KR20180120134A - 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템 및 제조 방법 - Google Patents

고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템 및 제조 방법 Download PDF

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KR20180120134A
KR20180120134A KR1020187012579A KR20187012579A KR20180120134A KR 20180120134 A KR20180120134 A KR 20180120134A KR 1020187012579 A KR1020187012579 A KR 1020187012579A KR 20187012579 A KR20187012579 A KR 20187012579A KR 20180120134 A KR20180120134 A KR 20180120134A
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bladder
coupled
piston
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존 커리
크리스토퍼 챈들러
웨이드 와츠
니콜라스 해리옷
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뉴포트 코포레이션
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Abstract

내부에 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 격실을 형성하는 하우징 바디, 전원 공급 장치, 시스템 컨트롤러 및 장치 테스트 모듈 격실 내에 위치된 열 제어 시스템을 포함하는 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템이 개시되며, 장치 테스트 모듈은 그 내부에 형성되고 하우징 바디에 착탈가능하게 결합된 적어도 하나의 캐리어 장치 리시버와, 장치 테스트 모듈 상에 형성된 캐리어 장치 포트 내에 착탈 가능하게 위치되고 그에 결합되는 적어도 하나의 레이저 다이오드 장치를 지지하도록 구성된 적어도 하나의 캐리어 장치를 포함한다.

Description

고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템 및 제조 방법
(관련 출원에 대한 상호 참조)
본 출원은 "고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템 및 제조 방법"이라는 제목으로 2015년 10월 31일자로 출원된 미국 가출원 번호 제62/249,188호의 우선권을 주장하며, 그 전체 내용은 본 명세서에 참조로 통합된다.
본 출원은 하나 이상의 레이저 다이오드 장치의 성능을 특성화하는데 유용한 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템에 관한 것이다.
반도체 레이저 다이오드는 현재 점점 더 많은 애플리케이션에서 사용되고 있다. 일반적으로, 소형, 상대적으로 높은 파워, 작동 수명 및 장치 비용은 대체 레이저 소스에 비해 몇 가지 이점을 제공한다. 대개, 제조 공정 중에, 레이저 다이오드 장치는 레이저 다이오드 장치가 반도체 레이저 다이오드의 광학 특성을 특징짓기 위해 다양한 레벨의 전류 및/또는 온도 그레디언트에 놓이는 '번인(burn-in)' 공정을 거친다.
현재, 다수의 레이저 다이오드 번인 랙 또는 시스템이 이용 가능하다. 종래 기술의 번인 랙이 유용함이 입증되었지만, 다수의 단점이 확인되었다. 예를 들어, 레이저 다이오드의 정확한 위치 설정과 테스트중인 레이저 다이오드의 온도 제어는 문제가 있는 것으로 판명되었다. 이와 같이, 레이저 다이오드의 정확한 특성화는 어렵다.
상술한 내용에 따라, 다수의 레이저 다이오드를 신속하고 정확하게 특징지을 수 있는 레이저 다이오드 테스트 시스템에 대한 요구가 계속되고 있다.
본 출원은 하나 이상의 레이저 다이오드 장치의 성능을 특징짓는데 유용한 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템에 관한 것이다. 일 실시 예에서, 본 출원은 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템을 개시하고, 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 격실(compartment)을 내부에 정의하는 하우징 바디를 포함한다. 하나 이상의 컴포넌트, 장치 테스트 모듈, 컨트롤러 등에 파워를 제공하도록 구성된 전원 공급 장치가 하우징 바디 내에 위치될 수 있다. 시스템 컨트롤러 및 열 제어 시스템이 또한 하우징 바디 내에 위치될 수 있다. 적어도 하나의 상호 연결 시스템은 시스템 컨트롤러와 열 제어 시스템을 전원 공급 장치에 동작 가능하게 결합시킨다. 적어도 하나의 장치 테스트 모듈은 하우징 바디에 형성된 장치 테스트 모듈 격실 내에 위치될 수 있고, 시스템 상호 연결부를 통해 전원 공급 장치, 시스템 컨트롤러 및 열 제어 시스템 중 적어도 하나에 결합될 수 있다. 장치 테스트 모듈은 그 안에 형성된 적어도 하나의 캐리어 장치 리시버를 포함한다. 그에 결합된 적어도 하나의 레이저 다이오드 장치를 지지하도록 구성된 적어도 하나의 캐리어 장치는 장치 테스트 모듈 상에 형성된 캐리어 장치 포트에 삽입될 수 있다. 캐리어 장치는 장치 테스트 모듈을 통해 전원 공급 장치, 시스템 컨트롤러 및 열 제어 시스템 중 적어도 하나와 통신한다.
다른 실시 예에서, 본원은 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템 내에서 사용하기 위한 장치 테스트 모듈에 관한 것이다. 장치 테스트 모듈은 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템에 결합되도록 구성된 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 페이스플레이트를 포함한다. 적어도 하나의 캐리어 장치 포트가 장치 테스트 모듈 페이스플레이트 상에 형성된다. 장치 테스트 모듈은 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 페이스플레이트에 결합된 적어도 하나의 하부 어셈블리를 더 포함한다. 하부 어셈블리는 클램프 베이스 플레이트, 클램프 정렬 바디, 및 클램프 베이스 플레이트와 클램프 정렬 바디 사이에 위치되는 적어도 하나의 유체 블레이더를 포함한다. 유체 블레이더는 유체 블레이더가 선택적으로 확장(inflated)될 수 있도록 적어도 하나의 블레이더 확장(inflation) 시스템과 연통된다. 이와 같이, 블레이더 확장 시스템은 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템에 결합된 적어도 하나의 전원 공급 장치와 통신한다. 장치 테스트 모듈은 장치 테스트 모듈 페이스플레이트에 결합된 적어도 하나의 상부 어셈블리를 더 포함하고, 하부 어셈블리에 근접하게 위치될 수 있다. 상부 어셈블리는 그 위에 적어도 하나의 열 제어 회로 및 적어도 하나의 전기 연결 시스템을 포함한다. 하부 어셈블리 및 상부 어셈블리는 내부에 캐리어 장치를 수용하도록 구성된 적어도 하나의 캐리어 장치 리시버를 공동으로 형성한다. 마지막으로, 장치 테스트 모듈은 그에 결합된 적어도 하나의 레이저 다이오드를 구비하도록 구성된 적어도 하나의 캐리어 장치를 포함한다. 레이저 다이오드는 상부 어셈블리 상에 위치한 전기 연결 시스템에 착탈가능하게 결합될 수 있다.
마지막으로, 본원은 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템에 사용하기 위한 캐리어 장치에 관한 것이다. 캐리어 장치는 적어도 하나의 캐리어 장치 바디에 결합된 적어도 하나의 캐리어 장치 페이스플레이트를 포함한다. 캐리어 장치는 캐리어 장치 페이스플레이트 및 캐리어 장치 바디 중 적어도 하나에 결합된 적어도 하나의 장치 위치 설정 부재를 포함한다. 장치 위치 설정 부재는 하나 이상의 레이저 다이오드가 그에 착탈가능하게 결합되도록 구성될 수 있다. 적어도 하나의 캐리어 장치 피스톤은 캐리어 장치 바디에 이동 가능하게 결합된다. 사용 중에, 캐리어 장치 피스톤은 장치 테스트 모듈의 적어도 일부와 결합하도록 구성된다. 적어도 하나의 접촉 장치 바디가 캐리어 장치 바디 상에 또는 캐리어 장치 바디에 근접하여 위치될 수 있다. 접촉 장치 바디는 캐리어 장치 피스톤에 선택적으로 맞물려 장치 테스트 모듈 내의 적어도 하나의 상부 플레이트 어셈블리와 결합하여 캐리어 장치를 장치 테스트 모듈에 결합하도록 구성될 수 있다.
본원에 기재된 바와 같은 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템 및 제조 방법의 다른 특징 및 이점은 다음의 상세한 설명을 고려하면 더욱 명백해질 것이다.
고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템 및 제조 방법의 다양한 실시 예가 첨부된 도면을 통해 보다 상세히 설명될 것이다:
도 1은 내부에 삽입된 7개의 장치 테스트 모듈을 갖는 모듈러 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템의 일 실시 예의 사시도를 도시하며, 각각의 장치 테스트 모듈은 4개의 캐리어 장치가 삽입되어있다.
도 2는 측면 패널이 제거된 모듈러 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템의 일 실시 예의 평면 측면도를 도시하고, 테스트 시스템의 내부 컴포넌트들 및 서브 시스템들은 가시적이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 테스트 시스템의 실시 예와 함께 사용하기 위한 장치 테스트 모듈의 실시 예의 사시도를 도시한다.
도 4는 도 3에 도시된 장치 테스트 모듈의 하부 어셈블리의 일 실시 예의 사시도를 도시한다.
도 5는 도 4의 하부 어셈블리의 실시 예를 형성하는 컴포넌트들의 분해 사시도를 도시한다.
도 6은 장치 테스트 모듈의 하부 어셈블리의 실시 예의 다른 실시 예의 측면도를 도시한다.
도 7은 도 3에 도시된 장치 테스트 모듈의 상부 어셈블리의 일 실시 예의 사시도를 도시한다.
도 8은 도 3에 도시된 장치 테스트 모듈의 상부 어셈블리의 실시 예의 사시도를 도시한다.
도 9는 도 3에 도시된 상부 어셈블리 상에 위치된 전기 연결 바디의 실시 예의 상부 평면도를 도시한다.
도 10은 도 3의 상부 어셈블리의 실시 예를 형성하는 컴포넌트들의 분해 사시도를 도시한다.
도 11은 장치 테스트 모듈과 함께 사용하기 위한 캐리어 장치의 실시 예의 사시도를 도시한다.
도 12는 장치 테스트 모듈과 함께 사용하기 위한 도 11에 도시된 캐리어 장치의 일 실시 예의 사시도를 도시한다.
도 13은 도 11의 캐리어 장치의 실시 예를 형성하는 컴포넌트의 분해 사시도를 도시한다.
도 14는 장치 테스트 모듈의 하부 어셈블리의 일 실시 예에 근접하여 위치된 캐리어 장치의 일 실시 예의 평면 측 단면도를 도시한다.
도 15는 장치 테스트 모듈의 하부 어셈블리의 일 실시 예에 근접하여 위치된 캐리어 장치의 실시 예의 다른 평면 측 단면도를 도시한다.
도 16은 장치 테스트 모듈의 일 실시 예에 배치된 캐리어 장치의 실시 예의 다른 평면 측 단면도를 도시한다.
도 17은 장치 테스트 모듈의 하부 어셈블리에 사용되는 다수의 블레이더를 갖는 클램프 베이스 플레이트의 다른 실시 예의 사시도를 도시한다.
도 18은 도 17에 도시된 장치 테스트 모듈의 하부 어셈블리에 사용되는 다수의 블레이더를 갖는 클램프 베이스 플레이트의 실시 예의 분해 사시도를 도시한다.
도 19는 도 17에 도시된 장치 테스트 모듈의 하부 어셈블리에 사용되는 다수의 수축된 블레이더를 갖는 클램프 베이스 플레이트의 실시 예의 측 단면도를 도시한다.
도 20은 도 17에 도시된 장치 테스트 모듈의 하부 어셈블리에 사용되는 다수의 확장된 블레이더를 갖는 클램프 베이스 플레이트의 실시 예의 측 단면도를 도시한다.
도 1은 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템의 실시 예의 사시도를 도시한다. 도시된 바와 같이, 레이저 다이오드 테스트 시스템(10)(이하, "테스트 시스템"이라 칭함)은 적어도 하나의 전방 패널(14) 및 적어도 하나의 바디 패널 또는 측면 패널(16)을 갖는 적어도 하나의 하우징 바디(12)를 포함한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 하나 이상의 장치 테스트 모듈(18)이 테스트 시스템(10)의 하우징 바디(12)에 결합되거나 그렇지 않으면 삽입될 수 있다. 장치 테스트 모듈(18)은 내부에 또는 그에 결합된 하나 이상의 캐리어 장치(20)를 수용하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 도시된 실시 예에서, 각각의 장치 테스트 모듈(18)은 그 안에 4개의 캐리어 장치(20)를 수용하고 지지하도록 구성되지만, 각각의 장치 테스트 모듈(18)은 내부에 임의의 수의 캐리어 장치(20)를 수용하고 지지하도록 용이하게 조정될 수 있다. 또한, 도시된 실시 예에서, 캐리어 장치(20)는 실질적으로 균일한 형상, 횡단 치수 등을 갖는다. 다른 실시 예에서, 캐리어 장치들(20)은 적어도 하나의 다른 캐리어 장치(20)에 대해 균일한 형상 및/또는 치수일 필요는 없다. 이와 같이, 장치 테스트 모듈들(18) 중 적어도 하나는 임의의 다양한 형상, 횡단 치수 등을 가진 캐리어 장치(20)를 수용하도록 구성될 수 있다. 도시된 실시 예에서, 7개의 장치 테스트 모듈(18)이 테스트 시스템(10)의 전방 패널(14)을 통해 삽입되거나 그 근처에 위치된다. 당업자는 임의의 수의 장치 테스트 모듈(18)이 테스트 시스템(10)으로 삽입되거나 그렇지 않으면 테스트 시스템(10)과 통신할 수 있다는 것을 이해할 것이다. 도시된 실시 예에서, 테스트 시스템(10)의 하우징 바디(12)는 그 위에 배치된 하나 이상의 지지체(22)를 포함한다. 선택적으로, 테스트 시스템(10)은 테스트 시스템(10) 상의 다양한 위치에서 하나 이상의 캐스터, 지지체, 스키드, 레그 등을 포함할 수 있다. 그리고 도시된 실시 예에서, 테스트 시스템(10)의 임의의 위치에 하나 이상의 동작 액추에이터 또는 시스템(24)이 배치될 수 있다. 도시된 실시 예에서, 동작 액추에이터(24)는 바디의 전방 패널 상에 위치된 온/오프 버튼을 포함한다. 다른 실시 예에서, 동작 액추에이터(24)는 테스트 또는 유사한 작업이 진행 중에 있음을 사용자에게 경고하고 및/또는 사용자에게 테스트 시스템(10)의 동작에 관한 데이터를 제공하도록 구성된 하나 이상의 조명, 회로 차단기, 호른, 디스플레이 장치, 컴퓨터 모니터, 키보드, 또는 유사한 장치를 포함한다.
도 2는 도 1에 도시된 테스트 시스템(10)의 실시 예의 내부 컴포넌트의 측면도를 도시한다. 도시된 실시 예에서, 하우징 바디(12)는 하나 이상의 장치 테스트 모듈(18)을 내부에 수용하도록 크기조정된 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 격실(26)을 정의한다. 예시된 실시 예에서, 7개의 장치 테스트 모듈(18)이 하우징 바디(12) 내에 형성된 장치 테스트 모듈 격실(26) 내부에 위치된다. 다른 실시 예에서, 9개의 장치 테스트 모듈(18)은 하우징 바디(12)에 형성된 장치 테스트 모듈 격실(26) 내에 위치된다. 선택적으로, 임의의 수의 장치 테스트 모듈(18)이 하우징 바디(12)에 형성된 장치 테스트 모듈 격실 내에 위치된다. 도 2에 도시된 바와 같이, 장치 테스트 모듈 격실(26)은 전면 패널(14) 및 바디 패널(16) 중 적어도 하나에 의해 형성될 수 있다. 또한, 하나 이상의 프레임 및/또는 지지 부재(28)가 하우징 바디(12) 내에 포함될 수 있다. 일 실시 예에서, 프레임 부재(28)는 하나 이상의 전면 패널(14), 바디 패널(16), 장치 테스트 모듈(18) 및/또는 테스트 시스템(10)에서 사용되는 다양한 기타 컴포넌트를 지지하도록 구성될 수 있다. 이에 대해, 프레임 부재(28)는 장치 테스트 모듈 격실(26)의 적어도 일부를 정의하도록 구성될 수 있다.
도 2를 다시 참조하면, 테스트 시스템(10)은 그 안에 적어도 하나의 열 제어 시스템(30)을 포함할 수 있다. 일 실시 예에서, 열 제어 시스템(30)은 하나 이상의 열전쌍, 서모스탯 및 열 제어 프로세서 등을 포함할 수 있다. 또한, 열 제어 시스템(30)은 하나 이상의 팬, 냉각장치(chiller), 히터, 유체 공급원, 유체 탱크, 유체 펌프, 센서 등을 포함할 수 있다. 이와 같이, 일 실시 예에서, 테스트 시스템(10)은 하나 이상의 유체 소스 또는 저장조, 전원 또는 둘 모두와 연통할 수 있다. 유사하게, 테스트 시스템(10)은 내부에 다양한 호스, 도관 등을 포함할 수 있다. 선택적으로, 열 제어 시스템(30)은 전방 패널(14), 바디 패널(16), 장치 테스트 모듈(18) 및 프레임 부재(28) 중 적어도 하나에 결합될 수 있다. 선택적으로, 분산 열 제어 시스템 아키텍처가 본 테스트 시스템에 사용될 수 있다. 예를 들어, 각각의 장치 테스트 모듈(18)은 내부에 전용 열 제어 시스템으로서, 장치 테스트 모듈(18) 내의 열적 환경을 관리하도록 구성된 내부 열 제어 시스템을 포함할 수 있다. 이와 같이, 인접한 장치 테스트 모듈(18)은 상이한 열 환경 하에서 동시에 동작할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 테스트 시스템(10)은 또한 하나 이상의 시스템 전원 공급 장치, 전압 조정기, 전류 조정기 등을 내부에 포함할 수 있다. 예를 들어, 도시된 실시 예에서, 테스트 시스템(10)은 테스트 시스템(10) 상에 또는 테스트 시스템(10) 내에 위치된 하나 이상의 시스템, 컴포넌트, 인디케이터 및/또는 테스트 모듈(18)에 파워를 제공하도록 구성된 전원 공급 장치(32)를 포함한다. 예를 들어, 일 실시 예에서, 전원 공급 장치(32)는 장치 테스트 모듈(18), 캐리어 장치(20), 동작 액추에이터(24), 열 제어 시스템(30) 또는 테스트 시스템(10) 내에 포함된 다른 서브 시스템 중 적어도 하나에 교류(AC 전류)를 제공하도록 구성된다. 또한, 전원 공급 장치(32)는 테스트 시스템(10) 내에 포함된 적어도 하나의 서브 시스템에 직류(DC 전류)를 제공하도록 구성될 수 있다. 또한, 테스트 시스템(10)은 내부에 적어도 하나의 제어 시스템 또는 프로세서(34)를 포함할 수 있다. 일 실시 예에서, 제어 시스템(34)은 테스트 데이터를 저장하고, 내부 또는 외부 프로세서에 데이터를 제공하는 사용자에 의해 정의된 테스트 동작을 조절할 수 있는 내부 처리 기능을 제공하고, 다양한 센서, 메모리 장치, 디스플레이 등을 모니터링한다. 이에 관해, 제어 시스템(34)은 전원 공급 장치(32)와 통신할 수 있다. 예를 들어, 일 실시 예에서, 제어 시스템(34)은 적어도 하나의 외부 컴퓨터, 프로세서 또는 컴퓨터 네트워크와 통신한다. 또한, 제어 시스템(34)은 예를 들어 동작 액추에이터(24), 열 제어 시스템(30), 전원 공급 장치(32) 및 테스트 모듈(18)을 포함하는 하나 이상의 내부 시스템과 통신할 수 있다. 제어 시스템(34)은 열 제어 시스템(30), 전원 공급 장치(32), 테스트 모듈(18) 및/또는 외부 컴퓨터 또는 네트워크 중 적어도 하나와 무선 통신하도록 구성될 수 있다. 선택적으로, 상술한 열 제어 시스템(30)과 같이, 각각의 장치 테스트 모듈은 전원 공급 장치(32) 및/또는 그 위에 배치된 제어 시스템(34)을 포함할 수 있고, 이에 의해 분산 전원 공급 장치 및/또는 제어 아키텍처를 제공한다.
도 2에 도시된 실시 예에서, 테스트 시스템(10)은 내부에 배치된 적어도 하나의 상호 연결 시스템(36)을 포함할 수 있다. 일 실시 예에서, 상호 연결 시스템(36)은 적어도 하나의 장치 테스트 모듈(18)과 통신한다. 이와 같이, 상호 연결 시스템(36)은 도관으로서 작용하여 다양한 장치 테스트 모듈(18)이 열 제어 시스템(30), 전원 공급 장치(32) 및 제어 시스템(34) 중 적어도 하나에 용이하게 결합될 수 있도록 한다. 다른 실시 예에서, 상호 연결 시스템(36)은 테스트 시스템(10)이 사용자가 원하는 구성으로 쉽게 조정될 수 있게 한다. 선택적으로, 상호 연결 시스템(36)은 개별 장치 테스트 모듈(18)이 동일한 테스트 시스템(10) 상에 배치된 다른 장치 테스트 모듈(18)과 통신할 수 있게 하거나, 대안적으로 공통 통신 네트워크를 공유하는 임의의 테스트 시스템에 결합된 임의의 장치 테스트 모듈(18)과 통신하도록 한다. 보다 구체적으로는, 상호 연결 시스템(36)은 임의의 수의 장치 테스트 모듈이 테스트 시스템(10) 및 다양한 내부 제어 시스템(예를 들어, 시스템 컨트롤러(34)) 및 운영 시스템(예를 들어, 열 제어 시스템(30), 전원 공급 장치(32))에 신속하고 용이하게 결합되거나 및/또는 그것들로부터 분리될 수 있도록 하여, 사용자의 필요를 충족시키도록 용이하게 재구성될 수 있는 모듈러 테스트 시스템(10)을 제공한다.
도 3 내지 13은 테스트 시스템(10)과 함께 사용하기 위한 장치 테스트 모듈(18)의 일 실시 예를 형성하는 컴포넌트의 다양한 도면을 도시한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 장치 테스트 모듈(18)은 내부에 형성된 적어도 하나의 캐리어 장치 포트(42)를 가진 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 페이스플레이트(40)를 포함할 수 있다. 예시된 실시 예에서, 장치 테스트 모듈(18)은 적어도 하나의 하부 어셈블리(44) 및 하부 어셈블리(44)에 근접하게 위치한 적어도 하나의 상부 어셈블리(70)를 포함한다. 하부 어셈블리(44) 및 상부 어셈블리(70)는 장치 테스트 모듈 페이스플레이트(40)에 결합되어, 테스트 시스템(10)의 하우징 바디(12) 및/또는 프레임 부재(28)에 용이하게 결합되도록 구성된 단수 유닛을 형성할 수 있다. 다른 실시 예에서, 장치 테스트 모듈 페이스플레이트(40), 하부 어셈블리(44) 및 상부 어셈블리(70)는 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 하우징(도시되지 않음) 내부에 위치될 수 있다. 일 실시 예에서, 장치 테스트 모듈 하우징(도시되지 않음)은 테스트 시스템(10)의 하우징 바디(12) 및/또는 프레임 부재(28)에 용이하고 신속하게 결합될 수 있다. 첨부 도면에서, 하우징은 장치 테스트 모듈(18)의 내부 아키텍처의 신규한 특징을 보다 명확하게 예시하기 위해 도시되지 않았지만, 당업자는 장치 테스트 모듈(18)에 하우징이 포함된다는 것을 이해할 것이다. 도시된 실시 예에서, 하부 어셈블리(44)는 적어도 하나의 클램프 베이스 플레이트(46) 및 적어도 하나의 클램프 정렬 바디를 포함한다. 또한, 하나 이상의 유체 블레이더 또는 확장가능한 컴플라이언트 바디(48)는 클램프 베이스 플레이트(46)와 클램프 정렬 바디(50) 사이에 위치될 수 있다. 또한, 하나 이상의 클램프 피스톤(60)은 클램프 정렬 바디(50)를 통해 블레이더(48)와 연통할 수 있다. 적어도 하나의 클램프 피스톤(60)은 클램프 정렬 바디(50)에 대해 선택적으로 움직일 수 있도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 적어도 하나의 클램프 피스톤(60)은 블레이더(48)가 확장될 때 클램프 정렬 바디(50)를 통해 선택적으로 연장되고, 블레이더(48)가 수축될 때 클램프 정렬 바디(50) 내로 적어도 부분적으로 수축되도록 구성될 수 있다. 이와 같이, 클램프 피스톤(60) 각각은 그 위에 위치되고 또는 그 부근에 위치되는 적어도 하나의 캐리어 장치(20)에 실질적으로 균일한 클램핑 압력을 선택적으로 인가하도록 구성될 수 있다. 이와 같이, 종래 기술의 장치와는 달리, 블레이더(48) 및 클램프 피스톤(60)을 하부 어셈블리(44)에 포함시키는 것은 상이한 높이, 두께, 횡단 치수 및 프로파일을 갖는 캐리어 장치(20)를 동작 가능하게 수용하도록 구성된 컴플라이언트 하부 어셈블리를 제공한다.
도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 블레이더 확장 시스템(62)은 하부 어셈블리(44) 상에 또는 그 부근에 위치될 수 있고 블레이더(48)와 유체 연통될 수 있다. 도시된 실시 예에서, 블레이더 확장 시스템(62)은 적어도 하나의 유입구(64) 및 적어도 하나의 조절기(66)를 포함한다. 일 실시 예에서, 조절기(66)는 블레이더(48)의 내부 및 외부로의 유체의 흐름을 허용하고 제한하도록 구성된 솔레노이드를 포함한다. 또한, 블레이더 확장 시스템(62)은 적어도 하나의 배출구(68)를 포함한다. 블레이더 확장 시스템(62)은 확장 소스(도시되지 않음)에 착탈가능하게 또는 착탈 불가능하게 결합될 수 있다. 예를 들어, 일 실시 예에서, 블레이더 확장 시스템(62)은 열 제어 시스템(30)에 포함된 적어도 하나의 유체 펌프와 유체 연통한다(도 2 참조). 도 5에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 클램프 피스톤(60)은 클램프 정렬 바디(50) 내에 형성된 적어도 하나의 클램프 피스톤 통로(92)를 통해 블레이더(48)와 연통한다. 도시된 바와 같이, 클램프 피스톤 통로(92)는 블레이더(48)에 인접하여 내부에 클램프 피스톤(60)의 적어도 일부를 결합 및 유지시키도록 구성된 적어도 하나의 클램프 피스톤 릴리프(94)를 포함한다. 또한, 하나 이상의 바이어싱 부재(84)가 적어도 하나의 클램프 피스톤(60)에 인접하여 위치될 수 있고 클램프 피스톤 통로(92) 내부에 유지될 수 있다. 하나 이상의 갭 충전 바디(86)는 바이어싱 부재(84)에 인접하여 위치될 수 있다. 바이어싱 부재(84)는 클램프 정렬 바디(50)를 향해 비확장 블레이더(48)를 편향시키도록 구성된다. 사용 중에, 블레이더(48)는 바이어싱 부재(84)에 의해 블레이더(48)에 인가된 편향력(biasing force)을 초과하는 충분한 압력으로 확장된다. 결과적으로, 블레이더(48)는 클램프 피스톤(60)에 편향력을 가하여 클램프 피스톤(60)이 클램프 정렬 바디(50)로부터 연장되도록 한다. 또한, 도 3-5에 도시된 바와 같이, 하나 이상의 체결구(88) 및 와셔(90)가 하부 어셈블리(44)의 다양한 컴포넌트를 결합하는데 사용될 수 있다. 도 3-5는 전체적으로 평면인 하부 어셈블리(44)를 도시한다. 당업자는 하부 어셈블리(44) 및 상부 어셈블리(70)가 임의의 다양한 형상, 크기 및 구성으로 제조될 수 있음을 이해할 것이다. 예를 들어, 도 6은 아치형 하부 어셈블리(44)의 실시 예를 도시하지만, 당업자는 하부 어셈블리(44)가 임의의 다양한 형상, 크기 및/또는 구성으로 제조될 수 있음을 이해할 것이다.
도 3 및 도 7 내지 도 10은 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템(10)에 사용하기 위한 상부 어셈블리(70)의 실시 예의 다양한 도면을 도시한다. 도시된 바와 같이, 상부 어셈블리(70)는 내부에 하나 이상의 플레이트 통로(74)가 형성된 적어도 하나의 플레이트 부재(72)를 포함한다. 또한, 적어도 하나의 열 제어 회로(76)는 플레이트 부재(72) 상에 또는 그에 인접하여 배치될 수 있다. 일 실시 예에서, 열 제어 회로(76)는 적어도 하나의 유체 유입구(78), 적어도 하나의 유체 배출구(80), 및 적어도 하나의 컨트롤러 및/또는 유체 유입구(78) 및 배출구(80)를 적어도 하나의 열 제어 시스템(30)(도 2 참조) 또는 다른 유체 소스(도시되지 않음)에 결합시키도록 구성된 커플러(82)를 포함할 수 있다. 선택적으로, 컨트롤러(82)는 열 제어 회로(76)에 사용되는 유체 또는 다른 물질의 흐름을 제어하도록 구성될 수 있다. 이와 같이, 컨트롤러(82)는 센서, 열전쌍, 냉각장치, 히터, 커플링 커넥터, 프로세서, 밸브 등을 포함할 수 있다. 이와 같이, 플레이트 부재(72)는 테스트중인 레이저 다이오드에 파워를 제공하는 것 이외에, 테스트중인 적어도 하나의 레이저 다이오드에 의해 생성된 열을 소산하는 냉각 판(cold plate)로서 동작하도록 구성될 수 있다. 대안적으로, 플레이트 부재(72)는 테스트중인 레이저 다이오드에 파워를 제공하는 것 이외에 테스트중인 적어도 하나의 레이저 다이오드에 열적으로 스트레스를 발생시키는 열을 발생시키는 핫 플레이트로서 동작하도록 구성될 수 있다. 이와 같이, 열 제어 회로(76)는 테스트중인 레이저 다이오드의 열 특성을 완전히 분석할 수 있도록 사용자가 테스트중인 레이저 다이오드를 가열 및 냉각시킬 수 있게 한다.
다시 도 7 내지 도 9를 참조하면, 상부 어셈블리(70)는 적어도 하나의 전기 연결 시스템을 포함할 수 있다. 예시된 실시 예에서, 전압, 전류(교류(AC) 및/또는 직류(DC))를 적어도 하나의 레이저 다이오드 장치 또는 캐리어 장치(20)에 결합된 다른 컴포넌트에 제공하도록 구성된 하나 이상의 도관을 갖는 제1 전기 연결 시스템(96)이 포함된다. 선택적으로, 하나 이상의 전류 소스, 변환기, 센서 등이 전기 연결 시스템(96) 내에 포함될 수 있다. 이들 국부화된 전류 소스 및/또는 유사한 시스템은 전원 공급 장치(32)와 통신할 수 있다. 또한, 적어도 제2 전기 연결 시스템(128)이 포함될 수 있다. 예를 들어, 제2 전기 연결 시스템(128)은 하나 이상의 냉각장치, 히터, 센서 등과 결합될 수 있다. 이와 같이, 제1 및 제2 전기 연결 시스템(96, 128)은 테스트 시스템(10)의 하우징 바디(12) 내에 위치된 전원 공급 장치(32)와 통신할 수 있다(도 2 참조). 또한, 전기 연결 시스템(96, 128)은 상호 연결 시스템(36)을 통해 전원 공급 장치(32)에 착탈 가능하게 또는 착탈 불가능하게 결합될 수 있다. 또한, 전기 연결 시스템(96, 128)은 도 2에 도시된 시스템 컨트롤러(34)에 착탈 가능하게 또는 착탈 불가능하게 결합될 수 있다. 도시된 실시 예에서, 제1 전기 연결 시스템(96)은 제1 도관(98a) 및 적어도 제2 도관(98b)을 포함하지만, 당업자는 임의의 수 또는 유형의 도관이 어느 하나의 전기 연결 시스템(96, 128)과 사용될 수 있다는 것을 이해할 것이다. 도시된 실시 예에서, 제1 및 제2 도관(98a, 98b)이 적어도 하나의 도관 클램프 바디(134)를 통해 적어도 하나의 전기 연결 바디(136)에 결합된다. 일 실시 예에서, 전기 연결 바디(136)는 적어도 하나의 레이저 다이오드 또는 캐리어 장치(20)에 결합된 다른 컴포넌트에 전압 및/또는 전류를 제공하도록 구성된다. 도관 클램프 바디(134)는 적어도 하나의 도관(98a, 98b)을 적어도 하나의 연결 바디(136)에 기밀하게 결합시킨다. 제2 전기 연결 시스템(128)은 테스트 시스템(10), 테스트 중인 개별 컴포넌트들, 및/또는 개별 전압 및/또는 전류 소스를 필요로 하는 테스트 시스템(10) 내에 포함된 다른 서브 시스템들에 사용되는 추가적인 열 제어 장치들에 전압 및/또는 전류를 제공하도록 구성될 수 있다. 또한, 전기 연결 시스템(96, 128)은 커넥터, 전압 조절기, 전류 조절기, 변환기, 계측기, 센서, 커패시터, 히터, 냉각장치, 저항기, 인덕터, 변압기, 다이오드, 회로, 프로세서, 메모리 장치 등을 포함하는 (그러나 이에 한정되는 거은 아닌) 종래 기술에 공지된 다양한 다른 컴포넌트를 포함할 수 있다. 예를 들어, 도시된 실시 예에서, 적어도 하나의 커넥터(138)가 제1 및 제2 도관(98a, 98b)에 결합되어, 전기 연결 시스템(96)이 상호 연결 시스템(36)(도 2 참조)에 신속하고 용이하게 연결될 수 있게 한다.
도 8 및 10은 상부 어셈블리(70)의 다양한 도면을 도시한다. 도시된 바와 같이, 상부 어셈블리 플레이트(104)는 플레이트 부재(72)에 결합될 수 있다. 일 실시 예에서, 상부 어셈블리 플레이트(104)는 고 열전도성을 갖는 재료로 제조되어, 레이저 다이오드(도시되지 않음)와 열 제어 회로(76) 사이에서 열 교환을 개선하도록 한다. 또한, 하나 이상의 빔 덤프 또는 센서(106)는 플레이트 부재(72) 및 상부 어셈블리 플레이트(104) 중 적어도 하나에 결합될 수 있다. 예를 들어, 일 실시 예에서, 다수의 빔 덤프(106)는 레이저 다이오드(140)로부터 방출된 에너지를 수신 및 소산하는데 사용된다. 다른 실시 예에서, 빔 덤프(106) 중 적어도 하나는 파워 미터, 파장 센서 등과 같은 적어도 하나의 센서를 포함할 수 있다. 이와 같이, 열 전도성 상부 어셈블리 플레이트(104)는 빔 덤프(106)로부터 열을 추출하도록 구성될 수 있다. 선택적으로, 상부 플레이트 어셈블리(104)는 열 제어 회로(76)와 통신할 수 있다. 이와 같이, 상부 플레이트 어셈블리(104)의 적어도 일부는 냉각 판으로서 작용할 수 있다. 예시된 실시 예에서, 적어도 하나의 열 조절 바디(107)는 빔 덤프(106)에 인접하여 위치되고, 사용 중에 빔 덤프(106)로부터 열을 더 추출하도록 구성된다. 예를 들어, 열 조절 바디(107)는 빔 덤프(106)에 접촉하거나 또는 그에 근접하여 있는 적어도 하나의 냉각 판을 포함할 수 있다. 이와 같이, 열 조절 바디(107)는 열 제어 회로(76)와 연결될 수 있다. 또한, 예시된 실시 예에서, 플레이트 부재(72), 상부 플레이트 어셈블리(104) 및 빔 덤프(106)는 내부에 적어도 하나의 캐리어 장치(20)(도 1 참조)를 수용할 수 있도록 크기 조정된 캐리어 장치 리시버(108)를 같이 형성하도록 구성된다. 캐리어 장치 리시버들(108)은 장치 테스트 모듈 페이스플레이트(40) 상에 형성된 캐리어 장치 포트(42)와 연통하고 캐리어 장치 포트(42)에 근접하여 위치될 수 있다. 그러나, 당업자는 빔 덤프(106)가 임의의 다양한 형상 및 구성으로 형성될 수 있다는 것이 이해될 것이다. 예시된 실시 예에서, 빔 덤프(106)는 하나 이상의 체결 구(102)를 사용하여 상부 어셈블리 플레이트(104)에 결합되지만, 당업자는 빔 덤프가 임의의 다양한 장치를 결합하고 기술들을 사용하여 상부 어셈블리 플레이트(104)에 결합될 수 있다는 것을 이해할 것이다.
도 3 및 11 내지 13은 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템(10)에서 사용하는 캐리어 장치(20)의 일 실시 예의 다양한 도를 도시한다. 도시된 바와 같이, 캐리어 장치(20)는 그 위에 형성되거나 그에 결합된 하나 이상의 핸들 또는 그리핑 표면(112)을 가진 적어도 하나의 캐리어 장치 페이스플레이트(110)를 포함할 수 있다. 또한, 적어도 하나의 장치 위치 설정 부재(114)가 캐리어 장치(20)의 적어도 일부에 포함되거나 그에 결합될 수 있다. 적어도 하나의 장치 수용 영역을 정의하기 위해 하나 이상의 단부 플레이트(116)가 사용될 수 있다. 또한, 하나 이상의 접촉 장치 바디(118)는 장치 위치 설정 부재(114)에 결합되거나 근접하게 위치될 수 있다. 일 실시 예에서, 접촉 장치 바디(118)는 전압 및/또는 전류가 캐리어 장치(20) 상에 위치된 하나 이상의 레이저 다이오드 장치(140)(도 14 내지 16 참조) 에 제공되도록 구성된다. 이와 같이, 적어도 하나의 접촉 장치 바디(118)는 상부 어셈블리(70)에 위치된 적어도 하나의 전기 연결 바디(136)와의 도관 접촉을 결합하고 형성하도록 구성될 수 있다(도 7 내지 도 10 참조).
도 3 및 11-13을 다시 참조하면, 캐리어 장치(20)는 하나 이상의 캐리어 장치 바디(130)를 포함한다. 도시된 실시 예에서, 적어도 하나의 체결구 통로(122)가 내부에 형성된 적어도 하나의 캐리어 장치 피스톤(120)은 하나 이상의 체결구(124)를 이용하여 캐리어 장치 바디(130)에 이동가능하게 결합될 수 있다. 도시된 실시 예에서, 체결구 통로(122)는 그를 통해 체결구(124)를 수용하도록 구성된 가늘고 긴 채널을 포함하고, 체결구(124)는 캐리어 장치 바디(130)와 결합하여 유지되도록 구성된다. 예를 들어, 캐리어 장치 피스톤(120)은 X 축, Y 축 및 Z 축 중 적어도 하나를 따라 이동하도록 구성될 수 있다. 이에 관해, 이동가능한 캐리어 장치 피스톤(120)은 접촉 장치 바디와 결합하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 블레이더(48)의 확장은 클램프 피스톤(60)이 캐리어 장치 피스톤(120)과 맞물리도록 하여, 캐리어 장치 피스톤(120)이 접촉 바디(118)와 결합하도록 한다. 결과적으로, 캐리어 장치(20)는 확장된 블레이더(48)로부터 캐리어 장치 피스톤(120)을 통해 캐리어 장치(18)로 편향력 또는 결합력의 전달에 의해 장치 테스트 모듈(18)에 기계적으로 결합될 수 있다. 또한, 캐리어 장치 피스톤(120)에 의해 부여된 힘은 상부 어셈블리(70) 상에 위치된 적어도 하나의 전기 연결 바디(136)와 접촉하는 접촉 장치 바디(118)의 적어도 일부분에 힘을 가함으로써, 전압, 전류 또는 둘 모두를 캐리어 장치(20)에 결합된 적어도 하나의 레이저 다이오드에 제공할 수 있다. 또한, 블레이더(48)가 확장될 때 캐리어 장치 피스톤(120)에 의해 부여된 힘은 캐리어 장치(20) 또는 캐리어 장치(20)의 다양한 컴포넌트의 적어도 일부가 적어도 상부 플레이트 어셈블리(70), 열 조절 바디(107) 또는 둘 모두와 접촉하여 캐리어 장치(20) 또는 그 위에 위치된 레이저 다이오드 장치(140)의 열 커플링을 제공하고, 그에 의해 레이저 다이오드(140) 또는 캐리어 장치(20)에 결합된 다른 컴포넌트가 작동 중에 효과적으로 및 효율적으로 가열 또는 냉각되도록 보장한다. 이에 대해, 캐리어 장치 피스톤(120)은 캐리어 장치(20)를 장치 테스트 모듈(18)에 기계적으로, 열적으로, 및/또는 전기적으로 결합하도록 이용될 수 있다. 일 실시 예에서, 적어도 하나의 캐리어 릴리프(126)가 다수의 캐리어 장치 피스톤(120)들 사이에 형성되지만, 당업자는 캐리어 장치(20)가 캐리어 릴리프(126) 없이 제조될 수 있음을 인식할 것이다. 하나 이상의 어셈블리 가이드 또는 핀(132)이 캐리어 장치 바디(130)에 선택적으로 포함될 수 있다.
도 14 내지 도 16은 사용중의 테스트 시스템(10)의 다양한 컴포넌트의 다양한 도면을 도시한다. 예를 들어, 도 14-16은 하부 어셈블리(44)에 근접하여 위치된 캐리어 장치(20)의 단면도를 도시한다. 도시된 바와 같이, 하부 어셈블리(44)에 위치된 바이어싱 부재(84)는 적어도 하나의 편향력을 제1 방향(D1)으로 클램프 피스톤(60)에 인가한다. 이와 같이, 캐리어 장치(20)는 블레이더(48)가 수축되는 동안 장치 테스트 모듈(18)에 쉽게 삽입 및 제거될 수 있다. 사용하는 동안, 블레이더(48)는 바이어싱 부재(84)의 편향력을 초과하기에 충분한 압력으로 확장된다. 결과적으로, 클램프 피스톤(60)은 제2 방향(D2)으로 이동되어, 클램프 피스톤(60)을 캐리어 장치(20) 상에 위치된 캐리어 장치 피스톤(120)에 결합하도록 한다. 그와 함께, 하부 어셈블리(44)에 위치된 클램프 피스톤(60) 및 캐리어 장치(20) 상에 위치된 캐리어 장치 피스톤(120)은 모든 클램프 피스톤(60)에 의해 그에 인접하여 위치된 캐리어 장치 상의 캐리어 장치 피스톤(120)에 실질적으로 동등하게 인가되는 동적 클램핑력을 공동으로 인가하고, 그에 의해, 캐리어 장치(20)를 접촉 장치(118)의 적어도 일부에 기밀하게 결합시킬 수 있다. 또한, 접촉 장치(118)는 상부 어셈블리(70) 상에 형성된 전기 연결 바디(136)에 대해 접촉될 수 있다. 결과적으로, 캐리어 장치(20) 상에 위치된 레이저 다이오드 장치(140)는 테스트 시스템(10)의 전원 공급 장치(32)(도 2 참조)에 의해 전기 연결 시스템(96)을 통해 전력이 공급될 수 있다. 레이저 다이오드 장치(140)로부터 방출된 광학 복사는 빔 덤프(106) 내로 지향된다. 레이저 다이오드(140)의 동작에 의해 발생된 열은 그런 다음 열 제어 회로(76)를 통해 소산 및/또는 추출될 수 있다. 일단 레이저 다이오드 장치(140)의 테스트가 완료되면, 전원 공급 장치(32)와 레이저 다이오드 장치(140) 사이의 전압 및/또는 전류 연결이 종료된다. 그 후, 블레이더(46)는 수축될 수 있고 캐리어 장치(20)는 장치 테스트 모듈(18)로부터 쉽게 제거될 수 있다.
도 17 내지 도 20은 도 7 내지 도 10에 도시된 하부 어셈블리(144) 및 적어도 하나의 상부 어셈블리(70)의 클램프 베이스 플레이트의 다른 실시 예를 도시한다. 도시된 바와 같이, 클램프 베이스 플레이트(146)는 다수의 블레이더 바디(148)가 그 위에 배치된다. 일 실시 예에서, 블레이더 바디(148)는 컴플라이언트 바디를 포함한다. 예를 들어, 블레이더 바디(148)는 케블라(Kevlar) 보호 호스의 섹션을 포함할 수 있고, 그에 의해 사용 중에 상당한 마모 및 찢김에 견딜 수 있는 내구성있는 컴플라이언트 블레이더 바디를 제공한다. 다른 실시 예에서, 블레이더 바디(148)는 폴리머 바디를 포함할 수 있다. 당업자는 블레이더 바디(148)가 임의의 다양한 형상 및 횡단 치수로 임의의 다양한 재료로 제조될 수 있음을 이해할 것이다. 하나 이상의 블레이더 지지 바디(150)는 블레이더 바디(148)에 인접하여 위치된다. 또한, 하나 이상의 블레이더 클램프 장치(152)는 블레이더 바디(148)를 클램프 베이스 플레이트(146)에 결합하는데 사용될 수 있다. 또한, 블레이더 클램프 장치(152)는 블레이더 바디(148)를 밀봉하여 블레이더 외피를 형성하는 데 사용된다. 일 실시 예에서, 블레이더 지지 바디(150) 및 블레이더 클램프 장치(152)를 클램프 베이스 플레이트(146)에 결합하기 위해 하나 이상의 체결 구(154)가 사용될 수 있다. 하나 이상의 밸브 또는 커넥터(156) 및 도관(158)은 블레이더 바디(148)를 하나 이상의 유체 소스(도시되지 않음)에 연결하여, 블레이더 바디(148)가 선택적으로 확장되고 수축되도록 한다. 일 실시 예에서, 각각의 블레이더 바디(148)는 유체 소스(도시되지 않음) 및/또는 하부 어셈블리(44)의 블레이더 확장 시스템(62)에 의해 균일하게 확장 및 수축될 수 있다.
도 19에 도시된 바와 같이, 블레이더 바디(148)는 수축 상태로 사용되어 블레이더 바디(148)가 클램프 베이스 플레이트(146)에 인접하게 후퇴하게 된다. 이와 같이, 도 17 내지 도 20에 도시된 하부 어셈블리(144)는 도 3에 도시된 장치 테스트 모듈(18)에서 사용되고, 캐리어 장치(20)는 장치 테스트 모듈(18)에 쉽게 삽입 및 제거될 수 있다. 대조적으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 사용자는 하나 이상의 캐리어 장치(20)를 장치 테스트 모듈에 위치시킬 수 있다. 그 후, 도 20에 도시된 바와 같이, 사용자는 하부 어셈블리(144)의 클램프 베이스 플레이트(146)에 결합된 블레이더 바디(148)를 확장시켜, 블레이더 바디(148)가 확장하여 클램프 베이스 플레이트(146)로부터 연장되도록 한다. 블레이더 바디(144)는 그런 다음 클랭핑력을 테스트 모듈(18) 내에 위치된 캐리어 장치(20)에 인가한다. 일 실시 예에서, 각각의 블레이더 바디(148)는 실질적으로 동일한 압력으로 확장되도록 구성되어, 동일한 클램핑력을 캐리어 장치(20)에 인가하도록 한다. 다른 실시 예에서, 각각의 블레이더 바디(148)는 실질적으로 상이한 압력으로 확장되도록 구성되어, 각각의 블레이더 바디(148)가 캐리어 장치(20)에 상이한 클램핑력을 인가하도록 한다.
본 명세서에 개시된 실시 예는 본 발명의 원리를 설명하기 위한 것이다. 본 발명의 범위 내에 있는 다른 변형이 채용될 수 있다. 따라서, 본원에 개시된 장치는 여기에 도시되고 설명된 것과 같이 정확하게 한정되지 않는다.

Claims (26)

  1. 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템에 있어서,
    적어도 하나의 하우징 바디 내에 형성된 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 격실(compartment)을 형성하는 상기 적어도 하나의 하우징 바디;
    상기 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 격실 내에 배치된 적어도 하나의 전원 공급 장치;
    상기 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 격실 내에 위치되고, 상기 적어도 하나의 전원 공급 장치와 통신하는 적어도 하나의 상호 연결 시스템;
    상기 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 격실 내에 위치되고, 상기 적어도 하나의 상호 연결 시스템을 통해 상기 적어도 하나의 전원 공급 장치와 통신하는 적어도 하나의 시스템 컨트롤러;
    상기 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 격실 내의 적어도 하나의 열 제어 시스템으로서, 상기 적어도 하나의 전원 공급 장치 및 상기 적어도 하나의 시스템 컨트롤러 중 적어도 하나와 상기 적어도 하나의 상호 연결 시스템을 통해 통신하는 상기 적어도 하나의 열 제어 시스템;
    상기 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 격실 내에 위치되고 상기 적어도 하나의 상호 연결 시스템을 통해 상기 적어도 하나의 전원 공급 장치, 상기 적어도 하나의 시스템 컨트롤러 및 상기 적어도 하나의 열 제어 시스템 중 적어도 하나와 통신하도록 구성된 적어도 하나의 장치 테스트 모듈로서, 내부에 적어도 하나의 캐리어 장치 포트를 형성하는 상기 적어도 하나의 장치 테스트 모듈; 및
    그 위에 착탈 가능하게 결합된 적어도 하나의 레이저 다이오드 장치를 지지하도록 구성된 적어도 하나의 캐리어 장치로서, 상기 적어도 하나의 전원 공급 장치, 상기 적어도 하나의 시스템 컨트롤러, 및 적어도 하나의 열 제어 시스템 중 적어도 하나와 상기 적어도 하나의 장치 테스트 모듈을 통해서 통신하는 상기 적어도 하나의 캐리어 장치;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 장치 테스트 모듈은 상기 상호 연결 시스템에 착탈 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 장치 테스트 모듈은:
    적어도 하나의 클램프 베이스 플레이트, 적어도 하나의 클램프 정렬 바디, 및 상기 적어도 하나의 클램프 베이스 플레이트와 상기 적어도 하나의 클램프 정렬 바디 사이에 위치되는 적어도 하나의 블레이더를 갖는 적어도 하나의 하부 어셈블리;
    상기 적어도 하나의 하부 어셈블리의 상기 적어도 하나의 블레이더를 선택적으로 확장시키도록 구성되고 상기 적어도 하나의 블레이더와 유체 연통하는 적어도 하나의 블레이더 확장 시스템으로서, 상기 적어도 하나의 상호 연결 시스템을 통해 상기 적어도 하나의 전원 공급 장치와 연통하는 상기 적어도 하나의 블레이더 확장 시스템; 및
    상기 적어도 하나의 하부 어셈블리에 근접하여 위치되고, 그 위에 적어도 하나의 열 제어 회로 및 적어도 하나의 전기 연결 시스템을 가지는 적어도 하나의 상부 어셈블리로서, 상기 적어도 하나의 하부 어셈블리 및 상기 적어도 하나의 상부 어셈블리는 내부에 적어도 하나의 캐리어 장치를 수용하도록 구성된 적어도 하나의 캐리어 장치 리시버를 형성하는, 상기 적어도 하나의 상부 어셈블리;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템.
  4. 제3 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 클램프 정렬 바디 내에 형성된 적어도 하나의 피스톤 통로 내에 이동 가능하게 위치되고 상기 적어도 하나의 피스톤 통로에 의해 유지되는 적어도 하나의 클램프 피스톤을 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 클램프 피스톤은 상기 적어도 하나의 블레이더와 연통하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템.
  5. 제4 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 클램프 피스톤에 근접하게 위치되는 적어도 하나의 바이어싱 부재를 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 바이어싱 부재는 상기 적어도 하나의 클램프 피스톤에 적어도 하나의 편향력(biasing force)을 인가하도록 구성되고 상기 클램프 정렬 바디를 향해 상기 클램프 피스톤을 후퇴시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템.
  6. 제5 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 클램프 피스톤은 상기 블레이더가 확창(inflated)될 때 상기 적어도 하나의 블레이더로부터 연장되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템.
  7. 제3 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 상부 리시버는 상기 적어도 하나의 전기 연결 시스템에 결합된 적어도 하나의 전기 연결 바디, 사용중에 상기 적어도 하나의 캐리어 장치 리시버 내에 위치된 상기 적어도 하나의 전기 연결 바디의 적어도 일부를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템.
  8. 제3 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 상부 리시버는 상기 캐리어 장치 리시버에 근접하게 위치되는 적어도 하나의 열 조절 바디를 포함하고, 상기 적어도 하나의 열 조절 바디는 상기 적어도 하나의 상호 연결 시스템을 통해 상기 적어도 하나의 열 제어 시스템과 연통하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템.
  9. 제9 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 열 조절 바디에 근접하여 상기 적어도 하나의 상부 어셈블리 상에 위치되는 적어도 하나의 빔 덤프를 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 빔 덤프는 상기 캐리어 장치 상에 위치된 적어도 하나의 레이저 다이오드에 의해 방출된 광 복사선을 수신 및 소산하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템.
  10. 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템 내에서 사용하기 위한 장치 테스트 모듈에 있어서,
    고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템에 결합되도록 구성되고, 적어도 하나의 캐리어 장치 포트를 정의하는 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 페이스플레이트;
    상기 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 페이스플레이트에 결합되고, 적어도 하나의 클램프 베이스 플레이트, 적어도 하나의 클램프 정렬 바디, 및 상기 적어도 하나의 클램프 베이스 플레이트와 상기 적어도 하나의 클램프 정렬 바디 사이에 위치되는 적어도 하나의 블레이더(bladder)를 구비하는 적어도 하나의 하부 어셈블리;
    상기 적어도 하나의 하부 어셈블리의 적어도 하나의 블레이더와 유체 연통되고 상기 적어도 하나의 블레이더를 선택적으로 확장시키도록 구성된 적어도 하나의 블레이더 확장 시스템으로서, 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템에 결합된 적어도 하나의 전원 공급 장치와 연통되는 상기 적어도 하나의 블레이더 확장 시스템;
    상기 적어도 하나의 장치 테스트 모듈 페이스플레이트에 결합되고 상기 적어도 하나의 하부 어셈블리에 근접하여 위치되며, 그 위에 적어도 하나의 열 제어 회로 및 적어도 하나의 전기 연결 시스템을 갖는 적어도 하나의 상부 어셈블리로서, 상기 적어도 하나의 하부 어셈블리 및 상기 적어도 하나의 상부 어셈블리는 적어도 하나의 캐리어 장치를 내부에 수용하도록 구성된 적어도 하나의 캐리어 장치 리시버를 형성하는 상기 적어도 하나의 상부 어셈블리; 및
    레이저 다이오드가 상기 적어도 하나의 상부 어셈블리의 상기 적어도 하나의 전기 연결 시스템에 착탈가능하게 결합되는 적어도 하나의 레이저 다이오드를 포함하도록 구성된 적어도 하나의 캐리어 장치;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 모듈.
  11. 제10 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 블레이더는 상기 적어도 하나의 클램프 베이스 플레이트와 적어도 하나의 클램프 정렬 바디 사이에 위치된 단일 블레이더를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 모듈.
  12. 제10 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 블레이더는 상기 적어도 하나의 클램프 베이스 플레이트와 적어도 하나의 클램프 정렬 바디 사이에 각각 위치된 다수의 블레이더를 포함하고, 각각의 블레이더는 상기 적어도 하나의 블레이더 확장 시스템에 결합되고, 상기 적어도 하나의 블레이더 확장 시스템에 의해 선택적으로 확장되는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 모듈.
  13. 제10 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 클램프 정렬 바디 내에 형성된 적어도 하나의 피스톤 통로 내에 이동 가능하게 위치되고 상기 적어도 하나의 피스톤 통로에 의해 유지되는 적어도 하나의 클램프 피스톤을 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 클램프 피스톤은 상기 적어도 하나의 블레이더와 연통하는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 모듈.
  14. 제13 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 클램프 피스톤에 근접하여 위치되는 적어도 하나의 바이어싱 부재를 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 바이어싱 부재는 상기 적어도 하나의 클램프 피스톤에 적어도 하나의 편향력을 인가하도록 구성되며, 상기 클램프 피스톤을 상기 클램프 정렬 바디를 향해 후퇴시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 모듈.
  15. 제13 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 클램프 피스톤은 상기 블레이더가 확장될 때 상기 적어도 하나의 블레이더로부터 연장되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 모듈.
  16. 제10 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 상부 리시버는 상기 적어도 하나의 전기 연결 시스템에 결합된 적어도 하나의 적어도 하나의 전기 연결 바디를 포함하고, 상기 적어도 하나의 전기 연결 바디의 적어도 일부는 사용중에 상기 적어도 하나의 캐리어 장치 리시버 내에 위치되는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 모듈.
  17. 제10 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 상부 리시버는 상기 캐리어 장치 리시버에 근접하여 위치되는 적어도 하나의 열 조절 바디를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 모듈.
  18. 제17 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 열 조절 바디가 적어도 하나의 빔 덤프의 열 특성을 조절하도록 상기 적어도 하나의 열 조절 바디에 근접하여 상기 적어도 하나의 상부 어셈블리 상에 위치된 상기 적어도 하나의 빔 덤프를 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 빔 덤프는 상기 캐리어 장치 상에 배치된 적어도 하나의 레이저 다이오드에 의해 방출된 광학적 복사선을 수신 및 소산하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 모듈.
  19. 제17 항에 있어서,
    적어도 하나의 캐리어 장치 바디에 결합된 적어도 하나의 캐리어 장치 페이스플레이트를 갖는 적어도 하나의 캐리어 장치;
    상기 적어도 하나의 캐리어 장치 페이스플레이트 및 상기 적어도 하나의 캐리어 장치 바디 중 적어도 하나에 결합되고, 그것에 착탈가능하게 결합된 하나 이상의 레이저 다이오드를 갖도록 구성된 적어도 하나의 장치 위치 설정 부재;
    상기 적어도 하나의 하부 어셈블리 상에 위치되는 적어도 하나의 클램프 피스톤의 적어도 일부와 결합하도록 구성되고, 상기 캐리어 장치 바디에 이동 가능하게 결합된 적어도 하나의 캐리어 장치 피스톤; 및
    상기 적어도 하나의 블레이더가 확장될 때 상기 캐리어 장치 피스톤에 의해 선택적으로 결합되도록 구성된 적어도 하나의 접촉 장치 바디로서, 캐리어 장치를 상기 장치 테스트 모듈에 선택적으로 결합하도록 구성된 상기 적어도 하나의 접촉 장치 바디;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 모듈.
  20. 제19 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 접촉 장치 바디는 상기 적어도 하나의 캐리어 장치를 상기 장치 테스트 모듈에 기계적으로 결합하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 모듈.
  21. 제19 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 접촉 장치 바디는 상기 적어도 하나의 캐리어 장치를 상기 장치 테스트 모듈의 적어도 하나의 상부 어셈블리에 열적으로 결합하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 모듈.
  22. 제19 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 접촉 장치 바디는 상기 적어도 하나의 캐리어 장치를 상기 장치 테스트 모듈의 상기 적어도 하나의 상부 어셈블리 상에 위치되는 적어도 하나의 전기 연결 바디에 전기적으로 결합하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 모듈.
  23. 고출력 레이저 다이오드 테스트 시스템에 사용하기 위한 캐리어 장치에 있어서,
    적어도 하나의 캐리어 장치 바디에 결합된 적어도 하나의 캐리어 장치 페이스플레이트;
    상기 적어도 하나의 캐리어 장치 페이스플레이트 및 상기 적어도 하나의 캐리어 장치 바디 중 적어도 하나에 결합되고, 그것에 착탈가능하게 결합된 하나 이상의 레이저 다이오드를 갖도록 구성된 적어도 하나의 장치 위치 설정 부재;
    상기 캐리어 장치 바디에 이동 가능하게 결합되고, 장치 테스트 모듈의 적어도 일부와 결합하도록 구성된 적어도 하나의 캐리어 장치 피스톤; 및
    상기 적어도 하나의 캐리어 장치 피스톤에 의해 선택적으로 결합되고 상기 장치 테스트 모듈 내의 적어도 하나의 상부 플레이트 어셈블리와 결합하여 적어도 하나의 캐리어 장치를 상기 장치 테스트 모듈에 결합하도록 구성된 적어도 하나의 접촉 장치 바디;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 장치.
  24. 제23 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 접촉 장치 바디는 상기 적어도 하나의 캐리어 장치를 상기 장치 테스트 모듈에 기계적으로 결합하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 캐리어 장치.
  25. 제23 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 접촉 장치 바디는 상기 적어도 하나의 캐리어 장치를 상기 장치 테스트 모듈의 적어도 하나의 상부 어셈블리에 열적으로 결합하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 캐리어 장치.
  26. 제23 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 접촉 장치 바디는 상기 적어도 하나의 캐리어 장치를 상기 장치 테스트 모듈의 적어도 하나의 상부 어셈블리 상에 위치되는 적어도 하나의 전기 연결 바디에 전기적으로 결합하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 캐리어 장치.
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