KR20180041475A - 냉각식 진공펌프 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 냉각 효율이 향상되어 진공펌프의 오작동을 방지할 수 있는 냉각식 진공펌프에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공펌프의 케이스 내부에 장착되는 루츠로터의 마찰열과 구동모터의 발열로 인해 진공펌프의 오작동을 방지할 수 있도록 외부공기를 흡입하는 흡입팬이 구비되며, 진공펌프 케이스 내부 온도에 따라 냉각효율을 조절함으로 인해 진공펌프의 내구성 및 가용성을 향상시킨 냉각식 진공펌프에 관한 것이다.

Description

냉각식 진공펌프 {Cooling apparatus of roots type dry vaccum pump}
본 발명은 냉각 효율이 향상되어 진공펌프의 오작동을 방지할 수 있는 냉각식 진공펌프에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공펌프의 케이스 내부에 장착되는 루츠로터의 마찰열과 구동모터의 발열로 인해 진공펌프의 오작동을 방지할 수 있도록 외부공기를 흡입하는 흡입팬이 구비되며, 진공펌프 케이스 내부 온도에 따라 냉각효율을 조절함으로 인해 진공펌프의 내구성 및 가용성을 향상시킨 냉각식 진공펌프에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정, 디스플레이패널 제조공정 또는 태양 전지판 제조공정에서는 고진공을 필요로 하는 작업이 필요하고, 이러한 진공 작업에는 진공 펌프가 사용된다. 진공이란 물질이 전혀 존재하지 않는 공간을 의미하지만, 실제로는 이렇게 만들기가 어렵기 때문에 1/1000 ㎜Hg 정도 이하의 저압을 가리킨다. 진공으로 만든 용기 내에 남아 있는 기체의 압력을 그때의 진공도라 하는데, 진공도는 저압상태의 공기의 압력을 그대로 이용하여 표현한다.
진공 상태를 통하여 타기체의 영향에 의한 부식 산화 등을 막아주고, 물질의 끊는 점을 낮추어 준다. 또한 타기구로는 운반하기 어려운 물체의 운반을 가능하게 해주며, 양자 등과 같은 하전입자 주의의 공기분자충돌이 작아지므로 작업시 컨트롤이 용이하게 된다.
현재 인공적으로 도달할 수 있는 최고 진공도는 10-12 ㎜Hg 정도인데, 이때에도 1㎤당 약 3만 5000개나 되는 기체 분자가 남아 있다. 하지만 반도체 제조공정이나 디스플레이 패널 제조공정 등은 고진공이 요구되므로 현재 효율적으로 진공을 유지할 수 있는 다양한 기술들이 개발되고 있다.
하지만 종래 기술의 일시시예에 따른 진공펌프에는 극복해야 할 문제들이 많이 있다. 특히 루츠로터 타입의 진공펌프 중 모터 외장형의 경우, 모터와 루츠로터가 커플링 또는 유사부품으로 결합 되어 회전하게 된다. 이때 커플링에 의한 틈새 공차 또는 모터와 회전체의 중심이 일직선상에 위치하지 않는 경우로 인해 회전체의 밸런스가 맞지 않을 수 있고, 진동의 원인이 될 수도 있다.
또한 회전 밸런스가 맞지 않는 문제로 인해서 모터 과부하에 의한 열이 발생 될 수 있으며, 회전체와 하우징 간의 마찰로 진공펌프의 파손 우려가 있다.
또한 회전력 손실로 펌핑 용량 저하의 원인이 될 수도 있으며, 베어링의 내구성에 문제가 발생하여 잦은 고장의 원인이 되고, 운전시 소음이 과도하게 발생하여 작업환경에 문제가 될 수도 있다.
나아가 종래 기술의 일 실시예에 진공 펌프는 모터 외장형으로서 로터와 모터의 연결에 있어서 커플링 타입 또는 기어 연결 타입을 사용함으로써 밸런스 문제로 인해 베어링등 기계부품의 내구성 및 소음 문제가 발생한다. 또한, 전력소비가 큰 대용량 모터를 연결해야 하므로 전력소모가 큰 문제가 있으며, 루츠로터와 회전축 조립시 플랜지 타입으로 볼트 체결하여 연결하므로 볼트 체결 공차에 의해 회전 밸런스 변형 및 조립시간이 길어지는 문제가 있다.
그리고 종래 기술의 일 실시예에 따른 진공 펌프는 고속 회전 시 냉각 기능이 없어 모터가 과열될 수 있고, 모터 내부로 이물질 및 먼지, 제조공정에서 발생하는 분진 등이 유입되어 모터의 과열 등으로 인한 교체가 빈번하게 발생하여 작업효율을 저하시키는 등의 문제를 제공하였다.
따라서, 진공 펌프의 내구성을 향상시키고 동시에 모터 및 진공펌프에서 발생하는 열을 냉각시켜 내구성을 향상시킬 수 있는 진공 펌프의 개발이 필요한 실정이다.
1. 공개특허공보 제10-2013-0085664호 '냉각 기능을 갖는 모터 내장형 스크루 로터 타입 진공펌프' (출원일자 2012.01.20) 2. 공개특허공보 제10-2000-0065374호 '펌프용 모터의 냉각장치' (출원일자 1999.04.02)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서 진공펌프의 구동에 따른 마찰열과 구동모터의 발열을 냉각시키기 위한 냉각장치를 구비하고, 상기의 냉각장치의 효율을 향상시킬 수 있는 냉각식 진공펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 기온 등 주변온도의 변화에 관계없이 최적의 냉각효율을 유지할 수 있으며, 내구성을 향상시키기 위해 진공펌프의 내부 발열에 따라 냉각속도를 조절할 수 있는 냉각식 진공펌프를 제공한다.
본 발명의 냉각식 진공펌프는 유체의 흡입과 배출이 이루어지도록 진공을 생산하는 루츠로터(100), 상기 루츠로터(100)와 연결되며, 외부로부터 전력을 인가받아 상기 루츠로터(100)를 회전시키는 구동모터(200) 및 상기 구동모터(200)와 상기 루츠로터(100) 사이에 구비되어 상기 구동모터(200)의 회전을 기어로 전달받아 상기 루츠로터(100)를 회전시키는 로터회전축(300)을 포함한다.
그리고, 상기 루츠로터(100)가 내부에 구비되며, 일측에 상기 구동모터(200)가 고정되는 내부케이스(400); 상기 내부케이스(400)의 외측을 감싸며 일측에 외부 공기가 유입되는 공기유입구(510)와 타측에 상기 공기유입구(510)와 연통되는 공기배출구(520)가 형성되는 외부케이스(500); 상기 공기배출구(520)와 인접한 상기 외부케이스(500)의 타측에 형성되어 상기 공기유입구(510)로부터 외부공기를 흡입한 후 유입된 공기를 상기 공기배출구(520)로 배출시켜 상기 구동모터(200)와 상기 루츠로터(100)를 냉각시키는 흡입팬(600);을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 내부케이스(400)의 일측에는 상기 구동모터(200)의 외부를 감싸는 모터케이스(700)가 형성되되, 상기 모터케이스(700)에는 상기 공기유입구(510)로 유입된 공기가 상기 내부케이스(400) 내부로 유입되도록 다수의 유입홀(710)이 관통 형성되며, 상기 내부케이스(400)의 타측에는 상기 유입홀(710)로 유입된 외부공기가 상기 내부케이스(400)를 통과하여 상기 루츠로터(100)를 냉각시키도록 상기 유입홀(710)과 연통된 배출홀(410)이 관통 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 외부케이스(500)의 내측에는 상기 외부공기가 상기 유입홀(710)로 유입되는 것을 안내하도록 상기 외부케이스(500) 내부를 구획하는 구획격벽(530)이 더 구비될 수 있다.
이때, 상기 로터회전축(300)에는 상기 유입홀(710)로 유입된 공기의 풍압에 의해 회전하며, 상기 공기유입구(510)로 유입된 외부 공기를 상기 유입홀(710)로 안내하는 유도팬(800)이 형성되되, 상기 유도팬(800)과 상기 로터회전축(300) 사이에는 베어링(810)이 더 구비되는 것을 특징으로 한다.
또 다른 실시예로 상기 내부케이스(400)에는 상기 외부케이스(500) 내부의 온도를 측정하는 온도센서(420)가 설치되고, 상기 유도팬(800)과 상기 로터회전축(300) 사이에는 상기 유입홀(710)로 유입된 공기량을 측정하도록 상기 유도팬(800)의 회전수를 측정하는 팬감지센서(820)가 구비되며, 상기 외부케이스(500)의 내부 온도가 일정한 온도를 유지하도록 상기 온도센서(420)와 상기 팬감지센서(820)에서 측정된 데이터를 전달받아 상기 흡입팬(600)의 회전수를 제어하는 제어부(900)가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 진공펌프의 구동에 따른 마찰열과 구동모터의 발열을 냉각시키기 위한 외부공기를 흡입하는 냉각팬을 구비하고, 흡입되는 공기의 와류현상을 방지하고, 진공펌프 내부로 외부공기의 유입을 안내하기 위해 제2 냉각팬을 더 구비하여 진공펌프의 냉각효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 진공펌프의 내부 발열에 따라 냉각속도를 조절할 수 있어 모터의 과부하 및 펌프의 마찰열을 신속하게 냉각시켜 진공펌프의 내구성을 향상시킴은 물론 유입되는 공기가 포함하는 이물질 등의 흡착을 억제하여 모터의 수명을 연장시킬 수 있는 추가적인 이점을 제공한다.
도 1 은 본 발명의 냉각식 진공펌프의 전체적인 모습을 나타낸 사시도.
도 2 는 본 발명의 냉각식 진공펌프 구동 시 냉각되는 일실시예를 나타낸 단면도.
도 3 은 본 발명의 냉각식 진공펌프 구동 시 냉각되는 다른 실시예를 나타낸 단면도.
도 4 는 본 발명의 흡입팬과 로터회전축의 연결부위를 확대하여 도시한 부분 확대도.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 대해 상세히 설명한다.
도 1 은 본 발명의 냉각식 진공펌프의 전체적인 모습을 나타낸 사시도, 도 2 는 본 발명의 냉각식 진공펌프 구동 시 냉각되는 일실시예를 나타낸 단면도, 도 3 은 본 발명의 냉각식 진공펌프 구동 시 냉각되는 다른 실시예를 나타낸 단면도에 관한 것이다.
도 1 내지 도 3 을 참조하면 본 발명의 냉각식 진공펌프는 루츠로터(100), 구동모터(200) 및 구동모터(200)와 루츠로터(100)을 연결하는 로터회전축(300)을 포함한다.
루츠로터(100)는 진공을 생산하여 유체의 흡입과 배출을 유도하는 구성에 해당한다. 루츠로터(100)는 회전하면서 진공을 생산하는데, 이때 루츠로터(100)의 일측에는 루츠로터(100)의 회전을 지지하도록 회전고정축(101)이 형성되며, 타측에 루츠로터(100)를 회전시키도록 동력을 전달하는 로터회전축(300)이 구비된다. 회전고정축(101)은 별도 마련된 베어링(102)의 내륜에 의해 루츠로터(100)를 지지한다. 루츠로터(100)의 상세한 설명은 등록특허공보 제10-1183085호, 등록특허공보 제10-1320053호를 참조한다.
구동모터(200)는 외부로부터 전력을 인가받아 작동한다. 구동모터(200)는 A/C 또는 D/C모터에 해당할 수 있으며, 루츠로터(100)가 진공을 생산하여 진공펌프를 작동시키도록 지속적으로 루츠로터(100)를 회전시키는 목적을 갖는다. 이때, 구동모터(200)에는 구동모터(200)의 회전속도를 제어하는 인버터(inverter)가 부착될 수 있다.
로터회전축(300)은 구동모터(200)와 루츠로터(100) 사이에 구비되어 일측이 구동모터(200)가 제공하는 회전력을 전달받도록 구동모터(200)와 연결되며, 타측이 구동모터(200)로부터 전달받은 회전력을 루츠로터(100)로 전달하도록 루츠로터(100)와 연결된다.
도 1 및 도 2 를 참조하면 루츠로터(100)가 내부에 구비되도록 루츠로터(100)의 외측을 감싸는 내부케이스(400)가 형성된다. 이때, 내부케이스(400)의 일측에는 구동모터(200)가 고정될 수 있다. 내부케이스(400)는 내부가 중공된 형상으로 이루어지며, 내부케이스(400)의 내측면과 루츠로터(100)이 외측면 사이에 소정의 공간이 형성되도록 루츠로터(100)를 감싸는 것이 바람직하다.
도 1 및 도 2 를 참조하면 내부케이스(400)의 외측을 감싸는 외부케이스(500)가 형성된다. 외부케이스(500)는 상기 루츠로터(100) 및 구동모터(200)의 작동시 발생하는 소음을 감소시킬 수 있고, 내부케이스(400)의 파손 등을 방지할 수 있다. 외부케이스(500)의 하단에는 외부케이스(500)의 이동을 편리하게 해줄 수 있도록 회전바퀴(501)가 다수개 구비될 수 있다.
이때, 루츠모터(100)의 구동시 미세한 진동이 발생할 수 있는데, 이를 완충시키고, 외부케이스(500)를 지면에 일시적으로 고정시키기 위한 스토퍼(502)가 구비된다. 스토퍼(502)는 회전바퀴(501)와 인접한 위치에 구비되어 회전바퀴(501)가 진동에 의해 임의적으로 회전하는 것을 방지한다.
내부케이스(400)는 외부케이스(500)의 내측면과 내부케이스(400)의 외측면 사이가 일정간격 이격된 상태를 유지하도록 외부케이스(500)의 내측에 배치되는 것이 바람직하다. 그리고, 외부케이스(500)는 내부가 중공된 형상을 유지하며, 일측에는 외부 공기가 유입되는 공기유입구(510)가 형성되고, 타측에 공기유입구(510)와 연통되는 공기배출구(520)가 형성된다.
도 2 및 도 3 을 참조하면 외부케이스(500)의 타측, 즉, 공기배출구(520)와 인접한 외부케이스(500)의 타측에는 흡입팬(600)이 설치된다. 흡입팬(600)은 전력을 인가받아 회전하는 모터(610)와 모터(610)의 회전력을 전달받아 공기유입구(510)로부터 외부케이스(500)의 외측에 분포된 외부공기를 외부케이스(500) 내부로 흡입하는 블레이드(620)로 이루어진다.
흡입팬(600)을 통해 외부공기가 외부케이스(500) 내부로 유입되면서 1차적으로 구동모터(200)와 접촉되고 이후 내부케이스(400)의 외측면과 접촉된 후 공기배출구(520)를 통해 외부케이스(500) 외부로 배출된다. 이로 인해 구동모터(200)의 구동열과 루츠로터(100)의 구동시 발생하는 마찰열을 냉각시켜 구동모터(200)의 과부하 및 루츠로터(100)의 열변형에 따른 오작동을 방지할 수 있다.
도 2 및 도 3 을 참조하면 내부케이스(400)의 일측에는 구동모터(200)의 외부를 감싸는 모터케이스(700)가 형성된다. 모터케이스(700)에는 구동모터(200)로 공기유입구(510)로 유입된 공기를 유입하기 위해 유입홀(710)이 형성된다. 유입홀(710)은 소정의 직경을 가지며 모터케이스(710)를 관통하고, 일정간격 이격되어 다수개 구비된다.
이때, 내부케이스(400)의 타측에는 유입홀(710)과 연통되는 배출홀(410)이 형성된다. 즉, 유입홀(710)로 유입된 외부공기는 1차로 구동모터(200)와 접촉되고, 내부케이스(400)와 루츠로터(100) 사이의 이격된 공간을 통과한 후 배출홀(410)로 배출된다. 따라서, 공기흡입구(510)로 유입된 공기는 내부케이스(400)의 내, 외부를 동시에 냉각시킬 수 있어 신속한 냉각이 이루어질 수 있고, 구동모터(200)와 루츠로터(100)가 일정한 온도를 유지하여 과부하 및 오작동 없이 장시간 사용할 수 있는 이점을 제공한다.
도 3 을 참조하면 외부케이스(500)이 내측에는 외부케이스(500)의 내부를 구획하는 구획격벽(530)이 구비될 수 있다. 이는 외부공기가 유입홀(710)로만 유입되어 내부케이스(400) 내부에 위치한 구동모터(200) 및 루츠로터(100)의 냉각효율을 극대화시키기 위한 수단에 해당한다. 즉, 구획격벽(530)이 구비되면, 연통된 공기유입구(510)와 공기배출구(520)가 차단되므로, 유입홀(710)로 유입되는 공기의 량은 증가하게 된다. 따라서, 본 발명의 진공펌프의 용량이나 사용되는 설치장소에 따라 구획격벽(530)을 적용하여 사용할 수 있다.
도 3 및 도 4 를 참조하면 로터회전축(300)에는 유도팬(800)이 형성된다. 유도팬(800)은 구동모터(200)와 루츠로터(100) 사이에 위치하는 것이 바람직하며, 유도팬(800)은 로터회전축(300)이 회전에 간섭을 받지 않고 오직 유입홀(710)로 유입된 공기의 풍압, 풍량에 의해 회전한다.
따라서, 유도팬(800)과 로터회전축(300) 사이에 마찰력을 감소시키기 위한 베어링(810)이 구비되며, 베어링(810)은 유도팬(800)과 로터회전축(300) 상호간에 최소한의 마찰력을 제공할 수 있는 수단이라면 그 어떠한 제품을 사용하여도 무방하다.
유도팬(800)이 회전함으로써, 유입홀(710)과 모터케이스(700) 상호간에 발생하는 공기의 와류현상(渦流現像)을 방지할 수 있고, 유입홀(710)이 내부케이스(400) 내부 공기를 회전시킴으로 루츠로터(100)의 냉각효율을 보다 향상시킬 수 있는 추가적인 이점을 제공할 수 있다.
도 1 및 도 3 , 도 4 를 참조하면 내부케이스(400)에는 상기 외부케이스(500) 내부의 온도를 측정하는 온도센서(420)가 설치된다. 그리고, 유도팬(800)과 로터회전축(300) 사이에는 유도팬(800)의 회전수를 측정하는 팬감지센서(820)가 더 구비된다. 즉, 팬감지센서(820)가 유도팬(800)의 회전수를 측정하면 공기유입구(510) 및 유입홀(710)로 유입되는 공기의 량을 측정할 수 있게 된다.
이때, 온도센서(420)와 팬감지센서(820)로부터 측정된 데이터를 전달받으며, 상기의 구동모터(200)와 모터(620)의 구동을 제어하는 제어부(900)가 구비된다. 제어부(900)는 외부케이스(500) 내부 온도가 사용자가 임의로 설정한 온도를 지속적으로 유지할 수 있도록 흡입팬(600)의 회전속도를 제어한다. 즉, 외부케이스(500) 내부 온도가 설정한 온도보다 높을 경우 흡입팬(600)의 회전수를 상승시켜 냉각속도를 증가시키고, 반대로 내부 온도가 설정한 온도보다 낮거나 같을 경우 흡입팬(600)의 회전수를 감소시켜 구동모터(200) 및 루츠로터(100)의 구동을 최적화 시킨다.
이때, 제어부(900)는 팬감지센서(820)에서 측정된 유도팬(800)의 회전수를 통해 유입된 풍량을 분석한다. 이를 통해 내부케이스(400) 내부로 공기가 유입되는지의 여부를 감지할 수 있고, 공기의 유동량에 따른 구동모터(200)와 루츠로터(100)의 냉각 여부를 실시간으로 확인할 수 있다.
동시에 상기의 온도센서(420)와 팬감지센서(820)의 분석된 데이터를 기반으로 내부케이스(400)로 유입되는 공기량 등을 분석하여 흡입팬(600)의 회전을 제어할 수 있으므로 냉각에 따른 전력사용량을 감소시켜 유지에 따른 경제적인 효과를 발생시킬 수 있다. 그리고 유도팬(800)을 통해 풍량을 분석하여 흡입팬(600)의 구동속도를 제어함으로써 외부케이스(500) 내부온도와 설정된 온도의 편차를 줄일 수 있다.
한편, 유도팬(800)이 로터회전축(300)에 일체로 고정되는 경우 구동모터(200)의 회전속도에 따라 공기를 내부케이스(400) 내부로 보다 많은 양을 흡입할 수 있는 효과를 제공할 수 있다. 따라서, 냉각효율을 향상시킬 수 있는 추가적인 이점을 제공한다.
아울러, 공기흡입구(510)에는 실내 혹은 실외에서 발생하는 먼지, 비산 등의이물질이 외부케이스(500) 내부로 유입되는 것을 차단하기 위한 필터(511)가 더 구비될 수 있으며, 이로 인해 구동모터(200)의 내구성 향상 및 파손을 미연에 방지할 수 있다.
이와 같은 구성에 의한 본 발명은 냉각식 진공펌프는 흡입되는 공기의 와류현상을 방지하고, 냉각효율을 향상시킬 수 있으며, 모터의 과부하 및 펌프의 마찰열을 신속하게 냉각시켜 진공펌프의 내구성을 향상시킴은 물론 구동모터의 수명을 연장시킬 수 있다.
100 : 루츠로터 200 : 구동모터
300 : 로터회전축 400 : 내부케이스
500 : 외부케이스 510 : 공기유입구
520 : 공기배출구 600 : 흡입팬
700 : 모터케이스 710 : 유입홀
800 : 흡입팬 900 : 제어부

Claims (5)

  1. 유체의 흡입과 배출이 이루어지도록 진공을 생산하는 루츠로터(100), 상기 루츠로터(100)와 연결되며, 외부로부터 전력을 인가받아 상기 루츠로터(100)를 회전시키는 구동모터(200) 및 상기 구동모터(200)와 상기 루츠로터(100) 사이에 구비되어 상기 구동모터(200)의 회전을 기어로 전달받아 상기 루츠로터(100)를 회전시키는 로터회전축(300)을 포함하는 진공펌프에 있어서,
    상기 루츠로터(100)가 내부에 구비되며, 일측에 상기 구동모터(200)가 고정되는 내부케이스(400);
    상기 내부케이스(400)의 외측을 감싸며 일측에 외부 공기가 유입되는 공기유입구(510)와 타측에 상기 공기유입구(510)와 연통되는 공기배출구(520)가 형성되는 외부케이스(500);
    상기 공기배출구(520)와 인접한 상기 외부케이스(500)의 타측에 형성되어 상기 공기유입구(510)로부터 외부공기를 흡입한 후 유입된 공기를 상기 공기배출구(520)로 배출시켜 상기 구동모터(200)와 상기 루츠로터(100)를 냉각시키는 흡입팬(600);
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각식 진공펌프.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 내부케이스(400)의 일측에는 상기 구동모터(200)의 외부를 감싸는 모터케이스(700)가 형성되되,
    상기 모터케이스(700)에는 상기 공기유입구(510)로 유입된 공기가 상기 내부케이스(400) 내부로 유입되도록 다수의 유입홀(710)이 관통 형성되며,
    상기 내부케이스(400)의 타측에는 상기 유입홀(710)로 유입된 외부공기가 상기 내부케이스(400)를 통과하여 상기 루츠로터(100)를 냉각시키도록 상기 유입홀(710)과 연통된 배출홀(410)이 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 냉각식 진공펌프.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 외부케이스(500)의 내측에는 상기 외부공기가 상기 유입홀(710)로 유입되는 것을 안내하도록 상기 외부케이스(500) 내부를 구획하는 구획격벽(530)이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 냉각식 진공펌프.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 로터회전축(300)에는 상기 유입홀(710)로 유입된 공기의 풍압에 의해 회전하며, 상기 공기유입구(510)로 유입된 외부 공기를 상기 유입홀(710)로 안내하는 유도팬(800)이 형성되되,
    상기 유도팬(800)과 상기 로터회전축(300) 사이에는 베어링(810)이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 냉각식 진공펌프.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 내부케이스(400)에는 상기 외부케이스(500) 내부의 온도를 측정하는 온도센서(420)가 설치되고,
    상기 유도팬(800)과 상기 로터회전축(300) 사이에는 상기 유입홀(710)로 유입된 공기량을 측정하도록 상기 유도팬(800)의 회전수를 측정하는 팬감지센서(820)가 구비되며,
    상기 외부케이스(500)의 내부 온도가 일정한 온도를 유지하도록 상기 온도센서(420)와 상기 팬감지센서(820)에서 측정된 데이터를 전달받아 상기 흡입팬(600)의 회전수를 제어하는 제어부(900)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
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