KR20190028838A - 유체 분배 어셈블리 및 이를 포함하는 유체 흐름 장치 - Google Patents

Abstract

예시적인 실시예들에 따른 유체 흐름 장치는 공급부, 배출부, 및 유체 분배부를 포함할 수 있다. 상기 공급부는 유체를 공급하도록 구비되고, 상기 배출부는 상기 공급부로부터 공급되는 상기 유체를 배출하도록 구비되고, 상기 유체 분배부는 몸체와, 하나의 입구로부터 한 지점에서 적어도 두 개의 출구로 분기되는 경로를 갖도록 상기 몸체에 일체 구조로 형성되는 유로와, 상기 유로를 통하여 상기 공급부로부터 상기 유체가 공급되도록 상기 입구와 연결되는 공급단과, 상기 유로를 통하여 상기 배출부로 상기 유체가 배출되도록 상기 출구와 연결되는 배출단으로 이루어질 수 있고, 그리고 상기 공급단 및 상기 배출단 각각은 상기 몸체로부터 돌출되도록 형성될 수 있고, 상기 공급단 및 상기 배출단 각각은 상기 공급부 및 상기 배출부 각각과 링 조인트를 사용하여 결합될 수 있다.

Description

유체 분배 어셈블리 및 이를 포함하는 유체 흐름 장치{Assembly for distributing fluid and Apparatus for flowing fluid having the same}

본 발명은 유체 분배 어셈블리 및 이를 포함하는 유체 흐름 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 하나의 입구로부터 적어도 두 개의 출구로 분기되는 경로를 갖는 유로를 포함하는 유체 분배 어셈블리 및 이를 포함하는 유체 흐름 장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자, 평판 디스플레이(Flat Panel Display : FPD) 소자와 같은 집적회로 소자의 제조에서는 세정액, 식각 가스, 포토레지스트 등과 같은 다양한 종류의 유체를 사용하고 있다. 그리고 집적회로 소자의 제조에 사용되는 유체는 하나의 입구로부터 적어도 두 개의 출구로 분기되는 경로를 갖는 유로를 따라 흐를 수도 있다.

그러나 종래에는 유로가 분기되는 구조가 배관들을 용접 등으로 연결하는 형태이기 때문에 연결 부위에서 누설이 발생할 수 있어 유체가 균등하게 분배되지 못하는 상황이 발생할 수는 문제점이 있고, 또한 배관 내에 기포 등이 발생할 수 있는 문제점이 있다.

본 발명의 일 과제는 누설 영역이 발생하지 않도록 단일 구조의 몸체에 유로가 분기되는 구조를 갖도록 형성하는 유체 분배 어셈블리를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 과제는 언급한 유체 분배 어셈블리를 포함하는 유체 흐름 장치를 제공하는데 있다.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리는 몸체와, 하나의 입구로부터 한 지점에서 적어도 두 개의 출구로 분기되는 경로를 갖도록 상기 몸체에 일체 구조로 형성되는 유로와, 상기 유로를 통하여 유체가 공급되도록 상기 입구와 연결되는 공급단과, 상기 유로를 통하여 유체가 배출되도록 상기 출구와 연결되는 배출단을 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 공급단 및 상기 배출단 각각은 공급 배관 및 배출 배관 각각과 링 조인트(ring joint)를 사용하여 결합되도록 상기 몸체로부터 돌출되는 구조로 형성될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 입구로부터 상기 출구로 분기되는 경로는 꼭짓점을 갖는 구조일 수 있다.

상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 유체 흐름 장치는 공급부, 배출부, 및 유체 분배부를 포함할 수 있다. 상기 공급부는 유체를 공급하도록 구비되고, 상기 배출부는 상기 공급부로부터 공급되는 상기 유체를 배출하도록 구비되고, 상기 유체 분배부는 몸체와, 하나의 입구로부터 한 지점에서 적어도 두 개의 출구로 분기되는 경로를 갖도록 상기 몸체에 일체 구조로 형성되는 유로와, 상기 유로를 통하여 상기 공급부로부터 상기 유체가 공급되도록 상기 입구와 연결되는 공급단과, 상기 유로를 통하여 상기 배출부로 상기 유체가 배출되도록 상기 출구와 연결되는 배출단으로 이루어질 수 있고, 그리고 상기 공급단 및 상기 배출단 각각은 상기 몸체로부터 돌출되도록 형성될 수 있고, 상기 공급단 및 상기 배출단 각각은 상기 공급부 및 상기 배출부 각각과 링 조인트를 사용하여 결합될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 입구로부터 상기 출구로 분기되는 경로는 꼭짓점을 갖는 구조일 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 배출부는 기판을 향하여 상기 유체를 분사하는 분사 노즐과 연결될 수 있다.

예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리 및 유체 흐름 장치는 단일 구조의 몸체에 유로가 분기되는 구조를 갖도록 형성되기 때문에 용접 등으로 형성됨에 의한 누설 영역이 생략될 수 있고, 또한 분기되는 경로가 동일한 크기를 갖도록 형성할 수 있다.

따라서 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리 및 유체 흐름 장치는 유체를 균등하게 분배시켜 배출시킬 수 있기 때문에 유체의 배출량의 차이로 인한 불량을 사전에 방지할 수 있다. 아울러 누설로 인하여 기포가 발생할 수 있는 상황을 사전에 방지할 수도 있기 때문에 기포 발생으로 인한 불량까지도 사전에 방지할 수 있다.

다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리를 포함하는 유체 흐름 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리를 포함하는 유체 흐름 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 1을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리(100) 및 이를 포함하는 유체 흐름 장치(200)는 반도체 소자, 평판 디스플레이 소자와 같은 집적회로 소자의 제조에 적용될 수 있다. 특히, 세정액, 식각 가스, 포토레지스트 등과 같은 다양한 종류의 유체를 사용하는 집적회로 소자의 제조에 적용될 수 있다.

먼저 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리(100)는 몸체(11), 유로(13), 공급단(15), 배출단(17) 등을 포함할 수 있다.

몸체(11)는 단일 구조물로서, 금속 재질로 이루어질 수 있고, 특히 내부식성 등이 우수한 스테인리스 스틸(stainless steel)로 이루어질 수 있다.

유로(13)는 몸체(11)에 형성되는 것으로서, 하나의 입구로부터 적어도 두 개의 출구로 분기되는 경로를 갖도록 이루어질 수 있다. 유로(13)는 분기되는 경로가 적어도 두 개일 경우 그 분기되는 개수에 한정되지 않는다.

그리고 유로(13)가 몸체(11)에 형성되는 구조를 갖기 때문에 유로(13) 및 몸체(11)는 단일 구조체로 이루어지도록 구비될 수 있다. 이에, 유로(13)는 하나의 입구로부터 적어도 두 개의 출구로 분기되는 경로를 갖도록 몸체(11)에 일체 구조로 형성될 수 있다.

유로(13)에서, 분기되는 경로는 한 지점에서 이루어지는 것이 바람직하다. 이에, 분기되는 경로인 한 지점은 꼭짓점을 가질 수 있다. 즉, 분기되는 경로가 삼각형에서의 꼭짓점 구조를 가질 수 있는 것이다.

특히, 꼭짓점을 갖도록 분기될 때 서로 이웃하는 경로에서의 유로(13)들 각각이 최소 각도로 분기되는 것이 적절한 것으로써, 이는 분기되는 각도가 커질수록 유체가 균등하게 분배되는데 방해되기 때문이다. 다시 말해, 유로(13)의 분기되는 경로가 직선 구조에 가깝게 분기되는 것이 유체를 균등하게 분배하는데 유리하기 때문이다.

공급단(15)은 몸체(11)로 유체가 공급되도록 구비되는 것으로서, 즉 유로(13)를 통하여 유체가 공급되도록 언급한 하나의 입구에 연결되도록 구비될 수 있다.

배출단(17)은 몸체(11)로부터 유체가 배출되도록 구비되는 것으로서, 즉 유로(13)를 통하여 유체가 배출되도록 언급한 적어도 두 개의 출구 각각에 연결되도록 구비될 수 있다.

이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리(100)는 하나의 입구로부터 적어도 두 개로 분기되는 경로를 갖는 유로(13)가 몸체(11)에 일체 구조를 갖도록 형성하되 분기되는 구조를 직선 구조에 가깝게 형성함으로써 몸체(11)를 통과하는 유체의 균등한 분배가 가능할 것이고, 나아가 누설 영역의 생략도 가능하기 때문에 유체의 균등한 분배는 물론이고 누설로 인하여 기포가 발생하는 상황까지도 방지할 수도 있을 것이다.

그리고 공급단(15)은 공급 배관(19)과 연결될 수 있고, 배출단(17)은 배출 배관(21)과 연결될 수 있다. 아울러, 공급단(15) 및 배출단(17) 각각은 몸체(11)로부터 돌출되는 구조를 갖도록 형성될 수 있다.

따라서 공급단(15)의 돌출되는 부분과 공급 배관(19)이 연결될 수 있고, 배출단(17)의 돌출되는 부분과 배출 배관(21)이 연결될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 공급단(15)과 공급 배관(19) 및 배출단(17)과 배출 배관(21)의 연결은 링 조인트(23)를 사용하여 결합시킬 수 있다. 이와 같이, 링 조인트(23)를 사용하여 공급단(15)과 공급 배관(19) 및 배출단(17)과 배출 배관(21) 각각을 연결할 수 있기 때문에 조립성의 향상을 도모할 수 있다. 아울러, 공급단(15)과 공급 배관(19) 및 배출단(17)과 배출 배관(21)의 연결시 정렬 구조가 틀어지는 것을 어느 정도 방지할 수 있을 것이다.

이하, 언급한 유체 분배 어셈블리(100)를 포함하는 유체 흐름 장치(200)에 대하여 설명하기로 한다.

먼저 예시적인 실시예들에 따른 유체 흐름 장치(200)에서의 유체 분배 어셈블리(100)는 유체 분배부로 표현하기로 하고, 그리고 유체 분배 어셈블리(100)와 유체 분배부는 동일한 구성을 갖기 때문에 동일 부품에 대해서는 동일 부호를 사용하고 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.

예시적인 실시예들에 따른 유체 흐름 장치(200)는 언급한 바와 같이 반도체 소자, 평판 디스플레이 소자와 같은 집적회로 소자의 제조에서 세정액, 식각 가스, 포토레지스트 등과 같은 다양한 종류의 유체를 제공하기 위한 것으로서, 특히 기판 상에 세정액 등과 같은 약액의 제공시 균등하게 분배시켜 제공하기 위한 것이다.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 유체 흐름 장치(200)는 유체 분배부(100) 이외에도 공급부(25), 배출부(27), 분사 노즐(29) 등을 포함할 수 있다.

공급부(25)는 유체를 공급하기 위한 것으로서, 유체 분배부(100)로 유체를 공급할 수 있도록 언급한 공급 라인(19)과 연결될 수 있다. 이에, 유체 흐름 장치(200)는 공급부(25) 및 공급 라인(19)을 통하여 유체 분배부(100)로 유체를 공급하는 구조를 가질 수 있다.

배출부(27)는 유체를 배출하기 위한 것으로서, 유체 분배부(100)로부터 유체를 배출할 수 있도록 언급한 배출 라인(21)과 연결될 수 있다. 이에, 유체 흐름 장치(200)는 배출 라인(21) 및 배출부(27)를 통하여 유체 분배부(100)로부터 유체를 배출하는 구조를 가질 수 있다.

이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 유체 흐름 장치(200)는 공급부(25) 및 공급 라인(19)을 통하여 유체 분배부(100)로 유체를 공급함과 아울러 배출 라인(21) 및 배출부(27)를 통하여 유체 분배부(100)로부터 유체를 배출하는 구조를 가짐과 아울러 유체 분배부(100)에서의 유로(13)가 몸체(11)에 일체 구조를 갖도록 형성되고 그리고 분기되는 구조가 직선 구조에 가깝게 형성되기 때문에 유체의 균등한 분배가 가능하여 기판 상에 균등하게 분배가 이루어지는 유체를 제공할 수 있을 뿐만 아니라 누설 영역의 생략도 가능하기 때문에 기포가 발생하는 유체의 제공을 사전에 방지할 수 있다.

그리고 배출부(27)는 기판을 향하여 유체를 분사하는 분사 노즐(29)과 연결될 수도 있다. 이에, 배출부(27)로부터 배출이 이루어지는 유체는 분사 노즐(29)을 통하여 기판 상에 분사되는 구조를 가질 수 있는 것이다.

따라서 예시적인 실시예들에 따른 유체 흐름 장치(200)는 분사 노즐(29)을 사용하여 기판 상에 유체를 제공하는 공정에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.

예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리 및 유체 흐름 장치는 세정액, 식각 가스, 포토레지스트 등을 기판 상에 제공하는 공정에 적용할 수 있다. 이에, 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리 및 유체 흐름 장치는 언급한 유체를 사용하는 반도체 소자, 평판 디스플레이 소자와 같은 집적회로 소자의 제조에 적용할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

11 : 몸체 13 : 유로
15 : 공급단 17 : 배출단
19 : 공급 배관 21 : 배출 배관
23 : 링 조인트 25 : 공급부
27 : 배출부 29 : 분사 노즐
100 : 유체 분배 어셈블리(유체 분배부)
200 : 유체 흐름 장치

Claims (6)

1. 몸체;
   하나의 입구로부터 한 지점에서 적어도 두 개의 출구로 분기되는 경로를 갖도록 상기 몸체에 일체 구조로 형성되는 유로;
   상기 유로를 통하여 유체가 공급되도록 상기 입구와 연결되는 공급단; 및
   상기 유로를 통하여 유체가 배출되도록 상기 출구와 연결되는 배출단을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 분배 어셈블리.
2. 제1 항에 있어서,
   상기 공급단 및 상기 배출단 각각은 공급 배관 및 배출 배관 각각과 링 조인트(ring joint)를 사용하여 결합되도록 상기 몸체로부터 돌출되는 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 분배 어셈블리.
3. 제1 항에 있어서,
   상기 입구로부터 상기 출구로 분기되는 경로는 꼭짓점을 갖는 구조인 것을 특징으로 하는 유체 분배 어셈블리.
4. 유체를 공급하는 공급부;
   상기 공급부로부터 공급되는 상기 유체를 배출하는 배출부;
   몸체와, 하나의 입구로부터 한 지점에서 적어도 두 개의 출구로 분기되는 경로를 갖도록 상기 몸체에 일체 구조로 형성되는 유로와, 상기 유로를 통하여 상기 공급부로부터 상기 유체가 공급되도록 상기 입구와 연결되는 공급단과, 상기 유로를 통하여 상기 배출부로 상기 유체가 배출되도록 상기 출구와 연결되는 배출단으로 이루어지는 유체 분배부를 포함하고,
   상기 공급단 및 상기 배출단 각각은 상기 몸체로부터 돌출되도록 형성되고, 상기 공급단 및 상기 배출단 각각은 상기 공급부 및 상기 배출부 각각과 링 조인트를 사용하여 결합되는 것을 특징으로 하는 유체 흐름 장치.
5. 제4 항에 있어서,
   상기 입구로부터 상기 출구로 분기되는 경로는 꼭짓점을 갖는 구조인 것을 특징으로 하는 유체 흐름 장치.
6. 제4 항에 있어서,
   상기 배출부는 기판을 향하여 상기 유체를 분사하는 분사 노즐과 연결되는 것을 특징으로 하는 유체 흐름 장치.

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