KR20190066423A - 잉곳 성장장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 잉곳 성장장치에 관한 것으로, 융액을 수용하는 도가니의 하부측에 위치하는 하부 히터와, 상기 도가니의 측면을 감싸도록 형성된 상부 히터와, 상기 도가니의 융액에 시드를 접촉시키며 회전 및 인상하여 잉곳을 성장시키는 인상축과, 상기 도가니를 회전시킴과 아울러 상향으로 인상시키는 지지축과, 상기 지지축에 고정됨과 아울러 상기 하부 히터를 지지하여 상기 도가니와 하부 히터의 간격을 일정하게 유지하는 간격유지부를 포함한다.

Description

잉곳 성장장치{Device for growing ingot}

본 발명은 잉곳 성장장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 온도 분포를 일정하게 유지할 수 있는 잉곳 성장장치에 관한 것이다.

일반적으로, 잉곳(ingot)은 반도체 웨이퍼를 제작하기 전단계의 구조물이며, 융액에 시드를 접촉시킨 후, 시드를 회전 및 인상시켜 형성한다.

잉곳을 형성할 때, 잉곳의 품질 저하를 방지하고, 높은 수율을 얻기 위해서는 목표 온도 프로파일에 부합하는 온도의 제어를 해야 한다.

즉, 융액의 용융상태를 유지하며, 인상속도에 따른 결정화가 원활하게 이루어지도록 정확한 온도의 제어가 요구된다.

이러한 온도의 제어를 위하여 종래 잉곳 성장장치는 가열을 위한 다수의 히터들과 히터들에서 발생하는 열을 핫 존의 내부에서 유지할 수 있는 단열 수단들을 포함하고 있다.

다수의 히터를 사용하는 잉곳 성장장치에 대해서는 공개특허 10-2012-0130125호(단결정 제조 장치, 단결정 제조 방법 및 단결정, 2012년 11월 29일 공개)에 구체적으로 기재되어 있다.

위의 공개특허의 대표도에는 도가니의 측면을 감싸는 형태의 상부 히터와 도가니 하부에 위치하는 하부 히터가 도시되어 있다.

이와 같이 하부 히터를 가지는 종래 잉곳 성장장치에 대하여 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1과 도 2는 종래 하부 히터를 가지는 잉곳 성장장치의 구성도이다.

도 1과 도 2를 각각 참조하면 종래 하부 히터를 가지는 잉곳 성장장치는, 융액을 수용하는 도가니(1)의 하부측에 고정 설치되는 하부 히터(2)와, 상기 도가니(1)의 측면을 감싸도록 형성된 상부 히터(3)와, 상기 도가니(1)의 융액에 시드를 접촉시키며 회전 및 인상하여 잉곳(4)을 성장시키는 인상축(5)과, 상기 도가니(1)를 회전시킴과 아울러 상향으로 인상시키는 지지축(6)을 포함하여 구성된다.

도 1은 인상축(5)이 하강하여 시드가 도가니(1)의 융액에 접촉된 상태이며, 상기 지지축(6)이 회전하고, 인상축(5)은 지지축(6)과는 반대 방향으로 회전하면서 인상축(5)이 상향으로 인상되면서 융액으로부터 잉곳(4)을 성장시킨다.

이때 상부 히터(3)와 하부 히터(2)의 열에 의해 목표 온도 프로파일을 제어할 수 있다.

그러나 잉곳(4)의 성장이 진행되어 융액의 수위가 감소하는 도 2의 상태에서는 상기 지지축(6)으로 도가니(1)를 소정의 높이로 올리게 되며, 이때 상기 도가니(1)와 하부 히터(2)의 사이 간격은 잉곳(4)의 성장 초기에 비하여 더 멀어지게 된다.

이러한 도가니(1)와 하부 히터(2) 사이의 간격의 변화에 의해 하부 히터(2)로부터 도가니(1)에 전달되는 복사열은 감소하게 되며, 목표 온도 프로파일에 부합하는 온도 제어를 할 수 없게 된다.

이처럼 목표 온도 프로파일에 부합하지 않는 온도 제어상태가 유지되면, 잉곳(4)의 품질이 저하되고, 수율이 저하될 수 있는 문제점이 있었다.

도가니(1)와 하부 히터(2)의 간격 차이에 따라 상기 하부 히터(2)의 온도를 조정하여 목표 온도 프로파일에 따라 온도를 제어할 수 있는 있으나, 하부 히터(2)의 온도를 미세하게 조정하는 것이 쉽지 않고, 정확하게 목표 온도 프로파일에 부합하도록 온도를 조절 및 유지하는 것이 용이하지 않은 문제점이 있었다.

특히 태양광 패널처럼 다른 화석연료와 가격 경쟁이 필요한 분야에서는 더욱 높은 수율을 요구하고 있으며, 종래의 방법으로는 안정적으로 높은 수율로 잉곳을 성장시키기에는 한계가 있다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 목표 온도 프로파일에 부합하는 온도 제어를 용이하게 수행할 수 있는 잉곳 성장장치를 제공함에 있다.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 하부 히터의 온도를 제어하지 않고도 목표 온도 프로파일에 부합하는 온도 제어를 수행할 수 있는 잉곳 성장장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 잉곳 성장장치는, 융액을 수용하는 도가니의 하부측에 위치하는 하부 히터와, 상기 도가니의 측면을 감싸도록 형성된 상부 히터와, 상기 도가니의 융액에 시드를 접촉시키며 회전 및 인상하여 잉곳을 성장시키는 인상축과, 상기 도가니를 회전시킴과 아울러 상향으로 인상시키는 지지축과, 상기 지지축에 고정됨과 아울러 상기 하부 히터를 지지하여 상기 도가니와 하부 히터의 간격을 일정하게 유지하는 간격유지부를 포함할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 간격유지부는, 하부 히터에 전원을 공급하기 위한 제1전극과 제2전극의 하단을 고정는 고정판을 포함하되, 상기 제1전극 및 제2전극이 상기 고정판과 절연되도록 절연부싱을 통해 고정할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 고정판은, 중앙부에 상하로 상기 지지축이 관통하도록 하되, 베어링을 통해 상기 지지축만 회전하도록 하거나, 볼트로 상기 지지축에 결합되어 상기 지지축과 함께 회전하는 것일 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 고정판이 회전하는 경우, 상기 제1전극 및 제2전극도 회전하며, 상기 고정판의 하부에서 각각 제1전극과 제2전극에 접촉되어, 제1전극과 제2전극에 전원을 공급하는 제1슬립링 및 제2슬립링을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 간격유지부는, 베어링을 통해 상기 지지축의 하측부를 회전가능하게 고정하는 고정판과, 상기 지지축을 회전시키는 모터와, 상기 하부 히터에 결합되어 하향으로 연장되는 제1전극 및 제2전극과, 상기 제1전극과 제2전극이 상기 고정판과 절연된 상태로 상기 고정판의 하부측으로 관통할 수 있도록 하는 절연부싱을 포함할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 간격유지부는, 상기 지지축에 고정되는 고정판과, 상기 도가니와 상기 고정판의 사이에 위치하는 상기 하부 히터로부터 하향으로 연장되는 제1전극 및 제2전극과, 상기 제1전극과 제2전극이 상기 고정판을 관통하되, 절연 상태로 고정하는 절연부싱과, 상기 고정판의 하부에서 서로 상하로 이격되게 배치되어, 상기 제1전극과 제2전극 각각에 접촉되어 전원을 공급하는 제1슬립링과 제2슬립링을 포함할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 고정판은, 상기 지지축에 체결이 용이하도록 분판된 것일 수 있다.

본 발명 잉곳 성장장치는, 하부 히터와 도가니의 간격을 일정하게 유지함으로써, 목표 온도 프로파일에 부합하는 온도 제어를 용이하게 할 수 있는 효과가 있다.

또한, 하부 히터의 초기 온도 값을 그대로 유지하며, 목표 온도 프로파일에 부합하도록 잉곳 성장 공정 중에 온도를 제어해야 하는 불편함을 해소하여, 안정적으로 높은 수율의 잉곳 성장 공정을 제공할 수 있는 효과가 있다.

도 1과 도 2는 각각 종래 하부 히터를 가지는 잉곳 성장장치의 구성도이다.
도 3과 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 잉곳 성장장치의 구성도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 간격유지부의 구성도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 간격유지부의 구성도이다.
도 7은 도 6에서 고정판의 일실시 구성도이다.

이하, 본 발명 잉곳 성장장치에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

본 발명의 실시 예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이며, 아래에 설명되는 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시 예는 본 발명을 더욱 충실하고 완전하게 하며 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.

본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시 예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는"포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.　

본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 부재, 영역 및/또는 부위들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부위들은 이들 용어에 의해 한정되지 않음은 자명하다. 이들 용어는 특정 순서나 상하, 또는 우열을 의미하지 않으며, 하나의 부재, 영역 또는 부위를 다른 부재, 영역 또는 부위와 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제1 부재, 영역 또는 부위는 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제2 부재, 영역 또는 부위를 지칭할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 실시 예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.

도 3과 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 잉곳 성장장치의 구성도이다.

도 3과 도 4를 각각 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 잉곳 성장장치는, 융액을 수용하는 도가니(10)의 하부측에 위치하는 하부 히터(20)와, 상기 도가니(10)의 측면을 감싸도록 형성된 상부 히터(30)와, 상기 도가니(10)의 융액에 시드를 접촉시키며 회전 및 인상하여 잉곳(40)을 성장시키는 인상축(50)과, 상기 도가니(10)를 회전시킴과 아울러 상향으로 인상시키는 지지축(60)과, 상기 지지축(60)에 고정됨과 아울러 상기 하부 히터(20)를 지지하여 상기 도가니(10)와 하부 히터(20)의 간격을 일정하게 유지하는 간격유지부(70)를 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명 잉곳 성장장치의 구성과 작용에 대하여 보다 상세히 설명한다.

먼저, 도가니(10)에는 융액이 수용되어 있으며, 하부 히터(20)와 상부 히터(30)의 열에 의해 용융 상태가 유지된다. 시드가 고정된 인상축(50)이 하향 이동하여 시드를 융액에 접촉시키고, 회전 및 인상하면서 잉곳(40)을 성장시킨다.

잉곳(40)의 성장 과정에서 융액의 수위가 낮아짐에 따라 지지축(60)이 도 4와 같이 상향으로 이동하여 도가니(10)를 상승시킨다.

이때 도가니(10)의 하부에 위치하는 하부 히터(20)는 간격유지부(70)에 의해 상기 지지축(60)에 고정되어 있으며, 지지축(60)과 함께 상향 이동하여 도가니(10)의 저면과의 간격을 유지할 수 있다.

이처럼 도가니(10)의 위치와 무관하게 도가니(10)와 하부 히터(20) 사이의 간격을 유지할 수 있어, 잉곳 성장 공정의 초기에 설정한 온도의 변경 없이도 목표 온도 프로파일에 부합하는 온도 제어를 수행할 수 있게 된다.

상기 간격유지부(70)는 지지축(60)에 상기 하부 히터(20)를 고정시키되, 상향 이동하는 하부 히터(20)에 지속적으로 전원을 공급할 수 있는 구조이면, 그 구조에 의해 본 발명이 제한되지 않는다.

도 5는 상기 간격유지부(70)의 일실시예의 구성도이다.

도 5를 참조하면 간격유지부(70)는, 베어링(575)을 통해 상기 지지축(60)의 하측부를 회전가능하게 고정하는 고정판(571)과, 상기 지지축(60)의 풀리(578)에 감긴 벨트(577)를 구동하여 상기 지지축(60)을 회전시키는 모터(576)와, 상기 하부 히터(20)에서 하향으로 연장되는 제1전극(573)과 제2전극(574)과, 상기 제1전극(573)과 제2전극(574)이 상기 고정판(571)과 절연된 상태로 하부측으로 관통할 수 있도록 하는 절연부싱(572)을 포함하여 구성된다.

미설명 부호 90은 상기 고정판(571)을 상하로 이동시키는 승강장치부이며, 80은 상기 고정판(571)의 저면으로 돌출된 제1전극(573)과 제2전극(574)에 전원을 공급하는 전원공급부이다.

이와 같은 구성에서 상기 하부 히터(20)에 전원공급부(80)의 전원을 공급하기 위해서 하부 히터(20)에 연결되는 제1전극(573)과 제2전극(574)을 하향으로 길게 연장한 구조로 한다.

이때 제1전극(573)과 제2전극(574)은 실질적으로 상기 하부 히터(20)를 지지하는 지지수단의 역할도 함께한다.

상기 하부 히터(20)는 다수의 절곡부를 가지는 금속체이며, 전체적으로 고리모양을 이루고, 그 중앙의 통공을 통해 상기 지지축(60)이 관통된다.

상기 제1전극(573)과 제2전극(574) 각각은 고정판(571)에 상기 하부 히터(20)를 고정하여 지지하는 역할을 하며, 상기 고정판(571)은 지지축(60)에 고정된 형태이므로 실질적으로 지지축(60)에 하부 히터(20)가 고정된 구조이다.

상기 지지축(60)의 하부는 베어링(575)을 통해 상기 고정판(571)에 회전가능하게 결합되어 있어, 모터(576)의 회전력을 벨트(577) 및 풀리(578)을 통해 전달받아 회전하게 된다.

이때 고정판(571)은 승강장치부(90)에 고정되어 회전하지 않는다.

상기 제1전극(573)과 제2전극(574)은 각각 전원공급부(80)의 전원을 하부 히터(20)에 공급하는 것으로, 상기 고정판(571)과는 전기적으로 분리되어야 한다.

따라서 상기 제1전극(573)과 제2전극(574)과 고정판(571)을 전기적으로 분리하기 위하여 절연부싱(572)을 사용한다. 이때 제1전극(573)과 제2전극(574)은 절연부싱(572)에 의해 고정판(571)과 전기적으로 분리될 뿐만 아니라 고정판(571)에 상기 하부 히터(20)를 고정할 수 있게 된다.

상기 제1전극(573)과 제2전극(574)의 하부 끝단은 상기 고정판(571)을 관통하여 하부측으로 돌출 또는 노출되는 것으로 한다.

고정판(571) 하부측으로 돌출된 제1전극(573)과 제2전극(574)에는 전원공급부(80)의 전원이 연결된다.

이와 같은 구성에서 모터(576)의 구동에 의해 상기 지지축(60)이 회전하면서 상부의 도가니(10)를 회전시킨다. 아울러 앞서 설명한 도 4와 같이 도가니(10)를 상향으로 이동시키기 위해서 승강장치부(90)는 고정판(571)을 상향으로 이동시킨다.

이때 고정판(571)에 회전가능하게 고정된 지지축(60)도 상향으로 이동하게 되며, 제1전극(573)과 제2전극(574)에 의해 상기 고정판(571)에 고정된 하부 히터(20)도 상향으로 이동하게 된다.

즉, 도가니(10)와 하부 히터(20)의 간격은 일정하게 유지된다.

따라서 본 발명은 목표 온도 프로파일을 용이하게 유지할 수 있다.

도 6은 본 발명에 적용되는 간격유지부(70)의 다른 실시 구성도이다.

도 6을 참조하면 본 발명에 적용되는 간격유지부(70)는, 상면과 저면 중앙을 통해 상기 지지축(60)이 관통 및 고정되는 고정판(671)과, 상기 고정판(671)의 일부에 위치하여 상기 하부 히터(20)의 제1전극(673)과 제2전극(674)이 상기 고정판(671)을 관통할 수 있는 통공을 제공함과 아울러 그 제1전극(673)과 제2전극(674)을 고정하는 절연부싱(bushing, 672)과, 상기 제1전극(673)에 접촉되어 전원공급부(80)의 전원을 공급하는 제1슬립링(675)과, 상기 제2전극(674)에 접촉되어 전원공급부(80)의 전원을 공급하는 제2슬립링(676)을 포함하여 구성된다.

도 6의 구성에서는 상기 지지축(60)을 회전하기 위한 모터 등 구동부와, 상향으로 이동시키기 위한 승강장치부의 구성을 생략한 것이다.

상기 고정판(671)은 상기 지지축(60)에 용접 또는 체결방법으로 고정되어 지지축(60)과 함께 회전을 하는 것이며, 고정판(671)을 절연부싱(672)에 의해 관통하는 제1전극(673), 제2전극(674)도 회전하며, 제1전극(673)과 제2전극(674)에 고정된 하부 히터(20)도 회전한다.

이처럼 회전하는 제1전극(673)과 제2전극(674)에 전원공급부(80)의 전원을 공급하기 위해서, 제1슬립링(676)과 제2슬립링(677)을 사용한다. 제1슬립링(676)의 안쪽면에는 상기 제1전극(673)의 끝단이 절곡되어 접촉되고, 제2슬립링(677)의 안쪽면에는 상기 제2전극(677)의 끝단이 절곡되어 접촉된다.

따라서 제1전극(673)과 제2전극(674)은 회전을 하면서도 전원공급부(80)의 전원을 안정적으로 공급받을 수 있게 된다.

도 6에는 생략되었으나 승강장치부에 의해 상기 지지축(60)은 상하방향으로 이동할 수 있으며, 지지축(60)이 상승하여 도 4와 같은 상태가 되었을 때 상기 지지축(60)의 상부에 결합된 도가니(10)와 하부 일부에 결합된 고정판(671)은 동일한 높이로 이동하게 되며, 따라서 도가니(10)와 하부 히터(20)의 간격은 동일하게 유지된다.

도 7은 도 6에서 고정판(671)의 일실시 구성도이다.

고정판(671)은 상기 지지축(60)과의 결합 용이성을 위하여 적어도 두 개의 분판(671a,671b)로 구성할 수 있으며, 중앙에는 상기 지지축(60)이 통과할 수 있는 통공이 마련되며, 상기 각 분판(671a,671b)에의 통공 부분에는 상향 또는 하향으로 돌출되는 체결돌출부(678)이 제공된다.

체결돌출부(678)에는 체결공(678a)이 형성되어 볼트(678b)로 상기 지지축(60)에 체결할 수 있다.

또한 각 분판(671a,671b)이 서로 접하는 면에는 서로 반대방향의 단차부(679)가 마련되어 있으며, 단차부(679)에는 체결공(679a)이 형성되어 볼트(679b)를 이용하여 상호 체결할 수 있다.

이와 같이 다양한 구조의 간격유지부(70)를 이용하여 본 발명은 도가니(10)와 하부 히터(20) 사이의 간격을 항상 일정하게 유지할 수 있으며, 목표 온도 프로파일에 부합하는 온도 제어를 용이하게 할 수 있다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.

10:도가니 20:하부 히터
30:상부 히터 40:잉곳
50:인상축 60:지지축
70:간격유지부 571, 671:고정판
572, 672:절연부싱 573, 673:제1전극
574, 674:제2전극

Claims (7)

1. 융액을 수용하는 도가니의 하부측에 위치하는 하부 히터;
   상기 도가니의 측면을 감싸도록 형성된 상부 히터;
   상기 도가니의 융액에 시드를 접촉시키며 회전 및 인상하여 잉곳을 성장시키는 인상축;
   상기 도가니를 회전시킴과 아울러 상향으로 인상시키는 지지축; 및
   상기 지지축에 고정됨과 아울러 상기 하부 히터를 지지하여 상기 도가니와 하부 히터의 간격을 일정하게 유지하는 간격유지부를 포함하는 잉곳 성장장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 간격유지부는,
   하부 히터에 전원을 공급하기 위한 제1전극과 제2전극의 하단을 고정는 고정판을 포함하되,
   상기 제1전극 및 제2전극이 상기 고정판과 절연되도록 절연부싱을 통해 고정하는 것을 특징으로 하는 잉곳 성장장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 고정판은,
   중앙부에 상하로 상기 지지축이 관통하도록 하되,
   베어링을 통해 상기 지지축만 회전하도록 하거나,
   볼트로 상기 지지축에 결합되어 상기 지지축과 함께 회전하도록 구성하여 된 것을 특징으로 하는 잉곳 성장장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 고정판이 회전하는 경우,
   상기 제1전극 및 제2전극도 회전하며,
   상기 고정판의 하부에서 각각 제1전극과 제2전극에 접촉되어, 제1전극과 제2전극에 전원을 공급하는 제1슬립링 및 제2슬립링을 더 포함하는 잉곳 성장장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 간격유지부는,
   베어링을 통해 상기 지지축의 하측부를 회전가능하게 고정하는 고정판;
   상기 지지축을 회전시키는 모터;
   상기 하부 히터에 결합되어 하향으로 연장되는 제1전극과 제2전극;
   상기 제1전극과 제2전극이 상기 고정판과 절연된 상태로 상기 고정판의 하부측으로 관통할 수 있도록 하는 절연부싱을 포함하는 잉곳 성장장치.
6. 제1항에 있어서,
   상기 간격유지부는,
   상기 지지축에 고정되는 고정판;
   상기 도가니와 상기 고정판의 사이에 위치하는 상기 하부 히터로부터 하향으로 연장되는 제1전극 및 제2전극;
   상기 제1전극과 제2전극이 상기 고정판을 관통하되, 절연 상태로 고정하는 절연부싱; 및
   상기 고정판의 하부에서 서로 상하로 이격되게 배치되어, 상기 제1전극과 제2전극 각각에 접촉되어 전원을 공급하는 제1슬립링과 제2슬립링을 포함하는 잉곳 성장장치.
7. 제6항에 있어서,
   상기 고정판은,
   상기 지지축에 체결이 용이하도록 분판된 것을 특징으로 하는 잉곳 성장장치.
   

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