KR20190062230A - Transport vehicle - Google Patents

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KR20190062230A
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Abstract

A transport vehicle is arranged on transport equipment to transport a storage container for storing an object to be stored to a transport place installed in the transport equipment. The storage container has a light-transmittable window unit between the outside and the inside of the storage container. The transport vehicle comprises: a container retaining unit to retain the storage container; a cover unit to cover the storage container retained on the container retaining unit; a position changing unit to change the position of the container retaining unit retaining the storage container; and a detection unit to detect the object to be stored in the storage container through the window unit. The detection unit is installed on the cover unit. If the detection unit and the window unit do not face each other during transport of the storage container, the position changing unit changes the position of the container retaining unit to allow the detection unit and the window unit to face each other.

Description

반송차{TRANSPORT VEHICLE}TRANSPORT VEHICLE

본 발명은, 반송(搬送) 설비에 구비되어, 피(被)수납물을 수납하는 수납 용기를 상기 반송 설비 내에 설치된 반송 대상 장소에 반송하는 반송차에 관한 것이다.The present invention relates to a conveyance car which is provided in a conveying facility and conveys a storage container for storing a to-be-stored object to a conveyance destination place provided in the conveyance facility.

상기와 같은 반송차가 구비되는 반송 설비로서, 예를 들면 반도체 기판을 제조하기 위한 반도체 제조 설비를 들 수 있다. 통상, 반도체 제조 설비에는, 반도체 기판에 대하여 각종 처리를 행하기 위한 처리 장치가 복수 구비되어 있다. 반송차는, 이와 같은 처리 장치를 반송 대상 장소의 하나로 하여, 상기 처리 장치에, 피수납물(예를 들면, 레티클)을 수납하기 위한 수납 용기(예를 들면, 레티클 포드)를 반송하도록 구성된다.As the transportation equipment provided with the above-mentioned conveyance vehicle, for example, there can be mentioned a semiconductor manufacturing facility for manufacturing a semiconductor substrate. Usually, a semiconductor manufacturing facility is provided with a plurality of processing apparatuses for performing various types of processing on a semiconductor substrate. The transporting car is configured to transport a storage container (for example, a reticle pod) for storing the object to be picked up (for example, a reticle) to the processing apparatus by using such a processing apparatus as one of the objects to be transported.

예를 들면, 특허문헌 1(일본공개특허 평10-154646호 공보)에는, 반도체 제조 설비에 이용되는 처리 장치(노광 장치)의 내부 구조가 개시되어 있다. 특허문헌 1의 기술에서는, 처리 장치의 내부에 있어서, 레티클(R)을 이용한 노광 처리가 행해지고 있다. 그리고, 처리 장치의 내부에 있어서, 수납 분리 유닛(11)에 설치된 레티클 수납 판별 센서(15)에 의해, 수납 용기(30) 내에서의 레티클(R)의 유무를 검출하고 있다. 특허문헌 1의 기술에서는, 레티클(R)의 유무의 검출에 의해, 이미 레티클(R)이 수납되어 있는 수납 용기(30)에 대하여 다른 레티클(R)이 더 수납되는 것을 회피하고, 수납 용기(30) 내에서 레티클(R)끼리 충돌되는 것을 방지하고 있다. 이에 의해, 특허문헌 1의 기술에서는, 레티클(R)끼리의 충돌에 기인한, 수납 용기(30) 내에 있어서의 레티클(R) 파손의 억제 등이 의도되고 있다.For example, Patent Document 1 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-154646) discloses an internal structure of a processing apparatus (exposure apparatus) used in a semiconductor manufacturing facility. In the technique of Patent Document 1, exposure processing using the reticle R is performed inside the processing apparatus. The presence or absence of the reticle R in the storage container 30 is detected by the reticle storage discrimination sensor 15 provided in the storage separation unit 11 inside the processing apparatus. According to the technique of Patent Document 1, the presence or absence of the reticle R is detected to avoid further storing another reticle R in the storage container 30 in which the reticle R is already stored, 30 are prevented from colliding with each other. Thus, in the technique of Patent Document 1, it is intended to suppress damage to the reticle R in the storage container 30 due to collision of the reticles R with each other.

전술한 바와 같이, 특허문헌 1의 기술에서는, 수납 용기 내에 있어서의 피수납물의 유무의 검출이 처리 장치의 내부에서 행해지고 있다. 그런데, 그와 같은 처리 장치까지의 반송 과정에 있어서도, 수납 용기 내에 있어서의 피수납물을 검출할 수 있으면, 반송처(搬送處)의 선택이나 반송 속도의 설정 등에 유효하게 이용할 수 있다. 그러나, 특허문헌 1에는, 처리 장치의 외부, 예를 들면 반송차에 의한 반송 과정에서, 수납 용기 내부의 피수납물을 검출하는 기술에 대해서는 개시되어 있지 않다.As described above, in the technique of Patent Document 1, the presence or absence of the object to be stored in the storage container is detected inside the processing apparatus. Incidentally, even in the process of conveyance to such a processing apparatus, if the object to be collected in the container can be detected, it can be effectively used for selecting a conveying destination, setting the conveying speed, and the like. However, Patent Document 1 does not disclose a technique for detecting the object to be picked up inside the storage container in the process of transporting by the outside of the processing apparatus, for example, a transporting car.

이에, 수납 용기의 반송 중에, 상기 수납 용기에 수납된 피수납물을 검출할 수 있는 기술이 기대된다.Therefore, a technique capable of detecting the articles stored in the storage container during transportation of the storage container is expected.

상기를 감안한, 반송 설비에 구비되어, 피수납물을 수납하는 수납 용기를 상기 반송 설비 내에 설치된 반송 대상 장소에 반송하는 반송차의 특징 구성은, 상기 수납 용기는, 상기 수납 용기의 외부와 내부 사이에서 광을 투과 가능한 창부(窓部)를 가지고, 상기 반송차는, 상기 수납 용기를 유지하는 용기 유지부와, 상기 용기 유지부에 유지된 상태의 상기 수납 용기를 덮는 커버부와, 상기 수납 용기를 유지한 상태의 상기 용기 유지부의 자세를 변경하는 자세 변경부와, 상기 창부를 통하여 상기 수납 용기 내부의 상기 피수납물을 검출하는 검출부를 포함하고, 상기 검출부는 상기 커버부에 설치되고, 상기 자세 변경부는, 상기 수납 용기의 반송 중에 상기 검출부와 상기 창부가 대향하고 있지 않은 경우에는, 상기 검출부와 상기 창부가 대향하는 대향 상태로 되도록, 상기 용기 유지부의 자세를 변경하는 점에 있다.In consideration of the above, a characteristic feature of the conveyance car, which is provided in the conveyance equipment and conveys the storage container for storing the object to be stored to a conveyance target place provided in the conveyance facility, is characterized in that the storage container is provided between the outside and the inside of the storage container Wherein the conveying carriage has a container holding portion for holding the container, a cover portion for covering the container holding portion in a state held by the container holding portion, And a detector for detecting the object to be picked up in the container via the window, wherein the detector is provided on the cover, and the posture of the container When the detection unit and the window unit are not opposed to each other during the transportation of the storage container, the changing unit may be configured such that the detection unit and the window unit are opposed to each other State that, in the point of changing the posture holding the container portion.

본 구성에 의하면, 수납 용기가 용기 유지부에 유지된 상태로 반송되고 있는 도중에, 커버부에 구비된 검출부에 의해, 수납 용기 창부를 통하여 상기 수납 용기 내부의 피수납물을 검출할 수 있다. 또한, 이와 같은 피수납물의 검출 시에, 검출부와 수납 용기 창부가 대향하고 있지 않은 경우에는, 자세 변경부에 의해 용기 유지부의 자세를 변경하고, 검출부와 수납 용기 창부를 대향 상태로 함으로써, 검출부에 의해 수납 용기 내부의 피수납물을 검출할 수 있다. 따라서, 반송 중의 수납 용기의 방향에 관계없이, 수납 용기 내부의 피수납물을 검출할 수 있다.According to this configuration, while the storage container is being transported while being held by the container holding portion, the object to be stored in the storage container can be detected through the storage container window portion by the detection portion provided in the cover portion. When the detecting section and the storage container window section are not opposed to each other at the time of detection of the object to be stored, the attitude of the container holding section is changed by the posture changing section, and the detection section and the storage container window section are opposed to each other. It is possible to detect the object to be collected inside the container. Therefore, irrespective of the direction of the storage container during transportation, the object to be stored in the storage container can be detected.

본 개시에 관한 기술의 새로운 특징과 이점은, 도면을 참조하여 기술하는 이하의 예시적이고 또한 비한정적인 실시형태의 설명에 의해 보다 명확해질 것이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The novel features and advantages of the present technology will become more apparent from the following description of exemplary and non-limiting embodiments,

[도 1] 반송 설비의 레이아웃 일례를 나타내는 평면도이다.
[도 2] 수납 용기가 이송탑재(移載)되는 모양을 나타내는 설명도이다.
[도 3] 반송차의 측면도이다.
[도 4] 반송 설비의 제어 블록도이다.
[도 5] 수납 용기 창부와 검출부의 배치 관계를 나타내는 평면 모식도이다.
[도 6] 반송차의 동작 처리를 나타내는 플로차트다.
[도 7] 확인 처리를 나타내는 플로차트다.
[도 8] 제2 실시형태에 관한 반송처 자세 변경 처리의 실행 시기의 판정 처리를 나타내는 플로차트다.1 is a plan view showing an example of layout of a transportation equipment.
Fig. 2 is an explanatory view showing a state in which the storage container is transferred; Fig.
3 is a side view of the conveyance car.
Fig. 4 is a control block diagram of the transportation equipment. Fig.
5 is a plan view schematically showing the arrangement relationship between the storage container window and the detection unit.
6 is a flowchart showing an operation process of the carriage.
[Fig. 7] A flowchart showing the confirmation process.
8 is a flowchart showing determination processing of the execution timing of the carrier position change processing according to the second embodiment.

1. 제1 실시형태1. First Embodiment

제1 실시형태에 관한 반송차에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 1 및 2에 나타낸 바와 같이, 반송차(1)는 반송 설비(100)에 구비되어 있다. 반송차(1)는, 피수납물(7)을 수납하는 수납 용기(8)를 반송 설비(100) 내에 설치된 반송 대상 장소(T)에 반송한다.The carriage according to the first embodiment will be described with reference to the drawings. As shown in Figs. 1 and 2, the conveyance car 1 is provided in the conveyance facility 100. Fig. The transport vehicle 1 transports the storage container 8 for storing the object 7 to the transport destination place T provided in the transport facility 100. [

본 실시형태에서는, 반송차(1)는, 수납 용기(8)로서의 제1종 수납 용기(81)에 더하여, 이 제1종 수납 용기(81)와는 형상이 상이한 제2종 수납 용기(82)를 반송한다. 그리고, 제2종 수납 용기(82)에는, 피수납물(7)로서의 제1종 피수납물(71)과는 상이한 제2종 피수납물(72)이 수납된다. 이와 같이, 반송차(1)는, 제1종 피수납물(71)을 수납하기 위한 제1종 수납 용기(81)와, 제2종 피수납물(72)을 수납하기 위한 제2종 수납 용기(82)를 반송한다. 반송 설비(100)는, 예를 들면 반도체 기판을 제조하기 위한 반도체 제조 설비에 적용할 수 있다. 이 경우, 반송차(1)는, 반도체 제조 설비에 있어서 각종 물품을 반송하기 위해 이용된다. 이하, 반송차(1) 및 반송 설비(100)가 반도체 제조 설비에 적용되는 경우를 예로 설명한다.In the present embodiment, the conveying car 1 includes a first sort storage container 81 as a storage container 8, a second sort storage container 82 having a shape different from that of the first sort storage container 81, . The second kind storage container 82 stores a second kind storage object 72 different from the first kind storage object 71 as the storage object 7. As described above, the conveyance car 1 is provided with the first kind storage container 81 for storing the first kind storage object 71 and the second kind storage container 81 for storing the second kind storage object 72, And the container 82 is transported. The transport facility 100 can be applied to, for example, a semiconductor manufacturing facility for manufacturing a semiconductor substrate. In this case, the conveyance car 1 is used for conveying various articles in the semiconductor manufacturing facility. Hereinafter, a case in which the transport vehicle 1 and the transport facility 100 are applied to a semiconductor manufacturing facility will be described as an example.

1-1. 반송 설비 및 반송차의 기계적 구성1-1. Mechanical construction of conveying equipment and conveying car

도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 설비(100)에는, 노광 처리나 에칭 처리 등의 각종 처리를 행하기 위한 처리 장치(91)가 복수 설치되어 있다. 반송 설비(100)에서는, 반도체 기판의 재료로 되는 웨이퍼나, 반도체 기판의 제조 과정에서 웨이퍼의 노광 처리에 이용되는 레티클 등이 반송된다. 예를 들면, 레티클은, 레티클 포드라고 불리는 전용 용기에 수납된 상태로 반송된다. 또한, 웨이퍼는, 소위 FOUP(Front Opening Unified Pod)라고 불리는 전용 용기에 수납된 상태로 반송된다. 본 실시형태에서는, 레티클이 「제1종 피수납물」에 상당하고, 레티클을 수납하기 위한 레티클 포드가 「수납 용기로서의 제1종 수납 용기」에 상당한다. 또한, 웨이퍼가 「제2종 피수납물」에 상당하고, FOUP가 「제2종 수납 용기」에 상당한다. 그리고, 반송차(1)는 상황에 따라서, 제1종 피수납물(71)이 수납된 제1종 수납 용기(81)를 반송하는 경우도 있으면, 제1종 피수납물(71)이 수납되어 있지 않은 빈 제1종 수납 용기(81)를 반송하는 경우가 있다. 마찬가지로, 반송차(1)는 상황에 따라서, 제2종 피수납물(72)이 수납된 제2종 수납 용기(82)를 반송하는 경우도 있으면, 제2종 피수납물(72)이 수납되어 있지 않은 빈 제2종 수납 용기(82)를 반송하는 경우가 있다.As shown in Fig. 1, a plurality of processing apparatuses 91 for performing various processes such as exposure processing and etching processing are provided in the transport facility 100. As shown in Fig. In the transport facility 100, a wafer which is a material of a semiconductor substrate and a reticle used for exposure processing of the wafer in the course of manufacturing the semiconductor substrate are transported. For example, the reticle is transported in a state of being housed in a dedicated container called a reticle pod. Further, the wafer is transported in a state of being housed in a so-called front opening unified pod (FOUP). In this embodiment, the reticle corresponds to the " first kind receiving article ", and the reticle pod for receiving the reticle corresponds to the " first kind storage container as a storage container ". Further, the wafer corresponds to the " second kind receiving article ", and the FOUP corresponds to the " second kind receiving container ". The conveyance car 1 may convey the first kind storage container 81 in which the first kind storage object 71 is stored according to the circumstances, There is a case where the empty first-class storage container 81 is not carried. Likewise, the conveyance car 1 may convey the second kind storage container 82 in which the second kind storage object 72 is housed, depending on the situation, There is a case where the empty second-class storage container 82 is not carried.

도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 설비(100)에는, 제1종 수납 용기(81)[제1종 피수납물(71)] 또는 제2종 수납 용기(82)[제2종 피수납물(72)]를 보관하기 위한 보관고(92)와, 제1종 수납 용기(81) 및 제2종 수납 용기(82)를 일시적으로 보관하기 위한 일시 보관 장소(93)가 설치되어 있다. 보관고(92)에는, 예를 들면 사용 전 또는 사용 후의 제1종 피수납물(71)이 수납된 제1종 수납 용기(81)나, 제조 도중의 제2종 피수납물(72)이 수납된 제2종 수납 용기(82)가 보관된다. 또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 일시 보관 장소(93)는, 예를 들면 처리 장치(91)의 근방에 설치된다. 예를 들면 일시 보관 장소(93)에는, 다른 제2종 피수납물(72)이 처리 장치(91)에 의해 처리되고 있는 동안, 다음에 처리되는 것을 기다리는 제2종 피수납물(72)이, 제2종 수납 용기(82)에 수납된 상태에서 일시적으로 보관된다. 또는, 제2종 피수납물(72)의 처리가 종료되는 것을 기다리는 빈 제2종 수납 용기(82)가 일시적으로 보관된다. 또한, 제1종 피수납물(71)의 처리가 종료되는 것을 기다리는 빈 제1종 수납 용기(81)가 일시적으로 보관되는 경우도 있다. 본 실시형태에서는, 처리 장치(91), 보관고(92) 및 일시 보관 장소(93) 중 어느 하나가, 「반송원(搬送元)」으로 되고, 상기 반송원 이외 중 어느 하나가 「반송처」로서의 반송 대상 장소(T)로 된다. 즉, 반송차(1)는, 제1종 수납 용기(81)[제1종 피수납물(71)] 또는 제2종 수납 용기(82)[제2종 피수납물(72)]를, 반송원(F)으로 되는 처리 장치(91), 보관고(92), 및 일시 보관 장소(93) 중 어느 하나로부터, 반송 대상 장소(T)가 되는 별도의 처리 장치(91), 보관고(92) 및 일시 보관 장소(93) 중 어느 하나에 반송한다.1, the transport apparatus 100 is provided with a first sort storage container 81 (a first-type storage object 71) or a second sort storage container 82 (a second-type storage object 72) and a temporary storage place 93 for temporarily storing the first kind storage container 81 and the second kind storage container 82 are provided. In the storage bin 92, for example, a first kind storage container 81 in which the first kind storage object 71 before use or after use is stored, and a second kind storage object 72 in the middle of the production, The second type storage container 82 is stored. 1, the temporary storage place 93 is provided near the processing device 91, for example. For example, in the temporary storage place 93, while the other type II collected object 72 is being processed by the processing device 91, the second kind object 72 to be next processed is stored , And stored temporarily in the second type storage container (82). Alternatively, the empty second-type storage container 82 waiting for the completion of the processing of the second-type carried object 72 is temporarily stored. There is also a case where the empty first-class storage container 81 waiting for the completion of the processing of the first-type object 71 to be stored is temporarily stored. In this embodiment, any one of the processing apparatus 91, the stocker 92, and the temporary storage place 93 is referred to as a " transfer destination " (T) as a transport destination. That is to say, the conveyance car 1 is provided with the first sort storage container 81 (the first kind storage object 71) or the second kind storage container 82 (the second kind storage object 72) A separate processing device 91 and a stocker 92 which are to be transport destination places T are disposed from any one of the processing apparatus 91 as the transport source F, the stocker 92, and the temporary storage place 93, And the temporary storage place (93).

반송차(1)는, 반송원(F)과의 사이에서 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)의 이송탑재(받음)를 행하고, 반송 대상 장소(T)와의 사이에서 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)의 이송탑재(건넴)를 행한다. 여기에서, 본 실시형태에 있어서 「이송탑재」란, 반송차(1)와 반송원(F) 또는 반송 대상 장소(T)과의 사이에서, 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)의 주고받음을 행하는 것을 말하는 것으로 한다. 또한, 본 실시형태에 있어서 「반송」이란, 반송원(F)에 대응하는 위치로부터 반송 대상 장소(T)에 대응하는 위치까지 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)를 이동시키는 것을 말하는 것으로 한다. 예를 들면, 반송차(1)는, 반송원(F)에 대응하는 위치에 있어서 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)를 이송탑재한 후(받은 후), 반송 대상 장소(T)에 대응하는 위치를 향하여 반송을 개시한다. 그리고, 반송차(1)는, 반송 대상 장소(T)에 대응하는 위치에 도달함으로써 반송을 종료하고, 또한 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)를 이송탑재한다(넘겨줌).The transfer car 1 carries the transfer (receiving) of the first kind storage container 81 or the second kind storage container 82 between the transfer source F and the transfer source F, The first kind storage container 81 or the second kind storage container 82 is loaded and unloaded. Here, in the present embodiment, the term " conveyance mounting " means that between the conveyance carriage 1 and the conveyance source F or the conveyance target site T, the first sort storage container 81 or the second sort storage And the container 82 is exchanged. In the present embodiment, the term " carrying " means that the first kind storage container 81 or the second kind storage container 82 is moved from the position corresponding to the transfer origin F to the position corresponding to the transfer destination place T, Is to be moved. For example, the transport vehicle 1 transports (after receiving) the first kind storage container 81 or the second kind storage container 82 at a position corresponding to the transfer source F, And starts transporting toward a position corresponding to the target place T. Then, the conveyance car 1 reaches the position corresponding to the conveyance target place T, and the conveyance is terminated, and the first kind storage container 81 or the second kind storage container 82 is transported and mounted Hand it over).

도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 반송차(1)는 처리 장치(91), 보관고(92) 및 일시 보관 장소(93) 등의 복수의 반송 대상 장소(T)[또는 반송원(F)]을 경유하는 반송 경로(99)를 따라 주행하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 반송 경로(99)는 설비의 천장에 매달린 주행 레일(Ra)에 의해 구성되며, 반송차(1)는 천장 반송차로서 구성되어 있다.1 to 3, the conveyance vehicle 1 is provided with a plurality of conveyance destination places T (or a conveyance source F) such as a processing device 91, a storage bin 92 and a temporary storage place 93, To the conveying path 99 via the conveying path 99. In the present embodiment, the conveying path 99 is constituted by a running rail Ra suspended from the ceiling of the equipment, and the conveying car 1 is constituted as a ceiling conveying car.

반송원(F) 또는 반송 대상 장소(T)로서의 처리 장치(91), 보관고(92) 및 일시 보관 장소(93)의 각각은, 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)를 탑재하기 위한 탑재대(St)(스테이션)를 가지고 있다. 여기서는, 각 탑재대(St)는 반송 경로(99)[주행 레일(Ra)]와 평면에서 볼 때 겹치도록 배치되어 있다. 예를 들면, 처리 장치(91)에 있어서 레티클[제1종 피수납물(71)]을 이용한 노광 처리가 행해지는 경우, 도 2에 나타낸 바와 같이, 처리 장치(91)에는, 레티클[제1종 피수납물(71)]이 탑재되기 위한 제1종 탑재대(St1)와, 웨이퍼[제2종 피수납물(72)]가 탑재되기 위한 제2종 탑재대(St2)가 설치된다. 제1종 탑재대(St1)의 하방에는, 처리 장치(91)의 내부에서 승강 가능한 승강대(91A)가 구비되어 있다. 또한, 처리 장치(91)의 처리부(91C)에 있어서의 제2종 탑재대(St2)에 인접하는 부분에는, 상기 처리부(91C)의 내부와 연통하는 도어부(91B)가 구비되어 있다.Each of the processing apparatus 91, the stocker 92 and the temporary storage place 93 as the transfer source F or the transfer destination place T is provided with the first kind storage container 81 or the second kind storage container 82 (St) (station) for mounting the light emitting diode (LED). Here, the respective stands St are arranged so as to overlap with the conveying path 99 (running rail Ra) when viewed in a plan view. For example, in the case where exposure processing using the reticle (first-type object 71) is performed in the processing apparatus 91, as shown in Fig. 2, the processing apparatus 91 is provided with a reticle A first type worktable St1 for mounting the workpieces 71 and a second type workpiece St2 for mounting a wafer (second type workpieces 72). Below the first-type worktable St1, a platform 91A capable of ascending and descending is provided inside the processing apparatus 91. [ A door portion 91B communicating with the inside of the processing portion 91C is provided at a portion of the processing portion 91C of the processing device 91 adjacent to the second type worktable St2.

여기에서, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 제1종 수납 용기(81)(레티클 포드)는 본체부(81A)와, 상기 본체부(81A)로부터 위쪽으로 돌출하는 플랜지부(81B)와, 제1종 수납 용기(81)의 바닥부를 구성하고 또한 본체부(81A)에 대하여 착탈(着脫) 가능한 바닥 커버부(81C)를 가지고 있다. 제1종 피수납물(71)은 바닥 커버부(81C)에 탑재된 상태로 제1종 수납 용기(81)에 수납된다. 제1종 피수납물(71)을 수납하고 있는 제1종 수납 용기(81)가 처리 장치(91)의 제1종 탑재대(St1)에 탑재된 경우에는, 도시하지 않은 커버부 착탈 장치에 의해 제1종 피수납물(71)마다 바닥 커버부(81C)가 분리된다. 그리고, 바닥 커버부(81C)와 이것에 탑재된 제1종 피수납물(71)은, 승강대(91A)에 맡겨지고 하강하여, 처리 장치(91)의 처리부(91C) 내로 운반된다. 그리고, 제1종 피수납물(71)(레티클)은, 처리 장치(91)의 처리부(91C) 내에서 제2종 피수납물(72)(웨이퍼)의 처리에 이용된다.2 and 3, the first kind storage container 81 (reticle pod) includes a main body portion 81A, a flange portion 81B protruding upward from the main body portion 81A, And a bottom cover portion 81C constituting the bottom portion of the first type storage container 81 and detachable from the main body portion 81A. The first-class object 71 to be contained is housed in the first-kind storage container 81 in a state of being mounted on the bottom cover portion 81C. When the first kind storage container 81 housing the first-type stored matter 71 is mounted on the first-type mounting table St1 of the processing apparatus 91, a cover attachment / detachment device So that the bottom cover portion 81C is separated for each of the first-class objects 71 to be received. The bottom cover portion 81C and the first-type object 71 to be placed thereon are left in the platform 91A and descend and are transported into the processing portion 91C of the processing device 91. [ The first-type object 71 (reticle) is used for processing the second-type object 72 (wafer) in the processing section 91C of the processing apparatus 91. [

또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제2종 수납 용기(82)(FOUP)는, 본체부(82A)와, 상기 본체부(82A)로부터 위쪽으로 돌출하는 플랜지부(82B)와, 제2종 수납 용기(82)의 측벽부를 구성하고 또한 본체부(82A)에 대하여 착탈 가능한 사이드커버부(82C)를 가지고 있다. 제2종 피수납물(72)을 수납하고 있는 제2종 수납 용기(82)가 처리 장치(91)의 제2종 탑재대(St2)에 탑재된 경우에는, 도시하지 않은 커버부 착탈 장치에 의해 사이드커버부(82C)가 분리된다. 그리고, 제2종 피수납물(72)이 제2종 수납 용기(82)로부터 취출되어, 도어부(91B)을 통하여 처리 장치(91)의 처리부(91C) 내로 운반된다. 그리고, 제2종 피수납물(72)(웨이퍼)은, 처리 장치(91)의 처리부(91C) 내에서 처리된다.2, the second kind storage container 82 (FOUP) includes a main body portion 82A, a flange portion 82B protruding upward from the main body portion 82A, And a side cover portion 82C constituting a side wall portion of the storage container 82 and detachable from the main body portion 82A. In the case where the second kind storage container 82 containing the second type of stored object 72 is mounted on the second type mounting table St2 of the processing apparatus 91, The side cover portion 82C is separated. The second-type object 72 to be received is taken out of the second kind storage container 82 and is transported into the processing portion 91C of the processing device 91 through the door portion 91B. Then, the second-type article 72 to be held (wafer) is processed in the processing section 91C of the processing apparatus 91.

처리 장치(91)에 있어서의 처리가 종료되면, 제1종 피수납물(71)(레티클)은 제1종 수납 용기(81)(레티클 포드)로 되돌아가고, 제2종 피수납물(72)(웨이퍼)은 제2종 수납 용기(82)(FOUP)로 되돌아간다. 그리고, 제1종 수납 용기(81) 및 제2종 수납 용기(82)는, 반송차(1)에 의해 다음 반송 대상 장소(T)로 반송된다. When the processing in the processing device 91 is completed, the first-type object 71 (reticle) returns to the first kind storage container 81 (reticle pod), and the second-type object 72 (Wafer) returns to the second kind storage container 82 (FOUP). The first kind storage container 81 and the second kind storage container 82 are transported to the next transport destination place T by the transport vehicle 1. [

도 3에 나타낸 바와 같이, 반송차(1)는 차체 주행부(11)와, 차체 본체부(13)와, 이들 차체 주행부(11)와 차체 본체부(13)를 연결하는 연결부(12)를 포함하고 있다. 차체 주행부(11)는, 주행 레일(Ra)의 상측에 배치되어 있다. 차체 본체부(13)는, 연결부(12)에 의해 차체 주행부(11)에 연결되어, 주행 레일(Ra)의 하측에 배치되어 있다.3, the conveyance vehicle 1 includes a body-driving portion 11, a body-body portion 13, a connecting portion 12 connecting the body-driving portion 11 and the body-body portion 13, . The vehicle body traveling portion 11 is arranged on the upper side of the running rail Ra. The vehicle body portion 13 is connected to the vehicle body traveling portion 11 by the connecting portion 12 and is disposed below the running rail Ra.

차체 주행부(11)는, 주행 레일(Ra) 상을 전동(轉動)하는 복수의 주행륜(11A)을 가지고 있다. 복수의 주행륜(11A) 중 적어도 어느 하나는, 주행용 모터(11M)에 의해 구동되어 주행 레일(Ra) 상을 전동한다.The vehicle body traveling part 11 has a plurality of traveling wheels 11A which roll on the traveling rails Ra. At least one of the plurality of traveling wheels 11A is driven by the traveling motor 11M to rotate on the traveling rail Ra.

또한, 반송차(1)는, 제1종 수납 용기(81)를 유지하는 용기 유지부(14)과, 용기 유지부(14)에 유지된 상태의 제1종 수납 용기(81)를 덮는 커버부(17)와, 제1종 수납 용기(81)를 유지한 상태의 용기 유지부(14)의 자세를 변경하는 자세 변경부(15)를 포함하고 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 반송차(1)는, 용기 유지부(14)를 승강시키는 승강부(16)를 포함하고 있다.The carriage 1 also includes a container holding portion 14 for holding the first kind storage container 81 and a cover 18 for covering the first kind storage container 81 held in the container holding portion 14, And a posture changing section 15 for changing the posture of the container holding section 14 in a state in which the first sort storage container 81 is held. In this embodiment, the conveyance carriage 1 includes a lift portion 16 for lifting the container holding portion 14 upward.

또한, 용기 유지부(14)는, 제1종 수납 용기(81)의 피파지부를 파지하는 것에 의해, 상기 제1종 수납 용기(81)를 유지하도록 구성되어 있다. 용기 유지부(14)는, 제1종 수납 용기(81)의 피파지부인 플랜지부(81B)를 파지하는 한 쌍의 파지 클로(claw)(14A)와, 한 쌍의 파지 클로(14A)를 구동하는 파지용 모터(14M)(도 4 참조)를 가지고 있다. 한 쌍의 파지 클로(14A)는 파지용 모터(14M)에 의해 구동되어, 서로 접근하는 방향으로 이동하여 플랜지부(81B)를 파지하는 파지 자세와, 서로 이격되는 방향으로 이동하여 플랜지부(81B)에 대한 파지를 해제하는 해제 자세로 변경 가능하게 구성되어 있다.Further, the container holding portion 14 is configured to hold the first kind storage container 81 by holding the fingerprint portion of the first kind storage container 81. The container holding portion 14 includes a pair of grip claws 14A for gripping the flange portion 81B which is a fingerprint portion of the first kind storage container 81 and a pair of grip claws 14A And a holding motor 14M (see Fig. 4) for driving. The pair of grip claws 14A are driven by the gripping motor 14M to move in a direction approaching each other to move in a gripping posture in which the flange portion 81B is gripped and in a direction in which the gripping claws 14A are separated from each other, To the releasing posture for releasing the gripping of the gripping member.

승강부(16)는, 용기 유지부(14) 및 이것에 유지된 제1종 수납 용기(81)를 승강시킨다. 승강부(16)는, 도 3에 나타내는 홈 포지션 HP와, 도 2에 나타내는 이송탑재 포지션 TP 사이에서 용기 유지부(14)를 승강시키는 것이 가능하게 구성되어 있다. 홈 포지션 HP는, 승강 범위에 있어서의 위쪽 위치로서, 용기 유지부(14)에 의해 유지하고 있는 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)가 커버부(17)에 덮힌 상태로 되는 위치이다. 이송탑재 포지션 TP는, 승강 범위에 있어서의 아래쪽 위치로서, 용기 유지부(14)에 의해 유지되고 있는 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)의 바닥부가 탑재대(St)에 접하는 높이로 되는 위치이다. 본 실시형태에서는, 승강부(16)는 용기 유지부(14)에 연결된 승강 벨트(16A)와, 승강 벨트(16A)가 감기는 승강 드럼(16B)과, 승강 드럼(16B)을 회전 구동시키는 승강용 모터(16M)를 가지고 있다. 승강용 모터(16M)에 의해 승강 드럼(16B)이 구동되는 것에 의해, 승강 벨트(16A)의 감기 또는 풀기가 행해지고, 용기 유지부(14)가 승강한다. 또한, 본 실시형태에서는, 승강부(16)는, 용기 유지부(14)의 승강량을 검출하는 승강량 센서(16S)를 더 가지고 있다(도 4 참조). 승강량 센서(16S)는, 예를 들면 승강 드럼(16B)의 회전수나 회전하는 시간 등에 기초하여 용기 유지부(14)의 승강량을 검출 가능하게 구성되어 있다. 반송차(1)는 승강량 센서(16S)에 의해, 상하 방향에 있어서의 용기 유지부(14)의 위치를 파악 가능하게 되어 있다. 이에 의해, 반송차(1)는, 용기 유지부(14)가 홈 포지션 HP에 있는지의 여부, 또는, 이송탑재 포지션 TP에 있는지의 여부도 파악 가능하게 되어 있다.The lifting and lowering portion 16 lifts the container holding portion 14 and the first kind storage container 81 held thereon. The elevating portion 16 is configured to be able to raise and lower the container holding portion 14 between the home position HP shown in Fig. 3 and the conveyance mounting position TP shown in Fig. The home position HP is an upper position in the lifting range and the first kind storage container 81 or the second kind storage container 82 held by the container holding portion 14 is covered with the cover portion 17 State. The transfer position TP is a position below the elevation range so that the bottom portion of the first kind storage container 81 or the second kind storage container 82 held by the container holding portion 14 is placed on the table St ) In a direction perpendicular to the plane of the substrate. In this embodiment, the elevating portion 16 includes a lifting belt 16A connected to the container holding portion 14, an elevating drum 16B around which the elevating belt 16A is wound, and an elevating drum 16B for rotating the elevating drum 16B And a lifting motor 16M. The lifting and lowering drum 16B is driven by the lifting motor 16M to wind or lift the lifting belt 16A so that the container holding portion 14 is raised and lowered. Further, in the present embodiment, the elevation portion 16 further includes an elevation amount sensor 16S for detecting the elevation amount of the vessel holding portion 14 (see Fig. 4). The ascending / descending amount sensor 16S is configured to be able to detect the amount of ascending / descending of the container holding portion 14 based on, for example, the number of revolutions of the ascending / descending drum 16B, The conveying car 1 can ascertain the position of the container holding portion 14 in the vertical direction by the elevation sensor 16S. Thereby, the conveyance carriage 1 can grasp whether the container holding section 14 is at the home position HP or whether or not the container holding section 14 is at the transfer position TP.

커버부(17)는, 반송차(1)의 주행 방향의 앞쪽에 설치된 전부(前部)(17A)와, 뒤쪽에 설치된 후부(後部)(17C)와, 전부(17A)과 후부(17C)를 연결하는 중간부(17B)를 가지고 있다. 전부(17A)는, 홈 포지션 HP에 있는 용기 유지부(14)를 주행 방향의 앞쪽으로부터 덮고 있다. 후부(17C)는, 홈 포지션 HP에 있는 용기 유지부(14)를 주행 방향의 뒤쪽으로부터 덮고 있다. 중간부(17B)는, 홈 포지션 HP에 있는 용기 유지부(14)를 위쪽으로부터 덮고 있다. 본 실시형태에서는, 커버부(17)는, 평면에서 볼 때 주행 방향으로 직교하는 폭 방향의 일방측으로부터 홈 포지션 HP에 있는 용기 유지부(14)를 덮는 측부(側部)(17D)를 더 가지고 있다. 측부(17D)의 전단부(前端部)는 커버부(17)의 앞쪽에 있어서 전부(17A)와 연결되어 있다. 측부(17D)의 후단부(後端部)는 커버부(17)의 뒤쪽에 있어서 후부(17C)와 연결되어 있다. 측부(17D)의 상단부는 커버부(17) 상측에 있어서 중간부(17B)와 연결되어 있다. 바꾸어 말하면, 커버부(17)는, 평면에서 볼 때 주행 방향에 직교하는 폭 방향의 일방측 및 하방이 개방된 형상으로 되어 있다.The cover portion 17 includes a front portion 17A provided at the front side in the traveling direction of the conveyance car 1 and a rear portion 17C provided at the rear side and a front portion 17A and a rear portion 17C, And an intermediate portion 17B for connecting the intermediate portion 17B. The front portion 17A covers the container holding portion 14 at the home position HP from the front in the running direction. The rear portion 17C covers the container holding portion 14 at the home position HP from the rear in the running direction. The intermediate portion 17B covers the container holding portion 14 at the home position HP from above. In the present embodiment, the cover portion 17 is provided with a side portion 17D covering the container holding portion 14 at the home position HP from one side in the width direction orthogonal to the running direction when viewed in plan view Have. The front end portion of the side portion 17D is connected to the front portion 17A on the front side of the cover portion 17. [ The rear end portion of the side portion 17D is connected to the rear portion 17C at the rear side of the cover portion 17. The upper end of the side portion 17D is connected to the intermediate portion 17B on the upper side of the cover portion 17. [ In other words, the cover portion 17 has a shape in which one side in the width direction orthogonal to the running direction when viewed from the plane and the lower side are opened.

본 실시형태에서는, 용기 유지부(14) 및 커버부(17)는 제1종 수납 용기(81)에 더하여, 제1종 수납 용기(81)와는 형상이 상이한 제2종 수납 용기(82)에도 대응하고 있다. 즉, 용기 유지부(14)는 제1종 수납 용기(81)에 더하여, 제2종 수납 용기(82)를 유지 가능하게 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 용기 유지부(14)는 한 쌍의 파지 클로(14A)에 의해, 제2종 수납 용기(82)의 플랜지부(82B)(도 2 참조)를 파지 가능하게 구성되어 있다. 또한, 커버부(17)는, 제1종 수납 용기(81)에 더하여, 제2종 수납 용기(82)를 덮는 것이 가능하게 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 커버부(17)는, 홈 포지션 HP에 있는 용기 유지부(14)에 의해 유지된 상태의 제2종 수납 용기(82)를 덮는 것이 가능하게 구성되어 있다.In the present embodiment, the container holding portion 14 and the cover portion 17 are provided in addition to the first kind storing container 81 and the second kind storing container 82 having a shape different from that of the first kind storing container 81 . That is, the container holding portion 14 is configured to be capable of holding the second kind storage container 82 in addition to the first kind storage container 81. More specifically, the container holding portion 14 is structured such that the flange portion 82B (see Fig. 2) of the second kind storage container 82 can be held by the pair of holding claws 14A. The cover portion 17 is configured to cover the second species storage container 82 in addition to the first species storage container 81. [ More specifically, the cover portion 17 is configured to cover the second kind storage container 82 held by the container holding portion 14 at the home position HP.

여기에서, 각 반송원(F), 또는 각 반송 대상 장소(T)에는, 이들의 각 장소에 이송탑재할 때의 제1종 수납 용기(81)의 자세가 미리 설정되어 있다. 예를 들면, 각 처리 장치(91)에 관해서는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 처리 장치(91)의 처리부(91C) 내에서 이용될 때의 제1종 피수납물(71)의 방향에 따라서, 제1종 수납 용기(81)가 이송탑재될 때의 자세가 설정되어 있다. 이에 의해, 각 처리 장치(91)에서 적절한 처리가 행해진다. 그리고, 각 보관고(92) 및 각 일시 보관 장소(93)에 관해서도 마찬가지로, 제1종 수납 용기(81)가 이송탑재될 때의 자세가 설정되어 있다. 이하에서는, 제1종 수납 용기(81)가 이송탑재될 때의 각 반송원(F), 또는 각 반송 대상 장소(T)에 대응한 자세를 「이송탑재 자세 TA」라고 칭한다. 또한, 반송원(F)과 반송 대상 장소(T)에 있어서의 이송탑재 자세 TA를 구별하는 경우에는, 반송원(F)에 대응한 자세를 「반송원 이송탑재 자세 TAF」라고 하고, 반송처로서의 반송 대상 장소(T)에 대응한 자세를 「반송처 이송탑재 자세 TAT」라고 칭하여 설명한다.Here, the posture of the first kind storage container 81 is set in advance in each of the conveying circles F or each conveying destination place T at each of these places. For example, as shown in Fig. 2, each of the processing apparatuses 91 is arranged in the direction of the first kind object 71 to be used in the processing section 91C of the processing apparatus 91 Therefore, the attitude when the first kind storage container 81 is transported and mounted is set. Thereby, appropriate processing is performed in each processing apparatus 91. Similarly, the positions of the first sort storage container 81 when the first sort storage container 81 is loaded and unloaded are set for each storage bin 92 and each temporary storage bin 93. Hereinafter, the posture corresponding to each conveyance source F or each conveyance target place T when the first kind storage container 81 is conveyed and mounted is referred to as a " conveyance mounting posture TA ". In the case of distinguishing the feeder mounting position TA in the feeder F and the feeder position T, the posture corresponding to the feeder F is referred to as a "feeder feeder mounting posture TAF" The posture corresponding to the conveyance destination place T as the conveyance destination conveyance posture TAT will be referred to as " conveyance destination conveyance posture TAT ".

자세 변경부(15)는, 제1종 수납 용기(81)를 유지한 상태의 용기 유지부(14)의 자세를 변경한다. 바꾸어 말하면, 자세 변경부(15)는, 용기 유지부(14)를 통하여, 제1종 수납 용기(81)의 자세를 변경한다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 자세 변경부(15)는 선회축(15A)과, 선회축(15A)을 구동하는 선회용 모터(15M)를 가지고 있다. 자세 변경부(15)는, 선회축(15A) 주위에 용기 유지부(14)를 선회시키도록 구성되어 있다. 여기서는, 자세 변경부(15)는, 용기 유지부(14)가 제1종 수납 용기(81)를 유지하고 있는 상태에서, 용기 유지부(14)를 통하여, 제1종 수납 용기(81)의 자세를 선회축(15A) 주위로 변경하도록 구성되어 있다. 본 예에서는, 선회축(15A)은 상하 방향을 따라 배치되어 있다. 즉, 본 실시형태에 있어서, 선회축(15A)을 따른 방향 L(또는, 축방향 L이라고도 함)은 상하 방향과 동등하고, 또한, 높이 방향이라고 바꿔 말할 수도 있다. 다만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 선회축(15A)은, 상하 방향에 대하여 교차하는 방향을 따라 배치되어 있어도 된다. 또한, 본 실시형태에서는, 자세 변경부(15)는 용기 유지부(14)의 선회량을 검출하는 선회량 센서(15S)를 더 가지고 있다(도 4 참조). 선회량 센서(15S)는, 예를 들면 선회축(15A)의 회전수나 회전하는 시간 등에 기초하여 용기 유지부(14)의 선회량을 검출 가능하게 구성되어 있다.The posture changing section 15 changes the posture of the container holding section 14 in a state in which the first sort storage container 81 is held. In other words, the posture changing section 15 changes the posture of the first species storing container 81 through the container holding section 14. [ As shown in Fig. 3, in this embodiment, the posture changing section 15 has a pivot shaft 15A and a pivoting motor 15M for driving the pivot shaft 15A. The posture changing section 15 is configured to pivot the container holding section 14 around the pivot shaft 15A. Here, the posture changing section 15 is configured to change the position of the first kind storage container 81 through the container holding section 14 in a state in which the container holding section 14 holds the first kind storage container 81 And the posture is changed around the pivot shaft 15A. In this example, the pivot shaft 15A is arranged along the vertical direction. That is, in the present embodiment, the direction L (or the axial direction L) along the pivotal axis 15A is equivalent to the up-and-down direction and may also be referred to as the height direction. However, the present invention is not limited to this configuration, and the pivot shaft 15A may be disposed along a direction crossing the up and down direction. Further, in the present embodiment, the posture changing section 15 further includes a turning amount sensor 15S for detecting the turning amount of the container holding section 14 (see Fig. 4). The turning amount sensor 15S is configured to be able to detect the turning amount of the container holding portion 14 based on, for example, the number of revolutions of the pivot shaft 15A, the rotating time, and the like.

여기에서, 도 3에 나타낸 바와 같이, 제1종 수납 용기(81)는, 상기 제1종 수납 용기(81)의 외부와 내부 사이에서 광을 투과 가능한 창부(81D)를 더 가지고 있다. 창부(81D)는 예를 들면, 제1종 수납 용기(81)(레티클 포드)의 내부를 작업자에 의해 육안으로 볼 수 있게 하기 위해 설치된다.3, the first kind storage container 81 further has a window portion 81D capable of transmitting light between the outside and the inside of the first kind storage container 81. [ The window portion 81D is provided, for example, so that the inside of the first kind storage container 81 (reticle pod) can be seen by the operator with the naked eye.

반송차(1)는, 커버부(17)에 설치되어, 창부(81D)를 통하여 제1종 수납 용기(81)의 내부의 제1종 피수납물(71)을 검출하는 검출부(17S)를 포함하고 있다. 검출부(17S)는 커버부(17)의 내측[도시한 예에서는, 전부(17A), 중간부(17B), 후부(17C), 및 측부(17D)에 의해 둘러싸인 공간]을 향하도록, 상기 커버부(17)에 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 검출부(17S)는 커버부(17)의 전부(17A)에 장착되고, 후부(17C) 측을 향하도록 배치되어 있다. 다만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 검출부(17S)는 커버부(17)의 후부(17C)에 장착되어 있어도 된다. 이 경우에는, 검출부(17S)는 전부(17A) 측을 향하도록 배치되어 있으면 된다.The conveying car 1 is provided with a detecting portion 17S provided on the cover portion 17 for detecting the first kind of contained object 71 inside the first kind storage container 81 through the window portion 81D . The detecting portion 17S is arranged so as to face the inside of the cover portion 17 (the space surrounded by the front portion 17A, the middle portion 17B, the rear portion 17C, and the side portion 17D in the illustrated example) As shown in Fig. In the present embodiment, the detection portion 17S is mounted on the front portion 17A of the cover portion 17 and is disposed to face the rear portion 17C side. However, the present invention is not limited to this configuration, and the detection portion 17S may be mounted on the rear portion 17C of the cover portion 17. [ In this case, the detecting portion 17S may be disposed so as to face the front portion 17A.

그리고, 본원에 있어서 「피수납물을 검출함」이란 피수납물(7)의 유무, 위치, 또는, 매수 등, 피수납물(7)의 존재를 검출하는 것에 의한 피수납물(7)에 관한 다양한 정보의 검출을 포함하는 의미로서 사용하고 있다. 다만, 본 실시형태에서는, 검출부(17S)는, 이와 같은 다양한 정보 중에서, 적어도 제1종 수납 용기(81) 내에 있어서의 제1종 피수납물(71)의 유무를 검출하도록 구성되어 있다.The term " detecting the object to be collected " in the present application means that the object 7 to be collected is detected by detecting the presence of the object 7 such as the presence, position, or number of the object 7 to be collected And the like. However, in the present embodiment, the detecting unit 17S is configured to detect the presence or absence of the first-type stored object 71 in at least the first sort storage container 81 from among various kinds of information.

본 실시형태에서는, 검출부(17S)로는 광을 투광하는 투광부와, 광을 수광하는 수광부를 가지는 광학식 센서를 이용한다. 검출부(17S)는, 제1종 수납 용기(81)를 유지한 용기 유지부(14)가 홈 포지션 HP에 있는 상태에서, 투광부에 의해, 창부(81D)를 통하여 제1종 수납 용기(81)의 내부에 광을 투광하도록 구성되어 있다. 그리고, 제1종 수납 용기(81)의 내부에 제1종 피수납물(71)이 있는 경우에는, 이 제1종 피수납물(71)에 반사된 반사광을 수광부에 의해 수광하도록 구성되어 있다. 이에 의해, 검출부(17S)는, 제1종 수납 용기(81)의 내부에 있어서의 제1종 피수납물(71)의 유무를 검출할 수 있다. 다만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 검출부(17S)는, 예를 들면 촬상 장치로서 구성되어 있어도 된다. 이 경우에, 검출부(17S)는 투광부를 구비하지 않고 2차원적으로 배치된 수광부를 구비한다. 그리고, 검출부(17S)는, 촬상한 화상에 기초하여 제1종 수납 용기(81) 내부의 제1종 피수납물(71)의 유무를 검출한다.In the present embodiment, the detection unit 17S uses an optical sensor having a light-transmitting unit for transmitting light and a light-receiving unit for receiving light. The detection unit 17S detects the position of the first species storage container 81 (the first species storage container 81) through the window portion 81D by the transparent portion with the container holding portion 14 holding the first kind storage container 81 at the home position HP And the light is projected to the inside of the light source. When there is a first-kind object 71 to be stored in the first-kind storage container 81, the reflected light reflected by the first-kind object 71 to be received is received by the light receiving section . Thereby, the detecting section 17S can detect the presence or absence of the first-kind stored object 71 in the first sort storage container 81. [ However, the present invention is not limited to this configuration, and the detection unit 17S may be configured as an imaging device, for example. In this case, the detection unit 17S includes a light-receiving unit that is two-dimensionally arranged without a light-transmitting unit. Then, the detection unit 17S detects the presence or absence of the first-type stored object 71 in the first species storage container 81 based on the captured image.

본 실시형태에서는, 검출부(17S)는 제1종 수납 용기(81)에 대응하고, 제2종 수납 용기(82)에 대응하고 있지 않다. 즉, 본 예에서는, 제2종 수납 용기(82)는 제1종 수납 용기(81)가 가지는 창부(81D)와 같이, 용기의 외부와 내부 사이에서 광을 투과 가능한 구성을 가지고 있지 않다. 그러므로, 검출부(17S)는 제2종 수납 용기(82)의 내부에 있어서의 제2종 피수납물(72)을 검출할 수 없다.In the present embodiment, the detecting portion 17S corresponds to the first kind storage container 81 and does not correspond to the second kind storage container 82. [ That is, in this example, the second kind storage container 82 does not have a configuration that allows light to pass between the outside and the inside of the container, like the window portion 81D of the first kind storage container 81. [ Therefore, the detection unit 17S can not detect the second-type object 72 to be contained in the second kind storage container 82. [

상기한 바와 같이, 검출부(17S)는, 광을 투과 가능한 창부(81D)를 통하여 제1종 피수납물(71)의 검출을 행한다. 그러므로, 제1종 피수납물(71)의 검출 시에는, 검출부(17S)와 제1종 수납 용기(81)의 창부(81D)가 대향하고 있을 필요가 있다. 그래서, 전술한 바와 같이, 반송차(1)는, 제1종 수납 용기(81)를 유지한 상태의 용기 유지부(14)의 자세를 변경하는 자세 변경부(15)를 포함하고 있다. 또한, 각 반송원(F)에는, 각각 대응한 이송탑재 자세 TA[반송원 이송탑재 자세 TAF]가 설정되어 있다. 그러므로, 반송차(1)가 반송원(F)에서 제1종 수납 용기(81)를 받고, 상기 제1종 수납 용기(81)를 유지한 용기 유지부(14)를 상승시켜 홈 포지션 HP로 이동시켰을 경우에, 반송원 이송탑재 자세 TAF에 따라서는, 제1종 수납 용기(81)의 반송 중에 창부(81D)와 검출부(17S)가 대향하지 않는 경우가 있다. 그래서, 제1종 수납 용기(81)의 반송 중에 검출부(17S)와 창부(81D)가 대향하고 있지 않은 경우에는, 검출부(17S)와 창부(81D)가 대향하는 대향 상태로 되도록, 자세 변경부(15)가 용기 유지부(14)의 자세를 변경한다. 이에 의해, 제1종 수납 용기(81)의 수취 시에는, 제1종 수납 용기(81)의 자세가, 상기 제1종 수납 용기(81)를 유지한 용기 유지부(14)를 홈 포지션 HP에 이동시켰을 때 창부(81D)와 검출부(17S)가 대향하지 않는 것 같은 자세여도, 제1종 수납 용기(81)의 반송 중에 제1종 수납 용기(81)의 자세를 변경하고, 상기 제1종 수납 용기(81) 내부의 제1종 피수납물(71)을 검출할 수 있다. 이하, 제1종 수납 용기(81)를 유지한 용기 유지부(14)가 홈 포지션 HP에 있는 경우에 창부(81D)와 검출부(17S)가 대향하는 대향 상태로 되는 제1종 수납 용기(81)의 자세를 「검출 자세 DA」라고 칭하여 설명한다.As described above, the detection unit 17S detects the first-type object 71 to be received through the light-transmissive window portion 81D. Therefore, the detection part 17S and the window part 81D of the first kind storage container 81 are required to be opposed to each other when the first-class carried object 71 is detected. Thus, as described above, the conveyance car 1 includes the posture changing section 15 for changing the posture of the container holding section 14 in a state in which the first kind storage container 81 is held. In addition, corresponding to each of the transporting sources F, a transporting loading posture TA (transporting transportation loading posture TAF) is set. Therefore, when the conveyance carriage 1 receives the first kind storage container 81 from the transfer source F and lifts the container holding portion 14 holding the first kind storage container 81 to the home position HP The window portion 81D and the detection portion 17S may not be opposed to each other during the transportation of the first kind storage container 81 depending on the conveyer transfer position TAF. When the detecting unit 17S and the window 81D are not opposed to each other during the transportation of the first-kind storage container 81, the detecting unit 17S and the window 81D are opposed to each other, (15) changes the posture of the container holding portion (14). Thus, when receiving the first kind storage container 81, the position of the first kind storage container 81 is set such that the container holding portion 14 holding the first kind storage container 81 is moved to the home position HP The attitude of the first kind storage container 81 is changed during the transportation of the first kind storage container 81 even if the window portion 81D and the detection portion 17S are not opposed to each other, It is possible to detect the first-class object 71 to be contained in the first-order storage container 81. When the container holding portion 14 holding the first kind storage container 81 is at the home position HP, the first kind storage container 81 (the first sort storage container 81), in which the window portion 81D and the detection portion 17S are opposed to each other, ) Will be referred to as " detection position DA ".

여기에서, 제1종 수납 용기(81)를 유지한 용기 유지부(14)가 홈 포지션 HP에 있는 상태에서의, 창부(81D)와 검출부(17S)의 배치 관계에 대하여 도 5를 참조하여 설명한다. 도 5에서는, 평면에서 볼 때의 창부(81D)와 검출부(17S)의 배치 관계를 모식적으로 나타내고 있다. 도 5의 위쪽 도면이, 제1종 수납 용기(81)의 자세가 자세 A인 경우에 있어서의 검출부(17S)와의 배치 관계를 나타낸 것이다. 도 5의 아랫쪽 도면이, 제1종 수납 용기(81)의 자세가 자세 B인 경우에 있어서의 검출부(17S)와의 배치 관계를 나타낸 것이다.The arrangement relationship of the window section 81D and the detection section 17S in a state in which the container holding section 14 holding the first sort storage container 81 is at the home position HP will be described with reference to FIG. do. Fig. 5 schematically shows the arrangement relationship of the window portion 81D and the detection portion 17S in a plan view. The upper diagram of Fig. 5 shows the arrangement relationship with the detection section 17S when the attitude of the first kind storage container 81 is the attitude A. The lower diagram of Fig. 5 shows the arrangement relationship with the detection section 17S when the attitude of the first kind storage container 81 is the attitude B.

도 5에 나타낸 바와 같이 본 실시형태에서는, 창부(81D)는, 용기 유지부(14)(도 3 등 참조)에 유지된 상태의 제1종 수납 용기(81)에 있어서의, 선회축(15A)을 기준으로 한 주위 방향 C의 일부 영역에 설치되어 있다. 본 예에서는, 창부(81D)는, 평면에서 볼 때 직사각형의 제1종 수납 용기(81)의 하나의 측면에 설치되어 있다. 그리고, 도 5의 위쪽 도면에 나타낸 바와 같이, 검출부(17S)와 창부(81D)가 대향하는 대향 상태는, 검출부(17S)와 창부(81D)가 선회축(15A)을 기준으로 한 직경 방향 R에 대향하는 상태이다. 즉, 도 5의 위쪽 도면에 나타낸 자세 A는, 검출부(17S)에 의해 제1종 피수납물(71)을 검출 가능한 검출 자세 DA를 나타내고 있다. 한편, 도 5의 아래쪽 도면에 나타낸 자세 B에서는, 검출부(17S)와 창부(81D)가 직경 방향 R에 있어서 대향하고 있지 않고, 검출부(17S)에 의해 제1종 피수납물(71)을 검출할 수 없다. 이와 같은 자세 B는, 검출 자세 DA에는 해당하지 않는다. 그리고, 도 5에 나타내는 자세 A 및 자세 B는, 반송원(F) 또는 반송 대상 장소(T)에 따라서는, 이송탑재 자세 TA에 해당될 수 있다.5, in this embodiment, the window portion 81D is formed in the first kind storage container 81 in a state in which it is held by the container holding portion 14 (see Fig. 3, etc.) In the circumferential direction C as a reference. In this example, the window portion 81D is provided on one side of the rectangular first kind storage container 81 as viewed in plan. 5, the opposed state in which the detecting portion 17S and the window portion 81D are opposed to each other is that the detecting portion 17S and the window portion 81D are arranged in the radial direction R with the pivot shaft 15A as a reference As shown in Fig. That is, the posture A shown in the upper drawing of Fig. 5 indicates the detection position DA in which the detection unit 17S can detect the first-type object 71 to be received. On the other hand, in the posture B shown in the lower drawing of Fig. 5, the detecting section 17S and the window section 81D do not face each other in the radial direction R, and the detection section 17S detects Can not. Such a posture B does not apply to the detection posture DA. The posture A and the posture B shown in Fig. 5 may correspond to the conveyance mount position TA depending on the conveyance source F or the conveyance destination place T. Fig.

도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 검출부(17S)의 선회축(15A)에 따른 방향 L(축방향 L)의 위치가, 용기 유지부(14)에 유지된 상태의 제1종 수납 용기(81)의 창부(81D)의 위치에 대응하도록, 검출부(17S)가 배치되어 있다. 보다 구체적으로는, 검출부(17S)는, 제1종 수납 용기(81)를 유지한 용기 유지부(14)가 홈 포지션 HP에 있는 상태에서, 창부(81D)와 대향하는 위치 관계로 되도록 배치되어 있다. 본 예에서는, 창부(81D)가 축 방향 L에 직교하는 방향을 향하도록 제1종 수납 용기(81)에 설치되어 있다. 그러므로, 검출부(17S)는, 창부(81D)와 동일한 축 방향 L의 위치(상하 방향의 위치)로 되도록 배치되고, 축 방향 L에 직교하는 방향(여기서는 수평 방향)을 따라 광을 투광하도록 구성되어 있다. 다만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 검출부(17S)는, 창부(81D)와 대향하는 위치 관계에 있으면 되고, 축 방향 L에 있어서의 위치가 창부(81D)와 상이하도록[창부(81D)와는 상이한 높이로 되도록] 배치되어 있어도 된다.3, the position of the detection section 17S in the direction L (axial direction L) along the pivotal axis 15A is the position of the first longitudinally aspirated state in the state of being held by the container holding section 14, A detection portion 17S is disposed so as to correspond to the position of the window portion 81D of the container 81. [ More specifically, the detecting portion 17S is arranged so as to be in a positional relationship in which the container holding portion 14 holding the first sort storage container 81 is opposed to the window portion 81D in a state where the container holding portion 14 is at the home position HP have. In this example, the window 81D is provided in the first kind storage container 81 so as to face the direction orthogonal to the axial direction L. Therefore, the detecting portion 17S is arranged so as to be positioned in the same axial direction L (position in the up-and-down direction) as the window portion 81D and to emit light along a direction perpendicular to the axial direction L have. However, the present invention is not limited to this configuration, and the detecting portion 17S may be in a positional relationship facing the window portion 81D, and the position in the axial direction L is different from the window portion 81D Or may be arranged at different heights.

1-2. 반송 설비 및 반송차의 제어 구성1-2. Control configuration of conveying equipment and conveying car

다음에, 반송 설비(100)의 제어 구성에 대하여 도 4를 참조하여 설명한다. 반송 설비(100)는, 설비 전체를 제어하는 통괄 제어 장치(Ht)와, 반송차(1)의 동작을 제어하는 개별 제어 장치(Hm)를 구비하고 있다. 개별 제어 장치(Hm)는, 복수의 반송차(1)의 각각에 구비되어 있다. 이들 제어 장치는, 예를 들면, 마이크로컴퓨터 등의 프로세서, 메모리 등의 주변 회로 등을 구비하고 있다. 그리고, 이들 하드웨어와, 컴퓨터 등의 프로세서상에서 실행되는 프로그램과의 협동에 의해, 각 기능이 실현된다.Next, the control configuration of the transport facility 100 will be described with reference to Fig. The transportation facility 100 includes a collective control device Ht for controlling the entire facility and an individual control device Hm for controlling the operation of the transportation vehicle 1. [ The individual control devices Hm are provided in each of the plurality of transport vehicles 1. These control devices include, for example, a processor such as a microcomputer, peripheral circuits such as a memory, and the like. Each of these functions is realized by cooperation between these hardware and a program executed on a processor such as a computer.

통괄 제어 장치(Ht)는, 복수의 반송차(1)[개별 제어 장치(Hm)]의 각각과 통신 가능하게 구성되어 있다. 통괄 제어 장치(Ht)는 반송차(1)에 대하여 각종 지령을 행하도록 구성되고, 반송차(1)는 통괄 제어 장치(Ht)로부터의 지령을 따라 각종 동작을 행한다. 예를 들면, 통괄 제어 장치(Ht)가 반송 지령을 행한 경우, 상기 반송 지령을 받은 반송차(1)는 지정된 반송원(F)으로부터 지정된 반송 대상 장소(T)에, 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)를 반송한다.The collective control apparatus Ht is configured to be able to communicate with each of a plurality of conveyance vehicles 1 (individual control apparatuses Hm). The collective control device Ht is configured to issue various commands to the conveyance car 1 and the conveyance car 1 performs various operations in response to a command from the collective control device Ht. For example, when the collective control device Ht carries out the conveyance instruction, the conveyance vehicle 1 having received the conveyance instruction instructs the first sort storage container (the second sort storage container) 81 or the second type storage container 82. [

개별 제어 장치(Hm)는 주행용 모터(11M)를 제어하는 것에 의해, 반송차(1)의 주행을 제어하고, 승강용 모터(16M)를 제어하는 것에 의해 용기 유지부(14)의 승강을 제어하고, 파지용 모터(14M)를 제어하는 것에 의해 한 쌍의 파지 클로(14A)의 자세를 파지 자세와 해제 자세로 제어하고, 선회용 모터(15M)를 제어하는 것에 의해 용기 유지부(14)의 선회량(자세)을 제어한다. 또한, 개별 제어 장치(Hm)는 검출부(17S)를 제어하는 것에 의해 투광부에 의한 투광을 제어하고, 또한 수광부에 의한 수광의 유무를 검출 가능하게 되어 있다.The individual control unit Hm controls the running motor 11M to control the travel of the conveyance vehicle 1 and controls the elevating motor 16M to control the elevation and the retraction of the container holding unit 14 And controls the gripping motor 14M to control the posture of the pair of grip claws 14A to the gripping posture and the release posture and controls the swinging motor 15M to control the container holding part 14 (Posture) of the vehicle. The individual control unit Hm controls the light projecting unit by controlling the detecting unit 17S and is capable of detecting the presence or absence of light reception by the light receiving unit.

개별 제어 장치(Hm)는 용기 유지부(14)의 승강을 제어하는 것에 의해, 용기 유지부(14)에 유지된 상태의 제1종 수납 용기(81)의 높이(축 방향 L에 있어서의 위치)를 제어할 수 있다. 이 때, 승강량 센서(16S)의 검출값에 기초하여 제1종 수납 용기(81)의 높이를 제어할 수 있다. 또한, 개별 제어 장치(Hm)는 용기 유지부(14)의 선회량(자세)을 제어하는 것에 의해, 용기 유지부(14)에 유지된 상태의 제1종 수납 용기(81)의 자세를 검출 자세 DA와 이송탑재 자세 TA로 변경할 수 있다. 이 때, 선회량 센서(15S)의 검출값에 기초하여 제1종 수납 용기(81)의 선회량을 제어할 수 있다.The individual control device Hm controls the height of the first kind storage container 81 held in the container holding portion 14 (the position in the axial direction L) by controlling the lifting and lowering of the container holding portion 14 Can be controlled. At this time, the height of the first species storage container 81 can be controlled based on the detection value of the lift sensor 16S. The individual control device Hm controls the pivotal amount (posture) of the container holding portion 14 to detect the posture of the first kind storage container 81 held in the container holding portion 14 The posture DA and the transfer mounting posture TA can be changed. At this time, the turning amount of the first sort storage container 81 can be controlled based on the detected value of the turning amount sensor 15S.

1-3. 반송차의 동작 처리1-3. Operation processing of the carriage

다음에, 반송차(1)[개별 제어 장치(Hm)]가, 통괄 제어 장치(Ht)로부터 반송 지령을 받고 나서, 반송 대상 장소(T)에 제1종 수납 용기(81)를 건네줄(이송탑재 함) 때까지 실행되는 동작 처리에 대하여, 도 6을 참조하여 설명한다.Next, after the conveyance vehicle 1 (individual control unit Hm) receives the conveyance instruction from the collective control unit Ht, the conveyance unit 1 (the individual control unit Hm) delivers the first kind storage container 81 to the conveyance destination place T 6) will be described with reference to Fig. 6. Fig.

개별 제어 장치(Hm)는, 통괄 제어 장치(Ht)로부터의 반송 지령이 있었을 경우에는(#1: Yes), 반송차(1)를 반송원(F)으로 주행시키고, 또한 반송원(F)으로부터 제1종 수납 용기(81)를 받는다(#2). 그리고, 개별 제어 장치(Hm)는, 반송차(1)의 반송 대상 장소(T)(반송처)를 향한 주행을 개시하는, 바꾸어 말하면, 제1종 수납 용기(81)의 반송을 개시한다(#3).The individual control device Hm runs the conveyance vehicle 1 in the conveyance direction F and moves the conveyance direction F to the conveyance direction F when there is a conveyance instruction from the collective control device Ht (# 1: The first kind storage container 81 is received (# 2). Then, the individual control unit Hm starts the traveling of the first sort storage container 81 to start the traveling to the transportation destination place T (transportation destination) of the conveyance car 1 (in other words, # 3).

다음에, 개별 제어 장치(Hm)는 현 시점에서의 제1종 수납 용기(81)의 자세, 즉 반송원(F)에 대응한 반송원 이송탑재 자세 TAF가 검출 자세 DA와 동일한지의 여부를 판정한다(#4). 반송원 이송탑재 자세 TAF가 검출 자세 DA와 상이한 경우에는(#4: No), 제1종 수납 용기(81)의 자세를 반송원 이송탑재 자세 TAF로부터 검출 자세 DA로 변경한다(#5). 반송원 이송탑재 자세 TAF가 검출 자세 DA와 동일한 경우(#4: Yes), 또는, 제1종 수납 용기(81)의 자세를 검출 자세 DA로 변경한 후에는(#5), 개별 제어 장치(Hm)는 검출부(17S)에 의해, 제1종 수납 용기(81)의 내부에서의 제1종 피수납물(71)의 유무를 검출하는 피수납물 검출 처리를 행한다(#6). 그리고, 개별 제어 장치(Hm)는, 반송원 이송탑재 자세 TAF가 검출 자세 DA와 상이하다고 판정한 경우에는(#4: No), 즉시, 제1종 수납 용기(81)의 자세를 반송원 이송탑재 자세 TAF로부터 검출 자세 DA로 변경하고(#5), 피수납물 검출 처리(#6)를 가능한 한 조기에 실행하면 호적이다.Next, the individual control device Hm judges whether or not the posture of the first sort storage container 81 at the present time, that is, the conveyer transfer position TAF corresponding to the conveyance source F is the same as the detection posture DA (# 4). When the conveyer transfer position TAF is different from the detection position DA (# 4: No), the posture of the first kind storage container 81 is changed from the transfer origin transfer position TAF to the detection position DA (# 5). When the conveyer transfer position TAF is equal to the detection position DA (# 4: Yes) or after changing the posture of the first kind storage container 81 to the detection position DA (# 5), the individual control device Hm) performs the object to be collected detecting process to detect the presence or absence of the first kind object 71 to be contained in the first kind storage container 81 by the detection unit 17S (# 6). Then, when the individual conveying apparatus Hm determines that the conveying-source-conveying loading posture TAF is different from the detecting posture DA (# 4: No), the individual control unit Hm immediately sends the posture of the first- (# 5) from the loading posture TAF to the detection posture DA, and the object collection detecting process (# 6) is executed as early as possible.

그리고, 피수납물 검출 처리(#6)를 실행한 후, 개별 제어 장치(Hm)는 확인 처리를 실행한다(#7). 확인 처리(#7)는, 제1종 수납 용기(81)의 내부에 제1종 피수납물(71)이 수납되어 있는지의 여부에 기초하여, 필요에 따라 반송 대상 장소(T)(반송처)의 확인을 행하는 처리다. 이 확인 처리(#7)의 내용에 대해서는 후술한다. 다음에, 개별 제어 장치(Hm)는, 반송 대상 장소(T)(반송처)에 대응한 반송처 이송탑재 자세 TAT가 검출 자세 DA와 동일한지의 여부를 판정한다(#8). 반송처 이송탑재 자세 TAT가 검출 자세 DA와 상이한 경우에는(#8: No), 제1종 수납 용기(81)의 자세를 검출 자세 DA로부터 반송처 이송탑재 자세 TAT로 변경한다(#9). 본 실시형태에서는, 개별 제어 장치(Hm)는 자세 변경부(15)를 제어하고, 기본적으로는, 제1종 수납 용기(81)의 반송 중은 제1종 수납 용기(81)의 자세를 검출 자세 DA로 유지한다. 그리고, 반송 대상 장소(T)(반송처)와의 사이에서 제1종 수납 용기(81)를 이송탑재할 때, 제1종 수납 용기(81)의 자세를 검출 자세 DA로부터 반송처 이송탑재 자세 TAT로 변경하는 처리(이하, 「반송처 자세 변경 처리」라고 함)를 실행한다(#9). 이 반송처 자세 변경 처리(#9)를 실행하는 시기는, 반송차(1)의 주행 중이어도 되고, 반송차(1)가 반송 대상 장소(T)에 도착한 후, 반송 대상 장소(T)에 있어서 제1종 수납 용기(81)를 건네주기(#10) 전이어도 된다. 반송처 자세 변경 처리(#9)를 반송차(1)의 주행 중에 행하는 경우에는, 기본적으로는, 반송차(1)가 반송 대상 장소(T)에 도착하기 직전에 실행한다. 반송처 자세 변경 처리(#9)의 실행 후, 또는, 스텝 #8에서 반송처 이송탑재 자세 TAT와 검출 자세 DA가 동일하다고 판정된 후에는(#8: Yes), 반송차(1)는, 지정된 반송 대상 장소(T)에서 제1종 수납 용기(81)를 건네준다(#10).Then, after the object to be collected detection process (# 6) is executed, the individual control device Hm executes the confirmation process (# 7). The confirmation process (# 7) is a process for confirming whether or not the first sort receipt 71 is stored in the first sort storage container 81, ). The content of this confirmation process (# 7) will be described later. Next, the individual control apparatus Hm judges whether or not the conveying destination conveying mounting posture TAT corresponding to the conveying destination place T (conveying destination) is the same as the detecting posture DA (# 8). (# 8), the posture of the first kind storage container 81 is changed from the detection posture DA to the conveying destination conveyance mounting posture TAT (# 9) when the conveying destination conveying posture TAT is different from the detection posture DA (# 8: No). In this embodiment, the individual control device Hm controls the posture changing section 15 to basically detect the posture of the first kind storage container 81 during the transportation of the first kind storage container 81 Keep in position DA. When the first sort storage container 81 is transported and mounted between the transport destination T and the transport destination, the posture of the first kind storage container 81 is shifted from the detection post DA to the transport destination transport posture TAT (Hereinafter referred to as " destination position change processing ")(# 9). The time when the carrying destination posture changing process (# 9) is executed may be during traveling of the conveyance car 1 and after the conveyance car 1 arrives at the conveyance destination place T, So that the first kind storage container 81 may be handed over (# 10). Basically, when the conveyance destination posture changing process (# 9) is performed during traveling of the conveyance car 1, it is executed immediately before the conveyance car 1 arrives at the conveyance destination place T. After it is determined in step # 8 that the conveying destination conveyance mounting posture TAT and detection position DA are the same (# 8: Yes), the conveyance carriage 1, The first sort storage container 81 is handed over at the designated transport destination place T (# 10).

1-3-1. 확인 처리1-3-1. Check processing

여기에서, 피수납물 검출 처리(#6)의 직후에 행하는 확인 처리(#7)에 대하여 설명한다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 확인 처리(#7)에서는, 피수납물 검출 처리(#6)의 실행에 의해 제1종 수납 용기(81)의 내부에 제1종 피수납물(71)이 있다고 판정된 경우에는(#101;Yes), 개별 제어 장치(Hm)는, 통괄 제어 장치(Ht)에 의해 지정된 반송 대상 장소(T)(반송처)가 일시 보관 장소(93)인지의 여부를 판정한다(#102). 그리고, 반송 대상 장소(T)(반송처)가 일시 보관 장소(93)라고 판정된 경우에는(#102;Yes), 개별 제어 장치(Hm)는, 그 취지를 통괄 제어 장치(Ht)에 통지하고(#103), 또한 반송 지령을 다시 요구한다(#104). 이에 의해, 통괄 제어 장치(Ht)는, 일시 보관 장소(93) 이외의 다른 반송 대상 장소(T)로 반송하도록, 반송차(1)에 대하여 반송 지령을 행한다. 즉, 개별 제어 장치(Hm)는, 일시 보관 장소(93) 이외의 새로운 반송 대상 장소(T)에 반송하도록, 통괄 제어 장치(Ht)로부터 지령된다. 그리고, 개별 제어 장치(Hm)는 행선을 새로운 반송 대상 장소(T)(반송처)로 변경하고(#105), 해당되는 새로운 반송 대상 장소(T)(반송처)를 향한 제1종 수납 용기(81)의 반송을 실행한다. 그리고, 스텝 #101에서 제1종 수납 용기(81)의 내부에 제1종 피수납물(71)이 없다고 판정된 경우(#101;No), 및 스텝 #102에서 반송 대상 장소(T)(반송처)가 일시 보관 장소(93)가 아니라고 판정된 경우에는(#102;No), 개별 제어 장치(Hm)는, 원래 지정되어 있는 반송 대상 장소(T)를 향하는 제1종 수납 용기(81)의 반송을 계속한다. 그 후, 개별 제어 장치(Hm)는 전술한 스텝 #8 이후의 처리를 실행한다.Here, the confirmation process (# 7) performed immediately after the item to be stored detection process (# 6) will be described. As shown in Fig. 7, in the confirmation process (# 7), the first kind storage object 71 is present inside the first kind storage container 81 by executing the stored object detection process (# 6) The individual control device Hm determines whether or not the transportation destination place T (destination) designated by the collective control device Ht is the temporary storage place 93 (# 102). When it is determined that the transport destination T (destination) is the temporary storage place 93 (# 102; Yes), the individual control device Hm notifies the collective control device Ht of the fact (# 103), and requests a transport command again (# 104). Thereby, the collective control device Ht carries out the conveyance instruction to the conveyance car 1 so as to be conveyed to the conveyance destination place T other than the temporary storage place 93. [ That is, the individual control unit Hm is instructed from the collective control unit Ht so as to be returned to the new transportation destination place T other than the temporary storage place 93. The individual control unit Hm changes the routing to a new transport destination location T (destination) (# 105) and transmits the new transport destination location T (destination) (81). If it is determined in step # 101 that there is no first-class object 71 to be stored in the first kind storage container 81 (# 101; No) and in step # 102, (# 102; No), the individual control device Hm determines that the first sort storage container 81 (the storage destination) which is originally designated to the transport destination place T ). Thereafter, the individual control device Hm carries out the processing after step # 8 described above.

이와 같이, 반송차(1)는, 검출부(17S)에 의해 제1종 수납 용기(81)의 내부에 제1종 피수납물(71)이 있는 것을 검출한 경우에는, 제1종 수납 용기(81)를 일시적으로 보관하기 위한 일시 보관 장소(93)가 반송 대상 장소(T)로 되는 것을 규제한다. 본 실시형태와 같이, 제1종 피수납물(71)이, 보다 청결한 환경 하에서의 관리가 필요로 되는 레티클인 경우에는, 일시적이라도 일시 보관 장소(93)에 보관되는 것은 바람직하지 않다. 상기 구성에 의하면, 이와 같은 사태를 피할 수 있다.As described above, in the case where the detecting unit 17S detects that the first kind storage object 71 is present in the first kind storage container 81, the conveyance car 1 is moved to the first sort storage container 81 to temporarily store the temporary storage place 93 as the transportation destination place T. In the case where the first-class object 71 to be stored is a reticle requiring management under a cleaner environment as in the present embodiment, it is not preferable that the first-type object 71 to be stored in the temporary storage place 93 even temporarily. According to the above configuration, such a situation can be avoided.

2. 제2 실시형태2. Second Embodiment

다음에, 반송차(1)의 제2 실시형태에 대하여 설명한다. 본 실시형태에 관한 반송차(1)는, 동작 처리가 상기 제1 실시예와 상이하다. 그리고, 특별히 설명하지 않는 점에 대해서는 상기 제1 실시예와 동일하다.Next, the second embodiment of the conveyance vehicle 1 will be described. The conveyance car 1 according to the present embodiment is different from the first embodiment in the operation process. The points that are not particularly described are the same as in the first embodiment.

본 실시형태에서는, 반송처 자세 변경 처리를 실행하는 시기를, 반송원 이송탑재 자세 TAF, 반송처 이송탑재 자세 TAT 및 검출 자세 DA의 관계에 따라 상이하게 하고 있다.In the present embodiment, the timing at which the carrying destination posture changing process is executed is made different depending on the relationship between the carrying-source transfer mounting posture TAF, the carrying-out transfer mounting posture TAT, and the detecting posture DA.

본 실시형태에서도, 개별 제어 장치(Hm)는 기본적으로는, 제1종 수납 용기(81)의 반송 중에는, 제1종 수납 용기(81)의 자세를 검출 자세 DA로 유지한다. 그리고, 반송 대상 장소(T)(반송처)와의 사이에서 제1종 수납 용기(81)를 이송탑재할 때, 반송처 자세 변경 처리를 실행한다. 다만, 본 실시형태에서는 예외로서, 반송원(F)에 대응한 반송원 이송탑재 자세 TAF와 반송 대상 장소(T)에 대응한 반송처 이송탑재 자세 TAT가 동일한 경우이며, 상기 반송원 이송탑재 자세 TAF 및 반송처 이송탑재 자세 TAT가 검출 자세 DA와 상이한 경우에는, 개별 제어 장치(Hm)는 자세 변경부(15)를 제어하고, 제1종 수납 용기(81)의 자세가 제1종 수납 용기(81)의 반송 중에 일시적으로 창부(81D)와 검출부(17S)가 대향하는 대향 상태(검출 자세 DA)로 되도록, 용기 유지부(14)의 자세를 변경한다. 즉, 이 경우에는, 제1종 수납 용기(81)의 자세를, 피수납물 검출 처리(#6)의 실행에 필요한 기간에 한하여 검출 자세 DA로 하고, 그 외의 기간은, 서로 동일한 반송원 이송탑재 자세 TAF 및 반송처 이송탑재 자세 TAT로 유지하는 제어를 행한다.In the present embodiment as well, the individual control unit Hm basically maintains the posture of the first kind storage container 81 at the detection posture DA during the transportation of the first kind storage container 81. Then, when the first kind storage container 81 is transported and mounted between the transport destination T and the transport destination, the transport destination posture changing process is executed. In this embodiment, however, there is a case where the conveyance destination conveyance mounting posture TAF corresponding to the conveyance source F and the conveyance destination conveyance mounting posture TAT corresponding to the conveyance destination place T are the same, When the TAF and the conveying destination conveyance mounting posture TAT are different from the detection posture DA, the individual control unit Hm controls the posture changing unit 15 so that the attitude of the first kind storage container 81 becomes the first kind storage container The position of the container holding section 14 is changed so that the window section 81D and the detecting section 17S are opposed to each other in the opposite direction (detection position DA) during the transportation of the container 81. [ That is, in this case, the posture of the first sort storage container 81 is set to the detection posture DA only for the period necessary for the execution of the stored object detection process (# 6), and the other periods are the same, The loading posture TAF and the conveying destination conveying loading posture TAT.

이와 같은, 본 실시형태에 관한 반송처 자세 변경 처리의 실행 시기의 판정 처리를, 도 8에 나타내는 플로차트를 참조하여 설명한다. 그리고, 도 8에서는, 도 6에 있어서의 스텝 #7 이후의 동작 처리를 나타내고, 스텝 #7보다 앞의 동작 처리에 대해서는 제1 실시형태와 동일하므로 생략하고 있다. 상기 판정 시에도, 먼저, 개별 제어 장치(Hm)는, 반송 대상 장소(T)(반송처)에 대응한 반송처 이송탑재 자세 TAT가 검출 자세 DA와 동일한지의 여부를 판정한다(#8). 여기에서, 반송처 이송탑재 자세 TAT가 검출 자세 DA와 동일한 경우에는(#8: Yes), 개별 제어 장치(Hm)는, 자세 변경부(15)에 의한 자세 변경을 행하지 않고, 반송 대상 장소(T)(반송처)에서 제1종 수납 용기(81)를 건네준다(#10).The determination processing of the execution timing of the carrier position change processing according to this embodiment as described above will be described with reference to the flowchart shown in Fig. 8 shows the operation processes after step # 7 in FIG. 6, and the operation processes before step # 7 are the same as those in the first embodiment and thus are omitted. First, the individual control device Hm also determines whether or not the transport destination mounting posture TAT corresponding to the transport destination location T (transport destination) is the same as the detection position DA (# 8). Here, if the transporting destination mounting posture TAT is equal to the detection posture DA (# 8: Yes), the individual control unit Hm does not change the posture by the posture changing unit 15, T (delivery destination) of the first kind storage container 81 (# 10).

한편, 반송처 이송탑재 자세 TAT가 검출 자세 DA와 상이한 경우에는(#8: No), 다음에, 반송원(F)에 대응한 반송원 이송탑재 자세 TAF가 반송처 이송탑재 자세 TAT와 동일한지의 여부를 판정한다(#22). 그리고, 반송원 이송탑재 자세 TAF가 반송처 이송탑재 자세 TAT와 동일한 경우에는(#22: Yes), 개별 제어 장치(Hm)는 자세 변경부(15)를 제어하여, 피수납물 검출 처리(#6)가 완료된 후, 즉시 반송처 자세 변경 처리를 실행한다(#23). 한편, 반송원 이송탑재 자세 TAF와 반송처 이송탑재 자세 TAT가 상이한 경우(#22: No)에는, 개별 제어 장치(Hm)는 자세 변경부(15)를 제어하여, 반송차(1)가 반송 대상 장소(T)에 도착하기 직전, 또는, 반송 대상 장소(T)에 도착한 직후에 반송처 자세 변경 처리를 실행한다(#24).On the other hand, when the conveying destination conveying mounting posture TAT is different from the detecting posture DA (# 8: No), next, it is determined whether or not the conveyer conveying mounting posture TAF corresponding to the conveying circle F is equal to the conveying destination conveying mounting posture TAT (# 22). (# 22: Yes), the individual control unit Hm controls the posture changing unit 15 to perform the process of detecting the held object detecting process (# 22: Yes), if the conveyer transferring posture TAF is equal to the conveying destination conveying posture TAT 6) is completed, the carrying posture changing process is immediately executed (# 23). On the other hand, the individual control unit Hm controls the attitude altering unit 15 so that the conveying car 1 is conveyed (conveyed) when the conveyer conveying loading posture TAF and the conveying conveying loading posture TAT are different Immediately before arriving at the destination location T or immediately after arriving at the destination site T, the destination posture changing process is executed (# 24).

3. 그 외의 실시형태3. Other Embodiments

다음에, 반송차(1) 또는 반송 설비(100)의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다.Next, another embodiment of the transport vehicle 1 or the transport facility 100 will be described.

(1) 상기의 실시형태에서는, 자세 변경부(15)가, 단일의 선회축(15A) 주위에 용기 유지부(14)를 선회시키는 것에 의해, 용기 유지부(14) 및 이것에 유지된 제1종 수납 용기(81)의 자세를 변경하도록 구성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 자세 변경부(15)는 예를 들면, 상이한 방향을 따라 배치되는 복수의 선회축을 가지고, 이들 복수의 선회축 주위에 용기 유지부(14)를 선회시키는 것에 의해, 용기 유지부(14) 및 이것에 유지된 제1종 수납 용기(81)의 자세를 변경하도록 구성되어 있어도 된다.(1) In the above-described embodiment, the posture changing section 15 pivots the container holding section 14 around the single pivotal shaft 15A, so that the container holding section 14 and the The description has been given of an example in which the configuration of the first-class storage container 81 is changed. However, the present invention is not limited to such an example. For example, the posture changing section 15 may have a plurality of pivot shafts arranged in different directions, and turning the container holding section 14 around the plurality of pivot shafts To change the posture of the container holding portion 14 and the first kind storage container 81 retained thereon.

(2) 상기의 실시형태에서는, 검출부(17S)에 의해 제1종 수납 용기(81)의 내부에 제1종 피수납물(71)이 있는 것을 검출한 경우에는, 제1종 수납 용기(81)를 일시적으로 보관하기 위한 일시 보관 장소(93)가 반송 대상 장소(T)로 되는 것을 규제하도록 구성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 검출부(17S)에 의해 제1종 수납 용기(81)의 내부에 제1종 피수납물(71)이 있는 것을 검출한 경우라도, 상황에 따라서, 일시 보관 장소(93)가 반송 대상 장소(T)로 되는 것을 허용하도록 구성되어 있어도 된다.(2) In the above embodiment, when it is detected by the detection unit 17S that the first kind storage object 71 is present inside the first kind storage container 81, the first kind storage container 81 (T) for temporary storage of the temporary storage place (93) for temporarily storing the temporary storage place (93). However, the present invention is not limited to such an example, and even when it is detected by the detection unit 17S that the first kind storage object 71 is present inside the first kind storage container 81, Or may be configured to allow the place 93 to be the destination T of the transportation destination.

(3) 상기의 실시형태에서는, 창부(81D)가, 제1종 수납 용기(81)에 있어서의 선회축(15A)을 기준으로 한 주위 방향 C의 일부의 영역에 설치되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 창부(81D)는, 제1종 수납 용기(81)에 있어서의 선회축(15A)을 기준으로 한 주위 방향 C의 복수의 영역, 또는, 주위 방향 C의 전역에 설치되어 있어도 된다.(3) In the above embodiment, an example in which the window portion 81D is provided in a part of the circumferential direction C with respect to the pivotal axis 15A of the first kind storage container 81 Respectively. However, the present invention is not limited to this example, and the window 81D may be formed in a plurality of regions in the peripheral direction C with reference to the pivotal axis 15A in the first kind storage container 81, It may be installed in the whole area.

(4) 상기의 실시형태에서는, 반송차(1)가, 제1종 수납 용기(81) 외에, 제2종 수납 용기(82)를 반송 가능하게 구성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 반송차(1)는, 제1종 수납 용기(81)만을 반송하는 제1종 수납 용기(81)의 반송 전용의 반송차로서 구성되어 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 반송차(1)가 포함하는 용기 유지부(14) 및 커버부(17)는, 제1종 수납 용기(81)에만 대응하고, 상기 제1종 수납 용기(81)와는 형상이 상이한 제2종 수납 용기(82)에는 대응하지 않도록 구성되어 있어도 된다. 또는, 반송차는, 제1종 수납 용기(81)를 포함하는 3종류 이상의 수납 용기(8)를 반송 가능하게 구성되어 있어도 된다.(4) In the above embodiment, the example in which the conveyance car 1 is configured to carry the second kind storage container 82 in addition to the first kind storage container 81 has been described. However, the present invention is not limited to such an example, and the conveyance car 1 may be configured as a conveyance car for exclusive conveyance of the first kind storage container 81 that carries only the first kind storage container 81. In other words, the container holding portion 14 and the cover portion 17 included in the conveyance car 1 correspond only to the first kind storage container 81, and are different in shape from the first kind storage container 81 And may not be adapted to the second type storage container 82. Alternatively, the conveying car may be configured to carry three or more kinds of the storage containers 8 including the first kind storage container 81.

(5) 상기의 실시형태에서는, 반송차(1)가 천장에 매달린 주행 레일(Ra)을 따라 주행하는 천장 반송차로서 구성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 반송차(1)는 바닥면 상을 주행하는 무인 반송차로서 구성되어 있어도 된다.(5) In the above embodiment, an example has been described in which the conveyance vehicle 1 is configured as a ceiling conveyance car that travels along a running rail Ra suspended from the ceiling. However, the present invention is not limited to such an example, and the conveyance car 1 may be configured as an unmanned conveyance car traveling on the floor surface.

(6) 그리고, 전술한 각 실시형태에서 개시된 구성은 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합하여 적용하는 것도 가능하다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히 각종 개변을 행할 수 있다.(6) The configurations disclosed in the above-mentioned embodiments can be applied in combination with the configurations disclosed in the other embodiments as long as no inconsistency arises. In other respects, the embodiments disclosed herein are merely illustrative in all respects. Therefore, various modifications can be appropriately made without departing from the spirit of the present disclosure.

4. 상기 실시형태의 개요4. Outline of the above embodiment

이하, 상기에 있어서 설명한 반송차의 개요에 대하여 설명한다.Hereinafter, the outline of the conveyance path described above will be described.

반송 설비에 구비되어, 피수납물을 수납하는 수납 용기를 상기 반송 설비 내에 설치된 반송 대상 장소에 반송하는 반송차로서, 상기 수납 용기는, 이 수납 용기의 외부와 내부 사이에서 광을 투과 가능한 창부를 가지고, 상기 반송차는, 상기 수납 용기를 유지하는 용기 유지부와, 상기 용기 유지부에 유지된 상태의 상기 수납 용기를 덮는 커버부와, 상기 수납 용기를 유지한 상태의 상기 용기 유지부의 자세를 변경하는 자세 변경부와, 상기 창부를 통하여 상기 수납 용기 내부의 상기 피수납물을 검출하는 검출부를 포함하고, 상기 검출부는 상기 커버부에 설치되고, 상기 자세 변경부는, 상기 수납 용기의 반송 중에 상기 검출부와 상기 창부가 대향하고 있지 않은 경우에는, 상기 검출부와 상기 창부가 대향하는 대향 상태로 되도록 상기 용기 유지부의 자세를 변경한다.A conveyance vehicle provided in a conveying facility for conveying a container for storing articles to be conveyed to a conveyance target place provided in the conveyance facility, the container having a window portion capable of transmitting light between the outside and the inside of the container, Wherein the carriage includes a container holding portion for holding the container, a cover portion for covering the container holding portion in a state held by the container holding portion, and a control portion for changing the posture of the container holding portion in a state of holding the storage container And a detector for detecting the object to be collected inside the container via the window, wherein the detecting unit is provided in the cover unit, and the posture changing unit is provided in the cover unit, When the window portion does not face the container holding portion, the detecting portion and the window portion are opposed to each other, Change the tax.

본 구성에 의하면, 수납 용기가 용기 유지부에 유지된 상태로 반송되고 있는 도중에, 커버부에 구비된 검출부에 의해, 수납 용기 창부를 통하여 상기 수납 용기 내부의 피수납물을 검출할 수 있다. 또한, 이와 같은 피수납물의 검출 시에, 검출부와 수납 용기 창부가 대향하고 있지 않은 경우에는, 자세 변경부에 의해 용기 유지부의 자세를 변경하고, 검출부와 수납 용기 창부를 대향 상태로 함으로써, 검출부에 의해 수납 용기 내부의 피수납물을 검출할 수 있다. 따라서, 반송 중의 수납 용기의 방향에 관계없이, 수납 용기 내부의 피수납물을 검출할 수 있다.According to this configuration, while the storage container is being transported while being held by the container holding portion, the object to be stored in the storage container can be detected through the storage container window portion by the detection portion provided in the cover portion. When the detecting section and the storage container window section are not opposed to each other at the time of detection of the object to be stored, the attitude of the container holding section is changed by the posture changing section, and the detection section and the storage container window section are opposed to each other. It is possible to detect the object to be collected inside the container. Therefore, irrespective of the direction of the storage container during transportation, the object to be stored in the storage container can be detected.

여기에서, 상기 자세 변경부는 선회축 주위에 상기 용기 유지부를 선회시키도록 구성되고, 상기 창부는 상기 용기 유지부에 유지된 상태의 상기 수납 용기에 있어서의, 상기 선회축을 기준으로 한 주위 방향의 일부 영역에 설치되고, 상기 검출부의 상기 선회축을 따른 방향의 위치가, 상기 용기 유지부에 유지된 상태의 상기 수납 용기의 상기 창부의 위치에 대응하도록 상기 검출부가 배치되고, 상기 대향 상태는, 상기 검출부와 상기 창부가, 상기 선회축을 기준으로 한 직경 방향으로 대향하는 상태이면 호적하다.Here, the posture changing portion is configured to pivot the container holding portion around the pivotal shaft, and the window portion is a part of a circumferential direction with respect to the pivot shaft in the storage container held in the container holding portion Wherein the detection portion is disposed such that the position of the detection portion in the direction along the pivotal axis corresponds to the position of the window portion of the storage container held by the container holding portion, And the window portion are opposed to each other in the radial direction with respect to the pivot shaft.

본 구성에 의하면, 용기 유지부에 유지된 상태의 수납 용기의 자세 변경을, 용기 유지부의 선회라는 비교적 간단한 동작에 의해 실현 가능하게 된다. 또한, 선회축에 따른 방향에 있어서의 검출부의 배치 위치가, 용기 유지부에 유지된 상태의 수납 용기 창부의 위치에 대응하고 있으므로, 용기 유지부를 선회 동작시키는 것만으로, 검출부와 창부를 대향 상태로 할 수 있다. 따라서, 비교적 간소한 구성에 의해, 수납 용기의 반송 중에 상기 수납 용기 내부의 피수납물을 검출할 수 있다.According to this configuration, the attitude change of the storage container held by the container holding portion can be realized by a relatively simple operation of turning the container holding portion. Since the arrangement position of the detection portion in the direction along the pivotal axis corresponds to the position of the storage container window portion in the state held by the container holding portion, only the rotation of the container holding portion causes the detection portion and the window portion to be opposed to each other can do. Therefore, the object to be stored in the storage container can be detected during transportation of the storage container by a relatively simple structure.

또한, 상기 자세 변경부는 상기 수납 용기의 반송 중에는, 상기 검출부와 상기 창부가 상기 대향 상태로 되도록 상기 용기 유지부의 자세를 유지하고, 상기 반송 대상 장소와의 사이에서 상기 수납 용기를 이송탑재할 때는, 상기 수납 용기의 자세가 상기 반송 대상 장소에 대응한 자세로 되도록 상기 용기 유지부의 자세를 변경하면 호적하다.The attitude altering section maintains the attitude of the container holding section such that the detection section and the window section are opposed to each other during the transportation of the storage container and when the storage container is transported between the container storage section and the transportation object place, If the posture of the container holding part is changed so that the posture of the container is in a posture corresponding to the conveying object,

본 구성에 의하면, 수납 용기의 반송 중의 비교적 오랜 시간을 사용하여 피수납물의 검출을 행할 수 있다. 따라서, 확실성이 높고, 수납 용기의 내부 피수용물을 검출할 수 있다. 그리고, 반송 대상 장소에 도달한 경우에는, 상기 반송 대상 장소에 대응한 자세로 수납 용기를 이송탑재할 수 있다.According to this configuration, the object to be picked up can be detected using a relatively long time during transportation of the container. Therefore, the reliability is high, and the object to be contained in the container can be detected. And, when reaching the carrying object place, the carrying container can be carried and mounted in a posture corresponding to the carrying object place.

또한, 반송원으로부터 상기 반송 대상 장소까지 상기 수납 용기를 반송하는 경우에 있어서, 상기 반송원에 대응한 상기 수납 용기의 자세와 상기 반송 대상 장소에 대응한 상기 수납 용기의 자세가 동일한 경우로서, 그 수납 용기의 자세가 상기 대향 상태로 되지 않는 자세인 경우에는, 상기 자세 변경부는, 상기 수납 용기의 반송 중에 일시적으로 상기 대향 상태로 되도록, 상기 용기 유지부의 자세를 변경하면 호적하다.In the case where the storage container is transferred from the transfer source to the transfer destination place, the posture of the storage container corresponding to the transfer source and the posture of the storage container corresponding to the transfer destination place are the same, In the case where the posture of the container container is not in the opposed state, the posture changing section is apt to change the posture of the container holding section such that the posture changing section is temporarily in the opposed state during the transportation of the container container.

반송원에 대응한 수납 용기의 자세와 반송 대상 장소에 대응한 수납 용기의 자세가 동일한 경우에는, 통상, 반송 중에 수납 용기의 자세를 변경시킬 필요가 없다. 그러나, 상기 수납 용기의 자세가 상기 대향 상태로 되지 않는 자세인 경우에는, 수납 용기의 자세를 변경시키지 않으면, 검출부에 의해 수납 용기 내부의 피수납물의 검출 작업을 행할 수 없다. 본 구성에 의하면, 상기와 같은 경우라도, 일시적으로 검출부와 창부가 대향 상태로 되도록 상기 용기 유지부의 자세를 변경하므로, 수납 용기 내부의 피수납물을 적절하게 검출할 수 있다. 또한, 용기 유지부의 자세 변경이 일시적이므로, 피수납물의 검출 후에는, 수납 용기의 자세를 반송 대상 장소에 대응한 원래의 자세로 되돌리는 것이 가능해진다. 이에 의해, 수납 용기 내부의 피수납물의 적절한 검출을 가능하게 하면서, 반송 대상 장소 사이에서의 원활한 이송탑재가 가능해진다.When the posture of the storage container corresponding to the transfer source is the same as the posture of the storage container corresponding to the transfer destination place, there is usually no need to change the posture of the storage container during transfer. However, in the case where the posture of the storage container is not in the opposed state, it is not possible to detect the stored object inside the storage container by the detection unit unless the posture of the storage container is changed. According to this configuration, even in the above-described case, since the posture of the container holding portion is temporarily changed so that the detection portion and the window portion are opposed to each other, the object to be collected in the container can appropriately be detected. Further, since the attitude change of the container holding portion is temporary, it becomes possible to return the posture of the container to the original posture corresponding to the conveyance target place after the object to be withdrawn is detected. As a result, it is possible to carry out smooth transfer between objects to be transported, while enabling appropriate detection of the objects to be contained in the container.

또한, 상기 용기 유지부 및 상기 커버부는, 상기 수납 용기로서의 제1종 수납 용기에 더하여, 상기 제1종 수납 용기와는 형상이 상이한 제2종 수납 용기에도 대응하고 있고, 상기 제2종 수납 용기에는, 상기 피수납물로서의 제1종 피수납물과는 상이한 제2종 피수납물이 수납되고, 상기 검출부는 상기 제1종 수납 용기에 대응하고, 상기 제2종 수납 용기에 대응하고 있지 않으면 호적하다.In addition to the first kind storage container as the storage container, the container holding portion and the cover portion also correspond to the second kind storage container which is different in shape from the first kind storage container, , The second sort receivable different from the first sort receivable as the to-be-collected object is accommodated, and the detection portion corresponds to the first kind storage container, and if the detection portion does not correspond to the second kind storage container It is a family register.

본 구성에 의하면, 제1종 수납 용기와 제2종 수납 용기를 구별하고, 제1종 수납 용기의 내부 제1종 피수납물의 검출을 적절하게 행할 수 있다. 따라서, 반송차가 복수 종류의 수납 용기 및 피수납물을 반송하도록 구성되어 있는 경우라도, 특정한 종류의 수납 용기 및 그 피수납물을, 반송 중에 적절하게 검출할 수 있다.According to this configuration, it is possible to distinguish the first kind storage container and the second kind storage container, and appropriately perform the detection of the inside first-class object to be stored in the first kind storage container. Therefore, even when the conveying carriage is configured to convey a plurality of types of storage containers and articles to be stored, a storage container of a specific kind and the articles to be stored therein can be properly detected during transportation.

또한, 상기의 구성에 있어서, 상기 검출부에 의해 상기 제1종 수납 용기의 내부에 상기 제1종 피수납물이 있는 것을 검출한 경우에는, 상기 수납 용기를 일시적으로 보관하기 위한 일시 보관 장소가 상기 반송 대상 장소로 되는 것을 규제하면 호적하다.In the above arrangement, it is preferable that when the detection unit detects that the first kind storage object exists in the first sort storage container, the temporary storage place for temporarily storing the storage container If it is regulated to be the place to be returned, it is a family register.

피수납물의 종류에 따라서는, 일시 보관 장소에서 일시적으로 보관되는 것이 바람직하지 않은 것이 있다. 예를 들면, 수납 용기가 레티클 포드인 경우, 그 내부에 수납하는 물품은 매우 부서지기 쉬운 것(레티클)인 경우가 많고, 이와 같은 수납 용기를 일시 보관 장소에서 보관하는 것은 극력 피하는 것이 바람직하다. 본 구성에 의하면, 제1종 수납 용기의 내부에 제1종 피수납물이 있는 경우에는, 상기 제1종 수납 용기가 일시 보관 장소에 반송되어 보관되는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 일시 보관 장소 이외의 적절한 반송 대상 장소에, 제1종 피수납물을 반송하는 것이 가능하게 된다.Depending on the type of the object to be stored, it is not preferable to temporarily store the object in the temporary storage place. For example, when the storage container is a reticle pod, it is often the case that the article stored therein is very fragile (reticle). It is desirable to avoid storing such a storage container in a temporary storage place to the utmost. According to this configuration, when the first kind storage container exists in the first kind storage container, it is possible to suppress the first kind storage container from being transported and stored in the temporary storage place. As a result, for example, it becomes possible to transport the first-class object to be stored at a suitable carrying-out place other than the temporary storage place.

본 개시에 관한 기술은, 반송 설비에 구비되어, 피수납물을 수납하는 수납 용기를 상기 반송 설비 내에 설치된 반송 대상 장소에 반송하는 반송차에 이용할 수 있다.The technique relating to the present disclosure can be used in a conveyance vehicle provided in a conveyance facility for conveying a storage container for storing articles to be collected to a conveyance target place provided in the conveyance facility.

100 : 반송 설비
1 : 반송차
7 : 피수납물
8 : 수납 용기
14 : 용기 유지부
15 : 자세 변경부
15A : 선회축
17S : 검출부
71 : 제1종 피수납물
72 : 제2종 피수납물
81 : 제1종 수납 용기
81D : 창부
82 : 제2종 수납 용기
93 : 일시 보관 장소
T : 반송 대상 장소
F : 반송원
L : 축방향(선회축에 따른 방향)
R : 직경 방향
C : 주위 방향100: Transport equipment
1: Car carrier
7: Container
8: Storage container
14:
15:
15A:
17S:
71: First-class article to be stored
72: Class 2 article to be stored
81: First type storage container
81D: window
82: Type 2 storage container
93: Temporary storage place
T: Place to return
F: Bouncer
L: Axial direction (direction along the pivot axis)
R: Diameter direction
C: Around direction

Claims (6)

반송(搬送) 설비에 구비되어, 피(被)수납물을 수납하는 수납 용기를 상기 반송 설비 내에 설치된 반송 대상 장소에 반송하는 반송차로서,
상기 수납 용기는, 상기 수납 용기의 외부와 내부 사이에서 광을 투과 가능한 창부(窓部)를 가지고,
상기 반송차는,
상기 수납 용기를 유지하는 용기 유지부;
상기 용기 유지부에 유지된 상태의 상기 수납 용기를 덮는 커버부;
상기 수납 용기를 유지한 상태의 상기 용기 유지부의 자세를 변경하는 자세 변경부; 및
상기 창부를 통하여 상기 수납 용기 내부의 상기 피수납물을 검출하는 검출부
를 포함하고,
상기 검출부는 상기 커버부에 설치되고,
상기 자세 변경부는, 상기 수납 용기의 반송 중에 상기 검출부와 상기 창부가 대향하고 있지 않은 경우에는, 상기 검출부와 상기 창부가 대향하는 대향 상태로 되도록, 상기 용기 유지부의 자세를 변경하는,
반송차.A conveyance car which is provided in a conveyance facility and conveys a storage container for storing a to-be-stored object to a conveyance destination place provided in the conveyance facility,
The storage container has a window portion through which light can pass between the outside and the inside of the storage container,
The conveying car,
A container holding portion for holding the storage container;
A cover portion covering the storage container held in the container holding portion;
A posture changing unit for changing a posture of the container holding unit in a state where the container is held; And
And a detector for detecting the object to be collected inside the container through the window,
Lt; / RTI >
Wherein the detecting portion is provided in the cover portion,
Wherein the attitude altering section changes the attitude of the container holding section such that the detecting section and the window section are opposed to each other when the detection section and the window section are not opposed to each other during the transportation of the storage container,
Car carrier. 제1항에 있어서,
상기 자세 변경부는, 선회축 주위에 상기 용기 유지부를 선회시키도록 구성되고,
상기 창부는, 상기 용기 유지부에 유지된 상태의 상기 수납 용기에 있어서의, 상기 선회축을 기준으로 한 주위 방향의 일부 영역에 설치되고,
상기 검출부의 상기 선회축에 따르는 방향의 위치가, 상기 용기 유지부에 유지된 상태의 상기 수납 용기의 상기 창부의 위치에 대응하도록, 상기 검출부가 배치되고,
상기 대향 상태는, 상기 검출부와 상기 창부가, 상기 선회축을 기준으로 한 직경 방향으로 대향하는 상태인, 반송차.The method according to claim 1,
Wherein the posture changing portion is configured to pivot the container holding portion around the pivotal axis,
Wherein the window portion is provided in a part of a circumferential direction with respect to the pivot shaft in the storage container held by the container holding portion,
The detecting portion is disposed so that the position of the detecting portion in the direction along the pivotal axis corresponds to the position of the window portion of the storage container held by the container holding portion,
Wherein the opposite state is a state in which the detection portion and the window portion are opposed to each other in the radial direction with respect to the pivotal axis. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 자세 변경부는, 상기 수납 용기의 반송 중에는, 상기 검출부와 상기 창부가 상기 대향 상태로 되도록 상기 용기 유지부의 자세를 유지하고,
상기 반송 대상 장소와의 사이에서 상기 수납 용기를 이송탑재할 때는, 상기 수납 용기의 자세가 상기 반송 대상 장소에 대응한 자세로 되도록 상기 용기 유지부의 자세를 변경하는, 반송차.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the posture changing section maintains the posture of the container holding section such that the detecting section and the window section are opposed to each other during conveyance of the container container,
And changes the posture of the container holding section such that the posture of the container container is in a posture corresponding to the conveyance target place when the container container is transported and mounted between the conveyance object and the conveyance target place. 제1항 또는 제2항에 있어서,
반송원(搬送元)으로부터 상기 반송 대상 장소까지 상기 수납 용기를 반송하는 경우에 있어서, 상기 반송원에 대응한 상기 수납 용기의 자세와 상기 반송 대상 장소에 대응한 상기 수납 용기의 자세가 동일한 경우로서, 상기 수납 용기의 자세가 상기 대향 상태로 되지 않는 자세인 경우에는, 상기 자세 변경부는, 상기 수납 용기의 반송 중에 일시적으로 상기 대향 상태로 되도록, 상기 용기 유지부의 자세를 변경하는, 반송차.3. The method according to claim 1 or 2,
In the case where the container is transported from the transporting source to the transporting object, when the posture of the container corresponding to the transporting source and the posture of the container corresponding to the transporting object are the same And the attitude changing unit changes the attitude of the container holding unit such that the attitude changing unit is temporarily in the opposed state during the transportation of the storage container when the attitude of the storage container is in the attitude not in the opposed state. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 용기 유지부 및 상기 커버부는, 상기 수납 용기로서의 제1종 수납 용기에 더하여, 상기 제1종 수납 용기와는 형상이 상이한 제2종 수납 용기에도 대응하고 있고,
상기 제2종 수납 용기에는, 상기 피수납물로서의 제1종 피수납물과는 상이한 제2종 피수납물이 수납되고,
상기 검출부는, 상기 제1종 수납 용기에 대응하고, 상기 제2종 수납 용기에 대응하고 있지 않은, 반송차.3. The method according to claim 1 or 2,
The container holding portion and the cover portion correspond to the second kind storage container which is different in shape from the first kind storage container in addition to the first kind storage container as the storage container,
The second kind storage container is stored with a second kind storage object different from the first kind storage object as the object to be stored,
Wherein said detecting portion corresponds to said first kind storage container and does not correspond to said second kind storage container. 제5항에 있어서,
상기 검출부에 의해 상기 제1종 수납 용기의 내부에 상기 제1종 피수납물이 있는 것을 검출한 경우에는, 상기 수납 용기를 일시적으로 보관하기 위한 일시 보관 장소가 상기 반송 대상 장소로 되는 것을 규제하는, 반송차.6. The method of claim 5,
Wherein when the detection unit detects that the first kind storage object exists inside the first kind storage container, it is regulated that the temporary storage place for temporarily storing the storage container becomes the transfer destination place , A return vehicle.
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