KR20180131256A

KR20180131256A - 크루시블 및 이를 포함하는 가열어셈블리

Info

Publication number: KR20180131256A
Application number: KR1020170068015A
Authority: KR
Inventors: 김정형
Original assignee: 주식회사 파인에바
Priority date: 2017-05-31
Filing date: 2017-05-31
Publication date: 2018-12-10
Also published as: KR101968819B1

Abstract

본 출원은 크루시블 및 이를 포함하는 가열어셈블리에 관한 것으로, 피증착대상의 표면을 증착하기 위한 가열어셈블리로서, 외벽을 포함하고, 상기 외벽에 의해 정의되는 내부공간이 형성된 콘테이너; 내부노즐이 형성되고 상기 콘테이너의 상기 내부공간을 덮도록 배치되는 커버플레이트; 외부노즐이 형성되고 상기 커버플레이트를 덮도록 배치되는 리드; 상기 콘테이너를 가열하기 위하여, 상기 콘테이너의 외벽에 유도전류를 형성하는 코일; 및 증착물질을 제공받을 수 있도록 상부가 개방되고, 상기 콘테이너의 상기 내부공간에 배치되는 서브크루시블;을 포함하고,상기 서브크루시블은 제1 서브크루시블 및 제2 서브크루시블을 포함하고, 상기 제1 서브크루시블의 하부와 상기 제2 서브크루시블의 하부가 상기 콘테이너의 에 접촉하도록, 상기 제1 서브크루시블과 상기 제2 서브크루시블이 배치되고, 상기 커버플레이트, 리드, 및 서브크루시블은 상기 콘테이너로부터 탈착 가능한 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공된다.

Description

크루시블 및 이를 포함하는 가열어셈블리{CRUCIBLE AND HEATING ASSEMBLY INCLUDING THE SAME}

본 출원은 크루시블 및 이를 포함하는 가열어셈블리에 관한 것으로, 보다 상세하게는 별도로 구비된 서브크루시블을 통해 증착물질을 제공받을 수 있도록 구현되는 크루시블을 포함하는 가열어셈블리에 관한 것이다.

크루시블은 가열될 물질을 담을 수 있는 소정의 내부공간이 형성된 일종의 그릇이다. 상기 크루시블은 소정의 가열 수단에 의하여 가열될 수 있다. 상기 크루시블이 가열되어 발생되는 열량은 크루시블에 담긴 물질에 전달될 수 있다. 이에 따라, 상기 물질은 가열될 수 있다.

이러한, 크루시블은 다양한 가열될 물질을 담기 위해 활용되어 왔다. 상기 크루시블은 가열될 금속이 담길 수 있는 용기, 금속 배합 목적으로 가열될 다종의 금속이 담길 수 있는 용기 등으로 활용되어 왔다. 특히 최근에 상기 크루시블은 피증착대상의 표면을 증착물질로 커버하기 위한 증착공정에서, 상기 가열될 증착물질이 담을 수 있는 용기로 활용되고 있다.

그런데, 상기 증착 공정에 이용되는 크루시블에는 증착 공정이 진행됨에 따라 상기 크루시블이 훼손되어 재사용이 불가능해진다는 문제점이 있어왔다. 또한, 증착물질의 배출되는 양이 크루시블의 영역별로 상이하여 피증착대상의 표면에 증착물질이 균일하게 증착되지 못하는 문제점이 있어왔다. 따라서 최근, 증착 공정이 연속적으로 진행되는 경우에도 계속하여 재사용될 수 있는 크루시블에 대한 수요 및 균일한 증착을 실현할 수 있도록 설계된 크루시블 및 이를 포함하는 가열어셈블리에 대한 수요가 증대되고 있다.

본 출원의 일 과제는, 지속적으로 재사용 될 수 있도록 별도로 구비되는 서브크루시블을 포함하는 크루시블을 제공하는 것에 있다.

본 출원의 다른 과제는 증착물질이 피증착대상의 표면에 균일하게 증착될 수 있도록 설계된 크루시블을 포함하는 가열 어셈블리를 제공하는 것에 있다.

본 출원이 해결하고자 하는 과제가 상술한 과제로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 과제들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 출원의 일 양상에 따르면, 외벽을 포함하고, 상기 외벽에 의해 정의되는 내부공간이 형성된 콘테이너(container); 내부노즐이 형성되고 상기 콘테이너의 상기 내부공간을 덮도록 배치되는 커버플레이트(cover plate); 외부노즐이 형성되고 상기 커버플레이트를 덮도록 배치되는 리드(lid); 상기 콘테이너를 가열하기 위하여, 상기 콘테이너의 외벽에 유도전류를 형성하는 코일; 및 상부가 개방되고, 상기 콘테이너의 상기 내부공간에 배치되는 서브크루시블;을 포함하고, 상기 서브크루시블은 제1 서브크루시블 및 제2 서브크루시블을 포함하고, 상기 제1 서브크루시블의 하부와 상기 제2 서브크루시블의 하부가 상기 콘테이너에 접촉되도록, 상기 제1 서브크루시블 및 상기 제2 서브크루시블이 배치되고, 상기 커버플레이트, 리드, 및 서브크루시블은 상기 콘테이너로부터 탈착 가능한 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

본 출원의 다른 양상에 따르면, 피증착대상의 표면을 증착하기 위한 증착물질이 놓이는 크루시블로서, 외벽 및 상기 외벽으로부터 연장되는 격벽을 포함하는 콘테이너; 상기 외벽 또는 상기 격벽에 접촉하도록 배치되는 제1 면, 상기 제1 면과 이격되어 마주보도록 위치하며 내부가 노출되도록 개구영역이 형성되는 제2 면, 및 상기 제1 면과 상기 제2 면에 연결되며 상기 제1 면과 상기 제2 면에 수직한 제3 면을 포함하는 내부크루시블; 상부면, 상기 상부면과 대향하는 하부면, 및 상기 상부면과 하부면에 연결되는 측부면을 포함하고, 상기 하부면이 상기 내부크루시블의 상기 제2 면 또는 상기 제3 면과 마주보도록 배치되고, 상기 측부면이 상기 콘테이너의 상기 외벽의 내면과 접하며, 상기 내부크루시블의 상기 내부가 노출되도록 상기 하부면과 상기 상부면을 관통하는 내부노즐이 형성된 평판 형상의 커버플레이트; 및 상기 커버플레이트의 상기 상부면과 대향하는 하면을 포함하고, 상기 콘테이너의 상기 외벽과 결합되며, 복수의 외부노즐이 형성된 리드;를 포함하고, 상기 내부크루시블, 상기 커버플레이트, 및 상기 리드는 상기 콘테이너의 상기 외벽으로부터 탈착 가능한 것을 특징으로 하는 크루시블이 제공될 수 있다.

본 출원의 또 다른 양상에 따르면, 피증착대상의 표면을 증착하기 위한 가열어셈블리로서, 외벽 및 격벽을 포함하고, 상기 외벽 및 격벽에 의해 내부공간이 형성되는 콘테이너; 상기 내부공간에 놓이고, 상기 내부공간으로부터 분리되는, 탁찰가능한 서브크루시블; 상기 서브크루시블이 덮이도록 배치되며, 상기 콘테이너의 상기 외벽의 상기 내면에 접촉되고, 상기 내면으로부터 탈거가능한 커버플레이트; 및 상기 코일에 의해 상기 외벽에 유도 전류가 형성되는 경우, 제1 시점에서의 상기 제1 내부크루시블의 제1-1 열량과 제2 시점에서의 상기 제2 내부크루시블의 제1-2 열량의 차이의 크기는 상기 제1 시점에서의 상기 제2 내부크루시블의 제2-1 열량과 상기 제2 시점에서의 상기 제2 내부크루시블의 제2-2 열량의 차이의 크기 보다 작은 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

본 출원의 또 다른 양상에 따르면, 피증착대상의 표면을 증착하기 위한 가열어셈블리로서, 외벽 및 격벽을 포함하고, 상기 외벽 및 상기 격벽에 의해 정의되는 내부공간 - 상기 내부공간은 제1 서브내부공간 및 제2 서브내부공간을 포함함 - 이 형성되는 콘테이너; 상기 콘테이너의 상기 내부공간이 덮이도록 배치되고, 상기 제1 서브내부공간 및 상기 제2 서브내부공간이 노출되도록 내부노즐이 형성되는 커버플레이트; 상기 커버플레이트가 덮이도록 배치되고, 상기 콘테이너로부터 탈착 가능한 리드; 상기 콘테이너의 상기 내부공간을 가열하기 위하여, 상기 콘테이너의 상기 외벽에 유도전류를 형성하는 코일; 및 상기 제1 서브내부공간에 놓이는 제1 서브크루시블 및 상기 제2 서브내부공간에 놓이는 제2 서브크루시블을 포함하고, 상기 콘테이너의 상기 내부공간으로부터 탈거(분리)가능하고, 일면이 개방된 내부크루시블;을 포함하고, 상기 코일에 의해 상기 외벽에 유도 전류가 형성되는 경우, 제1 시점에서의 상기 제1 내부크루시블의 제1 열량은 제1 시점에서의 상기 제2 내부크루시블의 제2 열량보다 큰 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

본 출원의 또 다른 양상에 따르면 외벽, 및 격벽을 포함하고, 상기 외벽에 의해 내부공간이 정의되고, 상기 격벽에 의해 상기 내부공간이 분할되는 콘테이너; 중심내부노즐 및 주변내부노즐을 포함하고, 상기 내부공간을 덮도록 배치되는 커버플레이트; 상기 커버플레이트를 덮도록 배치되는 리드; 상기 콘테이너 및 상기 리드가 가열되도록, 상기 콘테이너의 외벽에 유도전류를 형성하는 코일; 및 상기 콘테이너의 내부공간에 놓이는 서브크루시블;을 포함하고, 상기 내부공간은 제1 내부공간, 제2 내부공간, 및 제3 내부공간을 포함하고, 상기 제3 내부공간에 대응하는 상기 콘테이너의 영역에 하부노즐이 형성되고, 상기 제1 내부공간 및 제2 내부공간은 상기 주변내부노즐을 통해 상기 리드방향으로 노출되고, 상기 제3 내부공간은 하부노즐을 통해 하부방향으로 노출되며, 상기 제1 내부공간 및 제2 내부공간에는 상기 서브크루시블의 하부면이 상기 콘테이너에 접촉되도록 놓이되, 상기 제3 내부공간에는 상기 서브크루시블이 놓이지 않는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

본 출원의 과제의 해결 수단이 상술한 해결 수단들로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 해결 수단들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 출원에 의하면, 지속적으로 재사용 될 수 있도록 별도로 구비되는 서브크루시블을 포함하는 크루시블이 제공될 수 있다.

본 출원에 의하면, 증착물질이 피증착대상의 표면에 균일하게 증착될 수 있도록 설계된 크루시블을 포함하는 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.

본 출원의 효과가 상술한 효과로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 출원의 일 실시예에 따른 가열어셈블리를 도시하는 도면이다.
도 2는 본 출원의 일 실시예에 따른 가열어셈블리에 구비된 코일을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 출원의 일 실시예에 따른 코일 주변에 형성된 일시점의 자기장을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽에 유도전류를 형성하는 코일을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 출원의 일 실시예에 따른 가열어셈블리에 구비된 페라이트를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 출원의 일 실시예에 따른 코일과 상기 코일 주변에 형성된 일시점의 자기장을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블을 나타내는 도면이다.
도 8은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 폭방향(X방향)의 측부 및 길이방향(Y방향)의 측부 를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 출원의 일 실시예에 따른 콘테이너를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 출원의 일 실시예에 따른 격벽이 형성된 콘테이너를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 출원의 일 실시예에 따른 격벽의 다양한 형상을 나타내는 도면이다.
도 12는 본 출원의 일 실시예에 따른 내부크루시블을 나타내는 도면이다.
도 13은 본 출원의 일 실시예에 따른 커버플레이트를 나타내는 도면이다.
도 14는 본 출원의 일 실시예에 따라 커버플레이트에 형성된 내부노즐을 나타내는 도면이다.
도 15는 본 출원의 일 실시예에 따라 커버플레이트에 형성된 내부노즐을 나타내는 도면이다.
도 16은 본 출원의 일 실시예에 따른 리드를 나타내는 도면이다.
도 17은 본 출원의 일 실시예에 따른 콘테이너와 내부크루시블을 나타내는 도면이다.
도 18은 본 출원의 일 실시예에 따른 상향식 가열어셈블리의 콘테이너에 놓인 서브크루시블을 나타내는 도면이다.
도 19는 본 출원의 일 실시예에 따른 상향식 가열어셈블리의 콘테이너에 놓인 서브크루시블을 나타내는 도면이다.
도 20는 본 출원의 일 실시예에 따른 측향식 가열어셈블리의 콘테이너에 놓인 서브크루시블을 나타내는 도면이다.
도 21은 본 출원의 일 실시예에 따른 측향식 가열어셈블리의 콘테이너에 놓인 서브크루시블을 나타내는 도면이다.
도 22는 본 출원의 일 실시예에 따른 격벽이 형성되지 않은 콘테이너와 서브크루시블을 나타내는 도면이다.
도 23은 본 출원의 일 실시예에 따른 격벽이 형성된 콘테이너와 상기 콘테이너에 담기는 증착물질을 나타내는 도면이다.
도 24는 본 출원의 일 실시예에 따른 커버플레이트가 배치되는 예를 나타내는 도면이다.
도 25는 본 출원의 일 실시예에 따른 콘테이너, 서브크루시블, 및 커버플레이트를 나타내는 도면이다.
도 26은 본 출원의 일 실시예에 따른 콘테이너, 커버플레이트, 및 리드를 나타내는 도면이다.
도 27은 본 출원의 일 실시예에 따른 외부노즐과 내부노즐의 폭방향(X방향)에서의 위치와 길이방향(Y방향)에서의 위치를 나타내는 도면이다.
도 28은 본 출원의 일 실시예에 따른 증착물질배출의 순서도이다.
도 29는 본 출원의 일 실시예에 따른 분리/결합, 또는 탈거/결착되는 크루시블의 구성요소를 나타내는 도면이다.
도 30은 본 출원의 일 실시예에 따른 열량이 전달되는 과정을 나타내는 도면이다.
도 31은 본 출원의 일 실시예에 따른 측향식 크루시블로부터 배출되는 증착물질을 나타내는 도면이다.
도 32는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블을 나타내는 도면이다.
도 33은 본 출원의 일 실시예에 따른 커버플레이트를 나타내는 도면이다.
도 34는 본 출원의 일 실시예에 따른 중심노즐, 및 중심노즐돌출부가 형성된 서브커버플레이트를 나타내는 도면이다.
도 35는 본 출원의 일 실시예에 따른 중심노즐, 중심노즐돌출부, 및 주변노즐이 형성된 서버커버플레이트를 나타내는 도면이다.
도 36은 본 출원의 일 실시예에 따른 돌출부가 형성된 커버플레이트를 구비하는 크루시블을 나타내는 도면이다.
도 37은 본 출원의 일 실시예에 따른 돌출부를 포함하는 커버플레이트가 구비된 크루시블을 나타내는 도면이다.
도 38은 본 출원의 일 실시예에 따른 하향식 크루시블을 나타내는 도면이다.
도 39는 본 출원의 일 실시예에 따른 하향식 크루시블의 측부도면이다.
도 40은 본 출원의 일 실시예에 따른 커버플레이트를 나타내는 도면이다.

본 명세서에 기재된 실시예는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 사상을 명확히 설명하기 위한 것이므로, 본 발명이 본 명세서에 기재된 실시예에 의해 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 범위는 본 발명의 사상을 벗어나지 아니하는 수정예 또는 변형예를 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

본 명세서에서 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하여 가능한 현재 널리 사용되고 있는 일반적인 용어를 선택하였으나 이는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자의 의도, 관례 또는 새로운 기술의 출현 등에 따라 달라질 수 있다. 다만, 이와 달리 특정한 용어를 임의의 의미로 정의하여 사용하는 경우에는 그 용어의 의미에 관하여 별도로 기재할 것이다. 따라서 본 명세서에서 사용되는 용어는 단순한 용어의 명칭이 아닌 그 용어가 가진 실질적인 의미와 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 해석되어야 한다.

본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명을 용이하게 설명하기 위한 것으로 도면에 도시된 형상은 본 발명의 이해를 돕기 위하여 필요에 따라 과장되어 표시된 것일 수 있으므로 본 발명이 도면에 의해 한정되는 것은 아니다.

본 명세서에서 본 발명에 관련된 공지의 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에 이에 관한 자세한 설명은 필요에 따라 생략하기로 한다.

본 출원의 일 양상에 따르면, 외벽을 포함하고, 상기 외벽에 의해 정의되는 내부공간이 형성된 콘테이너(container); 내부노즐이 형성되고 상기 콘테이너의 상기 내부공간을 덮도록 배치되는 커버플레이트(cover plate); 외부노즐이 형성되고 상기 커버플레이트를 덮도록 배치되는 리드(lid); 상기 콘테이너를 가열하기 위하여, 상기 콘테이너의 외벽에 유도전류를 형성하는 코일; 및 개방된 상부를 포함하고, 상기 콘테이너의 상기 내부공간에 배치되는 서브크루시블;을 포함하고, 상기 서브크루시블은 제1 서브크루시블 및 제2 서브크루시블을 포함하고, 상기 제1 서브크루시블의 하부와 상기 제2 서브크루시블의 하부가 상기 콘테이너에 접촉되도록, 상기 제1 서브크루시블 및 상기 제2 서브크루시블이 배치되고, 상기 커버플레이트, 리드, 및 서브크루시블은 상기 콘테이너로부터 탈착 가능한 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 코일에 시간에 따라 급격히 변하는 전원이 공급되는 경우, 상기 코일의 주변에 시간에 따라 급격히 변경되는 자기장이 발생하고, 상기 자기장에 기초하여 상기 콘테이너의 외벽에 상기 유도전류가 발생되고, 상기 유도전류에 기초하여 상기 콘테이너의 외벽에 열량이 발생되는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 콘테이너의 외벽의 영역은 제1 영역 및 상기 제1 영역에 인접한 제2 영역을 포함하고, 상기 발생된 열량이 상기 증착물질로 전달되도록, 상기 콘테이너의 제1 영역에서 상기 열량이 발생된 경우, 상기 제2 영역은 상기 열량에 기초한 제1 열량을 전달받으며, 상기 서브크루시블의 외벽은 상기 제2 영역으로부터 상기 제1 열량이 기초한 제2 열량을 전달받는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 형성된 자기장에 영향을 주는 자기장집속구조물;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 자기장집속구조물의 구현 소재는 페라이트(ferrite)인 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 콘테이너의 형상은 직육면체 형상인 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 콘테이너는 격벽을 더 포함하고, 상기 격벽에 의해 상기 내부공간이 서브내부공간으로 구획되고, 상기 서브내부공간은 제1 서브내부공간 및 제2 서브내부공간을 포함하는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 격벽의 두께는 상기 콘테이너의 상기 외벽의 두께와 서로 다른 크기의 두께인 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 격벽의 열전도도는 상기 외벽의 열전도도와 서로 다른 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 콘테이너는 제1 영역 및 제2 영역을 포함하고, 상기 제1 영역의 외벽의 두께는 상기 제2 영역의 외벽의 두께와 서로 다른 크기의 두께인 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 내부노즐의 형상은 원형, 또는 곡률이 변경되는 타원형인 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 커버플레이트의 상기 내부노즐은 제1 내부노즐, 제2 내부노즐, 및 제3 내부노즐을 포함하고, 상기 제1 내부노즐이 상기 제2 내부노즐로부터 제1 간격만큼 떨어진 위치에 위치하도록, 상기 제1 내부노즐이 배치되며, 상기 제3 내부노즐은 상기 제2 내부노즐로부터 제2 간격만큼 떨어진 위치에 위치하도록, 상기 제3 내부노즐이 배치되고, 상기 제1 간격은 상기 제2 간격과 서로 다른 크기의 간격인 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 제1 내부노즐의 형상은 제1 반지름의 원형이고, 상기 제2 내부노즐의 형상은 제2 반지름의 원형이고, 상기 제1 반지름, 상기 제2 반지름은 서로 다른 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 서브크루시블의 형상은 직육각형 통 형상인 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 서브크루시블의 상기 서브외벽의 두께는 상기 콘테이너의 상기 외벽의 두께와 서로 다른 두께인 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 서브크루시블의 열전도도는 상기 콘테이너의 열전도도와 서로 다른 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 제1 서브크루시블은 상기 제1 서브내부공간에 놓이고, 상기 제2 서브크루시블은 상기 제2 서브내부공간에 놓이는, 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 내부노즐을 통해 상기 내부챔버가 노출되도록, 상기 커버플레이트에 내부노즐이 형성되는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 격벽에 상기 서브크루시블의 하부면이 접촉되도록, 상기 서브크루시블이 상기 콘테이너의 내부공간에 배치되는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 내부노즐을 통해 상기 서브내부공간이 노출되도록, 상기 커버플레이트에 내부노즐이 형성되는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 리드는 상기 리드의 외적 형상을 정의하는 리드외벽을 포함하고, 상기 리드외벽의 두께는 상기 콘테이너의 외벽의 두께보다 큰 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 커버플레이트에 형성되는 내부노즐의 수와 상기 리드에 형성되는 외부노즐의 수는 서로 다르고, 상기 내부노즐의 크기와 상기 외부노즐의 크기는 서로 다른 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 중심노즐 및 상기 중심노즐의 주변에 형성되는 주변노즐을 포함하는 서브커버플레이트;를 더 포함하고, 상기 서브커버플레이트는 복수의 상기 서브크루시블과 상기 커버플레이트 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 서브커버플레이트는 복수의 상기 서브크루시블과 상기 커버플레이트 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 서브커버플레이트의 중심노즐을 통해 상기 서브크루시블이 상기 커버플레이트방향으로 노출되는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

또, 상기 내부크루시블의 제1 면, 제2 면, 및 제3 사이에 내부챔버가 정의되고, 상기 내부챔버의 형상은 직사각형태인 것을 특징으로 하는 크루시블이 제공될 수 있다.

본 출원의 또 다른 양상에 따르면, 피증착대상의 표면을 증착하기 위한 가열어셈블리로서, 외벽 및 격벽을 포함하고, 상기 외벽 및 격벽에 의해 내부공간이 형성되는 콘테이너; 상기 내부공간에 놓이고, 상기 내부공간으로부터 분리되는, 탁찰가능한 서브크루시블; 상기 서브크루시블이 덮이도록 배치되며, 상기 콘테이너의 상기 외벽의 상기 내면에 접촉되고, 상기 내면으로부터 탈거가능한 커버플레이트; 및 상기 코일에 의해 상기 외벽에 유도 전류가 형성되는 경우, 제1 시점에서의 상기 제1 내부크루시블의 제1-1 열량과 제2 시점에서의 상기 제2 내부크루시블의 제1-2 열량의 차이는 상기 제1 시점에서의 상기 제2 내부크루시블의 제2-1 열량과 상기 제2 시점에서의 상기 제2 내부크루시블의 제2-2 열량의 차이 보다 작은 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.

명세서 전체에 걸쳐서, 막, 영역 또는 기판과 같은 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "배치", "연결", 또는 "접촉" 된다고 언급할 때는, 상기 하나의 구성요소가 직접적으로 다른 구성요소 "배치", "연결", 또는 "접촉"되거나, 그 사이에 개재되는 또 다른 구성요소들이 존재할 수 있다고 해석될 수 있다. 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

또한, "상부", "측부", 및 "하부"와 같은 상대적인 용어들은 도면들에서 도해되는 것처럼 다른 요소들에 대한 어떤 요소들의 관계를 기술하기 위해 여기에서 사용될 수 있다. 상기 "상부", "측부", 및 "하부"는 절대적인 개념으로 구성의 부분을 지칭할 수 있다. 예를 들어, 소정의 구성의 "상부"는 상기 구성이 뒤짚어진다고 하더라도 여전히 "상부"일 수 있다. 예를 들어, 소정의 구성의 "하부"는 상기 구성이 90도로 회전한다고 하더라도 여전히 "하부"일 수 있다.

또한, 외측방향은 중심축에서 "측부"를 향하는 방향에 대응되는 방향이고, 내측방향은 "측부"에서 중심축을 향하는 방향에 대응되는 방향일 수 있다.

또한, 소정의 구성이 내부공간을 가진 경우, 내측은 상기 구성의 상기 내부공간에 가장 인접한(또는 내부공간에 접촉되는) 영역이고, 외측은 상기 구성의 내부공간으로부터 가장 먼 영역(또는 내부공간에 접촉되지 않는)일 수 있다.

본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다.

이하에서는 증착장치에 대하여 설명하도록 한다.

증착장치는 증착을 위한 장치이다.

본 출원에서 증착장치의 의미는 피증착대상의 표면을 증착물질로 덮기 위하여 소정의 증착공정을 수행할 수 있는 장치를 포함하는 포괄적인 의미로 해석될 수 있다.

상기 피증착대상이란 증착 처리됨으로써 표면이 소정의 물질로 덮이는(covered) 대상을 의미한다.

상기 증착물질이란 상기 피증착대상의 표면을 덮기 위한 상기 물질을 의미한다.

상기 증착공정이란 상기 피증착대상의 표면에 상기 증착물질이 덮이도록 하는 일련의 프로세스를 의미한다.

상기 피증착대상은 상기 증착장치의 이용자의 선호에 따라 증착 공정이 적용되기를 원하는 대상이다. 따라서 증착장치의 이용자가 증착공정이 적용되기를 원하는 물질이라면, 어떠한 종류의 물질에 국한되지 않고, 다양한 물질이 상기 피증착대상으로 선택될 수 있다.

상기 증착물질로는 다양한 종류의 물질이 선택될 수 있다. 상기 증착 물질은 유기물질일 수 있다. 상기 유기물질은 탄소를 기반으로 하는 화합물을 의미한다. 상기 유기물질은 i) 동물이나 식물로부터 얻을 수 있는 아미노산, 단백질, 탄수화물, 페니실린, 아목시실린 등의 천연유기물, ii) 사람이 인공적으로 만들어낸 플라스틱 등의 합성유기물, iii) 전술한 유기물의 조합 등을 포함할 수 있다. 또한, 상기 증착물질은 금속 물질일 수 있다. 상기 금속물질은 마그네슘(Mg), 은(Ag), 알루미늄(Al) 등을 포함할 수 있다.

상기 증착공정에는 소정의 증착기술이 적용될 수 있다. 상기 증착기술은 상기 증착물질이 상기 피증착대상의 표면에 닿도록, 상기 증착물질을 상기 피증착대상의 표면으로 가이딩하는 기술을 의미한다.

이때, 상기 증착기술은 습식법과 건식법으로 분류될 수 있다.

상기 습식법 증착기술로는 (1) 피증착대상을 양극에 걸고 전해하여 증착물질이 피증착대상의 표면에 형성되도록 피증착대상을 산화시키는 전해법, 및 (2) 피증착대상의 활성화, 예민화 과정을 이용한 무전해법 등이 있다.

상기 건식법 증착기술로는 (1) 고진공 상태에서 고체 상태의 증착물질을 증발시켜 피증착대상의 표면에 형성되도록 하는 물리 증착법(PVD), (2) 고진공 상태에서 기체 상태의 증착물질을 플라즈마 등의 상태로 변화하여 피증착대상의 표면에 형성시키는 화학 증착법(CVD), 및 (3) 액체 상태의 피증착대상을 증착물질 표면에 분출하여 증착물질 표면에 피증착대상을 입히는 용사법 등이 있다.

상기 증착공정에는 상기 증착물질을 가열하기 위한 소정의 가열 동작이 수행될 수 있다. 본 출원에서는 상기 가열 동작을 수행할 수 있도록, 증착장치에 구비되는 구성을 가열어셈블리라고 하도록 한다.

즉, 가열어셈블리는 증착물질의 가열을 위한 장치이다.

이하에서는, 가열어셈블리(1)에 대하여 설명하도록 한다.

<제1 실시예>

1. 가열어셈블리

본 출원의 일 실시예에 따른 가열어셈블리(1)는 증착물질을 가열할 수 있다.

도 1은 본 출원의 일 실시예에 따른 가열어셈블리를 도시하는 도면이다.

도 1을 참조하면, 가열어셈블리(1)는 크루시블(100), 코일(300), 및 페라이트(500)를 포함할 수 있다. 그러나, 도 1에 도시된 구성요소들이 필수적인 것은 아니고, 그보다 많은 구성요소를 갖거나 그보다 적은 구성요소를 갖는 가열어셈블리(1)가 구현될 수도 있다.

상기 크루시블(100)에는 증착물질이 놓일 수 있다.

상기 코일(300)은 상기 크루시블(100)에 열량이 발생되도록 열량발생동작을 수행할 수 있다. 상기 코일(300)의 동작에 따라 상기 크루시블(100)에 투입된 상기 증착물질이 가열될 수 있다.

상기 페라이트(500)는 상기 코일(300)의 열량발생동작을 도울 수 있다. 상기 페라이트(500)의 기작은 구체적으로 후술하도록 한다.

상기 도 1에는 도시되지 않았으나, 가열어셈블리(1)는 기타구성요소를 더 포함할 수 있다. 기타구성요소에는 동력전달부재 등의 장치가 구비될 수 있도록 내부공간이 형성된 대기압챔버(ATM chamber), 상기 코일(300)의 구동을 위한 전원을 발생시킬 수 있는 전원발생기, 상기 발생된 전원을 가열어셈블리(1)의 각 구성으로 전달할 수 있는 소정의 전원공급선 등이 포함될 수 있다.

이하에서는 가열어셈블리(1)의 구성요소에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다.

1.1 코일

이하에서는 코일(300)에 대하여 설명하도록 한다.

도 2는 본 출원의 일 실시예에 따른 가열어셈블리에 구비된 코일을 나타내는 도면이다.

도 3은 본 출원의 일 실시예에 따른 상기 코일 주변에 형성된 일시점의 자기장을 나타내는 도면이다.

도 4는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽에 유도전류를 형성하는 코일을 나타내는 도면이다.

본 출원의 일 실시예에 따른 코일(300)은 크루시블(100)에 놓인 증착물질을 가열하기 위하여 가열어셈블리(1)에 구비될 수 있다.

도 2를 참조하면, 상기 가열어셈블리(1)에 구비되는 코일(300)은 크루시블(100)의 주변에 배치될 수 있다. 상기 코일(300)의 내부 공간에 크루시블(100)이 위치하도록, 상기 코일(300)이 배치될 수 있다. 상기 코일(300)에 의해 상기 크루시블(100)의 측면부가 감싸지도록, 코일(300)이 상기 크루시블(100)의 근처에 배치될 수 있다.

상기 크루시블(100)의 근처에 배치되는 코일(300)은 제1 코일(300) 및 제2 코일(300)을 포함할 수 있다.

상기 제1 코일(300) 및 제2 코일(300)을 구동하기 위하여, 가열어셈블리(1)에 전원발생기는 적어도 둘 이상 구비될 수 있다. 이 경우, 상기 제1 코일(300)과 제2 코일(300)에 인가되는 전원의 속성은 상이하다. 또는, 상기 제1 코일(300) 및 제2 코일(300)을 구동하기 위하여 단일의 전원발생기가 가열어셈블리(1)에 구비될 수 있다. 이 경우, 상기 제1 코일(300) 및 제2 코일(300)에 인가되는 전원의 속성은 서로 대응될 수 있다. 단일의 전원발생기로부터 전원을 공급받는 제1 코일(300) 및 제2 코일(300)의 전기적 연결 관계는 병렬 관계일 수 있다.

상기 제1 코일(300)과 상기 제2 코일(300)은 크루시블(100)과 서로 다른 위치적관계를 가질 수 있다. 즉, 제1 코일(300)은 상기 크루시블(100)과 제1 위치적관계를 가지고, 상기 제2 코일(300)은 상기 크루시블(100)과 제2 위치적관계를 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 코일(300)은 상기 크루시블(100)의 돌출 노즐과 가깝게 위치하도록 배치되는 위치적 관계를 가질 수 있고, 상기 제2 코일(300)은 크루시블(100)의 측면부에 위치하도록 배치되는 위치적 관계를 가질 수 있다. 크루시블(100)의 돌출 노즐로부터 멀게 코일(300)이 배치되는 경우에 비하여, 상기 돌출 노즐에 가깝게 배치된 제1 코일(300)은 상기 크루시블(100)의 돌출 노즐에 더 많은 열량이 발생되도록 할 수 있다.

제1 코일(300)은 상기 크루시블(100)의 돌출 노즐과 가깝게 위치하도록 배치될 수 있고, 상기 제2 코일(300)은 크루시블(100)의 측면부에 위치하도록 배치될 수 있다. 크루시블(100)의 돌출 노즐로부터 멀게 코일(300)이 배치되는 경우에 비하여, 상기 돌출 노즐에 가깝게 배치된 제1 코일(300)은 상기 크루시블(100)의 돌출 노즐에 더 많은 열량이 발생하도록 할 수 있다. 상기 열량에 기초하여, 크루시블(100)의 돌출 노즐을 통과하는 증착 물질은 충분한 열량을 공급받아 원활하게 돌출 노즐을 통과하게 될 수 있다. 돌출 노즐의 낮은 온도에 기인하여 상기 증착 물질이 돌출 노즐에 맺히는 경우, 상기 제1 코일(300)의 유도 가열에 의해 상기 증착 물질은 다시 이동하게 될 수 있다. 즉, 상기 돌출 노즐에 맺힌 증착 물질은 상기 제1 코일(300)에 의해 돌출 노즐에 발생하는 열량에 기초하여 원활히 이동할 수 있는 기체의 상태로 변화하게 될 수 있다.

상기 코일(300)은 증착물질의 가열을 위한 가열동작을 수행할 수 있다.

코일(300)은 가열동작을 위하여 주변에 자기장을 형성할 수 있다. 상기 코일(300)은 가열동작을 위하여 상기 코일(300)의 주변에 자기장을 형성할 수 있다. 상기 자기장은 자기선속(H)을 포함할 수 있다. 상기 자기선속의 단위 면적당 개수에 따라 자기장의 세기가 결정될 수 있다.

상기 코일의 주변에 형성되는 일시점의 자기선속은 도 3에 도시된 바와 같을 수 있다.

상기 크루시블(100)의 외벽(111)에 영향을 주는 자기장의 속성은 상기 코일(300)과 상기 크루시블(100)의 위치적 관계에 기초하여 결정될 수 있다. 예를 들어, 상기 코일(300)이 상기 크루시블(100)로부터 가까운 위치에 배치되는 경우, 상기 코일(300)이 크루시블(100)로부터 먼 위치에 배치되는 경우에 비하여 상기 크루시블(100)의 외벽(111)에 발생하는 자기장의 세기가 클 수 있다. 즉, 단위면적당 자기선속의 수가 많아질 수 있다.

도 4를 참조하면, 상기 코일(300) 주변에 형성된 자기장에 기초하여 코일(300)은 크루시블(100)의 외벽(111)에 유도전류를 형성할 수 있다. 상기 유도전류의 패스의 형태는 크루시블(100)의 외벽(111)의 국부적인 영역에서 맴돌이하는 형태의 전류 패스(current path) 형태, 또는 크루시블(100)의 외벽(111)을 둘러싸는 형태의 전류 패스 형태, 또는 전술한 패스 형태의 조합으로 형성될 수 있다.

상기 크루시블(100)의 외벽(111)에 형성된 유도 전류는 크루시블(100)이 갖는 저항성분에 기초하여 열량으로 환원될 수 있다. 상기 환원되는 열량은 P ∝ I²×R×t(P = 발생하는 열량, I = 유도 전류, R = 크루시블(100)의 저항 성분, t = 가열 시간)이라는 관계식을 따를 수 있다.

상기 발생한 열량은 크루시블(100)에 놓인 증착물질에 전달되고, 상기 전달에 따라 증착물질은 가열될 수 있다.

전술한 코일(300)이 주변에 자기장을 형성하고, 형성된 자기장에 따라 크루시블(100)의 외벽(111)에 유도전류가 형성되고, 상기 형성된 유도전류가 열량으로 환원되어, 상기 환원된 열량이 증착물질을 가열하는 것을 유도가열이라고 할 수 있다.

"비(非)"유도가열은 가열수단을 통해 열을 발생하여 발생한 열을 크루시블(100)에 전달함으로써 가열동작을 수행하는데 반해, 상기 유도가열은 크루시블(100)에 직접 열이 발생하도록 할 수 있다. 즉, 유도가열은 크루시블에 직접적으로 열량이 발생할 수 있게함으로써, 열량이 상기 크루시블까지 전달됨에 따라 손실되는 열량을 줄이는 효과를 가질 수 있다. 이에 따라, 유도가열방식은 비유도가열방식에 비하여 가열 효율을 비약적으로 향상시킬 수 있다.

한편, 상기 코일에 인가되는 전원은 교류전원일 수 있다. 이에 따라, 상기 코일의 주변에 형성되는 자기선속의 방향은 계속하여 변경될 수 있다.

이하에서는, 상기 코일(300)의 가열 동작을 어시스트(assist)할 수 있는 페라이트(500)에 대하여 설명하도록 한다.

1.2 페라이트

페라이트(500)는 스피넬 구조를 갖는 이온 화합물로서 산화철을 주성분으로 하여 상기 주성분에 다양한 금속화합물들이 결합되어 구현될 수 있다. 상기 다양한 금속화합물은 망간(Mn), 아연(Zn), 마그네슘(Mg), 구리(Cu), 니켈(Ni), 코발트(Co) 등 2가 금속 이온들일 수 있다. 다만, 본 발명에서는 말하는 페라이트(500)는 전술한 성분에 국한되지 않고, 다양한 자기장을 집속하는 성분의 물질로 구현될 수 있을 것이다.

또한 페라이트(500)의 타입으로는 (1) 상온에서 액체상으로 존재할 수 있는 리퀴드 타입(Liquid Type) (2) 상온에서 일정한 형상을 가질 수 있는 솔리드(170) 타입(Solid Type)이 있을 수 있다.

또한 상기 페라이트(500)는 판형 형상, 판형 형상의 적어도 하나 이상의 면에 볼록한 돌기를 가지는 형상, 원형 형상, 타원 형상, 구형 형상 등 목적에 맞도록 다양한 형태를 가질 수 있을 것이다.

본 출원의 일 실시예에 따른 가열어셈블리(1)에 구비되는 페라이트(500)는 전술한 코일(300)의 가열 동작을 보조할 수 있다.

이하에서는 가열어셈블리(1)에 구비되는 페라이트(500)에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다.

도 5는 본 출원의 일 실시예에 따른 가열어셈블리에 구비된 페라이트를 나타내는 도면이다.

도 6은 본 출원의 일 실시예에 따른 코일과 상기 코일 주변에 형성된 일시점의 자기장을 나타내는 도면이다.

도 5를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(500)는 가열어셈블리(1)에 배치된 코일(300)의 주변에 위치하도록 배치될 수 있다.

상기 가열어셈블리(1)에 배치되는 페라이트(500)는 다양한 배치 형태로 위치할 수 있다.

상기 페라이트(500)는 코일(300)을 둘러싸도록 배치될 수 있다. 상기 코일(300)을 둘러싸도록 배치되는 페라이트(500)는 코일(300)의 측면부의 전영역이 커버되도록 배치될 수 있다.

상기 코일(300) 주변에 배치되는 페라이트(500)는 배치된 코일(300)의 일정한 영역만이 가려지도록(커버되도록) 배치될 수 있다.

상기 코일(300)의 영역은 제1 영역 및 제2 영역을 포함할 수 있다. 이때, 상기 가열어셈블리(1)에 구비되는 페라이트(500)는 제1 영역만을 가리도록 배치될 수 있다. 즉, 상기 코일(300)의 제2 영역은 노출되도록 페라이트(500)가 위치할 수 있다.

구체적으로, 상기 코일(300)의 영역은 크루시블(100)의 노즐 영역에 가까운 제1 영역 및 크루시블(100)의 노즐 영역으로부터 먼 제2 영역을 포함할 수 있다. 이때, 상기 코일(300)의 제1 영역만이 커버되도록, 상기 페라이트(500)가 배치될 수 있다.

또는, 상기 코일(300)의 영역은 크루시블(100)의 길이방향(Y방향)의 면에 대향하는 영역 중 일영역인 제1 영역 및 상기 제1 영역을 제외한 제2 영역을 포함할 수 있다. 이때, 상기 코일(300)의 제1 영역만이 커버되도록, 상기 페라이트(500)가 배치될 수 있다. 상기 배치된 페라이트(500)의 형태는 코일(300)의 측면부의 전영역이 커버되도록 배치된 페라이트(500)에 상기 크루시블(100)의 길이 방향의 면에 대향하는 일부 영역이 개구된 형태와 실질적으로 동일하다.

본 출원의 일 실시예에 따른 상기 페라이트(500)가 가열어셈블리(1)에 구비됨으로써, 전술한 코일(300)의 가열동작이 어시스트될 수 있다.

상기 페라이트(500)는 코일(300)이 생성한 자기장에 영향을 줄 수 있다. 상기 페라이트(500)가 배치됨에 따라 크루시블(100)의 외벽(111)에 영향을 주는 자기선속의 수가 많아짐을 알 수 있다. 즉, 상기 페라이트(500)가 배치됨에 따라 상기 크루시블(100)의 외벽(111)에 영향을 주는 자기장의 세기가 커질 수 있다.

상기 페라이트(500)가 배치됨에 따라 크루시블(100)의 영향을 주는 자기장의 세기가 커지게 될 수 있다.

상기 자기장 세기의 변경은 상기 페라이트(500)의 자기장을 집속하는 속성에 기초하여 변경되는 것이다. 상기 페라이트(500)가 코일(300)의 주변에 배치되는 경우, 상기 페라이트(500)로 상기 자기장이 포함하는 자기선속이 집속될 수 있고, 대칭적으로 상기 페라이트(500)가 배치되지 않은 영역의 자기선속 또한 집속될 수 있다. 상기 자기선속이 집속됨에 따라 크루시블(100)의 외벽에 형성되는 자기장의 세기는 이에 대응하여 커질 수 있다.

상기 자기장의 세기가 변경됨에 따라, 상기 크루시블(100)의 외벽(111)에 발생하는 유도전류의 세기가 달라질 수 있다. 상기 유도전류의 세기는 관계식 (1)F ∝ qv×H (F = 전자에 가해지는 힘, q = 전자의 전하량, v = 전자의 이동 속도, H = 전자에 영향을 주는 자기장) (2)E ∝ dB/dt (E = 전자에 가해지는 기전력, B = 전자에 영향을 주는 자기장의 세기)에 기초할 수 있다. 자기장의 세기가 커지면 크루시블(100)의 외벽(111)이 포함하는 전자에 가해지는 힘이 커질 수 있고, 전자의 이동에 영향을 주는 기전력이 커질 수 있다. 즉, 자기장의 세기가 커짐으로써 상기 크루시블(100)의 외벽(111)에 포함된 전자가 보다 활발하게 운동을 하게 됨으로써, 상기 크루시블(100)의 외벽(111)에서 발생하는 유도전류의 세기는 커질 수 있다.

크루시블(100)에서 발생하는 열량은 전술한 관계식인 P ∝ I²×R×t(P = 발생하는 열량, I = 유도 전류, R = 크루시블의 저항 성분, t = 가열 시간)을 따를 수 있다. 상기 유도전류의 세기가 커짐에 따라, 크루시블(100)에서 발생하는 열량의 크기는 커질 수 있다.

상기 페라이트(500)가 배치됨에 따라, 코일(300)의 가열동작에 따라 크루시블(100)에서 발생하는 열량은 증가할 수 있다. 즉, 페라이트(500)가 배치됨으로써 상기 코일(300)의 가열동작의 효율이 상승할 수 있다.

이하에서는 크루시블(100)에 대하여 설명하도록 한다.

1.3 크루시블(crucible)

본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(100)에는 증착물질이 담길 수 있다. 상기 크루시블(100)에는 증착물질이 놓일 수 있다.

도 7은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블을 나타내는 도면이다.

도 8은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 길이방향(Y방향)의 측부, 및 폭방향(X방향)의 측부를 나타내는 도면이다.

도 7과 도 8을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(100)은 콘테이너(container, 110), 내부크루시블(또는 서브크루시블, 130), 커버플레이트(cover plate, 150), 및 리드(lid, 170)를 포함할 수 있다. 그러나, 도 7과 도 8에 도시된 구성요소들이 필수적인 것은 아니고, 그보다 많은 구성요소를 갖거나 그보다 적은 구성요소를 갖는 크루시블(100)이 구현될 수도 있다.

본 출원의 일 실시예에 따른 콘테이너(110)에는 증착물질 등이 담길 수 있는 내부공간이 형성될 수 있다.

본 출원의 일 실시예에 따른 내부크루시블(또는 서브크루시블, 130)은 상기 콘테이너(110)의 내부 공간에 놓이고, 내부 공간으로부터 분리될 수 있는 착탈식의 용기일 수 있다.

상기 내부크루시블(130)은 크루시블(100)에 포함되는 일종의 크루시블(용기, 도가니, 100)이므로, 크루시블(100)에 포함되는 하위 크루시블(100)이라는 뜻에서 상기 내부크루시블(130)은 서브크루시블(130)이라고 할 수도 있을 것이다. 따라서, 본 출원의 명세서에서 상기 내부크루시블(130)과 서브크루시블(130)이라는 용어는 혼용하여 사용될 수 있다.

본 출원의 일 실시예에 따른 커버플레이트(150)는 상기 콘테이너(110)의 내부 공간이 덮어지도록 배치될 수 있다.

본 출원의 일 실시예에 따른 리드(170)는 상기 콘테이너(110)의 내부공간 및 상기 커버플레이트(150)를 덮도록 배치될 수 있다.

전술한 각 구성은 서로 착탈가능할 수 있다.

전술한 각 크루시블(100)의 각 구성이 서로 결합되고, 떼어지는 것은 크루시블(100)의 결합/분리, 또는 결착/탈거로 정의 될 수 있다. 상기 결합/분리, 결착/탈거에 따라 증착물질이 콘테이너(110)로 제공될 수 있다. 증착물질의 제공은 구체적으로 후술하도록 한다.

이하에서는 크루시블(100)의 각 구성요소에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다.

1.3.1 콘테이너(container)

본 출원의 일 실시예에 따른 콘테이너(110)에는 증착물질이 담길 수 있다. 상기 콘테이너(110)에는 증착물질이 놓일 수 있는 내부공간이 형성될 수 있다.

도 9는 본 출원의 일 실시예에 따른 콘테이너를 나타내는 도면이다.

도 9를 참조하면, 콘테이너(110)는 외벽(111), 격벽(113), 콘테이너탈착구조(114)를 포함할 수 있다. 상기 콘테이너(110)의 구성요소 이외에, 콘테이너(110)는 지지부재(117)를 더 포함할 수 있다. 그러나, 도 9에 도시된 구성요소들이 필수적인 것은 아니고, 그보다 많은 구성요소를 갖거나 그보다 적은 구성요소를 갖는 콘테이너(110)가 구현될 수도 있다.

상기 외벽(111)은 콘테이너(110)의 외적 형상을 정의할 수 있다. 도 7 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 외벽(111)에 의해 길이방향(Y방향), 및 폭방향(X방향)을 가지는 육면체 형상의 콘테이너(110)가 정의될 수 있다. 설명을 용이하게 하기 위하여 콘테이너(110)의 개방된 영역을 기준으로 상기 콘테이너(110)의 영역에 대하여 정의하도록 한다. 즉, 상기 콘테이너(110)의 외벽(111)의 영역은 측부, 하부, 및 개방된 상부로 구분될 수 있다. 상기 하부는 개방된 영역인 상부에 마주보도록 위치하는 영역이며, 상기 측부는 개방된 영역인 상부와 접하는 영역을 의미한다. 또한, 상기 상부, 측부, 및 하부는 콘테이너(110)의 상기 외벽(111)의 측부, 하부, 및 상부는 복수의 영역을 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 측부는 상부로부터 가까운 제1 영역 및 상부로부터 먼 제2 영역을 포함할 수 있다.

상기 외벽(111)의 측부, 하부, 및 상부 사이에는 내부공간이 정의될 수 있다. 상기 외벽(111)이 형성됨에 따라, 상기 콘테이너(110)의 이웃한 외벽(111) 사이에 내부공간이 정의될 수 있다.

전술하였듯이 상기 콘테이너(110)의 외벽(111)에는 코일(300)에 의해 유도전류가 형성될 수 있다. 상기 유도전류에 의해 소정의 열량이 상기 콘테이너(110)의 외벽(111)에 발생할 수 있다.

상기 외벽(111)은 소정의 높이(H)로 구현될 수 있다. 상기 높이(H)는 상기 콘테이너(110)의 하부로부터 상기 하부의 수직한 방향으로 측정된 길이를 의미한다.

상기 외벽(111)은 소정의 두께(T)로 구현될 수 있다. 상기 외벽(111)은 영역별로 서로 다른 두께로 구현될 수 있다. 예를 들어, 전술한 제1 영역의 두께(T)와 제2 영역의 두께(T)는 서로 다를 수 있다. 즉, 상기 제1 영역이 외벽(111)의 측부의 상부영역이고, 상기 제2 영역이 외벽(111)의 측부의 하부영역인 경우, 상기 상부 영역의 두께(T)는 제1 두께(T1)으로 형성되고, 상기 하부 영역의 두께(T)는 상기 제1 두께(T1) 보다 작은 제2 두께(T2)로 형성될 수 있다. 이에 따라, 전술한 코일(300)의 가열 동작에 따라 발생하는 열량은 제1 영역과 제2 영역에서 서로 다를 수 있다. 외벽(111)의 두께에 따라 상기 두께가 포함하는 전자량은 변경될 수 있다. 상기 외벽(111)의 두께가 두꺼운 경우의 전자량은 상대적으로 얇은 두께의 외벽(111)이 포함하는 전자량에 비하여 많아질 수 있다. 이에 따라, 외벽(111)의 두께가 두꺼워질수록 전술한 코일(300)의 주변에 형성되는 자기장에 기초하여 이동될 수 있는 전자량이 많아질 수 있다. 즉, 상기 코일(300)에 의해 콘테이너(110)의 외벽(111)에서 발생하는 유도 전류의 세기는 외벽(111)의 두께에 비례하여 커지게 된다. 결과적으로 제1 영역에서 발생하는 유도전류의 세기가 제2 영역에서 발생하는 유도전류의 세기보다 크게되어, 상기 제1 영역에서 발생하는 열량의 크기는 상기 제2 영역에서 발생하는 열량의 크기보다 크게된다.

상기 콘테이너(110)는 상기 외벽(111)으로부터 연장되는 복수의 구조체를 포함할 수 있다. 상기 격벽(113), 콘테이너탈착구조, 및 지지부재(117)는 상기 외벽(111)으로부터 연장되도록 콘테이너(110)에 형성될 수 있다.

도 9를 다시 참조하면, 상기 격벽(113)은 상기 콘테이너(110)의 내부 공간을 복수의 서브공간으로 구획하기 위하여 상기 콘테이너(110)에 형성될 수 있다. 상기 격벽(113)은 상기 콘테이너(110)의 상기 외벽(111)의 하부로부터 상기 외벽(111)의 하부에 수직한 방향으로 연장될 수 있다. 상기 구현되는 격벽(113)은 상기 외벽(111)의 측부와 상기 외벽(111)의 하부에 닿도록 상기 크루시블(100)의 폭방향(X방향) 또는 길이방향(Y방향)으로 연장되는 격벽(113)을 포함할 수 있다.

상기 격벽(113)의 구현소재는 전술한 콘테이너(110)의 외벽(111)의 소재와 같도록 선택될 수 있을 뿐만 아니라, 다르게 선택될 수 있다. 상기 격벽(113)의 구현소재의 열전도도가 상기 외벽(111)의 구현소재 보다 높도록 격벽(113)이 구현 소재가 선택될 수 있다. 상기 외벽(111)에서 발생한 열량은 콘테이너(110)의 측부에서 형성되어, 콘테이너(110)의 중심부로 전달되게 된다. 격벽(113)이 콘테이너(110)에 형성되는 경우, 상기 열량은 상기 격벽(113)을 이동통로로 하여 전달되게 된다. 상기 격벽(113)이 열전도도가 높은 소재로 구현됨으로써, 중심부로 상기 열량의 손실이 적게 전달될 수 있게 된다. 결과적으로, 상기 격벽(113)의 소재를 외벽(111)의 소재와 다르게 함으로써 열 전달 효율을 상승시킬 수 있게 된다.

상기 격벽(113)의 두께(t)는 전술한 콘테이너(110)의 외벽(111)의 두께(T)와 같은 두께로 구현될 수 있으나, 다른 두께로 구현될 수도 있다. 예를 들어, 상기 격벽(113)의 두께는 외벽(111)의 두께(T)보다 두껍게 형성될 수 있다. 상기 격벽(113)의 두께(t)가 두껍게 구현됨에 따라, 상기 외벽(111)에 발생한 열량을 상기 격벽(113)이 보다 많이 함유할 수 있게 되는 효과를 가질 수 있다. 또는, 상기 격벽(113)의 두께(t)가 두껍게 구현됨에 따라, 상기 격벽(113)이 지탱할 수 있는 무게 용량이 커질 수 있다. 전술한 내부크루시블(130)이 콘테이너(110)의 내부공간에 놓이는 경우, 내부크루시블(130)은 상기 격벽(113)의 면에 놓일 수 있다. 상기 격벽(113)이 두껍게 구현됨에 따라, 상기 격벽(113)은 상기 내부크루시블(130)을 지지할 수 있는 충분한 지탱 용량을 가질 수 있다. 또는, 상기 격벽(113)의 두께(t)는 상기 외벽(111)의 두께보다 얇은 두께로 구현될 수 있다.

상기 격벽(113)은 소정의 높이(h)로 구현될 수 있다. 상기 격벽(113)의 높이(h)는 상기 콘테이너(110)의 하부로부터 상기 하부의 수직한 방향으로 측정된 길이를 의미한다. 상기 격벽(113)의 높이(h)는 전술한 외벽(111)의 높이(H)보다 작은 높이로 구현될 수 있다.

도 9에 도시된 바와 같이, 상기 격벽(113)은 복수개로 구현될 수 있다. 상기 복수개로 구현된 격벽(113)은 제1 격벽(113-1), 제2 격벽(113-2), 및 제3 격벽(113-3)을 포함할 수 있다. 도 7을 참조하면, 상기 격벽(113)은 소정의 간격(d), 소정의 두께(t), 및 소정의 높이(h)로 형성될 수 있다.

상기 복수의 격벽(113)은 소정의 간격을 가지도록 상기 콘테이너(110)에 배치될 수 있다. 도 7을 참조하면, 상기 제1 격벽(113-1)은 상기 외벽(111)의 측부로부터 콘테이너(110)의 길이방향(Y방향)으로 소정의 간격(x)을 가지도록 배치될 수 있다. 상기 제2 격벽(113-2)은 상기 제1 격벽(113-1)으로부터 콘테이너(110)의 길이방향(Y방향)으로 제1 간격(d1)을 가지도록 배치될 수 있다. 상기 제3 격벽(113-3)은 콘테이너(110)의 길이방향(Y방향)으로 제2 간격(d2)을 가지도록 배치될 수 있다. 구현 목적에 따라, 상기 간격들은 조절될 수 있다. 상기 간격(x), 제1 간격(d1), 및 제2 간격(d2)은 서로 같은 크기의 간격일 수 있고, 또는 서로 다른 크기의 간격일 수도 있다.

상기 복수의 격벽(113)은 상기 크루시블(100)의 하부로부터 소정의 길이로 연장될 수 있다. 상기 제1 격벽(113-1)은 제1 높이(h1)로 연장될 수 있다. 상기 제2 격벽(113-2)은 제2 높이(h2)로 연장될 수 있다. 상기 제3 격벽(113-3)은 제3 높이(h3)로 연장될 수 있다. 구현 목적에 따라, 상기 격벽(113)의 길이들은 조절될 수 있다. 상기 제1 높이(h1), 제2 높이(h2), 및 제3 높이(h3)는 서로 같은 길이의 높이일 수 있고, 또는 서로 다른 길이의 높이일 수도 있다.

상기 복수의 격벽(113)은 소정의 두께로 구현될 수 있다. 상기 제1 격벽(113-1)은 제1 두께(tw1)로 구현될 수 있다. 상기 제2 격벽(113-2)은 제2 두께(tw2)로 구현될 수 있다. 상기 제3 격벽(113-3)은 제3 두께(tw3)로 구현될 수 있다. 구현 목적에 따라, 상기 격벽(113)의 두께들은 조절될 수 있다. 상기 제1 두께, 제2 두께, 및 제3 두께는 서로 같은 두께로 구현될 수 있고, 또는 서로 다른 두께로 구현될 수도 있다. 상기 복수의 격벽(113)을 구현하기 위한 소정의 소재가 선택될 수 있다. 상기 제1 격벽(113-1)은 제1 구현소재로 구현될 수 있고, 상기 제2 격벽(113-2)은 제2 구현소재로 구현될 수 있고, 상기 제3 격벽(113-3)은 제3 구현소재로 구현될 수 있다. 상기 각각의 구현소재에 기초하여, 상기 제1 격벽(113-1)의 열전도도, 상기 제2 격벽(113-2)의 열전도도, 및 상기 제3 격벽(113-3)의 열전도도는 서로 다를 수 있다.

상기 격벽(113)에 의해 복수로 분할된 내부공간은 서브내부공간(115)이라 할 수 있다. 상기 서브내부공간(115)은 제1 서브내부공간(115-1), 제2 서브내부공간(115-2), 제3 서브내부공간(115-3), 및 제4 서브내부공간(115-4)을 포함할 수 있다. 상기 각각의 내부 공간의 크기는 전술한 격벽(113)이 구현되는 간격, 두께, 및 높이에 기초하여 정의될 수 있다. 즉, 상기 서브내부공간(115)은 크루시블(100)에 형성되는 격벽(113)에 기초하여 다양한 형상으로 구현될 수 있다. 이에 대하여는 구체적으로 후술하도록 한다. 한편, 상기 각각의 내부공간은 후술한 내부크루시블(130)을 포함할 수 있다. 이에 대하여는 구체적으로 "1.3.2 내부크루시블"에서 구체적으로 후술하도록 한다.

도 9를 다시 참조하면, 상기 콘테이너(110)에는 소정의 지지부재(117)가 구비될 수 있다.

상기 지지부재(117)에 의해 콘테이너(110)에 후술할 커버플레이트(150)가 지지될 수 있다. 커버플레이트(150)가 콘테이너(110)의 외벽(111)과 소정의 위치관계를 유지할 수 있도록 상기 지지부재(117)는 소정의 형상을 가질 수 있다. 후술할 커버플레이트(150)는 상기 지지부재(117)에 의해 외벽(111)에 고정될 수 있다.

상기 지지부재(117)는 상기 콘테이너(110)의 외벽(111)에 형성될 수 있다. 상기 지지부재(117)는 외벽(111)의 내부면에 형성될 수 있다. 바람직하게 상기 콘테이너(110)의 하부로부터 상기 지지부재(117)가 형성된 높이는 전술한 격벽(113)의 높이보다 높게 형성될 수 있다. 지지부재(117)가 상기 격벽(113)의 높이보다 낮은 높이의 외벽(111) 내면에 형성되는 경우, 상기 지지부재(117)에 의해 상기 커버플레이트(150)가 지지되지 못하고, 상기 커버플레이트(150)가 상기 격벽(113)에 접촉될 수 있다. 또한, 바람직하게 후술할 내부크루시블(130)이 내부공간에 원활하게 투입되고, 상기 내부공간으로부터 분리될 수 있도록, 상기 지지부재(117)가 형성될 수 있다. 구체적으로 상기 투입/분리가 원활할 수 있도록 지지부재(117)는 최소한의 부피로 구현될 수 있다.

도 9를 다시 참조하면, 상기 콘테이너(110)의 외벽(111)에는 콘테이너탈착구조(114)가 형성될 수 있다.

상기 콘테이너탈착구조(114)는 후술할 리드(170)가 상기 콘테이너(110)와 결합되거나 분리될 수 있도록 소정의 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 콘테이너탈착구조(114)는 단층 형상일 수 있다. 상기 단층 형상은 콘테이너(110)의 내측에 가까운 부분이 돌출되고, 내측으로부터 먼 부분이 함몰되어 있는 단층 형상일 수 있다.

콘테이너(110)에 증착물질을 투입하기 위하여 상기 콘테이너(110)의 내부공간이 노출되도록 하는 경우, 상기 콘테이너(110)의 콘테이너탈착구조(114)에 결합되어 있는 리드(170)가 분리될 수 있다. 또한, 상기 콘테이너(110)의 내부공간을 다시 덮기 위하여, 상기 콘테이너(110)의 콘테이너탈착구조(114)에 리드(170)를 다시 결합시킬 수 있다.

이하에서는 전술한 콘테이너(110)에 구현되는 격벽(113)에 대하여 보다 구체적으로 설명하도록 한다.

도 10은 본 출원의 일 실시예에 따른 격벽이 형성된 콘테이너를 나타내는 도면이다.

도 10을 참조하면, 콘테이너(110)에는 여러 방향으로 연장되는 격벽(113)이 조합되어 형성될 수 있다. 상기 조합되는 격벽(113)은 서로 걸치게 되는 크로스 영역(C)이 형성될 수 있다. 상기 격벽(113)이 콘테이너(110)에 구비됨에 따라 복수의 서브내부공간(115)이 형성될 수 있다.

콘테이너(110)에는 내부공간을 복수의 공간으로 구획하는 벌집 형상의 콤브(comb)격벽(113)이 형성될 수 있다. 콘테이너(110)의 길이방향(Y방향)으로 연장되는 격벽(113), 및 폭방향(X방향)으로 연장되는 격벽(113)이 콘테이너(110)의 하부에 배치됨으로써, 상기 콤브격벽(113)이 형성될 수 있다. 또한, 상기 콤브격벽(113)에는 상기 격벽(113)들이 서로 크로스되는 접합 영역이 형성될 수 있다.

상기 폭방향(X방향)으로 연장되는 격벽(113)은 제1 격벽(113-1), 제2 격벽(113-2), 및 제3 격벽(113-3)을 포함할 수 있다. 상기 길이방향(Y방향)으로 연장되는 격벽(113)은 제4 격벽(113-4), 및 제5 격벽(113)을 포함할 수 있다.

전술하였듯이, 콘테이너(110)에 형성되는 격벽(113)은 콘테이너(110)의 다른 구성들과 소정의 간격을 갖도록 구현될 수 있다. 즉, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 길이방향(Y방향)으로 연장되는 격벽(113)은 소정의 간격을 가지도록 배치될 수 있다. 상기 외벽(111)과 상기 제 4 격벽(113) 사이의 간격은 제1 폭(w1), 상기 제4 격벽(113-4)과 상기 제5 격벽(113) 사이의 간격은 제2 폭(w2), 상기 제5 격벽(113)과 상기 외벽(111) 사이의 간격은 제3 폭(w3)이 될 수 있다.

상기 격벽(113)이 콘테이너(110)에 구현됨에 따라 콘테이너(110)에는 복수의 내부공간이 형성될 수 있다.

상기 격벽(113)의 조합에 따라 형성되는 크로스영역(C)의 넓이는 상기 폭방향(X방향)으로 연장되는 격벽(113)의 두께와 상기 길이방향(Y방향)으로 연장되는 격벽(113)의 두께에 의해 정의될 수 있다.

콘테이너(110)의 폭방향(X방향)으로 연장되는 격벽(113) 및 길이방향(Y방향)으로 연장되는 격벽(113) 이외에도 타방향으로 연장되는 격벽(113)이 콘테이너(110)에 형성될 수 있다. 이에 따라, 다양한 형상의 서브내부공간(115)이 콘테이너(110)에 형성될 수 있다.

상기 격벽(113)은 길이방향(Y방향)과 폭방향(X방향)으로 연장되는 격벽(113) 이외에도 상기 외벽(111)의 측부와 소정의 각도를 가지도록 연장되는 격벽(113)이 콘테이너(110)에 구현될 수 있다. 결과적으로, 콘테이너(110)의 하부, 또는 상부에서 관측하였을 때 삼각형태, 사각형태 등의 다각 형태의 복수의 서브내부공간(115)이 관측되도록 격벽(113)이 콘테이너(110)에 구현될 수 있다.

콘테이너(110)의 상부 또는 하부에서 관측하였을 때, 복수의 원형 형태의 서브내부공간(115)이 관측되도록 격벽(113)이 콘테이너(110)에 구현될 수 있다.

전술한 격벽은 크루시블의 내부공간에 놓이는 서브크루시블이 고정되도록 형성될 수 있다.

이를 위하여, 전술한 격벽(113)은 직육각 형상 이외에에도 다른 형상으로 구현될 수 있다.

도 11은 본 출원의 일 실시예에 따른 격벽의 다양한 형상을 나타내는 도면이다.

도 11 (a) 내지 (b)를 참조하면, 구현 목적에 따라 상기 격벽(113)의 형상으로 사각형, 마름모, 평행사변형, 원형, 또는 상기 형태가 조합된 형상 등의 다각형 형상이 선택될 수 있다. 상기 격벽의 형상은 서브크루시블을 고정하기 위한 목적으로 구현되는 형상이며, 구체적으로 상기 격벽이 서브크루시블에 형성되어 있는 소정의 고정홈에 결착됨으로써상기 격벽은 서브크루시블을 고정할 수 있다.

전술한 격벽(113)이 크루시블(100)에 형성되는 경우, 본 출원은 증착물질의 배출 균일도(conformity)가 향상되는 효과를 가질 수 있다. 특히, 격벽(113)이 형성된 측향식크루시블(102)의 경우 각 노즐을 통해 증착물질의 배출되는 양이 균일해질 수 있다. 상기 격벽(113)에 의해 형성된 서브내부공간(115)에 담기는 증착물질과 각 노즐과의 거리가 거의 균일하게 유지됨으로써, 본 출원은 각 노즐로부터 배출되는 증착물질의 배출되는 양이 균등해지는 효과를 가질 수 있다.

이에 대하여는 도면을 들어 "목차 3. 증착물질배출"에서 구체적으로 후술하도록 한다.

한편, 전술한 크루시블(100)에 구현되는 격벽(113)의 수, 내부공간의 수 등은 설명을 용이하게 하기 위하여 예로든 것으로, 전술한 예에 국한되지 않는 수의 격벽(113), 및 수의 내부공간이 크루시블(100)에 구현될 수 있다.

이하에서는 내부크루시블(130)에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다.

1.3.2 서브크루시블(sub-cruicible)

본 출원의 일 실시예에 따른 내부크루시블(130)은 콘테이너(110)의 내부공간에 놓이거나, 상기 내부공간으로부터 분리될 수 있다.

이하에서는 설명을 용이하게 하기 위하여 상기 내부크루시블(130)은 서브크루시블(130)로 하여 설명하도록 한다.

상기 서브크루시블(130)을 이용하여 증착물질을 제공하는 경우, 본 출원은 상기 증착물질을 크루시블(100)에 직접제공하는 데에 비해 크루시블(100)의 수명을 연장시키는 효과를 가질 수 있다.

상기 서브크루시블이 크루시블에 구비되지 않는 경우, 증착 공정이 진행되면서, 크루시블(100)의 내구도는 점점 감소하게 될 수 있다. 즉, 증착 공정이 진행되며, 상기 크루시블(100)이 증착물질을 담을 수 없을 정도로 훼손될 수 있다. 상기 훼손은 증착물질과 크루시블(100)의 화학적 반응에 따른 것일 수 있다. 예를 들어, 크루시블(100)이 고온으로 가열됨에 따라, 크루시블(100)의 온도는 상기 크루시블(100)을 구현하는 소재와 증착물질인 금속물질이 화학적으로 반응할 수 있는 온도까지 상승될 수 있다. 금속물질과 크루시블(100)의 구현소재가 반응함으로써, 크루시블(100)의 내부공간을 구성하는 외벽(111)의 구성물질이 달라지게 되고, 구성물질이 달라짐으로써 외벽(111)의 내면의 러프니스가 달라질 수 있고, 외벽(111)의 내면이 굴곡지게 될 수 있는 등의 훼손이 발생할 수 있다.

특히, 소정의 금속 물질을 피증착대상의 표면에 증착시키기 위하여, 상기 크루시블(100)에는 상기 금속물질이 담길 수 있다. 상기 금속물질이 가열됨에 따라, 크루시블(100)의 외벽(111)의 내면은 상기 용융된 금속물질에 의해 훼손될 수 있다. 즉, 크루시블(100)에는 증착물질이 담길 수 없을 만큼 크루시블(100)의 내부공간이 손상될 수 있다. 또는, 상기 크루시블(100)에 증착물질이 담길 수 있더라도, 증착물질이 콘테이너(110)의 내부공간에 균일하게 놓일 수 없게 될 수 있다. 이에 따라, 증착물질이 균일하게 외부로 배출되기 힘들어져 제대로된(conforminty한) 증착공정이 어려워질 수 있다.

본 출원에서는 상기 크루시블(100)의 내부공간에 증착물질이 직접 접촉되지 않게 함으로써 상기와 같은 문제점을 해결 할 수 있다. 본 출원은 서브크루시블(130)이라는 증착물질이 담길 수 있는 용기를 크루시블(100)로 제공함으로써, 크루시블(100)의 수명을 연장시키는 효과를 가질 수 있다.

도 12는 본 출원의 일 실시예에 따른 내부크루시블을 나타내는 도면이다.

도 12를 참조하면, 서브크루시블(130)은 서브외벽(131)을 포함할 수 있다. 그러나, 도 12에 도시된 구성요소들이 필수적인 것은 아니고, 그보다 많은 구성요소를 갖거나 그보다 적은 구성요소를 갖는 서브크루시블(130)이 구현될 수도 있다.

상기 서브외벽(131)은 서브크루시블(130)의 외적 형상을 정의할 수 있다. 도 12 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 서브외벽(131)에 의해 육면체 형상의 서브크루시블(130)이 정의될 수 있다. 상기 서브크루시블(130)의 일면은 개방되어 있을 수 있다. 상기 개방된 일면을 통하여, 증착물질이 상기 서브크루시블(130) 내로 투입될 수 있고, 투입된 증착물질이 배출 될 수 있다.

설명을 용이하게 하기 위하여 서브크루시블(130)의 개방된 영역을 기준으로 상기 서브크루시블(130)의 영역에 대하여 정의하도록 한다. 즉, 상기 서브크루시블(130)의 외벽(111)의 영역은 측부, 하부, 및 개방된 상부로 구분될 수 있다. 상기 하부는 개방된 영역인 상부에 마주보도록 위치하는 영역이며, 상기 측부는 개방된 영역인 상부와 접하는 영역을 의미한다. 또한, 상기 상부, 측부, 및 하부는 복수의 영역을 더 포함할 수 있다.

상기 서브외벽(131)은 소정의 높이(ih)로 구현될 수 있다. 상기 높이(ih)는 상기 콘테이너(110)의 하부로부터 상기 하부의 수직한 방향으로 측정된 길이를 의미한다. 상기 서브외벽(131)의 높이(ih)는 전술한 콘테이너(110)의 격벽(113)의 높이(h)보다 작은 크기의 높이일 수 있다.

상기 서브외벽(131)은 소정의 두께(it)로 구현될 수 있다. 상기 서브외벽(131)은 전술한 콘테이너(110)의 외벽(111)과 격벽(113)의 두께와 다른 두께로 구현될 수 있다.

한편, 상기 서브크루시블(130)의 크기는 콘테이너(110)의 내부공간에 배치되는 서브크루시블(130) 간의 간격과 문제될 수 있다. 즉, 콘테이너(110)의 내부공간에 배치되는 복수의 서브크루시블(130) 사이에 간격이 존재하도록, 상기 서브크루시블(130)의 크기가 정의 될 수 있으며, 상기 정의된 크기에 맞추어 상기 서브외벽(131)이 구현될 수 있다.

또한, 상기 서브외벽(131)에 의해 정의되는 서브크루시블(130)의 크기는 전술한 내부공간, 혹은 서브내부공간(115)의 크기와 문제될 수 있다. 즉, 상기 서브크루시블(130)의 크기는 전술한 서브내부공간(115)의 크기에 딱 맞도록 상기 서브외벽(131)이 구현될 수 있고, 또는 서브내부공간(115)의 크기보다 작도록 상기 서브외벽(131)이 구현될 수 있다.

상기 서브크루시블(130)과 다른 서브크루시블(130), 외벽(111), 및 격벽(113)과의 간격은 구체적으로 "목차 2.1"에서 후술하도록 한다.

상기 서브외벽(131)의 측부, 하부, 및 상부 사이에는 내부챔버(135)가 정의될 수 있다. 상기 서브외벽(131)이 형성됨에 따라, 도 12에 도시된 바와 같은 상기 서브크루시블(130)의 서브외벽(131)과 서브외벽(131) 사이에 길이방향(Y방향) 및 폭방향(X방향)을 가지는 육면체 형상의 내부챔버(135)가 정의될 수 있다.

상기 내부챔버(135)에는 증착물질이 담길 수 있다.

상기 내부챔버(135)에 증착물질을 담기 위하여, 상기 서브크루시블(130)은 크루시블(100)로부터 분리될 수 있고, 상기 콘테이너(110)로부터 분리될 수 있다.

또한, 상기 크루시블(100) 내부로 증착물질을 제공하기 위하여, 상기 증착물질이 담긴 서브크루시블(130)은 상기 크루시블(100)로 제공될 수 있고, 상기 콘테이너(110)의 내부공간에 놓일 수 있고, 상기 콘테이너(110)의 서브내부공간(115)으로 제공될 수 있다.

예를 들어 상기 증착물질이 담긴 서브크루시블(130)의 내부챔버(135)가 상기 서브내부공간(115)에 포함되도록, 서브크루시블(130)이 상기 서브내부공간(115)에 놓일 수 있다.

예를 들어 상기 서브내부공간(115)에 증착물질이 포함됨으로써, 상기 콘테이너(110)의 내부공간에는 증착물질이 놓일 수 있게 된다.

즉 전술한 예들의 의미는, 서브크루시블(130)이 콘테이너(110)의 서브내부공간(115)에 제공됨으로써, 내부챔버(135)는 서브내부공간(115)에 속하게 되고, 내부챔버(135)는 서브내부공간(115)을 포함하는 내부공간에 속하게 되는 것을 의미한다.

전술한 서브크루시블(130)이 상기 콘테이너(110)에 놓이고, 떼어내는 것은 크루시블(100)의 분리/결합, 또는 탈거/결착이라고 한다. 상기 분리/결합, 탈거/결착은 구체적으로 후술하도록 한다.

한편, 상기 서버크루시블로 제공되는 열량이 조절되도록, 서브크루시블의 측부면의 면적의 넓이가 조절될 수 있다. 이에 따라, 상기 서브크루시블(130)의 서브내브공간은 다양한 형상을 가질 수 있다.

서브크루시블(130)의 상부의 개구된 영역의 형상이 원 형상, 반원 형상, 사각 형상 등의 각종 다각형의 형상 또는 상기 다각형이 조합된 형상이 되도록, 본 출원의 일 실시예에 따른 서브크루시블(130)이 구현될 수 있다.

서브크루시블(130)의 측부에서 관측하였을 때의 상기 서브내부공간(115)의 형상이 원 형상, 반원 형상, 사각 형상 등의 각종 다각형의 형상 또는 상기 다각형이 조합된 형상이 되도록, 본 출원의 일 실시예에 따른 서브크루시블(130)이 구현될 수 있다.

이하에서는 커버플레이트(150)에 대하여 설명하도록 한다.

1.3.3 커버플레이트(cover plate)

본 출원의 일 실시예에 따른 커버플레이트(150)는 콘테이너(110)의 내부공간을 덮도록, 배치될 수 있다. 상기 내부공간이 격벽(113)에 의해 구획됨으로써 형성되는 콘테이너(110)의 서브내부공간(115)은 상기 커버플레이트(150)에 의해 커버될 수 있다.

상기 커버플레이트(150)는 상기 콘테이너(110)로부터 분리되고 결합될 수 있다. 상기 커버플레이트(150)는 전술한 콘테이너(110)의 지지부재(117)에 결착됨으로써 상기 콘테이너(110)애 배치되고, 상기 지지부재(117)로부터 탈착됨으로써 상기 콘테이너(110)로부터 분리될 수 있다. 즉, 상기 커버플레이트(150)는 탁찰식이다. 전술한 콘테이너(110)에 증착물질을 담기위하여, 상기 커버플레이트(150)는 콘테이너(110)로부터 분리될 수 있다.

도 13은 본 출원의 일 실시예에 따른 커버플레이트를 나타내는 도면이다.

도 14는 본 출원의 일 실시예에 따라 커버플레이트에 형성된 내부노즐을 나타내는 도면이다.

도 13을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 커버플레이트(150)는 제1 면 및 제2 면을 포함하는 평판 형상으로 제공될 수 있다. 상기 평판 형상의 커버플레이트(150)에는 내부노즐(151)이 형성될 수 있다.

상기 평판 형상의 커버플레이트(150)는 다양한 외적 형상을 가질 수 있다. 상기 다양한 외적 형상은 원 형상, 반원 형상, 사각 형상 등의 각종 다각형의 형상 또는 상기 다각형이 조합된 형상을 포함할 수 있다.

상기 평판 형상의 커버플레이트(150)는 소정의 두께를 갖도록 구현될 수 있다.

도 13을 다시 참조하면, 상기 커버플레이트(150)에는 내부노즐(151)이 형성될 수 있다. 상기 내부노즐(151)은 커버플레이트(150)의 제1 면 및 제2 면이 관통되도록 형성될 수 있다.

상기 내부노즐(151)을 통하여 증착물질이 배출될 수 있다. 전술한 코일(300)의 가열동작에 따라 콘테이너(110)의 내부공간에 놓인 서브크루시블(130)로부터 증착물질의 이동이 시작되고, 콘테이너(110)의 내부공간으로부터 상기 이동을 시작한 증착물질은 상기 내부노즐(151)을 통해 배출될 수 있다.

상기 내부노즐(151)은 반지름(r)을 갖는 원형상으로 구현될 수 있다.

상기 커버플레이트(150)에 상기 내부노즐(151)은 복수개 구현될 수 있다. 상기 복수개 구현되는 내부노즐(151)은 제1 내부노즐(151-1), 제2 내부노즐(151-2), 제3 내부노즐(151-3), 및 제4 내부노즐(151-4)을 포함할 수 있다.

상기 내부노즐(151) 사이에 일방향으로 소정의 간격이 존재하도록, 상기 커버플레이트(150)에 내부노즐(151)이 일방향으로 배치될 수 있다. 상기 커버플레이트(150)에서 일방향으로 배치되는 복수의 내부노즐(151) 사이에는 간격(cd)이 존재할 수 있다. 도 12를 다시 참조하면, 상기 제1 내부노즐(151-1)과 상기 제2 내부노즐(151-2)은 소정의 간격(cd1)을 가지도록 배치될 수 있다. 상기 제2 내부노즐(151-2)은과 상기 제3 내부노즐(151-3)은 소정의 간격(cd2)을 가지도록 배치될 수 있다. 상기 제3 내부노즐(151-3)과 상기 제4 내부노즐(151-4)은 소정의 간격(cd3)을 가지도록 배치될 수 있다. 구현 목적에 따라, 상기 간격들은 조절될 수 있다. 상기 간격(cd1), 간격(cd2), 및 간격(cd3)은 서로 같은 크기의 간격일 수 있고, 또는 서로 다른 크기의 간격일 수도 있다.

상기 복수개 형성되는 내부노즐(151)은 소정의 반지름(r)을 갖는 원형상으로 구현될 수 있다. 제1 내부노즐(151-1)은 제1 반지름(r1)을 가질 수 있고, 제2 내부노즐(151-2)은 제2 반지름(r2)을 가질 수 있고, 제3 내부노즐(151-3)은 제3 반지름(r3)을 가질 수 있고, 제4 내부노즐(151-4)은 제4 반지름(r4)을 가질 수 있다. 구현 목적에 따라, 상기 반지름의 크기는 조절될 수 있다. 상기 제1 반지름(r1), 제2 반지름(r2), 제3 반지름(r3), 및 제4 반지름(r4)은 서로 같은 크기의 반지름일 수 있고, 또는 서로 다른 크기의 반지름일 수도 있다. 예를 들어, 평판형상의 커버플레이트(150)의 중심부에서 사이드로 갈수록 내부노즐(151)의 크기가 작아지도록, 일방향으로 배치되는 상기 내부노즐(151)들의 반지름이 서로 각기 다르게 설정될 수 있다.

또한, 상기 복수로 형성되는 내부노즐(151)은 커버플레이트(150)에 일방향 이외의 다른 방향인 타방향으로도 배치될 수 있다.

도 14를 참조하면, 상기 커버플레이트(150)에 상기 일방향의 수직한 방향인 타방향으로 내부노즐(151)이 배치될 수 있다. 상기 타"?戮막? 배치되는 내부노즐(151)은 제5 내부노즐(151-5) 및 제6 내부노즐(151-6)을 포함할 수 있다.

상기 내부노즐(151) 사이에 타방향으로 소정의 간격이 존재하도록, 상기 커버플레이트(150)에 내부노즐(151)이 타방향으로 배치될 수 있다.

상기 제1 내부노즐(151-1)과 상기 제5 내부노즐(151-5) 사이에는 타방향으로 간격(cw1)이 존재하고, 상기 제1 내부노즐(151-1)과 상기 제6 내부노즐(151-6) 사이에는 타방향으로 간격(cw2)이 존재하도록, 상기 내부노즐(151)이 커버플레이트(150)에 형성될 수 있다. 구현 목적에 따라, 상기 간격들은 조절될 수 있다. 상기 간격(cw1), 간격(cw2)는 서로 같은 크기의 간격일 수 있고, 또는 서로 다른 크기의 간격일 수도 있다.

상기 타방향은 전술한 일방향의 수직한 방향인 것으로 설명하였으나, 상기 타방향은 이에 국한되지 않고 다양한 방향이 될 수 있다.

한편, 증착물질이 배출될 수 있도록, 커버플레이트(150)의 소정의 위치에 상기 내부노즐(151)이 배치되는데 이에 대하여는 구체적으로 후술하도록 한다.

한편, 상기 내부노즐(151)은 전술한 원형상 이외에도 다양한 형상을 가질 수 있다.

내부노즐(151)의 형상으로 원 형상, 반원 형상, 사각 형상 등의 각종 다각형의 형상 또는 상기 다각형이 조합된 형상이 선택될 수 있다.

도 15는 본 출원의 일 실시예에 따라 커버플레이트에 형성된 내부노즐을 나타내는 도면이다.

특히, 도 15를 참조하면, 상기 내부노즐(151)의 형상은 곡률이 변경되는 타원 형상으로 구현될 수 있다.

상기 곡률이 변경되는 타원 형상의 내부노즐(151)은 리드(170)의 중심부에 가까운 제1 영역, 및 리드(170)의 측부에 가까운 제2 영역을 포함하고, 상기 제1 영역의 곡률은 상기 제2 영역의 곡률보다 클 수 있다.

상기 타원 형상의 내부노즐(151)은 측부에 가까운 영역에서 곡률이 급격히 변경되는 변곡점을 가질 수 있다. 상기 변곡점은 꼭지점을 외관상 타원의 꼭지점으로 보일 수 있다.

상기 내부노즐의 형상의 곡률이 변경됨에 따라, 상기 내부노즐을 통해 배출되는 증착물질의 양이 조절될 수 있다.

1.3.4 리드(lid)

본 출원의 일 실시예에 따른 리드(170)는 콘테이너(110)의 커버플레이트(150)가 덮일 수 있도록, 상기 콘테이너(110)에 구비될 수 있다. 상기 내부공간이 구획됨으로써 형성되는 서브내부공간(115)은 상기 커버플레이트(150)에 의해 커버될 수 있다.

도 16은 본 출원의 일 실시예에 따른 리드(170)를 나타내는 도면이다.

도 16을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 리드(170)는 외부노즐(171), 리드외벽(173), 및 리드탈착구조를 포함할 수 있다. 도 13에 도시된 구성요소들이 필수적인 것은 아니고, 그보다 많은 구성요소를 갖거나 그보다 적은 구성요소를 갖는 리드(170)가 구현될 수도 있다.

상기 리드(170)에는 외부노즐(171)이 형성될 수 있다. 상기 외부노즐(171)은 리드(170)의 상부 및 하부이 관통되도록 형성될 수 있다.

상기 외부노즐(171)을 통하여 증착물질이 배출될 수 있다. 전술한 코일(300)의 가열동작에 따라 커버플레이트(150)의 내부노즐(151)을 통해 배출된 증착물질이 상기 리드(170)의 외부노즐(171)을 통하여 크루시블(100)의 외부공간으로 배출될 수 있다.

상기 외부노즐(171)의 구현예는 전술한 리드(170)에 형성되는 내부노즐(151)의 구현예와 실질적으로 동일하다. 따라서, 중복되는 설명을 생략하도록 한다.

상기 외부노즐(171)과 전술한 내부노즐(151)의 위치적관계가 문제될 수 있는데 이에 대하여는 구체적으로 후술하도록 한다.

도 16을 참조하면, 상기 리드외벽(173)은 리드(170)의 외적 형상을 정의할 수 있다. 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 리드(170)에 의해 길이방향(Y방향), 및 폭방향(X방향)을 가지는 육면체 형상의 콘테이너(110)가 정의될 수 있다. 설명을 용이하게 하기 위하여 리드(170)의 개방된 영역을 기준으로 상기 서브크루시블(130)의 영역에 대하여 정의하도록 한다. 즉, 상기 서브크루시블(130)의 리드외벽(173)의 면은 측부, 상부, 및 개방된 영역이 형성된 하부로 구분될 수 있다. 상기 상부는 개방된 영역이 형성된 하부에 마주보도록 위치하는 면이며, 상기 측부는 개방된 영역인 하부와 접하는 면을 의미한다. 또한, 상기 상부, 측부, 및 하부는 복수의 영역을 더 포함할 수 있다.

상기 리드외벽(173)은 소정의 두께(tl)로 구현될 수 있다. 리드외벽(173)의 영역별로 상기 리드외벽(173)은 서로 다른 두께로 구현될 수 있다. 예를 들어, 전술한 제1 영역의 두께(t)와 제2 영역의 두께(tl)는 서로 다를 수 있다. 즉, 상기 제1 영역이 리드외벽(173)의 측부의 상부영역이고, 상기 제2 영역이 리드외벽(173)의 측부의 하부영역인 경우, 상기 상부 영역의 두께(tl)는 tl1으로 형성되고, 상기 하부 영역의 두께(t)는 상기 tl1 보다 작은 tl2로 형성될 수 있다. 이에 따라, 전술한 코일(300)의 가열 동작에 따라 발생하는 열량은 제1 영역과 제2 영역에서 서로 다를 수 있다. 리드외벽(173)의 두께에 따라 상기 두께가 포함하는 전자량은 변경될 수 있다. 상기 리드외벽(173)의 두께가 두꺼운 경우의 전자량은 상대적으로 얇은 두께의 리드외벽(173)이 포함하는 전자량에 비하여 많아질 수 있다. 이에 따라, 리드외벽(173)의 두께가 두꺼워질수록 전술한 코일(300)의 주변에 형성되는 자기장에 기초하여 이동될 수 있는 전자량이 많아질 수 있다. 즉, 상기 코일(300)에 의해 콘테이너(110)의 리드외벽(173)에서 발생하는 유도 전류의 세기는 리드외벽(173)의 두께에 비례하여 커지게 된다. 결과적으로 제1 영역에서 발생하는 유도전류의 세기가 제2 영역에서 발생하는 유도전류의 세기보다 크게 되어, 상기 제1 영역에서 발생하는 열량의 크기는 상기 제2 영역에서 발생하는 열량의 크기보다 크게 된다.

한편, 리드(170)는 콘테이너(110)로부터 탈부착될 수 있다.

이를위하여, 상기 리드(170)에는 소정의 리드탈착구조가 형성될 수 있다. 상기 탈착구조는 상기 리디의 리드외벽에 형성될 수 있다.

상기 리드(170)탈착구조는 전술한 콘테이너(110)와 상기 리드(170)가 결합되거나 분리될 수 있도록 소정의 형상을 가질 수 있다.

예를 들어, 상기 리드(170)탈착구조는 단층 형상일 수 있다. 상기 단층 형상은 콘테이너(110)의 내측에 가까운 부분이 함몰되고, 내측으로부터 먼 부분이 돌출되어 있는 단층 형상일 수 있다.

상기 리드(170)탈착구조는 전술한 콘테이너(110)의 콘테이너탈착구조(114)와 결착될 수 있다. 크루시블(100)에 증착물질을 투입하기 위하여 상기 콘테이너(110)의 내부공간이 노출되도록 하는 경우, 상기 리드(170)의 리드(170)탈착구조에 결합되어 있는 콘테이너(110)가 분리될 수 있다. 또한, 상기 콘테이너(110)의 내부공간을 다시 덮기 위하여, 상기 리드(170)의 탈착구조에 콘테이너(110)를 다시 결합시킬 수 있다.

전술한 크루시블(100)의 구성들은 일 예에 불과할 뿐, 이에 국한되지 않는다. 특히, 전술한 콘테이너(110)의 격벽(113)의수, 내부공간의 수, 서브내부공간(115)의 수, 서브크루시블(130)의 수, 커버플레이트(150)의 내부노즐(151)의 수, 리드(170)의 외부노즐(171)의 수는 도면에 도시된 수에 국한되지 않는 수(더 많은 수, 혹은 더 적은 수)로 크루시블(100)에 구현될 수 있다. 또한, 전술한 상기 구성의 구현예는 상기 구현수에 관계없이 적용될 수 있다. 예를 들어, 내부노즐(151)의 구현 개수가 4개인 것으로하여 복수의 내부노즐간 거리가 조절되는 사상을 설명하였으나, 상기 설명은 일예일 뿐 내부노즐(151)의 구현 개수가 6개인 경우에도 내부노즐간 거리가 조절되는 사상이 적용될 수 있다.

이하에서는 크루시블(100)의 각 구성간의 관계에 대하여 설명하도록 한다.

2. 크루시블의 구체적 구현예

이하에서는 크루시블(100)의 각 구성간의 관계에 따른 크루시블(100)의 구체적 구현예에 대하여 설명하도록 한다.

본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(100)의 구성인 콘테이너(110), 서브크루시블(130), 커버플레이트(150), 및 리드(170)는 서로 유기적 관계를 가지도록 구현될 수 있다.

예를 들어, 상기 콘테이너(110)와 상기 서브크루시블(130)은 서로 유기적 관계를 가질 수 있다.

또한 예를 들어, 상기 서브크루시블(130)과 상기 커버플레이트(150)는 서로 유기적 관계를 가질 수 있다.

또한 예를 들어, 상기 커버플레이트(150)와 상기 리드(170)는 서로 유기적 관계를 가질 수 있다.

즉, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(100)은 내부 공간이 형성된 콘테이너(110); 상기 외벽(111)의 내면에 접하는 제1 면, 상기 제1 면과 이격되어 마주보도록 위치하며 내부가 노출되도록 개구영역이 형성되는 제2 면, 및 상기 제1 면과 상기 제2 면에 연결되며 상기 제1 면과 상기 제2 면에 수직한 제3 면을 포함하는 내부크루시블(130); 상부면, 상기 상부면과 대향하는 하부면, 및 상기 상부면과 하부면에 연결되는 측부면을 포함하고, 상기 하부면이 상기 내부크루시블(130)의 상기 제2 면 또는 상기 제3 면과 이격되어 마주보도록 배치되고, 상기 측부면이 상기 콘테이너(110)의 상기 외벽(111)의 내면과 접하며, 상기 내부크루시블(130)의 상기 내부가 노출되도록 상기 하부면과 상기 상부면을 관통하는 노즐이 형성된 평판 형상의 커버플레이트(150); 및 상기 커버플레이트(150)의 상기 상부면과 대향하는 하부면을 포함하고, 상기 콘테이너(110)의 상기 외벽(111)과 결합되며, 복수의 노즐이 형성된 리드(170);를 포함할 수 있다.

또, 상기 내부크루시블(130), 상기 커버플레이트(150), 및 상기 리드(170)는 상기 콘테이너(110)의 상기 외벽(111)으로부터 탈착 가능한 것을 특징으로 할 수 있다.

2.1 콘테이너 및 서브크루시블

본 출원의 일 실시예에 따른 콘테이너(110)와 내부크루시블(130)은 서로 결합되고, 분리될 수 있다. 즉, 내부크루시블(130)은 콘테이너(110)로부터 착탈(탈착)가능하다.

도 17은 본 출원의 일 실시예에 따른 콘테이너와 내부크루시블을 나타내는 도면이다.

도 17을 참조하면, 콘테이너(110)에 증착물질이 놓일 수 있다. 증착물질은 콘테이너(110)로 제공될 수 있다.

상기 증착물질은 서브크루시블(130)의 내부챔버(135)에 놓이고, 콘테이너(110)의 서브내부공간(115)에 놓이고, 콘테이너(110)의 내부공간에 놓일 수 있다.

증착물질은 서브크루시블(130)의 내부챔버(135)에 놓일 수 있다. 상기 서브크루시블(130)이 상기 콘테이너(110)의 서브내부공간(115)에 놓임으로써, 상기 증착물질은 상기 콘테이너(110)의 서브내부공간(115)에 놓일 수 있다. 상기 서브크루시블(130)이 상기 콘테이너(110)의 서브내부공간(115)에 놓임으로써, 상기 증착물질은 상기 콘테이너(110)의 내부공간에 놓일 수 있다.

전술한 바와 같이, 본 출원의 서브크루시블(130)을 통해 증착물질을 크루시블(100)에 제공함으로써, 크루시블(100)에 증착물질을 직접 제공하는데 비하여 크루시블(100)의 수명을 연장시키는 효과를 가질 수 있다.

상기 내부공간에 서브크루시블(130)이 놓이는 경우, 상기 서브크루시블(130)의 일면이 콘테이너(110)의 외벽(111)의 내면과 접촉되도록 상기 서브크루시블(130)이 배치될 수 있다. 상기 내부공간에 놓이는 서브크루시블(130)의 개구영역이 형성된 상부와 콘테이너(110)의 외벽(111)과의 관계는 다양한 예를 가질 수 있다. 예를 들어, 가열어셈블리(1)의 증착 형식에 따라 상기 서브크루시블(130)의 상부와 콘테이너(110)의 외벽(111)과의 관계가 달라질 수 있다.

상기 가열어셈블리(1)가 상향식인 경우, 상기 서브크루시블(130)의 상부는 상기 콘테이너(110)의 개방된 영역이 형성된 상부와 서로 대향하도록 배치될 수 있다.

상기 가열어셈블리(1)가 하향식인 경우, 상기 서브크루시블(130)의 상부는 상기 콘테이너(110)의 측부의 외벽(111)의 내면에 대향하도록 배치될 수 있다.

한편, 상기 상향식은 증착물질이 배출되는 방향의 반대방향으로 중력이 작용되도록 증착하는 가열어셈블리(1)의 형식을 의미하고, 상기 측향식은 증차물질이 배출되는 방향의 수직한 방향으로 중력이 작용되도록 증착하는 가열어셈블리(1)의 형식을 의미할 수 있다.

이하에서는 전술한 콘테이너(110)와 서브크루시블(130)의 관계에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다.

2.1.1 격벽이 형성된 콘테이너, 및 서브크루시블

이하에서는 격벽(113)이 형성된 콘테이너(110)에 서브크루시블(130)이 놓이는 경우에 대하여 설명하도록 한다. 설명을 용이하게 하기 위하여, 가열어셈블리(1)가 상향식인 경우와 측향식인 경우를 분류하여 설명하도록 한다.

2.1.1.1 상향식

이하에서는 상향식 가열어셈블리의 경우에 대해서 설명하도록 한다.

도 18은 본 출원의 일 실시예에 따른 상향식 가열어셈블리의 콘테이너에 놓인 서브크루시블을 나타내는 도면이다.

도 19는 본 출원의 일 실시예에 따른 상향식 가열어셈블리의 콘테이너에 놓인 서브크루시블을 나타내는 도면이다.

도 18을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 격벽(113)이 형성된 상향식 콘테이너(101)의 서브내부공간(115)에 서브크루시블(130)이 놓일 수 있다.

상기 서브크루시블(130)은 제1 서브크루시블(130-1), 제2 서브크루시블(130-2), 제3 크루시블(100), 및 제4 서브크루시블(130-4)을 포함할 수 있다. 상기 서브내부공간(115)은 제1 서브내부공간(115-1), 제2 서브내부공간(115-2), 제3 서브내부공간(115-3), 및 제4 서브내부공간(115-4)을 포함 할 수 있다. 상기 격벽(113)은 제1 격벽(113-1), 제2 격벽(113-2), 및 제3 격벽(113-3)을 포함할 수 있다.

상기 서브크루시블(130)이 놓이는 경우, 상기 서브크루시블(130)의 하부가 상기 콘테이너(110)의 하부에 접촉하도록 놓일 수 있다.

도 18를 참조하면, 전술한 각각의 서브크루시블(130)은 서로 다른 서브내부공간(115)에 놓일 수 있다. 즉, 상기 제1 서브크루시블(130-1)은 상기 제1 서브내부공간(115-1)에 놓이고, 상기 제2 서브크루시블(130-2)은 상기 제2 서브내부공간(115-2)에 놓이고, 상기 제3 서브크루시블(130-3)은 상기 제3 서브내부공간(115-3)에 놓이고, 상기 제4 서브크루시블(130-4)은 상기 제4 서브내부공간(115-4)에 놓일 수 있다.

이에 따라, 상기 제1 서브크루시블(130-1)에 놓인 제1 증착물질은 상기 제1 서브내부공간(115-1)으로 제공되고, 상기 제2 서브크루시블(130-2)에 놓인 제2 증착물질은 상기 제2 서브내부공간(115-2)으로 제공되고, 상기 제3 서브크루시블(130-3)에 놓인 제3 증착물질은 상기 제3 서브내부공간(115-3)으로 제공되고, 상기 제4 서브크루시블(130-4)에 놓인 제4 증착물질은 상기 제4 서브내부공간(115-4)으로 제공될 수 있게 된다.

한편, 구현목적에 따라 서브크루시블(130)과 상향식 콘테이너(101)의 외벽(111) 사이의 간격, 및 서브크루시블(130)과 상향식 콘테이너(101)의 격벽(113) 사이의 간격이 결정되며, 상기 결정된 간격에 따라 상기 서브크루시블(130)의 크기가 결정될 수 있다. 또는, 서브크루시블(130)의 크기가 결정되며, 상기 결정된 크기에 따라 서브크루시블(130)과 상향식 콘테이너(101)의 외벽(111) 사이의 간격, 및 서브크루시블(130)과 상향식 콘테이너(101)의 격벽(113) 사이의 간격이 결정될 수 있다.

상기 구현 목적은 콘테이너(110)의 외벽(111)으로부터 상기 증착물질까지 열전달의 효율, 또는 상기 서브크루시블(130)의 탈착에 관한 것일 수 있다.

예를 들어, 열전달 효율을 위하여 상기 서브공간에 놓이는 서브크루시블(130)과 격벽(113) 및 외벽(111)의 사이에 간격이 없도록, 서브크루시블(130)과 상기 서브크루시블(130)의 크기가 서브내부공간(115)의 크기에 맞게 구현될 수 있다. 상기 서브크루시블(130)의 측부의 모든 면이 상기 콘테이너(110)의 외벽(111) 및 격벽(113)과 접촉됨으로써, 외벽(111), 및 격벽(113)을 통하여 상기 서브크루시블(130)로 열량의 손실없이 전달될 수 있다.

또한 예를 들어, 용이한 탈착을 위하여 서브크루시블(130)과 외벽(111) 및 격벽(113) 사이에 간격이 존재하도록, 서브크루시블(130)의 크기가 서브내부공간(115)의 크기보다 작게 구현될 수 있다.

이하에서는 상기 서브크루시블(130)이 각 서브내부공간(115)의 크기보다 작은 크기로 구현되는 경우, 발생하는 상기 서브크루시블(130)은 콘테이너(110)의 외벽(111) 및 격벽(113)과 소정의 위치적 관계에 대하여 설명하도록 한다.

도 18 및 19를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 서브크루시블(130)은 콘테이너(110)의 외벽(111) 및 격벽(113)과 소정의 위치적 관계를 가질 수 있다.

상기 서브크루시블(130)은 측부가 콘테이너(110)에 형성된 격벽(113)과 소정의 간격을 가지고, 콘테이너(110)의 외벽(111)과 소정의 간격을 가지도록, 상기 서브크루시블(130)이 상기 서브내부공간(115)에 위치할 수 있다.

도 18 및 19를 다시 참조하면, 콘테이너(110)의 측부의 외벽(111)의 내면은 폭방향(X방향)으로 연장되는 제1 면, 및 제2 면을 포함하고, 길이방향(Y방향)으로 연장되는 제3 면, 및 제4 면을 포함할 수 있다. 또한, 각 격벽(113)은 일 방향에 배치된 제1 격벽면 및 타 방향에 배치된 제2 격벽면을 포함할 수 있다.

상기 제1 서브크루시블(130-1)의 측부는 상기 제1 면과 간격(b1-3), 상기 제3면과 간격(b1-1), 상기 제4 면과 간격(b1-2), 및 제1 격벽(113-1)의 제1 격벽면과 간격(i1)을 가질 수 있다. 상기 제2 서브크루시블(130-2)의 측부는 상기 제3면과 간격(b2-1), 상기 제4 면과 간격(b2-2), 제1 격벽(113-1)의 제2 격벽면과 간격(i2-1), 및 제2 격벽(113-2)의 제1 격벽면과 간격(i2-2)을 가질 수 있다. 상기 제3 서브크루시블(130-3)의 측부는 상기 제3 면과 간격(b3-1), 상기 제4 면과 간격(b3-2), 제2 격벽(113-2)의 제2 격벽면과 간격(i3-1), 및 제3 격벽(113-3)의 제1 격벽면과 간격(i3-2)을 가질 수 있다. 상기 제4 서브크루시블(130-4)의 측부는 상기 제2 면과 간격(b4-3), 상기 제3 면과 간격(b4-1), 상기 제4 면과 간격(b4-2), 및 제3 격벽(113-3)의 제2 격벽면과 간격(i4-1)을 가질 수 있다.

전술한 각 간격들은 구현 목적에 따라 조절될 수 있다.

한편, 전술하였듯이 상기 격벽(113)의 형상 및 상기 서브크루시블(130)의 형상은 다양한 변형예를 가질 수 있다.

이에 따라, 상향식 콘테이너(101)에 형성되는 전술한 다양한 형상의 격벽(113)에 의해 정의되는 다양한 형상의 서브내부공간(115)에 전술한 다양한 형상의 서브크루시블(130)이 놓일 수 있다.

2.1.1.2 측향식

이하에서는 측향식 콘테이너(110)와 서브크루시블(130)에 대하여 설명하도록 한다.

도 20은 본 출원의 일 실시예에 따른 측향식 가열어셈블리의 콘테이너에 놓인 서브크루시블을 나타내는 도면이다.

도 21은 본 출원의 일 실시예에 따른 측향식 가열어셈블리의 콘테이너에 놓인 서브크루시블을 나타내는 도면이다.

도 20을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 격벽(113)이 형성된 상향식 콘테이너(101)의 서브내부공간(115)에 서브크루시블(130)이 놓일 수 있다.

상기 서브크루시블(130)이 놓이는 경우, 상기 서브크루시블(130)의 하부가 상기 콘테이너(110)의 격벽(113)에 접촉하도록 놓일 수 있다.

전술하였듯이, 각 서브내부공간(115)에는 각 서브크루시블(130)이 놓일 수 있다.

전술하였듯이, 구현목적에 따라 서브크루시블(130)과 측향식 콘테이너(110)의 외벽(111) 사이의 간격, 및 서브크루시블(130)과 측향식 콘테이너(110)의 격벽(113) 사이의 간격이 결정되며, 상기 결정된 간격에 따라 상기 서브크루시블(130)의 크기가 결정될 수 있다. 또는, 서브크루시블(130)의 크기가 결정되며, 상기 결정된 크기에 따라 서브크루시블(130)과 측향식 콘테이너(110)의 외벽(111) 사이의 간격, 및 서브크루시블(130)과 측향식 콘테이너(110)의 격벽(113) 사이의 간격이 결정될 수 있다.

이하에서는 상기 서브크루시블(130)이 상기 측향식 콘테이너(110)의 서브내부공간(115)의 크기보다 작게 구현되는 경우에 대하여 설명하도록 한다.

상기 측향식 콘테이너(110)의 영역에 대한 정의는 전술한 상향식 콘테이너(101)의 영역에 대한 정의와 중복되므로 이에 대한 설명은 생략하도록 한다.

도 20 및 도 21을 참조하면, 상기 제1 서브크루시블(130-1)의 측부는 상기 제1 면과 간격(a1), 상기 제3면과 간격(j1-1), 상기 제4 면과 간격(j1-2), 및 콘테이너(110)의 하부와 간격(j1-3)을 가질 수 있다. 상기 제2 서브크루시블(130-2)의 측부는 상기 제3면과 간격(j2-1), 상기 제4 면과 간격(j2-2), 제1 격벽(113-1)의 제2 격벽면과 간격(c1), 및 콘테이너(110)의 하부와 과 간격(j2-3)을 가질 수 있다. 상기 제3 서브크루시블(130-3)의 측부는 상기 제3 면과 간격(j3-1), 상기 제4 면과 간격(j3-2), 제2 격벽(113-2)의 제2 격벽면과 간격(j3-3), 및 상기 콘테이너(110)의 하부와 간격(c2)을 가질 수 있다. 상기 제4 서브크루시블(130-4)의 측부는 상기 제3 면과 간격(j4-1), 상기 제4 면과 간격(j4-2), 상기 제3 격벽(113-3)의 제2 격벽면과 간격(c3), 및 콘테이너(110)의 하부와 간격(j4-3)을 가질 수 있다.

전술한 각 간격들은 구현 목적에 따라 조절될 수 있다.

한편, 전술하였듯이 상기와 같이 측향식 콘테이너(110)에 격벽(113)이 형성된 경우, 본 출원은 크루시블(100)의 각 노즐로부터 배출되는 증착물질의 양이 거의 균일해지는 효과를 가질 수 있다.

이에 따라, 측향식 콘테이너(110)에 형성되는 전술한 다양한 형상의 격벽(113)에 의해 정의되는 다양한 형상의 서브내부공간(115)에 전술한 다양한 형상의 서브크루시블(130)이 놓일 수 있다.

전술하였듯이 설명된 콘테이너(110)의 격벽(113)의 수는 달라질 수 있으며, 격벽(113)의 형태는 다양한 변형예를 가질 수 있다. 예를 들어, 전술한 격벽(113)의 형태는 직육각 형태의 두께(Th1)의 격벽(113)인 것으로 설명하였으나, 격벽(113)은 직육각 형태의 두께(Th2)의 격벽(113)일 수도 있을 뿐만 아니라, 원형, 또는 마름모 형태의 격벽(113)일 수도 있다.

이하에서는 격벽(113)이 형성되지 않은 콘테이너(110)와 서브크루시블(130)에 대하여 설명하도록 한다.

2.1.2 격벽이 형성되지 않은 콘테이너, 및 서브크루시블

본 출원의 일 실시예예 따른 격벽(113)이 형성되지 않은 콘테이너(110)에 상기 서브크루시블(130)이 놓일 수 있다.

도 22는 본 출원의 일 실시예에 따른 격벽이 형성되지 않은 콘테이너와 서브크루시블을 나타내는 도면이다.

도 22를 참조하면, 격벽(113)에 의해 구획된 서브내부공간(115)이 존재하지 않는 콘테이너(110)의 내부공간에 서브크루시블(130)이 놓일 수 있다.

상기 서브크루시블(130)의 하부면이 상기 콘테이너(110)의 내측의 하부면에 접촉하도록, 상기 서브크루시블(130)이 콘테이너(110)에 놓일 수 있다.

상기 콘테이너(110)에 놓이는 서브크루시블(130)은 복수의 크루시블(100)을 포함할 수 있다. 상기 서브크루시블(130)은 제1 서브크루시블(130-1), 제2 서브크루시블(130-2), 제3 서브크루시블(130-3), 및 제4 서브크루시블(130-4)을 포함할 수 있다.

전술하였듯이, 구현목적에 따라 서브크루시블(130)과 콘테이너(110)의 외벽(111)의 간격, 및 서브크루시블(130)과 다른 서브크루시블(130) 사이의 간격이 결정되며, 상기 결정된 간격에 따라 상기 서브크루시블(130)의 크기가 결정될 수 있다. 또는, 서브크루시블(130)의 크기가 결정되며, 상기 결정된 크기에 따라 서브크루시블(130)과 측향식 콘테이너(110)의 외벽(111) 사이의 간격, 및 서브크루시블(130)과 격벽(113) 사이의 간격이 결정될 수 있다.

예를 들어, 열전달효율을 향상시키기 위하여 제1 서브크루시블(130-1)과 제2 서브크루시블(130-2) 사이의 간격과 배치되는 서브크루시블(130)과 콘테이너(110)의 측부의 외벽(111) 사이의 간격이 존재하지 않도록, 상기 서브크루시블(130)의 크기가 결정될 수 있다. 상기 복수의 서브크루시블(130)은 서로 접촉될 수 있다. 상기 인접한 서브크루시블의 외벽은 서로 접촉될 수 있다.

격벽(113)이 없는 콘테이너(110)에 서브크루시블(130)이 놓이는 경우, 격벽(113)이 있는 콘테이너(110)의 경우에 비하여 서브크루시블(130)에 전달되는 열량이 작을 수 있다.(혹은 열전달 효율이 저하될 수 있다.). 상기 코일(300)에 의해 콘테이너(110)의 외벽(111)에 열량이 발생하는 경우, 상기 열량은 콘테이너(110)에 형성된 외벽(111), 및 격벽(113)을 통하여 서브크루시블(130)에 전달될 수 있는데 반하여, 격벽(113)이 없는 콘테이너(110)의 경우 단순히 콘테이너(110)의 외벽(111)만을 통하여 열량이 전달될 수 있다. 따라서, 콘테이너(110)의 외벽(111)에서 서브크루시블(130)로의 열 전달 효율을 높이기 위하여, 격벽(113)이 없는 콘테이너(110)에 배치되는 서브크루시블(130)들의 간격이 없도록 상기 서브크루시블(130)들을 콘테이너(110)의 내부공간에 위치시킬 수 있다. 이에 따라, 각 서브크루시블(130)은 각 서브크루시블(130)에 구비된 서브외벽(131)을 통하여 서로 열을 주고받을 수 있게 되어, 열전달 통로가 많아질 수 있다. 열전달통로가 많아짐으로써, 상기 콘테이너(110)의 외벽(111)으로부터 서브크루시블(130)로 전달되는 열량은 서브크루시블(130) 사이에 간격이 있도록 배치되는 경우 보다 높아질 수 있다.

또는 예를 들어, 제1 서브크루시블(130-1)과 제2 서브크루시블(130-2) 사이의 간격과 배치되는 서브크루시블(130)과 콘테이너(110)의 측부의 외벽(111) 사이의 간격이 존재하도록, 상기 서브크루시블(130)의 크기가 결정될 수 있다. 상기 배치되는 서브크루시블(130) 사이의 간격이 적절하게 조절됨으로써, 상기 서브크루시블(130)이 용이하게 콘테이너(110)의 내부공간으로부터 탁찰 가능하도록 할 수 있다.

또한, 본 출원의 일 실시예에 따른 격벽(113)이 없는 콘테이너(110)에 놓이는 서브크루시블(130)은 다양한 방향으로 배치되는 배치예를 가질 수 있다.

도 22 (a)에 도시된 바와 같이, 본 출원은 폭방향(X방향) 또는 길이방향(Y방향)의 단일한 방향으로 격벽(113)이 없는 콘테이너(110)에 배치되는 서브크루시블(130)의 배치예를 가질 수 있다.

상기와 같은 배치예의 경우, 제2 서브크루시블(130-2)의 측부의 두 면은 제1 서브크루시블(130-1) 및 제3 서브크루시블(130-3)의 측부의 일면과 마주보도록 배치되고, 상기 제2 서브크루시블(130-2)의 측부의 나머지 두 면은 콘테이너(110)의 외벽(111)의 내면과 마주보도록 배치될 수 있다.

도 22 (b)에 도시된 바와 같이, 본 출원은 폭방향(X방향), 길이방향(Y방향) 등의 복수의 방향으로 격벽(113)이 없는 콘테이너(110)에 배치되는 서브크루시블(130)의 배치예를 가질 수 있다.

상기와 같은 배치예의 경우, 제2 서브크루시블(130-2)의 측부의 두 면은 제1 서브크루시블(130-1) 및 제3 서브크루시블(130-3)의 측부의 일면과 마주보도록 배치되고, 상기 제2 서브크루시블(130-2)의 측부의 나머지 두 면은 제4 서브크루시블(130-4) 및 제5 서브크루시블(130)의 측부의 일면과 마주보도록 배치될 수 있다.

이하에서는 서브크루시블(130) 없이 콘테이너(110)에 증착물질이 담길 수 있는 본 출원의 변형예에 대하여 설명하도록 한다.

2.1.3 서브크루시블이 없는 크루시블과 증착물질

본 출원의 일 실시예에 따른 콘테이너(110)에는 서브크루시블(130)이 놓이지 않고도 증착물질이 상기 콘테이너(110)로 제공될 수 있다.

도 23은 본 출원의 일 실시예에 따른 격벽이 형성된 콘테이너와 상기 콘테이너에 담기는 증착물질을 나타내는 도면이다.

도 23을 참조하면, 콘테이너(110)의 서브내부공간(115)에 직접적으로 증착물질이 담길 수 있다. 즉, 상기 증착물질이 콘테이너(110)의 하부의 외벽(111)의 내면에 접촉되도록, 증착물질이 콘테이너(110)에 놓일 수 있다.

또한, 본 출원의 일 실시예에 따른 격벽(113)이 형성되지 않은 콘테이너(110)에 증착물질이 담길 수 있다.

상기 콘테이너(110)의 내부공간에 증착물질이 포함되도록, 상기 증착물질이 콘테이너(110)로 제공될 수 있다.

2.2 서브크루시블, 콘테이너, 및 커버플레이트

이하에서는 서브크루시블(130), 콘테이너(110), 및 커버플레이트(150)의 유기적 관계에 대하여 설명하도록 한다.

본 출원의 일 실시예에 따른 커버플레이트(150)는 콘테이너(110)에 담긴 서브크루시블(130)을 덮도록 배치될 수 있다.

상기 커버플레이트(150)는 콘테이너(110)의 내부공간에 담긴 증착물질이 배출될 수 있도록 구현될 수 있다.

도 24는 본 출원의 일 실시예에 따른 커버플레이트가 배치되는 예를 나타내는 도면이다.

도 24를 참조하면, 상기 커버플레이트(150)는 콘테이너(110)에 결합될 수 있고, 상기 콘테이너(110)로부터 분리될 수 있다. 즉 상기 커버플레이트(150)는 상기 콘테이너(110)로부터 탈착(착탈)가능하다.

상기 커버플레이트(150)는 콘테이너(110)의 내부공간을 덮도록 콘테이너(110)에 결합될 수 있다. 상기 커버플레이트(150)는 콘테이너(110)의 서브내부공간(115)이 커버되도록 콘테이너(110)에 결합될 수 있다.

이하에서는 커버플레이트(150)가 배치되는 경우, 커버플레이트(150)에 형성된 내부노즐(151)과 서브크루시블(130)의 내부챔버(135)와의 관계에 대하여 설명하도록 한다.

도 25는 본 출원의 일 실시예에 따른 콘테이너, 서브크루시블, 및 커버플레이트를 나타내는 도면이다.

도 25를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 콘테이너(110)의 내부공간이 노출되도록 상기 커버플레이트(150)에 내부노즐(151)이 형성될 수 있다. 상기 콘테이너(110)의 서브내부공간(115)이 노출되도록 커버플레이트(150)에 내부노즐(151)이 배치될 수 있다.

상기 형성되는 내부노즐(151)의 위치는 가열어셈블리(1)의 증착형식에 기초하여 설정될 수 있다.

이하에서는 가열어셈블리(1)의 각 증착형식에 따라 형성되는 내부노즐(151)의 위치에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다.

도 25 (a)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 상향식 가열어셈블리(1)의 경우, 내부노즐(151)을 통해 서브크루시블(130)의 내부챔버(135)가 노출되도록 상기 내부노즐(151)이 커버플레이트(150)에 형성될 수 있다. 상기 내부노즐(151)을 통해 콘테이너(110)의 서브내부공간(115) 및 내부공간이 노출되도록 내부노즐(151)이 커버플레이트(150)에 형성될 수 있다. 상기 내부노즐(151)을 통해서 상기 서브크루시블(130)의 바닥면이 노출될 수 있다.

전술한바와 같이 내부노즐(151)이 커버플레이트(150)에 형성됨으로써, 서브크루시블(130)의 내부챔버(135)에 담긴 증착물질은 상기 내부노즐(151)을 통해서 콘테이너(110)의 내부공간으로부터 배출될 수 있게 된다.

상기 내부챔버(135)가 노출되도록 형성되는 노즐의 수는 복수개 구현될 수 있다.

도 25 (b)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 측향식 가열어셈블리(1)의 경우, 내부노즐(151)을 통해 콘테이너(110)의 내부공간 및 서브내부공간(115)이 노출되도록 상기 내부노즐(151)이 커버플레이트(150)에 형성될 수 있다. 상기 내부노즐(151)을 통해 크루시블(100)의 하부의 외벽(111)의 내면이 노출될 수 있다.

상기 내부노즐(151)은 측향식 콘테이너(110)에 담긴 증착물질이 배출될 수 있도록 하는 커버플레이트(150)의 위치에 형성될 수 있다. 상기 내부노즐(151)은 제1 격벽(113-1)으로부터 제1 격벽(113-1)에 수직한 방향으로 전술한 서브크루시블(130)의 높이(ih)보다 큰 높이의 위치에 형성될 수 있다.

상기 위치에 내부노즐(151)이 형성됨에 따라, 측향식크루시블(102)의 내부공간에 위치하는 서브크루시블(130)의 내부챔버(135)에 놓인 증착물질이 상기 내부노즐(151)을 통해 콘테이너(110)의 외부로 배출될 수 있게 된다.

다시 도 25를 참조하면, 상기 커버플레이트(150)는 상기 격벽(113)으로부터 상기 콘테이너(110)의 하부에 수직한 방향으로 소정의 간격만큼 이격되어 배치될 수 있다. 상기 소정의 간격만큼 커버플레이트(150)가 이격되어 배치될 수 있도록, 전술한 지지부재(117)가 콘테이너(110)의 외벽(111)에 위치할 수 있다.

상기 이격된 간격은 구현 목적에 따라 조절될 수 있다. 즉, 커버플레이트(150)가 콘테이너(110)의 격벽(113)에 접촉하도록 상기 이격된 간격이 없이 커버플레이트(150)가 배치될 수 있다. 상기 커버플레이트(150)가 콘테이너(110)의 격벽(113)에 접촉하도록, 상기 커버플레이트(150)를 지지하는 지지부재(117)가 콘테이너(110)에 형성될 수 있다.

2.3 콘테이너, 커버플레이트, 및 리드

이하에서는 콘테이너(110), 커버플레이트(150), 및 리드(170)의 유기적 관계에 대하여 설명하도록 한다.

본 출원의 일 실시예에 따른 리드(170)는 콘테이너(110)에 배치된 커버플레이트(150)가 덮이도록 배치될 수 있다.

도 26은 본 출원의 일 실시예에 따른 콘테이너, 커버플레이트, 및 리드를 나타내는 도면이다.

도 26을 참조하면, 상기 리드(170)는 콘테이너(110)에 결합될 수 있고, 상기 콘테이너(110)로부터 분리될 수 있다. 즉 상기 리드(170)는 상기 콘테이너(110)로부터 탈착(착탈)가능하다. 상기 탁찰은 전술한 콘테이너탁찰구조(114) 및 리드탁찰구조에 기초하여 이루어질 수 있다.

상기 리드(170)는 커버플레이트(150)가 덮이도록 상기 콘테이너(110)에 결합될 수 있다. 상기 리드(170)의 하부가 상기 커버플레이트(150)의 상부와 마주보도록 배치될 수 있다.

전술한 내부노즐(151)을 통해 배출된 증착물질이 크루시블(100)의 외부로 배출될 수 있도록, 상기 리드(170)에는 외부노즐(171)이 형성될 수 있다. 이하에서는, 커버플레이트(150)에 형성되는 내부노즐(151)과 리드(170)에 형성되는 외부노즐(171)의 관계에 대하여 설명하도록 한다.

외부노즐(171)과 내부노즐(151)이 서로 대응되는 폭방향(X방향)의 위치에 위치하도록, 상기 외부노즐(171) 및 상기 내부노즐(151)이 형성될 수 있다.

도 26을 다시 참조하면, 상기 외부노즐(171)의 중심의 위치가 결합된 크루시블(100)의 측부로부터 폭방향(X방향)으로 제1 길이만큼 떨어진 위치인 경우, 상기 내부노즐(151)의 중심의 위치 또한 크루시블(100)의 측부로부터 폭방향(X방향)으로 제1 길이만큼 떨어진 위치일 수 있다.

상기 내부노즐(151)의 위치는 커버플레이트(150)의 측부로부터 제2 길이만큼 떨어진 위치일 수 있다. 상기 제2 길이는 상기 제1 길이에 상기 리드(170) 또는 콘테이너(110)의 외벽(111)의 두께를 고려한 크기의 길이일 수 있다.

도 27은 본 출원의 일 실시예에 따른 외부노즐과 내부노즐의 폭방향(X방향)에서의 위치와 길이방향(Y방향)에서의 위치를 나타내는 도면이다.

도 27을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 내부노즐(151)과 외부노즐(171)은 서로 길이 방향으로 소정의 각도(θ)를 가지고 위치할 수 있다.

상기 폭방향(X방향) 및 길이방향(Y방향)에서의 외부노즐(171)과 내부노즐(151)의 위치관계는 각 노즐이 형성되는 수, 또는 노즐과 노즐 사이의 간격에 따라 조정될 수 있다.

또한, 상기 내부노즐(151)과 외부노즐(171)의 외적형상은 서로 다를 수 있다. 예를 들어, 상기 내부노즐(151)의 형상이 전술한 ~와 같은 형상일 때, 상기 외부노즐(171)의 형상은 원형상일 수 있다. 상기 내부노즐(151) 및 외부노즐(171)의 모두 원형상인 경우, 상기 내부노즐(151)의 반지름과 상기 외부노즐(171)의 반지름은 서로 다를 수 있다.

또한, 상기 내부노즐(151)과 외부노즐(171)이 구현되는 수가 다를 수 있다.

이하에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 가열어셈블리(1)에 구비되는 코일(300)의 가열동작에 따라 크루시블(100)로부터 배출되는 증착물질에 대하여 설명하도록 한다.

3. 증착물질배출

본 출원의 일 실시예에 따른 코일(300)의 가열 동작에 따라 크루시블(100)에서 증착물지이 배출될 수 있다.

도 28은 본 출원의 일 실시예에 따른 증착물질배출의 순서도이다.

도 28을 참조하면, 증착물배출의 단계는 증착물질투입(S2810), 서브크루시블교체(S2820 내지 S2830), 유도가열(S2840), 열전달(S2850), 증착물질배출(S2860) 등을 포함할 수 있다. 단계 S2810 내지 단계 S2850은 모두 수행될 수도 있지만, 항상 단계 S2810 내지 단계 S2850이 모두 수행되어야 하는 것은 아니고, 단계 S2810 내지 단계 S2850 중 적어도 하나만이 수행될 수도 있다.

이하에서는 각 단계를 구체적으로 설명하도록 한다.

증착물질투입 단계(S2810)에서, 크루시블(100)로 증착물질이 투입될 수 있다. 상기 증착물질의 투입을 위하여 상기 크루시블(100)의 구성요소가 분리/결합, 또는 탈거/결착될 수 있다.

도 29는 본 출원의 일 실시예에 따른 분리/결합, 또는 탈거/결착되는 크루시블의 구성요소를 나타내는 도면이다.

도 29를 참조하면, 서브크루시블(130), 커버플레이트(150), 및 리드(170)는 콘테이너(110)로부터 분리/결합될 수 있다.

크루시블(100)에 증착물질을 제공하기 위하여, 일 예로 서브크루시블(130)이 이용될 수 있다.

상기 서브크루시블(130)에는 증착물질이 담길 수 있다. 상기 서브크루시블(130)은 증착물질이 담기도록 상기 콘테이너(110)로부터 분리될 수 있다. 상기 서브크루시블(130)의 내부챔버(135)에 증착물질을 놓기 위하여, 상기 서브크루시블(130)을 커버하고 있는 커버플레이트(150), 및 리드(170)가 콘테이너(110)로부터 분리될 수 있다. 서브크루시블(130)은 콘테이너(110)의 내부공간에 놓이며, 상기 내부공간은 커버플레이트(150), 및 리드(170)에 의해 덮인다. 따라서, 상기 서브크루시블(130)을 콘테이너(110)로의 내부공간으로부터 분리하기 위해서는, 커버플레이트(150) 및 리드(170)가 콘테이너(110)로부터 먼저 분리되어야 한다.

상기 크루시블(100)로 상기 서브크루시블(130)을 이용하여 증착물질이 제공되는 이후, 상기 커버플레이트(150) 및 상기 리드(170)가 상기 콘테이너(110)에 재결합될 수 있다.

상기 서브크루시블(130)을 이용하여 증착물질을 제공하는 경우, 본 출원은 상기 증착물질을 크루시블(100)에 직접제공하는 데에 비해 크루시블(100)의 수명을 연장시키는 효과를 가질 수 있다. 증착 공정이 진행되면서, 크루시블(100)의 내구도는 점점 감소하게 된다. 즉, 증착 공정이 진행되며, 상기 크루시블(100)이 증착물질을 담을 수 없을 정도로 훼손될 수 있다. 본 출원에서는 상기 크루시블(100)의 내부공간에 증착물질이 직접 접촉되지 않게 함으로써 상기와 같은 문제점을 해결 할 수 있다. 본 출원은 서브크루시블(130)이라는 증착물질이 담길 수 있는 용기를 크루시블(100)로 제공함으로써, 크루시블(100)의 수명을 연장시키는 효과를 가질 수 있다.

서브크루시블교체 단계(S2820 내지 S2830)에서, 서브크루시블(130)이 교체될 수 있다.

서브크루시블 교체(S2820) 단계에서, 상기 서브크루시블(130)이 교체되어야 하는지 여부를 판단할 수 있다.

즉, 서브크루시블(130)의 손상여부를 판단할 수 있다.

상기 서브크루시블이 교체되어야 하는 경우(Y) 서브크루시블 교체(S2820) 단계에서, 상기 서브크루시블(130)은 따로 제작되어 있는 서브크루시블(130)로 교체될 수 있다. 상기 교체된 서브크루시블(130)의 손상되지 않은 내부챔버(135)에 증착물질을 담아, 크루시블(100)로 서브크루시블(130)을 결합시킴으로써 증착물질을 크루시블(100)로 제공할 수 있게 된다.

상기 서브크루시블(130)의 손상 정도의 검사는 증착장치의 사용자에 의해 수행될 수도 있으나, 소정의 검사 장치에 의해 수행될 수도 있다.

가열동작 단계(S2840)에서, 코일(300)에 의해 크루시블(100)이 가열될 수 있다.

상기 가열어셈블리(1)에 구비되는 코일(300)에 전원이 공급됨으로써, 상기 코일(300)의 주변에 자기장이 발생할 수 있다. 상기 형성된 자기장은 크루시블(100)의 외벽(111)에 유도전류를 형성할 수 있다. 상기 외벽(111)에 형성된 유도전류에 기초하여, 상기 외벽(111)에는 소정의 열량이 발생하게 된다.

열전달 단계(S2850)에서, 크루시블(100)의 외벽(111)에서 발생한 열량이 증착물질로 전달될 수 있다.

외벽(111)에서 발생되기 시작한 열량은 단계적으로 증착물질에 전달될 수 있다.

도 30은 본 출원의 일 실시예에 따른 열량이 전달되는 과정을 나타내는 도면이다.

도 30 (a)를 참조하면, 크루시블(100)에 격벽(113)이 형성되지 않은 경우, 크루시블(100)의 외벽(111) -> 서브크루시블(130)의 서브 외벽(111) -> 증착물질 순서로 열량이 전달될 수 있다.

도 30 (b)를 참조하면, 크루시블(100)에 격벽(113)이 형성된 경우, 크루시블(100)의 외벽(111) -> 서브크루시블(130)의 서브 외벽(111), 또는 크루시블(100)의 격벽(113) -> 증착물질 순서로 열량이 전달될 수 있다.

본 출원의 일 실시예에 따르면 상기 열량 전달 효율은 상승될 수 있다.

상기 열량 전달 각 단계에서의 열량 손실을 줄임으로써 상기 열량 전달 효율은 상승될 수 있다. 예를 들어, 상기 크루시블(100)의 외벽(111), 격벽(113), 및 서브크루시블(130)의 외벽(111)의 구현소재로 열량 손실이 적은 소재가 선택될 수 있다.

상기 열량 전달 각 단계에서의 열량 전달이 잘되도록 함으로써 상기 열량 전달 효율은 상승될 수 있다. 예를 들어, 상기 크루시블(100)의 외벽(111), 격벽(113), 및 서브크루시블(130)의 외벽(111)의 구현소재로 열량 전달의 효율이 높은 소재가 선택될 수 있다. 상기 소재는 열전도도가 높은 소재일 수 있다. 또는, 각 구성의 소재를 달리함으로써 열량 전달이 잘되도록 될 수 있다.

증착물질 배출 단계(S2860)에서, 크루시블(100)로부터 증착물질이 배출될 수 있다.

전술한 열량이 증착물질에 전달됨으로써, 상기 증착물질은 피증착대상의 표면으로 이동할 수 있는 상태로 변화될 수 있다.

상기 상태 변화된 증착물질은 내부노즐(151) 및 외부노즐(171)을 통해 피증착대상의 표면으로 가이딩될 수 있다.

한편 전술하였듯이, 본 출원은 크루시블(100)에 격벽(113)이 형성된 경우, 크루시블(100)로부터 증착물질이 균일하게 배출될 수 있다. 특히, 측향식크루시블(102)의 경우 증착물질이 균일하게 배출되는 효과가 극대화될 수 있다.

도 31은 본 출원의 일 실시예에 따른 측향식 크루시블로부터 배출되는 증착물질을 나타내는 도면이다.

도 31 (a)를 참조하면, 격벽(113)이 형성되지 않은 측향식크루시블(102)의 경우, 외부노즐(171)을 통해 배출되는 증착물질의 양은 균일하지 않을 수 있다. 크루시블(100)에 형성된 노즐과, 상기 증착물질과의 거리의 차가 크게 됨으로써 각 노즐로부터 배출되는 시간당 증착물질의 양이 크게 다를 수 있다.

예를 들어, 증착물질의 배출이 시작되는 경우, 가까운 노즐에서 배출되는 증착물질의 양이 먼 노즐에서 배출되는 증착물질의 양보다 클 수 있다. 증착물질이 이동을 시작하게되는 경우, 먼 거리의 노즐에 증착물질이 도달하기 위하여 걸리는 시간과 가까운 거리의 노즐에 증착물질이 도달하기위하여 걸리는 시간이 서로 다를 수 있다.

예를 들어, 제1 노즐을 통해 배출되는 시간당 증착물질의 양이 제1 질량이고, 제2 노즐을 통해 배출되는 시간당 증착물질의 양이 제2 질량인 경우, 상기 제1 질량은 제2 질량보다 작은 질량일 수 있다. 상변화된 증착물질로부터 가깝게 위치한 제2 노즐로부터 증착물질이 배출되는 것이 멀리 위치한 제1 노즐을 통해 배출되는 것보다 용이하기 때문일 수 있다.

도 31 (b)를 참조하면, 격벽(113)이 형성된 측향식크루시블(102)의 경우 각 노즐을 통해 증착물질의 배출되는 양이 균일해질 수 있다.

상기 격벽(113)에 의해 형성된 서브내부공간(115)에 담기는 증착물질과 각 노즐과의 거리가 거의 균일하게 유지됨으로써, 본 출원은 각 노즐로부터 배출되는 증착물질의 배출되는 양이 균일해지는 효과를 가질 수 있다.

<제2 실시예>

이하에서는 제2 실시예에 대해서 설명하도록 한다. 제2 실시예는 전술한 제1 실시예와 조합되어 실시될 수 있다. 이하에서 전술한 제1 실시예의 중복되는 설명은 생략하도록 한다.

1. 크루시블

본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(100)은 서브커버플레이트(sub-coverplate, 140)를 더 포함할 수 있다.

도 32는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블을 나타내는 도면이다.

도 32를 참조하면, 상기 크루시블(100)은 커버플레이트(150)와 복수의 서브크루시블(130) 사이에 배치되는 서브커버플레이트(140)를 포함할 수 있다.

상기 서브커버플레이트(140)는 상기 커버플레이트(150)과 대향하도록 배치될 수 있다. 상기 서브커버플레이트(140)는 상기 커버플레이트(150)의 하부면과 소정의 간격을 가지도록 배치될 수 있다. 상기 서브커버플레이트(140)의 상부면은 상기 커버플레이트(150)의 하부면과 대향할 수 있다.

상기 서브커버플레이트(140)는 상기 콘테이너(110)의 내부공간이 가리워지도록 배치될 수 있다. 상기 서브커버플레이트(140)는 상기 콘테이너(110)의 서브내부공간을 덮을 수 있다. 상기 서브커버플레이트(140)는 상기 서브크루시블(130)의 서브챔버를 덮을 수 있다.

상기 서브커버플레이트(140)는 콘테이너(110)로부터 탈착될 수 있다. 이를 위하여, 콘테이너(110)의 외벽의 내측면에는 소정의 탈착구조가 형성될 수 있다. 상기 서브커버플레이트(140)는 콘테이너(110)에 형성되는 탈착구조에 결착되거나 분리될 수 있다.

1.1 커버플레이트

도 33은 본 출원의 일 실시예에 따른 커버플레이트를 나타내는 도면이다.

도 33을 참조하면, 상기 커버플레이트(150)는 돌출부(153)를 더 포함할 수 있다. 상기 커버플레이트(150)에는 돌출부(153)가 더 형성될 수 있다.

상기 돌출부(153)는 상기 커버플레이트(150)의 중심부에 형성될 수 있다. 상기 돌출부(153)는 상기 커버플레이트(150)의 인접한 내부노즐 사이에 형성될 수 있다.

상기 돌출부(153)는 소정의 외적 형상을 가질 수 있다.

상기 돌출부(153)는 삼각기둥 형상으로 구현될 수 있다. 이하에서는 상기 돌출부(153)가 삼각기둥 형상으로 구현되는 경우에 대해서 설명하도록 한다.

상기 돌출부(153)는 복수의 돌출경사면 및 복수의 돌출수직면(153-3)을 포함할 수 있다.

상기 돌출경사면은 제1 돌출경사면(153-1) 및 제2 돌출경사면(153-2)을 포함할 수 있다. 상기 돌출수직면(153-3)은 제1 돌출수직면(153-3) 및 제2 돌출수직면(153-3)을 포함할 수 있다.

상기 돌출경사면은 상기 커버플레이트(150)의 하부면에 연결될 수 있다. 상기 돌출경사면은 상기 커버플레이트(150)의 하부면과 소정의 각도를 가질 수 있다. 상기 제1 돌출경사면(153-1)과 상기 커버플레이트(150)의 하부면과 이루는 각도와 상기 제2 돌출경사면(153-2)과 상기 커버플레이트(150)의 하부면과 이루는 각도는 서로 다를 수 있다.

상기 복수의 돌출경사면은 서로 연결될 수 있다.

상기 복수의 돌출경사면이 이루는 각도와 상기 돌출경사면과 상기 커버플레이트(150)의 하부면이 이루는 각도는 서로 다를 수 있다.

상기 복수의 돌출수직면(153-3)은 상기 커버플레이트(150)의 하부면으로부터 수직방향(도시된 Z의 역방향)으로 형성될 수 있다. 상기 돌출수직면(153-3)은 상기 커버플레이트(150)의 하부면으로부터 상기 콘테이너(110)의 하부면 방향으로 형성될 수 있다. 상기 돌출수직면(153-3)은 상기 커버플레이트(150)의 하부면과 직각을 이룰 수 있다.

상기 돌출수직면(153-3)은 삼각 형상일 수 있다.

상기 돌출수직면(153-3)은 전술한 돌출경사면에 연결될 수 있다.

한편, 상기 돌출부(153)에 의해 서브크루시블(130)로부터 배출되는 증착물질이 혼합될 수 있다. 상기 돌출부(153)에 의해 크루시블(100)로부터 증착물질의 배출 균일도가 향상될 수 있다. 이러한 돌출부(153)의 기능에 대해서는 구체적으로 후술하도록 한다.

1.2 서브커버플레이트

본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(100)의 내부에는 서브커버플레이트(140)가 더 배치될 수 있다.

도 34는 본 출원의 일 실시예에 따른 중심노즐, 및 중심노즐돌출부가 형성된 서브커버플레이트를 나타내는 도면이다.

도 35는 본 출원의 일 실시예에 따른 중심노즐, 중심노즐돌출부, 및 주변노즐이 형성된 서버커버플레이트를 나타내는 도면이다.

도 34 및 도 35를 참조하면, 상기 서브커버플레이트(140)는 평판 형상으로 제공될 수 있다.

도 34를 참조하면, 상기 서브커버플레이트(140)는 중심노즐(141), 중심노즐돌출부(143)를 포함할 수 있다. 그러나, 상기 구성들보다 많거나 혹은 적은 서브커버플레이트(140)가 구현될 수 있다. 예를 들어, 상기 서브커버플레이트(140)에는 중심노즐(141)이 형성되되, 상기 중심노즐돌출부(143)가 형성되지 않을 수 있다.

상기 중심노즐(141)은 상기 서브커버플레이트(140)의 중심부에 형성될 수 있다.

상기 중심노즐(141)은 상기 서브커버플레이트(140)의 상부와 하부를 관통하여 형성될 수 있다.

상기 중심노즐(141)은 소정의 형상으로 구현될 수 있다. 도시된 바와 같이 상기 중심노즐(141)은 원, 타원, 또는 사각 형상을 가질 수 있다.

상기와 같이 중심노즐(141)의 형상이 변경됨에 따라, 상기 중심노즐(141)의 곡률이 변경될 수 있다. 상기 중심노즐(141)의 곡률이 변경되는 경우, 상기 중심노즐(141)을 통해 시간당 배출되는 증착물질의 양이 변경될 수 있다.

상기 서브커버플레이트(140)에는 중심노즐돌출부(143)가 형성될 수 있다. 상기 중심노즐돌출부(143)는 상기 서브커버플레이트(140)를 통한 중착물질의 배출이 원활하게 되도록 할 수 있다. 상기 중심노즐돌출부(143)는 상기 서브크루시블(130)로부터 기화되어 배출되는 증착물질이 혼합(mix)되도록 할 수 있다.

상기 중심노즐돌출부(143)는 상기 중심노즐(141)이 형성된 영역의 주변 영역에 형성될 수 있다. 상기 중심노즐돌출부(143)는 상기 서브노줄에 연하여 형성될 수 있다. 상기 중심노즐(141) 돌출부(153)의 내측면과 중심노즐(141)의 내측면은 동일한 면일 수 있다.

상기 중심노즐돌출부(143)는 상기 서브커버플레이트(140) 상부면으로부터 상부방향(도시된 Z 방향)으로 돌출될 수 있다.

상기 중심노즐돌출부(143)는 소정의 길이로 형성될 수 있다. 상기 길이에 대해서는 구체적으로후술하도록 한다.

도 35를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 서브커버플레이트(140)에는 복수의 주변노즐(145)이 형성될 수 있다.

상기 주변노즐(145)은 상기 중심노즐(141)을 기준으로 길이방향(Y방향)으로 배치되도록 형성될 수 있다. 상기 주변노즐(145)은 중심노즐(141)과 소정의 간격을 갖도록 형성될 수 있다. 상기 인접한 주변노즐(145)은 소정의 간격을 가질 수 있다. 상기 복수의 주변노즐(145)은 중심노즐(141)을 기준으로 대칭일 수 있다.

상기 주변노즐(145)은 서브커버플레이트(140)의 상부와 하부의 일 영역이 제거되도록 형성될 수 있다.

상기 주변노즐(145)은 소정의 형상을 가질수 있다. 상기 주변노즐(145)은 길이방향(Y 방향)의 길이가 폭방향(X 방향)의 길이보다 긴 슬릿 (slit)형상일 수 있다. 상기 주변노즐(145)의 면적은 상기 중심노즐(141)의 면적에 비하여 작을 수 있다.

2. 크루시블의 구체적 구현예

본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(100)의 각 구성은 소정의 관계를 가질 수 있다. 상기 관계는 서브크루시블(130)과 서브커버플레이트(140)와의 관계, 서브커버플레이트(140)와 커버플레이트(150)와의 관계를 포함할 수 있다.

먼저, 서브크루시블(130)과 서브커버플레이트(140)와의 관계에 대해서 설명하도록 한다.

2.1 서브크루시블과 서브커버플레이트와의 관계

상기 서브커버플레이트(140)는 복수의 서브크루시블(130)과 소정의 간격을 가지도록 배치될 수 있다.

도 36은 본 출원의 일 실시예에 따른 돌출부가 형성된 커버플레이트를 구비하는 크루시블을 나타내는 도면이다. 이하에서는 도 36을 참조하여 서브크루시블(130)과 서브커버플레이트(140)와의 관계에 대해서 설명하도록 한다.

상기 서브커버플레이트(140)는 상기 서브크루시블(130)의 상부로부터 소정의 간격을 가지도록 크루시블(100) 내에 배치될 수 있다. 상기 서브크루시블(130)이 콘테이너(110)의 내부공간으로부터 분리되기 위해서는, 상기 서버커버플레이트(150)가 상기 콘테이너(110)로부터 분리되어야 할 수 있다.

상기 서브크루시블(130)로부터 증착물질이 배출되는 경우, 상기 서브커버플레이트(140)는 상기 크루시블(100)내에서의 상기 증착물질의 이동에 관여할 수 있다. 증착물질의 이동에 대해서 설명하기 위하여, 이하에서는 서브크루시블(130)과 서브커버플레이트(140)의 관계에 대해서 설명하도록 한다.

2.1.1 중심노즐 형성

도 36을 참조하면, 상기 서브커버플레이트(140)는 복수의 서브크루시블(130) 중 일부의 서브크루시블(130)이 가리워지도록 크루시블(100) 내에 구비될 수 있다. 상기 서브커버플레이트(140)는 콘테이너(110)의 내부공간에 배치된 일부의 서브크루시블(130)이 가리워지도록 배치될 수 있다.

상기 서브커버플레이트(140)는 상기 일부의 서브크루시블(130)을 제외한 나머지 서브크루시블(130)은 노출시킬 수 있다.

도 36 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 크루시블(100)은 상향식 크루시블(100)일 수 있다.

상기 서브커버플레이트(140)의 중심노즐(141)은 콘테이너(110)의 중심부에 배치된 서브크루시블(130)이 커버플레이트(150) 방향으로 노출되도록 할 수 있다. 상기 서브커버플레이트(140)는 중심부에 배치된 서브크루시블(130)의 서브챔버는 중심노즐(141)을 통해 커버플레이트(150) 방향으로 노출되도록 하되, 측부에 가깝게 배치된 서브크루시블(130)의 서브챔버는 덮이도록 할 수 있다.

상기 서브커버플레이트(140)가 배치됨에 따라, 증착물질의 배출 균일도가 향상될 수 있다. 측부에 가깝게 배치된 서브크루시블(130)은 중심부에 배치된 서브크루시블(130)에 비하여 더 많은 열량을 제공받을 수 있다. 따라서 상기 서브커버플레이트(140)가 배치되지 않는 경우, 상기 측부에 가깝게 배치된 서브크루시블(130)에 놓인 증착물질은 더 많은 열량에 기초하여 중심부에 놓인 증착물질보다 빠르게 크루시블(100)의 외부로 배출될 수 있다. 즉, 중심부와 측부에서 배출되는 시간당 증착물질의 양은 큰 차이가 날 수 있다. 이에 반하여, 측부에 서브커버플레이트(140)가 배치되는 경우, 상기 측부에 가깝게 배치된 서브크루시블(130)로부터 배출되는 증착물질은 바로 배출되지 못하고 서브커버플레이트(140)의 중심부를 향하게 될 수 있다. 즉, 측부에 가까운 증착물질은 먼저 기화된다고 하더라도 바로 외부로 배출되지 못하고, 서브커버플레이트(140)의 중심부에서 다른 영역으로부터 기화된 증착물질과 혼합될 수 있다. 상기 합류된 증착물질은 중심부에서 나뉘어 크루시블(100)의 외부로 배출될 수 있다. 이에 따라, 외부로 배출되는 측부와 중심부의 시간당 증착물질의 양은 큰 차이가 없게 될 수 있다.

도 36 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 크루시블(100)은 측향식 크루시블(100)일 수 있다.

서브커버플레이트(140)는 상기 측향식 크루시블(100)에 배치되는 복수의 서브크루시블(130) 중 일부의 서브크루시블(130)의 외벽이 노출되도록 할 수 있다. 상기 서브커버플레이트(140)는 중심노즐(141)을 통해 복수의 서브크루시블(130) 중 일부의 서브크루시블(130)의 측부의 외벽이 드러나도록 배치될 수 있다.

상기 서브커버플레이트(140)가 상기 측향식 크루시블(100)에 배치됨으로써 발생되는 효과는 전술한 바와 같다.

2.1.2 중심노즐과 주변노즐 형성

전술한 중심노즐(141)과 주변노즐(145)이 형성된 커버플레이트(150)가 상기 크루시블(100)에 배치될 수 있다.

상기 서브커버플레이트(140)는 상향식 크루시블(100)에 배치될 수 있다.

상기 서브커버플레이트(140)는 중심노즐(141)을 통해 일부의 서브크루시블(130)이 커버플레이트(150) 방향으로 노출되도록 할 수 있다. 또한, 상기 서브커버플레이트(140)는 주변노즐(145)을 통해 일부의 서브크루시블(130)이 커버플레이트(150) 방향으로 노출되도록 할 수 있다. 상기 커버플레이트(150)의 중심노즐(141)을 통해 노출되는 서브크루시블(130)의 영역이 제1 영역과 상기 주변노즐(145)을 통해 노출되는 서브크루시블(130)의 영역을 제2 영역이라 할 때, 상기 제1 영역은 상기 제2 영역 보다 클 수 있다.

상기 주변노즐(145)이 형성된 서브커버플레이트(140)가 구비됨에 따라 증착의 균일도는 향상될 수 있다. 주변노즐(145)이 형성되지 않은 경우, 크루시블(100)의 측부에 배치된

이상에서는 서브크루시블(130)과 서브커버플레이트(140)의 관계에 대해서 설명하였다. 이하에서는 서브커버플레이트(140)와 커버플레이트(150)와의 관계에 대해서 설명하도록 한다.

2.2 서브커버플레이트와 커버플레이트와의 관계

도 37은 본 출원의 일 실시예에 따른 돌출부를 포함하는 커버플레이트가 구비된 크루시블을 나타내는 도면이다.

이하에서는 도 36 및 37을 참조하여 설명하도록 한다.

상기 커버플레이트(150)는 상기 서브커버플레이트(140)와 소정의 간격(I)을 가지도록 배치될 수 있다.

도 36을 참조하면 서브커버플레이트(140)에 중심노즐돌출부(143)가 형성되는 경우, 서브커버플레이트(140)의 중심노즐돌출부(143)의 높이(i)는 상기 간격(I)에 의해 정의될 수 있다.

상기 서브커버플레이트(140)의 상기 중심노즐돌출부(143)의 높이(i)는 상기 커버플레이트(150)와 상기 서브커버플레이트(140) 사이의 간격(I)보다 작을 수 있다. 구체적으로, 상기 높이(i)는 상기 간격(I)의 20% 내지 40% 수준일 수 있다.

또는, 상기 서브커버플레이트(140)의 상기 중심노즐돌출부(143)의 높이(i)는 상기 중심노즐돌출부(143)가 상기 커버플레이트(150)에 닿도록 형성될 수 있다. 상기 높이(i)는 상기 간격(I)에 대응되는 크기로 형성될 수 있다.

상기 중심노즐돌출부(153)가 상기 커버플레이트(150)에 닿도록 형성되는 경우, 상기 커버플레이트(150)에는 필수적으로 주변노즐(145)가 형성될 수 있다. 이 경우, 증착물질의 배출의 균일도가 향상될 수 있다. 상기 커버플레이트(150)의 중심노즐돌출부(153)가 커버플레이트(150)와 이격되고, 주변노즐(145)이 형성되지 않는 경우, 중심노즐(141)을 통해서 증착물질이 주로 배출되게 된다. 이에 따라, 증착물질의 배출되는 양은 중심노즐(141)에 대응되는 리드(107)의 중심부에 위치하는 외부노즐(171)을 통해서 배출되는 증착물질의 양은 측변부에 위치하는 외부노즐(171)을 통해서 배출되는 증착물질의 양에 비하여 크게 된다. 이에 따라, 크루시블(100)을 통해 배출되는 증착물질의 양은 중심부와 측변부에서 매우 차이가 나게 된다. 이에 반하여, 중심노즐돌츨부(153)가 커버플레이트(150)에 접하도록 형성되고, 주변노즐(145)이 형성되는 경우, 주변노즐(145)을 통해 크루시블의 측변부를 통해 배출되는 증착물질의 양이 전술한 경우에 비하여 증가하게 된다. 이에 따라, 크루시블(100)의 증착물질의 배출의 균일도가 향상될 수 있다.

상기 서브커버플레이트(140)의 일영역과 상기 커버플레이트(150)와의 간격은 상기 서브커버플레이트(140)의 다른 영역과 상기 커버플레이트(150)와의 간격과 다를 수 있다. 상기 일 영역은 돌출부(153)가 형성된 영역일 수 있다.

도 37을 참조하면 커버플레이트(150)에 돌출부(153)가 형성되는 경우, 커버플레이트(150)의 돌출부(153)의 높이(ti)는 상기 간격(I)에 의해 정의될 수 있다.

상기 돌출부(153)의 높이(ti)는 상기 간격(I)의 30% 내지 50% 수준일 수 있다.

도 36 및 37을 참조하면, 상기 커버플레이트(150)는 상기 서브커버플레이트(140)의 중심노즐(141)이 가려지도록 배치될 수 있다. 상기 커버플레이트(150)의 인접한 내부노즐 사이의 간격(O)는 상기 중심노즐(141)의 길이방향(Y 방향)의 크기(o)보다 클 수 있다.

서브커버플레이트(140)에 주변노즐(145)이 형성되는 경우, 상기 주변노즐(145)은 커버플레이트(150)의 내부노즐을 통해서 리드(170) 방향으로 노출될 수 있다.

전술한 커버플레이트(150)와 서브커버플레이트(140)의 관계에 의해 증착물질의 배출 균일도가 향상되는 효과를 가질 수 있다. 상기 서브커버플레이트(140)가 크루시블에 구비되지 않는 경우, 상기 커버플레이트(150)에 의해서만 배출되는 증착물질이 혼합될 수 있다. 이에 반하여, 상기 서브커버플레이트(140)이 크루시블에 구비되는 경우, 상기 서브커버플레이트(140) 및 커버플레이트(150)에 의하여 상기 증착물질이 혼합될 수 있다. 또한, 상기 서브커버플레이트(140)와 상기 커버플레이트(150) 사이의 공간에서 증착물질이 혼합될 수 있다. 상기 증착물질이 혼합이 증가함에 따라, 상기 서브커버플레이트(140)의 중심노즐(141)을 통해 배출된 물질은 상기 크루시블의 길이방향으로 퍼질 수 있다. 상기 중심노즐(141)을 통해 배출된 물질은 상기 커버플레이트(150)의 돌출부(153)에 의해 길이방향으로 퍼질 수 있다. 상기 길이방향으로 퍼진 상기 증착물질은 크루시블의 외부로 균일하게 배출될 수 있다.

<제3 실시예>

이하에서는 제3 실시예에 대해서 설명하도록 한다. 제2 실시예는 전술한 제1 내지 제2 실시예와 조합되어 실시될 수 있다. 이하에서 전술한 제1 내지 제2 실시예의 중복되는 설명은 생략하도록 한다.

본 출원의 일 실시예에 따른 가열어셈블리는 하향식일 수 있다. 이 경우, 가열어셈블리에 구비되는 크루시블(100)은 하향식일 수 있다.

도 38은 본 출원의 일 실시예에 따른 하향식 크루시블을 나타내는 도면이다.

도 39는 본 출원의 일 실시예에 따른 하향식 크루시블의 측부도면이다.

도 40은 본 출원의 일 실시예에 따른 커버플레이트를 나타내는 도면이다.

이하에서는 도 38 내지 40을 참조하여 설명하도록 한다.

상기 하향식 크루시블(100)은 콘테이너(110), 서브크루시블(130), 커버플레이트(150), 및 리드(170)를 포함할 수 있다.

상기 콘테이너(110)는 서브크루시블(130)이 놓일 수 있는 내부공간을 제공할 수 있다.

상기 서브크루시블(130)은 증착물질이 담기는 내부챔버를 제공할 수 있다.

상기 커버플레이트(150)는 상기 서브크루시블(130)이 덮이도록 배치될 수 있다.

상기 리드(170)는 상기 콘테이너(110) 및 상기 커버플레이트(150)가 덮이도록 배치될 수 있다.

전술한 각 구성은 서로 탈착가능하다.

이하에서는 상향식, 또는 측향식과 달라지는 하향식 크루시블(100)의 구성에 대해서 구체적으로 설명하도록 한다.

도 38 및 39를 참조하면, 상기 콘테이너(110)는 상기 콘테이너(110)의 하부를 통해 증착물질이 배출될 수 있도록 소정의 구조를 가질 수 있다.

상기 콘테이너(110)에는 복수의 격벽 및 복수의 하부노즐(120)이 형성될 수 있다.

상기 격벽은 상기 콘테이너(110)의 하부면으로부터 수직 방향(Z 방향)으로 연장될 수 있다.

상기 격벽은 상기 콘테이너(110)의 내부공간을 분할할 수 있다. 상기 콘테이너(110)는 격벽에 의해 복수의 내부공간을 가질 수 있다. 상기 콘테이너(110)는 상기 복수의 내부 공간 중 일부의 내부공간(이하, 측부공간)으로 서브크루시블(130), 또는 증착물질을 제공받을 수 있다. 상기 콘테이너(110)는 증착물질의 배출을 위한 내부공간(이하, 배출공간(119))을 가질 수 있다. 상기 배출공간(119)은 이웃한 측부공간 사이에 위치할 수 있다.

상기 복수의 하부노즐(120)은 상기 콘테이너(110)의 하부에 형성될 수 있다. 상기 노즐은 전술한 외부노즐, 또는 내부노즐의 외적 형상, 배치 간격과 관련한 구현예가 적용될 수 있다. 상기 노즐은 격벽이 형성된 이웃한 콘테이너(110)의 영역 사이의 영역에 형성될 수 있다. 상기 노즐은 상기 배출공간(119)에 대응하는 위치에 형성될 수 있다.

상기 커버플레이트(150)는 복수의 내부노즐(151) 및 돌출부(153)를 가질 수 있다. 상기 커버플레이트(150)의 상기 내부노즐(151), 및 돌출부(153)는 도 X9에 도시된 바와 같은 형상을 가질 수 있다.

상기 내부노즐(151)은 중심내부노즐(154), 주변내부노즐(155), 및 슬릿(157)을 포함할 수 이다.

상기 중심내부노즐(154)은 폭방향(X 방향)에서의 커버플레이트(150)의 중심부에 배치될 수 있다.

상기 중심내부노즐(154)은 원형상으로 구현될 수 있다. 또는, 상기 중심내부노즐(154)은 콘테이너(110)의 길이방향(Y 방향)으로 연장되는 직사각형상을 구현될 수도 있다.

상기 주변내부노즐(155)은 폭방향(X 방향)에서의 커버플레이트(150)의 사이드 영역(측부에 가까운 영역)에 배치될 수 있다.

상기 복수의 주변내부노즐(155)은 상기 중심내부노즐(154)을 기준으로 대칭적인 커버플레이트(150)의 영역에 형성될 수 있다.

상기 주변내부노즐(155)은 소정의 타원형상으로 형성될 수 있다. 상기 주변내부노즐(155)은 상기 돌출부(153)와 연하여 형성될 수 있다.

상기 복수의 슬릿(157)은 폭방향(X 방향)에서의 커버플레이트(150)의 사이드 영역(측부에 가까운 영역)에 배치될 수 있다.

상기 복수의 슬릿(157)은 상기 중심내부노즐(154)을 기준으로 대칭적인 커버플레이트(150)의 영역에 형성될 수 있다. 동시에, 상기 복수의 슬릿(157)은 상기 주변내부노즐(155)을 기준으로 대칭적인 커버플레이트(150)의 영역에 형성될 수 있다.

전술한 구성을 갖는 하향식 콘테이터는 하부 방향(도시된 Z의 역 방향)으로 증착물질을 배출할 수 있다.

상기 측부공간에 놓인 증착물질은 기화되어, 커버플레이트(150)의 사이드노즐을 통해 배출될 수 있다. 상기 배출된 증착물질은 리드(170)의 상부면에 접촉될 수 있다. 상기 배출된 증착물질은 커버플레이트(150)의 내부노즐을 통해서 하부 방향으로 가이딩될 수 있다. 상기 하부 방향으로 가이딩된 증착물질은 콘테이너(110)의 노즐을 통해 크루시블(100)의 외부로 배출될 수 있다.

한편, 이상에서는 상기 커버플레이트가 콘테이너에 결착되는 것으로 설명하였으나, 상기 커버플레이트는 리드에 결착되어 있을 수도 있다.

상술한 본 출원에 따른 가열 어셈블리에 있어서, 각 실시예를 구성하는 단계가 필수적인 것은 아니며, 따라서 각 실시예는 상술한 단계를 선택적으로 포함할 수 있다. 또 각 실시예를 구성하는 각 단계는 반드시 설명된 순서에 따라 수행되어야 하는 것은 아니며, 나중에 설명된 단계가 먼저 설명된 단계보다 먼저 수행될 수도 있다. 또한 각 단계는 동작하는 동안 어느 한 단계가 반복적으로 수행되는 것도 가능하다.

상기에서는 본 발명에 따른 실시예를 기준으로 본 발명의 구성과 특징을 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상과 범위 내에서 다양하게 변경 또는 변형할 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에게 명백한 것이며, 따라서 이와 같은 변경 또는 변형은 첨부된 특허청구범위에 속함을 밝혀둔다.

1: 가열어셈블리 100: 크루시블
101: 상향식크루시블 102: 측향식크루시블
110: 콘테이너 111: 외벽
113: 격벽 114: 콘테이너탈착구조
115: 서브내부공간 116: 지지부재
119: 배출공간 120: 하부노즐
130: 서브크루시블 131: 서브외벽
135: 내부챔버 140: 서브커버플레이트
141: 중심노즐 143: 중심노즐돌출부
145: 주변노즐 150: 커버플레이트
151: 내부노즐 153: 돌출부
153-1: 제1 돌출경사면 153-2: 제2 돌출경사면
153-3: 돌출수직면 154: 중심내부노즐
155: 주변내부노즐 157: 슬릿
170: 리드 171: 외부노즐
173: 리드외벽 300: 코일
500: 페라이트

Claims

피증착대상의 표면을 증착하기 위한 가열어셈블리로서,
외벽을 포함하고, 상기 외벽에 의해 정의되는 내부공간이 형성된 콘테이너;
내부노즐이 형성되고, 상기 콘테이너의 상기 내부공간을 덮도록 배치되는 커버플레이트;
외부노즐이 형성되고, 상기 커버플레이트를 덮도록 배치되는 리드;
상기 콘테이너와 상기 리드가 가열되도록, 상기 콘테이너의 외벽에 유도전류를 형성하는 코일; 및
증착물질을 제공받을 수 있도록 상부가 개방되고, 상기 콘테이너의 상기 내부공간에 배치되는 서브크루시블;을 포함하고,
상기 서브크루시블은 제1 서브크루시블 및 제2 서브크루시블을 포함하고,
상기 제1 서브크루시블의 하부와 상기 제2 서브크루시블의 하부가 상기 콘테이너에 접촉되도록, 상기 제1 서브크루시블과 상기 제2 서브크루시블이 상기 콘테이너의 상기 내부공간에 배치되며,
상기 커버플레이트, 상기 리드, 및 상기 서브크루시블은 상기 콘테이너로부터 탈착 가능한 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 제1 서브크루시블의 하부와 상기 제2 서브크루시블의 하부는 상기 콘테이너의 하부면에 접촉되는 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 코일로 시간에 따라 급격히 변경되는 전원이 공급되는 경우, 상기 코일의 주변에 시간에 따라 급격히 변경되는 자기장이 발생하고,
상기 자기장에 기초하여 상기 콘테이너의 외벽에 상기 유도전류가 발생되고,
상기 유도전류에 기초하여 상기 콘테이너의 외벽에 열량이 발생되는 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제3 항에 있어서,
상기 콘테이너의 외벽의 영역은 제1 영역 및 상기 제1 영역에 인접한 제2 영역을 포함하고,
상기 콘테이너의 제1 영역에 상기 열량이 발생된 경우, 상기 제2 영역은 상기 열량에 기초한 제1 열량을 전달받으며, 상기 서브크루시블의 외벽은 상기 제2 영역으로부터 제2 열량을 전달받는 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제3 항에 있어서,
상기 형성된 자기장에 영향을 주는 자기장집속구조물;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제5 항에 있어서,
상기 자기장집속구조물의 구현 소재는 페라이트(ferrite)인 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 콘테이너의 형상은 상부가 개방된 직육면체 형상이고,
상기 리드와 결착되도록 상기 콘테이너의 외벽의 내측의 영역은 상기 리드 방향으로 돌출되는
가열어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 콘테이너는 상기 내부공간을 분할하는 격벽;을 더 포함하고,
상기 제1 서브크루시블의 하부와 상기 제2 서브크루시블의 하부는 상기 콘테이너의 격벽에 접촉되는 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제8 항에 있어서,
상기 격벽의 두께는 상기 콘테이너의 상기 외벽의 두께와 서로 다른 크기의 두께인 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제9 항에 있어서,
상기 격벽의 열전도도는 상기 외벽의 열전도도와 서로 다른 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 콘테이너는 제1 영역 및 제2 영역을 포함하고,
상기 제1 영역의 외벽의 두께는 상기 제2 영역의 외벽의 두께와 서로 다른 크기의 두께인 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 내부노즐의 형상은 원형, 또는 곡률이 변경되는 타원형인 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제12 항에 있어서,
상기 커버플레이트의 상기 내부노즐은 제1 내부노즐, 및 제2 내부노즐, 및 제3 내부노즐을 포함하고,
상기 제1 내부노즐과 상기 제2 내부노즐의 사이의 간격은 제1 간격이고, 상기 제2 내부노즐과 상기 제3 내부노즐 사이의 간격은 제2 간격이며,
상기 제1 간격은 상기 제2 간격과 서로 다른 간격인 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제13 항에 있어서,
상기 제1 내부노즐의 형상은 제1 반지름을 갖는 원형상이고, 상기 제2 내부노즐의 형상은 제2 반지름을 갖는 원형상이며,
상기 제1 반지름과 상기 제2 반지름은 서로 다른 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 서브크루시블의 형상은 직육각형 통 형상인 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 서브크루시블의 서브외벽의 두께는 상기 콘테이너의 외벽의 두께와 서로 다른 두께인 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 서브크루시블의 열전도도는 상기 콘테이너의 열전도도와 서로 다른 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 내부노즐을 통해 상기 내부챔버가 노출되도록, 상기 커버플레이트에 내부노즐이 형성되는 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 내부노즐을 통해 상기 서브쿠르시블의 내부가 노출되도록, 상기 커버플레이트에 내부노즐이 형성되는 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 리드는 상기 리드의 외적 형상을 정의하는 리드외벽을 포함하고,
상기 리드외벽의 두께는 상기 콘테이너의 외벽의 두께보다 큰 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 커버플레이트에 형성되는 내부노즐의 수와 상기 리드에 형성되는 외부노즐의 수는 서로 다르고,
상기 내부노즐의 크기와 상기 외부노즐의 크기는 서로 다른 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제1 항에 있어서,
중심노즐 및 상기 중심노즐의 주변에 형성되는 주변노즐을 포함하는 서브커버플레이트;를 더 포함하고,
상기 서브커버플레이트는
복수의 상기 서브크루시블과 상기 커버플레이트 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제22 항에 있어서,
상기 서브커버플레이트는
복수의 상기 서브크루시블과 상기 커버플레이트 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
제23 항에 있어서,
상기 서브커버플레이트의 중심노즐을 통해 상기 서브크루시블이 상기 커버플레이트방향으로 노출되는 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
피증착대상의 표면을 증착하기 위한 증착물질이 놓이는 크루시블로서,
외벽 및 상기 외벽으로부터 연장되는 격벽을 포함하는 콘테이너;
상기 외벽 또는 상기 격벽에 접촉하도록 배치되는 제1 면, 상기 제1 면과 이격되어 마주보도록 위치하며 내부가 노출되도록 개구영역이 형성되는 제2 면, 및 상기 제1 면과 상기 제2 면에 연결되며 상기 제1 면과 상기 제2 면에 수직한 제3 면을 포함하는 내부크루시블;
상부면, 상기 상부면과 대향하는 하부면, 및 상기 상부면과 하부면에 연결되는 측부면을 포함하고, 상기 하부면이 상기 내부크루시블의 상기 제2 면 또는 상기 제3 면과 마주보도록 배치되고, 상기 측부면이 상기 콘테이너의 상기 외벽의 내면과 접하며, 상기 내부크루시블의 상기 내부가 노출되도록 상기 하부면과 상기 상부면을 관통하는 내부노즐이 형성된 평판 형상의 커버플레이트; 및
상기 커버플레이트의 상기 상부면과 대향하는 하면을 포함하고, 상기 콘테이너의 상기 외벽과 결합되며, 복수의 외부노즐이 형성된 리드;를 포함하고,
상기 내부크루시블, 상기 커버플레이트, 및 상기 리드는 상기 콘테이너의 상기 외벽으로부터 탈착 가능한 것을 특징으로 하는
크루시블.
제25 항에 있어서,
상기 내부크루시블의 제1 면, 제2 면, 및 제3 사이에 내부챔버가 정의되고, 상기 내부챔버의 형상은 직육면체 형상인 것을 특징으로 하는
크루시블.
피증착대상의 표면을 증착하기 위한 가열어셈블리로서,
외벽 및 격벽을 포함하고, 상기 외벽 및 격벽에 의해 내부공간이 형성되는 콘테이너;
상기 내부공간에 놓이고, 상기 내부공간으로부터 분리되는, 탁찰가능한 서브크루시블;
상기 서브크루시블이 덮이도록 배치되며, 상기 콘테이너의 상기 외벽의 상기 내면에 접촉되고, 상기 내면으로부터 탈거가능한 커버플레이트; 및
상기 코일에 의해 상기 외벽에 유도 전류가 형성되는 경우, 제1 시점에서의 상기 제1 내부크루시블의 제1-1 열량과 제2 시점에서의 상기 제2 내부크루시블의 제1-2 열량의 차이는 상기 제1 시점에서의 상기 제2 내부크루시블의 제2-1 열량과 상기 제2 시점에서의 상기 제2 내부크루시블의 제2-2 열량의 차이 보다 작은 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
피증착대상의 표면을 증착하기 위한 가열어셈블리로서,
외벽 및 격벽을 포함하고, 상기 외벽 및 상기 격벽에 의해 정의되는 내부공간 - 상기 내부공간은 제1 서브내부공간 및 제2 서브내부공간을 포함함 - 이 형성되는 콘테이너;
상기 콘테이너의 상기 내부공간이 덮이도록 배치되고, 상기 제1 서브내부공간 및 상기 제2 서브내부공간이 노출되도록 내부노즐이 형성되는 커버플레이트;
상기 커버플레이트가 덮이도록 배치되고, 상기 콘테이너로부터 탈착 가능한 리드;
상기 콘테이너의 상기 내부공간을 가열하기 위하여, 상기 콘테이너의 상기 외벽에 유도전류를 형성하는 코일; 및
상기 제1 서브내부공간에 놓이는 제1 서브크루시블 및 상기 제2 서브내부공간에 놓이는 제2 서브크루시블을 포함하고, 상기 콘테이너의 상기 내부공간으로부터 분리가능하고, 일면이 개방된 내부크루시블;을 포함하고,
상기 코일에 의해 상기 외벽에 유도 전류가 형성되는 경우, 제1 시점에서의 상기 제1 내부크루시블의 제1 열량은 제1 시점에서의 상기 제2 내부크루시블의 제2 열량보다 큰 것을 특징으로 하는
가열어셈블리.
외벽, 및 격벽을 포함하고, 상기 외벽에 의해 내부공간이 정의되고, 상기 격벽에 의해 상기 내부공간이 분할되는 콘테이너;
중심내부노즐 및 주변내부노즐을 포함하고, 상기 내부공간을 덮도록 배치되는 커버플레이트;
상기 커버플레이트를 덮도록 배치되는 리드;
상기 콘테이너 및 상기 리드가 가열되도록, 상기 콘테이너의 외벽에 유도전류를 형성하는 코일; 및
상기 콘테이너의 내부공간에 놓이는 서브크루시블;을 포함하고,
상기 내부공간은 제1 내부공간, 제2 내부공간, 및 제3 내부공간을 포함하고,
상기 제3 내부공간에 대응하는 상기 콘테이너의 영역에 하부노즐이 형성되고, 상기 제1 내부공간 및 제2 내부공간은 상기 주변내부노즐을 통해 상기 리드방향으로 노출되고, 상기 제3 내부공간은 하부노즐을 통해 하부방향으로 노출되며,
상기 제1 내부공간 및 제2 내부공간에는 상기 서브크루시블의 하부면이 상기 콘테이너에 접촉되도록 놓이되, 상기 제3 내부공간에는 상기 서브크루시블이 놓이지 않는 것을 특징으로 하는,
가열어셈블리.