KR20180085398A - 플렉서블 표시 장치 및 이의 제조 방법 - Google Patents

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황수환
최영태
박종우
황영선
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Abstract

플렉서블 표시 장치가 개시된다. 플렉서블 표시 장치는 평면 영역 및 평면 영역에 인접하는 벤딩 영역을 포함하는 기판, 그리고 벤딩 영역에 배치되고, 복수의 크랙 방지 라인들을 포함하는 크랙 방지 패턴을 포함할 수 있다. 벤딩 영역은 벤딩 시에 제1 응력이 작용되는 제1 영역, 벤딩 시에 제1 응력보다 작은 제2 응력이 작용되는 제2 영역, 그리고 벤딩 시에 제2 응력보다 작은 제3 응력이 작용되는 제3 영역을 포함할 수 있다. 제1 영역의 크랙 방지 라인들의 개수는 제3 영역의 크랙 방지 라인들의 개수보다 클 수 있다.

Description

플렉서블 표시 장치 및 이의 제조 방법{FLEXIBLE DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 표시 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 벤딩 영역을 포함하는 플렉서블(flexible) 표시 장치 및 이러한 플렉서블 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
근래에 표시 장치는 휴대가 가능한 박형의 표시 장치로 대체되는 추세이다. 최근에는 표시 장치 중에서도 사용자가 원하는 경우에 접거나 말거나 또는 구부릴 수 있는 플렉서블 표시 장치 또는 제조 공정에서 접거나 말거나 또는 구부리는 단계를 포함하는 플렉서블 표시 장치의 응용 및 용도가 확장되고 있다.
이러한 표시 장치는 평면 영역과 접히거나 말리거나 또는 구부러지는 벤딩 영역을 포함할 수 있다. 벤딩 영역에는 과도한 응력이 작용할 수 있고, 이러한 응력으로 인하여 벤딩 영역의 단부에는 크랙이 발생될 수 있다. 크랙이 벤딩 영역의 외곽부로부터 중심부로 진행되는 경우에, 벤딩 영역의 중심부에 배치되는 배선이 손상될 수 있고, 표시 장치의 불량이 유발될 수 있다.
본 발명의 일 목적은 벤딩 영역에서 크랙의 진행이 감소되거나 실질적으로 방지되는 플렉서블 표시 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 벤딩 영역에서 크랙의 진행이 감소되거나 실질적으로 방지되는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
다만, 본 발명의 목적이 이와 같은 목적들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
전술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치는 평면 영역 및 상기 평면 영역에 인접하는 벤딩 영역을 포함하는 기판, 그리고 상기 벤딩 영역에 배치되고, 복수의 크랙 방지 라인들을 포함하는 크랙 방지 패턴을 포함할 수 있다. 상기 벤딩 영역은 제1 응력이 작용되는 제1 영역, 벤딩 시에 상기 제1 응력보다 작은 제2 응력이 작용되는 제2 영역, 그리고 벤딩 시에 상기 제2 응력보다 작은 제3 응력이 작용되는 제3 영역을 포함할 수 있다. 상기 제1 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수는 상기 제3 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수보다 클 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수는 상기 제3 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수보다 클 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수는 상기 제2 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수보다 클 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 영역은 상기 벤딩 영역 내에서 곡률 반경이 최소이고, 상기 제2 영역은 상기 평면 영역과 상기 벤딩 영역의 경계에 위치하며, 상기 제3 영역은 상기 제1 영역과 상기 제2 영역 사이에 위치할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 크랙 방지 패턴은 금속 물질을 포함할 수 있다. 다른 실시예에 있어서, 상기 크랙 방지 패턴은 무기 절연 물질을 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 크랙 방지 패턴은 상기 벤딩 영역에만 배치될 수 있다. 다른 실시예에 있어서, 상기 크랙 방지 패턴은 상기 벤딩 영역에서 상기 평면 영역에 배치되는 크랙 감지부까지 연장되고, 상기 크랙 감지부는 상기 크랙 방지 패턴의 크랙을 감지할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 플렉서블 표시 장치는 상기 벤딩 영역의 중심부에 배치되는 배선을 더 포함할 수 있다. 상기 크랙 방지 패턴은 상기 중심부의 외측에 위치하는 외곽부에 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 배선과 상기 크랙 방지 패턴은 상기 기판 상의 실질적으로 동일한 레벨에 위치하고, 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
전술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치는 평면 영역 및 상기 평면 영역에 인접하는 벤딩 영역을 포함하는 기판, 그리고 상기 벤딩 영역에 배치되고, 복수의 크랙 방지 라인들을 포함하는 크랙 방지 패턴을 포함할 수 있다. 상기 벤딩 영역은 벤딩축 및 상기 벤딩축에 인접하는 인접부를 포함할 수 있다. 상기 벤딩축에 위치하는 상기 크랙 방지 라인들의 간격은 상기 인접부에 위치하는 상기 크랙 방지 라인들 사이의 간격보다 작을 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 평면 영역과 상기 벤딩 영역의 경계에 위치하는 상기 크랙 방지 라인들 사이의 간격은 상기 인접부에 위치하는 상기 크랙 방지 라인들 사이의 간격보다 작고, 상기 벤딩축에 위치하는 상기 크랙 방지 라인들 사이의 간격보다 클 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 플렉서블 표시 장치는 상기 벤딩 영역의 상기 기판 상에 배치되는 제1 유기 절연막 및 상기 제1 유기 절연막 상에 배치되는 제2 유기 절연막을 더 포함할 수 있다. 상기 크랙 방지 패턴은 상기 제1 유기 절연막과 상기 제2 유기 절연막 사이에 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 플렉서블 표시 장치는 상기 벤딩 영역의 상기 기판 상에 배치되는 제1 유기 절연막, 상기 제1 유기 절연막 상에 배치되는 제2 유기 절연막 및 상기 제2 유기 절연막 상에 배치되는 제3 유기 절연막을 더 포함할 수 있다. 상기 크랙 방지 라인들은 상기 제1 유기 절연막과 상기 제2 유기 절연막 사이에 배치되는 제1 크랙 방지 라인들 및 상기 제2 유기 절연막과 상기 제3 유기 절연막 사이에 배치되는 제2 크랙 방지 라인들을 포함할 수 있다.
전술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 평면 영역 및 상기 평면 영역에 인접하고, 벤딩 시에 제1 응력이 작용되는 제1 영역, 벤딩 시에 상기 제1 응력보다 작은 제2 응력이 작용되는 제2 영역, 그리고 벤딩 시에 상기 제2 응력보다 작은 제3 응력이 작용되는 제3 영역을 포함하는 벤딩 영역을 포함하는 기판을 준비할 수 있다. 상기 벤딩 영역의 외곽부의 상기 기판 상에 복수의 크랙 방지 라인들을 포함하는 크랙 방지 패턴을 형성할 수 있다. 상기 제1 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수는 상기 제3 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수보다 클 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수는 상기 제3 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수보다 클 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수는 상기 제2 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수보다 클 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 크랙 방지 패턴을 형성하기 전에 상기 벤딩 영역의 상기 기판 상에 제1 유기 절연막을 형성할 수 있다. 상기 크랙 방지 패턴을 형성한 후에 상기 제1 유기 절연막 상에 상기 크랙 방지 패턴을 커버하는 제2 유기 절연막을 형성할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 벤딩 영역의 상기 외곽부의 내측에 위치하는 중심부에 배선을 형성할 수 있다. 여기서, 상기 크랙 방지 패턴과 상기 배선은 실질적으로 동시에 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 평면 영역에 무기 절연막을 형성할 수 있다. 여기서, 상기 크랙 방지 패턴과 상기 무기 절연막은 실질적으로 동시에 형성될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 플렉서블 표시 장치는 벤딩 영역의 위치에 따라 서로 상이하게 작용하는 응력들에 대응하여 서로 상이한 간격 또는 서로 상이한 개수의 크랙 방지 라인들을 포함하는 크랙 방지 패턴을 포함함으로써, 벤딩 영역에서 발생되는 크랙의 진행을 효율적으로 차단할 수 있다.
다만, 본 발명의 효과가 전술한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 펼쳐진 상태의 플렉서블 표시 장치를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 구부러진 상태의 플렉서블 표시 장치를 나타내는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 구부러진 상태의 플렉서블 표시 장치를 나타내는 측면도이다.
도 4a 및 도 4b는 도 1의 플렉서블 표시 장치의 표시부를 나타내는 단면도들이다.
도 5는 도 1의 V 영역의 일 예를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 벤딩 영역을 나타내는 평면도이다.
도 7은 도 6의 플렉서블 표시 장치를 VII-VII' 라인을 따라 자른 벤딩 영역의 제1 영역을 나타내는 단면도이다.
도 8은 도 6의 플렉서블 표시 장치를 VIII-VIII' 라인을 따라 자른 벤딩 영역의 제2 영역을 나타내는 단면도이다.
도 9는 도 6의 플렉서블 표시 장치를 IX-IX' 라인을 따라 자른 벤딩 영역의 제3 영역을 나타내는 단면도이다.
도 10은 도 6의 플렉서블 표시 장치를 VII-VII' 라인을 따라 자른 벤딩 영역의 제1 영역을 나타내는 단면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 벤딩 영역을 나타내는 평면도이다.
도 12는 도 11의 플렉서블 표시 장치를 XI-XI' 라인을 따라 자른 벤딩 영역의 제1 영역을 나타내는 단면도이다.
도 13은 도 11의 플렉서블 표시 장치를 XII-XII' 라인을 따라 자른 벤딩 영역의 제2 영역을 나타내는 단면도이다.
도 14는 도 11의 플렉서블 표시 장치를 XIII-XIII' 라인을 따라 자른 벤딩 영역의 제3 영역을 나타내는 단면도이다.
도 15는 도 1의 V 영역의 다른 예를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 벤딩 영역을 나타내는 평면도이다.
도 17 및 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 19는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 단면도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 플렉서블 표시 장치들 및 이러한 플렉서블 표시 장치들의 제조 방법들을 보다 상세하게 설명한다. 첨부된 도면들 상의 동일한 구성 요소들에 대해서는 동일하거나 유사한 참조 부호들을 사용한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 펼쳐진 상태의 플렉서블 표시 장치를 나타내는 평면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 구부러진 상태의 플렉서블 표시 장치를 나타내는 평면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 구부러진 상태의 플렉서블 표시 장치를 나타내는 측면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치(100)는 평면 영역(FA) 및 벤딩 영역(BA)을 포함하는 기판(105)을 포함할 수 있다. 기판(105)은 구부러지거나 접힐 수 있는 유연한 재질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 기판(105)은 폴리이미드(PI), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리에테르 에테르 케톤(PEEK), 폴리에테르술폰(PES), 폴리메틸 메타크릴레이트(PMMA), 폴리카보네이트(PC), 폴리프로필렌(PP) 등과 같은 플라스틱을 포함하거나 박막 유리, 박막 금속 등을 포함할 수 있다.
평면 영역(FA)에서 기판(105)은 실질적으로 평탄한 면을 가질 수 있다. 벤딩 영역(BA)에서 기판(105)은 구부러진 면을 가질 수 있다. 벤딩 영역(BA)은 평면 영역(FA)에 인접할 수 있다. 예를 들면, 벤딩 영역(BA)은 제1 방향으로 연장되고, 평면 영역(FA)으로부터 제1 방향과 실질적으로 직교하는 제2 방향으로 인접할 수 있다. 기판(105)은 적어도 하나의 평면 영역(FA) 및 적어도 하나의 벤딩 영역(BA)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(105)은 두 개의 평면 영역들(FA) 및 이들 사이에 배치되는 하나의 벤딩 영역(BA)을 포함할 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 아니한다.
벤딩 영역(BA)의 일 측에 위치하는 평면 영역(FA)에는 표시부(110)가 배치될 수 있다. 표시부(110)는 기판(105)의 일 면에 배치될 수 있다. 표시부(110)는 광을 방출하는 복수의 화소들을 포함할 수 있다. 표시부(110)는 상기 복수의 화소들로부터 방출되는 광들을 이용하여 영상을 표시할 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 도 1의 플렉서블 표시 장치의 표시부를 나타내는 단면도들이다. 예를 들면, 도 4a 및 도 4b는 표시부(110)에 포함되는 하나의 화소를 나타내는 단면도들일 수 있다. 도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시부(110)를 나타낼 수 있다.
도 4a를 참조하면, 기판(105) 상에는 버퍼막(111)이 배치될 수 있다. 버퍼막(111)은 평탄한 상면을 가지고, 불순물의 침투를 차단할 수 있다. 버퍼막(111)은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 등의 무기 절연 물질을 포함할 수 있다. 버퍼막(111)은 필요에 따라 생략될 수도 있다.
버퍼막(111) 상에는 화소 회로가 배치될 수 있다. 상기 화소 회로는 적어도 하나의 트랜지스터를 포함할 수 있다. 도 4a에는 트랜지스터가 액티브 패턴(112), 게이트 전극(114) 및 소스/드레인 전극들(115a, 115b)을 순차적으로 포함하는 탑 게이트 타입(top gate type)인 경우가 도시되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하고, 바텀 게이트 타입(bottom gate type) 등 다양한 타입의 트랜지스터가 채용될 수 있다.
버퍼막(111) 상에는 액티브 패턴(112)이 배치될 수 있다. 액티브 패턴(112)은 반도체 물질을 포함하며, 예를 들면, 비정질 실리콘 또는 다결정 실리콘을 포함할 수 있다. 액티브 패턴(112)은 소스 전극(115a) 및 드레인 전극(115b)이 각기 접촉하는 소스 영역 및 드레인 영역, 그리고 그들 사이에 위치하는 채널 영역을 포함할 수 있다.
액티브 패턴(112) 상에는 게이트 절연막(113a)이 배치될 수 있다. 게이트 절연막(113a)은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 등의 무기 절연 물질을 포함하는 무기 절연막일 수 있다. 게이트 절연막(113a)은 액티브 패턴(112)과 게이트 전극(114)을 절연시킬 수 있다.
게이트 절연막(113a) 상에는 게이트 전극(114)이 배치될 수 있다. 게이트 전극(114)은 액티브 패턴(112)의 채널 영역과 실질적으로 중첩할 수 있다. 게이트 전극(114)은 상기 트랜지스터에 온/오프 신호를 인가하는 게이트 라인과 연결될 수 있다. 예를 들면, 게이트 전극(114)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등의 금속 물질을 포함할 수 있다.
게이트 전극(114) 상에는 층간 절연막(113b)이 배치될 수 있다. 층간 절연막(113b)은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 등의 무기 절연 물질을 포함하는 무기 절연막일 수 있다. 층간 절연막(113b)은 게이트 전극(114)과 소스/드레인 전극들(115a, 115b)을 절연시킬 수 있다.
층간 절연막(113b) 상에는 소스 전극(115a) 및 드레인 전극(115b)이 배치될 수 있다. 소스 전극(115a) 및 드레인 전극(115b)은 층간 절연막(113b)과 게이트 절연막(113a)에 형성된 컨택홀을 통해 액티브 패턴(112)의 상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역에 각기 접촉할 수 있다. 예를 들면, 소스 전극(115a) 및 드레인 전극(115b)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등의 금속 물질을 포함할 수 있다.
소스 전극(115a) 및 드레인 전극(115b) 상에는 상기 트랜지스터를 커버하는 비아 절연막(116a)이 형성될 수 있다. 비아 절연막(116a)은 상기 트랜지스터로부터 비롯된 단차를 해소하여 평탄한 상면을 가지고, 하부 요철에 의해 상부 구조물들에 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 예를 들면, 비아 절연막(116a)은 유기 절연 물질을 포함하는 유기 절연막일 수 있다.
상기 트랜지스터는 유기 발광 소자와 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 트랜지스터의 턴온 또는 턴오프에 따라 상기 유기 발광 소자는 발광 또는 비발광할 수 있다.
상기 유기 발광 소자는 비아 절연막(116a) 상에 배치될 수 있다. 상기 유기 발광 소자는 화소 전극(117), 화소 전극(117)에 대향하는 대향 전극(119) 및 양 전극들(117, 119) 사이에 개재되는 중간층(118)을 포함할 수 있다. 일반적으로, 표시 장치(100)는 배면 발광 타입(bottom emission type), 전면 발광 타입(top emission type) 및 양면 발광 타입(dual emission type) 등으로 구별될 수 있는데, 상기 배면 발광 타입에서는 화소 전극(117)이 투과 전극으로 구비되고 대향 전극(119)이 반사 전극으로 구비될 수 있고, 상기 전면 발광 타입에서는 화소 전극(117)이 반사 전극으로 구비되고 대향 전극(119)이 투과 전극으로 구비될 수 있으며, 상기 양면 발광 타입에서는 화소 전극(117) 및 대향 전극(119)이 투과 전극으로 구비될 수 있다. 도 4a는 전면 발광 타입의 표시 장치를 도시하지만, 본 발명은 이에 한정되지 아니하고, 배면 발광 타입 또는 양면 발광 타입의 표시 장치에도 적용될 수 있다.
화소 전극(117)은 각 화소에 대응하는 아일랜드 형태로 패터닝되도록 형성될 수 있다. 화소 전극(117)은 비아 절연막(116a)에 형성된 비아홀을 통해 상기 트랜지스터와 접촉할 수 있다.
화소 전극(117)은 대향 전극(119) 방향으로 광의 반사가 가능하도록 투명 전극층 외에 반사 전극층을 포함할 수 있다. 화소 전극(117)이 양극(anode)으로 기능하는 경우에, 상기 투명 전극층은 일함수가 높은 인듐 주석 산화물(indium tin oxide; ITO), 인듐 아연 산화물(indium zinc oxide; IZO), 아연 산화물(zinc oxide; ZnO), 인듐 산화물(indium oxide; In2O3), 인듐 갈륨 산화물(indium gallium oxide; IGO) 및 알루미늄 아연 산화물(aluminum zinc oxide; AZO)로부터 선택되는 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 반사 전극층은 은(Ag)과 같은 반사율이 높은 금속을 포함할 수 있다.
비아 절연막(116a) 상에는 화소 정의막(116b)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 화소 정의막(116b)은 유기 절연 물질을 포함하는 유기 절연막일 수 있다. 화소 정의막(116b)은 화소 전극(117)의 가장자리를 커버하고, 적어도 중앙부를 노출시키는 개구부를 포함할 수 있다. 상기 개구부는 화소의 발광 영역에 대응되며 상기 개구부 내에는 중간층(118)이 배치될 수 있다.
중간층(118)은 적색, 녹색 또는 청색 광을 방출하는 유기 발광층을 포함할 수 있고, 상기 유기 발광층은 저분자 유기물 또는 고분자 유기물로 형성될 수 있다. 상기 유기 발광층이 저분자 유기물로 형성되는 경우에는 상기 유기 발광층을 중심으로 화소 전극(117)의 방향으로 정공 수송층(hole transport layer; HTL), 정공 주입층(hole injection layer; HIL) 등이 위치할 수 있고, 대향 전극(119)의 방향으로 전자 수송층(electron transport layer; ETL), 전자 주입층(electron injection layer; EIL) 등이 위치할 수 있다.
화소 정의막(116b) 전체를 커버하도록 대향 전극(119)이 형성될 수 있다. 대향 전극(119)은 금속으로 구성될 수 있다. 대향 전극(119)이 음극(cathode)으로 기능하는 경우에, 대향 전극(119)은 일함수가 작은 리튬(Li), 칼슘(Ca), LiF/Ca, LiF/Al, 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 은(Ag) 등으로 형성될 수 있고, 광투과가 가능하도록 상기 금속들을 박막으로 형성할 수 있다.
도 4b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시부(110)를 나타낼 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시부(110)의 구성들 중에서 도 4a에 도시되는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시부(110)의 구성들과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성들에 대한 상세한 설명은 생략한다.
버퍼막(111) 상에는 화소 회로가 배치될 수 있다. 상기 화소 회로는 적어도 하나의 트랜지스터를 포함할 수 있다. 도 4b에는 트랜지스터가 액티브 패턴(112), 게이트 전극(114), 제1 소스/드레인 전극들(115a, 115b) 및 제2 소스/드레인 전극들(115c, 115d)을 순차적으로 포함하는 탑 게이트 타입(top gate type)인 경우가 도시되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하고, 바텀 게이트 타입(bottom gate type) 등 다양한 타입의 트랜지스터가 채용될 수 있다.
제1 소스 전극(115a) 및 제1 드레인 전극(115b) 상에는 보호막(113c)이 배치될 수 있다. 보호막(113c)은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 등의 무기 절연 물질을 포함하는 무기 절연막일 수 있다. 보호막(113c)은 제1 소스/드레인 전극들(115a, 115b)과 제2 소스/드레인 전극들(115b, 115c)을 절연시킬 수 있다.
보호막(113c) 상에는 평탄화막(116c)이 형성될 수 있다. 평탄화막(116c)은 평탄한 상면을 가지고, 하부 요철에 의해 상부 구조물들에 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 예를 들면, 평탄화막(116c)은 유기 절연 물질을 포함하는 유기 절연막일 수 있다.
평탄화막(116c) 상에는 제2 소스 전극(115c) 및 제2 드레인 전극(115d)이 배치될 수 있다. 제2 소스 전극(115c) 및 제2 드레인 전극(115d)은 보호막(113c)과 평탄화막(116c)에 형성된 컨택홀을 통해 제1 소스 전극(115a) 및 제1 드레인 전극(115b)에 각기 접촉할 수 있다. 예를 들면, 제2 소스 전극(115c) 및 제2 드레인 전극(115d)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등의 금속 물질을 포함할 수 있다.
제2 소스 전극(115c) 및 제2 드레인 전극(115d) 상에는 상기 트랜지스터를 커버하는 비아 절연막(116a)이 형성될 수 있다. 비아 절연막(116a)은 상기 트랜지스터로부터 비롯된 단차를 해소하여 평탄한 상면을 가지고, 하부 요철에 의해 상부 구조물들에 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 예를 들면, 비아 절연막(116a)은 유기 절연 물질을 포함하는 유기 절연막일 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3을 참조하면, 기판(105)의 상기 일 면에는 표시부(110)를 커버하는 봉지 부재(130)가 배치될 수 있다. 봉지 부재(130)는 외부의 수분이나 산소 등으로부터 표시부(110)를 보호할 수 있다. 봉지 부재(130)는 하나 이상의 무기막 및 하나 이상의 유기막을 포함할 수 있다. 예를 들면, 봉지 부재(130)는 두 개의 무기막들 및 이들 사이에 형성되는 하나의 유기막으로 구성될 수 있다. 상기 무기막은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 실리콘 산질화물, 알루미늄 산화물, 티타늄 산화물, 탄탈 산화물, 하프늄 산화물, 아연 산화물 등을 포함할 수 있다. 상기 유기막은 폴레에틸렌 테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌, 폴리아크릴레이트 등을 포함할 수 있다.
벤딩 영역(BA)의 타 측에 위치하는 평면 영역(FA)에는 패드부(120)가 배치될 수 있다. 패드부(120)는 기판(105)의 상기 일 면에 배치될 수 있다. 패드부(120)는 배선을 통해 표시부(110)와 연결될 수 있다. 패드부(120)는 외부 장치들로부터 전송된 신호를 상기 배선을 통해 표시부(110)에 전송할 수 있다.
평면 영역(FA)에는 보호 필름(140)이 배치될 수 있다. 보호 필름(140)은 기판(105)의 상기 일 면과 반대되는 타 면에 배치될 수 있다. 예를 들면, 보호 필름(140)은 벤딩 영역(BA)에는 배치되지 않을 수 있다. 보호 필름(140)은 기판(105)의 상기 타 면을 보호할 수 있다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 기판(105)의 벤딩 영역(BA)은 구부러질 수 있다. 표시 장치(100)에서 표시부(110)가 배치되는 표시 영역을 제외한 나머지 영역은 비표시 영역에 해당할 수 있다. 비표시 영역의 면적이 증가할수록, 표시 장치(100)의 데드스페이스(deadspace)가 증가할 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이 기판(105)의 벤딩 영역(BA)이 펼쳐진 경우와 비교하여, 도 2에 도시된 바와 같이 기판(105)의 벤딩 영역(BA)이 구부러지는 경우에, 비표시 영역의 면적이 감소할 수 있고, 이에 따라, 표시 장치(100)의 데드스페이스가 감소할 수 있다.
전술한 바와 같이, 기판(105)의 벤딩 영역(BA)은 구부러질 수 있고, 이에 따라, 벤딩 영역(BA)에는 압축 응력 및 인장 응력과 같은 응력이 작용할 수 있다. 이러한 응력으로 인하여 벤딩 영역(BA)에는 크랙(crack)이 발생할 수 있다. 특히, 크랙은 벤딩 영역(BA)의 단부에서 발생되어 벤딩 영역(BA)의 외곽부를 통해 벤딩 영역(BA)의 중심부로 진행될 수 있다. 벤딩 영역(BA)의 상기 중심부에는 표시부(110)와 패드부(120)를 연결하는 배선이 형성될 수 있고, 상기 단부에서 발생되는 크랙이 상기 중심부까지 진행되는 경우에, 상기 배선이 손상되어 표시부(110)의 구동 불량이 유발될 수 있다.
벤딩 영역(BA)에는 응력 조정층(150)이 배치될 수 있다. 응력 조정층(150)은 표시부(110)와 패드부(120)를 연결하는 상기 배선에 인장 응력이 작용하지 않도록 중립면의 위치를 조정하는 역할을 할 수 있다. 벤딩 영역(BA)에는 상기 배선이 배치될 수 있는데, 상기 배선에 인장 응력이 작용하면 배선에 크랙이 발생될 수 있다. 이를 방지하기 위해서, 상기 배선 상에 응력 조정층(150)을 배치하여 상기 배선에 인장 응력이 작용되지 않도록 할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 벤딩 영역(BA)은 상기 제1 방향과 실질적으로 평행한 벤딩축(BX)을 따라 구부러질 수 있다. 이 경우, 벤딩 영역(BA)은 제1 영역(BA1), 제2 영역(BA2) 및 제3 영역(BA3)을 포함할 수 있다. 제1 영역(BA1)은 벤딩축(BX)에 위치할 수 있다. 벤딩 영역(BA)이 벤딩축(BX)을 따라 대칭적으로 구부러지는 경우에, 제1 영역(BA1)을 기준으로 벤딩 영역(BA)은 대칭적인 형상을 가질 수 있다. 벤딩 영역(BA) 중에서 제1 영역(BA1)은 최소의 곡률 반경을 가질 수 있다. 제2 영역(BA2)은 벤딩 영역(BA)과 평면 영역(FA)의 경계에 위치할 수 있다. 제3 영역(BA3)은 제1 영역(BA)과 제2 영역(BA3) 사이에 위치할 수 있다.
도 5는 도 1의 V 영역의 일 예를 개략적으로 나타내는 평면도이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 벤딩 영역을 나타내는 평면도이다. 도 7은 도 6의 플렉서블 표시 장치를 VII-VII' 라인을 따라 자른 벤딩 영역의 제1 영역을 나타내는 단면도이다. 도 8은 도 6의 플렉서블 표시 장치를 VIII-VIII' 라인을 따라 자른 벤딩 영역의 제2 영역을 나타내는 단면도이다. 도 9는 도 6의 플렉서블 표시 장치를 IX-IX' 라인을 따라 자른 벤딩 영역의 제3 영역을 나타내는 단면도이다.
도 5, 도 6, 도 7, 도 8, 및 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치(100)는 크랙 방지 패턴(180)을 포함할 수 있다.
벤딩 영역(BA)의 기판(105) 상에는 제1 절연막(160a)이 배치될 수 있다. 제1 절연막(160a)은 유기 절연 물질을 포함하는 유기 절연막일 수 있다.
제1 절연막(160a) 상에는 배선(170)이 배치될 수 있다. 전술한 바와 같이, 배선(170)은 표시부(110)와 패드부(120)를 연결할 수 있다. 배선(170)은 벤딩 영역(BA)의 상기 중심부에 배치될 수 있다. 예를 들면, 배선(170)은 벤딩 영역(BA)에서 제2 방향을 따라 연장될 수 있다.
배선(170)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등의 금속 물질을 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 배선(170)은 표시부(110)에 배치되는 게이트 전극(114) 또는 소스/드레인 전극들(115a, 115b)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다. 다른 실시예에 있어서, 배선(170)은 표시부(110)에 배치되는 제1 소스/드레인 전극들(115a, 115b) 또는 제2 소스/드레인 전극들(115c, 115d)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
벤딩 영역(BA)의 제1 절연막(160a) 상에는 배선(170)을 커버하는 제2 절연막(160b)이 배치될 수 있다. 제2 절연막(160b)은 유기 절연 물질을 포함하는 유기 절연막일 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제2 절연막(160b)은 표시부(110)에 배치되는 비아 절연막(116a) 및/또는 화소 정의막(116b)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 벤딩 영역(BA)의 상기 단부(예를 들면, 제1 절연막(160a) 또는 제2 절연막(160b)의 측부)로부터 발생되는 크랙(CR)이 상기 중심부로 진행하는 경우에, 배선(170)이 손상되어 표시부(110)의 구동 불량이 유발될 수 있다. 이를 방지하기 위하여, 벤딩 영역(BA)의 상기 외곽부에는 크랙 방지 패턴(180)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 크랙 방지 패턴(180)은 배선(170)과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(180)은 복수의 크랙 방지 라인들(185)을 포함할 수 있다. 크랙 방지 라인들(185)은 상기 제2 방향으로 연장될 수 있다. 도 5 및 도 6에는 크랙 방지 라인들(185)의 개수가 4 개로 도시되어 있으나, 크랙 방지 라인들(185)의 개수는 이에 한정되지 아니한다. 각각의 크랙 방지 라인들(185)은 벤딩 영역(BA)의 상기 외곽부의 단부로부터 발생되어 상기 중심부로 진행하는 크랙(CR)의 성장을 방지하는 일종의 댐의 역할을 할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(180)은 벤딩 영역(BA)에만 배치될 수 있다. 크랙 방지 패턴(180)은 벤딩 영역(BA) 내에만 형성되고, 평면 영역(FA)의 다른 구성들과는 연결되지 않을 수 있다. 예를 들면, 크랙 방지 라인들(185)은 각기 아일랜드(island) 형태를 가질 수 있다.
벤딩 영역(BA)에서 발생하는 크랙은 위치 별로 다른 크기(예를 들면, 길이)를 가질 수 있다. 일 실시예에 있어서, 크랙은 벤딩 영역(BA)의 제1 영역(BA1), 제2 영역(BA2), 및 제3 영역(BA3)에서 서로 다른 길이를 가질 수 있다. 크랙 방지 패턴(180)이 존재하지 않는 경우에, 제1 영역(BA1)에 발생되는 크랙의 길이는 제2 영역(BA2)에 발생되는 크랙의 길이보다 클 수 있고, 제2 영역(BA2)에 발생되는 크랙의 길이는 제3 영역(BA3)에 발생되는 크랙의 길이보다 클 수 있다. 예를 들면, 일정한 조건 하에서, 제1 영역(BA1)에 발생되는 크랙은 약 16.3 um의 길이를 가질 수 있고, 제2 영역(BA2)에 발생되는 크랙은 약 15.7 um의 길이를 가질 수 있으며, 제3 영역(BA3)에 발생되는 크랙은 약 13.9 um의 길이를 가질 수 있다.
이러한 차이는 벤딩 영역(BA)에서 곡률 반경이 최소인 제1 영역(BA1)에 가해지는 응력, 보호 필름(140)에 의하여 제2 영역(BA2)에 존재하는 단차에 따라 제2 영역(BA2)에 가해지는 응력 및 제3 영역(BA3)에 가해지는 응력의 차이에 기인한 것일 수 있다. 벤딩 영역(BA)이 벤딩되는 경우에, 제1 영역(BA1)에는 제1 응력이 작용되고, 제2 영역(BA2)에는 제2 응력이 작용되며, 제3 영역(BA3)에는 제3 응력이 작용될 수 있다. 여기서, 상기 제1 응력은 상기 제2 응력보다 클 수 있고, 상기 제2 응력은 상기 제3 응력보다 클 수 있다. 이에 따라, 제1 영역(BA1), 제2 영역(BA2), 및 제3 영역(BA3)에 배치되는 크랙 방지 패턴(180)의 구조 등을 상기 크랙의 길이에 기초하여 조정할 필요가 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 크랙 방지 패턴(180)의 밀도는 제1 영역(BA1), 제2 영역(BA2), 및 제3 영역(BA3)에서 서로 상이할 수 있다. 여기서, 크랙 방지 패턴(180)의 밀도는 크랙 방지 라인들(185)이 조밀하게 배치되는 정도를 의미할 수 있다. 예를 들면, 크랙 방지 패턴(180)의 밀도는 크랙 방지 라인들(185)이 배치되는 영역의 면적에 반비례할 수 있다. 예를 들면, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 영역(BA1), 제2 영역(BA2), 및 제3 영역(BA3)에서, 인접하는 크랙 방지 라인들(185) 사이의 간격은 서로 상이할 수 있다. 인접하는 크랙 방지 라인들(185) 사이의 간격이 상대적으로 작은 경우에, 크랙 방지 패턴(180)의 밀도는 상대적으로 클 수 있다(크랙 방지 라인들(185)이 배치되는 영역의 면적은 상대적으로 작을 수 있다). 인접하는 크랙 방지 라인들(185) 사이의 간격이 상대적으로 큰 경우에, 크랙 방지 패턴(180)의 밀도는 상대적으로 작을 수 있다(크랙 방지 라인들(185)이 배치되는 영역의 면적은 상대적으로 클 수 있다).
일 실시예에 있어서, 제1 영역(BA1)의 크랙 방지 패턴(180)의 밀도는 제3 영역(BA3)의 크랙 방지 패턴(180)의 밀도보다 클 수 있다. 다시 말해, 제1 영역(BA1)의 크랙 방지 라인들(185)은 제3 영역(BA3)의 크랙 방지 라인들(185)보다 조밀하게 배치될 수 있다. 예를 들면, 제1 영역(BA1)의 인접하는 크랙 방지 라인들(185) 사이의 간격(d1)은 제3 영역(BA3)의 인접하는 크랙 방지 라인들(185) 사이의 간격(d3)보다 작을 수 있다. 크랙 방지 패턴(180)의 밀도가 클수록 크랙의 진행을 방지하는 정도가 커질 수 있다. 전술한 바와 같이, 제1 영역(BA1)의 크랙은 제3 영역(BA3)의 크랙에 비하여 크기가 클 수 있고, 이에 따라, 제1 영역(BA1)에서의 크랙 방지 패턴(180)의 밀도를 제3 영역(BA3)에서의 크랙 방지 패턴(180)의 밀도보다 크게 형성할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제2 영역(BA2)의 크랙 방지 패턴(180)의 밀도는 제3 영역(BA3)의 크랙 방지 패턴(180)의 밀도보다 클 수 있다. 다시 말해, 제2 영역(BA2)의 크랙 방지 라인들(185)은 제3 영역(BA3)의 크랙 방지 라인들(185)보다 조밀하게 배치될 수 있다. 예를 들면, 제2 영역(BA2)의 인접하는 크랙 방지 라인들(185) 사이의 간격(d2)은 제3 영역(BA3)의 인접하는 크랙 방지 라인들(185) 사이의 간격(d3)보다 작을 수 있다. 크랙 방지 패턴(180)의 밀도가 클수록 크랙의 진행을 방지하는 정도가 커질 수 있다. 전술한 바와 같이, 제2 영역(BA2)의 크랙은 제3 영역(BA3)의 크랙에 비하여 크기가 클 수 있고, 이에 따라, 제2 영역(BA2)에서의 크랙 방지 패턴(180)의 밀도를 제3 영역(BA3)에서의 크랙 방지 패턴(180)의 밀도보다 크게 형성할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제1 영역(BA1)의 크랙 방지 패턴(180)의 밀도는 제2 영역(BA2)의 크랙 방지 패턴(180)의 밀도보다 클 수 있다. 다시 말해, 제1 영역(BA1)의 크랙 방지 라인들(185)은 제2 영역(BA2)의 크랙 방지 라인들(185)보다 조밀하게 배치될 수 있다. 예를 들면, 제1 영역(BA1)의 인접하는 크랙 방지 라인들(185) 사이의 간격(d1)은 제2 영역(BA2)의 인접하는 크랙 방지 라인들(185) 사이의 간격(d2)보다 작을 수 있다. 크랙 방지 패턴(180)의 밀도가 클수록 크랙의 진행을 방지하는 정도가 커질 수 있다. 전술한 바와 같이, 제1 영역(BA1)의 크랙은 제2 영역(BA2)의 크랙에 비하여 크기가 클 수 있고, 이에 따라, 제1 영역(BA1)에서의 크랙 방지 패턴(180)의 밀도를 제2 영역(BA2)에서의 크랙 방지 패턴(180)의 밀도보다 크게 형성할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(180)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등의 금속 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 크랙 방지 패턴(180)은 배선(170)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
다른 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(180)은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 등의 무기 절연 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 크랙 방지 패턴(180)은 표시부(110)에 배치되는 게이트 절연막(113a), 층간 절연막(113b) 또는 보호막(113c)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
제2 절연막(160b) 상에는 응력 조정층(150)이 배치될 수 있다. 응력 조정층(150)은 배선(170)에 대응되도록 벤딩 영역(BA)의 상기 중심부에 배치될 수 있다. 응력 조정층(150)은 폴레에틸렌 테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌, 폴리아크릴레이트 등을 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 응력 조정층(150)은 봉지 부재(130)의 상기 유기막과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
도 10은 도 6의 플렉서블 표시 장치를 VII-VII' 라인을 따라 자른 벤딩 영역의 제1 영역을 나타내는 단면도이다.
도 5, 도 6 및 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치(100)는 크랙 방지 패턴(180)을 포함할 수 있다. 도 10을 참조하여 설명하는 구성들 중에서 도 7을 참조하여 설명한 구성들과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성들에 대한 상세한 설명은 생략한다.
벤딩 영역(BA)의 제1 절연막(160a)과 제2 절연막(160b) 사이에는 제3 절연막(160c)이 배치될 수 있다. 제3 절연막(160c)은 유기 절연 물질을 포함하는 유기 절연막일 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제3 절연막(160c)은 표시부(110)에 배치되는 평탄화막(116c)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
제1 절연막(160a) 및 제3 절연막(160c) 상에는 배선(170)이 배치될 수 있다. 구체적으로, 배선(170)은 제1 절연막(160a) 상에 배치되는 제1 배선(170a) 및 제3 절연막(160c) 상에 배치되는 제2 배선(170b)을 포함할 수 있다. 전술한 바와 같이, 배선(170)은 표시부(110)와 패드부(120)를 연결할 수 있다. 배선(170)은 벤딩 영역(BA)의 상기 중심부에 배치될 수 있다. 예를 들면, 배선(170)은 벤딩 영역(BA)에서 제2 방향을 따라 연장될 수 있다.
배선(170)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등의 금속 물질을 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제1 배선(170a)은 표시부(110)에 배치되는 제1 소스/드레인 전극들(115a, 115b)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다. 또한, 제2 배선(170b)은 표시부(110)에 배치되는 제2 소스/드레인 전극들(115c, 115d)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 벤딩 영역(BA)의 상기 단부(예를 들면, 제1 절연막(160a), 제2 절연막(160b) 또는 제3 절연막(160c)의 측부)로부터 발생되는 크랙(CR)이 상기 중심부로 진행하는 경우에, 배선(170)이 손상되어 표시부(110)의 구동 불량이 유발될 수 있다. 이를 방지하기 위하여, 벤딩 영역(BA)의 상기 외곽부에는 크랙 방지 라인(185)을 포함하는 크랙 방지 패턴(180)이 배치될 수 있다. 구체적으로, 크랙 방지 라인(185)은 제1 절연막(160a) 상에 배치되는 제1 크랙 방지 라인(185a) 및 제3 절연막(160c) 상에 배치되는 제2 크랙 방지 라인(185b)을 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(180)은 배선(170)과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다. 예를 들면, 제1 크랙 방지 라인(185a)은 제1 배선(170a)과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다. 또한, 제2 크랙 방지 라인(185b)은 제2 배선(170b)과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(180)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등의 금속 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 제1 크랙 방지 라인(185a)은 제1 배선(170a)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다. 또한, 제2 크랙 방지 라인(185b)은 제2 배선(170b)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 벤딩 영역을 나타내는 평면도이다. 도 12는 도 11의 플렉서블 표시 장치를 XI-XI' 라인을 따라 자른 벤딩 영역의 제1 영역을 나타내는 단면도이다. 도 13은 도 11의 플렉서블 표시 장치를 XII-XII' 라인을 따라 자른 벤딩 영역의 제2 영역을 나타내는 단면도이다. 도 14는 도 11의 플렉서블 표시 장치를 XIII-XIII' 라인을 따라 자른 벤딩 영역의 제3 영역을 나타내는 단면도이다.
도 5, 도 11, 도 12, 도 13, 및 도 14를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치(200)는 제1 영역(BA1), 제2 영역(BA2) 및 제3 영역(BA3)에서 서로 다른 개수의 크랙 방지 라인들(285)을 가지는 크랙 방지 패턴(280)을 포함할 수 있다.
기판(205) 상에는 제1 절연막(260a)이 배치될 수 있다. 제1 절연막(260a)은 유기 절연 물질을 포함하는 유기 절연막일 수 있다.
제1 절연막(260a) 상에는 배선(270)이 배치될 수 있다. 전술한 바와 같이, 배선(270)은 표시부(110)와 패드부(120)를 연결할 수 있다. 배선(270)은 벤딩 영역(BA)의 상기 중심부에 배치될 수 있다. 예를 들면, 배선(270)은 벤딩 영역(BA)에서 제2 방향을 따라 연장될 수 있다.
배선(270)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등의 금속 물질을 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 배선(270)은 표시부(110)에 배치되는 게이트 전극(114) 또는 소스/드레인 전극들(115a, 115b)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다. 다른 실시예에 있어서, 배선(270)은 표시부(110)에 배치되는 제1 소스/드레인 전극들(115a, 115b) 또는 제2 소스/드레인 전극들(115c, 115d)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
제1 절연막(260a) 상에는 배선(270)을 커버하는 제2 절연막(260b)이 배치될 수 있다. 제2 절연막(260b)은 유기 절연 물질을 포함하는 유기 절연막일 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제2 절연막(260b)은 표시부(110)에 배치되는 비아 절연막(116a) 및/또는 화소 정의막(116b)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 벤딩 영역(BA)의 상기 단부(예를 들면, 제1 절연막(260a) 또는 제2 절연막(260b)의 측부)로부터 발생되는 크랙(CR)이 상기 중심부로 진행하는 경우에, 배선(270)이 손상되어 표시부(110)의 구동 불량이 유발될 수 있다. 이를 방지하기 위하여, 벤딩 영역(BA)의 상기 외곽부에는 크랙 방지 패턴(280)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 크랙 방지 패턴(280)은 배선(270)과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(280)은 복수의 크랙 방지 라인들(285)을 포함할 수 있다. 크랙 방지 라인들(285)은 상기 제2 방향으로 연장될 수 있다. 각각의 크랙 방지 라인들(285)은 벤딩 영역(BA)의 상기 외곽부의 단부로부터 발생되어 상기 중심부로 진행하는 크랙(CR)의 성장을 방지하는 일종의 댐의 역할을 할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(280)은 벤딩 영역(BA)에만 배치될 수 있다. 크랙 방지 패턴(280)은 벤딩 영역(BA) 내에만 형성되고, 평면 영역(FA)의 다른 구성들과는 연결되지 않을 수 있다. 예를 들면, 크랙 방지 라인들(285)은 각기 아일랜드(island) 형태를 가질 수 있다.
벤딩 영역(BA)에서 발생하는 크랙은 위치 별로 다른 크기(예를 들면, 길이)를 가질 수 있다. 일 실시예에 있어서, 크랙은 벤딩 영역(BA)의 제1 영역(BA1), 제2 영역(BA2), 및 제3 영역(BA3)에서 서로 다른 길이를 가질 수 있다. 크랙 방지 패턴(280)이 존재하지 않는 경우에, 제1 영역(BA1)에 발생되는 크랙의 길이는 제2 영역(BA2)에 발생되는 크랙의 길이보다 클 수 있고, 제2 영역(BA2)에 발생되는 크랙의 길이는 제3 영역(BA3)에 발생되는 크랙의 길이보다 클 수 있다.
이러한 차이는 벤딩 영역(BA)에서 곡률 반경이 최소인 제1 영역(BA1)에 가해지는 응력, 보호 필름(140)에 의하여 제2 영역(BA2)에 존재하는 단차에 따라 제2 영역(BA2)에 가해지는 응력 및 제3 영역(BA3)에 가해지는 응력의 차이에 기인한 것일 수 있다. 벤딩 영역(BA)이 벤딩되는 경우에, 제1 영역(BA1)에는 제1 응력이 작용되고, 제2 영역(BA2)에는 제2 응력이 작용되며, 제3 영역(BA3)에는 제3 응력이 작용될 수 있다. 여기서, 상기 제1 응력은 상기 제2 응력보다 클 수 있고, 상기 제2 응력은 상기 제3 응력보다 클 수 있다. 이에 따라, 제1 영역(BA1), 제2 영역(BA2), 및 제3 영역(BA3)에 배치되는 크랙 방지 패턴(280)의 구조 등을 상기 크랙의 길이에 기초하여 조정할 필요가 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 크랙 방지 라인들(285)의 개수는 제1 영역(BA1), 제2 영역(BA2), 및 제3 영역(BA3)에서 서로 상이할 수 있다. 예를 들면, 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 영역(BA1), 제2 영역(BA2), 및 제3 영역(BA3)에 배치되는 크랙 방지 라인들(285)의 개수는 서로 상이할 수 있다. 크랙 방지 라인들(285)의 개수가 상대적으로 큰 경우에, 크랙 방지 패턴(280)의 밀도는 상대적으로 클 수 있다. 크랙 방지 라인들(285)의 개수가 상대적으로 작은 경우에, 크랙 방지 패턴(280)의 밀도는 상대적으로 작을 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제1 영역(BA1)의 크랙 방지 라인들(285)의 개수는 제3 영역(BA3)의 크랙 방지 라인들(285)의 개수보다 클 수 있다. 예를 들면, 제1 영역(BA1)에서 크랙 방지 패턴(280)은 9 개의 크랙 방지 라인들(285)을 가지고, 제3 영역(BA3)에서 크랙 방지 패턴(280)은 4 개의 크랙 방지 라인들(285)을 가질 수 있다. 다만, 크랙 방지 라인들(285)의 개수는 이에 한정되지 아니한다. 크랙 방지 라인들(285)의 개수가 많을수록 크랙의 진행을 방지하는 정도가 커질 수 있다. 전술한 바와 같이, 제1 영역(BA1)의 크랙은 제3 영역(BA3)의 크랙에 비하여 크기가 클 수 있고, 이에 따라, 제1 영역(BA1)에서의 크랙 방지 라인들(285)의 개수를 제3 영역(BA3)에서의 크랙 방지 라인들(285)의 개수 보다 많게 형성할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제2 영역(BA2)의 크랙 방지 라인들(285)의 개수는 제3 영역(BA3)의 크랙 방지 라인들(285)의 개수보다 클 수 있다. 예를 들면, 제2 영역(BA2)에서 크랙 방지 패턴(280)은 7 개의 크랙 방지 라인들(285)을 가지고, 제3 영역(BA3)에서 크랙 방지 패턴(280)은 4 개의 크랙 방지 라인들(285)을 가질 수 있다. 다만, 크랙 방지 라인들(285)의 개수는 이에 한정되지 아니한다. 크랙 방지 라인들(285)의 개수가 많을수록 크랙의 진행을 방지하는 정도가 커질 수 있다. 전술한 바와 같이, 제2 영역(BA2)의 크랙은 제3 영역(BA3)의 크랙에 비하여 크기가 클 수 있고, 이에 따라, 제2 영역(BA2)에서의 크랙 방지 라인들(285)의 개수를 제3 영역(BA3)에서의 크랙 방지 라인들(285)의 개수 보다 많게 형성할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제1 영역(BA1)의 크랙 방지 라인들(285)의 개수는 제2 영역(BA2)의 크랙 방지 라인들(285)의 개수보다 클 수 있다. 예를 들면, 제1 영역(BA1)에서 크랙 방지 패턴(280)은 9 개의 크랙 방지 라인들(285)을 가지고, 제2 영역(BA2)에서 크랙 방지 패턴(280)은 7 개의 크랙 방지 라인들(285)을 가질 수 있다. 다만, 크랙 방지 라인들(285)의 개수는 이에 한정되지 아니한다. 크랙 방지 라인들(285)의 개수가 많을수록 크랙의 진행을 방지하는 정도가 커질 수 있다. 전술한 바와 같이, 제1 영역(BA1)의 크랙은 제2 영역(BA2)의 크랙에 비하여 크기가 클 수 있고, 이에 따라, 제1 영역(BA1)에서의 크랙 방지 라인들(285)의 개수를 제2 영역(BA2)에서의 크랙 방지 라인들(285)의 개수 보다 많게 형성할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(280)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등의 금속 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 크랙 방지 패턴(280)은 배선(270)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
다른 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(280)은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 등의 무기 절연 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 크랙 방지 패턴(280)은 표시부(110)에 배치되는 게이트 절연막(113a), 층간 절연막(113b) 또는 보호막(113c)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
제2 절연막(260b) 상에는 응력 조정층(250)이 배치될 수 있다. 응력 조정층(250)은 배선(270)에 대응되도록 벤딩 영역(BA)의 상기 중심부에 배치될 수 있다. 응력 조정층(250)은 폴레에틸렌 테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌, 폴리아크릴레이트 등을 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 응력 조정층(250)은 봉지 부재(130)의 상기 유기막과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
도 15는 도 1의 V 영역의 다른 예를 개략적으로 나타내는 평면도이다. 도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 벤딩 영역을 나타내는 평면도이다.
도 15 및 도 16을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치(300)는 제1 영역(BA1), 제2 영역(BA2) 및 제3 영역(BA3)에서 서로 상이한 밀도들을 가지는 크랙 방지 패턴(380)을 포함할 수 있다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치(300)의 구성들 중에서 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치(100)의 구성들과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성들에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 15에 도시된 바와 같이, 벤딩 영역(BA)의 상기 단부로부터 발생되는 크랙(CR)이 상기 외곽부를 통해 상기 중심부로 진행하는 경우에, 배선(370)이 손상되어 표시부(110)의 구동 불량이 유발될 수 있다. 이를 방지하기 위하여, 벤딩 영역(BA)의 상기 외곽부에는 크랙 방지 패턴(380)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 크랙 방지 패턴(380)은 배선(370)과 실질적으로 동일한 레벨에 위치할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(380)은 복수의 크랙 방지 라인들(385)을 포함할 수 있다. 크랙 방지 라인들(385)은 상기 제2 방향으로 연장될 수 있다. 각각의 크랙 방지 라인들(385)은 벤딩 영역(BA)의 상기 외곽부의 단부로부터 발생되어 상기 중심부로 진행하는 크랙(CR)의 성장을 방지하는 일종의 댐의 역할을 할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(380)은 평면 영역(FA)에 배치되는 크랙 감지부(390)까지 연장되고, 크랙 감지부(390)는 크랙 방지 패턴(380)의 크랙을 감지할 수 있다. 도 15에는 크랙 감지부(390)가 패드부(320) 내에 배치되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하고, 크랙 감지부(390)는 패드부(320) 외에 배치될 수도 있다. 예를 들면, 제1 및 제2 크랙 방지 라인들(385a, 385b)의 일 단들이 서로 연결되고, 제1 및 제2 크랙 방지 라인들(385a, 385b)의 타 단들이 크랙 감지부(390)에 연결될 수 있다. 따라서, 제1 및 제2 크랙 방지 라인들(385a, 385b)은 루프(loop) 형태를 가질 수 있다.
크랙 감지부(390)는 제1 크랙 방지 라인(385a)을 통해 입력 신호를 제공하고, 제2 크랙 방지 라인(385b)을 통해 상기 입력 신호에 대응하는 출력 신호를 제공받을 수 있다. 크랙 감지부(390)는 상기 입력 신호와 상기 출력 신호를 비교하여 크랙 방지 패턴(380)의 크랙을 감지할 수 있다. 예를 들면, 크랙 감지부(390)는 상기 입력 신호의 전압 값과 상기 출력 신호의 전압 값을 비교하여 크랙 방지 패턴(380)의 저항을 측정하는 논리 회로를 포함할 수 있고, 크랙 감지부(390)는 크랙 방지 패턴(380)의 저항 값의 변화를 감지하여 크랙 방지 패턴(380)의 크랙을 감지할 수 있다. 이에 따라, 크랙 방지 패턴(380)은 벤딩 영역(BA)에 발생되는 크랙의 진행을 방지할 뿐만 아니라, 벤딩 영역(BA)에서 크랙의 발생 여부를 감지할 수도 있다.
도 17 및 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 6 및 도 17을 참조하면, 평면 영역(FA) 및 벤딩 영역(BA)을 포함하는 기판(105)을 준비하고, 벤딩 영역(BA)의 기판(105) 상에 제1 절연막(160a)을 형성할 수 있다. 벤딩 영역(BA)은 곡률 반경이 최소인 제1 영역(BA1), 평면 영역(FA)과의 경계에 위치하는 제2 영역(BA2), 그리고 제1 영역(BA1)과 제2 영역(BA2) 사이에 위치하는 제3 영역(BA3)을 포함할 수 있다. 기판(105)은 폴리이미드, 폴리에틸렌 나프탈레이트, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에테르 에테르 케톤, 폴리에테르술폰, 폴리메틸 메타크릴레이트, 폴리카보네이트, 폴리프로필렌 등과 같은 플라스틱, 박막 유리, 박막 금속 등으로 형성될 수 있다.
제1 절연막(160a)은 기판(105) 상에 폴리이미드, 에폭시계 수지, 폴레에스테르 등과 같은 유기 절연 물질을 도포하여 형성될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 기판(105) 상의 평면 영역(FA) 및 벤딩 영역(BA)에 제1 무기막, 제2 무기막 및 제3 무기막을 순차적으로 형성하고, 벤딩 영역(BA) 내의 상기 제1 무기막, 상기 제2 무기막 및 상기 제3 무기막을 제거하여 도 4a에 도시된 버퍼막(111), 게이트 절연막(113a) 및 층간 절연막(113b)을 형성할 수 있다. 그 다음, 기판(105) 상의 벤딩 영역(BA)에 유기 절연 물질을 도포하여 제1 절연막(160a)을 형성할 수 있다. 제1 절연막(160a)은 상기 제1 내지 제3 무기막들이 제거되어 발생되는 단차를 완화시키고, 벤딩 영역(BA)의 플렉서블한 특성을 향상시킬 수 있다.
도 6 및 도 18을 참조하면, 벤딩 영역(BA)의 제1 절연막(160a) 상에 배선(170) 및 크랙 방지 패턴(180)을 형성할 수 있다. 크랙 방지 패턴(180)은 벤딩 영역(BA)의 외곽부에 형성될 수 있고, 배선(170)은 상기 외곽부의 내측에 위치하는 벤딩 영역(BA)의 중심부에 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 크랙 방지 패턴(180)과 배선(170)은 실질적으로 동시에 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 절연막(160a) 상에 금속막을 형성하고, 상기 금속막을 포토레지스트 공정 등을 이용하여 식각하여, 크랙 방지 패턴(180)과 배선(170)을 실질적으로 동시에 형성할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(180)과 배선(170)은 도 4a에 도시된 표시부(110)에 배치되는 소스/드레인 전극들(115a, 115b)과 실질적으로 동시에 형성될 수도 있다. 다른 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(180)과 배선(170)은 도 4b에 도시된 표시부(110)에 배치되는 제1 소스/드레인 전극들(115a, 115b) 또는 제2 소스/드레인 전극들(115c, 115d)과 실질적으로 동시에 형성될 수도 있다.
다른 예시적인 실시예들에 있어서, 크랙 방지 패턴(180)은 도 4b에 도시된 표시부(110)에 배치되는 보호막(113c)과 같은 무기 절연막과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다. 예를 들면, 평면 영역(FA)에 형성되는 층간 절연막(113b)과 벤딩 영역(BA) 형성되는 제1 절연막(160a) 상에 제4 무기막을 형성하고, 상기 제4 무기막을 포토레지스트 공정 등을 이용하여 식각하여, 크랙 방지 패턴(180)과 보호막(113c)을 실질적으로 동시에 형성할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(180)이 형성되기 전에, 배선(170)은 표시부(110)에 배치되는 제1 소스/드레인 전극들(115a, 115b)과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다. 다른 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(180)이 형성된 후에, 배선(170)은 표시부(110)에 배치되는 제2 소스/드레인 전극들(115c, 115d)과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다.
도 7을 참조하면, 벤딩 영역(BA)의 제1 절연막(160a) 상에 배선(170) 및 크랙 방지 패턴(180)을 커버하는 제2 절연막(160b)을 형성하고, 제2 절연막(160b) 상에 응력 조정층(150)을 형성할 수 있다. 제2 절연막(160b)은 제1 절연막(160a) 상에 폴리이미드, 에폭시계 수지, 폴레에스테르 등과 같은 유기 절연 물질을 도포하여 형성될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제2 절연막(160b)은 도 4a에 도시된 표시부(110)에 배치되는 비아 절연막(116a) 및/또는 화소 정의막(116b)과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다. 응력 조정층(150)은 제2 절연막(160b) 상에 폴레에틸렌 테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌, 폴리아크릴레이트 등과 같은 유기 물질을 도포하여 형성될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 응력 조정층(150)은 도 3에 도시된 봉지 부재(130)의 유기막과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 크랙 방지 패턴(180)을 배선(170) 또는 보호막(113c)과 같은 무기 절연막과 실질적으로 동시에 형성함으로써, 크랙 방지 패턴(180)을 형성하기 위한 추가적인 공정이 필요하지 않을 수 있다.
도 19는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 6 및 도 19를 참조하면, 평면 영역(FA) 및 벤딩 영역(BA)을 포함하는 기판(105)을 준비하고, 벤딩 영역(BA)의 기판(105) 상에 제1 절연막(160a)을 형성할 수 있다. 벤딩 영역(BA)은 곡률 반경이 최소인 제1 영역(BA1), 평면 영역(FA)과의 경계에 위치하는 제2 영역(BA2), 그리고 제1 영역(BA1)과 제2 영역(BA2) 사이에 위치하는 제3 영역(BA3)을 포함할 수 있다. 기판(105)은 폴리이미드, 폴리에틸렌 나프탈레이트, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에테르 에테르 케톤, 폴리에테르술폰, 폴리메틸 메타크릴레이트, 폴리카보네이트, 폴리프로필렌 등과 같은 플라스틱, 박막 유리, 박막 금속 등으로 형성될 수 있다. 제1 절연막(160a)은 기판(105) 상에 폴리이미드, 에폭시계 수지, 폴레에스테르 등과 같은 유기 절연 물질을 도포하여 형성될 수 있다.
벤딩 영역(BA)의 제1 절연막(160a) 상에 배선(170) 및 크랙 방지 패턴(180)을 형성할 수 있다. 크랙 방지 패턴(180)은 벤딩 영역(BA)의 외곽부에 형성될 수 있고, 배선(170)은 상기 외곽부의 내측에 위치하는 벤딩 영역(BA)의 중심부에 형성될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 크랙 방지 패턴(180)은 제1 크랙 방지 라인(185a) 및 제2 크랙 방지 라인(185b)을 포함하는 크랙 방지 라인(185)을 포함할 수 있고, 배선(170)은 제1 배선(170a) 및 제2 배선(170b)을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 크랙 방지 패턴(180)과 배선(170)은 실질적으로 동시에 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 절연막(160a) 상에 제1 금속막을 형성하고, 상기 제1 금속막을 포토레지스트 공정 등을 이용하여 식각하여, 제1 크랙 방지 라인(185a) 및 제1 배선(170a)을 실질적으로 동시에 형성할 수 있다. 그 다음, 제1 절연막(160a) 상에 제1 크랙 방지 라인(185a) 및 제1 배선(170a)을 커버하는 제3 절연막(160c)을 형성하고, 제3 절연막(160c) 상에 제2 금속막을 형성하며, 상기 제2 금속막을 포토레지스트 공정 등을 이용하여 식각하여, 제2 크랙 방지 라인(185b) 및 제2 배선(170b)을 실질적으로 동시에 형성할 수 있다. 여기서, 제3 절연막(160c)은 도 4b에 도시된 표시부(110)에 배치되는 평탄화막(116c)과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 크랙 방지 라인(185a)과 제1 배선(170a)은 도 4b에 도시된 표시부(110)에 배치되는 제1 소스/드레인 전극들(115a, 115b)과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다. 또한, 제2 크랙 방지 라인(185b) 및 제2 배선(170b)은 도 4b에 도시된 표시부(110)에 배치되는 제2 소스/드레인 전극들(115c, 115d)과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다.
도 10을 참조하면, 벤딩 영역(BA)의 제3 절연막(160c) 상에 배선(170) 및 크랙 방지 패턴(180)을 커버하는 제2 절연막(160b)을 형성하고, 제2 절연막(160b) 상에 응력 조정층(150)을 형성할 수 있다. 제2 절연막(160b)은 제3 절연막(160c) 상에 폴리이미드, 에폭시계 수지, 폴레에스테르 등과 같은 유기 절연 물질을 도포하여 형성될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제2 절연막(160b)은 도 4a에 도시된 표시부(110)에 배치되는 비아 절연막(116a) 및/또는 화소 정의막(116b)과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다. 응력 조정층(150)은 제2 절연막(160b) 상에 폴레에틸렌 테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌, 폴리아크릴레이트 등과 같은 유기 물질을 도포하여 형성될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 응력 조정층(150)은 도 3에 도시된 봉지 부재(130)의 유기막과 실질적으로 동시에 형성될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 크랙 방지 패턴(180)을 배선(170)과 실질적으로 동시에 형성함으로써, 크랙 방지 패턴(180)을 형성하기 위한 추가적인 공정이 필요하지 않을 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 플렉서블 표시 장치는 컴퓨터, 노트북, 휴대폰, 스마트폰, 스마트패드, 피엠피(PMP), 피디에이(PDA), MP3 플레이어 등에 포함되는 표시 장치에 적용될 수 있다.
이상, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 플렉서블 표시 장치들 및 이러한 플렉서블 표시 장치들의 제조 방법들에 대하여 도면들을 참조하여 설명하였지만, 설시한 실시예들은 예시적인 것으로서 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 수정 및 변경될 수 있을 것이다.
100, 200, 300: 표시 장치 170, 270, 370: 배선
180, 280, 380: 크랙 방지 패턴 185, 285, 385: 크랙 방지 라인
390: 크랙 감지부 BA: 벤딩 영역
BA1: 제1 영역 BA2: 제2 영역
BA3: 제2 영역 FA: 평면 영역

Claims (20)

  1. 평면 영역 및 상기 평면 영역에 인접하고, 벤딩 시에 제1 응력이 작용되는 제1 영역, 벤딩 시에 상기 제1 응력보다 작은 제2 응력이 작용되는 제2 영역 및 벤딩 시에 상기 제2 응력보다 작은 제3 응력이 작용되는 제3 영역을 포함하는 벤딩 영역을 포함하는 기판; 및
    상기 벤딩 영역에 배치되고, 복수의 크랙 방지 라인들을 포함하는 크랙 방지 패턴을 포함하고,
    상기 제1 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수는 상기 제3 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수보다 큰 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수는 상기 제3 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수보다 큰 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수는 상기 제2 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수보다 큰 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 영역은 상기 벤딩 영역 내에서 곡률 반경이 최소이고, 상기 제2 영역은 상기 평면 영역과 상기 벤딩 영역의 경계에 위치하며, 상기 제3 영역은 상기 제1 영역과 상기 제2 영역 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 크랙 방지 패턴은 금속 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 크랙 방지 패턴은 무기 절연 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 크랙 방지 패턴은 상기 벤딩 영역에만 배치되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 크랙 방지 패턴은 상기 벤딩 영역에서 상기 평면 영역에 배치되는 크랙 감지부까지 연장되고, 상기 크랙 감지부는 상기 크랙 방지 패턴의 크랙을 감지하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 벤딩 영역의 중심부에 배치되는 배선을 더 포함하고,
    상기 크랙 방지 패턴은 상기 중심부의 외측에 위치하는 외곽부에 배치되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 배선과 상기 크랙 방지 패턴은 상기 기판 상의 동일한 레벨에 위치하고, 동일한 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  11. 평면 영역 및 상기 평면 영역에 인접하고, 벤딩축 및 상기 벤딩축에 인접하는 인접부를 포함하는 벤딩 영역을 포함하는 기판; 및
    상기 벤딩 영역에 배치되고, 복수의 크랙 방지 라인들을 포함하는 크랙 방지 패턴을 포함하고,
    상기 벤딩축에 위치하는 상기 크랙 방지 라인들 사이의 간격은 상기 인접부에 위치하는 상기 크랙 방지 라인들 사이의 간격보다 작은 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 평면 영역과 상기 벤딩 영역의 경계에 위치하는 상기 크랙 방지 라인들 사이의 간격은 상기 인접부에 위치하는 상기 크랙 방지 라인들 사이의 간격보다 작고, 상기 벤딩축에 위치하는 상기 크랙 방지 라인들 사이의 간격보다 큰 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  13. 제11항에 있어서, 상기 벤딩 영역의 상기 기판 상에 배치되는 제1 유기 절연막 및 상기 제1 유기 절연막 상에 배치되는 제2 유기 절연막을 더 포함하고,
    상기 크랙 방지 패턴은 상기 제1 유기 절연막과 상기 제2 유기 절연막 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  14. 제11항에 있어서, 상기 벤딩 영역의 상기 기판 상에 배치되는 제1 유기 절연막, 상기 제1 유기 절연막 상에 배치되는 제2 유기 절연막 및 상기 제2 유기 절연막 상에 배치되는 제3 유기 절연막을 더 포함하고,
    상기 크랙 방지 라인들은 상기 제1 유기 절연막과 상기 제2 유기 절연막 사이에 배치되는 제1 크랙 방지 라인들 및 상기 제2 유기 절연막과 상기 제3 유기 절연막 사이에 배치되는 제2 크랙 방지 라인들을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  15. 평면 영역 및 상기 평면 영역에 인접하고, 벤딩 시에 제1 응력이 작용되는 제1 영역, 벤딩 시에 상기 제1 응력보다 작은 제2 응력이 작용되는 제2 영역 및 벤딩 시에 상기 제2 응력보다 작은 제3 응력이 작용되는 제3 영역을 포함하는 벤딩 영역을 포함하는 기판을 준비하는 단계; 및
    상기 벤딩 영역의 외곽부의 상기 기판 상에 복수의 크랙 방지 라인들을 포함하는 크랙 방지 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 제1 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수는 상기 제3 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수보다 큰 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제2 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수는 상기 제3 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수보다 큰 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  17. 제15항에 있어서, 상기 제1 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수는 상기 제2 영역의 상기 크랙 방지 라인들의 개수보다 큰 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제15항에 있어서, 상기 크랙 방지 패턴을 형성하는 단계 전에 상기 벤딩 영역의 상기 기판 상에 제1 유기 절연막을 형성하는 단계; 및
    상기 크랙 방지 패턴을 형성하는 단계 후에 상기 제1 유기 절연막 상에 상기 크랙 방지 패턴을 커버하는 제2 유기 절연막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제15항에 있어서, 상기 벤딩 영역의 상기 외곽부의 내측에 위치하는 중심부에 배선을 형성하는 단계를 더 포함하고,
    상기 크랙 방지 패턴과 상기 배선은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  20. 제15항에 있어서, 상기 평면 영역에 무기 절연막을 형성하는 단계를 더 포함하고,
    상기 크랙 방지 패턴과 상기 무기 절연막은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
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