KR20190013250A - 소터 및 이를 포함하는 기판 이송 장비 - Google Patents

소터 및 이를 포함하는 기판 이송 장비 Download PDF

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Abstract

본 발명의 실시 예에 의한 소터는 후속 공정 수행 예정인 제1 기판들이 수납된 제1 매거진으로부터 상기 제1 기판들을 비어 있는 복수의 제2 매거진들로 분배하고, 및 후속 공정이 완료된 제2 기판들이 수납된 복수의 제3 매거진들로부터 상기 제2 기판들을 각각 꺼내어 비어 있는 상기 제1 매거진으로 병합하도록 구성된다.

Description

소터 및 이를 포함하는 기판 이송 장비{Sorter and substrate transferring apparatus including the same}
본 발명은 반도체 제조 장비에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 소터 및 이를 포함하는 기판 이송 장비에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 설비는 반도체 칩을 기판 상에 부착하는 다이 어태치(die attach) 공정이 수행되는 다이 어태치 설비, 반도체 칩과 기판을 전기적으로 연결시키기 위한 와이어 본딩(wire bonding) 공정이 수행되는 와이어 본딩 설비, 및 반도체 칩을 보호하기 위한 몰드 공정이 수행되는 몰딩 장비 등을 포함한다.
종래에는 다이 어태치(die attach) 설비로부터 다이 어태치 공정이 완료된 기판들이 수용된 매거진이 언로딩되면, 작업자가 수작업으로 언로딩된 매거진으로부터 비어 있는 매거진으로 다이 어태치 공정이 완료된 기판들을 분배(Split)하고, 기판 분배가 완료된 매거진을 와이어 본딩 장비의 로딩부에 안착시킨다. 또한, 작업자는 와이어 본딩 장비들 각각의 언로더에 비어 있는 매거진들을 놓아두고, 와이어 본딩 공정이 완료된 기판들이 비어 있는 매거진들로 수납되면, 각 매거진에 수납된 기판들을 꺼내 원래의 매거진에 병합한다.
이때, 작업자의 개인별 숙련도 등에 따라 분배 속도 및 작업 속도의 차이가 발생할 수 있고, 기판 핸들링(handling) 부주의로 인한 기판 휘어짐 및 기판 구겨짐 등과 같은 품질 저하가 발생할 수 있다.
본 발명의 실시 예는 기판의 품질 저하 없이 분배 및 병합 속도를 향상시킬 수 있는 소터 및 이를 포함하는 기판 이송 장비를 제공하는 것이다.
본 발명의 실시 예에 의한 소터는 후속 공정 수행 예정인 제1 기판들이 수납된 제1 매거진으로부터 상기 제1 기판들을 비어 있는 복수의 제2 매거진들로 분배하고, 및 후속 공정이 완료된 제2 기판들이 수납된 복수의 제3 매거진들로부터 상기 제2 기판들을 각각 꺼내어 비어 있는 상기 제1 매거진으로 병합하도록 구성된다.
본 발명의 실시 예에 의한 기판 이송 장비는 후속 공정이 수행될 기판들 또는 후속 공정이 완료된 기판들이 수납된 제1 매거진이 투입 또는 배출되는 제1 투입/배출부; 상기 제1 투입/배출부를 통해 투입 및 배출되는 상기 제1 매거진, 상기 후속 공정이 수행될 기판들이 수납될 복수의 제2 매거진들, 및 상기 후속 공정이 완료된 기판들이 수납된 복수의 제3 매거진들이 적재되는 매거진 적재부; 및 상기 제1 매거진으로부터 상기 후속 공정이 수행될 기판들을 꺼내어 상기 복수의 제2 매거진들로 분배하고, 및 상기 복수의 제3 매거진들로부터 상기 후속 공정이 완료된 기판들을 꺼내어 상기 제1 매거진으로 병합하도록 구성된 소터를 포함한다.
본 실시 예에 따르면, 기판들의 분배 및 병합이 자동으로 수행될 수 있다.
이에 따라, 작업자 별 숙련도에 따른 작업 속도 차이 발생 및 기판 핸들링(handling) 부주의로 인한 기판 휘어짐 및 기판 구겨짐 등과 같은 기판 품질 저하의 발생을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 의한 기판 이송 장비를 예시적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 의한 소터를 예시적으로 도시한 도면이다.
도 3a는 기판 가이드를 예시적으로 도시한 도면이다.
도 3b는 기판 풀링 장치를 예시적으로 도시한 도면이다.
도 3c는 기판 푸싱 장치를 예시적으로 도시한 도면이다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 실시 예에 의한 소터의 기판 분배 동작을 예시적으로 도시한 도면들이다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 실시 예에 의한 소터의 기판 병합 동작을 예시적으로 도시한 도면들이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 기술의 실시 예를 보다 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 의한 기판 이송 장비를 예시적으로 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 실시 예에 의한 기판 이송 장비(10)는 제1 투입/배출부(100), 매거진 이송부(200), 매거진 적재부(300), 소터(sorter)(400), 및 제2 투입/배출부(500)를 포함할 수 있다.
제1 투입/배출부(100)는 기판 이송 장비(10)의 일 측에 구비될 수 있다. 제1 투입/배출부(100)는 외부로부터 복수의 기판들이 수납된 매거진(M)이 투입되는 투입구(110) 및 매거진 적재부(300)로부터 이송된 매거진(M)이 외부로 배출되는 배출구(120)를 포함할 수 있다. 도 1에서는 투입구(110)와 배출구(120)를 하나인 것처럼 도시하였으나, 투입구(110)와 배출구(120)는 Y축 방향으로 분리되어 구비되는 것이 자명할 것이다.
제1 투입/배출부(110)는 투입 및 배출되는 매거진(M)을 이동시키기 위한 컨베이어(C1)를 구비할 수 있다. 컨베이어(C1)는 투입구(110)와 배출구(120)에 각각 구비될 수 있다. 투입구(110)에 구비된 컨베이어(C1)는 투입구(110)를 통해 투입된 매거진(M)을 매거진 이송부(200) 측으로 이동시키도록 구성될 수 있다. 마찬가지로, 배출구(120)에 구비된 컨베이어(C1)는 매거진 이송부(200)에 의해 놓여진 매거진(M)을 배출구(120) 측으로 이동시키도록 구성될 수 있다.
이에 따라, 작업자는 제1 투입/배출부(100)의 투입구(110)를 통해 매거진(M)을 투입하여 컨베이어(C1) 상에 안착시킬 수 있고, 제1 투입/배출부(100)의 배출구(120)를 통해 컨베이어(C1) 상에 놓여진 매거진(M)을 수거할 수 있다.
매거진 이송부(200)는 제1 투입/배출부(100)와 매거진 스토커(300) 사이에 배치될 수 있다. 매거진 이송부(200)는 Z축 방향으로 연장하는 지지대(210), 지지대(210)에 결합되어 상승, 하강 및 회전하도록 구성된 매거진 이송 수단(220)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 매거진 이송 수단(220)은 도 1에 도시한 바와 같이, 지지대(210)를 따라 Z축 방향으로 상승 및 하강할 수 있고, 제1 투입/배출부(100)에서 매거진 적재부(300) 방향 또는 매거진 적재부(300)에서 제1 투입/배출부(100) 방향으로 회전하도록 구성될 수 있다.
매거진 이송 수단(220)은 지지대(210)에 결합된 몸체부(B) 및 몸체부(B)에 결합된 매거진 그립부(G)를 포함할 수 있다. 매거진 그립부(G)는 제1 투입/배출부(100)의 컨베이어(C1) 상에 놓인 매거진(M)을 파지하거나 또는, 매거진 적재부(300)의 선반들 상에 놓인 매거진(M)을 파지하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 매거진 그립부(G)는 X축 방향으로 전진 및 후진하도록 구성될 수 있다.
매거진 이송부(200)는 제1 투입/배출부(100)의 투입구(110)로 투입된 매거진(M)을 파지하여 매거진 적재부(300)의 선반(S) 상에 안착시킬 수 있다. 또한, 매거진 이송부(200)는 매거진 적재부(300)에 적재된 매거진(M)을 파지하여 제1 투입/배출부(100)의 배출구(120)의 컨베이어(C1) 상에 안착시킬 수 있다.
매거진 적재부(300)는 매거진 이송부(200)와 소터(400) 사이에 배치될 수 있다. 매거진 적재부(300)는 Z축 방향으로 이격 배치된 복수의 선반(S)들을 구비할 수 있다. 매거진 적재부(300)는 제1 적재 공간(310) 및 제2 적재 공간(320)을 포함할 수 있다.
예를 들어, 제1 적재 공간(310)는 후속 공정 수행을 위해 제1 투입/배출부(100)로 투입된 매거진(M)이 안착되는 공간일 수 있다. 이후부터는 설명의 편의를 위하여 제1 적재 공간(310)에 안착되는 매거진(M)을 제1 매거진(M)이라 할 것이다. 또한, 제2 적재 공간(320)은 제1 매거진(M)으로부터 후속 공정이 수행될 기판들이 분배될 빈 매거진(M)들이 안착되는 공간일 수 있다. 이후부터는 설명의 편의를 위하여 제2 적재 공간(310)에 안착되는 빈 매거진(M)을 제2 매거진(M)이라 할 것이다. 한편, 제2 적재 공간(320)는 후속 공정이 완료된 기판이 수납된 매거진(M)들이 안착되는 공간일 수도 있다. 이후부터는 설명의 편의를 위하여 후속 공정이 완료된 기판이 수납된 매거진(M)을 제3 매거진(M)이라 할 것이다.
도 1에서는 매거진 적재부(300)가 5 개의 선반(S)들을 구비하는 것으로 도시하고 있으나, Y축 방향으로 더 구비될 수 있다.
소터(400)는 매거진 적재부(300)의 일 측에 배치될 수 있다. 소터(400)는 Z축으로 연장하는 제1 이동 블록(410), 제1 이동 블록(410)이 결합된 제2 이동 블록(420), 및 제1 이동 블록(410)에 결합된 분류/병합 블록(430)을 포함할 수 있다.
도 2는 본 실시 예에 의한 소터(400)를 예시적으로 도시한 도면이다.
제1 이동 블록(410)은 분류/병합 블록(430)을 상승 및 하강시키도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 제1 이동 블록(410)은 Z축 방향으로 연장하는 제1 지지대(411) 및 제1 지지대(411)의 단부에 결합된 제1 구동 수단(413)을 포함할 수 있다. 제1 구동 수단(413)의 구동에 의해 분류/병합 블록(430)은 제1 지지대(411)을 따라 상승 및 하강할 수 있다.
제2 이동 블록(420)은 분류/병합 블록(430)을 Y축 방향으로 전진 및 후진시키도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 제2 이동 블록(420)은 분류/병합 블록(430)이 결합된 제1 이동 블록(410)을 Y축 방향으로 전진 및 후진시키도록 구성될 수 있다. 제2 이동 블록(420)은 Y축 방향으로 연장하는 제2 지지대(421) 및 제2 지지대(421)의 단부에 결합된 제2 구동 수단(423)을 포함할 수 있다. 제2 구동 수단(423)의 구동에 의해 분류/병합 블록(430)이 결합된 제1 이동 블록(410)은 제2 지지대(421)을 따라 전진 및 후진할 수 있다.
분류/병합 블록(430) 전술한 바와 같이, 제1 이동 블록(410)에 결합되어 제1 이동 블록(410)의 제1 지지대(411)를 따라 상승 및 하강할 수 있다.
도 3a, 도 3b 및 도 3c는 각각 도 2의 분류/병합 블록(430) 내에 구비된 기판 가이드, 기판 풀링(pulling) 장치, 및 기판 푸싱(pushing) 장치를 예시적으로 도시한 도면이다.
본 실시 예에 의한 소터(400)의 분류/병합 블록(430)은 도 2 내지 도 3c에 도시된 바와 같이, 케이싱부(431), 기판 가이드(433), 기판 풀링 장치(435), 및 기판 푸싱 장치(437)를 포함할 수 있다.
케이싱부(431)는 기판 가이드(433), 기판 풀링 장치(435), 및 기판 푸싱 장치(437)를 수용하고, 제1 이동 블록(410)에 결합되도록 구성될 수 있다. 케이싱부(431)의 일 측은 기판 가이드(433), 기판 풀링 장치(435), 및 기판 푸싱 장치(437)가 X축 방향으로 돌출하도록 개방되어 있을 수 있다.
기판 가이드(433)는 도 3a에 도시한 바와 같이, 제1 가이드 부재(433a) 및 제2 가이드 부재(433b)를 포함할 수 있다. 제1 가이드 부재(433a) 및 제2 가이드 부재(433b)는 각각 기판의 양 단부가 삽입되도록 형성된 삽입 홈(g)을 포함할 수 있다. 제1 가이드 부재(433a)와 제2 가이드 부재(433b)는 소정 간격으로 이격 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 가이드 부재(433a)와 제2 가이드 부재(433b)는 제1 가이드 부재(433a)의 삽입 홈(g)의 바닥면으로부터 제2 가이드 부재(433b)의 삽입 홈(g)의 바닥면까지의 거리(d)가 기판의 너비에 대응하거나 또는 크도록 이격 배치될 수 있다.
기판 가이드(433)는 X축 방향으로 전진 및 후진하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 기판 가이드(433)는 케이싱부(431)의 내부로부터 매거진 적재부(300, 도 1 참조)를 향하여 X축 방향으로 전진하고, 및 케이싱부(431)의 내부로 수용되도록 X축 방향으로 후진할 수 있다. 이를 위해, 기판 가이드(433)를 전진 및 후진시키기 위한 구동 수단(도시되지 않음)이 구비될 수 있음은 물론이다.
기판 풀링 장치(435)는 매거진(M) 내에 수납된 기판을 파지하여 당기도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 기판 풀링 장치(435)는 도 3b에 도시된 바와 같이, 기판 가이드(433)의 제1 가이드 부재(433a)와 제2 가이드 부재(433b) 사이에 배치되어 화살표로 표시한 것처럼 X축 방향으로 전진 및 후진하도록 구성될 수 있다. 기판 풀링 장치(435)는 구동 수단(도시되지 않음)의 구동에 의해 전진 및 후진하는 이동부(435a) 및 이동부(435a)의 단부에 결합되어 기판을 파지하는 기판 그립부(435b)를 포함할 수 있다.
기판 푸싱 장치(437)는 기판 가이드(433)에 삽입된 기판을 매거진으로 밀어 넣도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 기판 푸싱 장치(437)는 도 3c에 도시된 바와 같이, 기판 가이드(433)의 제1 가이드 부재(433a)와 제2 가이드 부재(433b) 사이에 배치되어 화살표로 표시한 것처럼 X축 방향으로 전진 및 후진하도록 구성될 수 있다. 기판 푸싱 장치(437)는 바(bar) 형상일 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 실시 예에 의한 소터의 기판 분배 동작을 예시적으로 도시한 도면들이다. 도면의 간략화를 위하여, 도 4a 내지 도 4d에서는 소터(400)의 분류/병합 블록(430)의 기판 가이드(433)만을 도시하였다. 또한, 기판이 수납된 상태는 음영으로 표시하였다.
도 4a를 참조하면, 소터(400, 도 1 참조)의 분류/병합 블록(430, 도 1 참조)은 매거진 적재부(300)의 제1 적재 공간(310)에 수용된 제1 매거진(M1)이 안착된 위치로 이동할 수 있다. 이때, 기판 가이드(433)는 제1 매거진(M1)으로부터 꺼낼 기판들의 위치와 대응하는 위치에 있을 수 있다.
도 4b를 참조하면, 기판 가이드(433)는 화살표로 표시한 것처럼 X축 방향으로 전진할 수 있다. 이때, 기판 가이드(433)의 일부는 분류/병합 블록(430)의 밖으로 돌출될 수 있다.
이후, 기판 풀링 장치(435, 도 3b 참조)가 X축 방향으로 전진하여 제1 매거진(M1)에 수납된 기판을 파지한 다음, X축 방향으로 후진하여 파지한 기판을 기판 가이드(433)의 삽입 홈(g) 내에 안착시킬 수 있다. 도 4b에서는 한 번에 두 개의 기판이 기판 가이드(433) 내에 안착되는 것으로 도시하였으나, 한 번에 이송되는 기판의 수가 특별히 이에 한정되는 것은 아니다.
도 4c를 참조하면, 기판이 삽입된 기판 가이드(433)는 ①번 화살표로 표시한 것과 같이 X축 방향으로 후진할 수 있다. 이에 따라, 기판 가이드(433)는 분류/병합 블록(430)의 내부로 완전히 수용될 수 있다.
이후, 분류/병합 블록(430)은 ②번 화살표로 표시한 것과 같이 Z축 방향으로 상승하여 제2 적재 공간(320)에 수용된 비어 있는 제2 매거진(M2)이 안착된 위치로 이동할 수 있고, 기판 가이드(433)는 ③번 화살표로 표시한 것과 같이 X축 방향으로 전진할 수 있다. 이후, 기판 푸싱 장치(437, 도 3c 참조)가 X축 방향으로 전진하여 기판 가이드(433)의 삽입 홈(g)에 안착된 기판을 제2 매거진(M2) 내부로 밀어 넣을 수 있다.
도 4a 내지 도 4c에 도시된 과정들을 반복적으로 수행함에 따라 제1 매거진(M1) 내에 수납된 기판들(즉, 후속 공정들이 수행될 기판들)이 복수의 제2 매거진(M2)들로 분배될 수 있다. 제1 매거진(M1) 내에 수납된 기판들의 분배가 완료된 상태가 도 4d에 도시되었다. 도 4d에 도시된 것과 같이, 기판들의 분배가 완료되면, 매거진 이송부(200)는 매거진 적재부(300)의 제2 적재 공간(320)에 수용된 제2 매거진(M2)들을 제2 투입/배출부(500)의 배출구(520)로 이송시킬 수 있다. 제2 투입/배출부(500)의 배출구(520)로 이송된 제2 매거진(M2)들은 각각 별도의 운반 장치(도시되지 않음)에 의해 대응하는 후속 공정 설비들로 옮겨질 수 있다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 실시 예에 의한 소터의 기판 병합 동작을 예시적으로 도시한 도면들이다. 여기에서도 마찬가지로 도면의 간략화를 위하여, 소터(400)의 분류/병합 블록(430)의 기판 가이드(433)만을 도시하였다.
도 5a를 참조하면, 후속 공정 설비들에서 후속 공정이 완료된 기판들이 수납된 제3 매거진(M3)들이 매거진 이송부(200)에 의해 제2 투입/배출부(500)로부터 매거진 적재부(300)의 제2 적재 공간(320)으로 이송될 수 있다. 또한, 소터(400, 도 1 참조)의 분류/병합 블록(430, 도 1 참조)은 매거진 적재부(300)의 제2 적재 공간(320)에 수용된 제2 매거진(M2)들 중 임의의 제2 매거진(M2)이 안착된 위치로 이동할 수 있다. 이때, 기판 가이드(433)는 제2 매거진(M2)으로부터 꺼낼 기판들의 위치와 대응하는 위치에 있을 수 있다.
도 5b를 참조하면, 기판 가이드(433)는 화살표로 표시한 것처럼 X축 방향으로 전진할 수 있다. 이때, 기판 가이드(433)의 일부는 분류/병합 블록(430)의 밖으로 돌출될 수 있다. 이후, 기판 풀링 장치(435, 도 3b 참조)가 X축 방향으로 전진하여 제2 매거진(M2)에 수납된 기판(즉, 후속 공정이 완료된 기판)을 파지하고, X축 방향으로 후진하여 파지한 기판을 기판 가이드(433)의 삽입 홈(g) 내에 안착시킬 수 있다.
도 5c를 참조하면, 기판이 삽입된 기판 가이드(433)는 ①번 화살표로 표시한 것과 같이 X축 방향으로 후진할 수 있다. 이에 따라, 기판 가이드(433)는 분류/병합 블록(430)의 내부로 완전히 수용될 수 있다.
이후, 분류/병합 블록(430)은 ②번 화살표로 표시한 것과 같이 Z축 방향으로 하강하여 제1 적재 공간(310)에 수용된 비어 있는 제1 매거진(M1)이 안착된 위치로 이동할 수 있다. 이후, 기판 가이드(433)는 ③번 화살표로 표시한 것과 같이 X축 방향으로 전진하고, 기판 푸싱 장치(437, 도 3c 참조)가 X축 방향으로 전진하면서 기판 가이드(433)의 삽입 홈(g)에 안착된 기판을 제1 매거진(M1) 내부로 밀어 넣을 수 있다.
도 5a 내지 도 5c에 도시된 과정들을 반복적으로 수행함에 따라 복수의 제2 매거진(M2)들 내에 수납된 기판들(즉, 후속 공정이 완료된 기판들)이 제1 매거진(M1)으로 병합될 수 있다. 복수의 제2 매거진(M2)들 내에 수납된 기판들의 병합이 완료된 상태가 도 5d에 도시되었다. 도 5d에 도시된 것과 같이, 기판들의 병합이 완료되면, 매거진 이송부(200)는 매거진 적재부(300)의 제1 적재 공간(310)에 수용된 제1 매거진(M1)을 제1 투입/배출부(100)의 배출구(120)로 이송시킬 수 있다. 제1 투입/배출부(100)의 배출구(120)로 이송된 제1 매거진(M1)은 작업자에 의해 수거될 수 있다.
제2 투입/배출부(500)는 기판 이송 장비(10)의 타 측에 구비될 수 있다. 예를 들어, 제2 투입/배출부(500)는 매거진 적재부(300) 및 소터(400)의 상부에 배치될 수 있다.
제2 투입/배출부(500)는 후속 공정이 진행되는 후속 공정 설비(도시되지 않음)로부터 후속 공정이 완료된 기판들이 수납된 매거진(M)들이 투입되는 투입구(510) 및 후속 공정 설비(도시되지 않음)로 후속 공정이 수행될 기판들이 수납된 매거진(M)이 배출되는 배출구(520)를 포함할 수 있다. 도 1에서는 투입구(510)와 배출구(520)를 하나인 것처럼 도시하였으나, 투입구(510)와 배출구(520)는 Y축 방향으로 분리되어 구비되는 것이 자명할 것이다.
제1 투입/배출부(110)는 투입 및 배출되는 매거진(M)을 이동시키기 위한 컨베이어(C2)를 구비할 수 있다. 컨베이어(C2)는 투입구(510)와 배출구(520)에 각각 구비될 수 있다. 투입구(510)에 구비된 컨베이어(C2)는 투입구(510)를 통해 투입된 매거진(M)을 매거진 이송부(200) 측으로 이동시키도록 구성될 수 있다. 마찬가지로, 배출구(120)에 구비된 컨베이어(C2)는 매거진 이송부(200)에 의해 놓여진 매거진(M)을 배출구(120) 측으로 이동시키도록 구성될 수 있다.
이와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 기판 이송 장비 100: 제1 투입/배출부
200: 매거진 이송부 300: 매거진 적재부
400: 소터 500: 제2 투입/배출부

Claims (13)

  1. 후속 공정 수행 예정인 제1 기판들이 수납된 제1 매거진으로부터 상기 제1 기판들을 비어 있는 복수의 제2 매거진들로 분배하고, 및 후속 공정이 완료된 제2 기판들이 수납된 복수의 제3 매거진들로부터 상기 제2 기판들을 각각 꺼내어 비어 있는 상기 제1 매거진으로 병합하도록 구성된 소터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 소터는,
    제1 방향으로 연장하는 제1 이동 블록;
    상기 제1 이동 블록의 하단에 결합되고 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장하는 제2 이동 블록; 및
    상기 제1 이동 블록에 이동 가능하게 결합된 분류/병합 블록
    을 포함하는 소터.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 분류/병합 블록은 상기 제1 이동 블록을 따라 상기 제1 방향으로 이동하고, 상기 제1 이동 블록은 상기 제2 이동 블록을 따라 상기 제1 방향으로 이동하는 소터.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 분류/병합 블록은,
    기판이 삽입되는 삽입 홈이 형성되고 전진 및 후진하도록 구성된 한 쌍의 가이드 부재를 갖는 기판 가이드;
    상기 한 쌍의 가이드 부재 사이에 배치되고 전진 및 후진하여 매거진으로부터 기판을 파지하여 상기 기판 가이드에 안착시키도록 구성된 기판 풀링 장치; 및
    상기 한 쌍의 가이드 부재 사이에 배치되고 전진 및 후진하여 상기 매거진으로 상기 기판을 밀어 넣도록 구성된 기판 푸싱 장치
    를 포함하는 소터.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 분류/병합 블록은 상기 기판 가이드, 상기 기판 풀링 장치 및 상기 기판 푸싱 장치를 수용하고 상기 제1 이동 블록에 결합되도록 구성된 케이싱부를 더 포함하는 소터.
  6. 후속 공정이 수행될 기판들 또는 후속 공정이 완료된 기판들이 수납된 제1 매거진이 투입 또는 배출되는 제1 투입/배출부;
    상기 제1 투입/배출부를 통해 투입 및 배출되는 상기 제1 매거진, 상기 후속 공정이 수행될 기판들이 수납될 복수의 제2 매거진들, 및 상기 후속 공정이 완료된 기판들이 수납된 복수의 제3 매거진들이 적재되는 매거진 적재부; 및
    상기 제1 매거진으로부터 상기 후속 공정이 수행될 기판들을 꺼내어 상기 복수의 제2 매거진들로 분배하고, 및 상기 복수의 제3 매거진들로부터 상기 후속 공정이 완료된 기판들을 꺼내어 상기 제1 매거진으로 병합하도록 구성된 소터
    를 포함하는 기판 이송 장비.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 투입/배출부로부터 상기 후속 공정이 수행될 기판들이 수납된 상기 제1 매거진을 파지하여 상기 매거진 적재부로 이송하고, 및 상기 매거진 적재부로부터 상기 후속 공정이 완료된 기판들이 수납된 상기 제1 매거진을 파지하여 상기 제1 투입/배출부로 이송하는 매거진 이송부를 더 포함하는 기판 이송 장비.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 제2 매거진들을 복수의 후속 공정 장비들로 배출하고, 상기 복수의 후속 공정 장비들로부터 상기 복수의 제3 매거진들이 투입되는 제2 투입/배출부를 더 포함하는 기판 이송 장비.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 매거진 이송부는 상기 매거진 적재부로부터 상기 제2 매거진들을 파지하여 상기 제2 투입/배출부로 이송하고, 상기 제2 투입/배출부로부터 상기 제3 매거진들을 파지하여 상기 매거진 적재부로 이송하는 기판 이송 장비.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 매거진 적재부는,
    상기 제1 매거진이 수용되는 제1 적재 공간; 및
    상기 복수의 제2 매거진들 및 상기 복수의 제3 매거진들이 수용되는 제2 적재 공간을 포함하는 기판 이송 장비.
  11. 제6항에 있어서,
    상기 소터는,
    제1 방향으로 연장하는 제1 이동 블록;
    상기 제1 이동 블록의 하단에 결합되고 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장하는 제2 이동 블록; 및
    상기 제1 이동 블록에 이동 가능하게 결합된 분류/병합 블록
    을 포함하는 기판 이송 장비.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 분류/병합 블록은 상기 제1 이동 블록을 따라 상기 제1 방향으로 이동하고, 상기 제1 이동 블록은 상기 제2 이동 블록을 따라 상기 제1 방향으로 이동하는 기판 이송 장비.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 분류/병합 블록은,
    기판이 삽입되는 삽입 홈이 형성되고 전진 및 후진하도록 구성된 한 쌍의 가이드 부재를 갖는 기판 가이드;
    상기 한 쌍의 가이드 부재 사이에 배치되고 전진 및 후진하여 매거진으로부터 기판을 파지하여 상기 기판 가이드에 안착시키도록 구성된 기판 풀링 장치; 및
    상기 한 쌍의 가이드 부재 사이에 배치되고 전진 및 후진하여 상기 매거진으로 상기 기판을 밀어 넣도록 구성된 기판 푸싱 장치
    를 포함하는 기판 이송 장비.
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