KR20180034771A - 마스크 조립체, 이를 포함하는 증착 장치, 및 마스크 조립체의 제조방법 - Google Patents

마스크 조립체, 이를 포함하는 증착 장치, 및 마스크 조립체의 제조방법 Download PDF

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KR20180034771A
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Abstract

본 발명에 의한 마스크 조립체는, 마스크 프레임; 상기 마스크 프레임에 의해 지지되고, 복수의 패턴 홀들을 갖는 마스크; 및 상기 마스크의 일면 상에 제공되는 자성체부를 포함한다.

Description

마스크 조립체, 이를 포함하는 증착 장치, 및 마스크 조립체의 제조방법{MASK ASSEMBLY, DEPOSITION APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND FABRICATION METHOD OF THE MASK ASSEMBLY}
본 발명은 마스크 조립체, 이를 포함하는 증착 장치, 및 마스크 조립체의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 유기전계발광 표시 패널을 제조하기 위해서는 기판 상에 유기 박막을 형성하는 증착 공정이 수행되어야 한다. 챔버 내 증발원에 증착 물질을 장입하고 가열하면 증발(evaporation)된 증착 물질의 기체(vapor)가 마스크의 패턴 홀을 통과하여 기판 상에 안착하게 된다. 이러한 유기 박막 증착 과정에서 기판에 대해 유기 박막의 균일한 성장을 유도하는 것이 중요하다.
그런데, 고해상도 기판을 제조하기 위해 마스크의 두께가 얇아지는 추세이다. 마스크와 기판은 자력에 의해 밀착되는데, 마스크의 두께가 얇아지면 마스크의 질량도 감소하므로, 마스크와 기판 사이의 자력이 약화되고 밀착도가 떨어져 마스크와 기판 사이가 이격될 수 있다. 이로 인하여, 기판에 증착된 유기 박막의 정밀도가 떨어지고, 제조된 기판에 불량이 발생할 수 있다.
본 발명의 목적은 마스크와 기판 사이의 밀착도를 향상시킬 수 있는 마스크 조립체, 이를 포함하는 증착 장치, 및 마스크 조립체의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 실시예에 의한 마스크 조립체는, 마스크 프레임; 상기 마스크 프레임에 의해 지지되고, 복수의 패턴 홀들을 갖는 마스크; 및 상기 마스크의 일면 상에 제공되는 자성체부를 포함한다.
일 실시예에서, 상기 자성체부는 자성체 입자 및 수지(resin)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 자성체 입자는 강자성 물질(ferromagnetic material)을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 자성체 입자는 플라스틱 입자 및 상기 플라스틱 입자에 코팅된 강자성 물질을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 자성체 입자의 크기는 0.1㎛ 내지 5㎛ 일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 수지는 광경화성 수지 및 열경화성 수지를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 수지의 점도(viscosity)는 1cp 내지 2000cp 일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 패턴 홀들은 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 매트릭스 형태로 배열될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 자성체부는 상기 패턴 홀들의 사이에 위치할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 마스크는 상기 패턴 홀들 사이에 위치하는 리브를 포함하고, 상기 자성체부는 상기 리브의 교차부에 위치할 수 있다.일 실시예에서, 상기 마스크 프레임 및 상기 마스크는 인바(Invar)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 마스크는 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask, FMM)일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 마스크는 복수의 마스크 스틱들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의한 마스크 조립체의 제조방법은, 복수의 패턴 홀들을 갖는 마스크를 형성하는 단계; 상기 마스크의 일면 상에 자성체부를 형성하는 단계; 및 상기 마스크를 마스크 프레임 상에 결합하는 단계를 포함한다.
일 실시예에서, 상기 자성체부를 형성하는 단계는, 자성체 입자 및 수지(resin)의 혼합용제를 상기 마스크의 일면 상에 분사하는 단계; 및 상기 분사된 혼합용제를 경화시키는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 자성체 입자는 플라스틱 입자에 강자성 물질을 코팅하여 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의한 증착 장치는, 챔버; 상기 챔버 내에서 증착 물질을 방사하는 증착원; 상기 증착원과 대면하는 기판의 일면에 배치되는 마스크 조립체; 상기 기판의 타면 측에 배치되어 상기 마스크 조립체를 상기 기판에 자력으로 밀착시키는 마그넷 플레이트를 포함하되, 상기 마스크 조립체는 마스크 프레임; 상기 마스크 프레임에 의해 지지되고, 복수의 패턴 홀들을 갖는 마스크; 및 상기 마스크의 일면 상에 제공되는 자성체부를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 마그넷 플레이트는 복수의 자석들을 포함할 수 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 마스크의 일면 상에 자성체부를 제공함으로써, 마스크와 기판 사이의 자력을 증가시키고 밀착도를 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2a는 도 1의 마스크를 확대 도시한 단면도이다.
도 2b는 도 1의 마스크를 확대 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 포함하는 증착 장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는 데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 또한, 본 명세서에 있어서, 어느 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 상(on)에 형성되었다고 할 경우, 상기 형성된 방향은 상부 방향만 한정되지 않으며 측면이나 하부 방향으로 형성된 것을 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 개략적으로 도시한 사시도이며, 도 2a는 도 1의 마스크를 확대 도시한 단면도이고, 도 2b는 도 1의 마스크를 확대 도시한 평면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체(100)는 마스크 프레임(110), 마스크(120) 및 자성체부(130)를 포함한다.
상기 마스크 프레임(110)은 상기 마스크(120)를 지지하면서 상기 마스크 조립체(100)의 외곽 틀을 형성하는 구성이다. 일 실시예에서, 상기 마스크 프레임(110)은 상기 마스크(120)의 가장자리를 지지하도록 형성되고, 상기 마스크(120)의 단부와 용접되거나 클램핑되어 상기 마스크(120)에 인장력을 작용시킬 수 있다.
상기 마스크 프레임(110)과 상기 마스크(120)는 다양한 방식으로 결합될 수 있다. 예를 들면, 상기 마스크 프레임(110)과 상기 마스크(120)는 볼트/너트, 조인트, 또는 클램프와 같은 체결 부재들(미도시) 또는 이들 사이의 나사산 결합이나 플랜지 구조에 의해 서로 결합되어 기계적인 결합 강도를 유지할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 마스크 프레임(110)은 중앙에 개구부를 갖는 사각 형상일 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 예컨대, 상기 마스크 프레임(110)은 원형, 타원형 및 다각형의 다양한 형태로 형성될 수 있다.
또한, 상기 마스크 프레임(110)은 금속 또는 합성수지 등으로 제조될 수 있다. 예를 들면, 상기 마스크 프레임(110)은 스테인레스 스틸(Stainless Steel, SUS), 인바(Invar), 니켈, 코발트 및 이들의 합금으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나일 수 있다.
상기 마스크(120)는 증착 물질이 통과하는 복수의 패턴 홀들(121)을 갖는다. 상기 패턴 홀들(121) 각각은 기판(미도시)에 형성되는 화소의 증착 패턴들에 대응된다.
일 실시예에서, 상기 패턴 홀들(121)은 제1 방향(D1) 및 상기 제1 방향(D1)과 교차하는 제2 방향(D2)을 따라 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. 여기서, 상기 패턴 홀들(121)은 원형임을 예시하고 있으나, 다른 실시예에서, 상기 패턴 홀들(121)은 타원형 또는 슬릿(slit)형상일 수 있다.
또한, 상기 마스크(120)는 상기 패턴 홀들(121) 사이에 형성되는 리브(123)를 포함할 수 있다. 즉, 상기 리브(123)는 증착 물질이 통과되지 못하는 영역이다.
일 실시예에서, 상기 마스크(120)는 복수의 마스크 스틱들(120a, 120b, 120c, 120d, 120e)을 포함할 수 있다. 단, 상기 마스크 스틱들(120a, 120b, 120c, 120d, 120e)의 형상 및 개수는 예시적이며, 본 발명이 이에 의해 한정된 것은 아니다.
상기 마스크(120)는 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask, FMM)일 수 있다. 예를 들면, 상기 마스크 프레임(110)은 스테인레스 스틸(Stainless Steel, SUS), 인바(Invar), 니켈, 코발트 및 이들의 합금으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나일 수 있다.
상기 마스크(120)는 식각(etching) 공정 또는 도금 공정을 통해 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 마스크(120)는 포토레지스트(photoresist)를 이용하여 상기 패턴 홀들(121)과 동일한 패턴을 가지는 포토레지스트층을 박판에 형성하거나, 상기 패턴 홀들(121)의 패턴을 가진 필름을 박판에 부착한 이후에 박판을 식각함으로써 제조할 수 있다. 또는, 상기 마스크(120)는 전기주조법(electroforming)에 의하여 형성될 수도 있다.
일 실시예에서, 상기 마스크(120)의 일면(F1)은 상기 증착 물질을 제공하는 증착원(미도시)을 향하는 면이며, 상기 일면(F1)의 가장자리는 상기 마스크 프레임(110)에 접할 수 있다. 상기 마스크(120)의 타면(F2)은 상기 기판에 접하는 면이다.
상기 자성체부(130)는 자석에 반응하는 물질로서, 상기 마스크(120)의 일면(F1) 상에 제공된다. 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 상기 자성체부(130)는 자성체 입자(131) 및 수지(133)의 혼합용제를 상기 마스크(120)의 일면(F1) 상에 분사한 후 경화시켜 형성될 수 있다.
구체적으로, 상기 자성체부(130)는 상기 마스크(120)의 일면(F1) 상에 전체적으로 또는 부분적으로 형성될 수 있다. 상기 자성체부(130)를 특정 위치에 형성하고자 하는 경우, 상기 혼합용제 분사시, 별도의 분사용 마스크를 이용하거나 잉크젯 노즐의 분사 위치를 정밀하게 얼라인(align)하는 작업이 필요할 수 있다. 상기 혼합용제를 분사한 후, 빛 및 열을 통해 경화시킨다.
상기 자성체부(130)는 상기 마스크(120)의 자성을 증가시키기 위한 구성이므로, 상기 자성체 입자(131)는 철, 코발트, 니켈 등의 강자성 물질(ferromagnetic material)을 포함하는 것이 바람직하다. 상기 자성체 입자(131)는 상기 강자성 물질로 입자 전체를 형성하거나, 플라스틱 입자에 상기 강자성 물질을 코팅하여 제조될 수 있다. 상기 자성체 입자(131)는 0.1㎛ 내지 5㎛ 의 크기를 가질 수 있으며, 상기 자성체 입자(131)의 크기가 작을수록 상기 자성체부(130)를 작게 형성할 수 있다.
상기 수지(133)는 광경화성 수지 및 열경화성 수지 중 적어도 하나를 포함하도록 선택될 수 있다. 예를 들면, 상기 열경화성 수지는 요소 수지, 멜라민 수지 및 페놀 수지 등을 포함할 수 있다. 또한, 상기 광경화성 수지는 에폭시 수지와 같은 중합성 관능기를 갖는 중합성 화합물, 광조사에 의해 상기 중합성 화합물의 중합 반응을 개시시키는 광중합 개시제, 계면 활성제 및 산화 방지제 등을 포함할 수 있으며 이에 한정되는 것은 아니다.
일 실시예에서, 상기 수지(133)는 무용매(solventless) 자외선(ultraviolet, UV) 경화 특성을 가질 수 있다. 상기 무용매 특성에 관하여, 상기 마스크(120)는 진공 챔버 내에서 이용되기 때문에 휘발성 있는 용매를 쓰지 않는 것이 바람직하다. 상기 수지(133)의 점도(viscosity)는 1cp 내지 2000cp 일 수 있으며, 상기 수지(133)의 점도가 낮을수록 상기 자성체부(130)를 작게 형성할 수 있다.
상기 자성체부(130)는 상기 패턴 홀들(121)의 사이에 위치할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 자성체부(130)는 상기 리브(123)의 교차부에 위치할 수 있다. 상기 자성체부(130)는 어느 하나의 패턴 홀을 기준으로, 동일 평면 상에서 상기 제1 방향(D1) 및 상기 제2 방향(D2) 사이의 제3 방향(D3)측에 위치할 수 있다. 즉, 상기 자성체부(130)는 상기 패턴 홀들(121)의 상, 하, 좌, 우를 회피하여 사선 방향을 따라 형성될 수 있다.
한편, 고해상도 기판을 제조하기 위해, 상기 마스크(120)의 두께와 상기 자성체부(130)의 두께를 합한 총 두께는 20㎛ 이하인 것이 바람직하다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 포함하는 증착 장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.
본 실시예의 증착 장치는 예를 들면, 액체 또는 고체 상태의 증착 물질로부터 발생한 증기 또는 이의 반응 생성물의 증착에 의해 소자층이 형성되는 메모리 또는 로직회로와 같은 반도체 소자의 제조를 위한 기상 증착 장치, 또는 유기발광 다이오드와 같은 디스플레이 소자의 제조를 위한 기상 증착 장치에 적용될 수 있다. 그러나, 이는 예시적이며, 증착 물질에 따라 광전 기전을 갖는 다른 소자들, 예를 들면, 전기화학전지, 광전도성 전지, 광저항기, 포토스위치, 포토트랜지스터 및 포토튜브에도 적용될 수 있을 것이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 마스크 조립체(100), 챔버(200), 증착원(300), 마그넷 플레이트(400) 및 구동부(500)를 포함할 수 있다. 본 실시예는 전술된 마스크 조립체(100)를 포함하는 증착 장치이므로, 실질적으로 동일한 구성에 대해 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
본 실시예에서, 상기 챔버(200)의 하부에는 상기 증착원(300)이 위치하고, 상기 챔버(200)의 상부에는 상기 마스크 조립체(100)와 상기 마그넷 플레이트(400) 사이에 기판(S)이 위치하는 구조를 갖는다. 즉, 상기 기판(S)의 피처리면이 아래를 향하게 지지한 상태에서 증착 공정이 이루어지는 상부 척킹(chucking) 구조를 갖는다.
상기 기판(S)은 유기전계발광 표시 패널을 제조하기 위한 기판일 수 있다. 하지만 상기 기판(S)이 표시패널로 한정되는 것은 아니며, 웨이퍼와 같은 반도체 장치를 제조하기 위한 반도체 기판일 수 있다.
상기 챔버(200)는 상기 기판(S)에 대하여 증착 공정이 진행되는 공간을 제공한다. 상기 챔버(200)의 내부는 증착 공정이 보다 원활하게 이루어지도록 일정한 수준의 진공 상태가 유지될 수 있고, 상기 진공 상태의 조성을 위한 진공 펌프(미도시)가 연결될 수 있다. 또한, 상기 챔버(200)는 상기 기판(S)의 반입과 반출을 위하여 반입/반출구(미도시)가 형성될 수 있다.
상기 챔버(200)는 알루미늄, 스테인리스, 구리와 같은 금속 물질로 제작될 수 있다. 또는 코팅된 금속 예를 들어, 양극 처리된 알루미늄이나 니켈 도금된 알루미늄으로 제작될 수 있다. 또는 내화 금속(refractory metal)으로 제작될 수도 있다. 상기 챔버(200)의 전체 또는 일부는 석영, 세라믹과 같은 전기적 절연 물질로 제작될 수 있다. 상기 챔버(200)의 구조는 상기 기판(S)의 증착 처리를 위하여 적합한 구조 예를 들어, 원형 구조나 사각형 구조 그리고 이외에도 어떠한 형태의 구조를 가질 수 있다.
상기 증착원(300)은 내부에 증착 물질을 수용하며 가열에 의해 기화된 증착 물질을 제공하는 구조를 갖는다. 본 실시예에서, 상기 증착원(300)은 상기 챔버(200) 하부에 위치하여 상부로 상기 증착 물질을 제공하는 구조를 갖는다. 상기 증착원(300)은 상기 증착 물질이 분출되는 노즐부(미도시)를 포함할 수 있다.
상기 증착원(300)은 가열부(미도시)를 포함할 수 있으며, 상기 증착원(300)에 증착 물질을 장입하고 가열하면 증발(evaporation)된 증착 물질의 기체(vapor)가 상기 마스크(120)의 패턴 홀들(121)을 통과하여 상기 기판(S) 상에 안착하게 된다.
상기 증착 물질은 고분자 유기물질, 저분자 유기물질, 중합체, 무기물질 등을 포함할 수 있으며, 고상이거나 또는 액상일 수도 있다. 상기 증착원(300)은 많은 양의 증착 물질이 채워져서 상대적으로 긴 시간 동안 공정이 진행될 수 있도록 하는 구조를 갖거나, 다른 실시예에서, 공정이 진행되는 도중에 상기 챔버(200)의 외부로부터 상기 증착 물질이 공급될 수도 있다.
상기 증착원(300)의 일부 또는 전체의 재료는 스텐레스 스틸, 알루미늄, 티타늄, 구리와 같은 금속 재료, 내부의 관측이 가능한 석영, 유리와 같은 재료 또는 단열 효과를 갖는 세라믹과 같은 재료 중 어느 하나 또는 이들의 조합으로부터 선택될 수 있으며, 본 발명이 이에 의해 제한되는 것은 아니다.
상기 마그넷 플레이트(400)는 상기 기판(S)의 타면 측에 배치되어 상기 마스크 조립체(100)를 상기 기판(S)에 자력으로 밀착시킨다. 상기 마그넷 플레이트(400)는 복수의 자석들(410)을 포함할 수 있다. 상기 자석들(410)은 영구 자석 또는 전자석을 포함할 수 있다.
상기 구동부(500)는 상기 마그넷 플레이트(400)와 결합되어, 상기 마그넷 플레이트(400)를 승하강시킬 수 있다.
정리하면, 상기 챔버(200) 내에서 상기 마스크 조립체(100)는 상기 챔버(200) 내에서 상기 증착원(300)과 대면하는 기판(S)의 일면에 배치되고, 상기 마그넷 플레이트(400)는 상기 기판(S)의 타면 측에 배치되어 상기 마스크 조립체(100)를 상기 기판(S)에 자력으로 밀착시킬 수 있다.
상기 기판(S)과 상기 마스크 조립체(100)가 밀착된 상태에서, 상기 증착원(300) 내의 증착 물질을 증발시키면, 증발된 증착물질이 상기 마스크(120)의 패턴 홀들(121)을 통과하여 상기 기판(S)에 증착 패턴을 형성한다. 이때, 상기 마스크(120)와 상기 기판(S) 사이가 밀착되지 못하고 이격될 경우, 상기 기판(S)에 증착된 패턴의 정밀도가 떨어지고, 불량이 발생할 수 있다.
본 발명에 의하면, 상기 마스크(120)의 일면 상에 자성체부(130)를 제공함으로써, 상기 마스크(120)와 기판(S) 사이의 자력을 증가시키고 밀착도를 향상시킬 수 있다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 변형예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
100: 마스크 조립체 110: 마스크 프레임
120: 마스크 121: 패턴 홀들
123: 리브 130: 자성체부
131: 자성체 입자 133: 광경화 수지
200: 챔버 300: 증착원
400: 마그넷 플레이트 500: 구동부

Claims (18)

  1. 마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임에 의해 지지되고, 복수의 패턴 홀들을 갖는 마스크; 및
    상기 마스크의 일면 상에 제공되는 자성체부를 포함하는 마스크 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 자성체부는 자성체 입자 및 수지(resin)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 자성체 입자는 강자성 물질(ferromagnetic material)을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 자성체 입자는 플라스틱 입자 및 상기 플라스틱 입자에 코팅된 강자성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 자성체 입자의 크기는 0.1㎛ 내지 5㎛ 임을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 수지는 광경화성 수지 및 열경화성 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 수지의 점도(viscosity)는 1cp 내지 2000cp 임을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴 홀들은 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 매트릭스 형태로 배열됨을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 자성체부는 상기 패턴 홀들의 사이에 위치함을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크는 상기 패턴 홀들 사이에 위치하는 리브를 포함하고,
    상기 자성체부는 상기 리브의 교차부에 위치함을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임 및 상기 마스크는 인바(Invar)를 포함하는 재질임을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크는 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask, FMM)임을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크는 복수의 마스크 스틱들을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  14. 복수의 패턴 홀들을 갖는 마스크를 형성하는 단계;
    상기 마스크의 일면 상에 자성체부를 형성하는 단계; 및
    상기 마스크를 마스크 프레임 상에 결합하는 단계를 포함하는 마스크 조립체의 제조방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 자성체부를 형성하는 단계는,
    자성체 입자 및 수지(resin)의 혼합용제를 상기 마스크의 일면 상에 분사하는 단계; 및
    상기 분사된 혼합용제를 경화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체의 제조방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 자성체 입자는 플라스틱 입자에 강자성 물질을 코팅하여 형성됨을 특징으로 하는 마스크 조립체의 제조방법.
  17. 챔버;
    상기 챔버 내에서 증착 물질을 방사하는 증착원;
    상기 증착원과 대면하는 기판의 일면에 배치되는 마스크 조립체; 및
    상기 기판의 타면 측에 배치되어 상기 마스크 조립체를 상기 기판에 자력으로 밀착시키는 마그넷 플레이트를 포함하되,
    상기 마스크 조립체는
    마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임에 의해 지지되고, 복수의 패턴 홀들을 갖는 마스크; 및
    상기 마스크의 일면 상에 제공되는 자성체부를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 마그넷 플레이트는 복수의 자석들을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.

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