KR20190014272A - 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

표시 장치의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20190014272A
KR20190014272A KR1020170097271A KR20170097271A KR20190014272A KR 20190014272 A KR20190014272 A KR 20190014272A KR 1020170097271 A KR1020170097271 A KR 1020170097271A KR 20170097271 A KR20170097271 A KR 20170097271A KR 20190014272 A KR20190014272 A KR 20190014272A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
branch
thickness
mask
evaporation
deposition mask
Prior art date
Application number
KR1020170097271A
Other languages
English (en)
Inventor
서석훈
문병록
이제호
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020170097271A priority Critical patent/KR20190014272A/ko
Priority to CN201810842483.8A priority patent/CN109326742A/zh
Publication of KR20190014272A publication Critical patent/KR20190014272A/ko
Priority to KR1020220042004A priority patent/KR102570872B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
    • H01L51/5237—
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • H01L27/32—
    • H01L51/0011—
    • H01L51/56—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 표시 영역 및　상기 표시 영역 외측에 정의되고 상기 표시 영역을 사이에 두고 서로 마주하는 제1 주변 영역 및 제2 주변 영역을 포함하는 기판을 제공하는 단계, 상기 기판 상에 회로층을 형성하는 단계, 상기 표시 영역 상에 소자층을 형성하는 단계, 및 상기 소자층을 커버하도록 봉지층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 봉지층을 형성하는 단계는, 제1　중심부 및 상기 제1　중심부로부터 제1　방향으로 연장되는 제1　가지부를 포함하는 제1　증착용 마스크를 상기 제1　주변 영역의 일부분와 중첩하도록 배치하는 단계, 제2　중심부 및 상기 제2　중심부로부터 상기 제1　방향과 반대되는 방향으로 연장되는 제2　가지부를 포함하는 제2　증착용 마스크를 상기 제2　주변 영역의 일부분과 중첩하도록 배치하는 단계, 및 상기 제1　증착용 마스크 및 상기 제2　증착용 마스크를 이용하여　상기 소자층 상에 제1　봉지막을 증착하는 단계를 포함한다.

Description

표시 장치의 제조 방법{MANUFACTURING METHOD OF DISPLAY DEVICE}
본 발명은 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로 보다 상세하게는 단차가 형성된 증착용 마스크를 이용하여 봉지층을 증착하여, 표시 장치의 구동시 색 편차를 감소시키기 위한 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
통상적으로, 유기 발광 디스플레이 장치(organic light emitting display apparatus)는 스마트 폰, 태블릿 퍼스널 컴퓨터, 랩 탑 컴퓨터, 디지털 카메라, 캠코더, 휴대 정보 단말기와 같은 모바일 장치나, 초박형 텔레비전, 광고판과 같은 전자 장치에 이용할 수 있다.
유기 발광 디스플레이 장치는 애노우드와 캐소우드 사이에 유기 발광층을 개재한다. 유기 발광 디스플레이 장치는 유기 발광층을 보호하기 위한 박막 엔캡슐레이션(thin film encapsulation, TFE)을 포함한다.
박막 엔캡슐레이션은 박막 증착 공정에 의하여 형성할 수 있다. 박막 증착 공정은 화학 기상 증착(chemical vapor deposition, CVD)이나, 물리 기상 증착(physical vapor deposition, PVD) 등을 포함한다.
본 발명은 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로 보다 상세하게는 단차가 형성된 증착용 마스크를 이용하여 봉지층을 증착하여, 표시 장치의 구동시 색 편차를 감소시키기 위한 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 표시 영역 및　상기 표시 영역 외측에 정의되고 상기 표시 영역을 사이에 두고 서로 마주하는 제1 주변 영역 및 제2 주변 영역을 포함하는 기판을 제공하는 단계, 상기 기판 상에 회로층을 형성하는 단계, 상기 표시 영역 상에 소자층을 형성하는 단계, 및 상기 소자층을 커버하도록 봉지층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 봉지층을 형성하는 단계는, 제1　중심부 및 상기 제1　중심부로부터 제1　방향으로 연장되는 제1　가지부를 포함하는 제1　증착용 마스크를 상기 제1　주변 영역의 일부분와 중첩하도록 배치하는 단계, 제2　중심부 및 상기 제2　중심부로부터 상기 제1　방향과 반대되는 방향으로 연장되는 제2　가지부를 포함하는 제2　증착용 마스크를 상기 제2　주변 영역의 일부분과 중첩하도록 배치하는 단계, 및 상기 제1　증착용 마스크 및 상기 제2　증착용 마스크를 이용하여　상기 소자층 상에 제1　봉지막을 증착하는 단계를 포함하고, 상기 제1　증착용 마스크를 배치하는 단계에서 상기 제1　가지부가 상기 표시 영역 측을 향하도록 상기 제1　증착용 마스크를 배치하고, 상기 제2　증착용 마스크를 배치하는 단계에서 상기 제2　가지부가 상기 표시 영역 측을 향하도록 상기 제2　증착용 마스크를 배치하고, 상기 제1　가지부는 상기 제1　중심부보다 두께가 작고, 상기 제2　가지부는 상기 제2　중심부보다 두께가 작고, 상기 제1　증착용 마스크와 상기 제2　증착용 마스크 간의 상기 제1　방향으로의 이격 거리는 상기 제1증착용 마스크 또는 상기 제2　증착용 마스크의 상기 제1　방향으로의 너비보다 크다.
상기 기판은 상기 제1　주변 영역과 상기 제2　주변 영역을 연결하는 제3　주변 영역 및 상기 표시 영역을 사이에 두고 상기 상기 제3　주변 영역과 마주하는 제4　주변 영역을 더 포함하고, 상기 봉지층을 형성하는 단계는, 제3　중심부 및 상기 제3　중심부로부터 상기 제1　방향과 수직한 제2　방향으로 연장되는 제3　가지부를 포함하는 제3　증착용 마스크를 상기 제3　주변 영역과 중첩하도록 배치하는 단계 및 제4　중심부 및 상기 제4　중심부로부터 상기 제2　방향과 반대되는 방향으로 연장되는 제4가지부를 포함하는 제4　증착용 마스크를 상기 제4　주변 영역과 중첩하도록 배치하는 단계를 포함하고, 상기 제3　증착용 마스크를 배치하는 단계에서 상기 제3　가지부가 상기 표시 영역 측을 향하도록 상기 제3　증착용 마스크를 배치하고, 상기 제4　증착용 마스크를 배치하는 단계에서 상기 제4　가지부가 상기 표시 영역 측을 향하도록, 상기 제4　증착용 마스크를 배치하고, 상기 제3　가지부는 상기 제3　중심부보다 두께가 작고, 상기 제4　가지부는 상기 제4　중심부보다 두께가 작고, 상기 제3　증착용 마스크와 상기 제4　증착용 마스크 간의 상기 제2　방향으로의 이격 거리는 상기 제3증착용 마스크 또는 상기 제4　증착용 마스크의 상기 제2　방향으로의 너비보다 크다.
상기 제1　내지 제4　증착용 마스크는 일체이다.
상기 제1　증착용 마스크 및 상기 제2　증착용 마스크는 상기 제2　방향으로 연장되고,　상기 제3　증착용 마스크 및 상기 제4　증착용 마스크는 상기 제1　방향으로 연장된다.
상기 제1　봉지막은 무기 물질을 포함한다.
상기 제1　가지부의 두께는 상기 제1　방향으로의 상기 제1　가지부의 너비보다 같거나 작고, 상기 제2　가지부의 두께는 상기 제1　방향으로의 상기 제2　가지부의 너비보다 같거나 작다.
상기 제1　가지부의 두께는　60um보다 같거나 작고, 상기 제2　가지부의 두께는　60um보다 같거나 작다.
상기 제1　가지부의 너비는　700um보다 같거나 크고, 상기 제2　가지부의 너비는　700um　같거나 크다.
제1　항에 있어서,
상기 제1　가지부의 두께는 상기 제1　중심부의 두께의　0.8배 이하이고, 상기 제2　가지부의 두께는 상기 제2　중심부의 두께의　0.8배보다 이하이다.
상기 제1　가지부는 제1　서브 가지부 및 제2　서브 가지부를 포함하고, 상기 제1　서브 가지부는 상기 제1 중심부 및 상기 제2　서브 가지부의 사이를 연결하고, 상기 제1　서브 가지부의 두께는 상기 제2　서브 가지부의 두께보다 크다.
상기 제1 가지부의 두께는 상기 제1　방향을 따라 연속적으로 감소한다.
상기 제1　증착용 마스크와 상기 제2　증착용 마스크 간의 상기 제1　방향으로의 상기 이격 거리는　1mm보다 같거나 크다.
상기 소자층 상에 제1　봉지막을 증착하는 단계에서 상기 제1　봉지막은　CVD(chemical vapor deposition)　증착 방식으로 증착된다.
상기 제1　중심부의 하면과 상기 제1　가지부의 하면은 연결되어 하나의 평면을 형성하고, 상기 제2　중심부의 하면과 상기 제2　가지부의 하면은 연결되어 하나의 평면을 형성하고, 상기 제1　증착용 마스크를 배치하는 단계에서 상기 제1　중심부의 하면은 상기 제1　중심부의 상면보다 상기 소자층에 더 인접하게 배치되고, 상기 제2　증착용 마스크를 배치하는 단계에서 상기 제2　중심부의 하면은 상기 제2　중심부의 상면보다 상기 소차층에 더 인접하게 배치된다.
상기 봉지층을 형성하는 단계는, 상기 제1　봉지막 상에 제2　봉지막을 형성하는 단계, 및 상기 제2　봉지막 상에 제3　봉지막을 증착하는 단계를 포함하고, 상기 제2　봉지막은 유기 물질을 포함하고,　상기 제3　봉지막은 무기 물질을 포함한다.
상기 제1　봉지막을 증착하는 단계에서,　상기 제1　봉지막이 상기 제1 주변 영역 및 상기 제2 주변 영역보다 상기 표시 영역 상에서 더 두껍게 증착된다.
상기 제1　가지부 및 상기 제2　가지부의 두께가 작을수록,　상기 제1 주변 영역 및 상기 제2 주변 영역 상에 증착된 상기 제1　봉지막의 두께와 상기 표시 영역 상에 증착된 상기 제1　봉지막의 두께 차이는 줄어든다.
본 발명에서는 단차가 형성된 증착용 마스크들을 이용하여 봉지막을 증착함으로써, 증착용 마스크에 의해서 발생되는 인력 등으로 증착 물질의 이동이 방해되어, 제1 봉지막이 균일한 두께로 증착되지 않는 현상을 개선시킬 수 있다. 이러한 현상을 개선시킴에 따라, 영역에 따라 표시 장치가 출력하는 영상의 색편차 현상을 완화시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 개략적으로 설명하기 위한 평면도이다.
도 2a는 도 1에 도시된 A-A' 절단선에 의해서 절단된 단면도이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 이용하여 봉지층을 형성하는 것을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 봉지층을 형성하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 증착용 마스크 및 제2 증착용 마스크를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의한 효과를 설명하기 위한 그래프이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 봉지층의 단면도이다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 증착용 마스크의 단면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 증착용 마스크의 단면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다. 본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합 된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. "및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 개략적으로 설명하기 위한 평면도이다. 도 2a는 도 1에 도시된 A-A' 절단선에 의해서 절단된 단면도이다. 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 이용하여 봉지층을 형성하는 것을 설명하기 위한 단면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 봉지층을 형성하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 증착용 마스크(150) 및 제2 증착용 마스크(160)를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의한 효과를 설명하기 위한 그래프이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 제조하기 위해서 기판(201)이 제공될 수 있다.(S701) 기판(201)은 판 형상을 가질 수 있다. 기판(201)은 LTPS(crystalline silicon) 기판, 유리 기판 또는 플라스틱 기판일 수 있다.
기판(201)은 표시 영역(AA) 및 주변 영역들(NA1~NA4)을 포함할 수 있다. 주변 영역들(NA1~NA4)은 제1 주변 영역(NA1), 제2 주변 영역(NA2), 제3 주변 영역(NA3), 및 제4 주변 영역(NA4)을 포함할 수 있다. 제1 주변 영역(NA1)은 표시 영역(AA)으로부터 제1 방향(D1)의 반대 방향을 따라 배치될 수 있다. 제2 주변 영역(NA2)은 표시 영역(AA)으로부터 제1 방향(D1)을 따라 배치될 수 있다. 제1 주변 영역(NA1)과 제2 주변 영역(NA2) 사이에는 표시 영역(AA)이 배치될 수 있다. 제3 주변 영역(NA3)은 표시 영역(AA)으로부터 제2 방향(D2)의 반대 방향을 따라 배치될 수 있다. 제4 주변 영역(NA4)은 표시 영역(AA)으로부터 제2 방향(D2)을 따라 배치될 수 있다. 제3 주변 영역(NA3)과 제4 주변 영역(NA4)의 사이에는 표시 영역(AA)이 배치될 수 있다.
기판(201) 상에는 회로층이 형성될 수 있다.(S702) 회로층은 후술할 복수의 화소들(PX)을 구동하기 위한 박막 트랜지스터(300)를 포함할 수 있다.
도 1 및 도 2a를 참조하면, 회로층 상에는 소자층이 형성될 수 있다. 소자층은 복수의 화소들(PX)을 포함할 수 있다. 복수의 화소들(PX) 각각은 서브 화소들(P1~P3)을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 예로, 서브 화소들(P1~P3)은 레드광을 방출하는 레드 서브 화소(P1), 그린광을 방출하는 그린 서브 화소(P2), 및 블루광을 방출하는 블루 서브 화소(P3)를 포함할 수 있다.
서브 화소들(P1~P3) 각각은 제1 전극(130), 발광층(200R, 200G, 200B), 및 제2 전극(131)을 포함할 수 있다.
제1 전극(130)은 반사 전극일 수 있다. 제1 전극(130)은 반사층과 일함수가 높은 투명 전극층의 적층 구조를 포함할 수 있다. 제1 전극(130)은 단층 또는 다층 구조일 수 있으며, 다양한 변형이 가능할 수 있다. 제1 전극(130)은 애노드(anode) 전극으로 기능할 수 있다.
제1 전극(130) 상에는 제1 전극(130)의 가장자리를 커버하고, 제1 전극(130)의 중앙부를 노출하는 소정의 개구부를 포함하는 화소 정의막(132)이 배치될 수 있다. 화소 정의막(132)은 예컨대 폴리이미드 등과 같은 유기물로 형성될 수 있다.
발광층(200R, 200G, 200B)은 제1 전극(130) 상에 배치될 수 있다. 발광층(200R, 200G, 200B)은 빛을 출력하는 유기 발광층(미도시)을 포함할 수 있다. 발광층(200R, 200G, 200B)에는 저분자 유기물 또는 고분자 유기물이 사용될 수 있다. 유기 발광층에는 저분자 유기물로 형성된 저분자 유기층 유기 발광층을 중심으로 제1 전극(130)의 방향으로 홀 수송층(hole transport layer: HTL) 및 홀 주입층(hole injection layer:HIL) 등이 배치되고, 제2 전극(131)의 방향으로 전자 수송층(electron transport layer: ETL) 및 전자 주입층(electron injection layer:EIL) 등이 배치될 수 있다. 물론 홀 주입층, 홀 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층 외에 다른 기능 층들이 적층될 수 있다.
발광층(200R, 200G, 200B)은 표시 영역(AA)과 중첩할 수 있고, 주변 영역들(NA1~NA4)과는 비중첩할 수 있다. 발광층(200R, 200G, 200B)에 의해서 광이 출력되어 영상 외부로 표시될 수 있다.
제2 전극(131)은 투과형 전극으로 형성될 수 있다 제2 전극(131)은 일함수가 작은 Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Mg, Ag 등과 같은 금속을 얇게 형성한 반투과막 일 수 있다. 제2 전극(131)은 캐소드(cathode) 전극으로 기능할 수 있다.
소자층 상에는 봉지층(20, 도 7에 도시됨)이 형성될 수 있다.(S704)
봉지층(20)을 형성하기 위해서 제1 내지 제4 증착용 마스크(150, 160, 170, 180)가 배치될 수 있다.(S811, S812)
제1 증착용 마스크(150)는 제1 중심부(151) 및 제1 가지부(152)를 포함할 수 있고, 제2 증착용 마스크(160)는 제2 중심부(161) 및 제2 가지부(162)를 포함할 수 있다. 제3 증착용 마스크(170)는 제3 중심부(171) 및 제3 가지부(172)를 포함할 수 있고, 제4 증착용 마스크(180)는 제4 중심부(181) 및 제4 가지부(182)를 포함할 수 있다.
도 1을 참조하면, 제1 내지 제4 증착용 마스크(150, 160, 170, 180)는 표시 영역(AA)과 중첩하지 않으며, 주변 영역들(NA1~NA4)과 일부 중첩할 수 있다. 본 발명의 일 예로, 제1 증착용 마스크(150)는 제1 주변 영역(NA1)과 일부 중첩할 수 있고, 제2 증착용 마스크(160)는 제2 주변 영역(NA2)과 일부 중첩할 수 있다. 제3 증착용 마스크(170)는 제3 주변 영역(NA3)과 일부 중첩할 수 있고, 제4 증착용 마스크(180)는 제4 주변 영역(NA4)과 일부 중첩할 수 있다. 제1 증착용 마스크(150) 및 제2 증착용 마스크(160)는 제2 방향(D2)으로 연장되도록 배치될 수 있고, 제3 증착용 마스크(170) 및 제4 증착용 마스크(180)는 제1 방향(D1)으로 연장되도록 배치될 수 있다. 제1 내지 제4 가지부(152, 162, 172, 182)는 표시 영역(AA)측을 향하도록 배치될 수 있다.
본 발명의 일 예에서, 도 1에 도시된 바와 같이 제1 증착용 마스크(150), 제2 증착용 마스크(160), 제3 증착용 마스크(170), 및 제4 증착용 마스크(180)은 일체로 하나의 개구를 형성할 수 있다.
제1 내지 제4 증착용 마스크(150, 160, 170, 180)에 의해서 형성된 개구를 통하여 봉지층(20)이 형성될 수 있다. 이하 봉지층(20)이 형성되는 과정을 설명한다.
도 5를 참조하면, 제1 증착용 마스크(150)는 에칭(etching) 과정을 통해서 제1 가지부(152)의 두께(TH2)는 제1 중심부(151)의 두께(TH1+TH2)보다 작게 형성될 수 있다. 본 발명의 일 예로, 제1 가지부(152)의 두께(TH2)는 제1 중심부(151)의 두께(TH1+TH2)의 0.8배 이하일 수 있다.
제1 가지부(152)의 두께(TH2)는 제1 방향(D1)으로의 제1 가지부(152)의 너비(PD1) 이하일 수 있다. 본 발명의 일 예로, 제1 가지부(152)의 두께(TH2)는 60um일 수 있고, 제1 방향(D1)으로의 제1 가지부(152)의 너비(PD1)는 700um일 수 있다. 다만 이에 한정되지 않으며, 제1 가지부(152)의 두께(TH2)는 60um 이하일 수 있고, 제1 방향(D1)으로의 제1 가지부(152)의 너비(PD1)는 700um이상일 수 있다.
제2 증착용 마스크(160)는 에칭(etching) 과정을 통해서 제2 가지부(162)의 두께(TH2)는 제2 중심부(161)의 두께(TH1+TH2)보다 작게 형성될 수 있다. 본 발명의 일 예로, 제2 가지부(162)의 두께(TH2)는 제2 중심부(161)의 두께(TH1+TH2)의 0.8배 이하일 수 있다.
제2 가지부(162)의 두께(TH2)는 제1 방향(D1)으로의 제2 가지부(162)의 너비(PD1) 이하일 수 있다. 본 발명의 일 예로, 제2 가지부(162)의 두께(TH2)는 60um일 수 있고, 제1 방향(D1)으로의 제2 가지부(162)의 너비(PD1)는 700um일 수 있다.
제1 증착용 마스크(150)와 제2 증착용 마스크(160) 간의 제1 방향(D1)으로의 이격거리(PD2)는 제1 증착용 마스크(150) 또는 제2 증착용 마스크(160)의 제1 방향(D1)으로의 너비보다 클 수 있다. 본 발명의 일 예로, 제1 증착용 마스크(150)와 제2 증착용 마스크(160) 간의 제1 방향(D1)으로의 이격 거리(PD2)는 1mm 이상일 수 있다.
제1 증착용 마스크(150)에서 제1 중심부(151)의 하면과 제1 가지부(152)의 하면은 연결되어 하나의 평면을 형성할 수 있다. 즉 제1 중심부(151)의 하면과 제1 가지부(152)의 하면은 하나의 동일한 면의 일부분들일 수 있다. 제1 중심부(151)의 하면은 제1 중심부(151)의 상면보다 소자층에 더 인접하게 배치될 수 있다. 즉 제1 중심부(151)의 하면에서 기판(201)까지의 거리가 제1 중심부(151)의 상면에서 기판(201)까지의 거리보다 작을 수 있다.
제2 증착용 마스크(160)에서 제2 중심부(161)의 하면과 제2 가지부(162)의 하면은 연결되어 하나의 평면을 형성할 수 있다. 즉 제2 중심부(161)의 하면과 제2 가지부(162)의 하면은 하나의 동일한 면의 일부분들일 수 있다. 제2 중심부(161)의 하면은 제2 중심부(161)의 상면보다 소자층에 더 인접하게 배치될 수 있다. 즉 제2 중심부(161)의 하면에서 기판(201)까지의 거리가 제2 중심부(161)의 상면에서 기판(201)까지의 거리보다 작을 수 있다.
도 5에서는 설명의 편의를 위해서, 회로층 및 소자층이 생략되었고, 기판(201) 및 제1 및 제2 증착용 마스크(160)만이 도시되었다. 또한, 도 5에서는 제1 증착용 마스크(150) 및 제2 증착용 마스크(160)를 이용하여, 봉지층(20)을 형성하는 과정에 대해서 설명하고 있고, 해당 내용은 제3 증착용 마스크(170) 및 제4 증착용 마스크(180)에도 동일하게 적용될 수 있다. 즉, 도 1을 참조하면, 제3 증착용 마스크(170)는 에칭(etching) 과정을 통해서 제3 가지부(172)의 두께는 제3 중심부(171)의 두께보다 작게 형성될 수 있고, 제4 증착용 마스크(180)는 에칭(etching) 과정을 통해서 제4 가지부(182)의 두께는 제4 중심부(181)의 두께보다 작게 형성될 수 있다. 또한 제3 증착용 마스크(170)와 제4 증착용 마스크(180) 간의 제2 방향(D2)으로의 이격거리는 제3 증착용 마스크(170) 또는 제4 증착용 마스크(180)의 제2 방향(D2)으로의 너비보다 클 수 있다. 제3 증착용 마스크(170) 및 제4 증착용 마스크(180)에 대한 다른 내용들은 제1 증착용 마스크(150) 및 제2 증착용 마스크(160)에서 설명한 것과 동일하므로, 이하 생략하도록 한다.
도 2b, 도 4, 및 도 5를 참조하면, 제1 증착용 마스크(150) 및 2 증착용 마스크에 의해서 형성되는 개구를 통해서 제1 봉지막(230)이 증착될 수 있다.(S813) 좀 더 구체적으로 설명하면, 소자층 중에서 제1 증착용 마스크(150) 및 제2 증착용 마스크(160)와 중첩하지 않는 부분(즉 표시 영역(AA) 및 주변 영역들(NA1~NA4)의 일부와 중첩되는 부분)에 증착을 통해서 제1 봉지막(230)을 형성할 수 있다. 본 발명의 일 예로, 제1 봉지막(230)은 CVD(chemical　vapor　deposition) 방식을 통해서 증착될 수 있다.
이처럼 단차가 형성된 증착용 마스크들(150, 160, 170, 180)을 이용하여 제1 봉지막(230)을 증착함으로써, 증착용 마스크에 의해서 발생되는 인력 등으로 증착 물질의 이동이 방해되어, 제1 봉지막(230)이 균일한 두께로 증착되지 않는 현상을 개선시킬 수 있다. 좀 더 구체적으로 설명하면, 단차가 형성된 증착용 마스크를 통해서 주변 영역보다 표시 영역(AA) 상에서 제1 봉지막(230)이 더 두껍게 증착되는 현상을 개선시킬 수 있다. 도 6a 및 도 6b에서는 중심부에서 엣지로 갈수록 단차가 형성되지 않은 증착용 마스크를 사용하는 경우보다 단차가 형성된 증착용 마스크를 사용할 때 제1 봉지막(230)의 두께 편차가 줄어드는 것을 확인할 수 있다. (-10.4%에서 -.7.1% 및 -9.6%에서 -6.7%로, 도 6a 및 도 6b의 그래프에서 X축은 단면 상에서의 기판(201) 상 위치를 지시하고, Y축은 제1 봉지막(230)의 두께를 지시한다.) 결론적으로 이러한 현상을 개선시킴에 따라, 영역에 따라 표시 장치가 출력하는 영상의 색편차 현상을 완화시킬 수 있다.
이하 제1 봉지막(230)에 대해서는 도 7에서 자세히 설명하도록 한다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 봉지층(20)의 단면도이다.
도 7에 도시된 바와 같이 전술한 봉지층(20) 형성과정을 통해서, 제1 봉지막(230), 제2 봉지막(240), 및 제3 봉지막(250)이 형성될 수 있다. 제1 봉지막(230)은 무기 물질을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 예로, 제1 봉지막(230)은 실리콘 나이트라이드(SiNx)를 포함할 수 있다. 제1 봉지막(230)은 외부로부터 수분 또는 공기를 차단할 수 있다. 전술한 바와 같이 제1 봉지막(230)은 CVD 방식으로 증착될 수 있다.
제1 봉지막(230) 상에는 제2 봉지막(240)이 형성될 수 있다. 제2 봉지막(240)은 유기 물질을 포함할 수 있다. 제2 봉지막(240)은 모노머를 포함하는 고분자 물질을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 예로, 제2 봉지막(240)은 폴리이미드(PI)를 포함할 수 있다. 제2 봉지막(240)은 하부층을 평탄화할 수 있다. 제2 봉지막(240)의 두께는 제1 봉지막(230) 및 후술할 제3 봉지막(250)의 두께보다 클 수 있다.
제2 봉지막(240) 상에는 제3 봉지막(250)이 형성될 수 있다. 제3 봉지막(250)은 무기 물질을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 예로, 제3 봉지막(250)은 실리콘 옥사이드(SiOx)를 포함할 수 있다. 제3 봉지막(250)은 외부로부터 수분 또는 공기를 차단할 수 있다. 제3 봉지막(250)은 제1 봉지막(230)과 같이 CVD 방식으로 제2 봉지막(240) 상에 증착될 수 있다.
봉지층(20)은 도 7에 도시된 구조에 한정되지 않고, 다양하게 변형될 수 있다. 예를 들어, 봉지층(20)은 유기 물질이 포함된 막과 무기 물질이 포함된 막기 교번하여 배치되는 구조를 가질 수 있다.
도 8a, 도 8b, 및 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 증착용 마스크(150', 150'', 150''')의 단면도이다.
이하, 도 8a, 도 8b, 및 도 9에서는 제1 증착용 마스크(150', 150'', 150''')의 구조에 대해서만 설명하지만, 해당 내용은 제2 증착용 마스크(160), 제3 증착용 마스크(170), 및 제4 증착용 마스크(180)에도 적용될 수 있음은 물론이다.
도 8a를 참조하면, 제1 증착용 마스크(150')에서 제1 가지부(152')는 제1 서브 가지부(1521) 및 제2 서브 가지부(1522)를 포함할 수 있다. 제1 서브 가지부(1521)는 제1 중심부(151) 및 제2 서브 가지부(1522) 사이에 배치될 수 있다. 제1 서브 가지부(1521)의 두께는 제2 서브 가지부(1522)의 두께보다 클 수 있다. 즉 제1 서브 가지부(1521)와 제2 서브 가지부(1522)는 하나의 단차를 형성할 수 있다. 나머지 내용은 도 3에서의 내용과 동일한 바 생략하도록 한다.
도 8b의 제1 증착용 마스크(150'')는 도 8a에서 제3 서브 가지부(1523)가 더 추가된 구조일 수 있다. 제3 서브 가지부(1523)와 제1 서브 가지부(1521) 사이에 제2 서브 가지부(1522)가 배치될 수 있다. 제3 서브 가지부(1523)의 두께는 제1 서브 가지부(1521)의 두께 및 제2 서브 가지부(1522)의 두께보다 작을 수 있다. 즉 제1 서브 가지부(1521), 제2 서브 가지부(1522), 및 제3 서브 가지부(1523)는 두 개의 단차를 형성할 수 있다. 나머지 내용은 도 3에서의 내용과 동일한 바 생략하도록 한다.
도 8a 및 도 8b는 각각 하나의 단차 및 두 개의 단차를 형성하는 제1 가지부(152)에 대해서 도시하였지만, 제1 가지부(152)는 이에 한정되지 않으며, 3개 이상의 단차를 가질 수 있음은 물론이다.
도 9에서 제1 가지부(152''')는 경사면을 가질 수 있다. 즉, 제1 가지부(152''')의 두께는 제1 방향(D1)을 따라 연속적으로 감소할 수 있다. 다만 제1 가지부(152''')의 형상 역시 이에 한정되지 않으며, 다양한 형상으로 변형될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
150: 제1 증착용 마스크 230: 제1 봉지막
151: 제1 중심부 240: 제2 봉지막
152: 제1 가지부 250: 제3 봉지막

Claims (17)

  1. 표시 영역 및　상기 표시 영역 외측에 정의되고 상기 표시 영역을 사이에 두고 서로 마주하는 제1 주변 영역 및 제2 주변 영역을 포함하는 기판을 제공하는 단계;
    상기 기판 상에 회로층을 형성하는 단계;
    상기 표시 영역 상에 소자층을 형성하는 단계;　및
    상기 소자층을 커버하도록 봉지층을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 봉지층을 형성하는 단계는,
    　　　　　　　　　　　제1　중심부 및 상기 제1　중심부로부터 제1　방향으로 연장되는 제1　가지부를 포함하는 제1　증착용 마스크를 상기 제1　주변 영역의 일부분와 중첩하도록 배치하는 단계;
    　　　　　　　　　　　제2　중심부 및 상기 제2　중심부로부터 상기 제1　방향과 반대되는 방향으로 연장되는 제2　가지부를 포함하는 제2　증착용 마스크를 상기 제2　주변 영역의 일부분과 중첩하도록 배치하는 단계;　및
    　　　　　　　　　　　상기 제1　증착용 마스크 및 상기 제2　증착용 마스크를 이용하여　상기 소자층 상에 제1　봉지막을 증착하는 단계를 포함하고,
    상기 제1　증착용 마스크를 배치하는 단계에서 상기 제1　가지부가 상기 표시 영역 측을 향하도록 상기 제1　증착용 마스크를 배치하고,
    상기 제2　증착용 마스크를 배치하는 단계에서 상기 제2　가지부가 상기 표시 영역 측을 향하도록 상기 제2　증착용 마스크를 배치하고,
    상기 제1　가지부는 상기 제1　중심부보다 두께가 작고,
    상기 제2　가지부는 상기 제2　중심부보다 두께가 작고,
    상기 제1　증착용 마스크와 상기 제2　증착용 마스크 간의 상기 제1　방향으로의 이격 거리는 상기 제1 증착용 마스크 또는 상기 제2　증착용 마스크의 상기 제1　방향으로의 너비보다 큰 표시 장치의 제조 방법.
  2. 제1　항에 있어서,
    상기 기판은 상기 제1　주변 영역과 상기 제2　주변 영역을 연결하는 제3　주변 영역 및 상기 표시 영역을 사이에 두고 상기 상기 제3　주변 영역과 마주하는 제4　주변 영역을 더 포함하고,
    상기 봉지층을 형성하는 단계는,
    제3　중심부 및 상기 제3　중심부로부터 상기 제1　방향과 수직한 제2　방향으로 연장되는 제3　가지부를 포함하는 제3　증착용 마스크를 상기 제3　주변 영역과 중첩하도록 배치하는 단계;　및
    제4　중심부 및 상기 제4　중심부로부터 상기 제2　방향과 반대되는 방향으로 연장되는 제4가지부를 포함하는 제4　증착용 마스크를 상기 제4　주변 영역과 중첩하도록 배치하는 단계를 포함하고,
    상기 제3　증착용 마스크를 배치하는 단계에서 상기 제3　가지부가 상기 표시 영역 측을 향하도록 상기 제3　증착용 마스크를 배치하고,
    상기 제4　증착용 마스크를 배치하는 단계에서 상기 제4　가지부가 상기 표시 영역 측을 향하도록,
    상기 제4　증착용 마스크를 배치하고,
    상기 제3　가지부는 상기 제3　중심부보다 두께가 작고,
    상기 제4　가지부는 상기 제4　중심부보다 두께가 작고,
    상기 제3　증착용 마스크와 상기 제4　증착용 마스크 간의 상기 제2　방향으로의 이격 거리는 상기 제3증착용 마스크 또는 상기 제4　증착용 마스크의 상기 제2　방향으로의 너비보다 큰 표시 장치의 제조 방법.
  3. 제2　항에 있어서,
    상기 제1　내지 제4　증착용 마스크는 일체인 표시 장치의 제조 방법.　
  4. 제3　항에 있어서,
    상기 제1　증착용 마스크 및 상기 제2　증착용 마스크는 상기 제2　방향으로 연장되고,　상기 제3　증착용 마스크 및 상기 제4　증착용 마스크는 상기 제1　방향으로 연장되는 표시 장치의 제조 방법.
  5. 제1　항에 있어서,
    상기 제1　봉지막은 무기 물질을 포함하는 표시 장치의 제조 방법.　
  6. 제1　항에 있어서,
    상기 제1　가지부의 두께는 상기 제1　방향으로의 상기 제1　가지부의 너비보다 같거나 작고,
    상기 제2　가지부의 두께는 상기 제1　방향으로의 상기 제2　가지부의 너비보다 같거나 작은 표시 장치의 제조 방법.
  7. 제6　항에 있어서,
    상기 제1　가지부의 두께는　60um보다 같거나 작고,
    상기 제2　가지부의 두께는　60um보다 같거나 작은 표시 장치의 제조 방법.
  8. 제7　항에 있어서,
    상기 제1　가지부의 너비는　700um보다 같거나 크고,
    상기 제2　가지부의 너비는　700um　같거나 큰 표시 장치의 제조 방법.
  9. 제1　항에 있어서,
    상기 제1　가지부의 두께는 상기 제1　중심부의 두께의　0.8배 이하이고,
    상기 제2　가지부의 두께는 상기 제2　중심부의 두께의　0.8배보다 이하인 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제1　항에 있어서,
    상기 제1　가지부는 제1　서브 가지부 및 제2　서브 가지부를 포함하고,
    상기 제1　서브 가지부는 상기 제1 중심부 및 상기 제2　서브 가지부의 사이를 연결하고,
    상기 제1　서브 가지부의 두께는 상기 제2　서브 가지부의 두께보다 큰 표시 장치의 제조 방법.
  11. 제1　항에 있어서,
    상기 제1 가지부의 두께는 상기 제1　방향을 따라 연속적으로 감소하는 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제1　항에 있어서,
    상기 제1　증착용 마스크와 상기 제2　증착용 마스크 간의 상기 제1　방향으로의 상기 이격 거리는　1mm보다 같거나 큰 표시 장치의 제조 방법.
  13. 제1　항에 있어서,
    상기 소자층 상에 제1　봉지막을 증착하는 단계에서 상기 제1　봉지막은　CVD(chemical vapor deposition)　증착 방식으로 증착되는 표시 장치의 제조 방법.
  14. 제1　항에 있어서,
    상기 제1　중심부의 하면과 상기 제1　가지부의 하면은 연결되어 하나의 평면을 형성하고,
    상기 제2　중심부의 하면과 상기 제2　가지부의 하면은 연결되어 하나의 평면을 형성하고,
    상기 제1　증착용 마스크를 배치하는 단계에서 상기 제1　중심부의 하면은 상기 제1　중심부의 상면보다 상기 소자층에 더 인접하게 배치되고,
    상기 제2　증착용 마스크를 배치하는 단계에서 상기 제2　중심부의 하면은 상기 제2　중심부의 상면보다 상기 소차층에 더 인접하게 배치되는 표시 장치의 제조 방법.
  15. 제1　항에 있어서,
    상기 봉지층을 형성하는 단계는,
    상기 제1　봉지막 상에 제2　봉지막을 형성하는 단계;　및
    상기 제2　봉지막 상에 제3　봉지막을 증착하는 단계를 포함하고,
    상기 제2　봉지막은 유기 물질을 포함하고,　상기 제3　봉지막은 무기 물질을 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  16. 제1　항에 있어서,
    상기 제1　봉지막을 증착하는 단계에서,　상기 제1　봉지막이 상기 제1 주변 영역 및 상기 제2 주변 영역보다 상기 표시 영역 상에서 더 두껍게 증착되는 표시 장치의 제조 방법.
  17. 제16　항에 있어서,
    상기 제1　가지부 및 상기 제2　가지부의 두께가 작을수록,　상기 제1 주변 영역 및 상기 제2 주변 영역 상에 증착된 상기 제1　봉지막의 두께와 상기 표시 영역 상에 증착된 상기 제1　봉지막의 두께 차이는 줄어드는 표시 장치의 제조 방법.
KR1020170097271A 2017-07-31 2017-07-31 표시 장치의 제조 방법 KR20190014272A (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170097271A KR20190014272A (ko) 2017-07-31 2017-07-31 표시 장치의 제조 방법
CN201810842483.8A CN109326742A (zh) 2017-07-31 2018-07-27 显示装置的制造方法
KR1020220042004A KR102570872B1 (ko) 2017-07-31 2022-04-05 표시 장치의 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170097271A KR20190014272A (ko) 2017-07-31 2017-07-31 표시 장치의 제조 방법

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220042004A Division KR102570872B1 (ko) 2017-07-31 2022-04-05 표시 장치의 제조 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20190014272A true KR20190014272A (ko) 2019-02-12

Family

ID=65264223

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170097271A KR20190014272A (ko) 2017-07-31 2017-07-31 표시 장치의 제조 방법
KR1020220042004A KR102570872B1 (ko) 2017-07-31 2022-04-05 표시 장치의 제조 방법

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220042004A KR102570872B1 (ko) 2017-07-31 2022-04-05 표시 장치의 제조 방법

Country Status (2)

Country Link
KR (2) KR20190014272A (ko)
CN (1) CN109326742A (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI757041B (zh) * 2021-01-08 2022-03-01 達運精密工業股份有限公司 遮罩

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030008719A (ko) * 2001-07-19 2003-01-29 오리온전기 주식회사 유기이엘(ｅｌ) 소자용 마스크 형성 방법
JP4173722B2 (ja) * 2002-11-29 2008-10-29 三星エスディアイ株式会社 蒸着マスク、これを利用した有機ｅｌ素子の製造方法及び有機ｅｌ素子
JP2006059599A (ja) * 2004-08-18 2006-03-02 Toyota Industries Corp エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
JP5780350B2 (ja) * 2013-11-14 2015-09-16 大日本印刷株式会社 蒸着マスク、フレーム付き蒸着マスク、及び有機半導体素子の製造方法
KR20160038663A (ko) * 2014-09-30 2016-04-07 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법
KR102220427B1 (ko) * 2014-10-17 2021-02-26 삼성디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR20160052988A (ko) * 2014-10-30 2016-05-13 엘지디스플레이 주식회사 표시패널과 복수의 표시패널셀들을 갖는 모기판의 검사방법
KR102250047B1 (ko) * 2014-10-31 2021-05-11 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR102441557B1 (ko) * 2015-04-28 2022-09-08 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법
KR102424976B1 (ko) * 2015-11-12 2022-07-26 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체, 이를 이용한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR102570872B1 (ko) 2023-08-28
CN109326742A (zh) 2019-02-12
KR20220048979A (ko) 2022-04-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10236336B2 (en) Organic electroluminescence display device with spacers
US11094912B2 (en) Flexible display apparatus
US10446623B2 (en) Organic light emitting display panel and method for fabricating the same
KR102124040B1 (ko) 박막 증착용 마스크, 이의 제조 방법, 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
CN211719594U (zh) 一种显示面板和显示装置
KR20170129318A (ko) 투명 표시 장치 및 투명 표시 장치의 제조 방법
CN108091675B (zh) 显示基板及其制作方法
US9842890B2 (en) Method of manufacturing display device
KR102334410B1 (ko) 박막 증착용 마스크 어셈블리
CN110649078B (zh) 一种显示用基板及显示装置
KR20160047673A (ko) 유기 발광 디스플레이 장치와, 이의 제조 방법
KR102649202B1 (ko) 비표시 영역 상으로 연장하는 유기 발광층을 포함하는 유기 발광 표시 장치
KR102369675B1 (ko) 박막 증착용 마스크 어셈블리와, 이를 이용하여 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
US9972667B2 (en) Display device
KR102570872B1 (ko) 표시 장치의 제조 방법
KR20200121427A (ko) 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
US9252195B2 (en) Display device
CN112563427A (zh) 显示面板及其制备方法、显示装置
US20240057449A1 (en) Display panel and display device
KR20180045090A (ko) 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법
US11937488B2 (en) Manufacturing method of display device having a lower portion of a partition between first and second apertures
US20230380216A1 (en) Manufacturing method of display device and evaporation device
US20230320172A1 (en) Display device and manufacturing method thereof
US20230422560A1 (en) Display device and manufacturing method of the same
US20220392981A1 (en) Electronic device and manufacturing method of the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
X091 Application refused [patent]
E601 Decision to refuse application
E801 Decision on dismissal of amendment