KR20180041891A - 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치 - Google Patents

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Abstract

발명은 OLED 패널의 화질 및 특성을 검사할 때 사용되는 프로브 유닛의 교환을 자동으로 수행하도록 한 OLED 패널용 프로브 유닛 교환장치에 관한 것이다.
본 발명의 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치는 프로브 유닛의 출입을 허가하는 전방 밀폐도어(111)와 후방 밀폐도어(112)를 구비하며, 불활성가스가 충진되는 교환챔버(110);
상기 교환챔버의 전방 밀폐도어와 후방 밀폐도어를 통해 프로브 유닛를 출입시키는 한 쌍의 픽커(120);
상기 교환챔버의 바닥 양측을 수직으로 관통하는 좌우 한 쌍의 지지바(130);
상기 지지바의 상단에 바닥이 고정된 상태로 상기 교환챔버의 내부에 수평상태로 위치되며, 상기 픽커들이 출입시키는 프로브 유닛이 놓여지는 내부랙(140); 및
상기 교환챔버의 외부에 설치되어 상기 지지바에 승강력을 부여하는 승강유닛(150)을 포함하여 구성된다.

Description

오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치{Apparatus for exchanging OLED probe unit}
본 발명은 OLED 패널의 화질 및 특성을 검사할 때 사용되는 프로브 유닛의 교환을 자동으로 수행하도록 한 OLED 패널용 프로브 유닛 교환장치에 관한 것이다.
일반적으로 OLED 패널의 화질 및 특성 검사는 셀의 산화방지를 위하여 불활성가스가 충진된 테스트 챔버 내에서 프로브 유닛을 통해 이루어진다.
상기 프로브 유닛은 테스트 챔버 내부에서 테스트 챔버 내부로 투입된 OLED 패널의 입력단과 컨택하고 각 셀에 전원 및 신호를 인가하여 전기적 검사 및 비전검사를 수행한다.
이러한 프로브 유닛은 20kg의 중량을 갖는 고가의 정밀한 검사장비이기 때문에 대차를 이용하여 안전하게 운반되어 프로브 유닛 교환장치에 보관된다.
이때, 검사 대상이 되는 OLED 패널의 종류에 따라서 각기 다른 프로브 유닛이 요구되기 때문에 프로브 유닛 교환장치에는 복수의 프로브 유닛들이 차례로 적재된 상태로 보관된다.
그리고 검사가 시작되면 테스트 챔버 내부로 투입된 OLED 패널에 대응되는 신(新) 프로브 유닛은 테스트 챔버 내부로 선별 투입되거나 사용 중이던 구(舊) 프로브 유닛과 교환된다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 OLED 패널용 프로브 유닛 교환장치는 불활성가스가 충진되는 교환챔버(10)와, 대차(A)로부터 공급받은 프로브 유닛(B)들을 교환챔버(10) 내부로 투입하는 전방픽커(20)와, 상기 교환챔버(10)의 내부에 설치되어 상기 전방픽커(20)를 통해 투입되는 프로브 유닛(B)이 수평상태로 적재되는 내부랙(30)과, 상기 교환챔버(10)의 내부에 설치되어 상기 내부랙(30)을 승강시키는 승강유닛(40)로 구성된다.
그리고 상기 교환챔버(10)의 전면과 후면에는 각각 프로브 유닛(B)의 교환챔버(10)로의 출입을 허가하는 전방 밀폐도어(50)와 후방 밀폐도어(60)가 설치되어 있다. 이중, 교환챔버(10)의 후면은 테스트 챔버(T)와 기밀 상태를 유지하면서 연통 결합되어 있다.
아울러, 상기 테스트 챔버(T)측에는 교환챔버(10) 내부에 투입된 프로브 유닛(B)을 인출하는 후방픽커(70)가 설치된다.
이와 같은 종래의 OLED 패널용 프로브 유닛 교환장치는 다음과 같이 동작된다.
먼저, 대차(A)가 신 프로브 유닛(B)을 일정 위치로 공급해 주면 전방픽커(20)가 신 프로브 유닛(B)을 픽업하여 교환챔버(10)의 내부의 내부랙(30)에 차례로 투입하며, 내부랙(30)에 신 프로브 유닛(B)이 모두 적재되면 교환챔버(10)의 전방 밀폐도어(50)가 폐쇄되면서 불활성기체가 교환챔버(10) 내부로 충진된다.
교환챔버(10) 내부가 불활성 기체로 완충되면 테스트 챔버(T)의 내부와 동일한 분위기가 되는데 이 상태에서 교환챔버(10)의 후방 밀폐도어(60)가 개방되며, 후방픽커(70)가 신 프로브 유닛(B)을 인출해 간다.
한편, 프로브 유닛을 교환하는 경우라면, 교환챔버(10) 내부가 불활성 기체로 완충된 상태에서 교환챔버(10)의 후방 밀폐도어(60)가 개방되고 후방픽커(70)가 구 프로브 유닛(미도시)을 내부랙(30)에 투입하고 대기한다. 내부랙(30)은 후방픽커(70)가 대기하고 있는 동안 상승 또는 하강하면서 대기하고 있는 후방픽커(70)의 전방으로 신 프로브 유닛(B)을 위치시킨다. 대기하고 있던 후방픽커(70)는 전방에 새로운 신 프로브 유닛(B)이 위치되면 교환챔버(10)로부터 인출해 간다.
그러나, 상기와 같은 종래의 프로브 유닛 교환장치는 교환챔버(10) 내의 내부랙(30)에 다수의 프로브 유닛들을 적재시켜야 할 뿐만 아니라 상기 내부랙(30)을 승강시켜야 하므로 큰 용적의 교환챔버(10)가 요구되며, 이로 인하여 불활성 가스의 충전시간이 매우 길어지면서 생산성이 크게 저하되는 문제점이 발생된다.
아울러 상기와 같은 종래의 프로브 유닛 교환장치는 교환챔버(10)의 내부에 설치된 승강유닛(40) 때문에 교환챔버(10)의 내부 구조가 복잡하여 제작이 어렵고 정비하기도 매우 까다롭다.
본 발명은 상기한 문제점들을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 교환챔버의 용적을 최소화하고 내부구조도 단순화시킨 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치는 프로브 유닛의 출입을 허가하는 전방 밀폐도어와 후방 밀폐도어를 구비하며, 불활성가스가 충진되는 교환챔버; 상기 교환챔버의 전방 밀폐도어와 후방 밀폐도어를 통해 프로브 유닛를 출입시키는 한 쌍의 픽커; 상기 교환챔버의 바닥 양측을 수직으로 관통하는 좌우 한 쌍의 지지바; 상기 지지바의 상단에 바닥이 고정된 상태로 상기 교환챔버의 내부에 수평상태로 위치되며, 상기 픽커들이 출입시키는 프로브 유닛이 놓여지는 내부랙; 및 상기 교환챔버의 외부에 설치되어 상기 지지바에 승강력을 부여하는 승강유닛을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
또한, 상기 승강유닛은 교환챔버의 저면에 고정된 지지브라켓과, 상기 지지브라켓에 수직으로 이동하도록 설치된 이동자와, 상기 이동자와 지지바를 수평상태로 연결하는 연결부재를 구비할 수 있다.
이 경우, 상기 연결부재는 자유단을 가지며 지지바들의 하단에 각각 결합된 수평바와, 상기 이동자에 고정되며 양측단이 각 수평바의 자유단과 수평상태로 결합되는 연결바로 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 수평바의 자유단과 연결바의 양측단은 수직방향으로 결합되도록 할 수도 있다.
이 경우, 상기 수평바의 자유단에는 수직으로 제1단차부가 형성되고, 상기 연결바의 양측단에는 상기 제1단차부에 대응되는 제2단차부가 형성되며, 상기 제2단차부가 제1단차부의 상부에서 수직으로 체결되는 볼트를 통해 제1단차부와 긴밀히 밀착된 상태로 결합되도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 지지브라켓의 전면에는 상기 수평바의 승강을 안내하는 가이드레일이 설치될 수 있다.
한편, 상기 각 지지바에는 교환챔버와의 기밀 유지를 위한 씰링부재가 설치될 수 있다.
이 경우, 상기 씰링부재는 교환챔버의 바닥면에 밀착 결합되는 상부밀착단과 지지바의 외측면에 밀착 결합되는 하부밀착단을 구비한 자바라 호스인 것이 바람직하다.
또한, 상기 교환챔버의 후방에는 테스트 챔버가 설치되고, 상기 픽커는 전방 밀폐도어를 통해 신 프로브 유닛을 교환챔버에 투입하거나 교환챔버로부터 인출시키는 전방픽커와, 테스트 챔버의 내부에 설치되어 후방 밀폐도어를 통해 프로브 유닛을 교환챔버에 투입하거나 교환챔버로부터 인출시키는 후방픽커로 구성될 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명은 본 발명의 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치는 교환챔버의 내부에 교환에 불필요한 프로브 유닛들이 적재되지 않을 뿐만 아니라 내부랙을 승강시키는 승강유닛이 교환챔버의 외부에 설치되므로 교환챔버를 최소화하여 제작할 수 있고, 이로 인하여 불활성 가스의 충진시간이 크게 단축되면서 프로브 유닛을 단시간 내에 신속하게 교환할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치.
도 2는 도 1의 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치의 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치의 정면도.
도 5는 본 발명을 구성하는 교환챔버 및 승강유닛의 분해사시도.
도 6은 본 발명에 따른 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치의 요부단면도.
도 7 내지 도 12는 각각 본 발명에 따른 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치의 사용상태를 순서대로 나타내는 도면.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 바람직한 실시예에 대한 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
이하, 본 발명의 일 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명함에 있어, 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 사용하며, 명료성을 위하여 가능한 중복되지 않게 상이한 부분만을 주로 설명한다.
도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치는 교환챔버(110)와, 교환챔버(110) 내부로 프로브 유닛(B,C)을 출입시키는 한 쌍의 픽커(120)와, 상기 교환챔버(110)의 바닥에 설치된 한 쌍의 지지바(130)와, 상기 교환챔버(110)의 내부에 설치되며 프로브 유닛(B,C)이 놓여지는 내부랙(140)과, 상기 지지바(130)에 승강력을 부여하는 승강유닛(150)으로 크게 구성된다.
상기 교환챔버(110)는 프로브 유닛(B,C)이 출입하는 전방 밀폐도어(111)와 후방 밀폐도어(112)를 구비한다. 그리고 상기 교환챔버(110)의 후방에는 후방 밀폐도어(112)를 통해 선택적으로 연통되도록 테스트 챔버(T)가 설치된다.
상기 테스트 챔버(T)는 후방 밀폐도어(112)를 통해 신 프로브 유닛(B)을 공급받게 된다. 테스트 챔버(T) 내부로 투입된 신 프로브 유닛(B)은 테스트 챔버(T)의 내부에 이동되어 OLED패널의 입력단과 컨택됨으로써 각 셀에 전원 및 신호를 인가하여 전기적 검사 및 비전검사를 수행한다.
상기 전방 밀폐도어(111)와 후방 밀폐도어(112)는 각각 독립적으로 제어되며 전후이동과 승강이동이 가능하게 설치된다. 즉, 상기 전방 밀폐도어(111)와 후방 밀폐도어(112)는 전후이동을 통해 각각 마주하는 교환챔버(110)의 출입구측으로 밀착 및 밀착해제가 이루어지게 되며, 승강이동을 통해 각각 마주하는 교환챔버(110)의 출입구로의 접근과 이격이 이루어지게 되는 것이다.
상기 교환챔버(110)의 내부공간부로는 불활성가스가 충진된다. 상기 불활성가스는 충진시간을 최소화할 수 있도록 진공상태에서 투입되도록 할 수 있다. 이 경우, 도시하지는 않았으나, 상기 교환챔버(110)의 일측에는 불활성가스를 교환챔버(110) 내부로 공급하는 가스공급관이 연결되고 타측에는 교환챔버(110)의 내부공간부를 진공상태로 만들 수 있도록 진공펌프가 연결된다.
한편, 더욱 신속한 불활성가스의 충진을 위하여 교환챔버(110)의 내부공간부의 일측에는 교환챔버(110) 내부공간부의 공기를 배출시키는 배출부를 추가로 설치하고 타측에는 교환챔버(110) 내부에 불활성가스를 추가적으로 공급하는 동시에 교환챔버(110) 내부공간부의 공기를 외부로 배출시키는 퍼지모듈을 추가로 설치할 수도 있다. 이 경우, 상기 퍼지모듈은 상기 교환챔버(110)의 내부공간부에 공기가 정체된 상태로 존재하기 쉬운 교환챔버(110) 내부공간부의 하부 모서리를 따라 설치되는 것이 가장 효과적이다.
본 발명의 픽커(120)는 교환챔버(110)의 전방 밀폐도어(111)와 후방 밀폐도어(112)의 전방에 각각 독립적으로 승강 및 전후이동이 가능하도록 설치된다.
상기 픽커(120)는 전방 밀폐도어(111)의 전방에 설치되어 신 프로브 유닛(B)을 교환챔버(110)에 투입하거나 교체된 구 프로브 유닛(C)을 교환챔버(110)로부터 인출시키는 전방픽커(121)와, 테스트 챔버(T)의 내부에 설치되어 후방 밀폐도어(112)를 통해 신 프로브 유닛(B)을 인출하거나 교체되어야 할 구 프로브 유닛(C)을 교환챔버(110) 내부로 투입시키는 후방픽커(122)로 구성된다.
한편, 교환챔버(110)의 바닥에 설치된 지지바(130)는 교환챔버(110)의 바닥을 수직으로 관통하도록 설치되며 좌우 한 쌍으로 구성된다. 교환챔버(110)의 바닥을 수직으로 관통한 지지바(130)들의 상단에는 내부랙(140)이 고정된다.
상기 내부랙(140)은 상기 지지바(130)의 상단에 바닥이 고정된 상태로 교환챔버(110)의 내부에 수평상태로 위치된다. 상기 내부랙(140)은 상기 픽커들(121,122)이 출입시키는 프로브 유닛(B,C)이 놓여지는 데크를 구비한다. 이 경우, 상기 데크는 교환챔버(110)의 사이즈를 최소화할 수 있도록 상부데크(141)와 하부데크(142)로만 이루어지도록 하는 것이 바람직하다.
상기 내부랙(140)은 지지바(130)를 통해 교환챔버(110) 내부에서 승강한다.
상기 교환챔버(110)의 외측에는 지지바(130)에 승강력을 부여하는 승강유닛(150)이 설치된다. 이 경우, 상기 승강유닛(150)은 교환챔버(110)의 저면에 고정된 지지브라켓(151)과, 상기 지지브라켓(151)에 수직으로 이동하도록 설치된 이동자(152)와, 상기 이동자(152)와 지지바(130)를 수평상태로 연결하는 연결부재(153)를 구비할 수 있다.
상기 이동자(152)는 볼스크류나 엘엠가이드 등이 적당하다.
또한, 상기 연결부재(153)는 지지바(130)들의 하단에 각각 결합된 수평바(153a)와 이동자(152)에 고정된 연결바(153b)로 분할 구성될 수 있다.
아울러, 상기 수평바(153a)는 자유단을 가지도록 각 지지바(130)들의 하단에 일측단이 결합된다. 그리고 연결바(153b)의 양측단은 각 수평바(153a)의 자유단과 수평상태로 결합되도록 한다.
이 경우, 상기 수평바(153a)의 자유단과 연결바(153b)의 양측단은 수평바(153a)와 연결바(153b)가 항상 수평상태에서 연결되도록 수직방향으로 결합되도록 하는 것이 바람직하다.
즉, 상기 수평바(153a)의 자유단에 수직으로 제1단차부(154)가 형성되도록 하고, 상기 연결바(153b)의 양측단에는 상기 제1단차부(154)에 대응되는 제2단차부(155)가 형성되도록 하며, 상기 제2단차부(155)가 제1단차부(154)의 상부에서 수직으로 체결되는 볼트(156)를 통해 제1단차부(154)와 긴밀히 밀착된 상태로 결합되도록 하는 것이다.
이와 같이, 연결부재(153)가 수평바(153a)와 연결바(153b)로 분할 구성되고 상기 수평바(153a)와 연결바(153b)가 수직으로 형성된 제1단차부(154)와 제2단차부(155)를 통해 밀착 결합되도록 하면, 각 지지바(130)들의 수직방향 위치가 서로 다르다 하더라도, 제1단차부(154)와 제2단차부(155)가 밀착 결합되는 과정에서 수직으로 이동가능한 상태인 각 수평바(153a)가 고정상태의 연결바(153b)를 기준으로 상하로 이동하면서 연결바(153b)와 동일 수평선상에 정렬된다.
따라서, 각 지지바(130)들은 동일한 높이에서 내부랙(140)을 매우 정밀한 수평상태로 지지할 수 있게 된다.
한편, 상기 지지브라켓(151)의 전면에는 상기 수평바(153a)의 승강을 안내하는 가이드레일(157)이 설치되는 것이 바람직하다.
이 경우, 상기 수평바(153a)의 후면에는 상기 가이드레일(157)에 대응되는 홈부가 형성되거나 상기 가이드레일(157)을 따라 이동하는 슬라이딩 부재(158)가 결합될 수 있다.
따라서, 수평바(153a)에 결합된 지지바(130)는 매우 정밀하고 안정적으로 수직방향으로의 이동이 보장되며 내부랙(140)은 이러한 지지바(130)를 통해 정밀한 수평상태를 이루면서 승강동작이 원활하게 이루어진다.
보다 원활한 내부랙(140)의 승강을 위하여, 교환챔버(110) 내부에는 내부랙(140)의 승강을 가이드하는 수직가이드레일(미도시)이 더 구비될 수 있다.
각 지지바(130)에는 교환챔버(110)와의 기밀 유지를 위한 씰링부재(160)가 설치될 수도 있다. 이 경우, 상기 씰링부재(160)는 교환챔버(110)의 바닥면에 밀착 결합되는 상부밀착단(161)과 지지바(130)의 외측면에 밀착 결합되는 하부밀착단(162)을 구비한 자바라 호스가 바람직하다.
상기 지지바(130)의 일측에는 씰링부재(160)의 하부밀착단(162)에 용이하게 밀착 결합될 수 있도록 외향프랜지부가 형성될 수 있다. 도시하지는 않았으나, 상기 외향플랜지부와 하부밀착단(162)은 볼트와 너트로써 견고하게 체결될 수 있으며, 보다 긴밀한 결합을 위하여 상기 외향플랜지부와 하부밀착단(162) 사이에 씰링용 패드를 위치시키는 것이 바람직하다. 상기 씰링용 패드는 상부밀착단(161)과 교환챔버(110)의 바닥면 사이에도 구비될 수 있다.
한편, 교환챔버(110)의 외측에는 외부랙(170)이 더 구비될 수 있다. 이 경우, 상기 외부랙(170)에는 전방픽커(121)를 통해 교환 전과 후의 프로브 유닛(B,C)들이 적재된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치는 다음과 같이 동작된다.
먼저, 대차(A)가 신 프로브 유닛(B)을 싣고 외부랙(170)으로 접근하면, 전방픽커(121)가 대차(A)로부터 신 프로브 유닛(B)을 픽업하여 외부랙(170)에 순차적으로 적재한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 외부랙(170)에 신 프로브 유닛(B)의 적재가 완료되면, 교환챔버(110)의 전방 밀폐도어(111)가 개방된다. 그리고, 전방픽커(121)는 외부랙(170)에 적재된 신 프로브 유닛(B)을 인출한 후 인출한 신 프로브 유닛(B)을 교환챔버(110) 내부의 내부랙(140)의 상부데크(141)에 올려놓고 교환챔버(110) 밖으로 이동하여 대기한다.
도 8에 도시된 바와 같이, 교환챔버(110) 내부로 신 프로브 유닛(B)이 투입되면 전방 밀폐도어(111)가 폐쇄되고 테스트 챔버(T)의 내부와 동일한 분위기를 조성하도록 교환챔버(110) 내부로 불활성 가스가 충진된다. 본 발명에 따르면, 교환챔버(110)의 사이즈가 매우 작기 때문에 불활성 가스의 충진시간을 최소화할 수 있다.
도 9에 도시된 바와 같이, 교환챔버(110) 내부에 불활성 가스의 충진이 완료되면, 후방 밀폐도어(112)가 개방된다. 후방 밀폐도어(112)가 개방되면 교환챔버(110)와 테스트 챔버(T)가 연통되며, 개방된 후방 밀폐도어(112)를 통해 후방픽커(122)가 교환챔버(110) 내부로 테스트 챔버(T)에서 구 프로브 유닛(C)을 투입한다. 이때, 내부랙(140)은 승강장치에 의하여 상승된 상태이다.
도 10에 도시된 바와 같이, 상승된 내부랙(140)의 하부데크(142)에 구 프로브 유닛(C)을 내려놓은 상기 후방픽커(122)는 교환챔버(110) 밖으로 이동하여 대기한다.
도 11에 도시된 바와 같이, 후방픽커(122)가 교환챔버(110) 밖으로 이동하면 내부랙(140)은 원위치로 하강함과 함께 교환챔버(110) 밖에서 대기하던 후방픽커(122)가 다시 교환챔버(110)로 진입하여 상부데크(141)에 놓여진 신 프로브 유닛(B)을 픽업한다.
도 12에 도시된 바와 같이, 신 프로브 유닛(B)을 픽업한 상기 후방픽커(122)는 교환챔버(110) 밖으로 이동한 후 픽업한 신 프로브 유닛(B)을 테스트 위치에 내려놓고 원위치에서 대기한다.
그리고 후방픽커(122)가 신 프로브 유닛(B)을 교환챔버(110)로부터 인출하면 테스트 챔버(T)의 내부로 외기가 침투하지 못하도록 후방 밀폐도어(112)가 폐쇄된 다음 전방 밀폐도어(111)가 개방된다.
전방 밀폐도어(111)가 개방되면 교환챔버(110)으로 전방픽커(121)가 진입한다. 이때, 내부랙(140)은 승강유닛(150)에 의하여 상승한 상태로서, 전방픽커(121)는 하부데크(142)에 놓여진 구 프로브 유닛(C)을 픽업한 후에 교환챔버(110) 밖으로 이동하여 외부랙(170)에 적재시킨 다음 원위치에서 대기한다.
상기와 같은 일련의 과정을 거쳐 프로브 유닛(B,C)의 교환은 이루어지게 되는데, 본 발명의 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치는 교환챔버(110)의 내부에 교환에 불필요한 프로브 유닛들이 적재되지 않을 뿐만 아니라 내부랙(140)을 승강시키는 승강유닛(150)이 교환챔버(110)의 외부에 설치되므로 교환챔버(110)를 최소화하여 제작할 수 있고, 이로 인하여 불활성 가스의 충진시간이 크게 단축되면서 프로브 유닛을 단시간 내에 신속하게 교환할 수 있게 된다.
한편, 프로브 유닛의 교환이 아닌 최초의 작업 준비를 위하여 프로브 유닛을 전방픽커(121)가 교환챔버(110) 내부에 투입하고 투입된 프로브 유닛을 후방픽커(122)가 인출하는 과정 또한, 상술한 교환 방식과 유사하게 이루어지게 되는바, 여기에서 상세한 설명은 생략하기로 한다.
아울러, 본 실시예에서는 전방픽커(121)가 내부랙(140)의 상부데크(141)에 신 프로브 유닛(B)을 올려놓고 후방픽커(122)가 내부랙(140)의 하부데크(142)에 구 프로브 유닛(C)을 올려놓는 것을 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 반드시 이에 국한될 필요는 없고 전방픽커(121)가 내부랙(140)의 하부데크(142)에 신 프로브 유닛(B)을 올려놓고 후방픽커(122)가 내부랙(140)의 상부데크(141)에 구 프로브 유닛(C)을 올려놓는 방식으로 동작되어도 무방하다.
이와 같이, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상술하였으나 본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자가 본 발명의 사상을 벗어나지 않고 변형 가능하며, 이러한 변형은 본 발명의 권리범위에 속할 것이다.
110...교환챔버 111...전방 밀폐도어
112...후방 밀폐도어 120...픽커
121...전방픽커 122...후방픽커
130...지지바 140...내부랙
150...승강유닛 151...지지브라켓
152...이동자 153...연결부재
153a...수평바 153b...연결바
154...제1단차부 155...제2단차부
156...볼트 157...가이드레일
160...씰링부재 161...상부밀착단
162...하부밀착단 T...테스트 챔버

Claims (9)

  1. 프로브 유닛의 출입을 허가하는 전방 밀폐도어와 후방 밀폐도어를 구비하며, 불활성가스가 충진되는 교환챔버;
    상기 교환챔버의 전방 밀폐도어와 후방 밀폐도어를 통해 프로브 유닛를 출입시키는 한 쌍의 픽커;
    상기 교환챔버의 바닥 양측을 수직으로 관통하는 좌우 한 쌍의 지지바;
    상기 지지바의 상단에 바닥이 고정된 상태로 상기 교환챔버의 내부에 수평상태로 위치되며, 상기 픽커들이 출입시키는 프로브 유닛이 놓여지는 내부랙; 및
    상기 교환챔버의 외부에 설치되어 상기 지지바에 승강력을 부여하는 승강유닛을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 승강유닛은
    교환챔버의 저면에 고정된 지지브라켓과, 상기 지지브라켓에 수직으로 이동하도록 설치된 이동자와, 상기 이동자와 지지바를 수평상태로 연결하는 연결부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 연결부재는 자유단을 가지며 지지바들의 하단에 각각 결합된 수평바와, 상기 이동자에 고정되며 양측단이 각 수평바의 자유단과 수평상태로 결합되는 연결바로 구성된 것을 특징으로 하는 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 수평바의 자유단과 연결바의 양측단은 수직방향으로 결합되도록 한 것을 특징으로 하는 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 수평바의 자유단에는 수직으로 제1단차부가 형성되고,
    상기 연결바의 양측단에는 상기 제1단차부에 대응되는 제2단차부가 형성되며,
    상기 제2단차부가 제1단차부의 상부에서 수직으로 체결되는 볼트를 통해 제1단차부와 긴밀히 밀착된 상태로 결합되도록 한 것을 특징으로 하는 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치.
  6. 제 3항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 지지브라켓의 전면에는 상기 수평바의 승강을 안내하는 가이드레일이 설치된 것을 특징으로 하는 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 각 지지바에는 교환챔버와의 기밀 유지를 위한 씰링부재가 설치된 것을 특징으로 하는 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 씰링부재는
    교환챔버의 바닥면에 밀착 결합되는 상부밀착단과 지지바의 외측면에 밀착 결합되는 하부밀착단을 구비한 자바라 호스인 것을 특징으로 하는 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 교환챔버의 후방에는 테스트 챔버가 설치되고,
    상기 픽커는 전방 밀폐도어를 통해 프로브 유닛을 교환챔버에 투입하거나 교환챔버로부터 인출시키는 전방픽커와, 테스트 챔버의 내부에 설치되어 후방 밀폐도어를 통해 프로브 유닛을 교환챔버에 투입하거나 교환챔버로부터 인출시키는 후방픽커로 구성된 것을 특징으로 하는 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치.
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