KR20180135501A - Themal testing apparatus for flatpanel display - Google Patents

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KR20180135501A
KR20180135501A KR1020170072861A KR20170072861A KR20180135501A KR 20180135501 A KR20180135501 A KR 20180135501A KR 1020170072861 A KR1020170072861 A KR 1020170072861A KR 20170072861 A KR20170072861 A KR 20170072861A KR 20180135501 A KR20180135501 A KR 20180135501A
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Abstract

Provided is a thermal image testing apparatus for a display panel through cell alignment. The thermal image testing apparatus includes: a base; a stage unit disposed at an upper portion of the base, in which a test object having a contact pad and a cell is seated on the stage unit in such a way as to be transferred in all directions on a horizontal plane; a gantry unit provided with a thermal image camera disposed at an upper portion of the stage unit in order to detect a point where a fault is generated by sensing temperature of the test object, in which the thermal image camera can be transferred in all directions at the upper portion of the stage unit; and a probe unit having an aligning camera arranged below the test object to photograph the rear side of the test object, and a probe pin aligned through information captured by the aligning camera and getting in contact with the contact pad to apply electric current. The thermal image camera senses the temperature while being transferred in one direction from an upper portion of the cell to which electric current is applied.

Description

셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치{THEMAL TESTING APPARATUS FOR FLATPANEL DISPLAY}THEMAL TESTING APPARATUS FOR FLATPANEL DISPLAY FIELD OF THE INVENTION [0001]

본 발명은 디스플레이패널의 불량픽셀을 검출하기 위한 열화상 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다양한 형태를 지닌 OLED셀에 프로브핀을 접촉하여 전류를 인가하고 특이온도가 표시되는 불량위치를 검출할 수 있도록 한 열화상 검사장치에 관한 것이다.[0001] The present invention relates to an image inspection apparatus for detecting defective pixels in a display panel, and more particularly, to an image inspection apparatus for detecting defective pixels in which a specific temperature is displayed by applying a current to a probe pin in contact with an OLED cell having various shapes The present invention relates to an apparatus for inspecting an image of an image.

일반적으로 디스플레이패널은 영상을 표시하기 위한 장치로서 널리 실시되고 있다.2. Description of the Related Art Generally, a display panel is widely used as an apparatus for displaying an image.

스마트폰, 태블릿과 같은 휴대장치의 발달로 다양한 형태의 디스플레이패널이 실시되고 있고, 영상을 표시하기 위한 수단으로서만이 아닌 터치 방식의 입력이 가능하도록 구현이 되는 등 기술집약적 산업으로서 그 개발 및 개량이 빠르게 진행되고 있다.Various types of display panels are being developed due to the development of portable devices such as smart phones and tablets, and a technology-intensive industry such as a touch-type input is possible not only as means for displaying images, but also as a technology- It is going fast.

영상을 표시하기 위한 목적이나 정전용량의 변화를 감지하여 전기적 신호로서 변환하여 입력하기 위한 목적의 디스플레이패널은 기본적으로 수많은 픽셀의 조합으로 구현된다.A display panel for the purpose of displaying an image or detecting a change in electrostatic capacitance and converting it into an electrical signal for input is basically implemented by a combination of a number of pixels.

수많은 픽셀들의 조합으로 인해 특정한 빛을 표시하거나 특정한 전기적 신호를 입력받을 수 있도록 구현되므로, 각각의 픽셀들이 유기적으로 작동 되어야 한다.Since a combination of a large number of pixels is implemented to display a specific light or receive a specific electrical signal, each pixel must be operated organically.

하지만, 다양한 공정을 거치며 제작되는 디스플레이패널의 픽셀들 중 일부에 불량이 발생될수 있어 이를 검수하기 위한 장치나 방법들을 필요로 하여왔다.However, defects may occur in some of the pixels of the display panel manufactured through various processes, and therefore, devices and methods for inspecting the defective pixels have been required.

종래에는 디스플레이패널의 셀에 전기적 신호를 인가하여, 특정범위 내의 픽셀들에 불량이 존재하는지를 검수하는 방법이 널리 실시되어 왔다.Conventionally, it has been widely practiced to apply an electrical signal to a cell of a display panel to check whether there is a defect in pixels within a specific range.

하지만, 다수개의 OLED셀이 하나의 기판이 일정한 배열로 배치되어 있는 디스플레이 기판의 경우 또는 각각의 OLED셀을 검수하기 위해 기계적인 이송 및 컨텍동작이 반복되도록 작동되도록 하였으나, 정밀한 컨텍이 요구되는 OLED셀과 프로브핀의 위치가 정확하게 일치되지 못하는 경우가 자주 발생하게 된다는 문제점이 있었다.However, in the case of a display substrate in which a plurality of OLED cells are arranged in a constant arrangement or a mechanical transfer and a contact operation are repeated in order to inspect each OLED cell, the OLED cell And the position of the probe pin can not be precisely matched.

그리고, OLED셀을 지닌 기판의 경우 다양한 형태 및 크기로 구현될 수 있어, 각기 다른 형태 및 크기를 지닌 OLED셀에 범용적으로 검사 장치가 활용되는 것이 어려웠고, 셀에 전기적 신호를 인가하여 불량을 검수하는 방법으로는 불량이 발생된 셀을 특정하기 위한 시간이 길게 소요되었고, 이러한 검사시간의 증가는 생산성의 저하로 귀결되었다.In addition, since the substrate having OLED cells can be implemented in various shapes and sizes, it has been difficult to widely use an inspection apparatus for OLED cells having different shapes and sizes, and an electric signal is applied to the cells, In this method, it takes a long time to identify the cell in which the failure occurred, and the increase in the inspection time resulted in a decrease in the productivity.

따라서 이와 같은 문제점들을 해결하기 위한 방법이 요구된다.Therefore, a method for solving such problems is required.

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, 기판에 정렬된 OLED셀의 컨텍패드가 프로브핀과 정확한 위치에 배열될 수 있도록 셀 얼라인이 수행되고, 각각의 OLED셀에서 온도를 계측함으로써 불량이 발생된 픽셀의 정확한 위치를 획득할 수 있도록 한 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치를 제공하기 위함이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the problems of the conventional art described above, in which cell alignment is performed so that the contact pads of the OLED cells aligned on the substrate can be arranged at precise positions with respect to the probe pins, The present invention provides an apparatus for inspecting a thermal image of a display panel through a cell alignment so as to obtain an accurate position of a defective pixel by measuring a temperature.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치는 베이스, 베이스의 상부에 구비되고, 컨텍패드 및 셀로 구성되는 검사대상물이 안착되며, 검사대상물이 수평한 평면상에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 스테이지유닛, 스테이지유닛의 상부에 마련되고, 검사대상물의 온도를 감지하여 불량이 발생한 지점을 검출하는 열화상카메라가 구비되며, 열화상카메라가 스테이지유닛의 상부에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 겐트리유닛 및 검사대상물의 하부에 배치되어 검사대상물의 배면을 촬상하는 정렬카메라와 정렬카메라를 통해 촬상된 정보를 통해 정렬되어 컨텍패드에 접촉하여 전류를 인가하는 프로브핀이 구비되는 프로브유닛을 포함하고, 프로브핀이 접촉되어 전류가 인가된 셀의 상부에서 열화상카메라가 일방향으로 이송되며 온도를 감지한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array, the apparatus comprising: a base; And a thermal imaging camera provided at an upper portion of the stage unit for detecting a temperature at which the inspection object is sensed and detecting a defect, and a thermal imaging camera is provided on the upper portion of the stage unit A gantry unit provided to be able to be moved forward, backward, leftward and rightward, and an alignment camera arranged at a lower portion of the object to be inspected to pick up an image of the back surface of the object to be inspected, And a probe unit including a probe pin to which a current is applied, Thermal camera is transferred in one direction at the top is to sense the temperature.

그리고, 스테이지유닛은 검사대상물이 상면에 안착되는 안착플레이트 및 베이스에 구비되어 안착플레이트를 지지하며 안착플레이트의 전후좌우 이동 및 기울기를 조절하는 정렬구동부를 포함한다.The stage unit includes a seating plate on which an object to be inspected is seated on an upper surface thereof, and an alignment driver for supporting the seating plate and adjusting the movement of the seating plate in the front and rear directions.

또는, 정렬구동부는 안착플레이트가 승강되도록 구비된다.Alternatively, the alignment driving unit is provided to raise and lower the seating plate.

그리고, 겐트리유닛은 열화상카메라가 좌우 이송이 가능하게 결합되는 가로이송파트 및 가로이송파트가 전후 이송이 가능하게 결합되는 세로이송파트를 포함하고, 열화상카메라는 가로이송파트에 결합된다.The gantry unit includes a transverse conveying part in which the thermal imaging camera is coupled so as to be capable of being horizontally conveyed, and a vertical conveying part in which the transverse conveying part is coupled so as to be capable of conveying back and forth, and the thermal imaging camera is coupled to the transverse conveying part.

또는, 가로이송파트는 열화상카메라가 전후 이송되는 경로상에 배치되고, 검사대상물의 상면을 확대 촬영할 수 있도록 구비되되 열화상카메라와 전후방향의 일직선상에 배치되는 마이크로스코프를 포함한다.Alternatively, the transverse transfer part is disposed on a path through which the thermal imaging camera is transferred back and forth, and includes a thermal imaging camera and a microscope arranged on a straight line in the front-rear direction so as to enlarge the upper surface of the object to be inspected.

그리고, 열화상카메라는 열화상카메라의 좌표가 산출되도록, 열화상카메라와 인접하여 배치되며 검사대상물의 상면을 촬상하는 원점카메라를 더 포함한다.The thermal imaging camera further includes an origin camera disposed adjacent to the thermal imaging camera so as to calculate the coordinates of the thermal imaging camera and capturing an image of the upper surface of the object to be inspected.

또는, 정렬카메라는 스테이지유닛의 하부에 배치되어 상부를 촬상가능하게 구비되고, 프로브핀은 승강 및 좌우 이송되도록 구비된다.Alternatively, the alignment camera may be disposed at a lower portion of the stage unit so as to be capable of imaging the upper portion, and the probe pin may be vertically and laterally moved.

그리고, 검사대상물의 배면에 표시된 셀마크를 촬상하여 획득된 위치정보가 정렬카메라로부터 입력되고, 위치정보에 따라 스테이지유닛 및 프로브핀의 이송을 제어하여 셀과 프로브핀이 접촉되도록 제어가 수행되는 제어부를 포함한다.The control unit controls the transfer of the stage unit and the probe pin according to the position information so that the cell and the probe pin are brought into contact with each other by the positional information obtained by imaging the cell mark displayed on the back surface of the inspection object, .

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치는 OLED셀의 온도를 감지하여 불량이 발생된 픽셀을 도출하게 되므로, 보다 신속하게 많은 수의 OLED셀의 검수를 진행할 수 있는 효과가 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array, the method comprising: sensing a temperature of the OLED cell to derive a pixel having a defect; It is possible to proceed with the operation.

그리고, 불량이 발생된 픽셀의 위치를 정확하게 획득할 수 있는 장점과 함께 물리적인 관측이 가능하여 발생된 불량 픽셀의 위치 뿐만 아니라 불량에 대한 진단도 가능하다는 장점이 있다.In addition, it is possible to accurately acquire the position of the defective pixel, and it is possible to physically observe the position of the defective pixel as well as to diagnose the defective pixel.

또한, 셀 얼라인을 통해 다양한 형태의 OLED셀이 프로브핀과 정확한 위치에서 접촉될 수 있으며, 기판이 안착되는 스테이지유닛과 프로브핀이 상호 이송 가능하게 구비되므로 빠른 정렬이 수행되는 효과가 있다.In addition, various types of OLED cells can be brought into contact with the probe pins at precise positions through the cell alignment, and the stage unit in which the substrate is mounted and the probe pins can be transported to each other.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사징치의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 부분 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 열화상카메라를 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 스테이지유닛을 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 겐트리유닛을 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 프로브핀을 나타낸 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 정렬카메라를 나타낸 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 검사대상물인 기판의 평면도 및 배면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치에서 열화상카메라를 통해 온도 특이점을 도식화한 상태도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치를 통해 촬상된 불량픽셀의 이미지이다.
1 is a perspective view of an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention.
2 is a front view of a thermal imaging examination of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention.
3 is a partial perspective view of an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view illustrating a thermal imaging camera of an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention.
5 is a perspective view illustrating a stage unit of an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention.
6 is a perspective view illustrating a gantry unit of an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention.
7 is a perspective view illustrating a probe pin of an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention.
8 is a perspective view showing an alignment camera of an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention.
9 is a plan view and a rear view of a substrate, which is an object to be inspected by an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention.
10 is a schematic diagram illustrating a temperature singularity point through a thermal imaging camera in an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention.
11 is an image of a defective pixel captured through an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention.

이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In describing the present embodiment, the same designations and the same reference numerals are used for the same components, and further description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사징치의 정면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 부분 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view of an apparatus for inspecting a thermal image of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic view of an apparatus for inspecting a thermal image of a display panel through a cell array according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG. 3 is a partial perspective view of an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG.

도 1 내지 도 3에 도시된 바를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치는 하기 되는 것과 같이 실시될 수 있다.Referring to FIGS. 1 to 3, an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention may be implemented as follows.

베이스(100), 베이스(100)의 상부에 구비되고, 적어도 하나 이상의 셀(OLED셀, 20)로 구성되는 검사대상물(P)이 안착되며, 검사대상물(P)이 수평한 평면상에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 스테이지유닛(200), 스테이지유닛(200)dlm 상부에 마련되고, 검사대상물(P)의 온도를 감지하여 불량이 발생된 지점을 검출하는 열화상카메라(334)가 구비되며, 열화상카메라(334)는 스테이지유닛(200)의 상부에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 겐트리유닛(300) 및 검사대상물(P)의 하부에 배치되어 검사대상물(P)의 배면을 촬상하는 정렬카메라(420)와 정렬카메라(420)를 통해 촬상된 정보를 통해 정렬되어 복수 개의 셀(20) 각각의 컨텍패드(30)에 순차적으로 접촉하여 전류를 인가하는 프로브핀(410)이 구비되는 프로브유닛(400)이 포함되고, 복수 개의 셀(20) 중 프로브핀(410)이 접촉되어 전류가 인가된 셀(20)의 상부에서 열화상카메라(334)가 일방향으로 이송되며 온도를 감지하게 된다.A base 100 and an inspection object P provided on the base 100 and composed of at least one cell (OLED cell) 20 are seated and the inspection object P is arranged on the horizontal plane A thermal imager 334 provided above the stage unit 200 dlm for detecting a temperature at which the inspection object P is sensed and detecting a defect, The thermal imaging camera 334 includes a gantry unit 300 provided so as to be able to be moved forward, back, left and right at the upper portion of the stage unit 200 and a gantry unit 300 disposed below the inspection object P, A probe pin 410 for sequentially applying contact to the contact pads 30 of each of the plurality of cells 20 through the aligning camera 420 for picking up images and the information picked up through the alignment camera 420, And a plurality of probes (not shown) Pin 410 is the camera image 334 in the open top of the cell 20 is applied to the contact current is transferred in one direction will sense the temperature.

아래에서는 상기된 각각의 구성을 구체적으로 자세하게 설명한다.Each of the above-described configurations will be described in detail below.

베이스(100)는 바닥면과 접하여 넓게 형성되는 판상의 부재로서, 스테이지유닛(200), 겐트리유닛(300)이 결합되어 지지될 수 있도록 구비될 수 있다.The base 100 is a plate-shaped member that is formed in contact with the bottom surface, and may be provided so that the stage unit 200 and the gantry unit 300 can be coupled and supported.

베이스(100)는 판상의 부재로 한정되는 것은 아니고, 바닥면에 견고하게 지지될 수 있도록 프레임 형태로 구현될 수 있고, 본 발명이 적용되는 실시예에 따라 다양한 형상으로 구현될 수 있다.The base 100 is not limited to a plate-shaped member, but may be embodied as a frame so as to be firmly supported on a floor, and may be embodied in various forms according to an embodiment to which the present invention is applied.

베이스(100)의 상면에는 일방향 및 이와 직교하는 방향으로의 이송이 가능하도록 레일이 구비될 수 있다.A rail may be provided on the upper surface of the base 100 so that the upper surface of the base 100 can be conveyed in one direction and in a direction orthogonal thereto.

스테이지유닛(200)은 베이스(100)의 상면에 형성되는 레일을 따라 수평하게 전후좌우 이동이 가능하게 구비되고, 검사대상물(P)인 기판(10)이 상면에 안착되는 안착플레이트(210), 베이스(100)의 상부에서 결합되고 안착플레이트(210)를 하부에서 지탱하며, 안착플레이트(210)의 전후좌우 이송 및 기울기를 조절할 수 있도록 구비되는 정렬구동부(220)로 구성될 수 있다.The stage unit 200 includes a seating plate 210 provided horizontally and horizontally along the rail formed on the upper surface of the base 100 and having a substrate 10 as an object to be inspected P, And an alignment driving unit 220 which is coupled to the upper portion of the base 100 and supports the seating plate 210 at the lower portion and adjusts the forward and backward and leftward and rightward movement and inclination of the seating plate 210.

안착플레이트(210)는 상면이 편평하게 형성되어, 적어도 하나 이상의 기판(10)이 상면에 접하여 안착될 수 있도록 구비된다.The seating plate 210 is formed so that its top surface is flat and at least one or more substrates 10 can be seated in contact with the upper surface.

또한, 상면에는 기판(10)이 기 설정된 위치에 안착될 수 있도록 가이드부재(미도시)가 구비될 수 있다.In addition, a guide member (not shown) may be provided on the upper surface so that the substrate 10 can be seated at a predetermined position.

정렬구동부(220)는 안착플레이트(210)와 베이스(100)를 상호 연결하고, 안착플레이트(210)가 지탱될수 있도록 구비되며, 안착플레이트(210)가 베이스(100)의 상부에서 수평한 면을 기준으로 전진, 후진 및 좌측과 우측으로의 이동이 가능하도록 구비된다.The alignment drive unit 220 interconnects the mounting plate 210 and the base 100 and is provided to support the mounting plate 210. The mounting plate 210 is disposed on the upper surface of the base 100, Forward, backward, and leftward and rightward movement based on the reference.

또한, 안착플레이트(210)의 적어도 일부를 높이거나 낮출 수 있도록 구비되어 안착플레이트(210)가 수평을 유지할 수 있도록 구동될 수 있고, 안착플레이트(210)가 수평을 유지한 상태로 상승 또는 하강되도록 구비될 수 있다.The seating plate 210 can be driven to raise or lower at least a part of the seating plate 210 so that the seating plate 210 can be maintained to be horizontal, .

이러한 정렬구동부(220)의 작동은 다수 개의 모터구동을 통해 구현될 수 있고, 또는 유압을 이용한 실린더의 작동을 통해 구현될 수 있으며, 이는 본 발명이 적용되는 실시예에 따라 다양한 구동수단을 통해 실시될 수 있을 것이다.The operation of the alignment driving unit 220 may be realized by driving a plurality of motors or by operating a cylinder using hydraulic pressure, which may be performed by various driving means according to the embodiment to which the present invention is applied. .

겐트리유닛(300)은 가로이송파트(310) 및 세로이송파트(320)가 포함될 수 있고, 가로이송파트(310) 또는 세로이송파트(320)에 감지파트(330)가 결합되어 종국적으로 감지파트(330)가 가로이송파트(310) 및 세로이송파트(320)의 유기적인 동작에 가로이송 및 세로이송이 가능하게 구비될 수 있다.The gantry unit 300 may include a transverse transfer part 310 and a vertical transfer part 320 and the sensing part 330 may be coupled to the transverse transfer part 310 or the vertical transfer part 320 to ultimately detect The part 330 can be provided so as to be transversely and vertically conveyed to the organic movement of the horizontal transfer part 310 and the vertical transfer part 320.

감지파트(330)는 가로이송파트(310) 또는 세로이송파트(320)에 결합되어 가로이송 및 세로이송이 가능하도록 구비되고, 본 발명의 일 실시예에서는 도 1내지 도 3에 도시된 바와 같이, 세로이송파트(320)를 통해 가로이송파트(310)가 세로이송될 수 있도록 구비되고, 가로이송파트(310)에 감지파트(330)가 가로이송이 가능하도록 결합되어 실시될 수 있다.The sensing part 330 is coupled to the horizontal transfer part 310 or the vertical transfer part 320 to be capable of lateral transfer and vertical transfer. In one embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 1 to 3 The vertical transfer part 310 may be vertically transferred through the vertical transfer part 320 and the sensing part 330 may be coupled to the horizontal transfer part 310 so that the transfer part 310 can be transferred horizontally.

감지파트(330)는 가로이송파트(310)에 가로이송이 가능하도록 결합되는 하우징(332)이 구비될 수 있고, 하우징(332)의 일측에 열화상카메라(334) 및 원점카메라(336)가 구비되며, 타측에는 마이크로스코프(338)가 더 포함될 수 있다.The sensing part 330 may be provided with a housing 332 coupled to the transverse conveying part 310 so that the transverse conveying part 310 can be transversely conveyed, and the thermal imaging camera 334 and the origin camera 336 are provided on one side of the housing 332 And a microscope 338 may be further provided on the other side.

본 발명의 일 실시예에서는 도 1 내지 도 3에 도시된 바를 참조하여, 가로이송파트(310)를 통한 가로이송을 좌우방향, 세로이송파트(320)를 통한 세로이송을 전후방향이라 하기로 한다.In one embodiment of the present invention, lateral transfer through the lateral transfer part 310 is referred to as lateral direction, and vertical transfer through the vertical transfer part 320 is referred to as forward and backward directions, with reference to FIGS. 1 to 3 .

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 열화상카메라를 나타낸 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 스테이지유닛을 나타낸 사시도이며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 겐트리유닛을 나타낸 사시도이다.FIG. 4 is a perspective view illustrating a thermal imaging camera of an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an exemplary embodiment of the present invention, FIG. 5 is a cross- FIG. 6 is a perspective view showing a gantry unit of an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention. FIG.

도 4에 도시된 바와 같이, 열화상카메라(334) 및 원점카메라(336)는 촬상 방향이 서로 평행하도록 인접하게 배치되고, 하우징(332)의 일측에 결합되어 안착플레이트(210)의 상면을 향해 연직상방에서 아래방향으로 촬상 가능하게 구비될 수 있다.4, the thermal imager 334 and the origin camera 336 are disposed adjacent to each other so that the imaging directions are parallel to each other, and are coupled to one side of the housing 332 to face the upper surface of the seating plate 210 And can be provided so as to be capable of imaging in the downward direction from the vertical direction.

열화상카메라(334)는 촬상되는 영역의 온도를 감지하여 특이온도가 나타난 지점을 감지할 수 있도록 구비되고, 원점카메라(336)는 기 입력된 열화상카메라(334)와의 거리 d를 변수로 하여 열화상카메라(334)를 통해 촬상되는 영역의 좌표를 감지하기 위해 구비된다.The thermal camera 334 is provided to detect the temperature at which the specific temperature is sensed by sensing the temperature of the area to be imaged, and the origin camera 336 measures the distance d from the thermal camera 334 And is provided for sensing the coordinates of the area imaged through the thermal imager 334.

상세하게는, 원점카메라(336)는 감지대상물(P)의 상면 또는 안착플레이트(210)의 상면에 표시된 좌표정보가 촬상되도록 구동될 수 있고, 감지된 좌표정보와 열화상카메라(334)와의 거리 d를 연산하여 열화상카메라(334)가 온도를 감지하기 위해 촬상하고 있는 영역의 좌표를 산출하게 된다.More specifically, the origin camera 336 can be driven so that the coordinate information displayed on the upper surface of the sensing object P or the upper surface of the seating plate 210 is captured, and the distance between the sensed coordinate information and the infrared camera 334 d to calculate the coordinates of the area captured by the thermal imaging camera 334 to sense the temperature.

마이크로스코프(338)는 열화상카메라(334)가 세로이송파트(320)에 의해 전후 이송되는 과정에서 일직선상에 배치되고, 열화상카메라(334)를 통해 감지된 불량위치를 고배율로 확대하여 관찰할 수 있도록 구비된다.The microscope 338 is disposed in a straight line in the course of forward and backward movement of the thermal imaging camera 334 by the vertical conveying part 320 and enlarges and displays the defective position detected by the thermal imaging camera 334 at a high magnification .

열화상카메라(334) 및 마이크로스코프(338)가 전후방향의 일직선상에 배치되는 것은 열화상카메라(334)를 통해 감지된 정보를 통해 마이크로스코프(338)가 이송되는 과정에서 가로이송파트(310)의 동작없이도, 세로이송파트(320)의 동작만으로 빠르게 불량위치로 마이크로스코프(338)가 이송될 수 있도록 하기 위함이다.The arrangement of the thermal imaging camera 334 and the microscope 338 on a straight line in the anteroposterior direction allows the horizontal transfer part 310 to be moved in the process of transferring the microscope 338 through the information sensed by the thermal imaging camera 334 So that the microscope 338 can be quickly transferred to the defective position only by the operation of the vertical transfer part 320. [

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 프로브핀을 나타낸 사시도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 정렬카메라를 나타낸 사시도이다.FIG. 7 is a perspective view illustrating a probe pin of an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG. 8 is a cross- 1 is a perspective view showing an alignment camera of the thermal imaging apparatus. Fig.

도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면 프로브유닛(400)은 안착플레이트(210)의 하부에 배치되어 검사대상물(P)의 배면을 촬영할 수 있도록 구비되는 정렬카메라(420)와 정렬카메라(420)를 통해 감지된 위치 정보를 통해 이송되어 검사대상물(P)의 컨텍패드(30)에 접하여 전류를 인가하는 프로브핀(410)이 포함될 수 있다.7 and 8, according to an embodiment of the present invention, the probe unit 400 includes a positioning camera 210 disposed at a lower portion of the seating plate 210 and capable of photographing the back surface of the inspection object P, And a probe pin 410 which is transferred through the position information detected through the alignment camera 420 and the alignment camera 420 to apply a current in contact with the contact pad 30 of the inspection object P. [

프로브핀(410)은 좌우 이송이 가능하도록 구비되고, 안착플레이트(210)의 상면에 안착되어 있는 검사대상물(P)인 기판(10)에 접촉하여 기판(10)의 특정라인 또는 특정범위에 전원이 인가되도록 구비된다.The probe pin 410 is provided so as to be capable of being conveyed in the left and right direction and contacts the substrate 10 which is the inspection object P placed on the upper surface of the seating plate 210, .

상세하게는, 본 발명의 일 실시예에서 검사대상물(P)인 기판(10)은 다수 개의 OLED셀(20)이 포함될 수 있고, 또는 다양한 형태를 지닌 OLED셀에 적용될 수 있으며, OLED셀(20)은 상면에 컨텍패드(30)가 형성되며, 배면에는 OLED셀(20)의 위치를 표시하는 셀마크(40)가 형성될 수 있다.In detail, in one embodiment of the present invention, the substrate 10, which is the object P to be inspected, may include a plurality of OLED cells 20, or may be applied to OLED cells having various shapes, A contact pad 30 is formed on the upper surface and a cell mark 40 indicating the position of the OLED cell 20 is formed on the back surface.

프로브핀(410)은 후술될 정렬카메라(420)를 통해 셀마크(40)가 감지되어 OLDE셀(20)의 위치정보가 입력되면, OLED셀(20)에 형성된 컨텍패드(30)에 접촉하여 적어도 하나 이상의 OLED셀(20)에 전원을 인가하게 된다.The probe pin 410 contacts the contact pad 30 formed on the OLED cell 20 when the cell mark 40 is sensed through the alignment camera 420 to be described later and the positional information of the OLDE cell 20 is inputted So that at least one or more OLED cells 20 are powered.

따라서, 프로브핀(410)은 베이스(100)의 상부에서 전후좌우 이송 및 승강 가능하게 구비될 수 있고, 본 발명이 적용되는 실시예에 따라서 전후이송 또는 좌우이송만이 수행되어 승강가능하게 구비될 수도 있다.Accordingly, the probe pin 410 can be provided to be vertically movable in the front and rear directions of the base 100. According to an embodiment to which the present invention is applied, the probe pin 410 can be moved up and down, have.

전원이 인가된 OLED셀(20)에 상술하였던 열화상카메라(334)가 이송되어 상부에서 온도를 감지하게 되고, 특이 온도를 나타내는 지점을 불량픽셀이 발생된 지점으로 특정하여 마이크로스코프(338)를 통해 세부관찰을 수행할 수 있게 된다.The thermal imaging camera 334 described above is transferred to the OLED cell 20 to be supplied with power and the temperature is sensed at the upper part. The point indicating the specific temperature is specified as the point where the defective pixel is generated, and the microscope 338 So that detailed observations can be performed.

정렬카메라(420)는 안착플레이트(210)에 안착되는 검사대상물(P)의 배면을 연직하부에서 상부를 향해 촬상 가능하도록 적어도 하나 이상이 구비되고, 기판(10)의 배면에 각각의 OLED셀(20)의 위치를 나타내기 위해 표시된 셀마크(40)를 감지하게 된다.The alignment camera 420 includes at least one or more OLED cells (not shown) disposed on the rear surface of the substrate 10 so that the rear surface of the object P to be placed on the mounting plate 210 can be imaged from the bottom to the top 20 to indicate the position of the cell mark 40. [

또한, 정렬카메라(420)에 의해 기판(10)의 배면에 형성된 셀마크(40)가 감지되면, 셀마크(40)의 촬영을 통해 특정된 위치 정보가 입력되고, 이 정보에 따라서 스테이지유닛(200)의 정렬구동부(220)를 구동시켜 안착플레이트(210) 상의 검사대상물(P)을 이송시키고, 가로이송파트(310) 및 세로이송파트(320)의 이송을 제어하여 열화상카메라(334)의 위치를 제어하며, 프로브핀(410)의 이송 및 승강작동을 제어하게 되는 제어부(미도시)가 더 포함될 수 있다.When the cell mark 40 formed on the back surface of the substrate 10 is detected by the alignment camera 420, position information specified through photographing of the cell mark 40 is input, and the stage unit The alignment drive unit 220 of the thermal imaging camera 334 drives the alignment driving unit 220 to transfer the inspection object P on the seating plate 210 and control the transfer of the horizontal transfer part 310 and the vertical transfer part 320, And a control unit (not shown) for controlling the position of the probe pin 410 and controlling the transfer and elevation of the probe pin 410.

제어부(미도시)는 정렬카메라(420)를 통해 획득된 셀마크(40) 정보를 통해 검사대상이 되는 OLED셀(20)의 위치를 특정하게 되고, 특정된 OLED셀(20)의 컨텍패드(30)가 프로브핀(410)과 접촉될 수 있도록 안착플레이트(210) 및 프로브핀(410)의 이송 및 승강을 제어하게 된다.The control unit (not shown) specifies the position of the OLED cell 20 to be inspected through the information of the cell mark 40 obtained through the alignment camera 420, 30 and the probe pins 410 so that they can be brought into contact with the probe pins 410.

또한, 제어부(미도시)는 프로브핀(410)과 컨텍패드(30)의 접촉이 수행된 후, 검사대상이 되는 OLED셀(20)의 상부로 열화상카메라(334)가 이송되도록 제어할 수 있다.The control unit may control the transfer of the thermal imaging camera 334 to the upper portion of the OLED cell 20 to be inspected after the contact between the probe pin 410 and the contact pad 30 is performed. have.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 검사대상물인 기판의 평면도 및 배면도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치에서 열화상카메라를 통해 온도 특이점을 도식화한 상태도이며, 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치를 통해 촬상된 불량픽셀의 이미지이다.FIG. 9 is a plan view and a rear view of a substrate to be inspected by an apparatus for inspecting an image of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a cross- FIG. 11 is a view showing a state in which a temperature singularity is diagrammed through a thermal imaging camera in a thermal image inspection apparatus of a display panel through a cell array according to an embodiment of the present invention. It is an image of a pixel.

도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에서 검사대상물(P)은 상면에 컨텍패드(30)가 형성된 OLED셀(20)로서, 다양한 폭과 너비를 지닌 OLED셀(20)에 두루 적용될 수 있고, 각각의 다양한 형태를 지닌 OLED셀(20)에 맞추어 정렬카메라(420)가 위치정보를 획득하여 제어부(미도시)를 통해 프로브핀(410)의 접촉 및 열화상카메라(334)를 통한 불량픽셀의 위치를 도출할 수 있게 된다.9, in an embodiment of the present invention, the object P to be inspected is an OLED cell 20 having a contact pad 30 formed on its upper surface, and the OLED cell 20 having various widths and widths And the alignment camera 420 obtains the positional information in accordance with the OLED cell 20 having each of various forms and controls the contact of the probe pin 410 and the thermal imager 334 through a control unit The position of the defective pixel can be derived.

정렬카메라(420)는 기판(10)의 배면에 형성된 셀마크(40)를 인식하여 위치정보를 특정할 수 있게 된다.The alignment camera 420 can recognize the cell mark 40 formed on the back surface of the substrate 10 and specify the positional information.

이는 예시적인 것으로서 본 발명이 적용되는 실시예에 따라서 다양한 형태의 OLED셀(20)을 지닌 기판(10)에 두루 적용될 수 있을 것이며, 하나의 기판(10)에 다수 개의 OLED셀(20)이 배치되는 경우에도 적용될 수 있다.This may be applied to a substrate 10 having various types of OLED cells 20 according to an exemplary embodiment of the present invention and a plurality of OLED cells 20 may be arranged on one substrate 10 And the like.

상세하게는, 정렬카메라(420)를 통해 안착플레이트(210)에 안착된 기판(10)의 배면을 촬영하여 각각의 OLED셀(20)의 위치를 감지하고, 검사 대상이 되는 적어도 하나 이상의 OLED셀(20)의 위치로 프로브핀(410)이 이송되어 검사대상이 되는 OLED셀(20)의 컨텍패드(30)에 접촉하게 되며, 세로이송파트(320) 및 가로이송파트(310)의 작동에 의해 열화상카메라(334)가 검사 대상이 되는 OLED셀(20)의 연직상부에 배치되어 OLED셀(20) 전체 또는 특정라인을 직선으로 이송되며 온도를 감지하게 되고, 도 10의 그래프를 통해 표시된 바와 같은 비정상 온도가 나타나는 지점이 불량이 발생된 지점인 불량픽셀(defective pixel)로 확정될 수 있으며, 불량픽셀로 확정된 지점은 마이크로스코프(338)에 의해 고배율로 재차 관찰 할 수 있게 된다.In detail, the backside of the substrate 10 placed on the seating plate 210 is photographed through the alignment camera 420 to detect the position of each OLED cell 20, and at least one OLED cell The probe pin 410 is transferred to the position of the probe 20 to be brought into contact with the contact pad 30 of the OLED cell 20 to be inspected and the operation of the vertical transfer part 320 and the horizontal transfer part 310 The thermal imaging camera 334 is disposed at the vertical upper portion of the OLED cell 20 to be inspected to transport the entire OLED cell 20 or a specific line in a straight line and to sense the temperature, A defective pixel, which is a point at which a defect occurs, can be determined as a defective pixel, and a point determined as a defective pixel can be observed again at a high magnification by the microscope 338.

이러한 불량픽셀의 이미지는 도 11에 도시된 바와 같으며, 본 발명의 일 실시예에 따라 검사가 수행될 경우 불량픽셀의 위치를 정화하게 특정할 수 있으므로, 불량이 발생된 위치의 픽셀을 리페어하는 작업이 보다 신속하고 정확하게 수행될 수 있게 된다.The image of such a defective pixel is as shown in FIG. 11, and when the inspection is performed according to an embodiment of the present invention, the position of the defective pixel can be specified to be cleaned. Therefore, The work can be performed more quickly and accurately.

이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.It will be apparent to those skilled in the art that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It is obvious to them. Therefore, the above-described embodiments are to be considered as illustrative rather than restrictive, and the present invention is not limited to the above description, but may be modified within the scope of the appended claims and equivalents thereof.

P: 검사대상물
10: 기판 20: OLED셀
30: 컨텍패드 40: 셀마크
100: 베이스
200: 스테이지유닛 210: 안착플레이트
220: 정렬구동부
300: 겐트리유닛 310: 가로이송파트
320: 세로이송파트 330: 감지파트
332: 하우징 334: 열화상카메라
336: 원점카메라 338: 마이크로스코프
400: 프로브유닛 410: 프로브핀
420: 정렬카메라
P: Inspection object
10: substrate 20: OLED cell
30: contact pad 40: cell mark
100: Base
200: stage unit 210: seat plate
220:
300: Gantry unit 310: Horizontal transfer part
320: Vertical transfer part 330: Detection part
332: housing 334: thermal imager
336: origin camera 338: microscope
400: probe unit 410: probe pin
420: Alignment camera

Claims (8)

베이스;
상기 베이스의 상부에 구비되고, 컨텍패드 및 셀을 포함하는 검사대상물이 안착되며, 상기 검사대상물이 수평한 평면상에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 스테이지유닛;
상기 스테이지유닛의 상부에 마련되고, 상기 검사대상물의 온도를 감지하여 불량이 발생한 지점을 검출하는 열화상카메라가 구비되며, 상기 열화상카메라가 상기 스테이지유닛의 상부에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 겐트리유닛; 및
상기 검사대상물의 하부에 배치되어 상기 검사대상물의 배면을 촬상하는 정렬카메라와 상기 정렬카메라를 통해 촬상된 정보를 통해 정렬되어 상기 컨텍패드에 접촉하여 전류를 인가하는 프로브핀이 구비되는 프로브유닛;을 포함하고,
상기 프로브핀이 접촉되어 전류가 인가된 셀의 상부에서 상기 열화상카메라가 일방향으로 이송되며 온도를 감지하는 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치.
Base;
A stage unit provided on the base and having an object to be inspected including a contact pad and a cell, the object to be inspected being horizontally conveyed in a horizontal plane;
And a thermal imaging camera provided at an upper portion of the stage unit for detecting a temperature at which the inspection object is sensed and detecting a failure, wherein the thermal imaging camera is provided so as to be able to be transferred from the upper portion of the stage unit to the front, A gentry unit; And
A probe unit disposed at a lower portion of the object to be inspected and having a alignment camera for picking up an image of the back surface of the object to be inspected and a probe pin arranged in contact with information picked up through the alignment camera to apply a current in contact with the contact pad; Including,
Wherein the thermal imaging camera is transferred in one direction from an upper part of the cell to which the probe pin is applied and a current is applied, and the temperature is sensed through the cell alignment.
제1항에 있어서,
상기 스테이지유닛은,
상기 검사대상물이 상면에 안착되는 안착플레이트; 및
상기 베이스에 구비되어 상기 안착플레이트를 지지하며 상기 안착플레이트의 전후좌우 이동 및 기울기를 조절하는 정렬구동부;
를 포함하는 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치.
The method according to claim 1,
The stage unit includes:
A seating plate on which the object to be inspected is seated; And
An aligning driving unit provided on the base for supporting the seating plate and adjusting the movement of the seating plate in the longitudinal direction and the inclination of the seating plate;
And a display unit for displaying the image on the display panel.
제2항에 있어서,
상기 정렬구동부는,
상기 안착플레이트가 승강되도록 구비되는 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치.
3. The method of claim 2,
The alignment driver includes:
Wherein the mounting plate is moved up and down.
제1항에 있어서,
상기 겐트리유닛은,
상기 열화상카메라가 좌우 이송이 가능하게 결합되는 가로이송파트; 및
상기 가로이송파트가 전후 이송이 가능하게 결합되는 세로이송파트;를 포함하고,
상기 열화상카메라는 상기 가로이송파트에 결합되는 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치.
The method according to claim 1,
The gentry unit includes:
A horizontal transfer part in which the thermal imager is coupled so as to be capable of lateral transfer; And
And a vertical transfer part in which the transverse transfer part is coupled such that it can be transferred back and forth,
Wherein the thermal imaging camera is an apparatus for inspecting a thermal image of a display panel through a cell array coupled to the transverse transfer part.
제4항에 있어서,
상기 가로이송파트는,
상기 열화상카메라가 전후 이송되는 경로상에 배치되고, 상기 검사대상물의 상면을 확대 촬영할 수 있도록 구비되되 상기 열화상카메라와 전후방향의 일직선상에 배치되는 마이크로스코프;
를 포함하는 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치.
5. The method of claim 4,
The horizontal transfer part
A microscope disposed on a path through which the thermal imaging camera is transferred forward and backward and arranged so as to take an enlarged image of the upper surface of the inspection object, the thermal imaging camera being disposed on a straight line in the longitudinal direction;
And a display unit for displaying the image on the display panel.
제1항에 있어서,
상기 열화상카메라는,
상기 열화상카메라의 좌표가 산출되도록, 상기 열화상카메라와 인접하여 배치되며 상기 검사대상물의 상면을 촬상하는 원점카메라;
를 더 포함하는 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치.
The method according to claim 1,
The thermal imager comprises:
An origin camera disposed adjacent to the thermal imaging camera and configured to capture an image of the upper surface of the object to be inspected so as to calculate coordinates of the thermal imaging camera;
The apparatus of claim 1, further comprising:
제1항에 있어서,
상기 정렬카메라는 상기 스테이지유닛의 하부에 배치되어 상부를 촬상가능하게 구비되고, 상기 프로브핀은 승강 및 좌우 이송되도록 구비되는 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치.
The method according to claim 1,
Wherein the alignment camera is disposed at a lower portion of the stage unit and is capable of imaging an upper portion of the stage unit, and the probe pin is adapted to be moved up and down and left and right.
제1항에 있어서,
상기 검사대상물의 배면에 표시된 셀마크를 촬상하여 획득된 위치정보가 정렬카메라로부터 입력되고, 상기 위치정보에 따라 상기 스테이지유닛 및 상기 프로브핀의 이송을 제어하여 상기 셀과 상기 프로브핀이 접촉되도록 제어가 수행되는 제어부;
를 포함하는 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치.
The method according to claim 1,
The position information obtained by capturing the cell mark displayed on the back surface of the inspection object is input from the alignment camera and the transfer of the stage unit and the probe pin is controlled according to the position information to control the cell and the probe pin to be in contact with each other Is performed;
And a display unit for displaying the image on the display panel.
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