KR20180111542A - Grinding apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 판상 워크를 흡인 유지하는 유지 테이블을 구비하는 연삭 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a grinding apparatus having a holding table for sucking and holding a plate work.
연삭 장치 등의 가공 장치는, 판상 워크를 흡인 유지하는 유지 테이블을 구비하고 있다. 유지 테이블은, 판상 워크를 흡인 유지하는 유지면을 상면에 갖는 포러스판과, 포러스판을 수용하는 프레임을 적어도 구비하고 있다. 프레임에는, 유지면과 흡인원을 연통시키는 흡인로가 형성되어 있고, 이 흡인로를 통해 유지면에 흡인 작용을 발휘시켜 판상 워크를 흡인 유지하고 있다.The processing apparatus such as the grinding apparatus has a holding table for sucking and holding the plate work. The holding table has at least a porous plate having a holding surface for attracting and retaining the plate-like work on its upper surface and a frame for housing the porous plate. In the frame, there is formed a suction path for communicating the holding surface and the suction source, and the suction action is exerted on the holding surface through the suction path to suck and hold the plate work.
판상 워크에 휨이 발생하고 있는 경우, 유지 테이블로 판상 워크를 흡인 유지하려고 해도 유지 테이블의 유지면으로부터 들뜬 부분으로부터 부압이 리크되어 버려, 판상 워크를 흡인 유지할 수 없는 경우가 있다. 예를 들어, 하기의 특허문헌 1 에 있어서, 유지 테이블의 유지면보다 큰 면적을 갖는 점착 테이프를 통해 유지 테이블로 판상 워크를 흡인 유지함으로써, 휨을 갖는 판상 워크라도 유지면으로 흡인 유지할 수 있도록 하는 방법이 제안되어 있다.If the plate-like workpiece is warped, the plate-shaped workpiece may be sucked and held by the holding table, even if the plate-shaped workpiece is attracted to the holding table, the negative pressure leaks from the holding surface of the holding table. For example, in the following
그러나, 상기와 같은 방법은, 유지 테이블의 흡인력이 저하되지 않도록 하는 것이 목적이기 때문에, 판상 워크의 외주 부분에 밀접해야 하는 유지면에 있어서 흡인력이 저하된 경우의 대처에 관해서는 특별히 상정되어 있지 않다. 그 때문에, 연삭 가공 중에 유지 테이블의 흡인력이 저하되면, 외주 부분에 휨을 갖는 판상 워크가 유지 테이블로부터 날아간다는 문제가 있다. 또, 유지 테이블로부터 판상 워크가 날아가지 않았다고 하더라도, 판상 워크의 외주 부분이 유지면으로부터 들떠있는 점에서, 연삭 후의 판상 워크의 두께가 균일해지지 않는다는 문제도 있다.However, since the above-described method aims to prevent the suction force of the holding table from deteriorating, a countermeasure for a case in which the suction force is lowered on the holding surface close to the outer circumferential portion of the plate-like workpiece is not specially considered . Therefore, when the suction force of the holding table is lowered during the grinding process, there is a problem that the plate-shaped workpiece having warp on the outer peripheral portion flies from the holding table. In addition, even if the plate-like workpiece does not fly from the holding table, there is a problem that the thickness of the plate-like workpiece after grinding is not uniform because the outer peripheral portion of the plate-like workpiece protrudes from the holding surface.
본 발명은, 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 휨을 갖는 판상 워크를 유지 테이블로 흡인 유지한 경우라도, 판상 워크의 파손이나 연삭 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있도록 하는 것을 목적으로 하고 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to prevent breakage of a plate-shaped workpiece and occurrence of grinding failure even when a plate-like workpiece having a warp is attracted and held by a holding table.
본 발명은, 판상 워크를 흡인 유지하는 유지면을 갖는 유지 테이블과, 그 유지 테이블이 유지한 판상 워크를 연삭 지석으로 연삭하는 연삭 수단과, 그 연삭 수단을 그 유지 테이블에 대하여 접근 및 이반 (離反) 하는 방향으로 연삭 이송하는 연삭 이송 수단을 구비하는 연삭 장치로서, 그 유지 테이블은, 중앙 흡인부와, 그 중앙 흡인부의 외주를 둘러싸는 적어도 1 개의 환상의 외주 흡인부와, 그 중앙 흡인부와 그 외주 흡인부 사이를 구획하는 적어도 1 개의 환상의 구획부를 구비하고, 그 연삭 장치에는, 그 중앙 흡인부를 흡인원에 연통시키는 중앙 연통관과, 그 외주 흡인부를 그 흡인원에 연통시키는 외주 연통관과, 그 외주 연통관 내의 부압을 측정하는 압력계와, 그 압력계가 측정한 그 외주 연통관 내의 부압값이 미리 설정한 부압값보다 커지면 그 유지 테이블이 유지하는 판상 워크의 외주 부분이 그 유지면으로부터 들뜬 상태라고 인식하는 인식부를 구비하고 있다.According to the present invention, there is provided a polishing apparatus comprising: a holding table having a holding surface for sucking and holding a plate-like workpiece; a grinding means for grinding the plate-like work held by the holding table with a grinding stone; The grinding apparatus according to
또, 본 발명은, 상기 연삭 지석으로 상기 유지 테이블이 유지하는 판상 워크를 연삭하기 전에, 상기 인식부에 의해 상기 유지면으로부터 판상 워크의 외주 부분의 들뜸을 인식하면, 상기 연삭 이송 수단을 정지시키고, 그 연삭 지석으로 그 유지 테이블이 유지하는 판상 워크의 연삭 가공 중에, 그 인식부에 의해 그 유지면으로부터 판상 워크의 외주 부분의 들뜸을 인식하면, 그 연삭 이송 수단에 의한 연삭 이송을 정지시키거나, 또는, 그 연삭 이송 수단이 그 연삭 지석의 연삭면을 그 유지 테이블이 유지하는 판상 워크의 상면으로부터 떼어 놓는 방향으로 이동시키고, 그 압력계가 측정하는 그 부압값이 미리 설정한 부압값 이하로 되면, 그 연삭 이송 수단에 의해 그 연삭 지석을 그 유지 테이블이 유지하는 판상 워크의 상면에 접근하는 방향으로 이동시키는 제어를 하는 제어부를 구비하고 있다.Further, the present invention is characterized in that, before grinding the plate work held by the holding table with the grinding wheel, when the recognition portion recognizes lifting of the outer peripheral portion of the plate work from the holding surface, the grinding and conveying means is stopped , And when recognizing the lifting of the outer peripheral portion of the plate work from its holding surface during the grinding process of the plate work held by the holding table by the grinding wheel, the grinding feed by the grinding and feeding means is stopped Or the grinding and conveying means moves the grinding surface of the grinding stone in a direction to separate the grinding surface of the grinding stone from the upper surface of the plate work held by the holding table. When the negative pressure value measured by the pressure gauge becomes equal to or less than a preset negative pressure value , The grinding and conveying means moves the grinding stone in a direction approaching the upper surface of the plate workpiece held by the holding table Key is provided with a control unit for the control.
본 발명에 관련된 연삭 장치는, 판상 워크를 흡인 유지하는 유지면을 갖는 유지 테이블과, 유지 테이블이 유지한 판상 워크를 연삭 지석으로 연삭하는 연삭 수단과, 연삭 수단을 유지 테이블에 대하여 접근 및 이반하는 방향으로 연삭 이송하는 연삭 이송 수단을 구비하고, 유지 테이블은, 중앙 흡인부와, 중앙 흡인부의 외주를 둘러싸는 적어도 1 개의 환상의 외주 흡인부와, 중앙 흡인부와 외주 흡인부 사이를 구획하는 적어도 1 개의 환상의 구획부를 구비하고, 연삭 장치에는, 중앙 흡인부를 흡인원에 연통시키는 중앙 연통관과, 외주 흡인부를 흡인원에 연통시키는 외주 연통관과, 외주 연통관 내의 부압을 측정하는 압력계와, 압력계가 측정한 외주 연통관 내의 부압값이 미리 설정한 부압값보다 커지면 유지 테이블이 유지하는 판상 워크의 외주 부분이 유지면으로부터 들뜬 상태라고 인식하는 인식부를 구비하기 때문에, 가령 판상 워크의 외주 부분에 휨이 있더라도, 압력계가 측정한 외주 연통관의 부압값에 기초하여, 인식부가 판상 워크의 외주 부분이 유지면으로부터 들떠있는지 여부를 인식하는 것이 가능해진다. 따라서, 판상 워크가 유지 테이블로부터 날아가 파손되는 것을 방지할 수 있음과 함께, 판상 워크가 유지 테이블로부터 날아가지 않았다고 하더라도 외주 부분의 들뜸에서 기인하여 외주 부분이 얇아지고, 판상 워크의 두께가 균일해지지 않는다는 연삭 불량의 발생을 방지할 수 있다.A grinding apparatus according to the present invention is a grinding apparatus comprising a holding table having a holding surface for sucking and holding a plate work, grinding means for grinding the plate work held by the holding table with a grinding stone, And the grinding and conveying means for grinding and conveying the grinding wheel in the direction of grinding the grinding wheel, wherein the holding table has a central suction portion, at least one annular outer peripheral suction portion surrounding the outer periphery of the central suction portion, The grinding apparatus includes a central communicating tube for communicating the center suction portion with the suction source, an outer peripheral communicating tube communicating the outer suction portion with the suction source, a pressure gauge for measuring the negative pressure in the outer communicating tube, When the negative pressure value in one outer peripheral communication pipe is larger than a predetermined negative pressure value, the outer peripheral portion of the plate-like work held by the holding table Even if there is a warp in the outer circumferential portion of the plate-like work, the perimeter portion of the plate-like workpiece is flared from the holding surface on the basis of the negative pressure value of the outer circumferential communication tube measured by the pressure gauge It becomes possible to recognize whether or not there is any. Therefore, it is possible to prevent the plate-shaped workpiece from being blown off from the holding table and being broken, and even if the plate-shaped workpiece does not fly from the holding table, the outer peripheral portion is thinned due to lifting of the peripheral portion, Occurrence of grinding failure can be prevented.
본 발명에 관련된 연삭 장치는, 상기 연삭 지석으로 상기 유지 테이블이 유지하는 판상 워크를 연삭하기 전에, 상기 인식부에 의해 상기 유지면으로부터 판상 워크의 외주 부분의 들뜸을 인식하면, 상기 연삭 이송 수단을 정지시키고, 연삭 지석으로 유지 테이블이 유지하는 판상 워크의 연삭 가공 중에, 인식부에 의해 유지면으로부터 판상 워크의 외주 부분의 들뜸을 인식하면, 연삭 이송 수단에 의한 연삭 이송을 정지시키거나, 또는, 연삭 이송 수단이 연삭 지석의 연삭면을 유지 테이블이 유지하는 판상 워크의 상면으로부터 떼어 놓는 방향으로 이동시키고, 압력계가 측정하는 부압값이 미리 설정한 부압값 이하로 되면, 연삭 이송 수단에 의해 연삭 지석을 유지 테이블이 유지하는 판상 워크의 상면에 접근하는 방향으로 이동시키는 제어를 하는 제어부를 구비하기 때문에, 인식부가 판상 워크의 외주 부분의 들뜸을 인식하면, 제어부에 의해 연삭 지석을 판상 워크에 접촉시키지 않도록 연삭 이송 수단을 제어할 수 있고, 상기와 동일하게 판상 워크의 파손이나 연삭 불량의 발생을 방지할 수 있다.The grinding apparatus according to the present invention is characterized in that when grasping the outer peripheral portion of the plate work from the holding surface by grasping the grinding wheel before grinding the plate work held by the grasping table, When grasping of the outer circumferential portion of the plate-like work is recognized by the recognizing portion from the holding surface during grinding processing of the plate-like work held by the holding table with the grinding stone, the grinding feed by the grinding and conveying means is stopped, The grinding and conveying means moves the grinding surface of the grinding stone in a direction separating from the upper surface of the plate work held by the holding table. When the negative pressure value measured by the pressure gauge becomes equal to or smaller than a predetermined negative pressure value, In a direction approaching the upper surface of the plate-like work held by the holding table The grinding and conveying means can be controlled so as not to bring the grinding stone into contact with the plate-like work by the control unit, and when the recognizing unit recognizes the lifting of the outer peripheral portion of the plate-like work, Can be prevented.
도 1 은, 연삭 장치의 일례의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 유지 테이블의 구성을 나타내는 분해 사시도이다.
도 3 은, 유지 테이블의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 4 는, 유지 테이블로 흡인 유지한 판상 워크의 연삭 가공 개시 상태를 나타내는 단면도이다.
도 5 는, 유지 테이블로 흡인 유지한 판상 워크의 연삭 가공 중단 상태를 나타내는 단면도이다.
도 6 은, 유지 테이블의 변형예의 구성을 나타내는 단면도이다.1 is a perspective view showing an example of the structure of a grinding apparatus.
2 is an exploded perspective view showing the structure of the holding table.
3 is a sectional view showing the structure of the holding table.
Fig. 4 is a cross-sectional view showing the grinding process starting state of the plate-like workpiece held in suction by the holding table; Fig.
5 is a cross-sectional view showing a grinding process interrupted state of the plate-like workpiece held in suction by the holding table.
6 is a cross-sectional view showing a configuration of a modified example of the holding table.
도 1 에 나타내는 연삭 장치 (1) 는, Y 축 방향으로 연장되는 장치 베이스 (2) 와, 장치 베이스 (2) 의 Y 축 방향 후부측에 세워서 형성된 칼럼 (3) 을 갖고 있다. 연삭 장치 (1) 는, 장치 베이스 (2) 의 상면에 배치 형성되어 판상 워크를 흡인 유지하는 유지 테이블 (10) 과, 유지 테이블 (10) 에 흡인 유지된 판상 워크를 연삭 지석 (37) 으로 연삭하는 연삭 수단 (30) 과, 유지 테이블 (10) 에 대하여 접근 및 이반하는 연삭 이송 방향 (Z 축 방향) 으로 연삭 수단 (30) 을 연삭 이송하는 연삭 이송 수단 (40) 과, 유지 테이블 (10) 에 흡인 유지된 판상 워크의 두께를 측정하는 두께 측정 수단 (50) 을 구비하고 있다.The
연삭 수단 (30) 은, 칼럼 (3) 의 전방에 있어서 연삭 이송 수단 (40) 에 의해 승강 가능하게 지지되어 있다. 연삭 수단 (30) 은, Z 축 방향의 축심을 갖는 스핀들 (31) 과, 스핀들 (31) 의 외주를 둘러싸는 스핀들 하우징 (32) 과, 스핀들 하우징 (32) 을 유지하는 홀더 (33) 와, 스핀들 (31) 의 일단에 장착된 모터 (34) 와, 마운트 (35) 를 통해 스핀들 (31) 의 하단에 장착된 연삭 휠 (36) 과, 연삭 휠 (36) 의 하부에 원환상으로 고착된 복수의 연삭 지석 (37) 을 구비하고 있다. 모터 (34) 가 스핀들 (31) 을 회전시킴으로써, 연삭 휠 (36) 을 소정의 회전 속도로 회전시킬 수 있다.The grinding means 30 is supported so as to be able to move up and down by the grinding and conveying means 40 in front of the
연삭 이송 수단 (40) 은, Z 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (41) 와, 볼 나사 (41) 의 일단에 접속된 모터 (42) 와, 볼 나사 (41) 와 평행하게 연장되는 1 쌍의 가이드 레일 (43) 과, 내부에 구비한 너트가 볼 나사 (41) 에 나선 결합함과 함께 측부가 가이드 레일 (43) 에 슬라이딩 접촉하는 승강판 (44) 을 구비하고 있다. 승강판 (44) 에는, 홀더 (33) 가 고정되어 있다. 그리고, 모터 (42) 가 볼 나사 (41) 를 회동시키면, 1 쌍의 가이드 레일 (43) 을 따라 승강판 (44) 과 함께 연삭 수단 (30) 을 Z 축 방향으로 승강시킬 수 있다.The grinding and conveying means 40 includes a
두께 측정 수단 (50) 은, 접촉식의 제 1 하이트 게이지 (51) 와 제 2 하이트 게이지 (52) 를 구비하고 있다. 두께 측정 수단 (50) 으로는, 제 1 하이트 게이지 (51) 로 유지 테이블 (10) 의 상면 높이를 측정함과 함께, 제 2 하이트 게이지 (52) 로 유지 테이블 (10) 에 유지되는 판상 워크의 상면 높이를 측정하여, 각각의 측정값의 차를 판상 워크의 두께로서 산출할 수 있다.The thickness measuring means 50 is provided with a contact type
유지 테이블 (10) 은, 판상 워크를 흡인 유지하는 유지면 (11a) 을 갖는 포러스판 (11) 과, 포러스판 (11) 을 수용하는 프레임 (12) 과, 프레임 (12) 이 고정되는 기대 (13) 를 구비하고 있다. 유지 테이블 (10) 의 주위는 커버 (4) 에 의해 덮여 있다. 유지 테이블 (10) 의 하방에는, 도시되어 있지 않지만, 유지 테이블 (10) 을 회전시키는 회전 수단과, 유지 테이블 (10) 을 커버 (4) 와 함께 Y 축 방향으로 이동시키는 이동 수단이 접속되어 있다.The holding table 10 includes a
도 2 는, 유지 테이블 (10) 이 분해된 상태의 구성을 나타내고 있다. 포러스판 (11) 은, 원반상으로 형성되어 있고, 포러스 세라믹스 등의 다공질 부재에 의해 구성되어 있다. 포러스판 (11) 은, 중앙 흡인부 (110) 와, 중앙 흡인부 (110) 의 외주를 둘러싸는 적어도 1 개의 환상의 외주 흡인부 (111) 와, 중앙 흡인부 (110) 와 외주 흡인부 (111) 사이를 구획하는 적어도 1 개의 환상의 구획부 (112) 를 구비하고, 포러스판 (11) 의 유지면 (11a) 은, 구획부 (112) 에 의해, 포러스판 (11) 의 중심을 중심으로 하여 동심원상으로 2 개의 흡인 에어리어로 구획되어 구성되어 있다. 중앙 흡인부 (110) 는, 직경이 작은 판상 워크를 흡인 유지하기 위한 흡인 에어리어이고, 예를 들어 직경 200 ㎜ 로 설정되어 있다. 한편, 외주 흡인부 (111) 는, 직경이 큰 판상 워크를 흡인 유지하기 위한 흡인 에어리어이고, 예를 들어 직경 300 ㎜ 로 설정되어 있다. 또한, 구획부 (112) 의 수는 1 개에만 한정되지 않고, 적절히 늘려 흡인 에어리어를 2 개 이상으로 해도 된다. 또, 가공 대상이 되는 판상 워크의 직경에 따라, 중앙 흡인부 (110) 와 외주 흡인부 (111) 의 크기를 적절히 설정할 수 있다.Fig. 2 shows a configuration in which the holding table 10 is disassembled. The
프레임 (12) 에는, 링상의 볼록부 (121) 가 형성되어 있고, 볼록부 (121) 의 내측의 영역이 포러스판 (11) 의 형상에 따라 형성된 오목부 (120) 로 되어 있다. 볼록부 (121) 의 상면은, 포러스판 (11) 의 유지면 (11a) 과 동일한 높이를 갖는 기준면 (121a) 으로 되어 있고, 도 1 에 나타낸 제 1 하이트 게이지 (51) 가 기준면 (121a) 에 접촉했을 때의 높이 위치가 유지면 (11a) 의 높이로서 측정된다. 프레임 (12) 의 오목부 (120) 의 내경은, 포러스판 (11) 의 외경보다 약간 크게 형성되어, 오목부 (120) 에 포러스판 (11) 을 끼워넣는 것이 가능하게 되어 있다. 프레임 (12) 의 외주 가장자리에는, 도 3 에 나타내는 나사 (5) 를 관통시키기 위한 복수의 나사 관통공 (126) 이 프레임 (12) 의 상하면을 관통하여 형성되어 있다.A ring-
오목부 (120) 의 바닥면 (120a) 은, 포러스판 (11) 을 수평으로 고정시키기 위해 평탄면으로 형성되어 있다. 오목부 (120) 의 바닥면 (120a) 에는, 포러스판 (11) 의 중앙 흡인부 (110) 에 연통하는 흡인 홈 (122) 과, 흡인 홈 (122) 에 연통하여 프레임 (12) 의 상하면을 관통한 중앙 흡인공 (124) 과, 포러스판 (11) 의 외주 흡인부 (111) 에 연통하는 링상의 외주 흡인 홈 (123) 과, 외주 흡인 홈 (123) 에 연통하여 프레임 (12) 의 상하면을 관통한 외주 흡인공 (125) 을 구비하고 있다. 또한, 도시한 예에서는, 중앙 흡인공 (124) 이나 외주 흡인공 (125) 은 각각 1 개만 형성되어 있지만, 중앙 흡인공 (124) 이나 외주 흡인공 (125) 의 수나 위치는 한정되지 않는다.The
기대 (13) 의 상면 (13a) 은, 프레임 (12) 이 수평으로 고정되는 피장착면으로 되어 있다. 기대 (13) 의 상면 (13a) 에는, 기대 (13) 의 상면 (13a) 으로부터 하면 (13b) 에 걸쳐 관통하여 프레임 (12) 의 중앙 흡인공 (124) 에 연통 가능하게 하는 중앙 흡인공 (130) 과, 프레임 (12) 의 외주 흡인공 (125) 에 연통 가능하게 하는 링상의 외주 흡인 홈 (131) 과, 외주 흡인 홈 (131) 에 연통하여 기대 (13) 의 상면 (13a) 으로부터 하면 (13b) 에 걸쳐 관통한 외주 흡인공 (132) 과, 복수의 나사 관통공 (126) 의 위치에 대응하여 형성된 복수의 암나사공 (133) 을 구비하고 있다.The
포러스판 (11) 을 프레임 (12) 에 수용하는 경우에는, 오목부 (120) 의 바닥면 (120a) 에 예를 들어 접착재를 도포하고 나서, 포러스판 (11) 을 오목부 (120) 에 끼워넣고, 바닥면 (120a) 에 포러스판 (11) 의 하면을 접착 고정시킨다. 포러스판 (11) 이 수용된 프레임 (12) 을 기대 (13) 에 고정시키는 경우에는, 프레임 (12) 의 각 나사 관통공 (126) 을 각 암나사공 (133) 의 위치에 각각 맞추고, 프레임 (12) 을 기대 (13) 의 상면 (13a) 에 재치 (載置) 한다. 그 후, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 각 나사 관통공 (126) 을 관통시킨 나사 (5) 를 암나사공 (133) 에 나선 결합시킴으로써, 기대 (13) 에 프레임 (12) 을 고정시킨다. 이와 같이 하여 구성된 유지 테이블 (10) 은, 도 1 에 나타낸 연삭 장치 (1) 에 탑재되어 사용된다. 프레임 (12) 을 기대 (13) 로부터 분리하는 경우에는, 모든 나사 (5) 를 나사 관통공 (126) 으로부터 분리한 후, 프레임 (12) 을 기대 (13) 로부터 분리하면 된다.When the
연삭 장치 (1) 에는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 기대 (13) 의 하방측에 포러스판 (11) 의 중앙 흡인부 (110) 를 흡인원 (6) 에 연통시키는 중앙 연통관 (20) 과, 포러스판 (11) 의 외주 흡인부 (111) 를 흡인원 (6) 에 연통시키는 외주 연통관 (21) 과, 중앙 연통관 (20) 내의 부압을 측정하는 압력계 (23a) 와, 외주 연통관 (21) 내의 부압을 측정하는 압력계 (23b) 와, 압력계 (23b) 가 측정한 외주 연통관 (21) 내의 부압값이 미리 설정한 부압값보다 커지면 유지 테이블 (10) 이 유지하는 판상 워크의 외주 부분이 유지면 (11a) 으로부터 들뜬 상태라고 인식하는 인식부 (24) 를 구비하고 있다.3, the
중앙 연통관 (20) 에는, 흡인원 (6) 과 포러스판 (11) 의 중앙 흡인부 (110) 를 연통시키는 밸브 (22a) 가 배치 형성되어 있다. 흡인원 (6) 의 작동과 함께 밸브 (22a) 를 열면, 흡인원 (6) 과 중앙 흡인부 (110) 가 연통하여, 중앙 흡인공 (124) 을 통해 흡인 홈 (122) 에 부압을 발생시킴으로써, 중앙 흡인부 (110) 에 흡인 작용을 발휘시킬 수 있다. 또, 외주 연통관 (21) 에는, 흡인원 (6) 과 포러스판 (11) 의 외주 흡인부 (111) 를 연통시키는 밸브 (22b) 가 배치 형성되어 있다. 흡인원 (6) 의 작동과 함께 밸브 (22b) 를 열면, 흡인원 (6) 과 외주 흡인부 (111) 가 연통하여, 외주 흡인공 (125) 을 통해 외주 흡인 홈 (123) 에 부압을 발생시킴으로써, 외주 흡인부 (111) 에 흡인 작용을 발휘시킬 수 있다.The central communicating
압력계 (23a) 는, 밸브 (22a) 의 근방의 위치에서 기대 (13) 측의 중앙 연통관 (20) 에 배치 형성되어 있어, 중앙 흡인부 (110) 에 있어서 판상 워크를 흡인 유지하고 있을 때의 중앙 연통관 (20) 내의 부압을 측정할 수 있다. 또, 압력계 (23b) 는, 밸브 (22b) 의 근방의 위치에서 기대 (13) 측의 외주 연통관 (21) 에 배치 형성되어 있어, 외주 흡인부 (111) 에 있어서 판상 워크를 흡인 유지하고 있을 때의 외주 연통관 (21) 내의 부압을 측정할 수 있다. 본 실시형태에 나타내는 인식부 (24) 는, 가장 외측 (유지 테이블 (10) 의 외주측) 에 위치하는 압력계 (23b) 에 접속되어 있다. 이러한 인식부 (24) 에 의해 외주 연통관 (21) 내의 부압값을 항상 감시함으로써, 외주 연통관 (21) 내의 부압값이, 인식부 (24) 에 미리 설정한 부압값의 판단 기준값을 초과한 경우에, 판상 워크의 외주 부분이 유지면 (11a) 으로부터 들뜬 상태라고 인식할 수 있다. 또한, 압력계 (23a, 23b) 는, 부압을 측정할 수 있으면 되고, 그 구성은 한정되지 않는다.The
도 1 에 나타내는 연삭 장치 (1) 는, 연삭 이송 수단 (40) 을 제어하는 제어부 (25) 를 구비하고 있다. 제어부 (25) 는, CPU 및 메모리 등의 기억 소자를 적어도 구비하고, 인식부 (24) 에 접속되어 있다. 예를 들어, 연삭 지석 (37) 으로 유지 테이블 (10) 이 유지하는 판상 워크를 연삭하기 전에, 인식부 (24) 가 판상 워크의 외주 부분의 들뜸을 인식한 정보를 제어부 (25) 에 보내면, 제어부 (25) 는 연삭 이송 수단 (40) 에 의한 연삭 수단 (30) 의 연삭 이송을 정지시키는 제어를 한다. 또, 예를 들어, 연삭 지석 (37) 으로 유지 테이블 (10) 이 유지하는 판상 워크의 연삭 가공 중에, 인식부 (24) 가 판상 워크의 외주 부분의 들뜸을 인식한 정보를 제어부 (25) 에 보내면, 제어부 (25) 는 연삭 이송 수단 (40) 에 의한 연삭 수단 (30) 의 연삭 이송을 정지시키거나, 또는, 연삭 이송 수단 (40) 이 연삭 지석 (37) 의 연삭면을 유지 테이블 (10) 이 유지하는 판상 워크의 상면으로부터 이반하는 방향으로 이동시키고, 도 2 에 나타내는 압력계 (23b) 가 측정하는 부압값이 미리 설정한 부압값 이하로 되면, 연삭 이송 수단 (40) 에 의해 연삭 지석 (37) 을 유지 테이블 (10) 이 유지하는 판상 워크의 상면에 접근하는 방향으로 이동시키는 제어를 한다. 이와 같이, 유지 테이블 (10) 로 외주 부분에 휨을 갖는 판상 워크를 흡인 유지하는 경우라도, 제어부 (25) 에 의하면, 인식부 (24) 가 인식한 정보에 기초하여 연삭 가공을 중단할 수도 있고, 연삭 가공을 재개할 수도 있다.The grinding
다음으로, 연삭 장치 (1) 의 동작예에 대해 설명한다. 도 4 에 나타내는 판상 워크 (W) 는, 원형판상의 피가공물의 일례이다. 판상 워크 (W) 의 상면 (Wa) 은, 연삭 지석 (37) 에 의해 연삭되는 피가공면으로 되어 있다. 한편, 상면 (Wa) 과 반대측의 하면 (Wb) 에는, 디바이스 칩 등이 형성되어 있고, 보호 테이프가 첩착 (貼着) 된다. 본 실시형태에 나타내는 판상 워크 (W) 는, 직경이 큰 판상 워크 (예를 들어 12 인치) 이고, 판상 워크 (W) 의 외주 부분 (Wc) 은, 디바이스 칩을 봉지 수지로 봉지할 때에 발생하는 열의 영향 등에 의해 휨이 발생하고 있는 것으로 한다. 연삭 가공을 개시할 때에는, 판상 워크 (W) 가 유지 테이블 (10) 의 외주 흡인부 (111) 에 적정하게 흡인 유지되고 있을 때의 외주 연통관 (21) 내에 있어서의 부압값의 판단 기준값을 미리 인식부 (24) 에 설정해 둔다.Next, an operation example of the
판상 워크 (W) 를 유지 테이블 (10) 로 흡인 유지하는 경우에는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 판상 워크 (W) 의 하면 (Wb) 측을 유지 테이블 (10) 의 유지면 (11a) 에 재치한 후, 밸브 (22a) 를 열어 흡인원 (6) 과 중앙 흡인부 (110) 와 연통시킴과 함께, 밸브 (22b) 를 열어 흡인원 (6) 과 외주 흡인부 (111) 를 연통시켜, 흡인력이 작용한 중앙 흡인부 (110) 및 외주 흡인부 (111) 의 유지면 (11a) 으로 판상 워크 (W) 를 흡인 유지한다. 이어서, 도시되지 않은 회전 수단에 의해 유지 테이블 (10) 을 회전시키면서 연삭 수단 (30) 의 하방으로 이동시킨다. 또한, 유지 테이블 (10) 의 유지면 (11a) 은, 그 중심 부분으로부터 외주측에 걸쳐 하방으로 경사진 원추면으로 되어 있지만, 실제로는 육안으로 인식할 수 없을 정도의 약간의 경사이다.The lower surface Wb side of the plate workpiece W is mounted on the holding
여기서, 연삭 지석 (37) 으로 판상 워크 (W) 를 연삭하기 전에, 압력계 (23b) 에 의해 외주 연통관 (21) 내의 부압값을 측정하고, 측정 결과를 인식부 (24) 에 보낸다. 인식부 (24) 는, 압력계 (23b) 가 측정한 부압값이, 인식부 (24) 에 설정된 판단 기준값을 초과하고 있을 (정압 방향으로 판단 기준값을 초과하고 있을) 때에는, 판상 워크 (W) 의 외주 부분 (Wc) 이 외주 흡인부 (111) 의 유지면 (11a) 으로부터 들떠있는 상태라고 인식하고, 그 정보를 제어부 (25) 에 보낸다. 이 경우, 제어부 (25) 는, 연삭 이송 수단 (40) 에 의한 연삭 수단 (30) 의 연삭 이송을 정지시킨다. 그 후에는, 연삭 가공을 개시하지 않고, 예를 들어 휨이 있는 판상 워크 (W) 를 유지 테이블 (10) 로부터 분리하여, 다음의 판상 워크 (W) 를 유지 테이블 (10) 로 반송하면 된다.Before grinding the plate workpiece W with the grinding
한편, 인식부 (24) 는, 압력계 (23b) 가 측정한 부압값이, 인식부 (24) 에 설정된 판단 기준값 이하 (부압 방향으로 판단 기준값을 초과하고 있을) 일 때에는, 판상 워크 (W) 의 외주 부분 (Wc) 이 외주 흡인부 (111) 에 있어서 적정하게 흡인 유지되고 있다고 인식하고, 그 정보를 제어부 (25) 에 보낸다. 이 경우, 제어부 (25) 는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 연삭 이송 수단 (40) 에 의해 연삭 지석 (37) 을 유지 테이블 (10) 이 유지하는 판상 워크 (W) 의 상면 (Wa) 에 대하여 접근하는 방향으로 이동시키는 제어를 한다. 연삭 이송 수단 (40) 에 의해 연삭 수단 (30) 을 하강시키면서, 연삭 수단 (30) 은, 스핀들 (31) 을 회전시킴으로써, 연삭 휠 (36) 을 예를 들어 화살표 A 방향으로 회전시키고, 연삭 지석 (37) 으로 상면 (Wa) 을 가압하면서 판상 워크 (W) 를 소정의 두께에 이를 때까지 연삭 가공한다. 회전하는 연삭 지석 (37) 은, 판상 워크 (W) 의 상면 (Wa) 의 중심을 지나 정면에서 보았을 때의 반경 부분에 접촉한다. 판상 워크의 연삭 중에는, 도시되지 않은 연삭수 공급원으로부터 연삭 지석 (37) 을 향하여 연삭수를 계속해서 공급한다. 연삭수로는, 예를 들어 순수가 사용된다.On the other hand, when the negative pressure value measured by the
판상 워크 (W) 의 연삭 가공 중에 있어서도 압력계 (23b) 에 의해 외주 연통관 (21) 내의 부압값을 측정하여, 판상 워크 (W) 의 외주 부분 (Wc) 이 외주 흡인부 (111) 에 있어서 적정하게 흡인 유지되고 있는지 여부를 감시한다. 인식부 (24) 는, 압력계 (23b) 가 측정한 부압값이, 인식부 (24) 에 설정된 판단 기준값을 초과하고 있을 때에는, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 판상 워크 (W) 의 외주 부분 (Wc) 이 외주 흡인부 (111) 의 유지면 (11a) 으로부터 들떠있는 상태라고 인식하고, 그 정보를 제어부 (25) 에 보낸다. 도 5 의 부분 확대도에 나타내는 바와 같이, 판상 워크 (W) 의 외주 부분 (Wc) 이 외주 흡인부 (111) 의 유지면 (11a) 으로부터 들떠 판상 워크 (W) 와 외주 흡인부 (111) 사이에 간극이 생기면, 유지면 (11a) 으로부터 부압이 리크되어 버리기 때문에, 판상 워크 (W) 가 유지 테이블 (10) 로부터 날아가거나, 또는, 판상 워크 (W) 가 유지 테이블 (10) 로부터 날아가지 않았다고 하더라도, 연삭 가공 후의 판상 워크 (W) 의 두께에 편차가 생긴다. 이 경우, 제어부 (25) 는, 연삭 이송 수단 (40) 에 의한 연삭 수단 (30) 의 연삭 이송을 정지시키는 제어를 하여, 연삭 가공을 중단한다.The negative pressure value in the outer
또, 판상 워크 (W) 로부터 연삭 지석 (37) 을 일시적으로 이반시킴으로써, 연삭 가공 중에 사용되는 연삭수의 수압에 의해 판상 워크 (W) 의 외주 부분 (Wc) 의 들뜸이 해소되는 경우가 있기 때문에, 연삭 가공을 재개하는 것이 가능해진다. 이 경우, 제어부 (25) 는, 연삭 이송 수단 (40) 이 연삭 지석 (37) 의 연삭면을 유지 테이블 (10) 이 유지하는 판상 워크 (W) 의 상면 (Wa) 으로부터 이반하는 방향으로 이동시키고, 압력계 (23b) 가 측정하는 부압값이 미리 설정한 판단 기준값 이하로 된 시점에서, 연삭 이송 수단 (40) 에 의해 연삭 지석 (37) 을 유지 테이블 (10) 이 유지하는 판상 워크 (W) 의 상면 (Wa) 에 접근하는 방향으로 이동시키는 제어를 하여 연삭 가공을 재개한다. 또한, 제어부 (25) 는, 압력계 (23b) 가 측정하는 외주 연통관 (21) 내의 부압값이 판단 기준값 이하가 될 때까지 연삭 수단 (30) 의 상승과 하강을 반복하도록 연삭 이송 수단 (40) 을 제어해도 된다.In addition, by temporarily releasing the grinding
이와 같이, 본 발명에 관련된 연삭 장치 (1) 는, 판상 워크 (W) 를 흡인 유지하는 유지면 (11a) 을 갖는 유지 테이블 (10) 을 구비하고, 유지 테이블 (10) 은, 중앙 흡인부 (110) 와, 중앙 흡인부 (110) 의 외주를 둘러싸는 적어도 1 개의 환상의 외주 흡인부 (111) 와, 중앙 흡인부 (110) 와 외주 흡인부 (111) 사이를 구획하는 적어도 1 개의 환상의 구획부 (112) 를 구비하고, 중앙 흡인부 (110) 를 흡인원 (6) 에 연통시키는 중앙 연통관 (20) 과, 외주 흡인부 (111) 를 흡인원 (6) 에 연통시키는 외주 연통관 (21) 과, 외주 연통관 (21) 내의 부압을 측정하는 압력계 (23b) 와, 압력계 (23b) 가 측정한 외주 연통관 (21) 내의 부압값이 미리 설정한 부압값보다 커지면 유지 테이블 (10) 이 유지하는 판상 워크 (W) 의 외주 부분 (Wc) 이 유지면 (11a) 으로부터 들뜬 상태라고 인식하는 인식부 (24) 를 구비하기 때문에, 판상 워크 (W) 의 외주 부분 (Wc) 에 휨이 있더라도, 압력계 (23b) 가 측정한 외주 연통관 (21) 의 부압값에 기초하여, 인식부 (24) 가 판상 워크 (W) 의 외주 부분 (Wc) 이 유지면 (11a) 으로부터 들떠있는지 여부를 인식하는 것이 가능해진다. 따라서, 판상 워크 (W) 가 유지 테이블 (10) 로부터 날아가 파손되는 것을 방지할 수 있음과 함께, 판상 워크 (W) 가 유지 테이블 (10) 로부터 날아가지 않았다고 하더라도 외주 부분 (Wc) 의 들뜸에서 기인하여 외주 부분 (Wc) 이 얇아지고, 판상 워크 (W) 의 두께가 균일해지지 않는다는 연삭 불량의 발생을 방지할 수 있다.As described above, the grinding apparatus 1 according to the present invention has the holding table 10 having the holding surface 11a for sucking and holding the plate work W, and the holding table 10 has the center suction portion At least one annular outer circumferential suction portion 111 surrounding the outer periphery of the central suction portion 110 and at least one annular outer circumferential suction portion 111 defining between the central suction portion 110 and the outer peripheral suction portion 111, A central communicating tube 20 having a partition 112 and communicating the central suction portion 110 with the suction source 6 and an outer peripheral communicating tube 21 communicating the outer suction portion 111 with the suction source 6 A pressure gauge 23b for measuring the negative pressure in the outer peripheral communicating tube 21 and a pressure gauge 23b for measuring the negative pressure in the outer peripheral communication pipe 21 measured by the pressure gauge 23b, The recognition section 24 recognizing that the outer peripheral portion Wc of the plate-shaped workpiece W is in a state of being excited from the holding surface 11a So that the recognition section 24 can recognize the negative pressure value of the plate workpiece W based on the negative pressure value of the outer peripheral communication tube 21 measured by the pressure gauge 23b even if the outer peripheral portion Wc of the plate- It is possible to recognize whether or not the outer peripheral portion Wc of the holding surface 11a is excited from the holding surface 11a. Therefore, it is possible to prevent the plate-like workpiece W from being broken from the holding table 10 and to prevent the plate-like workpiece W from being lifted from the holding table 10, It is possible to prevent the occurrence of grinding failure that the outer peripheral portion Wc becomes thin and the thickness of the plate-like work W does not become uniform.
또, 연삭 장치 (1) 는, 연삭 가공 전에 인식부 (24) 에 의해 유지면 (11a) 으로부터 판상 워크 (W) 의 외주 부분 (Wc) 의 들뜸을 인식하면 연삭 이송 수단 (40) 을 정지시키고, 연삭 가공 중에 인식부 (24) 에 의해 유지면 (11a) 으로부터 판상 워크 (W) 의 외주 부분 (Wc) 의 들뜸을 인식하면 연삭 이송 수단 (40) 을 정지시키거나, 또는, 연삭 지석 (37) 의 연삭면을 판상 워크 (W) 의 상면 (Wa) 으로부터 떼어 놓는 방향으로 이동시키고, 압력계 (23b) 가 측정하는 부압값이 미리 설정한 부압값 이하로 되면, 연삭 이송 수단 (40) 에 의해 연삭 지석 (37) 을 판상 워크 (W) 의 상면 (Wa) 에 접근하는 방향으로 이동시키는 제어를 하는 제어부 (25) 를 구비하기 때문에, 인식부 (24) 가 판상 워크 (W) 의 외주 부분 (Wc) 의 들뜸을 인식하면, 제어부 (25) 에 의해 연삭 지석 (37) 을 판상 워크 (W) 에 접촉시키지 않도록 연삭 이송 수단 (40) 을 제어할 수 있고, 상기와 동일하게 판상 워크 (W) 의 파손이나 연삭 불량의 발생을 방지할 수 있다.The grinding
도 6 에 나타내는 유지 테이블 (10A) 은, 상기 유지 테이블 (10) 의 변형예이다. 유지 테이블 (10A) 의 포러스판 (11A) 은, 중앙 흡인부 (110) 의 외주를 둘러싸는 환상의 제 1 외주 흡인부 (114) 와, 제 1 외주 흡인부 (114) 의 외주를 둘러싸는 환상의 제 2 외주 흡인부 (115) 와, 중앙 흡인부 (110) 와 제 1 외주 흡인부 (114) 사이를 구획하는 환상의 구획부 (112) 와, 제 1 외주 흡인부 (114) 와 제 2 외주 흡인부 (115) 사이를 구획하는 환상의 구획부 (113) 를 구비하고, 포러스판 (11A) 의 유지면 (11a) 은, 구획부 (112, 113) 에 의해, 포러스판 (11A) 의 중심을 중심으로 하여 동심원상으로 3 개의 흡인 에어리어로 구획되어 구성되어 있다. 유지 테이블 (10A) 에 있어서, 유지 테이블 (10) 과 동일한 구성 부분에 대해서는 공통의 부호를 붙이고 있다.The holding table 10A shown in Fig. 6 is a modification of the holding table 10 described above. The
프레임 (12A) 에는, 제 1 외주 흡인부 (114) 에 연통하는 링상의 제 1 외주 흡인 홈 (123a) 과, 제 1 외주 흡인 홈 (123a) 에 연통하여 프레임 (12A) 의 상하면을 관통한 제 1 외주 흡인공 (125a) 과, 제 2 외주 흡인부 (115) 에 연통하는 링상의 제 2 외주 흡인 홈 (123b) 과, 제 2 외주 흡인 홈 (123b) 에 연통하여 프레임 (12A) 의 상하면을 관통한 제 2 외주 흡인공 (125b) 을 구비하고 있다. 기대 (13A) 에는, 제 1 외주 흡인공 (125a) 에 연통하는 링상의 제 1 외주 흡인 홈 (131a) 과, 제 1 외주 흡인 홈 (131a) 에 연통하여 기대 (13A) 의 상하면을 관통한 제 1 외주 흡인공 (132a) 과, 제 2 외주 흡인공 (125b) 에 연통하는 링상의 제 2 외주 흡인 홈 (131b) 과, 제 2 외주 흡인 홈 (131b) 에 연통하여 기대 (13A) 의 상하면을 관통한 제 2 외주 흡인공 (132b) 을 구비하고 있다.The
기대 (13A) 의 하방측에는, 포러스판 (11A) 의 제 1 외주 흡인부 (114) 를 흡인원 (6) 에 연통시키는 제 1 외주 연통관 (26) 과, 포러스판 (11A) 의 제 2 외주 흡인부 (115) 를 흡인원 (6) 에 연통시키는 제 2 외주 연통관 (27) 과, 제 1 외주 연통관 (26) 내의 부압을 측정하는 압력계 (23b) 와, 제 2 외주 연통관 (27) 내의 부압을 측정하는 압력계 (23c) 와, 압력계 (23c) 가 측정한 제 2 외주 연통관 (27) 내의 부압값이 미리 설정한 부압값보다 커지면 유지 테이블 (10A) 이 유지하는 판상 워크의 외주 부분이 유지면 (11a) 으로부터 들뜬 것을 인식하는 인식부 (24A) 를 구비하고 있다.A first outer peripheral communicating
제 1 외주 연통관 (26) 에는, 흡인원 (6) 과 제 1 외주 흡인부 (114) 를 연통시키는 밸브 (22b) 가 배치 형성되어 있다. 흡인원 (6) 의 작동과 함께 밸브 (22b) 를 열면, 흡인원 (6) 과 제 1 외주 흡인부 (114) 가 연통하여, 제 1 외주 흡인공 (125a) 을 통해 제 1 외주 흡인 홈 (123a) 에 부압을 발생시킴으로써, 제 1 외주 흡인부 (114) 에 흡인 작용을 발휘시킬 수 있다. 또, 제 2 외주 연통관 (27) 에는, 흡인원 (6) 과 제 2 외주 흡인부 (115) 를 연통시키는 밸브 (22c) 가 배치 형성되어 있다. 흡인원 (6) 의 작동과 함께 밸브 (22c) 를 열면, 흡인원 (6) 과 제 2 외주 흡인부 (115) 가 연통하여, 제 2 외주 흡인공 (125b) 을 통해 제 2 외주 흡인 홈 (123b) 에 부압을 발생시킴으로써, 제 2 외주 흡인부 (115) 에 흡인 작용을 발휘시킬 수 있다.The first outer peripheral communicating
압력계 (23b) 는, 밸브 (22b) 의 근방의 위치에서 기대 (13A) 측의 제 1 외주 연통관 (26) 에 장착되어 있어, 제 1 외주 흡인부 (114) 에 있어서 판상 워크를 흡인 유지하고 있을 때의 제 1 외주 연통관 (26) 내의 부압을 측정할 수 있다. 또, 압력계 (23c) 는, 밸브 (22c) 의 근방의 위치에서 기대 (13A) 측의 제 2 외주 연통관 (27) 에 장착되어 있어, 제 2 외주 흡인부 (115) 에 있어서 판상 워크를 흡인 유지하고 있을 때의 제 2 외주 연통관 (27) 내의 부압을 측정할 수 있다. 인식부 (24A) 는, 가장 외측 (유지 테이블 (10A) 의 외주측) 에 위치하는 압력계 (23c) 에 접속되어 있다. 인식부 (24A) 에 의해 제 2 외주 연통관 (27) 내의 부압값을 항상 감시함으로써, 제 2 외주 연통관 (27) 내의 부압값이 인식부 (24A) 에 미리 설정한 부압값의 판단 기준값을 초과했을 때에, 판상 워크의 외주 부분이 유지면 (11a) 으로부터 들뜬 상태라고 인식할 수 있다. 이와 같이 구성되는 유지 테이블 (10A) 로 외주 부분에 휨이 있는 판상 워크를 흡인 유지하더라도, 상기와 동일하게 판상 워크의 파손이나 연삭 불량의 발생을 방지할 수 있다.The
1 : 연삭 장치
2 : 장치 베이스
3 : 칼럼
4 : 커버
5 : 나사
6 : 흡인원
10, 10A : 유지 테이블
11, 11A : 포러스판
110 : 중앙 흡인부
111 : 외주 흡인부
112, 113 : 구획부
114 : 제 1 외주 흡인부
115 : 제 2 외주 흡인부
12, 12A : 프레임
120 : 오목부
121 : 볼록부
122 : 흡인 홈
123 : 외주 흡인 홈
124 : 중앙 흡인공
125 : 외주 흡인공
126 : 나사 관통공
13, 13A : 기대
130 : 중앙 흡인공
131 : 외주 흡인 홈
132 : 외주 흡인공
133 : 암나사공
20 : 중앙 연통관
21 : 외주 연통
22a, 22b, 22c : 밸브
23a, 23b, 23c : 압력계
24, 24A : 인식부
25 : 제어부
26 : 제 1 외주 연통관
27 : 제 2 외주 연통관
30 : 연삭 수단
31 : 스핀들
32 : 스핀들 하우징
33 : 홀더
34 : 모터
35 : 마운트
36 : 연삭 휠
37 : 연삭 지석
40 : 연삭 이송 수단
41 : 볼 나사
42 : 모터
43 : 가이드 레일
44 : 승강판
50 : 두께 측정 수단
51 : 제 1 하이트 게이지
52 : 제 2 하이트 게이지1: Grinding device 2: Device base 3: Column 4: Cover 5: Screw 6: Suction circle
10, 10A: Holding table 11, 11A: Porous plate
110: central suction unit 111: outer
114: first outer suction portion 115: second outer suction portion
12, 12A: frame 120: concave portion 121: convex portion 122: suction groove
123: outer peripheral suction groove 124: central suction hole 125: outer peripheral suction hole 126:
13, 13A: anticipation 130: central suction hole 131: outer suction groove 132: outer suction hole
133: Female threads
20: central communicating tube 21: outer
23a, 23b, 23c:
26: first outer peripheral communication pipe 27: second outer peripheral communication pipe
30: Grinding means 31: Spindle 32: Spindle housing 33: Holder
34: motor 35: mount 36: grinding wheel 37: grinding wheel
40: Grinding and conveying means 41: Ball screw 42: Motor 43: Guide rail
44:
50: thickness measuring means 51: first height gauge 52: second height gauge
Claims (2)
그 유지 테이블은, 중앙 흡인부와,
그 중앙 흡인부의 외주를 둘러싸는 적어도 1 개의 환상의 외주 흡인부와,
그 중앙 흡인부와 그 외주 흡인부 사이를 구획하는 적어도 1 개의 환상의 구획부를 구비하고,
그 연삭 장치에는, 그 중앙 흡인부를 흡인원에 연통시키는 중앙 연통관과,
그 외주 흡인부를 그 흡인원에 연통시키는 외주 연통관과,
그 외주 연통관 내의 부압을 측정하는 압력계와,
그 압력계가 측정한 그 외주 연통관 내의 부압값이 미리 설정한 부압값보다 커지면 그 유지 테이블이 유지하는 판상 워크의 외주 부분이 그 유지면으로부터 들뜬 상태라고 인식하는 인식부를 구비한 연삭 장치.A grinding means for grinding the plate work held by the grasping table and a grinding means for grinding and conveying the grinding means in a direction of approaching and separating the grinding means with respect to the holding table; A grinding apparatus having grinding and conveying means,
The holding table includes a central suction portion,
At least one annular outer suction portion surrounding the outer periphery of the central suction portion,
And at least one annular partition part for partitioning the central suction part and the outer peripheral suction part,
The grinding apparatus is provided with a central communicating tube for communicating the center suction portion with the suction source,
An outer peripheral communicating tube communicating the outer peripheral suction portion with the suction source,
A pressure gauge for measuring a negative pressure in the outer peripheral communication pipe,
And when the negative pressure value in the outer circumferential communication pipe measured by the pressure gauge is larger than a predetermined negative pressure value, recognizes that the outer peripheral portion of the plate work held by the holding table is in a state of being excited from the holding surface.
상기 연삭 지석으로 상기 유지 테이블이 유지하는 판상 워크를 연삭하기 전에, 상기 인식부에 의해 상기 유지면으로부터 판상 워크의 외주 부분의 들뜸을 인식하면, 상기 연삭 이송 수단을 정지시키고,
그 연삭 지석으로 그 유지 테이블이 유지하는 판상 워크의 연삭 가공 중에, 그 인식부에 의해 그 유지면으로부터 판상 워크의 외주 부분의 들뜸을 인식하면, 그 연삭 이송 수단에 의한 연삭 이송을 정지시키거나, 또는, 그 연삭 이송 수단이 그 연삭 지석의 연삭면을 그 유지 테이블이 유지하는 판상 워크의 상면으로부터 떼어 놓는 방향으로 이동시키고, 그 압력계가 측정하는 그 부압값이 미리 설정한 부압값 이하로 되면, 그 연삭 이송 수단에 의해 그 연삭 지석을 그 유지 테이블이 유지하는 판상 워크의 상면에 접근하는 방향으로 이동시키는 제어를 하는 제어부를, 구비한 연삭 장치.The method according to claim 1,
The grinding and conveying means is stopped when grasping the outer peripheral portion of the plate work from the holding surface by the recognizing portion before grinding the plate work held by the holding table with the grinding stone,
When grasping the outer peripheral portion of the plate work from its holding surface during grinding processing of the plate work held by the holding table by the grinding stone, the grinding feed by the grinding and feeding means is stopped, Alternatively, the grinding / conveying means moves the grinding surface of the grinding stone in a direction separating from the upper surface of the plate work held by the holding table, And a control section for controlling the grinding wheel to move the grinding wheel in a direction approaching the upper surface of the plate workpiece held by the holding table by the grinding and conveying means.
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