KR20180088357A - Transfer apparatus using dry adhesive - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a transfer apparatus using a dry adhesive, which comprises: a base plate having an inflow hole on one side; a connecting pipe which has a hollow and of which one end portion is installed on one side of the base plate to enable the hollow to communicate with the inflow hole; a dry adhesion unit coupled to one side of the lower end portion of the connecting pipe and adsorption-grinding an object to be transferred; and an air supply unit connected to one side having the inflow hole and injecting air to the lower portion of the object to be transferred via the inflow hole and the hollow. Accordingly, the dry adhesive can be used to provide a simple structure, stably move the object to be transferred without pollution, and easily perform adsorption and detachment of the object to be transferred.

Description

건식접착제를 이용한 이송장치{Transfer apparatus using dry adhesive}[0001] The present invention relates to a transfer apparatus using a dry adhesive,

본 발명은 건식접착제를 이용한 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 건식접착제를 이용하여 구조가 간단하면서도 이송대상물을 오염없이 안정적으로 이동할 수 있을 뿐 아니라 이송대상물의 흡착 및 탈거가 용이한 건식접착제를 이용한 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a transfer device using a dry adhesive, and more particularly, to a transfer device using a dry adhesive, which is simple in structure and capable of stably transferring a transfer object without contamination, And more particularly,

일반적인 접착제의 종류를 몇 가지로 분류해 볼 때, 주로 접착제가 액체 상태에서 발라져 굳어지는 방식에 따라 나누어 볼 수 있다.Typical adhesives can be divided into several types, depending on how the adhesive is applied in a liquid state.

첫 번째로는, 가장 흔하게 접할 수 있는 풀이나 목공용 접착제, 다용도 접착제(속칭, "돼지 본드"), 페놀계 접착제나 혹은 용제가 증발하는 용제 증발형 접착제 등이 있다. 다시 말해, 끈끈한 용액 또는 에멀젼(emulsion)이 말라서 굳는 방식의 접착제이다.First, there are the most commonly encountered adhesives for grass or woodworking, multipurpose adhesives (also known as "pig binds"), phenolic adhesives, or solvent evaporative adhesives that evaporate solvents. In other words, the adhesive is a sticky solution or an emulsion that is dried and hardened.

두 번째로 흔히 셀로판 테이프 등에 도포되는 감압형 접착제(pressure sensitive adhesive)가 있다. 이러한 접착제는 표면이 계속 점액상태와 같이 끈끈한 상태를 유지하고 이의 점성에 따라 계속 접착 상태가 유지되는 방식이다. Secondly, there is a pressure sensitive adhesive which is applied to a cellophane tape or the like. Such an adhesive is a method in which the surface maintains a sticky state such as a continuous mucus state, and the adhesive state is maintained according to the viscosity thereof.

또한 열로 녹인 후 굳게 하는 감열형 접착제라는 것이 있는데, 글루 건(glue gun) 등이 대표적이다.In addition, there is a heat-sensitive adhesive which is melted and then hardened, such as a glue gun.

세 번째로는, 쓰기 전과 굳은 후의 상태가 다른 화학반응형 접착제가 있다.Third, there are chemically reactive adhesives that differ in the state before and after hardening.

그러나, 상기한 종래의 접착제들은 모두 쉬운 착탈이 어렵고, 탈착을 하더라도 부착부위를 오염시키는 문제점이 있었다.However, all of the above-mentioned conventional adhesives are difficult to attach and detach easily, and there is a problem that the adhesive portions are contaminated even if they are detached.

또한 정밀 전자부품 생산 분야에서도 새로운 접착 메커니즘에 대한 요구가 커지고 있다. 현재 반도체나 디스플레이 산업에서는 시편의 이송/고정을 위하여 정전기력을 이용한 정전척, 진공을 이용한 진공척, 물리적 힘으로 고정하는 클램핑 척 등이 주로 사용되고 있다. There is also a growing demand for new bonding mechanisms in the production of precision electronic components. In the semiconductor and display industries, electrostatic chucks using electrostatic force, vacuum chucks using vacuum, and clamping chucks using physical force are mainly used for transferring / fixing the specimen.

하지만, 정전척은 매우 고가의 장비이며, 부피가 크고 고전압이 필요할 뿐 아니라 구조상 AMOLED 공정 등에는 사용이 불가능한 단점을 가지고 있다. 이와 더불어 진공척은 진공이 발생하는 부분의 유리 기판에 변형이 발생하여 반도체, 디스플레이 정밀공정에 적용하기 힘들며, 클램핑척은 공정 중 웨이퍼의 슬라이딩이 일어나거나 완성된 샘플에 클램핑 마크가 남는 등 공정의 효율이나 완성도에서 단점을 보인다. 한편, 최근 기판의 대형화로 인하여 자체 하중에 의한 기판 처짐이 크게 발생하므로 연속적인 공정을 위해서는 기판의 위 방향에서 수직 방향으로 붙잡아주는 형태의 척이 필요한데, 이 역시 기존의 장치로는 불가능하다. 이처럼 기존 부품 이송/고정시스템은 앞서 언급한 여러 가지 기술적 한계, 높은 에너지 소모, 고비용으로 인한 낮은 경제성 등의 많은 문제점을 가지고 있다.However, electrostatic chuck is a very expensive equipment, and it has a disadvantage that it is bulky and requires a high voltage, and can not be used in AMOLED processes. In addition, the vacuum chuck is difficult to apply to the semiconductor and display precision processes due to the deformation of the glass substrate in the area where the vacuum is generated. The clamping chuck can cause the wafer to slip during the process or leave a clamping mark on the finished sample. It has disadvantages in efficiency and completeness. On the other hand, due to the recent enlargement of the substrate, the deflection of the substrate due to its own load is largely generated. Therefore, in order to perform a continuous process, it is necessary to hold the substrate in a vertical direction from the upper side of the substrate. As such, the existing parts transfer / fixing system has many problems such as the technical limitations mentioned above, high energy consumption, low cost due to high cost, and the like.

이에 최근에는 기존 접착제의 문제점을 해결하기 위한 방법으로 게코 도마뱀에서 영감을 얻은 기울어진 나노 구조물의 건식 접착제에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다.Recently, research on dry adhesives of tilted nanostructures inspired by Gecko lizards has been actively conducted as a method for solving the problems of existing adhesives.

이러한 건식 접착제는 수백 수천의 마이크로미터 및 나노미터 크기의 흡착구조물이 형성되어 접착시 상대적으로 큰 표면적을 가지게 함으로써 접착력을 향상시킬 수 있을 뿐 아니라 탈착시 부착물에 오염물이 잔존하지 않는 특징이 있다.Such a dry adhesive has several hundreds of thousands of micrometers and nanometer sized adsorbent structures formed thereon to have a relatively large surface area at the time of adhesion, thereby improving the adhesive strength and not leaving contaminants in the adherend upon desorption.

그러나, 상기한 건식 접착제는 앞서 설명한 바와 같이 수백수천의 흡착구조물에 의해 접착력이 현격하게 향상되는 바 착탈이 어려운 종래의 문제점을 해결하는데 한계가 있었다.However, as described above, the above-mentioned dry adhesive has a limitation in solving the conventional problem that the adhesive force is remarkably improved by hundreds of thousands of the adsorption structure, which makes it difficult to attach and detach.

이에 이송장치에 건식접착제를 적용함으로써 구조가 간단하고 제조단가를 낮추고자 하는 노력이 시도된 바 있으나, 위와 같은 문제점으로 인해 이송대상물을 흡착하고 원하는 위치로 이송한 후 탈거, 즉 이송대상물과의 용이한 착탈구조를 요하는 이송장치에 건식접착제를 적용하기 어려운 문제점이 있었다.Therefore, efforts have been made to reduce the manufacturing cost by simplifying the structure by applying a dry adhesive to the transfer device. However, due to the above problems, the transfer object is sucked and transferred to a desired position, It is difficult to apply a dry adhesive to a transfer device requiring a detachable structure.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 건식접착제를 이용하여 구조가 간단하면서도 이송대상물을 오염없이 안정적으로 이동할 수 있을 뿐 아니라 이송대상물의 흡착 및 탈거가 용이한 건식접착제를 이용한 이송장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a method and apparatus for transporting a transported object, which is simple in structure using a dry adhesive, And a transfer device using a dry adhesive.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 일측에 유입공이 형성되는 베이스플레이트와, 중공이 형성되고, 상기 중공이 상기 유입공과 연통되게 일단부가 상기 베이스플레이트 일측에 설치되는 연결관과, 상기 연결관 하단부 일측에 결합되고, 이송대상물을 흡착파지하는 건식접착부 및 상기 유입공이 형성된 일측에 연결되고, 상기 유입공 및 상기 중공을 통해 상기 이송대상물의 하방으로 공기분사하는 공기공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 건식접착제를 이용한 이송장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an air conditioner comprising: a base plate having an inlet hole formed therein at one side thereof; a coupling plate having a hollow portion formed therein and having one end communicating with the inlet hole, And an air supply unit coupled to one side of the lower end of the connection pipe and connected to one side where the inflow hole is formed and air is blown downward through the inflow hole and the hollow, The present invention also provides a transfer device using the dry adhesive.

그리고, 상기 건식접착부는 상기 연결관의 하단부 일측에 결합되는 경질의 형상유지플레이트 및 상기 형상유지플레이트 일측에 형성되고, 이송대상물을 흡착파지하는 건식접착제를 포함하는 것이 바람직하다.Preferably, the dry bonding portion includes a rigid shape holding plate coupled to one side of the lower end of the connection tube, and a dry adhesive formed on one side of the shape holding plate for gripping and holding the transported object.

또한, 상기 베이스플레이트 중 상기 유입공이 형성된 일측에 설치되고, 상기 공기공급부의 일측이 결합되는 체결구를 더 포함할 수 있다.The base plate may further include a fastener provided on one side of the base plate on which the inflow hole is formed and to which one side of the air supply unit is coupled.

아울러, 상기 베이스플레이트, 상기 연결관 및 상기 건식접착부의 외면에 일체로 형성되는 연결부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to further include a connection member integrally formed on an outer surface of the base plate, the connection pipe, and the dry bonding portion.

한편, 하부 일측에 수용홈이 형성되고, 일측에 상기 수용홈과 연통되는 통공이 형성된 베이스플레이트와, 상기 수용홈 및 통공이 형성된 상기 베이스플레이트의 내부에 설치되고, 내부에 유체가 충진되어 상기 유체가 내외부로 인입 또는 인출되는 경우 형상이 변형되는 연질의 형상변형부와, 상기 형상변형부의 하부에 설치되고, 이송대상물을 흡착파지하며, 상기 형상변형부의 형상이 변형되는 경우 동반변형되는 건식접착부 및 일측이 상기 형상변형부의 내부와 연통되고, 상기 유체를 상기 형상변형부의 내외부로 인입 또는 인출하는 작동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 건식접착제를 이용한 이송장치를 제공한다.A base plate having a receiving groove formed at a lower side thereof and having a through hole communicating with the receiving groove at one side thereof; a base plate provided inside the base plate having the receiving groove and the through hole, A soft bonding portion provided at a lower portion of the shape deformation portion and adapted to receive and hold the object to be conveyed and to be deformed when the shape of the shape deformation portion is deformed; And an actuating part having one side communicating with the inside of the shape deforming part and drawing or drawing the fluid to the inside and the outside of the shape deforming part.

그리고, 상기 작동부는 일측이 상기 형상변형부의 내부와 연통되고, 상기 유체를 상기 형상변형부의 내외부로 인입 또는 인출하는 인입인출부 및 상기 인입인출부에 의해 상기 형상변형부의 외부로 인출된 유체가 임시저장되는 임시저장부를 포함하는 것이 바람직하다.The operation portion is provided with an inlet / outlet portion having one side communicating with the inside of the shape deformation portion and drawing or drawing the fluid to the inside / outside of the shape deformation portion, and a fluid drawn out to the outside of the shape deformation portion by the inlet / And a temporary storage unit for storing the temporary storage unit.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 건식접착제를 이용하여 구조가 간단하면서도 이송대상물을 오염없이 안정적으로 이동할 수 있을 뿐 아니라 이송대상물의 흡착 및 탈거가 용이한 효과가 있다.According to the present invention, a dry adhesive can be used to stably move the object to be transported without contamination, and also to facilitate the adsorption and removal of the object to be transported.

도1은 본 발명의 일실시예에 따른 건식접착제를 이용한 이송장치의 사시도,
도2는 본 발명의 일실시예에 따른 건식접착제를 이용한 이송장치의 단면도,
도3a는 본 발명의 일실시예에 따른 건식접착부에 이송대상물이 흡착파지된 상태를 도시한 도면,
도3b는 본 발명의 일실시예에 따른 건식접착부로부터 이송대상물이 탈거되는 상태를 도시한 도면,
도4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 건식접착제를 이용한 이송장치의 사시도,
도5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 건식접착제를 이용한 이송장치의 단면도,
도6a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 건식접착부에 이송대상물이 흡착파지된 상태를 도시한 도면,
도6b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 건식접착부로부터 이송대상물이 탈거되는 상태를 도시한 도면.1 is a perspective view of a transfer device using a dry adhesive according to an embodiment of the present invention,
2 is a cross-sectional view of a transfer device using a dry adhesive according to an embodiment of the present invention,
FIG. 3A is a view illustrating a state in which a transported object is gripped and held on a dry bonding portion according to an embodiment of the present invention;
FIG. 3B is a view illustrating a state in which a transported object is removed from a dry-type adhering portion according to an embodiment of the present invention;
4 is a perspective view of a transfer device using a dry adhesive according to another embodiment of the present invention,
5 is a cross-sectional view of a transfer device using a dry adhesive according to another embodiment of the present invention;
FIG. 6A is a view illustrating a state in which a conveyed object is gripped and held in a dry bonding portion according to another embodiment of the present invention; FIG.
6B is a view showing a state in which a conveyed object is removed from a dry-type adhering portion according to another embodiment of the present invention.

이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도1은 본 발명의 일실시예에 따른 건식접착제를 이용한 이송장치의 사시도이고, 도2는 본 발명의 일실시예에 따른 건식접착제를 이용한 이송장치의 단면도이다.FIG. 1 is a perspective view of a transfer device using a dry adhesive according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of a transfer device using a dry adhesive according to an embodiment of the present invention.

도1 내지 도2에서 보는 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 건식접착제(42)를 이용한 이송장치(1)는 베이스플레이트(10)와, 체결구(20)와, 연결관(30)과, 건식접착부(40)와, 연결부재(50) 및 공기공급부(60)를 포함하여 구성된다.1 and 2, a transfer device 1 using a dry adhesive 42 according to an embodiment of the present invention includes a base plate 10, a fastener 20, a connection pipe 30, A dry bonding portion 40, a connecting member 50 and an air supply portion 60. [

베이스플레이트(10)는 대략 플레이트 형상으로 형성되고, 일측에 후술하는 공기공급부(60)와 연통되어 공기가 유입되는 유입공(11)이 형성된다.The base plate 10 is formed in a substantially plate shape, and an inlet 11 communicating with an air supply unit 60 to be described later is formed at one side thereof.

그리고, 베이스플레이트(10)는 후술하는 각 구성의 설치영역을 제공함과 아울러 일측이 이송암의 일측에 결합되어 이송암의 움직임에 따라 이동되면서 후술하는 건식접착부(40)에 의해 흡착파지된 이송대상물이 동반 이동되도록 하며, 공기공급부(60)로부터 공급되는 공기를 연결관(30)방향, 즉 이송대상물방향으로 전달하는 역할을 한다.The base plate 10 is provided with a mounting area of each of the structures described later, and one side of the base plate 10 is coupled to one side of the transfer arm and moved according to the movement of the transfer arm, And transmits the air supplied from the air supply unit 60 to the connection pipe 30, that is, the direction of the transport object.

체결구(20)는 유입공(11)이 형성된 베이스플레이트(10)의 상면 일측에 설치되고, 후술하는 공기공급부(60)와의 연결영역을 제공하는 역할을 하는 것으로서, 일반적인 니플(nipple)이 사용될 수 있다.The fastener 20 is installed on one side of the upper surface of the base plate 10 on which the inflow hole 11 is formed and serves to provide a connection area with the air supply unit 60 to be described later and a general nipple is used .

연결관(30)은 대략 원통의 관체형상으로 형성되고, 일단부가 베이스플레이트(10)의 하부 일측 중 유입공(11)과 연통되게 수직방향으로 설치되어 유입공(11)을 통해 내부로 공기가 유입되는 경우 이를 건식접착부(40)에 의해 흡착된 이송대상물 방향으로 안내하여 공기압력에 의해 이송대상물이 건식접착부(40)로부터 탈거되도록 하는 역할을 한다.The connecting pipe 30 is formed in a substantially cylindrical tube shape and is vertically installed so that one end of the connecting pipe 30 communicates with the inlet hole 11 of the lower side of the base plate 10, And guiding it in the direction of the transported object picked up by the dry bonding portion 40 so that the transported object is removed from the dry bonding portion 40 by the air pressure.

건식접착부(40)는 연결관(30)의 하단부 일측에 결합되는 경질의 형상유지플레이트(41)와, 형상유지플레이트(41)의 하부에 형성되는 건식접착제(42)를 포함하여 구성되며, 건식접착제(42)를 통해 이송대상물을 흡착파지하는 역할을 한다.The dry bonding portion 40 includes a hard shape retaining plate 41 coupled to one side of the lower end of the connection pipe 30 and a dry adhesive 42 formed under the shape retaining plate 41, And functions to attract and hold the object to be conveyed through the adhesive 42. [

형상유지플레이트(41)는 대략 플레이트 형상으로 형성되고, 경질로 형성되어 하부에 유연한 건식접착제(42)가 설치되는 경우 건식접착제(42)의 형상이 유지되도록 하는 역할을 하는데, 건식접착제(42)를 견고하게 지지하기 위해 금속재질로 형성되는 것이 바람직하다.The shape retaining plate 41 is formed in a substantially plate shape and is rigidly formed to maintain the shape of the dry adhesive 42 when the soft dry adhesive 42 is provided at the lower portion. It is preferable that it is formed of a metal material.

건식접착제(42)는 대략 블럭형상으로 형성되고, 형상유지플레이트(41)의 하부에 결합되며, 이송대상물을 흡착파지하여 베이스플레이트(10)가 이송암에 의해 이동되는 경우 베이스플레이트(10)와 함께 동반이동되면서 이송대상물을 이송하는 역할을 한다.The dry adhesive 42 is formed in a substantially block shape and is coupled to the lower portion of the shape retaining plate 41. When the base plate 10 is moved by the transfer arm by sucking and holding a conveyed object, And transports the transported object while being moved together.

여기서, 건식접착제(42)는 몰드의 상면에 형성하고자 하자 하는 흡착구조물과 대응되는 형상의 성형홈을 복수개 형성하고, 복수의 성형홈 내부에 PDMS(polydimethylsiloxane)를 유입하며, 이를 경화시킨 후 디몰딩하여 제작되는 것으로서, 마이크로 또는 나노단위로 형성되는 수백수천의 흡착구조물을 통해 이송대상물을 흡착파지한다.Here, the dry adhesive 42 is formed by forming a plurality of molding grooves having shapes corresponding to the adsorption structure to be formed on the upper surface of the mold, introducing PDMS (polydimethylsiloxane) into the molding grooves, And adsorbs and holds a conveyed object through several hundreds of thousands of adsorption structures formed in micro or nano units.

연결부재(50)는 베이스플레이트(10)의 하부 일측과, 연결관(30)의 외면 및 건식접착부(40)의 상부 일측에 일체로 결합되어 베이스플레이트(10)와, 연결관(30) 및 건식접착부(40)를 일체로 연결하는 것으로서, 일반적인 접착제가 사용될 수 있다.The connection member 50 is integrally coupled to one side of the lower side of the base plate 10 and the upper surface of the connection pipe 30 and the upper side of the dry bonding portion 40 to form the base plate 10, A general adhesive may be used for integrally connecting the dry-type adhesive portions 40.

공기공급부(60)는 일단부가 체결구(20)에 견고하게 결합되어 베이스플레이트(10)의 유입공(11)과 연통되고, 베이스플레이트(10)의 유입공(11)을 통해 이송대상물에 하방으로 공기를 공급함으로써 공압에 의해 이송대상물이 건식접착제(42)로부터 탈거되도록 하는 역할을 한다.One end of the air supply unit 60 is firmly coupled to the fastener 20 and communicates with the inflow hole 11 of the base plate 10 and is connected to the lower side of the conveyance target through the inflow hole 11 of the base plate 10. [ So that the object to be transported is removed from the dry adhesive 42 by the pneumatic pressure.

도3a는 본 발명의 일실시예에 따른 건식접착부에 이송대상물이 흡착파지된 상태를 도시한 도면이고, 도3b는 본 발명의 일실시예에 따른 건식접착부로부터 이송대상물이 탈거되는 상태를 도시한 도면이다.FIG. 3A is a view illustrating a state in which a conveyed object is gripped and held in a dry-type adhering portion according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3B is a view illustrating a state in which a conveyed object is removed from a dry-type adhering portion according to an embodiment of the present invention FIG.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 건식접착제(42)를 이용한 이송장치(1)의 동작을 첨부된 도3a 및 도3b를 참조하여 설명하면 다음과 같다.The operation of the transfer device 1 using the dry adhesive 42 according to an embodiment of the present invention having such a structure will be described with reference to FIGS. 3A and 3B.

먼저, 이송암이 이송대상물과 대응되는 위치로 이송되어 건식접착부(40)가 이송대상물의 상면에 접촉되면, 건식접착부(40)에 이송대상물의 상면이 흡착되고, 이송대상물이 건식접착부(40)에 흡착파지된 상태에서 이송암이 이송대상물의 이송위치로 이동한다.First, when the transfer arm is transferred to a position corresponding to the object to be transferred and the dry adhesive 40 is brought into contact with the upper surface of the object to be transferred, the upper surface of the object to be transferred is attracted to the dry adhesive 40, The transfer arm is moved to the transfer position of the transfer object.

이에 건식접착부(40)에 흡착파지된 이송대상물이 이송위치로 동반이송되면, 공기분사부에서 베이스플레이트(10)의 유입공(11)을 통해 공기를 분사한다.When the transported object held by the dry bonding portion 40 is transported to the transporting position, air is injected through the inflow hole 11 of the base plate 10 in the air ejecting portion.

유입공(11)으로 유입되는 공기가 연결관(30)을 통해 하방으로 이동되어 이송대상물의 상면을 가압함으로써 이송대상물이 건식접착부(40)로부터 탈거되어 이송위치에 안착된다.The air flowing into the inflow hole 11 is moved downward through the connection pipe 30 to press the upper surface of the transported object so that the transported object is removed from the dry bonded portion 40 and is seated at the transported position.

도4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 건식접착제를 이용한 이송장치의 사시도이고, 도5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 건식접착제를 이용한 이송장치의 단면도이다.FIG. 4 is a perspective view of a transfer device using a dry adhesive according to another embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view of a transfer device using a dry adhesive according to another embodiment of the present invention.

도4 및 도5 실시예의 기본적인 구성은 도1 내지 도3의 실시예와 동일하나, 유체를 이용하여 이송대상물을 탈거하는 구조로 형성된 것이다.4 and 5 are the same as those of the embodiments of FIGS. 1 to 3, but are formed in a structure for removing the object to be transported using a fluid.

도4 및 도5에서 보는 바와 같이 본 발명의 다른 실시예에 따른 건식접착제를 이용한 이송장치(1')는 베이스플레이트(10')와, 형상변형부(20'), 건식접착부(30') 및 작동부(40')를 포함하여 구성된다.4 and 5, a transfer device 1 'using a dry adhesive according to another embodiment of the present invention includes a base plate 10', a shape deformation portion 20 ', a dry adhesive portion 30' And an operation unit 40 '.

베이스플레이트(10')는 대략 플레이트 형상으로 형성되고, 하면 일측에 상방으로 수용홈(11')이 형성되며, 상면 일측에 수용홈(11')과 연통되는 통공(12')이 형성된다. The base plate 10 'is formed in a substantially plate shape, and a receiving groove 11' is formed on one side of the lower surface and a through hole 12 'is formed on an upper surface of the base plate 10' to communicate with the receiving groove 11 '.

이러한, 베이스플레이트(10')는 일측이 이송암의 일측에 결합되어 이송암의 움직임에 따라 이동되면서 후술하는 건식접착부(30')에 의해 흡착파지된 이송대상물이 동반 이동되도록 하는 역할을 한다.One side of the base plate 10 'is coupled to one side of the transfer arm and is moved in accordance with the movement of the transfer arm, so that the transfer target held by the dry-type adhering portion 30' is moved together.

형상변형부(20')는 연질의 고무재질로 형성되고, 수용홈(11') 및 통공(12')이 형성된 베이스플레이트(10')의 내부에 설치되며, 내부에 형상변형을 위한 유체가 충진된다.The shape deforming portion 20 'is formed of a soft rubber material and is installed inside a base plate 10' formed with a receiving groove 11 'and a through hole 12' Lt; / RTI >

이러한 형상변형부(20')는 후술하는 작동부(40')에 의해 내외부로 유체가 인입 또는 인출됨에 따라 그 형상이 변형되는데, 이와 동시에 후술하는 건식접착제의 형상이 동반변형되도록 함으로써 건식접착제에 이송대상물이 용이하게 흡착되도록 하거나 건식접착제로부터 이송대상물이 탈거되도록 한다.The shape of the shape deforming portion 20 'is deformed as the fluid is drawn in or drawn out by the operating portion 40' described later. At the same time, the shape of the dry adhesive to be described later is mutually deformed, The object to be transported is easily adsorbed or the object to be transported is removed from the dry adhesive.

건식접착부(30')는 대략 패드형상으로 형성되는 건식접착제가 사용되고, 베이스플레이트(10')의 하부 일측 중 수용홈(11')과 대응되는 일측에 설치되며, 형상변형부(20')의 형상이 변형되는 경우 동반 변형되면서 이송대상물을 흡착하거나 탈거하는 역할을 한다.The dry-type adhesive portion 30 'is a dry adhesive formed in a substantially pad shape. The dry-type adhesive portion 30' is provided at one side of the lower side of the base plate 10 'corresponding to the receiving groove 11' When the shape is deformed, it is accompanied by deformation, and it plays a role of adsorbing or removing the transported object.

작동부(40')는 일측이 형상변형부(20')의 내부와 연통되고 유체를 형상변형부(20')의 내외부로 인입 또는 인출하는 인입인출부(41') 및 인입인출부(41')에 의해 형상변형부(20')의 외부로 인출된 유체가 임시저장되는 임시저장부(42')를 포함하여 구성되며, 형상변형부(20')의 형상이 변형되도록 형상변형부(20')의 내외부로 유체를 인입 또는 인출하는 역할을 한다.The actuating part 40 'includes a lead-in part 41' and a lead-out lead-out part 41 ', one side of which communicates with the inside of the shape-deforming part 20' and draws or draws fluid into / And a temporary storage part 42 'in which the fluid drawn out to the outside of the shape-deforming part 20' is temporarily stored by the deforming part 20 ' 20 'to the outside or outside of the chamber.

도6a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 건식접착부에 이송대상물이 흡착파지된 상태를 도시한 도면이고, 도6b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 건식접착부로부터 이송대상물이 탈거되는 상태를 도시한 도면이다.FIG. 6A is a view showing a state where a conveyed object is gripped and held in a dry-type adhering portion according to another embodiment of the present invention, and FIG. 6B is a view showing a state in which a conveyed object is removed from a dry-type adhering portion according to another embodiment of the present invention FIG.

이러한 구성을 갖는 본 발명의 다른 실시예에 따른 건식접착제를 이용한 이송장치(1')의 동작을 첨부된 도6a 및 도6b를 참조하여 살펴보도록 한다.The operation of the transfer device 1 'using the dry adhesive according to another embodiment of the present invention having such a configuration will be described with reference to FIGS. 6A and 6B.

먼저, 작동부(40')가 형상변형부(20')의 내부로 유체를 인입함에 따라 건식접착부(30')의 형상이 평평하게 형성되는데, 이때, 건식접착부(30')가 이송대상물의 상면에 접촉되어 건식접착부(30')에 이송대상물이 흡착파지된다.First, the shape of the dry adhesive portion 30 'is formed flat as the actuating portion 40' draws fluid into the shape deforming portion 20 '. At this time, the dry adhesive portion 30' So that the object to be conveyed is gripped and held on the dry adhesive portion 30 '.

건식접착부(30')에 이송대상물이 흡착파지된 상태에서 작동부(40')는 유체를 수용홈(11') 내부로 일정량 더 인입하여 건식접착부(30')에 예하중(preload)를 가함으로써 건식접착부(30')에 이송대상물이 보다 견고하게 흡착되도록 한다.The operation part 40 'draws a certain amount of the fluid into the receiving groove 11' and preloads the dry-type adhesive part 30 'in a state where the conveyed object is held by the dry-type adhesive part 30' So that the object to be conveyed is more strongly attracted to the dry-type adhesive portion 30 '.

이후, 이송암이 이송위치로 이송하면, 건식접착부(30')에 흡착파지된 이송대상물이 이송위치로 동반이동된다.Thereafter, when the transfer arm is transferred to the transfer position, the transfer target held by the dry-type adhering portion 30 'is moved to the transfer position.

다음, 인입인출부(41')가 유체의 일부를 형상변형부(20')로부터 임시저장부(42')로 인출하는데, 이와 같이 유체의 일부가 형상변형부(20')로부터 인출됨에 따라 형상변형부(20')가 오그라들면서, 형상변형부(20')의 하부에 설치된 건식접착부(30') 또한 일측이 상방으로 만곡지면서 오그라들게 된다.Next, the inflow and outflow portion 41 'draws a part of the fluid from the shape deformation portion 20' to the temporary storage portion 42 ', and as a part of the fluid is drawn out from the shape deformation portion 20' As the shape deforming portion 20 'is crushed, the dry bonding portion 30' provided at the lower portion of the shape deforming portion 20 'also curls upward as one side is bent.

이와 같이 건식접착부(30')의 형상이 변형됨에 따라 도6에서 보는 바와 같이 건식접착부(30')와 이송대상물의 접촉면적이 작아지게 되고, 이에 건식접착부(30')의 흡착력이 낮아지면서 이송대상물의 중량에 의해 이송대상물이 건식접착부(30')로부터 탈거된다.As shown in FIG. 6, as the shape of the dry-type adhesive portion 30 'is deformed as described above, the contact area between the dry-type adhesive portion 30' and the object to be conveyed becomes small and the suction force of the dry type adhesive portion 30 ' The conveyed object is removed from the dry-type adhesive portion 30 'by the weight of the object.

상기한 바와 같이 본 기술에서 목표로 하는 자연모사 기반 건식접착 표면의 제작방법과 이를 활용한 이송시스템은 기존의 기계적클램핑 또는 정전척 방식과는 다른 전혀 새로운 방식으로써, 독자적 기술 방식에 기반하고 있어, 기존 기술이 가지고 있는 기술적, 환경적 한계를 극복할 수 있는 새로운 원천 기술 확보가 가능하다. As described above, the manufacturing method of the natural-based dry adhesion surface and the transfer system using the same are aimed at the present technology, which is a totally new method different from the conventional mechanical clamping or electrostatic chucking method, It is possible to secure new source technologies that can overcome the technological and environmental limitations of existing technologies.

보다 구체적으로, 본 자연모사 기반 건식접착 기술은 분자간 인력에 의한 접착 및 탈착 방식을 사용함에 따라, 3kV에 이르는 높은 전압을 필요로 하는 정전척 방식, 기판 손상 및 낮은 균일성을 초래하는 기계적 방식에 비하여, 오염 및 손상이 거의 발생하지 않는 우수한 청정도를 가지고 있으며, 무엇보다 높은 전압을 필요로 하지 않음에 따라, 에너지 소모도 최소화 할 수 있다. 더불어 오염 및 에너지 소모의 최소화에 따른 환경친화적 기술이라는 장점도 가지고 있는 등, 에너지 및 생산비용 절약, 환경 개선 등에 있어서 높은 효과를 볼 수 있을 것으로 기대된다. More specifically, this natural-based dry adhesion technique uses an intermolecular force attraction and detachment method, resulting in an electrostatic chucking method requiring a high voltage of up to 3 kV, a mechanical method causing substrate damage and low uniformity As compared with the conventional art, it has excellent cleanliness that does not cause pollution and damage, and it does not require a high voltage, so that energy consumption can be minimized. In addition, it has the advantage of environment-friendly technology due to minimization of pollution and energy consumption, and it is expected to be highly effective in saving energy and production cost, and improving environment.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it is possible to make various modifications and variations without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the appended claims are intended to cover such modifications or changes as fall within the scope of the invention.

10 : 베이스플레이트 11 : 유입공
20 : 체결구 30 : 연결관
40 : 건식접착부 41 : 형상유지플레이트
42 : 건식접착제 50 : 연결부재
60 : 공기공급부 10' : 베이스플레이트
11' : 수용홈 12' : 통공
20' : 형상변형부 30' : 건식접착부
40' : 작동부 41' : 인입인출부
42' : 임시저장부10: base plate 11: inflow hole
20: fastener 30: connector
40: dry adhesion part 41: shape retaining plate
42: dry adhesive 50: connecting member
60: air supply part 10 ': base plate
11 ': receiving groove 12': through hole
20 ': shape-deforming portion 30': dry-
40 ': Operation part 41': Inlet / outlet part
42 ': temporary storage unit

Claims (3)

하부 일측에 수용홈이 형성되고, 일측에 상기 수용홈과 연통되는 통공이 형성된 베이스플레이트와;
상기 수용홈 및 통공이 형성된 상기 베이스플레이트의 내부에 설치되고, 내부에 유체가 충진되어 상기 유체가 내외부로 인입 또는 인출되는 경우 형상이 변형되는 연질의 형상변형부와;
상기 형상변형부의 하부에 설치되고, 이송대상물을 흡착파지하며, 상기 형상변형부의 형상이 변형되는 경우 동반변형되는 건식접착부; 및
일측이 상기 형상변형부의 내부와 연통되고, 상기 유체를 상기 형상변형부의 내외부로 인입 또는 인출하는 작동부를 포함하고,
상기 건식접착부는 마이크로 단위로 형성되는 복수의 성형홈 내부에 PDMS(polydimethylsiloxane)를 유입하고 이를 경화시킨 후 디몰딩하여 제작되며,
상기 베이스플레이트는,
일측이 이송암의 일측에 결합되어 상기 이송암의 움직임에 따라 이동되면서 상기 건식접착부에 의해 흡착파지된 상기 이송대상물이 동반 이동되도록 하고,
상기 작동부는,
유체를 상기 형상변형부로 인입하여, 상기 건식접착부의 형상이 평평하게 형성되고, 평평하게 형성된 상기 건식접착부가 상기 이송대상물의 상면에 접촉되어 상기 건식접착부에 상기 이송대상물이 흡착파지되게 하고,
상기 건식접착부에 상기 이송대상물이 흡착파지된 상태에서 상기 유체를 상기 수용홈 내부로 일정량 더 인입하여 상기 건식접착부에 예하중(preload)을 가하며,
상기 형상변형부로부터 유체의 일부를 인출하여, 상기 건식접착부 일측이 상방으로 만곡되고, 상기 건식접착부의 만곡에 의해 상기 건식접착부와 상기 이송대상물의 접촉면적이 작아지게 되어 상기 건식접착부로부터 상기 이송대상물이 탈거되게 하는 것을 특징으로 하는 건식접착제를 이용한 이송장치.
A base plate having a receiving groove formed at a lower side thereof and having a through hole communicating with the receiving groove at one side thereof;
A soft deforming portion provided inside the base plate and having a receiving groove and a through hole formed therein, the shape of which is deformed when the fluid is filled in or drawn out from the inside or outside;
A dry bonding part provided below the shape-deforming part and sucking and holding the object to be conveyed, and being deformed together when the shape of the shape-deforming part is deformed; And
And an actuating part having one side communicating with the inside of the shape deforming part and drawing or drawing the fluid to the inside and outside of the shape deforming part,
The dry bonding part is formed by introducing PDMS (polydimethylsiloxane) into a plurality of molding grooves formed in units of microns, hardening the PDMS and then molding the molding,
Wherein the base plate comprises:
One side of the transfer arm is coupled to one side of the transfer arm, and moves along the movement of the transfer arm, so that the transfer target held by the dry-
Wherein,
Wherein the dry bonding portion is formed to have a flat shape by bringing the fluid into the shape deformation portion so that the dry bonding portion formed in a flat state is brought into contact with the upper face of the conveying object to attract and hold the conveying object to the dry bonding portion,
A predetermined amount of the fluid is drawn into the receiving groove in a state where the conveyed object is gripped by the dry bonding portion and a preload is applied to the dry bonding portion,
A part of the fluid is drawn out from the shape deformation part and the one side of the dry bonding part curves upward and the contact area between the dry bonding part and the conveyed object becomes smaller due to the curvature of the dry bonded part, Wherein the first adhesive layer and the second adhesive layer are bonded to each other.
제1항에 있어서,
상기 작동부는
일측이 상기 형상변형부의 내부와 연통되고, 상기 유체를 상기 형상변형부의 내외부로 인입 또는 인출하는 인입인출부; 및
상기 인입인출부에 의해 상기 형상변형부의 외부로 인출된 유체가 임시저장되는 임시저장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 건식접착제를 이용한 이송장치.
The method according to claim 1,
The operating portion
An inlet / outlet portion communicating with the inside of the shape deformation portion at one side, and drawing or drawing the fluid to the inside or outside of the shape deformation portion; And
And a temporary storage unit for temporarily storing the fluid drawn out of the shape-deforming unit by the inlet / outlet unit.
제1항에 있어서,
상기 형상변형부는 연질의 고무 재질이 사용되는 것을 특징으로 하는 건식접착제를 이용한 이송장치.
The method according to claim 1,
Wherein the shape deforming portion is made of a soft rubber material.
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