KR20180050871A - 약액 누설 감지 센서 - Google Patents

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Abstract

약액이 저장된 약액조로부터 약액의 누설 여부를 감지하기 위한 약액 누설 감지 센서가 개시된다. 약액 누설 감지 센서는, 베이스 기판과, 베이스 기판 상에 서로 이격되어 나란하게 배치되고 저항 회로를 형성하기 위한 한 쌍의 메인 전극 라인과, 메인 전극 라인들이 형성된 베이스 기판 상에 형성되고 메인 전극 라인의 길이 방향에 대해 수직 방향으로 연장되어 메인 전극 라인들을 가로지르게 배치되며 메인 전극 라인들과 도전되고 약액의 누설 감지를 위하여 화학 반응시 선택성(selectivity)을 갖는 재질로 이루어진 센싱 전극 라인과, 센싱 전극 라인이 형성된 베이스 기판 상에 형성되어 센싱 전극 라인을 커버하고 누설된 약액이 센싱 전극 라인에 접촉되도록 센싱 전극 라인을 일부분 노출시키는 비아홀을 갖는 절연층을 포함할 수 있다. 이와 같이, 약액 누설 감지 센서는 누설된 약액과의 화학적 반응을 위한 별도의 센싱 전극 라인을 구비함으로써, 센싱 전극 라인의 두께 변화에 따른 저항값의 변화폭이 크며, 그 결과, 약액의 누설을 정확하게 감지할 수 있다.

Description

약액 누설 감지 센서{Chemical leakage sensor}
본 발명의 실시예들은 약액 누설 감지 센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 약액이 저장된 약액조로부터 약액의 누설 여부를 센싱하기 위한 약액 누설 감지 센서에 관한 것이다.
약액 누설 감지 센서는 약액이 저장된 약액조 외부에 설치되며, 약액조로부터 약액이 누설될 경우 이를 감지하여 알려주는 센서이다.
종래의 약액 누설 감지 센서는 탐침 전극을 사용하여 전도도를 읽는 방식으로, 센서의 전도도 변화를 통해 약액의 누설 여부를 인지할 수 있다.
그러나, 약액조가 실외에 설치될 경우 약액조에서 누설된 약액과 빗물이 혼입되기 쉬우며 약액과 물을 구별하기 어렵다. 이로 인해, 약액 누설로 인한 전도도 변화를 정확하게 인지하기 어려우며, 그 결과, 약액 누설 감지 센서의 신뢰도가 저하된다.
(001) 대한민국 공개특허공보 제10-2016-0029612호 (2016.03.15.)
본 발명의 실시예들은 선택비가 높은 금속 재질을 이용하여 약액의 누설 여부를 정확하게 파악할 수 있는 약액 누설 감지 센서를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 약액이 저장된 약액조로부터 상기 약액의 누설 여부를 감지하기 위한 약액 누설 감지 센서는, 베이스 기판과, 상기 베이스 기판 상에 서로 이격되어 나란하게 배치되고 저항 회로를 형성하기 위한 한 쌍의 메인 전극 라인과, 상기 메인 전극 라인들이 형성된 상기 베이스 기판 상에 형성되고 상기 메인 전극 라인의 길이 방향에 대해 수직 방향으로 연장되어 상기 메인 전극 라인들을 가로지르게 배치되며 상기 메인 전극 라인들과 도전되고 상기 약액의 누설 감지를 위하여 화학 반응시 선택성(selectivity)을 갖는 재질로 이루어진 센싱 전극 라인과, 상기 센싱 전극 라인이 형성된 상기 베이스 기판 상에 형성되어 상기 센싱 전극 라인을 커버하고 누설된 약액이 상기 센싱 전극 라인에 접촉되도록 상기 센싱 전극 라인을 일부분 노출시키는 비아홀을 갖는 절연층을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 센싱 전극 라인의 재질은 물에 대한 반응성 또는 상기 약액에 대응하는 화학종에 따라 결정될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 비아홀은 상기 메인 전극 라인들 사이 영역에 위치할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 센싱 전극 라인은 복수로 구비될 수 있으며, 복수의 센싱 전극 라인은 서로 다른 약액에 반응하도록 서로 다른 재질로 이루어지며 상기 메인 전극 라인의 길이 방향으로 서로 이격되어 나란하게 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 비아홀은 복수로 구비될 수 있으며, 복수의 비아홀은 상기 복수의 센싱 전극 라인에 대응하여 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 누설된 약액에 의해 상기 센싱 전극 라인이 단절되는 시간은 상기 센싱 전극 라인의 배선 폭과 두께에 따라 달라지며, 상기 센싱 전극 라인의 두께는 상기 약액의 농도에 따라 설정될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 비아홀은 상기 메인 전극 라인의 길이 방향으로의 폭이 상기 센싱 전극 라인의 배선 폭보다 클 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 약액 누설 감지 센서는 저항 회로를 형성하기 위한 메인 전극 라인들과는 별도로 누설된 약액과의 화학적 반응을 위한 센싱 전극 라인을 구비함으로써, 센싱 전극 라인의 두께 변화에 따른 저항값의 변화폭이 크며, 이에 따라, 약액의 누설을 정확하게 감지할 수 있다.
특히, 센싱 전극 라인은 약액에 대응하는 화학종 또는 물과의 반응성을 고려하여 다양한 재질로 이루어질 수 있으므로, 약액의 누설을 신속하고 정확하게 감지할 수 있으며 누설된 약액에 빗물이 혼입되더라도 약액의 누설을 정확하게 감지할 수 있다.
또한, 센싱 전극 라인이 메인 전극 라인들과 별개로 구성되므로, 센싱 전극 라인의 배선폭과 두께를 약액조에 저장되는 약액의 농도에 따라 용이하게 변경하여 제작할 수 있으며 약액과의 반응을 위한 센싱 전극 라인의 재질 선택의 폭이 넓다. 그 결과, 약액의 화학종과 약액 누설 감지 센서가 설치되는 환경 조건에 따라 센싱 전극 라인의 재질 선택이 가능하므로, 약액의 특성에 따른 약액 누설 감지 센서의 제작이 용이하며, 센싱 정확도를 향상시킬 수 있다.
또한, 약액 누설 감지 센서는 서로 다른 화학종과 반응하는 복수의 센싱 전극 라인을 구비할 수 있으므로, 하나의 약액 누설 감지 센서를 이용하여 다양한 종류의 약액의 누설을 감지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 누설 감지 센서를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1의 절단선 I - I'에 따른 단면도이다.
도 3 내지 도 5는 도 2에 도시된 센싱 전극 라인이 누설된 약액에 의해 반응하는 과정을 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 누설 감지 센서를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 누설 감지 센서를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1의 절단선 I - I'에 따른 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 누설 감지 센서(101)는 약액을 저장하는 약액조(미도시)의 외부에 설치될 수 있으며, 상기 약액조의 약액 누설 여부를 감지한다. 특히, 상기 약액 누설 감지 센서(101)는 특정 화학종을 선택하여 반응하는 선택비가 높은 금속 재질을 이용하여 약액의 누설 여부를 감지함으로써, 물과 약액을 구분하여 반응할 수 있고 약액의 누설 여부를 정확하게 감지할 수 있다.
상기 약액 누설 감지 센서(101)는 베이스 기판(110)과, 상기 베이스 기판(110) 상에 형성된 한 쌍의 메인 전극 라인(120A, 120B)과, 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B)이 형성된 상기 베이스 기판(110) 상에 형성되며 상기 약액조의 약액 누설을 감지하기 위한 센싱 전극 라인(130)과, 상기 센싱 전극 라인(130)이 형성된 상기 베이스 기판(110) 상에 형성되며 상기 센싱 전극 라인(130)을 보호하는 절연층(140)을 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 베이스 기판(110)은 절연 기판으로서, 폴리에틸렌, 폴리카보네이트, 산화실리콘, 폴리이미드 등 내화학성의 절연 재질로 이루어질 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 베이스 기판(110)의 상면에는 저항 회로를 형성하기 위한 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B)이 서로 이격되어 나란하게 배치될 수 있으며, 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B)은 도전을 위해 전도성 금속 재질로 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B)은 알루미늄, 구리, 크롬, 코발트, 텅스텐, 금, 팔라듐, 백금 등 이들 중 어느 하나를 포함하는 금속 재질로 이루어질 수 있다.
상기 센싱 전극 라인(130)은 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B)이 형성된 상기 베이스 기판(110) 상에 형성될 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 센싱 전극 라인(130)은 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B)의 길이 방향에 대해 수직 방향으로 연장되어 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B)을 가로지르게 배치되며 하면이 부분적으로 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B)의 상면과 접한다. 상기 센싱 전극 라인(130)은 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B)과 도전되기 위해 전도성 금속 재질로 이루어질 수 있다.
특히, 상기 센싱 전극 라인(130)은 상기 약액조에 저장된 약액의 누설 여부를 감지하기 위해 화학 반응시 선택성(selectivity)을 갖는 재질로 이루어질 수 있다. 즉, 상기 센싱 전극 라인(130)은 선택비가 높은 금속 재질로 이루어질 수 있으며, 이때, 상기 센싱 전극 라인(130)의 재질은 물에 대한 반응성 또는 상기 약액에 대응하는 화학종에 따라 결정될 수 있다.
예를 들어, 상기 약액 누설 감지 센서(101)가 상기 약액조에 저장되는 상기 약액의 화학종에 상관없이 물과 상기 약액을 분리하여 상기 약액의 누설을 감지하기 위한 센서일 경우, 상기 센싱 전극 라인(130)은 알루미늄 재질로 이루어질 수 있다. 알루미늄은 산성 용액과 알칼리성 용액 모두에 녹으나, 물에는 녹지 않는다. 따라서, 상기 센싱 전극 라인(130)이 알루미늄으로 이루어질 경우, 상기 센싱 전극 라인(130)은 외부에서 혼입되는 빗물과 같이 물에는 반응하지 않으나 상기 약액조에 저장된 산성 또는 알칼리성 약액에는 반응한다. 그 결과, 상기 약액 누설 감지 센서(101)는 물과 구별하여 상기 약액의 누설을 감지할 수 있다. 또한, 상기 약액 누설 감지 센서(101)가 상기 약액에 대응하는 화학종에 따라 상기 약액의 누설을 감지하기 위한 센서일 경우, 상기 센싱 전극 라인(130)은 크롬으로 이루어질 수 있다. 크롬은 물과 알칼리성 용액에는 용해되나, 산성 용액에는 반응하지 않는다. 따라서, 상기 센싱 전극 라인(130)이 알루미늄으로 이루어질 경우, 상기 센싱 전극 라인(130)은 산성의 약액에만 반응하며, 그 결과, 상기 약액 누설 감지 센서(101)는 상기 약액조에 저장된 산성 약액의 누설을 감지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 센싱 전극 라인(130)의 재질로는 알루미늄, 구리, 크롬, 코발트, 텅스텐, 금, 팔라듐, 백금, 등 이중 어느 하나가 이용될 수 있다.
한편, 상기 센싱 전극 라인(130)이 형성된 상기 베이스 기판(110) 상에는 상기 절연막(140)이 증착되며, 상기 절연막(140)은 상기 센싱 전극 라인(130)을 커버한다. 상기 절연막(140)은 상기 약액조로부터 누설된 약액이 상기 센싱 전극 라인(130)에 접촉되도록 상기 센싱 전극 라인(130)을 일부분 노출시키는 비아홀(142)을 구비하며, 상기 비아홀(142)은 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B) 사이 영역에 위치한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B)의 길이 방향으로의 폭이 상기 센싱 전극 라인(130)의 배선 폭보다 크게 형성될 수 있다.
상기 약액조로부터 누설된 약액은 상기 비아홀(142)을 통해 상기 센싱 전극 라인(130)의 상면에 접촉될 수 있으며, 상기 센싱 전극 라인(130)은 상기 누설된 약액에 접촉된 부분이 상기 누설된 약액에 반응하여 용해된다. 이러한 용해 현상에 의해 상기 센싱 전극 라인(130)은 상기 누설된 약액에 접촉된 부분의 두께가 초기 두께보다 얇아진다. 그 결과, 상기 약액 누설 감지 센서(101)의 저항값이 초기 저항값보다 높아지며, 이러한 저항값의 변화를 통해 상기 약액의 누설을 인지할 수 있다. 이때, 상기 약액 누설 감지 센서(101)의 저항값은 상기 누설된 약액에 접촉된 센싱 전극 라인(130)의 두께가 얇아질 수록 상승한다.
이하, 도면을 참조하여, 상기 누설된 약액에 의한 상기 센싱 전극 라인(130)의 두께와 저항값의 변화에 대해 구체적으로 설명한다.
도 3 내지 도 5는 도 2에 도시된 센싱 전극 라인이 누설된 약액에 의해 반응하는 과정을 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 상기 약액조로부터 약액이 누설되어 상기 비아홀(142)로 유입될 경우, 초기에는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 센싱 전극 라인(130)에서 상기 비아홀(142)을 노출된 부분(132)이 누설된 약액(10)에 의해 일부분 식각된다. 이후, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 비아홀(142)을 통해 노출된 부분(132)이 상기 누설된 약액(10)에 의해 점점 더 식각되며, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 비아홀(142)을 통해 노출된 부분(132)이 완전히 오픈되어 상기 센싱 전극 라인(130)이 단절될 수 있다. 이렇게 상기 센싱 전극 라인(130)이 단절될 경우, 상기 상기 약액 누설 감지 센서(101)의 저항값이 급격하게 변하며, 이를 통해 약액의 누설을 감지할 수 있다. 즉, 상기 약액 누설 감지 센서(101)로부터 출력된 저항값이 기 설정된 상기 센싱 전극 라인(130)의 단절시 저항값과 동일할 경우, 상기 약액조로부터 상기 약액이 누설된 것으로 인지할 수 있다.
여기서, 상기 센싱 전극 라인(130)이 단절되기까지 소요되는 시간은 상기 센싱 전극 라인(130)의 배선 폭과 두께에 따라 달라지며, 상기 센싱 전극 라인(130)의 두께는 상기 약액의 농도에 따라 설정될 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 약액 누설 감지 센서(101)는 저항 회로를 형성하기 위한 메인 전극 라인들(120A, 120B) 이외에 상기 누설된 약액(10)과의 화학적 반응을 위한 별도의 센싱 전극 라인(130)을 구비함으로써, 상기 센싱 전극 라인(130)의 두께 변화에 따른 저항값의 변화폭이 크며, 이에 따라, 상기 약액의 누설을 정확하게 감지할 수 있다.
특히, 상기 센싱 전극 라인(130)은 상기 약액에 대응하는 화학종 또는 물과의 반응성을 고려하여 다양한 재질로 이루어질 수 있으므로, 상기 약액의 누설을 신속하고 정확하게 감지할 수 있으며 누설된 약액(10)에 빗물이 혼입되더라도 약액의 누설을 정확하게 감지할 수 있다.
또한, 상기 센싱 전극 라인(130)이 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B)과 별개로 구성되므로, 상기 센싱 전극 라인(130)의 배선폭과 두께를 상기 약액조에 저장되는 약액의 농도에 따라 용이하게 변경하여 제작할 수 있으며 상기 약액과의 반응을 위한 상기 센싱 전극 라인(130)의 재질 선택의 폭이 넓다. 그 결과, 상기 약액의 화학종과 상기 약액 누설 감지 센서(101)가 설치되는 환경 조건에 따라 상기 센싱 전극 라인(130)의 재질 선택이 가능하므로, 상기 약액의 특성에 따른 상기 약액 누설 감지 센서(101)의 제작이 용이하며, 센싱 정확도를 향상시킬 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 누설 감지 센서를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 누설 감지 센서(102)는 센싱 전극 라인(130A, 130B, 130C)을 제외하고는 도 1에 도시된 약액 누설 감지 센서(101)와 동일한 구성을 가지므로, 도 1에 도시된 약액 누설 감지 센서(101)와 동일한 구성에 대해서는 참조 부호를 병기하고 구체적인 설명은 생략한다.
구체적으로, 상기 약액 누설 감지 센서(102)는 도 1에 도시된 약액 누설 감지 센서(101)와 달리 상기 센싱 전극 라인(130A, 130B, 130C)을 복수로 구비할 수 있다. 상기 센싱 전극 라인들(130A, 130B, 130C)은 메인 전극 라인들(120A, 120B)이 형성된 베이스 기판(110) 상에 형성되며, 각각 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B)의 폭 방향으로 연장된다. 상기 센싱 전극 라인들(130A, 130B, 130C)은 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B)의 길이 방향으로 서로 이격되어 나란하게 배치될 수 있으며, 각각 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B)을 가로지르게 배치될 수 있다.
특히, 상기 센싱 전극 라인들(130A, 130B, 130C)은 서로 다른 약액에 반응하도록 서로 다른 재질로 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 약액 누설 감지 센서(102) 하나로 다양한 화학종의 약액의 누설을 감지할 수 있으므로, 약액조의 저장되는 액약의 종류에 따라 이에 대응하는 약액 누설 감지 센서로 변경할 필요가 없고 다양한 종류의 약액의 누설을 감지할 수 있다. 또한, 각기 다른 화학종의 약액이 저장된 복수의 약액조의 약액 누설을 상기 약액 누설 감지 센서(102) 하나로 감지할 수 있다.
상기 센싱 전극 라인들(130A, 130B, 130C)이 형성된 상기 베이스 기판(110) 상에는 절연층(140, 도 2 참조)이 형성될 수 있으며, 상기 절연층(140)은 상기 센싱 전극 라인들(130A, 130B, 130C)을 부분적으로 노출시키기 위한 복수의 비아홀(142A, 142B, 142C)을 구비할 수 있다. 상기 비아홀들(142A, 142B, 142C)은 상기 센싱 전극 라인들(130A, 130B, 130C)에 대응하여 구비되며, 상기 메인 전극 라인들(120A, 120B) 사이 영역에 위치할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 약액 101, 102 : 약액 누설 감지 센서
110 : 베이스 기판 120A, 120B : 메인 전극 라인
130, 130A, 130B, 130C : 센싱 전극 라인
140 : 절연층 142, 142A, 142B, 142C : 비아홀

Claims (7)

  1. 약액이 저장된 약액조로부터 상기 약액의 누설 여부를 감지하기 위한 약액 누설 감지 센서에 있어서,
    베이스 기판;
    상기 베이스 기판 상에 서로 이격되어 나란하게 배치되고 저항 회로를 형성하기 위한 한 쌍의 메인 전극 라인;
    상기 메인 전극 라인들이 형성된 상기 베이스 기판 상에 형성되고 상기 메인 전극 라인의 길이 방향에 대해 수직 방향으로 연장되어 상기 메인 전극 라인들을 가로지르게 배치되며 상기 메인 전극 라인들과 도전되고 상기 약액의 누설 감지를 위하여 화학 반응시 선택성(selectivity)을 갖는 재질로 이루어진 센싱 전극 라인; 및
    상기 센싱 전극 라인이 형성된 상기 베이스 기판 상에 형성되어 상기 센싱 전극 라인을 커버하고 누설된 약액이 상기 센싱 전극 라인에 접촉되도록 상기 센싱 전극 라인을 일부분 노출시키는 비아홀을 갖는 절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 누설 감지 센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 센싱 전극 라인의 재질은 물에 대한 반응성 또는 상기 약액에 대응하는 화학종에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 약액 누설 감지 센서.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 비아홀은 상기 메인 전극 라인들 사이 영역에 위치하는 것을 특징으로 하는 약액 누설 감지 센서.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 센싱 전극 라인은 복수로 구비될 수 있으며,
    복수의 센싱 전극 라인은 서로 다른 약액에 반응하도록 서로 다른 재질로 이루어지며 상기 메인 전극 라인의 길이 방향으로 서로 이격되어 나란하게 배치되는 것을 특징으로 하는 약액 누설 감지 센서.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 비아홀은 복수로 구비될 수 있으며,
    복수의 비아홀은 상기 복수의 센싱 전극 라인에 대응하여 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 누설 감지 센서.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 누설된 약액에 의해 상기 센싱 전극 라인이 단절되는 시간은 상기 센싱 전극 라인의 배선 폭과 두께에 따라 달라지며,
    상기 센싱 전극 라인의 두께는 상기 약액의 농도에 따라 설정될 수 있는 것을 특징으로 하는 약액 누설 감지 센서.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 비아홀은 상기 메인 전극 라인의 길이 방향으로의 폭이 상기 센싱 전극 라인의 배선 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 약액 누설 감지 센서.
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