KR20180056703A - Measuring device - Google Patents

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KR20180056703A
KR20180056703A KR1020187010919A KR20187010919A KR20180056703A KR 20180056703 A KR20180056703 A KR 20180056703A KR 1020187010919 A KR1020187010919 A KR 1020187010919A KR 20187010919 A KR20187010919 A KR 20187010919A KR 20180056703 A KR20180056703 A KR 20180056703A
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쇼타 다케무라
겐지 아이자와
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가부시끼가이샤 도시바
도시바 인프라 시스템즈 가부시키가이샤
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Abstract

실시 형태에 따르면, 측정 장치는, 기초부, 한 쌍의 거리계 및 보조 부재를 갖는다. 기초부는, 하부 프레임, 상기 하부 프레임과 대향하여 설치되는 상부 프레임, 그리고, 상기 하부 프레임 및 상기 상부 프레임을 연결하는 지주를 갖는다. 한 쌍의 거리계는, 상기 하부 프레임 및 상기 상부 프레임에 각각 설치되고, 측정 대상을 통과 가능한 간극을 갖고 서로 대향하여 배치된다. 보조 부재는 상기 기초부에 설치되고, 상기 지주와 다른 선형 팽창 계수를 갖는 재료로 구성되고, 열에 의해 상기 한 쌍의 거리계의 대향하는 방향으로 팽창하는 상기 지주의 팽창량과 같은 팽창량이 되는 상기 한 쌍의 거리계의 대향하는 방향의 길이를 갖는다.According to the embodiment, the measuring apparatus has a base portion, a pair of distance meters, and an auxiliary member. The base portion has a lower frame, an upper frame opposed to the lower frame, and a column connecting the lower frame and the upper frame. A pair of distance meters are provided in the lower frame and the upper frame, respectively, and are disposed so as to face each other with a clearance that can pass through the measurement object. Wherein the auxiliary member is provided in the base portion and is made of a material having a linear expansion coefficient different from that of the support and is an amount of expansion equal to the expansion amount of the strut expanding in the opposite direction of the pair of distance meters by heat, And has a length in the opposite direction of the pair of distance meters.

Figure P1020187010919
Figure P1020187010919

Description

측정 장치Measuring device

본 발명의 실시 형태는, 측정 대상의 두께를 비접촉으로 측정하는 측정 장치에 관한 것이다.An embodiment of the present invention relates to a measuring apparatus for measuring a thickness of an object to be measured in a noncontact manner.

한 쌍의 거리계를 대향하여 설치한 틀 모양의 프레임에 측정 대상을 통과시키는 측정 장치가 알려져 있다. 이러한 측정 장치는, 미리 측정해 둔 한 쌍의 거리계 사이의 거리로부터, 측정된 각 거리계로부터 측정 대상까지의 거리를 차감함으로써, 대상물의 두께를 도출한다.A measuring device is known in which an object to be measured is passed through a frame-shaped frame provided so as to face a pair of distance meters. Such a measuring device derives the thickness of the object by subtracting the distance from the distance measurement object to the object to be measured from the distance between the pair of distance meters previously measured.

이 측정 장치에 사용되는 프레임은, 한 쌍의 거리계를 고정시키는 상부 프레임 및 하부 프레임과, 이들 상부 프레임 및 하부 프레임을 접속하는 지주를 갖는다. 지주는, 상부 프레임 및 하부 프레임의 일단 또는 양단에 설치된다.The frame used in this measuring apparatus has an upper frame and a lower frame for fixing a pair of distance meters, and a post for connecting the upper frame and the lower frame. The pillars are installed at one or both ends of the upper frame and the lower frame.

일본 특허 공개 제2004-174010호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-174010

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 열에 의해 지주의 길이가 변동해도, 높은 정밀도로 대상물의 두께를 측정할 수 있는 측정 장치를 제공하는 것이다.A problem to be solved by the present invention is to provide a measuring device capable of measuring the thickness of an object with high precision even if the length of the strut fluctuates by heat.

실시 형태에 따르면, 측정 장치는, 기초부, 한 쌍의 거리계 및 보조 부재를 갖는다. 기초부는, 하부 프레임, 상기 하부 프레임과 대향하여 설치되는 상부 프레임, 그리고, 상기 하부 프레임 및 상기 상부 프레임을 연결하는 지주를 갖는다. 한 쌍의 거리계는, 상기 하부 프레임 및 상기 상부 프레임에 각각 설치되고, 측정 대상을 통과 가능한 간극을 갖고 서로 대향하여 배치된다. 보조 부재는, 상기 기초부에 설치되고, 상기 지주와 다른 선형 팽창 계수의 재료로 구성되고, 열에 의해 상기 한 쌍의 거리계의 대향하는 방향으로 팽창하는 상기 지주의 팽창량과 같은 팽창량이 되는 상기 한 쌍의 거리계의 대향하는 방향의 길이를 갖는다.According to the embodiment, the measuring apparatus has a base portion, a pair of distance meters, and an auxiliary member. The base portion has a lower frame, an upper frame opposed to the lower frame, and a column connecting the lower frame and the upper frame. A pair of distance meters are provided in the lower frame and the upper frame, respectively, and are disposed so as to face each other with a clearance that can pass through the measurement object. The auxiliary member is provided on the base portion and is made of a material having a coefficient of linear expansion different from that of the support, and is an amount of expansion equal to the expansion amount of the strut expanding in the opposite direction of the pair of distance meters by heat. And has a length in the opposite direction of the pair of distance meters.

도 1은 제1 실시 형태에 관한 측정 장치의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 2는 제2 실시 형태에 관한 측정 장치의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 3은 제3 실시 형태에 관한 측정 장치의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 4는 제4 실시 형태에 관한 측정 장치의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 5는 제5 실시 형태에 관한 측정 장치의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 6은 제6 실시 형태에 관한 측정 장치의 구성을 나타내는 설명도이다.1 is an explanatory view showing the configuration of a measuring apparatus according to the first embodiment.
Fig. 2 is an explanatory view showing a configuration of a measuring apparatus according to the second embodiment. Fig.
3 is an explanatory view showing a configuration of a measuring apparatus according to the third embodiment.
4 is an explanatory view showing a configuration of a measuring apparatus according to the fourth embodiment.
5 is an explanatory view showing a configuration of a measuring apparatus according to the fifth embodiment.
Fig. 6 is an explanatory view showing a configuration of a measuring apparatus according to the sixth embodiment. Fig.

(제1 실시 형태)(First Embodiment)

이하, 제1 실시 형태에 관한 측정 장치(1)에 대해, 도 1을 사용하여 설명한다.Hereinafter, a measuring apparatus 1 according to the first embodiment will be described with reference to Fig.

도 1은, 제1 실시 형태에 관한 측정 장치(1)의 구성을 나타내는 설명도이다.1 is an explanatory view showing a configuration of a measuring apparatus 1 according to the first embodiment.

측정 장치(1)는, 측정 대상(100)이 통과하는 틀 모양의 기초부(11)와, 기초부(11)에 설치되고, 서로 대향하여 배치되는 한 쌍의 거리계(12)와, 기초부(11) 및 한쪽의 거리계(12) 사이에 설치된 보조 부재(13)와, 한 쌍의 거리계(12)의 간극의 거리를 계측하는 교정 장치(14)와, 한 쌍의 거리계(12) 및 교정 장치(14)에 각각 신호선(99)을 통하여 접속된 제어부(15)를 구비하고 있다.The measurement apparatus 1 includes a frame base portion 11 through which the measurement target 100 passes, a pair of distance meters 12 provided on the base portion 11 and arranged to face each other, An auxiliary member 13 provided between the pair of distance meters 12 and 12 and a calibrating device 14 for measuring the distance between the pair of distance meters 12, And a control unit 15 connected to the device 14 via signal lines 99. [

여기서, 측정 대상(100)은, 예를 들어 일방향으로 긴 판형의 금속판 등이다. 측정 대상(100)은, 예를 들어 열처리가 행하여진 후에, 측정 장치(1)로 두께가 측정된다.Here, the measurement target 100 is, for example, a long plate-like metal plate in one direction. The thickness of the measurement object 100 is measured by the measuring device 1 after the heat treatment, for example.

기초부(11)는, 하부 프레임(21)과, 하부 프레임(21)의 하나의 측면 또는 한 쌍의 측면에 설치된 하나 또는 한 쌍의 지주(22)와, 지주(22)에 설치된 상측 프레임(23)을 구비하고 있다. 기초부(11)는, 정면에서 보아서 사각형 틀모양, 또는, C자형으로 구성된다. 본 실시 형태에 있어서는, 기초부(11)는, 한 쌍의 지주(22)를 갖는 사각형 틀모양의 구성을 사용하여 이하에서 설명한다.The base portion 11 includes a lower frame 21 and one or a pair of struts 22 provided on one side or a pair of side surfaces of the lower frame 21 and an upper frame 22 provided on the strut 22 23). The base portion 11 is formed in a rectangular frame shape or a C shape as viewed from the front. In the present embodiment, the base portion 11 will be described below using a rectangular frame-shaped structure having a pair of pillars 22. [

기초부(11)는, 예를 들어 하부 프레임(21)의 하면 및 지주(22)의 하면이, 설치면(200)에 고정된다. 설치면(200)은, 예를 들어 측정 장치(1)가 설치되는 공장 등의 바닥면 등이다.The bottom of the lower frame 21 and the lower surface of the column 22 are fixed to the mounting surface 200 in the base 11, for example. The mounting surface 200 is, for example, a bottom surface of a factory or the like where the measuring apparatus 1 is installed.

하부 프레임(21)은, 사각형 판형으로 구성된다. 하부 프레임(21)은, 지주(22)가 설치되는 한 쌍의 측면간의 길이가, 측정 대상(100)의 폭 방향의 길이보다도 길게 구성된다.The lower frame 21 is formed in a rectangular plate shape. The length of the lower frame 21 between the pair of side surfaces on which the pillars 22 are provided is longer than the length of the measurement target 100 in the width direction.

지주(22)는, 사각형의 판형 또는 막대 형상으로 구성된다. 지주(22)의 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향의 길이는, 한 쌍의 거리계(12)의 간극을 측정 대상(100)이 통과 가능하며, 또한, 각 거리계(12)와 측정 대상(100)이 이격되는 길이로 구성된다. 지주(22)는, 하단의 측면에 하부 프레임(21)이 고정되고, 상단의 측면에 상부 프레임(23)이 고정된다. 즉, 지주(22)는, 하부 프레임(21)과 상부 프레임(23)을 연결하고 있다.The column 22 has a rectangular plate shape or a rod shape. The length of the pair of distance meters 12 in the opposed direction of the pair of legs 22 of the support 22 is set so that the distance between the pair of distance meters 12 can be measured, (100) are spaced apart from each other. The lower frame 21 is fixed to the side of the lower end of the column 22, and the upper frame 23 is fixed to the side of the upper end. That is, the column 22 connects the lower frame 21 and the upper frame 23.

상부 프레임(23)은, 사각형 판형으로 구성된다. 상부 프레임(23)은, 예를 들어 하부 프레임(21)과 대략 동일 형상으로, 하부 프레임(21)과 대향하여 구성된다. 상부 프레임(23)은, 그 하면에 보조 부재(13)가 고정된다.The upper frame 23 is formed in a rectangular plate shape. The upper frame 23 has substantially the same shape as, for example, the lower frame 21 and is configured to face the lower frame 21. [ The auxiliary member 13 is fixed to the lower surface of the upper frame 23.

한 쌍의 거리계(12)는, 서로 대향하여 배치된다. 한 쌍의 거리계(12)는, 한쪽이 하부 프레임(21)의 상면에, 다른 쪽이 보조 부재(13)의 하면에, 각각 고정된다. 대향하는 한 쌍의 거리계(12)의 간극은, 측정 대상(100)을 통과 가능한 길이로 구성된다. 한 쌍의 거리계(12)는, 통과하는 측정 대상(100)까지의 거리를 각각 측정 가능하게 구성된다. 한 쌍의 거리계(12)는, 측정된 정보를, 신호선(99)을 통하여 제어부(15)에 송신한다.A pair of distance meters 12 are arranged facing each other. One of the pair of distance meters 12 is fixed to the upper surface of the lower frame 21 and the other is fixed to the lower surface of the auxiliary member 13, respectively. The gap between the pair of distance meters 12 facing each other is made to be a length that allows the measurement object 100 to pass through. The pair of distance meters 12 is configured to be able to measure the distance to the measurement object 100 passing therethrough, respectively. The pair of distance meters 12 transmit the measured information to the control unit 15 through the signal line 99. [

보조 부재(13)는, 예를 들어 사각형 판형 또는 블록 형상으로 구성된다. 보조 부재(13)는, 상대하는 주면의 한쪽이 상부 프레임(23)의 하면에 고정되고, 당해 주면의 다른 쪽에 거리계(12)가 고정된다. 환언하면, 한 쌍의 거리계(12)의 다른 쪽은, 한 쌍의 거리계(12)의 한쪽과 대향하고, 또한, 소정의 거리만큼 이격하여, 자신과 상부 프레임(23) 사이에 보조 부재(13)를 통하여 상부 프레임(23)에 고정된다.The auxiliary member 13 is formed, for example, in a rectangular plate shape or a block shape. One of the main surfaces of the auxiliary member 13 is fixed to the lower surface of the upper frame 23, and the distance meter 12 is fixed to the other surface of the main surface. In other words, the other of the pair of distance meters 12 is opposed to one of the pair of distance meters 12 and spaced apart by a predetermined distance, and between the self frame 20 and the upper frame 23, (Not shown).

보조 부재(13)는, 지주(22)의 선형 팽창 계수와 다른 선형 팽창 계수를 갖는 재료, 구체적으로는, 지주(22)의 선형 팽창 계수보다도 높은 선형 팽창 계수를 갖는 재료로 구성된다. 또한, 보조 부재(13)의 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향의 길이는, 열에 의해 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향으로 팽창하는 지주(22)의 팽창량과 같은 팽창량이 되는 길이를 갖는다. 여기서, 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향은, 상하 방향, 즉 높이 방향이다.The auxiliary member 13 is made of a material having a linear expansion coefficient different from the linear expansion coefficient of the column 22, specifically, a material having a linear expansion coefficient higher than that of the column 22. The length in the opposite direction of the pair of distance meters 12 of the auxiliary member 13 is set such that the amount of expansion equal to the amount of expansion of the column 22 expanding in the opposite direction of the pair of distance meters 12 . Here, the opposing direction of the pair of distance meters 12 is a vertical direction, that is, a height direction.

이하, 지주(22) 및 보조 부재(13)의 재료 및 길이에 대해 구체적으로 설명한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 지주(22)의 상하 방향의 길이를 L1이라 하고, 보조 부재(13)의 상하 방향의 길이를 L2라 한다. 지주(22)의 재료를 선형 팽창 계수 M1의 제1 재료로 하고, 보조 부재(13)의 재료를 선형 팽창 계수 M1보다도 큰 선형 팽창 계수 M2(M1<M2)의 제2 재료로 한다. 이때, 보조 부재(13)의 길이 L2는, L2=L1/(M2/M1)로 구성된다.Hereinafter, the materials and lengths of the strut 22 and the auxiliary member 13 will be described in detail. As shown in Fig. 1, the vertical length of the strut 22 is L1, and the length of the auxiliary member 13 in the vertical direction is L2. The material of the strut 22 is made of the first material having the linear expansion coefficient M1 and the material of the auxiliary member 13 is made the second material having the linear expansion coefficient M2 (M1 <M2) larger than the linear expansion coefficient M1. At this time, the length L2 of the auxiliary member 13 is made L2 = L1 / (M2 / M1).

예를 들어, 지주(22)의 재료를 철재료로 하고, 보조 부재(13)를 알루미늄 재료로 한 경우에는, 알루미늄 재료의 선형 팽창 계수는 철재료의 선형 팽창 계수의 약 2배이기 때문에, 보조 부재(13)의 상하 방향의 길이 L2는, L2=L1/2로 구성된다. 이러한 구성으로 함으로써, 지주(22) 및 보조 부재(13)의 열에 의한 팽창량이 대략 동일해진다.For example, in the case where the material of the strut 22 is made of an iron material and the auxiliary member 13 is made of an aluminum material, since the linear expansion coefficient of the aluminum material is about twice the linear expansion coefficient of the iron material, The length L2 of the member 13 in the up and down direction is composed of L2 = L1 / 2. With this configuration, the amount of expansion due to the heat of the column 22 and the auxiliary member 13 becomes substantially the same.

교정 장치(14)는, 한 쌍의 거리계(12) 사이의 거리, 환언하면, 한 쌍의 거리계(12)의 간극 길이를 측정 가능하도록 구성된다. 교정 장치(14)는, 측정된 정보를, 신호선(99)을 통하여 제어부(15)에 송신한다.The calibration device 14 is configured to be able to measure the distance between the pair of distance meters 12, in other words, the gap length of the pair of distance meters 12. [ The calibration apparatus 14 transmits the measured information to the control section 15 through the signal line 99. [

제어부(15)는, 교정 장치(14)로 측정된 한 쌍의 거리계(12) 사이의 거리 및 한 쌍의 거리계(12)로 각각 측정된 측정 대상(100)까지의 거리의 차로부터, 측정 대상(100)의 두께를 도출 가능하게 구성된다.The control unit 15 calculates the distance to the measurement object 100 from the difference between the distance between the pair of distance meters 12 measured by the calibration apparatus 14 and the distance to the measurement object 100 measured by the pair of distance meters 12, So that the thickness of the substrate 100 can be derived.

다음에, 이와 같이 구성된 측정 장치(1)를 사용한 측정 대상(100)의 측정에 대해 설명한다.Next, the measurement of the measurement object 100 using the measurement apparatus 1 constructed as described above will be described.

우선, 예를 들어 열처리에 의해 가열된 측정 대상(100)을 측정 장치(1)에 의해 측정하는 경우에 있어서, 측정 대상(100)을 컨베이어 등의 반송 장치에 의해 한 쌍의 거리계(12) 사이를 통과시킨다. 또한, 측정 대상(100)을 통과시키는 위치는, 각 거리계(12)와 측정 대상(100)이 이격되어 있으면, 한정되지 않는다.First, for example, when the measurement object 1 heated by the heat treatment is measured by the measurement device 1, the measurement object 100 is placed between the pair of distance meters 12 by a conveyance device such as a conveyor . The position through which the measurement target 100 is passed is not limited as long as the distance meters 12 and the measurement target 100 are spaced apart from each other.

측정 대상(100)이 기초부(11)를 통과할 때, 측정 대상(100)의 열에 의해, 기초부(11) 및 보조 부재(13)가 가열되고, 지주(22) 및 보조 부재(13)가 상하 방향으로 팽창한다. 기초부(11)는, 하부 프레임(21) 및 지주(22)가 설치면(200)에 고정되기 때문에, 지주(22)는 상측 방향으로 팽창한다. 또한, 보조 부재(13)가 고정된 상측 프레임(23)은 지주(22)에 고정되어 있기 때문에 보조 부재(13)는 상측 프레임(23)에 관해 하측 방향으로 팽창한다.The base portion 11 and the auxiliary member 13 are heated by the heat of the measurement target 100 and the support member 22 and the auxiliary member 13 are heated by the heat of the measurement target 100 when the measurement target 100 passes the base portion 11. [ Thereby expanding in the vertical direction. Since the lower frame 21 and the struts 22 are fixed to the mounting surface 200 in the base 11, the struts 22 expand in the upward direction. Since the upper frame 23 to which the auxiliary member 13 is fixed is fixed to the support 22, the auxiliary member 13 expands downward with respect to the upper frame 23. [

또한, 지주(22) 및 보조 부재(13)는, 다른 선형 팽창 계수를 갖지만, 각각의 길이가 같은 팽창량이 되는 L1, L2로 설정되어 있는 점에서, 지주(22) 및 보조 부재(13)는 같은 팽창량으로 각각 상하 방향으로 팽창한다. 결과, 보조 부재(13)의 팽창에 의해, 보조 부재(13)에 고정된 거리계(12)가 지주(22)의 팽창량과 동일량만큼 하방으로 이동하고, 한 쌍의 거리계(12)의 간극은, 일정하게 유지된다.The strut 22 and the auxiliary member 13 have different linear expansion coefficients but are set to L1 and L2 having the same amount of expansion as the lengths of the struts 22 and the auxiliary members 13 And expand in the vertical direction at the same amount of expansion. As a result, due to the expansion of the auxiliary member 13, the distance meter 12 fixed to the auxiliary member 13 moves downward by the same amount as the expansion amount of the strut 22, Is kept constant.

한 쌍의 거리계(12)는, 통과한 측정 대상(100)까지의 거리를 각각 측정하고, 측정된 정보를 제어부(15)에 송신한다. 제어부(15)는, 교정 장치(14)에서 검출된 한 쌍의 거리계(12) 사이의 거리와, 수신된 각 거리계(12)로부터 측정 대상(100)까지의 거리의 합의 차로부터, 측정 대상(100)의 두께를 도출한다. 또한, 예를 들어 교정 장치(14)는, 측정 대상(100)의 측정 전에, 미리 한 쌍의 거리계(12) 사이의 거리를 측정하고, 제어부(15)에 정보를 송신한다. 이들의 측정을, 측정 대상(100)의 이송 방향의 일부 또는 모든 개소에서 행하고, 측정 대상(100)의 두께를 측정한다.The pair of distance meters 12 measures the distance to the measured object 100 that has passed through them, and transmits the measured information to the control unit 15. [ The control unit 15 calculates the difference between the distance between the pair of distance meters 12 detected by the calibration unit 14 and the sum of the distances from the respective distance meters 12 received to the measurement target 100, 100). For example, the calibration apparatus 14 measures the distance between the pair of distance meters 12 in advance before measurement of the measurement object 100, and transmits the information to the control unit 15. These measurements are made at part or all of the conveyance direction of the measurement target 100, and the thickness of the measurement target 100 is measured.

이렇게 구성된 제1 실시 형태에 관한 측정 장치(1)에 의하면, 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향에 있어서, 지주(22) 및 보조 부재(13)의 열에 의한 팽창량을 동일하게 함으로써, 지주(22)의 팽창을 거리계(12)가 고정된 보조 부재(13)의 팽창에 의해 상쇄하고, 한 쌍의 거리계(12)의 간극을 일정하게 할 수 있다. 이렇게 함으로써 측정 장치(1)는, 한 쌍의 거리계(12)에 의해, 측정 대상(100)을, 높은 정밀도로 측정하는 것이 가능하게 된다. According to the measuring apparatus 1 of the first embodiment configured as described above, by making the amounts of expansion of the pillars 22 and the auxiliary members 13 by the heat equal in the opposite directions of the pair of distance meters 12, The expansion of the column 22 can be canceled by the expansion of the auxiliary member 13 to which the distance meter 12 is fixed and the gap between the pair of distance meters 12 can be made constant. By doing so, the measurement apparatus 1 can measure the measurement object 100 with a pair of distance meters 12 with high accuracy.

상술한 바와 같이, 제1 실시 형태에 관한 측정 장치(1)에 의하면, 열에 의해 지주(22)의 길이가 변동해도, 높은 정밀도로 측정 대상(100)의 두께를 측정할 수 있다.As described above, according to the measuring apparatus 1 of the first embodiment, even if the length of the strut 22 fluctuates due to heat, the thickness of the measuring object 100 can be measured with high accuracy.

(제2 실시 형태)(Second Embodiment)

다음에, 제2 실시 형태에 관한 측정 장치(1A)에 대해, 도 2를 사용하여 설명한다.Next, a measuring apparatus 1A according to a second embodiment will be described with reference to Fig.

도 2는, 제2 실시 형태에 관한 측정 장치(1A)의 구성을 나타내는 설명도이다. 또한, 제2 실시 형태에 관한 측정 장치(1A)에 있어서, 상술한 제1 실시 형태에 관한 측정 장치(1)와 마찬가지의 구성에는 동일 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.Fig. 2 is an explanatory view showing a configuration of the measuring apparatus 1A according to the second embodiment. In the measuring apparatus 1A according to the second embodiment, the same components as those of the measuring apparatus 1 according to the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and a detailed description thereof will be omitted.

측정 장치(1A)는, 측정 대상(100)을 통과시키는 틀 모양의 기초부(11A)와, 기초부(11A)에 설치되고, 서로 대향하여 배치되는 한 쌍의 거리계(12)와, 교정 장치(14)와, 제어부(15)를 구비하고 있다.The measurement apparatus 1A includes a base 11A having a frame shape to pass the measurement object 100, a pair of distance meters 12 provided on the base 11A and arranged to face each other, (14), and a control unit (15).

기초부(11A)는, 하부 프레임(21)과, 하부 프레임(21)의 하나의 측면 또는 한 쌍의 측면에 설치된 하나 또는 한 쌍의 지주(22)와, 지주(22)에 설치된 보조 부재(13A)와, 보조 부재(13A)에 설치된 상부 프레임(23)을 구비하고 있다. 기초부(11A)는, 정면에서 보아서 사각형 틀모양, 또는, C자형으로 구성된다. 본 실시 형태에 있어서는, 기초부(11A)는, 한 쌍의 지주(22)를 갖는 사각형 틀모양의 구성을 사용하여 이하에서 설명한다.The foundation 11A includes a lower frame 21 and one or a pair of pillars 22 provided on one side or a pair of side faces of the lower frame 21 and an auxiliary member 13A, and an upper frame 23 provided on the auxiliary member 13A. The base portion 11A is formed in a rectangular frame shape or a C shape when viewed from the front. In the present embodiment, the base portion 11A will be described below using a rectangular frame-like structure having a pair of pillars 22. [

보조 부재(13A)는, 예를 들어 판형으로 구성된다. 보조 부재(13A)는, 상단이 지주(22)의 상단과 고정되고, 하단이 상부 프레임(23)과 고정된다. 또한, 보조 부재(13A)는, 예를 들어 상단면이 지주(22)의 상단면과, 고정부(31)에 의해 고정되고, 상부 프레임(23)과 대향하는 주면의 하단이 상부 프레임(23)의 측면과 고정된다. 고정부(31)는, 예를 들어 판재 및 볼트 등에 의한 기계적으로 고정할 수 있는 부재나, 용접부와 같은 기계적으로 고정할 수 있는 부재이다.The auxiliary member 13A is formed in a plate shape, for example. The upper end of the auxiliary member 13A is fixed to the upper end of the column 22 and the lower end is fixed to the upper frame 23. [ The lower surface of the main surface of the auxiliary member 13A opposite to the upper frame 23 is fixed to the upper frame 23 ). The fixing portion 31 is a member that can be mechanically fixed by, for example, a plate material and a bolt, or a mechanically fixable member such as a weld portion.

보조 부재(13A)는, 지주(22)의 선형 팽창 계수와 다른 선형 팽창 계수를 갖는 재료, 구체적으로는, 지주(22)의 선형 팽창 계수보다도 높은 선형 팽창 계수를 갖는 재료로 구성된다. 또한, 보조 부재(13A)의 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향의 길이는, 열에 의해 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향으로 팽창하는 지주(22)의 팽창량과 같은 팽창량이 되는 길이를 갖는다. 여기서, 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향은, 상하 방향, 즉 높이 방향이다.The auxiliary member 13A is made of a material having a linear expansion coefficient different from the linear expansion coefficient of the column 22, specifically, a material having a linear expansion coefficient higher than the linear expansion coefficient of the column 22. The length in the opposite direction of the pair of distance meters 12 of the auxiliary member 13A is set such that the amount of expansion equal to the amount of expansion of the strut 22 expanding in the opposite direction of the pair of distance meters 12 . Here, the opposing direction of the pair of distance meters 12 is a vertical direction, that is, a height direction.

이하, 지주(22) 및 보조 부재(13A)의 재료 및 길이에 대해 구체적으로 설명한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 지주(22)의 상하 방향의 길이를 L1이라 하고, 보조 부재(13A)의 상하 방향의 길이를 L2라 한다. 지주(22)의 재료를 선형 팽창 계수 M1의 제1 재료로 하고, 보조 부재(13)의 재료를 선형 팽창 계수 M1보다도 큰 선형 팽창 계수 M2(M1<M2)의 제2 재료로 한다. 이때, 보조 부재(13)의 길이 L2는, L2=L1/(M2/M1)로 구성된다.Hereinafter, the material and length of the strut 22 and the auxiliary member 13A will be described in detail. As shown in Fig. 2, the vertical length of the strut 22 is L1, and the length of the auxiliary member 13A in the vertical direction is L2. The material of the strut 22 is made of the first material having the linear expansion coefficient M1 and the material of the auxiliary member 13 is made the second material having the linear expansion coefficient M2 (M1 <M2) larger than the linear expansion coefficient M1. At this time, the length L2 of the auxiliary member 13 is made L2 = L1 / (M2 / M1).

예를 들어, 지주(22)의 재료를 철재료로 하고, 보조 부재(13)를 알루미늄 재료로 한 경우에는, 알루미늄 재료의 선형 팽창 계수는 철재료의 선형 팽창 계수의 약 2배이기 때문에, 보조 부재(13A)의 상하 방향의 길이 L2는, L2=L1/2로 구성된다. 이러한 구성으로 함으로써, 지주(22) 및 보조 부재(13A)의 열에 의한 팽창량이 대략 동일해진다.For example, in the case where the material of the strut 22 is made of an iron material and the auxiliary member 13 is made of an aluminum material, since the linear expansion coefficient of the aluminum material is about twice the linear expansion coefficient of the iron material, The length L2 of the member 13A in the up and down direction is composed of L2 = L1 / 2. With this configuration, the amount of expansion due to the heat of the column 22 and the auxiliary member 13A becomes substantially the same.

상부 프레임(23)은, 사각형 판형으로 구성된다. 상부 프레임(23)은, 예를 들어 보조 부재(13A)의 두께만큼, 하부 프레임(21)보다도 작게 구성된다.The upper frame 23 is formed in a rectangular plate shape. The upper frame 23 is configured to be smaller than the lower frame 21, for example, by the thickness of the auxiliary member 13A.

한 쌍의 거리계(12)는, 서로 대향하여 배치된다. 한 쌍의 거리계(12)는, 한쪽이 하부 프레임(21)의 상면에, 다른 쪽이 상부 프레임(23)에, 각각 고정된다.A pair of distance meters 12 are arranged facing each other. One of the pair of distance meters 12 is fixed to the upper surface of the lower frame 21 and the other is fixed to the upper frame 23.

이렇게 구성된 측정 장치(1A)는, 상술한 측정 장치(1)와 마찬가지로, 한 쌍의 거리계(12) 사이의 간극을 일정하게 유지하는 것이 가능하게 된다. 구체적으로는, 측정 대상(100)의 열에 의해, 기초부(11A)가 가열되어, 지주(22) 및 보조 부재(13A)가 상하 방향으로 팽창하면, 기초부(11A)는, 하부 프레임(21) 및 지주(22)가 설치면(200)에 고정되기 때문에, 지주(22)는 상측 방향으로 팽창한다. 또한, 보조 부재(13A)는, 지주(22)에 고정되기 때문에, 고정부(31)로부터 하측 방향으로 팽창한다.The measurement apparatus 1A constructed in this way can maintain the gap between the pair of distance meters 12 constant, like the above-described measurement apparatus 1. [ More specifically, when the base portion 11A is heated by the heat of the measurement object 100 and the support member 22 and the auxiliary member 13A expand in the vertical direction, the base portion 11A is separated from the lower frame 21 And the struts 22 are fixed to the mounting surface 200, the struts 22 expand in the upward direction. Further, since the auxiliary member 13A is fixed to the column 22, the auxiliary member 13A expands downward from the fixed portion 31. [

또한, 지주(22) 및 보조 부재(13A)는, 다른 선형 팽창 계수를 갖지만, 각각의 길이가 같은 팽창량이 되는 L1, L2로 설정되어 있다는 점에서, 지주(22) 및 보조 부재(13A)는 같은 팽창량으로 각각 상하 방향으로 팽창한다. 결과, 보조 부재(13A)의 팽창에 의해, 보조 부재(13A)에 고정된 상부 프레임(23) 및 상부 프레임(23)에 고정된 거리계(12)가 지주(22)의 팽창량과 동일량만큼 하방으로 이동하고, 한 쌍의 거리계(12)의 간극은, 일정하게 유지된다.The strut 22 and the auxiliary member 13A have different linear expansion coefficients but are set to L1 and L2 which are equal in amount of expansion to each other, And expand in the vertical direction at the same amount of expansion. As a result, the distance between the upper frame 23 fixed to the auxiliary member 13A and the distance meter 12 fixed to the upper frame 23 by the expansion of the auxiliary member 13A becomes equal to the amount of expansion of the strut 22 And the gap of the pair of distance meters 12 is kept constant.

이렇게 구성된 제2 실시 형태에 관한 측정 장치(1A)에 의하면, 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향에 있어서, 지주(22) 및 보조 부재(13A)의 열에 의한 팽창량을 동일하게 하는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 측정 장치(1A)는, 지주(22)의 상측 방향의 팽창을, 거리계(12)가 설치된 상측 프레임(23)이 고정된 보조 부재(13A)의 하측 방향의 팽창에 의해 상쇄하고, 한 쌍의 거리계(12)의 간극을 일정하게 할 수 있다. 이러한 것에 의해, 측정 장치(1A)는, 한 쌍의 거리계(12)에 의해, 측정 대상(100)을 높은 정밀도로 측정하는 것이 가능하게 된다.According to the measuring apparatus 1A according to the second embodiment configured as described above, it is possible to equalize the expansion amounts of the pillars 22 and the auxiliary members 13A due to the heat in the opposite directions of the pair of distance meters 12 . The measurement apparatus 1A can compensate the upward expansion of the strut 22 by the downward expansion of the auxiliary member 13A to which the upper frame 23 provided with the distance meter 12 is fixed, The gap of the pair of distance meters 12 can be made constant. As a result, the measurement apparatus 1A can measure the measurement object 100 with high accuracy by means of the pair of distance meters 12.

(제3 실시 형태)(Third Embodiment)

다음에, 제3 실시 형태에 관한 측정 장치(1B)에 대해, 도 3을 사용하여 설명한다.Next, a measuring apparatus 1B according to a third embodiment will be described with reference to Fig.

도 3은, 제3 실시 형태에 관한 측정 장치(1B)의 구성을 나타내는 설명도이다. 또한, 제3 실시 형태에 관한 측정 장치(1B)에 있어서, 상술한 제1 실시 형태에 관한 측정 장치(1) 및 제2 실시 형태에 관한 측정 장치(1A)와 마찬가지의 구성에는 동일 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.Fig. 3 is an explanatory view showing a configuration of the measuring apparatus 1B according to the third embodiment. In the measuring apparatus 1B according to the third embodiment, the same components as those of the measuring apparatus 1 according to the first embodiment and the measuring apparatus 1A according to the second embodiment are denoted by the same reference numerals And detailed description thereof will be omitted.

측정 장치(1B)는, 측정 대상(100)을 통과시키는 틀 모양의 기초부(11B)와, 기초부(11B)에 설치되고, 서로 대향하여 배치되는 한 쌍의 거리계(12)와, 교정 장치(14)와, 제어부(15)를 구비하고 있다.The measuring device 1B includes a frame-shaped base portion 11B through which the measurement object 100 passes, a pair of distance meters 12 provided on the base portion 11B so as to face each other, (14), and a control unit (15).

기초부(11B)는, 하부 프레임(21)과, 하부 프레임(21)의 하나의 측면 또는 한 쌍의 측면에 설치된 하나 또는 한 쌍의 지주(22B)와, 보조 부재(13B)에 설치된 상측 프레임(23)을 구비하고 있다. 기초부(11B)는, 정면에서 보아서 사각형 틀모양, 또는, C자형으로 구성된다. 본 실시 형태에 있어서는, 기초부(11B)는, 한 쌍의 지주(22B)를 갖는 사각형 틀모양의 구성을 사용하여 이하에서 설명한다.The base portion 11B includes a lower frame 21 and one or a pair of struts 22B provided on one side or a pair of side surfaces of the lower frame 21 and an upper frame 22B provided on the auxiliary member 13B. (23). The base portion 11B is formed in a rectangular frame shape or a C shape as viewed from the front. In the present embodiment, the base portion 11B is described below using a rectangular frame-like configuration having a pair of pillars 22B.

지주(22B)는, 하부 프레임(21)에 고정되는 제1 지주(22a)와, 제1 지주(22a)에 고정되는 보조 부재(13B)와, 보조 부재(13B)에 고정되는 제2 지주(22b)를 구비하고 있다. 지주(22B)의 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향의 길이는, 한 쌍의 거리계(12)의 간극을 측정 대상(100)이 통과 가능하며, 또한, 각 거리계(12)와 측정 대상(100)이 이격되는 길이로 구성된다.The strut 22B includes a first strut 22a fixed to the lower frame 21, an auxiliary member 13B fixed to the first strut 22a, a second strut 22b fixed to the auxiliary member 13B, 22b. The length of the pair of distance meters 12 in the opposite directions of the pair of legs 22B of the strut 22B is set so that the distance between the pair of distance meters 12 can be measured by the measuring object 100, (100) are spaced apart from each other.

제1 지주(22a)는, 사각형의 판형 또는 막대 형상으로 구성된다. 제1 지주(22a)는, 하단의 측면에 하부 프레임(21)의 측면이 고정되고, 상단에 보조 부재(13B)가 고정된다. 제1 지주(22a)는, 예를 들어 설치면(200)에 고정된다. 제2 지주(22b)는, 사각형의 판형 또는 막대 형상으로 구성된다. 제2 지주(22b)는, 상단의 측면에 상부 프레임(23)의 측면이 고정되고, 하단에 보조 부재(13B)가 고정된다.The first strut 22a has a rectangular plate shape or a rod shape. The side of the lower frame 21 is fixed to the side of the lower end of the first column 22a, and the auxiliary member 13B is fixed to the upper end of the first column 22a. The first strut 22a is fixed to the mounting surface 200, for example. The second column 22b is formed in a rectangular plate shape or a rod shape. The side of the upper frame 23 is fixed to the upper side of the second column 22b and the auxiliary member 13B is fixed to the lower side of the second column 22b.

보조 부재(13B)는, 예를 들어 판형으로 구성된다. 보조 부재(13B)는, 상단이 제1 지주(22a)의 상단과 고정되고, 하단이 제2 지주(22b)의 하단과 고정된다. 또한, 보조 부재(13B)는, 예를 들어 상단면이 제1 지주(22a)의 상단면과, 고정부(31)에 의해 고정되고, 하단면이 제2 지주(22b)의 하단면과, 고정부(31)에 의해 고정된다.The auxiliary member 13B is formed in a plate shape, for example. The upper end of the auxiliary member 13B is fixed to the upper end of the first strut 22a and the lower end is fixed to the lower end of the second strut 22b. The upper surface of the auxiliary member 13B is fixed to the upper surface of the first column 22a by the fixing portion 31 and the lower surface of the auxiliary member 13B is fixed to the lower surface of the second column 22b, And is fixed by the fixing portion 31.

보조 부재(13B)는, 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b)의 선형 팽창 계수와 다른 선형 팽창 계수를 갖는 재료, 구체적으로는, 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b)의 선형 팽창 계수보다도 높은 선형 팽창 계수를 갖는 재료로 구성된다. 또한, 보조 부재(13B)의 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향의 길이는, 열에 의해 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향으로 팽창하는 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b)의 팽창량과 같은 팽창량이 되는 길이를 갖는다. 여기서, 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향은, 상하 방향, 즉 높이 방향이다.The auxiliary member 13B is made of a material having a linear expansion coefficient different from that of the first strut 22a and the second strut 22b, specifically, the first strut 22a and the second strut 22b, And a linear expansion coefficient higher than the linear expansion coefficient. The length of the auxiliary member 13B in the opposite direction of the pair of distance meters 12 is determined by the length of the first strut 22a and the second strut 22 that expand in the opposite directions of the pair of distance meters 12 by heat 22b, as shown in Fig. Here, the opposing direction of the pair of distance meters 12 is a vertical direction, that is, a height direction.

이하, 제1 지주(22a), 제2 지주(22b) 및 보조 부재(13B)의 재료 및 길이에 대해 구체적으로 설명한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 지주(22a)의 상하 방향의 길이를 L11이라 하고, 제2 지주(22b)의 상하 방향의 길이를 L21이라 하고, 보조 부재(13B)의 상하 방향의 길이를 L2라 한다. 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b)의 재료를 선형 팽창 계수 M1의 제1 재료로 하고, 보조 부재(13B)의 재료를 선형 팽창 계수 M1보다도 큰 선형 팽창 계수 M2(M1<M2)의 제2 재료로 한다. 이때, 보조 부재(13B)의 길이 L2는, L2=(L11+L12)/(M2/M1)로 구성된다.Hereinafter, the materials and lengths of the first strut 22a, the second strut 22b and the auxiliary member 13B will be described in detail. 3, the length of the first strut 22a in the vertical direction is denoted by L11, the length of the second strut 22b in the up and down direction is denoted by L21, the length of the auxiliary member 13B in the up and down direction Is referred to as L2. The material of the first strut 22a and the second strut 22b are made of the first material having the linear expansion coefficient M1 and the material of the auxiliary member 13B is made of the material having the linear expansion coefficient M2 (M1 < M2) Of the second material. At this time, the length L2 of the auxiliary member 13B is configured as L2 = (L11 + L12) / (M2 / M1).

예를 들어, 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b)의 재료를 철재료로 하고, 보조 부재(13B)를 알루미늄 재료로 한 경우에는, 알루미늄 재료의 선형 팽창 계수는 철재료의 선형 팽창 계수의 약 2배이기 때문에, 보조 부재(13B)의 상하 방향의 길이 L2는, L2=(L11+L12)/2로 구성된다. 예를 들어, L11 및 L12를 동일 길이로 하면, 제1 지주(22a), 제2 지주(22b) 및 보조 부재(13B)의 상하 방향의 길이가 대략 동등해진다. 이러한 구성으로 함으로써, 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b)의 열에 의한 팽창량의 합과, 보조 부재(13B)의 열에 의한 팽창량이 대략 동일해진다.For example, when the materials of the first strut 22a and the second strut 22b are made of an iron material and the auxiliary member 13B is made of an aluminum material, the linear expansion coefficient of the aluminum material is a linear expansion of the iron material The length L2 in the vertical direction of the auxiliary member 13B is made to be L2 = (L11 + L12) / 2. For example, if L11 and L12 have the same length, the lengths of the first strut 22a, the second strut 22b, and the auxiliary member 13B in the up-and-down direction become substantially equal. With this configuration, the sum of the amounts of expansion due to the heat of the first strut 22a and the second strut 22b and the amount of expansion due to the heat of the auxiliary member 13B become substantially equal.

상부 프레임(23)은, 사각형 판형으로 구성된다. 상부 프레임(23)은, 예를 들어 하부 프레임(21)과 대략 동일 형상으로 구성된다.The upper frame 23 is formed in a rectangular plate shape. The upper frame 23 is configured to have substantially the same shape as the lower frame 21, for example.

한 쌍의 거리계(12)는, 서로 대향하여 배치된다. 한 쌍의 거리계(12)는, 한쪽이 하부 프레임(21)의 상면에, 다른 쪽이 상부 프레임(23)의 하면에, 각각 고정된다.A pair of distance meters 12 are arranged facing each other. One of the pair of distance meters 12 is fixed to the upper surface of the lower frame 21 and the other is fixed to the lower surface of the upper frame 23, respectively.

이렇게 구성된 측정 장치(1B)는, 상술한 측정 장치(1, 1A)와 마찬가지로, 한 쌍의 거리계(12) 사이의 간극을 일정하게 유지하는 것이 가능하게 된다. 구체적으로는, 측정 대상(100)의 열에 의해, 기초부(11B)가 가열되어, 지주(22B) 상하 방향으로 팽창하면, 기초부(11B)는, 하부 프레임(21) 및 제1 지주(22a)가 설치면(200)에 고정되기 때문에, 제1 지주(22a)는 상측 방향으로 팽창한다. 보조 부재(13B)의 상단은, 제1 지주(22a)의 상단에 고정되기 때문에, 보조 부재(13B)는, 제1 지주(22a)의 상단부터 하측 방향으로 팽창한다. 또한, 제2 지주(22b)의 하단은, 보조 부재(13B)의 하단에 고정되어 있기 때문에, 제2 지주(22b)는, 보조 부재(13B)의 하단부터 상측 방향으로 팽창한다.The measurement apparatus 1B configured in this way can maintain a constant gap between the pair of distance meters 12 in the same manner as the measurement apparatuses 1 and 1A described above. Specifically, when the base portion 11B is heated by the heat of the measurement object 100 and expanded in the vertical direction of the column 22B, the base portion 11B is separated from the lower frame 21 and the first column 22a Is fixed to the mounting surface 200, the first strut 22a expands in the upward direction. Since the upper end of the auxiliary member 13B is fixed to the upper end of the first support 22a, the auxiliary member 13B expands downward from the upper end of the first support 22a. Since the lower end of the second column 22b is fixed to the lower end of the auxiliary member 13B, the second column 22b expands upward from the lower end of the auxiliary member 13B.

또한, 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b), 그리고, 보조 부재(13B)는, 다른 선형 팽창 계수를 갖지만, 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b)의 길이의 합, 및, 보조 부재(13B)의 길이가 같은 팽창량이 되는 L11, L12, L2로 설정되어 있다. 이로 인해, 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b) 및 보조 부재(13A)는 같은 팽창량으로 각각 상하 방향으로 팽창한다. 결과, 보조 부재(13A)의 팽창에 의해, 보조 부재(13A)에 고정된 상부 프레임(23) 및 상부 프레임(23)에 고정된 거리계(12)가, 상방에 팽창하는 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b)의 팽창량과 동일량만큼 하방으로 이동하고, 한 쌍의 거리계(12)의 간극은, 일정하게 유지된다.Although the first strut 22a and the second strut 22b and the auxiliary member 13B have different linear expansion coefficients, the sum of the lengths of the first strut 22a and the second strut 22b, And L11, L12 and L2 in which the lengths of the auxiliary members 13B are the same as the expansion amounts. As a result, the first strut 22a, the second strut 22b and the auxiliary member 13A expand in the vertical direction with the same amount of expansion. As a result, the upper frame 23 fixed to the auxiliary member 13A and the distance meter 12 fixed to the upper frame 23 are expanded by the expansion of the auxiliary member 13A to form the first strut 22a expanding upward, And the distance between the pair of distance meters 12 is kept constant.

이렇게 구성된 제3 실시 형태에 관한 측정 장치(1B)에 의하면, 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향에 있어서, 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b) 및 보조 부재(13B)의 열에 의한 팽창량을 동일하게 하는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 측정 장치(1B)는, 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b)의 상측 방향의 팽창을, 보조 부재(13B)의 하측 방향의 팽창에 의해 상쇄하고, 한 쌍의 거리계(12)의 간극을 일정하게 할 수 있다. 이러한 것에 의해, 측정 장치(1B)는, 한 쌍의 거리계(12)에 의해, 측정 대상(100)을, 높은 정밀도로 측정하는 것이 가능하게 된다.According to the measurement apparatus 1B of the third embodiment configured as described above, the first support 22a, the second support 22b, and the auxiliary member 13B are provided in the direction opposite to the pair of distance meters 12 It is possible to equalize the amount of expansion due to heat. Thereby, the measurement apparatus 1B cancels the upward expansion of the first support column 22a and the second support column 22b by the expansion of the auxiliary member 13B in the downward direction, 12 can be made constant. As a result, the measurement apparatus 1B can measure the measurement object 100 with a pair of distance meters 12 with high accuracy.

(제4 실시 형태)(Fourth Embodiment)

다음에, 제4 실시 형태에 관한 측정 장치(1C)에 대해, 도 4를 사용하여 설명한다.Next, a measuring apparatus 1C according to the fourth embodiment will be described with reference to FIG.

도 1은, 제1 실시 형태에 관한 측정 장치(1)의 구성을 나타내는 설명도이다. 또한, 제4 실시 형태에 관한 측정 장치(1C)에 있어서, 상술한 제1 실시 형태에 관한 측정 장치(1)와 마찬가지의 구성에는 동일 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.1 is an explanatory view showing a configuration of a measuring apparatus 1 according to the first embodiment. In the measuring apparatus 1C according to the fourth embodiment, the same components as those of the measuring apparatus 1 according to the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and a detailed description thereof will be omitted.

측정 장치(1C)는, 측정 대상(100)을 통과시키는 틀 모양의 기초부(11)와, 기초부(11)에 설치되고, 서로 대향하여 배치되는 한 쌍의 거리계(12)와, 기초부(11) 및 한쪽의 거리계(12) 사이에 설치된 보조 부재(13C)와, 한 쌍의 거리계(12)의 간극의 거리를 계측하는 교정 장치(14)와, 한 쌍의 거리계(12) 및 교정 장치(14)에 각각 신호선(99)을 통하여 접속된 제어부(15)를 구비하고 있다.The measurement apparatus 1C includes a frame base 11 passing through the measurement target 100, a pair of distance meters 12 provided on the base unit 11 and arranged to face each other, An auxiliary member 13C provided between the main body 11 and one of the distance meters 12, a calibration device 14 for measuring the distance between the pair of distance meters 12, a pair of distance meters 12, And a control unit 15 connected to the device 14 via signal lines 99. [

하부 프레임(21)은, 그 상면에 보조 부재(13C)가 고정된다.An auxiliary member 13C is fixed to the upper surface of the lower frame 21.

한 쌍의 거리계(12)는, 서로 대향하여 배치된다. 한 쌍의 거리계(12)는, 한쪽이 보조 부재(13C)에, 다른 쪽이 상부 프레임(23)의 하면에, 각각 고정된다.A pair of distance meters 12 are arranged facing each other. One of the pair of distance meters 12 is fixed to the auxiliary member 13C and the other is fixed to the lower face of the upper frame 23, respectively.

보조 부재(13C)는, 예를 들어 사각형 판형 또는 블록형으로 구성된다. 보조 부재(13C)는, 상대한 주면의 한쪽이 하부 프레임(21)의 상면에 고정되고, 당해 주면의 다른 쪽에 거리계(12)가 고정된다. 환언하면, 한 쌍의 거리계(12)의 한쪽은, 한 쌍의 거리계(12)의 다른 쪽과 대향하고, 또한, 소정의 거리만큼 이격되고, 자신과 하부 프레임(21) 사이에 보조 부재(13C)를 통하여 하부 프레임(21)에 고정된다.The auxiliary member 13C is formed, for example, in a rectangular plate shape or a block shape. One of the main surfaces of the auxiliary member 13C is fixed to the upper surface of the lower frame 21, and the distance meter 12 is fixed to the other side of the main surface. In other words, one of the pair of distance meters 12 is opposed to the other of the pair of distance meters 12, and is spaced apart by a predetermined distance, and between the self frame 21 and the auxiliary member 13C (Not shown).

보조 부재(13C)는, 지주(22)의 선형 팽창 계수와 다른 선형 팽창 계수를 갖는 재료, 구체적으로는, 지주(22)의 선형 팽창 계수보다도 높은 선형 팽창 계수를 갖는 재료로 구성된다. 또한, 보조 부재(13C)의 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향의 길이는, 열에 의해 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향으로 팽창하는 지주(22)의 팽창량과 같은 팽창량이 되는 길이를 갖는다. 여기서, 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향은, 상하 방향, 즉 높이 방향이다.The auxiliary member 13C is made of a material having a linear expansion coefficient different from the linear expansion coefficient of the column 22, specifically, a material having a linear expansion coefficient higher than that of the column 22. The length in the opposite direction of the pair of distance meters 12 of the auxiliary member 13C is set such that the amount of expansion equal to the amount of expansion of the column 22 expanding in the opposite direction of the pair of distance meters 12 . Here, the opposing direction of the pair of distance meters 12 is a vertical direction, that is, a height direction.

이하, 지주(22) 및 보조 부재(13C)의 재료 및 길이에 대해 구체적으로 설명한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 지주(22)의 상하 방향의 길이를 L1이라 하고, 보조 부재(13C)의 상하 방향의 길이를 L2라 한다. 지주(22)의 재료를 선형 팽창 계수 M1의 제1 재료로 하고, 보조 부재(13C)의 재료를 선형 팽창 계수 M1보다도 큰 선형 팽창 계수 M2(M1<M2)의 제2 재료로 한다. 이때, 보조 부재(13C)의 길이 L2는L2=L1/(M2/M1)로 구성된다.Hereinafter, the material and the length of the strut 22 and the auxiliary member 13C will be described in detail. As shown in Fig. 4, the vertical length of the strut 22 is L1, and the length of the auxiliary member 13C in the vertical direction is L2. The material of the support 22 is made of the first material having the linear expansion coefficient M1 and the material of the auxiliary member 13C is made the second material having the linear expansion coefficient M2 (M1 <M2) larger than the linear expansion coefficient M1. At this time, the length L2 of the auxiliary member 13C is made L2 = L1 / (M2 / M1).

예를 들어, 지주(22)의 재료를 철재료로 하고, 보조 부재(13C)를 고무 재료로 한 경우에는, 고무 재료의 선형 팽창 계수는 철재료의 선형 팽창 계수의 약10배이기 때문에, 보조 부재(13C)의 상하 방향의 길이 L2는, L2=L1/10으로 구성된다. 이러한 구성으로 함으로써, 지주(22) 및 보조 부재(13C)의 열에 의한 팽창량이 대략 동일해진다.For example, when the material of the strut 22 is made of an iron material and the auxiliary member 13C is made of a rubber material, since the linear expansion coefficient of the rubber material is about ten times the linear expansion coefficient of the iron material, The length L2 of the member 13C in the up and down direction is composed of L2 = L1 / 10. With this configuration, the amounts of expansion due to the heat of the column 22 and the auxiliary member 13C become substantially equal.

이렇게 구성된 측정 장치(1C)에 의하면, 상술한 측정 장치(1)와 마찬가지의 효과를 발휘한다. 즉, 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향에 있어서, 지주(22) 및 보조 부재(13C)의 열에 의한 팽창량을 동일하게 함으로써, 지주(22)가 상방으로 팽창해도, 보조 부재(13C)가 상방으로 같은 팽창량으로 팽창된다.According to the measurement apparatus 1C configured in this manner, the same effect as the measurement apparatus 1 described above is exerted. That is, even if the column 22 expands upward, by making the amount of expansion of the column 22 and the auxiliary member 13C by the same in the opposite direction of the pair of distance meters 12, Is expanded upward to the same amount of expansion.

이로 인해, 거리계(12)가 설치된 상측 프레임(23)이 상방으로 이동해도, 쌍이 되는 거리계(12)도, 보조 부재(13C)에 의해 상방으로 이동한다. 이와 같이, 지주(22)의 상측 방향의 팽창을, 보조 부재(13C)의 상측 방향의 팽창에 의해 상쇄하고, 한 쌍의 거리계(12)의 간극을 일정하게 할 수 있다. 또한, 측정 장치(1C)는, 보조 부재(13C)에 고무 부재를 사용함으로써 보조 부재(13C)의 두께를 얇게 하는 것이 가능해지고, 결과, 측정 장치(1C)를 소형으로 하는 것이 가능하게 된다. 이러한 것에 의해, 측정 장치(1)는, 한 쌍의 거리계(12)에 의해, 측정 대상(100)을, 높은 정밀도로 측정하는 것이 가능하게 된다.Therefore, even when the upper frame 23 provided with the distance meter 12 moves upward, the pair of distance meters 12 are also moved upward by the assistance member 13C. As described above, the upward expansion of the column 22 can be canceled by the upward expansion of the auxiliary member 13C, and the gap between the pair of distance meters 12 can be made constant. In addition, the measurement apparatus 1C can reduce the thickness of the auxiliary member 13C by using the rubber member as the auxiliary member 13C, and as a result, it is possible to make the measuring apparatus 1C compact. As a result, the measurement apparatus 1 can measure the measurement object 100 with a pair of distance meters 12 with high accuracy.

(제5 실시 형태)(Fifth Embodiment)

다음에, 제5 실시 형태에 관한 측정 장치(1D)에 대해, 도 5를 사용하여 설명한다.Next, a measuring apparatus 1D according to the fifth embodiment will be described with reference to Fig.

도 5는, 제5 실시 형태에 관한 측정 장치(1D)의 구성을 나타내는 설명도이다. 또한, 제5 실시 형태에 관한 측정 장치(1D)에 있어서, 상술한 제1 실시 형태에 관한 측정 장치(1)와 마찬가지의 구성에는 동일 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.5 is an explanatory view showing a configuration of a measuring apparatus 1D according to the fifth embodiment. In the measuring device 1D according to the fifth embodiment, the same components as those of the measuring device 1 according to the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and a detailed description thereof will be omitted.

측정 장치(1D)는, 측정 대상(100)을 통과시키는 틀 모양의 기초부(11D)와, 기초부(11D)에 설치되고, 서로 대향하여 배치되는 한 쌍의 거리계(12)와, 한 쌍의 거리계(12)의 간극의 거리를 계측하는 교정 장치(14)와, 한 쌍의 거리계(12) 및 교정 장치(14)에 각각 신호선(99)을 통하여 접속된 제어부(15)를 구비하고 있다. 또한, 측정 장치(1D)는, 상술한 측정 장치(1)와 다른 구성으로 하고, 보조 부재(13)를 갖지 않는다.The measuring device 1D includes a frame base portion 11D passing through the measurement target 100, a pair of distance meters 12 provided on the base portion 11D so as to face each other, And a control unit 15 connected to the pair of distance meters 12 and the calibration unit 14 via signal lines 99. The control unit 15 is connected to the distance measuring unit 12, . The measuring apparatus 1D has a different structure from the measuring apparatus 1 described above and does not have the auxiliary member 13. [

기초부(11D)는, 하부 프레임(21)과, 하부 프레임(21)의 한 쌍의 측면에 설치된 한 쌍의 지주(22)와, 지주(22)에 설치된 상측 프레임(23)을 구비하고 있다. 기초부(11D)는, 정면에서 보아서 사각형 틀모양으로 구성된다. 또한, 기초부(11D)는, 적어도 하부 프레임(21) 및 상부 프레임(23)이 같은 선형 팽창 계수를 갖는 재료이고, 동일한 형상으로 구성된다.The base portion 11D is provided with a lower frame 21, a pair of pillars 22 provided on a pair of side surfaces of the lower frame 21 and an upper frame 23 provided on the pillars 22 . The base portion 11D has a rectangular frame shape when seen from the front. The base portion 11D is a material having at least the lower frame 21 and the upper frame 23 having the same linear expansion coefficient and is formed in the same shape.

기초부(11D)는, 설치면(200)에 배치된다. 기초부(11D)는, 한쪽 지주(22)의 하면이 설치면(200)에 고정되고, 하부 프레임(21) 및 다른 쪽 지주(22)가 설치면(200)에 지지된다. 구체적으로는, 기초부(11D)는, 하부 프레임(21) 및 다른 쪽 지주(22)가 설치면(200)에 고정되지 않고, 설치면(200)에 대해, 설치면(200)의 면 방향으로 이동 가능하도록 구성된다.The base portion 11D is disposed on the mounting surface 200. [ The base 11D is fixed to the mounting surface 200 by the lower surface of one strut 22 and the lower frame 21 and the other strut 22 are supported by the mounting surface 200. [ Specifically, the base portion 11D is formed in such a manner that the lower frame 21 and the other support 22 are not fixed to the mounting surface 200 but are arranged on the mounting surface 200 in the plane direction of the mounting surface 200 As shown in FIG.

예를 들어, 기초부(11D)는, 판 부재 및 볼트 등의 고정부(32)에 의해 한쪽 지주(22)가 고정된다. 또한, 예를 들어 기초부(11D)는, 하부 프레임(21) 및 다른 쪽 지주(22)가 레일이나 캐스터 등에 의해, 설치면(200)에 대해 이동 가능하도록 구성된다. 설치면(200)은, 예를 들어 측정 장치(1)가 설치되는 공장 등의 바닥면 등이다.For example, in the base portion 11D, the one support 22 is fixed by the fixing portion 32 such as a plate member and a bolt. For example, the base portion 11D is configured such that the lower frame 21 and the other support 22 are movable relative to the mounting surface 200 by a rail, a caster, or the like. The mounting surface 200 is, for example, a bottom surface of a factory or the like where the measuring apparatus 1 is installed.

한 쌍의 거리계(12)는, 서로 대향하여 배치된다. 한 쌍의 거리계(12)는 한쪽이 하부 프레임(21)의 상면에, 다른 쪽이 상부 프레임(23)의 하면에, 각각 고정된다. 대향하는 한 쌍의 거리계(12)의 간극은, 측정 대상(100)을 통과 가능한 길이로 구성된다.A pair of distance meters 12 are arranged facing each other. One of the pair of distance meters 12 is fixed to the upper surface of the lower frame 21 and the other is fixed to the lower surface of the upper frame 23. The gap between the pair of distance meters 12 facing each other is made to be a length that allows the measurement object 100 to pass through.

다음에, 이와 같이 구성된 측정 장치(1)를 사용한 측정 대상(100)의 측정에 대해 설명한다.Next, the measurement of the measurement object 100 using the measurement apparatus 1 constructed as described above will be described.

우선, 예를 들어 열처리에 의해 가열된 측정 대상(100)을 측정 장치(1)에 의해 측정하는 경우에 있어서, 측정 대상(100)을 컨베이어 등의 반송 장치에 의해 한 쌍의 거리계(12) 사이를 통과시킨다.First, for example, when the measurement object 1 heated by the heat treatment is measured by the measurement device 1, the measurement object 100 is placed between the pair of distance meters 12 by a conveyance device such as a conveyor .

이때, 측정 대상(100)의 열에 의해, 기초부(11D)가 가열되어, 하부 프레임(21) 및 상부 프레임(23)이 하부 프레임(21) 및 상부 프레임(23)의 거리계(12)가 고정되는 주면의 면 방향, 환언하면, 거리계(12)의 대향하는 방향에 직교하는 방향, 또한 환언하면 가로 방향으로 팽창한다.At this time, the base portion 11D is heated by the heat of the measurement object 100 so that the lower frame 21 and the upper frame 23 are fixed to the lower frame 21 and the distance meter 12 of the upper frame 23 are fixed In other words, the direction orthogonal to the opposite direction of the distance meter 12, in other words, the lateral direction.

기초부(11D)는, 한쪽 지주(22)가 설치면(200)에 고정되고, 하부 프레임(21) 및 다른 쪽 지주(22)가 설치면(200)으로 이동 가능하게 지지된다는 점에서, 하부 프레임(21) 및 상부 프레임(23)은, 도 5에 이점쇄선으로 도시된 바와 같이, 가로 방향으로 팽창된다. 그 결과, 다른 쪽 지주(22)는, 가로 방향의 한쪽, 즉, 한쪽 지주(22)로부터 이격되는 방향으로 팽창되고, 하부 프레임(21) 및 상부 프레임(23)은, 판형을 유지한다.The base 11D is fixed to the mounting surface 200 in such a manner that one strut 22 is fixed to the mounting surface 200 and the lower frame 21 and the other strut 22 are movably supported by the mounting surface 200. [ The frame 21 and the upper frame 23 are expanded in the transverse direction, as shown by the two-dot chain line in Fig. As a result, the other column 22 is expanded in one of the lateral directions, that is, in a direction away from the one column 22, and the lower frame 21 and the upper frame 23 are kept in a plate shape.

구체적으로 설명하면 가령, 한 쌍의 지주(22)가 설치면(200)에 고정되어 있다고 하면, 열에 의해 팽창된 하부 프레임(21) 및 상부 프레임(23)은, 한 쌍의 측면이 한 쌍의 지주(22)에 고정되어 있기 때문에, 팽창한 만큼 상하 방향으로 변형된다. 이 변형에 의해, 한 쌍의 거리계(12) 사이의 거리가 커지거나, 또는, 작아진다.For example, assuming that the pair of pillars 22 are fixed to the mounting surface 200, the lower frame 21 and the upper frame 23, which are expanded by heat, Since it is fixed to the column 22, it is deformed in the vertical direction due to expansion. By this modification, the distance between the pair of distance meters 12 becomes larger or smaller.

이에 반하여, 본 실시 형태의 기초부(11D)는, 한쪽 지주(22)를 설치면(200)에 고정부(32)를 통하여 고정하고, 다른 쪽 지주(22) 및 하부 프레임(21)을 설치면(200)에 고정하지 않는 구성이다. 이에 의해, 하부 프레임(21) 및 상부 프레임(23)이 변형되는 것을 방지하고, 또한, 하부 프레임(21) 및 상부 프레임(23)은 같은 선형 팽창 계수 및 동일 형상으로 함으로써, 동일한 팽창량이 되기 때문에, 한 쌍의 거리계(12)는, 가로 방향으로 동량만큼 이동한다. 이로 인해, 통과하는 측정 대상(100)의 열에 의한 변형이 방지되어, 또한, 거리계(12)는 서로 대향한 상태가 유지된다.On the other hand, in the base portion 11D of the present embodiment, one strut 22 is fixed to the mounting surface 200 through the fixing portion 32, and the other strut 22 and the lower frame 21 are installed Is not fixed to the surface (200). In this way, the lower frame 21 and the upper frame 23 are prevented from being deformed, and the lower frame 21 and the upper frame 23 have the same linear expansion coefficient and the same shape, , The pair of distance meters 12 move by the same amount in the horizontal direction. As a result, the measurement object 100 passing therethrough is prevented from being deformed by heat, and the distance meter 12 is maintained in a state in which the distance meter 12 faces each other.

다음에, 한 쌍의 거리계(12)는, 통과한 측정 대상(100)까지의 거리를 각각 측정하고, 측정된 정보를 제어부(15)에 송신한다. 제어부(15)는, 교정 장치(14)에서 검출된 한 쌍의 거리계(12) 사이의 거리와, 수신된 각 거리계(12)로부터 측정 대상(100)까지의 거리의 합의 차로부터, 측정 대상(100)의 두께를 도출한다. 또한, 예를 들어 교정 장치(14)는, 측정 대상(100)의 측정 전에, 미리 한 쌍의 거리계(12) 사이의 거리를 측정하고, 제어부(15)에 정보를 송신한다. 이들 측정을, 측정 대상(100)의 이송 방향의 일부 또는 모두에 걸쳐서 행하고, 측정 대상(100)의 두께를 측정한다.Next, the pair of distance meters 12 measures the distances to the measurement target 100 that passed therethrough, respectively, and transmits the measured information to the control unit 15. The control unit 15 calculates the difference between the distance between the pair of distance meters 12 detected by the calibration unit 14 and the sum of the distances from the respective distance meters 12 received to the measurement target 100, 100). For example, the calibration apparatus 14 measures the distance between the pair of distance meters 12 in advance before measurement of the measurement object 100, and transmits the information to the control unit 15. These measurements are made over part or all of the conveyance direction of the measurement target 100, and the thickness of the measurement target 100 is measured.

이렇게 구성된 제5 실시 형태에 관한 측정 장치(1D)에 의하면, 한쪽 지주(22)만을 설치면(200)에 고정하고, 하부 프레임(21) 및 다른 쪽 지주(22)를 설치면(200) 상에 이동 가능하게 지지되는 구성으로 함으로써, 열에 의한 하부 프레임(21) 및 상부 프레임(23)의 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 결과, 열에의해 생기는 변형에 의해 한 쌍의 거리계(12)의 간극이 변화하는 것을 방지할 수 있다. 이러한 것들에 의해, 측정 장치(1D)는, 한 쌍의 거리계(12)에 의해, 측정 대상(100)을, 높은 정밀도로 측정하는 것이 가능하게 된다.Only one strut 22 is fixed to the mounting surface 200 and the lower frame 21 and the other strut 22 are fixed to the mounting surface 200 on the mounting surface 200. In the measuring device 1D according to the fifth embodiment, It is possible to prevent deformation of the lower frame 21 and the upper frame 23 due to heat. As a result, it is possible to prevent the gap of the pair of distance meters 12 from changing due to the deformation caused by the heat. By these means, the measurement apparatus 1D can measure the measurement object 100 with a pair of distance meters 12 with high accuracy.

(제6 실시 형태)(Sixth Embodiment)

다음에, 제6 실시 형태에 관한 측정 장치(1E)에 대해, 도 6을 사용하여 설명한다.Next, a measuring apparatus 1E according to the sixth embodiment will be described with reference to Fig.

도 6은, 제6 실시 형태에 관한 측정 장치(1E)의 구성을 나타내는 설명도이다. 또한, 제6 실시 형태에 관한 측정 장치(1E)에 있어서, 상술한 제1 실시 형태에 관한 측정 장치(1) 및 제5 실시 형태에 관한 측정 장치(1D)와 마찬가지의 구성에는 동일 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.Fig. 6 is an explanatory view showing a configuration of the measuring apparatus 1E according to the sixth embodiment. In the measuring apparatus 1E according to the sixth embodiment, the same components as those of the measuring apparatus 1 according to the first embodiment and the measuring apparatus 1D according to the fifth embodiment are given the same reference numerals And detailed description thereof will be omitted.

측정 장치(1E)는, 측정 대상(100)을 통과시키는 틀 모양의 기초부(11D)와, 기초부(11D)에 설치되어, 서로 대향하여 배치되는 한 쌍의 거리계(12)와, 기초부(11D) 및 한쪽의 거리계(12) 사이에 설치된 보조 부재(13)와, 한 쌍의 거리계(12)의 간극의 거리를 계측하는 교정 장치(14)와, 한 쌍의 거리계(12) 및 교정 장치(14)에 각각 신호선(99)을 통하여 접속된 제어부(15)를 구비하고 있다.The measuring apparatus 1E includes a frame-shaped base portion 11D for passing the measurement object 100, a pair of distance meters 12 provided on the base portion 11D so as to face each other, An auxiliary member 13 provided between the pair of distance meters 12 and the one distance meter 12, a calibration device 14 for measuring the distance between the pair of distance meters 12, a pair of distance meters 12, And a control unit 15 connected to the device 14 via signal lines 99. [

한 쌍의 거리계(12)는, 서로 대향하여 배치된다. 한 쌍의 거리계(12)는, 한쪽이 하부 프레임(21)의 상면에, 다른 쪽이 보조 부재(13)에, 각각 고정된다. 대향하는 한 쌍의 거리계(12)의 간극은, 측정 대상(100)을 통과 가능한 길이로 구성된다.A pair of distance meters 12 are arranged facing each other. One of the pair of distance meters 12 is fixed to the upper surface of the lower frame 21 and the other is fixed to the auxiliary member 13. The gap between the pair of distance meters 12 facing each other is made to be a length that allows the measurement object 100 to pass through.

여기서, 하부 프레임(21) 및 상부 프레임(23)은, 동일한 선형 팽창 계수를 갖는 재료에 의해 구성되고, 보조 부재(13)는, 지주(22)의 선형 팽창 계수보다도 높은 선형 팽창 계수를 갖는 재료로 구성된다.Here, the lower frame 21 and the upper frame 23 are made of a material having the same linear expansion coefficient, and the auxiliary member 13 is made of a material having a linear expansion coefficient higher than that of the column 22 .

또한, 하부 프레임(21) 및 상부 프레임(23)은, 동일한 형상으로 구성됨과 함께, 열에 의해 한 쌍의 거리계(12)의 대향하는 방향으로 팽창하는 팽창량이 같은 팽창량이 되는 길이를 갖는다.The lower frame 21 and the upper frame 23 are formed in the same shape and have a length such that the amount of expansion expanding in the opposite direction of the pair of distance meters 12 by heat is equal to the amount of expansion.

이렇게 구성된 제6 실시 형태에 관한 측정 장치(1E)에 의하면, 상술한 제1 실시 형태와 마찬가지로, 지주(22)의 팽창을 거리계(12)가 고정된 보조 부재(13)의 팽창에 의해 상쇄할 수 있음과 함께, 상술한 제5 실시 형태와 마찬가지로, 열에 의한 하부 프레임(21) 및 상부 프레임(23)의 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 결과, 측정 장치(1E)에 의하면, 한 쌍의 거리계(12)의 간극이 변화하는 것을 방지할 수 있다. 이러한 것들에 의해, 측정 장치(1E)는, 한 쌍의 거리계(12)에 의해, 측정 대상(100)을 높은 정밀도로 측정하는 것이 가능하게 된다.According to the measuring apparatus 1E of the sixth embodiment configured as described above, the expansion of the strut 22 is canceled by the expansion of the auxiliary member 13 to which the distance meter 12 is fixed, similarly to the first embodiment described above It is possible to prevent deformation of the lower frame 21 and the upper frame 23 due to heat, similarly to the above-described fifth embodiment. As a result, according to the measuring device 1E, it is possible to prevent the gap of the pair of distance meters 12 from changing. By these means, the measurement apparatus 1E can measure the measurement target 100 with high accuracy by the pair of distance meters 12. [

또한, 측정 장치는, 상기 각 실시 형태에 기재된 예에 한정되지 않는다.Further, the measuring apparatus is not limited to the example described in each of the above embodiments.

상술한 예에서는, 측정 장치(1A)는, 하부 프레임(21)과, 하부 프레임(21)의 하나의 측면 또는 한 쌍의 측면에 설치된 하나 또는 한 쌍의 지주(22)와, 지주(22)에 설치된 보조 부재(13A)와, 보조 부재(13A)에 설치된 상측 프레임(23)을 구비하는 구성을 설명했지만 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 측정 장치(1A)는, 상술한 측정 장치(1D, 1E)와 마찬가지로, 한 쌍의 지주(22)의 한쪽을 고정부(32)에 의해 설치면(200)에 고정하고, 한 쌍의 지주(22)의 다른 쪽을, 설치면(200)에 대해 이동 가능하게 하는 구성이어도 된다. 이러한 구성으로 함으로써, 측정 장치(1A)는, 상술한 측정 장치(1E)와 마찬가지의 효과를 발휘한다.The measuring apparatus 1A includes a lower frame 21 and one or a pair of pillars 22 provided on one side or a pair of side faces of the lower frame 21, And the upper frame 23 provided on the auxiliary member 13A. However, the present invention is not limited thereto. For example, in the measuring apparatus 1A, one of the pair of pillars 22 is fixed to the mounting surface 200 by the fixing portion 32, And the other of the pair of pillars 22 can be made movable with respect to the mounting surface 200. With this configuration, the measuring apparatus 1A has the same effect as the measuring apparatus 1E described above.

마찬가지로, 측정 장치(1B, 1C)는, 한쪽 지주(22, 22B)를 고정부(32)에 의해 설치면(200)에 고정하고, 하부 프레임(21) 및 다른 쪽 지주(22, 22B)를 설치면(200)에 대해 이동 가능하게, 설치면(200) 상에 지지하는 구성으로 해도 된다.Likewise, the measuring apparatuses 1B and 1C are configured such that one of the struts 22 and 22B is fixed to the mounting surface 200 by the fixing portion 32 and the lower frame 21 and the other struts 22 and 22B But may be supported on the mounting surface 200 so as to be movable with respect to the mounting surface 200.

또한, 상술한 예에서는, 각 측정 장치(1 내지 1E)는, 각각 보조 부재(13, 13A, 13B, 13C)의 어느 것인가를 갖는 구성을 설명했지만 이에 한정되지 않는다. 각 측정 장치(1 내지 1E)는, 적절히 조합하여 사용하는 것이 가능하다. 즉, 측정 장치는, 복합적으로 각 보조 부재(13, 13A, 13B, 13C)를 갖는 측정 장치로 해도 된다.Further, in the above-described example, each of the measuring apparatuses 1 to 1E has a configuration having any one of the auxiliary members 13, 13A, 13B, and 13C, but is not limited thereto. The respective measuring apparatuses 1 to 1E can be used in appropriate combination. That is, the measuring apparatus may be a measuring apparatus having the auxiliary members 13, 13A, 13B, and 13C in combination.

또한, 상술한 예에서는, 각 측정 장치(1 내지 1E)는, 지주(22) 및 보조 부재(13, 13A, 13B, 13C)를 예시적으로 금속 재료 또는 고무 재료를 사용하는 구성으로 설명했지만 이에 한정되지 않는다. 지주(22) 및 보조 부재(13, 13A, 13B, 13C)의 재료는, 열에 의한 팽창량을 상쇄 가능하다면, 재료는 적절히 설정 가능하다.Although the support members 22 and the auxiliary members 13, 13A, 13B, and 13C are exemplarily made of a metal material or a rubber material in each of the measuring apparatuses 1 to 1E in the above- It is not limited. The material of the pillars 22 and the auxiliary members 13, 13A, 13B, and 13C can be appropriately set so long as the amounts of expansion due to heat can be offset.

또한, 상술한 예에서는, 측정 장치(1B)는, 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b)의 재료를 동일한 선형 팽창 계수를 갖는 제1 재료로 하는 구성을 설명했지만 이에 한정되지 않는다. 즉, 보조 부재(13B)의 팽창량에 의해 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b)의 팽창량을 상쇄할 수 있는 구성이면, 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b)를 다른 선형 팽창 계수로 하는 구성이어도 된다.In the above-described example, the measuring device 1B has been described as having the first strut 22a and the second strut 22b made of the first material having the same linear expansion coefficient, but the present invention is not limited thereto. That is, if the amount of expansion of the first strut 22a and the second strut 22b can be canceled by the amount of expansion of the auxiliary member 13B, the first strut 22a and the second strut 22b But may have a different linear expansion coefficient.

예를 들어, 제1 지주(22a)를 선팽창 계수 M1의 제1 재료로 하고 제2 지주(22b)의 재료를 선형 팽창 계수 M3의 제3 재료로 하고, 보조 부재(13B)의 재료를 선형 팽창 계수 M1, M3보다도 큰 선형 팽창 계수 M2(M1<M2, M3<M2)의 제2 재료로 한다. 이때, 보조 부재(13B)의 길이 L2를, L2=(L11·M1+L12·M3)/M2로 구성하면, 제1 지주(22a) 및 제2 지주(22b)의 각각의 팽창량의 합을 보조 부재(13B)의 팽창량으로 상쇄할 수 있다.For example, when the first strut 22a is made of a first material having a coefficient of linear expansion M1 and the second strut 22b is made of a third material having a linear expansion coefficient M3 and the material of the auxiliary member 13B is linearly expanded And a linear expansion coefficient M2 (M1 <M2, M3 <M2) larger than the coefficients M1 and M3. If the length L2 of the auxiliary member 13B is L2 = (L11 M1 + L12 M3) / M2, the sum of the amounts of expansion of the first and second struts 22a and 22b is It can be canceled by the amount of expansion of the auxiliary member 13B.

이상 설명한 적어도 하나의 실시 형태의 측정 장치에 의하면, 열에 의해 지주의 길이가 변동되어도, 지주의 팽창량을 보조 부재의 팽창량에 의해 상쇄함으로써, 대향하여 배치된 한 쌍의 거리계의 대향하는 거리를 일정하게 유지하고, 높은 정밀도로 대상물의 두께를 측정할 수 있다.According to the measuring apparatus of at least one of the embodiments described above, even if the length of the strut varies due to heat, the distance of expansion of the strut is offset by the amount of expansion of the auxiliary member, The thickness of the object can be measured with high accuracy.

본 발명의 몇 가지 실시 형태를 설명했지만, 이들 실시 형태는, 예로서 제시된 것이며, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하지 않는다. 이들 신규 실시 형태는, 그밖의 다양한 형태로 실시될 수 있으며, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 다양한 생략, 치환, 변경을 행할 수 있다. 이들 실시 형태나 그 변형은, 발명의 범위와 요지에 포함됨과 함께, 특허 청구 범위에 기재된 발명과 그 균등의 범위에 포함된다.While several embodiments of the invention have been described, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These new embodiments can be embodied in various other forms, and various omissions, substitutions, and alterations can be made without departing from the gist of the invention. These embodiments and their modifications are included in the scope of the invention and the scope of the invention as defined in the appended claims.

Claims (7)

하부 프레임, 상기 하부 프레임과 대향하여 설치되는 상부 프레임, 그리고, 상기 하부 프레임 및 상기 상부 프레임을 연결하는 지주를 갖는 기초부와,
상기 하부 프레임 및 상기 상부 프레임에 각각 설치되고, 측정 대상을 통과 가능한 간극을 갖고 서로 대향하여 배치된 한 쌍의 거리계와,
상기 기초부에 설치되고, 상기 지주와 다른 선형 팽창 계수를 갖는 재료로 구성되고, 열에 의해 상기 한 쌍의 거리계의 대향하는 방향으로 팽창하는 상기 지주의 팽창량과 같은 팽창량이 되는 상기 한 쌍의 거리계의 대향하는 방향의 길이를 갖는 보조 부재,
를 구비하는 측정 장치.A base frame having a lower frame, an upper frame opposed to the lower frame, and a strut connecting the lower frame and the upper frame,
A pair of distance meters provided respectively in the lower frame and the upper frame,
And a pair of omnidirectional equipments which are provided in the base portion and are made of a material having a linear expansion coefficient different from that of the strut and which are expanded by an amount of expansion of the strut expanding in a direction opposite to the pair of omni- An auxiliary member having a length in a direction opposite to the first direction,
. 제1항에 있어서, 상기 보조 부재는, 상기 상부 프레임 및 상기 상부 프레임에 설치되는 상기 거리계 사이에 고정되는 것을 구비하는, 측정 장치.The measuring device according to claim 1, wherein the auxiliary member is fixed between the upper frame and the distance meter installed in the upper frame. 제1항에 있어서, 상기 보조 부재는, 상단이 상기 지주의 상단에 고정되고, 하단이 상기 상부 프레임에 고정되는, 측정 장치.The measuring device according to claim 1, wherein the auxiliary member has an upper end fixed to an upper end of the strut, and a lower end fixed to the upper frame. 제1항에 있어서, 상기 지주는, 상기 하부 프레임에 하단이 고정되는 제1 지주와, 상기 상부 프레임에 상단이 고정되는 제2 지주를 갖고,
상기 보조 부재는, 상기 제1 지주의 측면 및 상기 제2 지주의 측면 사이에 배치되고, 상단이 상기 제1 지주의 상단에 고정되고, 하단이 상기 제2 지주의 하단에 고정되는, 측정 장치.[2] The apparatus of claim 1, wherein the strut has a first strut having a lower end fixed to the lower frame, and a second strut having an upper end fixed to the upper frame,
Wherein the auxiliary member is disposed between a side surface of the first support and a side surface of the second support and has an upper end fixed to the upper end of the first support and a lower end fixed to the lower end of the second support. 제1항에 있어서, 상기 지주는 철 재료로 구성되고,
상기 보조 부재는 고무 재료로 구성되고, 상기 하부 프레임 및 상기 하부 프레임에 설치되는 상기 거리계에 고정되는, 측정 장치.The method according to claim 1, wherein the strut is made of an iron material,
Wherein the auxiliary member is made of a rubber material and is fixed to the distance meter installed in the lower frame and the lower frame. 제1항에 있어서, 상기 기초부는, 상기 지주를 1쌍 갖고,
상기 지주는, 상기 하부 프레임의 대향하는 측면에 각각이 대향하여 배치되고, 상기 지주의 한쪽은, 상기 기초부를 설치하는 설치면에 고정되고, 상기 지주의 다른 쪽은, 상기 설치면에 대해 이동 가능하게 상기 설치면 상에 지지되는 측정 장치.2. The apparatus according to claim 1, wherein the base portion has a pair of the struts,
Wherein the support posts are disposed so as to face each other on opposite sides of the lower frame, one of the supports is fixed to a mounting surface on which the base is provided, and the other of the supports is movable Is supported on the mounting surface. 하부 프레임, 상기 하부 프레임과 대향하여 설치되는 상부 프레임, 그리고, 상기 하부 프레임의 대향하는 측면 및 상기 상부 프레임의 대향하는 측면에 양단이 각각 배치되는 한 쌍의 지주를 갖고, 상기 한 쌍의 지주의 한쪽이 설치면에 고정되고, 상기 한 쌍의 지주 다른 쪽이 상기 설치면에 대해 이동 가능하게 상기 설치면 상에 지지되는 기초부와,
상기 하부 프레임 및 상기 상부 프레임에 각각 설치되고, 측정 대상을 통과 가능한 간극을 갖고 서로 대향하여 배치된 한 쌍의 거리계,
를 구비하는, 측정 장치.A lower frame, an upper frame installed opposite to the lower frame, and a pair of support posts, both ends of which are respectively disposed on opposite sides of the lower frame and on opposite sides of the upper frame, A base portion having one side fixed to the mounting surface and the other side of the pair of supports supported on the mounting surface so as to be movable with respect to the mounting surface;
A pair of distance meters provided in the lower frame and the upper frame respectively and having gaps which can pass through the object to be measured and arranged so as to face each other,
.
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