길이 조절이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007297126A (ja) 2006-05-08 2007-11-15 Surpass Kogyo Kk コネクタ構造
KR101705376B1 (ko) 2010-04-28 2017-02-09 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 처리액 공급 기구

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007297126A (ja) 2006-05-08 2007-11-15 Surpass Kogyo Kk コネクタ構造
KR101705376B1 (ko) 2010-04-28 2017-02-09 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 처리액 공급 기구

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102540088B1 (ko) * 2022-12-06 2023-06-07 주식회사 엔에이티 반도체 제조용 포토레지스트 공급용 보틀

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