KR20180095312A - 오토 프로브 검사 장치 및 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법 - Google Patents

오토 프로브 검사 장치 및 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법

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Abstract

오토 프로브 검사 장치는 유기 전계 발광 표시 타입의 패널의 배면이 상측을 향하도록 안착되는 워크 테이블, 상기 패널의 크기에 따라 상기 패널이 안착되는 워크 테이블의 크기를 제어하는 워크 테이블 제어 유닛, 상기 워크 스테이지에 안착된 패널의 전면에 형성된 패드부에 접촉되어 상기 패널에 대한 검사를 수행하는 복수의 프로브 유닛, 상기 패널의 배면의 테두리부에 접촉되어 상기 패널의 상향 이동을 제한하는 누름 지그 및 상기 누름 지그가 상기 테두리부에 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 누름 지그를 이동시키는 지그 스테이지를 포함한다.

Description

오토 프로브 검사 장치 및 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법{AUTO PROBE INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD OF ORGANIC LIGHT EMMITING PANNEL}
본 발명은 오토 프로브 검사 장치 및 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법에 관한 것이다.
일반적으로 유기 전계 발광 표시 타입의 패널(organic light emitting panel)은 유기 전계 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes, OLED)를 사용한 표시 장치로서, 유기 전계 발광 소자의 RGB화소들이 매트릭스 형태로 배열되어 디스플레이 영상을 출력한다. 그런데, 유기 전계 발광 소자는 배면 발광 하는 바, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널은 배면이 상측을 향하고 패드부는 하측을 향하도록 뒤집어진 상태에서 점등 검사가 수행된다.
이러한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사를 위해, 대한민국 공개특허공보 2013-0020475호에는 워크 테이블에 수납된 패널의 하측에 위치하는 프로브 블록이 상측 방향으로 구동하여 패널의 패드부에 접촉하는 오토 프로브 검사 장치가 개시되어 있다.
그러나, 종래의 오토 프로브 검사 장치는 검사 대상인 패널의 크기가 변경될 때마다, 해당 패널용 워크 테이블 및 누름 지그로 교체하여야만 하고, 이에 따라 작업 시간이 오래 걸리며, 워크 테이블 및 누름 지그의 교체를 위한 작업자가 필요하다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 종래의 오토 프로브 검사 장치의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 패널의 크기에 따라 패널이 안착되는 워크 테이블의 크기의 제어가 가능한 오토 프로브 검사 장치 및 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본 발명의 일 실시예는 유기 전계 발광 표시 타입의 패널의 배면이 상측을 향하도록 안착되는 워크 테이블, 상기 패널의 크기에 따라 상기 패널이 안착되는 워크 테이블의 크기를 제어하는 워크 테이블 제어 유닛, 상기 워크 스테이지에 안착된 패널의 전면에 형성된 패드부에 접촉되어 상기 패널에 대한 검사를 수행하는 복수의 프로브 유닛, 상기 패널의 배면의 테두리부에 접촉되어 상기 패널의 상향 이동을 제한하는 누름 지그 및 상기 누름 지그가 상기 테두리부에 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 누름 지그를 이동시키는 지그 스테이지를 포함하는 것인, 오토 프로브 검사 장치를 제공할 수 있다.
일 실시예로서, 상기 복수의 워크 테이블 제어 유닛은 상기 패널의 4면 중 일면에 대응하는 위치에 고정되는 고정 유닛 및 상기 패널의 4면 중 상기 고정 유닛이 고정되는 일면 이외의 면에 위치하고 상기 패널에 대하여 내외측 방향으로 이동함으로써 상기 워크 테이블의 크기를 제어하는 복수의 가변 유닛을 포함하는 것인, 오토 프로브 검사 장치를 제공할 수 있다.
일 실시예로서, 상기 지그 스테이지는 상기 패널의 4면 중 일면에 대응하는 위치에 고정되는 고정 스테이지 및 상기 패널의 4면 중 상기 고정 스테이지가 고정되는 일면 이외의 면에 위치하고 상기 패널에 대하여 내외측 방향으로 이동하는 복수의 가변 스테이지를 포함하는 것인, 오토 프로브 검사 장치를 제공할 수 있다.
일 실시예로서, 오토 프로브 검사 장치는 상기 패널을 측면에서 촬영하여 상기 패널이 상기 워크 테이블에 안착된 위치를 파악하는 복수의 1차 얼라인 카메라를 더 포함할 수 있다.
일 실시예로서, 오토 프로브 검사 장치는 상기 프로브 유닛이 상기 패드부과와 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 프로브 유닛을 이동시키는 프로브 스테이지를 더 포함할 수 있다.
일 실시예로서, 오토 프로브 검사 장치는 상기 워크 테이블의 하부에서 상기 테두리부를 촬영하여 상기 프로브 유닛의 프로브 핀과 상기 패드부의 접촉 상태를 파악하는 복수의 2차 얼라인 카메라를 더 포함할 수 있다.
일 실시예로서, 오토 프로브 검사 장치는 상기 워크 테이블 제어 유닛에 의해 제어되는 상기 워크 테이블의 크기에 따라 상기 복수의 2차 얼라인 카메라를 이동시키는 카메라 이동 유닛을 더 포함할 수 있다.
일 실시예로서, 상기 복수의 2차 얼라인 카메라는, 상기 워크 테이블 제어 유닛에 의해 제어되는 상기 워크 테이블의 크기에 따라 이동하는 것인, 오토 프로브 검사 장치를 제공할 수 있다.
일 실시예로서, 상기 누름 지그는 복수의 지그 블록으로 분할 형성되는 것인, 오토 프로브 검사 장치를 제공할 수 있다.
일 실시예로서, 상기 지그 블록은 상기 패널의 테두리부에 접촉되는 누름부, 상기 패널의 상면을 향해 발광하는 발광부 및 상기 누름부 및 상기 발광부를 지지하는 바디부를 포함하는 것인, 오토 프로브 검사 장치를 제공할 수 있다.
일 실시예로서, 상기 바디부에는 상기 워크 테이블에 안착된 상기 패널의 수평 방향으로의 이동을 제한하는 스토퍼가 삽입되는 스토퍼 홀을 포함하는 것인, 오토 프로브 검사 장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예는 상기 패널의 크기에 따라 상기 워크 테이블의 크기를 제어하는 단계, 상기 워크 테이블에 상기 패널을 로딩하는 단계, 상기 누름 지그를 상기 테두리부에 접촉하는 단계, 상기 프로브 유닛이 상기 패드부에 접촉되어 검사를 수행하는 단계, 상기 패드부로부터 상기 프로브 유닛을 접촉 해제하는 단계, 상기 테두리부터로터 상기 누름 지그를 접촉 해제하는 단계 및 상기 워크 테이블로부터 상기 패널을 언로딩하는 단계를 포함하는 것인, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법을 제공할 수 있다.
일 실시예로서, 상기 패널을 로딩하는 단계는 상기 패널이 상기 워크 테이블에 안착된 위치를 파악하여 상기 워크 테이블에 대한 1차 얼라인(align)을 수행하는 단계를 포함하는 것인, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법을 제공할 수 있다.
일 실시예로서, 상기 누름 지그를 상기 테두리부에 접촉하는 단계는 상기 누름 지그가 상기 패널에 대하여 내측 방향으로 이동하는 단계를 포함하는 것인, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법을 제공할 수 있다.
일 실시예로서, 상기 프로브 유닛이 상기 패드부에 접촉되어 검사를 수행하는 단계는 상기 프로브 유닛의 프로브 핀과 상기 패드부의 접촉 상태를 파악하여 2차 얼라인을 수행하는 단계를 포함하는 것인, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법을 제공할 수 있다.
전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 패널의 크기에 따라 패널이 안착되는 워크 테이블의 크기의 제어가 가능한 오토 프로브 검사 장치 및 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법을 제공할 수 있다.
이에 따라, 패널의 크기가 변경되더라도 해당 패널의 크기에 따라 워크 테이블 및 누름 지그를 교체할 필요가 없다. 또한, 작업 시간을 단축시킬 수 있으며, 워크 테이블 및 누름 지그의 교체를 위한 작업자가 불필요하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 워크 테이블을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 워크 테이블 제어 유닛을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛을 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 지그 스테이지를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 누름 지그를 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 누름 지그를 V-V 선을 따라 절개한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치를 측면에서 바라보고 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 2차 얼라인 카메라를 나타낸 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 타입의 패널을 검사하는 방법을 나타낸 흐름도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 “상에” 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "~(하는) 단계" 또는 "~의 단계"는 "~ 를 위한 단계"를 의미하지 않는다.
본원 명세서 전체에서, 마쿠시 형식의 표현에 포함된 “이들의 조합”의 용어는 마쿠시 형식의 표현에 기재된 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 혼합 또는 조합을 의미하는 것으로서, 상기 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 의미한다.
참고로, 본원의 실시예에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어 중 일부 (상측, 상면, 하측, 하면 등)는 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예시적으로, 도 8을 보았을 때, 12시 방향이 상측, 12시 방향을 향하는 면이 상면, 6시 방향이 하측, 6시 방향을 향하는 면이 하면이 될 수 있다. 또한, 본원의 실시예에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어 중 다른 일부(전방, 전면, 후방, 후면 등)는 누름 지그를 기준으로, 워크 테이블을 향하는 방향을 전방으로 하여 설정한 것이다. 예를 들어, 도 8을 보았을 때, 누름 지그를 기준으로 워크 테이블을 향하는 방향이 전방, 누름 지그를 기준으로 워크 테이블을 향하는 면이 전면, 누름 지그를 기준으로 워크 테이블을 향하는 방향의 반대 방향이 후방, 누름 지그를 기준으로 워크 테이블을 향하는 방향의 반대 방향을 향하는 면이 후면 등이 될 수 있다.
다만, 본원의 실시예의 다양한 실제적인 적용에 있어서는, 상면이 수평 방향을 바라보거나, 또는 수평 방향보다 약간 위를 바라보도록 비스듬하게 배치되는 등 다양한 방향으로 배치될 수 있을 것이다. 이러한 본원 장치의 배치 높이나 각도는 검사자가 점등 상태 등을 수동 검사할 때의 편의성을 고려하여 설정함이 바람직하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치를 나타낸 도면이다. 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치를 측면에서 바라보고 도시한 도면이다. 도 1 및 도 8을 참조하면, 오토 프로브 검사 장치는 패널(100)이 안착되는 워크 테이블(110), 패널(100)의 하면에 형성된 패드부(102)에 접촉되어 패널(100)에 대한 검사를 수행하는 프로브 유닛(120) 및 패널(100)의 배면의 테두리부(800)에 접촉되어 패널(100)의 상향 이동을 제한하는 누름 지그(130)를 포함한다.
프로브 유닛(120) 및 누름 지그(130)는 워크 테이블(110)의 측면에 위치한다. 프로브 유닛(120)은 워크 테이블(110)과 대략 동일한 높이를 가지며, 누름 지그(130)는 워크 테이블(110) 보다 높은 곳에 위치한다.
패널(100)은 예시적으로, 전면에 패드부(102)가 형성된 유기 전계 발광 표시 타입의 패널일 수 있다. 이러한 경우, 패널(100)은 도 8에 나타난 바와 같이, 그 배면이 상측을 향하도록 워크 테이블(110) 상에 안착될 수 있다.
참고로, 본원에 있어서, 패널(100)의 하면은 하측을 향하는 패널(100)의 전면을 의미하며, 패널(100)의 상면은 상측을 향하는 패널(100)의 배면을 의미한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 워크 테이블을 나타낸 도면이다. 또한, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 워크 테이블 제어 유닛 만을 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 오토 프로브 검사 장치는 패널(100)의 크기에 따라 워크 테이블(110)의 크기를 제어하는 워크 테이블 제어 유닛(112, 113, 114, 115)을 더 포함한다.
워크 테이블 제어 유닛(112, 113, 114, 115)은 워크 테이블(110)을 상부에서 볼 때 패널(100)의 하부에 위치한 고정 유닛(112), 패널(100)의 상부에 위치한 제 1 가변 유닛(113), 패널(100)의 좌측에 위치한 제 2 가변 유닛(114) 및 패널(100)의 우측에 위치한 제 3 가변 유닛(115)를 포함한다.
고정 유닛(112)은 패널(100)의 4면 중 일면에 대응하는 위치에 고정될 수 있다. 여기서, 고정 유닛(112)은 워크 테이블(110)의 크기를 제어함에 있어서 기준이 되는 것으로 그 위치는 이동하지 않는다.
제 1 가변 유닛(113), 제 2 가변 유닛(114) 및 제 3 가변 유닛(115)은 패널(100)에 대하여 내외측 방향으로 이동함으로써 워크 테이블(110)에서 패널(100)이 안착되는 안착부(111)의 크기를 제어할 수 있다.
워크 테이블(110)의 하부에는 도면에 도시하지 않은 복수의 레일이 설치되어 있다. 제 1 가변 유닛(113)은 워크 테이블(110)을 상부에서 볼 때 종 방향으로 설치된 제 1 레일을 따라 패널(100)에 대하여 내외측 방향으로 이동할 수 있다. 제 2 가변 유닛(114) 및 제 3 가변 유닛(115)은 워크 테이블(110)을 상부에서 볼 때 횡 방향으로 설치된 제 2 레일을 따라 패널(100)에 대하여 내외측 방향으로 이동할 수 있다. 이러한 이동은 도면에는 명확하게 도시되지 않았지만, 예시적으로 모터 등에 의해 수행될 수 있다.
예를 들어, 제 1 크기의 패널(예컨대, 55인치)을 검사할 시, 도 2(a), 도 3(a)와 같이 제 1 가변 유닛(113), 제 2 가변 유닛(114) 및 제 3 가변 유닛(115)은 패널(100)에 대하여 내측으로 이동하여 안착부(111)의 크기를 제 1 크기로 제어한다. 이후, 제 1 크기로 제어된 안착부(111)에 제 1 크기의 패널이 안착된다.
다른 예를 들어, 제 2 크기의 패널(예컨대, 65인치)을 검사할 시, 도 2(b) 및 도 3(b)와 같이 제 1 가변 유닛(113), 제 2 가변 유닛(114) 및 제 3 가변 유닛(115)은 패널(100)에 대하여 외측으로 이동하여 안착부(111)의 크기를 제 2 크기로 제어한다. 이후, 제 2 크기로 제어된 안착부(111)에 제 2 크기의 패널이 안착된다.
또 다른 예를 들어, 패널(100)의 크기, 검사 방법 등에 따라 도 3(c) 및 도 3(d)와 같이 고정 유닛(112)도 제 1 가변 유닛(113), 제 2 가변 유닛(114) 및 제 3 가변 유닛(115)과 함께 패널(100)에 대하여 내외측으로 이동할 수도 있다. 이때, 고정 유닛(112)은 제 1 가변 유닛(113)과 같이 워크 테이블(110)을 상부에서 볼 때 종 방향으로 설치된 제 1 레일을 따라 패널(100)에 대하여 내외측 방향으로 이동할 수 있다.
상술한 바와 같이, 종래의 오토 프로브 검사 장치는 검사 대상인 패널(100)의 크기가 변경될 때마다, 워크 테이블을 해당 패널용 워크 테이블로 교체하여야만 했다.
하지만, 본 발명에 따르면, 오토 프로브 검사 장치가 워크 테이블 제어 유닛(112, 113, 114, 115)를 구비함으로써 패널의 크기가 변경되더라도 해당 패널의 크기에 따라 워크 테이블을 교체할 필요가 없다. 또한, 작업 시간을 단축시킬 수 있으며, 워크 테이블의 교체를 위한 작업자가 불필요하다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛을 나타낸 도면이다. 도 4 및 8을 참조하면, 도면에 도시되지는 않았으나, 프로브 유닛(120)은 복수의 프로브 핀을 포함할 수 있다. 프로브 유닛(120)은 프로브 핀을 통해 패널(100)의 패드부(102)에 전기적 신호를 인가함으로써 검사를 수행할 수 있다. 검사는 예시적으로, 패널의 신호 라인(데이터 라인, 게이트 라인)의 단선 검사, 점등 검사 등일 수 있다.
프로브 유닛(120)은 워크 테이블(110)에 수납된 패널(100) 전면의 테두리부(800)에 형성된 패드부(102)에 접촉되어 패널(100)에 대한 검사를 수행한다.
전술한 바와 같이, 패널(100)이 배면이 상측을 향하도록 워크 테이블(110)에 안착되므로 패널(100)의 전면에 형성된 패드부(102)는 하측을 향하게 된다. 프로브 유닛(120)은 하측을 향하는 패드부(102)에 접촉될 수 있도록, 워크 테이블(110)에 안착된 패널(100)의 패드부(102)보다 하측에 위치할 수 있다.
또한, 오토 프로브 검사 장치는 프로브 스테이지(402, 404, 406)를 더 포함한다. 프로브 스테이지(402, 404, 406)는 워크 테이블(110)을 상부에서 볼 때 패널(100)의 좌측에 위치한 제 1 프로브 스테이지(402), 패널(100)의 우측에 위치한 제 2 프로브 스테이지(404), 패널(100)의 하부에 위치한 제 3 프로브 스테이지(406)을 포함한다.
도 4에는 3개의 프로브 스테이지(402, 404, 406)만이 도시되어 있으나, 워크 테이블(110)을 상부에서 볼 때 패널(100)의 상부에 위치하는 제 4 프로브 스테이지(미도시)도 더 구비될 수 있다.
프로브 스테이지(402, 404, 406)는 프로브 유닛(120)이 패드부(102)와 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 프로브 유닛(120)을 상하 방향으로 이동시킨다.
또한, 프로브 스테이지(402, 404, 406)는 패널(100)에 대하여 내외측 방향으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다.
도면에는 도시되지 않았으나, 프로브 스테이지(402, 404, 406)의 하측에는 레일(미도시)이 배치될 수 있다. 프로브 스테이지(402, 404, 406)는 배치된 레일을 따라 내외측 방향으로 이동할 수 있다. 이러한 이동은 도면에는 명확하게 도시되지 않았지만, 예시적으로 모터 등에 의해 수행될 수 있다.
또한, 프로브 스테이지(402, 404, 406)의 내외측 방향으로의 이동에 의해, 프로브 유닛(120)도 내외측 방향으로 이동 가능할 수 있다.
오토 프로브 검사 장치는 도 4에 도시된 바와 같이, 1차 얼라인 카메라(410, 412)를 더 포함할 수 있다. 1차 얼라인 카메라(410, 412)는 패널(100)과 대략 동일한 높이에서 패널(100)을 측면에서 촬영하여 패널(100)이 워크 테이블(110)에 안착된 위치를 파악한다. 1차 얼라인 카메라(410, 412)는 패널(100)의 제 1 면과, 제 1 면과 이웃하는 제 2 면이 만나는 제 1 꼭지점을 측면에서 촬영하는 1차 얼라인 카메라(410)와 패널(100)의 제 1 면과, 제 1 면과 이웃하는 제 3 면이 만나는 제 2 꼭지점을 측면에서 촬영하는 1차 얼라인 카메라(412)를 포함한다.
워크 테이블(110) 및 지그 스테이지(132, 134, 136, 138; 도 5 참조)는 1차 얼라인될 수 있다. 여기서 얼라인된다는 것은 안착된 패널(100)의 위치가 패널 검사에 부적합할 경우, 패널(100)의 위치를 재조정하기 위해 패널(100)이 안착된 워크 테이블(110)과 지그 스테이지(132, 134, 136, 138; 도 5 참조)가 3축 구동을 하는 것을 의미할 수 있다.
워크 테이블(110)과 지그 스테이지(132, 134, 136, 138; 도 5 참조)가 얼라인된 후에 패널(100)의 검사가 수행된다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 2차 얼라인 카메라를 나타낸 도면이다. 도 4, 도 8 및 도 9를 참조하면, 오토 프로브 검사 장치는 도 9에 도시된 바와 같이 2차 얼라인 카메라(900)를 더 포함할 수 있다. 2차 얼라인 카메라(900)는 프로브 스테이지(402, 404, 406)의 하부에 위치한다.
구체적으로, 도면에 도시하지는 않았지만, 2차 얼라인 카메라(900)는 제 1 프로브 스테이지(402)의 하부에 설치된 2차 얼라인 카메라, 제 2 프로브 스테이지(404)의 하부에 설치된 2차 얼라인 카메라, 제 3 프로브 스테이지(406)의 하부에 설치된 얼라인 카메라 및 제 4 프로브 스테이지의 하부에 설치된 2차 얼라인 카메라를 포함할 수 있다. 여기서, 제 3 프로브 스테이지(406)의 하부에는 두개의 얼라인 카메라가 설치될 수 있다.
2차 얼라인 카메라(900)는 워크 테이블(110)의 하부에서 패드(100)의 테두리부(800)를 촬영한다. 즉, 2차 얼라인 카메라(900)는 워크 테이블(110)의 하부에서 패드부(102)를 촬영하여, 프로브 유닛(120)의 프로브 핀과 패드부(102)의 접촉 상태를 파악할 수 있다.
오토 프로브 검사 장치는 워크 테이블 제어 유닛(112, 113, 114, 115)에 의해 제어되는 워크 테이블(110)의 크기에 따라 2차 얼라인 카메라(900)를 이동시키는 카메라 이동 유닛(910)을 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 워크 테이블(110)의 크기가 작아지면 2차 얼라인 카메라(900)는 카메라 이동 유닛(910)에 의해 워크 테이블(110)의 내측을 향해 이동한다. 반대로, 워크 테이블(110)의 크기가 커지면 2차 얼라인 카메라(900)는 카메라 이동 유닛(910)에 의해 워크 테이블(110)의 외측을 향해 이동한다.
프로브 유닛(120)의 프로브 핀과 패드부(102)의 접촉 상태가 올바르지 않을 경우, 워크 테이블(110) 및 지그 스테이지(132, 134, 136, 138; 도 5 참조)는 2차 얼라인될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 지그 스테이지를 설명하기 위한 도면이다. 도 1 내지 도 2, 도 5 및 도 8을 참조하면, 누름 지그(130)는 패널(100)의 테두리부(800)에 접촉되어 패널(100)의 상향 이동을 제한한다.
예시적으로, 테두리부(800)라 함은, 도 8에 나타난 바와 같이, 패널(100)에서 패드부(102)가 형성된 하면 부분의 반대면(상면) 부분을 의미할 수 있다.
패널(100)은 패드부(102)가 하측 방향을 향하도록 워크 테이블(110)에 안착된다. 또한, 프로브 유닛(120)은 하측을 향하는 패드부(102)에 접촉될 수 있도록, 워크 테이블(110)에 안착된 패널(100)의 패드부(102)보다 하측에 위치하며, 상하(수직) 방향으로 승강 이동됨으로써 패드부(102)에 접촉하여 패널(100)에 대한 검사를 수행한다.
그런데, 프로브 유닛(120)이 상측 방향으로 이동되어 패드부(102)에 접촉하게 되면, 패널(100)에는 상측 방향으로 소정의 외력이 작용하게 된다. 외력에 의해 패널(100)은 상향으로 이동될 수 있는데, 예시적으로, 상향으로 들뜨게 될 수 있다. 누름 지그(130)는 프로브 유닛(120)과 패드부(102)가 접촉되기 전에 패널(100)의 테두리부(800)에 접촉되어 있음으로써 이러한 패널(100)의 상향 이동을 제한할 수 있다.
오토 프로브 검사 장치는 누름 지그(130)가 테두리부(800)에 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 누름 지그(130)를 이동시키는 지그 스테이지(132, 134, 136, 138)를 더 포함할 수 있다.
지그 스테이지(132, 134, 136, 138)는 누름 지그(130)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 지그 스테이지(132, 134, 136, 138)가 누름 지그(130)를 하측 방향으로 하강 이동 시키면 누름 지그(130)는 테두리부(800)에 접촉될 수 있다. 또한, 지그 스테이지(132, 134, 136, 138)가 누름 지그(130)를 상측 방향으로 승강 이동 시키면 누름 지그(130)는 테두리부(800)로부터 접촉 해제될 수 있다.
한편, 상술한 바와 같이, 패널(100)의 크기에 따라 워크 테이블 제어 유닛(112, 113, 114, 115)에 의해 워크 테이블(110)의 크기가 변경될 경우, 누름 지그(130)의 위치 또한 변경될 필요가 있다.
종래의 오토 프로브 검사 장치에 따르면, 이러한 경우에 작업자가 해당 패널용 누름 지그로 교체를 하여야만 했다.
본 발명에 따른 오토 프로브 검사 장치는 지그 스테이지(132, 134, 136, 138)가 패널(100)에 대하여 내외측 방향으로 이동하여 누름 지그(130)의 위치를 변경하도록 구성된다.
예를 들어, 지그 스테이지(132, 134, 136, 138)는 워크 테이블(110)을 상부에서 볼 때 패널(100)의 하부에 위치한 고정 스테이지(132), 패널(100)의 상부에 위치한 제 1 가변 스테이지(134), 패널(100)의 좌측에 위치한 제 2 가변 스테이지(136), 패널(100)의 우측에 위치한 제 3 가변 스테이지(138)을 포함한다.
고정 스테이지(132)는 패널(100)의 4면 중 일면에 대응하는 위치에 고정될 수 있다. 여기서, 고정 스테이지(132)는 지그 스테이지(132, 134, 136, 138)가 누름 지그(130)의 위치를 제어함에 있어서 기준이 되는 것으로 그 위치는 이동하지 않는다.
제 1 가변 스테이지(134), 제 2 가변 스테이지(136) 및 제 3 가변 스테이지(138)는 패널(100)에 대하여 내외측 방향으로 이동함으로써 누름 지그(130)의 위치를 제어할 수 있다.
도시하지는 않았지만, 제 1 가변 스테이지(134), 제 2 가변 스테이지(136) 및 제 3 가변 스테이지(138)는 레일(미도시)을 따라 패널(100)에 대하여 내외측 방향으로 이동할 수 있다. 이러한 이동은 도면에 도시되지 않았지만, 예시적으로 모터 등에 의해 수행될 수 있다.
예를 들어, 제 1 크기의 패널(예컨대, 55인치)을 검사할 시, 도 5(a)와 같이, 워크 테이블 제어 유닛(112, 113, 114, 115)에 의해 워크 테이블(110)의 크기가 제어됨과 동시에 제 1 가변 스테이지(134), 제 2 가변 스테이지(136) 및 제 3 가변 스테이지(138)는 패널(100)에 대하여 내측으로 이동하여 누름 지그(130)의 위치를 제어한다. 이후, 누름 지그(130)는 제 1 크기의 패널의 테두리부(800)에 접촉된다.
다른 예를 들어, 제 2 크기의 패널(예컨대, 65인치)을 검사할 시, 도 5(b)와 같이, 워크 테이블 제어 유닛(112, 113, 114, 115)에 의해 워크 테이블(110)의 크기가 제어됨과 동시에 제 1 가변 스테이지(134), 제 2 가변 스테이지(136) 및 제 3 가변 스테이지(138)는 패널(100)에 대하여 외측으로 이동하여 누름 지그(130)의 위치를 제어한다. 이후, 누름 지그(130)는 제 2 크기의 패널의 테두리부(800)에 접촉된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 오토 프로브 검사 장치의 지그 스테이지(132, 134, 136, 138)가 누름 지그(130)의 위치를 제어하도록 구성됨으로써 패널의 크기가 변경되더라도 해당 패널의 크기에 따라 누름 지그(130)를 교체할 필요가 없다. 또한, 작업 시간을 단축시킬 수 있으며, 누름 지그(130)의 교체를 위한 작업자가 불필요하다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 누름 지그를 나타낸 도면이다. 또한, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 누름 지그를 V-V 선을 따라 절개한 도면이다. 도 6 및 도 7을 참조하면, 누름 지그(130)는 복수의 지그 블록(600)으로 분할 형성된다.
종래의 오토 프로브 검사 장치는 패널의 면적이 큰 경우에는, 누름 지그의 길이를 패널의 면적에 대응하여 증가시켰다. 그런데, 이와 같이, 누름지그의 길이가 증가되면, 초기에는 수평 상태였던 누름 지그가 점차 어느 일방향으로 기울어지게 되며 어느 일 방향으로 기울어진 이러한 누름 지그를 패널의 테두리부에 접촉시키면, 테두리부의 어느 일 부분은 다른 부분에 비해 더 큰 힘을 받게 되고, 더 큰 힘을 받은 부분은 손상될 수 있었다.
그러나, 본 발명의 오토 프로브 검사 장치에 의하면, 패널(100)의 테두리부(800)와 접촉하는 누름 지그(130)가 복수 개의 지그 블록(600)으로 분할 형성되는바, 패널(100)의 면적이 증가되는 경우에도, 지그 블록(600)의 길이가 증가되는 것이 아니라, 각각이 적정 길이를 갖는 지그 블록(600)의 개수가 증가하는바, 누름 지그(130)의 하면의 수평이 유지되지 않는 문제를 방지할 수 있다.
지그 블록(600)은 패널(100)의 테두리부(800)에 접촉되는 누름부(601), 바디부(602), 패널(100)의 상면을 향해 발광하는 발광부(603) 및 바디부(602)에 장착되는 지지부(604)를 포함한다.
발광부(603)는 누름부(601)와 지지부(604)의 사이에 개재되어 패널(100)의 상면을 향해 발광한다. 작업자는 발광부(603)가 발광된 상태에서 패널(100)에 존재하는 이물질 또는 패널(100)의 불량 상태를 육안으로 확인할 수 있다.
종래의 오토 프로브 검사 장치에 따르면, 패널의 상부에 별도의 발광 장치가 구비되었다. 이 경우, 발광 장치가 패널의 상부에서 패널을 향해 발광하였다. 그런데, 이와 같이 패널의 상부에서 패널을 향해 빛을 쏘는 경우에 대부분의 빛이 패널에 반사되어 작업자가 패널에 존재하는 이물질 또는 패널의 불량 상태를 확인하기 어렵다는 문제가 있었다.
하지만, 본 발명에 따르면, 누름 지그(130)가 발광부(603)에 포함되도록 구성함에 따라, 패널(100)의 측면에서 발광하므로 작업자가 패널(100)에 존재하는 이물질 또는 패널(100)의 불량 상태를 쉽게 확인할 수 있다.
지그 블록(600)은 지그 블록(600)의 수평을 조절하는 수평 조절 유닛(605)을 더 포함할 수 있다. 지그 블록(600)의 수평이라 함은, 지그 블록(600)의 하면이 어느 한쪽으로 기울지 않고 평평한 상태를 의미할 수 있다.
수평 조절 유닛(605)을 통해 지그 블록(600)을 수평 상태로 셋팅함으로써, 패널(100)을 가압하는 지그 블록(600)의 수평이 이루어지지 않는 경우에 패널(100)에 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
지그 블록(600)은 도 7과 같이, 패널(100)의 수평 방향으로의 이동을 제한하는 스토퍼(미도시)가 삽입되는 스토퍼 홀(606)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 스토퍼 홀(606)은 바디부(602)의 일부를 관통하도록 형성될 수 있다.
여기서, 스토퍼는 워크 테이블(110)의 둘레를 따라 배치될 수 있다. 또한, 스토퍼는 그 상면이 워크 테이블(110)의 상면보다 미리 설정된 길이만큼 더 높게 위치할 수 있다. 미리 설정된 길이는, 패널(100)의 두께 이상의 값일 수 있다. 이는, 스토퍼의 상면이 워크 테이블(110) 상에 로딩되는 패널(100)의 상면보다 더 높게 위치하게 하여 패널(100)의 수평 방향으로의 이동이 스토퍼에 의해 제한되게 하기 위함이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 타입의 패널을 검사하는 방법을 나타낸 흐름도이다.
단계 S1000에서, 패널(100)의 크기에 따라 워크 테이블(110)의 크기가 제어될 수 있다. 워크 테이블(110)의 크기는 상술한 바와 같이 워크 테이블 제어 유닛(112, 113, 114, 115)에 의해 제어될 수 있다.
단계 S1000에서, 지그 스테이지(132, 134, 136, 138)에 의해 누름 지그(130)의 위치도 제어될 수 있다.
단계 S1010에서, 워크 테이블(110)에 패널(100)이 로딩될 수 있다. 단계 S1010에서, 1차 얼라인 카메라(410, 412)에 의해 패널(100)이 워크 테이블(110)에 안착된 위치가 파악되고, 워크 테이블(110) 및 지그 스테이지(132, 134, 136, 138; 도 5 참조)는 1차 얼라인될 수 있다.
단계 S1020에서, 누름 지그(130)가 테두리부(800)에 접촉할 수 있다.
단계 S1030에서, 프로브 유닛(120)이 패드부(102)에 접촉되어 검사를 수행할 수 있다. 단계 S1030에서, 2차 얼라인 카메라(810)에 의해 프로브 유닛(120)의 프로브 핀과 패드부(102)의 접촉 상태가 파악될 수 있다. 또한, 프로브 유닛(120)의 프로브 핀과 패드부(102)의 접촉 상태가 올바르지 않을 경우, 워크 테이블(110) 및 지그 스테이지(132, 134, 136, 138; 도 5 참조)는 2차 얼라인될 수 있다.
단계 S1040에서, 프로브 유닛(130)이 패드부(800)로부터 접촉 해제될 수 있다.
단계 S1050에서, 누름 지그(130)가 테두리(102)부터로터 접촉 해제될 수 있다.
단계 S1060에서, 패널(100)이 워크 테이블(110)로부터 언로딩될 수 있다.
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 패드
110: 워크 테이블
111: 안착부
120: 프로브 유닛
130: 누름 지그
132, 134, 136, 138: 지그 스테이지
112, 113, 114, 115: 워크 테이블 제어 유닛
402, 404, 406: 프로브 스테이지
410, 412: 1차 얼라인 카메라
600: 지그 블록
601: 누름부
602: 바디부
603: 발광부
604: 지지부
605: 수평 조절 유닛
606: 스토퍼 홀
900: 2차 얼라인 카메라
910: 카메라 이동 유닛

Claims (14)

  1. 오토 프로브 검사 장치에 있어서,
    유기 전계 발광 표시 타입의 패널의 배면이 상측을 향하도록 안착되는 워크 테이블;
    상기 패널의 크기에 따라 상기 패널이 안착되는 워크 테이블의 크기를 제어하는 워크 테이블 제어 유닛;
    상기 워크 스테이지에 안착된 패널의 전면에 형성된 패드부에 접촉되어 상기 패널에 대한 검사를 수행하는 복수의 프로브 유닛;
    상기 패널의 배면의 테두리부에 접촉되어 상기 패널의 상향 이동을 제한하는 누름 지그; 및
    상기 누름 지그가 상기 테두리부에 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 누름 지그를 이동시키는 지그 스테이지;
    를 포함하는 것인, 오토 프로브 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 워크 테이블 제어 유닛은 상기 패널의 4면 중 일면에 대응하는 위치에 고정되는 고정 유닛; 및
    상기 패널의 4면 중 상기 고정 유닛이 고정되는 일면 이외의 면에 위치하고 상기 패널에 대하여 내외측 방향으로 이동함으로써 상기 워크 테이블의 크기를 제어하는 복수의 가변 유닛
    을 포함하는 것인, 오토 프로브 검사 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 지그 스테이지는 상기 패널의 4면 중 일면에 대응하는 위치에 고정되는 고정 스테이지; 및
    상기 패널의 4면 중 상기 고정 스테이지가 고정되는 일면 이외의 면에 위치하고 상기 패널에 대하여 내외측 방향으로 이동하는 복수의 가변 스테이지
    를 포함하는 것인, 오토 프로브 검사 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 패널을 측면에서 촬영하여 상기 패널이 상기 워크 테이블에 안착된 위치를 파악하는 복수의 1차 얼라인 카메라
    를 더 포함하는 것인, 오토 프로브 검사 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 유닛이 상기 패드부과와 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 프로브 유닛을 이동시키는 프로브 스테이지
    를 더 포함하는 것인, 오토 프로브 검사 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 프로브 스테이지의 하부에서 상기 테두리부를 촬영하여 상기 프로브 유닛의 프로브 핀과 상기 패드부의 접촉 상태를 파악하는 복수의 2차 얼라인 카메라
    를 더 포함하는 것인, 오토 프로브 검사 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 워크 테이블 제어 유닛에 의해 제어되는 상기 워크 테이블의 크기에 따라 상기 복수의 2차 얼라인 카메라를 이동시키는 카메라 이동 유닛
    을 더 포함하는 것인, 오토 프로브 검사 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 누름 지그는 복수의 지그 블록으로 분할 형성되는 것인, 오토 프로브 검사 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 지그 블록은 상기 패널의 테두리부에 접촉되는 누름부;
    상기 패널의 상면을 향해 발광하는 발광부; 및
    상기 누름부 및 상기 발광부를 지지하는 바디부
    를 포함하는 것인, 오토 프로브 검사 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 바디부에는 상기 워크 테이블에 안착된 상기 패널의 수평 방향으로의 이동을 제한하는 스토퍼가 삽입되는 스토퍼 홀을 포함하는 것인, 오토 프로브 검사 장치.
  11. 제 1 항에 따른 오토 프로브 검사 장치를 이용한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널을 검사하는 방법에 있어서,
    상기 패널의 크기에 따라 상기 워크 테이블의 크기를 제어하는 단계;
    상기 워크 테이블에 상기 패널을 로딩하는 단계;
    상기 누름 지그를 상기 테두리부에 접촉하는 단계;
    상기 프로브 유닛이 상기 패드부에 접촉되어 검사를 수행하는 단계;
    상기 패드부로부터 상기 프로브 유닛을 접촉 해제하는 단계;
    상기 테두리부터로터 상기 누름 지그를 접촉 해제하는 단계; 및
    상기 워크 테이블로부터 상기 패널을 언로딩하는 단계
    를 포함하는 것인, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 패널을 로딩하는 단계는,
    상기 패널이 상기 워크 테이블에 안착된 위치를 파악하여 상기 워크 테이블에 대한 1차 얼라인(align)을 수행하는 단계
    를 포함하는 것인, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 누름 지그를 상기 테두리부에 접촉하는 단계는,
    상기 누름 지그가 상기 패널에 대하여 내측 방향으로 이동하는 단계
    를 포함하는 것인, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 프로브 유닛이 상기 패드부에 접촉되어 검사를 수행하는 단계는,
    상기 프로브 유닛의 프로브 핀과 상기 패드부의 접촉 상태를 파악하여 2차 얼라인을 수행하는 단계
    를 포함하는 것인, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
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