KR20180115714A - Random copolymer, resist composition, color filter and method for producing random copolymer - Google Patents
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Abstract
평활한 컬러 레지스트층이 얻어지고, 당해 컬러 레지스트층 중의 안료 등의 착색제에 유래하는 이물의 발생을 억제할 수 있고, 게다가 현상성이 우수한 레지스트 조성물이 얻어지는 랜덤 공중합체(불소계 계면활성제), 이를 사용한 레지스트 조성물, 컬러 필터를 제공한다. 구체적으로는, 불소 원자가 직접 결합한 탄소 원자의 수가 1∼6인 불소화 알킬기와 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a1)와 가교환 탄화수소의 골격과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a2)와의 랜덤 공중합체이며, 또한, 중량 평균 분자량(Mw)과 수평균 분자량(Mn)과의 비(Mw/Mn)가 1.0∼1.8인 랜덤 공중합체이며, 이를 사용한 레지스트 조성물, 컬러 필터이다.A random copolymer (a fluorine-based surfactant) which can obtain a smooth color resist layer and which can inhibit the generation of foreign matter derived from a coloring agent such as a pigment in the color resist layer and can provide a resist composition excellent in developability, A resist composition, and a color filter. Specifically, a polymerizable monomer (a1) having a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms in which fluorine atoms are directly bonded and a polymerizable unsaturated group and a random polymerizable monomer (a2) having a skeleton of a crosslinked ring hydrocarbon and a polymerizable monomer having a polymerizable unsaturated group And a ratio (Mw / Mn) of a weight average molecular weight (Mw) to a number average molecular weight (Mn) of 1.0 to 1.8, and is a resist composition and a color filter using the copolymer.
Description
본 발명은 평활한 컬러 레지스트층이 얻어지고, 당해 컬러 레지스트층 중의 안료 등의 착색제에 유래하는 이물의 발생을 억제할 수 있고, 게다가 현상성이 우수한 레지스트 조성물이 얻어지는 랜덤 공중합체(불소계 계면활성제), 이를 사용한 레지스트 조성물, 컬러 필터에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 상기 랜덤 공중합체의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a random copolymer (fluorochemical surfactant) which can obtain a smooth color resist layer, suppress the generation of foreign matter derived from a coloring agent such as a pigment in the color resist layer, A resist composition using the same, and a color filter. The present invention also relates to a method for producing the random copolymer.
종래부터 각종 코팅 분야에 있어서, 얻어지는 도막(塗膜)의 균질성 및 평활성을 향상시키는 목적으로, 탄화수소계, 실리콘계, 불소계 등의 다양한 레벨링제라고 하는 계면활성제가 사용되고 있다. 그 중에서도 불소계 계면활성제는, 그 표면 장력 저하능이 높고, 도공(塗工) 후의 오염이 적으므로 폭넓게 사용되고 있다.BACKGROUND ART Conventionally, various surfactants, such as hydrocarbons, silicones, and fluorine-based surfactants, have been used for the purpose of improving the homogeneity and smoothness of a coating film (coating film) obtained in various coating fields. Among them, fluorine-based surfactants are widely used because of their high ability of lowering the surface tension and having less contamination after coating (coating).
상기 불소계 계면활성제 중에서도, 탄소 원자수가 8 이상인 퍼플루오로알킬기를 이용하는 계면활성제가, 그 표면 장력 저하능에 기인하는 레벨링제로서의 성능이 우수하지만, 당해 탄소 원자수 8 이상인 퍼플루오로알킬기를 갖는 계면활성제는, 퍼플루오로옥탄설폰산 등의 환경 및 생체에의 축적이 우려되는 화합물을 생성하기 때문에, 탄소 원자수가 8보다도 작은 퍼플루오로알킬기를 이용하는 계면활성제가 제안되고 있다. 이러한 계면활성제로서는, 예를 들면, 탄소 원자수 6 이하인 불소화 알킬기를 갖는 단량체와 비불소계 단량체를, 공존 하에서 리빙 라디칼 중합 함으로써 제조되는 랜덤 공중합체가 제안되고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).Among the above-mentioned fluorine-based surfactants, surfactants using perfluoroalkyl groups having 8 or more carbon atoms are excellent in the performance as a leveling agent due to their surface tension lowering ability. However, surfactants having a perfluoroalkyl group having 8 or more carbon atoms A surfactant using a perfluoroalkyl group having a carbon atom number of less than 8 has been proposed since it produces a compound such as perfluorooctanesulfonic acid or the like which is likely to accumulate in the environment or in a living body. As such a surfactant, for example, a random copolymer produced by living radical polymerization of a monomer having a fluorinated alkyl group having 6 or less carbon atoms and a non-fluorinated monomer in the coexistence has been proposed (see, for example, Patent Document 1) .
또한, 상기 코팅 분야에 있어서, 특히 컬러 필터를 제조하기 위한 조성물(컬러 레지스트 조성물)에 있어서는, 현상액으로서 사용하는 알칼리성의 수용액에 노출되어도 도막이 변색되기 어려운(물 얼룩지기 어려운) 성능이 요구되어 있다. 이러한 성능을 갖는 레지스트 조성물을 얻기 위해, 탄소 원자수 1∼6인 불소화 알킬기를 갖는 중합성 단량체의 중합체 세그먼트와 가교환 탄화수소의 골격을 갖는 중합성 단량체의 중합체 세그먼트를 갖는 블록 공중합체인 불소계 계면활성제가 제안되고 있다(예를 들면, 특허문헌 2 참조). 그러나, 상기 특허문헌 2에 개시된 불소계 계면활성제를 포함하는 레지스트 조성물은 알칼리성의 수용액에 의한 현상성이 충분하지 않은 문제가 있다.In addition, in the above-mentioned coating field, particularly in a composition (color resist composition) for producing a color filter, a performance is required which is hard to discolor the coating film (difficult to be stained with water) even when exposed to an alkaline aqueous solution used as a developing solution. In order to obtain a resist composition having such a performance, a fluorine-based surfactant, which is a block copolymer having a polymer segment of a polymerizable monomer having a fluorinated alkyl group of 1 to 6 carbon atoms and a polymer segment of a polymerizable monomer having a skeleton of a crosslinked ring hydrocarbon, (See, for example, Patent Document 2). However, the resist composition containing the fluorine-based surfactant disclosed in Patent Document 2 has a problem that the developability by an alkaline aqueous solution is insufficient.
이에 더해서, 컬러 레지스트 조성물의 도막(컬러 레지스트 패턴) 등의 착색된 도막층을 형성할 때에는, 원하는 색상도 요구된다. 원하는 색상을 갖는 도막층, 예를 들면, 명도가 우수한 색상을 갖는 컬러 레지스트 패턴을 얻기 위해, 명도가 우수한 C.I. 피그먼트 레드 254 등의 안료(착색제)가 사용된다. 그러나, 상기C.I. 피그먼트 레드 254 등의 안료는, 승화하기 쉽고, 또한 그 분자간 상호작용에 의해 결정(結晶)이 성장하기 쉽다는 성질을 갖기 때문에, 컬러 필터를 형성할 때의 가열 공정에 있어서 도막으로부터 승화한 안료 분자가 도막 표면에 있어서 결정화·응집화가 일어나고, 이물이 발생해 버린다. 이러한 이물이 발생하면, 입자에 의한 광산란이나 안료 분산의 불균일화가 일어나고, 그 결과, 상기 원하는 색상을 얻는 것이 곤란해져 버린다.In addition, a desired color is also required when forming a colored coating film layer such as a coating film (color resist pattern) of a color resist composition. In order to obtain a coating film layer having a desired color, for example, a color resist pattern having a hue excellent in color, CI Pigment Red 254 and the like (coloring agent) are used. However, the above C.I. Pigments such as Pigment Red 254 are easy to sublimate and have a property that crystals tend to grow due to their intermolecular interaction. Therefore, in the heating process for forming a color filter, pigments such as pigment The molecules are crystallized and coagulated on the surface of the coating film, and foreign matter is generated. When such a foreign matter is generated, light scattering due to the particles and non-uniformity of the pigment dispersion occur, and as a result, it becomes difficult to obtain the desired color.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 평활한 컬러 레지스트층이 얻어지고, 당해 컬러 레지스트층 중의 착색제에 유래하는 이물의 발생도 억제할 수 있고, 게다가 현상성이 우수한 레지스트 조성물이 얻어지는 공중합체(불소계 계면활성제), 이를 사용한 레지스트 조성물, 컬러 필터를 제공하는 것이다. 또한, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 상기 함(含)불소 중합체(리빙 라디칼 중합의 랜덤 공중합체)의 제조 방법을 제공하는 것이다.A problem to be solved by the present invention is to provide a copolymer in which a smooth color resist layer can be obtained and occurrence of foreign matter derived from the colorant in the color resist layer can be suppressed and a resist composition excellent in developability can be obtained An activator), a resist composition using the same, and a color filter. In addition, a problem to be solved by the present invention is to provide a process for producing the above fluoropolymer (a random copolymer of living radical polymerization).
본 발명자들은, 예의 연구한 결과, 불소화 알킬기와 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체와 아다만탄환과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체 등의 가교환 탄화수소의 골격과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체를 사용함으로써 계면활성제로서 사용할 수 있는 랜덤 공중합체가 얻어지는 것, 당해 랜덤 공중합체 중에서도, 중량 평균 분자량(Mw)과 수평균 분자량(Mn)과의 비〔(Mw)/(Mn)〕가 1.0∼1.8의 범위에 있는 랜덤 공중합체를 첨가함으로써, 승화나 결정화를 하기 쉬운 착색제를 사용해도 도막 중에 이물의 발생이 일어나기 어려운 레지스트 조성물이 얻어지는 것, 당해 레지스트 조성물은 현상성도 우수한 것, 이들의 조성물을 사용함으로써 원하는 색상을 갖는 컬러 필터가 얻어지는 것 등을 찾아내어, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.As a result of intensive studies, the present inventors have found that a polymerizable monomer having a polymerizable monomer having a fluorinated alkyl group and a polymerizable unsaturated group and a polymerizable monomer having a skeleton of a crosslinked ring hydrocarbon such as a polymerizable monomer having an adamantane ring and a polymerizable unsaturated group and a polymerizable monomer having a polymerizable unsaturated group (Mw) / (Mn) of the weight average molecular weight (Mw) to the number average molecular weight (Mn) of the random copolymer is 1.0 to 1.8 , It is possible to obtain a resist composition which is less susceptible to generation of foreign matter in the coating film even when a colorant which is easy to sublimate or crystallize is used. The resist composition is also excellent in developing property. By using these compositions A color filter having a desired color can be obtained, and so on, and thus the present invention has been accomplished.
즉, 본 발명은 불소 원자가 직접 결합한 탄소 원자의 수가 1∼6인 불소화 알킬기와 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a1)와 가교환 탄화수소의 골격과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a2)와의 랜덤 공중합체이며, 또한, 중량 평균 분자량(Mw)과 수평균 분자량(Mn)과의 비(Mw/Mn)가 1.0∼1.8인 것을 특징으로 하는 랜덤 공중합체를 제공하는 것이다.That is, the present invention relates to a polymerizable monomer composition comprising a polymerizable monomer (a1) having a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms in which fluorine atoms are directly bonded and a polymerizable unsaturated group, and a polymerizable monomer (a2) having a skeleton of a crosslinked ring hydrocarbon and a polymerizable monomer And a ratio (Mw / Mn) of a weight average molecular weight (Mw) to a number average molecular weight (Mn) of 1.0 to 1.8.
또한, 본 발명은 상기 랜덤 공중합체(A)와 착색제(B)와 알칼리 가용성 수지(C)와 중합성 화합물(D)을 함유하는 것을 특징으로 하는 레지스트 조성물을 제공하는 것이다.The present invention also provides a resist composition comprising the random copolymer (A), the colorant (B), the alkali-soluble resin (C) and the polymerizable compound (D).
또한, 본 발명은 상기 레지스트 조성물의 도막층이 기판상에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 컬러 필터를 제공하는 것이다.The present invention also provides a color filter characterized in that a coating film layer of the resist composition is formed on a substrate.
또한, 본 발명은 불소 원자가 직접 결합한 탄소 원자의 수가 1∼6인 불소화 알킬기와 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a1)와 가교환 탄화수소의 골격과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a2)를, 중합성 단량체(a1)와 중합성 단량체(a2)의 공존 하에서 리빙 라디칼 중합하는 것을 특징으로 하는 랜덤 공중합체의 제조 방법을 제공하는 것이다.(A1) having a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms to which a fluorine atom is directly bonded and a polymerizable monomer having a polymerizable unsaturated group and a polymerizable monomer (a2) having a skeleton of a crosslinked ring hydrocarbon and a polymerizable unsaturated group, , And a living radical polymerization is carried out under the coexistence of the polymerizable monomer (a1) and the polymerizable monomer (a2).
본 발명은 평활한 컬러 레지스트층이 얻어지고, 당해 컬러 레지스트층 중의 착색제에 유래하는 이물의 발생도 억제할 수 있고, 게다가 현상성이 우수한 레지스트 조성물이 얻어지는 랜덤 공중합체와 그 제조 방법을 제공할 수 있다. 또한, 본 발명은 원하는 색상의 도막층이 얻어지는 레지스트 조성물 및 원하는 색상의 도막층을 갖는 컬러 필터를 제공할 수 있다.The present invention can provide a random copolymer which can obtain a smooth color resist layer, suppress the generation of foreign matter derived from the coloring agent in the color resist layer, and can provide a resist composition excellent in developing property, and a process for producing the same have. Further, the present invention can provide a resist composition for obtaining a desired color coat layer and a color filter having a desired color coat layer.
또한, 본 발명의 랜덤 공중합체는, 컬러 레지스트 조성물에 호적(好適)하게 사용할 수 있을 뿐만 아니라, 블랙 매트릭스를 형성하기 위한 조성물, 전자 기기 등의 케이싱 등의 물품의 표면에 도막층을 형성하기 위한 조성물 등에 호적하게 사용할 수도 있다.Further, the random copolymer of the present invention can be suitably used for a color resist composition, as well as for forming a coating layer on the surface of an article such as a composition for forming a black matrix, It may be used suitably for a composition or the like.
도 1은 실시예 1에서 얻어진 랜덤 공중합체(1)의 IR 스펙트럼의 차트도.
도 2는 실시예 1에서 얻어진 랜덤 공중합체(1)의 13C-NMR 스펙트럼의 차트도.
도 3은 실시예 1에서 얻어진 랜덤 공중합체(1)의 GPC의 차트도.1 is a chart of an IR spectrum of the random copolymer (1) obtained in Example 1;
2 is a chart of the 13 C-NMR spectrum of the random copolymer (1) obtained in Example 1. Fig.
3 is a chart of GPC of the random copolymer (1) obtained in Example 1. Fig.
본 발명은 불소 원자가 직접 결합한 탄소 원자의 수가 1∼6인 불소화 알킬기와 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a1)와 가교환 탄화수소의 골격과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a2)와의 랜덤 공중합체이며, 또한, 중량 평균 분자량(Mw)과 수평균 분자량(Mn)과의 비(Mw/Mn)가 1.0∼1.8인 것을 특징으로 하는 랜덤 공중합체를 제공한다.The present invention relates to a random copolymer (a1) comprising a polymerizable monomer (a1) having a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms directly bonded with a fluorine atom and a polymerizable unsaturated group and a polymerizable monomer (a2) having a skeleton of a crosslinked ring hydrocarbon and a polymerizable unsaturated group (Mw / Mn) of the weight average molecular weight (Mw) to the number average molecular weight (Mn) is 1.0 to 1.8. The present invention also provides a random copolymer.
상기 불소 원자가 직접 결합한 탄소 원자의 수가 1∼6인 불소화 알킬기와 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a1)로서는, 분자 중에 상기 불소화 알킬기와 중합성 불포화기를 갖는 화합물이면, 특별히 제한 없이 사용할 수 있다.The polymerizable monomer (a1) having a fluorinated alkyl group and a polymerizable unsaturated group having 1 to 6 carbon atoms in which the fluorine atoms are directly bonded is not particularly limited as far as the compound has the fluorinated alkyl group and the polymerizable unsaturated group in the molecule.
여기에서, 불소 원자가 직접 결합한 탄소 원자의 수가 1∼6인 불소화 알킬기는, 불소 원자가 직접 결합한 탄소 원자의 수가 1∼6인 퍼플루오로알킬기 또는 수소 원자의 일부를 불소 원자로 한 부분 불소화 알킬기이다. 이들의 불소화 알킬기 중에서도, 얻어지는 중합체의 계면활성제로서의 효과가 높으므로 퍼플루오로알킬기가 바람직하다. 또한, 불소 원자가 직접 결합한 탄소 원자의 수는 많을수록 바람직하고, 불소 원자가 직접 결합한 탄소 원자의 수는 4∼6인 것이 특히 바람직하다.Here, the fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms in which the fluorine atoms are directly bonded is a perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms in which fluorine atoms are directly bonded, or a partially fluorinated alkyl group in which a part of hydrogen atoms are fluorine atoms. Of these fluorinated alkyl groups, perfluoroalkyl groups are preferred because the resulting polymer has a high effect as a surfactant. The number of carbon atoms to which a fluorine atom is bonded directly is more preferable, and the number of carbon atoms to which a fluorine atom is directly bonded is particularly preferably from 4 to 6. [
상기 중합성 단량체(a1)가 갖는 중합성 불포화기로서는, 예를 들면, (메타), 아크릴로일기, 비닐기, 말레이미드기 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 원료의 입수가 용이한 것, 얻어지는 랜덤 공중합체를 사용하여 레지스트 조성물이나 코팅 조성물을 제조할 때에, 조성물 중의 배합 성분에 대한 랜덤 공중합체의 상용성(相溶性)을 제어하는 것이 용이한 것 및 중합 반응성이 양호하므로, (메타)아크릴로일기가 바람직하다. 이 (메타)아크릴로일기를 갖는 구체예로서는, 예를 들면, 하기 일반식(1)으로 표시되는 단량체를 바람직하게 예시할 수 있다. 또한, 상기 중합성 단량체(a1)는, 1종류만 사용해도 2종 이상을 병용해도 상관없다.Examples of the polymerizable unsaturated group of the polymerizable monomer (a1) include a (meth) acryloyl group, a vinyl group and a maleimide group. Among them, it is easy to obtain the raw materials, and when the resist composition or the coating composition is produced by using the obtained random copolymer, it is easy to control the compatibility of the random copolymer with respect to the compounding ingredients in the composition And (meth) acryloyl group is preferable since polymerization reactivity is good. As specific examples having (meth) acryloyl groups, for example, monomers represented by the following general formula (1) can be preferably exemplified. The polymerizable monomer (a1) may be used singly or in combination of two or more.
〔상기 일반식(1) 중, R1은 수소 원자, 불소 원자, 메틸기, 시아노기, 페닐기, 벤질기 또는 -CnH2n-Rf'(n은 1∼8의 정수를 나타내고, Rf'는 하기 식(Rf-1)∼(Rf-4) 중 어느 하나의 기를 나타냄)를 나타내고, X는, 하기 식(X-1)∼(X-10) 중 어느 하나의 기를 나타내고, Rf는 하기 식(Rf-1)∼(Rf-4) 중 어느 하나의 기를 나타낸다.〕R 1 represents a hydrogen atom, a fluorine atom, a methyl group, a cyano group, a phenyl group, a benzyl group or -C n H 2n -Rf '(n represents an integer of 1 to 8, and Rf' X represents any one of groups represented by the following formulas (X-1) to (X-10), Rf represents a group represented by the following formula (Rf-1) to (Rf-4).
〔상기 식(X-1), (X-3), (X-4), (X-5), (X-6) 및 (X-7) 중의 n은 1∼8의 정수를 나타낸다. 상기 식(X-8), (X-9) 및 (X-10) 중의 m은 1∼8의 정수를 나타내고, n은 0∼8의 정수를 나타낸다. 상기 식(X-6) 및 (X-7) 중의 Rf''는 하기 식(Rf-1)∼(Rf-4) 중 어느 하나의 기를 나타낸다.〕N in the formulas (X-1), (X-3), (X-4), (X-5), (X-6) and (X-7) represents an integer of 1 to 8. M in the formulas (X-8), (X-9) and (X-10) represents an integer of 1 to 8 and n represents an integer of 0 to 8. Rf "in the formulas (X-6) and (X-7) represents any one of groups represented by the following formulas (Rf-1) to (Rf-4)
〔상기 식(Rf-1) 및 (Rf-2) 중의 n은 1∼6의 정수를 나타낸다. 상기 식(Rf-3) 중의 n은 2∼6의 정수를 나타낸다. 상기 식(Rf-4) 중의 n은 4∼6의 정수를 나타낸다.〕[N in the formulas (Rf-1) and (Rf-2) represents an integer of 1 to 6) N in the formula (Rf-3) represents an integer of 2 to 6. And n in the formula (Rf-4) represents an integer of 4 to 6.)
또한, 본 발명에 있어서, 「(메타)아크릴레이트」란, 메타크릴레이트와 아크릴레이트의 한쪽 또는 양쪽을 말하고, 「(메타)아크릴산」이란, 메타크릴산과 아크릴산의 한쪽 또는 양쪽을 말한다.In the present invention, "(meth) acrylate" refers to one or both of methacrylate and acrylate, and "(meth) acrylic acid" refers to one or both of methacrylic acid and acrylic acid.
상기 중합성 단량체(a2)는 가교환 탄화수소의 골격과 중합성 불포화기를 갖는다. 본 발명의 랜덤 공중합체를 포함하는 레지스트 조성물을 사용하여 얻어지는 도막층의 최표면에는, 당해 랜덤 공중합체를 포함하는 층(이하, 블록층이라고 하는 경우가 있음)이 표면에 편재한다. 본 발명의 랜덤 공중합체는, 상기 가교환 탄화수소의 골격의 존재에 의해 유리 전이 온도(Tg)가 높고, 그 결과, 상기 블록층은 단단한 층이 된다. 즉, 후술하는 컬러 필터의 제조 방법에 있어서 형성되는 도막층은 가교환 탄화수소의 골격의 존재에 의해 경도가 높은 블록층을 갖는다. 이 경도가 높은 블록층이 도막층 중의 안료 등의 착색제가 최표면에 석출(승화)하는 것을 방지하고, 또한, 블록층 중의 가교환 탄화수소의 골격이, 그 아래에 있는 도막층에 분산되어 있는 안료에 대하여 어떠한 영향을 미쳐, 그 결과, 안료 등의 착색제 유래의 이물의 형성을 억제하고 있는 것으로 발명자들은 추측하고 있다.The polymerizable monomer (a2) has a crosslinked ring hydrocarbon skeleton and a polymerizable unsaturated group. On the outermost surface of the coating film layer obtained by using the resist composition containing the random copolymer of the present invention, a layer containing the random copolymer (hereinafter sometimes referred to as a block layer) is localized on the surface. The random copolymer of the present invention has a high glass transition temperature (Tg) due to the presence of the skeleton of the crosslinked ring hydrocarbon, and as a result, the block layer becomes a hard layer. That is, the coating layer formed in the method of manufacturing a color filter described later has a block layer having a high hardness due to the presence of the skeleton of the crosslinked ring hydrocarbon. This block layer having a high hardness prevents the colorant such as pigment in the coating layer from being deposited (sublimed) on the outermost surface, and the skeleton of the crosslinked ring hydrocarbon in the block layer is dispersed in the pigment layer And as a result, the inventors presume that the formation of foreign matters derived from a coloring agent such as a pigment is suppressed.
상기 가교환 탄화수소의 골격으로서는, 예를 들면, 아다만탄환, 퍼히드로인덴환, 데칼린환, 퍼히드로플루오렌환, 퍼히드로안트라센환, 퍼히드로페난트렌환, 디시클로펜탄환, 디시클로펜텐환, 퍼히드로아세나프텐환, 퍼히드로페날렌환, 노르보르난환, 노르보르넨환 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 도막 최표면에 의해 Tg가 높은 블록층을 형성할 수 있음과 함께 안료 유래의 이물의 발생을 억제할 수 있으므로 아다만탄환, 디시클로펜탄환, 노르보르난환, 노르보르넨환이 바람직하고, 아다만탄환이 보다 바람직하다.Examples of the skeleton of the crosslinked ring hydrocarbon include adamantane ring, perhydroindenylene ring, decalin ring, perhydrofluorene ring, perhydroanthracene ring, perhydrophenanthrene ring, dicyclopentane ring, dicyclopentane ring , Perhydro-acenaphthene ring, perhydrophenylene ring, norbornane ring, norbornene ring and the like. Of these, adamantane, dicyclopentane, norbornane, and norbornene rings are preferable because a block layer having a high Tg can be formed by the outermost surface of the coating film and the generation of foreign matter derived from the pigment can be suppressed , And adamantanemethane is more preferable.
이하, 본 발명에서 중합성 단량체(a2)로서 바람직하게 사용할 수 있는 아다만탄환과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체에 대해서 설명한다.Hereinafter, the polymerizable monomer having an adamantane ring and a polymerizable unsaturated group which can be preferably used as the polymerizable monomer (a2) in the present invention will be described.
상기 아다만탄환과 (메타)아크릴로일기를 갖는 중합성 단량체로서는, 예를 들면, 하기 식(a2-1), (a2-2)으로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the polymerizable monomer having adamantane ring and (meth) acryloyl group include the compounds represented by the following formulas (a2-1) and (a2-2).
(식 중, L은 반응성 관능기를 나타내고, X 및 Y는 2가의 유기기 또는 단결합을 나타내고, R은 수소 원자, 메틸기 또는 CF3를 나타냄)(Wherein L represents a reactive functional group, X and Y represent a divalent organic group or a single bond, and R represents a hydrogen atom, a methyl group or CF 3 )
상기 반응성 관능기로서는, 예를 들면, 수산기, 이소시아네이트기, 에폭시기, 카르복시기, 카르복시산할라이드기, 산무수물기 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 얻어지는 랜덤 공중합체를 사용하여 레지스트 조성물이나 코팅 조성물을 제조할 때에, 조성물 중의 배합 성분과의 상용성이 양호한 랜덤 공중합체가 얻어지므로 수산기가 바람직하다.Examples of the reactive functional group include a hydroxyl group, an isocyanate group, an epoxy group, a carboxyl group, a carboxylic acid halide group, and an acid anhydride group. Among them, a hydroxyl group is preferable since a random copolymer having good compatibility with a compounding component in a composition can be obtained when a resist composition or a coating composition is produced using the obtained random copolymer.
상기 일반식(a2-1) 중의 -X-L로 표시되는 상기 반응성 관능기를 갖는 유기기 및 Y의 결합 위치는, 아다만탄환 중의 어느 탄소 원자에 결합해 있어도 되고, 또한, -X-L에 대해서는 2개 이상 갖고 있어도 된다. 또한, 아다만탄환을 구성하는 탄소 원자에 결합해 있는 수소 원자는, 그 일부 또는 전부가 불소 원자, 알킬기 등으로 치환되어 있어도 상관없다. 또한, 상기 일반식(a2-1) 중의 X 및 Y는 2가의 유기기 또는 단결합이지만, 이 2가의 유기기로서는, 메틸렌기, 프로필기, 이소프로필리덴기 등의 탄소 원자수 1∼8인 알킬렌기를 들 수 있다.The bonding position of the organic group having a reactive functional group represented by -XL in the general formula (a2-1) and Y may be bonded to any carbon atom in the adamantanemember, and two or more . The hydrogen atom bonded to the carbon atom constituting the adamantanemember may be partially or entirely substituted with a fluorine atom, an alkyl group, or the like. In the general formula (a2-1), X and Y are a divalent organic group or a single bond. Examples of the divalent organic group include a methylene group, a propyl group, an isopropylidene group and the like having 1 to 8 carbon atoms Alkylene group.
또한, 상기 식(a2-2)으로 표시되는 화합물에 있어서, (메타)아크릴로일기는, 아다만탄환 중의 어느 탄소 원자에 결합해 있어도 된다. 또한, 상기 일반식(a2-1) 중의 아다만탄 구조를 구성하는 탄소 원자에 결합해 있는 수소 원자는, 그 일부 또는 전부가 불소 원자, 알킬기 등으로 치환되어 있어도 상관없다.In the compound represented by the above formula (a2-2), the (meth) acryloyl group may be bonded to any carbon atom in the adamantyl group. The hydrogen atom bonded to the carbon atom constituting the adamantane structure in the general formula (a2-1) may be partially or entirely substituted with a fluorine atom, an alkyl group or the like.
상기 일반식(a2-1)으로 표시되는 중합성 단량체의 보다 구체예로서는, 예를 들면, 하기로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.More specific examples of the polymerizable monomer represented by the general formula (a2-1) include, for example, the following compounds.
또한, 일반식(a2-2)으로 표시되는 중합성 단량체의 보다 구체예로서는, 예를 들면, 하기로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.More specific examples of the polymerizable monomer represented by the general formula (a2-2) include, for example, the following compounds.
아다만탄환과 (메타)아크릴로일기를 갖는 중합성 단량체 중에서도, 얻어지는 랜덤 공중합체를 사용하여 레지스트 조성물을 제조할 때에, 조성물 중의 배합 성분과의 상용성이 양호한 랜덤 공중합체가 얻어지므로 상기 식(a2-2)으로 표시되는 화합물이 바람직하고, 상기 식(a2-2-1)으로 표시되는 화합물이 보다 바람직하다.Among the polymerizable monomers having an adamantane ring and a (meth) acryloyl group, when a resist composition is produced using the resulting random copolymer, a random copolymer having good compatibility with a compounding component in the composition can be obtained, a2-2) is preferable, and the compound represented by the above formula (a2-2-1) is more preferable.
이하, 본 발명에서 중합성 단량체(a2)로서 바람직하게 사용할 수 있는 디시클로펜탄환과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체에 대해서 설명한다.Hereinafter, the polymerizable monomer having a dicyclopentanecane ring and a polymerizable unsaturated group which can be preferably used as the polymerizable monomer (a2) in the present invention will be described.
상기 디시클로펜탄환과 (메타)아크릴로일기를 갖는 중합성 단량체로서는, 예를 들면, 하기 식(a2-3)으로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the polymerizable monomer having a dicyclopentane ring and a (meth) acryloyl group include a compound represented by the following formula (a2-3).
(식 중, R은 수소 원자, 메틸기 또는 CF3를 나타냄)(Wherein R represents a hydrogen atom, a methyl group or CF 3 )
또한, 상기 식(a2-3)으로 표시되는 화합물에 있어서, (메타)아크릴로일기는, 디시클로펜탄환 중의 어느 탄소 원자에 결합해 있어도 된다. 또한, 상기 일반식(a2-3) 중의 디시클로펜탄환을 구성하는 탄소 원자에 결합해 있는 수소 원자는, 그 일부 또는 전부가 불소 원자, 알킬기 등으로 치환되어 있어도 상관없다.In the compound represented by the above formula (a2-3), the (meth) acryloyl group may be bonded to any carbon atom in the dicyclopentanemal ring. The hydrogen atom bonded to the carbon atom constituting the dicyclopentanecane ring in the general formula (a2-3) may be partially or entirely substituted with a fluorine atom, an alkyl group, or the like.
상기 일반식(a2-3)으로 표시되는 중합성 단량체의 보다 구체적인 예로서는, 예를 들면, 하기로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.More specific examples of the polymerizable monomer represented by the general formula (a2-3) include, for example, the following compounds.
디시클로펜탄환과 (메타)아크릴로일기를 갖는 중합성 단량체 중에서도, 도막의 Tg가 높은 레지스트 조성물이 얻어지므로 상기 식(a2-3-2)으로 표시되는 화합물이 바람직하다.Among the polymerizable monomers having a dicyclopentanecane ring and a (meth) acryloyl group, a compound represented by the formula (a2-3-2) is preferable since a resist composition having a high Tg of a coating film can be obtained.
이하, 본 발명에서 중합성 단량체(a2)로서 바람직하게 사용할 수 있는 디시클로펜텐환과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체에 대해서 설명한다.Hereinafter, the polymerizable monomer having a dicyclopentene ring and a polymerizable unsaturated group which can be preferably used as the polymerizable monomer (a2) in the present invention will be described.
상기 디시클로펜텐환과 (메타)아크릴로일기를 갖는 중합성 단량체로서는, 예를 들면, 하기 식(a2-4)으로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the polymerizable monomer having a dicyclopentene ring and a (meth) acryloyl group include a compound represented by the following formula (a2-4).
(식 중, R은 수소 원자, 메틸기 또는 CF3를 나타냄)(Wherein R represents a hydrogen atom, a methyl group or CF 3 )
또한, 상기 식(a2-4)으로 표시되는 화합물에 있어서, (메타)아크릴로일기는, 디시클로펜텐환 중의 어느 탄소 원자에 결합해 있어도 된다. 또한, 상기 일반식(a2-3) 중의 디시클로펜텐환을 구성하는 탄소 원자에 결합해 있는 수소 원자는, 그 일부 또는 전부가 불소 원자, 알킬기 등으로 치환되어 있어도 상관없다.In the compound represented by the formula (a2-4), the (meth) acryloyl group may be bonded to any carbon atom in the dicyclopentane ring. The hydrogen atom bonded to the carbon atom constituting the dicyclopentane ring in the general formula (a2-3) may be partially or entirely substituted with a fluorine atom, an alkyl group or the like.
상기 일반식(a2-4)으로 표시되는 중합성 단량체의 보다 구체적인 예로서는, 예를 들면, 하기로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.More specific examples of the polymerizable monomer represented by the general formula (a2-4) include, for example, the following compounds.
디시클로펜텐환과 (메타)아크릴로일기를 갖는 중합성 단량체 중에서도, 도막의 Tg가 높은 레지스트 조성물이 얻어지므로 상기 식(a2-4-2)으로 표시되는 화합물이 바람직하다.Among the polymerizable monomers having a dicyclopentene ring and a (meth) acryloyl group, a compound represented by the formula (a2-4-2) is preferable because a resist composition having a high Tg of a coating film can be obtained.
이하, 본 발명에서 중합성 단량체(a2)로서 바람직하게 사용할 수 있는 노르보르난환과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체에 대해서 설명한다.Hereinafter, the norbornane ring and the polymerizable monomer having a polymerizable unsaturated group which can be preferably used as the polymerizable monomer (a2) in the present invention will be described.
상기 노르보르난환과 (메타)아크릴로일기를 갖는 중합성 단량체로서는, 예를 들면, 하기 식(a2-5)으로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the polymerizable monomer having a norbornane ring and a (meth) acryloyl group include a compound represented by the following formula (a2-5).
(식 중, R은 수소 원자, 메틸기 또는 CF3를 나타냄)(Wherein R represents a hydrogen atom, a methyl group or CF 3 )
또한, 상기 식(a2-5)으로 표시되는 화합물에 있어서, (메타)아크릴로일기는, 노르보르난환 중의 어느 탄소 원자에 결합해 있어도 된다. 또한, 상기 일반식(a2-5) 중의 노르보르난환을 구성하는 탄소 원자에 결합해 있는 수소 원자는, 그 일부 또는 전부가 불소 원자, 알킬기 등으로 치환되어 있어도 상관없다.In the compound represented by the formula (a2-5), the (meth) acryloyl group may be bonded to any carbon atom in the norbornane ring. The hydrogen atom bonded to the carbon atom constituting the norbornane ring in the general formula (a2-5) may be partially or entirely substituted with a fluorine atom, an alkyl group or the like.
상기 일반식(a2-5)으로 표시되는 중합성 단량체의 보다 구체적인 예로서는, 예를 들면, 하기로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.More specific examples of the polymerizable monomer represented by the general formula (a2-5) include, for example, the following compounds.
노르보르난환과 (메타)아크릴로일기를 갖는 중합성 단량체 중에서도, 도막의 Tg가 높은 레지스트 조성물이 얻어지므로 상기 식(a2-5-2)으로 표시되는 화합물이 바람직하다.Among the polymerizable monomers having a norbornane ring and a (meth) acryloyl group, a compound represented by the formula (a2-5-2) is preferable since a resist composition having a high Tg of a coating film can be obtained.
이하, 본 발명에서 중합성 단량체(a2)로서 바람직하게 사용할 수 있는 노르보르넨환과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체에 대해서 설명한다.Hereinafter, the norbornene ring and the polymerizable monomer having a polymerizable unsaturated group which can be preferably used as the polymerizable monomer (a2) in the present invention will be described.
상기 노르보르넨환과 (메타)아크릴로일기를 갖는 중합성 단량체로서는, 예를 들면, 하기 식(a2-6)으로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.The polymerizable monomer having a norbornene ring and a (meth) acryloyl group includes, for example, a compound represented by the following formula (a2-6).
(식 중, R은 수소 원자, 메틸기 또는 CF3를 나타냄)(Wherein R represents a hydrogen atom, a methyl group or CF 3 )
또한, 상기 식(a2-6)으로 표시되는 화합물에 있어서, (메타)아크릴로일기는, 노르보르넨환 중의 어느 탄소 원자에 결합해 있어도 된다. 또한, 상기 일반식(a2-6) 중의 노르보르넨환을 구성하는 탄소 원자에 결합해 있는 수소 원자는, 그 일부 또는 전부가 불소 원자, 알킬기 등으로 치환되어 있어도 상관없다.In the compound represented by the formula (a2-6), the (meth) acryloyl group may be bonded to any carbon atom in the norbornene ring. The hydrogen atom bonded to the carbon atom constituting the norbornene ring in the general formula (a2-6) may be partially or entirely substituted with a fluorine atom, an alkyl group or the like.
상기 일반식(a2-6)으로 표시되는 중합성 단량체의 보다 구체적인 예로서는, 예를 들면, 하기로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.More specific examples of the polymerizable monomer represented by the general formula (a2-6) include, for example, the following compounds.
노르보르넨환과 (메타)아크릴로일기를 갖는 중합성 단량체 중에서도, 도막의 Tg가 높은 레지스트 조성물이 얻어지므로 상기 식(a2-6-2)으로 표시되는 화합물이 바람직하다.Among the polymerizable monomers having a norbornene ring and a (meth) acryloyl group, a compound represented by the above formula (a2-6-2) is preferable since a resist composition having a high Tg of a coating film can be obtained.
본 발명은 불소 원자가 직접 결합한 탄소 원자의 수가 1∼6인 불소화 알킬기와 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a1)와 가교환 탄화수소의 골격과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a2)와의 랜덤 공중합체이며, 또한, 중량 평균 분자량(Mw)과 수평균 분자량(Mn)과의 비(Mw/Mn)가 1.0∼1.8인 것을 특징으로 하는 랜덤 공중합체를 제공한다. 여기에서, 비(Mw/Mn)가 1.8을 초과하면 견고한 도막 표면을 형성할 수 없으므로, 바람직하지 않다. 비(Mw/Mn)는, 1.0∼1.7의 범위가 보다 바람직하고, 1.0∼1.5의 범위가 더 바람직하다.The present invention relates to a random copolymer (a1) comprising a polymerizable monomer (a1) having a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms directly bonded with a fluorine atom and a polymerizable unsaturated group and a polymerizable monomer (a2) having a skeleton of a crosslinked ring hydrocarbon and a polymerizable unsaturated group (Mw / Mn) of the weight average molecular weight (Mw) to the number average molecular weight (Mn) is 1.0 to 1.8. The present invention also provides a random copolymer. Here, when the ratio (Mw / Mn) exceeds 1.8, a solid coating film surface can not be formed, which is not preferable. The ratio (Mw / Mn) is more preferably in the range of 1.0 to 1.7, and more preferably in the range of 1.0 to 1.5.
본 발명의 랜덤 공중합체의 중량 평균 분자량(Mw)은, 보다 견고한 도막 표면이 얻어지며, 또한, 양호한 레벨링성을 갖는 랜덤 공중합체가 되므로, 500∼200,000이 바람직하고, 1,000∼150,000의 범위가 보다 바람직하고, 1,500∼100,000의 범위가 더 바람직하다.The weight average molecular weight (Mw) of the random copolymer of the present invention is preferably in the range of 500 to 200,000, more preferably in the range of 1,000 to 150,000, since a stiffer coat film surface is obtained and a random copolymer having good leveling property is obtained. More preferably in the range of 1,500 to 100,000.
또한, 본 발명의 랜덤 공중합체의 수평균 분자량(Mn)은, 보다 견고한 도막 표면이 얻어지며, 또한, 양호한 레벨링성을 갖는 랜덤 공중합체가 되므로, 300∼120,000이 바람직하고, 500∼80,000의 범위가 보다 바람직하고, 800∼60,000의 범위가 더 바람직하다.The number average molecular weight (Mn) of the random copolymer of the present invention is preferably in the range of 300 to 120,000, and more preferably in the range of 500 to 80,000, since the random copolymer obtains a stiffer coat film surface and has a good leveling property , And more preferably in the range of 800 to 60,000.
여기에서, 수평균 분자량(Mn) 및 중량 평균 분자량(Mw)은, 겔침투 크로마토그래피(이하, 「GPC」라고 약기함) 측정에 의거하여 폴리스티렌 환산한 값이다. 또한, GPC의 측정 조건은 이하와 같다.Here, the number average molecular weight (Mn) and the weight average molecular weight (Mw) are values converted into polystyrene on the basis of gel permeation chromatography (hereinafter abbreviated as "GPC") measurement. The measurement conditions of GPC are as follows.
[GPC 측정 조건][Conditions for measuring GPC]
측정 장치: 도소 가부시키가이샤제 「HLC-8220 GPC」,Measurement apparatus: "HLC-8220 GPC" manufactured by Tosoh Corporation,
칼럼: 도소 가부시키가이샤제 가이드 칼럼 「HHR-H」(6.0㎜I.D.×4cm)+도소 가부시키가이샤제 「TSK-GEL GMHHR-N」(7.8㎜I.D.×30㎝)+도소 가부시키가이샤제 「TSK-GEL GMHHR-N」(7.8㎜I.D.×30㎝)+도소 가부시키가이샤제 「TSK-GEL GMHHR-N」(7.8㎜I.D.×30㎝)+도소 가부시키가이샤제 「TSK-GEL GMHHR-N」(7.8㎜I.D.×30㎝)Column: " HHR-H " (6.0 mm ID x 4 cm) manufactured by Tosoh Corporation, TSK-GEL GMHHR-N (7.8 mm ID x 30 cm) manufactured by Tosoh Corporation, TSK-GEL GMHHR-N "(7.8 mm ID × 30 cm) manufactured by Tosoh Corporation, TSK-GEL GMHHR-N (7.8 mm ID x 30 cm)
검출기: ELSD(올테크쟈판 가부시키가이샤제 「ELSD2000」)Detector: ELSD (ELSD2000 manufactured by Alltech Japan)
데이터 처리: 도소 가부시키가이샤제 「GPC-8020 모델 Ⅱ 데이터 해석 버전 4.30」Data processing: "GPC-8020 Model II Data Analysis Version 4.30" manufactured by Tosoh Corporation
측정 조건: 칼럼 온도 40℃Measurement conditions: column temperature 40 ℃
전개 용매 테트라히드로퓨란(THF) Developing solvent Tetrahydrofuran (THF)
유속 1.0ml/분 Flow rate 1.0 ml / min
시료: 수지 고형분 환산으로 1.0질량%의 테트라히드로퓨란 용액을 마이크로 필터로 여과한 것(5μl).Sample: A tetrahydrofuran solution of 1.0% by mass in terms of resin solid matter was filtered with a microfilter (5 μl).
표준 시료: 상기 「GPC-8020 모델 Ⅱ 데이터 해석 버전 4.30」의 측정 메뉴얼에 준거하여, 분자량이 기지(旣知)의 하기의 단분산 폴리스티렌을 사용했다.Standard samples: The following monodisperse polystyrene having a known molecular weight was used in accordance with the measurement manual of "GPC-8020 Model II Data Analysis Version 4.30".
(단분산 폴리스티렌)(Monodisperse polystyrene)
도소 가부시키가이샤제 「A-500」Quot; A-500 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「A-1000」&Quot; A-1000 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「A-2500」Quot; A-2500 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「A-5000」Quot; A-5000 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-1」Quot; F-1 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-2」Quot; F-2 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-4」Quot; F-4 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-10」Quot; F-10 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-20」Quot; F-20 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-40」Quot; F-40 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-80」Quot; F-80 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-128」Quot; F-128 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-288」Quot; F-288 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-550」Quot; F-550 " manufactured by Tosoh Corporation
본 발명의 랜덤 공중합체 중의 불소 원자 함유율은, 도포 불균일이 적고, 양호한 레벨링성을 발현하는 랜덤 공중합체가 되므로, 4∼40질량%의 범위가 바람직하고, 5∼35질량%의 범위가 보다 바람직하고, 6∼30질량%의 범위가 더 바람직하다. 또한, 불소 원자 함유율은, 연소(燃燒) 이온 크로마토그래피에 의해 측정할 수 있다.The content of fluorine atoms in the random copolymer of the present invention is preferably in the range of 4 to 40 mass%, more preferably in the range of 5 to 35 mass%, and more preferably in the range of 5 to 35 mass%, since it is a random copolymer which exhibits less uniformity of coating and exhibits good leveling property By mass, more preferably from 6 to 30% by mass. The content of fluorine atoms can be measured by combustion ion chromatography.
본 발명에 있어서, 중합성 단량체(a1)와 중합성 단량체(a2)와의 랜덤 공중합체는, 본 발명의 효과를 훼손하지 않는 범위에서 중합성 단량체(a1)와 중합성 단량체(a2) 이외의 중합성 단량체(a3) 유래의 구조를 갖고 있어도 된다.In the present invention, the random copolymer of the polymerizable monomer (a1) and the polymerizable monomer (a2) may be copolymerized with the polymerizable monomer (a1) and the polymerizable monomer (a2) within a range that does not impair the effect of the present invention Or may have a structure derived from a monomer (a3).
상기 중합성 단량체(a3)로서는, 예를 들면, 옥시알킬렌기를 갖는 단량체(a3-1), 알킬기를 갖는 단량체(a3-2) 등을 들 수 있다. 여기에서, 상기 중합성 단량체(a3)가 갖는 중합성 불포화기로서는, (메타)아크릴로일기, 비닐기, 말레이미드기 등을 들 수 있지만, 상기 중합성 단량체(a1) 및 중합성 단량체(a2)가 갖는 중합성 불포화기가 (메타)아크릴로일기인 경우에는, 공중합성이 양호해지므로, 상기 중합성 단량체(a3)가 갖는 중합성 불포화기도 (메타)아크릴로일기인 것이 바람직하다.Examples of the polymerizable monomer (a3) include a monomer (a3-1) having an oxyalkylene group and a monomer (a3-2) having an alkyl group. Examples of the polymerizable unsaturated group contained in the polymerizable monomer (a3) include a (meth) acryloyl group, a vinyl group and a maleimide group. The polymerizable monomer (a1) and the polymerizable monomer (a2 ) Is a (meth) acryloyl group, it is preferable that the polymerizable unsaturated (meth) acryloyl group possessed by the polymerizable monomer (a3) has a good copolymerization.
상기 옥시알킬렌기를 갖는 단량체(a3-1)로서는, 하기 일반식(a3-1)으로 표시되는 단량체를 들 수 있다.Examples of the monomer (a3-1) having an oxyalkylene group include a monomer represented by the following general formula (a3-1).
(식 중, R2은 수소 원자 또는 메틸기이며, Y1X 및 Y2은 각각 독립한 알킬렌기이며, p 및 q는 각각 0 또는 1 이상의 정수이며, 또한 p와 q의 합계는 1 이상이며, R3은 수소 원자 또는 탄소 원자수 1∼6인 알킬기임)(Wherein R 2 is a hydrogen atom or a methyl group, Y 1 X and Y 2 are each independently an alkylene group, p and q are each an integer of 0 or 1 or more, and the sum of p and q is 1 or more, R 3 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms)
상기 일반식(a3-1) 중의 Y1 및 Y2은 알킬렌기이지만, 이 알킬렌기에는, 치환기를 갖고 있는 것도 포함된다. -O-(Y1O)n-(Y2O)m- 부분의 구체예로서는, 반복 단위수 p가 1이고 m이 0이며, 또한 Y1이 에틸렌인 에틸렌글리콜 잔기, 반복 단위수 p가 1이고 m이 0이며, 또한 Y1이 프로필렌인 프로필렌글리콜 잔기, 반복 단위수 p가 1이고 m이 0이며, 또한 Y1이 부틸렌인 부틸렌글리콜 잔기, 반복 단위수 p가 2 이상의 정수이고 q가 0이며, 또한 Y1이 에틸렌인 폴리에틸렌글리콜 잔기, 반복 단위수 p가 2 이상의 정수이고 q가 0이며, 또한 Y1이 프로필렌인 폴리프로필렌글리콜 잔기, 반복 단위수 p 및 q가 모두 1 이상의 정수이며, 또한 Y1 또는 Y2이 에틸렌이고 다른 쪽이 프로필렌인 에틸렌옥사이드와 프로필렌옥사이드와의 공중합체의 잔기 등의 폴리알킬렌글리콜의 잔기를 들 수 있다.Y 1 and Y 2 in the general formula (a3-1) are alkylene groups, but these alkylene groups include those having a substituent. -O- (Y 1 O) n- ( Y 2 O) Specific examples of m- part, be repeating units wherein p is 1 and m is 0, and Y 1 is ethylene glycol residues, the repeating unit number p is 1 Propylene glycol residues in which m is 0 and Y 1 is propylene, a butylene glycol residue in which the number of repeating units p is 1 and m is 0 and Y 1 is butylene, the number of repeating units p is an integer of 2 or more and q Is 0, and Y 1 is ethylene, a polypropylene glycol residue in which the number of repeating units p is an integer of 2 or more and q is 0 and Y 1 is propylene, the number of repeating units p and q is an integer of 1 or more And a residue of a polyalkylene glycol such as a copolymer of ethylene oxide and propylene oxide in which Y 1 or Y 2 is ethylene and the other is propylene.
상기 옥시알킬렌기를 갖는 단량체(a3-1) 중의 폴리알킬렌글리콜의 중합도, 즉 일반식(a3-1) 중의 p 및 q의 합계는 1∼100의 범위인 것이 바람직하고, 2∼80의 범위인 것이 보다 바람직하고, 3∼50의 범위인 것이 보다 바람직하다. 또한, Y1을 포함하는 반복 단위 및 Y2을 포함하는 반복 단위는, 랜덤상으로 배치되어도 블록상으로 배치되어도 상관없다.The polymerization degree of the polyalkylene glycol in the monomer (a3-1) having an oxyalkylene group, that is, the sum of p and q in the general formula (a3-1) is preferably in the range of 1 to 100, more preferably in the range of 2 to 80 More preferably in the range of 3 to 50, The repeating unit containing Y 1 and the repeating unit containing Y 2 may be arranged in a random phase or in a block phase.
상기 일반식(a3-1) 중의 R3은, 수소 또는 탄소 원자수 1∼6인 알킬기이다. R3이 수소인 경우에는, 단량체는, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리부틸렌글리콜 등의 알킬렌글리콜의 모노(메타)아크릴산에스테르가 되고, R3이 탄소 원자수 1∼6인 경우에는, 알킬렌글리콜의 모노(메타)아크릴산에스테르의 (메타)아크릴산에스테르가 아닌 말단이 탄소 원자수 1∼6인 알킬기에 의해 봉지된 것이 된다.R 3 in the general formula (a3-1) is hydrogen or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. When R 3 is hydrogen, the monomer is a mono (meth) acrylic acid ester of an alkylene glycol such as polyethylene glycol, polypropylene glycol or polybutylene glycol, and when R 3 has 1 to 6 carbon atoms, (Meth) acrylic acid ester of an alkylene glycol mono (meth) acrylic ester is encapsulated by an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
상기 옥시알킬렌기를 갖는 단량체(a3-1) 중에서도, 복수의 옥시알킬렌기로 이루어지는 폴리(옥시알킬렌)기를 갖는 단량체가 바람직하고, 구체적인 예로서는, 폴리프로필렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리트리메틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리테트라메틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리(에틸렌글리콜·프로필렌글리콜)모노(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜·폴리프로필렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리(에틸렌글리콜·테트라메틸렌글리콜)모노(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜·폴리테트라메틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리(프로필렌글리콜·테트라메틸렌글리콜)모노(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜·폴리테트라메틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리(프로필렌글리콜·부틸렌글리콜)모노(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜·폴리부틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리(에틸렌글리콜·부틸렌글리콜)모노(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜·폴리부틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리(테트라에틸렌글리콜·부틸렌글리콜)모노(메타)아크릴레이트, 폴리테트라에틸렌글리콜·폴리부틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리부틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리(에틸렌글리콜·트리메틸렌글리콜)모노(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜·폴리트리메틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리(프로필렌글리콜·트리메틸렌글리콜)모노(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜·폴리트리메틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리(트리메틸렌글리콜·테트라메틸렌글리콜)모노(메타)아크릴레이트, 폴리트리메틸렌글리콜·폴리테트라메틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리(부틸렌글리콜·트리메틸렌글리콜)모노(메타)아크릴레이트, 폴리부틸렌글리콜·폴리트리메틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 또한, 「폴리(에틸렌글리콜·프로필렌글리콜)」은, 에틸렌글리콜과 프로필렌글리콜과의 랜덤 공중합물을 의미하고, 「폴리에틸렌글리콜·폴리프로필렌글리콜」은, 에틸렌글리콜과 프로필렌글리콜과의 블록 공중합물을 의미한다. 다른 것도 마찬가지이다. 본 발명의 함불소 중합체의 제조 방법에 있어서, 옥시알킬렌기를 갖는 단량체(a3-1)를 사용할 경우, 레지스트 조성물이나 코팅 조성물 중의 다른 성분과의 상용성이 양호해지는 함불소 중합체가 얻어지므로, 폴리프로필렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜·폴리프로필렌글리콜모노(메타)아크릴레이트가 바람직하다.Among the monomer (a3-1) having an oxyalkylene group, a monomer having a poly (oxyalkylene) group composed of a plurality of oxyalkylene groups is preferable, and specific examples thereof include polypropylene glycol mono (meth) acrylate, polyethylene glycol mono (Meth) acrylate, polytrimethylene glycol mono (meth) acrylate, polytetramethylene glycol mono (meth) acrylate, poly (ethylene glycol · propylene glycol) mono (meth) acrylate, polyethylene glycol · polypropylene glycol mono (Meth) acrylate, poly (ethylene glycol · tetramethylene glycol) mono (meth) acrylate, polyethyleneglycol · polytetramethylene glycol mono (meth) acrylate, poly (propylene glycol · tetramethylene glycol) Polypropylene glycol · polytetramethylene glycol mono (meth) acrylate, Polypropylene glycol · polybutylene glycol mono (meth) acrylate, poly (ethylene glycol · butylene glycol) mono (meth) acrylate, polyethylene glycol · propylene glycol · butylene glycol Polybutylene glycol mono (meth) acrylate, poly (tetraethylene glycol-butylene glycol) mono (meth) acrylate, polytetraethylene glycol-polybutylene glycol mono (meth) acrylate, polybutylene glycol mono (Meth) acrylate, poly (ethylene glycol · trimethylene glycol) mono (meth) acrylate, polyethylene glycol · polytrimethylene glycol mono (meth) acrylate, poly (propylene glycol · trimethylene glycol) , Polypropylene glycol · polytrimethylene glycol mono (meth) acrylate, poly (trimethylene glycol · tetramethylene glycol) mono ( Poly (butylene glycol · trimethylene glycol) mono (meth) acrylate, polybutylene glycol · polytrimethylene glycol mono (meth) acrylate, polytrimethylene glycol · polytetramethylene glycol mono ) Acrylate, and the like. "Poly (ethylene glycol-propylene glycol)" means a random copolymer of ethylene glycol and propylene glycol, and "polyethylene glycol-polypropylene glycol" means a block copolymer of ethylene glycol and propylene glycol do. Other things are the same. When the monomer (a3-1) having an oxyalkylene group is used in the method for producing a fluorine-containing polymer of the present invention, a fluorine-containing polymer having good compatibility with other components in the resist composition or coating composition is obtained, Propylene glycol mono (meth) acrylate, polyethylene glycol mono (meth) acrylate, and polyethylene glycol · polypropylene glycol mono (meth) acrylate.
또한, 옥시알킬렌기를 갖는 단량체(a3-1)의 시판품으로서는, 예를 들면, 신나카무라가가쿠고교 가부시키가이샤제의 「NK 에스테르 M-20G」, 「NK 에스테르 M-40G」, 「NK 에스테르 M-90G」, 「NK 에스테르 M-230G」, 「NK 에스테르 AM-90G」, 「NK 에스테르 AMP-10G」, 「NK 에스테르 AMP-20G」, 「NK 에스테르 AMP-60G」, 니치유 가부시키가이샤제의 「브렌마 PE-90」, 「브렌마 PE-200」, 「브렌마 PE-350」, 「브렌마 PME-100」, 「브렌마 PME-200」, 「브렌마 PME-400」, 「브렌마 PME-4000」, 「브렌마 PP-1000」, 「브렌마 PP-500」, 「브렌마 PP-800」, 「브렌마 70PEP-350B」, 「브렌마 55PET-800」, 「브렌마 50POEP-800B」, 「브렌마 10PPB-500B」, 「브렌마 NKH-5050」, 「브렌마 AP-400」, 「브렌마 AE-350」 등을 들 수 있다. 이들의 옥시알킬렌기를 갖는 단량체(a3-1)는, 단독으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다.Examples of commercially available monomer (a3-1) having an oxyalkylene group include "NK ester M-20G", "NK ester M-40G" and "NK ester" manufactured by Shin Nakamura Kagaku Kogyo Co., NK Ester AMP-20G "," NK Ester AMP-60G "," NK Ester AM-90G "," NK Ester AMP-10G " Blenda PE-90 "," Blenda PE-200 "," Blenda PE-350 "," Blenda PME-100 "," Blenda PME-200 "," Blenda PME- Blender PM-4000, Blenda PP-1000, Blenda PP-500, Blenda PP-800, Blenda 70PEP-350B, Blenda 55PET-800, Blenda 10PPB-500B, Blenda NKH-5050, Blenda AP-400, and Blenda AE-350. These oxyalkylene group-containing monomer (a3-1) may be used alone or in combination of two or more.
상기 알킬기를 갖는 단량체(a3-2)로서는, 예를 들면, 하기 일반식(a3-2)으로 표시되는 단량체 등을 들 수 있다.Examples of the monomer (a3-2) having an alkyl group include monomers represented by the following general formula (a3-2).
(식 중, R4은 수소 원자 또는 메틸기이며, R5은 탄소 원자수 1∼18의 직쇄상, 분기상 또는 환(環) 구조를 갖는 알킬기임)(Wherein R 4 is a hydrogen atom or a methyl group and R 5 is an alkyl group having a straight, branched or cyclic structure having 1 to 18 carbon atoms)
또한, 상기 일반식(a3-2) 중의 R5은 탄소 원자수 1∼18의 직쇄상, 분기상 또는 환 구조를 갖는 알킬기이지만, 이 알킬기는, 지방족 또는 방향족의 탄화수소기, 수산기 등의 치환기를 갖고 있어도 된다. 상기 알킬기를 갖는 단량체(a3-2)의 구체예로서는, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 프로필(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 옥틸(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트, 데실(메타)아크릴레이트, 도데실(메타)아크릴레이트, 스테아릴(메타)아크릴레이트 등의 (메타)아크릴산의 탄소 원자수가 1∼18인 알킬에스테르; 디시클로펜타닐옥실에틸(메타)아크릴레이트, 이소보르닐옥실에틸(메타)아크릴레이트, 이소보르닐(메타)아크릴레이트, 아다만틸(메타)아크릴레이트, 디메틸아다만틸(메타)아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메타)아크릴레이트, 디시클로펜테닐(메타)아크릴레이트 등의 (메타)아크릴산의 탄소 원자수 1∼18인 상기 (a2) 이외의 가교환상 알킬에스테르 등을 들 수 있다. 이들의 알킬기를 갖는 단량체(a3-2)는, 단독으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다.In the general formula (a3-2), R 5 is a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 18 carbon atoms. The alkyl group may have a substituent such as an aliphatic or aromatic hydrocarbon group or a hydroxyl group. . Specific examples of the monomer (a3-2) having an alkyl group include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, octyl Alkyl esters having 1 to 18 carbon atoms of (meth) acrylic acid such as ethylhexyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate and stearyl (meth) acrylate; (Meth) acrylate, dicyclopentanyloxylethyl (meth) acrylate, isobornyloxylethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, adamantyl (A2) having 1 to 18 carbon atoms of (meth) acrylic acid such as dicyclopentanyl (meth) acrylate and dicyclopentenyl (meth) acrylate. These monomer (a3-2) having an alkyl group may be used alone or in combination of two or more.
상기 중합성 단량체(a1), 중합성 단량체(a2)와 함께 중합성 단량체(a3)를 병용할 경우, 그 사용량은, 단량체(a1), 단량체(a2)의 합계 100질량부에 대하여 1∼100질량부가, 레벨링성과, 안료 등의 착색제에 유래하는 이물의 발생을 억제하고, 게다가 단량체(a3)에 기인하는 다양한 효과도 발현할 수 있는 랜덤 공중합체가 얻어지므로 바람직하고, 1∼50질량부가 보다 바람직하다.When the polymerizable monomer (a3) is used together with the polymerizable monomer (a1) and the polymerizable monomer (a2), the amount of the polymerizable monomer (a3) is preferably from 1 to 100 parts by mass based on 100 parts by mass of the total of the monomer (a1) It is preferable that a random copolymer capable of suppressing generation of foreign matter derived from a coloring agent such as a pigment and exhibiting various effects due to the monomer (a3) can be obtained, and more preferably 1 to 50 parts by mass desirable.
본 발명의 랜덤 공중합체는, 예를 들면, 불소 원자가 직접 결합한 탄소 원자의 수가 1∼6인 불소화 알킬기와 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a1)와 가교환 탄화수소의 골격과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a2)를, 중합성 단량체(a1)와 중합성 단량체(a2)의 공존 하에서 리빙 라디칼 중합함으로써 호적하게 얻을 수 있다.The random copolymer of the present invention can be produced, for example, by copolymerizing a polymerizable monomer (a1) having a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms with a fluorine atom directly bonded thereto and a polymerizable monomer having a polymerizable unsaturated group The polymerizable monomer (a2) can be obtained by living radical polymerization in the presence of the polymerizable monomer (a1) and the polymerizable monomer (a2).
상기 리빙 라디칼 중합에 있어서는, 활성 중합 말단이 원자 또는 원자단에 의해 보호된 도먼트종이 가역적으로 라디칼을 발생시켜 모노머와 반응함으로써 성장 반응이 진행한다. 이러한 리빙 라디칼 중합의 예로서는, 원자 이동 라디칼 중합(ATRP), 가역적 부가-개열형 라디칼 중합(RAFT), 니트록시드를 개재하는 라디칼 중합(NMP), 유기 텔루륨을 사용하는 라디칼 중합(TERP) 등을 들 수 있다. 이들 중 어느 방법을 사용할지는 특별히 제약은 없지만, 제어의 용이함 등으로부터 상기 ATRP가 바람직하다. ATRP는, 유기 할로겐화물, 또는 할로겐화설포닐 화합물 등을 개시제, 전이 금속 화합물과 배위자로 이루어지는 금속 착체를 촉매로 하여 중합된다.In the living radical polymerization, a dormant species in which an active polymerization terminal is protected by an atom or an atomic group generates a radical in a reversible manner and reacts with the monomer to proceed a growth reaction. Examples of such living radical polymerization include atom transfer radical polymerization (ATRP), reversible addition-cleavable radical polymerization (RAFT), radical polymerization through nitroxide (NMP), radical polymerization using organic tellurium . No particular limitation is imposed on which of these methods is used, but the above ATRP is preferable because of ease of control and the like. ATRP is polymerized using an organic halide, a halogenated sulfonyl compound or the like as a catalyst as a catalyst, a metal complex comprising a transition metal compound and a ligand.
상기 ATRP에서 사용하는 중합개시제에는, 유기 할로겐화 화합물을 사용할 수 있다. 구체적으로는, 1-페닐에틸클로라이드 및 1-페닐에틸브로마이드, 클로로포름, 사염화탄소, 2-클로로프로피오니트릴, α,α'-디클로로자일렌, α,α'-디브로모자일렌, 헥사키스(α-브로모메틸)벤젠, 탄소 원자수 1∼6인 2-할로겐화카르복시산(예를 들면 2-클로로프로피온산, 2-브로모프로피온산, 2-클로로이소부티르산, 2-브로모이소부티르산 등)의 탄소 원자수 1∼6인 알킬에스테르 등을 들 수 있다. 또한, 탄소 원자수 1∼6인 2-할로겐화카르복시산의 탄소 원자수 1∼6인 알킬에스테르의 보다 구체적인 예로서는, 예를 들면, 2-클로로프로피온산메틸, 2-클로로프로피온산에틸, 2-브로모프로피온산메틸, 2-브로모이소부티르산에틸 등을 들 수 있다.As the polymerization initiator used in the ATRP, an organic halogenated compound may be used. Specific examples thereof include 1-phenylethyl chloride and 1-phenylethyl bromide, chloroform, carbon tetrachloride, 2-chloropropionitrile,?,? '- dichloro xylene,?,?' - dibromohydrin, hexakis (E.g., 2-chloropropionic acid, 2-bromopropionic acid, 2-chloroisobutyric acid, 2-bromoisobutyric acid, etc.) of 2-halogenated carboxylic acid having 1 to 6 carbon atoms Alkyl esters having a number of 1 to 6, and the like. Further, more specific examples of the alkyl ester having 1 to 6 carbon atoms in the 2-halogenated carboxylic acid having 1 to 6 carbon atoms include methyl 2-chloropropionate, ethyl 2-chloropropionate, methyl 2-bromopropionate , Ethyl 2-bromoisobutyrate, and the like.
상기 ATRP에서 사용하는 전이 금속 화합물은, Mn+Xn로 표시되는 것이다. 전이 금속인 Mn+은, Cu+, Cu2 +, Fe2 +, Fe3 +, Ru2 +, Ru3 +, Cr2 +, CR3+, Mo0, Mo+, Mo2 +, Mo3 +, W2+, W3+, Rh3 +, Rh4 +, Co+, Co2 +, Re2 +, Re3 +, Ni0, Ni+, Mn3 +, Mn4 +, V2+, V3+, Zn+, Zn2 +, Au+, Au2 +, Ag+ 및 Ag2 +으로 이루어지는 군에서 선택할 수 있다. 또한, X는, 할로겐 원자, 탄소 원자수 1∼6인 알콕실기, (S04)1/2, (P04)1/3, (HP04)1/2, (H2P04), 트리플레이트, 헥사플루오로포스페이트, 메탄설포네이트, 아릴설포네이트(바람직하게는 벤젠설포네이트 또는 톨루엔설포네이트), SeR1, CN 및 R2COO로 이루어지는 군에서 선택할 수 있다. 여기에서, R1은, 아릴, 직쇄상 또는 분기상의 탄소 원자수 1∼20(바람직하게는 탄소 원자수 1∼10)인 알킬기를 나타내고, R2은, 수소 원자, 할로겐으로 1∼5회(호적하게는 불소 혹은 염소로 1∼3회) 치환되어 있어도 되는 직쇄상 또는 분기상의 탄소 원자수 1∼6인 알킬기(바람직하게는 메틸기)를 나타낸다. 또한, n은, 금속상의 형식 전하를 나타내고, 0∼7의 정수이다.The transition metal compound used in the ATRP is represented by M n + X n . Transition metal M n + is, Cu +, Cu 2 +, Fe 2 +, Fe 3 +, Ru 2 +, Ru 3 +, Cr 2 +, CR 3+, Mo 0, Mo +, Mo 2 +, Mo 3 +, W 2+, W 3+, Rh + 3, Rh 4 +, Co +, Co + 2, Re + 2, Re + 3, Ni 0, Ni +, Mn + 3, Mn + 4, V 2+ , V 3+, Zn +, Zn 2 +, Au +, Au 2 +, can be selected from the group consisting of Ag + and Ag + 2. X represents a halogen atom, an alkoxyl group having 1 to 6 carbon atoms, (SO 4 ) 1/2 , (PO 4 ) 1/3 , (HPO 4 ) 1/2 , (H 2 PO 4 ) Plate, hexafluorophosphate, methanesulfonate, arylsulfonate (preferably benzene sulfonate or toluene sulfonate), SeR 1 , CN and R 2 COO. Here, R 1 represents an alkyl group having 1 to 20 (preferably 1 to 10) carbon atoms in the aryl, straight-chain or branched chain, and R 2 denotes a hydrogen atom, (Preferably a methyl group) having 1 to 6 carbon atoms in the straight chain or branched chain, which may be substituted one to three times with fluorine or chlorine. Also, n represents a formal charge on the metal, and is an integer of 0 to 7.
상기 전이 금속 착체로서는 특별히 한정되지 않지만, 바람직한 것으로서, 7, 8, 9, 10, 11족의 전이 금속 착체를, 더 바람직한 것으로서, 0가의 구리, 1가의 구리, 2가의 루테늄, 2가의 철 또는 2가의 니켈의 착체를 들 수 있다.The transition metal complex is not particularly limited but is preferably a transition metal complex of
상기의 전이 금속과 배위 결합 가능한 배위자를 갖는 화합물로서는, 전이 금속과 σ 결합을 통해 배위할 수 있는 1개 이상의 질소 원자, 산소 원자, 인 원자 또는 황 원자를 포함하는 배위자를 갖는 화합물, 전이 금속과 π 결합을 통해 배위할 수 있는 2개 이상의 탄소 원자를 포함하는 배위자를 갖는 화합물, 전이 금속과 μ 결합 또는 η 결합을 통해 배위할 수 있는 배위자를 갖는 화합물을 들 수 있다.Examples of the compound having a ligand capable of coordinating with the transition metal include compounds having a ligand containing at least one nitrogen atom, oxygen atom, phosphorus atom or sulfur atom capable of coordinating with a transition metal through a sigma bond, a compound having a ligand containing two or more carbon atoms capable of coordinating through a π bond, and a compound having a ligand capable of coordinating with a transition metal through a μ-bond or an η-bond.
상기 배위자를 갖는 화합물의 구체예로서는, 예를 들면, 중심 금속이 구리일 경우에는 2,2'-비피리딜 및 그 유도체, 1,10-페난트롤린 및 그 유도체, 테트라메틸에틸렌디아민, 펜타메틸디에틸렌트리아민, 헥사메틸트리스(2-아미노에틸)아민 등의 폴리아민 등의 배위자와의 착체를 들 수 있다. 또한 2가의 루테늄 착체로서는, 디클로로트리스(트리페닐포스핀)루테늄, 디클로로트리스(트리부틸포스핀)루테늄, 디클로로(시클로옥타디엔)루테늄, 디클로로벤젠루테늄, 디클로로p-시멘루테늄, 디클로로(노르보르나디엔)루테늄, 시스-디클로로비스(2,2'-비피리딘)루테늄, 디클로로트리스(1,10-페난트롤린)루테늄, 카르보닐클로로히드리드트리스(트리페닐포스핀)루테늄 등을 들 수 있다. 또한 2가의 철 착체로서는, 비스트리페닐포스핀 착체, 트리아자시클로노난 착체 등을 들 수 있다.Specific examples of the compound having the above-mentioned ligand include, for example, 2,2'-bipyridyl and its derivatives when the central metal is copper, 1,10-phenanthroline and its derivatives, tetramethylethylenediamine, pentamethyl And polyamines such as diethylenetriamine, hexamethyltris (2-aminoethyl) amine, and the like. Examples of divalent ruthenium complexes include dichlorotris (triphenylphosphine) ruthenium, dichlorotris (tributylphosphine) ruthenium, dichloro (cyclooctadiene) ruthenium, dichlorobenzene ruthenium, dichloro p-cymene ruthenium, Ruthenium, cis-dichlorobis (2,2'-bipyridine) ruthenium, dichlorotris (1,10-phenanthroline) ruthenium and carbonylchlorohydrid tris (triphenylphosphine) ruthenium . Examples of the divalent iron complexes include bistriphenylphosphine complexes and triazacyclononane complexes.
또한, 상기 리빙 라디칼 중합에 있어서는, 용매를 사용하는 것이 바람직하다. 사용하는 용매로서는, 예를 들면, 아세트산에틸, 아세트산부틸, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 등의 에스테르계 용매; 디이소프로필에테르, 디메톡시에탄, 디에틸렌글리콜디메틸에테르 등의 에테르계 용매; 디클로로메탄, 디클로로에탄 등의 할로겐계 용매; 톨루엔, 자일렌 등의 방향족계 용매; 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥산온 등의 케톤계 용제; 메탄올, 에탄올, 이소프로판올 등의 알코올계 용제; 디메틸포름아미드, 디메틸설폭시드 등의 비프로톤성 극성 용매 등을 들 수 있다. 또한, 이들의 용매는, 단독으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다.In the living radical polymerization, a solvent is preferably used. Examples of the solvent to be used include ester solvents such as ethyl acetate, butyl acetate and propylene glycol monomethyl ether acetate; Ether solvents such as diisopropyl ether, dimethoxyethane and diethylene glycol dimethyl ether; Halogen-based solvents such as dichloromethane and dichloroethane; Aromatic solvents such as toluene and xylene; Ketone solvents such as methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; Alcohol solvents such as methanol, ethanol and isopropanol; And aprotic polar solvents such as dimethylformamide and dimethylsulfoxide. These solvents may be used alone or in combination of two or more.
본 발명의 랜덤 공중합체의 제조 방법에 있어서는, 중합개시제, 전이 금속 화합물, 당해 전이 금속과 배위 결합 가능한 배위자를 갖는 화합물 및 용매의 존재 하에서, 중합성 단량체(a1)와 중합성 단량체(a2)를 리빙 라디칼 중합시키는 것이 바람직하다.In the method for producing a random copolymer of the present invention, the polymerizable monomer (a1) and the polymerizable monomer (a2) are reacted in the presence of a polymerization initiator, a transition metal compound, a compound having a ligand capable of coordinating with the transition metal, It is preferable to carry out living radical polymerization.
본 발명의 랜덤 공중합체의 제조 방법에 있어서, 중합성 단량체(a1)와 중합성 단량체(a2)의 사용 비율(반응 비율)로서는, 중합성 단량체(a1) 100질량부에 대하여 중합성 단량체(a2)를 50∼900질량부가, 레벨링성이 양호하고 안료 승화 억제 효과가 높은 랜덤 공중합체가 얻어지므로 바람직하고, 중합성 단량체(a1) 100질량부에 대하여 중합성 단량체(a2)를 100∼800질량부가 보다 바람직하다.In the method for producing a random copolymer of the present invention, the ratio (reaction ratio) of the polymerizable monomer (a1) to the polymerizable monomer (a2) is preferably such that the polymerizable monomer (a2 ) Is preferably added in an amount of from 50 to 900 parts by mass, a leveling property is good and a random copolymer having a high pigment sublimation inhibition effect can be obtained, and the polymerizable monomer (a2) is contained in an amount of 100 to 800 mass parts per 100 parts by mass of the polymerizable monomer The addition is more preferable.
리빙 라디칼 중합시의 중합 온도는, 실온 내지 120℃의 범위가 바람직하다.The polymerization temperature in the living radical polymerization is preferably in the range of room temperature to 120 캜.
또한, 본 발명의 랜덤 공중합체의 제조 방법에 의해 본 발명의 랜덤 공중합체를 제조할 경우, 당해 랜덤 공중합체 중에, 상기 전이 금속 화합물에 기인하는 금속이 잔류하는 것이 있다. 그래서, 금속이 잔류하면 문제가 생기는 포토레지스트 조성물 등의 반도체 용도에 본 발명의 제조 방법에 의해 랜덤 공중합체를 사용할 경우에는, 중합 반응 후에 활성 알루미나 등을 사용하여 잔류 금속을 제거하는 것이 바람직하다.In addition, when the random copolymer of the present invention is produced by the method for producing a random copolymer of the present invention, the metal attributed to the transition metal compound may remain in the random copolymer. Therefore, when a random copolymer is used for a semiconductor such as a photoresist composition in which a problem occurs when the metal remains, it is preferable to remove the residual metal using activated alumina or the like after the polymerization reaction.
본 발명은, 본 발명의 랜덤 공중합체(이하, 이를 「랜덤 공중합체(A)라고 하는 경우가 있음」)와 착색제(B)와 알칼리 가용성 수지(C)와 중합성 화합물(D)을 함유하는 것을 특징으로 하는 레지스트 조성물을 제공한다. 당해 레지스트 조성물은, 예를 들면, 불소 원자가 직접 결합한 탄소 원자의 수가 1∼6인 불소화 알킬기와 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a1)와 가교환 탄화수소의 골격과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a2)를, 중합성 단량체(a1)와 중합성 단량체(a2)의 공존 하에서 리빙 라디칼 중합함으로써 리빙 라디칼 중합의 랜덤 공중합체(A)를 얻는 공정과, 당해 랜덤 공중합체(A)와 착색제(B)와 알칼리 가용성 수지(C)와 중합성 화합물(D)을 혼합하는 공정을 함유하는 것을 특징으로 하는 레지스트 조성물의 제조 방법에 보다 호적하게 제공할 수 있다. 상기 랜덤 공중합체(A)를 얻는 공정은, 본 발명의 랜덤 공중합체의 제조 방법에 상당하는 공정이다.The present invention relates to a random copolymer (hereinafter sometimes referred to as " random copolymer (A) ") of the present invention, a colorant (B), an alkali- And a resist composition comprising the same. The resist composition can be produced, for example, by copolymerizing a polymerizable monomer (a1) having a fluorinated alkyl group of 1 to 6 carbon atoms in which fluorine atoms are directly bonded and a polymerizable monomer having a polymerizable unsaturated group and a polymerizable monomer (a2) is subjected to living radical polymerization in the presence of a polymerizable monomer (a1) and a polymerizable monomer (a2) to obtain a living radical polymerization random copolymer (A); and a step of mixing the random copolymer (A) (B), an alkali-soluble resin (C), and a polymerizable compound (D). The step of obtaining the random copolymer (A) corresponds to the method of producing the random copolymer of the present invention.
상기 착색제(B)는 안료나 염료를 들 수 있고, 또한, 안료는 유기 안료여도 되고, 무기 안료여도 된다. 상기 유기 안료는, 적색 안료, 녹색 안료, 청색 안료, 황색 안료, 자색 안료, 오렌지 안료 등의 각 색상의 안료를 사용할 수 있다. 또한, 유기 안료의 화학 구조로서는, 예를 들면, 퀴나크리돈계, 페릴렌계, 피롤로·피롤계, 안트라퀴논계, 프탈로시아닌계, 인단트렌계, 할로겐화프탈로시아닌계, 테트라클로로이소인돌리논계, 한자 옐로우계, 벤지딘 옐로우계, 아조계, 아자벤즈이미다졸론계, 이소인돌리논계, 디옥사진계 등을 들 수 있다. 또한, 하기의 「C.I.」는, 컬러 인덱스(C.I.; The Society of Dyers and Colourists사 발행)를 의미한다.The colorant (B) may be a pigment or a dye, and the pigment may be an organic pigment or an inorganic pigment. As the organic pigments, pigments of various colors such as red pigment, green pigment, blue pigment, yellow pigment, purple pigment and orange pigment may be used. Examples of the chemical structure of the organic pigment include quinacridone, perylene, pyrrolo pyrrole, anthraquinone, phthalocyanine, indanthrene, halogenated phthalocyanine, tetrachloroisoindolinone, , Benzidine yellow series, azo series, azabenzimidazolone series, isoindolinone series, and dioxazine series. In the following, " C.I. " means a color index (CI., Published by The Society of Dyers and Colourists).
상기 적색 안료로서는, 예를 들면, C.I. 피그먼트 레드 1, C.I. 피그먼트 레드 2, C.I. 피그먼트 레드 3, C.I. 피그먼트 레드 4, C.I. 피그먼트 레드 5, C.I. 피그먼트 레드 6, C.I. 피그먼트 레드 7, C.I. 피그먼트 레드 8, C.I. 피그먼트 레드 9, C.I. 피그먼트 레드 12, C.I. 피그먼트 레드 14, C.I. 피그먼트 레드 15, C.I. 피그먼트 레드 16, C.I. 피그먼트 레드 17, C.I. 피그먼트 레드 21, C.I. 피그먼트 레드 22, C.I. 피그먼트 레드 23, C.I. 피그먼트 레드 31, C.I. 피그먼트 레드 32, C.I. 피그먼트 레드 37, C.I. 피그먼트 레드 38, C.I. 피그먼트 레드 41, C.I. 피그먼트 레드 47, C.I. 피그먼트 레드 48, C.I. 피그먼트 레드 48:1, C.I. 피그먼트 레드 48:2, C.I. 피그먼트 레드 48:3, C.I. 피그먼트 레드 48:4, C.I. 피그먼트 레드 49, C.I. 피그먼트 레드 49:1, C.I. 피그먼트 레드 49:2, C.I. 피그먼트 레드 50:1, C.I. 피그먼트 레드 52:1, C.I. 피그먼트 레드 52:2, C.I. 피그먼트 레드 53, C.I. 피그먼트 레드 53:1, C.I. 피그먼트 레드 53:2, C.I. 피그먼트 레드 53:3, C.I. 피그먼트 레드 57, C.I. 피그먼트 레드 57:1, C.I. 피그먼트 레드 57:2, C.I. 피그먼트 레드 58:4, C.I. 피그먼트 레드 60, C.I. 피그먼트 레드 63, C.I. 피그먼트 레드 63:1, C.I. 피그먼트 레드 63:2, C.I. 피그먼트 레드 64, C.I. 피그먼트 레드 64:1, C.I. 피그먼트 레드 68, C.I. 피그먼트 레드 69, C.I. 피그먼트 레드 81, C.I. 피그먼트 레드 81:1, C.I. 피그먼트 레드 81:2, C.I. 피그먼트 레드 81:3, C.I. 피그먼트 레드 81:4, C.I. 피그먼트 레드 83, C.I. 피그먼트 레드 88, C.I. 피그먼트 레드 90:1, C.I. 피그먼트 레드 97, C.I. 피그먼트 레드 101, C.I. 피그먼트 레드 101:1, C.I. 피그먼트 레드 104, C.I. 피그먼트 레드 108, C.I. 피그먼트 레드 108:1, C.I. 피그먼트 레드 109, C.I. 피그먼트 레드 112, C.I. 피그먼트 레드 113, C.I. 피그먼트 레드 114, C.I. 피그먼트 레드 122, C.I. 피그먼트 레드 123, C.I. 피그먼트 레드 144, C.I. 피그먼트 레드 146, C.I. 피그먼트 레드 147, C.I. 피그먼트 레드 149, C.I. 피그먼트 레드 151, C.I. 피그먼트 레드 166, C.I. 피그먼트 레드 168, C.I. 피그먼트 레드 169, C.I. 피그먼트 레드 170, C.I. 피그먼트 레드 172, C.I. 피그먼트 레드 173, C.I. 피그먼트 레드 174, C.I. 피그먼트 레드 175, C.I. 피그먼트 레드 176, C.I. 피그먼트 레드 177, C.I. 피그먼트 레드 178, C.I. 피그먼트 레드 179, C.I. 피그먼트 레드 180, C.I. 피그먼트 레드 181, C.I. 피그먼트 레드 184, C.I. 피그먼트 레드 185, C.I. 피그먼트 레드 187, C.I. 피그먼트 레드 188, C.I. 피그먼트 레드 190, C.I. 피그먼트 레드 192, C.I. 피그먼트 레드 193, C.I. 피그먼트 레드 194, C.I. 피그먼트 레드 200, C.I. 피그먼트 레드 202, C.I. 피그먼트 레드 206, C.I. 피그먼트 레드 207, C.I. 피그먼트 레드 208, C.I. 피그먼트 레드 209, C.I. 피그먼트 레드 210, C.I. 피그먼트 레드 213, C.I. 피그먼트 레드 214, C.I. 피그먼트 레드 215, C.I. 피그먼트 레드 216, C.I. 피그먼트 레드 217, C.I. 피그먼트 레드 220, C.I. 피그먼트 레드 221, C.I. 피그먼트 레드 223, C.I. 피그먼트 레드 224, C.I. 피그먼트 레드 226, C.I. 피그먼트 레드 227, C.I. 피그먼트 레드 228, C.I. 피그먼트 레드 230, C.I. 피그먼트 레드 231, C.I. 피그먼트 레드 232, C.I. 피그먼트 레드 233, C.I. 피그먼트 레드 235, C.I. 피그먼트 레드 236, C.I. 피그먼트 레드 237, C.I. 피그먼트 레드 238, C.I. 피그먼트 레드 239, C.I. 피그먼트 레드 240, C.I. 피그먼트 레드 242, C.I. 피그먼트 레드 243, C.I. 피그먼트 레드 245, C.I. 피그먼트 레드 247, C.I. 피그먼트 레드 249, C.I. 피그먼트 레드 250, C.I. 피그먼트 레드 251, C.I. 피그먼트 레드 253, C.I. 피그먼트 레드 254, C.I. 피그먼트 레드 255, C.I. 피그먼트 레드 256, C.I. 피그먼트 레드 257, C.I. 피그먼트 레드 258, C.I. 피그먼트 레드 259, C.I. 피그먼트 레드 260, C.I. 피그먼트 레드 262, C.I. 피그먼트 레드 263, C.I. 피그먼트 레드 264, C.I. 피그먼트 레드 265, C.I. 피그먼트 레드 266, C.I. 피그먼트 레드 267, C.I. 피그먼트 레드 268, C.I. 피그먼트 레드 269, C.I. 피그먼트 레드 270, C.I. 피그먼트 레드 271, C.I. 피그먼트 레드 272, C.I. 피그먼트 레드 273, C.I. 피그먼트 레드 274, C.I. 피그먼트 레드 275, C.I. 피그먼트 레드 276 등을 들 수 있다.As the red pigment, for example, C.I.
상기 녹색 안료로서는, 예를 들면, C.I. 피그먼트 그린 1, C.I. 피그먼트 그린 2, C.I. 피그먼트 그린 4, C.I. 피그먼트 그린 7, C.I. 피그먼트 그린 8, C.I. 피그먼트 그린 10, C.I. 피그먼트 그린 13, C.I. 피그먼트 그린 14, C.I. 피그먼트 그린 15, C.I. 피그먼트 그린 17, C.I. 피그먼트 그린 18, C.I. 피그먼트 그린 19, C.I. 피그먼트 그린 26, C.I. 피그먼트 그린 36, C.I. 피그먼트 그린 45, C.I. 피그먼트 그린 48, C.I. 피그먼트 그린 50, C.I. 피그먼트 그린 51, C.I. 피그먼트 그린 54, C.I. 피그먼트 그린 55, C.I. 피그먼트 그린 58, C.I. 피그먼트 그린 59 등을 들 수 있다.As the green pigment, for example, C.I.
상기 청색 안료로서는, 예를 들면, C.I. 피그먼트 블루 1, C.I. 피그먼트 블루 1:2, C.I. 피그먼트 블루 9, C.I. 피그먼트 블루 14, C.I. 피그먼트 블루 15, C.I. 피그먼트 블루 15:1, C.I. 피그먼트 블루 15:2, C.I. 피그먼트 블루 15:3, C.I. 피그먼트 블루 15:4, C.I. 피그먼트 블루 15:6, C.I. 피그먼트 블루 16, C.I. 피그먼트 블루 17, C.I. 피그먼트 블루 19, C.I. 피그먼트 블루 22, C.I. 피그먼트 블루 25, C.I. 피그먼트 블루 27, C.I. 피그먼트 블루 28, C.I. 피그먼트 블루 29, C.I. 피그먼트 블루 33, C.I. 피그먼트 블루 35, C.I. 피그먼트 블루 36, C.I. 피그먼트 블루 56, C.I. 피그먼트 블루 56:1, C.I. 피그먼트 블루 60, C.I. 피그먼트 블루 61, C.I. 피그먼트 블루 61:1, C.I. 피그먼트 블루 62, C.I. 피그먼트 블루 63, C.I. 피그먼트 블루 64, C.I. 피그먼트 블루 66, C.I. 피그먼트 블루 67, C.I. 피그먼트 블루 68, C.I. 피그먼트 블루 71, C.I. 피그먼트 블루 72, C.I. 피그먼트 블루 73, C.I. 피그먼트 블루 74, C.I. 피그먼트 블루 75, C.I. 피그먼트 블루 76, C.I. 피그먼트 블루 78, C.I. 피그먼트 블루 79 등을 들 수 있다.As the blue pigment, for example, C.I.
상기 황색 안료로서는, 예를 들면, C.I. 피그먼트 옐로우 1, C.I. 피그먼트 옐로우 1:1, C.I. 피그먼트 옐로우 2, C.I. 피그먼트 옐로우 3, C.I. 피그먼트 옐로우 4, C.I. 피그먼트 옐로우 5, C.I. 피그먼트 옐로우 6, C.I. 피그먼트 옐로우 9, C.I. 피그먼트 옐로우 10, C.I. 피그먼트 옐로우 12, C.I. 피그먼트 옐로우 13, C.I. 피그먼트 옐로우 14, C.I. 피그먼트 옐로우 16, C.I. 피그먼트 옐로우 17, C.I. 피그먼트 옐로우 20, C.I. 피그먼트 옐로우 24, C.I. 피그먼트 옐로우 31, C.I. 피그먼트 옐로우 32, C.I. 피그먼트 옐로우 34, C.I. 피그먼트 옐로우 35, C.I. 피그먼트 옐로우 35:1, C.I. 피그먼트 옐로우 36, C.I. 피그먼트 옐로우 36:1, C.I. 피그먼트 옐로우 37, C.I. 피그먼트 옐로우 37:1, C.I. 피그먼트 옐로우 40, C.I. 피그먼트 옐로우 41, C.I. 피그먼트 옐로우 42, C.I. 피그먼트 옐로우 43, C.I. 피그먼트 옐로우 48, C.I. 피그먼트 옐로우 53, C.I. 피그먼트 옐로우 55, C.I. 피그먼트 옐로우 61, C.I. 피그먼트 옐로우 62, C.I. 피그먼트 옐로우 62:1, C.I. 피그먼트 옐로우 63, C.I. 피그먼트 옐로우 65, C.I. 피그먼트 옐로우 73, C.I. 피그먼트 옐로우 74, C.I. 피그먼트 옐로우 75, C.I. 피그먼트 옐로우 81, C.I. 피그먼트 옐로우 83, C.I. 피그먼트 옐로우 86, C.I. 피그먼트 옐로우 87, C.I. 피그먼트 옐로우 93, C.I. 피그먼트 옐로우 94, C.I. 피그먼트 옐로우 95, C.I. 피그먼트 옐로우 97, C.I. 피그먼트 옐로우 100, C.I. 피그먼트 옐로우 101, C.I. 피그먼트 옐로우 104, C.I. 피그먼트 옐로우 105, C.I. 피그먼트 옐로우 108, C.I. 피그먼트 옐로우 109, C.I. 피그먼트 옐로우 110, C.I. 피그먼트 옐로우 111, C.I. 피그먼트 옐로우 116, C.I. 피그먼트 옐로우 117, C.I. 피그먼트 옐로우 119, C.I. 피그먼트 옐로우 120, C.I. 피그먼트 옐로우 125, C.I. 피그먼트 옐로우 126, C.I. 피그먼트 옐로우 127, C.I. 피그먼트 옐로우 127:1, C.I. 피그먼트 옐로우 128, C.I. 피그먼트 옐로우 129, C.I. 피그먼트 옐로우 133, C.I. 피그먼트 옐로우 134, C.I. 피그먼트 옐로우 136, C.I. 피그먼트 옐로우 137, C.I. 피그먼트 옐로우 138, C.I. 피그먼트 옐로우 139, C.I. 피그먼트 옐로우 142, C.I. 피그먼트 옐로우 147, C.I. 피그먼트 옐로우 148, C.I. 피그먼트 옐로우 150, C.I. 피그먼트 옐로우 151, C.I. 피그먼트 옐로우 153, C.I. 피그먼트 옐로우 154, C.I. 피그먼트 옐로우 155, C.I. 피그먼트 옐로우 157, C.I. 피그먼트 옐로우 158, C.I. 피그먼트 옐로우 159, C.I. 피그먼트 옐로우 160, C.I. 피그먼트 옐로우 161, C.I. 피그먼트 옐로우 162, C.I. 피그먼트 옐로우 163, C.I. 피그먼트 옐로우 164, C.I. 피그먼트 옐로우 165, C.I. 피그먼트 옐로우 166, C.I. 피그먼트 옐로우 167, C.I. 피그먼트 옐로우 168, C.I. 피그먼트 옐로우 169, C.I. 피그먼트 옐로우 170, C.I. 피그먼트 옐로우 172, C.I. 피그먼트 옐로우 173, C.I. 피그먼트 옐로우 174, C.I. 피그먼트 옐로우 175, C.I. 피그먼트 옐로우 176, C.I. 피그먼트 옐로우 180, C.I. 피그먼트 옐로우 181, C.I. 피그먼트 옐로우 182, C.I. 피그먼트 옐로우 183, C.I. 피그먼트 옐로우 184, C.I. 피그먼트 옐로우 185, C.I. 피그먼트 옐로우 188, C.I. 피그먼트 옐로우 189, C.I. 피그먼트 옐로우 190, C.I. 피그먼트 옐로우 191, C.I. 피그먼트 옐로우 191:1, C.I. 피그먼트 옐로우 192, C.I. 피그먼트 옐로우 193, C.I. 피그먼트 옐로우 194, C.I. 피그먼트 옐로우 195, C.I. 피그먼트 옐로우 196, C.I. 피그먼트 옐로우 197, C.I. 피그먼트 옐로우 198, C.I. 피그먼트 옐로우 199, C.I. 피그먼트 옐로우 200, C.I. 피그먼트 옐로우 202, C.I. 피그먼트 옐로우 203, C.I. 피그먼트 옐로우 204, C.I. 피그먼트 옐로우 205, C.I. 피그먼트 옐로우 206, C.I. 피그먼트 옐로우 207, C.I. 피그먼트 옐로우 208 등을 들 수 있다.As the yellow pigment, for example, C.I.
상기 자색 안료로서는, 예를 들면, C.I. 피그먼트 바이올렛 1, C.I. 피그먼트 바이올렛 1:1, C.I. 피그먼트 바이올렛 2, C.I. 피그먼트 바이올렛 2:2, C.I. 피그먼트 바이올렛 3, C.I. 피그먼트 바이올렛 3:1, C.I. 피그먼트 바이올렛 3:3, C.I. 피그먼트 바이올렛 5, 5:1, C.I. 피그먼트 바이올렛 14, C.I. 피그먼트 바이올렛 15, C.I. 피그먼트 바이올렛 16, C.I. 피그먼트 바이올렛 19, C.I. 피그먼트 바이올렛 23, C.I. 피그먼트 바이올렛 25, C.I. 피그먼트 바이올렛 27, C.I. 피그먼트 바이올렛 29, 피그먼트 바이올렛 30, C.I. 피그먼트 바이올렛 31, C.I. 피그먼트 바이올렛 32, C.I. 피그먼트 바이올렛 37, C.I. 피그먼트 바이올렛 39, 피그먼트 바이올렛 40, C.I. 피그먼트 바이올렛 42, C.I. 피그먼트 바이올렛 44, C.I. 피그먼트 바이올렛 47, C.I. 피그먼트 바이올렛 49, C.I. 피그먼트 바이올렛 50 등을 들 수 있다.As the purple pigment, for example, C.I.
상기 오렌지 안료로서는, 예를 들면, C.I. 피그먼트 오렌지 1, C.I. 피그먼트 오렌지 2, C.I. 피그먼트 오렌지 5, C.I. 피그먼트 오렌지 13, C.I. 피그먼트 오렌지 16, C.I. 피그먼트 오렌지 17, C.I. 피그먼트 오렌지 19, C.I. 피그먼트 오렌지 20, C.I. 피그먼트 오렌지 21, C.I. 피그먼트 오렌지 22, C.I. 피그먼트 오렌지 23, C.I. 피그먼트 오렌지 24, C.I. 피그먼트 오렌지 34, C.I. 피그먼트 오렌지 36, C.I. 피그먼트 오렌지 38, C.I. 피그먼트 오렌지 39, C.I. 피그먼트 오렌지 43, C.I. 피그먼트 오렌지 46, C.I. 피그먼트 오렌지 48, C.I. 피그먼트 오렌지 49, C.I.C.I. 피그먼트 오렌지 51, C.I. 피그먼트 오렌지 55, C.I. 피그먼트 오렌지 59, 피그먼트 오렌지 61, C.I. 피그먼트 오렌지 62, C.I. 피그먼트 오렌지 64, C.I. 피그먼트 오렌지 65, C.I. 피그먼트 오렌지 67, C.I. 피그먼트 오렌지 68, C.I. 피그먼트 오렌지 69, C.I. 피그먼트 오렌지 70, C.I. 피그먼트 오렌지 71, C.I. 피그먼트 오렌지 72, C.I. 피그먼트 오렌지 73, C.I. 피그먼트 오렌지 74, C.I. 피그먼트 오렌지 75, C.I. 피그먼트 오렌지 77, C.I. 피그먼트 오렌지 78, C.I. 피그먼트 오렌지 79 등을 들 수 있다.As the orange pigment, for example, C.I.
액정 표시 장치 및 유기 EL 표시 장치에 사용하는 컬러 필터의 3원색의 각 화소는, 적(R), 녹(G), 청(B)이기 때문에, 상기 적색 안료, 녹색 안료 및 청색 안료를 주성분으로 하고, 색 재현성을 향상하는 목적으로, 상기 황색, 자색, 오렌지 등의 색의 유기 안료를 색상 조정으로서 사용해도 된다.Since each pixel of the three primary colors of the color filter used in the liquid crystal display device and the organic EL display device is red (R), green (G) and blue (B), the red, green and blue pigments And for the purpose of improving the color reproducibility, the above organic pigments of yellow, purple, orange or the like may be used as the color adjustment.
또한, 상기 무기 안료로서는, 예를 들면, 황산바륨, 황산납, 산화티타늄, 황색 납, 벵갈라, 산화크롬 등을 들 수 있다.Examples of the inorganic pigments include barium sulfate, lead sulfate, titanium oxide, yellow lead, spinach, and chromium oxide.
본 발명에서 사용하는 염료로서는, 예를 들면, 하기 식(b1)Examples of the dye used in the present invention include dyes represented by the following formula (b1)
으로 표시되는 염이나 잔텐계 염료 등을 바람직하게 예시할 수 있다.And dyestuff dyes and the like represented by the following general formula (1) can be preferably exemplified.
상기 잔텐계 염료로서는, 예를 들면, C.I. 애시드 레드 51, 52, 87, 92, 289, 388, C.I. 애시드 바이올렛 9, 30, C.I. 베이직 레드 8, C.I. 모던트 레드 27, 로즈벵갈 B, 설포로다민 G, 로다민 6G, 일본국 특개2010-032999호 공보나 일본국 특개2011-138094호 공보 등에 기재된 잔텐계 염료 등을 들 수 있다.As the xanthene dyes, for example, C.I. Acid Red 51, 52, 87, 92, 289, 388, C.I.
상기 잔텐계 염료 중에서도, 하기 식(b2)Among the aforementioned zeta-based dyes, the following formula (b2)
[식(1) 중, R1∼R4은, 각각 독립하여, 수소 원자, -R8 또는 탄소 원자수 6∼10인 1가의 방향족 탄화수소기를 나타내고, 당해 방향족 탄화수소기에 포함되는 수소 원자는, 할로겐 원자, -R8, -OH, -OR8, -SO3-, -SO3H, -SO3 -M+, -CO2H, -CO2R8, -SO3R8 또는 -SO2NR9R10으로 치환되어 있어도 된다.: Wherein R 1 to R 4 each independently represent a hydrogen atom, -R 8 or a monovalent aromatic hydrocarbon group having 6 to 10 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the aromatic hydrocarbon group is halogen atoms, -R 8, -OH, -OR 8 , -SO 3 -, -SO 3 H, -SO 3 - M +, -CO 2 H, -CO 2 R 8, -SO 3 R 8 or -SO 2 NR 9 R 10 .
R5은, -OH, -SO3-, -SO3H, -SO3 -M+, -CO2H, -CO2 -M+, -CO2R8, -SO3R8 또는 -SO2NR9R10을 나타낸다.R 5 is, -OH, -SO 3 -, -SO 3 H, -SO 3 - M +, -CO 2 H, -CO 2 - M +, -CO 2 R 8, -SO 3 R 8 or -SO 2 NR 9 R 10 .
m은, 0∼5의 정수를 나타낸다. m이 2 이상의 정수일 경우, 복수의 R5은 동일하거나 다르다.m represents an integer of 0 to 5; When m is an integer of 2 or more, plural R 5 are the same or different.
R6 및 R7은, 각각 독립하여, 탄소수 1∼6인 알킬기를 나타낸다.R 6 and R 7 each independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
M+은, +N(R11)4, Na+ 또는 K+을 나타낸다.M + represents + N (R < 11 >) 4 , Na + or K + .
X는 할로겐 원자를 나타낸다.X represents a halogen atom.
a는 0 또는 1인 정수를 나타낸다.a represents an integer of 0 or 1;
R8은, 탄소 원자수 1∼20인 1가의 포화 탄화수소기를 나타내고, 당해 포화 탄화수소기에 포함되는 수소 원자는, 할로겐 원자로 치환되어 있어도 된다.R 8 represents a monovalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a halogen atom.
R11은, 각각 독립하여, 수소 원자, 탄소 원자수 1∼20인 1가의 포화 탄화수소기 또는 탄소 원자수 7∼10인 아랄킬기를 나타낸다.R 11 independently represents a hydrogen atom, a monovalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or an aralkyl group having 7 to 10 carbon atoms.
R9 및 R10은, 각각 독립하여, 수소 원자, 또는 탄소 원자수 1∼20인 1가의 포화 탄화수소기를 나타내고, 당해 포화 탄화수소기에 포함되는 수소 원자는, -OH 또는 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되고, 당해 포화 지방족 탄화수소기에 포함되는 -CH2-는, -O-, -CO-, -NH- 또는 -NR8-로 치환되어 있어도 되고, R9 및 R10은, 서로 결합하여 질소 원자를 포함한 3∼10원환의 복소환을 형성하고 있어도 된다.]R 9 and R 10 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with -OH or a halogen atom, -CH 2 - included in the saturated aliphatic hydrocarbon group may be substituted with -O-, -CO-, -NH- or -NR 8 -, and R 9 and R 10 may be bonded to each other to form a 3- Or may form a heterocyclic ring of 10-membered ring.]
으로 표시되는 화합물을 주성분으로 하는 염료가 바람직하다.Is preferred as the dye.
상기 식(b2) 중의 R1∼R4에 있어서의 탄소 원자수 6∼10인 1가의 방향족 탄화수소기로서는, 예를 들면, 페닐기, 톨루일기, 자일릴기, 메시틸기, 프로필페닐기 및 부틸페닐기 등을 들 수 있다.Examples of the monovalent aromatic hydrocarbon group represented by R 1 to R 4 in the formula (b2) having 6 to 10 carbon atoms include a phenyl group, a toluyl group, a xylyl group, a mesyl group, a propylphenyl group and a butylphenyl group. .
상기 식(b2)에 있어서의 탄소 원자수 6∼10인 1가의 방향족 탄화수소기는, 치환기로서, -SO3-, -SO3H, -SO3 -M+ 및 -SO2NR9R10으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종을 갖고 있는 것이 바람직하고, -SO3 -M+ 및 -SO2NR9R10으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종을 갖고 있는 것이 보다 바람직하다. 이 경우의 -SO3 -M+으로서는, -SO3 -+N(R11)4이 바람직하다. R1∼R4이 이들의 기이면, 레지스트 조성물은, 이물의 발생이 적으며, 또한 내열성이 우수한 도막층이 얻어지는 것을 기대할 수 있다.The formula (b2) groups of 6 to 10 carbon atoms, a monovalent aromatic hydrocarbon in the, as a substituent, -SO 3 - M + and consisting of -SO 2 NR 9 R 10 -, -SO 3 H, -SO 3 , And more preferably at least one member selected from the group consisting of -SO 3 - M + and -SO 2 NR 9 R 10 . In this case, -SO 3 - M + is preferably -SO 3 - + N (R 11 ) 4 . When R 1 to R 4 are these groups, the resist composition can be expected to give a coating layer having less generation of foreign matter and having excellent heat resistance.
상기 식(b2) 중의 R8∼R11에 있어서의 탄소 원자수 1∼20인 1가의 포화 탄화수소기로서는, 예를 들면, 메틸기, 에틸기, 프로필기, 이소프로필기, 부틸기, 이소부틸기, 펜틸기, 이소펜틸기, 네오펜틸기, 헥실기, 헵틸기, 옥틸기, 2-에틸헥실기, 노닐기, 데실기, 도데실기, 헥사데실기, 이코실기 등의 탄소수 1∼20인 알킬기; 시클로프로필기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기, 시클로헵틸기, 시클로옥틸기, 트리시클로데실기 등의 탄소 원자수 3∼20인 시클로알킬기 등을 들 수 있다.Examples of the monovalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms in R 8 to R 11 in the formula (b2) include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, An alkyl group having from 1 to 20 carbon atoms such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, a pentyl group, an isopentyl group, a neopentyl group, a hexyl group, a heptyl group, an octyl group, a 2-ethylhexyl group, And cycloalkyl groups having 3 to 20 carbon atoms such as cyclopropyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group and tricyclodecyl group.
상기 식(b2) 중의 R6 및 R7에 있어서의 탄소 원자수 1∼6인 알킬기로서는, 예를 들면, 상기에서 든 알킬기 중, 탄소 원자수 1∼6인 것 등을 들 수 있다.Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms in R 6 and R 7 in the formula (b2) include those having 1 to 6 carbon atoms among the alkyl groups described above.
상기 식(b2) 중의 R11에 있어서의 탄소 원자수 7∼10인 아랄킬기로서는, 예를 들면, 벤질기, 페닐에틸기, 페닐부틸기 등을 들 수 있다.Examples of the aralkyl group having 7 to 10 carbon atoms in R 11 in the formula (b2) include a benzyl group, a phenylethyl group, and a phenylbutyl group.
상기 M+은, 예를 들면, +N(R11)4, Na+ 또는 K+이며, 바람직하게는 +N(R11)4이다. 상기 +N(R11)4로서는, 예를 들면, 4개의 R11 중, 적어도 2개가 탄소 원자수 5∼20인 1가의 포화 탄화수소기인 것이 바람직하다. 또한, 4개의 R11의 합계 탄소수는 20∼80이 바람직하고, 20∼60이 보다 바람직하다. R11이 이들의 기이면, 본 발명의 레지스트 조성물은, 이물이 적은 착색 도막이나 패턴의 형성을 기대할 수 있다.M + is, for example, + N (R 11 ) 4 , Na + or K + , preferably + N (R 11 ) 4 . As the + N (R 11 ) 4 , for example, at least two of the four R 11 s are preferably monovalent saturated hydrocarbon groups having 5 to 20 carbon atoms. The total number of carbon atoms of the four R < 11 > s is preferably from 20 to 80, more preferably from 20 to 60. [ When R < 11 > is one of these groups, the resist composition of the present invention can be expected to form a colored coating film or pattern with few foreign matters.
또한, 상기 잔텐계 염료 중에서도, 하기 식(b3)Among the aforementioned zeta-based dyes, the following formula (b3)
[식(b3) 중, R21∼R24은, 각각 독립하여, 수소 원자, -R26 또는 탄소 원자수 6∼10인 1가의 방향족 탄화수소기를 나타내고, 당해 방향족 탄화수소기에 포함되는 수소 원자는, -SO3-, -SO3 -Ma+, -SO3H, -SO3R26 또는 -SO2NHR26으로 치환되어 있어도 된다.: Wherein R 21 to R 24 each independently represent a hydrogen atom, -R 26 or a monovalent aromatic hydrocarbon group having 6 to 10 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the aromatic hydrocarbon group is - SO 3 -, -SO 3 - or may be substituted by M a +, -SO 3 H, -SO 3 R 26 or -SO 2 NHR 26.
X는, 할로겐 원자를 나타낸다.X represents a halogen atom.
a1은, 0 또는 1의 정수를 나타낸다.a1 represents an integer of 0 or 1;
m1은, 0∼5의 정수를 나타낸다. m1이 2 이상의 정수일 경우, 복수의 R25은 동일하거나 상이하다.m1 represents an integer of 0 to 5; When m1 is 2 or more integer, a plurality of R 25 are the same or different.
Ma+은, +N(R27)4, Na+ 또는 K+을 나타낸다.M a + represents + N (R 27 ) 4 , Na + or K + .
R25은, -SO3-, -SO3 -Ma+, -SO3H 또는 SO2NHR26을 나타낸다.R 25 is, -SO 3 - shows a M a +, -SO 3 H or SO 2 NHR 26 -, -SO 3 .
R26은, 탄소 원자수 1∼20인 1가의 포화 탄화수소기를 나타낸다.R 26 represents a monovalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms.
R27은, 각각 독립하여, 탄소 원자수 1∼20인 1가의 포화 탄화수소기 또는 벤질기를 나타낸다.]R 27 each independently represent a monovalent saturated hydrocarbon group or benzyl group having 1 to 20 carbon atoms.
으로 표시되는 염료가 보다 바람직하다.Is more preferable.
상기 식(b3) 중의 R21∼R24에 있어서의 탄소 원자수 6∼10인 1가의 방향족 탄화수소기로서는, 예를 들면, R1∼R4에 있어서의 방향족 탄화수소기로서 든 것과 마찬가지인 기를 들 수 있다. 그 중에서도, R21 및 R23이 수소 원자이며, 또한 R22 및 R24이 탄소 원자수 6∼10인 1가의 방향족 탄화수소기이고, 당해 방향족 탄화수소기에 포함되는 수소 원자는, -SO3-, -SO3-Ma+, -SO3H, -SO3R26 또는 -SO2NHR26으로 치환되어 있어도 되는 것임이 바람직하다. 또한, R21 및 R23이 수소 원자이며, 또한, R22 및 R24이 탄소 원자수 6∼10인 1가의 방향족 탄화수소기이고, 당해 방향족 탄화수소기에 포함되는 수소 원자는, -SO3 -M+ 또는 -SO2NHR26으로 치환되어 있는 것이 바람직하다. R21∼R24이 이들의 기이면, 화합물(b-2-3)을 포함하는 레지스트 조성물은, 내열성이 우수한 착색 도막이나 패턴을 형성할 수 있다고 기대된다.Examples of the monovalent aromatic hydrocarbon group having 6 to 10 carbon atoms in R 21 to R 24 in the formula (b3) include groups similar to those of the aromatic hydrocarbon group in R 1 to R 4 have. Among them, R 21 and R 23 are hydrogen atoms, and R 22 and R 24 are monovalent aromatic hydrocarbon groups each having 6 to 10 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the aromatic hydrocarbon group is -SO 3 -, - SO 3 M a + , -SO 3 H, -SO 3 R 26, or -SO 2 NHR 26 . R 21 and R 23 are hydrogen atoms, and R 22 and R 24 are monovalent aromatic hydrocarbon groups having 6 to 10 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the aromatic hydrocarbon group is -SO 3 - M + or it is preferably substituted by -SO 2 NHR 26. When R 21 to R 24 are these groups, it is expected that the resist composition containing the compound (b-2-3) can form a colored coating film or pattern excellent in heat resistance.
상기 식(b3) 중의 R26 및 R27에 있어서의 탄소 원자수 1∼20인 1가의 포화 탄화수소기로서는, 예를 들면, 상기 R8∼R11에 있어서의 포화 탄화수소기로서 든 것과 마찬가지인 기 등을 들 수 있다.Examples of the monovalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms in R 26 and R 27 in the formula (b3) include groups similar to those of the saturated hydrocarbon groups in R 8 to R 11 .
상기 식(b3) 중의 R21∼R24에 있어서의 -R26은, 각각 독립하여, 수소 원자, 메틸기 또는 에틸기인 것이 바람직하다.It is preferable that each of -R 26 in R 21 to R 24 in the formula (b3) is independently a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group.
상기 식(b3) 중의 -SO3R26 및 -SO2NHR26에 있어서의 R26으로서는, 탄소 원자수 3∼20인 분기쇄상 알킬기가 바람직하고, 탄소 원자수 6∼12인 분기쇄상 알킬기가 보다 바람직하고, 2-에틸헥실기가 더 바람직하다. R26이 이들의 기이면, 화합물(b3)을 포함하는 레지스트 조성물은, 이물의 발생이 적은 착색 도막이나 패턴을 형성할 수 있다고 기대된다.Examples of -SO 3 R 26, and -SO 2 NHR 26 R 26 in the above formula (b3), is from 3 to 20 carbon atoms, a branched chain alkyl group are preferred, and more of the carbon atoms of 6 to 12 branched chain alkyl group And more preferred is a 2-ethylhexyl group. When R 26 is a group of these, the resist composition containing the compound (b3) is expected to be capable of forming a colored coating film or pattern with less foreign matter.
상기 Ma+은, +N(R27)4, Na+ 또는 K+이며, 바람직하게는 +N(R27)4이다. 상기 +N(R27)4으로서는, 4개의 R27 중, 적어도 2개가 탄소 원자수 5∼20인 1가의 포화 탄화수소기인 것이 바람직하다. 또한, 4개의 R27의 합계 탄소 원자수는 20∼80이 바람직하고, 20∼60이 보다 바람직하다. R27이 이들의 기인 화합물(b3)을 포함하는 레지스트 조성물은, 이물의 발생이 적은 도막층이나 패턴을 형성할 수 있다고 기대된다.Ma + is + N (R 27 ) 4 , Na + or K + , preferably + N (R 27 ) 4 . As the + N (R 27 ) 4 , it is preferable that at least two of the four R 27 s are monovalent saturated hydrocarbon groups having 5 to 20 carbon atoms. The total number of carbon atoms of four R < 27 > is preferably 20 to 80, more preferably 20 to 60. [ It is expected that the resist composition containing the compound (b3) wherein R 27 is a group thereof can form a coat layer or a pattern with less foreign matter.
본 발명에서 사용할 수 있는 바람직한 잔텐계 염료로서는, 예를 들면, 식(b4)∼식(b21)으로 표시되는 화합물을 주성분으로 하는 염료 등을 들 수 있다. 또한, 하기 식 중, Ra는 2-에틸헥실기를 나타낸다.Examples of the preferred zetaene dyes usable in the present invention include dyes containing a compound represented by the formula (b4) to formula (b21) as a main component. In the following formulas, Ra represents a 2-ethylhexyl group.
잔텐계 염료의 주성분이 되는 화합물 중에서도, C.I. 애시드 레드 289의 설폰아미드화물 또는 C.I. 애시드 레드 289의 4급 암모늄염이 바람직하다. 이러한 화합물로서는, 예를 들면, 식(b4)∼식(b11), 식(b16) 및 식(b17)으로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.Of the compounds which are the main components of the xanthene dyes, C.I. Sulfonamides of Acid Red 289 or C.I. Quaternary ammonium salts of Acid Red 289 are preferred. Examples of such a compound include compounds represented by formulas (b4) to (b11), (b16) and (b17).
상기 식(b1)으로 표시되는 화합물은, 예를 들면, -SO3H를 갖는 색소 또는 색소 중간체를 정법에 의해 클로로화하여, 얻어진 -SO2Cl을 갖는 색소 또는 색소 중간체를 R8-NH2로 표시되는 아민과 반응시킴으로써 제조할 수 있다. 또한, 일본국 특개평3-78702호 공보 3쪽의 우상란∼좌하란에 기재된 방법에 의해 제조된 색소를, 상기와 마찬가지로 클로로화 후, 아민과 반응시킴으로써 제조할 수도 있다.The compound represented by the above formula (b1) can be obtained by, for example, chlorinating a coloring matter or a dyeing intermediate having -SO 3 H by a conventional method and then dissolving the coloring matter or dyeing intermediate having -SO 2 Cl with R 8 -NH 2 Lt; / RTI > with an amine represented by the formula < RTI ID = 0.0 > Also, the dye prepared by the method described in the upper left column to the lower left column of Japanese Patent Laid-Open Publication No. 3-78702 can be produced by chlorination and reacting with the amine in the same manner as described above.
본 발명에서 사용하는 염료(b2)는, 상기 식(b1)으로 표시되는 염이나 잔텐계 염료 이외의 그 밖의 염료를 사용할 수도 있다. 상기 그 밖의 염료로서는, 예를 들면, 유용성(油溶性) 염료, 산성 염료, 산성 염료의 아민염이나 산성 염료의 설폰아미드 유도체 등의 염료 등을 들 수 있고, 구체적으로는, 예를 들면, 컬러 인덱스(The Society of Dyers and Colourists 출판)에서 염료로 분류되어 있는 화합물이나, 염색 노트(시키센샤)에 기재되어 있는 각종 염료 등을 들 수 있다.As the dye (b2) used in the present invention, other dyes other than the salt represented by the formula (b1) and the zanthene-based dye may be used. Examples of the other dyes include oil-soluble dyes, acid dyes, dyes such as amine salts of acid dyes and sulfonamide derivatives of acid dyes, and specific examples thereof include color Compounds classified as dyes in the index (published by The Society of Dyers and Colourists), and various dyes described in dyeing notes (Shika Sensha).
상기 그 밖의 염료로서는, 예를 들면, C.I. 솔벤트 옐로우 4(이하, C.I. 솔벤트 옐로우의 기재를 생략하고, 번호만의 기재로 함), 14, 15, 23, 24, 38, 62, 63, 68, 82, 94, 98, 99,; C.I. 솔벤트 레드 45, 49, 125, 130; C.I. 솔벤트 오렌지 2, 7, 11, 15, 26, 56; 등의 C.I. 솔벤트 염료,As other dyes, for example, C.I. 14, 15, 23, 24, 38, 62, 63, 68, 82, 94, 98, 99, and 20; solvent yellow 4 (hereinafter, the description of CI. Solvent yellow is omitted. C.I. Solvent Red 45, 49, 125, 130; C.I.
C.I. 애시드 옐로우 1, 3, 7, 9, 11, 17, 23, 25, 29, 34, 36, 38, 40, 42, 54, 65, 72, 73, 76, 79, 98, 99, 111, 112, 113, 114, 116, 119, 123, 128, 134, 135, 138, 139, 140, 144, 150, 155, 157, 160, 161, 163, 168, 169, 172, 177, 178, 179, 184, 190, 193, 196, 197, 199, 202, 203, 204, 205, 207, 212, 214, 220, 221, 228, 230, 232, 235, 238, 240, 242, 243, 251;C.I.
C.I. 애시드 레드 1, 4, 8, 14, 17, 18, 26, 27, 29, 31, 34, 35, 37, 42, 44, 50, 51, 52, 57, 66, 73, 80, 87, 88, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 182, 183, 198, 206, 211, 215, 216, 217, 227, 228, 249, 252, 257, 258, 260, 261, 266, 268, 270, 274, 277, 280, 281, 195, 308, 312, 315, 316, 339, 341, 345, 346, 349, 382, 383, 394, 401, 412, 417, 418, 422, 426;C.I.
C.I. 애시드 오렌지 6, 7, 8, 10, 12, 26, 50, 51, 52, 56, 62, 63, 64, 74, 75, 94, 95, 107, 108, 169, 173;C.I.
C.I. 애시드 바이올렛 6B, 7, 9, 17, 19; 등의 C.I. 애시드 염료,C.I.
C.I. 다이렉트 옐로우 2, 33, 34, 35, 38, 39, 43, 47, 50, 54, 58, 68, 69, 70, 71, 86, 93, 94, 95, 98, 102, 108, 109, 129, 136, 138, 141;C.I. Direct Yellow 2, 33, 34, 35, 38, 39, 43, 47, 50, 54, 58, 68, 69, 70, 71, 86, 93, 94, 95, 98, 136, 138, 141;
C.I. 다이렉트 레드 79, 82, 83, 84, 91, 92, 96, 97, 98, 99, 105, 106, 107, 172, 173, 176, 177, 179, 181, 182, 184, 204, 207, 211, 213, 218, 220, 221, 222, 232, 233, 234, 241, 243, 246, 250;C.I. Direct Red 79, 82, 83, 84, 91, 92, 96, 97, 98, 99, 105, 106, 107, 172, 173, 176, 177, 179, 181, 182, 184, 204, 213, 218, 220, 221, 222, 232, 233, 234, 241, 243, 246, 250;
C.I. 다이렉트 오렌지 34, 39, 41, 46, 50, 52, 56, 57, 61, 64, 65, 68, 70, 96, 97, 106, 107; C.I. 다이렉트 바이올렛 47, 52, 54, 59, 60, 65, 66, 79, 80, 81, 82, 84, 89, 90, 93, 95, 96, 103, 104; 등의 C.I. 다이렉트 염료,C.I. Direct Orange 34, 39, 41, 46, 50, 52, 56, 57, 61, 64, 65, 68, 70, 96, 97, 106, 107; C.I. Direct Violet 47, 52, 54, 59, 60, 65, 66, 79, 80, 81, 82, 84, 89, 90, 93, 95, 96, 103, 104; C.I. Direct dyes,
C.I. 모던트 옐로우 5, 8, 10, 16, 20, 26, 30, 31, 33, 42, 43, 45, 56, 61, 62, 65;C.I.
C.I. 모던트 레드 1, 2, 3, 4, 9, 11, 12, 14, 17, 18, 19, 22, 23, 24, 25, 26, 30, 32, 33, 36, 37, 38, 39, 41, 43, 45, 46, 48, 53, 56, 63, 71, 74, 85, 86, 88, 90, 94, 95;C.I. 1, 2, 3, 4, 9, 11, 12, 14, 17, 18, 19, 22, 23, 24, 25, 26, 30, 32, 33, 36, 37, 38, 39, 41 , 43, 45, 46, 48, 53, 56, 63, 71, 74, 85, 86, 88, 90, 94, 95;
C.I. 모던트 오렌지 3, 4, 5, 8, 12, 13, 14, 20, 21, 23, 24, 28, 29, 32, 34, 35, 36, 37, 42, 43, 47, 48;C.I.
C.I. 모던트 바이올렛 1, 2, 4, 5, 7, 14, 22, 24, 30, 31, 32, 37, 40, 41, 44, 45, 47, 48, 53, 58; 등의 C.I. 모던트 염료 등을 들 수 있다.C.I.
한편, 블랙 매트릭스(BM)를 형성하기 위해 사용하는 착색제(B)로서는, 흑색이면 특별히 한정되는 것이 아니지만, 예를 들면, 카본 블랙, 금속 산화물, 2종 이상의 금속 산화물로 이루어지는 복합 금속 화합물 등의 안료가 바람직하다. 또한, 적, 청, 녹, 자, 황, 시안, 마젠타의 색상을 갖는 안료에서 선택되는 2종 이상의 유기 안료를 혼합하고, 혼색에 의해 흑색으로 한 조합이어도 상관없다.On the other hand, the colorant (B) to be used for forming the black matrix (BM) is not particularly limited as long as it is black. Examples thereof include pigments such as carbon black, metal oxides and composite metal compounds composed of two or more metal oxides . Further, it may be a combination of two or more organic pigments selected from pigments having hue of red, blue, green, blue, yellow, cyan and magenta and black by mixing.
상기 카본 블랙으로서는, 예를 들면, 램프 블랙, 아세틸렌 블랙, 써멀 블랙, 채널 블랙, 퍼니스 블랙 등을 들 수 있다. 상기 금속 산화물로서는, 티타늄의 산화 또는 이산화티타늄의 환원에 의해 얻어지는 티타늄 블랙을 들 수 있다. 통상, 티타늄 블랙은, TimO2m -1(m은 1 이상의 수)로 표시된다. 또한, 금속 산화물로서, 구리, 철, 크롬, 망간, 코발트 등의 금속 산화물도 들 수 있다. 또한, 2종 이상의 금속 산화물로 이루어지는 복합 금속 화합물로서는, 예를 들면, 구리-크롬의 산화물, 구리-크롬-망간의 산화물, 구리-철-망간의 산화물 또는 코발트-철-망간의 산화물 등을 들 수 있다.Examples of the carbon black include lamp black, acetylene black, thermal black, channel black, and furnace black. Examples of the metal oxide include titanium black obtained by oxidation of titanium or reduction of titanium dioxide. Usually, titanium black is represented by Ti m O 2 m -1 (m is a number of 1 or more). As the metal oxide, metal oxides such as copper, iron, chromium, manganese, and cobalt can also be used. Examples of the composite metal compound composed of two or more metal oxides include oxides of copper-chromium, oxides of copper-chromium-manganese, oxides of copper-iron-manganese, and oxides of cobalt-iron- .
상기 카본 블랙의 시판품으로서는, 예를 들면, 미쓰비시가가쿠 가부시키가이샤제의 MA7, MA8, MA11, MA100, MA100R, MA220, MA230, MA600, #5, #10, #20, #25, #30, #32, #33, #40, #44, #45, #47, #50, #52, #55, #650, #750, #850, #950, #960, #970, #980, #990, #1000, #2200, #2300, #2350, #2400, #2600, #3050, #3150, #3250, #3600, #3750, #3950, #4000, #4010, OIL7B, OIL9B, OIL11B, OIL30B, OIL31B 등이나, 에포닉데구사쟈판 가부시키가이샤제의 Printex3, Printex3OP, Printex30, Printex30OP, Printex40, Printex45, Printex55, Printex60, Printex75, Printex80, Printex85, Printex90, Printex A, Print ex L, Printex G, Printex P, Printex U, Printex V, PrintexG, Special Black550, Special Black350, Special Black250, Special Black100, Special Black6, Special Black5, Special Black4, Colorl Black FW1, Colorl Black FW2, Colorl Black FW2V, Colorl Black FW18, Colorl Black FW18, Colorl Black FW200, Colorl Black S160, Colorl Black S170이나, 캬봇쟈판 가부시키가이샤제의 Monarch120, Monarch280, Monarch460, Monarch800, Monarch880, Monarch900, Monarch1000, Monarch1100, Monarch1300, Monarch1400, Monarch4630, REGAL99, REGAL99R, REGAL415, REGAL415R, REGAL250, REGAL250R, REGAL330, REGAL400R, REGAL55R0, REGAL660R, BLACK PEARLS480, PEARLS130, VULCAN XC72R, ELFTEX-8 등이나, 콜롬비언카본사제의 RAVEN11, RAVEN14, RAVEN15, RAVEN16, RAVEN22RAVEN30, RAVEN35, RAVEN40, RAVEN410, RAVEN420, RAVEN450, RAVEN500, RAVEN780, RAVEN850, RAVEN890H, RAVEN1000, RAVEN1020, RAVEN1040, RAVEN1060U, RAVEN1080U, RAVEN1170, RAVEN1190U, RAVEN1250, RAVEN1500, RAVEN2000, RAVEN2500U, RAVEN3500, RAVEN5000, RAVEN5250, RAVEN5750, RAVEN7000 등을 들 수 있다.Examples of commercial products of the above carbon black include MA7, MA8, MA11, MA100, MA100R, MA220, MA230, MA600, # 5, # 10, # 20, # 25, # 30, # 32, # 33, # 40, # 44, # 45, # 47, # 50, # 52, # 55, # 650, # 750, # 850, # 950, # 960, # 970, # 980, # 990 , # 1000, # 2200, # 2300, # 2350, # 2400, # 2600, # 3050, # 3150, # 3250, # 3600, # 3750, # 3950, # 4000, # 4010, OIL7B, OIL9B, OIL11B, OIL30B Printex 3, Printex 3OP, Printex 30, Printex 30OP, Printex 40, Printex 45, Printex 55, Printex 60, Printex 75, Printex 80, Printex 85, Printex 90, Printex A, Printex L, Printex G, Printex P Color Black FW2, Colorl Black FW2, Colorl Black FW18, Colorl Black FW18, Colorl Black FW1, Colorl Black FW1, Colorl Black FW2, Colorl Black FW18, Colorl Black FW18, Colorl Black FW200, Colorl Black S160, Colorl Black S170, Monarch120, Monarch280, Monarch460, Monarch800, Monarch880, Monarch900, Monarch1000, Monarch1100, Monarch1300, Monarch1400, Monarch4630, REGAL99, REGAL99R, REGAL415, REGAL415R, REGAL250, REGAL250R, REGAL330, REGAL400R, REGAL55R0, REGAL660R, BLACK PEARLS480, PEARLS130, VULCAN XC72R and ELFTEX-8 manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd. and RAVEN11, RAVEN14, RAVEN15, RAVEN16, RAVEN22RAVEN30, RAVEN35, RAVEN40, RAVEN410, RAVEN420, RAVEN450, RAVEN500, RAVEN780, RAVEN850, RAVEN890H, RAVEN1000, RAVEN1020, RAVEN1040, RAVEN1060U, RAVEN1080U , RAVEN1170, RAVEN1190U, RAVEN1250, RAVEN1500, RAVEN2000, RAVEN2500U, RAVEN3500, RAVEN5000, RAVEN5250, RAVEN5750, RAVEN7000.
상기의 카본 블랙 중에서도, 컬러 필터의 블랙 매트릭스에 요구되는 높은 광학 농도 및 높은 표면 저항율을 갖는 것으로서, 수지로 피복된 카본 블랙을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 수지로 피복된 카본 블랙은, 예를 들면, 일본국 특개평9-26571호 공보, 일본국 특개평9-71733호 공보, 일본국 특개평9-95625호 공보, 일본국 특개평9-238863호 공보 또는 일본국 특개평11-60989호 공보에 기재된 방법으로, 공지의 카본 블랙을 처리함으로써 얻을 수 있다.Of the above-mentioned carbon blacks, it is preferable to use resin-coated carbon black having a high optical density and a high surface resistivity required for a black matrix of a color filter. Further, the carbon black coated with a resin is disclosed, for example, in JP-A-9-26571, JP-A-9-71733, JP-A-9-95625, Can be obtained by treating a known carbon black by the method described in JP-A-238863 or JP-A-11-60989.
또한, 상기 티타늄 블랙의 제작 방법으로서는, 일본국 특개소49-5432호 공보 기재의 이산화티타늄과 금속 티타늄의 혼합체를 환원 분위기 하에서 가열하여 환원시키는 방법, 일본국 특개소57-205322호 공보 기재의 사염화티타늄의 고온 가수 분해로 얻어진 초미세 이산화티타늄을 수소를 포함하는 환원 분위기 중에서 환원하는 방법, 일본국 특개소60-65069호 공보 및 일본국 특개소61-201610호 공보 기재의 이산화티타늄 또는 수산화티타늄을 암모니아 존재 하에서 고온 환원하는 방법, 일본국 특개소61-201610호 공보 기재의 이산화티타늄 또는 수산화티타늄에 바나듐 화합물을 부착시켜, 암모니아 존재 하에서 고온 환원하는 방법 등을 들 수 있다. 티타늄 블랙의 시판품으로서는, 예를 들면, 미쓰비시머터리얼 가부시키가이샤제의 티타늄 블랙 10S, 12S, 13R, 13M, 13M-C 등을 들 수 있다.Examples of the method for producing the titanium black include a method in which a mixture of titanium dioxide and titanium metal disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 49-5432 is heated and reduced in a reducing atmosphere, A method of reducing ultrafine titanium dioxide obtained by high-temperature hydrolysis of titanium in a reducing atmosphere containing hydrogen, titanium dioxide or titanium hydroxide described in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 60-65069 and 61-201610 A method of high-temperature reduction in the presence of ammonia, a method of attaching a vanadium compound to titanium dioxide or titanium hydroxide described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-201610, and high-temperature reduction in the presence of ammonia. Examples of commercial products of titanium black include titanium blacks 10S, 12S, 13R, 13M and 13M-C manufactured by Mitsubishi Materials Corporation.
2종 이상의 유기 안료를 혼합하고, 혼색에 의해 흑색으로 한 조합으로서는, 적색, 녹색, 청색의 삼색의 안료를 혼합한 흑색 안료를 들 수 있다. 흑색 안료를 조제하기 위해 혼합 사용 가능한 색재로서는, 빅토리아 퓨어 블루(C.I.42595), 오라민 O(C.I.41000), 카틸론 브릴리안트 플라빈(베이직 13), 로다민 6GCP(C.I.45160), 로다민 B(C.I.45170), 사프라닌 OK70:100(C.I.50240), 에리오글라우신 X(C.I.42080), No.120/리오놀 옐로우(C.I.21090), 리오놀 옐로우 GRO(C.I.21090), 사이뮬러 패스트 옐로우 8GF(C.I.21105), 벤지딘 옐로우 4T-564D(C.I.21095), 사이뮬러 패스트 레드 4015(C.I.12355), 리오놀 레드 7B4401(C.I.15850), 패스트 겐 블루 TGR-L(C.I.74160), 리오놀 블루 SM(C.I.26150), 리오놀 블루 ES(C.I. 피그먼트 블루 15:6), 리오놀 겐 레드 GD(C.I. 피그먼트 레드 168), 리오놀 그린 2YS(C.I. 피그먼트 그린 36) 등을 들 수 있다.As a combination in which two or more organic pigments are mixed and made black by mixing, there can be mentioned black pigments in which pigments of three colors of red, green and blue are mixed. Examples of the usable coloring materials for preparing the black pigment include Victorian pure blue (CI42595), aramine O (CI41000), catilon brilliant flavin (basic 13), rhodamine 6GCP (CI45160), rhodamine B (CI 45170), Saffronine OK 70: 100 (CI50240), ErioGlausin X (CI42080), No.120 / Rionol Yellow (CI21090), Rionol Yellow GRO (CI21090) Yellow 8GF (CI21105), Benzidine Yellow 4T-564D (CI21095), Simuler Fast Red 4015 (CI12355), Lionol Red 7B4401 (CI15850), Fastgreen Blue TGR-L (CI74160) SM (CI 26150), Rionol Blue ES (CI Pigment Blue 15: 6), Riolongen Red GD (CI Pigment Red 168), Lionol Green 2YS (CI Pigment Green 36) and the like.
흑색 안료를 조제하기 위해 혼합 사용 가능한 그 밖의 색재로서는, 예를 들면, C.I. 피그먼트 옐로우 20, C.I. 피그먼트 옐로우 24, C.I. 피그먼트 옐로우 86, C.I. 피그먼트 옐로우 93, C.I. 피그먼트 옐로우 109, C.I. 피그먼트 옐로우 110, C.I. 피그먼트 옐로우 117, C.I. 피그먼트 옐로우 125, C.I. 피그먼트 옐로우 137, C.I. 피그먼트 옐로우 138, C.I. 피그먼트 옐로우 147, C.I. 피그먼트 옐로우 148, C.I. 피그먼트 옐로우 153, C.I. 피그먼트 옐로우 154, C.I. 피그먼트 옐로우 166, C.I. 피그먼트 오렌지 36, C.I. 피그먼트 오렌지 43, C.I. 피그먼트 오렌지 51, C.I. 피그먼트 오렌지 55, C.I. 피그먼트 오렌지 59, C.I. 피그먼트 오렌지 61, C.I. 피그먼트 레드 9, C.I. 피그먼트 레드 97, C.I. 피그먼트 레드 122, C.I. 피그먼트 레드 123, C.I. 피그먼트 레드 149, C.I. 피그먼트 레드 168, C.I. 피그먼트 레드 177, C.I. 피그먼트 레드 180, C.I. 피그먼트 레드 192, C.I. 피그먼트 레드 215, C.I. 피그먼트 레드 216, C.I. 피그먼트 레드 217, C.I. 피그먼트 레드 220, C.I. 피그먼트 레드 223, C.I. 피그먼트 레드 224, C.I. 피그먼트 레드 226, C.I. 피그먼트 레드 227, C.I. 피그먼트 레드 228, C.I. 피그먼트 레드 240, C.I.C.I. 피그먼트 바이올렛 19, C.I. 피그먼트 바이올렛 23, C.I. 피그먼트 바이올렛 29, C.I. 피그먼트 바이올렛 30, C.I. 피그먼트 바이올렛 37, C.I. 피그먼트 바이올렛 40, C.I. 피그먼트 바이올렛 50, C.I. 피그먼트 블루 15, C.I. 피그먼트 블루 15:1, C.I. 피그먼트 블루 15:4, C.I. 피그먼트 블루 22, C.I. 피그먼트 블루 60, C.I. 피그먼트 블루 64, C.I. 피그먼트 그린 7, C.I. 브라운 안료 23, 25, 26등을 들 수 있다.Other coloring materials that can be mixed to prepare a black pigment include, for example, C.I. Pigment Yellow 20, C.I. Pigment Yellow 24, C.I. Pigment Yellow 86, C.I. Pigment Yellow 93, C.I. Pigment Yellow 109, C.I. Pigment Yellow 110, C.I. Pigment Yellow 117, C.I. Pigment Yellow 125, C.I. Pigment Yellow 137, C.I. Pigment Yellow 138, C.I. Pigment Yellow 147, C.I. Pigment Yellow 148, C.I. Pigment Yellow 153, C.I. Pigment Yellow 154, C.I. Pigment Yellow 166, C.I. Pigment Orange 36, C.I. Pigment Orange 43, C.I. Pigment Orange 51, C.I. Pigment Orange 55, C.I. Pigment Orange 59, C.I. Pigment Orange 61, C.I.
흑색 안료로서 카본 블랙을 사용할 경우, 평균 일차 입경은 0.01∼0.08㎛의 범위가 바람직하고, 현상성이 양호하므로 0.02∼0.05㎛의 범위가 보다 바람직하다. 또한, 사용하는 카본 블랙의 디부틸프탈산(이하, 「DBP」라고 약기함) 흡수량은, 40∼100㎤/100g의 범위가 바람직하고, 분산성·현상성이 양호하므로 50∼80㎤/100g의 범위가 보다 바람직하다. 또한, 사용하는 카본 블랙의 BET법에 의한 비표면적은 50∼120㎡/g의 범위가 바람직하고, 분산 안정성이 양호하므로 60∼95㎡/g의 범위가 보다 바람직하다.When carbon black is used as the black pigment, the average primary particle diameter is preferably in the range of 0.01 to 0.08 mu m, and more preferably in the range of 0.02 to 0.05 mu m because the developing property is good. The amount of dibutylphthalic acid (hereinafter abbreviated as " DBP ") of the carbon black to be used is preferably in the range of 40 to 100 cm 3/100 g and is preferably in the range of 50 to 80 cm 3 / The range is more preferable. The specific surface area of the carbon black to be used according to the BET method is preferably in the range of 50 to 120 m < 2 > / g and more preferably in the range of 60 to 95 m < 2 >
또한, 카본 블랙은, 입자 형상이 유기 안료 등과 달리, 일차 입자가 융착한 스트럭처라고 불리는 상태로 존재하고, 또한 후처리에 의해 입자 표면에 미세한 세공을 형성시킬 경우가 있다. 따라서, 카본 블랙의 입자 형상을 나타내기 위해, 일반적으로는, 상기 유기 안료와 같은 방법으로 구해지는 일차 입자의 평균 입경 외에, DBP 흡수량(JIS K6221)과 BET법에 의한 비표면적(JIS K6217)을 측정하여 스트럭처나 세공량의 지표로 하는 것이 바람직하다.Unlike organic pigments and the like, carbon black exists in a state called a structure in which primary particles are fused, and fine pores are formed on the surface of the particles by post treatment. Therefore, in general, in order to exhibit the shape of the carbon black, the DBP absorption (JIS K6221) and the specific surface area (JIS K6217) according to the BET method are determined in addition to the average particle diameter of the primary particles obtained by the same method as the organic pigment It is preferable to measure it as an index of the structure or pore volume.
착색제(B) 중에서도, 생산성이 양호하고, 색 농도가 짙고, 게다가 내구성이 우수한 도막층이 얻어지므로, 안료가 바람직하고, 착색제에 유래하는 이물의 발생도 억제할 수 있다는 본 발명의 효과를 최대한 발휘할 수 있으므로 C.I. 피그먼트 레드 177, C.I. 피그먼트 레드 207, C.I. 피그먼트 레드 254, C.I. 피그먼트 그린 7, C.I. 피그먼트 그린 36, C.I. 피그먼트 그린 58, C.I. 피그먼트 그린 59, C.I. 피그먼트 옐로우 83, C.I. 피그먼트 옐로우 93, C.I. 피그먼트 옐로우 109, C.I. 피그먼트 옐로우 110, C.I. 피그먼트 옐로우 129, C.I. 피그먼트 옐로우 138, C.I. 피그먼트 옐로우 139, C.I. 피그먼트 옐로우 150, C.I. 피그먼트 옐로우 154, C.I. 피그먼트 옐로우 180, C.I. 피그먼트 옐로우 185, C.I. 피그먼트 블루 15:1, C.I. 피그먼트 블루 15:2, C.I. 피그먼트 블루 15:6 및 C.I. 피그먼트 바이올렛 23으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 안료가 보다 바람직하다.Among the colorants (B), a coating film layer having good productivity, high color density and excellent durability can be obtained, so that the effect of the present invention that the pigment is preferable and the occurrence of foreign matters derived from the colorant can be suppressed to the maximum CI Pigment Red 177, C.I. Pigment Red 207, C.I. Pigment Red 254, C.I.
상기 착색제(B)는, 단독으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다.The colorant (B) may be used alone or in combination of two or more.
상기 착색제(B)의 배합량은, 후술하는 알칼리 가용성 수지(C)와 중합성 화합물(D)과의 합계 100질량부에 대하여, 질량 기준에서 10∼80질량부의 범위인 것이 바람직하고, 15∼65질량부의 범위인 것이 보다 바람직하다.The amount of the colorant (B) to be blended is preferably in the range of 10 to 80 parts by mass, more preferably in the range of 15 to 65 parts by mass based on 100 parts by mass of the total of the alkali-soluble resin (C) and the polymerizable compound (D) And more preferably in the range of the mass part.
본 발명에서 사용하는 알칼리 가용성 수지(C)로서는, 알칼리 현상액에 가용인 것이다. 알칼리 가용성 수지(C)는, 카르복시기, 페놀성 수산기 및 설폰산기의 군에서 선택되는 적어도 1개의 산성기 또는 그 염을 갖는 수지가 바람직하다.The alkali-soluble resin (C) used in the present invention is soluble in an alkali developer. The alkali-soluble resin (C) is preferably a resin having at least one acid group selected from the group of a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group and a sulfonic acid group, or a salt thereof.
상기 알칼리 가용성 수지(C)에 대해서, 보다 구체적으로 설명하면, 예를 들면, 이하의 수지 등을 들 수 있다.The alkali-soluble resin (C) will be described in more detail, for example, by the following resins.
·산성기를 갖는 (메타)아크릴계 중합성 단량체를 필수의 성분으로서 중합시켜 얻어지는 알칼리 가용성 수지(C1).An alkali-soluble resin (C1) obtained by polymerizing a (meth) acrylic polymerizable monomer having an acidic group as an essential component.
·반응성기를 갖는 (메타)아크릴계 중합성 단량체를 필수의 성분으로서 중합시켜 얻어지는 산성기를 갖지 않는 중합체와, 당해 반응성기에 대하여 반응성을 갖는 반응성기와 산기를 갖는 화합물을 반응시켜 얻어지는 알칼리 가용성 수지(C2).(C2) obtained by reacting a polymer having no acidic group obtained by polymerizing a (meth) acrylic polymerizable monomer having a reactive group as an essential component with a compound having an acid group and a reactive group having reactivity with the reactive group, .
·에폭시기 함유 (메타)아크릴레이트와, 다른 중합성 단량체와의 공중합체에 대하여, 당해 공중합체가 갖는 에폭시기의 적어도 일부에 불포화 모노카르복시산을 부가시키고, 추가로, 불포화 모노카르복시산의 부가 반응에 의해 생긴 수산기의 적어도 일부에 폴리카르복시산의 산무수물을 부가 반응시켜 얻어지는 알칼리 가용성 수지(C3).(2) a method of adding an unsaturated monocarboxylic acid to at least a part of the epoxy group contained in the copolymer of a copolymer of an epoxy group-containing (meth) acrylate and another polymerizable monomer and further adding an unsaturated monocarboxylic acid An alkali-soluble resin (C3) obtained by addition reaction of at least a part of hydroxyl groups with an acid anhydride of polycarboxylic acid.
·카르복시기를 갖는 에폭시(메타)아크릴레이트 수지(C4).Epoxy (meth) acrylate resins having carboxyl groups (C4).
이하에, 상기(C1)∼(C4)에 대해서 상세히 설명한다.Hereinafter, (C1) to (C4) will be described in detail.
상기 알칼리 가용성 수지(C1)로서는, 예를 들면, 카르복시기를 갖는 (메타)아크릴계 중합성 단량체를 필수의 성분으로서 중합시켜 얻어지는 알칼리 가용성 수지나 설폰산기를 갖는 (메타)아크릴계 중합성 단량체를 필수의 성분으로서 중합시켜 얻어지는 알칼리 가용성 수지 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 카르복시기를 갖는 (메타)아크릴계 중합성 단량체를 필수의 성분으로서 중합시켜 얻어지는 알칼리 가용성 수지가 바람직하다.Examples of the alkali-soluble resin (C1) include a (meth) acrylic polymerizable monomer having an alkali-soluble resin or a sulfonic acid group obtained by polymerizing a (meth) acrylic polymerizable monomer having a carboxyl group as an essential component, And an alkali-soluble resin obtained by polymerization as a polymerization initiator. Among them, an alkali-soluble resin obtained by polymerizing a (meth) acrylic polymerizable monomer having a carboxyl group as an essential component is preferable.
상기 카르복시기를 갖는 (메타)아크릴계 중합성 단량체로서는, 예를 들면, (메타)아크릴산, 말레산, 크로톤산, 이타콘산, 푸마르산, 신남산, 2-(메타)아크릴로일옥시에틸숙신산, 2-(메타)아크릴로일옥시에틸아디프산, 2-(메타)아크릴로일옥시에틸말레산, 2-(메타)아크릴로일옥시에틸헥사히드로프탈산산, 2-(메타)아크릴로일옥시에틸프탈산, 2-(메타)아크릴로일옥시프로필숙신산, 2-(메타)아크릴로일옥시프로필아디프산, 2-(메타)아크릴로일옥시프로필말레산, 2-(메타)아크릴로일옥시프로필히드로프탈산, 2-(메타)아크릴로일옥시프로필프탈산, 2-(메타)아크릴로일옥시부틸숙신산, 2-(메타)아크릴로일옥시부틸아디프산, 2-(메타)아크릴로일옥시부틸말레산, 2-(메타)아크릴로일옥시부틸히드로프탈산, 2-(메타)아크릴로일옥시부틸프탈산 등의 중합성 단량체;Examples of the (meth) acrylic polymerizable monomer having a carboxyl group include (meth) acrylic acid, maleic acid, crotonic acid, itaconic acid, fumaric acid, cinnamic acid, 2- (meth) acryloyloxyethylsuccinic acid, 2- (Meth) acryloyloxyethyl adipic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl maleic acid, 2- (meth) acryloyloxyethylhexahydrophthalic acid, 2- (Meth) acryloyloxypropyl succinic acid, 2- (meth) acryloyloxypropyl adipic acid, 2- (meth) acryloyloxypropyl maleic acid, 2- (Meth) acryloyloxybutyl succinic acid, 2- (meth) acryloyloxybutyl adipic acid, 2- (meth) acryloyloxypropyl phthalic acid, 2- Polymerizable monomers such as oxybutylmaleic acid, 2- (meth) acryloyloxybutylhydrophthalic acid, and 2- (meth) acryloyloxybutylphthalic acid;
아크릴산에 ε-카프로락톤, β-프로피오락톤, γ-부티로락톤, δ-발레로락톤 등의 락톤을 부가시킨 중합성 단량체; 히드록시알킬(메타)아크릴레이트에 숙신산, 말레산, 프탈산, 또는 이들의 산무수물을 부가시킨 중합성 단량체 등을 들 수 있다. 이들의 카르복시기를 갖는 (메타)아크릴계 중합성 단량체는, 1종류만으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다. 상기 카르복시기를 갖는 (메타)아크릴계 중합성 단량체 중에서도, (메타)아크릴산, 2-(메타)아크릴로일옥시에틸숙신산이 바람직하다.Polymerizable monomers in which lactones such as? -Caprolactone,? -Propiolactone,? -Butyrolactone, and? -Valerolactone are added to acrylic acid; And polymeric monomers in which succinic acid, maleic acid, phthalic acid, or acid anhydrides thereof are added to hydroxyalkyl (meth) acrylate. These (meth) acrylic polymerizable monomers having a carboxyl group may be used singly or in combination of two or more. Among (meth) acrylic polymerizable monomers having a carboxyl group, (meth) acrylic acid and 2- (meth) acryloyloxyethyl succinic acid are preferred.
상기 설폰산기를 갖는 (메타)아크릴계 중합성 단량체로서는, 예를 들면, (메타)아크릴산-2-설포에틸, (메타)아크릴산-2-설포프로필, 2-히드록시-3-(메타)아크릴록시프로판설폰산, 2-(메타)아크릴아미드-2-메틸프로판설폰산 또는 이들의 염 등을 들 수 있다.Examples of the (meth) acrylic polymerizable monomer having a sulfonic acid group include (meth) acrylic acid 2-sulfoethyl, (meth) acrylic acid 2-sulfopropyl, 2-hydroxy- Propanesulfonic acid, 2- (meth) acrylamide-2-methylpropanesulfonic acid, and salts thereof.
알칼리 가용성 수지(C1)를 조제할 때에는, 본 발명의 효과를 훼손하지 않는 범위에서 다른 중합성 단량체를 병용해도 된다. 다른 단량체로서는, 예를 들면, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 프로필(메타)아크릴레이트, 이소프로필(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 페닐(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 페녹시에틸(메타)아크릴레이트, 페녹시메틸(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트, 이소보르닐(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 글리세롤모노(메타)아크릴레이트, 테트라히드로푸르푸릴(메타)아크릴레이트 등의 (메타)아크릴산에스테르;When the alkali-soluble resin (C1) is prepared, other polymerizable monomers may be used in combination within a range not to impair the effect of the present invention. Examples of other monomers include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, butyl (meth) Acrylates such as benzyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, phenoxymethyl (Meth) acrylate such as isobornyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate and tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate;
2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트 등의 히드록시알킬(메타)아크릴레이트, 글리세롤모노(메타)아크릴레이트 등의 수산기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르;(Meth) acrylate such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate and 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, glycerol mono (Meth) acrylic acid esters having a hydroxyl group;
스티렌 및 그 유도체 등의 방향족 비닐 화합물; N-비닐피롤리돈 등의 비닐 화합물; N-시클로헥실말레이미드, N-페닐말레이미드, N-벤질말레이미드 등의 N-치환 말레이미드;Aromatic vinyl compounds such as styrene and derivatives thereof; Vinyl compounds such as N-vinylpyrrolidone; N-substituted maleimides such as N-cyclohexylmaleimide, N-phenylmaleimide and N-benzylmaleimide;
폴리메틸(메타)아크릴레이트 매크로모노머, 폴리스티렌 매크로모노머, 폴리2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트 매크로모노머, 폴리에틸렌글리콜 매크로모노머, 폴리프로필렌글리콜 매크로모노머, 폴리카프로락톤 매크로모노머 등의 매크로모노머 등을 들 수 있다. 다른 중합성 단량체는 1종류만으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다.A macromonomer such as polymethyl (meth) acrylate macromonomer, polystyrene macromonomer, poly 2-hydroxyethyl (meth) acrylate macromonomer, polyethylene glycol macromonomer, polypropylene glycol macromonomer and polycaprolactone macromonomer . The other polymerizable monomers may be used alone or in combination of two or more.
상기 다른 중합성 단량체 중에서도, 스티렌, 메틸(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, N-시클로헥실말레이미드, N-벤질말레이미드, N-페닐말레이미드가, 투명성이 양호하고, 내열성을 훼손하기 어려운 점에서 바람직하다.Among these other polymerizable monomers, styrene, methyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, 4- hydroxybutyl (meth) acrylate, 2- Acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide and N-phenylmaleimide And is preferable in that heat resistance is not easily damaged.
이들 다른 중합성 단량체의 사용량은, 전(全)중합성 단량체 성분 중 95질량% 이하가 바람직하고, 85질량% 이하가 보다 바람직하다.The amount of these other polymerizable monomers to be used is preferably 95% by mass or less, more preferably 85% by mass or less, of the total (all) polymerizable monomer components.
알칼리 가용성 수지(C1)의 구체예로서는, 예를 들면, (메타)아크릴산과, 메틸(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 시클로헥실말레이미드 등의 수산기를 포함하지 않은 중합성 단량체와, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트 등의 수산기 함유 중합성 단량체와의 공중합체;Specific examples of the alkali-soluble resin (C1) include a copolymer of (meth) acrylic acid with at least one member selected from the group consisting of methyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (Meth) acrylates such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate and the like ) Copolymer with a hydroxyl group-containing polymerizable monomer such as acrylate;
(메타)아크릴산과, 메틸(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸메타크릴레이트 등의 (메타)아크릴산에스테르와의 공중합체;(Meth) acrylic acid esters such as methyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, and 2-hydroxyethyl methacrylate ≪ / RTI >
(메타)아크릴산과 스티렌과의 공중합체; (메타)아크릴산과 스티렌과 α-메틸스티렌과의 공중합체; (메타)아크릴산과 시클로헥실말레이미드와의 공중합체 등을 들 수 있다. 알칼리 가용성 수지(C1) 중에서도 안료 분산성이 우수한 레지스트 조성물이 얻어지므로, 벤질(메타)아크릴레이트를 사용한 알칼리 가용성 수지가 바람직하다.A copolymer of (meth) acrylic acid and styrene; Copolymers of (meth) acrylic acid with styrene and? -Methylstyrene; And copolymers of (meth) acrylic acid and cyclohexylmaleimide. Among the alkali-soluble resin (C1), an alkali-soluble resin using benzyl (meth) acrylate is preferable because a resist composition excellent in pigment dispersibility can be obtained.
상기 알칼리 가용성 수지(C1)의 산가는, 10∼500㎎KOH/g의 범위가 바람직하고, 30∼350㎎KOH/g의 범위가 보다 바람직하고, 40∼300㎎KOH/g의 범위가 더 바람직하다. 또한, 상기 알칼리 가용성 수지(C1)의 GPC로 측정한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량(Mw)은, 2,000∼100,000의 범위가 바람직하고, 3,000∼80,000의 범위가 보다 바람직하고, 4,000∼50,000의 범위가 더 바람직하다.The acid value of the alkali-soluble resin (C1) is preferably in the range of 10 to 500 mgKOH / g, more preferably in the range of 30 to 350 mgKOH / g, more preferably in the range of 40 to 300 mgKOH / g Do. The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin (C1) as measured by GPC in terms of polystyrene is preferably in the range of 2,000 to 100,000, more preferably 3,000 to 80,000, and more preferably 4,000 to 50,000 More preferable.
본 발명에 있어서는, 카르복시기를 갖는 (메타)아크릴계 중합성 단량체를 필수의 성분으로서 중합시켜 얻어지는 카르복시기 함유 알칼리 가용성 수지의 카르복시기에 에폭시기 함유 불포화 화합물을 부가시킨 알칼리 가용성 수지(C1-1)도 사용할 수도 있다.In the present invention, an alkali-soluble resin (C1-1) obtained by adding an epoxy group-containing unsaturated compound to a carboxyl group of a carboxyl-containing alkali-soluble resin obtained by polymerizing a (meth) acrylic polymerizable monomer having a carboxyl group as an essential component .
상기 에폭시기 함유 불포화 화합물로서는, 예를 들면, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 알릴글리시딜에테르, 글리시딜-α-에틸아크릴레이트, 크로토닐글리시딜에테르, (이소)크로톤산글리시딜에테르, N-(3,5-디메틸-4-글리시딜)벤질아크릴아미드, 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트글리시딜에테르 등을 들 수 있다. 또한, 내열성의 향상, 상기 착색제(B)로서 안료를 사용했을 때의 분산성의 향상을 도모할 수 있으므로, 지환식 에폭시기 함유 불포화 화합물이 바람직하다.Examples of the epoxy group-containing unsaturated compound include glycidyl (meth) acrylate, allyl glycidyl ether, glycidyl-α-ethyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, (3,5-dimethyl-4-glycidyl) benzyl acrylamide, and 4-hydroxybutyl (meth) acrylate glycidyl ether. Further, an unsaturated compound containing an alicyclic epoxy group is preferable because it can improve the heat resistance and improve the dispersibility when the pigment is used as the colorant (B).
상기 지환식 에폭시기 함유 불포화 화합물이 갖는 지환식 에폭시기로서는, 예를 들면, 2,3-에폭시시클로펜틸기, 3,4-에폭시시클로헥실기, 7,8-에폭시〔트리 시클로[5.2.1.0]데시-2-일〕기 등을 들 수 있다. 또한, 에틸렌성 불포화기로서는, (메타)아크릴로일기가 바람직하다. 지환식 에폭시기 함유 불포화 화합물은, 1종류만으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다.Examples of the alicyclic epoxy group of the alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound include 2,3-epoxycyclopentyl group, 3,4-epoxycyclohexyl group, 7,8-epoxy [tricyclo [5.2.1.0] decy 2-yl] group and the like. As the ethylenic unsaturated group, a (meth) acryloyl group is preferable. The alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound may be used alone or in combination of two or more.
상기 카르복시기를 함유하는 알칼리 가용성 수지의 카르복시기 부분에, 상기 에폭시기 함유 불포화 화합물을 부가시키기 위해서는, 공지의 방법을 사용할 수 있다. 예를 들면, 카르복시기 함유 알칼리 가용성 수지와 에폭시기 함유 불포화 화합물을, 트리에틸아민, 벤질메틸아민 등의 3급 아민; 도데실트리메틸암모늄클로라이드, 테트라메틸암모늄클로라이드, 테트라에틸암모늄클로라이드, 테트라부틸암모늄클로라이드, 벤질트리에틸암모늄클로라이드 등의 4급 암모늄염; 피리딘, 트리페닐포스핀 등의 촉매의 존재 하, 유기 용제 중, 반응 온도 50∼150℃에서 몇 시간∼몇십 시간 반응시킴으로써, 수지의 카르복시기에 에폭시기 함유 불포화 화합물을 부가할 수 있다.In order to add the epoxy group-containing unsaturated compound to the carboxyl group portion of the alkali-soluble resin containing the carboxyl group, a known method can be used. For example, when a carboxyl group-containing alkali-soluble resin and an epoxy group-containing unsaturated compound are reacted with a tertiary amine such as triethylamine or benzylmethylamine; Quaternary ammonium salts such as dodecyltrimethylammonium chloride, tetramethylammonium chloride, tetraethylammonium chloride, tetrabutylammonium chloride and benzyltriethylammonium chloride; An epoxy group-containing unsaturated compound can be added to the carboxyl group of the resin by reacting in an organic solvent in the presence of a catalyst such as pyridine or triphenylphosphine at a reaction temperature of 50 to 150 DEG C for several hours to several hours.
상기 알칼리 가용성 수지(C1-1)의 산가는, 10∼500㎎KOH/g의 범위가 바람직하고, 30∼350㎎KOH/g의 범위가 보다 바람직하고, 40∼300㎎KOH/g의 범위가 더 바람직하다. 또한, 알칼리 가용성 수지(C1-1)의 GPC로 측정한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량은, 2,000∼100,000의 범위가 바람직하고, 3,000∼80,000의 범위가 보다 바람직하고, 4,000∼50,000의 범위가 더 바람직하다.The acid value of the alkali-soluble resin (C1-1) is preferably in the range of 10 to 500 mgKOH / g, more preferably in the range of 30 to 350 mgKOH / g, more preferably in the range of 40 to 300 mgKOH / g More preferable. The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin (C1-1) measured by GPC in terms of polystyrene is preferably in the range of 2,000 to 100,000, more preferably in the range of 3,000 to 80,000, further preferably in the range of 4,000 to 50,000 Do.
또한, 상기 알칼리 가용성 수지(C1) 중에서도, 에테르 다이머나 아다만틸기 등의 지환 구조를 갖는 (메타)아크릴산에스테르를 중합성 단량체로서 사용하여 얻어진 알칼리 가용성 수지(C1-2)가 보다 바람직하다.Among the alkali-soluble resins (C1), an alkali-soluble resin (C1-2) obtained by using a (meth) acrylic acid ester having an alicyclic structure such as an ether dimer or an adamantyl group as a polymerizable monomer is more preferable.
상기 에테르 다이머로서는, 예를 들면, 디메틸-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디에틸-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(n-프로필)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(이소프로필)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(n-부틸)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(이소부틸)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(t-부틸)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(t-아밀)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(스테아릴)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(라우릴)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(2-에틸헥실)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(1-메톡시에틸)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(1-에톡시에틸)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디벤질-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디페닐-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디시클로헥실-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(t-부틸시클로헥실)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(디시클로펜타디에닐)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(트리시클로데카닐)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(이소보르닐)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디아다만틸-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(2-메틸-2-아다만틸)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 디메틸-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디에틸-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디시클로헥실-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디벤질-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트가 바람직하다. 이들의 에테르 다이머는, 1종류만으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다.Examples of the ether dimer include dimethyl-2,2 '- [oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, diethyl-2,2' - [oxybis Bis (2-propyl) -2,2 '- [oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di Propane, di (n-butyl) -2,2 '- [oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (isobutyl) -2,2' (T-butyl) -2,2 '- [oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (t-amyl) -2,2' - [ Di (stearyl) -2,2 '- [oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (lauryl) -2,2' Di (2-ethylhexyl) -2,2'- [oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (1-methoxy Ethyl) -2,2 '- [oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di Bis (methylene)] bis-2-propenoate, dibenzyl-2,2 '- [oxybis (methylene)] bis- Propylene glycol di (t-butylcyclohexyl) -2,2'- [oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, (Dicyclopentadienyl) -2,2 '- [oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, bis Di (isobornyl) -2,2 '- [oxybis (methylene)] bis (tricyclodecanyl) -2,2' - [oxybis (2-methyl-2-adamantyl) -2,2 '- [bis (2-methylphenyl) Oxybis (methylene)] bis-2-propenoate. Among these, dimethyl-2,2 '- [oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, diethyl-2,2' - [oxybis (methylene)] bis- Bis [2-propenyl] hexyl-2,2 '- [oxybis (methylene)] bis-2-propenoate and dibenzyl-2,2' - [oxybis (methylene)] bis-2-propenoate. These ether dimers may be used singly or in combination of two or more.
알칼리 가용성 수지(C1-2)의 원료로서 에테르 다이머를 사용할 경우에는, 중합성 단량체 중에 있어서의 에테르 다이머의 비율은, 겔화를 억제하여 저분자량의 알칼리 가용성 수지가 얻어지고, 투명성이나 내열성이 우수한 레지스트 조성물이 되므로, 전중합성 단량체의 질량의 2∼60질량%의 범위가 바람직하고, 5∼55질량%의 범위가 보다 바람직하고, 5∼50질량%의 범위가 더 바람직하다.When an ether dimer is used as a raw material of the alkali-soluble resin (C1-2), the proportion of the ether dimer in the polymerizable monomer can be controlled by controlling the ratio of the ether dimer in the polymerizable monomer to the alkali- It is preferably in the range of 2 to 60 mass%, more preferably in the range of 5 to 55 mass%, and more preferably in the range of 5 to 50 mass%, based on the mass of the prepolymerizable monomer.
한편, 알칼리 가용성 수지(C1-2)의 원료로서 아다만틸기 등의 지환 구조를 갖는 (메타)아크릴산에스테르를 사용할 경우에는, 당해 (메타)아크릴산에스테르의 사용 비율은, 상기 착색제(B)에 안료를 사용했을 때의 안료 분산성을 향상할 수 있고, 바탕 오염 적성이 양호한 레지스트 조성물이 얻어지므로, 전중합성 단량체의 질량의 0.5∼60질량%의 범위가 바람직하고, 1∼55질량%의 범위가 보다 바람직하고, 5∼50질량%의 범위가 더 바람직하다.On the other hand, when a (meth) acrylate ester having an alicyclic structure such as an adamantyl group is used as a raw material of the alkali-soluble resin (C1-2), the ratio of the (meth) Is preferably 0.5 to 60% by mass, more preferably 1 to 55% by mass, based on the mass of the prepolymerizable monomer, so that a resist composition having good background contamination suitability can be obtained. , More preferably from 5 to 50 mass%.
본 발명에서 사용하는 알칼리 가용성 수지(C1)의 제조 방법으로서는, 특별히 제한은 없고, 종래 공지의 각종 방법을 채용할 수 있지만, 특히, 용액 중합법이 바람직하다. 또한, 중합 온도나 중합 농도(중합 농도=[중합성 단량체의 전질량/(중합성 단량체의 전질량+용매 질량)]×100)는, 사용하는 중합성 단량체의 종류나 비율, 목표로 하는 알칼리 가용성 수지의 분자량에 따라 다르다. 중합 온도에 관해서는, 40∼150℃의 범위가 바람직하고, 중합 온도 60∼130℃의 범위가 보다 바람직하다. 또한, 중합 농도에 관해서는, 5∼50%의 범위가 바람직하고, 10∼40%의 범위가 보다 바람직하다.The method for producing the alkali-soluble resin (C1) used in the present invention is not particularly limited, and various conventionally known methods can be employed. In particular, a solution polymerization method is preferable. Further, the polymerization temperature and the polymerization concentration (polymerization concentration = [total mass of polymerizable monomer / total mass of polymerizable monomer + mass of solvent] x 100) are determined depending on the kind and ratio of the polymerizable monomer to be used, It depends on the molecular weight of the soluble resin. The polymerization temperature is preferably in the range of 40 to 150 占 폚, and more preferably in the range of 60 to 130 占 폚. The polymerization concentration is preferably in the range of 5 to 50%, more preferably in the range of 10 to 40%.
용액 중합법에서 사용하는 용매는, 통상의 라디칼 중합 반응으로 사용되는 것이어도 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 테트라히드로퓨란, 디옥산, 에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르 등의 에테르류; 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥산온 등의 케톤류; 아세트산에틸, 아세트산부틸, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 3-메톡시부틸아세테이트 등의 에스테르류; 메탄올, 에탄올, 이소프로판올, n-부탄올, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르 등의 알코올류; 톨루엔, 자일렌, 에틸벤젠 등의 방향족 탄화수소류; 클로로포름; 디메틸설폭시드 등을 들 수 있다. 이들 용매는, 1종류만으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다.The solvent used in the solution polymerization method may be one which is used in ordinary radical polymerization reaction. Specific examples thereof include ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether and diethylene glycol dimethyl ether; Ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; Esters such as ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and 3-methoxybutyl acetate; Alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, n-butanol, ethylene glycol monomethyl ether and propylene glycol monomethyl ether; Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and ethylbenzene; chloroform; Dimethyl sulfoxide and the like. These solvents may be used alone or in combination of two or more.
상기 중합성 단량체를 중합할 때에는, 필요에 따라, 중합개시제를 사용해도 된다. 중합개시제로서는, 예를 들면, 쿠멘하이드로퍼옥사이드, 디이소프로필벤젠하이드로퍼옥사이드, 디-t-부틸퍼옥사이드, 라우로일퍼옥사이드, 벤조일퍼옥사이드, t-부틸퍼옥시이소프로필카보네이트, t-아밀퍼옥시-2-에틸헥사노에이트, t-부틸퍼옥시-2-에틸헥사노에이트 등의 유기 과산화물; 2,2'-아조비스(이소부티로니트릴), 1,1'-아조비스(시클로헥산카르보니트릴), 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴), 디메틸2,2'-아조비스(2-메틸프로피오네이트) 등의 아조 화합물 등을 들 수 있다. 이들 중합개시제는, 1종류만으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다. 이들의 중합개시제의 사용량은, 사용하는 단량체의 조합이나, 반응 조건, 목표로 하는 알칼리 가용성 수지(C1)의 분자량 등에 따라 적의(適宜) 설정하면 되고, 특별히 한정되지 않지만, 겔화하지 않고 중량 평균 분자량이 몇천∼몇만의 알칼리 가용성 수지가 얻어지므로, 전중합성 단량체 성분에 대하여 0.1∼15질량%의 범위가 바람직하고, 0.5∼10질량%의 범위가 보다 바람직하다.When the polymerizable monomer is polymerized, a polymerization initiator may be used if necessary. Examples of the polymerization initiator include cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, di-t-butyl peroxide, lauroyl peroxide, benzoyl peroxide, t-butyl peroxyisopropyl carbonate, t- Organic peroxides such as peroxy-2-ethylhexanoate, t-butylperoxy-2-ethylhexanoate and the like; Azo compounds such as 2,2'-azobis (isobutyronitrile), 1,1'-azobis (cyclohexanecarbonitrile), 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) '-Azobis (2-methylpropionate), and the like. These polymerization initiators may be used alone or in combination of two or more. The amount of these polymerization initiators to be used may be set appropriately depending on the combination of the monomers to be used, the reaction conditions, the molecular weight of the target alkali-soluble resin (C1), and the like. Is preferably in the range of 0.1 to 15 mass%, more preferably in the range of 0.5 to 10 mass%, with respect to the prepolymerizable monomer component, because several thousands to several tens of thousands of alkali-soluble resins are obtained.
또한, 분자량 조정을 위해, 연쇄 이동제를 첨가해도 된다. 연쇄 이동제로서는, 예를 들면, n-도데실메르캅탄, 메르캅토아세트산, 메르캅토아세트산메틸 등의 메르캅탄계 연쇄 이동제; α-메틸스티렌다이머 등을 들 수 있지만, 연쇄 이동 효과가 높고, 반응계 내에 잔존하는 중합성 단량체를 저감할 수 있고, 입수도 용이한, n-도데실메르캅탄, 메르캅토아세트산이 바람직하다. 연쇄 이동제를 사용할 경우의 사용량은, 사용하는 단량체의 조합이나, 반응 조건, 목표로 하는 단량체의 분자량 등에 따라 적의 설정하면 되고, 특별히 한정되지 않지만, 겔화하지 않고 중량 평균 분자량이 몇천∼몇만의 알칼리 가용성 수지가 얻어지므로, 전단량체에 대하여 0.1∼15질량%의 범위가 바람직하고, 0.5∼10질량%의 범위가 보다 바람직하다.In order to adjust the molecular weight, a chain transfer agent may be added. Examples of the chain transfer agent include mercapane chain transfer agents such as n-dodecyl mercaptan, mercaptoacetic acid and methyl mercaptoacetate; -methylstyrene dimer, and the like. Of these, n-dodecyl mercaptan and mercaptoacetic acid, which have a high chain transfer effect and can reduce the polymerizable monomers remaining in the reaction system and are easily available, are preferable. The amount of the chain transfer agent to be used is not particularly limited, but may be appropriately selected depending on the combination of the monomers to be used, the reaction conditions, the molecular weight of the desired monomer, and the like. Resin is obtained, it is preferably in the range of 0.1 to 15 mass%, more preferably in the range of 0.5 to 10 mass% with respect to the total monomer.
상기 알칼리 가용성 수지(C2)는, 반응성기를 갖는 (메타)아크릴계 중합성 단량체를 필수의 성분으로서 중합시켜 얻어지는 산성기를 갖지 않는 중합체와, 당해 반응성기에 대하여 반응성기와 산기를 갖는 화합물을 반응시켜 얻어진다. 알칼리 가용성 수지(C2)는, 예를 들면, 이하의 알칼리 가용성 수지를 예시할 수 있다.The alkali-soluble resin (C2) is obtained by reacting a polymer having no acidic group obtained by polymerizing a (meth) acrylic polymerizable monomer having a reactive group as an essential component with a compound having an acid group and a reactive group to the reactive group . As the alkali-soluble resin (C2), for example, the following alkali-soluble resins may be mentioned.
·2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트와 같은 수산기를 갖는 중합성 단량체를 필수의 성분으로서 중합체를 얻은 후, 숙신산무수물, 테트라히드로프탈산무수물, 말레산무수물 등의 산무수물을 부가시켜 얻어지는 알칼리 가용성 수지.A polymerizable monomer having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate is obtained as an essential component, and then an acid anhydride such as succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride or maleic anhydride is added to obtain an alkali soluble Suzy.
·글리시딜(메타)아크릴레이트 등의 에폭시기를 갖는 중합성 단량체를 필수의 성분으로서 중합체를 얻은 후, N-메틸아미노벤조산, N-메틸아미노페놀 등의 아미노기와 산기를 갖는 화합물을 부가시켜 얻어지는 알칼리 가용성 수지.A polymerizable monomer having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate as an essential component, and then adding a compound having an acid group and an amino group such as N-methylaminobenzoic acid or N- Alkali soluble resin.
·2-이소시아나토에틸(메타)아크릴레이트 등의 이소시아네이트기를 갖는 중합성 단량체를 필수의 성분으로서 중합체를 얻은 후, 2-히드록시부티르산 등의 수산기와 산기를 갖는 화합물을 부가시켜 얻어지는 알칼리 가용성 수지.· A polymerizable monomer having an isocyanate group such as 2-isocyanatoethyl (meth) acrylate is obtained as an essential component, and then a compound having a hydroxyl group and an acid group such as 2-hydroxybutyric acid is added to obtain an alkali-soluble resin .
상기 알칼리 가용성 수지(C2)의 중량 평균 분자량은, 도막 형성이 양호하고 내열성이 우수한 도막이 얻어지므로, GPC로 측정한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량이 1,000∼200,000의 범위가 바람직하고, 2,000∼50,000의 범위가 보다 바람직하고, 2,000∼30,000의 범위가 더 바람직하다. 또한, 필요에 따라, 상기 알칼리 가용성 수지(C1)의 조제에 사용하는 중합성 단량체를 병용하여 알칼리 가용성 수지(C2)를 얻어도 된다.The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin (C2) is preferably in the range of 1,000 to 200,000, more preferably in the range of 2,000 to 50,000, in terms of polystyrene as measured by GPC, because a coating film having good coating film formation and excellent heat resistance is obtained. And more preferably in the range of 2,000 to 30,000. If necessary, the alkali-soluble resin (C2) may also be obtained by using a polymerizable monomer used for preparing the alkali-soluble resin (C1) in combination.
상기 알칼리 가용성 수지(C3)는, 에폭시기 함유 (메타)아크릴레이트와, 다른 중합성 단량체와의 공중합체에 대하여, 당해 공중합체가 갖는 에폭시기의 적어도 일부에 불포화 모노카르복시산을 부가시키고, 추가로, 불포화 모노카르복시산의 부가 반응에 의해 생긴 수산기의 적어도 일부에 폴리카르복시산의 산무수물을 부가 반응시켜 얻어진다.The alkali-soluble resin (C3) is obtained by adding an unsaturated monocarboxylic acid to at least a part of the epoxy group of the copolymer in the copolymer of an epoxy group-containing (meth) acrylate and another polymerizable monomer, And an acid anhydride of a polycarboxylic acid is additionally reacted with at least a part of the hydroxyl groups generated by the addition reaction of the monocarboxylic acid.
상기 에폭시기 함유 (메타)아크릴레이트로서는, 예를 들면, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시부틸(메타)아크릴레이트, (3,4-에폭시시클로헥실)메틸(메타)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트글리시딜에테르 등을 들 수 있다. 그 중에서도 글리시딜(메타)아크릴레이트가 바람직하다. 이들의 에폭시기 함유 (메타)아크릴레이트는 1종류만으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다.Examples of the epoxy group-containing (meth) acrylate include glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth) acrylate, (3,4-epoxycyclohexyl) , 4-hydroxybutyl (meth) acrylate glycidyl ether, and the like. Among them, glycidyl (meth) acrylate is preferable. These epoxy group-containing (meth) acrylates may be used alone or in combination of two or more.
또한, 상기 알칼리 가용성 수지(C3)의 원료인 에폭시기 함유 (메타)아크릴레이트 이외의 다른 중합성 단량체로서, 노르보르넨 골격, 디시클로펜타디엔 골격 등의 지환식 구조를 갖는 모노머를 사용하면, 본 발명의 컬러 레지스트 조성물의 경화물의 내열성, 기계적 강도를 향상할 수 있기 때문에 바람직하다.When a monomer having an alicyclic structure such as a norbornene skeleton or a dicyclopentadiene skeleton is used as a polymerizable monomer other than an epoxy group-containing (meth) acrylate as a raw material of the alkali-soluble resin (C3) The heat resistance and the mechanical strength of the cured product of the color resist composition of the present invention can be improved.
또한, 지환식 구조를 갖지 않는 중합성 단량체를 상기 에폭시기 함유 (메타)아크릴레이트 이외의 다른 중합성 단량체로서 사용해도 된다. 이러한 중합성 모노머로서는, 예를 들면, 스티렌, 스티렌의 α-, o-, m-, p-알킬, 니트로, 시아노, 아미드, 에스테르 유도체 등의 비닐 방향족류;The polymerizable monomer having no alicyclic structure may be used as the polymerizable monomer other than the epoxy group-containing (meth) acrylate. Examples of such polymerizable monomers include vinyl aromatic compounds such as styrene, α-, o-, m-, p-alkyl, nitro, cyano, amide and ester derivatives of styrene;
부타디엔, 2,3-디메틸부타디엔, 이소프렌, 클로로프렌 등의 디엔류;Dienes such as butadiene, 2,3-dimethylbutadiene, isoprene and chloroprene;
(메타)아크릴산메틸, (메타)아크릴산에틸, (메타)아크릴산-n-프로필, (메타)아크릴산-i-프로필, (메타)아크릴산-n-부틸, (메타)아크릴산-s-부틸, (메타)아크릴산-t-부틸, (메타)아크릴산펜틸, (메타)아크릴산네오펜틸, (메타)아크릴산이소아밀, (메타)아크릴산헥실, (메타)아크릴산-2-에틸헥실, (메타)아크릴산라우릴, (메타)아크릴산도데실, (메타)아크릴산시클로펜틸, (메타)아크릴산시클로헥실, (메타)아크릴산-2-메틸시클로헥실, (메타)아크릴산디시클로헥실, (메타)아크릴산이소보로닐, (메타)아크릴산아다만틸, (메타)아크릴산프로파길, (메타)아크릴산페닐, (메타)아크릴산나프틸, (메타)아크릴산안트라세닐, (메타)아크릴산안트라니노닐, (메타)아크릴산피페로닐, (메타)아크릴산살리실, (메타)아크릴산푸릴, (메타)아크릴산푸르푸릴, (메타)아크릴산테트라히드로푸릴, (메타)아크릴산피라닐, (메타)아크릴산벤질, (메타)아크릴산페네틸, (메타)아크릴산크레질, (메타)아크릴산-1,1,1-트리플루오로에틸, (메타)아크릴산퍼플루오로에틸, (메타)아크릴산퍼플루오로-n-프로필, (메타)아크릴산퍼플루오로-iso-프로필, (메타)아크릴산트리페닐메틸, (메타)아크릴산쿠밀, (메타)아크릴산-3-(N,N-디메틸아미노)프로필, (메타)아크릴산-2-히드록시에틸, (메타)아크릴산-2-히드록시프로필 등의 (메타)아크릴산에스테르류;(Meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, neopentyl (meth) acrylate, isoamyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl , Cyclohexyl (meth) acrylate, dicyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, (Meth) acrylic acid propanediol, (meth) acrylic acid propargyl, phenyl (meth) acrylate, naphthyl (meth) acrylate, anthracenyl (meth) acrylate, anthraninomethylacrylate, (Meth) acrylic acid salicylate, (meth) acrylic acid furyl, (meth) acrylic acid furfuryl, (meth) (Meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, phenethyl (meth) acrylate, cresyl (meth) acrylate, 1,1,1-trifluoroethyl Perfluoro-n-propyl (meth) acrylate, perfluoro-isopropyl (meth) acrylate, triphenylmethyl (meth) acrylate, cumyl (meth) acrylate, (Meth) acrylic acid esters such as (N, N-dimethylamino) propyl, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and 2-hydroxypropyl (meth) acrylate;
(메타)아크릴산아미드, (메타)아크릴산N,N-디메틸아미드, (메타)아크릴산N,N-디에틸아미드, (메타)아크릴산N,N-디프로필아미드, (메타)아크릴산-N,N-디-i-프로필아미드, (메타)아크릴산안트라세닐아미드 등의 (메타)아크릴산아미드; (메타)아크릴산아닐리드, (메타)아크릴로일니트릴, 아크롤레인, 염화비닐, 염화비닐리덴, 불화비닐, 불화비닐리덴, N-비닐피롤리든, 비닐피리딘, 아세트산비닐 등의 비닐 화합물류;(Meth) acrylic acid amide, N, N-dimethyl amide, N, N-diethyl amide, N, N-dipropyl amide, (Meth) acrylic amides such as di-i-propyl amide and anthracenyl amide (meth) acrylate; Vinylidene chloride, vinylidene chloride, vinylidene fluoride, N-vinylpyrrolidone, vinylpyridine, and vinyl acetate; (meth) acrylonitrile, (meth) acrylonitrile, acrolein, vinyl chloride, vinylidene chloride, vinyl fluoride, vinylidene fluoride,
시트라콘산디에틸, 말레산디에틸, 푸마르산디에틸, 이타콘산디에틸 등의 불포화 디카르복시산디에스테르류; N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, N-라우릴말레이미드, N-(4-히드록시페닐)말레이미드 등의 모노말레이미드류; N-(메타)아크릴로일프탈이미드 등을 들 수 있다.Unsaturated dicarboxylic acid diesters such as diethyl citraconate, diethyl maleate, diethyl fumarate and diethyl itaconate; Monomaleimides such as N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-laurylmaleimide and N- (4-hydroxyphenyl) maleimide; And N- (meth) acryloyl phthalimide.
상기의 다른 중합성 단량체 중에서도, 본 발명의 컬러 레지스트 조성물의 경화물의 내열성, 기계적 강도를 향상할 수 있으므로, 스티렌, (메타)아크릴산벤질 및 모노말레이미드류 중에서 적어도 1종을 사용하는 것이 바람직하다. 스티렌, (메타)아크릴산벤질 및 모노말레이미드류의 사용 비율은, 다른 중합성 단량체의 전량을 기준으로서 1∼70몰%가 바람직하고, 3∼50몰%가 보다 바람직하다.Of the above-mentioned other polymerizable monomers, at least one of styrene, benzyl (meth) acrylate and monomaleimide is preferably used because heat resistance and mechanical strength of the cured product of the color resist composition of the present invention can be improved. Styrene, benzyl (meth) acrylate and monomaleimide is preferably 1 to 70 mol%, more preferably 3 to 50 mol% based on the total amount of the other polymerizable monomers.
또한, 상기 에폭시기 함유 (메타)아크릴레이트와, 상기 다른 중합성 단량체와의 공중합 반응은, 라디칼 중합개시제를 사용한 용액 중합법 등의 공지의 중합 방법을 사용할 수 있다. 사용하는 용제는 라디칼 중합에 불활성인 것이면 특별히 한정되는 것이 아니고, 통상 사용되고 있는 유기 용제를 사용할 수 있다.The copolymerization reaction of the epoxy group-containing (meth) acrylate with the other polymerizable monomer may be carried out by a known polymerization method such as a solution polymerization method using a radical polymerization initiator. The solvent to be used is not particularly limited as long as it is inert to radical polymerization, and an organic solvent which is generally used can be used.
상기 에폭시기 함유 (메타)아크릴레이트와 상기 다른 중합성 단량체와의 공중합체로서는, 에폭시기 함유 (메타)아크릴레이트에 유래하는 반복 단위 5∼90몰%와, 다른 라디칼 중합성 모노머에 유래하는 반복 단위 10∼95몰%로 이루어지는 것이 바람직하고, 전자 20∼80몰%와, 후자 80∼20몰%로 이루어지는 것이 보다 바람직하고, 전자 30∼70몰%와, 후자 70∼30몰%로 이루어지는 것이 더 바람직하다.As the copolymer of the epoxy group-containing (meth) acrylate and the other polymerizable monomer, 5 to 90 mol% of a repeating unit derived from an epoxy group-containing (meth) acrylate and 10 to 90 mol% of a repeating unit derived from another radically polymerizable monomer To 95 mol%, more preferably from 20 to 80 mol% of the former and from 80 to 20 mol% of the latter, more preferably from 30 to 70 mol% of the former and from 70 to 30 mol% of the latter Do.
상기 알칼리 가용성 수지(C3)는, 상기 에폭시기 함유 (메타)아크릴레이트와 다른 중합성 단량체와의 공중합체의 에폭시기 부분에, 불포화 모노카르복시산(중합성 성분)과, 폴리카르복시산의 산무수물(알칼리 가용성 성분)을 반응시키는 것에 의해 얻어진다.The alkali-soluble resin (C3) is a copolymer of an unsaturated monocarboxylic acid (polymerizable component) and an acid anhydride of a polycarboxylic acid (an alkali-soluble component ). ≪ / RTI >
상기 불포화 모노카르복시산으로서는, 예를 들면, (메타)아크릴산, 크로톤산, o-, m-, p-비닐벤조산, α-위치가 할로알킬기, 알콕실기, 할로겐 원자, 니트로기, 또는 시아노기 등으로 치환된 (메타)아크릴산 등의 모노카르복시산 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 (메타)아크릴산이 바람직하다. 이들의 불포화 모노카르복시산은, 1종류만으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다. 이 불포화 모노카르복시산을 사용함으로써, 상기 알칼리 가용성 수지(A3)에 중합성을 부여할 수 있다.Examples of the unsaturated monocarboxylic acid include (meth) acrylic acid, crotonic acid, o-, m-, p-vinylbenzoic acid, the α-position is a haloalkyl group, an alkoxyl group, a halogen atom, a nitro group, And monocarboxylic acids such as substituted (meth) acrylic acid. Among these, (meth) acrylic acid is preferable. These unsaturated monocarboxylic acids may be used singly or in combination of two or more. By using the unsaturated monocarboxylic acid, the alkali-soluble resin (A3) can be given polymerizability.
상기 불포화 모노카르복시산은, 통상, 상기 공중합체가 갖는 에폭시기의 10∼100몰%에 부가시키는 것이 바람직하고, 30∼100몰%에 부가시키는 것이 보다 바람직하고, 50∼100몰%에 부가시키는 것이 더 바람직하다.The unsaturated monocarboxylic acid is preferably added to 10 to 100 mol%, more preferably 30 to 100 mol%, and further preferably 50 to 100 mol% of the epoxy group of the copolymer desirable.
상기 폴리카르복시산의 산무수물로서는, 예를 들면, 무수말레산, 무수숙신산, 무수이타콘산, 무수프탈산, 테트라히드로무수프탈산, 헥사히드로무수프탈산, 무수클로렌드산 등의 디카르복시산의 산무수물; 무수트리멜리트산, 무수피로멜리트산, 벤조페논테트라카르복시산무수물, 비페닐테트라카르복시산무수물 등의 3개 이상의 카르복시기를 갖는 카르복시산의 무수물 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 테트라히드로무수프탈산, 무수숙신산이 바람직하다. 이들의 폴리카르복시산의 산무수물은, 1종류만으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다. 이 폴리카르복시산의 산무수물을 사용함으로써, 상기 알칼리 가용성 수지(C3)에 알칼리 가용성을 부여할 수 있다.Examples of the acid anhydrides of polycarboxylic acids include acid anhydrides of dicarboxylic acids such as maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, and anhydrous chlorendic acid; And anhydrides of carboxylic acids having three or more carboxyl groups such as trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenonetetracarboxylic anhydride, and biphenyltetracarboxylic anhydride. Of these, tetrahydrophthalic anhydride and succinic anhydride are preferable. These acid anhydrides of polycarboxylic acids may be used alone or in combination of two or more. By using an acid anhydride of the polycarboxylic acid, alkali solubility can be imparted to the alkali-soluble resin (C3).
상기 폴리카르복시산의 산무수물은, 통상, 상기 공중합체가 갖는 에폭시기에, 불포화 모노카르복시산을 부가시킴으로써 생기는 수산기의 10∼100몰%에 부가시키는 것이 바람직하고, 20∼90몰%에 부가시키는 것이 보다 바람직하고, 30∼80몰%에 부가시키는 것이 더 바람직하다.The acid anhydride of the polycarboxylic acid is preferably added in an amount of 10 to 100 mol%, more preferably 20 to 90 mol%, of the hydroxyl group formed by adding an unsaturated monocarboxylic acid to the epoxy group of the copolymer , And more preferably 30 to 80 mol%.
상기 알칼리 가용성 수지(C3)의 겔침투 크로마토그래피(GPC)로 측정한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량(Mw)은, 3,000∼100,000의 범위가 바람직하고, 5,000∼50,000의 범위가 보다 바람직하다. 또한, 상기 알칼리 가용성 수지(C3)의 분산도(Mw/Mn)는, 2.0∼5.0의 범위가 바람직하다.The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin (C3) measured by gel permeation chromatography (GPC) in terms of polystyrene is preferably in the range of 3,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50,000. The dispersion degree (Mw / Mn) of the alkali-soluble resin (C3) is preferably in the range of 2.0 to 5.0.
상기 에폭시(메타)아크릴레이트 수지(C4)는, 예를 들면, 에폭시 수지에 α,β-불포화 모노카르복시산 또는 에스테르 부분에 카르복시기를 갖는 α,β-불포화 모노카르복시산에스테르를 부가시키고, 추가로, 다염기산무수물을 반응시킴으로써 얻어진다.The epoxy (meth) acrylate resin (C4) can be prepared by, for example, adding an?,? - unsaturated monocarboxylic acid or an?,? - unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group in the ester moiety to an epoxy resin, Lt; / RTI > with an anhydride.
상기 에폭시 수지로서는, 예를 들면, 비스페놀A형 에폭시 수지(시판품으로서, 미쓰비시가가쿠 가부시키가이샤제의 「jER828」, 「jER1001」, 「jER1002」, 「jER1004」 등), 비스페놀A형 에폭시 수지의 알코올성 수산기와 에피클로로히드린의 반응에 의해 얻어지는 에폭시 수지(시판품으로서, 니혼가야쿠 가부시키가이샤제의 「NER-1302」(에폭시 당량 323, 연화점 76℃)), 비스페놀F형 수지(시판품으로서, 미쓰비시가가쿠 가부시키가이샤제의 「jER807」, 「EP-4001」, 「EP-4002」, 「EP-4004」 등), 비스페놀F형 에폭시 수지의 알코올성 수산기와 에피클로로히드린의 반응에 의해 얻어지는 에폭시 수지(시판품으로서, 니혼가야쿠 가부시키가이샤제의 「NER-7406」(에폭시 당량 350, 연화점 66℃)), 비스페놀S형 에폭시 수지, 비페닐글리시딜에테르(시판품으로서, 미쓰비시가가쿠 가부시키가이샤제의 「YX-4000」), 페놀노볼락형 에폭시 수지(시판품으로서, 니혼가야쿠 가부시키가이샤제의 「EPPN-201」, 미쓰비시가가쿠 가부시키가이샤제의 「EP-152」, 「EP-154」, 다우케미컬니혼 가부시키가이샤제의 「DEN-438」), 크레졸노볼락형 에폭시 수지(시판품으로서, 니혼가야쿠 가부시키가이샤제의 「EOCN-102S」, 「EOCN-1020」, 「EOCN-104S」), 트리글리시딜이소시아누레이트(시판품으로서, 닛산가가쿠고교 가부시키가이샤제의 「TEPIC」), 트리스페놀메탄형 에폭시 수지(시판품으로서, 니혼가야쿠 가부시키가이샤제의 「EPPN-501」, 「EPN-502」, 「EPPN-503」), 플루오렌에폭시 수지(시판품으로서, 신니치테츠가가쿠 가부시키가야쿠제의 카르도에폭시 수지 「ESF-300」), 지환식 에폭시 수지(다이세루가가쿠고교 가부시키가이샤제의 「셀록사이드 2021P」, 「셀록사이드 EHPE」), 디시클로펜타디엔과 페놀의 반응에 의한 페놀 수지를 글리시딜화한 디시클로펜타디엔형 에폭시 수지(예를 들면, 니혼가야쿠 가부시키가이샤제의 「XD-1000」, DIC 가부시키가이샤제의 「EXA-7200」, 니혼가야쿠 가부시키가이샤제의 「NC-3000」, 「NC-7300」), 플루오렌 골격을 갖는 에폭시 수지(일본국 특개평4-355450호 공보 참조) 등을 사용할 수 있다. 이들의 에폭시 수지는, 1종류만으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다.Examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resins (commercially available products such as "jER828", "jER1001", "jER1002", "jER1004", etc. by Mitsubishi Kagaku Kogyo Co., Ltd.), bisphenol A type epoxy resins NER-1302 " (epoxy equivalent: 323, softening point: 76 占 폚) commercially available from Nippon Kayaku Co., Ltd.), bisphenol F type resin (commercially available as a commercial product), epoxy resin obtained by reacting an alcoholic hydroxyl group with epichlorohydrin Quot; jER807 ", " EP-4001 ", " EP-4002 ", " EP-4004 ", etc. manufactured by Mitsubishi Kagaku K. K. K. K. K. K.), and epoxy resin obtained by the reaction of an alcoholic hydroxyl group of a bisphenol F type epoxy resin with epichlorohydrin NER-7406 " (epoxy equivalent: 350, softening point: 66 占 폚) manufactured by Nihon Kayaku Co., Ltd.), bisphenol S type epoxy resin and biphenyl glycidyl ether (commercially available as Mitsubishi Kagaku Co., Quot; EP-1 ", manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., " EP-152 ", manufactured by Mitsubishi Kagaku Kogyo K.K.), phenol novolak type epoxy resin EOCN-102S ", " EOCN-1020 ", manufactured by Nihon Kayaku K.K.) as a curing agent, , "EOCN-104S"), triglycidylisocyanurate ("TEPIC" available from Nissan Chemical Industries, Ltd.) as a commercial product, trisphenol methane type epoxy resin (commercially available from Nihon Kayaku Co., (EPPN-501, EPN-502, EPPN-503), fluorene epoxy resin (commercial product, CARDO epoxy resin "ESF-300" manufactured by Shin- Epoxy resin ("Celloxide 2021P" manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd., " Rocide EHPE "), a dicyclopentadiene type epoxy resin obtained by glycidylating a phenol resin by reaction of dicyclopentadiene and phenol (for example," XD-1000 "manufactured by Nihon Kayaku Co., Ltd., DIC EXA-7200 "manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.," NC-3000 "and" NC-7300 "manufactured by Nihon Kayaku Co., Ltd.), an epoxy resin having a fluorene skeleton (see JP-A-4-355450 ) Can be used. These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more.
에폭시 수지의 다른 예로서는 공중합형 에폭시 수지를 들 수 있다. 공중합형 에폭시 수지로서는, 예를 들면, 글리시딜(메타)아크릴레이트, (메타)아크릴로일메틸시클로헥센옥사이드, 비닐시클로헥센옥사이드 등의 에폭시기를 갖는 모노머와, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, (메타)아크릴산, 스티렌, 페녹시에틸(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, α-메틸스티렌, 글리세린모노(메타)아크릴레이트, 폴리옥시알킬렌쇄를 갖는 (메타)아크릴레이트 등의 에폭시기를 갖지 않는 중합성 단량체를 공중합시켜 얻어지는 공중합체를 들 수 있다.Another example of the epoxy resin is a copolymerizable epoxy resin. Examples of the copolymerizable epoxy resin include monomers having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate, (meth) acryloylmethylcyclohexene oxide and vinylcyclohexene oxide, and monomers having an epoxy group such as methyl (meth) acrylate, ethyl (Meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, styrene, A copolymer obtained by copolymerizing a polymerizable monomer having no epoxy group such as (meth) acrylate,? -Methylstyrene, glycerin mono (meth) acrylate and (meth) acrylate having a polyoxyalkylene chain.
상기 폴리옥시알킬렌쇄를 갖는 (메타)아크릴레이트로서는, 예를 들면, 디에틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트 등의 폴리에틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트; 메톡시디에틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 메톡시테트라에틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트 등의 알콕시폴리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.Examples of the (meth) acrylate having a polyoxyalkylene chain include polyethylenes such as diethylene glycol mono (meth) acrylate, triethylene glycol mono (meth) acrylate and tetraethylene glycol mono Glycol mono (meth) acrylate; (Meth) acrylate such as methoxyethylene glycol mono (meth) acrylate, methoxy triethylene glycol mono (meth) acrylate, methoxy tetraethylene glycol mono (meth) acrylate and the like.
상기 공중합형 에폭시 수지의 분자량은, 1,000∼200,000의 범위가 바람직하다. 또한, 공중합형 에폭시 수지의 원료로서 사용하는 에폭시기를 갖는 모노머의 사용량은, 에폭시기를 갖지 않는 모노머에 대하여 10∼70질량%의 범위가 바람직하고, 20∼50질량%의 범위가 보다 바람직하다.The molecular weight of the copolymerizable epoxy resin is preferably in the range of 1,000 to 200,000. The amount of the monomer having an epoxy group used as a raw material of the copolymerizable epoxy resin is preferably in the range of 10 to 70 mass%, more preferably in the range of 20 to 50 mass% with respect to the monomer having no epoxy group.
상기 공중합형 에폭시 수지의 시판품으로서는, 예를 들면, 니치유 가부시키가이샤제의 「CP-15」, 「CP-30」, 「CP-50」, 「CP-20SA」, 「CP-510SA」, 「CP-50S」, 「CP-50M」, 「CP-20MA」 등을 들 수 있다.Examples of commercially available products of the copolymerizable epoxy resin include "CP-15", "CP-30", "CP-50", "CP-20SA", "CP- CP-50S ", " CP-50M ", and " CP-20MA ".
상기 에폭시 수지의 분자량은, 도막 형성이 양호하고 α,β-불포화 모노카르복시산의 부가 반응시의 겔화를 방지할 수 있으므로, GPC로 측정한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량으로서, 200∼200,000의 범위가 바람직하고, 300∼100,000의 범위가 보다 바람직하다.The molecular weight of the epoxy resin is preferably in the range of 200 to 200,000 in terms of the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by GPC since the film formation is good and gelation can be prevented during the addition reaction of the?,? - unsaturated monocarboxylic acid , And more preferably in the range of 300 to 100,000.
α,β-불포화 모노카르복시산으로서는, 예를 들면, 이타콘산, 크로톤산, 신남산, 아크릴산, 메타크릴산 등을 들 수 있고, 아크릴산 및 메타크릴산이 바람직하고, 아크릴산이 반응성에 양호하므로 보다 바람직하다. 에스테르 부분에 카르복시기를 갖는 α,β-불포화 모노카르복시산에스테르로서는, 아크릴산-2-숙시노일옥시에틸, 아크릴산-2-말레오일옥시에틸, 아크릴산-2-프탈로일옥시에틸, 아크릴산-2-헥사히드로프탈로일옥시에틸, 메타크릴산-2-숙시노일옥시에틸, 메타크릴산-2-말레오일옥시에틸, 메타크릴산-2-프탈로일옥시에틸, 메타크릴산-2-헥사히드로프탈로일옥시에틸, 크로톤산-2-숙시노일옥시에틸 등을 들 수 있고, 아크릴산-2-말레오일옥시에틸 및 아크릴산-2-프탈로일옥시에틸이 바람직하고, 아크릴산-2-말레오일옥시에틸이 보다 바람직하다. 이들의 α,β-불포화 모노카르복시산 및 α,β-불포화 모노카르복시산에스테르는, 1종류만으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다.Examples of the?,? - unsaturated monocarboxylic acid include itaconic acid, crotonic acid, cinnamic acid, acrylic acid and methacrylic acid, and acrylic acid and methacrylic acid are preferable, and acrylic acid is more preferable because of its good reactivity . Examples of the?,? - unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group in the ester moiety include acrylic acid-2-succinoyloxyethyl, acrylic acid-2-maloyloxyethyl acrylate, 2- phthaloyloxyethyl acrylate, Phthaloyloxyethyl methacrylate, 2-succinoyloxyethyl methacrylate, 2-maleoyloxyethyl methacrylate, 2-phthaloyloxyethyl methacrylate, 2-hexahydrophthaloyl methacrylate 2-phthaloyloxyethyl acrylate, and 2-phthaloyloxyethyl acrylate are preferable, and acrylic acid-2-maleoyloxyethyl acrylate and 2- More preferable. These α, β-unsaturated monocarboxylic acids and α, β-unsaturated monocarboxylic acid esters may be used singly or in combination of two or more.
α,β-불포화 모노카르복시산 또는 그 에스테르와, 에폭시 수지와의 부가 반응은, 공지의 방법을 사용할 수 있고, 예를 들면, 에스테르화 촉매 존재 하, 50∼150℃의 온도에서 반응시키는 방법을 들 수 있다. 에스테르화 촉매로서는, 트리에틸아민, 트리메틸아민, 벤질디메틸아민, 벤질디에틸아민 등의 3급 아민; 테트라메틸암모늄클로라이드, 테트라에틸암모늄클로라이드, 도데실트리메틸암모늄클로라이드 등의 4급 암모늄염 등을 사용할 수 있다.The addition reaction with the α, β-unsaturated monocarboxylic acid or the ester thereof with the epoxy resin can be carried out by a known method, for example, a method of allowing the reaction at a temperature of 50 to 150 ° C. in the presence of an esterification catalyst . Examples of the esterification catalyst include tertiary amines such as triethylamine, trimethylamine, benzyldimethylamine and benzyldiethylamine; Quaternary ammonium salts such as tetramethylammonium chloride, tetraethylammonium chloride and dodecyltrimethylammonium chloride, and the like can be used.
α,β-불포화 모노카르복시산 또는 그 에스테르의 사용량은, 원료가 되는 에폭시 수지의 에폭시기 1당량에 대하여 0.5∼1.2당량의 범위가 바람직하고, 0.7∼1.1당량의 범위가 보다 바람직하다.The amount of the?,? - unsaturated monocarboxylic acid or its ester to be used is preferably in the range of 0.5 to 1.2 equivalents, more preferably 0.7 to 1.1 equivalents with respect to 1 equivalent of the epoxy group in the raw material epoxy resin.
α,β-불포화 카르복시산 또는 그 에스테르가 부가한 에폭시 수지에, 추가로 부가시키는 다염기산무수물로서는, 예를 들면, 무수말레산, 무수숙신산, 무수이타콘산, 무수프탈산, 무수테트라히드로프탈산, 무수헥사히드로프탈산, 무수피로멜리트산, 무수트리멜리트산, 벤조페논테트라카르복시산이무수물, 무수메틸헥사히드로프탈산, 무수엔도메틸렌테트라히드로프탈산, 무수클로렌드산, 무수메틸테트라히드로프탈산, 비페닐테트라카르복시산이무수물 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 무수말레산, 무수숙신산, 무수이타콘산, 무수프탈산, 무수테트라히드로프탈산, 무수헥사히드로프탈산, 무수피로멜리트산, 무수트리멜리트산, 비페닐테트라카르복시산이무수물이 바람직하고, 무수테트라히드로프탈산 및 비페닐테트라카르복시산이무수물이 보다 바람직하다. 이들의 다염기산무수물은, 1종류만으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다.Examples of the polybasic acid anhydrides added to the?,? - unsaturated carboxylic acid or the ester-added epoxy resin include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, Phthalic acid, anhydrous pyromellitic acid, anhydrous trimellitic acid, benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, endomethylenetetrahydrophthalic anhydride, chlorinated anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, biphenyltetracarboxylic acid dianhydride and the like . Of these, preferred are maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, pyromellitic anhydride, trimellitic anhydride and biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, Phthalic acid and biphenyltetracarboxylic acid dianhydride are more preferable. These polybasic acid anhydrides may be used alone or in combination of two or more.
다염기산무수물의 부가 반응에 대해서도 공지의 방법을 사용할 수 있고, α,β-불포화 카르복시산 또는 그 에스테르의 부가 반응과 마찬가지인 조건 하에서 연속해서 반응시킬 수 있다. 다염기산무수물의 사용량은, 알칼리 현상성 및 도막 형성을 양호한 것으로 할 수 있으므로, 생성하는 에폭시(메타)아크릴레이트 수지의 산가가 10∼150의 범위가 되는 양이 바람직하고, 20∼140의 범위가 되는 양이 보다 바람직하다.The addition reaction of the polybasic acid anhydride can be carried out by a known method and can be continuously carried out under the same conditions as the addition reaction of the?,? - unsaturated carboxylic acid or its ester. The amount of the polybasic acid anhydride to be used is preferably such that the acid value of the resulting epoxy (meth) acrylate resin is in the range of 10 to 150, and preferably in the range of 20 to 140 The amount is more preferable.
또한, 카르복시기를 갖는 에폭시(메타)아크릴레이트 수지로서 일본국 특개평6-49174호 공보 기재의 나프탈렌 함유 수지; 일본국 특개2003-89716호 공보, 일본국 특개2003-165830호 공보, 일본국 특개2005-325331호 공보, 일본국 특개2001-354735호 공보 기재의 플루오렌 함유 수지; 일본국 특개2005-126674호 공보, 일본국 특개2005-55814호 공보, 일본국 특개2004-295084호 공보 등에 기재된 수지도 예시할 수 있다. 또한, 시판품으로서는, 다이세루가가쿠고교 가부시키가이샤제의 「ACA-200M」 등도 예시할 수 있다.As the epoxy (meth) acrylate resin having a carboxyl group, the naphthalene-containing resin disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-49174; Fluorene-containing resins disclosed in JP-A-2003-89716, JP-A-2003-165830, JP-A-2005-325331, and JP-A-2001-354735; Resins described in JP-A-2005-126674, JP-A-2005-55814, JP-A-2004-295084, etc. may be mentioned. As a commercially available product, "ACA-200M" manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd. may be mentioned.
상기 알칼리 가용성 수지(C)는, 상기의 알칼리 가용성 수지(C1)∼(C4) 중 1종을 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 병용해도 된다. 또한, 알칼리 가용성 수지(C)는, 후술하는 안료 분산제와 병용함으로써, 기판상의 비화소부에 미용해물이 잔존하지 않고, 기판과의 밀착성이 우수한, 고농도의 색 화소를 형성할 수 있기 때문에 바람직하다. 구체적으로는, 알칼리 가용성 수지(C)의 일부를 후술하는 안료 분산제와 함께, 분산 처리 공정에 사용하는 것이 바람직하다. 이 경우, 알칼리 가용성 수지(C)는, 안료에 대하여 5∼200질량%의 범위에서 사용하는 것이 바람직하고, 10∼100질량%의 범위에서 사용하는 것이 보다 바람직하다.As the alkali-soluble resin (C), one of the above-mentioned alkali-soluble resins (C1) to (C4) may be used alone or two or more of them may be used in combination. Further, the alkali-soluble resin (C) is preferably used in combination with a pigment dispersing agent described later, because uncolored portions do not remain in the non-fired portions on the substrate and high color pixels having excellent adhesion with the substrate can be formed. Concretely, it is preferable to use a part of the alkali-soluble resin (C) together with the pigment dispersant described later in the dispersion treatment step. In this case, the alkali-soluble resin (C) is preferably used in an amount of 5 to 200 mass%, more preferably 10 to 100 mass%, based on the pigment.
또한, 본 발명에서 사용하는 알칼리 가용성 수지(C)로서, 상기의 알칼리 가용성 수지(C1)∼(C4) 이외의 알칼리 가용성 수지를 사용해도 된다. 이러한 수지로서, 예를 들면, 산성기로서 페놀성 수산기를 갖는 중합성 단량체를 필수 성분으로서 사용하여 얻어지는 알칼리 가용성 수지나, 산성기로서 설폰산기를 갖는 중합성 단량체를 필수 성분으로서 사용하여 얻어지는 알칼리 가용성 수지 등을 들 수 있다. 여기에서, 상기 페놀성 수산기를 갖는 중합성 단량체로서는, 예를 들면, o-히드록시스티렌, m-히드록시스티렌, p-히드록시스티렌 등을 들 수 있다. 또한, 이들의 단량체의 방향환에 결합한 페놀성 수산기 및 비닐기 이외의 1개 이상의 수소 원자가, 알킬기, 알콕실기, 할로겐 원자, 니트로기, 시아노기, 아미드기로 치환된 화합물 등도 들 수 있다. 또한, 산성기로서 설폰산기를 갖는 중합성 단량체로서는, 예를 들면, 비닐설폰산, 스티렌설폰산, (메타)알릴설폰산, 2-히드록시-3-(메타)알릴옥시프로판설폰산, (메타)아크릴산-2-설포에틸, 또는 이들의 염 등을 들 수 있다.As the alkali-soluble resin (C) used in the present invention, alkali-soluble resins other than the above-mentioned alkali-soluble resins (C1) to (C4) may be used. As such a resin, for example, an alkali soluble resin obtained by using a polymerizable monomer having a phenolic hydroxyl group as an acidic group as an essential component or an alkali soluble resin obtained by using a polymerizable monomer having a sulfonic acid group as an acidic group as essential components Resins and the like. Examples of the polymerizable monomer having a phenolic hydroxyl group include o-hydroxystyrene, m-hydroxystyrene, p-hydroxystyrene, and the like. Also included are compounds in which at least one hydrogen atom other than a phenolic hydroxyl group and a vinyl group bonded to aromatic rings of the monomers is substituted with an alkyl group, an alkoxyl group, a halogen atom, a nitro group, a cyano group or an amide group. Examples of the polymerizable monomer having a sulfonic acid group as the acidic group include vinylsulfonic acid, styrenesulfonic acid, (meth) allylsulfonic acid, 2-hydroxy-3- (meth) allyloxypropanesulfonic acid, Methacrylic acid-2-sulfoethyl, salts thereof, and the like.
본 발명의 레지스트 조성물에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지(C)의 함유 비율은, 도막의 외관이나 기판에의 밀착성이 양호해지므로, 전고형분 중에 0.1∼80질량%의 범위가 바람직하고, 1∼60질량%의 범위가 보다 바람직하다.In the resist composition of the present invention, the content of the alkali-soluble resin (C) is preferably from 0.1 to 80% by mass, more preferably from 1 to 60% by mass, The range of mass% is more preferable.
본 발명에서 사용하는 중합성 화합물(D)로서는, 예를 들면, 에틸렌성 불포화 결합을 한 개 이상 갖는 광중합성 화합물을 예시할 수 있다.As the polymerizable compound (D) used in the present invention, for example, a photopolymerizable compound having at least one ethylenic unsaturated bond can be exemplified.
에틸렌성 불포화 결합을 한 개 갖는 중합성 화합물(D1)로서는, 예를 들면, 상기 (c1), (c2), (c3)으로서 든 화합물 등을 들 수 있다. 그 중에서도, (메타)아크릴산에스테르류가 바람직하다.Examples of the polymerizable compound (D1) having one ethylenically unsaturated bond include the compounds (c1), (c2) and (c3) described above. Among them, (meth) acrylic acid esters are preferable.
에틸렌성 불포화 결합을 두 개 갖는 중합성 화합물(D2)로서는, 예를 들면, 1,3-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 1,3-부탄디올(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 비스페놀A의 비스(아크릴로일옥시에틸)에테르, 에톡시화비스페놀A디(메타)아크릴레이트, 프로폭시화네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 에톡시화네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 3-메틸펜탄디올디(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.Examples of the polymerizable compound (D2) having two ethylenically unsaturated bonds include 1,3-butanediol di (meth) acrylate, 1,3-butanediol (meth) acrylate, 1,6- (Meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (Meth) acrylate, polyethylene glycol diacrylate, bis (acryloyloxyethyl) ether of bisphenol A, ethoxylated bisphenol A di (meth) acrylate, propoxylated neopentyl glycol di Neopentyl glycol di (meth) acrylate, 3-methylpentanediol di (meth) acrylate, and the like.
에틸렌성 불포화 결합을 세 개 갖는 중합성 화합물(D3)로서는, 예를 들면, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 트리스(2-히드록시에틸)이소시아누레이트트리(메타)아크릴레이트, 에톡시화트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 프로폭시화트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트와 산무수물과의 반응물, 카프로락톤 변성 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리스(2-히드록시에틸)이소시아누레이트트리(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트와 산무수물과의 반응물, 카프로락톤 변성 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트와 산무수물과의 반응물 등을 들 수 있다.Examples of the polymerizable compound (D3) having three ethylenically unsaturated bonds include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, tris (2-hydroxyethyl) iso (Meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate and an acid anhydride, and a reaction product of an acid anhydride, Caprolactone-modified pentaerythritol tri (meth) acrylate, caprolactone modified tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate, caprolactone-modified pentaerythritol tri (meth) , A reaction product of caprolactone-modified dipentaerythritol penta (meth) acrylate and an acid anhydride, and the like.
에틸렌성 불포화 결합을 네 개 갖는 중합성 화합물(D4)로서는, 예를 들면, 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 트리펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.Examples of the polymerizable compound (D4) having four ethylenically unsaturated bonds include pentaerythritol tetra (meth) acrylate, tripentaerythritol tetra (meth) acrylate, caprolactone-modified tripentaerythritol tetra Methacrylate, and the like.
에틸렌성 불포화 결합을 다섯 개 이상 갖는 중합성 화합물(D5)로서는, 예를 들면, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 트리펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 트리펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 트리펜타에리트리톨헵타(메타)아크릴레이트, 트리펜타에리트리톨옥타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트와 산무수물과의 반응물, 트리펜타에리트리톨헵타(메타)아크릴레이트와 산무수물 카프로락톤 변성 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리트리톨헵타(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리트리톨옥타(메타)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리트리톨헵타(메타)아크릴레이트와 산무수물 등을 들 수 있다.Examples of the polymerizable compound (D5) having five or more ethylenic unsaturated bonds include dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (metha) acrylate, tripentaerythritol penta Acrylate, tripentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol hexa (metha) acrylate, tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (metha) acrylate, dipentaerythritol penta (Meth) acrylate, caprolactone-modified pentaerythritol tetra (meth) acrylate, caprolactone-modified dipentaerythritol (meth) acrylate, caprolactone- (Meth) acrylate, caprolactone-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, caprolactone-modified tripentaerythritol Caprolactone-modified tripentaerythritol hexa (meth) acrylate, caprolactone-modified tripentaerythritol (meth) acrylate, caprolactone-modified tripentaerythritol octa (metha) acrylate, caprolactone- Caprolactone-modified tripentaerythritol hepta (meth) acrylate and acid anhydride.
또한, 본 발명에서 사용하는 중합성 화합물(D)로서, 광경화성 수지도 예시할 수 있다.As the polymerizable compound (D) used in the present invention, a photo-curable resin may also be mentioned.
상기 광경화성 수지는, 예를 들면, 우레탄(메타)아크릴레이트 수지, 불포화 폴리에스테르 수지, 에폭시(메타)아크릴레이트 수지, 폴리에스테르(메타)아크릴레이트 수지, 아크릴(메타)아크릴레이트 수지, 말레이미드기 함유 수지 등을 들 수 있다.The photocurable resin may be, for example, a urethane (meth) acrylate resin, an unsaturated polyester resin, an epoxy (meth) acrylate resin, a polyester (meth) acrylate resin, an acrylic Containing resin, and the like.
상기 우레탄(메타)아크릴레이트 수지는, 예를 들면, 지방족 폴리이소시아네이트 화합물 또는 방향족 폴리이소시아네이트 화합물과 히드록시기 함유 (메타)아크릴레이트 화합물을 반응시켜 얻어지는 우레탄 결합과 (메타)아크릴로일기를 갖는 수지 등을 들 수 있다.Examples of the urethane (meth) acrylate resin include a resin having a urethane bond and a (meth) acryloyl group obtained by reacting an aliphatic polyisocyanate compound or an aromatic polyisocyanate compound with a hydroxy group-containing (meth) .
상기 지방족 폴리이소시아네이트 화합물로서는, 예를 들면, 테트라메틸렌디이소시아네이트, 펜타메틸렌디이소시아네이트, 헥사메틸렌디이소시아네이트, 헵타메틸렌디이소시아네이트, 옥타메틸렌디이소시아네이트, 데카메틸렌디이소시아네이트, 2-메틸-1,5-펜탄디이소시아네이트, 3-메틸-1,5-펜탄디이소시아네이트, 도데카메틸렌디이소시아네이트, 2-메틸펜타메틸렌디이소시아네이트, 2,2,4-트리메틸헥사메틸렌디이소시아네이트, 2,4,4-트리메틸헥사메틸렌디이소시아네이트, 이소포론디이소시아네이트, 노르보르난디이소시아네이트, 수소첨가 디페닐메탄디이소시아네이트, 수소첨가 톨릴렌디이소시아네이트, 수소첨가 자일릴렌디이소시아네이트, 수소첨가 테트라메틸자일릴렌디이소시아네이트, 시클로헥실디이소시아네이트 등을 들 수 있고, 또한, 방향족 폴리이소시아네이트 화합물로서는, 톨릴렌디이소시아네이트, 4,4'-디페닐메탄디이소시아네이트, 자일릴렌디이소시아네이트, 1,5-나프탈렌디이소시아네이트, 트리진디이소시아네이트, p-페닐렌디이소시아네이트 등을 들 수 있다.Examples of the aliphatic polyisocyanate compound include tetramethylene diisocyanate, pentamethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, heptamethylene diisocyanate, octamethylene diisocyanate, decamethylene diisocyanate, 2-methyl-1,5-pentane Diisocyanate, 3-methyl-1,5-pentane diisocyanate, dodecamethylene diisocyanate, 2-methylpentamethylene diisocyanate, 2,2,4-trimethylhexamethylene diisocyanate, 2,4,4-trimethylhexamethylene Examples of the diisocyanate include diisocyanate, isophorone diisocyanate, norbornane diisocyanate, hydrogenated diphenylmethane diisocyanate, hydrogenated tolylene diisocyanate, hydrogenated xylylene diisocyanate, hydrogenated tetramethyl xylylene diisocyanate, cyclohexyl diisocyanate and the like. In addition, As hyangjok poly isocyanate compound there may be mentioned tolylene diisocyanate, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, xylyl diisocyanate, 1,5-naphthalene diisocyanate, tri aphids diisocyanate, p- phenylene diisocyanate.
상기 히드록시기 함유 (메타)아크릴레이트 화합물로서는, 예를 들면, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 1,5-펜탄디올모노(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올모노(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜모노(메타)아크릴레이트, 히드록시피발산네오펜틸글리콜모노(메타)아크릴레이트 등의 2가 알코올의 모노(메타)아크릴레이트; 트리메틸올프로판디(메타)아크릴레이트, 에톡시화트리메틸올프로판(메타)아크릴레이트, 프로폭시화트리메틸올프로판디(메타)아크릴레이트, 글리세린디(메타)아크릴레이트, 비스(2-(메타)아크릴로일옥시에틸)히드록시에틸이소시아누레이트 등의 3가의 알코올의 모노 또는 디(메타)아크릴레이트, 혹은, 이들의 알코올성 수산기의 일부를 ε-카프로락톤으로 변성한 수산기 함유 모노 및 디(메타)아크릴레이트; 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 디트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트 등의 1관능의 수산기와 3관능 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 화합물, 혹은, 당해 화합물을 추가로 ε-카프로락톤으로 변성한 수산기 함유 다관능 (메타)아크릴레이트; 디프로필렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트 등의 옥시알킬렌쇄를 갖는 (메타)아크릴레이트 화합물; 폴리에틸렌글리콜-폴리프로필렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리옥시부틸렌-폴리옥시프로필렌모노(메타)아크릴레이트 등의 블록 구조의 옥시알킬렌쇄를 갖는 (메타)아크릴레이트 화합물; 폴리(에틸렌글리콜-테트라메틸렌글리콜)모노(메타)아크릴레이트, 폴리(프로필렌글리콜-테트라메틸렌글리콜)모노(메타)아크릴레이트 등의 랜덤 구조의 옥시알킬렌쇄를 갖는 (메타)아크릴레이트 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the hydroxy group-containing (meth) acrylate compound include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2- (Meth) acrylate, 1,6-hexanediol mono (meth) acrylate, neopentyl glycol mono (meth) acrylate, hydroxypivalic acid neo Mono (meth) acrylates of divalent alcohols such as pentyl glycol mono (meth) acrylate; Acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, ethoxylated trimethylolpropane (meth) acrylate, propoxylated trimethylolpropane di (meth) acrylate, glycerin di Mono or di (meth) acrylates of trihydric alcohols such as ethyl (meth) acrylate, di (meth) acryloyloxyethyl (meth) acrylate, and hydroxyethyl isocyanurate, or mono- or di (meth) acrylates containing hydroxyl groups modified with ε-caprolactone ) Acrylate; (Meth) acryloyl group having three or more functional groups such as pentaerythritol tri (meth) acrylate, ditrimethylol propane tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta , Or a hydroxyl group-containing polyfunctional (meth) acrylate in which the compound is further modified with? -Caprolactone; (Meth) acrylate having an oxyalkylene chain such as dipropylene glycol mono (meth) acrylate, diethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, and polyethylene glycol mono compound; (Meth) acrylate compounds having an oxyalkylene chain having a block structure such as polyethylene glycol-polypropylene glycol mono (meth) acrylate and polyoxybutylene-polyoxypropylene mono (meth) acrylate; A (meth) acrylate compound having a random oxyalkylene chain such as poly (ethylene glycol-tetramethylene glycol) mono (meth) acrylate and poly (propylene glycol-tetramethylene glycol) mono .
상기한 지방족 폴리이소시아네이트 화합물 또는 방향족 폴리이소시아네이트 화합물과 히드록시기 함유 (메타)아크릴레이트 화합물과의 반응은, 예를 들면, 우레탄화 촉매의 존재 하, 상법(常法)에 의해 행할 수 있다. 여기에서 사용할 수 있는 우레탄화 촉매는, 구체적으로는, 피리딘, 피롤, 트리에틸아민, 디에틸아민, 디부틸아민 등의 아민류; 트리페닐포스핀, 트리에틸포스핀 등의 포스핀류; 디부틸주석디라우레이트, 옥틸주석트리라우레이트, 옥틸주석디아세테이트, 디부틸주석디아세테이트, 옥틸산주석 등의 유기 주석 화합물; 옥틸산아연 등의 유기 금속 화합물을 들 수 있다.The reaction of the aliphatic polyisocyanate compound or aromatic polyisocyanate compound with the hydroxy group-containing (meth) acrylate compound can be carried out, for example, in the presence of an urethane-forming catalyst by a conventional method. Specific examples of the urethanization catalyst which can be used herein include amines such as pyridine, pyrrole, triethylamine, diethylamine and dibutylamine; Phosphines such as triphenylphosphine and triethylphosphine; Organotin compounds such as dibutyltin dilaurate, octyltin dilaurate, octyltin diacetate, dibutyltin diacetate, and tin octylate; And organometallic compounds such as zinc octylate.
이들의 우레탄(메타)아크릴레이트 수지 중에서도 특히 지방족 폴리이소시아네이트 화합물과 히드록시기 함유 (메타)아크릴레이트 화합물을 반응시켜 얻어지는 것이 경화 도막의 투명성이 우수하며, 또한, 활성 에너지선에 대한 감도가 양호하고 경화성이 우수한 점에서 바람직하다.Among these urethane (meth) acrylate resins, particularly those obtained by reacting an aliphatic polyisocyanate compound with a hydroxy group-containing (meth) acrylate compound are excellent in transparency of the cured coating film, have good sensitivity to active energy rays, It is preferable in terms of excellence.
다음으로, 불포화 폴리에스테르 수지는, 예를 들면, α,β-불포화 이염기산 또는 그 산무수물, 당해 이염기산 또는 그 산무수물 이외의 이염기산 및, 글리콜류의 중축합에 의해 얻어지는 경화성 수지 등을 들 수 있다. α,β-불포화 이염기산 또는 그 산무수물로서는, 예를 들면, 말레산, 무수말레산, 푸마르산, 이타콘산, 시트라콘산, 클로로말레산, 및 이들의 에스테르 등을 들 수 있다.Next, the unsaturated polyester resin can be obtained, for example, by reacting an α, β-unsaturated dibasic acid or an acid anhydride thereof, a dibasic acid other than the dibasic acid or its acid anhydride and a curing resin obtained by polycondensation of glycols . Examples of the?,? - unsaturated dibasic acid or its acid anhydride include maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, citraconic acid, chloromaleic acid, and esters thereof.
α,β-불포화이염기산 또는 그 산무수물 이외의 이염기산이나 그 산무수물로서는, 예를 들면, 방향족 포화 이염기산, 지방족 이염기산, 지환족 포화 이염기산 및 이들의 산무수물 등을 들 수 있다. 방향족 포화 이염기산 또는 그 산무수물로서는, 예를 들면, 프탈산, 무수프탈산, 이소프탈산, 테레프탈산, 니트로프탈산, 테트라히드로무수프탈산, 엔도메틸렌테트라히드로무수프탈산, 할로겐화무수프탈산 및 이들의 에스테르 등을 들 수 있다. 지방족 이염기산, 지환족 포화 이염기산 및 이들의 산무수물로서는, 예를 들면, 옥살산, 말론산, 숙신산, 아디프산, 세바스산, 아젤라산, 글루타르산, 헥사히드로무수프탈산 및 이들의 에스테르 등을 들 수 있다. 글리콜류로서는, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 디프로필렌글리콜, 1,3-부탄디올, 1,4-부탄디올, 2-메틸프로판-1,3-디올, 네오펜틸글리콜, 트리에틸렌글리콜, 테트라에틸렌글리콜, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 비스페놀A, 수소화 비스페놀A, 에틸렌글리콜카보네이트, 2,2-디-(4-히드록시프로폭시디페닐)프로판 등을 들 수 있고, 그 밖에 에틸렌옥사이드, 프로필렌옥사이드 등의 산화물도 마찬가지로 사용할 수 있다.Examples of the dibasic acids and their acid anhydrides other than the?,? - unsaturated dibasic acids or their acid anhydrides include aromatic saturated dibasic acids, aliphatic dibasic acids, alicyclic saturated dibasic acids and their acid anhydrides. Examples of the aromatic saturated dibasic acid or its acid anhydride include phthalic acid, phthalic anhydride, isophthalic acid, terephthalic acid, nitrophthalic acid, tetrahydrophthalic anhydride, endomethylenetetrahydrophthalic anhydride, halogenated phthalic anhydride and esters thereof have. Examples of the aliphatic dibasic acids, alicyclic saturated dibasic acids and their acid anhydrides include oxalic acid, malonic acid, succinic acid, adipic acid, sebacic acid, azelaic acid, glutaric acid, hexahydrophthalic anhydride and esters thereof . Examples of glycols include ethylene glycol, propylene glycol, diethylene glycol, dipropylene glycol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 2-methylpropane-1,3-diol, neopentyl glycol, triethylene glycol, tetra Ethylene glycol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, bisphenol A, hydrogenated bisphenol A, ethylene glycol carbonate and 2,2-di- (4-hydroxypropoxydiphenyl) propane , And oxides such as ethylene oxide and propylene oxide may be used as well.
다음으로, 에폭시비닐에스테르 수지로서는, 예를 들면, 비스페놀A형 에폭시 수지, 비스페놀F형 에폭시 수지, 페놀노볼락형 에폭시 수지, 크레졸노볼락형 에폭시 수지 등의 에폭시 수지의 에폭시기에 (메타)아크릴산을 반응시켜 얻어지는 것 등을 들 수 있다.Next, examples of the epoxy vinyl ester resin include (meth) acrylic acid in the epoxy group of an epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin and cresol novolak type epoxy resin And the like.
말레이미드기 함유 수지로서는, 예를 들면, N-히드록시에틸말레이미드와 이소포론디이소시아네이트를 우레탄화해서 얻어지는 2관능 말레이미드우레탄 화합물, 말레이미드아세트산과 폴리테트라메틸렌글리콜을 에스테르화해서 얻어지는 2관능 말레이미드에스테르 화합물, 말레이미드카프론산과 펜타에리트리톨의 테트라에틸렌옥사이드 부가물을 에스테르화해서 얻어지는 4관능 말레이미드에스테르 화합물, 말레이미드아세트산과 다가 알코올 화합물을 에스테르화해서 얻어지는 다관능 말레이미드에스테르 화합물 등을 들 수 있다. 이들의 활성 에너지선 경화형 수지는, 단독으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다.Examples of the maleimide group-containing resin include a bifunctional maleimide urethane compound obtained by urethane-forming N-hydroxyethyl maleimide and isophorone diisocyanate, a bifunctional maleimide urethane compound obtained by esterifying maleimide acetic acid and polytetramethylene glycol A maleimide ester compound, a quadrivalent maleimide ester compound obtained by esterifying maleimide caproic acid and a tetraethylene oxide adduct of pentaerythritol, a polyfunctional maleimide ester compound obtained by esterifying maleimide acetic acid and a polyhydric alcohol compound . These active energy ray-curable resins may be used alone or in combination of two or more.
본 발명에서 사용하는 중합성 화합물(D) 중에서도 특히 도막층의 경도가 우수한 점에서 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트 등의 3관능 이상의 다관능(메타)아크릴레이트가 바람직하다. 이들의 중합성 화합물(D)은, 단독으로 사용할 수도 2종 이상 병용할 수도 있다.Among the polymerizable compounds (D) used in the present invention, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (Meth) acrylate such as pentaerythritol tetra (meth) acrylate and trifunctional or more polyfunctional (meth) acrylate such as pentaerythritol tetra These polymerizable compounds (D) may be used alone or in combination of two or more.
중합성 화합물(D)의 합계 함유량은, 레지스트 조성물의 고형분에 대하여, 10∼50질량%가 바람직하고, 15∼50질량%가 보다 바람직하다. 중합성 화합물(D)의 합계 함유량이 상기의 범위에 있으면, 감도나, 도막층의 강도나 평활성, 신뢰성이 양호해지는 경향이 있다.The total content of the polymerizable compound (D) is preferably from 10 to 50 mass%, more preferably from 15 to 50 mass%, based on the solid content of the resist composition. When the total content of the polymerizable compound (D) is in the above range, the sensitivity and the strength, smoothness and reliability of the coating layer tend to be improved.
중합성 화합물(D) 중에서도 중합성 화합물(D5)의 함유량은, 레지스트 조성물의 고형분에 대하여, 1∼50질량%가 바람직하고, 5∼40질량%가 보다 바람직하고, 5∼35질량%가 특히 바람직하다. 중합성 화합물(D5)의 함유량이 상기의 범위에 있으면, 감도나, 도막층의 강도나 평활성, 신뢰성이 양호해지는 경향이 있다.The content of the polymerizable compound (D5) in the polymerizable compound (D) is preferably from 1 to 50 mass%, more preferably from 5 to 40 mass%, and particularly preferably from 5 to 35 mass%, based on the solid content of the resist composition, desirable. When the content of the polymerizable compound (D5) is in the above range, the sensitivity and the strength, smoothness and reliability of the coating film layer tend to be good.
또한, 중합성 화합물(D) 중에서도 중합성 화합물(D5)의 함유량은, 중합성 화합물(D1), (D2), (D3), (D4) 및 (D5)의 합계량에 대하여, 10∼95질량%가 바람직하고, 20∼90질량%가 보다 바람직하다. 중합성 화합물(D5)의 함유량이, 상기의 범위에 있으면, 감도나, 도막층의 강도나 평활성, 신뢰성이 양호해지는 경향이 있다.The content of the polymerizable compound (D5) in the polymerizable compound (D) is preferably 10 to 95 mass% (based on the total amount of the polymerizable compounds (D1), (D2), (D3), (D4) %, More preferably from 20 to 90 mass%. When the content of the polymerizable compound (D5) is in the above range, the sensitivity, the strength, smoothness and reliability of the coating film layer tend to be good.
상기 레지스트 조성물의 제조 방법은, 상기한 바와 같이, 본 발명의 제1발명인 랜덤 공중합체(A)를 얻는 공정과, 당해 랜덤 공중합체(A)와 안료(B)와 알칼리 가용성 수지(C)와 중합성 화합물(D)을 혼합하는 공정을 함유한다. 본 발명의 레지스트 조성물의 제조 방법에 있어서, 착색제(B)로서 안료를 사용할 경우, 상기 랜덤 공중합체(A)와 착색제(B)와 알칼리 가용성 수지(C)와 중합성 화합물(D)을 혼합할 때에는, 분산제를 사용하여 유기 용제 중에서 분산시켜 조제한 안료 분산액을 착색제(B)로서 사용하는 것이 양호한 분산성이 얻어지고, 원하는 색상이 얻어지므로 바람직하다.The method of producing the resist composition comprises the steps of obtaining the random copolymer (A) as the first invention of the present invention and the step of mixing the random copolymer (A), the pigment (B), the alkali- And a step of mixing the polymerizable compound (D). In the method for producing a resist composition of the present invention, when the pigment is used as the colorant (B), the random copolymer (A), the colorant (B), the alkali-soluble resin (C) and the polymerizable compound , It is preferable to use a pigment dispersion prepared by dispersing the pigment dispersion in an organic solvent using a dispersant as the colorant (B) because a good dispersibility is obtained and a desired color is obtained.
상기 분산제로서는, 예를 들면, 계면활성제; 안료의 중간체 혹은 유도체; 폴리아미드계 수지, 폴리우레탄계 수지, 폴리에스테르계 수지, 아크릴계 수지 등의 수지형 분산제 등을 들 수 있다. 이들 안료 분산제 중에서도, 수지형 분산제가 바람직하고, 아크릴계 수지형의 분산제가 보다 바람직하고, 주쇄(主鎖) 또는 측쇄(側鎖)에 N,N-디치환 아미노기 및 산성기를 갖는 아크릴계 중합체를 함유하는 수지형 분산제가 더 바람직하다. 이러한 수지형 분산제의 시판품으로서는, 예를 들면, 빅케미사제의 「BYK-160」, 「BYK-161」, 「BYK-2001」, 에프카케미컬즈사제의 「에프카 46」, 아지노모또파인테크노 가부시키가이샤제의 「아지스파 PB-814」 등을 들 수 있다. 이들의 분산제는, 단독으로 사용할 수도, 2종 이상을 병용할 수도 있다.As the dispersing agent, for example, a surfactant; Intermediates or derivatives of pigments; And resinous dispersants such as polyamide resins, polyurethane resins, polyester resins and acrylic resins. Among these pigment dispersants, a resinous dispersant is preferable, an acrylic resin-type dispersant is more preferable, and an acrylic polymer having an N, N-disubstituted amino group and an acidic group in the main chain or side chain A resinous dispersant is more preferred. Examples of commercial products of such a resinous dispersant include BYK-160, BYK-161, BYK-2001 from BIG Chemie, Efka 46 from AFC Chemical Industries, Aji Spa PB-814 " manufactured by Techno Corporation. These dispersants may be used alone or in combination of two or more.
상기 안료 분산액의 조제시에 사용되는 유기 용제로서는, 예를 들면, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 등의 아세트산에스테르계 용제; 에톡시프로피오네이트 등의 프로피오네이트계 용제; 톨루엔, 자일렌, 메톡시벤젠 등의 방향족계 용제; 부틸셀로솔브, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르 등의 에테르계 용제; 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥산온 등의 케톤계 용제; 헥산 등의 지방족 탄화수소계 용제; N,N-디메틸포름아미드, γ-부티로락탐, N-메틸-2-피롤리돈 등의 질소 화합물계 용제; γ-부티로락톤 등의 락톤계 용제; 카르밤산에스테르 등을 들 수 있다. 이들의 용제는, 단독으로 사용할 수도, 2종 이상을 병용할 수도 있다.Examples of the organic solvent used for preparing the pigment dispersion include acetic acid ester solvents such as propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monoethyl ether acetate; Propionate-based solvents such as ethoxypropionate; Aromatic solvents such as toluene, xylene and methoxybenzene; Ether solvents such as butyl cellosolve, propylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol ethyl ether and diethylene glycol dimethyl ether; Ketone solvents such as methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; Aliphatic hydrocarbon solvents such as hexane; Nitrogen-based solvents such as N, N-dimethylformamide,? -Butyrolactam and N-methyl-2-pyrrolidone; lactone type solvents such as? -butyrolactone; And carbamic acid esters. These solvents may be used alone or in combination of two or more.
상기 안료 분산액의 조제 방법으로서는, 예를 들면, 안료의 혼련 분산 공정과 미분산 공정을 거치는 방법, 미분산 공정만 행하는 방법 등을 들 수 있다.Examples of the method for preparing the pigment dispersion include a method in which the pigment is subjected to a kneading and dispersing step and a microdispersion step, and a method in which only a microdispersion step is carried out.
상기 혼련 분산 공정에서는, 안료, 알칼리 가용성 수지(C) 및 필요에 따라 상기 분산제를 혼합하고 혼련한다. 혼련에 사용하는 기계는, 예를 들면 2개 롤, 3개 롤, 볼 밀, 토론 밀, 디스퍼, 니더, 코니더, 호모지나이저, 블렌더, 단축 혹은 이축의 압출기 등을 혼련기로서 사용할 수 있고, 이들의 혼련기를 사용하여 강한 전단력을 가하면서 분산함으로써 안료를 상기 알칼리 가용성 수지(C) 중에 분산할 수 있다. 또한, 안료를 상기의 혼련을 행하기 전에, 솔트밀링법 등에 의해 입자 사이즈를 미세화해 두는 것이 바람직하다. 여기에서, 상기 알칼리 가용성 수지는, 본 발명의 레지스트 조성물의 제조 방법에서 사용하는 전량을 사용해도 되고, 일부를 사용해도 된다.In the kneading and dispersing step, the pigment, the alkali-soluble resin (C) and, if necessary, the dispersing agent are mixed and kneaded. As a kneading machine, for example, two rolls, three rolls, a ball mill, a discussion mill, a disperser, a kneader, a coneerator, a homogenizer, a blender, a single or twin extruder, , And the pigment can be dispersed in the alkali-soluble resin (C) by dispersing the mixture while applying a strong shearing force using the kneader. It is also preferable that the particle size is made finer by a salt milling method or the like before the above-mentioned kneading of the pigment. Here, the alkali-soluble resin may be the whole amount used in the method for producing a resist composition of the present invention, or a part thereof may be used.
상기 미분산 공정에서는, 상기 혼련 분산 공정에서 얻어진 안료를 포함하는 조성물에 유기 용제를 더한 것, 또는, 안료, 알칼리 가용성 수지(C) 용제 및 필요에 따라 상기 분산제를 혼합한 것을, 유리, 지르코니아나 세라믹의 미립(微粒)의 분산용 미디어와 함께 분산기를 사용하여 혼합 분산함으로써, 안료의 입자를 일차 입자에 가까운 미소한 상태에까지 분산할 수 있다.In the micro-dispersion step, an organic solvent is added to a composition containing the pigment obtained in the kneading and dispersing step, or a mixture of the pigment, the alkali-soluble resin (C) and, if necessary, the dispersing agent is mixed with glass, zirconia It is possible to disperse the particles of the pigment into a minute state close to the primary particles by mixing and dispersing the fine particles of the ceramics together with the dispersion medium using a dispersing machine.
상기 유기 용제로서는, 예를 들면, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 등의 아세트산에스테르계 용제; 에톡시프로피오네이트 등의 프로피오네이트계 용제; 톨루엔, 자일렌, 메톡시벤젠 등의 방향족계 용제; 부틸셀로솔브, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르 등의 에테르계 용제; 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥산온 등의 케톤계 용제; 헥산 등의 지방족 탄화수소계 용제; N,N-디메틸포름아미드, γ-부티로락탐, N-메틸-2-피롤리돈 등의 질소 화합물계 용제; γ-부티로락톤 등의 락톤계 용제; 카르밤산에스테르 등을 들 수 있다. 이들의 용제는, 단독으로 사용할 수도, 2종 이상을 병용할 수도 있다.Examples of the organic solvent include acetic acid ester solvents such as propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monoethyl ether acetate; Propionate-based solvents such as ethoxypropionate; Aromatic solvents such as toluene, xylene and methoxybenzene; Ether solvents such as butyl cellosolve, propylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol ethyl ether and diethylene glycol dimethyl ether; Ketone solvents such as methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; Aliphatic hydrocarbon solvents such as hexane; Nitrogen-based solvents such as N, N-dimethylformamide,? -Butyrolactam and N-methyl-2-pyrrolidone; lactone type solvents such as? -butyrolactone; And carbamic acid esters. These solvents may be used alone or in combination of two or more.
상기 안료의 일차 입자의 평균 입자경은, 10∼100㎚인 것이 바람직하고, 10∼60㎚인 것이 보다 바람직하다. 또한, 이 안료(B)의 평균 입자경은, 동적 광산란식의 입도 분포계로 측정한 것이며, 예를 들면, 니키소 가부시키가이샤제의 나노트랙(Nanotrac) 입도 분포 측정 장치 「UPA-EX150」, 「UPA-EX250」 등으로 측정할 수 있다.The average particle diameter of the primary particles of the pigment is preferably 10 to 100 nm, more preferably 10 to 60 nm. The average particle size of the pigment (B) is measured with a particle size distribution meter of a dynamic light scattering type. For example, the average particle size of the pigment (B) is measured by a Nanotrac particle size distribution measuring device " UPA-EX150 & UPA-EX250 " or the like.
상기 레지스트 조성물의 제조 방법에 있어서, 랜덤 공중합체(A)와, 착색제(B)와, 알칼리 가용성 수지(C)와, 중합성 화합물(D)을 혼합시킬 때에는, 고형분 환산으로 각각 0.0001∼10질량부, 5∼80질량부, 0.1∼80질량부, 5∼80질량부가 되도록 혼합시키는 것이 바람직하고, 각각 0.001∼5질량부, 5∼70질량부, 1∼60질량부, 10∼70질량부가 보다 바람직하다.When the random copolymer (A), the colorant (B), the alkali-soluble resin (C) and the polymerizable compound (D) are mixed in the method for producing a resist composition, 0.0001 to 10 mass Preferably from 5 to 80 parts by mass, from 0.1 to 80 parts by mass, and from 5 to 80 parts by mass, and preferably from 0.001 to 5 parts by mass, from 5 to 70 parts by mass, from 1 to 60 parts by mass, More preferable.
상기 레지스트 조성물의 제조 방법에 있어서, 랜덤 공중합체(A)와, 착색제(B)와, 알칼리 가용성 수지(C)와, 중합성 화합물(D)을 혼합시킬 때에는, 각종 방법을 이용해도 된다. 구체적으로는, 예를 들면 진탕기, 페인트 쉐이커, 교반 날개를 이용한 교반 등의 방법을 이용하여 혼합하면 되고, 혼합할 때에 필요에 따라 유기 용제를 첨가시켜도 된다. 유기 용제는, 예를 들면, 상기 안료 분산액의 조정시에 사용할 수 있는 유기 용제를 사용할 수 있다. 유기 용제의 사용량은, 예를 들면, 도막층 형성 성분 100질량부에 대하여 통상 100∼1000질량부이다.When the random copolymer (A), the colorant (B), the alkali-soluble resin (C) and the polymerizable compound (D) are mixed in the method of producing the resist composition, various methods may be used. Concretely, for example, they may be mixed by using a shaker, a paint shaker, stirring using a stirring blade, or the like, and an organic solvent may be added as needed during mixing. As the organic solvent, for example, an organic solvent which can be used for adjusting the pigment dispersion can be used. The amount of the organic solvent to be used is, for example, generally 100 to 1000 parts by mass based on 100 parts by mass of the coating film layer forming component.
후술하는 바와 같이, 상기 레지스트 조성물의 제조 방법으로 얻어지는 레지스트 조성물은 자외선 등의 활성 에너지선을 조사하여, 경화시키기 위해, 통상, 중합개시제를 배합한다. 중합개시제는 본 발명의 레지스트 조성물의 제조 방법에 있어서, 랜덤 공중합체(A)와, 착색제(B)와, 알칼리 가용성 수지(C) 및 중합성 화합물(D)을 혼합시킬 때에 혼합해도 되고, (A)와 (B)와 (C)와 (D)를 혼합하여 얻어지는 레지스트 조성물에 혼합해도 된다.As described later, the resist composition obtained by the method for producing a resist composition usually contains a polymerization initiator in order to irradiate active energy rays such as ultraviolet rays and cure. The polymerization initiator may be mixed when the random copolymer (A), the colorant (B), the alkali-soluble resin (C) and the polymerizable compound (D) are mixed in the process for producing a resist composition of the present invention (A), (B), (C) and (D).
상기 중합개시제로서는, 예를 들면, 벤조페논, 아세토페논, 벤조인, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소부틸에테르, 벤질메틸케탈, 아조비스이소부티로니트릴, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐-1-온, 1-(4'-이소프로필 페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-(4'-도데실페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 3,3',4,4'-테트라(t-부틸퍼옥시카르보닐)벤조페논, 4,4''-디에틸이소프탈로펜, 2,2-디메톡시-1,2-디페닐에탄-1-온, 벤조인이소프로필에테르, 티오잔톤, 2-클로로티오잔톤, 2-메틸티오잔톤, 2-이소프로필티오잔톤, 2-메틸-1[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온-1, 비스(2,6-디메톡시벤조일)-2,4,4-트리메틸-펜틸포스핀옥사이드, 비스(2,4,6,-트리메틸벤조일)-페닐포스핀옥사이드, 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드 등을 들 수 있고, 단독으로도 2종 이상을 병용해도 된다. 이들 중에서도, 상기 착색제(B)의 영향을 비교적 받기 어렵고, 높은 경화성을 나타내지만 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온-1이 바람직하다.Examples of the polymerization initiator include benzophenone, acetophenone, benzoin, benzoin ethyl ether, benzoin isobutyl ether, benzyl methyl ketal, azobisisobutyronitrile, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2 (4'-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4'-dodecylphenyl) 2-methylpropan-1-one, 3,3 ', 4,4'-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 4,4'-diethylisophthalo 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2-methylthioxanthone, -Methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1-one, 2-benzyl- Bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, 2,4,6- And the like one trillion days diphenyl phosphine oxide, alone also may be used in combination of two or more. Of these, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 is preferable, although it is relatively difficult to receive the influence of the colorant (B) and exhibits high curability.
상기 중합개시제의 배합량은, 착색제(B), 알칼리 가용성 수지(C) 및 중합성 화합물(D)의 합계 100질량부에 대하여, 0.01∼15질량부의 범위인 것이 바람직하고, 0.3∼7질량부의 범위인 것이 보다 바람직하다.The blending amount of the polymerization initiator is preferably in the range of 0.01 to 15 parts by mass, more preferably in the range of 0.3 to 7 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total of the colorant (B), the alkali-soluble resin (C) and the polymerizable compound (D) Is more preferable.
또한, 본 발명의 제조 방법으로 얻어지는 레지스트 조성물에는, 필요에 따라 아민 화합물 또는 인 화합물 등의 광증감제를 첨가하여, 광중합을 촉진할 수도 있다.In addition, a photosensitizer such as an amine compound or a phosphorus compound may be added to the resist composition obtained by the production method of the present invention to promote photopolymerization.
또한, 본 발명의 제조 방법으로 얻어지는 레지스트 조성물은, 용도, 특성 등의 목적에 따라, 본 발명의 효과를 훼손하지 않는 범위에서, 유기 용제, 중합 금지제, 대전 방지제, 소포제, 점도 조정제, 내광 안정제, 내열 안정제, 산화 방지제 등의 첨가제를 배합할 수 있다.The resist composition obtained by the production method of the present invention may contain an organic solvent, a polymerization inhibitor, an antistatic agent, a defoaming agent, a viscosity adjusting agent, a light stabilizer , A heat stabilizer, an antioxidant, and the like.
상기 유기 용제로서는, 예를 들면, 상기 안료 분산액의 조제 방법으로 사용할 수 있는 유기 용제 등을 들 수 있다. 유기 용매의 사용량은, 용도나 목적으로 하는 막두께나 점도에 따라 다르지만, 상기 알칼리 가용성 수지(C) 및 중합성 화합물(D)의 합계에 대하여, 질량 기준으로, 0.5∼6배량의 범위인 것이 바람직하다.Examples of the organic solvent include an organic solvent that can be used as a method for preparing the pigment dispersion. The amount of the organic solvent to be used varies depending on the intended use and the intended film thickness or viscosity, but is preferably in the range of 0.5 to 6 times the mass of the total of the alkali-soluble resin (C) and the polymerizable compound (D) desirable.
상기 중합 금지제로서는, 예를 들면, 하이드로퀴논, p-메톡시페놀, 디-t-부틸-p-크레졸, 피로갈롤, t-부틸카테콜, 벤조퀴논, 4,4'-티오비스(3-메틸-6-t-부틸페놀), 2,2'-메틸렌비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), N-니트로소페닐히드록시아민 제1 세륨염 등을 들 수 있다.Examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4'-thiobis Methyl-6-t-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol) and N-nitrosophenylhydroxyamine cerium salt.
상기 대전 방지제로서는, 예를 들면, 폴리옥시에틸렌알킬에테르, 폴리옥시에틸렌알킬페놀, 폴리옥시에틸렌알킬아민, 폴리옥시에틸렌알킬아미드, 지방산 폴리에틸렌글리콜에스테르, 지방산 소르비탄에스테르, 폴리옥시에틸렌 지방산 소르비탄에스테르, 지방산 글리세린에스테르, 알킬폴리에틸렌이민 등의 비이온계 대전 방지제, 알킬아민염, 알킬 제4급 암모늄염, 알킬이미다졸린 유도체 등의 양이온계 대전 방지제 등을 들 수 있다.Examples of the antistatic agent include polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene alkylphenol, polyoxyethylene alkylamine, polyoxyethylene alkylamide, fatty acid polyethylene glycol ester, fatty acid sorbitan ester, polyoxyethylene fatty acid sorbitan ester , Nonionic antistatic agents such as fatty acid glycerin esters and alkylpolyethyleneimines, cationic antistatic agents such as alkylamine salts, alkyl quaternary ammonium salts and alkylimidazoline derivatives, and the like.
상기 소포제로서는, 예를 들면, 실리콘계 소포제나, 불소계 소포제, 비이온계 계면활성제, 폴리에테르, 고급 알코올, 폴리머계 계면활성제 등을 들 수 있다.Examples of the defoaming agent include silicone defoaming agents, fluorine defoaming agents, nonionic surfactants, polyethers, higher alcohols, and polymer surfactants.
상기 점도 조정제로서는, 예를 들면, 알칼리성으로 조정함으로써 증점 가능한 아크릴 중합체나 합성 고무 라텍스, 분자가 회합함으로써 증점 가능한 우레탄 수지, 히드록시에틸셀룰로오스, 카르복시메틸셀룰로오스, 메틸셀룰로오스, 폴리비닐알코올, 수(水)첨가 피마자유(油), 아마이드 왁스, 산화 폴리에틸렌, 금속 비누, 디벤질리덴소르비톨 등을 들 수 있다.As the viscosity adjusting agent, for example, an acrylic polymer or a synthetic rubber latex which can be thickened by adjusting to an alkaline state, a urethane resin capable of thickening by association of molecules, hydroxyethylcellulose, carboxymethylcellulose, methylcellulose, polyvinyl alcohol, ) Oil, amide wax, polyethylene oxide, metal soap, dibenzylidene sorbitol and the like.
상기 내(耐)광안정제로서는, 예를 들면, 힌더드아민계 화합물, 인계 화합물, 시아노아크릴레이트계 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the anti-light stabilizer include hindered amine compounds, phosphorus compounds, cyanoacrylate compounds, and the like.
상기 내열안정제로서는, 예를 들면, 1,3,5-트리메틸-2,4,6-트리스(3,5-디-t-부틸-4-히드록시벤질)벤젠, 1,1,3-트리스(2-메틸-4-히드록시-5-5-t-부틸페닐)부탄, N,N'-헥사메틸렌비스(3,5-디-t-부틸-4-히드록시신남산아미드), 4,4'-비스(2,6-디-t-부틸페놀), 2,2'-메틸렌비스(4-에틸-6-t-부틸페놀), 펜타에리트리틸-테트라키스[3-(3,5-디-t-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트] 등의 힌더드페놀류; N,N'-비스(β-나프틸)-p-페닐렌디아민, N-N'-디페닐-p-페닐렌디아민, 폴리(2,2,4-트리메틸-1,2-디히드로퀴놀린) 등의 방향족 아민류; 디라우릴티오디프로피오네이트 등의 황 화합물; 트리스(2,4-디-t-부틸페닐)포스파이트 등의 인 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the heat resistant stabilizer include 1,3,5-trimethyl-2,4,6-tris (3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) benzene, 1,1,3- N, N'-hexamethylenebis (3,5-di-t-butyl-4-hydroxycinnamic acid amide), 4 , 2,2'-methylenebis (4-ethyl-6-t-butylphenol), pentaerythrityl-tetrakis [3- (3 , 5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate]; N, N'-diphenyl-p-phenylenediamine, poly (2,2,4-trimethyl-1,2-dihydroquinoline ); Sulfur compounds such as dilauryl thiodipropionate; Tris (2,4-di-t-butylphenyl) phosphite, and the like.
상기 산화 방지제로서는, 예를 들면, 힌더드페놀계 산화 방지제, 힌더드아민계 산화 방지제, 유기 황계 산화 방지제, 인산에스테르계 산화 방지제 등을 들 수 있다.Examples of the antioxidant include a hindered phenol-based antioxidant, a hindered amine-based antioxidant, an organic sulfur-based antioxidant, and a phosphoric acid ester-based antioxidant.
본 발명은 컬러 필터를 제공할 수 있다. 당해 컬러 필터는, 예를 들면, 불소 원자가 직접 결합한 탄소 원자의 수가 1∼6인 불소화 알킬기와 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a1)와 가교환 탄화수소의 골격과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a2)를, 중합성 단량체(a1)와 중합성 단량체(a2)의 공존 하에서 리빙 라디칼 중합함으로써 함불소 중합체(A)를 얻는 공정과, 당해 함불소 중합체(A)와 착색제(B)와 알칼리 가용성 수지(C)와 중합성 화합물(D)을 혼합하여 레지스트 조성물을 얻는 공정과, 당해 레지스트 조성물의 도막층을 기판상에 형성하는 공정을 포함하는 컬러 필터의 제조 방법에 의해 얻을 수 있다. 함불소 중합체(A)를 얻는 공정은, 본 발명의 랜덤 공중합체의 제조 방법에 상당하는 공정이다.The present invention can provide a color filter. The color filter can be obtained, for example, by polymerizing a polymerizable monomer (a1) having a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms directly bonded with a fluorine atom and a polymerizable unsaturated group, a polymerizable monomer (a1) having a skeleton of a crosslinked ring hydrocarbon and a polymerizable monomer (a2) is subjected to living radical polymerization in the presence of a polymerizable monomer (a1) and a polymerizable monomer (a2) to obtain a fluoropolymer (A), and a step of mixing the fluoropolymer (A), the colorant A step of mixing a soluble resin (C) with a polymerizable compound (D) to obtain a resist composition, and a step of forming a coat layer of the resist composition on a substrate. The step of obtaining the fluorine-containing polymer (A) corresponds to the method of producing the random copolymer of the present invention.
상기 컬러 필터는, 예를 들면, 이하의 공정을 포함하는 제조 방법으로 제조할 수 있다.The color filter can be manufactured, for example, by a manufacturing method including the following steps.
(1) 본 발명의 랜덤 공중합체의 제조 방법으로 랜덤 공중합체(A)를 얻는 공정.(1) A step of obtaining the random copolymer (A) by the process for producing the random copolymer of the present invention.
(2) 상기 공정에서 얻어진 랜덤 공중합체(A)와, 착색제(B)와, 알칼리 가용성 수지(C)와, 중합성 화합물(D)을 혼합하고, 레지스트 조성물을 얻는 공정.(2) A step of mixing the random copolymer (A), the colorant (B), the alkali-soluble resin (C) and the polymerizable compound (D) obtained in the above step to obtain a resist composition.
(3) 상기 레지스트 조성물의 도막층을 기판상에 형성하고, 도막층을 갖는 기판을 얻는 공정.(3) A step of forming a coating film layer of the resist composition on a substrate to obtain a substrate having a coating film layer.
(4) 상기 도막층을 건조(프리베이킹)시키고, 건조한 도막층을 갖는 기판을 얻는 공정.(4) A step of drying (prebaking) the coating film layer to obtain a substrate having a dried coating film layer.
(5) 상기 건조한 도막층상에 포토 마스크를 사용하여 원하는 패턴을 노광하는 공정.(5) A step of exposing a desired pattern onto the dried coat layer using a photomask.
(6) 알칼리 현상액을 사용하여 현상 처리를 행하는 공정.(6) A step of performing development processing using an alkali developing solution.
(7) 증류수로 세정(린스) 후, 건조하는 공정.(7) Rinsing with distilled water and drying.
상기 기판으로서는, 투명하고 적당한 강도의 것이면, 그 재질은 특별히 한정되는 것이 아니다. 재질로서는, 예를 들면, 폴리에틸렌테레프탈레이트 등의 폴리에스테르계 수지; 폴리프로필렌, 폴리에틸렌 등의 폴리올레핀계 수지; 폴리카보네이트계 수지; 폴리메틸메타크릴레이트 등의 아크릴계 수지; 폴리설폰계 수지 등의 열가소성 수지제 시트; 에폭시 수지, 불포화 폴리에스테르 수지 등의 열경화성 수지 시트; 또는 각종 유리 등을 들 수 있다. 이 중에서도, 내열성이 높으므로 유리, 내열성 수지가 바람직하다. 이들의 투명 기판에는, 접착성 등의 표면 물성의 개량을 위해, 필요에 따라, 코로나 방전 처리나 오존 처리 등의 표면 처리, 실란커플링제나 우레탄계 수지 등의 각종 수지 등에 의한 박막 형성 처리 등을 행해도 된다. 투명 기판의 두께는, 통상 0.05㎜ 이상, 바람직하게는 0.1㎜ 이상, 또한, 통상 10㎜ 이하, 바람직하게는 7㎜ 이하의 범위가 된다. 또한, 각종 수지에 의한 박막 형성 처리를 행할 경우, 그 막두께는, 통상 0.01㎛ 이상, 바람직하게는 0.05㎛ 이상, 또한, 통상 10㎛ 이하, 바람직하게는 5㎛ 이하, 더 바람직하게는 1∼2㎛의 범위이다.The substrate is not particularly limited as long as it is transparent and has appropriate strength. As the material, for example, a polyester resin such as polyethylene terephthalate; Polyolefin-based resins such as polypropylene and polyethylene; Polycarbonate resin; Acrylic resins such as polymethyl methacrylate; A sheet made of a thermoplastic resin such as polysulfone resin; Thermosetting resin sheets such as epoxy resin and unsaturated polyester resin; Or various glasses. Of these, glass and heat-resistant resin are preferable because of high heat resistance. These transparent substrates are subjected to surface treatment such as corona discharge treatment and ozone treatment, thin film formation treatment with various resins such as a silane coupling agent and urethane resin, etc., if necessary, in order to improve surface physical properties such as adhesiveness . The thickness of the transparent substrate is usually not less than 0.05 mm, preferably not less than 0.1 mm, and usually not more than 10 mm, preferably not more than 7 mm. When a thin film is formed by various resins, the film thickness is usually 0.01 탆 or more, preferably 0.05 탆 or more, usually 10 탆 or less, preferably 5 탆 or less, Mu] m.
컬러 필터는, 통상, 상술한 기판상에 블랙 매트릭스를 마련하고, 추가로 적색, 녹색, 청색의 각 화소 화상을 형성하는 레지스트 조성물의 도막을 형성함으로써, 제작할 수 있다. 상기 블랙 매트릭스는, 차광 금속 박막을 이용하여 형성해도 되고, 본 발명의 레지스트 조성물의 제조 방법에 있어서, 착색제(B)로서 흑색의 착색제를 사용하여 얻어지는 레지스트 조성물을 이용하여 투명 기판상에 형성할 수 있다.The color filter can be usually manufactured by providing a black matrix on the above-mentioned substrate and further forming a coating film of a resist composition forming red, green, and blue pixel images. The black matrix may be formed using a light-shielding metal thin film. In the method for producing a resist composition of the present invention, the black matrix may be formed on a transparent substrate by using a resist composition obtained by using a black coloring agent as the coloring agent (B) have.
상기 차광 금속 박막을 형성하기 위해 사용할 수 있는 차광 금속 재료로서는, 예를 들면, 금속 크롬, 산화크롬, 질화크롬 등의 크롬 화합물이나, 니켈과 텅스텐의 합금 등이 사용되고, 상기 차광 금속 박막은, 이들의 차광 금속 재료를 복수층상으로 적층시킨 것이어도 된다. 이들의 차광 금속 박막은, 일반적으로 스퍼터링법에 의해 형성된다.As the light-shielding metal material that can be used for forming the light-shielding metal thin film, for example, a chromium compound such as metal chromium, chromium oxide, or chromium nitride, or an alloy of nickel and tungsten may be used. Shielding metal material may be laminated on a plurality of layers. These light-shielding metal thin films are generally formed by a sputtering method.
상기 금속 크롬에 대해서는 질산 제2세륨암모늄과 과염소산 및/또는 질산을 혼합한 에칭액을 사용하고, 그 밖의 재료에 대해서는, 재료에 따른 에칭액을 사용하여 식각(蝕刻)하고, 마지막으로 레지스트 조성물을 전용의 박리제로 박리함으로써, 블랙 매트릭스를 형성할 수 있다. 이 경우, 우선, 증착 또는 스퍼터링법 등에 의해, 투명 기판상에 이들 금속 또는 금속 산화물의 박막을 형성한다. 그 다음에, 이 박막상에 본 발명의 제조 방법으로 얻어지는 컬러 레지스트 조성물의 도막층을 형성한다. 그 다음에, 스트라이프, 모자이크, 트라이앵글 등의 반복 패턴을 갖는 포토마스크를 사용하여, 도막층을 노광·현상하고, 화상을 형성한다. 그 후, 이 도막층에 에칭 처리를 실시하여 블랙 매트릭스를 형성할 수 있다.For the metal chromium, an etchant in which ceric ammonium nitrate and perchloric acid and / or nitric acid are mixed is used, and other materials are etched using an etching solution according to the material. Finally, By peeling off with a stripping agent, a black matrix can be formed. In this case, first, a thin film of these metals or metal oxides is formed on the transparent substrate by vapor deposition or sputtering. Then, a coating film layer of the color resist composition obtained by the production method of the present invention is formed on the thin film. Then, using a photomask having a repeating pattern such as a stripe, a mosaic, or a triangle, the coating layer is exposed and developed to form an image. Thereafter, this coating film layer may be subjected to an etching treatment to form a black matrix.
블랙 매트릭스를 마련한 기판상에, 적색, 녹색, 청색 중 1색의 색재를 함유하는 레지스트 조성물을 도포하고, 건조한 후, 도막층 위에 포토마스크를 겹치고, 이 포토마스크를 통해 화상 노광, 현상, 필요에 따라 열경화 또는 광경화에 의해 화소 화상을 형성시켜, 착색층을 작성한다. 이 조작을, 적색, 녹색, 청색의 삼색의 레지스트 조성물에 대해서 각각 행함으로써, 컬러 필터 화상을 형성할 수 있다.A resist composition containing a coloring material of one of red, green, and blue is applied on a substrate provided with a black matrix, and after drying, a photomask is overlaid on the coating film layer, Then, a pixel image is formed by thermosetting or photo-curing to form a colored layer. The color filter image can be formed by performing this operation for each of the red, green, and blue tri-color resist compositions.
상기 레지스트 조성물의 기판에의 공급 방법으로서는, 예를 들면, 그라비아 코터, 롤 코터, 콤마 코터, 나이프 코터, 커튼 코터, 샤워 코터, 스핀 코터, 슬릿 코터, 슬릿·앤드·스핀 코터, 슬릿다이 코터, 디핑, 스크린 인쇄, 스프레이, 애플리케이터, 바 코터 등을 사용한 방법 등을 들 수 있다.Examples of the method of supplying the resist composition to the substrate include a method of supplying the resist composition to a substrate such as a gravure coater, a roll coater, a comma coater, a knife coater, a curtain coater, a shower coater, a spin coater, a slit coater, a slit and end spin coater, Dipping, screen printing, spraying, a method using an applicator, a bar coater, and the like.
도막층의 두께는, 지나치게 두꺼우면 패턴 현상이 곤란해짐과 함께, 액정 셀화 공정에서의 갭 조정이 곤란해질 경우가 있는 한편, 지나치게 얇으면 안료 농도를 높이는 것이 곤란해져, 원하는 색 발현이 불가능해질 경우가 있다. 도막층의 두께는, 건조 후의 막두께로서, 통상 0.2∼20㎛, 바람직하게는 0.5∼10㎛, 더 바람직하게는 0.8∼5㎛의 범위이다.If the thickness of the coating layer is excessively large, pattern development becomes difficult and the gap adjustment in the liquid crystal cell formation process becomes difficult. On the other hand, if the thickness is too thin, it is difficult to increase the pigment concentration, . The thickness of the coating layer is usually 0.2 to 20 占 퐉, preferably 0.5 to 10 占 퐉, and more preferably 0.8 to 5 占 퐉, as a film thickness after drying.
기판에 레지스트 조성물을 도포하여 도막층을 기판상에 형성한 후, (4) 공정에 있어서 건조(프리베이킹)시킨다. 건조(프리베이킹)는, 예를 들면, 핫플레이트, 오븐 등으로 50∼140℃의 온도 범위에서 10∼300초간 가열함으로써 행할 수 있다. 그 중에서도, 70∼130℃의 온도 범위에서 30∼180초간 가열하는 것이 바람직하고, 80∼120℃의 온도 범위에서 30∼90초간 가열하는 것이 보다 바람직하다. 또한, 보다 완전하게 건조를 행하기 위해, 건조(프리베이킹) 전에 진공 건조를 행해도 상관없다.A resist composition is applied to a substrate to form a coating layer on the substrate, and then dried (prebaked) in the step (4). Drying (prebaking) can be performed, for example, by heating in a hot plate, an oven or the like at a temperature in the range of 50 to 140 캜 for 10 to 300 seconds. Among them, it is preferable to heat for 30 to 180 seconds in a temperature range of 70 to 130 占 폚, and more preferably for 30 to 90 seconds in a temperature range of 80 to 120 占 폚. Further, in order to perform more complete drying, vacuum drying may be performed before drying (prebaking).
건조(프리베이킹) 후에, (5) 공정에서 포토마스크를 사용하여 원하는 패턴으로 노광한다. 구체적으로는, 예를 들면, 건조(프리베이킹)한 도막층상에, 음화(negative print)인 매트릭스 패턴을 겹치고, 이 마스크 패턴을 통해, 자외선 또는 가시광선 등의 활성 에너지선의 조사를 행한다. 이때, 필요에 따라, 레지스트 조성물에 의해 형성된 도막층의 산소에 의한 감도의 저하를 방지하기 위해, 당해 도막층상에 폴리비닐알코올층 등의 산소 차단층을 형성한 후에 노광을 행해도 된다.After drying (prebaking), a desired pattern is exposed using a photomask in the step (5). Specifically, for example, a matrix pattern, which is a negative print, is overlaid on a dried (prebaked) coating film layer, and active energy rays such as ultraviolet rays or visible rays are irradiated through the mask pattern. At this time, if necessary, an oxygen barrier layer such as a polyvinyl alcohol layer may be formed on the coating film layer and then exposed to light, in order to prevent deterioration of sensitivity of the coating film layer formed by the resist composition with oxygen.
상기 활성 에너지선으로서는, 광, 전자선, 방사선 등의 활성 에너지선을 들 수 있다. 구체적인 에너지원 또는 경화 장치로서는, 예를 들면, 살균등, 자외선용 형광등, 카본 아크, 제논 램프, 복사용 고압 수은등, 중압 또는 고압 수은등, 초고압 수은등, 무전극 램프, 메탈할라이드 램프, 자연광 등을 광원으로 하는 자외선, 또는 주사형, 커튼형 전자선 가속기에 의한 전자선 등을 들 수 있다. 또한, 전자선으로 경화시킬 경우에는, 상기 레지스트 조성물에의 상기 중합개시제의 배합은 불필요하다.Examples of the active energy ray include active energy rays such as light, electron beam, and radiation. Specific examples of the energy source or curing device include a sterilizing lamp, a fluorescent lamp for ultraviolet rays, a carbon arc, a xenon lamp, a high pressure mercury lamp for copying, a medium pressure or high pressure mercury lamp, an ultra high pressure mercury lamp, an electrodeless lamp, a metal halide lamp, , Or an electron beam by a scanning type or curtain type electron beam accelerator. In addition, when curing is performed with an electron beam, the addition of the polymerization initiator to the resist composition is unnecessary.
상기 활성 에너지선 중에서도 특히 자외선인 것이 바람직하다. 또한, 질소 가스 등의 불활성 가스 분위기 하에서 조사하면 도막의 표면 경화성이 향상하기 때문에 바람직하다. 또한, 필요에 따라 열을 에너지원으로서 병용하고, 활성 에너지선으로 경화한 후, 열처리를 행해도 된다.Among the active energy rays, ultraviolet rays are particularly preferable. Further, irradiation in an inert gas atmosphere such as nitrogen gas is preferable because the surface hardenability of the coating film is improved. If necessary, heat may be used as an energy source, and after curing with an active energy ray, heat treatment may be performed.
노광 후는, (6) 공정에 있어서 현상 처리를 행한다. 상기의 현상 처리에서는, 미노광의 미경화 부분을 알칼리 현상액에 용출시켜, 광경화한 경화 부분만을 남긴다. 알칼리 현상액으로서는, 미경화 부분을 용해하고, RGB의 각 화소부 및 블랙 매트릭스부가 되는 경화 부분을 용해하지 않는 것이면 특별히 제한 없이 사용할 수 있다. 구체적인 알칼리 현상액으로서는, 예를 들면, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨, 탄산수소나트륨, 규산나트륨, 메타규산나트륨, 암모니아수, 에틸아민, 디에틸아민, 디메틸에탄올아민, 테트라메틸암모늄히드록시드, 테트라에틸암모늄히드록시드, 콜린, 피롤, 피페리딘, 1,8-디아자비시클로-[5,4,0]-7-운데센 등의 알칼리성 화합물의 수용액을 들 수 있다. 이 알칼리 현상액의 알칼리 농도는 0.001∼10질량%가 바람직하고, 0.01∼1질량%가 보다 바람직하다. 또한, 현상 온도로서는, 통상 20℃∼30℃이며, 현상 시간으로서는 20∼90초의 범위가 바람직하다.After the exposure, development processing is performed in the step (6). In the above developing process, unexposed portions of unexposed light are eluted into an alkaline developing solution, leaving only the photocured cured portions. The alkali developing solution may be used without particular limitation as long as it dissolves the uncured portions and does not dissolve the respective pixel portions of RGB and the cured portions of the black matrix. Specific examples of the alkaline developer include alkali metal hydroxides such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogencarbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, ammonia water, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, An aqueous solution of an alkaline compound such as ammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, and 1,8-diazabicyclo- [5,4,0] -7-undecene. The alkali concentration of the alkali developing solution is preferably 0.001 to 10 mass%, more preferably 0.01 to 1 mass%. The developing temperature is usually 20 占 폚 to 30 占 폚, and the developing time is preferably 20 to 90 seconds.
현상 처리 후에는, (7) 공정에 있어서 증류수로 세정(린스) 후, 건조한다. 세정, 건조할 때에는 필요에 따라 포스트베이킹 처리를 행할 수 있다. 포스트베이킹은, 경화를 완전한 것으로 하기 위한 현상 후의 가열 처리이며, 통상 200∼250℃의 온도 범위에서 가열한다. 포스트베이킹 처리는, 현상 후의 층을, 상기 조건이 되도록 핫플레이트나 컨벡션 오븐(열풍 순환식 건조기), 고주파 가열기 등의 가열 수단을 이용하여, 연속식 혹은 배치(batch)식으로 행할 수 있다.After the development processing, it is rinsed (rinsed) with distilled water in the step (7), and dried. In the case of washing and drying, a post-baking treatment can be carried out if necessary. The post-baking is a post-development heat treatment in order to make the curing to be complete, and the post baking is usually performed in a temperature range of 200 to 250 캜. The post-baking treatment can be carried out continuously or batchwise using a heating means such as a hot plate, a convection oven (hot-air circulation type drier), or a high-frequency heater so as to achieve the above conditions.
상기한 바와 같이 제작한 컬러 필터의 화소상에 ITO 등의 투명 전극을 형성한 기판을 다른 기판과 함께 액정층을 협지하는 기판으로서 사용하고, 백라이트, 편광판, 액정층을 조합하여 본 발명의 액정 표시 장치로 할 수 있다.A substrate on which transparent electrodes such as ITO are formed on the pixels of the color filter manufactured as described above is used as a substrate for sandwiching the liquid crystal layer together with other substrates, and a backlight, a polarizing plate, and a liquid crystal layer are combined to form a liquid crystal display Device.
본 발명의 랜덤 공중합체(A)와, 착색제(B)와, 열가소성 수지(E)〔상기 공중합체(A), 알칼리 가용성 수지(C) 이외의 열가소성 수지〕를 혼합함으로써, 코팅 조성물로 할 수 있다. 구체적으로는, 불소 원자가 직접 결합한 탄소 원자의 수가 1∼6인 불소화 알킬기와 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a1)와 가교환 탄화수소의 골격과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a2)를, 중합성 단량체(a1)와 중합성 단량체(a2)의 공존 하에서 리빙 라디칼 중합함으로써 랜덤 공중합체(A)를 얻는 공정과, 당해 랜덤 공중합체(A)와 착색제(B)와 열가소성 수지(E)를 혼합하는 공정을 함유하는 방법에 의해 상기 코팅 조성물을 얻을 수 있다.The random copolymer (A) of the present invention, the colorant (B) and the thermoplastic resin (E) [the thermoplastic resin other than the copolymer (A) and the alkali-soluble resin (C) have. Specifically, a polymerizable monomer (a1) having a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms in which fluorine atoms are directly bonded and a polymerizable unsaturated group and a polymerizable monomer (a2) having a skeleton of a crosslinked ring hydrocarbon and a polymerizable unsaturated group, (A) is obtained by living radical polymerization in the presence of a polymerizable monomer (a1) and a polymerizable monomer (a2), and a step of mixing the random copolymer (A), the colorant (B) and the thermoplastic resin (E) The coating composition can be obtained by a method including a mixing step.
상기 열가소성 수지(E)로서는, 예를 들면, 아크릴 수지, 메타크릴 수지, 아크릴우레탄 수지, 아크릴실리콘 수지, 아크릴멜라민 수지, 아크릴 변성 폴리올레핀, 아크릴 변성 불소 수지, 방향족 폴리에스테르 수지, 지방족 폴리에스테르 수지, 폴리아미드 수지, 폴리카보네이트 수지, 아세트산비닐 수지, 에틸렌-아세트산비닐 수지 등을 들 수 있다. 열가소성 수지(E) 중에서도, 강도가 높은 도막층이 얻어지는 코팅 조성물이 얻어지므로 아크릴 수지, 메타크릴 수지 또는 아크릴우레탄 수지가 바람직하다.Examples of the thermoplastic resin (E) include acrylic resins, methacrylic resins, acrylic urethane resins, acrylic silicone resins, acrylic melamine resins, acrylic modified polyolefins, acrylic modified fluororesins, aromatic polyester resins, aliphatic polyester resins, Polyamide resin, polycarbonate resin, vinyl acetate resin, ethylene-vinyl acetate resin and the like. Of the thermoplastic resin (E), an acrylic resin, a methacrylic resin or an acryl urethane resin is preferable because a coating composition capable of obtaining a coating film having a high strength can be obtained.
본 발명의 코팅 조성물은, 예를 들면, 상기 랜덤 공중합체(A)와 착색제(B)와 열가소성 수지(E)를, 유기 용제에 용해하고, 진탕기, 페인트 쉐이커, 교반 날개를 사용한 교반 등의 방법에 의해 혼합하는 방법을 들 수 있다. 여기에서 사용하는 유기 용제로서는, 예를 들면, 상기 안료 분산액의 조정시에 사용할 수 있는 유기 용제를 사용할 수 있다. 유기 용제의 사용량은, 예를 들면, 도막층 형성 성분 100질량부에 대하여 통상 100∼1000질량부이다.The coating composition of the present invention can be obtained by, for example, dissolving the random copolymer (A), the colorant (B) and the thermoplastic resin (E) in an organic solvent and stirring the mixture using a shaker, a paint shaker, And mixing them by a method. As the organic solvent to be used herein, for example, an organic solvent which can be used in the adjustment of the pigment dispersion can be used. The amount of the organic solvent to be used is, for example, generally 100 to 1000 parts by mass based on 100 parts by mass of the coating film layer forming component.
상기 코팅 조성물에 있어서, 랜덤 공중합체(A)와, 착색제(B)와, 열가소성 수지(E)를 혼합시킬 때의 배합 비율은, 고형분 환산으로 각각, 예를 들면 0.0001∼10질량부, 5∼80질량부, 0.1∼80질량부이며, 바람직하게는, 예를 들면 0.001∼5질량부, 5∼70질량부, 1∼70질량부이다.In the coating composition, the blending ratio when the random copolymer (A), the colorant (B) and the thermoplastic resin (E) are mixed is preferably from 0.0001 to 10 parts by mass, For example, 0.001 to 5 parts by mass, 5 to 70 parts by mass, and 1 to 70 parts by mass.
상기 코팅 조성물을 사용하여 도막층 부착 물품을 제조할 수 있다. 도막층 부착 물품은, 예를 들면, 당해 코팅 조성물의 도막층을 물품상에 형성함으로써 제조할 수 있다. 상기 물품으로서는, 예를 들면, 지붕재(금속, 슬레이트, 콘크리트, 기와, 시멘트, 플라스틱 등), 벽, 타일, 유리판, 금속, 블록, 콘크리트, 플라스틱, 시멘트, H형강, 파이프, 도장 강판, 신호기, 셔터, 샌드위치 패널, 탱크 등의 건축 관련 물품; 차체의 외장, 창 유리, 데쉬보드, 핸들, 시프트레버, 타이어 등의 자동차 관련 물품: 외장, 창 유리 등의 항공기 관련 물품; 에어컨, 태양 전지용 표면·이면 시트, 컴퓨터나 휴대전화의 케이싱, 플라스마 디스플레이(PDP)나 유기 EL 디스플레이 등의 각종 디스플레이 화면, CD나 DVD나 블루레이 디스크, 복사기나 린터 등의 OA 기기용 고무 롤러, 복사기나 스캐너 등의 OA 기기의 판독부의 유리면 등의 광학 기록 매체 등의 전기 관련 물품: CRT, 액정 디스플레이, 플라스마 디스플레이, 프로젝션 텔레비전 등의 표시 장치의 반사 방지 필터, 구면(球面) 렌즈, 비구면 렌즈, 프레넬 렌즈, 렌티큘러 렌즈 등의 렌즈 부품 등의 광학 관련 물품 등을 들 수 있다.The above-mentioned coating composition can be used to produce a coated layer-attached article. The article with a coating layer can be produced, for example, by forming a coating layer of the coating composition on the article. Such articles include, for example, roofing materials (metal, slate, concrete, tile, cement, plastic, etc.), walls, tiles, glass plates, metals, blocks, concrete, plastics, cements, H- Construction related items such as shutters, sandwich panels, tanks; Automobile related products such as exterior of car body, window glass, dashboard, steering wheel, shift lever, tire, etc .: aircraft related articles such as exterior and window glass; Such as an air conditioner, a surface sheet and a back sheet for a solar cell, a casing of a computer or a mobile phone, various display screens such as a plasma display (PDP) and an organic EL display, a rubber roller for OA such as a CD, a DVD, An antireflection filter of a display device such as a CRT, a liquid crystal display, a plasma display, and a projection television, a spherical lens, an aspherical lens, an aspherical lens, An optical-related article such as a lens component such as a Fresnel lens and a lenticular lens, and the like.
코팅 조성물의 도막층을 물품상에 형성하는 공정은 각종 방법에 의해 행할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면, 롤 코터, 정전 도장, 바 코터, 그라비아 코터, 나이프 코터, 디핑 도포, 스프레이 도포 등의 방법을 예시할 수 있다.The step of forming the coating layer of the coating composition on the article can be carried out by various methods. Specifically, for example, methods such as roll coater, electrostatic coating, bar coater, gravure coater, knife coater, dipping coating, spray coating and the like can be exemplified.
도막층의 두께는 물품의 종류나 사용 용도에 따라 적의 선택하면 되지만, 통상, 건조 후의 두께로 0.1∼100㎛이다.The thickness of the coating layer may be appropriately selected depending on the kind of the article and the intended use, but is usually 0.1 to 100 占 퐉 in the thickness after drying.
코팅 조성물의 도막층을 물품상에 형성한 후에는 각종 방법에 의해 건조시킨다. 건조 방법은 물품의 종류나 사용 용도에 따라 적의 선택하면 되고, 예를 들면, 방치함으로써 자연 건조시키는 방법이나, 40∼300℃의 분위기에서 강제적으로 건조시키는 방법을 예시할 수 있다.After the coating layer of the coating composition is formed on the article, it is dried by various methods. The drying method may be appropriately selected depending on the kind of the article and the intended use. For example, the drying method may be natural drying by allowing it to stand or a method of forcibly drying it in an atmosphere of 40 to 300 캜.
본 발명의 랜덤 공중합체(A)와 착색제(B)와 중합성 화합물(D)을 혼합함으로써, 코팅 조성물로 할 수 있다. 구체적으로는, 불소 원자가 직접 결합한 탄소 원자의 수가 1∼6인 불소화 알킬기와 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a1)와 가교환 탄화수소의 골격과 중합성 불포화기를 갖는 중합성 단량체(a2)를, 중합성 단량체(a1)와 중합성 단량체(a2)의 공존 하에서 리빙 라디칼 중합함으로써 랜덤 공중합체(A)를 얻는 공정과, 당해 랜덤 공중합체(A)와 착색제(B)와 중합성 화합물(D)을 혼합하는 공정을 함유하는 방법에 의해 상기 코팅 조성물을 얻을 수 있다.The coating composition can be prepared by mixing the random copolymer (A), the colorant (B) and the polymerizable compound (D) of the present invention. Specifically, a polymerizable monomer (a1) having a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms in which fluorine atoms are directly bonded and a polymerizable unsaturated group and a polymerizable monomer (a2) having a skeleton of a crosslinked ring hydrocarbon and a polymerizable unsaturated group, (A) is obtained by living radical polymerization in the presence of a polymerizable monomer (a1) and a polymerizable monomer (a2), and a step of mixing the random copolymer (A), the colorant (B) The coating composition can be obtained by a method including a step of mixing the above components.
상기 코팅 조성물은, 예를 들면, 상기 랜덤 공중합체(A)와 착색제(B)와 중합성 화합물(D)을, 필요에 따라 유기 용제에 용해하고, 진탕기, 페인트 쉐이커, 교반 날개를 사용한 교반 등의 방법에 의해 혼합하는 방법을 들 수 있다. 여기에서 사용하는 유기 용제로서는, 예를 들면, 상기 안료 분산액의 조정시에 사용할 수 있는 유기 용제를 사용할 수 있다. 유기 용제를 사용할 경우, 그 사용량은, 예를 들면, 도막층 형성 성분 100질량부에 대하여 통상 100∼1000질량부이다.The coating composition may be prepared, for example, by dissolving the random copolymer (A), the colorant (B) and the polymerizable compound (D) in an organic solvent, if necessary, and stirring with a shaker, a paint shaker, And the like. As the organic solvent to be used herein, for example, an organic solvent which can be used in the adjustment of the pigment dispersion can be used. When an organic solvent is used, its amount to be used is usually 100 to 1000 parts by mass based on 100 parts by mass of the coating film layer forming component.
상기 코팅 조성물을 제조할 때에, 상기 랜덤 공중합체(A)와, 착색제(B)와, 중합성 화합물(D)을 혼합시킬 때의 배합 비율은, 고형분 환산으로 각각 예를 들면 0.0001∼10질량부, 5∼80질량부, 0.1∼80질량부이며, 바람직하게는, 예를 들면 각각 0.001∼5질량부, 5∼70질량부, 1∼70질량부이다.When mixing the random copolymer (A), the colorant (B), and the polymerizable compound (D) in the preparation of the coating composition, the compounding ratio in the form of solids is preferably from 0.0001 to 10 parts by mass , 5 to 80 parts by mass, and 0.1 to 80 parts by mass, preferably 0.001 to 5 parts by mass, 5 to 70 parts by mass and 1 to 70 parts by mass, respectively.
상기 코팅 조성물을 사용하여 도막층 부착 물품을 얻을 수 있다. 구체적으로는, 도막층 부착 물품은, 예를 들면, 당해 코팅 조성물의 도막층을 물품상에 형성함으로써 제조할 수 있다. 상기 물품으로서는, 예를 들면, 상기 물품을 예시할 수 있다.The coating composition can be used to obtain an article having a coating layer. Specifically, the article with a coating layer can be produced, for example, by forming a coating layer of the coating composition on the article. As the article, for example, the article may be mentioned.
코팅 조성물의 도막층을 물품상에 형성하는 공정은 각종 방법에 의해 행할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면, 롤 코터, 정전 도장, 바 코터, 그라비아 코터, 나이프 코터, 디핑 도포, 스프레이 도포 등의 방법을 예시할 수 있다.The step of forming the coating layer of the coating composition on the article can be carried out by various methods. Specifically, for example, methods such as roll coater, electrostatic coating, bar coater, gravure coater, knife coater, dipping coating, spray coating and the like can be exemplified.
도막층의 두께는 물품의 종류나 사용 용도에 따라 적의 선택하면 되지만, 통상, 경화 후의 두께로 0.1∼100㎛이다.The thickness of the coating layer may be appropriately selected depending on the kind of the article and the intended use, but is generally 0.1 to 100 占 퐉 in the thickness after curing.
상기 도막층은 에너지선을 조사해서 경화시킨다. 활성 에너지선으로서는, 자외선, 전자선, α선, β선, γ선과 같은 전리 방사선 등을 들 수 있다. 활성 에너지선원 또는 경화 장치로서는, 예를 들면, 살균등, 자외선용 형광등, 카본 아크, 제논 램프, 복사용 고압 수은등, 중압 또는 고압 수은등, 초고압 수은등, 무전극 램프, 메탈할라이드 램프, 자연광 등을 광원으로 하는 자외선, 또는 주사형, 커튼형 전자선 가속기에 의한 전자선 등을 들 수 있다.The coating layer is cured by irradiating energy rays. Examples of the active energy ray include ionizing radiation such as ultraviolet rays, electron rays,? Rays,? Rays and? Rays. Examples of the active energy ray source or curing device include a sterilizing lamp, a fluorescent lamp for ultraviolet rays, a carbon arc, a xenon lamp, a high pressure mercury lamp for copying, a medium pressure or high pressure mercury lamp, an ultra high pressure mercury lamp, , Or an electron beam by a scanning type or curtain type electron beam accelerator.
이들 중에서도 특히 자외선인 것이 바람직하고, 산소 등에 의한 경화 저해를 피하기 위해, 질소 가스 등의 불활성 가스 분위기 하에서, 자외선을 조사하는 것이 바람직하다. 또한, 필요에 따라 열을 에너지원으로서 병용하고, 자외선으로 경화한 후, 열처리를 행해도 된다.Among these, ultraviolet rays are particularly preferable, and it is preferable to irradiate ultraviolet rays in an inert gas atmosphere such as nitrogen gas in order to avoid curing inhibition by oxygen or the like. If necessary, heat may be used as an energy source, and after curing with ultraviolet rays, heat treatment may be performed.
상기 에너지 경화선의 조사량은, 상기 도막층이 경화하는 조사량이면 되고, 예를 들면, 50mJ/c㎡∼3000mJ/c㎡의 범위이다.The irradiation amount of the energy curing wire may be an irradiation amount for curing the coating layer, and is, for example, in a range of 50 mJ / cm 2 to 3000 mJ / cm 2.
[실시예][Example]
이하에 실시예 및 비교예를 들어, 본 발명을 더 상세히 설명한다. 예 중, 언급이 없는 한, 부, %는 질량 기준이다. IR 스펙트럼, 13C-NMR 스펙트럼 및 GPC의 측정 조건은 하기와 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples and comparative examples. Unless otherwise noted, parts and percentages are by weight. IR spectra, 13 C-NMR spectrum and GPC measurement conditions are as follows.
[IR 스펙트럼 측정 조건][Conditions for measuring IR spectrum]
장치: 니혼분코 가부시키가이샤제 「FT/IR-6100」Apparatus: "FT / IR-6100" manufactured by Nihon Bunko K.K.
측정 방법: KBr법Measuring method: KBr method
[13C-NMR 스펙트럼 측정 조건][Conditions for measuring 13 C-NMR spectrum]
장치: 니혼덴시 가부시키가이샤제 「JNM-AL400」Apparatus: "JNM-AL400" manufactured by Nihon Denshi Co., Ltd.
용매: 클로로포름-d6 Solvent: chloroform-d 6
[GPC 측정 조건][Conditions for measuring GPC]
측정 장치: 도소 가부시키가이샤제 「HLC-8220 GPC」,Measurement apparatus: "HLC-8220 GPC" manufactured by Tosoh Corporation,
칼럼: 도소 가부시키가이샤제 가이드 칼럼 「HHR-H」(6.0㎜I.D.×4㎝)+도소 가부시키가이샤제 「TSK-GEL GMHHR-N」(7.8㎜I.D.×30㎝)+도소 가부시키가이샤제 「TSK-GEL GMHHR-N」(7.8㎜I.D.×30㎝)+도소 가부시키가이샤제 「TSK-GEL GMHHR-N」(7.8㎜I.D.×30㎝)+도소 가부시키가이샤제 「TSK-GEL GMHHR-N」(7.8㎜I.D.×30㎝)Column: " HHR-H " (6.0 mm ID x 4 cm) manufactured by Tosoh Corporation, " TSK- GEL GMHHR-N " (7.8 mm ID x 30 cm) manufactured by TOSOH CORPORATION, "TSK-GEL GMHHR-N" (7.8 mm ID × 30 cm) manufactured by Tosoh Corporation; "TSK-GEL GMHHR- N " (7.8 mm ID x 30 cm)
검출기: ELSD(올테크쟈판 가부시키가이샤제 「ELSD2000」)Detector: ELSD (ELSD2000 manufactured by Alltech Japan)
데이터 처리: 도소 가부시키가이샤제 「GPC-8020 모델 Ⅱ 데이터 해석 버전 4.30」Data processing: "GPC-8020 Model II Data Analysis Version 4.30" manufactured by Tosoh Corporation
측정 조건: 칼럼 온도 40℃Measurement conditions: column temperature 40 ℃
전개 용매 테트라히드로퓨란(THF) Developing solvent Tetrahydrofuran (THF)
유속 1.0ml/분 Flow rate 1.0 ml / min
시료: 수지 고형분 환산으로 1.0질량%의 테트라히드로퓨란 용액을 마이크로 필터로 여과한 것(5μl).Sample: A tetrahydrofuran solution of 1.0% by mass in terms of resin solid matter was filtered with a microfilter (5 μl).
표준 시료: 상기 「GPC-8020 모델 Ⅱ 데이터 해석 버전 4.30」의 측정 메뉴얼에 준거하여, 분자량이 기지의 하기의 단분산 폴리스티렌을 사용했다.Standard samples: The following monodisperse polystyrene having a known molecular weight was used in accordance with the measurement manual of "GPC-8020 Model II Data Analysis Version 4.30".
(단분산 폴리스티렌)(Monodisperse polystyrene)
도소 가부시키가이샤제 「A-500」Quot; A-500 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「A-1000」&Quot; A-1000 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「A-2500」Quot; A-2500 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「A-5000」Quot; A-5000 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-1」Quot; F-1 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-2」Quot; F-2 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-4」Quot; F-4 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-10」Quot; F-10 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-20」Quot; F-20 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-40」Quot; F-40 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-80」Quot; F-80 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-128」Quot; F-128 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-288」Quot; F-288 " manufactured by Tosoh Corporation
도소 가부시키가이샤제 「F-550」Quot; F-550 " manufactured by Tosoh Corporation
참고 제조예 1(안료 분산액의 제조)Reference Example 1 (Preparation of pigment dispersion)
적색 안료인 C.I.Pigment Red 254(BASF사제 「IRGAPHOR RED BT-CF」) 10g을 폴리빈에 넣고, PGMEA를 44g과, DISPERBYK LPN21116(빅케미 가부시키가이샤제) 12g과, 0.3-0.4㎜Φ의 SEPR 비즈를 더하여, 페인트 컨디셔너(도요세이키 가부시키가이샤제)로 2시간 분산하고, 적색의 안료 분산액(1)을 얻었다.10 g of a red pigment CIPigment Red 254 ("IRGAPHOR RED BT-CF" manufactured by BASF) was placed in a polybin, and 44 g of PGMEA, 12 g of DISPERBYK LPN21116 (manufactured by BICKEMI KABUSHIKI KAISHA) The beads were added and dispersed with a paint conditioner (manufactured by Toyo Seiki Co., Ltd.) for 2 hours to obtain a red pigment dispersion (1).
참고 제조예 2(상동)Reference Example 2 (homologous)
황색 안료인 C.I.Pigment Yellow 129(치바스페셜리티케미컬즈사제 「이르가진 옐로우 L0800」) 10g을 폴리빈에 넣고, PGMEA를 67g과, DISPERBYK 161(빅케미 가부시키가이샤제) 23g과, 0.3-0.4㎜Φ의 SEPR 비즈를 더하여, 페인트 컨디셔너(도요세이키 가부시키가이샤제)로 2시간 분산하고, 황색의 안료 분산액(2)을 얻었다.10 g of a yellow pigment CIPigment Yellow 129 ("Irvine Yellow L0800" manufactured by Ciba Specialty Chemicals) was added to a polybin, and 67 g of PGMEA, 23 g of DISPERBYK 161 (manufactured by BICKEMI K.K.) Of SEPR beads were added and dispersed with a paint conditioner (manufactured by TOYO SEIKI K.K.) for 2 hours to obtain a yellow pigment dispersion (2).
참고 제조예 3(상동)Reference Example 3 (homologous)
황색 안료로서 C.I.Pigment Yellow 138(BASF사제 「팔리오톨 옐로우 K0961HD」)을 사용한 것 이외는 참고 제조예 2와 마찬가지로 하여 황색의 안료 분산액(3)을 얻었다.A yellow pigment dispersion (3) was obtained in the same manner as in Reference Production Example 2 except that C.I. Pigment Yellow 138 ("Pallitol Yellow K0961HD" manufactured by BASF) was used as a yellow pigment.
참고 제조예 4(상동)Reference Example 4 (homologous)
황색 안료로서 C.I.Pigment Yellow 139(BASF사제 「팔리오톨 옐로우 D1819」)를 사용한 것 이외는 참고 제조예 2와 마찬가지로 하여 황색의 안료 분산액(4)을 얻었다.A yellow pigment dispersion (4) was obtained in the same manner as in Reference Production Example 2 except that C.I. Pigment Yellow 139 ("Pallitol Yellow D1819" manufactured by BASF) was used as the yellow pigment.
참고 제조예 5(상동)Reference Example 5 (homologous)
황색 안료로서 C.I.Pigment Yellow 150(랑세스사제 「E4GNGT」)을 사용한 것 이외는 참고 제조예 2와 마찬가지로 하여, 황색의 안료 분산액(5)을 얻었다.A yellow pigment dispersion (5) was obtained in the same manner as in Reference Production Example 2 except that C.I. Pigment Yellow 150 ("E4GNGT" manufactured by LANXESS Co., Ltd.) was used as a yellow pigment.
참고 제조예 6(상동)Reference Example 6 (homologous)
황색 안료로서 C.I.Pigment Yellow 185(BASF사제 「팔리오톨 옐로우 D1155」)를 사용한 것 이외는 참고 제조예 2와 마찬가지로 하여, 황색의 안료 분산액(6)을 얻었다.A yellow pigment dispersion (6) was obtained in the same manner as in Reference Production Example 2 except that C.I. Pigment Yellow 185 ("Pallitol Yellow D1155" manufactured by BASF) was used as the yellow pigment.
참고 제조예 7(알칼리 가용성 수지의 합성)Reference Example 7 (Synthesis of alkali-soluble resin)
교반기, 온도계, 냉각관 및 질소 도입관을 장착한 4구 플라스크에, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 100g을 투입하고, 질소 기류 하, 교반하면서 내온(內溫)을 110℃로 승온했다. 그 다음에, 벤질메타크릴레이트 80g과 메타크릴산 20g으로 이루어지는 혼합액과, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 46g, t-아밀퍼옥시-2-에틸헥사노에이트 1.5g 및 t-아밀퍼벤조에이트 0.15g으로 이루어지는 혼합액을 각각 4시간 걸쳐 적하했다. 적하 종료 후, 내온을 110℃로 유지한 채 8시간 중합 반응시켰다. 반응 종료 후, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트로 희석하고, 불휘발분 40%의 알칼리 가용성 수지의 수지 용액을 얻었다. 이 수지의 중량 평균 분자량은 17,000이었다.A four-necked flask equipped with a stirrer, a thermometer, a cooling tube and a nitrogen inlet tube was charged with 100 g of propylene glycol monomethyl ether acetate, and the internal temperature was elevated to 110 DEG C with stirring under a nitrogen stream. Subsequently, a mixed solution composed of 80 g of benzyl methacrylate and 20 g of methacrylic acid, 46 g of propylene glycol monomethyl ether acetate, 1.5 g of t-amylperoxy-2-ethylhexanoate and 0.15 g of t-amylperbenzoate Was added dropwise over 4 hours, respectively. After completion of dropwise addition, polymerization reaction was carried out for 8 hours while keeping the inner temperature at 110 캜. After completion of the reaction, the solution was diluted with propylene glycol monomethyl ether acetate to obtain a resin solution of an alkali-soluble resin having a nonvolatile content of 40%. The weight average molecular weight of this resin was 17,000.
실시예 1(랜덤 공중합체의 제조)Example 1 (Preparation of random copolymer)
질소 치환한 플라스크에, 용제로서 메틸에틸케톤 111g과, 1-아다만틸메타크릴레이트 47g과, 2-(트리데카플루오로헥실)에틸메타크릴레이트 25g을 투입하고, 질소 기류 하에서 교반하면서 60℃로 승온했다. 그 다음에, 2,2'-비피리딜 5g과, 염화 제1구리 2g과, 2-브로모이소부티르산에틸 3.3g을 더하고, 질소 기류 하, 60℃에서 23시간 반응시켰다. 그 다음에, 얻어진 반응물에, 활성 알루미나 30g을 더하여 교반했다. 활성 알루미나를 여과 후, 용매를 감압 유거(留去)하여 랜덤 공중합체(1)를 얻었다. 랜덤 공중합체(1)의 분자량을 GPC로 측정한 결과, 중량 평균 분자량(Mw)이 4,133, 수평균 분자량(Mn)이 3,197이고, (Mw/Mn)은 1.29였다. 또한, 랜덤 공중합체(1)의 불소 원자 함유량은 20질량%였다. 랜덤 공중합체(1)의 IR 스펙트럼의 차트도를 도 1에, 13C-NMR 스펙트럼의 차트도를 도 2에, GPC의 차트도를 도 3에 각각 나타낸다.111 g of methyl ethyl ketone, 47 g of 1-adamantyl methacrylate and 25 g of 2- (tridecafluorohexyl) ethyl methacrylate as a solvent were added to a flask purged with nitrogen and stirred at 60 DEG C . Subsequently, 5 g of 2,2'-bipyridyl, 2 g of cuprous chloride and 3.3 g of ethyl 2-bromoisobutyrate were added and reacted at 60 ° C. for 23 hours under a nitrogen stream. Then, 30 g of activated alumina was added to the obtained reaction product and stirred. After filtration of the activated alumina, the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a random copolymer (1). The molecular weight of the random copolymer (1) was measured by GPC to find that the weight average molecular weight (Mw) was 4,133, the number average molecular weight (Mn) was 3,197, and the molecular weight (Mw / Mn) was 1.29. The content of fluorine atoms in the random copolymer (1) was 20% by mass. A chart of the IR spectrum of the random copolymer (1) is shown in Fig. 1, a chart of 13 C-NMR spectrum is shown in Fig. 2, and a chart of GPC is shown in Fig.
랜덤 공중합체(1)를 포함하는 조성물을 제조하고, 얻어지는 도막층의 평활성을 하기 방법에 따라서 평가했다. 평가 결과를 제1표에 나타낸다.A composition containing the random copolymer (1) was prepared, and the smoothness of the resultant coating film layer was evaluated according to the following method. The evaluation results are shown in Table 1.
<도막층의 평활성의 평가 방법>≪ Evaluation method of smoothness of coating layer >
알칼리 가용성 수지(벤질메타크릴레이트와 아크릴산과의 공중합체)를 3g과, 디펜타에리트리톨펜타이크릴레이트와 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트의 혼합물인 아로닉스 M-402(도아고세이가가쿠 가부시키가이샤제)를 1.2g과, 랜덤 공중합체(1)를 고형분 환산으로 0.002g과, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PGMEA)를 8.1g 혼합하여, 조성물을 얻었다. 이 조성물 3ml를 10㎝×10㎝의 크롬 도금 유리 기판의 중앙 부분에 적하하고, 회전수 500rpm, 회전 시간 30초의 조건으로 스핀코팅한 후, 110℃에서 2분간 가열 건조시켜 도막층을 갖는 물품을 작성했다. 도막층을 눈으로 관찰하고, 하기 기준에 따라서 도막층의 평활성을 평가했다. 평가 결과를 제1표에 나타낸다.3 g of an alkali-soluble resin (a copolymer of benzyl methacrylate and acrylic acid), 10 g of Aronix M-402 (manufactured by Toagosei Kagaku K.K.) which is a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate ), 0.002 g of the random copolymer (1) in terms of solid content, and 8.1 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) were mixed to obtain a composition. 3 ml of this composition was dropped on a central portion of a chromium-plated glass substrate of 10 cm x 10 cm, spin-coated under the conditions of a rotation number of 500 rpm and a rotation time of 30 seconds, and then heated and dried at 110 캜 for 2 minutes to obtain an article having a coating layer I wrote. The coating layer was visually observed, and the smoothness of the coating layer was evaluated according to the following criteria. The evaluation results are shown in Table 1.
<도막층의 평활성의 평가 기준>≪ Criteria for Evaluation of Smoothness of Coating Layer &
○: 도막 불균일이 거의 관찰되지 않음.?: Almost unevenness of coating film was not observed.
△: 도막 불균일이 일부 관찰됨.△: Some unevenness of coating film was observed.
×: 도막 불균일이 많이 관측됨.X: Much unevenness of coating film was observed.
실시예 2(상동)Example 2 (homology)
질소 치환한 플라스크에, 용제로서 메틸에틸케톤 111g과, 1-아다만틸메타크릴레이트 59g과, 2-(트리데카플루오로헥실)에틸메타크릴레이트 12g을 투입하고, 질소 기류 하에서 교반하면서 60℃로 승온했다. 그 다음에, 2,2'-비피리딜 5g과, 염화 제1구리 2g과, 2-브로모이소부티르산에틸 3.1g을 더하여, 질소 기류 하, 60℃에서 28시간 반응시켰다. 그 다음에, 얻어진 반응물에, 활성 알루미나 30g을 더하여 교반했다. 활성 알루미나를 여과 후, 용매를 감압 유거하여 랜덤 공중합체(2)를 얻었다. 랜덤 공중합체의 분자량을 GPC로 측정한 결과, 중량 평균 분자량(Mw)이 4,561, 수평균 분자량(Mn)이 3,824이고, (Mw/Mn)은 1.19였다. 또한, 랜덤 공중합체(2)의 불소 원자 함유량은 10질량%였다. 실시예 1과 마찬가지로 하여 도막층의 평활성의 평가를 행하고, 그 결과를 제1표에 나타낸다.111 g of methyl ethyl ketone as a solvent, 59 g of 1-adamantyl methacrylate and 12 g of 2- (tridecafluorohexyl) ethyl methacrylate were fed into a nitrogen-purged flask and stirred at 60 DEG C . Subsequently, 5 g of 2,2'-bipyridyl, 2 g of cuprous chloride and 3.1 g of ethyl 2-bromoisobutyrate were added and reacted at 60 ° C. for 28 hours under a nitrogen stream. Then, 30 g of activated alumina was added to the obtained reaction product and stirred. After filtration of the activated alumina, the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a random copolymer (2). The molecular weight of the random copolymer was measured by GPC. As a result, the weight average molecular weight (Mw) was 4,561, number average molecular weight (Mn) was 3,824, and (Mw / Mn) was 1.19. The content of fluorine atoms in the random copolymer (2) was 10% by mass. The smoothness of the coating layer was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 1.
실시예 3(상동)Example 3 (homology)
질소 치환한 플라스크에, 용제로서 메틸에틸케톤 111g과, 디시클로펜타닐메타크릴레이트 47g과, 2-(트리데카플루오로헥실)에틸메타크릴레이트 25g을 투입하고, 질소 기류 하에서 교반하면서 60℃로 승온했다. 그 다음에, 2,2'-비피리딜 5g과, 염화 제1구리 2g과, 2-브로모이소부티르산에틸 3.3g을 더하여, 질소 기류 하, 60℃에서 20시간 반응시켰다. 그 다음에, 얻어진 반응물에, 활성 알루미나 30g을 더하여 교반했다. 활성 알루미나를 여과 후, 용매를 감압 유거하여 랜덤 공중합체(3)를 얻었다. 랜덤 공중합체(3)의 분자량을 GPC로 측정한 결과, 중량 평균 분자량(Mw)이 4,219, 수평균 분자량(Mn)이 3,315이고, (Mw/Mn)은 1.27이었다. 또한, 랜덤 공중합체(3)의 불소 원자 함유량은 20질량%였다. 실시예 1과 마찬가지로 하여 도막층의 평활성의 평가를 행하고, 그 결과를 제1표에 나타낸다. 실시예 1과 마찬가지로 하여 도막층의 평활성의 평가를 행하고, 그 결과를 제1표에 나타낸다.111 g of methyl ethyl ketone, 47 g of dicyclopentyl methacrylate and 25 g of 2- (tridecafluorohexyl) ethyl methacrylate as a solvent were charged into a flask purged with nitrogen, and the mixture was heated to 60 DEG C did. Subsequently, 5 g of 2,2'-bipyridyl, 2 g of cuprous chloride and 3.3 g of ethyl 2-bromoisobutyrate were added and reacted at 60 ° C. for 20 hours in a nitrogen stream. Then, 30 g of activated alumina was added to the obtained reaction product and stirred. After filtration of the activated alumina, the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a random copolymer (3). The molecular weight of the random copolymer (3) was measured by GPC. As a result, the weight average molecular weight (Mw) was 4,219, the number average molecular weight (Mn) was 3,315, and the weight average molecular weight (Mw / Mn) was 1.27. The content of fluorine atoms in the random copolymer (3) was 20% by mass. The smoothness of the coating layer was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 1. The smoothness of the coating layer was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 1.
실시예 4(상동)Example 4 (homologous)
질소 치환한 플라스크에, 용제로서 메틸에틸케톤 111g과, 이소보로닐메타크릴레이트 47g과, 2-(트리데카플루오로헥실)에틸메타크릴레이트 25g을 투입하고, 질소 기류 하에서 교반하면서 60℃로 승온했다. 그 다음에, 2,2'-비피리딜 4g과, 염화 제1구리 1.5g과, 2-브로모이소부티르산에틸 2.1g을 더하여, 질소 기류 하, 60℃에서 35시간 반응시켰다. 그 다음에, 얻어진 반응물에, 활성 알루미나 30g을 더하여 교반했다. 활성 알루미나를 여과 후, 용매를 감압 유거하여 랜덤 공중합체(4)를 얻었다. 랜덤 공중합체(4)의 분자량을 GPC로 측정한 결과, 중량 평균 분자량(Mw)이 9,182, 수평균 분자량(Mn)이 7,345이고, (Mw/Mn)은 1.25였다. 또한, 랜덤 공중합체(4)의 불소 원자 함유량은 20질량%였다. 실시예 1과 마찬가지로 하여 도막층의 평활성의 평가를 행하고, 그 결과를 제1표에 나타낸다.111 g of methyl ethyl ketone, 47 g of isobornyl methacrylate and 25 g of 2- (tridecafluorohexyl) ethyl methacrylate as a solvent were added to a flask purged with nitrogen, and the mixture was stirred at 60 캜 It has warmed up. Subsequently, 4 g of 2,2'-bipyridyl, 1.5 g of cuprous chloride and 2.1 g of ethyl 2-bromoisobutyrate were added, and the mixture was reacted at 60 ° C. for 35 hours in a nitrogen stream. Then, 30 g of activated alumina was added to the obtained reaction product and stirred. After filtration of the activated alumina, the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a random copolymer (4). The molecular weight of the random copolymer (4) was measured by GPC. As a result, the weight average molecular weight (Mw) was 9,182, the number average molecular weight (Mn) was 7,345 and (Mw / Mn) was 1.25. The content of fluorine atoms in the random copolymer (4) was 20 mass%. The smoothness of the coating layer was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 1.
비교예 1(비교 대조용 공중합체의 제조)Comparative Example 1 (Preparation of copolymer for comparison)
질소 치환한 반응 용기에, 메탄올 67g과, 2,2'-비피리딜 0.961g과, 염화 제1구리 0.305g을 투입하고, 실온에서 60분 교반했다. 그 후, 2-(노나플루오로부틸)에틸메타크릴레이트 3.37g과, 2-(트리데카플루오로헥실)에틸메타크릴레이트 3.33g과, 폴리(1,2-옥시부틸렌)옥시프로필렌모노메타크릴레이트(니치유 가부시키가이샤제 「브렌마 10PPB-500B」; 옥시부틸렌의 평균 반복수 6) 13.3g과, 폴리에틸렌글리콜모노메타크릴레이트(니치유 가부시키가이샤제 「브렌마 PE-200」; 옥시에틸렌의 평균 반복수 4.5) 20g과, 2-브로모이소부티르산에틸 0.6g을 더하고, 질소 기류 하, 60℃에서 10시간 반응시켰다. 그 다음에, 얻어진 반응물에, 활성 알루미나 30g을 더하여 교반했다. 활성 알루미나를 여과 후, 용매를 감압 유거하여 가교환 구조를 갖지 않는 비교 대조용 공중합체(1')를 얻었다. 비교 대조용 공중합체(1')의 분자량을 GPC로 측정한 결과, 중량 평균 분자량(Mw) 17,000, 수평균 분자량(Mn) 13,000이고, (Mw/Mn)은 1.25였다. 또한, 불소 원자 함유량은 9.1질량%였다. 실시예 1과 마찬가지로 하여 도막층의 평활성의 평가를 행하고, 그 결과를 제1표에 나타낸다.67 g of methanol, 0.961 g of 2,2'-bipyridyl and 0.305 g of cuprous chloride were added to a reaction vessel purged with nitrogen, and the mixture was stirred at room temperature for 60 minutes. Thereafter, a solution of 3.37 g of 2- (nonafluorobutyl) ethyl methacrylate, 3.33 g of 2- (tridecafluorohexyl) ethyl methacrylate, and 3.33 g of poly (1,2-oxybutylene) 13.3 g of acrylate ("Brenma 10PPB-500B" manufactured by Nichiyu Corporation; the average number of repeating oxyethylene groups: 6) and 13.3 g of polyethylene glycol monomethacrylate ("Brenma PE-200" manufactured by Nichiyu K.K.) ; Average number of repeating units of oxyethylene 4.5) and 0.6 g of ethyl 2-bromoisobutyrate were added, and the mixture was reacted at 60 DEG C for 10 hours in a nitrogen stream. Then, 30 g of activated alumina was added to the obtained reaction product and stirred. After filtration of the activated alumina, the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a comparative copolymer (1 ') having no crosslinked ring structure. The molecular weight of the comparative copolymer (1 ') was measured by GPC. As a result, the weight average molecular weight (Mw) was 17,000, the number average molecular weight (Mn) was 13,000, and the molecular weight (Mw / Mn) was 1.25. The fluorine atom content was 9.1% by mass. The smoothness of the coating layer was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 1.
비교예 2(비교 대조용 블록 중합체의 제조)Comparative Example 2 (Preparation of comparative control block polymer)
질소 치환한 플라스크에, 용제로서 2-프로판올 47.5g과, 3-히드록시-1-아다만틸메타크릴레이트 25.6g을 투입하고, 질소 기류 하에서 교반하면서 40℃로 승온했다. 그 다음에, 2,2'-비피리딜 5.3g, 염화 제1구리 1.9g을 투입하고, 플라스크내를 40℃로 유지하면서 30분 교반했다. 그 후, 2-브로모이소부티르산에틸 3.3g을 더하고, 질소 기류 하, 40℃에서 2시간 반응시켜, 아다만탄환을 포함하는 중합체 세그먼트를 얻었다. 그 다음에, 당해 중합체 세그먼트를 포함하는 반응계에 2-(트리데카플루오로헥실)에틸메타크릴레이트 45.9g을 더하고, 40℃에서 5시간 반응시켜, 반응물을 얻었다. 그 다음에, 얻어진 반응물에, 활성 알루미나 30g을 더하여 교반했다. 활성 알루미나를 여과 후, 용매를 감압 유거하여 비교 대조용 공중합체(2')를 얻었다. 비교 대조용 공중합체(2')의 분자량을 GPC로 측정한 결과, 중량 평균 분자량(Mw) 3,100, 수평균 분자량(Mn) 2,700이고, (Mw/Mn)은 1.15였다. 또한, 불소 원자 함유량은 14.5질량%였다. 실시예 1과 마찬가지로 하여 도막층의 평활성의 평가를 행하고, 그 결과를 제1표에 나타낸다.47.5 g of 2-propanol as a solvent and 25.6 g of 3-hydroxy-1-adamantyl methacrylate were fed into a nitrogen-purged flask, and the mixture was heated to 40 캜 while stirring under a nitrogen stream. Then, 5.3 g of 2,2'-bipyridyl and 1.9 g of cuprous chloride were added and stirred for 30 minutes while maintaining the inside of the flask at 40 ° C. Then, 3.3 g of ethyl 2-bromoisobutyrate was added and the reaction was carried out at 40 DEG C for 2 hours in a nitrogen stream to obtain a polymer segment containing an adamantane ring. Then, 45.9 g of 2- (tridecafluorohexyl) ethyl methacrylate was added to the reaction system containing the polymer segment and the reaction was carried out at 40 ° C for 5 hours to obtain a reaction product. Then, 30 g of activated alumina was added to the obtained reaction product and stirred. After filtration of the activated alumina, the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a comparative copolymer (2 '). The molecular weight of the comparative copolymer (2 ') was measured by GPC. As a result, the weight average molecular weight (Mw) was 3,100, the number average molecular weight (Mn) was 2,700, and (Mw / Mn) was 1.15. The fluorine atom content was 14.5% by mass. The smoothness of the coating layer was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 1.
[표 1][Table 1]
실시예 5(레지스트 조성물의 제조)Example 5 (Preparation of resist composition)
적색의 안료 분산액(1) 5.9g에 대하여, 참고 제조예 7에서 얻은 알칼리 가용성 수지의 40질량% 수지 용액을 1.5g과, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트와 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트의 혼합물인 아로닉스 M-402(도아고세이가가쿠 가부시키가이샤제)를 0.6g과, 광중합개시제로서 BASF 쟈판 가부시키가이샤제 이르가큐어 #369를 0.05g과, 랜덤 공중합체(1)를 고형분 환산으로 0.0014g과, PGMEA를 2.2g 더해 혼합하여, 컬러 레지스트 조성물(1)을 조제했다. 컬러 레지스트 조성물(1)을 사용하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막층의 알칼리 용액에 의한 현상성을 하기 방법에 따라서 평가했다.To 5.9 g of the red pigment dispersion (1), 1.5 g of a 40% by mass resin solution of the alkali-soluble resin obtained in Reference Production Example 7, 1.5 g of a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate 0.6 g of Aronix M-402 (manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.), 0.05 g of Irgacure # 369 manufactured by BASF Japan Co., Ltd. as a photopolymerization initiator, 0.0014 g of the random copolymer (1) and 2.2 g of PGMEA were added and mixed to prepare a color resist composition (1). The ability to form a coating layer using the color resist composition (1), to inhibit the generation of foreign matter (foreign matter originating from the pigment) in the coating layer (inhibitory property), and to develop the coating layer with the alkali solution, I appreciated.
<도막층 중의 이물의 억제성의 평가 방법>≪ Evaluation method of inhibiting property of foreign matter in coating layer >
컬러 레지스트 조성물(1)을 7㎝×7㎝의 유리판상에 회전수 1000rpm, 회전 시간 10초의 조건으로 스핀코팅한 후, 80℃에서 3분간 건조시켜 건조한 도막층을 갖는 물품을 얻었다. 건조한 도막층에 대하여 고압 수은등을 사용하여 50mJ/c㎡로 활성 에너지선을 조사하여 경화한 도막층을 갖는 물품을 얻었다. 그 후, 물품을 270℃에서 1시간 가열한 후, 기엔스제 디지털 마이크로스코프 VHX-900으로 도막층을 관찰하고, 하기 기준에 따라서 평가했다. 평가 결과를 제2표에 나타낸다.The color resist composition (1) was spin-coated on a 7 cm x 7 cm glass plate under the conditions of the number of revolutions of 1000 rpm and the rotation time of 10 seconds, and dried at 80 캜 for 3 minutes to obtain an article having a dried coating layer. A dry film layer was irradiated with an active energy ray at 50 mJ / cm 2 using a high-pressure mercury lamp to obtain an article having a coating layer cured. Thereafter, the article was heated at 270 DEG C for 1 hour, and then the coating film layer was observed with a Giannez digital microscope VHX-900 and evaluated according to the following criteria. The evaluation results are shown in Table 2.
○: 1㎝×1㎝ 사방의 도막층 중에 확인할 수 있는 이물이 1개 이하임.?: 1 or less foreign matter that can be identified in a coating layer of 1 cm x 1 cm in all directions.
△: 1㎝×1㎝ 사방의 도막층 중에 확인할 수 있는 이물이 평균 2∼9개임.?: An average of 2 to 9 foreign objects can be identified in a coating layer of 1 cm x 1 cm on all sides.
×: 1㎝×1㎝ 사방의 도막층 중에 확인할 수 있는 이물이 평균 10 이상임.X: An average of 10 or more foreign particles that can be identified in a coating layer of 1 cm x 1 cm on all sides.
<도막층의 현상성의 평가 방법>≪ Evaluation method of developability of coating layer >
컬러 레지스트 조성물(1)을 7㎝×7㎝의 유리판상에 회전수 1000rpm, 회전 시간 10초의 조건으로 스핀코팅한 후, 80℃에서 3분간 건조시켜 건조한 도막층을 갖는 물품을 얻었다. 건조한 도막층에 대하여, 세미크린 DL-A4(요코하마유시고교 가부시키가이샤제의 알칼리성 현상제)의 20배 희석 수용액을 사용하여 샤워 현상(200rpm, 45초)을 행한 후, 건조시킨 도막의 잔막율을 눈으로 하기 기준에 따라서 평가했다.The color resist composition (1) was spin-coated on a 7 cm x 7 cm glass plate under the conditions of the number of revolutions of 1000 rpm and the rotation time of 10 seconds, and dried at 80 캜 for 3 minutes to obtain an article having a dried coating layer. The dried coating film layer was subjected to a shower phenomenon (200 rpm, 45 seconds) using a 20-fold diluted aqueous solution of Semiclin DL-A4 (an alkaline developer manufactured by Yokohama Yushi Kogyo K.K.), and the residual film ratio Was evaluated according to the following criteria.
○: 잔막율이 10%보다도 작음.?: Remaining film ratio is smaller than 10%.
△: 잔막율이 10∼50%임.?: Residual film ratio is 10 to 50%.
×: 잔막율이 50%보다도 큼.X: Remaining film ratio is larger than 50%.
실시예 6(상동)Example 6 (homology)
황색의 안료 분산액(2) 6.2g에 대하여, 알칼리 가용성 수지(벤질메타크릴레이트와 아크릴산과의 공중합체)를 1.2g과, 아로닉스 M-402를 0.6g과, 광중합개시제로서 BASF 쟈판 가부시키가이샤제 이르가큐어 #369를 0.05g과, 랜덤 공중합체(1)를 고형분 환산으로 0.0017g과, PGMEA를 2.2g 더해 혼합하여, 컬러 레지스트 조성물(2)을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제2표에 나타낸다.1.2 g of an alkali-soluble resin (a copolymer of benzyl methacrylate and acrylic acid), 0.6 g of ARONIX M-402, and 0.6 g of an alkali-soluble resin were mixed with 6.2 g of the yellow pigment dispersion (2) 0.05 g of Jay Cakir # 369, 0.0017 g of the random copolymer (1) in terms of solid content, and 2.2 g of PGMEA were added and mixed to prepare a color resist composition (2). A coating layer was prepared in the same manner as in Example 5 to evaluate the ability (inhibitory property) of suppressing the generation of foreign matter (foreign matter derived from the pigment) in the coating layer and the developability of the coating film with an alkali solution. The evaluation results are shown in Table 2.
실시예 7(상동)Example 7 (homology)
황색의 안료 분산액(2) 대신에 황색의 안료 분산액(3)을 사용한 것 이외는 실시예 6과 마찬가지로 하여 컬러 레지스트 조성물(3)을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제2표에 나타낸다.A color resist composition (3) was prepared in the same manner as in Example 6 except that the yellow pigment dispersion (3) was used instead of the yellow pigment dispersion (2). A coating layer was prepared in the same manner as in Example 5 to evaluate the ability (inhibitory property) of suppressing the generation of foreign matter (foreign matter derived from the pigment) in the coating layer and the developability of the coating film with an alkali solution. The evaluation results are shown in Table 2.
실시예 8(상동)Example 8 (homology)
황색의 안료 분산액(2) 대신에 황색의 안료 분산액(4)을 사용한 것 이외는 실시예 6과 마찬가지로 하여 컬러 레지스트 조성물(4)을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제2표에 나타낸다.A color resist composition (4) was prepared in the same manner as in Example 6 except that the yellow pigment dispersion (4) was used instead of the yellow pigment dispersion (2). A coating layer was prepared in the same manner as in Example 5 to evaluate the ability (inhibitory property) of suppressing the generation of foreign matter (foreign matter derived from the pigment) in the coating layer and the developability of the coating film with an alkali solution. The evaluation results are shown in Table 2.
실시예 9(상동)Example 9 (homology)
황색의 안료 분산액(2) 대신에 황색의 안료 분산액(5)을 사용한 것 이외는 실시예 6과 마찬가지로 하여 컬러 레지스트 조성물(5)을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제2표에 나타낸다.A color resist composition (5) was prepared in the same manner as in Example 6 except that the yellow pigment dispersion (5) was used instead of the yellow pigment dispersion (2). A coating layer was prepared in the same manner as in Example 5 to evaluate the ability (inhibitory property) of suppressing the generation of foreign matter (foreign matter derived from the pigment) in the coating layer and the developability of the coating film with an alkali solution. The evaluation results are shown in Table 2.
실시예 10(상동)Example 10 (homology)
황색의 안료 분산액(2) 대신에 황색의 안료 분산액(6)을 사용한 것 이외는 실시예 6과 마찬가지로 하여 컬러 레지스트 조성물(6)을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제2표에 나타낸다.A color resist composition (6) was prepared in the same manner as in Example 6 except that the yellow pigment dispersion (6) was used instead of the yellow pigment dispersion (2). A coating layer was prepared in the same manner as in Example 5 to evaluate the ability (inhibitory property) of suppressing the generation of foreign matter (foreign matter derived from the pigment) in the coating layer and the developability of the coating film with an alkali solution. The evaluation results are shown in Table 2.
실시예 11(상동)Example 11 (homology)
랜덤 공중합체(1) 대신에 랜덤 공중합체(2)를 사용한 것 이외는 실시예 5와 마찬가지로 하여 컬러 레지스트 조성물(7)을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제2표에 나타낸다.A color resist composition (7) was prepared in the same manner as in Example 5 except that the random copolymer (2) was used instead of the random copolymer (1). A coating layer was prepared in the same manner as in Example 5 to evaluate the ability (inhibitory property) of suppressing the generation of foreign matter (foreign matter derived from the pigment) in the coating layer and the developability of the coating film with an alkali solution. The evaluation results are shown in Table 2.
실시예 12(상동)Example 12 (homology)
랜덤 공중합체(1) 대신에 랜덤 공중합체(3)를 사용한 것 이외는 실시예 5와 마찬가지로 하여 컬러 레지스트 조성물(8)을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제2표에 나타낸다.A color resist composition (8) was prepared in the same manner as in Example 5 except that the random copolymer (3) was used instead of the random copolymer (1). A coating layer was prepared in the same manner as in Example 5 to evaluate the ability (inhibitory property) of suppressing the generation of foreign matter (foreign matter derived from the pigment) in the coating layer and the developability of the coating film with an alkali solution. The evaluation results are shown in Table 2.
실시예 13(상동)Example 13 (homologous)
랜덤 공중합체(1) 대신에 랜덤 공중합체(4)를 사용한 것 이외는 실시예 5와 마찬가지로 하여 컬러 레지스트 조성물(9)을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제2표에 나타낸다.A color resist composition (9) was prepared in the same manner as in Example 5 except that the random copolymer (4) was used instead of the random copolymer (1). A coating layer was prepared in the same manner as in Example 5 to evaluate the ability (inhibitory property) of suppressing the generation of foreign matter (foreign matter derived from the pigment) in the coating layer and the developability of the coating film with an alkali solution. The evaluation results are shown in Table 2.
[표 2][Table 2]
비교예 3(비교 대조용 레지스트 조성물의 제조)Comparative Example 3 (Preparation of resist composition for comparison)
랜덤 공중합체(1) 대신에 비교 대조용 공중합체(1')를 사용한 것 이외는 실시예 5와 마찬가지로 하여 비교 대조용 컬러 레지스트 조성물(1')을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제3표에 나타낸다.A comparative control color resist composition (1 ') was prepared in the same manner as in Example 5 except that the copolymer (1') for comparison control was used instead of the random copolymer (1). A coating layer was prepared in the same manner as in Example 5 to evaluate the ability (inhibitory property) of suppressing the generation of foreign matter (foreign matter derived from the pigment) in the coating layer and the developability of the coating film with an alkali solution. The evaluation results are shown in Table 3.
비교예 4(상동)Comparative Example 4 (homologous)
랜덤 공중합체(1) 대신에 비교 대조용 공중합체(1')를 사용한 것 이외는 실시예 6과 마찬가지로 하여 비교 대조용 컬러 레지스트 조성물(2')을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제3표에 나타낸다.A comparative control color resist composition (2 ') was prepared in the same manner as in Example 6 except that the copolymer (1') for comparison control was used instead of the random copolymer (1). A coating layer was prepared in the same manner as in Example 5 to evaluate the ability (inhibitory property) of suppressing the generation of foreign matter (foreign matter derived from the pigment) in the coating layer and the developability of the coating film with an alkali solution. The evaluation results are shown in Table 3.
비교예 5(상동)Comparative Example 5 (homology)
황색의 안료 분산액(2) 대신에 황색의 안료 분산액(3)을 사용하며, 또한, 랜덤 공중합체(1) 대신에 비교 대조용 공중합체(1')를 사용한 것 이외는 실시예 6과 마찬가지로 하여 비교 대조용 컬러 레지스트 조성물(3')을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제3표에 나타낸다.A yellow pigment dispersion 3 was used instead of the yellow pigment dispersion 2 and the copolymer 1 'for comparison and comparison was used in place of the
비교예 6(상동)Comparative Example 6 (homology)
황색의 안료 분산액(2) 대신에 황색의 안료 분산액(4)을 사용하며, 또한, 랜덤 공중합체(1) 대신에 비교 대조용 공중합체(1')를 사용한 것 이외는 실시예 6과 마찬가지로 하여 비교 대조용 컬러 레지스트 조성물(4')을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제3표에 나타낸다.The procedure of Example 6 was repeated except that the yellow pigment dispersion (4) was used in place of the yellow pigment dispersion (2) and the copolymer (1 ') for comparison control was used in place of the random copolymer (1) To prepare a comparative color resist composition (4 '). A coating layer was prepared in the same manner as in Example 5 to evaluate the ability (inhibitory property) of suppressing the generation of foreign matter (foreign matter derived from the pigment) in the coating layer and the developability of the coating film with an alkali solution. The evaluation results are shown in Table 3.
비교예 7(상동)Comparative Example 7 (homology)
황색의 안료 분산액(2) 대신에 황색의 안료 분산액(5)을 사용하며, 또한, 랜덤 공중합체(1) 대신에 비교 대조용 공중합체(1')를 사용한 것 이외는 실시예 6과 마찬가지로 하여 비교 대조용 컬러 레지스트 조성물(5')을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제3표에 나타낸다.A yellow pigment dispersion 5 was used instead of the yellow pigment dispersion 2 and the copolymer 1 'for comparison and comparison was used in place of the
비교예 8(상동)Comparative Example 8 (homology)
황색의 안료 분산액(2) 대신에 황색의 안료 분산액(6)을 사용하며, 또한, 랜덤 공중합체(1) 대신에 비교 대조용 공중합체(1')를 사용한 것 이외는 실시예 6과 마찬가지로 하여 비교 대조용 컬러 레지스트 조성물(6')을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제3표에 나타낸다.The procedure of Example 6 was repeated except that the
비교예 9(상동)Comparative Example 9 (homology)
랜덤 공중합체(1) 대신에 비교 대조용 공중합체(2')를 사용한 것 이외는 실시예 5와 마찬가지로 하여 비교 대조용 컬러 레지스트 조성물(7')을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제4표에 나타낸다.A comparative control color resist composition (7 ') was prepared in the same manner as in Example 5 except that the copolymer (2') for comparison control was used instead of the random copolymer (1). A coating layer was prepared in the same manner as in Example 5 to evaluate the ability (inhibitory property) of suppressing the generation of foreign matter (foreign matter derived from the pigment) in the coating layer and the developability of the coating film with an alkali solution. The evaluation results are shown in Table 4.
비교예 10(상동)Comparative Example 10 (homology)
랜덤 공중합체(1) 대신에 비교 대조용 공중합체(2')를 사용한 것 이외는 실시예 6과 마찬가지로 하여 비교 대조용 컬러 레지스트 조성물(8')을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제4표에 나타낸다.A comparative control color resist composition (8 ') was prepared in the same manner as in Example 6 except that the copolymer (2') for comparison control was used instead of the random copolymer (1). A coating layer was prepared in the same manner as in Example 5 to evaluate the ability (inhibitory property) of suppressing the generation of foreign matter (foreign matter derived from the pigment) in the coating layer and the developability of the coating film with an alkali solution. The evaluation results are shown in Table 4.
비교예 11(상동)Comparative Example 11 (homology)
황색의 안료 분산액(2) 대신에 황색의 안료 분산액(3)을 사용하며, 또한, 랜덤 공중합체(1) 대신에 비교 대조용 공중합체(2')를 사용한 것 이외는 실시예 6과 마찬가지로 하여 비교 대조용 컬러 레지스트 조성물(9')을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제4표에 나타낸다. A yellow pigment dispersion 3 was used in place of the yellow pigment dispersion 2 and the copolymer 2 'for comparison control was used instead of the
비교예 12(상동)Comparative Example 12 (homology)
황색의 안료 분산액(2) 대신에 황색의 안료 분산액(4)을 사용하며, 또한, 랜덤 공중합체(1) 대신에 비교 대조용 공중합체(2')를 사용한 것 이외는 실시예 6과 마찬가지로 하여 비교 대조용 컬러 레지스트 조성물(10')을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제4표에 나타낸다.The procedure of Example 6 was repeated except that yellow pigment dispersion (4) was used in place of yellow pigment dispersion (2) and copolymer (2 ') was used instead of random copolymer (1) To prepare a comparative color resist composition (10 '). A coating layer was prepared in the same manner as in Example 5 to evaluate the ability (inhibitory property) of suppressing the generation of foreign matter (foreign matter derived from the pigment) in the coating layer and the developability of the coating film with an alkali solution. The evaluation results are shown in Table 4.
비교예 13(상동)Comparative Example 13 (homologous)
황색의 안료 분산액(2) 대신에 황색의 안료 분산액(5)을 사용하며, 또한, 랜덤 공중합체(1) 대신에 비교 대조용 공중합체(2')를 사용한 것 이외는 실시예 6과 마찬가지로 하여 비교 대조용 컬러 레지스트 조성물(11')을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제4표에 나타낸다.The procedure of Example 6 was repeated except that the yellow pigment dispersion 5 was used in place of the yellow pigment dispersion 2 and the copolymer (2 ') for comparison control was used in place of the random copolymer (1) To prepare a comparative color resist composition (11 '). A coating layer was prepared in the same manner as in Example 5 to evaluate the ability (inhibitory property) of suppressing the generation of foreign matter (foreign matter derived from the pigment) in the coating layer and the developability of the coating film with an alkali solution. The evaluation results are shown in Table 4.
비교예 14(상동)Comparative Example 14 (homologous)
황색의 안료 분산액(2) 대신에 황색의 안료 분산액(6)을 사용하며, 또한, 랜덤 공중합체(1) 대신에 비교 대조용 공중합체(2')를 사용한 것 이외는 실시예 6과 마찬가지로 하여 비교 대조용 컬러 레지스트 조성물(12')을 조제했다. 실시예 5와 마찬가지로 하여 도막층을 작성하고, 도막층 중의 이물(안료 유래의 이물)의 발생을 억제하는 능력(억제성) 및 도막의 알칼리 용액에 의한 현상성을 평가했다. 평가 결과를 제4표에 나타낸다.The procedure of Example 6 was repeated except that the
[표 3][Table 3]
[표 4][Table 4]
Claims (15)
상기 중합성 단량체(a2)가 갖는 가교환 탄화수소의 골격이, 아다만탄환, 디시클로펜탄환, 디시클로펜텐환, 노르보르난환 또는 노르보르넨환인 랜덤 공중합체.The method according to claim 1,
Wherein the skeleton of the crosslinked ring hydrocarbon of the polymerizable monomer (a2) is an adamantane ring, a dicyclopentane ring, a dicyclopentane ring, a norbornane ring or a norbornene ring.
상기 중합성 단량체(a2)가 갖는 가교환 탄화수소의 골격이, 아다만탄환인 랜덤 공중합체.The method according to claim 1,
Wherein the skeleton of the crosslinked ring hydrocarbon of the polymerizable monomer (a2) is an adamantane ring.
상기 중합성 단량체(a1)가, 하기 일반식(1)으로 표시되는 단량체인 랜덤 공중합체.
〔상기 일반식(1) 중, R1은 수소 원자, 불소 원자, 메틸기, 시아노기, 페닐기, 벤질기 또는-CnH2n-Rf'(n은 1∼8의 정수를 나타내고, Rf'는 하기 식(Rf-1)∼(Rf-4) 중 어느 하나의 기를 나타냄)를 나타내고, X는, 하기 식(X-1)∼(X-10) 중 어느 하나의 기를 나타내고, Rf는 하기 식(Rf-1)∼(Rf-4) 중 어느 하나의 기를 나타낸다.〕
〔상기 식(X-1), (X-3), (X-4), (X-5), (X-6) 및 (X-7) 중의 n은 1∼8의 정수를 나타낸다. 상기 식(X-8), (X-9) 및 (X-10) 중의 m은 1∼8의 정수를 나타내고, n은 0∼8의 정수를 나타낸다. 상기 식(X-6) 및 (X-7) 중의 Rf''는 하기 식(Rf-1)∼(Rf-4) 중 어느 하나의 기를 나타낸다.〕
〔상기 식(Rf-1) 및 (Rf-2) 중의 n은 1∼6의 정수를 나타낸다. 상기 식(Rf-3) 중의 n은 2∼6의 정수를 나타낸다. 상기 식(Rf-4) 중의 n은 4∼6의 정수를 나타낸다.〕The method according to claim 1,
Wherein the polymerizable monomer (a1) is a monomer represented by the following general formula (1).
R 1 represents a hydrogen atom, a fluorine atom, a methyl group, a cyano group, a phenyl group, a benzyl group or -C n H 2n -Rf '(n represents an integer of 1 to 8, and Rf' X represents any one of groups represented by the following formulas (X-1) to (X-10), Rf represents a group represented by the following formula (Rf-1) to (Rf-4).
N in the formulas (X-1), (X-3), (X-4), (X-5), (X-6) and (X-7) represents an integer of 1 to 8. M in the formulas (X-8), (X-9) and (X-10) represents an integer of 1 to 8 and n represents an integer of 0 to 8. Rf "in the formulas (X-6) and (X-7) represents any one of groups represented by the following formulas (Rf-1) to (Rf-4)
[N in the formulas (Rf-1) and (Rf-2) represents an integer of 1 to 6) N in the formula (Rf-3) represents an integer of 2 to 6. And n in the formula (Rf-4) represents an integer of 4 to 6.)
중량 평균 분자량(Mw)과 수평균 분자량(Mn)과의 비(Mw/Mn)가 1.0∼1.5인 랜덤 공중합체.The method according to claim 1,
Wherein the ratio (Mw / Mn) of the weight average molecular weight (Mw) to the number average molecular weight (Mn) is 1.0 to 1.5.
상기 착색제(B)가, C.I. 피그먼트 레드 177, C.I. 피그먼트 레드 207, C.I. 피그먼트 레드 254, C.I. 피그먼트 그린 7, C.I. 피그먼트 그린 36, C.I. 피그먼트 그린 58, C.I. 피그먼트 그린 59, C.I. 피그먼트 옐로우 83, C.I. 피그먼트 옐로우 93, C.I. 피그먼트 옐로우 109, C.I. 피그먼트 옐로우 110, C.I. 피그먼트 옐로우 129, C.I. 피그먼트 옐로우 138, C.I. 피그먼트 옐로우 139, C.I. 피그먼트 옐로우 150, C.I. 피그먼트 옐로우 154, C.I. 피그먼트 옐로우 180, C.I. 피그먼트 옐로우 185, C.I. 피그먼트 블루 15:1, C.I. 피그먼트 블루 15:2, C.I. 피그먼트 블루 15:6 및 C.I. 피그먼트 바이올렛 23으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 안료인 레지스트 조성물.The method according to claim 6,
Wherein the colorant (B) is at least one selected from the group consisting of CI Pigment Red 177, CI Pigment Red 207, CI Pigment Red 254, CI Pigment Green 7, CI Pigment Green 36, CI Pigment Green 58, Pigment Yellow 83, CI Pigment Yellow 93, CI Pigment Yellow 109, CI Pigment Yellow 110, CI Pigment Yellow 129, CI Pigment Yellow 138, CI Pigment Yellow 139, CI Pigment Yellow 150, CI Pigment CI Pigment Blue 15: 2, CI Pigment Blue 15: 6 and CI Pigment Blue 15: 1, CI Pigment Blue 15: 2, CI Pigment Blue 15: 6 and CI Pigment Blue 18 At least one pigment.
상기 중합성 단량체(a2)가 갖는 가교환 탄화수소의 골격이, 아다만탄환, 디시클로펜탄환, 디시클로펜텐환, 노르보르난환 또는 노르보르넨환인 랜덤 공중합체의 제조 방법.10. The method of claim 9,
Wherein the skeleton of the crosslinked ring hydrocarbon of the polymerizable monomer (a2) is an adamantane ring, a dicyclopentane ring, a dicyclopentane ring, a norbornane ring, or a norbornene ring.
상기 중합성 단량체(a2)가 갖는 가교환 탄화수소의 골격이, 아다만탄환인 랜덤 공중합체의 제조 방법.10. The method of claim 9,
Wherein the skeleton of the crosslinked ring hydrocarbon of the polymerizable monomer (a2) is an adamantane ring.
상기 중합성 단량체(a1)가, 하기 일반식(1)으로 표시되는 단량체인 랜덤 공중합체의 제조 방법.
〔상기 일반식(1) 중, R1은 수소 원자, 불소 원자, 메틸기, 시아노기, 페닐기, 벤질기 또는 -CnH2n-Rf'(n은 1∼8의 정수를 나타내고, Rf'는 하기 식(Rf-1)∼(Rf-4) 중 어느 하나의 기를 나타냄)를 나타내고, X는, 하기 식(X-1)∼(X-10) 중 어느 하나의 기를 나타내고, Rf는 하기 식(Rf-1)∼(Rf-4) 중 어느 하나의 기를 나타낸다.〕
〔상기 식(X-1), (X-3), (X-5), (X-6) 및 (X-7) 중의 n은 1∼8의 정수를 나타낸다. 상기 식(X-8), (X-9) 및 (X-10) 중의 m은 1∼8의 정수를 나타내고, n은 0∼8의 정수를 나타낸다. 상기 식(X-6) 및 (X-7) 중의 Rf''는 하기 식(Rf-1)∼(Rf-4) 중 어느 하나의 기를 나타낸다.〕
〔상기 식(Rf-1) 및 (Rf-2) 중의 n은 1∼6의 정수를 나타낸다. 상기 식(Rf-3) 중의 n은 2∼6의 정수를 나타낸다. 상기 식(Rf-4) 중의 n은 4∼6의 정수를 나타낸다.〕10. The method of claim 9,
Wherein the polymerizable monomer (a1) is a monomer represented by the following general formula (1).
R 1 represents a hydrogen atom, a fluorine atom, a methyl group, a cyano group, a phenyl group, a benzyl group or -C n H 2n -Rf '(n represents an integer of 1 to 8, and Rf' X represents any one of groups represented by the following formulas (X-1) to (X-10), Rf represents a group represented by the following formula (Rf-1) to (Rf-4).
N in the formulas (X-1), (X-3), (X-5), (X-6) and (X-7) represents an integer of 1 to 8. M in the formulas (X-8), (X-9) and (X-10) represents an integer of 1 to 8 and n represents an integer of 0 to 8. Rf "in the formulas (X-6) and (X-7) represents any one of groups represented by the following formulas (Rf-1) to (Rf-4)
[N in the formulas (Rf-1) and (Rf-2) represents an integer of 1 to 6) N in the formula (Rf-3) represents an integer of 2 to 6. And n in the formula (Rf-4) represents an integer of 4 to 6.)
상기 리빙 라디칼 중합이 원자 이동 라디칼 중합인 랜덤 공중합체의 제조 방법.10. The method of claim 9,
Wherein the living radical polymerization is an atom transfer radical polymerization.
상기 중합성 단량체(a1)와 중합성 단량체(a2)를, 중합개시제, 전이 금속 화합물, 당해 전이 금속과 배위 결합 가능한 배위자를 갖는 화합물 및 용매의 존재 하에서 원자 이동 라디칼 중합시키는 랜덤 공중합체의 제조 방법.10. The method of claim 9,
A method for producing a random copolymer in which the polymerizable monomer (a1) and the polymerizable monomer (a2) are subjected to atomic transfer radical polymerization in the presence of a polymerization initiator, a transition metal compound, a compound having a ligand capable of coordinating bonding with the transition metal, .
상기 중합성 단량체(a1) 100질량부에 대하여 중합성 단량체(a2)를 50∼900질량부 사용하는 랜덤 공중합체의 제조 방법.
10. The method of claim 9,
Wherein the polymerizable monomer (a2) is used in an amount of 50 to 900 parts by mass based on 100 parts by mass of the polymerizable monomer (a1).
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