KR20190062172A - Horizontal transportation type electrolytic plating apparatus enabling easy maintenance inspection works - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 수평 반송식 전해 도금 장치로서, 특히 도금 처리조의 내부의 보수 점검 작업을 용이하게 수행할 수 있도록 한 전해 도금 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a horizontal transport type electroplating apparatus, and more particularly, to an electrolytic plating apparatus capable of easily performing a maintenance operation inside a plating tank.
도금 처리조 내의 도금액 속에서 음극의 전류를 급전받은 기판 제품이 판면을 상하로 한 상태에서 양극의 전류를 급전받은 상하의 극 사이를 1방향으로 수평으로 반송되어, 이 수평반송 과정에서 기판 제품이 전해 도금 처리되도록 한 수평 반송식 전해 도금 장치가 알려져 있다. 또한, 상기 기판 제품을 1방향으로 수평으로 반송하는 수단으로서, 기판 제품의 반송 통로를 사이로 한 양측에 설치된 엔드리스로 둘레 회전 구동되는 반송 구동 수단과, 이 반송 구동 수단에 상부가 공중에서 부착되어 둘레 회전 이동되고, 하부에 파지 접점부를 가지는 복수의 클램프 지그를 구비하고, 상기 반송 통로를 사이로 하여 서로 평행한 내측의 직선 이동 경로를 이동하는 복수의 클램프 지그의 파지 접점부에서 기판 제품의 양측 가장자리부를 상하 방향에서 파지하여 이 기판 제품의 판면을 상하로 한 상태에서 처리조 내의 처리액 속에서 1방향으로 수평으로 반송시키는 수평 반송식 전해 도금 장치도 알려져 있다. (특허문헌 1, 2)The substrate product fed with the cathode current in the plating liquid in the plating tank is horizontally conveyed in one direction between the upper and lower poles fed with the current of the anode in the state that the plate surface is up and down, A horizontal transport type electrolytic plating apparatus is known which is adapted to be plated. In addition, as means for horizontally conveying the substrate product in one direction, there are provided conveyance drive means that is rotationally driven around the endless furnace provided on both sides of the conveyance passage of the substrate product, And a plurality of clamp jigs which are rotatably moved and have gripping contact portions at a lower portion thereof, and gripping both side edges of the substrate product at the gripping contact portions of the plurality of clamp jigs moving in the inner linear movement path parallel to each other with the transfer passage interposed therebetween And horizontally transporting the substrate product in one direction in the treatment liquid in the treatment tank in a state where the plate surface of the substrate product is held vertically. (
이 수평 반송식 전해 도금 장치에 있어서, 도금 처리조의 내부의 보수 점검 작업은 도금액을 빼낸 후에 행하여지지만, 도금 처리조의 내부는, 이 처리조의 측벽면으로 둘러싸여 있고, 게다가 처리조 내의 비품이 복잡하게 배치되어 있기 때문에, 작업자가 처리조의 내부에 들어가서 보수 점검 작업을 수행하는 것은 곤란해서, 그 보수 점검 작업은 용이하지 않다. In this horizontal transport type electrolytic plating apparatus, the maintenance and inspection work inside the plating treatment tank is performed after the plating solution is taken out. However, the inside of the plating treatment tank is surrounded by the side wall surface of the treatment tank, Therefore, it is difficult for the operator to enter the inside of the treatment tank to perform the maintenance inspection work, and the maintenance inspection work is not easy.
또한, 수평 반송식 전해 도금 장치로서, 기판 제품을 1방향으로 수평으로 반송하는 수단으로서, 둘레 회전 이동하는 다수의 클램프 지그를 이용하는 전해 도금 장치에 있어서는, 처리조의 내부에 배열 설치된 다수의 클램프 지그의 존재가 방해가 되어, 도금 처리조의 내부의 보수 점검 작업을 행하는 것은 용이하지 않다.Further, as the horizontal transport type electrolytic plating apparatus, in the electrolytic plating apparatus using a plurality of clamp jigs for moving the substrate product horizontally in one direction as a means for moving the substrate product horizontally, the presence of a plurality of clamp jigs It is not easy to perform maintenance work inside the plating bath.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 수평 반송식 전해 도금 장치로서, 이 전해 도금 장치의 도금 처리조의 내부의 보수 점검 작업을 작업자가 이 도금 처리조의 외측에서 용이하게 수행할 수 있도록 하여, 도금 처리조의 내부의 보수 점검 작업을 작업자가 용이하게 수행할 수 있도록 하는 것이다. An object of the present invention is to provide a horizontal transport type electrolytic plating apparatus capable of easily performing an inside maintenance inspection work of a plating treatment tank of the electrolytic plating apparatus from outside of the plating treatment tank, So that the operator can easily carry out the maintenance and inspection work.
또한, 수평 반송식 전해 도금 장치로서, 기판 제품을 1방향으로 수평으로 반송하는 수단으로서, 둘레 회전 이동하는 다수의 클램프 지그를 이용하는 전해 도금 장치이어도, 도금 처리조의 내부의 보수 점검 작업을 작업자가 이 도금 처리조의 외측에서 용이하게 수행할 수 있도록 하여, 도금 처리조의 내부의 보수 점검 작업을 작업자가 용이하게 수행할 수 있도록 하는 것이다.Further, as a horizontal transport type electroplating apparatus, as an apparatus for horizontally transporting a substrate product in one direction, even in the case of an electrolytic plating apparatus using a plurality of clamp jigs which rotate in a circumferential direction, So that the operator can easily carry out the maintenance and inspection work inside the plating bath.
상기한 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은, 도금 처리조 내의 도금액 속에서 음극의 전류를 급전받은 기판 제품이 판면을 상하로 한 상태에서 양극의 전류를 급전받은 상하의 극 사이를 1방향으로 수평으로 반송되어, 이 수평반송 과정에서 기판 제품이 전해 도금 처리되도록 한 수평 반송식 전해 도금 장치로서, 플라스틱제의 상기 도금 처리조의 제품 반송 방향을 따른 양쪽의 측면부에 외측에서 도금 처리조 내부를 보수 점검할 수 있도록 한 위쪽이 개방된 내측 점검구를 절결하여 형성하고, 이 내측 점검구의 절결된 개구 아래 가장자리부가 기판 제품의 수평인 반송 레벨 라인보다 적어도 아래쪽의 높이 위치가 되도록 절결하여 형성하고, 이 내측 점검구에 이 내측 점검구를 외측에서 밀폐 상태로 막을 수 있고 또한 떼내기 가능한 플라스틱제의 내측의 측면 커버 패널을 착탈가능하게 장착하고, 또한 상기 도금 처리조의 양쪽의 측면부에 상기 내측 점검구를 외측에서 둘러싸는 저면부와 측면부를 가지는 보조조(補助槽)를 각각 설치하고, 이 보조조의 상기 내측 점검구에 대응하는 측면부의 위치에 외측에서 상기 내측 점검구를 통하여 도금 처리조 내부를 보수 점검할 수 있도록 한 위쪽이 개방된 외측 점검구를 절결하여 형성하고, 이 외측 점검구의 절결된 개구 아래 가장자리부도 기판 제품의 수평인 반송 레벨 라인보다 적어도 아래쪽의 높이 위치가 되도록 절결하여 형성하고, 이 외측 점검구에 이 외측 점검구를 밀폐 상태로 막을 수 있고 또한 떼내기 가능한 외측의 측면 커버 패널을 착탈가능하게 장착한 것을 특징으로 하는 보수 점검 작업이 용이한 수평 반송식 전해 도금 장치를 제공한다. In order to solve the above problems, the present invention is characterized in that, in a state in which a substrate product to which a negative current is supplied in a plating solution in a plating treatment tank is moved up and down on a plate surface, The horizontal transfer type electrolytic plating apparatus in which the substrate product is subjected to electrolytic plating in the horizontal transferring process is characterized in that the inside of the plating bath can be inspected from the outside on both side portions along the product conveying direction of the plating bath And the lower edge of the inner opening of the inner inspection port is formed at a height position at least lower than the horizontal conveyance level line of the substrate product. The inner check port is formed by cutting the inner check port The inner check port can be closed from the outside and can be removed. (Auxiliary tank) having a bottom surface portion and a side surface portion surrounding the inside check port from outside are provided on both side surface portions of the plating tank, and the inside surface of the inside And an upper side opened inspection port is cut out from the outer side at a position of the side portion corresponding to the inspection port so that the inside of the plating treatment tank can be inspected through the inside inspection port. And the outer side check cover is detachably attached to the outer side check cover in such a manner that the outer side check port can be closed in a closed state and the detachable outer side cover panel is detachably attached to the outer check port The present invention provides a horizontal transport type electrolytic plating apparatus which facilitates maintenance and inspection work.
이 발명에 의하면, 도금 처리조 및 보조조의 각 측면부에 점검구를 절결하여 형성하였기 때문에, 도금 처리조 내의 도금액을 빼내고, 내측 및 외측의 측면 커버 패널을 떼낸 점검구를 통하여, 도금 처리조 외부에서 도금 처리조의 내부의 보수 점검 작업을 작업자가 용이하게 행할 수 있다. According to the present invention, the plating liquid in the plating treatment tank is taken out, and plating treatment is performed from the outside of the plating treatment tank through the inspection hole in which the inner and outer side cover panels are detached, since the inspection port is formed by cutting off each side surface portion of the plating treatment tank and the auxiliary tank. The operator can easily perform the maintenance inspection work inside the tank.
게다가, 본 발명은 수평 반송식 전해 도금 장치로서, 도금 처리조 내의 도금액 속에서 기판 제품이 수평으로 반송되는 과정에서 도금 처리하는 전해 도금 장치이기 때문에, 기판 제품이 도금액 속에서 수직 자세로 반송되면서 도금 처리되는 방식의 도금 장치에 비하여 도금 처리조의 높이 폭을 낮은 구조로 할 수 있다. 따라서, 본 발명에 의하면, 장치 외부에서 작업자가 간단히 측면 커버 패널을 착탈할 수 있는 적당한 높이 위치에 도금 처리조를 가대 위에 얹어서 배치할 수 있어서, 도금 처리조 내의 비품의 보수 점검 작업이 용이하다. In addition, since the present invention is an electrolytic plating apparatus for performing a plating process in the process of horizontally transporting a substrate product in a plating liquid in a plating treatment tank, the substrate product is transported in a vertical posture in the plating liquid, The height of the plating bath can be made lower than that of the plating apparatus. Therefore, according to the present invention, it is possible to place the plating treatment tank on the mount at an appropriate height position where the operator can easily attach and detach the side cover panel from the outside of the apparatus, and maintenance work of the fixtures in the plating treatment tank is easy.
또한, 본 발명은, 도금 처리조의 측면부에 점검구를 설치하고, 이 점검구의 외측에 이 점검구를 둘러싸는 보조조를 설치하고, 이 보조조의 측면부에도 점검구를 설치하고, 이들 점검구에 측면 커버 패널을 탈착가능하게 장착한 구조이기 때문에, 처리조로부터의 액누설 대책도 허술함이 없고 완전하다. In addition, the present invention is characterized in that an inspection port is provided on a side portion of the plating tank, an auxiliary port surrounding the port is provided outside the port, an inspection port is provided on the side surface of the port, It is possible to prevent liquid leakage from the treatment tank.
또한, 상기한 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은, 도금 처리조 내의 도금액 속에서 음극의 전류를 급전받은 기판 제품이 판면을 상하로 한 상태에서 양극의 전류를 급전받은 상하의 극 사이를 1방향으로 수평으로 반송되어, 이 수평반송 과정에서 기판 제품이 전해 도금 처리되도록 한 수평 반송식 전해 도금 장치로서, 상기 기판 제품을 1방향으로 수평으로 반송하는 수단이, 기판 제품의 반송 통로를 사이로 한 양측에 설치된 엔드리스로 둘레 회전 구동되는 반송 구동 수단과, 이 반송 구동 수단에 상부가 공중에서 부착되어 둘레 회전 이동되고, 하부에 파지 접점부를 가지는 복수의 상하 방향으로 기다란 형상의 클램프 지그를 구비하고, 상기 반송 통로를 사이로 하여 서로 평행한 내측의 직선 이동 경로를 이동하는 복수의 클램프 지그의 파지 접점부에서 기판 제품의 양측 가장자리부를 상하 방향에서 파지하여 이 기판 제품의 판면을 상하로 한 상태에서 처리조 내의 도금액 속에서 1방향으로 수평으로 반송시키는 장치에 있어서, 플라스틱제의 상기 도금 처리조의 제품 반송 방향을 따른 양쪽의 측면부에 외측에서 도금 처리조 내부를 보수 점검할 수 있도록 한 위쪽이 개방된 내측 점검구를 절결하여 형성하고, 이 내측 점검구의 절결된 개구 아래 가장자리부가 기판 제품의 수평인 반송 레벨 라인보다 적어도 아래쪽의 높이 위치가 되도록 절결하여 형성하고, 이 내측 점검구에 이 내측 점검구를 외측에서 밀폐 상태로 막을 수 있고 또한 떼내기 가능한 플라스틱제의 내측의 측면 커버 패널을 착탈가능하게 장착하고, 또한 상기 도금 처리조의 양쪽의 측면부에 상기 내측 점검구를 외측에서 둘러싸는 저면부와 측면부를 가지는 보조조를 각각 설치하고, 이 보조조의 상기 내측 점검구에 대응하는 측면부의 위치에 외측에서 상기 내측 점검구를 통하여 도금 처리조 내부를 보수 점검할 수 있도록 한 위쪽이 개방된 외측 점검구를 절결하여 형성하고, 이 외측 점검구의 절결된 개구 아래 가장자리부도 기판 제품의 수평인 반송 레벨 라인보다 적어도 아래쪽의 높이 위치가 되도록 절결하여 형성하고, 이 외측 점검구에 이 외측 점검구를 밀폐 상태로 막을 수 있고 또한 떼내기 가능한 외측의 측면 커버 패널을 착탈가능하게 장착하여 이루어지고, 또한, 상기 클램프 지그는, 상기 반송 구동 수단에 연결되어, 이 클램프 지그의 이동 경로를 따라 고정적으로 배치된 고정 가이드 레일에 미끄럼 접촉되면서 이동하도록 이 가이드 레일에 외측에서 끼워진 도전성을 가지는 클램프 지그 부착체를 통하여 상기 반송 구동 수단에 부착되고, 그 상방부가 공중에서 상기 클램프 지그 부착체에 고정 유지되는 상하 방향으로 기다란 형상의 도전성을 가지는 고정 클램프부와, 이 고정 클램프부에 상하이동 가능하게 유지된 상하 방향으로 기다란 형상의 도전성을 가지는 가동 클램프부를 구비하고, 상기 고정 클램프부의 하단부에 형성한 파지 접점부에 대하여 상기 가동 클램프부의 하단부에 형성한 파지 접점부를 압축 스프링의 탄성가압력으로 하방 이동 또는 상방 이동시켜서 폐쇄하고, 둘레 회전 이동하는 이 클램프 지그의 개방 위치에 고정 배치된 고저 차이를 가지는 걸어맞춤 가이드에 이 클램프 지그의 상부에 설치한 걸어맞춤체를 걸어맞춤되게 하여 상기 압축 스프링의 탄성가압력에 대항하여 상기 가동 클램프부의 파지 접점부를 상기 고정 클램프부의 파지 접점부에 대하여 개방하는 개폐 기구를 구비하고, 상기 고정 가이드 레일, 상기 클램프 지그 부착체 및 이 클램프 지그를 통하여 이 클램프 지그의 파지 접점부로부터 상기 기판 제품에 음극의 전류를 급전하도록 한 클램프 지그이며, 상기 고정 클램프부의 상방부에 좌우 한 쌍의 볼트 걸어맞춤 구멍을 천공하고, 상기 클램프 지그 부착체의 상기 반송 통로측의 부착 벽면에 상기 볼트 걸어맞춤 구멍에 대응하는 위치에 좌우 한 쌍의 고정용 볼트를 볼트 머리부가 돌출한 상태로 나사결합하고, 상기 볼트 걸어맞춤 구멍은, 아래쪽 구멍부를 상기 고정용 볼트의 볼트 머리부의 통과를 허용하는 넓이로 형성하고, 이 아래쪽 구멍부와 연속하는 윗쪽 구멍부를 상기 고정용 볼트의 볼트 축부의 통과는 허용하지만 볼트 머리부의 통과는 허용하지 않는 좁은 넓이로 형성하고, 따라서, 상기 클램프 지그를 이 클램프 지그의 고정 클램프부에 형성한 볼트 걸어맞춤 구멍과 상기 클램프 지그 부착체에 나사결합한 고정용 볼트로 상기 클램프 지그 부착체에 대하여 착탈가능하게 고정 장착할 수 있는 구조로 한 것을 특징으로 하는 보수 점검 작업이 용이한 수평 반송식 전해 도금 장치를 제공한다.In order to solve the above-described problems, the present invention provides a method of manufacturing a plating bath, in which a substrate product to which a cathode current is supplied in a plating liquid in a plating treatment tank is divided into upper and lower poles Wherein the means for horizontally transporting the substrate product horizontally includes means for horizontally transporting the substrate product in the horizontal direction so that the substrate product is electroplated in the horizontal transporting process, And a plurality of vertically elongated clamp jigs mounted on the carrier driving means and rotatably mounted on the carrier at an upper portion thereof and having a holding contact portion at a lower portion thereof, A plurality of clamping jigs for moving the inner linear movement path parallel to each other, In which the side edge portions of the substrate product are gripped in the vertical direction and the plate surface of the substrate product is transported horizontally in one direction in the plating liquid in the treatment tank in a state that the surface of the substrate product is up and down, And a lower inner edge of the inner inspection port is formed so as to allow the inside of the plating treatment tank to be inspected and inspected from the outside on the side portions of the inner inspection port. The inner side inserting opening is detachably attached to the inner side inserting opening so that the inner side inserting opening can be closed from the outside and the inner side side cover panel detachable from the outside can be detachably attached to the inner inserting opening, On both lateral sides of the treatment tank, And an auxiliary checker having a bottom portion and a side portion is provided at the side of the plating vessel and the inside of the plating vessel is installed at a position of a side portion corresponding to the inside inspection hole of the auxiliary tank, And the edge portion of the cutout opening of the outer inspection port is also formed so as to have a height position at least lower than a horizontal conveyance level line of the substrate product so that the outer inspection port can be closed in a sealed state And the clamp jig is connected to the conveying drive means and is fixed to the fixed guide rail fixedly disposed along the movement path of the clamp jig The outer side of the guide rails A fixed clamp portion attached to the conveying driving means through a clamp jig attachment body having an elongated shape in the up and down direction and the upper portion thereof being fixed to the clamp jig attachment body in air, Wherein the gripping contact portion formed at the lower end portion of the movable clamping portion with respect to the gripping contact portion formed at the lower end portion of the fixed clamping portion is pressed against the elastic pressure of the compression spring The clamping jig is engaged with an engagement guide having a difference in height and height fixedly arranged at an open position of the clamp jig moving in the circumferential rotational movement so as to engage the engagement member provided on the upper portion of the clamp jig, The elastic clamping force of the movable clamp And an opening / closing mechanism for opening the sub-gripping contact portion with respect to the gripping contact portion of the fixed clamping portion, wherein the clamping jig includes a fixed guide rail, a clamp jig mounting body, and a gripping contact portion of the clamping jig, And a pair of right and left bolt engagement holes are formed in the upper portion of the fixed clamp portion so as to correspond to the bolt engagement holes on the attachment wall surface of the clamp jig body on the transfer passage side And the bolt engaging hole is formed such that the lower hole portion has a width allowing the passage of the bolt head portion of the fixing bolt, The upper hole portion continuous with the lower hole portion is not allowed to pass through the bolt shaft portion of the fixing bolt The clamp jig is formed into a narrow width that does not allow passage of the head of the bolt, so that the clamp jig is fixed to the clamp jig by a bolt engaging hole formed in the clamp clamp portion of the clamp jig, A horizontal transport type electrolytic plating apparatus which is easy to perform maintenance work, characterized in that it has a structure that can be detachably fixed to a jig attachment body.
이 발명에 의하면, 내외의 측면 커버 패널을 떼낸 내외의 점검구를 통하여, 도금 처리조 외부에서 도금 처리조의 내부의 보수 점검 작업을 작업자가 용이하게 수행할 수 있다. 게다가, 상기 클램프 지그는, 고정 가이드 레일에 슬라이드 이동 가능하게 걸어맞춤되고, 또한 반송 구동 수단(체인 구동 수단)에 의해 둘레 회전 이동하는 클램프 지그 부착체에 착탈가능하여, 고정용 볼트와 볼트 걸어맞춤 구멍으로 간단하고 확실하게 착탈할 수 있는 구조이기 때문에, 떼낸 클램프 지그의 보수 점검이 용이함과 아울러, 도금 처리조 내의 보수 점검 작업시에 다수의 클램프 지그를 클램프 지그 부착체로부터 떼내는 것에 의해, 도금 처리조의 내부의 보수 점검 작업을 더욱 용이하게 행할 수 있다. According to the present invention, it is possible for the operator to easily carry out maintenance and inspection work inside the plating tank outside the plating tank through the inside and outside check ports for removing the inner and outer side cover panels. In addition, the clamp jig is detachably attachable to the clamp jig body which is engaged with the fixed guide rail so as to be slidable and which is also rotated by the conveyance drive means (chain drive means), so that the fixing bolt and the bolt engagement It is easy to perform maintenance and inspection of the removed clamp jig. Further, by removing a large number of clamp jigs from the clamp jig attachment body during the maintenance inspection work in the plating tank, Maintenance work inside the processing tank can be more easily performed.
또한, 본 발명은, 상기 내측의 측면 커버 패널의 상기 내측 점검구로의 착탈가능한 장착 수단이, 상기 측면부의 외측면에 상기 내측 점검구의 절결된 개구 가장자리부를 따라 위쪽이 개방된 계단부 형상의 걸림틀체를 돌출되게 형성하고, 이 걸림틀체는 이 걸림틀체의 내측 걸림부 내에 내측의 측면 커버 패널을 외측에서 끼워넣어 장착할 때에 이 걸림틀체의 내측 걸림부와 상기 내측 점검구의 절결된 개구 가장자리부의 사이의 외측면에 이 측면 커버 패널의 양측 가장자리부와 아래쪽 가장자리부를 면으로 받아들여서 걸리게 하는 걸림면부로서 기능하는 간극면을 남겨서 돌출 형성되어, 이 걸림틀체의 내측 걸림부 내에 내측의 측면 커버 패널을 외측에서 상기 걸림면부에서 걸리는 상태로 탈착가능하게 끼워장착하고, 끼워장착된 내측의 측면 커버 패널을 외측에서 상기 걸림면부측에 눌러 조여서 고정할 수 있는 누름 고정 위치와 이 측면 커버 패널을 떼내는 누름 해제 위치의 사이를 작용단측이 회전운동할 수 있도록 타단부측을 상기 걸림틀체의 정상면부에 볼트와 너트로 축지지한 복수의 누름 부재를 구비하고, 이들 누름 부재는 도금 처리조의 내측으로부터 나사결합 상태로 삽입되는 볼트와 도금 처리조의 외측으로부터 이 볼트 축부에 나사결합되는 손잡이 너트로 상기 걸림틀체의 정상면부에 축지지한 것을 특징으로 하는 보수 점검 작업이 용이한 수평 반송식 전해 도금 장치를 제공한다. In addition, the present invention is characterized in that the detachable mounting means of the inner side cover panel of the inner side cover panel is provided on the outer side surface of the side portion with a staple frame shaped like a stepped portion whose upper side is opened along the cut- When the inner side cover panel is fitted in the inner side latching panel of the latching frame body from the outside, the inner latching portion of the latching frame body and the cutout opening edge portion of the inner check port The side cover panel is formed on the outer side surface of the side cover panel so as to protrude from the outer side surface of the side cover panel while leaving a gap surface functioning as a receiving surface for receiving the side edge portions and the lower edge portions of the side cover panel. And a fastening member for fastening the fastening member to the fastening member, The other end side of the latching frame body is fixed to the top surface of the latching frame body so that the action end side can be rotated between the pushing-out position where the board can be pushed and fixed from the outside to the latching face side, And a plurality of pressing members pivotally supported by a bolt and a nut, wherein the pressing members are a bolt inserted in a screwed state from the inside of the plating tank and a handle nut screwed to the bolt shaft from the outside of the plating tank, A horizontal transport type electrolytic plating apparatus which is easy to perform maintenance work, characterized in that the horizontal transport type electrolytic plating apparatus is supported on a top surface of a frame.
이 발명은, 도금 처리조의 외측의 손잡이 너트(노브 너트)를 사람의 손으로 풀어지게 돌리고, 누름 부재를 누름 해제 위치로 회전 이동시키는 것에 의해, 상기 걸림틀체와 걸림면부에서 걸린 내측의 측면 커버 패널을 도금 처리조의 내측 점검구로부터 용이하게 떼낼 수 있는 구조로 하였다. 또한, 도금 처리조의 외측의 손잡이 너트(노브 너트)를 사람의 손으로 조이는 방향으로 반대로 돌리고, 누름 부재를 누름 고정 위치로 회전 이동시키는 것에 의해, 상기 걸림틀체와 걸림면부에서 걸린 내측의 측면 커버 패널을 도금 처리조의 내측 점검구에 용이하게 밀폐 상태로 장착할 수 있는 구조로 하였다. According to the present invention, the knob nut (knob nut) outside the plating tank is loosened with the hand of a person, and the pressing member is rotationally moved to the unclamping position, Was easily detached from the inner inspection port of the plating tank. Further, by turning the knob nut (knob nut) outside the plating tank in the direction of tightening with the hand of a person and rotating the pressing member to the pressing and fixing position, the inner side cover panel To the inside inspection port of the plating treatment tank in a hermetically sealed condition.
또한, 본 발명은, 상기 외측의 측면 커버 패널의 상기 외측 점검구로의 착탈가능한 장착 수단이, 상기 외측 점검구의 절결된 개구 가장자리부의 좌우측 가장자리부에 외측의 측면 커버 패널의 양측 변부가 상하로 슬라이드 가능한 상태로 끼워맞춤되는 안내 홈부를 형성하고, 상기 외측 점검구의 절결된 개구 가장자리부의 바닥 가장자리부에 측면 커버 패널의 바닥 변부가 걸리는 걸림 홈부를 형성하고, 외측의 측면 커버 패널을 상기 안내 홈부를 따라 상하로 슬라이드 가능하게 장착한 것을 특징으로 하는 보수 점검 작업이 용이한 수평 반송식 전해 도금 장치를 제공한다. In addition, the present invention is characterized in that the detachable mounting means of the outer side check cover of the outer side cover panel is slidable on both side portions of the outer side cover panel at the left and right side edge portions of the cut opening edge portion of the outer check port The outer side inserting groove is formed in the bottom edge portion of the cutout opening edge portion of the outer inserting opening so as to engage with the bottom side of the side cover panel, The present invention provides a horizontal transport type electroplating apparatus which is easy to perform maintenance work.
이 발명은, 외측의 측면 커버 패널을 좌우의 안내 홈부에 의해 안내되는, 상하 슬라이드식 착탈 구조로 하였다. 따라서, 외측의 측면 커버 패널을 보조조의 외측 점검구에 용이하게 착탈할 수 있다.According to the present invention, the outer side cover panel is guided by the left and right guide grooves in a vertical slide type detachable structure. Therefore, the outer side cover panel can be easily attached to and detached from the outer check port of the auxiliary tank.
본 발명에 의하면, 도금 처리조 및 보조조의 각 측면부에 점검구를 절결하여 형성하였기 때문에, 도금 처리조 내의 도금액을 빼내고, 내측 및 외측의 측면 커버 패널을 떼낸 점검구를 통하여, 도금 처리조 외부에서 도금 처리조의 내부의 보수 점검 작업을 작업자가 용이하게 행할 수 있다. According to the present invention, the plating liquid in the plating treatment tank is taken out, and plating treatment is carried out from the outside of the plating treatment tank through the inspection opening where the inside and outside side cover panels are removed, The operator can easily perform the maintenance inspection work inside the tank.
게다가, 본 발명은 수평 반송식 전해 도금 장치로서, 도금 처리조 내의 도금액 속에서 기판 제품이 수평으로 반송되는 과정에서 도금 처리하는 전해 도금 장치이기 때문에, 기판 제품이 도금액 속에서 수직 자세로 반송되면서 도금 처리되는 방식의 도금 장치에 비하여 도금 처리조의 높이 폭을 낮은 구조로 할 수 있다. 따라서, 본 발명에 의하면, 장치 외부에서 작업자가 간단히 측면 커버 패널을 착탈할 수 있는 적당한 높이 위치에 도금 처리조를 가대 위에 얹어서 배치할 수 있어서, 도금 처리조 내의 비품의 보수 점검 작업이 용이하다. In addition, since the present invention is an electrolytic plating apparatus for performing a plating process in the process of horizontally transporting a substrate product in a plating liquid in a plating treatment tank, the substrate product is transported in a vertical posture in the plating liquid, The height of the plating bath can be made lower than that of the plating apparatus. Therefore, according to the present invention, it is possible to place the plating treatment tank on the mount at an appropriate height position where the operator can easily attach and detach the side cover panel from the outside of the apparatus, and maintenance work of the fixtures in the plating treatment tank is easy.
게다가, 본 발명은, 도금 처리조의 측면부에 점검구를 설치하고, 이 점검구의 외측에 이 점검구를 둘러싸는 보조조를 설치하고, 이 보조조의 측면부에도 점검구를 설치하고, 이들 점검구에 측면 커버 패널을 탈착가능하게 장착한 구조이기 때문에, 처리조로부터의 액누설 대책도 허술함이 없고 완전하다. Further, according to the present invention, an inspection port is provided on the side surface of the plating tank, an auxiliary tank surrounding the inspection port is provided on the outside of the inspection port, an inspection port is provided on the side surface of the auxiliary port, It is possible to prevent liquid leakage from the treatment tank.
게다가, 본 발명에 의하면, 상기 클램프 지그는, 고정 가이드 레일에 슬라이드 이동 가능하게 걸어맞춤되고, 또한 반송 구동 수단(체인 구동 수단)에 의해 둘레 회전 이동하는 클램프 지그 부착체에 착탈가능하여, 고정용 볼트와 볼트 걸어맞춤 구멍으로 간단하고 확실하게 착탈할 수 있는 구조이기 때문에, 떼낸 클램프 지그의 보수 점검이 용이함과 아울러, 도금 처리조 내의 보수 점검 작업시에 다수의 클램프 지그를 클램프 지그 부착체로부터 떼내는 것에 의해, 도금 처리조의 내부의 보수 점검 작업을 더욱 용이하게 행할 수 있다.Further, according to the present invention, the clamp jig can be attached to and detached from a clamp jig body slidably engaged with the fixed guide rail and rotated circumferentially by the conveyance drive means (chain drive means) It is possible to easily carry out maintenance and inspection of the removed clamp jig, and also to remove a large number of clamp jigs from the clamp jig attachment body during maintenance work in the plating tank It is possible to more easily perform the maintenance and inspection work inside the plating bath.
또한, 본 발명에 의하면, 걸림틀체와 걸림면부에서 걸린 내측의 측면 커버 패널을 누름 부재로 도금 처리조의 내측 점검구에 간단하고 확실하게 착탈할 수 있다. 또한, 외측의 측면 커버 패널도 상하 슬라이드식 착탈 구조이기 때문에, 보조조의 외측 점검구에 간단하고 확실하게 착탈할 수 있다.Further, according to the present invention, the inner side cover panel engaged by the engagement frame body and the engagement surface portion can be easily and reliably attached to and detached from the inner check port of the plating treatment tank by the pressing member. Further, since the outer side cover panel also has the vertical slide-type detachable structure, it can be easily and reliably attached to and detached from the outer inspection port of the auxiliary tank.
도 1은 본 발명의 개략 종단 정면도이다.
도 2는 본 발명의 개략 평면도이다.
도 3은 본 발명의 요부의 측면도로서, 도 3(A)는 내측 점검구, 도 3(B)는 외측 점검구를 나타내는 것이다.
도 4는 본 발명의 요부의 종단 정면도이다.
도 5는 본 발명의 요부의 횡단 평면도이다.
도 6은 본 발명의 착탈식 클램프 지그의 한 예를 나타내며, 도 6(A)는 정면도이고, 도 6(B)은 측면도이다.1 is a schematic end elevational view of the present invention.
2 is a schematic plan view of the present invention.
Fig. 3 is a side view of the main part of the present invention, Fig. 3 (A) showing an inner check port, and Fig. 3 (B) showing an outer check port.
4 is a longitudinal elevational view of the main part of the present invention.
5 is a cross-sectional plan view of the recess of the present invention.
Fig. 6 shows an example of a removable clamp jig according to the present invention. Fig. 6 (A) is a front view, and Fig. 6 (B) is a side view.
본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig.
도 1 및 도 2는, 본 발명의 수평 반송식 전해 도금 장치의 전체를 개략적으로 나타내는 것이다. 이 수평 반송식 전해 도금 장치는, 도금 처리조(1) 내의 도금액(W) 속에서 음극의 전류를 급전받은 직사각형의 기판 제품(P)(프린트 배선 기판 등의 얇은 판형상의 제품)이 판면을 상하로 한 상태에서 양극의 전류를 급전받은 상하의 극(2, 2) 사이를 1방향(도 2의 화살표 F 방향)으로 수평으로 반송되어, 이 수평 반송 과정에서 기판 제품(P)이 전해 도금 처리되도록 한 것이다. 그리고, 도시한 실시례에서는, 기판 제품(P)을 1방향(도 2의 화살표 F 방향)으로 수평으로 반송하는 수단으로서, 기판 제품(P)의 반송 통로(3)를 사이로 한 양측에 설치된 엔드리스로 둘레 회전 구동되는 롤러 체인 등의 구동 반송 수단(4, 4)과, 이 구동 반송 수단(4)에 상부가 공중에서 부착되어 둘레 회전 이동되고, 하부에 파지 접점부(6)를 가지는 복수의 상하 방향으로 기다란 형상의 클램프 지그를 구비하고, 상기 반송 통로(3)를 사이로 하여 서로 평행한 내측의 직선 이동 경로를 이동하는 복수의 클램프 지그(5)의 파지 접점부(6)에서 기판 제품(P)의 양측 가장자리부를 상하 방향에서 파지하여 이 기판 제품(P)의 판면을 상하로 한 상태에서 처리조(1) 내의 도금액(W) 속에서 1방향으로 수평으로 반송시키는 장치로 구성하고 있다. 롤러 체인 등의 상기 반송 구동 수단(4)은, 스프로킷이나 홈이 형성된 풀리에 걸쳐 있어서, 반송 구동용 모터(도시되어 있지 않음)에 의해 회전 구동되어, 엔드리스로 둘레 회전 구동되도록 이루어져 있다. 또한, 도 2에서는, 클램프 지그(5)를 엔드리스로 둘레 회전 구동되는 반송 구동 수단(롤러 체인)(4)의 일부 범위에만 표시했지만, 이 반송 구동 수단(4)의 전 범위에 걸쳐서 동일 간격으로 부착되어 있다. Figs. 1 and 2 schematically show the whole of the horizontal transport electroplating apparatus of the present invention. This horizontal transport type electrolytic plating apparatus is a device in which a rectangular substrate product P (a thin plate-shaped product such as a printed wiring board) fed with a negative current in a plating solution W in a
본 발명에서는, 플라스틱제의 상기 도금 처리조(1)의 제품 반송 방향을 따른 양쪽의 측면부에 외측에서 처리조(1) 내부를 보수 점검할 수 있도록 한 위쪽이 개방된 내측 점검구(10)를 대략 U자 형상으로 절결하여 형성하고, 이 내측 점검구(10)의 절결된 개구 아래 가장자리부가 기판 제품(P)의 수평인 반송 레벨 라인(도 2 및 도 3에 부호 L로 표시되어 있다)보다 적어도 아래쪽의 높이 위치가 되도록 절결하여 형성하고, 이 내측 점검구(10)에 이 내측 점검구(10)를 외측에서 밀폐 상태로 막을 수 있고 또한 떼내기 가능한 가로가 긴 직사각형의 플라스틱제의 내측의 측면 커버 패널(11)을 착탈가능하게 장착한 것을 특징으로 하고 있다. 상기 내측 점검구(10)는 양쪽의 측면부에 각각 복수로 형성되어 있다. 또한, 내측 점검구(10)의 수는 도금 처리조(1)의 측면부의 길이 폭에 따라서 결정된다. In the present invention, the upper side opened
또한, 상기 도금 처리조(1)의 양쪽의 측면부에 상기 내측 점검구(10)를 외측에서 둘러싸는 저면부와 측면부를 가지는 플라스틱제의 보조조(20)를 각각 설치하고, 이 보조조(20)의 상기 내측 점검구(10)에 대응하는 측면부의 위치에 외측에서 상기 내측 점검구(10)를 통하여 처리조(1) 내부를 보수 점검할 수 있도록 한 위쪽이 개방된 외측 점검구(22)를 대략 U자 형상으로 절결하여 형성하고, 이 외측 점검구(22)의 절결된 개구 아래 가장자리부도 기판 제품(P)의 수평인 반송 레벨 라인(도 1 및 도 3에 부호 L로 표시되어 있다)보다 적어도 아래쪽의 높이 위치가 되도록 절결하여 형성하고, 이 외측 점검구(22)에 이 외측 점검구(22)를 밀폐 상태로 막을 수 있고 또한 떼내기 가능한 가로가 긴 직사각형의 플라스틱제의 외측의 측면 커버 패널(23)을 착탈가능하게 장착한 것을 특징으로 하고 있다. A plastic
도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명은 도금 처리조(1) 안의 도금액(W) 속에서 기판 제품(P)이 수평으로 반송되는 과정에서 도금 처리하는 수평 반송식 전해 도금 장치이기 때문에, 기판 제품이 도금액 속에서 수직 자세로 반송되면서 도금 처리되는 방식의 도금 장치에 비하여 도금 처리조(1)의 높이 폭을 낮은 구조(도 1의 실시례에 도시된 도금 처리조(1)의 높이 폭은 약 32cm이다)로 할 수 있다. 따라서, 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 장치 외부에서 작업자가 간단히 측면 커버 패널(11, 23)을 착탈할 수 있는 적당한 높이 위치에 도금 처리조(1)를 가대(28) 위에 얹어서 배치할 수 있다. 또한, 도 1에 있어서, 부호 20A는 보조조(20)의 저면부에 설치한 도금액의 배출관이고, 부호 29은 도금 처리조(1)의 아래쪽에 설치한 도금액의 관리조(管理槽)이며, 배출관(20A)과 도금액의 관리조(29)는 관을 통하여 연통되어 있다. 또한, 도 2에 있어서, 부호 1A는 도금 처리조(1)의 저면부에 설치한 도금액의 배출관이며, 이 배출관(1A)도 도금액의 관리조(29)와 관을 통하여 연통되어 있다. 관리조(29)는 도금 처리조(1)나 보조조(20)로부터 빼낸 도금액을 일시적으로 저장하고, 도금 처리시에는 관리조(29)로부터 도금액을 도금 처리조(1)로 복귀시키도록 되어 있다. 1, since the present invention is a horizontal transport type electrolytic plating apparatus for performing a plating process in a process of horizontally transporting a substrate product P in the plating liquid W in the
도 3 내지 도 5에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명에서는, 상기 내측의 측면 커버 패널(11)의 상기 내측 점검구(10)로의 착탈가능한 장착 수단이, 상기 측면부의 외측면에 상기 내측 점검구(10)의 절결된 개구 가장자리부를 따라 위쪽이 개방된 계단부 형상의 걸림틀체(12)를 돌출되게 형성하고, 이 걸림틀체(12)는 이 걸림틀체의 내측 걸림부 내에 내측의 측면 커버 패널(11)을 외측에서 끼워넣어 장착할 때에 이 걸림틀체(12)의 내측 걸림부와 상기 내측 점검구(10)의 절결된 개구 가장자리부의 사이의 외측면에 이 측면 커버 패널(11)의 양측 가장자리부와 아래쪽 가장자리부를 면으로 받아들여서 걸리게 하는 걸림면부(13)로서 기능하는 간극면을 남겨서 돌출 형성되어, 이 걸림틀체(12)의 내측 걸림부 내에 내측의 측면 커버 패널(11)을 외측에서 상기 걸림면부(13)에서 걸리는 상태로 탈착가능하게 끼워장착하고, 끼워장착된 내측의 측면 커버 패널(11)을 외측에서 상기 걸림면부(13)측에 눌러 조여서 고정할 수 있는 누름 고정 위치와 이 측면 커버 패널(11)을 떼내는 누름 해제 위치의 사이를 작용단측이 회전운동할 수 있도록 타단부측을 상기 걸림틀체(12)의 정상면부에 볼트와 너트로 축지지한 복수(도 3의 실시례에서는 합계 8개)의 누름 부재(14)를 구비하고, 이들 누름 부재(14)는 도금 처리조의 내측으로부터 나사결합 상태로 삽입되는 볼트(15)와 도금 처리조의 외측으로부터 이 볼트 축부에 나사결합되는 손잡이 너트(노브 너트)(16)로 상기 걸림틀체(12)의 정상면부에 축지지한 구조이다. 3 to 5, in the present invention, a detachable mounting means of the inside
이와 같이, 도 3 내지 도 5에 도시한 본 발명은, 도금 처리조의 외측의 손잡이 너트(노브 너트)(16)를 사람의 손으로 풀어지게 돌리고, 누름 부재(14)를 누름 해제 위치에 회전 이동시키는 것에 의해, 상기 걸림틀체(12)와 걸림면부(13)에서 걸린 내측의 측면 커버 패널(11)을 도금 처리조(1)의 내측 점검구(10)로부터 용이하게 떼낼 수 있는 구조로 하였다. 또한, 도금 처리조(1)의 외측의 손잡이 너트(노브 너트)(16)를 사람의 손으로 조이는 방향으로 반대로 돌리고, 누름 부재(14)를 누름 고정 위치로 회전 이동시키는 것에 의해, 상기 걸림틀체(12)와 걸림면부(13)에서 걸린 내측의 측면 커버 패널(11)을 도금 처리조(1)의 내측 점검구(10)에 용이하게 밀폐 상태로 장착할 수 있는 구조로 하였다. 3 to 5, the handle nut (knob nut) 16 on the outer side of the plating tank is loosened by the hand of a person, and the pressing
또한, 도 3 내지 도 4에 도시되어 있는 바와 같이, 내측의 측면 커버 패널(11)에는, 이 측면 커버 패널의 상단부로부터 외측으로 대략 L자 형상으로 연장시킨 천판부(天板部)(11a)를 형성하고, 이 천판부(11a)로 보조조(20)를 위에서 덮도록 하고 있다. 또한, 내측의 측면 커버 패널(11)의 외측면에는, 이 패널을 외측에서 움켜 쥐는 것이 용이한 손잡이(11b)가 부착되어 있다. 3 to 4, the inner
또한, 도 3 내지 도 5에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명에서는, 상기 외측의 측면 커버 패널(23)의 상기 외측 점검구(22)로의 착탈가능한 장착 수단이, 상기 외측 점검구(22)의 절결된 개구 가장자리부의 좌우측 가장자리부에 외측의 측면 커버 패널(23)의 양측 변부(邊部)가 상하로 슬라이드 가능한 상태로 끼워맞춤되는 안내 홈부(24)를 형성하고, 상기 외측 점검구(22)의 절결된 개구 가장자리부의 바닥 가장자리부에 측면 커버 패널(23)의 바닥 변부(邊部)가 걸리는 걸림 홈부(25)를 형성하고, 외측의 측면 커버 패널(23)을 상기 안내 홈부(24)를 따라 상하로 슬라이드 가능하게 장착한 구조이다. 이 발명에서는, 외측의 측면 커버 패널(23)을 좌우의 안내 홈부(24)에 의해 안내되는, 상하 슬라이드식 착탈 구조로 하였다. 따라서, 외측의 측면 커버 패널(23)을 보조조(20)의 외측 점검구(22)에 용이하게 착탈할 수 있다. 3 to 5, in the present invention, the detachable mounting means of the outer
또한, 도 3 내지 도 5에 도시되어 있는 바와 같이, 외측의 측면 커버 패널(23)에는, 이 측면 커버 패널의 상단부로부터 안쪽으로 대략 L자 형상으로 연장시킨 천판부(23a)를 형성하고, 이 천판부(23a)로 보조조(20)를 위에서 덮도록 하고 있다. 또한, 외측의 측면 커버 패널(23)의 외측면에는, 이 패널을 외측에서 움켜 쥐는 것이 용이한 손잡이(23b)가 부착되어 있다. 이 손잡이(23b)는 패널을 보강하는 리브 기능을 겸하고 있다. 3 to 5, a
도 3(A) 및 도 6에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명의 클램프 지그(5)는 착탈가능한 구조로 한 것을 특징으로 하고 있다. 상기 클램프 지그(5)은, 롤러 체인 등의 반송 구동 수단(4)에 연결되어, 이 클램프 지그의 이동 경로를 따라 고정적으로 배치된 고정 가이드 레일(30)에 미끄럼 접촉되면서 이동하게 이 가이드 레일(30)에 외측에서 끼워진 도전성을 가지는 클램프 지그 부착체(31)를 통하여 상기 반송 구동 수단(3)에 부착되어 있다. 상기 클램프 지그(5)는, 그 상방부가 공중에서 상기 클램프 지그 부착체(31)에 고정 유지되는 상하 방향으로 기다란 형상의 도전성을 가지는 고정 클램프부(32)와, 이 고정 클램프부(32)에 상하이동 가능하게 유지된 상하 방향으로 기다란 형상의 도전성을 가지는 가동 클램프부(33)를 구비하고, 상기 고정 클램프부(32)의 하단부에 형성한 파지 접점부(6)에 대하여 상기 가동 클램프부(33)의 하단부에 형성한 파지 접점부(6)를 압축 스프링(34)의 탄성가압력으로 하방 이동 또는 상방 이동시켜서 폐쇄하고(도 6에서는 하방 이동시켜서 닫는 실시예를 나타내고 있다), 둘레 회전 이동하는 이 클램프 지그(5)의 개방 위치에 고정 배치된 고저 차이를 가지는 걸어맞춤 가이드(35)에 이 클램프 지그의 상부에 설치한 걸어맞춤체(36)를 걸어맞춤되게 하여 상기 압축 스프링(34)의 탄성가압력에 대항하여 상기 가동 클램프부(33)의 파지 접점부(6)를 상기 고정 클램프부(32)의 파지 접점부(6)에 대하여 개방하는 개폐 기구를 구비하고 있다.As shown in Fig. 3 (A) and Fig. 6, the
도 6의 실시례에서는, 상기 걸어맞춤체(36)로서, 대략 L자 형상의 반전 레버(36a)의 굴곡부를 지점부(支點部)로 하여 상기 고정 클램프부(32)의 상단부에 반전가능하게 축결합하고, 이 반전 레버(36a)의 아래쪽 아암부의 선단을 상기 가동 클램프부(33)의 상단부에 핀 축을 통하여 회전운동 가능하게 연결하고, 상기 반전 레버(36a)의 윗쪽 아암부의 선단에 회전 롤러(36b)를 부착하여 구성하고, 이 회전 롤러(36b)가 상기 걸어맞춤 가이드(35)의 상면부를 따라 구름운동하는 걸어맞춤상태에 있어서, 상기 윗쪽 아암부가 상방향으로 반전되어, 상기 아래쪽 아암부에 연결된 상기 가동 클램프부(33)를 압축 스프링(34)의 탄성가압력에 대항하여 상방 이동시켜서, 상기 가동 클램프부(33)의 파지 접점부(6)를 상기 고정 클램프부(32)의 파지 접점부(6)에 대하여 개방하는 개폐 기구를 채용하고 있다. In the embodiment of Fig. 6, as the engaging
상기 고정 가이드 레일(30), 상기 클램프 지그 부착체(31) 및 이 클램프 지그(5)를 통하여 이 클램프 지그의 파지 접점부(6)로부터 상기 기판 제품(P)에 음극의 전류를 급전할 수 있도록 하고 있다. It is possible to supply the current of the negative electrode from the holding contact portion 6 of the clamp jig to the substrate product P through the fixed
도 6에 도시되어 있는 바와 같이, 상기 고정 클램프부(32)의 상방부에 좌우 한 쌍의 볼트 걸어맞춤 구멍(40)을 천공하고, 상기 클램프 지그 부착체(31)의 상기 반송 통로측의 부착 벽면에 상기 볼트 걸어맞춤 구멍(40)에 대응하는 위치에 좌우 한 쌍의 고정용 볼트(41)를 볼트 머리부가 돌출한 상태로 나사결합하고, 상기 볼트 걸어맞춤 구멍(40)은, 아래쪽 구멍부(40a)를 상기 고정용 볼트(41)의 볼트 머리부의 통과를 허용하는 넓이로 형성하고, 이 아래쪽 구멍부(40a)와 연속하는 윗쪽 구멍부(40b)를 상기 고정용 볼트(41)의 볼트 축부의 통과는 허용하지만 볼트 머리부의 통과는 허용하지 않는 좁은 넓이로 형성하고 있다. 도 6(B)에 도시된 실시례에서는 아래쪽 구멍부(40a)를 넓은 원형으로 형성하고, 이 아래쪽 구멍부(40a)와 연속하는 윗쪽 구멍부(40b)를 좁고 세로로 길게 형성하고 있다.6, a pair of left and right bolt-fitting
상기 클램프 지그 부착체(31)로부터 떼낸 클램프 지그(5)를 장착하기 위해서는, 도 6에 도시되어 있는 바와 같이, 클램프 지그 부착체(31)에 볼트 머리부가 돌출한 상태로 나사결합되어 있는 좌우 한 쌍의 고정용 볼트(41)에 클램프 지그(5)의 볼트 걸어맞춤 구멍(40)의 넓은 아래쪽 구멍부(40a)를 삽입통과하고나서 클램프 지그(5)를 내리면 좁고 세로로 긴 윗쪽 구멍부(40b)가 고정용 볼트(41)에 걸려서, 클램프 지그(5)는 클램프 지그 부착체(31)에 고정 상태로 유지된다. 그 후에 고정용 볼트(41)를 조이면 더욱 확실하게 고정 상태를 유지할 수 있다. 클램프 지그 부착체(31)로부터 클램프 지그(5)를 떼내기 위해서는, 조여진 고정용 볼트(41)를 조금 풀고, 클램프 지그(5)를 올리면 넓은 아래쪽 구멍부(40a)로부터 클램프 지그(5)를 용이하게 떼낼 수 있다. 따라서, 상하 방향으로 기다란 구조의 클램프 지그(5)를 간단하고 확실하게 착탈할 수 있다.In order to mount the
이 발명에 의하면, 내외의 측면 커버 패널(11, 23)을 떼낸 내외의 점검구(10, 22)를 통하여, 도금 처리조 외부에서 도금 처리조(1)의 내부의 보수 점검 작업을 작업자가 용이하게 수행할 수 있다. 게다가, 상기 클램프 지그(5)는, 고정 가이드 레일(30)에 슬라이드 이동 가능하게 걸어맞춤되고, 또한 반송 구동 수단(체인 구동 수단)(4)에 의해 둘레 회전 이동하는 클램프 지그 부착체(31)에 착탈가능하여, 고정용 볼트(41)와 볼트 걸어맞춤 구멍(40)으로 간단하고 확실하게 착탈할 수 있는 구조이기 때문에, 떼낸 클램프 지그(5)의 보수 점검이 용이함과 아울러, 도 3(A)에 도시되어 있는 바와 같이, 도금 처리조(1) 내의 보수 점검 작업시에 다수의 클램프 지그(5)를 클램프 지그 부착체(31)로부터 떼내는 것에 의해, 도금 처리조(1)의 내부의 보수 점검 작업을 더욱 용이하게 수행할 수 있다. According to the present invention, it is possible to facilitate maintenance work inside the plating bath (1) outside the plating bath through the inside and outside inspection ports (10, 22) of the inner and outer side cover panels (11, 23) Can be performed. The
1 도금 처리조
W 도금액
P 기판 제품
L 기판 제품의 수평인 반송 레벨 라인
2, 2 상하의 양극
3 반송 통로
4, 4 반송 구동 수단
5 클램프 지그
6 파지 접점부
10 내측 점검구
11 내측의 측면 커버 패널
12 걸림틀체
13 걸림면부
14 누름 부재
15 볼트
16 손잡이 너트(노브 너트)
20 보조조
22 외측 점검구
23 외측의 측면 커버 패널
24 안내 홈부
25 걸림 홈부
28 가대
29 도금액의 관리조
30 고정 가이드 레일
31 클램프 지그 부착체
32 고정 클램프부
33 가동 클램프부
34 압축 스프링
35 걸어맞춤 가이드
36 걸어맞춤체
40 볼트 걸어맞춤 구멍
40a 아래쪽 구멍부
40b 윗쪽 구멍부
41 고정용 볼트 1 plating treatment tank
W plating solution
P board product
Horizontal transport level line of L board product
2, 2 Upper and lower anode
3 conveyance passage
4, 4 conveyance drive means
5 clamp jig
6 Phaser contact part
10 Inner inspection port
11 inner side cover panel
12 Clasp Frame
13 engaging surface
14 pressing member
15 volts
16 Handle nut (knob nut)
20 auxiliary equipment
22 Outside inspection area
23 outer side cover panel
24 guide groove
25 engaging groove
28 Stands
29 Management of plating solution
30 Fixed guide rail
31 Clamp jig attachment body
32 Fixing clamp part
33 movable clamp portion
34 compression spring
35 Walking Guide
36 Clutch
40 bolt hole
40a lower hole portion
40b upper hole portion
41 fixing bolt
Claims (4)
플라스틱제의 상기 도금 처리조의 제품 반송 방향을 따른 양쪽의 측면부에 외측에서 도금 처리조 내부를 보수 점검할 수 있도록 한 위쪽이 개방된 내측 점검구를 절결하여 형성하고, 이 내측 점검구의 절결된 개구 아래 가장자리부가 기판 제품의 수평인 반송 레벨 라인보다 적어도 아래쪽의 높이 위치가 되도록 절결하여 형성하고, 이 내측 점검구에 이 내측 점검구를 외측에서 밀폐 상태로 막을 수 있고 또한 떼내기 가능한 플라스틱제의 내측의 측면 커버 패널을 착탈가능하게 장착하고, 또한 상기 도금 처리조의 양쪽의 측면부에 상기 내측 점검구를 외측에서 둘러싸는 저면부와 측면부를 가지는 보조조를 각각 설치하고, 이 보조조의 상기 내측 점검구에 대응하는 측면부의 위치에 외측에서 상기 내측 점검구를 통하여 도금 처리조 내부를 보수 점검할 수 있도록 한 위쪽이 개방된 외측 점검구를 절결하여 형성하고, 이 외측 점검구의 절결된 개구 아래 가장자리부도 기판 제품의 수평인 반송 레벨 라인보다 적어도 아래쪽의 높이 위치가 되도록 절결하여 형성하고, 이 외측 점검구에 이 외측 점검구를 밀폐 상태로 막을 수 있고 또한 떼내기 가능한 외측의 측면 커버 패널을 착탈가능하게 장착한 것을 특징으로 하는 보수 점검 작업이 용이한 수평 반송식 전해 도금 장치.The substrate product fed with the cathode current in the plating liquid in the plating tank is horizontally conveyed in one direction between the upper and lower poles fed with the current of the anode in the state that the plate surface is up and down, A horizontal transport electrolytic plating apparatus adapted to be plated,
An inner side inspection opening which is open at the upper side and is openable so that the inside of the plating treatment tank can be inspected from the outside is formed at both side portions along the product conveying direction of the above-mentioned plating treatment tank made of plastic, And the inner side inserting opening is formed in the inner side inserting opening so that the inner side inserting opening can be closed in an enclosed state from the outside and can be detached from the inner side side cover panel And an auxiliary tank having a bottom surface portion and a side surface portion which surround the inside check port from the outside are respectively provided on both side portions of the plating tank and the plating tank is provided at a position of a side portion corresponding to the inside check port of the auxiliary tank The inside of the plating treatment tank is inspected from the outside through the inside inspection port And the lower edge of the cutout opening of the outer check port is also formed so as to have a height position at least lower than a horizontal conveyance level line of the board product. The outer check port is formed by cutting the outer check port And a lateral side cover panel capable of closing the outer check port in a closed state and detachable is removably mounted.
플라스틱제의 상기 도금 처리조의 제품 반송 방향을 따른 양쪽의 측면부에 외측에서 도금 처리조 내부를 보수 점검할 수 있도록 한 위쪽이 개방된 내측 점검구를 절결하여 형성하고, 이 내측 점검구의 절결된 개구 아래 가장자리부가 기판 제품의 수평인 반송 레벨 라인보다 적어도 아래쪽의 높이 위치가 되도록 절결하여 형성하고, 이 내측 점검구에 이 내측 점검구를 외측에서 밀폐 상태로 막을 수 있고 또한 떼내기 가능한 플라스틱제의 내측의 측면 커버 패널을 착탈가능하게 장착하고, 또한 상기 도금 처리조의 양쪽의 측면부에 상기 내측 점검구를 외측에서 둘러싸는 저면부와 측면부를 가지는 보조조를 각각 설치하고, 이 보조조의 상기 내측 점검구에 대응하는 측면부의 위치에 외측에서 상기 내측 점검구를 통하여 도금 처리조 내부를 보수 점검할 수 있도록 한 위쪽이 개방된 외측 점검구를 절결하여 형성하고, 이 외측 점검구의 절결된 개구 아래 가장자리부도 기판 제품의 수평인 반송 레벨 라인보다 적어도 아래쪽의 높이 위치가 되도록 절결하여 형성하고, 이 외측 점검구에 이 외측 점검구를 밀폐 상태로 막을 수 있고 또한 떼내기 가능한 외측의 측면 커버 패널을 착탈가능하게 장착하여 이루어지고,
또한, 상기 클램프 지그는, 상기 반송 구동 수단에 연결되어, 이 클램프 지그의 이동 경로를 따라 고정적으로 배치된 고정 가이드 레일에 미끄럼 접촉되면서 이동하도록 이 가이드 레일에 외측에서 끼워진 도전성을 가지는 클램프 지그 부착체를 통하여 상기 반송 구동 수단에 부착되고, 그 상방부가 공중에서 상기 클램프 지그 부착체에 고정 유지되는 상하 방향으로 기다란 형상의 도전성을 가지는 고정 클램프부와, 이 고정 클램프부에 상하이동 가능하게 유지된 상하 방향으로 기다란 형상의 도전성을 가지는 가동 클램프부를 구비하고, 상기 고정 클램프부의 하단부에 형성한 파지 접점부에 대하여 상기 가동 클램프부의 하단부에 형성한 파지 접점부를 압축 스프링의 탄성가압력으로 하방 이동 또는 상방 이동시켜서 폐쇄하고, 둘레 회전 이동하는 이 클램프 지그의 개방 위치에 고정 배치된 고저 차이를 가지는 걸어맞춤 가이드에 이 클램프 지그의 상부에 설치한 걸어맞춤체를 걸어맞춤되게 하여 상기 압축 스프링의 탄성가압력에 대항하여 상기 가동 클램프부의 파지 접점부를 상기 고정 클램프부의 파지 접점부에 대하여 개방하는 개폐 기구를 구비하고, 상기 고정 가이드 레일, 상기 클램프 지그 부착체 및 이 클램프 지그를 통하여 이 클램프 지그의 파지 접점부로부터 상기 기판 제품에 음극의 전류를 급전하도록 한 클램프 지그이며, 상기 고정 클램프부의 상방부에 좌우 한 쌍의 볼트 걸어맞춤 구멍을 천공하고, 상기 클램프 지그 부착체의 상기 반송 통로측의 부착 벽면에 상기 볼트 걸어맞춤 구멍에 대응하는 위치에 좌우 한 쌍의 고정용 볼트를 볼트 머리부가 돌출한 상태로 나사결합하고, 상기 볼트 걸어맞춤 구멍은, 아래쪽 구멍부를 상기 고정용 볼트의 볼트 머리부의 통과를 허용하는 넓이로 형성하고, 이 아래쪽 구멍부와 연속하는 윗쪽 구멍부를 상기 고정용 볼트의 볼트 축부의 통과는 허용하지만 볼트 머리부의 통과는 허용하지 않는 좁은 넓이로 형성하고, 따라서, 상기 클램프 지그를 이 클램프 지그의 고정 클램프부에 형성한 볼트 걸어맞춤 구멍과 상기 클램프 지그 부착체에 나사결합한 고정용 볼트로 상기 클램프 지그 부착체에 대하여 착탈가능하게 고정 장착할 수 있는 구조로 한 것을 특징으로 하는 보수 점검 작업이 용이한 수평 반송식 전해 도금 장치.The substrate product fed with the cathode current in the plating liquid in the plating tank is horizontally conveyed in one direction between the upper and lower poles fed with the current of the anode in the state that the plate surface is up and down, Wherein the means for horizontally conveying the substrate product in one direction comprises conveying drive means driven to rotate around the endless belt provided on both sides of the conveyance passage of the substrate product, And a plurality of vertically elongated clamp jigs having gripping contact portions at a lower portion thereof, wherein the clamping jigs are movable in an inner linear movement path parallel to each other through the transfer path In the gripping contact portions of the plurality of clamp jigs, both side edges of the substrate product are arranged in the vertical direction Phage by in the device for transporting horizontally in a first direction in the plating solution in the treatment tank in a state in which the plate surface of the substrate product to the top and bottom,
An inner side inspection opening which is open at the upper side and is openable so that the inside of the plating treatment tank can be inspected from the outside is formed at both side portions along the product conveying direction of the above-mentioned plating treatment tank made of plastic, And the inner side inserting opening is formed in the inner side inserting opening so that the inner side inserting opening can be closed in an enclosed state from the outside and can be detached from the inner side side cover panel And an auxiliary tank having a bottom surface portion and a side surface portion which surround the inside check port from the outside are respectively provided on both side portions of the plating tank and the plating tank is provided at a position of a side portion corresponding to the inside check port of the auxiliary tank The inside of the plating treatment tank is inspected from the outside through the inside inspection port And the lower edge of the cutout opening of the outer check port is also formed so as to have a height position at least lower than a horizontal conveyance level line of the board product. The outer check port is formed by cutting the outer check port And an outer side cover panel capable of closing the outer check port in a closed state and detachable therefrom is detachably mounted,
The clamp jig is connected to the conveying drive means and has a conductive clamping jig attached to the outside of the guide rail so as to move while being in sliding contact with the fixed guide rail fixedly disposed along the movement path of the clamp jig An upper portion of which is fixed to the clamp jig body in the air and has an elongated shape in the up and down direction, and an upper and a lower And the gripping contact portion formed at the lower end of the movable clamping portion is moved downward or upward by the resilient pressure of the compression spring with respect to the gripping contact portion formed at the lower end of the fixed clamping portion, Closed, and rotated around The clamping jig having the clamping jig having an upper and lower difference fixedly arranged at an open position of the clamp jig is engaged with an engaging member provided on the upper portion of the clamping jig to clamp the clamping portion of the movable clamping unit against the elasticity pressure of the compression spring, And an opening / closing mechanism that opens to the gripping contact portion of the fixed clamp portion, and the current of the negative electrode is supplied to the substrate product from the holding contact rail, the clamping jig mounting body, and the gripping jig of the clamping jig And a pair of left and right bolt-fitting holes are drilled in the upper portion of the fixing clamp section, and a pair of right and left bolt-fitting holes are formed in the mounting wall surface of the clamp- A pair of fixing bolts are screwed in a state in which the bolt head is protruded, The bolt engaging hole is formed such that the lower hole portion is formed to have a width allowing passage of the bolt head portion of the fixing bolt and the upper hole portion continuous with the lower hole portion is allowed to pass through the bolt shaft portion of the fixing bolt, The clamp jig is fixed to the clamp jig by the bolt engaging hole formed in the fixing clamp portion of the clamp jig and the fixing bolt screwed to the clamp jig body by the clamp jig, Wherein the horizontal transfer type electrolytic plating apparatus has a structure that can be detachably fixed to a sieve.
상기 내측의 측면 커버 패널의 상기 내측 점검구로의 착탈가능한 장착 수단이, 상기 측면부의 외측면에 상기 내측 점검구의 절결된 개구 가장자리부를 따라 위쪽이 개방된 계단부 형상의 걸림틀체를 돌출되게 형성하고, 이 걸림틀체는 이 걸림틀체의 내측 걸림부 내에 내측의 측면 커버 패널을 외측에서 끼워넣어 장착할 때에 이 걸림틀체의 내측 걸림부와 상기 내측 점검구의 절결된 개구 가장자리부의 사이의 외측면에 이 측면 커버 패널의 양측 가장자리부와 아래쪽 가장자리부를 면으로 받아들여서 걸리게 하는 걸림면부로서 기능하는 간극면을 남겨서 돌출 형성되어, 이 걸림틀체의 내측 걸림부 내에 내측의 측면 커버 패널을 외측에서 상기 걸림면부에서 걸리는 상태로 탈착가능하게 끼워장착하고, 끼워장착된 내측의 측면 커버 패널을 외측에서 상기 걸림면부측에 눌러 조여서 고정할 수 있는 누름 고정 위치와 이 측면 커버 패널을 떼내는 누름 해제 위치의 사이를 작용단측이 회전운동할 수 있도록 타단부측을 상기 걸림틀체의 정상면부에 볼트와 너트로 축지지한 복수의 누름 부재를 구비하고, 이들 누름 부재는 도금 처리조의 내측으로부터 나사결합 상태로 삽입되는 볼트와 도금 처리조의 외측으로부터 이 볼트 축부에 나사결합되는 손잡이 너트로 상기 걸림틀체의 정상면부에 축지지한 것을 특징으로 하는 보수 점검 작업이 용이한 수평 반송식 전해 도금 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein a detachable mounting means for the inner side check panel of the inner side cover panel is formed on the outer side surface of the side portion so as to protrude on the outer side along the cut opening edge portion of the inner side check port, When the inner side cover panel is fitted in the inner side engaging portion of the engaging frame body from the outside, the outer side surface between the inner engaging portion of the engaging frame body and the cut opening edge portion of the inner side inspection opening In which the inner side cover panel is engaged with the engaging face portion on the outer side in the inner engaging portion of the engaging frame body so as to leave the gap face functioning as the engaging face portion for receiving the both side edge portions and the lower edge portion of the panel as a face, And the inner side cover panel, which is fitted to the inner side cover panel, The other end side of the engaging frame body is fixed to the top surface of the engaging frame body so as to allow the action end side to rotate between the press-fit position where the keylocking face side can be pushed and fixed and the unclamping position where the side cover panel is detached, Wherein the pressing member includes a bolt inserted in a screwed state from the inside of the plating treatment tank and a handle nut screwed to the bolt shaft from the outside of the plating treatment tank, And the horizontal transport type electrolytic plating apparatus facilitates maintenance and repair work.
상기 외측의 측면 커버 패널의 상기 외측 점검구로의 착탈가능한 장착 수단이, 상기 외측 점검구의 절결된 개구 가장자리부의 좌우측 가장자리부에 외측의 측면 커버 패널의 양측 변부가 상하로 슬라이드 가능한 상태로 끼워맞춤되는 안내 홈부를 형성하고, 상기 외측 점검구의 절결된 개구 가장자리부의 바닥 가장자리부에 측면 커버 패널의 바닥 변부가 걸리는 걸림 홈부를 형성하고, 외측의 측면 커버 패널을 상기 안내 홈부를 따라 상하로 슬라이드 가능하게 장착한 것을 특징으로 하는 보수 점검 작업이 용이한 수평 반송식 전해 도금 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein detachable mounting means for detachably attaching the detachable mounting means to the outer check port of the outer side cover panel is provided on the left and right side edge portions of the cutout opening edge portion of the outer check port such that both side portions of the outer side cover panel are slidable up and down And a bottom edge portion of the cutout opening edge portion of the outer check port is formed with a hooking groove portion for hooking the bottom edge of the side cover panel and the outer side cover panel is slidably mounted up and down along the guide groove portion A horizontal conveying type electrolytic plating apparatus which facilitates maintenance and inspection work.
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