KR20190026474A - 자동 연속 테스트 시스템 및 방법 - Google Patents

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KR20190026474A
KR20190026474A KR1020170113444A KR20170113444A KR20190026474A KR 20190026474 A KR20190026474 A KR 20190026474A KR 1020170113444 A KR1020170113444 A KR 1020170113444A KR 20170113444 A KR20170113444 A KR 20170113444A KR 20190026474 A KR20190026474 A KR 20190026474A
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오진우
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Abstract

테스트에 소모되는 시간 및 인력을 줄이고 정확성을 높일 수 있는, 설비 제어 모듈의 자동 연속 테스트 시스템 및 방법이 제공된다. 상기 자동 연속 테스트 시스템은 서로 독립적인 제1 및 제2 테스트 케이스를 저장하는 저장 모듈; 및 사용자의 개입없이 상기 제1 및 제2 테스트 케이스를 연속적으로 설비 제어 모듈에서 테스트하는 테스트 모듈을 포함하되, 상기 테스트 모듈은 상기 제1 테스트 케이스를 기초로 제1 커맨드 또는 제1 데이터를 설비 제어 모듈에 제공하고, 상기 설비 제어 모듈로부터 상기 제1 테스트 케이스에 따른 제1 결과를 제공받고, 상기 제2 테스트 케이스를 기초로 제2 커맨드 또는 제2 데이터를 설비 제어 모듈에 제공하고, 상기 설비 제어 모듈로부터 상기 제2 테스트 케이스에 따른 제2 결과를 제공받는 것을 포함한다.

Description

자동 연속 테스트 시스템 및 방법{Automatic continuous test system and method}
본 발명은 설비 제어 소프트웨어를 테스트하기 위한 테스트 시스템 및 방법에 관한 것이다.
반도체 소자는 박막 증착 공정, 사진 공정, 식각 공정, 세정 공정 및 연마 공정 등과 같은 다양한 단위 공정들이 반복적으로 수행되어 제조된다. 이와 같은 다양한 단위 공정들을 실시하는 기판 처리 설비는, 설비 제어 소프트웨어에 의해서 동작된다. 따라서, 설비 제어 소프트웨어에 버그(bug)가 있거나 예외 상황 등에서 어떻게 대응할지에 대한 시나리오가 적절하지 못하면, 기판 처리 설비의 구동에 많은 문제가 발생할 수 있다.
따라서, 설비 제어 소프트웨어를 이용하여 기판 처리 설비를 실제로 구동시키기 전에, 설비 제어 소프트웨어에 대한 철저한 테스트가 필요하다. 그런데, 종래에는 다수의 테스터(개발자)가 다양한 상황에 대해서 개별적으로 테스트하였다. 즉, 하나의 상황에 대해서 테스트를 진행하고, 그 상황에 대한 양불 판정을 한 후, 또 다른 상황에 대해서 테스트를 진행하였다. 이에 따라 테스트를 위해서 많은 인력과 시간이 소모되었다. 또한, 테스터(개발자)가 개별적으로 테스트 결과에 대한 판정을 하기 때문에, 테스터 별로 테스터에 따라 테스트 결과가 달라질 수 있었다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 테스트에 소모되는 시간 및 인력을 줄이고 정확성을 높일 수 있는, 설비 제어 소프트웨어의 자동 연속 테스트 시스템 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 면(aspect)에 따른 자동 연속 테스트 시스템은, 서로 독립적인 제1 및 제2 테스트 케이스를 저장하는 저장 모듈; 및 사용자의 개입없이 상기 제1 및 제2 테스트 케이스를 연속적으로 설비 제어 모듈에서 테스트하는 테스트 모듈을 포함하되, 상기 테스트 모듈은 상기 제1 테스트 케이스를 기초로 제1 커맨드 또는 제1 데이터를 설비 제어 모듈에 제공하고, 상기 설비 제어 모듈로부터 상기 제1 테스트 케이스에 따른 제1 결과를 제공받고, 상기 제2 테스트 케이스를 기초로 제2 커맨드 또는 제2 데이터를 설비 제어 모듈에 제공하고, 상기 설비 제어 모듈로부터 상기 제2 테스트 케이스에 따른 제2 결과를 제공받는 것을 포함한다.
여기서, 상기 제1 테스트 케이스는 연속적인 제1 스텝 내지 제n(단, n은 2이상의 자연수) 스텝을 포함하고, 상기 설비 제어 모듈은 제1 내지 제m(단, m은 1이상 n 미만의 자연수) 스텝을 수행하고, 제m+1 스텝에서 공정 이상이 발생하면, 미수행된 나머지 스텝을 스킵(skip)함으로써 상기 제1 테스트 케이스에 따른 테스트를 종료하고, 상기 제2 테스트 케이스에 따른 테스트를 시작한다.
또한, 상기 설비 제어 모듈로부터 상기 제1 테스트 케이스에 따른 제1 결과를 제공받은 것과, 상기 제2 테스트 케이스를 기초로 제2 커맨드 또는 제2 데이터를 설비 제어 모듈에 제공하는 것 사이에, 상기 테스트 모듈은 상기 제1 결과를 기초로, 상기 제1 테스트 케이스가 정상 또는 불량인지를 판정하는 것을 더 포함한다.
상기 테스트 모듈은 예외 상황을 상기 설비 제어 모듈에 제공하고, 상기 설비 제어 모듈의 상기 예외 상황에 대한 대응결과를 제공받는다.
수행해야 하는 스텝에 예외 상황이 발생한 경우, 상기 설비 제어 모듈은 상기 수행해야 하는 스텝 대신, 대체 스텝을 수행한다.
상기 제1 테스트 케이스는 연속적인 제1 스텝 내지 제n(단, n은 2이상의 자연수) 스텝을 포함하고, 상기 설비 제어 모듈은 제1 내지 제m(단, m은 1이상 n 미만의 자연수) 스텝을 수행하고, 제m+1 스텝을 수행하기 위한 제1 장치에서 비정상 상태가 인식되면, 상기 제1 장치와 다른 제2 장치에서 제m+1 스텝을 수행한다.
상기 제1 및 제2 테스트 케이스에 대한 분석용 로그 데이터를 생성하는 결과 검토 모듈을 더 포함한다.
상기 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 면(aspect)에 따른 자동 연속 테스트 방법은, 제1 테스트 케이스를 기초로 제1 커맨드 또는 제1 데이터를 설비 제어 모듈에 제공하고, 상기 설비 제어 모듈로부터 상기 제1 테스트 케이스에 따른 제1 결과를 제공받고, 상기 제1 결과를 제공받은 후, 사용자의 개입없이, 상기 제1 테스트 케이스와 독립적인 상기 제2 테스트 케이스를 기초로 제2 커맨드 또는 제2 데이터를 설비 제어 모듈에 제공하고, 상기 설비 제어 모듈로부터 상기 제2 테스트 케이스에 따른 제2 결과를 제공받는 것을 포함한다.
여기서, 상기 제1 테스트 케이스는 연속적인 제1 스텝 내지 제n(단, n은 2이상의 자연수) 스텝을 포함하고, 상기 설비 제어 모듈은 제1 내지 제m(단, m은 1이상 n 미만의 자연수) 스텝을 수행하고, 제m+1 스텝에서 공정 이상이 발생하면, 미수행된 나머지 스텝을 스킵(skip)함으로써 상기 제1 테스트 케이스에 따른 테스트를 종료하고, 상기 제2 테스트 케이스에 따른 테스트를 시작한다.
또는, 상기 제1 테스트 케이스는 연속적인 제1 스텝 내지 제n(단, n은 2이상의 자연수) 스텝을 포함하고, 상기 설비 제어 모듈은 제1 내지 제m(단, m은 1이상 n 미만의 자연수) 스텝을 수행하고, 제m+1 스텝을 수행하기 위한 제1 장치에서 비정상 상태가 인식되면, 상기 제1 장치와 다른 제2 장치에서 제m+1 스텝을 수행한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 자동 연속 테스트 시스템을 설명하기 위한 예시적 블록도이다.
도 2는 도 1의 장비 에뮬레이터가 구현하고 있는 예시적 기판 처리 설비를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 연속 테스트 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 4은 본 발명의 다른 실시예에 따른 자동 연속 테스트 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 자동 연속 테스트 방법의 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자동 연속 테스트 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자동 연속 테스트 방법의 예를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 다수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 자동 연속 테스트 시스템을 설명하기 위한 예시적 블록도이다. 도 2는 도 1의 장비 에뮬레이터가 구현하고 있는 예시적인 기판 처리 설비를 설명하기 위한 도면이다.
우선 도 1을 참조하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 자동 연속 테스트 시스템(100)은 저장 모듈(110), 테스트 모듈(120), 입출력 모듈(130), 결과 검토 모듈(140) 등을 포함한다. 설비 제어 모듈(200)은 자동 연속 테스트 시스템(100)에 의해서 테스트되는 모듈이다.
여기서 "모듈"은, 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위일 수 있다. 예를 들어 소프트웨어, FPGA 또는 ASIC과 같은 하드웨어 구성요소를 의미할 수 있다. "모듈"은 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 저장되도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다. 따라서, "모듈"은 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로 코드, 회로, 데이터, 데이터 베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들 및 변수들을 포함한다. 또한, 이러한 "모듈"은 몇몇 개의 "모듈"로 분리될 수도 있고, 다른 "모듈"과 결합된 형태일 수 있다.
또는, 자동 연속 테스트 시스템(100)과 설비 제어 모듈(200)이 소프트웨어로 구현된 경우, 자동 연속 테스트 시스템(100)과 설비 제어 모듈(200)이 하나의 컴퓨터(또는 서버) 내에서 구동될 수도 있고, 또는 서로 물리적으로 분리되어 있는 컴퓨터(또는 서버)에서 각각 구동되고 서로 통신(네트워크)을 통해서 서로 커맨드 또는 데이터를 주고받을 수 있다. 또한, 자동 연속 테스트 시스템(100)을 구성하는 모듈들(110, 120, 130, 140)도 서로 물리적으로 또는 논리적으로 분리되어 있는 몇 개의 컴퓨터(또는 서버)에 나누어져 설치될 수도 있다. 예를 들어, 저장 모듈(110)이 설치된 컴퓨터와, 테스트 모듈(120)이 설치된 컴퓨터는 물리적으로 또는 논리적으로 분리될 수 있다.
설비 제어 모듈(200)은 자동 연속 테스트 시스템(100)으로부터 테스트 케이스에 기초한 다수의 커맨드 또는 데이터를 제공받는다. 설비 제어 모듈(200)은 커맨드 또는 데이터를 기초로, 장비 에뮬레이터(210)의 동작을 제어하고 장비 에뮬레이터(210)로부터 결과를 받는다. 여기서 장비 에뮬레이터(210)는 기판 처리 설비의 각종 장비 및 동작 등을 가상으로 구현한 것이다. 장비 에뮬레이터(210)는 소프트웨어 기판일수도 있고 하드웨어 기반일 수도 있다.
여기서, 설명의 편의를 위해서, 도 2를 참고하여 장비 에뮬레이터(210)가 구현하고 있는 예시적인 기판 처리 설비를 설명한다.
도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 처리 모듈(Process module)(1000), 로드락 챔버(Loadlock chamber)(2000), 그리고 인덱스 모듈(Index module)(3000)을 포함한다. 처리 모듈(1000), 로드락 챔버(2000) 및 인덱스 모듈(3000)은 순차적으로 일렬로 배치된다. 이 때, 처리 모듈(1000)과 로드락 챔버(2000) 그리고 인덱스 모듈(3000)이 배치된 방향을 제1방향이라 한다. 그리고, 상부에서 바라볼 때 제1방향과 수직한 방향을 제2방향이라 한다. 그리고 제1방향 및 제2방향에 각각 수직한 방향을 제3방향이라 한다.
인덱스 모듈(3000)은 로드포트(3200)와 이송프레임(3100)을 포함한다. 로드포트(3200)는 이송프레임(3100) 전방에 배치되고, 다수 개를 가진다. 로드 포트(3200)들은 제2방향을 따라 일렬로 배치된다. 공정에 제공될 기판(W) 및 공정처리가 완료된 기판(W)이 수납된 캐리어(예를 틀어, 카세트, FOUP등)는 로드포트(3200)에 안착된다.
이송프레임(3100)은 인덱스 로봇(3110)과 하우징(3130)을 포함한다. 로드포트(3200)와 로드락 챔버(2000) 사이에 배치된다. 이송프레임(3100) 내부에 로드포트(3200)와 로드락 챔버(2000)간에 기판(W)을 이송하는 인덱스 로봇(3110)이 배치된다. 인덱스 로봇(3110)은 제2방향으로 구비된 이송 레일을 따라 이동한다.
인덱스 로봇(3110)은 상하 이동이 가능하게 제공된다. 인덱스 로봇(3110)의 핸드는 수평면 상에서 전진, 후진 및 회전 등이 가능하도록 제공된다. 핸드는 하나 또는 다수 개가 제공 될 수 있다.
또한, 얼라이너(3210)는 기판(W)을 회전시키면서 플랫존 또는 노치를 감지함으로써 기판(W)을 정렬한다. 또한, 쿨링 모듈(3300)은 공정 처리가 완료된 기판(W)이 외부로 나가기 전에 쿨링시키는 역할을 한다.
로드락 챔버(2000)는 트랜스퍼 챔버(1110)와 인덱스 모듈(3000) 사이에 배치되며, 공정에 제공될 기판(W)이 공정 챔버(1200)로 이송되기 전, 또는 공정 처리가 완료된 기판(W)이 인덱스 모듈(3000)로 이송되기 전 대기하는 공간을 제공한다. 로드락 챔버(2000)는 하나 또는 다수 개가 제공된다. 일 예에 의하면, 로드락 챔버(2000)는 두 개가 제공된다. 두 개의 로드락 챔버(2000)들 중 하나에는 공정 진행을 위해 처리 모듈(1000)로 유입되는 기판(W)이 수납되고, 다른 하나에는 공정이 완료되어 처리 모듈(1000)로부터 유출되는 기판(W)이 수납될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
처리 모듈(1000)은 트랜스퍼 챔버(Transfer chamber)(1100), 공정 챔버(Process chamber)(1200) 등을 포함한다. 처리 모듈(1000)은 기판에 대해서 공정을 수행한다. 트랜스퍼 챔버(1100)는 로드락 챔버(2000)에 인접하게 배치된다. 하우징(1130)은 상부에서 바라볼 때 다각형의 형상을 가질 수 있다. 일 실시예로 하우징(1130)은 육각형의 형상으로 제공될 수 있다. 이와 달리 하우징(1130)은 다양한 형상으로 제공될 수 있다.
하우징(1130)의 외측에는 로드락 챔버(2000)들과 다수 개의 공정 챔버(1200)들이 하우징(1130)에 인접하여 배치된다. 하우징(1130)의 각 측벽에는 트랜스퍼 챔버(1100)와 로드락 챔버(2000) 간에, 또는 트랜스퍼 챔버(1100)와 공정 챔버(1200) 간에 기판이 출입하는 반입구가 형성된다. 각 반입구에는 반입구를 개폐하는 밸브가 제공된다.
하우징(1110)의 내부에는 반송 로봇(1110)이 제공된다. 반송 로봇(1110)은 로드락 챔버(2000)에서 대기하는 미처리 기판을 공정 챔버(1200)로 이송하거나, 공정처리가 완료된 기판을 로드락 챔버(2000)로 이송한다.
트랜스퍼 챔버(1100)에는 공정 챔버(1200)로 기판을 이송하기 위한 밸브 어셈블리(1150)가 제공된다. 밸브 어셈블리(1150)는 트랜스퍼 챔버(1100)와 공정 챔버(1200) 사이에 배치된다.
공정 챔버(1200)는 트랜스퍼 챔버(1100)에 인접하게 배치된다. 일 실시예에 따르면 공정 챔버(1200)는 트랜스퍼 챔버(1100)의 하우징(1130)의 측부에 다수 개로 제공될 수 있다. 일 예에 의하면 공정 챔버(1200)는 6개가 제공될 수 있다. 공정 챔버(1200)는 설계에 따라서 6개의 공정 챔버(1200)가 서로 동일한 기능일 수도 있고, 일부만 동일할 수도 있다. 또는 6개의 공정 챔버(1200)가 서로 다른 기능을 수행할 수도 있다.
다시 도 1을 참조하면, 저장 모듈(110)에는 다수의 테스트 케이스(test case)가 저장된다. 여기서, 테스트 케이스는 기판 처리 설비를 동작하는 시나리오를 의미한다. 다수의 테스트 케이스는 서로 독립적인 관계를 갖는다. 예를 들어, 제1 테스트 케이스를 수행하는 것과 제2 테스트 케이스를 수행하는 것은 서로 개별적이고, 제1 테스트 케이스의 결과와 제2 테스트 케이스의 결과는 서로 영향을 미치지 않는다. 다르게 설명하면, 제1 테스트 케이스의 결과가 불량으로 판단되었다고 하더라도, 제2 테스트 케이스를 불량으로 동일하게 판단하지 않는다. 또는, 제1 테스트 케이스의 결과가 정상으로 판단되었다고 하더라도, 제2 테스트 케이스를 자동으로 정상 판단하지 않고 반드시 테스트를 수행한다.
또한, 하나의 테스트 케이스는 다수의 스텝(step)으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 도 2를 참조하면, 예시적인 테스트 케이스는 "(스텝1) 인덱스 로봇(3110)이 로드포트(3200)에서 기판(W)을 꺼내고, (스텝2) 인덱스 로봇(3110)이 기판(W)을 얼라이너(3210)에 제공하고, (스텝3) 얼라이너(3210)에서 기판(W)을 정렬하고, (스텝4) 인덱스 로봇(3110)이 정렬된 기판(W)을 로드락 챔버(2000)에 전달하고, (스텝5) 반송 로봇(1110)이 로드락 챔버(2000)에서 기판(W)을 꺼내서 공정 챔버(1200)로 전달하고 (스텝6) 공정 챔버(1200)에서 세정 공정이 진행된다" 등을 포함할 수 있다.
저장 모듈(110)에는 수백 내지 수천 개의 테스트 케이스를 저장할 수 있다. 또한, 사용자(또는 개발자, 테스터)는 입출력 모듈(130)을 통해서 새로운 테스트 케이스를 생성하여, 저장 모듈(110)에 저장시킬 수 있다. 또한, 사용자는 입출력 모듈(130)을 통해서 기저장된 테스트 케이스를 수정할 수도 있다.
테스트 모듈(120)은 사용자의 개입없이 다수의 테스트 케이스를 연속적으로 설비 제어 모듈(200)에서 테스트할 수 있다. 따라서, 예를 들어 수천 개의 테스트 케이스를 사용자의 중간 개입없이 수행할 수 있다(도 3 참조). 예를 들어, 테스트 모듈(120)은 제1 테스트 케이스를 기초로 제1 커맨드 또는 제1 데이터를 설비 제어 모듈(200)에 제공하고, 설비 제어 모듈(200)로부터 제1 테스트 케이스에 따른 제1 결과를 제공받고, 이어서, 제2 테스트 케이스를 기초로 제2 커맨드 또는 제2 데이터를 설비 제어 모듈(200)에 제공하고, 설비 제어 모듈(200)로부터 제2 테스트 케이스에 따른 제2 결과를 제공받는다.
이러한 자동 연속 테스트를 위해서, 테스트 케이스의 결과에 대해서 사용자의 판단을 기다리지 않고 테스트 모듈(120)은 자체적인 기준에 따라서 양불 판단을 할 수 있다. 또한, 예를 들어, 제1 테스트 케이스를 수행하던 중에 제1 테스트 케이스가 공정 이상(즉, NG)으로 판단되면 제1 테스트 케이스를 끝까지 완료하지 않고 종료한다. 이어서 제2 테스트 케이스를 수행한다(도 4 및 도 5 참조).
또한, 테스트 모듈(120)은 설비 제어 모듈(200)이 예외 상황이 발생하였을 때 어떻게 대응하는지를 확인하기 위해서, 설비 제어 모듈(200)이 테스트 케이스를 수행하던 중에, 테스트 모듈(120)은 예외 상황을 설비 제어 모듈(200)에 제공할 수 있다. 또는, 테스트 케이스 내에 미리 예외 상황을 삽입해 두어서, 설비 제어 모듈(200)이 상기 테스트 케이스를 수행하던 중에 예외 상황이 발생하게 할 수도 있다(도 6 및 도 7 참조).
테스트 모듈(120)의 자동 연속 테스트 방법에 대해서는 도 3 내지 도 7을 참조하여 후술하도록 한다.
다시 도 1을 참조하면, 자동 연속 테스트 시스템(100)은 결과 검토 모듈(140)을 더 포함한다.
본 발명의 몇몇 실시예에 따른 자동 연속 테스트 시스템(100)은 사용자의 개입없이 다수의(즉, 사용자에 의해 지시된 모든) 테스트 케이스가 연속적으로 진행된다. 또한, 수행된 테스트 케이스에 대한 양불 판정도 자체적인 기준에 따라 수행한다. 따라서, 테스트 케이스가 완료된 후, 사용자는 필요에 따라 테스트 케이스의 결과에 대한 검토가 필요할 수도 있다. 이를 위해서, 결과 검토 모듈(140)은 테스트 케이스에 대한 분석용 로그 데이터(log data)를 생성한다. 또한, 사용자가 추후 확인할 수 있도록 동영상 녹화본을 제공할 수 있다.
본 발명의 몇몇 실시예에 따른 자동 연속 테스트 시스템(100)은 사용자의 개입없이 다수의 테스트 케이스가 연속적으로 수행되기 때문에, 테스트에 소모되는 시간 및 인력을 최소한으로 줄일 수 있다. 또한, 자체적인 기준에 따라 양불 판정을 하기 때문에, 테스트 케이스에 대한 결과 정확성을 높일 수 있다. 또한, 사용자가 추후 검토할 수 있도록 로그 데이터 등이 제공되므로, 테스트 도중에 발생할 수도 있는 결과 오류를 잡아내어 수정할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 연속 테스트 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 테스트 모듈(120)은 제1 테스트 케이스를 기초로 한 제1 커맨드 또는 제1 데이터를 설비 제어 모듈(200)에 제공한다. 이러한 제1 커맨드 또는 제1 데이터에 따라, 설비 제어 모듈(200)에서 제1 테스트 케이스가 시작된다(S9, S10). 제1 테스트 케이스는 연속적인 다수의 스텝을 포함하기 때문에, 각각의 스텝이 연속적으로 수행된다. 제1 테스트 케이스가 종료되고, 설비 제어 모듈(200)로부터 제1 테스트 케이스에 따른 제1 결과가 테스트 모듈(120)에 제공된다. 테스트 모듈(120)은 제1 결과의 양불 판단(즉, 제1 테스트 케이스가 정상인지 불량인지 판단)을 수행한다(S80).
모든 테스트 케이스가 수행되었는지 판단한다(S90).
모든 테스트 케이스가 수행되지 않았다면, 제2 테스트 케이스를 시작한다(S91, S10). 마찬가지로, 테스트 모듈(120)은 제2 테스트 케이스를 기초로 한 제2 커맨드 또는 제2 데이터를 설비 제어 모듈(200)에 제공한다. 이러한 제2 커맨드 또는 제2 데이터에 따라, 설비 제어 모듈(200)에서 제2 테스트 케이스가 수행된다. 제2 테스트 케이스가 종료되고, 설비 제어 모듈(200)로부터 제2 테스트 케이스에 따른 제2 결과가 테스트 모듈(120)에 제공된다. 테스트 모듈(120)은 제2 결과의 양불 판단(즉, 제2 테스트 케이스가 정상인지 불량인지 판단)을 수행한다(S80).
이와 같은 방식으로, 사용자에 의해 지시된 모든 테스트 케이스가 연속적으로 수행된다(S90). 모든 테스트 케이스가 수행되었으면 종료한다.
도 4은 본 발명의 다른 실시예에 따른 자동 연속 테스트 방법을 설명하기 위한 흐름도이다. 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 자동 연속 테스트 방법의 예를 설명하기 위한 도면이다. 설명의 편의상 도 1 내지 도 3을 이용하여 미리 설명한 것은 생략한다.
우선, 도 1 및 도 4를 참조하면, 제1 테스트 케이스가 시작된다(S9, S10). 제1 테스트 케이스는 연속적인 다수의 스텝을 포함한다. 따라서, 제1 테스트 케이스의 제1 스텝이 수행된다(S19, S20).
제1 스텝을 수행하면서 또는 제1 스텝을 수행한 결과에 공정 이상(즉, NG)이 있는지 판단한다(S30). 공정 이상 여부는 설비 제어 모듈(200)에서 판단할 수 있다. 또는, 테스트 모듈(120)이 테스트 케이스의 수행 과정을 실시간으로 검토하면서, 실시간으로 공정 이상 여부를 판단할 수도 있다.
만약, 제1 스텝을 수행한 결과에 공정 이상이 있으면, 이후의 스텝(즉, 제2 스텝부터 마지막 스텝)은 스킵(skip)한다.
또는, 제1 스텝을 수행한 결과가 정상이면, 모든 스텝을 수행했는지 검토한다(S40). 모든 스텝이 수행되지 않았기 때문에, 제2 스텝을 수행한다(S41, S20).
이와 같은 방식으로, 제1 테스트 케이스의 모든 스텝이 수행될 때까지 S20, S30, S40, S41이 반복된다.
모든 스텝이 수행되면, 제1 테스트 케이스는 종료된다(S80).
제1 테스트 케이스에 따른 결과를 기초로, 자동 연속 테스트 시스템(100)(즉, 테스트 모듈(120))은 제1 테스트 케이스의 양불 판정을 할 수 있다.
이어서, 모든 테스트 케이스가 수행되었는지 판단한다(S90).
모든 테스트 케이스가 수행되지 않았다면, 제2 테스트 케이스를 시작한다(S91, S10).
이와 같은 방식으로, 모든 테스트 케이스가 수행될 때까지 S10, S19, S20, S30, S40, S41, S80, S90, S91이 반복된다.
여기서, 도 4 및 도 5를 이용하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 자동 연속 테스트 방법의 예를 설명한다.
제1 테스트 케이스가 시작되어(S10) 제1 스텝(ST11)이 진행된다. 즉, 인덱스 로봇(3110)이 가운데의 로드포트(3200)에서 기판(W)을 꺼냈으나, 공정 이상(NG) 알람(alarm)이 발생할 수 있다. 공정 이상이 발생하면(S30), 이후의 스텝(즉, 제2 스텝부터 마지막 스텝)은 스킵(skip)하고, 제1 테스트 케이스를 종료한다(S80). 제1 테스트 케이스는 불량으로 판단된다.
모든 테스트 케이스가 수행되지 않았기 때문에(S90), 사용자의 개입없이 자동으로, 제2 테스트 케이스가 시작된다(S10). 즉, 인덱스 로봇(3110)이 로드포트(3200)에서 기판(W)을 꺼내고(제1 스텝(ST21)이 수행됨), 인덱스 로봇(3110)이 기판(W)을 얼라이너(3210)에 제공하고 얼라이너(3210)에서 기판(W)을 정렬하고(제2 스텝(ST22)이 수행됨), 인덱스 로봇(3110)이 정렬된 기판(W)을 로드락 챔버(2000)에 전달하고(제3 스텝(ST23)이 수행됨), 반송 로봇(1110)이 로드락 챔버(2000)에서 기판(W)을 꺼내서 공정 챔버(1200)로 전달하여 공정 챔버(1200)에서 세정 공정이 진행된다(제4 스텝(ST24)이 수행됨). 이후에 세정된 기판(W)이 로드락 챔버(2000), 쿨링 모듈(3300), 로드포트(3200) 등을 거쳐 외부로 반출된다. 이와 같은 방식으로 모든 스텝이 수행되면(S40), 제2 테스트 케이스가 종료된다(S80).
본 발명의 다른 실시예에 따른 자동 연속 테스트 방법을 정리하면 다음과 같다. 예를 들어, 제1 테스트 케이스가 연속적인 제1 스텝 내지 제n(단, n은 2이상의 자연수) 스텝을 포함하는 경우, 설비 제어 모듈(200)은 제1 내지 제m(단, m은 1이상 n 미만의 자연수) 스텝을 수행하고, 제m+1 스텝에서 공정 이상이 발생하면, 미수행된 나머지 스텝을 스킵(skip)함으로써 제1 테스트 케이스에 따른 테스트를 종료하고, 제2 테스트 케이스에 따른 테스트를 시작한다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자동 연속 테스트 방법을 설명하기 위한 흐름도이다. 도 6은 도 4의 흐름도에서 S50 및 S60 의 단계가 추가된 것을 설명한다. 도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자동 연속 테스트 방법의 예를 설명하기 위한 도면이다. 설명의 편의상 도 1 내지 도 5를 이용하여 미리 설명한 것은 생략한다.
우선, 도 1 및 도 6을 참조하면, 제1 테스트 케이스의 제n 스텝이 수행된다(S20).
이어서, 예외 상황의 발생 여부를 검토한다(S50). 예외 상황이 발생하지 않으면 공정 이상(즉, NG)이 있는지 판단하게 된다(S30).
만약, 예외 상황이 발생하면, 수행하기로 되어 있는 제n 스텝을 수행하지 않고 대체할 수 있는 제n' 스텝(즉, 대체 스텝(replaceable step))을 수행할 수 있는지 검토하여, 제n' 스텝을 수행한다(S60). 만약, 대체할 수 있는 스텝이 없다면 공정 이상(NG)로 처리하고 진행 중이었던 테스트 케이스를 종료할 수도 있다. 이와 같이 함으로써, 예외 상황에 대해서 설비 제어 모듈(200)이 어떻게 대처하는지를 미리 확인할 수 있다.
한편, 설비 제어 모듈(200)이 테스트 케이스를 수행하던 중에, 테스트 모듈(120)은 예외 상황을 설비 제어 모듈(200)에 제공할 수 있다. 또는, 테스트 케이스 내에 미리 예외 상황을 삽입해 두어서, 설비 제어 모듈(200)이 상기 테스트 케이스를 수행하던 중에 예외 상황이 발생하게 할 수도 있다.
설비 제어 모듈(200)은 예외 상황에 대한 대응결과를 설비 제어 모듈(200)로부터 제공되어, 대응결과의 양불 여부를 판단할 수 있다.
여기서, 도 6 및 도 7을 이용하여 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자동 연속 테스트 방법의 예를 설명한다.
인덱스 로봇(3110)이 로드포트(3200)에서 기판(W)을 꺼내고(제1 스텝(ST11)이 수행됨), 인덱스 로봇(3110)이 기판(W)을 얼라이너(3210)에 제공하고 얼라이너(3210)에서 기판(W)을 정렬하고(제2 스텝(ST12)이 수행됨), 인덱스 로봇(3110)이 정렬된 기판(W)을 로드락 챔버(2000)에 전달하고(제3 스텝(ST13)이 수행됨), 반송 로봇(1110)이 로드락 챔버(2000)에서 기판(W)을 꺼내서 공정 챔버(1200)로 전달해야 하는데, 예외 상황이 발생하게 된다. 즉, 다수의 공정 챔버(1200) 중에서 첫번째 공정 챔버(1200)에 기판(W)이 제공되어야 하는데, 첫번째 공정 챔버(1200)에서 예외 상황이 발생한다. 즉, 첫번째 공정 챔버(1200)이 비정상 상태가 된다. 이러한 경우, 인접한 공정 챔버(1200) 중에서 사용가능한 공정 챔버(1200)가 있는지 확인한다. 두번째 공정 챔버(1200)가 사용 가능하다고 판단되면, 두번째 공정 챔버(1200)로 기판(W)을 제공하여 세정 공정을 진행한다(제4 스텝(ST14')이 수행됨).
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자동 연속 테스트 방법을 정리하면 다음과 같다. 예를 들어, 진행 중인 테스트 케이스는 연속적인 제1 스텝 내지 제n(단, n은 2이상의 자연수) 스텝을 포함한다고 할 때, 설비 제어 모듈(200)은 제1 내지 제m(단, m은 1이상 n 미만의 자연수) 스텝을 수행하고, 제m+1 스텝을 수행하기 위한 제1 장치에서 비정상 상태가 인식되면, 상기 제1 장치와 다른 제2 장치에서 제m+1 스텝을 수행한다.
이와 같이 함으로써, 테스트 모듈(120)은 사용자의 개입없이 다수의 테스트 케이스를 연속적으로 설비 제어 모듈(200)에서 테스트할 수 있다. 또한, 이와 같이 연속적으로 다수의 테스트 케이스를 수행하면서, 예외 상황에 대해서 설비 제어 모듈(200)이 어떻게 대응하는지도 같이 테스트할 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 자동 연속 테스트 시스템 110: 저장 모듈
120: 테스트 모듈 130: 입출력 모듈
140: 결과 검토 모듈 200: 설비 제어 모듈
210: 장비 에뮬레이터

Claims (10)

  1. 서로 독립적인 제1 및 제2 테스트 케이스를 저장하는 저장 모듈; 및
    사용자의 개입없이 상기 제1 및 제2 테스트 케이스를 연속적으로 설비 제어 모듈에서 테스트하는 테스트 모듈을 포함하되, 상기 테스트 모듈은
    상기 제1 테스트 케이스를 기초로 제1 커맨드 또는 제1 데이터를 설비 제어 모듈에 제공하고,
    상기 설비 제어 모듈로부터 상기 제1 테스트 케이스에 따른 제1 결과를 제공받고,
    상기 제2 테스트 케이스를 기초로 제2 커맨드 또는 제2 데이터를 설비 제어 모듈에 제공하고,
    상기 설비 제어 모듈로부터 상기 제2 테스트 케이스에 따른 제2 결과를 제공받는 것을 포함하는, 자동 연속 테스트 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 테스트 케이스는 연속적인 제1 스텝 내지 제n(단, n은 2이상의 자연수) 스텝을 포함하고,
    상기 설비 제어 모듈은 제1 내지 제m(단, m은 1이상 n 미만의 자연수) 스텝을 수행하고, 제m+1 스텝에서 공정 이상이 발생하면, 미수행된 나머지 스텝을 스킵(skip)함으로써 상기 제1 테스트 케이스에 따른 테스트를 종료하고, 상기 제2 테스트 케이스에 따른 테스트를 시작하는, 자동 연속 테스트 시스템.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 설비 제어 모듈로부터 상기 제1 테스트 케이스에 따른 제1 결과를 제공받은 것과, 상기 제2 테스트 케이스를 기초로 제2 커맨드 또는 제2 데이터를 설비 제어 모듈에 제공하는 것 사이에,
    상기 테스트 모듈은 상기 제1 결과를 기초로, 상기 제1 테스트 케이스가 정상 또는 불량인지를 판정하는 것을 더 포함하는, 자동 연속 테스트 시스템.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 테스트 모듈은 예외 상황을 상기 설비 제어 모듈에 제공하고, 상기 설비 제어 모듈의 상기 예외 상황에 대한 대응결과를 제공받는, 자동 연속 테스트 시스템.
  5. 제 4항에 있어서,
    수행해야 하는 스텝에 예외 상황이 발생한 경우, 상기 설비 제어 모듈은 상기 수행해야 하는 스텝 대신, 대체 스텝을 수행하는, 자동 연속 테스트 시스템.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 테스트 케이스는 연속적인 제1 스텝 내지 제n(단, n은 2이상의 자연수) 스텝을 포함하고,
    상기 설비 제어 모듈은 제1 내지 제m(단, m은 1이상 n 미만의 자연수) 스텝을 수행하고, 제m+1 스텝을 수행하기 위한 제1 장치에서 비정상 상태가 인식되면, 상기 제1 장치와 다른 제2 장치에서 제m+1 스텝을 수행하는, 자동 연속 테스트 시스템.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 테스트 케이스에 대한 분석용 로그 데이터를 생성하는 결과 검토 모듈을 더 포함하는, 자동 연속 테스트 시스템.
  8. 제1 테스트 케이스를 기초로 제1 커맨드 또는 제1 데이터를 설비 제어 모듈에 제공하고,
    상기 설비 제어 모듈로부터 상기 제1 테스트 케이스에 따른 제1 결과를 제공받고,
    상기 제1 결과를 제공받은 후, 사용자의 개입없이, 상기 제1 테스트 케이스와 독립적인 상기 제2 테스트 케이스를 기초로 제2 커맨드 또는 제2 데이터를 설비 제어 모듈에 제공하고,
    상기 설비 제어 모듈로부터 상기 제2 테스트 케이스에 따른 제2 결과를 제공받는 것을 포함하는, 자동 연속 테스트 방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제1 테스트 케이스는 연속적인 제1 스텝 내지 제n(단, n은 2이상의 자연수) 스텝을 포함하고,
    상기 설비 제어 모듈은 제1 내지 제m(단, m은 1이상 n 미만의 자연수) 스텝을 수행하고, 제m+1 스텝에서 공정 이상이 발생하면, 미수행된 나머지 스텝을 스킵(skip)함으로써 상기 제1 테스트 케이스에 따른 테스트를 종료하고, 상기 제2 테스트 케이스에 따른 테스트를 시작하는, 자동 연속 테스트 방법.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 제1 테스트 케이스는 연속적인 제1 스텝 내지 제n(단, n은 2이상의 자연수) 스텝을 포함하고,
    상기 설비 제어 모듈은 제1 내지 제m(단, m은 1이상 n 미만의 자연수) 스텝을 수행하고, 제m+1 스텝을 수행하기 위한 제1 장치에서 비정상 상태가 인식되면, 상기 제1 장치와 다른 제2 장치에서 제m+1 스텝을 수행하는, 자동 연속 테스트 방법.
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