KR20180107800A - Force sensitive transducer and method for preparing the same - Google Patents

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KR20180107800A
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신동혁
블라스킨 블라디미르
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이엘케이 주식회사
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    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/18Measuring force or stress, in general using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
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Abstract

The present invention relates to a force detecting apparatus, having excellent bending characteristics and moisture-proofing and water-proofing effects. The force detecting apparatus comprises: a first sealing layer; a force measuring unit formed on the first sealing layer; and a second sealing layer formed on the force measuring unit. Moreover, the first sealing layer and the second sealing layer can seal the force measuring unit by using an adhesive.

Description

힘감지 장치 및 이를 제조하는 방법{FORCE SENSITIVE TRANSDUCER AND METHOD FOR PREPARING THE SAME}Technical Field [0001] The present invention relates to a force sensing device and a method of manufacturing the same,

본 발명은 힘감지 장치 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a force sensing device and a method of manufacturing the same.

힘감지 장치는 적용되는 힘 크기의 변화를 전기적 신호로 변환시키는 장치로써, 힘의 감지가 필요한 다양한 분야에 적용된다. A force sensing device is a device that converts the applied force magnitude change into an electrical signal, and is applied to various fields requiring force sensing.

최근에는 키보드, 모바일 기기 등에서 유효 터치를 구분하기 위한 방법으로 힘감지 장치가 적용되고, 특히 로봇이 감각 센서로 힘감지 장치를 적용하기 위한 많은 연구가 지속되고 있다. 이를 위해 힘감지 장치의 유연성 및 박형화 특성이 요구되고 있다.In recent years, force sensing devices have been applied to distinguish effective touches in keyboards, mobile devices, and the like. In particular, many researches have been conducted to apply force sensing devices to robots as sensory sensors. To this end, flexibility and thinning characteristics of the force sensing device are required.

그러나, 종래의 힘감지 장치는 전도성 납이 프린트 된 비전도성 기판과 힘 인식 잉크가 프린트된 기재를 스페이서로 결합된 방식으로, 이는 두께가 두껍고, 유연성이 없어 3차원 입체적인 표면이나, 플렉서블(flexible) 장치에 적용하는 데는 한계가 있었다. 따라서, 유연하고, 박형화가 가능한 힘감지 장치가 필요한 실정이다.However, in the conventional force sensing device, a non-conductive substrate on which conductive lead is printed and a substrate on which a force recognition ink is printed are combined with a spacer so that it is thick and has no flexibility, There are limitations in applying to devices. Therefore, a force sensing device capable of being flexible and thin is needed.

이와 관련한 선행 기술은 국내공개특허 제1996-0001962호에 개시되어 있다.Prior art related to this is disclosed in Korean Patent Publication No. 1996-0001962.

본 발명의 목적은 휨 특성, 방습 및 방수 효과가 우수하고, 두께가 얇은 힘감지 장치 및 이를 제조방법을 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a force sensing apparatus having excellent bending characteristics, moisture-proofing and waterproofing effects, a thin thickness, and a method of manufacturing the same.

본 발명의 다른 목적은 힘감지능이 우수하고, 제조공정이 간단한 힘감지 장치 및 이를 제조방법을 제공하기 위한 것이다.It is another object of the present invention to provide a force sensing device which is excellent in strength sense intelligence and simple in manufacturing process and a method of manufacturing the same.

본 발명의 상기 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below.

본 발명의 하나의 관점인 힘감지 장치는 제1 봉지층; 상기 제1 봉지층 상에 형성된 힘 측정부; 상기 힘 측정부 상에 형성된 제2 봉지층을 포함하고, 상기 제1 봉지층 및 제2 봉지층이 접착제를 매개로 상기 힘 측정부를 밀봉하도록 형성된다.One aspect of the present invention is a force sensing device comprising: a first encapsulation layer; A force measuring unit formed on the first sealing layer; And a second sealing layer formed on the force measuring portion, wherein the first sealing layer and the second sealing layer are formed to seal the force measuring portion via an adhesive.

상기 힘 측정부는 전극절연체 복합층; 및 상기 전극절연체 복합층 상에 형성된 저항층;을 포함할 수 있다.The force measuring unit may include an electrode insulator composite layer; And a resistance layer formed on the electrode insulator complex layer.

상기 전극절연체 복합층은, 전극층과 절연체를 포함하고, 상기 전극층은 제1 봉지층 상의 전극절연체 영역에 제1 방향으로 형성된 복수의 제1 분지전극; 제1 버스바 전극; 및 상기 제1 분지전극을 상기 제1 버스바 전극과 전기적으로 연결하도록 제2 방향으로 형성된 제1 핑거전극을 포함하는 제1 전극부; 및 제1 봉지층 상의 전극절연체 영역에 제1 방향으로 형성된 복수의 제2 분지전극; 제2 버스바 전극; 및 상기 제2 분지전극을 상기 제2 버스바 전극과 전기적으로 연결하도록 제2 방향으로 형성된 제2 핑거전극을 포함하는 제2 전극부를 포함하고, 상기 제1 분지전극 및 제2 분지전극은 제2 방향에 대해 번갈아 형성되어 있으며, 상기 절연체는 제2 방향으로 형성된 복수의 절연바를 포함하고, 상기 절연바는 상기 전극층과 상기 저항층을 서로 이격시켜 전기적으로 절연시키는 것일 수 있다.Wherein the electrode insulator composite layer comprises an electrode layer and an insulator, the electrode layer comprising: a plurality of first branch electrodes formed in an electrode insulator region on the first encapsulation layer in a first direction; A first bus bar electrode; And a first finger electrode formed in a second direction to electrically connect the first branch electrode to the first bus bar electrode; And a plurality of second branch electrodes formed in an electrode insulator region on the first sealing layer in a first direction; A second bus bar electrode; And a second electrode portion including a second finger electrode formed in a second direction to electrically connect the second branch electrode to the second bus bar electrode, wherein the first branch electrode and the second branch electrode form a second The insulator includes a plurality of insulating bars formed in a second direction, and the insulating bar may electrically isolate the electrode layer and the resistive layer from each other.

상기 제2 봉지층은 제1 및 제2 버스바전극이 외부와 전기적으로 연결되는 윈도우가 형성 된 것일 수 있다.The second encapsulation layer may have a window in which the first and second bus bar electrodes are electrically connected to the outside.

상기 전극절연체 복합층은 공기셀을 포함할 수 있다.The electrode insulator complex layer may include an air cell.

상기 힘감지 장치는 제2 봉지층 상에 형성된 접착층을 더 포함할 수 있다.The force sensing device may further include an adhesive layer formed on the second sealing layer.

상기 제1 또는 제2 봉지층은 에폭시계 수지, 올레핀계 수지 및 우레탄계 수지 중 하나 이상을 포함하는 봉지층용 조성물로 형성된 것일 수 있다.The first or second sealing layer may be formed of a composition for a sealing layer comprising at least one of an epoxy resin, an olefin resin and a urethane resin.

상기 전극층은 전도성 페이스트 및 전도성 고분자 중 하나 이상을 포함하는 전극층용 조성물로 형성된 것일 수 있다.The electrode layer may be formed of a composition for an electrode layer including at least one of a conductive paste and a conductive polymer.

상기 저항층은 ITO 나노입자 및 레진을 포함하는 압력인식 재료를 포함하는 저항층용 조성물로 형성된 것일 수 있다.The resistive layer may be formed of a composition for a resistive layer including a pressure-sensitive material including ITO nanoparticles and a resin.

본 발명의 다른 관점인 힘감지 장치의 제조방법은 제1 이형부재 상에 제1 봉지층을 형성하는 단계; 상기 제1 봉지층 상에 전극절연체 복합층을 형성하는 단계; 제2 이형부재 상에 제2 봉지층을 형성하는 단계; 상기 제2 봉지층 상에 저항층을 형성하는 단계; 및 상기 전극절연체 복합층이 형성된 제1 봉지층과 상기 저항층이 형성된 제2 봉지층을 접착제를 매개로 상기 전극절연체 복합층 및 상기 저항층을 밀봉하는 단계;를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, a method of manufacturing a force sensing device includes: forming a first sealing layer on a first mold releasing member; Forming an electrode insulator composite layer on the first encapsulation layer; Forming a second encapsulation layer on the second release member; Forming a resistive layer on the second encapsulant layer; And sealing the first encapsulation layer on which the electrode insulator composite layer is formed and the second encapsulation layer on which the resistance layer is formed through the adhesive between the electrode insulator complex layer and the resistance layer.

상기 전극절연체 복합층을 형성하는 단계는, 제1 봉지층 상의 전극절연체 영역에 제1 전극부 및 제2 전극부를 형성하는 단계 및 상기 제1 전극부 및 제2 전극부와 저항층을 서로 이격시켜 전기적으로 절연시키도록, 복수의 절연바를 제2 방향으로 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 전극부는 제1 방향으로 형성된 복수의 제1 분지전극; 제1 버스바 전극; 및 상기 제1 분지전극을 상기 제1 버스바 전극과 전기적으로 연결하도록 제2 방향으로 형성된 제1 핑거전극을 포함하고, 상기 제2 전극부는 제1 방향으로 형성된 복수의 제2 분지전극; 제2 버스바 전극; 및 상기 제2 분지전극을 상기 제2 버스바 전극과 전기적으로 연결하도록 제2 방향으로 형성된 제2 핑거전극을 포함할 수 있다.Wherein the step of forming the electrode insulator composite layer includes the steps of forming a first electrode portion and a second electrode portion in an electrode insulator region on the first encapsulation layer and separating the first electrode portion, Forming a plurality of insulating bars in a second direction so as to electrically insulate the plurality of first branched electrodes, wherein the first electrode portion includes a plurality of first branched electrodes formed in a first direction; A first bus bar electrode; And a first finger electrode formed in a second direction to electrically connect the first branch electrode to the first bus bar electrode, wherein the second electrode unit includes a plurality of second branch electrodes formed in a first direction; A second bus bar electrode; And a second finger electrode formed in a second direction to electrically connect the second branch electrode to the second bus bar electrode.

상기 제2 봉지층은 제1 및 제2 버스바전극이 외부와 전기적으로 연결되도록 윈도우가 형성된 것일 수 있다.The second encapsulation layer may have windows formed such that the first and second bus bar electrodes are electrically connected to the outside.

상기 전극절연체 복합층은 공기 셀을 포함할 수 있다.The electrode insulator complex layer may include an air cell.

상기 힘감지 장치의 제조방법은 상기 제2 봉지층 상에 접착층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.The method of manufacturing the force sensing device may further include forming an adhesive layer on the second sealing layer.

상기 제1 봉지층, 제1 전극부 및 제2 전극부, 절연바, 저항층 및 제2 전극부 중 하나 이상이 코팅(coating), 오프셋(offset) 프린팅 또는 스크린 프린팅의 방법으로 형성되는 것일 수 있다.One or more of the first sealing layer, the first electrode portion and the second electrode portion, the insulating bar, the resistance layer and the second electrode portion may be formed by a method of coating, offset printing or screen printing have.

본 발명은 휨 특성, 방습 및 방수 효과가 우수하고, 두께가 얇고, 힘감지가 우수하고 제조공정이 간단한 힘감지 장치 및 이를 제조방법을 제공하는 효과를 갖는다.The present invention has the effect of providing a force sensing device which is excellent in bending characteristics, moisture-proof and waterproof effect, thin in thickness, excellent in force detection and simple in manufacturing process, and a manufacturing method thereof.

도 1은 본 발명의 일 구체예에 따른 힘감지 장치의 단면을 간단히 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 구체예에 따른 힘감지 장치의 전극층 및 절연체의 구조를 각각 일부 절단된 사시도로 간단히 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 일 구체예에 따른 힘감지 장치의 제조방법의 제1 봉지층을 형성하는 단계의 평면도를 간단히 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 일 구체예에 따른 힘감지 장치의 제조방법의 전극층(제1 전극부 및 제2 전극부)을 형성하는 단계의 평면도를 간단히 도시한 것이다.
도 5는 본 발명의 일 구체예에 따른 힘감지 장치의 제조방법의 절연바를 형성하는 단계의 평면도를 간단히 도시한 것이다.
도 6은 본 발명의 일 구체예에 따른 힘감지 장치의 제조방법의 제2 봉지층 상에 저항층을 형성하는 단계를 간단히 도시한 것이다.
도 7은 본 발명의 일 구체예에 따른 힘감지 장치의 제조방법의 전극절연체 복합층을 밀봉하기 위해 형성된 접착제층을 간단히 도시한 것이다.
도 8은 본 발명의 일 구체예에 따른 힘감지 장치의 제조방법의 제1 봉지층과 제2 봉지층을 밀봉하는 단계의 평면도를 간단히 도시한 것이다.
도 9은 도 8의 A-A'를 절단한 단면도를 간단히 도시한 것이다.
도 10는 본 발명의 일 구체예에 따른 힘과 전도도의 관계를 도시한 것이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a simplified cross-sectional view of a force sensing device according to an embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 2 is a simplified perspective view of a structure of an electrode layer and an insulator of a force sensing device according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view of a step of forming a first encapsulation layer in a method of manufacturing a force sensing device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a plan view of a step of forming electrode layers (a first electrode portion and a second electrode portion) in a method of manufacturing a force sensing device according to an embodiment of the present invention.
5 is a plan view of a step of forming an insulation bar in a method of manufacturing a force sensing device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a view illustrating a step of forming a resistive layer on a second encapsulation layer of a method of manufacturing a force sensing device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a simplified view of an adhesive layer formed for sealing a composite electrode insulating layer in a method of manufacturing a force sensing device according to an embodiment of the present invention.
8 is a plan view schematically illustrating a step of sealing the first encapsulation layer and the second encapsulation layer in the method of manufacturing a force sensing device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a simplified sectional view taken along the line A-A 'in FIG. 8. FIG.
Fig. 10 shows a relationship between force and conductivity according to an embodiment of the present invention.

본 발명을 보다 명확하게 설명하기 위해 일부 용어들을 하기와 같은 의미로 사용하기로 한다.In order to more clearly describe the present invention, some terms will be used with the following meaning.

본 발명에서 '전극절연체 영역'은 도 4의 제1 봉지층 상에 1로 표시되는 영역으로, 전극층 및 절연바가 형성되는 영역을 의미한다.In the present invention, the 'electrode insulator region' is a region indicated by 1 on the first encapsulation layer in FIG. 4, and means an area where an electrode layer and an insulation bar are formed.

본 발명에서 '제1 방향'은 분지전극의 길이방향으로써, 도 4에 표시된 제1 방향을 의미한다.In the present invention, 'first direction' refers to the longitudinal direction of the branch electrodes, and refers to the first direction shown in FIG.

본 발명에서 '제2 방향'은 핑거전극의 길이방향으로써, 도 4에 표시된 제2 방향을 의미한다.In the present invention, the 'second direction' means the length direction of the finger electrode, which means the second direction shown in FIG.

본 발명에서 '절연체'는 복수의 절연바를 의미할 수 있다. 또한 경우에 따라 '절연체'는 유전체를 의미할 수 있고, 이 경우 절연바는 유전체바를 의미할 수 있다.In the present invention, 'insulator' may mean a plurality of insulating bars. Also, in some cases, 'insulator' may refer to a dielectric, in which case the insulation bar may refer to a dielectric bar.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 출원의 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 본 출원에 개시된 기술은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다.Embodiments of the present application will now be described in more detail with reference to the accompanying drawings. However, the techniques disclosed in the present application are not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms.

단지, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해 줄 수 있도록 그리고 당업자에게 본 출원의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 도면에서 각 장치의 구성요소를 명확하게 표현하기 위하여 상기 구성요소의 폭이나 두께 등의 크기를 다소 확대하여 나타내었다. 또한 설명의 편의를 위하여 구성요소의 일부만을 도시하기도 하였으나, 당업자라면 구성요소의 나머지 부분에 대하여도 용이하게 파악할 수 있을 것이다.It should be understood, however, that the embodiments disclosed herein are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. In the drawings, the width, thickness, and the like of the components are enlarged in order to clearly illustrate the components of each device. Also, while only a portion of the components is shown for convenience of explanation, those skilled in the art will readily recognize the remaining portions of the components.

전체적으로 도면 설명 시 관찰자 시점에서 설명하였고, 일 요소가 다른 요소 상부에 또는 하부에 위치하는 것으로 언급되는 경우, 이는 상기 일 요소가 다른 요소 '상'에 또는 '하'에 바로 위치하거나 또는 그들 요소들 사이에 추가적인 요소가 개재될 수 있다는 의미를 모두 포함한다. 또한 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 출원의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 출원의 사상을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다. 그리고, 복수의 도면들 상에서 동일 부호는 실질적으로 서로 동일한 요소를 지칭한다. It is to be understood that when an element is described above as being located at or above another element, it is to be understood that the element may be located directly on or under the other element ' Quot; means that an additional element can be interposed between the elements. Those skilled in the art will appreciate that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. In the drawings, the same reference numerals denote substantially the same elements.

한편, 본 출원에서 서술되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, '포함하다' 또는 '가지다'등의 용어는 기술되는 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들의 조합한 것에 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들의 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood, however, that the singular forms "a", "an", and "the" include plural referents unless the context clearly dictates otherwise, and the terms "comprise" Acts, components, parts, or combinations thereof, but does not preclude the presence or addition of one or more other features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof It should be understood that it does not.

이하, 도 1을 참고하여 본 발명 일 구체예의 힘감지 장치를 설명한다.Hereinafter, a force sensing apparatus according to one embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

힘감지Force detection 장치 Device

도 1을 참조하면, 일 구체예의 힘감지 장치는 제1 봉지층(20); 상기 제1 봉지층(20) 상에 형성된 힘 측정부(5); 상기 힘 측정부(5) 상에 형성된 제2 봉지층(70)을 포함하고, 상기 제1 봉지층(20) 및 제2 봉지층(70)이 접착제(50)를 매개로 상기 힘 측정부(5)를 밀봉하도록 형성된다.Referring to FIG. 1, the force sensing device of one embodiment includes a first encapsulation layer 20; A force measuring part 5 formed on the first sealing layer 20; And a second sealing layer 70 formed on the force measuring part 5 and the first sealing layer 20 and the second sealing layer 70 are bonded to the force measuring part 5).

본 발명의 힘감지 장치는 기재를 포함하지 않는다. 기존의 힘감지 장치가 기재 상에 형성됨으로써, 두께가 두껍고 유연성이 부족하여 플렉서블(flexible) 장치에 적용하는 것에 한계가 있었다. 본 발명의 힘감지 장치는 기재를 포함하지 않고 제1 및 제2 봉지층(20, 70)으로 밀봉되는 구조를 가짐으로써, 두께를 100㎛ 이하로 할 수 있고, 휨 특성이 우수하다. 따라서, 플렉서블(flexible) 장치뿐만 아니라 표면이 입체적인 곳에 적용할 수 있는 장점이 있다.The force sensing device of the present invention does not include a substrate. Since the conventional force sensing device is formed on the substrate, the thickness is thick and the flexibility is insufficient, so that there is a limitation in applying to a flexible device. The force sensing device of the present invention has a structure that is sealed with the first and second sealing layers 20 and 70 without including the base material, so that the thickness can be made 100 탆 or less, and the bending property is excellent. Therefore, there is an advantage that it is applicable not only to a flexible device but also to a three-dimensional surface.

제1 봉지층(20)은 제2 봉지층(70)과 함께 힘 측정부(5)와 외부 사이에 물질 이동을 막도록 힘 측정부(5)를 밀봉하는 동시에, 힘 측정부(5)가 형성될 수 있는 공간을 제공한다.The first sealing layer 20 together with the second sealing layer 70 seals the force measuring portion 5 so as to prevent the mass transfer between the force measuring portion 5 and the outside and the force measuring portion 5 Thereby providing a space that can be formed.

제1 봉지층(20)은 에폭시계 수지, 올레핀계 수지 및 우레탄계 수지 중 하나 이상을 포함하는 조성물로 형성된 것일 수 있다. 상기의 조성물을 적용함으로써 제1 봉지층(20)은 유연성이 우수하여 플렉서블(flexible) 장치에 적용할 수 있는 장점이 있다. 상기 봉지층용 조성물은 상업적으로 구매 가능한 가교성 중합체를 사용할 수 있다. 예를 들어 아사히社의 CR-18T를 사용할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.The first sealing layer 20 may be formed of a composition containing at least one of an epoxy resin, an olefin resin and a urethane resin. By applying the above composition, the first encapsulation layer 20 is excellent in flexibility and can be applied to a flexible device. The composition for the sealing layer may be a commercially available crosslinkable polymer. For example, CR-18T from Asahi Corp. may be used, but is not limited thereto.

제2 봉지층(70)은 상기 제1 봉지층(20)과 실질적으로 동일하나, 다만 제1 및 제2 버스바전극이 외부와 전기적으로 연결되는 윈도우가 형성 될 수 있다. 예를 들어, 윈도우는 오픈(open)된 형태로 형성될 수 있다. 제2 봉지층(70)에 윈도우가 형성됨으로써, 외부에서 제1 및 제2 버스바 전극(36, 37)의 비저항 차이를 이용하여, 장치에 인가된 힘의 크기를 판단할 수 있다. The second encapsulation layer 70 is substantially the same as the first encapsulation layer 20, but a window may be formed in which the first and second bus bar electrodes are electrically connected to the outside. For example, the window may be formed in an open form. By forming a window in the second encapsulation layer 70, the magnitude of the force applied to the device can be determined using the difference in resistivity of the first and second bus bar electrodes 36 and 37 from the outside.

또한, 본 발명의 힘감지 장치는 제1 봉지층(20) 및 제2 봉지층(70)이 힘 측정부(5)를 밀봉하는 구조를 적용함으로써, 방습 및 방수 효과가 우수하다.In addition, the force sensing device of the present invention has a structure in which the first sealing layer 20 and the second sealing layer 70 seal the force measuring portion 5, thereby exhibiting excellent moisture-proof and waterproofing effects.

도시되지 않았지만, 힘감지 장치는 제1 및 제2 버스바전극의 비저항 차이를 측정하는 비저항 측정부, 이로부터 장치에 인가된 힘의 크기를 계산하는 연산부 및 정보를 표시하는 디스플레이부 중 하나 이상을 포함할 수 있다.Although not shown, the force sensing device may include at least one of a resistivity measuring unit for measuring a difference in resistivity of the first and second bus bar electrodes, an arithmetic unit for calculating the magnitude of the force applied to the device, and a display unit for displaying information .

상기 접착제는 유연성이 있고, 제1 및 제2 봉지층(20, 70)을 접착할 수 있는 것이면 사용 가능하다. 구체적으로, 자외선 경화형 접착제를 사용할 수 있다. 예를 들어, 3M社의 7555 제품을 사용할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.The adhesive is flexible and can be used as long as it can adhere the first and second sealing layers 20, 70. Specifically, an ultraviolet curable adhesive can be used. For example, the 7555 product from 3M may be used, but is not limited thereto.

제1 봉지층 및 제2 봉지층은 3㎛ 내지 15㎛, 구체적으로 5㎛ 내지 10㎛의 두께로 형성될 수 있다. 상기의 범위에서 힘감지 장치를 밀봉하여 방습 및 방수 효과가 우수하며, 또한 박형화가 가능하다.The first encapsulation layer and the second encapsulation layer may be formed to a thickness of 3 탆 to 15 탆, specifically 5 탆 to 10 탆. By sealing the force sensing device within the above range, it is excellent in dampproof and waterproof effect and can be thinned.

힘 측정부(5)는 전극절연체 복합층(30) 및 상기 전극절연체 복합층(30) 상에 형성된 저항층(60)을 포함할 수 있다.The force measuring unit 5 may include an electrode insulator composite layer 30 and a resistance layer 60 formed on the electrode insulator composite layer 30. [

이하, 도 2를 참고하여 본 발명 일 구체예의 전극절연체 복합층(30)을 설명한다.Hereinafter, the electrode insulator composite layer 30 of one embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

도 2를 참조하면, 일 구체예의 전극절연체 복합층(30)은, 전극층과 절연체를 포함하고, 상기 전극층은 제1 봉지층(20) 상의 전극절연체 영역에 제1 방향으로 형성된 복수의 제1 분지전극(32); 제1 버스바 전극(36); 및 상기 제1 분지전극(32)을 상기 제1 버스바 전극(36)과 전기적으로 연결하도록 제2 방향으로 형성된 제1 핑거전극(34)을 포함하는 제1 전극부; 및 제1 봉지층 상의 전극절연체 영역에 제1 방향으로 형성된 복수의 제2 분지전극(33); 제2 버스바 전극(37); 및 상기 제2 분지전극(33)을 상기 제2 버스바 전극(37)과 전기적으로 연결하도록 제2 방향으로 형성된 제2 핑거전극(35)을 포함하는 제2 전극부를 포함하고, 상기 제1 분지전극(32) 및 제2 분지전극(33)은 제2 방향에 대해 번갈아 형성되어 있으며, 상기 절연체는 제2 방향으로 형성된 복수의 절연바(38)를 포함하고, 상기 절연바(38)는 상기 전극층과 상기 저항층(60)을 서로 이격시켜 전기적으로 절연시키는 것일 수 있다.2, the electrode insulator composite layer 30 includes an electrode layer and an insulator, and the electrode layer includes a plurality of first branches (not shown) formed in an electrode insulator region on the first encapsulation layer 20 in a first direction, An electrode 32; A first bus bar electrode 36; And a first finger electrode (34) formed in a second direction to electrically connect the first branch electrode (32) to the first bus bar electrode (36). And a plurality of second branch electrodes (33) formed in an electrode insulator region on the first sealing layer in a first direction; A second bus bar electrode 37; And a second finger electrode (35) formed in a second direction to electrically connect the second branch electrode (33) to the second bus bar electrode (37), wherein the second finger electrode The insulator includes a plurality of insulated bars (38) formed in a second direction, and the insulated bar (38) comprises a plurality of insulated bars And may electrically isolate the electrode layer and the resistance layer 60 from each other.

상기 제1 및 제2 분지전극 및 제1 및 제2 핑거전극은 폭이 3㎛ 내지 500㎛, 구체적으로 5㎛ 내지 100㎛, 더욱 구체적으로 5㎛ 내지 10㎛일 수 있다. 또한 상기 제1 및 제2 분지전극 및 제1 및 제2 핑거전극은 두께가 3㎛ 내지 15㎛, 구체적으로 5㎛ 내지 10㎛일 수 있다. 상기의 범위에서 힘감지 장치의 반응 속도가 우수하고, 박형화가 가능할 뿐만 아니라, 플렉시블 특성이 우수하다.The first and second branch electrodes and the first and second finger electrodes may have a width of 3 탆 to 500 탆, specifically 5 탆 to 100 탆, more specifically 5 탆 to 10 탆. The first and second branch electrodes and the first and second finger electrodes may have a thickness of 3 탆 to 15 탆, specifically, 5 탆 to 10 탆. In the above-mentioned range, the reaction speed of the force sensing device is excellent, and it is not only thinner but also excellent in the flexible property.

보다 상세하게, 도 9을 참조하여 전극절연체 복합층(30)을 설명한다. 도 9은 도 8의 A-A'를 절단한 단면을 간단히 도시한 것이다.More specifically, the electrode insulator composite layer 30 will be described with reference to Fig. 9 is a cross-sectional view taken along the line A-A 'in Fig. 8.

절연바(38)는 전극층(제1 및 제2 분지전극, 제1 및 제2 핑거전극)을 저항층(60)과 서로 이격시키기 위해 전극층보다 두껍게 형성된다. 구체적으로 절연바(38)의 두께는 전극층 두께의 1.1 내지 6배, 구체적으로 1.1 내지 4배, 더욱 구체적으로 1.5 내지 2.5배로 형성될 수 있다. 또한 절연바(38)의 두께는 3.3㎛ 내지 90㎛, 구체적으로 3.3㎛ 내지 60㎛, 더욱 구체적으로 4.5㎛ 내지 40㎛가 될 수 있다. 상기의 범위에서 힘감지 장치의 감지력이 우수할 뿐만 아니라, 내구성도 우수하다.The insulating bar 38 is formed thicker than the electrode layer so as to separate the electrode layers (the first and second branch electrodes, the first and second finger electrodes) from the resistance layer 60. Specifically, the thickness of the insulating bar 38 may be 1.1 to 6 times, specifically 1.1 to 4 times, more specifically 1.5 to 2.5 times the thickness of the electrode layer. The thickness of the insulating bar 38 may be 3.3 탆 to 90 탆, specifically, 3.3 탆 to 60 탆, more specifically 4.5 탆 to 40 탆. Not only is the force sensing device of the above-mentioned range excellent in detecting force, but also excellent in durability.

전극층보다 두꺼운 절연바(38)에 의해, 제1 및 제2 분지전극(32, 33), 제1 및 제2 핑거전극(34, 35) 상에는 절연바(38) 및 저항층(60)으로 둘러싸인 공기 셀이 형성될 수 있다. The insulating bar 38 and the resistance layer 60 are formed on the first and second branch electrodes 32 and 33 and the first and second finger electrodes 34 and 35 by the insulating bar 38 thicker than the electrode layer An air cell can be formed.

또한 절연바(38)는 전극층이 접착층(50)을 통해 외부와 전기적으로 연결되는 것을 방지하기 위해, 전극층보다 넓은 범위에 형성될 수 있다. 구체적으로 제1 봉지층(20) 상에서 접착제(50)와 전극층 사이에 절연바(38)가 형성되도록 할 수 있다.The insulating bar 38 may be formed in a wider range than the electrode layer in order to prevent the electrode layer from being electrically connected to the outside through the adhesive layer 50. Specifically, the insulating bar 38 may be formed on the first sealing layer 20 between the adhesive 50 and the electrode layer.

절연체 복합층(30)이 상기의 구조를 형성함으로써, 장치에 힘이 인가되지 않았을 때에는 상기 저항층(60)이 상기 전극층과 전기적으로 접촉되지 않는다. 이 후 장치에 힘이 인가되어 상기 저항층(60)이 상기 전극층(분지전극(32, 33))과 전기적으로 접촉되면 핑거전극(34, 35)와 연결된 버스바 전극(36, 37)은 비저항의 변화가 생기게 되고, 이 비저항의 변화량으로부터 상기 장치에 인가된 힘의 크기를 계산할 수 있다.Since the insulator composite layer 30 has the structure described above, when the force is not applied to the device, the resistive layer 60 is not in electrical contact with the electrode layer. The bus bar electrodes 36 and 37 connected to the finger electrodes 34 and 35 when the resistance layer 60 is electrically contacted with the electrode layers (branch electrodes 32 and 33) And the magnitude of the force applied to the device can be calculated from the amount of change in the resistivity.

상기 전극층은 전도성 페이스트 및 전도성 고분자 중 하나 이상을 포함하는 전극층용 조성물로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 전극층은 실버 페이스트로 형성될 수 있다. 상기의 조성물을 적용함으로써 전극층(제1 및 제2 분지전극, 제1 및 제2 핑거전극, 제1 및 제2 버스바 전극)은 유연성이 우수하여 플렉서블(flexible) 장치에 적용할 수 있는 장점이 있다.The electrode layer may be formed of a composition for an electrode layer including at least one of a conductive paste and a conductive polymer. For example, the electrode layer may be formed of a silver paste. By applying the above composition, the electrode layers (the first and second branch electrodes, the first and second finger electrodes, the first and second bus bar electrodes) are excellent in flexibility and can be applied to a flexible device have.

상기 절연바(38)는 전극층과 저항층(60)을 절연시킬 수 있는 것이면 사용할 수 있다. 예를 들어, 절연바는 유전체로 형성될 수 있다.The insulating bar 38 may be used as long as it can insulate the electrode layer from the resistive layer 60. For example, the insulating bar may be formed of a dielectric.

도 2에서 버스바 전극(36, 37)은 제1 및 제2 분지전극(32, 33)과 인접한 곳에 형성된 힘감지 장치를 도시하였지만, 이에 제한되지 않는다. 구체적으로 힘이 인가되는 전극절연 영역과 제1 및 제2 버스바 전극(36, 37)은 이격되게 구성할 수 있다. 이런 경우 버스바 전극 및 이와 연결된 측정부, 연산부, 디스플레이부 등이 힘감지 장치에 가해지는 힘에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.In FIG. 2, the bus bar electrodes 36 and 37 illustrate force sensing devices formed adjacent to the first and second branch electrodes 32 and 33, but are not limited thereto. The first and second bus bar electrodes 36 and 37 may be spaced apart from each other. In this case, it is possible to prevent the bus bar electrode and the measuring unit, the calculating unit, and the display unit connected thereto from being damaged by the force applied to the force detecting device.

저항층(60)은 힘감지 장치에 힘이 가해지지 않는 경우에는, 절연바(38)에 의해 전극층과 이격되어 있다. 힘감지 장치에 힘이 인가되는 경우 저항층(60)은 전극층과 전기적으로 접촉하여 버스바 전극(36, 37)의 비저항을 변화시켜, 이로부터 장치에 인가된 힘을 판단할 수 있다.The resistance layer 60 is spaced apart from the electrode layer by the insulating bar 38 when no force is applied to the force sensing device. When a force is applied to the force sensing device, the resistive layer 60 can be in electrical contact with the electrode layer to change the resistivity of the bus bar electrodes 36, 37 to determine the force applied to the device therefrom.

또한, 저항층(60)은 ITO 나노입자 및 레진을 포함하는 압력인식 재료를 포함하는 저항층용 조성물로 형성될 수 있다. 상기 압력인식 재료는 장치에 가해지는 힘이 커질수록, 버스바 전극(36, 37)의 비저항을 더 크게 변화시킬 수 있어 이로부터 장치에 인가된 힘을 판단할 수 있다. 상기 레진은 ITO 나노입자와 저항층을 형성할 수 있는 것이면 제한되지 않는다.-In addition, the resistive layer 60 may be formed of a composition for a resistive layer including a pressure-sensitive material including ITO nanoparticles and a resin. The greater the force applied to the device, the greater the change in resistivity of the bus bar electrodes 36, 37, thereby determining the force applied to the device. The resin is not limited as long as it can form a resistive layer with the ITO nanoparticles.

구체예에서, 상기 저항층용 조성물은, ITO 나노입자, 반도체 파우더, 레진, 카본 파우더 및 실리콘 카바이드 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 상기 조성물로 형성되는 저항층은 감지력이 우수한 장점이 있다.In an embodiment, the composition for a resistance layer may include at least one of ITO nanoparticles, semiconductor powder, resin, carbon powder, and silicon carbide. The resistive layer formed of the composition has an advantage of excellent detection power.

저항층은 0.5㎛ 내지 10㎛, 구체적으로 1㎛ 내지 5㎛의 두께를 가질 수 있다. 상기의 범위에서 힘감지능이 우수하고, 박형화가 가능하다.The resistive layer may have a thickness of 0.5 탆 to 10 탆, specifically 1 탆 to 5 탆. In the above-mentioned range, the sense of intelligence of power is excellent and it is possible to reduce the thickness.

다른 구체예에서 힘감지 장치는 상기 제2 봉지층(70) 상에 접착층(미도시)을 더 포함할 수 있다. 본 발명의 힘감지 장치는 휨 특성이 우수하여, 입체적인 굴곡이 있는 표면 등에도 적용할 수 있으며, 이를 위해 상기 접착층을 형성하여, 이를 매개로 피착면에 접착시킬 수 있다.In other embodiments, the force sensing device may further include an adhesive layer (not shown) on the second encapsulation layer 70. The force sensing device of the present invention has excellent bending characteristics and can be applied to a surface with three-dimensional curvature. To this end, the adhesive layer may be formed and adhered to the surface to be bonded.

상기 접착층은 유연성이 있는 것이면 사용 가능하다. 구체적으로, 자외선 경화형 접착제를 사용할 수 있다. 예를 들어, 3M社의 9705 제품을 사용할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.The adhesive layer can be used as long as it has flexibility. Specifically, an ultraviolet curable adhesive can be used. For example, 3M's 9705 product may be used, but is not limited thereto.

이하, 도 3 내지 도 8을 참고하여 본 발명 일 구체예의 힘감지 장치의 제조방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing the force sensing device according to one embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 8. FIG.

힘감지Force detection 장치의 제조방법 Method of manufacturing a device

본 발명의 다른 관점인 힘감지 장치의 제조방법은 제1 이형부재 상에 제1 봉지층을 형성하는 단계; 상기 제1 봉지층 상에 전극절연체 복합층을 형성하는 단계; 제2 이형부재 상에 제2 봉지층을 형성하는 단계; 상기 제2 봉지층 상에 저항층을 형성하는 단계; 상기 전극절연 복합층이 형성된 제1 봉지층과 상기 저항층이 형성된 제2 봉지층을 접착제를 매개로 상기 전극절연체 복합층 및 상기 저항층을 밀봉하는 단계;를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, a method of manufacturing a force sensing device includes: forming a first sealing layer on a first mold releasing member; Forming an electrode insulator composite layer on the first encapsulation layer; Forming a second encapsulation layer on the second release member; Forming a resistive layer on the second encapsulant layer; And sealing the first insulating layer having the electrode insulating composite layer formed thereon and the second sealing layer having the resistance layer formed therebetween through the adhesive agent.

상기 전극절연체 복합층을 형성하는 단계는, 제1 봉지층 상의 전극절연체 영역에 제1 전극부 및 제2 전극부를 형성하는 단계 및 상기 제1 전극부 및 제2 전극부와 저항층을 서로 이격시켜 전기적으로 절연시키도록, 복수의 절연바를 제2 방향으로 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 전극부는 제1 방향으로 형성된 복수의 제1 분지전극; 제1 버스바 전극; 및 상기 제1 분지전극을 상기 제1 버스바 전극과 전기적으로 연결하도록 제2 방향으로 형성된 제1 핑거전극을 포함하고, 상기 제2 전극부는 제1 방향으로 형성된 복수의 제2 분지전극; 제2 버스바 전극; 및 상기 제2 분지전극을 상기 제2 버스바 전극과 전기적으로 연결하도록 제2 방향으로 형성된 제2 핑거전극을 포함할 수 있다.Wherein the step of forming the electrode insulator composite layer includes the steps of forming a first electrode portion and a second electrode portion in an electrode insulator region on the first encapsulation layer and separating the first electrode portion, Forming a plurality of insulating bars in a second direction so as to electrically insulate the plurality of first branched electrodes, wherein the first electrode portion includes a plurality of first branched electrodes formed in a first direction; A first bus bar electrode; And a first finger electrode formed in a second direction to electrically connect the first branch electrode to the first bus bar electrode, wherein the second electrode unit includes a plurality of second branch electrodes formed in a first direction; A second bus bar electrode; And a second finger electrode formed in a second direction to electrically connect the second branch electrode to the second bus bar electrode.

도 3은 본 발명의 일 구체예에 따른 힘감지 장치의 제조방법의 제1 봉지층을 형성하는 단계의 평면도를 간단히 도시한 것이다. (제1 이형부재는 미도시)3 is a plan view of a step of forming a first encapsulation layer in a method of manufacturing a force sensing device according to an embodiment of the present invention. (The first release member is not shown)

제1 이형부재 상에 제1 봉지층을 형성하는 단계는 이형부재 상에 제1 봉지층용 조성물을 코팅(coating), 오프셋(offset) 프린팅 또는 스크린 프린팅의 방법으로 형성할 수 있다. 상기 봉지층용 조성물을 사용함으로써, 코팅 또는 프린팅 등의 간단한 공정으로 제1 봉지층을 형성할 수 있는 장점이 있다. 상기 제1 봉지층용 조성물은 본 발명의 힘감지 장치에 기재된 것과 실질적으로 동일하다.The step of forming the first sealing layer on the first mold releasing member may be performed by coating, offset printing or screen printing the composition for the first sealing layer on the releasing member. By using the composition for the encapsulation layer, there is an advantage that the first encapsulation layer can be formed by a simple process such as coating or printing. The composition for the first sealing layer is substantially the same as that described in the force sensing device of the present invention.

상기 제1 이형부재는 이형능력이 있는 것이면 제한 없이 사용할 수 있다. 예를 들어, 폴리에스테르 필름, HDPE, 또는 3M社의 이형필름 등을 사용할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 구체적으로 제1 이형부재는 50 내지 100㎛의 두께를 가질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.The first release member can be used without limitation as long as it has releasing ability. For example, polyester film, HDPE, or a release film of 3M Company can be used, but the present invention is not limited thereto. Specifically, the first release member may have a thickness of 50 to 100 占 퐉, but is not limited thereto.

도 4는 본 발명의 일 구체예에 따른 힘감지 장치의 제조방법의 전극층(제1 전극부 및 제2 전극부)을 형성하는 단계의 평면도를 간단히 도시한 것이다.FIG. 4 is a plan view of a step of forming electrode layers (a first electrode portion and a second electrode portion) in a method of manufacturing a force sensing device according to an embodiment of the present invention.

전극층(제1 전극부 및 제2 전극부)을 형성하는 단계는 제1 봉지층 상의 전극절연체 영역에 제1 전극부 및 제2 전극부를 형성하는 단계를 포함한다.Forming the electrode layers (the first electrode portion and the second electrode portion) includes forming the first electrode portion and the second electrode portion in the electrode insulator region on the first sealing layer.

상기 제1 전극부는 제1 방향으로 형성된 복수의 제1 분지전극; 제1 버스바 전극; 및 상기 제1 분지전극을 상기 제1 버스바 전극과 전기적으로 연결하도록 제2 방향으로 형성된 제1 핑거전극을 포함하고, 상기 제2 전극부는 제1 방향으로 형성된 복수의 제2 분지전극; 제2 버스바 전극; 및 상기 제2 분지전극을 상기 제2 버스바 전극과 전기적으로 연결하도록 제2 방향으로 형성된 제2 핑거전극을 포함할 수 있다.The first electrode unit includes a plurality of first branch electrodes formed in a first direction; A first bus bar electrode; And a first finger electrode formed in a second direction to electrically connect the first branch electrode to the first bus bar electrode, wherein the second electrode unit includes a plurality of second branch electrodes formed in a first direction; A second bus bar electrode; And a second finger electrode formed in a second direction to electrically connect the second branch electrode to the second bus bar electrode.

제1 봉지층 상에 전극층(제1 전극부 및 제2 전극부)을 형성하는 단계는 제1 봉지층 상에 전극층용 조성물을 코팅(coating), 오프셋(offset) 프린팅 또는 스크린 프린팅의 방법으로 형성할 수 있다. 상기 전극층용 조성물을 사용함으로써, 코팅 또는 프린팅 등의 간단한 공정으로 전극층을 형성할 수 있는 장점이 있다. 상기 전극층용 조성물은 본 발명의 힘감지 장치에 기재된 것과 실질적으로 동일하다.The step of forming the electrode layers (the first electrode portion and the second electrode portion) on the first sealing layer may include forming the electrode layer composition on the first sealing layer by coating, offset printing or screen printing can do. By using the composition for an electrode layer, an electrode layer can be formed by a simple process such as coating or printing. The composition for the electrode layer is substantially the same as that described in the force sensing device of the present invention.

도 5는 본 발명의 일 구체예에 따른 힘감지 장치의 제조방법의 절연바를 형성하는 단계를 간단히 도시한 것이다.FIG. 5 is a view illustrating a step of forming an insulating bar of the method of manufacturing a force sensing device according to an embodiment of the present invention.

절연바를 형성하는 단계는 상기 제1 전극부 및 제2 전극부와 저항층을 서로 이격시켜 전기적으로 절연시키도록, 복수의 절연바를 제2 방향으로 형성한다. 예를 들어, 절연바는 코팅(coating), 오프셋(offset) 프린팅 또는 스크린 프린팅의 방법으로 형성할 수 있고, 성분은 본 발명의 힘감지 장치에 기재된 것과 실질적으로 동일하다.The forming of the insulating bars may include forming the plurality of insulating bars in the second direction so as to electrically isolate the first and second electrode portions and the resistance layer from each other to electrically insulate the first and second electrode portions. For example, the insulating bar may be formed by a method of coating, offset printing or screen printing, the components being substantially the same as those described in the force sensing device of the present invention.

절연바는 전극층이 외부와 전기적으로 연결되지 않도록, 전극층의 너비보다 넓은 영역에 형성될 수 있다. 구체적으로 제1 봉지층 상에서 접착제와 전극층 사이에 절연바가 형성되도록 할 수 있다.The insulating bar may be formed in an area wider than the width of the electrode layer so that the electrode layer is not electrically connected to the outside. Specifically, an insulating bar may be formed between the adhesive and the electrode layer on the first sealing layer.

구체예에서, 상기 절연바는 제1 및 제2 분지전극, 제1 및 제2 핑거전극 보다 두껍게 형성할 수 있다. In an embodiment, the insulating bar may be thicker than the first and second branch electrodes, the first and second finger electrodes.

도 6은 본 발명의 일 구체예에 따른 힘감지 장치의 제조방법의 제2 봉지층 상에 저항층을 형성하는 단계를 간단히 도시한 것이다.FIG. 6 is a view illustrating a step of forming a resistive layer on a second encapsulation layer of a method of manufacturing a force sensing device according to an embodiment of the present invention.

저항층을 형성하기 위한 제2 봉지층은 제2 이형부재 상에 형성할 수 있다. 구체적인 방법은 상기 제1 이형부재 상에 제1 봉지층을 형성한 것과 실질적으로 동일하다. The second sealing layer for forming the resistive layer can be formed on the second release member. The specific method is substantially the same as that of forming the first sealing layer on the first mold releasing member.

저항층(60)은 제2 봉지층(70) 상에 형성된다. 저항층을 절연바 상에 형성하는 경우 코팅(coating), 오프셋(offset) 프린팅 또는 스크린 프린팅이 용이하지 않다. 따라서, 저항층은 제2 봉지층 상에 저항층용 조성물로 형성되고, 구체적으로 코팅(coating), 오프셋(offset) 프린팅 또는 스크린 프린팅의 방법으로 형성될 수 있다. 상기 저항층용 조성물을 사용함으로써, 코팅 또는 프린팅 등의 간단한 공정으로 전극층을 형성할 수 있는 장점이 있다.A resistive layer (60) is formed on the second encapsulant layer (70). Coating, offset printing or screen printing is not easy when the resistive layer is formed on an insulating bar. Therefore, the resistive layer is formed of the resistive layer composition on the second sealing layer, and can be formed by a method of coating, offset printing, or screen printing in detail. By using the composition for a resistance layer, an electrode layer can be formed by a simple process such as coating or printing.

상기 저항층이 형성된 제2 봉지층은 접착층(50)을 매개로 제1 봉지층(20)과 접착되고, 상기 전극층, 절연바 및 저항층을 밀봉시킬 수 있다.The second encapsulation layer having the resistive layer may be bonded to the first encapsulation layer 20 via the adhesive layer 50 to seal the electrode layer, the insulation bar and the resistive layer.

또한 제2 봉지층은 제1 및 제2 버스바 전극이 외부와 전기적으로 연결될 수 있도록 윈도우(36, 37)를 형성된 것일 수 있다. 예를 들어, 윈도우는 오픈(open)된 형태로 형성될 수 있다.The second sealing layer may be formed with windows 36 and 37 so that the first and second bus bar electrodes can be electrically connected to the outside. For example, the window may be formed in an open form.

도 7은 본 발명의 일 구체예에 따른 힘감지 장치의 제조방법의 전극절연체 복합층을 밀봉하기 위해 형성된 접착제층를 도시한 것이다.FIG. 7 illustrates an adhesive layer formed to seal a composite electrode insulating layer in a method of manufacturing a force sensing device according to an embodiment of the present invention.

접착층은 제1 봉지층의 전극절연 영역 외의 부분, 및 제1 버스바, 제2 버스바 전극 둘레에 형성되어, 제1 봉지층과 제2 봉지층을 접착함으로써, 힘감지 장치의 외부와 물질이동을 차단하도록 밀봉하는 역할을 한다. (전극절연 영역(1) 외의 영역에는 전극층 및 절연바가 형성되지 않는다) 상기 제1 버스바 및 제2 버스바 둘레의 접착층에 의해, 제1 버스바 및 제2 버스바가 제2 봉지층의 윈도우를 통해 외부와 전기적으로 연결되는 동시에 윈도우도 제1 버스바 및 제2 버스바 외의 부분은 밀봉되도록 할 수 있다. 이로써, 본 발명에 따른 힘감지 장치는 방습 및 방수 효과가 우수하다.The adhesive layer is formed around the first bus bar and the second bus bar electrode outside the electrode insulating region of the first sealing layer and bonding the first sealing layer and the second sealing layer to the outside of the force sensing device, As shown in Fig. (The electrode layer and the insulating bar are not formed in the regions other than the electrode insulating region 1), the first bus bar and the second bus bar are separated from the window of the second sealing layer by the adhesive layer around the first bus bar and the second bus bar And at the same time, the portions other than the first bus bar and the second bus bar of the window can be sealed. Thus, the force sensing device according to the present invention is excellent in moisture-proof and waterproof effect.

도 8은 본 발명의 일 구체예에 따른 힘감지 장치의 제조방법의 제1 봉지층과 제2 봉지층을 밀봉하는 단계의 평면도를 간단히 도시한 것이다.8 is a plan view schematically illustrating a step of sealing the first encapsulation layer and the second encapsulation layer in the method of manufacturing a force sensing device according to an embodiment of the present invention.

상기 전극층과 절연바를 포함하는 전극절연 복합층이 형성된 제1 봉지층과 저항층이 형성된 제2 봉지층은 상기 도 7과 같이 형성된 접착제층을 매개로, 전극절연 복합층과 저항층을 밀봉할 수 될 수 있다. 본 발명의 제조방법으로 제조된 힘감지 장치는 기재를 포함하지 않고 제1 및 제2 봉지층(20, 70)으로 밀봉되는 구조를 가짐으로써, 두께를 100㎛ 이하로 할 수 있고, 휨 특성이 우수하다. 따라서, 플렉서블(flexible) 장치뿐만 아니라 표면이 입체적인 곳에 적용할 수 있는 장점이 있다.The first encapsulation layer having the electrode insulation composite layer including the electrode layer and the insulation bar and the second encapsulation layer having the resistance layer can be sealed with the adhesive layer formed as shown in FIG. 7 to seal the electrode insulation composite layer and the resistance layer . The force sensing device manufactured by the manufacturing method of the present invention has a structure that is sealed with the first and second sealing layers 20 and 70 without including the base material so that the thickness can be made 100 탆 or less, great. Therefore, there is an advantage that it is applicable not only to a flexible device but also to a three-dimensional surface.

도 3 내지 도 8에서 제1 및 제2 버스바 전극(36, 37)은 제1 및 제2 분지전극과 인접한 곳에 형성되는 힘감지 장치의 제조방법을 도시하였지만, 이에 제한되지 않는다. 구체적으로 힘이 인가되는 전극절연 영역과 제1 및 제2 버스바 전극(36, 37)은 이격되게 구성할 수 있다. 이런 경우 버스바 전극이 힘감지 장치에 가해지는 힘에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.In FIGS. 3 to 8, the first and second bus bar electrodes 36 and 37 are formed adjacent to the first and second branch electrodes. However, the present invention is not limited thereto. The first and second bus bar electrodes 36 and 37 may be spaced apart from each other. In this case, it is possible to prevent the bus bar electrode from being damaged by the force applied to the force sensing device.

다른 구체예에서, 힘감지 장치의 제조방법은 상기 제2 봉지층 상에 접착층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 접착층은 UV 경화형 접착제를 코팅(coating), 오프셋(offset) 프린팅 또는 스크린 프린팅의 방법으로 형성할 수 있다. 상기 접착층의 성분은 본 발명의 힘감지 장치에 기재된 것과 실질적으로 동일하다.In another embodiment, the method of manufacturing a force sensing device may further comprise forming an adhesive layer on the second sealing layer. The adhesive layer may be formed by a method of coating, offset printing, or screen printing with a UV curable adhesive. The components of the adhesive layer are substantially the same as those described in the force sensing device of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 통해 본 발명의 구성 및 작용을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 다만, 이는 본 발명의 바람직한 예시로 제시된 것이며 어떠한 의미로도 이에 의해 본 발명이 제한되는 것으로 해석될 수는 없다.Hereinafter, the configuration and operation of the present invention will be described in more detail with reference to preferred embodiments of the present invention. It is to be understood, however, that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed in a limiting sense.

여기에 기재되지 않은 내용은 이 기술 분야에서 숙련된 자이면 충분히 기술적으로 유추할 수 있는 것이므로 그 설명을 생략하기로 한다.The contents not described here are sufficiently technically inferior to those skilled in the art, and a description thereof will be omitted.

실시예Example

두께 50 ㎛의 이형 필름 상에 에폭시 수지, 폴리에틸렌 및 폴리우레탄을 포함하는 봉지층용 조성물을 코팅하여 5 ㎛ 두께의 제1 봉지층을 형성하고, 상기 제1 봉지층 상에 실버 페이스트를 제1 방향으로 5 ㎛의 두께로 인쇄하였다. 그리고, 유전체로 형성된 절연바를 제2 방향으로 15 ㎛의 두께로 형성하였다.A composition for an encapsulating layer containing an epoxy resin, polyethylene and polyurethane was coated on a release film having a thickness of 50 占 퐉 to form a first encapsulation layer having a thickness of 5 占 퐉 and a silver paste was applied on the first encapsulation layer in a first direction And was printed with a thickness of 5 탆. Then, an insulating bar formed of a dielectric material was formed in a thickness of 15 mu m in the second direction.

별도의 두께 50 ㎛의 이형 필름 상에 에폭시 수지, 폴리에틸렌 및 폴리우레탄을 포함하는 봉지층용 조성물을 코팅하여 5 ㎛ 두께의 제2 봉지층을 형성하고, 상기 제2 봉지층 상에 FSR(ITO 나노입자와 레진을 포함하는 압력인식 재료)를 포함하는 저항층용 조성물을 1 ㎛의 두께로 코팅하였다.A composition for an encapsulation layer containing an epoxy resin, polyethylene and polyurethane was coated on a release film having a thickness of 50 mu m to form a second encapsulation layer having a thickness of 5 mu m, and FSR (ITO nanoparticles And a pressure-sensitive material including a resin) was coated to a thickness of 1 mu m.

이를 접착제를 사용하여 전극층, 절연바, 저항층을 밀봉되도록 상기 제1 및 제2 봉지층을 합지하고, 이형 필름을 제거하여, 힘감지 장치를 제조하였다.The first and second sealing layers were laminated by using an adhesive to seal the electrode layer, the insulating bar and the resistance layer, and the release film was removed to prepare a force sensing device.

상기에서 제조된 힘감지 장치는 두께가 116 ㎛이고, 1 m 깊이의 물에서 24 시간 동안에도 방수 및 방습을 유지하였다.The force sensing device fabricated above was 116 탆 thick and maintained water and moisture resistance for 24 hours in 1 m depth of water.

상기 힘감지 장치의 힘 감지력을 알아보기 위해, 힘감지 장치에 인가되는 무게를 0g부터 1000g까지 변화시키면서 무게에 따른 전도도를 측정하고 도 10의 그래프에 도시하였다. 도 10의 X축의 단위는 g이고, Y축의 단위는 (1/Ω) 이다.In order to examine the force sensing performance of the force sensing device, the weight of the force sensing device was varied from 0 g to 1000 g, and the conductivity was measured according to the weight. The unit of the X-axis in FIG. 10 is g, and the unit of the Y-axis is (1 /?).

본 발명의 힘감지 장치는 두께가 116 ㎛로 얇고, 1 m 깊이의 물에서 24 시간 동안에도 방수 및 방습을 유지할 수 있어 방수 및 방습 효과도 뛰어날 뿐만 아니라, 도 10에 나타난 바와 같이 넓은 범위에서 힘 증가에 따른 전도도 변화가 일정하여, 힘 감지력도 우수한 것을 알 수 있다.The force sensing device of the present invention is thin and has a thickness of 116 탆 and is capable of maintaining waterproof and moisture-proof even in a 1-m depth water for 24 hours, and is excellent in waterproofing and moisture-proofing effects, The conductivity change with the increase is constant, and the force sensing ability is also excellent.

이상 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood that the invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the embodiments described above are in all respects illustrative and not restrictive.

5: 힘 측정부 20: 제1 봉지층 30: 전극절연체 복합층 32: 제1 분지전극 33: 제2 분지전극 34: 제1 핑거전극 35: 제2 핑거전극 36: 제1 버스바 전극 37: 제2 버스바 전극 38: 절연바 50: 접착층 60: 저항층 70: 제2 봉지층The first finger electrode has a first finger electrode and a second finger electrode. The second finger electrode is electrically connected to the second finger electrode. Second bus bar electrode 38: insulating bar 50: adhesive layer 60: resistive layer 70: second sealing layer

Claims (15)

제1 봉지층;
상기 제1 봉지층 상에 형성된 힘 측정부;
상기 힘 측정부 상에 형성된 제2 봉지층을 포함하고,
상기 제1 봉지층 및 제2 봉지층이 접착제를 매개로 상기 힘 측정부를 밀봉하도록 형성된 힘감지 장치.
A first encapsulation layer;
A force measuring unit formed on the first sealing layer;
And a second sealing layer formed on the force measuring portion,
And the first sealing layer and the second sealing layer are configured to seal the force measuring portion via an adhesive.
제1항에 있어서, 상기 힘 측정부는,
전극절연체 복합층; 및
상기 전극절연체 복합층 상에 형성된 저항층;
을 포함하는 힘감지 장치.
The apparatus according to claim 1,
Electrode insulator composite layer; And
A resistance layer formed on the electrode insulator complex layer;
/ RTI >
제2항에 있어서, 상기 전극절연체 복합층은,
전극층과 절연체를 포함하고,
상기 전극층은,
제1 봉지층 상의 전극절연체 영역에 제1 방향으로 형성된 복수의 제1 분지전극; 제1 버스바 전극; 및 상기 제1 분지전극을 상기 제1 버스바 전극과 전기적으로 연결하도록 제2 방향으로 형성된 제1 핑거전극을 포함하는 제1 전극부; 및
제1 봉지층 상의 전극절연체 영역에 제1 방향으로 형성된 복수의 제2 분지전극; 제2 버스바 전극; 및 상기 제2 분지전극을 상기 제2 버스바 전극과 전기적으로 연결하도록 제2 방향으로 형성된 제2 핑거전극을 포함하는 제2 전극부를 포함하고,
상기 제1 분지전극 및 제2 분지전극은 제2 방향에 대해 번갈아 형성되어 있으며,
상기 절연체는,
제2 방향으로 형성된 복수의 절연바를 포함하고,
상기 절연바는 상기 전극층과 상기 저항층을 서로 이격시켜 전기적으로 절연시키는 것인 힘감지 장치.
The electrode assembly according to claim 2,
An electrode layer and an insulator,
Wherein,
A plurality of first branch electrodes formed in an electrode insulator region on the first sealing layer in a first direction; A first bus bar electrode; And a first finger electrode formed in a second direction to electrically connect the first branch electrode to the first bus bar electrode; And
A plurality of second branch electrodes formed in an electrode insulator region on the first seal layer in a first direction; A second bus bar electrode; And a second electrode portion including a second finger electrode formed in a second direction to electrically connect the second branch electrode to the second bus bar electrode,
The first branch electrode and the second branch electrode are alternately formed in the second direction,
The insulator
A plurality of insulating bars formed in a second direction,
Wherein the insulating bar electrically isolates the electrode layer and the resistive layer from each other.
제1항에 있어서, 상기 제2 봉지층은 제1 및 제2 버스바 전극이 외부와 전기적으로 연결되는 윈도우가 형성된 것인 힘감지 장치.
The force sensing device of claim 1, wherein the second encapsulation layer is formed with a window in which the first and second bus bar electrodes are electrically connected to the outside.
제2항에 있어서, 상기 전극절연체 복합층은 공기 셀을 포함하는 힘감지 장치.
The force sensing device of claim 2, wherein the electrode insulator composite layer comprises an air cell.
제1항에 있어서, 상기 힘감지 장치는 상기 제2 봉지층 상에 형성된 접착층을 더 포함하는 힘감지 장치.
The force sensing device of claim 1, wherein the force sensing device further comprises an adhesive layer formed on the second sealing layer.
제1항에 있어서, 상기 제1 또는 제2 봉지층은 에폭시계 수지, 올레핀계 수지 및 우레탄계 수지 중 하나 이상을 포함하는 봉지층용 조성물로 형성된 것인 힘감지 장치.
The force sensing apparatus according to claim 1, wherein the first or second sealing layer is formed of a composition for a sealing layer comprising at least one of an epoxy resin, an olefin resin and a urethane resin.
제1항에 있어서, 상기 전극층은,
전도성 페이스트 및 전도성 고분자 중 하나 이상을 포함하는 전극층용 조성물로 형성된 것인 힘감지 장치.
The electrode according to claim 1,
A conductive paste, and a conductive polymer.
제1항에 있어서, 상기 저항층은 ITO 나노입자 및 레진을 포함하는 압력인식 재료를 포함하는 저항층용 조성물로 형성된 것인 힘감지 장치.
The force sensing device of claim 1, wherein the resistive layer is formed of a composition for a resistive layer comprising a pressure sensitive material comprising ITO nanoparticles and a resin.
제1 이형부재 상에 제1 봉지층을 형성하는 단계;
상기 제1 봉지층 상에 전극절연체 복합층을 형성하는 단계;
제2 이형부재 상에 제2 봉지층을 형성하는 단계;
상기 제2 봉지층 상에 저항층을 형성하는 단계; 및
상기 전극절연체 복합층이 형성된 제1 봉지층과 상기 저항층이 형성된 제2 봉지층을 접착제를 매개로 상기 전극절연체 복합층 및 상기 저항층을 밀봉하는 단계;
를 포함하는 제1항의 힘감지 장치의 제조방법.
Forming a first encapsulation layer on the first mold release member;
Forming an electrode insulator composite layer on the first encapsulation layer;
Forming a second encapsulation layer on the second release member;
Forming a resistive layer on the second encapsulant layer; And
Sealing the electrode insulator composite layer and the resistance layer through an adhesive between a first encapsulation layer having the electrode insulator composite layer formed thereon and a second encapsulation layer having the resistance layer formed thereon;
The method of claim 1,
제10항에 있어서, 상기 전극절연체 복합층을 형성하는 단계는,
제1 봉지층 상의 전극절연체 영역에 제1 전극부 및 제2 전극부를 형성하는 단계 및
상기 제1 전극부 및 제2 전극부와 저항층을 서로 이격시켜 전기적으로 절연시키도록, 복수의 절연바를 제2 방향으로 형성하는 단계를 포함하고,
상기 제1 전극부는 제1 방향으로 형성된 복수의 제1 분지전극; 제1 버스바 전극; 및 상기 제1 분지전극을 상기 제1 버스바 전극과 전기적으로 연결하도록 제2 방향으로 형성된 제1 핑거전극을 포함하고,
상기 제2 전극부는 제1 방향으로 형성된 복수의 제2 분지전극; 제2 버스바 전극; 및 상기 제2 분지전극을 상기 제2 버스바 전극과 전기적으로 연결하도록 제2 방향으로 형성된 제2 핑거전극을 포함하는 힘감지 장치의 제조방법.
The method according to claim 10, wherein the step of forming the electrode-
Forming a first electrode portion and a second electrode portion in an electrode insulator region on the first sealing layer; and
And forming a plurality of insulating bars in a second direction so as to electrically isolate the first and second electrode portions and the resistance layer from each other,
The first electrode unit includes a plurality of first branch electrodes formed in a first direction; A first bus bar electrode; And a first finger electrode formed in a second direction to electrically connect the first branch electrode to the first bus bar electrode,
The second electrode portion includes a plurality of second branch electrodes formed in a first direction; A second bus bar electrode; And a second finger electrode formed in a second direction to electrically connect the second branch electrode to the second bus bar electrode.
제10항에 있어서, 상기 제2 봉지층은 제1 및 제2 버스바전극이 외부와 전기적으로 연결되도록 윈도우가 형성된 것인 힘감지 장치의 제조방법.
11. The method of claim 10, wherein the second encapsulation layer is formed with a window such that the first and second bus bar electrodes are electrically connected to the outside.
제10항에 있어서, 상기 전극절연체 복합층은 공기 셀을 포함하는 힘감지 장치의 제조방법.
11. The method of claim 10, wherein the electrode insulator composite layer comprises an air cell.
제10항에 있어서, 상기 제2 봉지층 상에 접착층을 형성하는 단계를 더 포함하는 힘감지 장치의 제조방법.
11. The method of claim 10, further comprising forming an adhesive layer on the second encapsulation layer.
제11항에 있어서, 상기 제1 봉지층, 제1 전극부 및 제2 전극부, 절연바 저항층 및 제2 전극부 중 하나 이상이 코팅(coating), 오프셋(offset) 프린팅 또는 스크린 프린팅의 방법으로 형성되는 것인 힘감지 장치의 제조방법.

12. The method of claim 11, wherein at least one of the first encapsulation layer, the first electrode portion and the second electrode portion, the insulation bar resistance layer and the second electrode portion is formed by a method of coating, offset printing or screen printing Wherein the first and second end portions are formed by a plurality of projections.

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