KR20190001547A

KR20190001547A - Blade exchange apparatus, cutting apparatus and blade exchange method

Info

Publication number: KR20190001547A
Application number: KR1020180072070A
Authority: KR
Inventors: 카즈시 미야타; 선하 황
Original assignee: 토와 가부시기가이샤
Priority date: 2017-06-26
Filing date: 2018-06-22
Publication date: 2019-01-04
Also published as: TWI666090B; JP6560714B2; TW201904718A; CN109109071B; CN109109071A; JP2019005857A; SG10201805421VA; KR102125232B1

Abstract

The purpose of the present invention is to realize automatic replacement of a blade. The blade replacement device according to the present invention comprises: a first adsorption unit (4) which is formed to adsorb a blade (22); a second adsorption unit (5) which is positioned inside the first adsorption unit (4) so as to be formed to adsorb a flange or a hub independently of the adsorption by the first adsorption unit (4); and a detachable member rotary unit (6) which is positioned inside the second adsorption unit (5) such that a detachable member (24) is rotationally formed therein so as to allow the blade (22) to be detachable from a spindle (21).

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a blade exchanging mechanism, a cutting apparatus,

본 발명은, 블레이드 교환 기구, 절단 장치 및 블레이드 교환 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a blade changing mechanism, a cutting apparatus, and a blade changing method.

예를 들면, 일본 특개2016-64450호 공보(특허문헌 1)에는, 허브레스의 절삭 블레이드의 교환 시스템이 기재되어 있다. 특허문헌 1에 기재된 절삭 블레이드의 교환 시스템은, 절삭 블레이드의 측면과 접촉하는 고정 플랜지에 관통구멍을 마련하고, 고정 플랜지를 흡착함과 함께, 고정 플랜지의 관통구멍을 통하여 절삭 블레이드를 흡착하고 있다.For example, Japanese Patent Laying-Open No. 2016-64450 (Patent Document 1) discloses a hub-less cutting blade exchange system. In the cutting blade exchanging system described in Patent Document 1, a through hole is provided in a fixing flange that contacts the side surface of the cutting blade, and the fixing blade is adsorbed through the through hole of the fixing flange while sucking the fixing flange.

일본 특개2016-64450호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2016-64450

그렇지만, 특허문헌 1에 기재된 절삭 블레이드 교환 시스템에서는, 절삭 블레이드 및 고정 플랜지를 스핀들에 고정하기 위한 고정 너트를 어떻게 탈착하는 것인가라는 점에 관해 기재도 시사도 되어 있지 않다. 그 때문에, 당업자는, 특허문헌 1의 기재에 의거하여, 블레이드의 자동 교환을 실현할 수가 없다.However, in the cutting blade exchanging system disclosed in Patent Document 1, there is no description about how to attach and detach a fixing nut for fixing the cutting blade and the fixing flange to the spindle. Therefore, a person skilled in the art can not realize the automatic exchange of blades based on the description of Patent Document 1.

여기서 개시된 실시 형태에 의하면, 블레이드를 흡착하도록 구성되는 제1 흡착부와, 제1 흡착부의 내측에 위치하고, 제1 흡착부에 의한 흡착과는 독립하여 플랜지 또는 허브를 흡착하도록 구성되는 제2 흡착부와, 제2 흡착부의 내측에 위치하고, 블레이드를 스핀들에 탈착 가능하게 하는 탈착 부재를 회전 가능하게 구성되는 탈착 부재 회전부를 구비하는, 블레이드 교환 기구를 제공할 수 있다.According to the embodiment disclosed herein, it is possible to provide a method of manufacturing an exhaust gas purifying apparatus that includes a first adsorbing portion configured to adsorb a blade, a second adsorbing portion positioned inside the first adsorbing portion and configured to adsorb a flange or a hub independently of adsorption by the first adsorbing portion, And a detachable member rotating part which is located inside the second suction part and is rotatable about a detachable member for detachably attaching the blade to the spindle.

여기서 개시된 실시 형태에 의하면, 상기한 블레이드 교환 기구와, 블레이드와, 스핀들을 구비하는 절단 장치를 제공할 수 있다.According to the embodiments disclosed herein, it is possible to provide the above-described blade exchanging mechanism, the blade, and the cutting device having the spindle.

여기서 개시된 실시 형태에 의하면, 블레이드를 흡착하도록 구성되는 제1 흡착부와, 제1 흡착부의 내측에 위치하여 제1 흡착부에 의한 흡착과는 독립하여 플랜지 또는 허브를 흡착하도록 구성되는 제2 흡착부와, 제2 흡착부의 내측에 위치하여 블레이드를 스핀들에 탈착 가능하게 하는 탈착 부재를 회전 가능하게 구성되는 탈착 부재 회전부를 구비하는 블레이드 교환 기구를 이용하는 블레이드 교환 방법으로서, 블레이드를 제1 흡착부에 의해 흡착함과 함께 제1 흡착부에 의한 흡착과는 독립하여 제2 흡착부에 의해 플랜지 또는 허브를 흡착한 상태에서 탈착 부재 회전부에 의해 탈착 부재를 회전시켜서 탈착 부재를 스핀들로부터 떼어내는 공정과, 제1 흡착부와 제2 흡착부와 탈착 부재 회전부를 포함하는 흡착 유닛을 수납부에 이동시키는 공정과, 제1 흡착부에 의한 흡착을 해제하여 블레이드를 수납부에 수납하는 공정과, 수납부에 수납되어 있는 교환용 블레이드를 제1 흡착부에 의해 흡착하는 공정과, 흡착 유닛을 이동시켜서 교환용 블레이드를 스핀들에 감입(嵌入)하는 공정과, 탈착 부재 회전부에 의해 탈착 부재를 회전시켜서 교환용 블레이드를 스핀들에 고정하는 공정을 구비하는, 블레이드 교환 방법을 제공할 수 있다.According to the embodiment disclosed herein, there is provided a method of manufacturing a honeycomb structure including a first adsorption portion configured to adsorb a blade, a second adsorption portion positioned inside the first adsorption portion and configured to adsorb a flange or a hub independently of adsorption by the first adsorption portion, And a detachable member rotating part which is located inside the second suction part and is rotatable about a detachable member for detachably attaching the blade to the spindle, wherein the blade is rotated by the first attracting part A step of detaching the detachment member from the spindle by rotating the detachment member by the detachment member rotation part in a state in which the flange or the hub is attracted by the second adsorption part independently from the adsorption by the first adsorption part together with the adsorption, A step of moving the adsorption unit including the first adsorption unit, the second adsorption unit, and the desorption member rotation unit to the storage unit; A step of disposing the blade in the housing portion by releasing the adsorption by the attachment, a step of adsorbing the exchangeable blade housed in the housing portion by the first adsorption section, and a step of moving the adsorption unit to insert the exchange blade into the spindle And a step of fixing the exchangeable blade to the spindle by rotating the detachment member with the detachment member rotating part.

이 발명의 상기 및 다른 목적, 특징, 국면 및 이점은, 첨부한 도면과 관련하여 이해되는 본 발명에 관한 다음의 상세한 설명으로부터 분명해질 것이다.These and other objects, features, aspects and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description of the present invention when taken in conjunction with the accompanying drawings.

도 1은, 실시 형태의 절단 장치의 모식적인 평면도.
도 2는, 실시 형태의 블레이드 교환 기구에 이용되는 흡착 암의 한 예의 모식적인 사시도.
도 3은, 도 2에 도시하는 흡착 암을 다른 각도에서 본 때의 모식적인 사시도.
도 4는, 도 2 및 도 3에 도시되는 흡착 유닛의 모식적인 평면도.
도 5는, 도 2∼도 4에 도시되는 흡착 유닛의 모식적인 단면도.
도 6은, 실시 형태의 블레이드 교환 방법의 일부의 공정을 도해하는 모식적인 단면도.
도 7은, 실시 형태의 블레이드 교환 방법의 공정의 일부를 도해하는 모식적인 단면도.
도 8은, 실시 형태의 블레이드 교환 방법의 공정의 일부를 도해하는 모식적인 단면도.
도 9는, 실시 형태의 블레이드 교환 방법의 공정의 일부를 도해하는 모식적인 단면도.
도 10은, 실시 형태의 블레이드 교환 방법의 공정의 일부를 도해하는 모식적인 단면도.
도 11은, 흡착 유닛이 제1 동작 위치에 위치하고 있는 상태의 한 예의 실시 형태의 절단 장치의 모식적인 사시도.
도 12는, 도 11에 도시되는 절단 장치를 다른 각도에서 본 때의 모식적인 사시도.
도 13은, 흡착 유닛이 제2 동작 위치에 위치하고 있는 상태의 한 예의 실시 형태의 절단 장치의 모식적인 사시도.
도 14는, 흡착 유닛이 제1 동작 위치에 위치하고 있는 상태의 다른 한 예의 실시 형태의 절단 장치의 모식적인 사시도.
도 15는, 도 14에 도시되는 절단 장치를 다른 각도에서 본 때의 모식적인 사시도.
도 16은, 실시 형태에서의 제1 슬라이드 기구에 의한 흡착 유닛의 Y방향으로의 이동의 한 예를 도해하는 모식적인 사시도.
도 17은, 실시 형태에서의 제1 슬라이드 기구에 의한 흡착 유닛의 Y방향으로의 이동의 다른 한 예를 도해하는 모식적인 사시도.
도 18은, 실시 형태에서의 제2 슬라이드 기구에 의한 흡착 유닛의 Z방향으로의 이동의 한 예를 도해하는 모식적인 사시도.
도 19는, 실시 형태에서의 제2 슬라이드 기구에 의한 흡착 유닛의 Z방향으로의 이동의 다른 한 예를 도해하는 모식적인 사시도.
도 20은, 실시 형태에서의 제1 회전 기구에 의한 흡착 유닛의 X-θ방향으로의 회전의 한 예를 도해하는 모식적인 사시도.
도 21은, 실시 형태에서의 제1 회전 기구에 의한 흡착 유닛의 X-θ방향으로의 회전의 다른 한 예를 도해하는 모식적인 사시도.
도 22는, 실시 형태에서의 제2 회전 기구에 의한 흡착 유닛의 Y-θ방향으로의 회전의 한 예를 도해하는 모식적인 사시도.
도 23은, 실시 형태에서의 제2 회전 기구에 의한 흡착 유닛의 Y-θ방향으로의 회전의 다른 한 예를 도해하는 모식적인 사시도.
도 24는, 실시 형태에서의 수납부의 모식적인 사시도.
도 25는, 실시 형태에서의 블레이드 누름부재가 올랐던 때의 도 24에 도시되는 수납부의 모식적인 사시도.
도 26은, 실시 형태에서의 검출부의 모식적인 평면도.
도 27은, 실시 형태에서의 검출부에 의한 블레이드의 마모 및 파손의 적어도 일방의 검출 방법의 한 예의 플로우 차트.1 is a schematic plan view of a cutting apparatus according to an embodiment.
2 is a schematic perspective view of an example of an adsorption arm used in the blade exchange mechanism of the embodiment;
Fig. 3 is a schematic perspective view when the adsorption arm shown in Fig. 2 is viewed from another angle. Fig.
Fig. 4 is a schematic plan view of the adsorption unit shown in Figs. 2 and 3. Fig.
5 is a schematic sectional view of the adsorption unit shown in Figs. 2 to 4. Fig.
6 is a schematic cross-sectional view illustrating a part of the steps of the blade exchange method of the embodiment.
7 is a schematic cross-sectional view illustrating a part of a process of the blade exchange method of the embodiment.
8 is a schematic cross-sectional view illustrating a part of the steps of the blade exchange method of the embodiment;
Fig. 9 is a schematic cross-sectional view illustrating a part of the steps of the blade exchange method of the embodiment; Fig.
10 is a schematic cross-sectional view illustrating a part of a process of the blade exchange method of the embodiment.
11 is a schematic perspective view of a cutting apparatus of an embodiment in a state in which the adsorption unit is located at the first operating position;
12 is a schematic perspective view when the cutting apparatus shown in Fig. 11 is viewed from a different angle. Fig.
Fig. 13 is a schematic perspective view of a cutting apparatus according to an embodiment in a state in which the adsorption unit is located at the second operating position; Fig.
14 is a schematic perspective view of a cutting apparatus according to another embodiment in a state in which the adsorption unit is located at the first operating position;
15 is a schematic perspective view when the cutting apparatus shown in Fig. 14 is viewed from a different angle. Fig.
16 is a schematic perspective view illustrating an example of movement of the suction unit in the Y direction by the first slide mechanism in the embodiment;
17 is a schematic perspective view illustrating another example of movement of the suction unit in the Y direction by the first slide mechanism in the embodiment;
18 is a schematic perspective view illustrating an example of movement of the suction unit in the Z direction by the second slide mechanism in the embodiment;
19 is a schematic perspective view illustrating another example of movement of the suction unit in the Z direction by the second slide mechanism in the embodiment;
Fig. 20 is a schematic perspective view illustrating an example of rotation of the adsorption unit in the X-theta direction by the first rotating mechanism in the embodiment; Fig.
21 is a schematic perspective view illustrating another example of rotation of the adsorption unit in the X-theta direction by the first rotating mechanism in the embodiment;
22 is a schematic perspective view illustrating an example of rotation of the absorption unit in the Y- &thetas; direction by the second rotation mechanism in the embodiment;
Fig. 23 is a schematic perspective view illustrating another example of rotation of the absorption unit in the Y- &thetas; direction by the second rotating mechanism in the embodiment; Fig.
Fig. 24 is a schematic perspective view of the storage portion in the embodiment; Fig.
Fig. 25 is a schematic perspective view of the storage portion shown in Fig. 24 when the blade pressing member in the embodiment rises; Fig.
26 is a schematic plan view of a detecting section in the embodiment;
27 is a flowchart of an example of a method of detecting at least one of abrasion and breakage of a blade by the detecting unit in the embodiment.

이하, 실시 형태에 관해 설명한다. 또한, 실시 형태의 설명에 이용되는 도면에서, 동일한 참조 부호는, 동일 부분 또는 상당 부분을 나타내는 것으로 한다.Hereinafter, an embodiment will be described. In the drawings used in the description of the embodiments, the same reference numerals denote the same or substantially equivalent parts.

도 1에, 본 발명의 절단 장치의 한 예인 실시 형태의 절단 장치의 모식적인 평면도를 도시한다. 도 1에 도시되는 바와 같이, 실시 형태의 절단 장치는, 절단 대상물을 절단함에 의해 복수의 제품으로 개편화하는 장치이다. 실시 형태의 절단 장치(111)는, 기판 공급 모듈(A)과 기판 절단 모듈(B)과 검사 모듈(C)을, 각각 구성 요소로서 구비하고 있다. 각 구성 요소(각 모듈(A∼C))는, 각각 다른 구성 요소에 대해 착탈 가능하면서 교환 가능하다.Fig. 1 shows a schematic plan view of a cutting apparatus according to an embodiment, which is an example of the cutting apparatus of the present invention. As shown in Fig. 1, the cutting apparatus according to the embodiment is a device for cutting pieces into a plurality of products by cutting them. The cutting apparatus 111 of the embodiment includes a substrate supply module A, a substrate cutting module B, and a checking module C as constituent elements. Each component (each of the modules A to C) is detachable and exchangeable with respect to each of the other components.

기판 공급 모듈(A)은, 예를 들면, 절단 대상물의 한 예에 상당하는 밀봉완료 기판(112)을 공급하도록 구성되어 있는 기판 공급 기구(113)와, 절단 장치(111)의 동작이나 제어 등을 행하도록 구성되어 있는 제어부(CTL)를 구비하고 있다. 밀봉완료 기판(112)은, 예를 들면, 프린트 기판이나 리드 프레임 등으로 이루어지는 기판(도시 생략)과, 기판이 갖는 복수의 영역에 장착된 복수의 기능 소자(반도체 소자 등의 칩)(도시 생략)와, 복수의 영역이 일괄하여 덮이도록 하여 형성된 밀봉 수지(도시 생략)를 구비하고 있다. 밀봉완료 기판(112)은, 최종적으로 절단되고 개편화되는 절단 대상물이다. 밀봉완료 기판(112)은, 예를 들면 반송 기구(도시 생략) 등에 의해 기판 절단 모듈(B)에 반송될 수 있다.The substrate supply module A includes a substrate supply mechanism 113 configured to supply a sealed finished substrate 112 corresponding to an example of the object to be cut and a controller (CTL) that is configured to perform the operation of the control unit (CTL). The sealed substrate 112 includes a substrate (not shown) made of, for example, a printed substrate or a lead frame, and a plurality of functional elements (chips such as semiconductor elements) mounted on a plurality of regions And a sealing resin (not shown) formed so that a plurality of regions are collectively covered. The sealed substrate 112 is an object to be cut which is finally cut and separated. The sealed substrate 112 can be transported to the substrate cutting module B by, for example, a transport mechanism (not shown).

기판 절단 모듈(B)은, 예를 들면, 밀봉완료 기판(112)을 설치하도록 구성되어 있는 절단용 테이블(114)과, 절단용 테이블(114)을 Y방향으로 이동시키도록 구성되어 있는 이동 기구(115)와, 절단용 테이블(114)을 θ방향으로 회전시키도록 구성되어 있는 회전 기구(116)와, 후술하는 스핀들(21)과, 후술하는 실시 형태의 블레이드 교환 기구(120)를 구비할 수 있다. 절단용 테이블(114)은 예를 들면 절단용 치구(도시 생략)를 구비하고 있어도 좋고, 절단용 테이블(114)이 절단용 치구를 구비하는 경우에는 절단용 치구의 위에 밀봉완료 기판(112)이 설치될 수 있다.The substrate cutting module B includes, for example, a cutting table 114 configured to mount a sealed substrate 112 and a moving mechanism 114 configured to move the cutting table 114 in the Y direction A rotating mechanism 116 configured to rotate the cutting table 114 in the? Direction, a spindle 21 to be described later, and a blade exchange mechanism 120 of a later-described embodiment . The cutting table 114 may be provided with a cutting jig (not shown). When the cutting table 114 is provided with a cutting jig, the sealed substrate 112 is placed on the cutting jig Can be installed.

도 1에서, 실시 형태의 절단 장치(111)는, 설명의 편리의 관점에서, 1개의 스핀들(21)을 갖는 싱글 스핀들 구성의 절단 장치로서 도시되어 있다. 그렇지만, 실시 형태의 절단 장치(111)는 싱글 스핀들 구성의 절단 장치로는 한정되지 않고, 예를 들면 후술하는 바와 같이 스핀들을 2개 갖는 트윈 스핀들 구성의 절단 장치로 하여도 좋음은 말할 필요도 없다.In Fig. 1, the cutting apparatus 111 of the embodiment is shown as a cutting apparatus of a single spindle configuration having one spindle 21, from the viewpoint of convenience of explanation. However, the cutting apparatus 111 of the embodiment is not limited to the cutting apparatus having a single spindle configuration, and needless to say, it may be a twin spindle cutting apparatus having two spindles as described later, for example .

스핀들(21)은, 예를 들면, 독립하여 X방향과 Z방향으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 스핀들(21)의 회전축의 선단부에는, 예를 들면 원판형상(圓板狀)의 블레이드(22)가 부착될 수 있다. 블레이드(22)는, 예를 들면, 회전축의 축방향(X방향)에 대해 직교하는 면(Y축과 Z축을 포함하는 면)에 평행하게 고정될 수 있다. 또한, 스핀들(21)은, 예를 들면, 고속으로 회전하는 블레이드(22)에 의해 발생하는 마찰열을 억제하기 위해, 절삭수(切削水)를 분사하는 절삭수용 노즐(도시 생략)를 구비하고 있어도 좋다. 또한, 스핀들(21)에 대해 절단용 테이블(114)을 상대적으로 이동시키면서 밀봉완료 기판(112)을 절단할 수 있다. 블레이드(22)는, 예를 들면, Y축과 Z축을 포함하는 면 내에서 회전함에 의해 밀봉완료 기판(112)을 절단하도록 구성할 수 있다.The spindle 21 can be configured to be movable independently in the X and Z directions, for example. For example, a disc-shaped blade 22 may be attached to the front end of the rotating shaft of the spindle 21. [ The blade 22 can be fixed, for example, parallel to a plane (a plane including the Y axis and a Z axis) orthogonal to the axial direction (X direction) of the rotation axis. The spindle 21 is provided with a cutting water receiving nozzle (not shown) for spraying cutting water to suppress frictional heat generated by, for example, the blade 22 rotating at high speed good. In addition, the sealed substrate 112 can be cut while the cutting table 114 is relatively moved with respect to the spindle 21. The blade 22 can be configured to cut the sealed substrate 112 by, for example, rotating in a plane including the Y axis and the Z axis.

검사 모듈(C)은, 예를 들면, 검사용 테이블(110)과, 트레이(122)를 구비할 수 있다. 검사용 테이블(110)은, 예를 들면, 밀봉완료 기판(112)을 절단하여 개편화된 복수의 제품(P)으로 이루어지는 집합체인 절단완료 기판(121)을 설치 가능하게 구성할 수 있다. 복수의 제품(P)은, 예를 들면, 검사용의 카메라(도시 생략)에 의해 검사되고, 양품과 불량품으로 선별될 수 있다. 트레이(122)는, 예를 들면, 양품으로 선별된 제품(P)을 수용 가능하게 구성할 수 있다.The inspection module C may include, for example, an inspection table 110 and a tray 122. [ The inspection table 110 can be configured so as to be capable of mounting a cut-off substrate 121, which is an aggregate of a plurality of individual products P cut from the sealed substrate 112, for example. The plurality of products P are inspected by, for example, a camera for inspection (not shown), and can be sorted into good products and defective products. The tray 122 can be configured to accommodate, for example, a selected product P in good quality.

도 2에, 실시 형태의 블레이드 교환 기구에 이용되는 흡착 암의 한 예의 모식적인 사시도를 도시한다. 흡착 암(1)은, 흡착 유닛(2)과, 흡착 유닛(2)에 부착된 암부(3)를 구비하고 있다. 흡착 유닛(2)은, 암부(3)의 일단에 부착되어 있다.Fig. 2 shows a schematic perspective view of an example of an adsorption arm used in the blade exchange mechanism of the embodiment. The adsorption arm 1 has an adsorption unit 2 and an arm 3 attached to the adsorption unit 2. The absorption unit (2) is attached to one end of the arm portion (3).

도 3에, 도 2에 도시하는 흡착 암(1)을 다른 각도에서 본 때의 모식적인 사시도를 도시한다. 흡착 유닛(2)은, 원통형상의 제1 흡착부(4)와, 원통형상의 제2 흡착부(5)와, 환형상(環狀)의 탈착 부재 회전부(6)를 구비하고 있다. 도 2에서, 탈착 부재 회전부(6), 제2 흡착부(5) 및 제1 흡착부(4)는, 흡착 유닛(2)의 흡착측(원위측(遠位側))부터 흡착 유닛(2)의 암부(3)측(근위측(近位側))에 걸쳐서, 제1 흡착부(4), 제2 흡착부(5) 및 탈착 부재 회전부(6)의 순서로 각각의 원위측의 표면이 보이도록 도시되어 있다. 또한, 흡착 유닛(2)의 설명에서, 근위측은 암부(3)측을 의미하고, 원위측은 흡착 유닛(2)의 흡착측을 의미한다.Fig. 3 shows a schematic perspective view when the adsorption arm 1 shown in Fig. 2 is viewed from another angle. The adsorption unit 2 is provided with a cylindrical first adsorption portion 4, a cylindrical second adsorption portion 5 and a ring-shaped desorption member rotation portion 6. 2, the desorption member rotation section 6, the second adsorption section 5 and the first adsorption section 4 are arranged in the order from the adsorption side (distal side) of the adsorption unit 2 to the adsorption unit 2 The first adsorption unit 4, the second adsorption unit 5 and the desorption member rotation unit 6 in this order from the arm side 3 side (proximal side) As shown in FIG. In the description of the adsorption unit 2, the proximal side refers to the arm 3 side and the distal side refers to the adsorption side of the adsorption unit 2.

도 4에, 도 2 및 도 3에 도시되는 흡착 유닛(2)의 모식적인 평면도를 도시한다. 제1 흡착부(4)의 내측에 제2 흡착부(5)가 위치하고 있고, 제2 흡착부(5)의 내측에 탈착 부재 회전부(6)가 위치하고 있다. 제1 흡착부(4)는, 후술하는 블레이드를 흡착하도록 구성되어 있는 복수의 제1 흡착구(吸着口)(4x)와, 복수의 제1 흡착구(4x)에 이어지는 환형상의 제1 흡착홈(吸着溝)(4y)을 구비하고 있다. 제2 흡착부(5)는, 후술하는 플랜지 또는 허브를 흡착하도록 구성되어 있는 복수의 제2 흡착구(5x)와, 복수의 제2 흡착구(5x)에 이어지는 환형상의 제2 흡착홈(5y)을 구비하고 있다. 탈착 부재 회전부(6)는, 서로 간격을 두어 환형상으로 배치된 복수의 돌출부(6a)를 구비하고 있다. 탈착 부재 회전부(6)는 회전 가능하게 구성되어 있고, 예를 들면 도 4의 화살표의 방향으로 회전 가능하지만, 탈착 부재 회전부(6)의 회전 방향은 특히 한정되지 않음은 말할 필요도 없다.Fig. 4 shows a schematic plan view of the adsorption unit 2 shown in Figs. 2 and 3. Fig. The second adsorption part 5 is located inside the first adsorption part 4 and the desorption member rotation part 6 is located inside the second adsorption part 5. The first adsorption section 4 includes a plurality of first adsorption ports 4x that are configured to adsorb the blades to be described later and a plurality of first adsorption ports 4x extending in the direction of the plurality of first adsorption ports 4x, (Suction groove) 4y. The second adsorption section 5 includes a plurality of second adsorption ports 5x configured to adsorb a flange or a hub to be described later and an annular second adsorption groove 5y connected to the plurality of second adsorption ports 5x . The detachment member rotating portion 6 has a plurality of protruding portions 6a arranged at an interval from each other in an annular shape. The detachable member rotating portion 6 is rotatable and can rotate in the direction of the arrow in FIG. 4, for example, but the rotating direction of the detachable member rotating portion 6 is not particularly limited.

도 5에, 도 2∼도 4에 도시되는 흡착 유닛(2)의 모식적인 단면도를 도시한다. 제1 흡착부(4)는 중공(中空)이고, 제1 흡착부(4)의 중공의 내측에 중공의 제2 흡착부(5)가 위치하고 있다. 제1 흡착부(4)의 중공을 둘러싸는 외벽에는, 제1 흡착구(4x)를 통하여 제1 흡착홈(4y)에 이어져서, 후술하는 블레이드를 흡인하도록 구성되어 있는 가스 유로(14)가 마련되어 있다. 가스 유로(14)는, 제1 흡착구(4x)에 이어지는 가스 유로(4z)에 접속되어 있다. 제1 흡착부(4)는, 제1 흡착부(4)의 근위측의 외벽의 일부로부터 내측으로 돌출하는 돌출부(4a)를 구비하고 있다. 돌출부(4a)는, 돌출부(4a)의 근위측에, 돌출부 근위면(近位面)(4b)을 구비하고 있다. 제1 흡착부(4)는, 제1 흡착부(4)의 원위측의 표면으로서, 제1 흡착부 원위면(遠位面)(4c)을 구비하고 있다.Fig. 5 shows a schematic sectional view of the adsorption unit 2 shown in Figs. 2 to 4. Fig. The first adsorption part 4 is hollow and a hollow second adsorption part 5 is located inside the hollow part of the first adsorption part 4. A gas channel 14 which is connected to the first suction groove 4y through the first suction port 4x and sucks a blade to be described later is provided on the outer wall surrounding the hollow portion of the first suction portion 4 Lt; / RTI > The gas flow path 14 is connected to the gas flow path 4z that follows the first adsorption port 4x. The first adsorption portion 4 has a protruding portion 4a that protrudes inward from a part of the outer wall on the proximal side of the first adsorption portion 4. The protruding portion 4a has a protruding portion proximal surface 4b on the proximal side of the protruding portion 4a. The first adsorption portion 4 has a distal surface 4c on the distal side of the first adsorption portion 4 and a first adsorption portion distal surface 4c.

제2 흡착부(5)의 중공을 둘러싸는 외벽에는, 제2 흡착구(5x)를 통하여 제2 흡착홈(5y)에 이어져서, 플랜지 또는 허브를 흡착하도록 구성되어 있는 가스 유로(13)가 마련되어 있다. 가스 유로(13)의 일단에는, 가스 유로(13) 중의 가스를 흡인하도록 구성되어 있는 가스 흡인구(12)가 부착되어 있다. 가스 유로(13)의 타단에는, 제2 흡착구(5x)에 이어지는 가스 유로(5z)가 접속되어 있다. 제2 흡착부(5)는, 제2 흡착부(5)의 근위측의 단부에, 내측으로 삐져나온 갈고리형상부(5a)를 구비하고 있다. 갈고리형상부(5a)는, 원위측의 표면으로서 갈고리형상부 원위면(5b)을 구비함과 함께, 근위측의 표면으로서 갈고리형상부 근위면(5c)을 구비하고 있다. 제2 흡착부(5)는, 제2 흡착부(5)의 원위측의 표면으로서, 제2 흡착부 원위면(5d)을 구비하고 있다.A gas channel 13 connected to the second adsorption groove 5y through the second adsorption port 5x and configured to adsorb the flange or hub is provided on the outer wall surrounding the hollow of the second adsorption section 5 Lt; / RTI > At one end of the gas passage 13 is attached a gas suction port 12 configured to suck the gas in the gas passage 13. The other end of the gas flow path 13 is connected to a gas flow path 5z that leads to the second suction port 5x. The second adsorption portion 5 has a claw-like portion 5a protruding inwardly at the proximal end portion of the second adsorption portion 5. The claw-like portion 5a has a claw-shaped distal surface 5b as the distal surface and a claw-shaped proximal surface 5c as a surface on the proximal side. The second adsorption section 5 has a second adsorption section distal surface 5d as the distal surface of the second adsorption section 5.

제2 흡착부(5)도 중공이고, 제2 흡착부(5)의 중공의 내측에 탈착 부재 회전부(6)가 위치하고 있다. 탈착 부재 회전부(6)의 돌출부(6a)는, 탈착 부재 회전부(6)가 원위측을 향하고 부분적으로 돌출한 부재로 되어 있다. 탈착 부재 회전부(6)의 근위측에는, 회전 가능한 회전 구동 부재(9)가 부착되어 있다. 회전 구동 부재(9)가 축(10)을 중심으로 하여 회전함에 의해, 탈착 부재 회전부(6)도 회전하는 것이 가능해진다. 탈착 부재 회전부(6)의 원위측의 일부는 회전 구동 부재(9)보다도 외측으로 삐져나와 있다. 탈착 부재 회전부(6)의 외측으로 삐져나온 부분은, 근위측의 표면으로서 회전부 근위면(6b)을 구비하고 있다. 회전 구동 부재(9)의 근위측도 부분적으로 외측으로 삐져나와 있다. 회전 구동 부재(9)의 외측으로 삐져나온 부분은, 원위측의 표면으로서 근위측 장출부(張出部) 원위면(9a)을 구비하고 있다.The second adsorption part 5 is also hollow and the desorption member rotation part 6 is located inside the hollow of the second adsorption part 5. The protruding portion 6a of the detachable member rotating portion 6 is a member in which the detachable member rotating portion 6 faces the remote side and is partially protruded. On the proximal side of the detachment member rotation portion 6, a rotatable rotation drive member 9 is attached. The rotation of the rotation drive member 9 about the shaft 10 makes it possible to rotate the detachment member rotation portion 6 as well. A part of the distal end side of the detachable member rotating portion 6 is outwardly protruded from the rotational driving member 9. The portion protruding to the outside of the detachment member rotation portion 6 has a proximal portion 6b of the rotation portion as a surface on the proximal side. The proximal side of the rotation drive member 9 also partially protrudes outward. The portion protruding to the outside of the rotation drive member 9 has a distal side 9a of a proximal extending portion as a distal surface.

탈착 부재 회전부(6), 회전 구동 부재(9) 및 축(10)의 주위를 둘러싸도록 통상의 슬리브(15)가 위치하고 있다. 슬리브(15)는, 탈착 부재 회전부(6)를 수용할 수 있도록 구성되어 있는 수용부(15a)와, 수용부(15a)를 지지하도록 구성되어 있는 지지부(15b)를 구비하고 있다. 수용부(15a)는 지지부(15b)보다도 외측으로 삐져나와 있다. 수용부(15a)는, 근위측의 표면으로서, 수용부 근위면(15c)을 구비하고 있다. 수용부 근위면(15c)은, 갈고리형상부 원위면(5b)과 마주 대해 있다. 지지부(15b)는, 원위측의 표면으로서, 지지부 원위면(15d)을 구비하고 있다.A normal sleeve 15 is positioned so as to surround the detachment member rotation portion 6, the rotation drive member 9, and the shaft 10. The sleeve 15 has a receiving portion 15a configured to receive the detachable member rotating portion 6 and a supporting portion 15b configured to support the receiving portion 15a. The accommodating portion 15a protrudes outward beyond the support portion 15b. The accommodating portion 15a has a proximal surface 15c on the proximal side. The receiving portion proximal face 15c faces the claw-shaped circular distal face 5b. The support portion 15b is a surface on the far side and has a support portion distal face 15d.

슬리브(15)의 근위측에는, 흡착 유닛(2)과 암부(3)를 연결 가능하게 구성되어 있는 연결부(11)가 부착되어 있다. 연결부(11)는, 연결부(11)의 원위측의 돌출부(11a)가 슬리브(15)의 근위측의 중공에 감입(嵌入)됨에 의해, 슬리브(15)에 부착되어 있다. 연결부(11)는, 갈고리형상부 근위면(5c)과 마주 대하는 연결부 내측 근위면(11b)과, 돌출부 근위면(4b)을 마주 대하는 연결부 외측 근위면(11c)을 구비하고 있다. 연결부 외측 근위면(11c)은, 연결부 내측 근위면(11b)보다도 근위이면서 외측에 위치하고 있다.On the proximal side of the sleeve 15, there is attached a connecting portion 11 that is capable of connecting the suction unit 2 and the arm portion 3. The connecting portion 11 is attached to the sleeve 15 by projecting the protruding portion 11a at the distal side of the connecting portion 11 into the hollow at the proximal side of the sleeve 15. The connecting portion 11 has a connecting portion inside proximal face 11b facing the claw portion proximal face 5c and a connecting portion outside proximal face 11c facing the proximal portion proximal face 4b. The proximal portion 11c of the connecting portion outside the proximal portion 11b is proximal to the proximal portion 11b.

회전부 근위면(6b)과 근위측 장출부 원위면(9a)과의 사이에서 회전 구동 부재(9)의 주위를 둘러싸도록 제1 스프링(16)이 위치하고 있다. 제1 스프링(16)은, 회전부 근위면(6b)과 근위측 장출부 원위면(9a) 사이의 거리가 변화함에 의해 신축 가능하다.The first spring 16 is positioned so as to surround the periphery of the rotation drive member 9 between the proximal portion 6b of the rotation portion and the distal surface 9a of the proximal extension portion. The first spring 16 is expandable and contractible by changing the distance between the proximal portion 6b of the rotation portion and the distal surface 9a of the proximal extending portion.

갈고리형상부 근위면(5c)과 연결부 내측 근위면(11b)과의 사이에서 지지부(15b)의 주위를 둘러싸도록 제2 스프링(8)이 위치하고 있다. 제2 스프링(8)은, 갈고리형상부 근위면(5c)과 연결부 내측 근위면(11b) 사이의 거리가 변화함에 의해 신축 가능하다.The second spring 8 is positioned so as to surround the periphery of the support portion 15b between the claw-shaped proximal surface 5c and the connecting-portion-inside proximal surface 11b. The second spring 8 is expandable and contractible by changing the distance between the proximal portion 5c of the claw-like portion and the proximal side 11b of the connecting portion.

돌출부 근위면(4b)과 연결부 외측 근위면(11c) 사이에서 제2 스프링(8)의 주위를 둘러싸도록 제3 스프링(7)이 위치하고 있다. 제3 스프링(7)은, 돌출부 근위면(4b)과 연결부 외측 근위면(11c) 사이의 거리가 변화함에 의해 신축 가능하다.A third spring 7 is positioned between the proximal proximal surface 4b and the proximal outer proximal surface 11c to surround the second spring 8. The third spring 7 is expandable and contractible by changing the distance between the protruding portion proximal face 4b and the connecting portion outer proximal face 11c.

이하, 상술한 흡착 암을 구비하는 실시 형태의 블레이드 교환 기구를 이용한 실시 형태의 블레이드 교환 방법에 관해 설명한다. 본 실시 형태에서는, 블레이드(22)가 허브를 갖지 않는 허브레스 블레이드인 경우에 관해 설명하지만, 본 실시 형태는 허브레스 블레이드로 한정되는 것이 아니고, 블레이드(22)가 허브를 갖는 허브 부착 블레이드에도 적용할 수 있음은 말할 필요도 없다.Hereinafter, a method of exchanging the blades in the embodiment using the blade exchange mechanism of the embodiment having the above-described suction arm will be described. In the present embodiment, the case where the blade 22 is a hubless blade having no hub is described, but the present embodiment is not limited to a hubless blade, and the present invention is also applicable to a hub with a hub in which the blade 22 has a hub Needless to say, it can be done.

우선, 도 6의 모식적 단면도에 도시하는 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 사용이 끝난 블레이드(22)에 접근한다. 여기서, 교환의 대상이 되는 사용이 끝난 블레이드(22)는, 스핀들(21)의 근위측 플랜지(20)와 원위측 플랜지(23)의 사이에 끼워 넣어져 있다. 그리고, 예를 들면 너트 등의 탈착 부재(24)에 의해 원위측 플랜지(23)가 근위측 플랜지(20)에 체결되고, 이에 의해 블레이드(22)는, 스핀들(21)의 근위측 플랜지(20)와 원위측 플랜지(23)와의 사이에서 고정되어 있다. 또한, 근위측 플랜지(20)의 근위측이란 스핀들(21)에 대한 근위측을 의미하고, 원위측 플랜지(23)의 원위측이란 스핀들(21)에 대한 원위측을 의미한다.First, as shown in a schematic cross-sectional view of Fig. 6, the adsorption unit 2 is approached to the used blade 22. Here, the used blade 22 to be exchanged is sandwiched between the proximal flange 20 of the spindle 21 and the distal flange 23. The distal side flange 23 is then fastened to the proximal flange 20 by means of a detachment member 24 such as a nut for example so that the blade 22 is secured to the proximal flange 20 of the spindle 21 And the distal flange 23, as shown in Fig. The proximal side of the proximal flange 20 means the proximal side with respect to the spindle 21 and the distal side of the distal flange 23 means the distal side with respect to the spindle 21. [

다음에, 도 7의 모식적 단면도에 도시하는 바와 같이, 제1 흡착부(4)의 제1 흡착부 원위면(4c)이 블레이드(22)의 근위측(암부(3)측)의 표면에 접촉할 때까지, 흡착 유닛(2)을 더욱 원위측(스핀들(21)측)으로 이동시킨다.Next, as shown in a schematic cross-sectional view of Fig. 7, the first attracting unit distal face 4c of the first attracting unit 4 is placed on the proximal side (on the side of the arm 3) of the blade 22 The adsorption unit 2 is further moved to the far side (the spindle 21 side) until it comes into contact.

다음에, 도 8의 모식적 단면도에 도시하는 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 더욱 원위측(스핀들(21)측)으로 이동시키도록, 암부(3)을 원위측(스핀들(21)측)으로 이동시킨다. 이때, 블레이드(22)에 의해 제1 흡착부(4)는 원위측(스핀들(21)측)부터 근위측(암부(3)측)에 힘을 받지만, 제3 스프링(7)이 돌출부 근위면(4b)에 접촉하여 수축되기 때문에, 제1 흡착부(4)의 이동은 억제되고, 블레이드(22)에 대한 과도의 하중이 억제된다. 그리고, 제1 흡착부(4)의 이동이 억제된 상태에서 제2 흡착부(5)가 원위측(스핀들(21)측)으로 이동하고, 제2 흡착부(5)의 원위측의 제2 흡착부 원위면(5d)이 원위측 플랜지(23)와 접촉한다.Next, as shown in the schematic cross-sectional view of Fig. 8, the arm portion 3 is moved to the far side (on the spindle 21 side) so as to further move the absorption unit 2 to the far side (the spindle 21 side) . At this time, the first attracting portion 4 receives the force from the far side (the spindle 21 side) to the proximal side (the arm portion 3 side) by the blade 22, but the third spring 7 pushes the proximal side The movement of the first adsorption portion 4 is suppressed and the excessive load on the blade 22 is suppressed. The second adsorption section 5 moves to the far side (the spindle 21 side) in a state where the movement of the first adsorption section 4 is suppressed and the second adsorption section 5 The suction side circular face 5d comes into contact with the circular flange 23.

제2 흡착부(5)의 제2 흡착부 원위면(5d)이 원위측 플랜지(23)와 접촉한 후에, 탈착 부재 회전부(6)의 돌출부(6a)가 탈착 부재(24)의 관통구멍(24a)에 꼭 맞지 않는 경우에는, 제1 스프링(16)이 수축되어, 화살표(31)의 방향으로 탈착 부재 회전부(6)가 근위측(암부(3)측)으로 이동한다. 이때, 원위측 플랜지(23)에 의해 제2 흡착부(5)는 원위측(스핀들(21)측)부터 근위측(암부(3)측)으로 힘을 받지만, 제2 스프링(8)이 갈고리형상부 근위면(5c)에 접촉하여 수축하기 때문에, 제2 흡착부(5)의 이동은 억제된다.The protruding portion 6a of the detachable member rotating portion 6 is inserted into the through hole of the detachable member 24 after the distal end surface 5d of the second sucking portion 5 of the second sucking portion 5 contacts the distal flange 23 The first spring 16 is contracted and the detachment member rotation portion 6 moves to the proximal side (toward the arm portion 3) in the direction of the arrow 31. In this case, At this time, the second suction portion 5 receives the force from the distal side (the spindle 21 side) to the proximal side (the arm portion 3 side) by the distal side flange 23, The second suction portion 5 is prevented from moving due to contraction in contact with the proximal surface 5c of the shape portion.

다음에, 도 9의 모식적 단면도에 도시하는 바와 같이, 탈착 부재 회전부(6)의 돌출부(6a)가 탈착 부재(24)의 관통구멍(24a)에 꼭 맞고 있지 않은 경우에는, 탈착 부재 회전부(6)를 예를 들면 화살표(32)의 방향으로 회전시킨다. 탈착 부재 회전부(6)의 회전에 의해, 탈착 부재 회전부(6)의 돌출부(6a)가 탈착 부재(24)의 관통구멍(24a)의 위치에 도달한 때에 제1 스프링(16)이 신장하여, 돌출부(6a)가 관통구멍(24a)에 끼여진다.9, when the projection 6a of the detachment member rotation part 6 does not fit into the through hole 24a of the detachment member 24, the detachment member rotation part 6 6 in the direction of arrow 32, for example. The first spring 16 is elongated when the protruding portion 6a of the detachable member rotating portion 6 reaches the position of the through hole 24a of the detachable member 24 by the rotation of the detachable member rotating portion 6, The projecting portion 6a is caught in the through hole 24a.

다음에, 탈착 부재 회전부(6)가 회전함에 의해 탈착 부재(24)를 회전시킨다. 이에 의해, 근위측 플랜지(20)에 대한 탈착 부재(24)에 의한 원위측 플랜지(23)의 체결이 해제된다. 그 후, 제1 흡착부(4)가 블레이드(22)를 흡착하고, 제2 흡착부(5)가 원위측 플랜지(23)를 흡착한다. 그 후, 흡착 유닛(2)을 근위측(암부(3)측)으로 이동시킴에 의해, 예를 들면 도 10의 모식적 단면도에 도시하는 바와 같이, 스핀들(21)로부터, 탈착 부재(24)와 함께 블레이드(22) 및 원위측 플랜지(23)가 떼내어진다.Next, the detachable member rotating portion 6 rotates the detachable member 24 by rotating. Thereby, the fastening of the distal flange 23 by the detachment member 24 to the proximal flange 20 is released. Thereafter, the first adsorption portion 4 adsorbs the blade 22, and the second adsorption portion 5 adsorbs the far-side flange 23. Thereafter, by moving the suction unit 2 to the proximal side (the arm 3 side), as shown in the schematic cross-sectional view of Fig. 10, The blade 22 and the distal flange 23 are detached.

그 후, 흡착 유닛(2)은, 도 11 및 도 12의 모식적 사시도에 도시되는 블레이드(22)를 탈착 가능한 제1 동작 위치로부터 도 13의 모식적 사시도에 도시되는 수납부(51)로부터 교환용 블레이드를 취출 및 수납 가능한 제2 동작 위치로 이동시킨다. 또한, 도 11 및 도 12는, 흡착 유닛(2)이 제1 동작 위치에 위치하고 있는 상태의 한 예의 실시 형태의 절단 장치의 모식적인 사시도를 도시하고 있고, 도 13은 흡착 유닛(2)이 제2 동작 위치에 위치하고 있는 상태의 한 예의 실시 형태의 절단 장치의 모식적인 사시도를 도시하고 있다.Thereafter, the suction unit 2 is changed from the first operating position at which the blade 22 shown in the schematic perspective view of Figs. 11 and 12 is detachable from the storage portion 51 shown in the schematic perspective view of Fig. 13 And moves the blades to the second operation position where the blades can be taken out and stored. Figs. 11 and 12 show a schematic perspective view of a cutting apparatus of an embodiment in a state in which the adsorption unit 2 is located at the first operating position, and Fig. 13 is a schematic perspective view of the adsorption unit 2, 2 is a schematic perspective view of a cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 11∼도 13에 도시되는 실시 형태의 절단 장치는, 스핀들(21)과 마주 대하는 위치에 제2의 스핀들(25)을 구비하고 있다. 예를 들면 도 14 및 도 15의 모식적 사시도에 도시되는 바와 같이, 실시 형태의 블레이드 교환 기구의 흡착 유닛(2)은, 스핀들(21)에서의 블레이드(22)의 탈착을 가능하게 할 뿐만 아니라, 제2의 스핀들(25)에서의 블레이드(22)의 탈착도 가능하게 하한. 또한, 도 14 및 도 15는, 흡착 유닛(2)이 제1 동작 위치에 위치하고 있을 때의 다른 한 예의 실시 형태의 절단 장치의 모식적인 사시도를 도시하고 있다.The cutting apparatus of the embodiment shown in Figs. 11 to 13 is provided with a second spindle 25 at a position facing the spindle 21. As shown in Fig. 14 and 15, the suction unit 2 of the blade exchange mechanism of the embodiment not only enables the detachment of the blade 22 at the spindle 21, , And the lower end of the blade (22) at the second spindle (25). Figs. 14 and 15 show a schematic perspective view of a cutting apparatus according to another embodiment when the adsorption unit 2 is located at the first operating position. Fig.

도 11∼도 15의 모식적 사시도에 도시되는 바와 같이, 실시 형태의 블레이드 교환 기구는, 제1 슬라이드 기구(41)와, 제2 슬라이드 기구(42)를 구비하는 이동 기구(40)를 구비하고 있다. 제1 슬라이드 기구(41)는, 예를 들면 도 16 및 도 17의 모식적 사시도에 도시하는 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 화살표(61, 62)로 도시되는 Y방향으로의 슬라이드에 의한 이동을 가능하게 하고 있다. 흡착 유닛(2)의 Y방향으로의 이동은, 예를 들면, 흡착 유닛(2)의 제1 동작 위치로의 이동 및 제2 동작 위치로의 이동 등에 이용할 수 있다.As shown in a schematic perspective view of Figs. 11 to 15, the blade exchange mechanism of the embodiment includes a moving mechanism 40 having a first slide mechanism 41 and a second slide mechanism 42 have. 16 and 17, the first slide mechanism 41 is configured so that the suction unit 2 is moved by the slide in the Y direction indicated by the arrows 61 and 62 . The movement of the absorption unit 2 in the Y direction can be used, for example, for the movement of the absorption unit 2 to the first operation position and the movement to the second operation position.

제2 슬라이드 기구(42)는, 예를 들면 도 18 및 도 19의 모식적 사시도에 도시하는 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 화살표(71, 72)로 도시되는 Z방향으로의 슬라이드에 의한 이동을 가능하게 하고 있다. 흡착 유닛(2)의 Z방향으로의 이동은, 예를 들면, 제1 동작 위치로부터 제2 동작 위치로의 이동을 위한 하나의 스텝 및 제2 동작 위치로부터 제1 동작 위치로의 이동을 위한 하나의 스텝 등에 이용할 수 있다. 또한, 도 18 및 도 19의 화살표(71, 72)로 도시되는 Z방향은 도 16 및 도 17의 화살표(61, 62)로 도시되어는 Y방향과 교차하고 있다.18 and 19, the second slide mechanism 42 moves the suction unit 2 by sliding in the Z direction shown by the arrows 71 and 72, for example, . The movement of the adsorption unit 2 in the Z direction is carried out, for example, by one step for movement from the first operating position to the second operating position and one for movement from the second operating position to the first operating position And the like. In addition, the Z direction shown by arrows 71 and 72 in Figs. 18 and 19 intersects the Y direction shown by arrows 61 and 62 in Figs. 16 and 17.

실시 형태의 블레이드 교환 기구는, 도 20 및 도 21의 모식적 사시도에 도시되는 제1 회전 기구(43)와, 도 22 및 도 23의 모식적 사시도에 도시되는 제2 회전 기구(44)를 구비하고 있다.The blade exchanging mechanism of the embodiment includes a first rotating mechanism 43 shown in a schematic perspective view of Figs. 20 and 21 and a second rotating mechanism 44 shown in a schematic perspective view of Figs. 22 and 23 .

제1 회전 기구(43)는, 예를 들면 도 20 및 도 21에 도시되는 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 제1 가상면(82) 내에서 화살표(81)로 도시되는 X-θ방향으로 회전 가능하게 구성되어 있다. 흡착 유닛(2)의 X-θ방향에서의 회전은, 예를 들면, 제1 동작 위치로부터 제2 동작 위치로의 이동을 위한 하나의 스텝 및 제2 동작 위치로부터 제1 동작 위치로의 이동을 위한 1개의 스텝 등에 이용할 수 있다.20 and 21, the first rotating mechanism 43 rotates the adsorption unit 2 in the X-theta direction indicated by an arrow 81 in the first imaginary plane 82 And is rotatable. The rotation of the adsorption unit 2 in the X-theta direction can be achieved by, for example, one step for movement from the first operating position to the second operating position and the movement from the second operating position to the first operating position And the like.

제2 회전 기구(44)는, 예를 들면 도 22 및 도 23에 도시되는 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 제2 가상면(93) 내에서 화살표(91, 92)로 도시되는 Y-θ방향으로 회전 가능하게 구성되어 있다. 흡착 유닛(2)의 Y-θ방향에서의 회전은, 예를 들면, 흡착 유닛(2)의 스핀들(21)로부터 제2의 스핀들(25)로의 이동 및 흡착 유닛(2)의 제2의 스핀들(25)로부터 스핀들(21)로의 이동 등에 이용할 수 있다. 또한, 제2 가상면(93)은, 제1 가상면(82)과는 다른 가상면이고, 제1 가상면(82)과 제2 가상면(93)은 서로 교차한다.22 and 23, the second rotating mechanism 44 rotates the adsorption unit 2 in the second virtual plane 93 in the Y-θ direction indicated by the arrows 91 and 92, for example, As shown in Fig. The rotation of the absorption unit 2 in the Y-theta direction is performed by the rotation of the suction unit 2 from the spindle 21 to the second spindle 25 and the rotation of the second spindle 25 of the absorption unit 2, (25) to the spindle (21). The second imaginary plane 93 is a virtual plane different from the first imaginary plane 82 and the first imaginary plane 82 and the second imaginary plane 93 intersect each other.

도 24에, 실시 형태의 블레이드 교환 기구의 수납부(51)의 모식적인 사시도를 도시한다. 수납부(51)는, 최상단부터 최하단에 걸쳐서 차례로, 제1의 블레이드 매거진(53a), 제2의 블레이드 매거진(53b), 및 제3의 블레이드 매거진(53c)을 구비하고 있다. 수납부(51)는, 또한, 제1의 블레이드 누름부재(54a), 제2의 블레이드 누름부재(54b), 및 제3의 블레이드 누름부재(54c)를 구비하고 있다. 제1의 블레이드 누름부재(54a), 제2의 블레이드 누름부재(54b), 및 제3의 블레이드 누름부재(54c)는, 각각, 제1의 블레이드 매거진(53a), 제2의 블레이드 매거진(53b), 및 제3의 블레이드 매거진(53c)에 수납된 블레이드를 각각의 블레이드 매거진의 주위에서 누르도록 구성되어 있다. 이에 의해, 블레이드 매거진으로부터의 블레이드의 낙하를 억제할 수 있다.Fig. 24 shows a schematic perspective view of the storage portion 51 of the blade exchange mechanism of the embodiment. The storage portion 51 includes a first blade magazine 53a, a second blade magazine 53b, and a third blade magazine 53c in order from the uppermost stage to the lowermost stage. The storage portion 51 further includes a first blade pressing member 54a, a second blade pressing member 54b, and a third blade pressing member 54c. The first blade pressing member 54a, the second blade pressing member 54b and the third blade pressing member 54c are disposed in the first blade magazine 53a and the second blade magazine 53b And the blade housed in the third blade magazine 53c are pressed around the respective blade magazines. Thereby, falling of the blade from the blade magazine can be suppressed.

실시 형태의 블레이드 교환 기구의 흡착 유닛(2)은, 스핀들(21) 또는 제2의 스핀들(25)로부터 사용이 끝난 블레이드를 상술한 바와 같이 하여 떼어낸 후, 흡착 유닛(2)에 흡착된 사용이 끝난 블레이드와 함께 도 13에 도시되는 제2 동작 위치로 이동시킨다. 이때, 예를 들면 도 25의 모식적 사시도에 도시하는 바와 같이, 제1의 블레이드 누름부재(54a), 제2의 블레이드 누름부재(54b) 및 제3의 블레이드 누름부재(54c)의 적어도 하나가 위로 일어나서 블레이드의 누름을 해제한다.The suction unit 2 of the blade exchange mechanism of the embodiment is configured such that after the used blade is detached from the spindle 21 or the second spindle 25 as described above, And moves to the second operating position shown in FIG. 13 together with the finished blade. At this time, at least one of the first blade pressing member 54a, the second blade pressing member 54b and the third blade pressing member 54c, as shown in a schematic perspective view of Fig. 25, Stand up and release the blade.

그리고, 사용이 끝난 블레이드를 흡착한 흡착 유닛(2)이, 블레이드가 수용되지 않은 빈 블레이드 매거진에 접근하고, 사용이 끝난 블레이드의 중앙의 개구부를 빈 블레이드 매거진에 감입한다. 그 후, 흡착 유닛(2)은, 제1 흡착부(4)에 의한 사용이 끝난 블레이드의 흡착만을 정지하고, 당해 블레이드 매거진으로부터 떨어진다. 이에 의해, 사용이 끝난 블레이드를 빈 블레이드 매거진에 수납할 수 있다.Then, the absorption unit 2, which has sucked the used blade, approaches the empty blade magazine in which the blade is not received, and inserting the center opening of the used blade into the empty blade magazine. Thereafter, the adsorption unit 2 stops adsorption of the used blade by the first adsorption unit 4, and falls off the blade magazine. Thereby, the used blade can be housed in the empty blade magazine.

그 후, 흡착 유닛(2)은, 교환용의 블레이드가 수납되어 있는 다른 블레이드 매거진으로 이동한다. 그리고, 교환용의 블레이드를 누르고 있는 블레이드 누름부재가 위로 일어나서 교환용의 블레이드의 누름을 해제한다. 그 후, 흡착 유닛(2)을 교환용의 블레이드에 접근시켜서, 교환용의 블레이드의 표면에 흡착 유닛(2)의 제1 흡착부(4)의 제1 흡착부 원위면(4c)을 접촉시킨다. 그리고, 제1 흡착부(4)의 가스 유로(13)를 통하여 가스 흡인구(12)로부터 흡인함에 의해, 제1 흡착부 원위면(4c)에 교환용의 블레이드를 흡착시킨다.Thereafter, the absorption unit 2 moves to another blade magazine in which the replacement blade is stored. Then, the blade pressing member pressing the blade for exchange rises up to release the pressing of the blade for exchange. Thereafter, the adsorption unit 2 is brought close to the replacement blade, and the first adsorption unit distal surface 4c of the first adsorption unit 4 of the adsorption unit 2 is brought into contact with the surface of the replacement blade . The suction blades 12 are sucked through the gas channel 13 of the first suction portion 4 to adsorb the replacement blades on the first suction portion distal face 4c.

교환용의 블레이드를 흡착한 흡착 유닛(2)은, 도 13에 도시되는 제2 동작 위치로부터, 도 11 및 도 12에 도시되는 제1 동작 위치로 이동시킨다. 그리고, 도 10에 도시되는 바와 같이, 흡착 유닛(2)의 원위측으로의 이동에 의해, 흡착 유닛(2)을 스핀들(21)에 접근시킨다.The adsorption unit 2 adsorbing the exchangeable blades is moved from the second operating position shown in Fig. 13 to the first operating position shown in Figs. 11 and 12. 10, the adsorption unit 2 is moved toward the spindle 21 by the movement toward the distal side of the adsorption unit 2. Then, as shown in Fig.

다음에, 도 9에 도시하는 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 더욱 원위측(스핀들(21)측)으로 이동시킨다. 이에 의해, 원위측 플랜지(23)가 스핀들(21)의 근위측 플랜지(20)에 접촉하고, 근위측 플랜지(20)와 원위측 플랜지(23)와의 사이에 교환용의 블레이드(22)를 끼워 넣는다. 다음에, 탈착 부재 회전부(6)를 화살표(32)의 방향과는 역방향으로 회전시킴에 의해 탈착 부재(24)를 회전시켜, 탈착 부재(24)에 의해 원위측 플랜지(23)를 근위측 플랜지(20)에 꽉죈다. 이에 의해, 근위측 플랜지(20)와 원위측 플랜지(23) 사이에 교환용의 블레이드(22)를 고정할 수 있다. 그 후, 제1 흡착부(4)에 의한 교환용의 블레이드(22)의 흡착을 정지함과 함께, 제2 흡착부(5)에 의한 원위측 플랜지(23)의 흡착을 정지한다.Next, as shown in Fig. 9, the adsorption unit 2 is further moved to the far side (the spindle 21 side). Thereby, the distal-side flange 23 comes into contact with the proximal-side flange 20 of the spindle 21 and the replacement blade 22 is inserted between the proximal-side flange 20 and the distal-side flange 23 . The detachable member 24 is rotated by rotating the detachable member rotating portion 6 in the direction opposite to the direction of the arrow 32 to rotate the distal flange 23 against the proximal flange 23, (20). Thereby, the replacement blade 22 can be fixed between the proximal flange 20 and the distal flange 23. Thereafter, the adsorption of the blade 22 for replacement by the first adsorption unit 4 is stopped and the adsorption of the distal-side flange 23 by the second adsorption unit 5 is stopped.

다음에, 도 6에 도시하는 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 근위측(암부(3)측)으로 이동시켜서, 흡착 유닛(2)을 스핀들(21)로부터 떼어놓는다. 이에 의해, 교환용의 블레이드(22)의 스핀들(21)에의 부착이 완료된다.6, the suction unit 2 is moved to the proximal side (the arm 3 side), and the suction unit 2 is released from the spindle 21. Then, as shown in Fig. Thus, the attachment of the replacement blade 22 to the spindle 21 is completed.

이상과 같이, 실시 형태에서는, 블레이드(22)의 자동 교환을 실현할 수 있다.As described above, in the embodiment, the automatic exchange of the blade 22 can be realized.

도 26에, 실시 형태의 블레이드 교환 기구에 이용되는 검출부(100)의 모식적인 평면도를 도시한다. 실시 형태에 있어서, 검출부(100)는, 레이저 센서(101)와, 모터(103)를 구비하고 있다. 검출부(100)는, 모터(103)의 구동에 의해, 레이저 센서(101)의 화살표(102) 방향으로의 이동이 가능해지도록 구성되어 있다.Fig. 26 shows a schematic plan view of the detection part 100 used in the blade exchange mechanism of the embodiment. In the embodiment, the detection unit 100 includes a laser sensor 101 and a motor 103. [ The detection unit 100 is configured to be able to move the laser sensor 101 in the direction of the arrow 102 by driving the motor 103. [

도 27에, 검출부(100)에 의한 블레이드(22)의 마모 및 파손의 적어도 일방의 검출 방법의 한 예의 플로우 차트를 도시한다. 우선, 스텝1(S1)에서, 위치 조정 레이저광 차광률(A)의 측정이 행하여진다. S1은, 예를 들면 이하와 같이 행할 수 있다.Fig. 27 shows a flowchart of an example of a method of detecting at least one of abrasion and breakage of the blade 22 by the detection unit 100. Fig. First, in step 1 (S1), the position adjustment laser light shielding factor A is measured. S1 can be performed, for example, as follows.

우선, 레이저 센서(101)의 위치 조정을 행한다. 여기서, 레이저 센서(101)는, 예를 들면, 레이저광의 출사부(도시 생략)와 레이저광의 검지부(도시 생략)와의 사이에 절단 시작 전의 블레이드(22)의 칼끝(刃先)이 위치하도록 위치 조정이 행하여진다. 다음에, 레이저 센서(101)가 위치 조정된 상태에서 레이저 센서(101)의 출사부로부터 레이저광을 출사하여 검지부에서 검지한다. 그 후, 그 상태에서의 레이저광의 차광률(위치 조정 레이저광 차광률(A))을 측정한다. 위치 조정 레이저광 차광률(A)은, 상기한 레이저 센서(101)의 위치 조정 후이면서 절단 시작 전의 상태에서의 레이저광의 출사량에 대한 레이저광의 검지부에서 검지되는 레이저광의 검지량의 비율이다. 절단 시작 전의 블레이드(22)의 칼끝에 의해 레이저광의 검지부에의 입사가 차단되는 경향에 있기 때문에, 위치 조정 레이저광 차광률(A)은 높아질 수 있다.First, the position of the laser sensor 101 is adjusted. Here, the laser sensor 101 is positionally adjusted such that, for example, the cutting edge of the blade 22 before the start of cutting is positioned between the laser emitting portion (not shown) of the laser beam and the detecting portion . Next, in a state in which the position of the laser sensor 101 is adjusted, laser light is emitted from the emitting portion of the laser sensor 101 and is detected by the detecting portion. Thereafter, the light shielding rate of the laser light (position adjustment laser light shielding factor A) in this state is measured. The position adjustment laser light shielding ratio A is the ratio of the detection amount of the laser light detected by the detection section of the laser light to the output amount of the laser light in the state before the start of cutting and after the position of the laser sensor 101 is adjusted. Since the incidence of the laser light to the detection section is blocked by the cutting edge of the blade 22 before the cutting is started, the position adjustment laser light shielding factor A can be increased.

다음에, 스텝 2(S2)에서, 마모 또는 파손 검출 레이저광 차광률(A')의 측정이 행하여진다. S2는, 예를 들면 이하와 같이 행할 수 있다.Next, in step 2 (S2), the measurement of the wear or breakage detection laser light blocking rate A 'is performed. S2 can be performed, for example, as follows.

우선, 스핀들(21)을 회전시킴에 의해 블레이드(22)를 회전시킨다. 다음에, 회전한 블레이드(22)에 의해 절단 대상물이 절단된다. 다음에, 회전한 블레이드(22)에 의해 절단 대상물을 절단하고 있는 상태에서 레이저 센서(101)의 출사부로부터 레이저광을 출사하고 검지부에서 검지한다. 그 후, 그 상태에서의 레이저광의 차광률(마모 또는 파손 검출 레이저광 차광률(A'))을 측정한다. 절단에 의해 블레이드(22)가 마모 또는 파손된 경우에는 절단 시작 전에 비하여 블레이드(22)의 칼끝에 의해 레이저광의 검지부에의 입사가 차단되기 어려워지기 때문에, 마모 또는 파손 검출 레이저광 차광률(A')은 위치 조정 레이저광 차광률(A)보다도 낮아질 수 있다.First, the blade 22 is rotated by rotating the spindle 21. Next, the object to be cut is cut by the rotated blade 22. Next, laser light is emitted from the emitting portion of the laser sensor 101 while the cutting object is being cut by the rotated blade 22, and is detected by the detecting portion. Thereafter, the light shielding rate (the wear or breakage detection laser light shielding factor A ') of the laser light in this state is measured. When the blade 22 is worn or damaged by cutting, the incidence of the laser beam to the detection portion is difficult to be blocked by the cutting edge of the blade 22 as compared with before the cutting starts, so that the wear or breakage detection laser light blocking rate A ' May be lower than the position adjustment laser light shielding ratio (A).

다음에, 스텝3(S3)에서, S1에서 측정된 레이저광의 차광률(A)과, S2에서 측정된 레이저광의 차광률(A')과의 대비가 행하여진다. 이때, 레이저광의 차광률(A)과 레이저광의 차광률(A')이 동등한 경우에는, 블레이드(22)의 회전에 의한 절단 대상물의 절단은 정지하지 않고, 재차 S2로 되돌아와 마모 또는 파손 검출 레이저광 차광률(A')의 측정이 행하여진다.Next, in step 3 (S3), the contrast ratio A of the laser light measured in S1 is compared with the light-blocking ratio A 'of the laser light measured in S2. At this time, when the light blocking ratio A of the laser light and the light blocking ratio A 'of the laser light are equal to each other, the cutting of the object to be cut by the rotation of the blade 22 is not stopped, The light blocking rate A 'is measured.

한편, S3에서 레이저광의 차광률(A)과 레이저광의 차광률(A')이 같지 않다고 판단되면, 스텝4(S4)에서, 블레이드(22)의 회전을 정지되고 상술한 블레이드(22)의 자동 교환이 실시된다.On the other hand, if it is determined in S3 that the light blocking ratio A and the light blocking ratio A 'of the laser light are not equal to each other, the rotation of the blade 22 is stopped and the above- Exchange is carried out.

상술한 바와 같이, 실시 형태의 블레이드 교환 기구가 블레이드(22)의 마모 및 파손의 적어도 일방이 검출 가능하게 구성되는 검출부(100)를 구비하고 있는 경우에는, 블레이드(22)의 마모 및 파손의 적어도 일방을 검출한 후에 블레이드(22)의 회전에 의한 절단이 자동 정지하여, 실시 형태에서의 블레이드(22)의 자동 교환을 행할 수 있다. 이에 의해 블레이드(22)의 교환의 더한층의 자동화의 실현이 가능해진다.As described above, in the case where the blade exchange mechanism of the embodiment includes the detection portion 100 in which at least one of the abrasion and the breakage of the blade 22 is detectable, the abrasion and breakage of the blade 22 The cutting by the rotation of the blade 22 is automatically stopped after detecting one side, and the blade 22 can be automatically exchanged in the embodiment. As a result, automation of the replacement of the blades 22 can be realized.

이상과 같이 실시 형태에 관해 설명을 행하였지만, 상술한 각 실시 형태의 구성을 적절히 조합시키는 것도 당초부터 예정하고 있다.Although the embodiment has been described as above, it is also originally planned to appropriately combine the configurations of the above-described embodiments.

본 발명의 실시의 형태에 관해 설명하였지만, 금회 개시된 실시의 형태는 모든 점에서 예시이고 제한적인 것이 아니라고 생각되어야 할 것이다. 본 발명의 범위는 청구의 범위에 의해 나타나고, 청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.While the embodiments of the present invention have been described, it should be understood that the embodiments disclosed herein are illustrative and non-restrictive in all respects. It is intended that the scope of the invention be indicated by the appended claims and that all changes which come within the meaning and range of equivalency of the claims are intended to be embraced therein.

여기서 개시된 실시 형태는, 블레이드 교환 기구, 절단 장치 및 블레이드 교환 방법에 이용할 수 있을 가능성이 있다.The embodiments disclosed herein are likely to be applicable to a blade exchange mechanism, a cutting device, and a blade exchange method.

1 : 흡착 암
2 : 흡착 유닛
3 : 암부
4 : 제1 흡착부
4a : 돌출부
4b : 돌출부 근위면
4c : 제1 흡착부 원위면
4x : 제1 흡착구
4y : 제1 흡착홈
4 : 가스 유로
5 : 제2 흡착부
5a : 갈고리형상부
5b : 갈고리형상부 원위면
5c : 갈고리형상부 근위면
5d : 제2 흡착부 원위면
5x : 제2 흡착구
5y : 제2 흡착홈
5 : 가스 유로
6 : 탈착 부재 회전부
6a : 돌출부
6b : 회전부 근위면
7 : 제3 스프링
8 : 제2 스프링
9 : 회전 구동 부재
9a : 근위측 돌출부 원위면
10 : 축
11 : 연결부
11a : 돌출부
11b : 연결부 내측 근위면
11c : 연결부 외측 근위면
12 : 가스 흡인구
13 : 가스 유로
15 : 슬리브
15a : 수용부
15b : 지지부
15c : 수용부 근위면
15d : 지지부 원위면
16 : 제1 스프링
20 : 근위측 플랜지
21 : 스핀들
22 : 블레이드
23 : 원위측 플랜지
24 : 탈착 부재
24a : 관통구멍
25 : 제2의 스핀들
31, 32 : 화살표
40 : 이동 기구
41 : 제1 슬라이드 기구
42 : 제2 슬라이드 기구
43 : 제1 회전 기구
44 : 제2 회전 기구
51 : 수납부
53a : 제1의 블레이드 매거진
53b : 제2의 블레이드 매거진
53c : 제3의 블레이드 매거진
54a : 제1의 블레이드 누름부재
54b : 제2의 블레이드 누름부재
54c : 제3의 블레이드 누름부재
61, 62, 71, 72 : 화살표
81 : 화살표
82 : 제1 가상면
91, 92 : 화살표
93 : 제2 가상면
100 : 검출부
101 : 레이저 센서
102 : 화살표
103 : 모터
110 : 검사용 테이블
111 : 절단 장치
112 : 밀봉완료 기판
113 : 기판 공급 기구
114 : 절단용 테이블
115 : 이동 기구
116 : 회전 기구
120 : 블레이드 교환 기구
121 : 절단완료 기판
122 : 트레이1: Adsorption arm
2: Adsorption unit
3:
4: First adsorption part
4a:
4b: protruding proximal face
4c: the first adsorption part
4x: first adsorption port
4y: first adsorption groove
4: Gas channel
5: Second adsorption part
5a:
5b: a claw-like part circular surface
5c: the proximal portion of the claw-
5d: the second adsorbing part circumferential surface
5x: second adsorption port
5y: second adsorption groove
5: Gas flow
6:
6a:
6b: proximal surface of the rotation part
7: Third spring
8: Second spring
9:
9a: proximal side protrusion circumference
10: Axis
11: Connection
11a:
11b: proximal side of the connecting part
11c: proximal lateral side of the junction
12: Gas intake
13: Gas channel
15: Sleeve
15a:
15b:
15c:
15d: supporting member circumferential surface
16: first spring
20: proximal flange
21: Spindle
22: Blade
23: circle upper flange
24: Desorption member
24a: Through hole
25: Second spindle
31, 32: arrow
40:
41: first slide mechanism
42: second slide mechanism
43: a first rotating mechanism
44: second rotating mechanism
51:
53a: first blade magazine
53b: Second blade magazine
53c: Third blade magazine
54a: a first blade pressing member
54b: the second blade pressing member
54c: third blade pressing member
61, 62, 71, 72: Arrow
81: Arrow
82: first imaginary plane
91, 92: Arrow
93: second imaginary plane
100:
101: Laser sensor
102: Arrow
103: Motor
110: Inspection table
111: Cutting device
112: Sealed substrate
113: substrate feed mechanism
114: Cutting table
115:
116: Rotation mechanism
120: blade exchange mechanism
121: Cutting completed substrate
122: Tray

Claims

A first adsorption portion configured to adsorb the blade,
A second adsorption unit located inside the first adsorption unit and configured to adsorb a flange or hub independently of adsorption by the first adsorption unit;
And a detachable member rotating part which is located inside the second suction part and is rotatable about a detachable member for detachably attaching the blade to the spindle.

The method according to claim 1,
Wherein the detachable member is a nut.

The method according to claim 1,
Also provided is an arm portion,
Wherein the arm portion is attached to an adsorption unit including the first adsorption portion, the second adsorption portion, and the desorption member rotation portion.

The method of claim 3,
Further comprising a housing portion capable of housing the exchangeable blade.

5. The method of claim 4,
A moving mechanism is also provided,
Wherein the moving mechanism is configured to move the adsorption unit between a first operating position at which the blade is detachable and a second operating position at which the exchange blade can be taken out from the housing section. .

6. The method of claim 5,
Wherein the moving mechanism includes a first slide mechanism configured to move the adsorption unit in a first direction, a second slide mechanism configured to be movable in a second direction intersecting the first direction, And a rotating mechanism configured to rotate the adsorption unit.

The method according to claim 6,
The rotation mechanism includes a first rotation mechanism configured to rotate the adsorption unit on the first imaginary plane and a second rotation mechanism configured to rotate the adsorption unit on the second imaginary plane different from the first imaginary plane, And a mechanism is provided.

8. The method according to any one of claims 1 to 7,
Characterized in that at least one of abrasion and breakage of the blade is detectable so as to be detectable.

A cutting apparatus comprising the blade changing mechanism according to claim 1, the blade, and the spindle.

A second adsorption portion located inside the first adsorption portion and configured to adsorb a flange or a hub independently of adsorption by the first adsorption portion; And a detachable member rotating portion that is rotatably disposed on an inner side of the suction portion and is configured to allow the detachable member to detachably attach the blade to the spindle,
The blade is attracted by the first attracting portion and is attracted to the flange or the hub by the second attracting portion independently of the attracting by the first attracting portion, A step of detaching the detachable member from the spindle by rotating the detachment member,
Moving the adsorption unit including the first adsorption unit, the second adsorption unit, and the detachment member rotation unit to a storage unit;
Releasing the suction by the first suction unit to store the blade in the storage unit;
A step of adsorbing the exchangeable blades stored in the storage section by the first adsorption section,
Moving the adsorption unit and inserting the replacement blade into the spindle;
And a step of fixing the exchangeable blade to the spindle by rotating the detachment member by the detachment member rotation part.

11. The method of claim 10,
Further comprising the step of detecting at least one of abrasion and breakage of the blade.