KR20110114107A - Substrate transfer apparatus - Google Patents

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Abstract

본 실시 예는 기판 이송 장치에 관한 것이다. 일 측면에 따른 기판 이송 장치는 바디; 상기 바디의 내부에서 승강되기 위한 승강 기구; 및 상기 승강 기구와 연결되고, 상기 승강 기구에 대해서 상대 운동 가능하며, 기판을 이송할 수 있는 가동부를 포함하고, 상기 승강 기구는, 상기 가동부를 구동시키기 위한 구동부와, 상기 구동부의 외측에 구비되는 하우징과, 상기 하우징의 외측 공간과 상기 구동부가 위치하는 공간을 연통시키는 개구부와, 상기 개구부를 커버하는 커버 부재가 포함되고, 상기 승강 기구가 특정 위치로 상승되면, 상기 커버 부재는 상기 바디의 외부로 인출되는 것을 특징으로 한다. This embodiment relates to a substrate transfer apparatus. According to one aspect, a substrate transfer apparatus includes a body; A lifting mechanism for lifting inside the body; And a movable part connected to the elevating mechanism, capable of relative movement with respect to the elevating mechanism, and capable of transferring a substrate, wherein the elevating mechanism includes a driving unit for driving the movable unit, and an outer side of the driving unit. An opening for communicating a housing, an outer space of the housing and a space in which the driving unit is located, and a cover member covering the opening, and when the lifting mechanism is raised to a specific position, the cover member is external to the body. Characterized in that withdrawn.

Description

기판 이송 장치{Substrate transfer apparatus}Substrate transfer apparatus

본 실시 예는 기판 이송 장치에 관한 것이다. This embodiment relates to a substrate transfer apparatus.

일반적으로 기판 이송 장치는 특정 카세트에 적재된 기판을 이송하기 위한 장치이다. In general, the substrate transfer apparatus is an apparatus for transferring a substrate loaded in a specific cassette.

상기 기판 이송 장치는, 특정 위치에 설치된 상태에서 1축 이상의 좌표로 움직일 수 있도록 구성된다. 상기 기판 이송 장치는, 암 기구와 상기 암 기구를 구동시키기 위한 하나 이상의 모터가 포함된다. 상기 암 기구는 하나 이상의 암을 포함한다. 상기 암의 단부에는 기판을 지지하기 위한 엔드 이펙터(End effector)를 가지는 핸드가 구비된다. 상기 기판은, 웨이퍼(wafer), LCD 기판 등이 포함될 수 있다. The substrate transfer apparatus is configured to be movable in coordinates of one or more axes in a state of being installed at a specific position. The substrate transfer device includes an arm mechanism and one or more motors for driving the arm mechanism. The cancer device includes one or more arms. At the end of the arm is provided a hand having an end effector for supporting the substrate. The substrate may include a wafer, an LCD substrate, and the like.

위와 같이 구성되는 종래의 기판 이송 장치에 의하면, 모터가 손상되거나 모터의 교체가 필요한 경우, 상기 모터를 수리 또는 교체하기 위해서는 기판 이송 장치의 전체 또는 많은 부분을 분해하여야 하므로, 작업 시간이 증가되고 작업 효율이 저하되는 문제가 있다. According to the conventional substrate transfer apparatus configured as described above, when the motor is damaged or the motor needs to be replaced, the whole or many parts of the substrate transfer apparatus must be disassembled in order to repair or replace the motor, thereby increasing the working time and working There is a problem that the efficiency is lowered.

본 실시 예의 목적은 구동력을 발생시키는 구동부의 교체가 용이한 기판 이송 장치를 제공하는 것에 있다. An object of the present embodiment is to provide a substrate transfer device that is easy to replace the drive unit for generating a driving force.

일 측면에 다른 기판 이송 장치는, 바디; 상기 바디의 내부에서 승강되기 위한 승강 기구; 및 상기 승강 기구와 연결되고, 상기 승강 기구에 대해서 상대 운동 가능하며, 기판을 이송할 수 있는 가동부를 포함하고, 상기 승강 기구는, 상기 가동부를 구동시키기 위한 구동부와, 상기 구동부의 외측에 구비되는 하우징과, 상기 하우징의 외측 공간과 상기 구동부가 위치하는 공간을 연통시키는 개구부와, 상기 개구부를 커버하는 커버 부재가 포함되고, 상기 승강 기구가 특정 위치로 상승되면, 상기 커버 부재는 상기 바디의 외부로 인출되는 것을 특징으로 한다. Another substrate transport apparatus on one side, the body; A lifting mechanism for lifting inside the body; And a movable part connected to the elevating mechanism, capable of relative movement with respect to the elevating mechanism, and capable of transferring a substrate, wherein the elevating mechanism includes a driving unit for driving the movable unit, and an outer side of the driving unit. An opening for communicating a housing, an outer space of the housing and a space in which the driving unit is located, and a cover member covering the opening, and when the lifting mechanism is raised to a specific position, the cover member is external to the body. Characterized in that withdrawn.

다른 측면에 따른 기판 이송 장치는, 바디; 상기 바디의 내부에서 승강되기 위한 승강 기구; 상기 승강 기구에 대해서 상대 운동 가능하며, 기판을 이송할 수 있는 가동부; 상기 승강 기구와 상기 가동부를 연결하며, 상기 승강 기구에 회전 가능하게 연결되는 연결부가 포함되고, 상기 연결부는, 상기 가동부를 구동시키기 위한 구동부와, 상기 구동부의 외측에 구비되는 하우징과, 상기 하우징의 외측 공간과 상기 구동부가 위치하는 공간을 연통시키는 개구부와, 상기 개구부를 커버하는 커버 부재가 포함되고, 상기 승강 기구가 특정 위치로 상승되면, 상기 커버 부재는 상기 바디의 외부로 인출되는 것을 특징으로 한다. According to another aspect, a substrate transfer device includes a body; A lifting mechanism for lifting inside the body; A movable part capable of relative movement with respect to the elevating mechanism and capable of transferring a substrate; A connecting part connecting the lifting mechanism and the movable part and rotatably connected to the lifting mechanism, wherein the connecting part includes a driving part for driving the movable part, a housing provided outside the driving part, and a housing of the housing. And an opening for communicating an outer space and a space in which the driving unit is located, and a cover member for covering the opening, and when the lifting mechanism is raised to a specific position, the cover member is drawn out of the body. do.

제안되는 실시 예에 의하면, 구동부를 교체하기 위하여 상기 승강 기구를 일정 높이로 상승시킨 상태에서 상기 커버 부재 만을 분리시키면 되므로, 작업자의 편의성이 증진되는 장점이 있다.According to the proposed embodiment, since only the cover member needs to be removed in a state in which the elevating mechanism is raised to a certain height in order to replace the driving unit, the convenience of the operator is improved.

즉, 본 실시 예에 의하면, 구동부의 교체 또는 수리를 위하여 분해되어야 할 구성 요소가 최소화되므로, 작업자의 작업 효율이 증가되는 장점이 있다. That is, according to the present embodiment, since the components to be disassembled for replacement or repair of the driving unit are minimized, there is an advantage in that an operator's work efficiency is increased.

도 1은 본 실시 예에 따른 기판 이송 장치의 사시도.
도 2는 기판 이송 장치에서 승강 기구를 구성하는 커버 부재가 제거된 상태를 보여주는 사시도.
도 3은 승강 기구의 구조를 보여주는 부분 사시도.
도 4는 본 실시 예에 따른 연결부와 그 내부 구성을 보여주는 도면.
도 5는 가동부에 암 기구를 구동시키기 위한 암 구동부가 연결되는 모습을 보여주는 사시도.
도 6은 승강 기구가 최고 높이로 상승한 모습을 보여주는 사시도.
도 7은 제 2 구동부 또는 암 구동부를 교체하기 위하여 커버가 분리된 상태를 보여주는 사시도. 1 is a perspective view of a substrate transfer apparatus according to the present embodiment.
2 is a perspective view showing a state in which a cover member constituting the lifting mechanism is removed from the substrate transfer apparatus.
3 is a partial perspective view showing the structure of the lifting mechanism.
4 is a view showing a connection portion and its internal configuration according to the present embodiment.
5 is a perspective view showing a state in which an arm drive unit for driving the arm mechanism is connected to the movable unit.
6 is a perspective view showing a state in which the lifting mechanism is raised to the highest height.
7 is a perspective view illustrating a state in which a cover is removed to replace the second driving unit or the arm driving unit.

이하에서는 도면을 참조하여 실시 예에 대해서 구체적으로 설명한다. Hereinafter, exemplary embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. In describing the components of the embodiments of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are only for distinguishing the components from other components, and the nature, order or order of the components are not limited by the terms. If a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, that component may be directly connected or connected to that other component, but between components It will be understood that may be "connected", "coupled" or "connected".

도 1은 본 실시 예에 따른 기판 이송 장치의 사시도이다. 1 is a perspective view of a substrate transfer apparatus according to the present embodiment.

본 실시 예에서 제시되는 기판 이송 장치는 본 실시 예의 사상을 설명하기 위하여 예시된 것으로서, 구동부의 용이한 교체를 위한 구조를 제외한 기판 이송 장치의 다른 구조 및 형상에는 제한이 없음을 밝혀둔다. The substrate transfer apparatus presented in this embodiment is illustrated to explain the spirit of the present embodiment, and it is noted that there is no limitation on other structures and shapes of the substrate transfer apparatus except for a structure for easy replacement of the driving unit.

도 1에는 바디를 구성하는 일부 프레임이 제거된 상태가 도시된다. 1 shows a state in which some frames constituting the body are removed.

도 1을 참조하면, 본 실시 예의 기판 이송 장치(1)는 특정 위치에 설치되는 바디(10)와, 상기 바디(10)와 상대 운동 가능한 가동부(20)와, 상기 가동부(20)에 설치되는 하나 이상의 암 기구(30, 31)가 포함된다. Referring to FIG. 1, the substrate transfer apparatus 1 according to the present embodiment includes a body 10 installed at a specific position, a movable part 20 that can move relative to the body 10, and a movable part 20. One or more arm mechanisms 30, 31 are included.

상세히, 상기 바디(10)는, 베이스(101)와, 상기 베이스(101)에 설치되는 프레임(102)이 포함된다. In detail, the body 10 includes a base 101 and a frame 102 installed on the base 101.

상기 프레임(102)의 내부에는 상하 이동하는 승강 기구(110)와, 상기 승강 기구를 구동시키기 위한 제 1 구동부(130)가 구비된다. 상기 가동부(20)는 상기 승강 기구(110)의 상측부에 연결된다. An inside of the frame 102 is provided with a lifting mechanism 110 that moves up and down, and a first driving unit 130 for driving the lifting mechanism. The movable part 20 is connected to an upper portion of the elevating mechanism 110.

상기 프레임(102)의 상면에는 상기 승강 기구(110)가 관통하기 위한 홀(103)이 형성된다.The upper surface of the frame 102 is formed with a hole 103 for the lifting mechanism 110 to pass through.

상기 제 1 구동부(130)의 작동에 의해서 상기 프레임(102) 내부에 구비되는 스크류(121: 도 2참조)가 회전되어, 상기 승강 기구(110)가 상하 이동하게 된다. 상기 프레임(102) 내부에는 상기 승강 기구(110)의 상하 이동을 가이드하는 하나 이상의 가이더(122)가 구비될 수 있다. By the operation of the first driving unit 130, the screw 121 (see FIG. 2) provided in the frame 102 is rotated so that the lifting mechanism 110 moves up and down. The frame 102 may be provided with one or more guiders 122 to guide the vertical movement of the lifting mechanism 110.

본 실시 예에서 상기 승강 기구를 구동시키기 위한 제 1 구동부 및 동력 전달 구조는 공지의 구성을 사용할 수 있으므로, 자세한 설명은 생략하기로 한다. In the present embodiment, since the first driving unit and the power transmission structure for driving the lifting mechanism can use a known configuration, detailed description thereof will be omitted.

상기 하나 이상의 암 기구(30, 31)는 제 1 암 기구(30)와 제 2 암 기구(31)가 포함된다. 도 1에는 일 례로 상기 가동부(20)에 두 개의 암 기구(30, 31)가 설치되는 것이 개시되나, 상기 암 기구(30, 31)의 개수에는 제한이 없음을 밝혀둔다. The one or more arm mechanisms 30, 31 include a first arm mechanism 30 and a second arm mechanism 31. In FIG. 1, for example, two arm mechanisms 30 and 31 are installed in the movable part 20, but the number of the arm mechanisms 30 and 31 is not limited.

상기 각 암 기구(30, 31)는 상기 가동부(20)에 연결되는 제 1 암(32)과, 상기 제 1 암(32)에 회전 가능하게 연결되는 제 2 암(33)과, 상기 제 2 암(33)에 회전 가능하게 연결되는 핸드(34)를 포함한다. 상기 핸드(34)는 기판을 지지하기 위한 엔드 이펙터(35)를 포함한다. Each of the arm mechanisms 30 and 31 includes a first arm 32 connected to the movable part 20, a second arm 33 rotatably connected to the first arm 32, and the second arm 32. A hand 34 rotatably connected to the arm 33. The hand 34 includes an end effector 35 for supporting a substrate.

본 실시 예에서는 상기 각 암 기구(30, 31)가 하나의 핸드와 두 개의 암을 구비하는 것으로 설명되나, 핸드 및 암의 개수에는 제한이 없음을 밝혀둔다. 또한, 암 기구(30, 31)가 복수로 구성되는 경우, 복수의 암 기구가 동일한 구조로 형성되거나 서로 다른 구조로 형성될 수도 있다. In the present embodiment, each of the arm mechanisms 30 and 31 are described as having one hand and two arms, but the number of hands and arms is not limited. In addition, when the arm mechanisms 30 and 31 are configured in plural, the plurality of arm mechanisms may be formed in the same structure or in different structures.

또한, 본 실시 예에서는 가동부(20)와 암 기구(30, 31)를 구분하여 설명하였으나, 상기 가동부(20)에 암 기구(30, 31)가 포함될 수도 있음을 밝혀둔다. In addition, in the present embodiment, the movable part 20 and the arm mechanisms 30 and 31 have been described separately, but it is apparent that the arm mechanisms 30 and 31 may be included in the movable part 20.

도 2는 기판 이송 장치에서 승강 기구를 구성하는 커버 부재가 제거된 상태를 보여주는 사시도이고, 도 3은 승강 기구의 구조를 보여주는 부분 사시도이다. 2 is a perspective view showing a state in which a cover member constituting the lifting mechanism is removed from the substrate transfer device, and FIG. 3 is a partial perspective view showing the structure of the lifting mechanism.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 실시 예의 승강 기구는, 승강 부재(111)와, 상기 승강 부재(110)의 상면에 위치되는 하우징(112, 113)과, 상기 하우징(112, 113) 내부에 위치되며, 상기 가동부(20)를 회전시키기 위한 동력을 발생하는 제 2 구동부(140)가 포함된다. 2 and 3, the elevating mechanism of the present embodiment includes an elevating member 111, housings 112 and 113 positioned on an upper surface of the elevating member 110, and an interior of the housing 112 and 113. Located in the, the second drive unit 140 for generating power for rotating the movable part 20 is included.

상기 하우징(112, 113)은 상기 제 2 구동부(140)의 외측에 위치되어 상기 제 2 구동부(140)를 보호한다. The housings 112 and 113 are positioned outside the second driver 140 to protect the second driver 140.

상기 하우징(112, 113)은 제 1 하우징(112)과 제 2 하우징(113)이 포함된다. 상기 각 하우징(112, 113)은 서로 대응되는 형상으로 형성될 수 있다. 그리고, 상기 각 하우징(112, 113)의 양단은 서로 이격되어 배치된다. 따라서, 상기 각 하우징(112, 113) 사이에는 상기 제 2 구동부(140)를 교체하기 위한 제 1 개구부(114, 115)가 형성된다. 상기 제 2 구동부(140)는 모터를 포함할 수 있다. The housings 112 and 113 include a first housing 112 and a second housing 113. Each of the housings 112 and 113 may be formed in a shape corresponding to each other. Both ends of the housings 112 and 113 are spaced apart from each other. Accordingly, first openings 114 and 115 for replacing the second driving unit 140 are formed between the housings 112 and 113. The second driver 140 may include a motor.

위에서는 복수의 하우징(112, 113) 사이에 제 1 개구부(114, 115)가 형성되는 것으로 설명되나, 이와 달리 단일의 하우징에 제 2 구동부(140)를 교체하기 위한 제 1 개구부(114, 115)가 형성되는 것으로 설명될 수 있다. Although the first openings 114 and 115 are described above as being formed between the plurality of housings 112 and 113, the first openings 114 and 115 for replacing the second driving unit 140 in a single housing are alternatively described. ) May be described as forming.

정리하면, 상기 제 1 개구부(114, 115)는 상기 하우징(112, 113)의 외측 공간과 상기 제 2 구동부(140)가 위치한 공간(또는 하우징의 내측 공간)을 연통시키는 역할을 한다. In summary, the first openings 114 and 115 communicate with the outer space of the housings 112 and 113 and the space in which the second driving unit 140 is located (or the inner space of the housing).

상기 하우징(112, 113)의 상측에는 상부 커버(116)가 구비된다. 상기 하우징(112, 113)은 상기 상부 커버(116)와 별도의 구성이거나, 일체로 형성될 수 있다. An upper cover 116 is provided above the housings 112 and 113. The housings 112 and 113 may be separate from the upper cover 116 or may be integrally formed.

그리고, 상기 상부 커버(116)에 상기 제 2 구동부(140)가 설치되는 설치부(141)가 형성된다. 이와 달리 상기 하우징(112, 113)에 상기 설치부(141)가 형성되는 것도 가능하다. In addition, an installation unit 141 in which the second driving unit 140 is installed is formed in the upper cover 116. Alternatively, the installation unit 141 may be formed in the housings 112 and 113.

상기 상부 커버(116)의 상측에는 상기 제 2 구동부(140)와 연결되는 감속기(142)가 설치된다. 상기 감속기(142)는 도시되지 않은 동력전달부에 의해서 상기 제 2 구동부(140)와 연결될 수 있다. 상기 감속기(142)는 공지의 구조가 사용될 수 있으며, 공지의 감속기는 도시되지는 않았지만 고정부와 회전부로 구성될 수 있다. An reducer 142 connected to the second driving unit 140 is installed above the upper cover 116. The reducer 142 may be connected to the second driving unit 140 by a power transmission unit (not shown). The reducer 142 may be a known structure, a known reducer may be composed of a fixed part and a rotating part, although not shown.

상기 감속기(142)의 고정부는 상기 상부 커버(116)에 고정되고, 회전부는 상기 가동부(20)와 상기 회전부를 연결하는 연결부(150, 151, 152)에 결합된다. The fixing part of the reducer 142 is fixed to the upper cover 116, and the rotating part is coupled to the connecting parts 150, 151, and 152 connecting the movable part 20 and the rotating part.

상기 연결부(150, 151, 152)는 상기 가동부(20)와 별도의 구성이거나, 상기 가동부(20)의 일 구성 요소일 수 있다. 어느 경우에나 상기 연결부(150, 151, 152)와 상기 가동부(20)는 함께 회전한다. The connection parts 150, 151, and 152 may be separate components from the movable part 20 or may be one component of the movable part 20. In any case, the connecting portion 150, 151, 152 and the movable portion 20 rotate together.

도 4는 본 실시 예에 따른 연결부와 그 내부 구성을 보여주는 도면이고, 도 5는 가동부에 암 기구를 구동시키기 위한 암 구동부가 연결되는 모습을 보여주는 사시도이다. 4 is a view showing a connecting portion and its internal configuration according to the present embodiment, Figure 5 is a perspective view showing a state in which the arm drive for driving the arm mechanism is connected to the movable part.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 상기 연결부(150, 151, 152)는 상기 감속기(142)의 회전부와 연결되는 회전판(150)과, 상기 회전판(150)의 상측에 구비되는 제 1 연결부 하우징(151) 및 제 2 연결부 하우징(152)이 포함된다. 1 to 5, the connecting parts 150, 151, and 152 may include a rotating plate 150 connected to the rotating part of the reducer 142, and a first connecting part housing provided above the rotating plate 150. 151 and second connector housing 152 are included.

상기 제 1 연결부 하우징(151)과 제 2 연결부 하우징(152) 사이 공간(또는 연결부 내측)에는 상기 각 암 기구(30, 31)를 구동시키기 위한 제 1 암 구동부(160)와 제 2 암 구동부(170)가 위치된다. 그리고, 상기 각 암 구동부(160, 170)의 일부는 상기 가동부(20)의 내부에 위치될 수 있다. 상기 각 암 구동부(160, 170)는 모터를 포함할 수 있다. In the space between the first connector housing 151 and the second connector housing 152 (or inside the connector), a first arm driver 160 and a second arm driver for driving the respective arm mechanisms 30 and 31 ( 170 is located. A portion of each of the arm drives 160 and 170 may be located inside the movable unit 20. Each of the arm drives 160 and 170 may include a motor.

상기 각 연결부 하우징(151, 152)은 서로 대응되는 형상으로 형성될 수 있으며, 서로 이격되어 배치된다. 따라서, 상기 각 연결부 하우징(151, 152) 사이에는 상기 암 구동부(160, 170)의 교체를 위한 제 2 개구부(153, 154)가 형성된다. The connection part housings 151 and 152 may be formed in a shape corresponding to each other, and are spaced apart from each other. Accordingly, second openings 153 and 154 are formed between the connection housings 151 and 152 to replace the arm driving units 160 and 170.

위에서는 복수의 연결부 하우징(151, 152) 사이에 제 2 개구부(153, 154)가 형성되는 것으로 설명되나, 이와 달리 단일의 연결부 하우징에 암 구동부(160, 170)를 교체하기 위한 제 2 개구부(153, 154)가 형성되는 것으로 설명될 수 있다. Although the second openings 153 and 154 are described above as being formed between the plurality of connection housings 151 and 152, the second openings for replacing the arm driving units 160 and 170 in the single connection housing are different. 153 and 154 may be described as being formed.

정리하면, 상기 제 2 개구부(153, 154)는 상기 연결부 하우징(151, 152)의 외측 공간과 상기 암 구동부(160, 170)가 위치한 공간(또는 연결부 하우징의 내측 공간)을 연통시키는 역할을 한다. In summary, the second openings 153 and 154 serve to communicate the outer space of the connector housings 151 and 152 with the space where the arm drive units 160 and 170 are located (or the inner space of the connector housing). .

상기 가동부(20) 또는 상기 연결부 하우징(151, 152)에는 상기 암 구동부(160, 170)가 설치되는 설치부(230)가 형성될 수 있다. An installation unit 230 in which the arm driving units 160 and 170 are installed may be formed in the movable unit 20 or the connection unit housings 151 and 152.

상기 각 암 구동부(160, 170)의 동력은 동력전달부(210, 220)에 의해서 상기 각 암 기구(30, 31)에 독립적으로 전달될 수 있다. Power of each of the arm drives 160 and 170 may be independently transmitted to each of the arm mechanisms 30 and 31 by the power transmission units 210 and 220.

한편, 상기 승강 기구(110)에는 상기 하우징(112, 113, 151, 152)과 개구부(114, 115, 153, 154)를 동시에 커버 또는 둘러싸는 커버 부재(180)가 더 포함된다. 상기 커버 부재(180)는 상호 결합되는 두 개 이상의 부재가 포함될 수 있다. Meanwhile, the elevating mechanism 110 further includes a cover member 180 that simultaneously covers or surrounds the housings 112, 113, 151, and 152 and the openings 114, 115, 153, and 154. The cover member 180 may include two or more members coupled to each other.

상기 커버 부재(180)는, 상기 승강 부재(111), 상기 제 1 및 제 2 하우징(112, 113), 상부 커버(116) 및 회전판(150) 중 하나 이상에 일 례로 스크류 등에 의해서 분리 가능하게 결합될 수 있다. 따라서, 상기 승강 기구(110)가 승강하는 경우 상기 커버 부재(180)는 승강하나, 상기 제 2 구동부(140)에 의해서 상기 가동부(20)가 회전하는 경우 상기 커버 부재(180)는 고정된 상태를 유지하게 된다. The cover member 180 may be detachably attached to at least one of the elevating member 111, the first and second housings 112 and 113, the upper cover 116, and the rotating plate 150 by a screw or the like. Can be combined. Therefore, when the lifting mechanism 110 is elevated, the cover member 180 is elevated, but when the movable unit 20 is rotated by the second driving unit 140, the cover member 180 is fixed. Will be maintained.

본 실시 예에서는 커버 부재(180)는 하우징(112, 113, 151, 152)과 개구부(114, 115, 153, 154)를 동시에 커버하는 것으로 설명되나, 이와 달리 상기 커버 부재(180)는 상기 개구부(114, 115, 153, 154) 만을 커버하는 것도 가능하다. 따라서, 본 실시 예에서 상기 커버 부재(180)는 적어도 개구부(114, 115, 153, 154)를 커버하는 것으로 이해될 수 있다. In the present exemplary embodiment, the cover member 180 covers the housings 112, 113, 151, and 152 and the openings 114, 115, 153, and 154 at the same time. However, the cover member 180 is the opening. It is also possible to cover only (114, 115, 153, 154). Therefore, in the present embodiment, the cover member 180 may be understood to cover at least the openings 114, 115, 153, and 154.

또한, 상기 커버 부재(180)는 제 1 개구부(114, 115)와 제 2 개구부(153, 154)를 동시에 커버하나, 이와 달리 상기 커버 부재(180)는 상기 제 1 개구부(114, 115)를 커버하는 제 1 커버 부재와 제 2 개구부(153, 154)를 커버하는 제 2 커버 부재로 구성될 수도 있다. In addition, the cover member 180 covers the first openings 114 and 115 and the second openings 153 and 154 simultaneously, whereas the cover member 180 covers the first openings 114 and 115. The second cover member may be configured to cover the first cover member and the second openings 153 and 154.

이와 같이 구성되는 경우, 상기 제 2 구동부(140)에 의해서 상기 가동부(20)가 회전하는 경우, 상기 제 1 커버 부재는 고정된 상태를 유지하게 되고, 상기 제 2 커버 부재는 상기 가동부(또는 연결부)와 함께 회전하게 된다. In this case, when the movable part 20 is rotated by the second driving part 140, the first cover member is kept in a fixed state, and the second cover member is the movable part (or a connecting part). Will rotate).

이하에서는 상기 제 2 구동부 및 암 구동부의 교체 방법에 대해서 설명하기로 한다. Hereinafter, a method of replacing the second driver and the arm driver will be described.

도 6은 승강 기구가 소정 높이로 상승한 모습을 보여주는 사시도이고, 도 7은 제 2 구동부 또는 암 구동부를 교체하기 위하여 커버가 분리된 상태를 보여주는 사시도이다. 6 is a perspective view showing the lifting mechanism is raised to a predetermined height, Figure 7 is a perspective view showing a state in which the cover is removed to replace the second drive or the arm drive.

도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 제 2 구동부(140) 또는 암 구동부(160, 170)의 교체 또는 수리가 필요한 경우, 상기 승강 기구가 소정 높이(일 례로 최고 높이)로 상승하도록 한다. 그러면, 도 6과 같이 상기 커버 부재(180)가 상기 바디(10)의 외측으로 완전하게 인출된다. 물론, 상기 커버 부재(180)의 높이를 조절하는 경우에는, 상기 커버 부재(180)를 상기 바디(10)의 외측으로 완전하게 인출시켜야 하는 높이가 줄어들 수 있다. 6 and 7, when the second drive unit 140 or the arm drive units 160 and 170 need to be replaced or repaired, the elevating mechanism is raised to a predetermined height (for example, the highest height). Then, the cover member 180 is completely drawn to the outside of the body 10 as shown in FIG. Of course, in the case of adjusting the height of the cover member 180, the height to completely pull out the cover member 180 to the outside of the body 10 can be reduced.

이와 같이 커버 부재(180)가 상기 바디(10)의 외측으로 완전하게 인출된 상태에서 상기 커버 부재(180)를 상기 승강 기구(110)에서 분리시키게 된다. 그러면, 상기 제 1 개구부(114, 115) 및 제 2 개구부(153, 154)에 의해서 상기 제 2 구동부(140) 및 암 구동부(160, 170)가 외부로 노출된다. 그리고, 작업자는 상기 개구부(114, 115, 153, 154)를 통하여 상기 제 2 구동부(140) 또는 암 구동부(160, 170)를 교체하거나 수리할 수 있게 된다. As described above, the cover member 180 is separated from the lifting mechanism 110 in a state in which the cover member 180 is completely drawn out of the body 10. Then, the second driving unit 140 and the arm driving unit 160 and 170 are exposed to the outside by the first openings 114 and 115 and the second openings 153 and 154. In addition, the operator may replace or repair the second driving unit 140 or the arm driving units 160 and 170 through the openings 114, 115, 153 and 154.

이와 같은 본 실시 예에 의하면, 제 2 구동부 또는 암 구동부를 교체하기 위하여 상기 승강 기구를 상승시킨 상태에서 상기 커버 부재 만을 분리시키면 되므로, 작업자의 편의성이 증진되는 장점이 있다. According to the present embodiment as described above, since only the cover member needs to be removed while the lifting mechanism is raised to replace the second driving unit or the arm driving unit, the operator's convenience is enhanced.

즉, 본 실시 예에 의하면, 구동부의 교체 또는 수리를 위하여 분해되어야 할 구성 요소가 최소화되므로, 작업자의 작업 효율이 증가되는 장점이 있다. That is, according to the present embodiment, since the components to be disassembled for replacement or repair of the driving unit are minimized, there is an advantage in that an operator's work efficiency is increased.

10: 바디 20: 가동부
30: 제 1 암 기구 31: 제 2 암 기구
110: 승강 기구 160: 커버 부재10: body 20: movable part
30: first cancer mechanism 31: second cancer mechanism
110: lifting mechanism 160: cover member

Claims (6)

바디;
상기 바디의 내부에서 승강되기 위한 승강 기구; 및
상기 승강 기구와 연결되고, 상기 승강 기구에 대해서 상대 운동 가능하며, 기판을 이송할 수 있는 가동부를 포함하고,
상기 승강 기구는,
상기 가동부를 구동시키기 위한 구동부와,
상기 구동부의 외측에 구비되는 하우징과,
상기 하우징의 외측 공간과 상기 구동부가 위치하는 공간을 연통시키는 개구부와,
상기 개구부를 커버하는 커버 부재가 포함되고,
상기 승강 기구가 특정 위치로 상승되면, 상기 커버 부재는 상기 바디의 외부로 인출되는 기판 이송 장치. body;
A lifting mechanism for lifting inside the body; And
A movable part connected to the lifting mechanism, capable of relative movement with respect to the lifting mechanism, and capable of transferring a substrate;
The lifting mechanism,
A driving part for driving the movable part;
A housing provided outside the driving unit;
An opening for communicating an outer space of the housing with a space in which the driving unit is located;
A cover member covering the opening,
And the cover member is pulled out of the body when the lifting mechanism is lifted to a specific position. 바디;
상기 바디의 내부에서 승강되기 위한 승강 기구;
상기 승강 기구에 대해서 상대 운동 가능하며, 기판을 이송할 수 있는 가동부;
상기 승강 기구와 상기 가동부를 연결하며, 상기 승강 기구에 회전 가능하게 연결되는 연결부가 포함되고,
상기 연결부는,
상기 가동부를 구동시키기 위한 구동부와,
상기 구동부의 외측에 구비되는 하우징과,
상기 하우징의 외측 공간과 상기 구동부가 위치하는 공간을 연통시키는 개구부와,
상기 개구부를 커버하는 커버 부재가 포함되고,
상기 승강 기구가 특정 위치로 상승되면, 상기 커버 부재는 상기 바디의 외부로 인출되는 기판 이송 장치. body;
A lifting mechanism for lifting inside the body;
A movable part capable of relative movement with respect to the elevating mechanism and capable of transferring a substrate;
A connection part connecting the lifting mechanism and the movable part and rotatably connected to the lifting mechanism,
The connecting portion,
A driving part for driving the movable part;
A housing provided outside the driving unit;
An opening for communicating an outer space of the housing with a space in which the driving unit is located;
A cover member covering the opening,
And the cover member is pulled out of the body when the lifting mechanism is lifted to a specific position. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 하우징은, 제 1 하우징과, 상기 제 1 하우징과 이격되는 제 2 하우징이 포함되고,
상기 제 1 하우징과 제 2 하우징 사이에 상기 개구부가 위치되는 기판 이송 장치. The method according to claim 1 or 2,
The housing includes a first housing and a second housing spaced apart from the first housing,
And the opening is positioned between the first housing and the second housing. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 하우징에는 상기 개구부가 관통 형성되는 기판 이송 장치. The method according to claim 1 or 2,
The substrate transport apparatus through which the opening is formed through the housing. 제 1 항에 있어서,
상기 가동부에는 상기 기판을 이송하기 위한 핸드를 가지는 암 기구를 포함하고,
상기 구동부는 상기 가동부를 구동시키며,
상기 암 기구는 별도의 암 구동부에 의해서 구동되는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
The movable portion includes an arm mechanism having a hand for transferring the substrate,
The driving unit drives the movable unit,
And the arm mechanism is driven by a separate arm driver. 제 2 항에 있어서,
상기 가동부는, 상기 기판을 지지하는 핸드를 가지는 암 기구를 포함하고,
상기 구동부는 상기 암 기구를 구동시키는 기판 이송 장치. The method of claim 2,
The movable portion includes an arm mechanism having a hand for supporting the substrate,
And the driving unit drives the arm mechanism.
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