KR20190033127A - 복합 필터 - Google Patents
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Abstract
복합 필터는 유체가 도입되는 유체 도입부가 형성된 제1 하우징, 상기 제1 하우징에 결합되어 수납공간을 형성하며 필터링된 상기 유체가 배출되는 유체 배출부가 형성된 제2 하우징을 포함하는 하우징, 상기 제1 하우징에 결합 되어 상기 유체 도입부를 통과한 상기 유체의 압력을 감압, 상기 유체를 확산 및 상기 유체를 1차 필터링 하는 제1 필터 유닛 및 상기 수납공간 내에서 상기 제2 하우징에 결합 되어 상기 유체가 상기 유체 배출부를 통과하기 이전에 상기 유체를 2차 필터링 하는 제2 필터 유닛을 포함한다.
Description
본 발명은 복합 필터에 관한 것으로, 특히 본 발명은 반도체 공정용 제조 설비에도 적용할 수 있는 우수한 필터링 성능을 가지면서 이와 함께 필터링 이전 유체의 압력 및 필터링 된 유체의 압력 차이에 기인한 필터 파손도 방지한 복합 필터에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 실리콘 웨이퍼 상에 유기막, 절연막 및 금속막과 같은 다양한 박막들을 형성하는 박막 형성 공정, 박막을 패터닝 하는 박막 패터닝 공정, 웨이퍼에 이온을 주입하는 이온 주입 공정 등 복잡한 제조 공정 및 정밀한 제조 장비를 통해 제조된다.
반도체 소자를 제조하기 위해서는 매우 청정한 환경 및 고순도 공정 가스가 있어야 하는데, 이는 공정 가스 등에 파티클이 포함될 경우 파티클이 반도체 소자의 수율을 크게 저하 시키는 요인이 되기 때문이다.
이와 같은 이유로 반도체 소자를 제조하는 클린룸, 클린룸 내부에 배치되어 반도체 소자를 제조하는 다양한 공정 설비들에는 대부분 파티클과 같은 이물질을 여과하는 고성능 필터가 장착되어 있다.
반도체 공정용 필터로서는 한국 등록특허 제10-0900091호, 고청정 라인용 메탈 엘리멘트 및 그를 구비한 필터(등록일: 2009.05.22)를 들 수 있다.
상기 고청정 라인용 메탈 엘리멘트 및 그를 구비한 필터는 막힌 형태를 갖고 유체가 유입되는 유입구 부분인 일단, 뚫린 형태를 갖고 유입된 유체에 포함된 부유물질이 필터링되어 유출되는 유출구 부분인 타단을 포함하며, 불규칙한 형상을 갖는 파우더로 구성되는 기술적 특징을 갖는다.
상기 반도체 공정용 필터는 유입구로 유입되어 메탈 엘리먼트로 유입되는 유체의 압력 및 메탈 엘리먼트를 통과하여 유출구로 배출되는 유체의 압력 사이에 압력 편차(또는 압력 손실)가 존재한다.
이 압력 편차가 일정 크기 이상이거나 급격한 압력 편차가 발생 될 경우, 취성이 약한 메탈 엘리먼트가 급격히 파손되고 파손된 메탈 엘리먼트로부터 발생 된 무수히 많은 파티클들이 공정 설비나 클린룸 내부로 직접 유입되는 치명적인 문제가 발생 될 수 있다.
본 발명은 반도체 제조 공정에 적합한 높은 필터링 성능을 만족함과 동시에 필터링에 따른 압력 편차 또는 압력 손실에 의한 필터 부재의 파손을 방지한 복합 필터를 제공한다.
일실시예로서, 복합 필터는 유체가 도입되는 유체 도입부가 형성된 제1 하우징, 상기 제1 하우징에 결합 되어 수납공간을 형성하며 필터링된 상기 유체가 배출되는 유체 배출부가 형성된 제2 하우징을 포함하는 하우징; 상기 제1 하우징에 결합 되어 상기 유체 도입부를 통과한 상기 유체의 압력을 감압, 상기 유체를 확산 및 상기 유체를 1차 필터링 하는 제1 필터 유닛; 및 상기 수납공간 내에서 상기 제2 하우징에 결합 되어 상기 유체가 상기 유체 배출부를 통과하기 이전에 상기 유체를 2차 필터링 하는 제2 필터 유닛을 포함한다.
상기 수납공간 내에서 상호 마주하게 배치된 상기 제1 필터 유닛 및 상기 제2 필터 유닛은 상호 이격 되어 배치된 복합 필터.
복합 필터의 상기 제1 필터 유닛은 제1 사이즈로 형성되고, 상기 제2 필터 유닛은 상기 제1 사이즈보다 큰 제2 사이즈로 형성된다.
복합 필터의 상기 제1 필터 유닛은 원기둥 형상 및 반구 형상 중 어느 하나의 형상으로 형성된다.
복합 필터의 상기 제1 필터 유닛은 제1 공극률을 갖고 상기 제2 필터 유닛은 상기 제1 공극률보다 큰 제2 공극률로 형성된다.
복합 필터의 상기 제2 공극률은 50% 내지 80%이다.
복합 필터의 상기 제1 필터 유닛은 제1 경도를 갖고, 상기 제2 필터 유닛은 상기 제1 경도 이하인 제2 경도를 갖는다.
복합 필터의 상기 제1 하우징에는 제1 교환부가 형성되고, 상기 제 2 하우징에는 상기 제1 교환부와 착탈 가능하게 결합되는 제2 교환부가 형성된다.
복합 필터의 상기 제2 필터 유닛은 내부에 공간을 형성하며 금속 분말을 소결해 형성한 소결 필터부 및 상기 소결 필터부의 상기 공간에 채워진 미소결 분말을 포함하는 미소결 필터부를 포함한다.
본 발명에 따른 복합 필터는 반도체 제조 공정에 적합한 높은 필터링 성능을 만족하면서 필터링에 따른 압력 편차 또는 압력 손실에 의한 필터 부재의 파손을 방지할 수 있는 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 복합 필터의 단면도이다.
도 2는 도 1의 'A' 부분 확대도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 제1 필터 유닛의 다양한 형태를 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 제1 필터 유닛의 'B' 부분 확대도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 제2 필터 유닛의 'C' 부분 확대도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 복합 필터의 단면도이다.
도 2는 도 1의 'A' 부분 확대도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 제1 필터 유닛의 다양한 형태를 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 제1 필터 유닛의 'B' 부분 확대도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 제2 필터 유닛의 'C' 부분 확대도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 복합 필터의 단면도이다.
이하 설명되는 본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다.
그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 구분하여 설명하기 위해 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 복합 필터의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 복합 필터(500)는 하우징(100), 제1 필터 유닛(200) 및 제2 필터 유닛(300)을 포함한다.
하우징(100)은 제1 필터 유닛(200) 및 제2 필터 유닛(300)을 수납 및 고정하는 역할을 한다.
하우징(100)은, 예를 들어, 내식성이 우수하며 파티클을 발생시키지 않는 합성수지 재질 또는 내식성 금속으로 제작될 수 있다.
본 발명의 일실시예에서, 하우징(100)은 제1 하우징(110) 및 제2 하우징(120)을 포함한다.
제1 하우징(110)은 필터링 될 유체가 도입되는 유체 도입부(115)가 형성되며, 제1 하우징(110)은, 예를 들어, 일측에 유체 도입부(115)가 형성된 플레이트 형상으로 형성될 수 있다.
제2 하우징(120)은 통 형상으로 형성되며, 제2 하우징(120)은 제1 하우징(110)에 결합 된다.
제2 하우징(120)이 제1 하우징(110)에 결합 됨에 따라 제1 및 제2 하우징(110,120) 사이에는 수납공간(125)이 형성된다. 수납공간(125)에는 후술 될 제1 및 제2 필터 유닛(200,300)이 수납된다.
제2 하우징(120)에는 제2 필터 유닛(300)을 통과한 유체가 배출되는 유체 배출구(125)가 형성된다.
도 2는 도 1의 'A' 부분 확대도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 제1 하우징(110) 및 제2 하우징(120)이 상호 접촉되는 부분에는 제1 하우징(110) 및 제2 하우징(120)을 상호 결합 또는 분리할 수 있는 교환부(129)가 형성된다.
본 발명의 일실시예에서, 교환부(129)는 제1 교환부(117) 및 제2 교호나부(127)를 포함한다. 제1 하우징(110)에는 제1 교환부(117)가 형성되고, 제2 하우징(120)에는 제2 교환부(127)가 형성된다.
예를 들어, 제1 교환부(117)는 암사나부를 포함할 수 있고, 제2 교환부(127)는 암사나부와 체결되는 숫나사부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에서, 제1 하우징(110)에 형성된 제1 교환부(117) 및 제2 하우징(120)에 형성된 제2 교환부(127)를 이용하여 후술 될 제1 필터 유닛(200)이 장착된 제1 하우징(110)을 제2 하우징(120)으로부터 분리 및 교체할 수 있다.
비록 본 발명의 일실시예에서는 제1 교환부(117) 및 제2 교환부(127)가 암나사부 및 숫나사부인 것이 도시 및 설명되고 있지만, 이와 다르게 제1 및 제2 교환부(117,127)들로서 다양한 착탈 부재들이 사용될 수 있다.
도 1을 다시 참조하면, 제1 필터 유닛(200)은 하우징(100)의 내부에 형성된 수납공간(125)에 배치되며, 제1 필터 유닛(200)은 하우징(1000의 제1 하우징(110)에 장착된다.
제1 필터 유닛(200)은 제1 하우징(110)의 유체 도입부(115)를 통과한 필터링 될 유체의 압력을 감압, 필터링 될 유체를 확산(diffusion) 및 유체를 1차적으로 필터링 한다.
이를 구현하기 위해 제1 필터 유닛(200)은 일측단이 개방된 통 형상으로 형성되며, 제1 필터 유닛(200)의 개방된 단부는 제1 하우징(110)에 용접 등의 방법에 의하여 결합 된다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 제1 필터 유닛의 다양한 형태를 도시한 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 필터 유닛(200)은, 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이 일측단이 개방된 육면체 형상으로 형성되거나, 도 4에 도시된 바와 같이 일측단이 개방된 반구 형상으로 형성될 수 있다.
본 발명의 일실시예에서, 제1 필터 유닛(200)이 일측단이 개방된 육면체 형상 또는 일측단이 개방된 반구 형상으로 형성함으로써 제1 필터 유닛(200)으로 유입된 필터링 될 유체의 방향을 방사상 또는 다양한 방향으로 분산시켜 제1 필터 유닛(200)을 통과한 유체를 확산(diffusion), 감압 및 1차적으로 필터링을 수행할 수 있다.
비록 본 발명의 일실시예에서는 제1 필터 유닛(200)이 일측단이 개방된 육면체 형상 또는 일측단이 개방된 반구 형상인 것이 도시 및 설명되고 있지만, 이와 다르게 제1 필터 유닛(200)은 일측단이 개방되며 오목한 공간을 갖는 다양한 통 형상으로 형성될 수 있다.
도 1을 다시 참조하면, 하우징(100)의 내측에 배치된 제2 필터 유닛(300)은 제1 필터 유닛(200)을 통과한 유체를 다시 한번 필터링 하여 유체가 제2 하우징(120)의 유체 배출구(125)로 배출되도록 한다.
본 발명의 일실시예에서, 제2 필터 유닛(300)은 일측단이 개방된 통 형상으로 형성되며, 제2 필터 유닛(300)의 상기 일측단은 제2 하우징(120)에 용접 등의 방법에 의하여 결합 된다.
제2 필터 유닛(300)은 제1 필터 유닛(200)과 마찬가지로 일측단이 개방된 육면체 형상, 일측단이 개방된 반구 형상 등 다양한 형상으로 제작될 수 있다.
본 발명의 일실시예에서, 도 1에 도시 및 설명된 제1 필터 유닛(200) 및 제2 필터 유닛(300)은 하우징(100) 내부에서 상호 마주하게 배치되는데, 제1 필터 유닛(200)을 통과하면서 확산 된 유체가 충분히 확산 된 후 제2 필터 유닛(300)으로 유입되도록 하기 위해 제1 필터 유닛(200) 및 제2 필터 유닛(300)은 상호 소정 간격(G) 만큼 상호 이격 되어 배치된다.
도 1을 다시 참조하면, 본 발명에서 제1 필터 유닛(200)은 제2 필터 유닛(300)이 유체의 압력 편차에 의하여 파손되는 것을 방지하기 위해 유체의 압력을 1차적으로 감압하는 역할을 하기 때문에 제1 필터 유닛(200)은 제1 사이즈(또는 제1 길이)로 형성될 수 있고, 제2 필터 유닛(300)은 메인 필터로서 작용하기 때문에 제2 필터 유닛(300)은 제1 사이즈보다 큰 제2 사이즈(또는 제2 길이)로 형성될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 제1 필터 유닛의 'B' 부분 확대도이다. 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 제2 필터 유닛의 'C' 부분 확대도이다.
본 발명의 일실시예에서 빈번하게 사용되는 용어인 '공극률'은 전체 부피를 내부에 형서어된 공극의 부피로 나눈 비율로서 정의된다. 본 발명의 일실시예에서, 공극률이 높은 것은 내부에 공극이 상대적으로 많은 것을 의미하고, 공극률이 낮은 것은 내부에 공극이 상대적으로 적은 것을 의미하며, 따라서 공극률이 높을 경우 필터링 성능에 양호한 영향을 미치며, 공극률이 낮을 경우 경도는 증가 된다.
도 5를 참조하면, 제1 필터 유닛(200)을 이루는 분말 입자들은 제1 평균 직경(D1)으로 형성되며, 제1 평균 직경(D1)을 갖는 제1 필터 유닛(200)은 제1 공극률을 갖는다.
도 6을 참조하면, 제2 필터 유닛(300)을 이루는 분말 입자들은 제1 평균 직경(D1)보다 작은 제2 평균 직경(D2)을 가지며, 제2 평균 직경(D2)을 갖는 제2 필터 유닛(300)은 제1 공극률보다 높은 제2 공극률을 갖는다.
본 발명의 일실시예에서, 제2 공극률은, 예를 들어, 약 50% 내지 약 60%일 수 있으며, 보다 정밀한 필터링을 위해 제2 공극률은 약 60% 내지 약 80%일 수 있다. 따라서, 제2 필터 유닛(300)의 제2 공극률은, 예를 들어, 50% 내지 80%일 수 있다. 본 발명의 일실시예에서, 제2 공극률보다 낮은 제1 필터 유닛(200)의 제1 공극률은, 예를 들어, 약 30% 내지 약 40% 정도일 수 있다.
제1 필터 유닛(200)이 제1 공극률을 갖고, 제2 필터 유닛(300)이 제1 공극률보다 높은 제2 공극률을 가짐에 따라 제1 필터 유닛(200)은 제1 경도를 갖고, 제2 필터 유닛(300)은 제1 경도 보다 낮은 제2 경도를 갖는다. 단, 본 발명의 일실시예에서, 제2 경도는 제2 필터 유닛을 이루는 금속 분말이 갖는 경도를 의미하지 않고 금속 분말들의 집합체인 제2 필터 유닛의 경도를 의미한다.
본 발명의 일실시예에서, 제1 필터 유닛(200)이 제2 필터 유닛(300)보다 높은 경도를 갖기 때문에 제1 필터 유닛(200)은 유입되는 유체의 압력에 의하여 파손되지 않는다.
작동 측면에서 보았을 때, 제1 하우징(110)의 유체 유입부(115)로 도입된 유체는 제1 공극률 및 제1 경도를 갖는 제1 필터 유닛(200)을 먼저 통과하면서 유체는 감압, 확산 및 1차적으로 필터링 된다.
제1 필터 유닛(200)을 통과하면서, 감압, 확산 및 필터링 된 유체는 제1 필터 유닛(200)과 이격된 제2 필터 유닛(300)으로 유입된 후 제2 필터 유닛(300)에서 2차적으로 필터링된 후 제2 하우징(120)의 유체 배출구(125)를 통해 배출된다.
본 발명의 일실시예에 따른 복합 필터(500)는 유체의 유속 및 압력이 제1 필터 유닛(200)을 통과하면서 1차적으로 감소 되고 이에 의하여 유체는 다양한 방향으로 확된 후 제2 필터 유닛(300)으로 제공됨으로써 유체의 압력 편차에 따라 취성이 약해 쉽게 파손될 수 있는 제2 필터 유닛(300)의 파손을 방지하면서 반도체 제조 공정에 적합한 높은 필터링 성능을 구현 할 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 복합 필터의 단면도이다. 도 7에 도시된 복합 필터(500)는 제2 필터 유닛(300)의 구조를 제외하면 앞서 도 1 내지 도 6에서 도시 및 설명된 복합 필터(500)와 실질적으로 동일한 구성을 갖는다. 따라서 동일한 구성에 대한 중복된 설명은 생략하기로 하며, 동일한 구성에 대해서는 동일한 명칭 및 동일한 참조 부호를 부여하기로 한다.
도 7을 참조하면, 복합 필터(500)는 하우징(100), 제1 필터 유닛(200) 및 제2 필터 유닛(350)을 포함한다.
제2 필터 유닛(350)은 높은 필터링 성능을 발생시키기 위하여 3중 구조로 형성된다.
제2 필터 유닛(350)은 한 쌍의 소결 필터부(310,320) 및 미소결 필터부(330)를 포함한다.
소결 필터부(310,320)는 금속 분말을 소결 방식 또는 압출 방식으로 제작하여 형성되며, 소결 필터부(310,320)는 한 쌍이 상호 이격 되며 일정한 갭을 갖는 형상으로 조립된다.
소결 필터부(310,320)를 이루는 금속 분말은, 예를 들어, 스테인리스 스틸 분말, 니켈 분말 및 하스텔로이(hastelloy) 분말이 혼합되어 사용될 수 있으며, 이로 인해 소결 필터부(310,320)의 내식성을 크게 향상시킬 수 있다.
본 발명의 일실시예에서, 소결 필터부(310,320)들을 이루는 금속 분말들은 제1 평균 사이즈를 가질 수 있고, 제1 평균 사이즈를 갖는 소결 필터부(310,320)는 제1 공극률 및 제1 경도를 갖는다.
미소결 필터부(330)는 한 쌍의 소결 필터부(310,320)들의 사이에 형성된 공간의 내부에 배치되며, 미소결 필터부(330)는 소결되지 않은 금속 분말들을 포함한다.
본 발명의 일실시예에서, 미소결 필터부(330)를 이루는 금속 분말들은 스테인리스 스틸 분말, 니켈 분말 및 하스텔로이(hastelloy) 분말이 혼합되어 사용될 수 있다.
미소결 필터부(330)는, 예를 들어, 소결 필터부(310,320)를 이루는 금속 분말들의 제1 평균 사이즈 이하인 제2 평균 사이즈를 가질 수 있고, 제2 평균 사이즈를 갖는 미소결 필터부(330)는 제1 공극률 이상인 제2 공극률 및 제1 경도 이하인 제2 경도를 갖는다.
본 발명의 일실시예에서, 미소결 필터부(330)의 제2 평균 사이즈는 약 10㎛이고, 미소결 필터부(330)의 제2 공극률은 약 50% 내지 약 80%일 수 있다.
본 발명의 일실시예에서, 소결 필터부(310,320)는 제1 공극률 및 제1 경도를 갖기 때문에 깨지거나 손상되지 않는 장점을 갖는 반면 필터 성능이 낮은 단점을 갖는다.
한편 이와 같은 소결 필터부(310,320)의 단점은 제1 공극률 이상인 제2 공극률을 갖음으로써 필터 성능이 매우 우수한 미소결 필터부(330)에 의하여 극복될 수 있으며 미소결 필터부(330)의 단점인 매우 낮은 제2 경도는 소결 필터부(310,320)의 상대적으로 높은 제1 경도에 의하여 극복될 수 있다.
비록 도 7에는 제2 필터 유닛(350)이 소결 필터부(310,320) 및 미소결 필터부(330)를 포함하는 것이 도시 및 설명되고 있지만, 이와 다르게 제1 필터 유닛(200)을 제2 필터 유닛(350)과 동일한 구조로 형성할 수 있다.
이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 본 발명에 의한 복합 필터는 반도체 제조 공정에 적합한 높은 필터링 성능을 만족하면서 필터링에 따른 압력 편차 또는 압력 손실에 의한 필터 부재의 파손을 방지할 수 있는 효과를 갖는다.
한편, 본 도면에 개시된 실시예는 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 것이다.
500...복합 필터
100...하우징
200...제1 필터 유닛 300...제2 필터 유닛
200...제1 필터 유닛 300...제2 필터 유닛
Claims (9)
- 유체가 도입되는 유체 도입부가 형성된 제1 하우징, 상기 제1 하우징에 결합되어 수납공간을 형성하며 필터링된 상기 유체가 배출되는 유체 배출부가 형성된 제2 하우징을 포함하는 하우징;
상기 제1 하우징에 결합 되어 상기 유체 도입부를 통과한 상기 유체의 압력을 감압, 상기 유체를 확산 및 상기 유체를 1차 필터링 하는 제1 필터 유닛; 및
상기 수납공간 내에서 상기 제2 하우징에 결합 되어 상기 유체가 상기 유체 배출부를 통과하기 이전에 상기 유체를 2차 필터링 하는 제2 필터 유닛을 포함하는 복합 필터. - 제1항에 있어서,
상기 수납공간 내에서 상호 마주하게 배치된 상기 제1 필터 유닛 및 상기 제2 필터 유닛은 상호 이격 되어 배치된 복합 필터. - 제1항에 있어서,
상기 제1 필터 유닛은 제1 사이즈로 형성되고, 상기 제2 필터 유닛은 상기 제1 사이즈보다 큰 제2 사이즈로 형성된 복합 필터. - 제1항에 있어서,
상기 제1 필터 유닛은 원기둥 형상 및 반구 형상 중 어느 하나의 형상으로 형성된 복합 필터. - 제1항에 있어서,
상기 제1 필터 유닛은 제1 공극률을 갖고 상기 제2 필터 유닛은 상기 제1 공극률보다 큰 제2 공극률로 형성된 복합 필터. - 제5항에 있어서,
상기 제2 공극률은 50% 내지 80%인 복합 필터. - 제1항에 있어서,
상기 제1 필터 유닛은 제1 경도를 갖고, 상기 제2 필터 유닛은 상기 제1 경도 이하인 제2 경도를 갖는 복합 필터. - 제1항에 있어서,
상기 제1 하우징에는 제1 교환부가 형성되고, 상기 제 2 하우징에는 상기 제1 교환부와 착탈 가능하게 결합되는 제2 교환부가 형성된 복합 필터. - 제1항에 있어서,
상기 제2 필터 유닛은 내부에 공간을 형성하며 금속 분말을 소결해 형성한 소결 필터부 및 상기 소결 필터부의 상기 공간에 채워진 미소결 분말을 포함하는 미소결 필터부를 포함하는 복합 필터.
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2017
- 2017-09-21 KR KR1020170121518A patent/KR102032764B1/ko active IP Right Grant
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