KR20180058173A - Apparatus for fastening screw of probe card and apparatus for assembling probe card comprising the same - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a screw fastening device for a probe card and a probe card assembling device having the same. The screw fastening device comprises: a plurality of screws fastened to a probe card; a plurality of fastening units in contact with the plurality of screws to rotate with the plurality of screws; and a plurality of drive units transmitting rotatory power to the plurality of fastening units. The plurality of drive units are interlocked with each other to rotate in the same direction when at least one of the plurality of drive units rotates. Therefore, the screw fastening device provides an effect of solving concentrated load generated at the time of sequential fastening by simultaneously fastening the screws for assembling the probe card instead of the sequential fastening.

Description

프로브 카드용 나사 체결 장치 및 이를 구비한 프로브 카드 조립장치{APPARATUS FOR FASTENING SCREW OF PROBE CARD AND APPARATUS FOR ASSEMBLING PROBE CARD COMPRISING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a probe card assembling apparatus and a probe card assembling apparatus having the probe card assembling apparatus.

본 발명은 프로브 카드용 나사 체결 장치 및 이를 구비한 프로브 카드 조립 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 프로브 카드의 조립에 사용되는 나사를 일괄 체결하는 프로브 카드용 나사 체결 장치 및 이를 구비한 프로브 카드 조립 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a screw fastening apparatus for a probe card and a probe card assembling apparatus having the screw fastening apparatus. More particularly, the present invention relates to a screw fastening apparatus for a probe card, ≪ / RTI >

일반적으로 프로브 카드는 반도체 소자를 웨이퍼 레벨에서 그 결함 유무를 테스트하기 위하여, 웨이퍼와 반도체 소자 검사 장비를 전기적으로 연결시켜서 검사 장비의 전기적 신호를 웨이퍼 상에 형성된 패드에 전달하여 주고, 패드로부터 돌아오는 신호를 반도체 소자의 검사 장비에 전달하기 위한 장치이다.In general, a probe card electrically connects a wafer and a semiconductor device inspection device to test whether the semiconductor device is defective at a wafer level. The probe card transfers an electrical signal of the inspection device to a pad formed on the wafer, And for transmitting the signal to the inspection equipment of the semiconductor device.

프로브 카드는 복수의 개의 나사를 사용하여 조립되는데 최근 프로브 카드의 크기와 무게가 증가하고 있고, 이러한 크기와 무게 증가는 종래 방식으로 나사를 순차 체결 시 무게가 분산되지 않고 집중되어 프로브 카드가 무게가 집중된 부분으로 기울어져 조립되는 집중 하중의 문제점이 있다.The probe card is assembled using a plurality of screws. Recently, the size and weight of the probe card have been increasing. The size and weight of the probe card have been increased by the weight of the probe card There is a problem of a concentrated load that is assembled by inclining to a concentrated portion.

이러한 문제점은 나아가 웨이퍼 상에 형성된 패드 일부가 프로브 카드에 접촉되지 않아 테스트가 제대로 이루어지지 않는 문제점이 있다.Such a problem is further disadvantageous in that a part of the pad formed on the wafer is not brought into contact with the probe card and the test is not properly performed.

대한민국 등록특허 제10-1282439호 (2013년07월04일)Korean Patent No. 10-1282439 (Jul. 04, 2013) 대한민국 공개특허 제10-2007-0016291호 (2007년02월08일)Korean Patent Publication No. 10-2007-0016291 (February 08, 2007) 대한민국 공개특허 제10-2009-0050264호 (2009년05월20일)Korean Patent Publication No. 10-2009-0050264 (May 20, 2009)

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로서, 나사를 종래 방식인 순차 조립이 아닌 동시 조립을 통하여 집중 하중의 문제점을 해결하는 프로브 카드용 나사 체결 장치 및 이를 구비한 프로브 카드 조립 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a screw fastening apparatus for a probe card which solves the problem of concentrated load through simultaneous assembly, And an object thereof is to provide a device.

또한, 스테이지부를 사용함으로써 프로브 카드의 조립 시 평탄도를 높이고, 승강구동부를 사용함으로써 프로브 카드의 조립을 편리하게 할 수 있는 프로브 카드용 나사 체결 장치 및 이를 구비한 프로브 카드 조립 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide a screw fastening apparatus for a probe card and a probe card assembling apparatus having the same that can easily assemble a probe card by using a stage portion to increase the flatness at the time of assembling the probe card, For other purposes.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 프로브 카드에 체결되는 복수의 나사; 상기 복수의 나사에 접촉되어 상기 복수의 나사와 함께 회전하는 복수의 체결부; 및 상기 복수의 체결부에 회전력을 전달하는 복수의 구동부;를 포함하고, 상기 복수의 구동부는 상기 복수의 구동부 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a probe card including: a plurality of screws fastened to a probe card; A plurality of fastening portions in contact with the plurality of screws and rotated together with the plurality of screws; And a plurality of driving units for transmitting rotational force to the plurality of coupling units, wherein the plurality of driving units rotate in the same direction when interlocked with each other when at least one of the plurality of driving units rotates.

본 발명의 상기 복수의 구동부는, 제1 구동부; 및 상기 제1 구동부와 이격 설치된 제2 구동부;를 포함하고, 상기 제1 구동부와 상기 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제1 구동부의 회전력을 상기 제2 구동부로 전달하는 연동부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The plurality of driving units of the present invention may include: a first driving unit; And an interlocking part including a first driving part and a second driving part spaced apart from the first driving part and transmitting the rotational force of the first driving part to the second driving part so that the first driving part and the second driving part rotate forward in the same direction, .

본 발명의 상기 복수의 구동부는, 상기 복수의 구동부와 연동되어 동일 방향으로 회전하는 복수의 보조구동부;를 포함하고, 상기 복수의 보조구동부는, 상기 복수의 보조구동부 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 한다.The plurality of driving units of the present invention may include a plurality of auxiliary driving units interlocked with the plurality of driving units and rotating in the same direction, and the plurality of auxiliary driving units may be configured such that when at least one of the plurality of auxiliary driving units rotates, And is rotated in the same direction.

본 발명의 상기 복수의 보조구동부는, 제1 보조구동부; 및 상기 제1 보조구동부와 이격 설치된 제2 보조구동부;를 포함하고, 상기 제1 보조구동부와 상기 제2 보조구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제1 보조구동부의 회전력을 상기 제2 보조구동부로 전달하는 연동부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The plurality of auxiliary driving units of the present invention may include: a first auxiliary driving unit; And a second sub driver coupled to the first sub driver and spaced apart from the first sub driver, wherein the first sub driver drives the rotational force of the first sub driver to the second sub driver so that the first sub driver and the second sub driver rotate in the same direction, And an interlocking portion for transmitting the interlocking portion.

본 발명의 상기 연동부는 기어로 구성되고, 상기 연동부는 양측에 배치된 제1 구동부 및 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 반대 방향으로 역회전하는 것을 특징으로 한다.The interlocking portion of the present invention is constituted by gears, and the interlocking portion is reversely rotated in the opposite direction so that the first driving portion and the second driving portion disposed on both sides of the interlocking portion rotate forward in the same direction.

본 발명의 상기 연동부는 타이밍벨트로 구성되고, 상기 연동부는 양측에 배치된 제1 구동부 및 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 동일 방향으로 정회전하는 것을 특징으로 한다.The interlocking portion of the present invention is constituted by a timing belt, and the interlocking portion is characterized in that the first driving portion and the second driving portion disposed on both sides are rotated in the same direction so as to rotate in the same direction.

본 발명은 상기 제2 구동부의 외곽둘레에 치합되어 회전하도록 설치되고, 내주면에 치형이 형성된 원 형상의 제1 회전가이드;를 포함하고, 상기 제1 회전가이드는 상기 제2 구동부와 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 한다.The present invention is characterized in that it comprises a circular first rotating guide provided on a periphery of the second driving part so as to rotate and having a tooth formed on an inner peripheral surface thereof, .

본 발명은 상기 제2 보조구동부의 외곽둘레에 치합되어 회전하도록 설치되고, 내주면에 치형이 형성된 원 형상의 제2 회전가이드;를 포함하고, 상기 제2 회전가이드는 상기 제2 보조구동부와 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 한다.The present invention includes a circular second rotary guide which is engaged with the outer periphery of the second sub driver and rotates and has a tooth on the inner peripheral surface thereof and the second rotation guide is interlocked with the second sub driver And rotates in the same direction.

본 발명의 상기 체결부 및 상기 구동부는 구동부지지판을 사이에 두고 배치되고, 상기 체결부 및 상기 구동부는 상기 구동부지지판을 관통하는 연결봉에 결합되어 동일 방향으로 회전되는 것을 특징으로 한다.The fastening part and the driving part of the present invention are disposed with the driving part supporting plate interposed therebetween, and the fastening part and the driving part are coupled to the connecting rod passing through the driving part supporting plate and are rotated in the same direction.

본 발명의 상기 구동부지지판 및 상기 연결봉 사이에는 베어링이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.And a bearing is provided between the driving part support plate and the connecting rod of the present invention.

본 발명의 상기 보조구동부의 직경은 상기 구동부의 직경보다 작거나 크게 형성되는 것을 특징으로 한다.The diameter of the auxiliary driving unit of the present invention is formed to be smaller or larger than the diameter of the driving unit.

본 발명의 상기 구동부는, 제1 구동부; 상기 제1 구동부와 이격 설치된 제2 구동부; 및 상기 제2 구동부와 이격 설치된 제3 구동부;를 포함하고, 상기 제1 구동부와 상기 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제1 구동부의 회전력을 상기 제2 구동부로 전달하는 기어로 구성된 제1 연동부; 및 상기 제2 구동부와 상기 제3 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제2 구동부의 회전력을 상기 제3 구동부로 전달하는 타이밍벨트로 구성된 제2 연동부;를 포함하며, 상기 제2 구동부는, 상기 제1 연동부와 접하는 기어로 구성되는 제1 기어부; 및 상기 제2 연동부와 접하는 기어로 구성되는 제2 기어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The driving unit of the present invention may include: a first driving unit; A second driving unit spaced apart from the first driving unit; And a third driving unit disposed apart from the second driving unit, wherein the first driving unit and the second driving unit are configured to rotate in the same direction, and to transmit the rotational force of the first driving unit to the second driving unit. 1 interlocking part; And a second interlocking part including a timing belt for transmitting the rotational force of the second driving part to the third driving part so that the second driving part and the third driving part rotate forward in the same direction, A first gear portion including a gear in contact with the first interlocking portion; And a second gear portion formed of a gear in contact with the second interlocking portion.

본 발명의 상기 체결부는, 상기 구동부의 하부에 결합되는 통 형상의 몸체부; 상기 몸체부의 하부에 결합되는 돌출 형상의 접촉부; 및 상기 몸체부의 내부에 삽입되고, 상기 접촉부가 탄성을 가지도록 일단은 상기 몸체부에 지지되고 타단은 상기 접촉부의 타단에 접촉되는 스프링;을 포함한다.The fastening portion of the present invention may include a tubular body coupled to a lower portion of the driving portion; A protruding contact portion coupled to a lower portion of the body portion; And a spring inserted into the body portion and having one end supported by the body portion and the other end contacting with the other end of the contact portion so that the contact portion has elasticity.

본 발명의 제 1 항에 기재된 프로브 카드용 나사 체결 장치를 구비하는 프로브 카드 조립 장치로서, 스테이지부;를 포함하고, 상기 프로브 카드는, 복수의 프로브핀, 공간변환기 및 PCB를 포함하며, 상기 스테이지부는, 상기 복수의 프로브핀이 바닥으로부터 이격하여 위치하는 제1 공간; 상기 공간변환기가 거치되어 위치하는 제2 공간; 및 상기 공간변환기와 상기 PCB 사이에 형성되는 제3 공간;을 포함하는 것을 특징으로 한다.A probe card assembling apparatus comprising a screw fastening apparatus for a probe card according to claim 1 of the present invention, the probe card including a plurality of probe pins, a space converter, and a PCB, A first space in which the plurality of probe pins are located apart from the bottom; A second space in which the spatial transducer is stationary; And a third space formed between the space converter and the PCB.

본 발명의 상기 제3 공간부는 진공펌프와 연결된 흡기구가 형성된 것을 특징으로 한다.The third space part of the present invention is characterized in that an inlet port connected to the vacuum pump is formed.

본 발명의 상기 제3 공간부는 수평 단면이 원 형상이고, 상부에 PCB가 거치되도록 PCB의 직경보다 작게 형성되어 밀폐되는 것을 특징으로 한다.The third space part of the present invention is circular and has a circular cross section and is formed to be smaller than the diameter of the PCB so that the PCB is mounted on the upper part.

본 발명의 상기 제2 공간부의 상기 공간변환기가 거치되는 거치면에는 제1 밀폐부재가 개재되고, 상기 PCB가 거치되는 거치면에는 제2 밀폐부재가 개재되는 것을 특징으로 한다.The first sealing member is interposed on the mounting surface on which the spatial transducer of the second spatial portion of the present invention is mounted, and the second sealing member is interposed on the mounting surface on which the PCB is mounted.

본 발명의 제 1 항에 기재된 프로브 카드용 나사 체결 장치를 구비하는 프로브 카드 조립 장치로서, 승강구동부;를 포함하고, 상기 승강구동부는, 회전가능하게 설치된 레버; 상기 레버의 회전에 따라 회전되는 볼스크류; 및 상기 볼스크류의 회전을 승강 구동으로 변환하는 승강링크;를 포함한다.A probe card assembling apparatus comprising a screw fastening device for a probe card according to claim 1 of the present invention, comprising: a lifting and driving part, wherein the lifting and guiding part comprises: a lever provided rotatably; A ball screw rotated according to rotation of the lever; And a lift link for converting the rotation of the ball screw into a lift driving.

본 발명의 상기 승강링크는, 상기 볼스크류의 양단에 각각 설치되어 회전에 의해 서로 반대 방향으로 이송되어 이격거리가 신축되는 한쌍의 이송블럭; 상기 한쌍의 이송블럭에 하단이 힌지결합되어 상방에서 서로 교차하도록 설치된 한쌍의 교차바; 및 상기 한쌍의 교차바의 상단이 힌지결합되어 한쌍의 교차바 사이의 상단 이격거리를 일정하게 유지하는 고정테이블;을 포함하는 것을 특징으로 한다.The elevating link of the present invention comprises: a pair of conveying blocks provided at both ends of the ball screw and being conveyed in opposite directions by rotation to expand and contract the spacing; A pair of crossing bars hinged to a lower end of the pair of conveying blocks so as to cross each other at an upper side; And a fixing table hinged to the upper ends of the pair of intersecting bars to maintain a constant upper end distance between the pair of intersecting bars.

본 발명은 상기 승강구동부가 바닥과 이격되도록 상기 승강구동부 하부에 설치되어 바닥을 지지하는 베이스부; 상기 베이스부의 상부에 수직 길이방향으로 설치되어 상기 프로브 카드용 나사 체결 장치를 지지하는 가이드부;를 포함한다.The present invention is characterized in that a base portion is installed at a lower portion of the elevation driving portion so that the elevation driving portion is separated from the floor and supports the floor; And a guide portion installed on the upper portion of the base portion in the vertical length direction to support the screw fastening device for the probe card.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 프로브 카드를 조립하는 나사를 순차 체결이 아닌 동시 체결하여 순차 체결 시 발생하는 집중 하중을 해결할 수 있는 효과를 제공한다.As described above, the present invention provides an effect of solving a concentrated load generated upon sequential fastening by simultaneously fastening the screws for assembling the probe card instead of the sequential fastening.

또한, 제1 회전가이드는 제2 구동부 및 제5 구동부와 연동되어 회전하면서 구동부 중 어느 하나가 손상되는 경우에도 체결부가 동일한 간격으로 회전하도록 할 수 있는 효과를 제공한다.In addition, the first rotation guide provides an effect that the fastening part can be rotated at the same interval even if one of the driving parts is damaged while being rotated by interlocking with the second driving part and the fifth driving part.

또한, 제2 회전가이드는 제1 회전가이드와 마찬가지로 복수의 제2 보조구동부및 제3 보조구동부와 연동되어 회전하면서 보조구동부 중 어느 하나가 손상되는 경우에도 체결부가 동일한 간격으로 회전하도록 하는 효과를 제공한다.The second rotation guide provides an effect of rotating the fastening portions at the same intervals even when any one of the auxiliary driving portions is damaged while being rotated by interlocking with the plurality of second sub-driving portions and the third sub-driving portions as in the case of the first rotation guide do.

또한, 보조구동부와 구동부의 직경 차이에 따라 동작 환경이 달라지므로 마모 등에 의한 손상이 발생하는 위치가 다르게 됨으로써, 구동부 중 어느 하나가 손상되는 경우에도 보조구동부는 동일한 위치에 손상이 발생하지 않아 체결부가 동일한 간격으로 계속 회전하도록 하는 효과를 제공한다.In addition, since the operating environment is changed according to the difference in diameter between the auxiliary driving unit and the driving unit, the position where the damage due to abrasion occurs is different, so that even if any one of the driving units is damaged, the auxiliary driving unit does not cause damage at the same position, Thereby providing an effect of continuing to rotate at the same interval.

또한, 제2 구동부, 제3 구동부 및 제4 구동부는 제1 기어부 및 제2 기어부를 통해 복수의 연동부를 동시에 연동할 수 있게 되는 효과를 제공한다.The second driving unit, the third driving unit, and the fourth driving unit provide an effect that the plurality of interlocking units can be interlocked simultaneously through the first gear unit and the second gear unit.

또한, 프로브 카드에 체결되는 복수의 나사가 동일 수평선상에 위치하지 않을 경우 접촉부의 일부가 나사에 접촉되지 않도록 접촉부가 탄성지지됨으로써, 복수의 나사에 모두 접촉되는 효과를 제공한다.Further, when the plurality of screws fastened to the probe card are not located on the same horizontal line, the contact portions are elastically supported so that a part of the contact portions does not come into contact with the screws, thereby providing an effect of contacting all of the plurality of screws.

또한, 스테이지부를 사용함으로써 프로브 카드의 조립 시 평탄도를 높이고, 승강구동부를 사용함으로써 프로브 카드의 조립을 편리하게 할 수 있는 효과를 제공한다.Further, by using the stage portion, it is possible to increase the flatness of the probe card when assembling the probe card, and to provide an advantage that the probe card can be assembled easily by using the elevation driving portion.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드용 나사 체결 장치 및 이를 구비한 프로브 카드 조립 장치를 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드용 나사 체결 장치를 나타내는 분해사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드용 나사 체결 장치의 체결부를 나타내는 구성도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드 조립장치를 나타내는 절단사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드용 나사 체결 장치의 동작을 나타내는 구성도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드용 나사 체결 장치의 동작을 나타내는 구성도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드용 나사 체결 장치의 구동부를 나타내는 구성도.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드용 나사 체결 장치의 구동부를 나타내는 구성도.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드 조립 장치의 분해사시도.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드 조립 장치의 스테이지부를 나타내는 절단사시도.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 의한 프로브 카드 조립 장치의 승강구동부를 나타내는 구성도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram of a screw fastening apparatus for a probe card according to an embodiment of the present invention and a probe card assembling apparatus having the screw fastening apparatus. FIG.
2 is an exploded perspective view showing a screw fastening apparatus for a probe card according to an embodiment of the present invention;
3 is a view showing a fastening portion of a screw fastening apparatus for a probe card according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a perspective view illustrating a probe card assembling apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG.
5 is a block diagram showing the operation of a screw fastening apparatus for a probe card according to an embodiment of the present invention;
6 is a configuration diagram showing an operation of a screw fastening apparatus for a probe card according to an embodiment of the present invention;
7 is a view showing a driving unit of a screw fastening apparatus for a probe card according to an embodiment of the present invention;
8 is a view showing a driving unit of a screw fastening apparatus for a probe card according to an embodiment of the present invention.
9 is an exploded perspective view of a probe card assembling apparatus according to an embodiment of the present invention.
10 is a cut-away perspective view showing a stage part of the probe card assembling apparatus according to the embodiment of the present invention.
11 is a configuration diagram showing an elevation driving unit of a probe card assembling apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 더욱 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 프로브 카드에 복수의 나사를 동시에 체결하는 프로브 카드용 나사 체결 장치(100)는, 체결부(110), 구동부지지판(120), 구동부(130), 보조구동부(140), 연동부(150), 커버부(180) 및 핸들부(190)를 포함한다.1 and 2, a screw fastening apparatus 100 for a probe card for simultaneously fastening a plurality of screws to a probe card according to an embodiment of the present invention includes a fastening part 110, a driving part supporting plate 120, An auxiliary driving unit 140, an interlocking unit 150, a cover unit 180, and a handle unit 190. The driving unit 130, the auxiliary driving unit 140,

체결부(110)는, 프로브 카드에 체결되는 복수의 나사에 접촉되어 복수의 나사와 함께 회전하는 체결수단으로서, 도 3에 나타낸 바와 같이 몸체부(111), 접촉부(112) 및 스프링(113)을 포함한다.The fastening portion 110 is a fastening means that is brought into contact with a plurality of screws fastened to the probe card and rotates together with a plurality of screws. As shown in Fig. 3, the fastening portion 110 includes a body portion 111, a contact portion 112, .

몸체부(111)는, 통 형상의 구조체로서, 구동부(130)로부터 회전력을 전달 받아 구동부(130)와 동일 방향으로 회전한다.The body part 111 is a tubular structure and receives rotational force from the driving part 130 and rotates in the same direction as the driving part 130. [

접촉부(112)는, 몸체부(111)의 하부에 결합되는 돌출 형상의 체결부재로서, 프로브 카드에 체결되는 나사에 접촉되어 몸체부(111)로부터 전달받은 회전력을 나사에 전달하게 된다.The contact portion 112 is a protruding coupling member coupled to a lower portion of the body portion 111. The contact portion 112 contacts a screw fastened to the probe card and transmits the rotational force transmitted from the body portion 111 to the screw.

스프링(113)은, 몸체부(111)의 내부에 삽입된 탄성부재로서, 접촉부(112)가 탄성을 가지도록 일단은 몸체부(111)에 지지되고 타단은 접촉부(112)의 타단에 접촉된다.The spring 113 is an elastic member inserted into the inside of the body portion 111. The contact portion 112 is supported on the body portion 111 at one end so as to have elasticity and the other end is contacted with the other end of the contact portion 112 .

따라서, 프로브 카드(300)에 체결되는 복수의 나사가 동일 수평선상에 위치하지 않을 경우 접촉부(112)의 일부가 나사에 접촉되지 않는 문제점에 있어서, 접촉부(112)가 탄성되어 복수의 나사에 모두 접촉되는 효과가 있다.Therefore, when a plurality of screws fastened to the probe card 300 are not located on the same horizontal line, a problem arises that a part of the contact portion 112 does not contact the screw, so that the contact portion 112 is resilient, There is a contact effect.

구동부지지판(120)은, 구동부(130) 및 보조구동부(140)의 하부를 지지하는 지지부재로서, 도 4에 나타낸 바와 같이 구동부(130) 및 보조구동부(140)가 접하는 면은 평판으로 형성되며, 구동부(130)의 하부를 지지하는 제1 구동부지지판(121) 및 보조구동부(140)의 하부를 지지하는 제2 구동부지지판(122)을 포함한다.The driving part supporting plate 120 is a supporting member for supporting the lower parts of the driving part 130 and the auxiliary driving part 140. The surface where the driving part 130 and the auxiliary driving part 140 are in contact with each other is formed as a flat plate A first driving part support plate 121 for supporting the lower part of the driving part 130 and a second driving part supporting plate 122 for supporting the lower part of the auxiliary driving part 140.

구동부지지판(120)은, 체결부(110) 및 구동부(130)와 구동부(130) 및 보조구동부(140) 사이를 연결하기 위한 복수의 연결홀(123)이 형성된다.The driving part support plate 120 is formed with a plurality of connection holes 123 for connecting the coupling part 110 and the driving part 130 with the driving part 130 and the auxiliary driving part 140.

체결부(110), 구동부(130) 및 보조구동부(140)는 연결홀(123)을 관통하는 연결봉(170)에 결합되어 동일 방향으로 회전된다.The coupling part 110, the driving part 130 and the auxiliary driving part 140 are coupled to the connecting rod 170 passing through the connecting hole 123 and rotated in the same direction.

이때, 연결봉(170)이 원활하게 회전을 하도록 연결홀(123)과 연결봉(170) 사이에는 베어링이 설치될 수 있다.At this time, a bearing may be installed between the connection hole 123 and the connection rod 170 so that the connection rod 170 smoothly rotates.

구동부(130)는, 복수의 체결부(110)에 회전력을 전달하는 복수의 구동수단으로서, 복수의 구동부(130) 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하게 되며, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이 제1 구동부(131), 제2 구동부(132), 제3 구동부(133), 제4 구동부(134) 및 제5 구동부(135)를 포함한다.The driving unit 130 includes a plurality of driving units for transmitting rotational force to the plurality of coupling units 110. When at least one of the plurality of driving units 130 rotates, And includes a first driving unit 131, a second driving unit 132, a third driving unit 133, a fourth driving unit 134, and a fifth driving unit 135, as shown in FIG.

복수의 구동부(130)가 서로 연동될 수 있도록 회전력을 전달하는 매개수단으로 연동부(150)가 설치되며, 연동부(150)는 기어로 구성된 제1 연동부(151) 및 타이밍벨트로 구성된 제2 연동부(152)를 포함한다.The interlocking portion 150 is provided as an intermediate means for transmitting a rotational force so that the plurality of the driving portions 130 can be interlocked with each other. The interlocking portion 150 includes a first interlocking portion 151 composed of gears, 2 interlocking portion 152, as shown in FIG.

제1 구동부(131)는, 복수의 구동부 중 핸들부(190)와 연동되도록 설치된 기어로서, 핸들부(190)로부터 전달받은 회전력을 복수의 제2 구동부(132)로 전달하게 된다.The first driving part 131 is a gear installed to interlock with the handle part 190 among the plurality of driving parts and transmits the rotational force transmitted from the handle part 190 to the plurality of second driving parts 132.

이때, 제1 구동부(131)는 작업자의 힘으로 핸들을 돌려 회전력을 얻는 핸들부(190) 이외에도 모터 등 전기적으로 회전력을 발생시키는 동력원을 통해 회전력을 얻을 수도 있다.At this time, the first driving unit 131 may obtain a rotational force through a power source that generates a rotational force electrically, such as a motor, in addition to the handle unit 190 that obtains the rotational force by turning the handle by the force of the operator.

또한, 제1 구동부(131)는 복수의 구동부(130) 중 중앙에 배치된 기어로만 해석되지 않으며, 핸들부(190)로부터 회전력을 받아 복수의 제2 구동부(132)에 회전력을 전달하는 기어로 해석되는 것이 바람직하다.The first driving unit 131 is a gear that is not interpreted only as a gear disposed at the center among the plurality of driving units 130 and transmits rotational force to the plurality of second driving units 132 under the rotational force from the handle unit 190 It is preferable to be interpreted.

제2 구동부(132)는, 제1 구동부(131)와 연동되도록 이격 설치된 기어로서, 도 7에 나타낸 바와 같이, 제1 구동부(131)로부터 기어로 구성된 제1 연동부(151)에 의해 회전력을 전달받아 제1 구동부(131)와 동일 방향으로 회전하게 된다.7, the second drive portion 132 is a gear installed so as to be interlocked with the first drive portion 131. The second drive portion 132 includes a first driven portion 151 formed of gears from the first drive portion 131, And is rotated in the same direction as the first driving unit 131.

이때, 제1 연동부(151)는 양측에 설치된 제1 구동부(131) 및 제2 구동부(132)가 동일 방향으로 정회전하도록 반대 방향으로 역회전하게 된다.At this time, the first interlocking part 151 rotates in the opposite direction in the opposite direction so that the first driving part 131 and the second driving part 132 installed on both sides are rotated in the same direction.

제3 구동부(133)는, 제2 구동부(132)와 연동되도록 이격 설치된 기어로서, 도 8에 나타낸 바와 같이, 제2 구동부(132)로부터 타이밍벨트로 구성된 제2 연동부(152)에 의해 회전력을 전달받아 제2 구동부(132)와 동일 방향으로 회전하게 된다.8, the third driving part 133 is a gear installed so as to be interlocked with the second driving part 132. The third driving part 133 is rotated by the second interlocking part 152 constituted by the timing belt from the second driving part 132, And is rotated in the same direction as that of the second driving unit 132.

이때, 제2 연동부(152)는 양측에 설치된 제2 구동부(132) 및 제3 구동부(133)가 동일 방향으로 정회전하도록 동일 방향으로 정회전하게 된다.At this time, the second interlocking part 152 is rotated in the same direction so that the second driving part 132 and the third driving part 133 installed on both sides are rotated in the same direction.

제4 구동부(134)는 제3 구동부(133)에 연동되도록 설치된 기어로서, 제3 구동부(133)로부터 제2 연동부(152)에 의해 회전력을 전달받아 제3 구동부(133)와 동일 방향으로 회전하게 된다.The fourth driving unit 134 is a gear installed to be coupled to the third driving unit 133 and receives a rotational force from the third driving unit 133 by the second synchronized unit 152 to rotate in the same direction as the third driving unit 133 .

제5 구동부(135)는 제4 구동부(134)에 연동되도록 설치된 기어로서, 제4 구동부(134)로부터 제2 연동부(152)에 의해 회전력을 전달받아 제4 구동부(134)와 동일 방향으로 회전하게 된다.The fifth driving unit 135 is a gear installed to interlock with the fourth driving unit 134 and receives a rotational force from the fourth driving unit 134 by the second interlocking unit 152 and rotates in the same direction as the fourth driving unit 134 .

제2 구동부(132), 제3 구동부(133) 및 제4 구동부(134)는 복수의 연동부(150)와 접할 수 있도록 제1 기어부(130a) 및 제2 기어부(130b)를 포함한다.The second driving part 132, the third driving part 133 and the fourth driving part 134 include a first gear part 130a and a second gear part 130b so as to be in contact with the plurality of interlocking parts 150 .

제2 구동부(132)를 참고하여 설명하면, 제1 기어부(130a)는 제1 연동부(151)와 접하는 기어이고, 제2 기어부(130b)는 제2 연동부(152)와 접하는 기어일 수 있다.The first gear portion 130a is a gear in contact with the first linked portion 151 and the second gear portion 130b is a gear in contact with the second linked portion 152. [ Lt; / RTI >

제1 기어부(130a) 및 제2 기어부(130b)는 수직 위치에서 개별로 설치되어 복수의 연동부(150)와 접하거나, 복수의 연동부(150)가 각각 접하는 부위가 마련될 수 있도록 큰 높이로 형성되어 접하는 부위에 따라 제1 기어부(130a) 및 제2 기어부(130b)로 구분될 수 있다. The first gear portion 130a and the second gear portion 130b may be individually provided at vertical positions so that a portion contacting each of the plurality of interlocking portions 150 or contacting each of the plurality of interlocking portions 150 may be provided And may be divided into a first gear portion 130a and a second gear portion 130b according to a portion that is formed at a large height and contacts with each other.

따라서, 제2 구동부(132), 제3 구동부(133) 및 제4 구동부(134)는 제1 기어부(130a) 및 제2 기어부(130b)를 통해 복수의 연동부(150)를 동시에 연동할 수 있게 되는 것이다.Accordingly, the second driving unit 132, the third driving unit 133 and the fourth driving unit 134 simultaneously operate the plurality of interlocking units 150 through the first gear unit 130a and the second gear unit 130b, It will be possible to do.

구동부(130)가 다수의 기어로 구성되어 있어 구동부(130) 중 어느 하나가 손상되는 경우 이로부터 회전력을 제공받는 체결부(110)가 동일한 간격으로 회전하지 않아 프로브 카드에 나사가 제대로 체결되지 않을 수 있으므로, 이러한 경우를 해결하기 위해, 본 발명은 회전력을 재연동하는 보조구동부(140) 및 회전가이드(160)를 해결수단으로 제안한다.When the driving unit 130 is composed of a plurality of gears and any one of the driving units 130 is damaged, the coupling unit 110, which receives rotational force from the driving unit 130, does not rotate at the same interval, In order to solve such a case, the present invention proposes an auxiliary drive unit 140 and a rotation guide 160 for re-interlocking the rotational force as a solution.

보조구동부(140)는, 복수의 구동부(130)에 회전력을 재연동하는 복수의 보조구동수단으로서, 복수의 보조구동부 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하게 되며, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이 제1 보조구동부(141), 제2 보조구동부(142) 및 제3 보조구동부(143)를 포함한다.The auxiliary driving unit 140 includes a plurality of auxiliary driving units for re-interlocking rotation of the plurality of driving units 130. When at least one of the plurality of auxiliary driving units rotates, the auxiliary driving unit 140 rotates in the same direction, And includes a first sub-driver 141, a second sub-driver 142, and a third sub-driver 143 as shown in FIG.

제1 보조구동부(141)는, 복수의 보조구동부 중 제1 구동부(131)와 함께 연결봉에 결합되어 제1 구동부(131)와 연동되어 동일 방향으로 회전되도록 설치된 기어로서, 핸들부(190)로부터 전달받은 회전력을 복수의 보조구동부(140)로 전달하게 된다.The first auxiliary driving unit 141 is a gear coupled to the connecting rod together with the first driving unit 131 of the plurality of auxiliary driving units and interlocked with the first driving unit 131 to be rotated in the same direction, And transmits the received rotational force to the plurality of sub-drivers 140. [

제2 보조구동부(142)는, 제1 보조구동부(141)와 연동되도록 이격 설치된 기어로서, 제1 보조구동부(141)로부터 기어로 구성된 제1 연동부(151)에 의해 회전력을 전달받아 제1 보조구동부(141)와 동일 방향으로 회전하게 된다.The second auxiliary driving unit 142 is a gear installed to be interlocked with the first auxiliary driving unit 141 and receives a rotational force from the first auxiliary driving unit 141 by the first interlocked unit 151, And rotates in the same direction as the auxiliary driving unit 141.

또한, 제2 보조구동부(142)는, 제3 구동부(133)와 함께 연결봉(170)에 결합되어 제3 구동부(133)와 연동되어 동일 방향으로 회전하게 된다.The second auxiliary driving unit 142 is coupled to the connecting rod 170 together with the third driving unit 133 so as to be rotated in the same direction by interlocking with the third driving unit 133.

제3 보조구동부(143)는, 제2 보조구동부(142)와 이격 설치된 기어로서, 제4 구동부(134)와 함께 연결봉(170)에 결합되어 제4 구동부(134)와 동일 방향으로 회전하게 된다.The third auxiliary driving unit 143 is coupled to the connecting rod 170 together with the fourth driving unit 134 and rotates in the same direction as the fourth driving unit 134, .

보조구동부(140)의 직경은 구동부(130)의 직경보다 작거나 크게 형성될 수 있다.The diameter of the auxiliary driving part 140 may be smaller or larger than the diameter of the driving part 130. [

이는, 보조구동부(140)와 구동부(130)의 직경 차이에 따라 동작 환경이 달라지므로 마모 등에 의한 손상이 발생하는 위치가 다르게 된다.This is because the operating environment varies depending on the difference in diameter between the auxiliary driving unit 140 and the driving unit 130, and thus the position where the damage is caused by wear or the like is different.

따라서, 구동부(130) 중 어느 하나가 손상되는 경우에도 보조구동부(140)는 동일한 위치에 손상이 발생하지 않아 체결부(110)가 동일한 간격으로 계속 회전하도록 하는 효과가 있다.Therefore, even if any one of the driving units 130 is damaged, the auxiliary driving unit 140 does not cause damage at the same position, and thus, the coupling units 110 are continuously rotated at the same intervals.

회전가이드(160)는 구동부(130)의 회전력을 재연동하는 제1 회전가이드(161) 및 보조구동부(140)의 회전력을 재연동하는 제2 회전가이드(162)를 포함한다.The rotation guide 160 includes a first rotation guide 161 for re-connecting the rotational force of the driving unit 130 and a second rotation guide 162 for re-interlocking the rotational force of the auxiliary driving unit 140.

제1 회전가이드(161)는, 제2 구동부(132) 및 제5 구동부(135)의 외곽둘레에 치합되어 회전하도록 설치되고, 내주면에 치형이 형성된 원 형상의 회전가이드이다.The first rotation guide 161 is a circular rotation guide provided on the outer periphery of the second drive portion 132 and the fifth drive portion 135 so as to rotate and meshed with a tooth on the inner peripheral surface.

제1 회전가이드(161)는, 제2 구동부(132) 및 제5 구동부(135)와 연동되어 동일 방향으로 회전한다.The first rotation guide 161 interlocks with the second driving unit 132 and the fifth driving unit 135 and rotates in the same direction.

제1 구동부(131), 제2 구동부(132), 제3 구동부(133), 제4 구동부(134) 및 제5 구동부(135) 순서로 전달되는 회전력을 제1 회전가이드(161)가 복수의 제2 구동부(132) 및 복수의 제5 구동부(135)와 함께 회전함으로써 회전력을 재연동한다.The rotational force transmitted in the order of the first driving part 131, the second driving part 132, the third driving part 133, the fourth driving part 134 and the fifth driving part 135 is transmitted to the first rotation guide 161 And rotates together with the second driving unit 132 and the plurality of fifth driving units 135 to rotate the rotating force.

예를 들어, 제2 구동부(132)가 손상되어 제3 구동부(133)로 전단하는 회전력이 손실되는 경우 제3 구동부(133), 제4 구동부(134) 및 제5 구동부(135)는 정상적인 회전력을 전달받지 못하고 손실된 회전력을 전달 받아 회전되므로 정상적인 구동부(130)보다 느리게 회전된다.The third drive unit 133, the fourth drive unit 134, and the fifth drive unit 135 may be rotated at a normal rotational speed in the case where the second drive unit 132 is damaged and the rotational force for shearing the third drive unit 133 is lost. And is rotated more slowly than the normal driving unit 130 because it is rotated by receiving the lost rotational force.

이때, 정상적인 회전력을 전달받아 회전하는 제2 구동부(132) 및 제5 구동부(135)로부터 회전력을 전달받은 제1 회전가이드(161)가 역으로 손실된 회전력을 전달받아 회전하는 제2 구동부(132) 및 제5 구동부(135)에 정상적인 회전력을 전달하므로 손실된 회전력을 전달받아 회전하는 제3 구동부(133), 제4 구동부(134) 및 제5 구동부(135)가 정상적인 회전력을 전달받아 회전하도록 재연동된다.In this case, the second driving unit 132 that receives the normal rotational force and the second driving unit 132 that receives the rotational force from the fifth driving unit 135, The fourth driving unit 134 and the fifth driving unit 135 that receive the rotational force and transmit the normal rotational force to the fifth driving unit 135 and rotate Re-interlocked.

따라서, 제1 회전가이드(161)는, 복수의 제2 구동부(132) 및 복수의 제5 구동부(135)와 연동되어 회전하면서 구동부(130) 중 어느 하나가 손상되는 경우에도 체결부(110)가 동일한 간격으로 회전하도록 하는 효과가 있다.Accordingly, the first rotation guide 161 can rotate in conjunction with the plurality of the second driving units 132 and the plurality of the fifth driving units 135, so that even if any one of the driving units 130 is damaged, So as to rotate at the same interval.

제2 회전가이드(162)는, 제2 보조구동부(142) 및 제3 보조구동부(143)의 외곽둘레에 치합되어 회전하도록 설치되고, 내주면에 치형이 형성된 원 형상의 회전가이드이다.The second rotation guide 162 is a circular rotation guide provided on the outer periphery of the second subordinate drive portion 142 and the third subordinate drive portion 143 so as to rotate and has a tooth on the inner peripheral surface.

제2 회전가이드(162)는, 제2 보조구동부(142) 및 제3 보조구동부(143)와 연동되어 동일 방향으로 회전한다.The second rotation guide 162 is interlocked with the second sub driver 142 and the third sub driver 143 and rotates in the same direction.

제1 보조구동부(141), 제2 보조구동부(142) 및 제3 보조구동부(143) 순서로 전달되는 회전력을 제2 회전가이드(162)가 복수의 제2 보조구동부(142) 및 제3 보조구동부(143)과 함께 회전함으로써 회전력을 재연동한다.The second rotation guide 162 is rotated in the order of the first sub-driver 141, the second sub-driver 142 and the third sub-driver 143 in order of the second sub-driver 142 and the third sub- And rotates together with the driving unit 143 to rotate again.

따라서, 제2 회전가이드(162)는, 제1 회전가이드(161)과 동일하게 복수의 제2 보조구동부(142) 및 제3 보조구동부(143)과 연동되어 회전하면서 보조구동부(140) 중 어느 하나가 손상되는 경우에도 체결부(110)가 동일한 간격으로 회전하도록 하는 효과가 있다.Accordingly, the second rotation guide 162 rotates in conjunction with the plurality of second sub driver 142 and the third sub driver 143 in the same manner as the first rotation guide 161, There is an effect that the fastening portions 110 are rotated at equal intervals even if one is damaged.

앞서 설명한 바와 같이 구동부(130), 보조구동부(140) 및 회전가이드(160)는 서로 복합적으로 연동되어 구동부(130), 보조구동부(140) 및 회전가이드(160) 중 어느 하나가 손상되는 경우에도 체결부(110)가 동일한 간격으로 회전하도록 상호 회전력을 보완하는 효과가 있다.As described above, the driving unit 130, the auxiliary driving unit 140, and the rotation guide 160 are interlocked with each other so that even when any one of the driving unit 130, the auxiliary driving unit 140, and the rotation guide 160 is damaged There is an effect that the mutual rotational force is supplemented so that the fastening portions 110 rotate at the same interval.

커버부(180)는, 구동부(130)와 보조구동부(140)의 상부를 커버하는 커버부재로서, 구동부(130) 및 보조구동부(140)와 핸들부(190)를 연결하도록 관통홀이 형성된다.The cover 180 covers the upper portion of the driving unit 130 and the auxiliary driving unit 140 and has a through hole to connect the driving unit 130 and the auxiliary driving unit 140 to the handle unit 190 .

도 9에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 프로브 카드 조립 장치(500)는, 프로브 카드용 나사 체결 장치(100), 스테이지부(510) 및 승강구동부(520)를 포함한다.As shown in Fig. 9, the probe card assembling apparatus 500 of this embodiment includes a screw coupling apparatus 100 for a probe card, a stage 510, and an elevation driving unit 520. Fig.

프로브 카드(300)는 복수의 프로브핀(310), 공간변환기(320) 및 PCB(330)를 포함한다.The probe card 300 includes a plurality of probe pins 310, a spatial transformer 320, and a PCB 330.

스테이지부(510)는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 프로브 카드(300)를 조립 시 지지하기 위한 지그이며, 제1 공간부(511), 제2공간부(512) 및 제3 공간부(513)을 포함한다.10, the stage unit 510 is a jig for supporting the probe card 300 when assembled. The stage unit 510 includes a first space unit 511, a second space unit 512, and a third space unit 513 ).

제1 공간부(511)는 수평 단면이 원 형상이고, 복수의 프로브핀(310)이 바닥으로부터 이격하여 위치하는 공간이다.The first space portion 511 is circular in horizontal section and is spaced apart from the bottom by a plurality of probe pins 310.

제2 공간부(512)는 수평 단면이 원 형상이고, 공간변환기(320)가 거치되어 위치하는 공간이다.The second spatial section 512 has a circular cross-section in the horizontal section, and is a space in which the spatial transducer 320 is mounted.

제1 공간부(511) 및 제2 공간부(512)는 수직 단면이 계단 형상으로 형성되어, 제2 공간부(512)의 직경은 제1 공간부(511)의 직경보다 큰 것이 바람직하다.The first space portion 511 and the second space portion 512 may have a stepped vertical section and a diameter of the second space portion 512 may be larger than a diameter of the first space portion 511.

제3 공간부(513)는 수평 단면이 원 형상이고, 공간변환기(320)와 PCB(330) 사이에 형성되는 공간이다.The third space 513 is circular and has a horizontal cross section and is formed between the space transformer 320 and the PCB 330.

제3 공간부(513)의 직경은 제2 공간부(512)의 직경보다 큰 것이 바람직하다.The diameter of the third space portion 513 is preferably larger than the diameter of the second space portion 512.

또한, 제3 공간부(513)에는 진공펌프와 연결된 흡기구가 형성되고, PCB(330)의 직경보다 작게 형성되어 상부에 PCB(330)가 거치되어 제3 공간부(513)는 밀폐되도록 하는 것이 바람직하다.An inlet port connected to the vacuum pump is formed in the third space portion 513 and is formed smaller than the diameter of the PCB 330 so that the PCB 330 is mounted on the upper portion of the third space portion 513 to seal the third space portion 513 desirable.

이때, 제3 공간부(513)의 밀폐율을 높이기 위해, 제2 공간부(512)의 공간변환기(320)가 거치되는 거치면에는 고무링 등으로 구성된 제1 밀폐부재(513a)가 개재되고, PCB(330)가 거치되는 거치면에는 고무링 등으로 구성된 제2 밀폐부재(513b)가 개재될 수 있다.At this time, in order to increase the sealing ratio of the third space portion 513, a first sealing member 513a composed of a rubber ring or the like is interposed on the mounting surface where the space converter 320 of the second space portion 512 is mounted, A second sealing member 513b composed of a rubber ring or the like may be interposed on the mounting surface on which the PCB 330 is mounted.

제3 공간부(513)를 밀폐하면, PCB(330)가 제3 공간부(513)로 당겨져 평탄하게 밀착되고, 밀착된 상태에서 프로브 카드(300)를 조립하면 프로브 카드(300)의 평탄도가 향상되는 효과가 있다.When the third space 513 is closed, the PCB 330 is pulled into the third space 513 and is brought into flat contact with the third space 513. When the probe card 300 is assembled in a close contact state, the flatness of the probe card 300 Is improved.

승강구동부(520)는, 도 9 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 프로브 카드(300)를 승강하는 승강구동수단이며, 회전가능하게 설치된 레버(521), 레버(521)의 회전에 연동되어 회전하는 볼스크류(522), 볼스크류(522)의 회전을 승강 구동으로 변환하는 승강링크(523)를 포함한다.9 and 11, the lifting drive unit 520 is an elevation driving means for lifting and lowering the probe card 300 and includes a lever 521 provided rotatably, a lever 521 rotated in conjunction with rotation of the lever 521 A ball screw 522, and a lifting link 523 that converts the rotation of the ball screw 522 into a lifting drive.

승강링크(523)는, 볼스크류(522)의 양단에 각각 설치되어 회전에 의해 서로 반대 방향으로 이송되어 이격거리가 신축되는 한쌍의 이송블럭(523a), 한쌍의 이송블럭(523a)에 하단이 힌지결합되어 상방에서 서로 교차하도록 설치된 한쌍의 교차바(523b), 한쌍의 교차바(523b)의 상단이 힌지결합되어 한쌍의 교차바(523b) 사이의 상단 이격거리를 일정하게 유지하는 고정테이블(523c)을 포함한다.The lifting and lowering link 523 includes a pair of conveying blocks 523a that are respectively installed at both ends of the ball screw 522 and are conveyed in opposite directions by rotation to expand and contract the spacing distance and a pair of conveying blocks 523a, A pair of crossover bars 523b hinged to each other so as to intersect with each other at an upper portion of the crossover bar 523b and a pair of crossover bars 523b hinged to the upper ends of the pair of crossover bars 523b to maintain a constant upper- 523c.

따라서, 승강링크(523)는, 레버(521)를 일방향으로 회전시키는 경우 볼스크류(522)가 일방향으로 회전하고, 볼스크류(522)의 회전에 의해 한쌍의 이송블럭(523a) 간에 이격거리가 좁아져 한쌍의 교차바(523b)의 높이가 높아지고, 한쌍의 교차바(523b)에 결합된 고정테이블(523c)이 상승하므로 고정테이블(523c) 상부에 안착되는 프로브 카드(300)가 결과적으로 상승하게 된다.Therefore, when the lever 521 is rotated in one direction, the ball screw 522 rotates in one direction, and the distance between the pair of the transfer blocks 523a is reduced by the rotation of the ball screw 522 The height of the pair of intersecting bars 523b becomes narrow and the fixing table 523c coupled to the pair of intersecting bars 523b rises. Therefore, the probe card 300, which is seated on the fixing table 523c, .

또한, 반대로 레버(521)를 타방향으로 회전시키는 경우 볼스크류(522)가 타방향으로 회전하고, 볼스크류(522)의 회전에 의해 한쌍의 이송블럭(523a) 간에 이격거리가 넓어져 한쌍의 교차바(523b)의 높이가 낮아지고, 한쌍의 교차바(523b)에 결합된 고정테이블(523c)이 하강하므로 고정테이블(523c) 상부에 안착되는 프로브 카드(300)가 결과적으로 하강하게 된다.Conversely, when the lever 521 is rotated in the other direction, the ball screw 522 rotates in the other direction, and the distance between the pair of conveying blocks 523a is increased by the rotation of the ball screw 522, The height of the intersection bar 523b is lowered and the fixed table 523c coupled to the pair of intersecting bars 523b is lowered so that the probe card 300 that is seated on the fixed table 523c eventually descends.

승강구동부(520)는 바닥과 이격되도록 바닥을 지지하는 베이스부재인 베이스부(530) 상부에 설치되는 것이 바람직하다.The elevation drive unit 520 is preferably installed above the base unit 530, which is a base member for supporting the floor so as to be separated from the floor.

가이드부(540)는, 베이스부(530)의 외곽둘레에 설치된 가이드부재로서, 베이스부(530)의 상부에 수직 길이방향으로 설치된 가이드로 이루어져 프로브 카드용 나사 체결 장치(100)를 지지하며, 나아가 승강구동부(520)의 승강을 가이드할 수 있다.The guide portion 540 is a guide member provided around the outer periphery of the base portion 530 and is formed by a guide provided in the vertical direction on the upper portion of the base portion 530 to support the probe card screw fastening device 100, Furthermore, it is possible to guide the lifting and lowering movement of the lifting drive part 520.

따라서, 승강구동부(520)를 사용함으로써 프로브 카드(300)를 손쉽게 원하는 위치로 승강할 수 있어 프로브 카드(300)의 조립을 편리하게 할 수 있는 효과가 있다.Therefore, by using the elevation driving unit 520, the probe card 300 can be easily raised and lowered to a desired position, thereby facilitating the assembly of the probe card 300.

이상 설명한 본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러 가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서 상기 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안 된다. The present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. Therefore, the above embodiments are merely illustrative in all respects and should not be construed as limiting.

110: 체결부 120: 구동부지지판
130: 구동부 140: 보조구동부
150: 연동부 160: 회전가이드
170: 연결봉 180: 커버부
190: 핸들부 510: 스테이지부
520: 승강구동부 530: 베이스부
540: 가이드부110: fastening part 120: driving part supporting plate
130: driving part 140: auxiliary driving part
150: interlocking part 160: rotation guide
170: connecting rod 180: cover part
190: handle portion 510: stage portion
520: lifting opening 530: base portion
540: guide portion

Claims (20)

프로브 카드에 체결되는 복수의 나사;
상기 복수의 나사에 접촉되어 상기 복수의 나사와 함께 회전하는 복수의 체결부; 및
상기 복수의 체결부에 회전력을 전달하는 복수의 구동부;를 포함하고,
상기 복수의 구동부는 상기 복수의 구동부 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.A plurality of screws fastened to the probe card;
A plurality of fastening portions in contact with the plurality of screws and rotated together with the plurality of screws; And
And a plurality of driving portions for transmitting rotational force to the plurality of fastening portions,
Wherein the plurality of driving units interlock with each other when the at least one of the plurality of driving units rotates and rotate in the same direction. 제 1 항에 있어서,
상기 복수의 구동부는,
제1 구동부; 및
상기 제1 구동부와 이격 설치된 제2 구동부;를 포함하고,
상기 제1 구동부와 상기 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제1 구동부의 회전력을 상기 제2 구동부로 전달하는 연동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of driving units comprise:
A first driver; And
And a second driving unit spaced apart from the first driving unit,
And an interlocking part for transmitting the rotational force of the first driving part to the second driving part so that the first driving part and the second driving part rotate forward in the same direction. 제 2 항에 있어서,
상기 복수의 구동부는, 상기 복수의 구동부와 연동되어 동일 방향으로 회전하는 복수의 보조구동부;를 포함하고,
상기 복수의 보조구동부는, 상기 복수의 보조구동부 중 적어도 어느 하나가 회전하면 서로 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the plurality of driving units include a plurality of auxiliary driving units interlocked with the plurality of driving units and rotating in the same direction,
Wherein the plurality of sub-driving units interlock with each other when the at least one of the plurality of sub-driving units rotates and rotate in the same direction. 제 3 항에 있어서,
상기 복수의 보조구동부는,
제1 보조구동부; 및
상기 제1 보조구동부와 이격 설치된 제2 보조구동부;를 포함하고,
상기 제1 보조구동부와 상기 제2 보조구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제1 보조구동부의 회전력을 상기 제2 보조구동부로 전달하는 연동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.The method of claim 3,
Wherein the plurality of sub-
A first sub driver; And
And a second auxiliary driving unit disposed apart from the first auxiliary driving unit,
And an interlocking part for transmitting the rotational force of the first sub-driving part to the second sub-driving part so that the first sub-driving part and the second sub-driving part rotate forward in the same direction, . 제 2 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 연동부는 기어로 구성되고,
상기 연동부는 양측에 배치된 제1 구동부 및 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 반대 방향으로 역회전하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.The method according to claim 2 or 4,
The interlocking portion is constituted by gears,
Wherein the interlocking portion reversely rotates in the opposite direction so that the first driving portion and the second driving portion disposed on both sides of the interlocking portion rotate forward in the same direction. 제 2 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 연동부는 타이밍벨트로 구성되고,
상기 연동부는 양측에 배치된 제1 구동부 및 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 동일 방향으로 정회전하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.The method according to claim 2 or 4,
Wherein the interlocking portion comprises a timing belt,
Wherein the interlocking portion is rotated in the same direction so that the first driving portion and the second driving portion disposed on both sides of the interlocking portion rotate forward in the same direction. 제 2 항에 있어서,
상기 제2 구동부의 외곽둘레에 치합되어 회전하도록 설치되고, 내주면에 치형이 형성된 원 형상의 제1 회전가이드;를 포함하고,
상기 제1 회전가이드는 상기 제2 구동부와 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.3. The method of claim 2,
And a circular first rotating guide provided on the outer periphery of the second driving part so as to be rotated so as to rotate,
Wherein the first rotation guide is interlocked with the second driving unit and rotates in the same direction. 제 4 항에 있어서,
상기 제2 보조구동부의 외곽둘레에 치합되어 회전하도록 설치되고, 내주면에 치형이 형성된 원 형상의 제2 회전가이드;를 포함하고,
상기 제2 회전가이드는 상기 제2 보조구동부와 연동되어 동일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.5. The method of claim 4,
And a circular second rotating guide which is fitted to the outer periphery of the second subordinate driving portion so as to rotate so as to be rotatable and has a tooth formed on an inner peripheral surface thereof,
Wherein the second rotation guide is interlocked with the second sub-driver and rotates in the same direction. 제 1 항에 있어서,
상기 체결부 및 상기 구동부는 구동부지지판을 사이에 두고 배치되고,
상기 체결부 및 상기 구동부는 상기 구동부지지판을 관통하는 연결봉에 결합되어 동일 방향으로 회전되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.The method according to claim 1,
The fastening portion and the driving portion are disposed with the driving portion supporting plate therebetween,
Wherein the fastening part and the driving part are coupled to a connecting rod passing through the driving part supporting plate and rotated in the same direction. 제 9 항에 있어서,
상기 구동부지지판 및 상기 연결봉 사이에는 베어링이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.10. The method of claim 9,
And a bearing is provided between the driving part supporting plate and the connecting rod. 제 3 항에 있어서,
상기 보조구동부의 직경은 상기 구동부의 직경보다 작거나 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.The method of claim 3,
Wherein the diameter of the auxiliary driving unit is smaller than or greater than the diameter of the driving unit. 제 1 항에 있어서,
상기 구동부는,
제1 구동부;
상기 제1 구동부와 이격 설치된 제2 구동부; 및
상기 제2 구동부와 이격 설치된 제3 구동부;를 포함하고,
상기 제1 구동부와 상기 제2 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제1 구동부의 회전력을 상기 제2 구동부로 전달하는 기어로 구성된 제1 연동부; 및
상기 제2 구동부와 상기 제3 구동부가 동일 방향으로 정회전하도록 상기 제2 구동부의 회전력을 상기 제3 구동부로 전달하는 타이밍벨트로 구성된 제2 연동부;를 포함하며,
상기 제2 구동부는,
상기 제1 연동부와 접하는 기어로 구성되는 제1 기어부; 및
상기 제2 연동부와 접하는 기어로 구성되는 제2 기어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.The method according to claim 1,
The driving unit includes:
A first driver;
A second driving unit spaced apart from the first driving unit; And
And a third driving unit disposed apart from the second driving unit,
A first interlocking part configured to transmit the rotational force of the first driving part to the second driving part so that the first driving part and the second driving part rotate forward in the same direction; And
And a timing belt configured to transmit the rotational force of the second driving unit to the third driving unit so that the second driving unit and the third driving unit rotate in the same direction,
Wherein the second driver comprises:
A first gear portion including a gear in contact with the first interlocking portion; And
And a second gear portion formed of a gear in contact with the second interlocking portion. 제 1 항에 있어서,
상기 체결부는,
상기 구동부의 하부에 결합되는 통 형상의 몸체부;
상기 몸체부의 하부에 결합되는 돌출 형상의 접촉부; 및
상기 몸체부의 내부에 삽입되고, 상기 접촉부가 탄성을 가지도록 일단은 상기 몸체부에 지지되고 타단은 상기 접촉부의 타단에 접촉되는 스프링;을 포함하는 프로브 카드용 나사 체결 장치.The method according to claim 1,
The fastening portion
A tubular body coupled to a lower portion of the driving unit;
A protruding contact portion coupled to a lower portion of the body portion; And
And a spring inserted into the body portion and having one end supported by the body portion and the other end contacting with the other end of the contact portion so that the contact portion has elasticity. 제 1 항에 기재된 프로브 카드용 나사 체결 장치를 구비하는 프로브 카드 조립 장치로서,
스테이지부;를 포함하고,
상기 프로브 카드는, 복수의 프로브핀, 공간변환기 및 PCB를 포함하며,
상기 스테이지부는,
상기 복수의 프로브핀이 바닥으로부터 이격하여 위치하는 제1 공간;
상기 공간변환기가 거치되어 위치하는 제2 공간; 및
상기 공간변환기와 상기 PCB 사이에 형성되는 제3 공간;을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 조립 장치.A probe card assembling apparatus comprising a screw fastening apparatus for a probe card according to claim 1,
And a stage portion,
The probe card includes a plurality of probe pins, a space converter, and a PCB,
The stage unit includes:
A first space in which the plurality of probe pins are located apart from the bottom;
A second space in which the spatial transducer is stationary; And
And a third space formed between the space converter and the PCB. 제 14 항에 있어서,
상기 제3 공간부는 진공펌프와 연결된 흡기구가 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 카드 조립 장치.15. The method of claim 14,
Wherein the third space is formed with an inlet port connected to the vacuum pump. 제 15 항에 있어서,
상기 제3 공간부는 수평 단면이 원 형상이고, 상부에 PCB가 거치되도록 PCB의 직경보다 작게 형성되어 밀폐되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 조립 장치.16. The method of claim 15,
Wherein the third space is formed in a circular shape with a horizontal cross section and smaller than a diameter of the PCB so that the PCB is mounted on the upper portion. 제 16 항에 있어서,
상기 제2 공간부의 상기 공간변환기가 거치되는 거치면에는 제1 밀폐부재가 개재되고,
상기 PCB가 거치되는 거치면에는 제2 밀폐부재가 개재되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 조립 장치.17. The method of claim 16,
A first sealing member is interposed on a mounting surface on which the space converter of the second space portion is mounted,
And a second sealing member is interposed on the mounting surface on which the PCB is mounted. 제 1 항에 기재된 프로브 카드용 나사 체결 장치를 구비하는 프로브 카드 조립 장치로서,
승강구동부;를 포함하고,
상기 승강구동부는,
회전가능하게 설치된 레버;
상기 레버의 회전에 따라 회전되는 볼스크류; 및
상기 볼스크류의 회전을 승강 구동으로 변환하는 승강링크;를 포함하는, 프로브 카드 조립 장치.A probe card assembling apparatus comprising a screw fastening apparatus for a probe card according to claim 1,
And a lifting mouth portion,
The lifting /
A lever rotatably installed;
A ball screw rotated according to rotation of the lever; And
And a lift link that converts the rotation of the ball screw into a lift-up drive. 제 18 항에 있어서,
상기 승강링크는,
상기 볼스크류의 양단에 각각 설치되어 회전에 의해 서로 반대 방향으로 이송되어 이격거리가 신축되는 한쌍의 이송블럭;
상기 한쌍의 이송블럭에 하단이 힌지결합되어 상방에서 서로 교차하도록 설치된 한쌍의 교차바; 및
상기 한쌍의 교차바의 상단이 힌지결합되어 한쌍의 교차바 사이의 상단 이격거리를 일정하게 유지하는 고정테이블;을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 조립 장치.19. The method of claim 18,
The elevating link includes:
A pair of conveying blocks provided at both ends of the ball screw and being transported in opposite directions by rotation to expand and contract the spacing;
A pair of crossing bars hinged to a lower end of the pair of conveying blocks so as to cross each other at an upper side; And
And a fixing table hinged to the upper ends of the pair of cross bars to maintain a constant upper end distance between the pair of cross bars. 제 19 항에 있어서,
상기 승강구동부가 바닥과 이격되도록 상기 승강구동부 하부에 설치되어 바닥을 지지하는 베이스부; 및
상기 베이스부의 상부에 수직 길이방향으로 설치되어 상기 프로브 카드용 나사 체결 장치를 지지하는 가이드부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 조립 장치.20. The method of claim 19,
A base unit installed at a lower portion of the elevation driving unit to support the floor so that the elevation driving unit is separated from the floor; And
Further comprising: a guide portion provided at an upper portion of the base portion in a vertical direction to support the screw-fastening device for the probe card.
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