KR20180016143A - 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 실시 예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈은 일면의 일부가 개방되고 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 상부를 형성하는 커버, 커버의 하부면과 결합하여 수납 공간을 형성하는 케이스, 상부면이 케이스의 하부면과 결합되는 베이스, 베이스의 상부면에 결합되고, 커버를 통과하는 광을 받아서 온도를 감지하는 적외선 온도 센서, 베이스의 하부면에 결합되고, 적외선 온도 센서와 전기적으로 연결되어 적외선 온도 센서로부터 감지된 온도를 받아서 신호를 처리하는 신호 처리 회로를 포함할 수 있다.
Description
본 발명은 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈에 관한 것으로서, 적외선 이외에 다른 요인에 의한 온도변화를 차단하여 온도 측정의 정확도를 상승시키기 위한 온도 센서 모듈에 관한 것이다.
일반적으로, 온도를 측정하는 것은 냉온방이나 조리 등과 같이 우리의 생활과 밀접한 관계를 가지고 있다.
물론 민생용이나 산업용에서의 필요성은 두말 할 필요도 없다.
한편, 온도 측정 방법으로는 접촉식(contact type)과 비접촉식(non-contact type)으로 분류할 수 있다.
그러나, 일반적으로 온도를 측정한다고 하는 것은 대부분이 접촉식으로 하는 것이고 비접촉식은 접촉이 불가능한 경우의 보조수단에 지나지 않는다.
예를 들어, 비접촉식은 회전하는 측정대상물, 이동하는 측정대상물, 매우 고온이어서 접촉할 수 없는 측정대상물 등의 경우에만 한정하여 사용되어 왔다.
그리고, 비접촉식은 값이 비싸고 취급이 어렵기 때문에 비접촉식보다 접촉식이 널리 사용되고 있다.
그러나, 최근에는 비접촉식의 수요가 증가하고 있으며, 특히 0∼300℃ 정도의 비교적 저온영역의 측정에 있어서는 간단하고 저가인 방사온도계에 대한 요구가 커지고 있다.
이러한 비접촉식인 방사온도계는 회로 구성을 간단히 할 수 있고 방사온도계에 사용되는 적외선 센서(IR sensor)를 종래보다 값싸게 구입할 수 있게 되어 경우에 따라서는 접촉식보다 더 경제적으로 되었다.
현재, 방사 에너지를 감지하는 센서로는 광기전력 효과(photovoltaic effect)나 광전도 효과 (photoconductive effect)를 이용한 양자형(photonic type) 센서와 볼로미터(bolometer), 초전 센서 (pyroelectric sensor), 써모파일 센서(thermopile sensor)와 같은 열형(thermal type) 센서가 있다.
양자형 센서는 입사파(incident radiation)가 전자를 여기(excite)시켜 센서의 전기적 특성을 변화시키는 것을 이용하는 것으로서, 일반적으로 선택된 파장범위에서 감지성능이 매우 뛰어나고 빠른 응답 특성(responsivity)을 나타내고 있다.
그러나, 아직 관련 제조 기술(process technology)이 확립되어 있지 못하고 가격이 비싸며 소정의 적외선 감도를 얻기 위해서는 액체질소(liquid-N2)온도 이하에서 동작시켜야 하는 단점이 있다.
따라서, 상업적 및 산업적으로 적외선 센서를 이용하기 위해서는 냉각이 필요없고 값이 싸며 신뢰성 있는 소자가 필요하게 되었다.
최근 이러한 특징을 만족시킬 수 있는 열형 센서에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.
이런 연구 결과로, 가시 이미지(visible image)로는 알 수 없는 물체에 대한 유용한 정보를 제공함으로써 생산 시험(production examination), 공정 모니터링(process monitoring), 비접촉 및 비파괴 시험(noncontact ＆ non-destructive testing) 등과 같은 분야에 사용할 수 있는 소자가 개발되었다.
이러한 소자들 중 현재까지 가장 뛰어난 재료로는 Hg, Cd, Te 이 있지만, 대량생산을 위한 제조기술이 아직 성숙되어 있지 못할 뿐만 아니라 기판의 가격과 균일도가 문제로 되고 있다.
따라서, 상기의 문제들을 만족시키면서 확립되어 있는 반도체 공정으로 제작이 가능한 써모파일 센서가 활발하게 연구되고 있다.
이 써모파일 센서란 두가지 서로 다른 물질을 한쪽은 접점(junction)을 만들고 다른쪽은 떼어놓는(open) 구조로 형성하여 이 접점부분과 개방된 부분에 온도차가 생기면 이 온도차의 크기에 비례하여 기전력 (thermoelectric power)이 발생한다는 제백효과(Seebeck effect)를 이용함으로써 온도를 감지하는 센서를 말한다.
도 1a 및 도 1b는 종래 기술에 따른 써모파일 센서를 보여주는 평면도 및 단면도로서, 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이 그 구조를 살펴보면, 먼저 열전쌍(therocouple)들이 직렬로 연결되고, 이 열전쌍의 각 구성물질들(elements)은 큰 열기전력(thermoelectric power)을 가지며, 또한 열전쌍의 각 구성물질들은 열기전력이 반대의 극성(polarity)을 갖는 서로 다른 물질로 구성된다.
그리고 열전쌍들은 온 영역(hot region)과 냉 영역(cold region)에 교차하여 위치하며, 온 접점(hot junction)과 냉 접점(cold junction)은 열적으로 분리(thermal isolation)되어 있다.
일반적으로 냉 접점은 효율적인 힛 싱크(heat sink)를 위하여 실리콘 기판 위에 위치하고, 온 접점 부분에는 적외선을 흡수하는 흑체(black body)를 형성한다.
즉, 낮은 열전도도(thermal conductance)와 낮은 열용량(thermal capacitance)을 갖는 얇은 다이아프레임 (diaphragm) 위에 두 개의 서로 다른 열전 물질(thermoelectric material)을 직렬로 위치시킨 것이다.
이러한 써모파일 센서는 직류방사(DC radiation)에 대하여 안정된 응답특성을 나타내며 넓은 적외선 스펙트럼에 응답하고 바이어스 전압이나 바이어스 전류가 필요없는 장점을 가지고 있다.
도 2a 내지 2f는 종래 기술에 따른 써모파일 센서 제조공정을 보여주는 공정단면도로서, 도 2a에 도시된 바와 같이, 먼저 기판(1)으로는 결정 방향이 (100)인 실리콘 기판을 선택한다.
그 이유는 후공정인 기판 뒷면(back-side) 식각을 고려해야 하기 때문이다.
그리고, 기판(1) 양면에 열산화(thermal oxidation) 방법으로 제 1 산화막(2)을 약 2000Å 증착하고, 제1 산화막(2) 위에는 저압화학증착법(LPCVD)으로 질화막(3)을 3000Å 증착한다.
여기서, 질화막(3)은 기판(1)을 식각할 때, 식각 마스크로 사용되고 식각을 멈추기 위한 식각정지층(etch stop layer)으로 사용된다.
이어, 도 2b에 도시된 바와 같이, 질화막(3) 위에 저압화학증착법으로 제 2 산화막(4)을 약 7000Å 증착한다.
이와 같이 산화막/질화막/산화막(ONO ; oxide/nitride/oxide)구조로 형성하는 것은 다이아프레임이 형성되었을 때, 각 막들의 내부 잔류 응력(residual stress)을 서로 보상(compensation)하여 줌으로써 기계적으로 안정된 다이아프레임 막을 얻을 수 있도록 하기 위함이다.
즉, 일반적인 산화막은 압축 응력(compress stress)를 가지고, LPCVD 질화막은 인장 응력(tensile stress)를 가지기 때문에 서로 스트레스를 보상할 수 있는 구조가 되는 것이다.
이와 같이 다이아프레임 막을 형성한 후, 도 2c에 도시된 바와 같이, 기판(1) 윗면의 제 2 산화막(4) 위에 제 1, 제 2 열전쌍 물질(5)을 차례로 증착하고 패턴을 형성한다.
이때, 열전쌍 물질(5)로는 상호간의 제벡계수(Seebeck Coefficient)가 큰 물질들로 구성해야 센서 특성이 좋게 된다.
그리고 도 2d에 도시된 바와 같이, 열전쌍 물질(5)을 포함한 전면에 센서 소자를 외부환경으로부터 보호하기 위하여 보호막(6)을 형성하고, 센서로부터 나오는 출력을 외부회로와 연결되게 하기 위하여 패드(7)를 열전쌍 물질에 접촉되도록 형성한다.
이어, 도 2e에 도시된 바와 같이, 실리콘 기판(1) 아랫면을 식각하여 다이아 프레임 막을 노출시킨다.
여기서, 사용되는 식각 용액은 수산화 칼륨(KOH, potassium hydroxide)수용액으로, 이것은 실리콘의 결정 방향에 대하여 (111)방향으로는 식각이 거의 되지 않으므로 결국 기판(1) 밑면에서 54.74。 기울어진 방향으로 식각이 진행된다.
또한, 수산화 칼륨 수용액에서 실리콘 질화막(3)은 거의 식각이 되지 않기 때문에 식각 마스크로 사용될 뿐만 아니라, 식각 종료시 기판(1) 전체가 동시에 식각되지 않는 식각면 불균일 문제를 해결하기 위한 식각정지층(etch stop layer)으로도 이용된다.
그리고, 도 2f에 도시된 바와 같이, 보호막(6) 위에 흑체(8)를 형성한다.
다만, 이러한 종래 써모파일 센서는 외부로부터 전달되는 열을 차단하지 못하기 때문에, 적외선을 이용한 온도 측정의 오차가 많이 발생하는 단점이 존재한다.
본 발명의 일 과제는, 베이스의 동일면에 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로를함께 결합하는 경우 증가하는 전체적인 적외선 온도 센서 모듈의 크기를 감소시키는 것이다.
본 발명의 다른 과제는, 신호 처리 회로 구동시 발생하는 열에 의하여 적외선 온도 센서의 온도 측정이 영향을 받는 것을 제거하는 것이다.
본 발명의 또 다른 과제는, 베이스의 하부면에 신호 처리 회로를 실장하는 경우 발생할 수 있는 PCB 기판과의 접촉을 방지하는 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈은 일면의 일부가 개방되고 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 상부를 형성하는 커버, 커버의 하부면과 결합하여 수납 공간을 형성하는 케이스, 상부면이 케이스의 하부면과 결합되는 베이스, 베이스의 상부면에 결합되고, 커버를 통과하는 광을 받아서 온도를 감지하는 적외선 온도 센서, 베이스의 하부면에 결합되고, 적외선 온도 센서와 전기적으로 연결되어 적외선 온도 센서로부터 감지된 온도를 받아서 신호를 처리하는 신호 처리 회로를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈은 커버의 상부면에 설치되고, 커버의 개방된 일부를 밀폐하는 렌즈를 더 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈은 커버의 하부면에 설치되고, 커버의 개방된 일부를 밀폐하는 렌즈를 더 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈은 커버와 케이스가 접합부를 통해 결합된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈은 베이스의 상부면 및 하부면에 적외선 온도 센서 및 신호 처리회로의 전기적 연결을 용이하게 하기 위한 금속부가 실장된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈은 베이스의 하부면에 결합되어 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈과 PCB기판 사이의 전기적 연결을 수행하고, 신호 처리 회로가 PCB 기판과 일정 거리를 유지하도록 하는 솔더 볼(Solder ball)을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈은 베이스의 하부면에서 솔더 볼 주변에 배치되는 절연부를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈은 신호 처리 회로를 보호하고, 열 방출을 용이하게 하기 위한 몰딩(molding)부를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 베이스는 상하 폭의 길이가 일정하다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 베이스는 실리콘, 유리, 금속 또는 세라믹 중 적어도 하나의 소재로 형성된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 케이스는 아연, 알루미늄, 구리, 니켈, 철, 스테인레스 스틸, 단결정 실리콘 세라믹 또는 플라스틱 중 적어도 하나의 소재로 형성된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 수납 공간은 상압의 질소 또는 아르곤이 포함되고, 100 토르(Torr) 이하의 진공상태이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 커버는 단결정 실리콘, 칼코겐 글라스(chalcogenide glass), 사파이어 글라스, 플라스틱 중 적어도 하나의 소재로 형성된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈은 커버의 개방된 일부에서 적외선만 선택적으로 투과하며 표면반사를 억제하는 투과 필더를 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 적외선 온도 센서는 플립칩(Flip-chip) 타입이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 적외선 온도 센서는 솔더 볼 또는 금속 범프를 통해 상기 베이스의 상부면과 연결된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 신호 처리 회로는 적외선 온도 센서가 감지한 온도를 기 설정된 알고리즘에 따라 보정하는 온도 보정 기능을 수행한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 신호 처리 회로는 플립칩 타입이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 신호 처리 회로는 솔더 볼 또는 금속 범프를 통해 상기 베이스의 하부면과 연결된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 커버와 케이스는 일체형이다.
본 발명의 효과는 다음과 같다.
본 발명의 다양한 실시 예들 중 일 실시 예에 따르면, 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로를 베이스의 상부면과 하부면에 각각 실장함으로써, 전체적으로 적외선 온도 센서 모듈의 크기가 감소되는 효과가 있다.
본 발명의 다양한 실시 예들 중 다른 실시 예에 따르면, 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로를 베이스의 상부면과 하부면에 각각 실장함으로써, 신호 처리 회로에서 발생하는 열에 대하여 적외선 온도 센서가 영향을 받지 않는 기술적 효과가 있다.
본 발명의 다양한 실시예들 중 또 다른 실시예에 따르면, 베이스의 하부면 일부에 솔더 볼을 부착함으로써, 신호 처리 회로가 PCB 기판과 접촉되지 않고 일정한 거리를 유지할 수 있는 기술적 효과가 있다.
도 1a 및 도 1b는 종래 기술에 따른 써모파일 센서를 보여주는 평면도 및 단면도이다.
도 2a 내지 2f는 종래 기술에 따른 써모파일 센서 제조공정을 보여주는 공정단면도이다.
도 3은 일반적인 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈에서의 열 전달을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서모듈에서 적외선 온도 센서와 캡핑부를 연결하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈에서 플립칩 타입의 적외선 온도 센서를 이용하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 제2 캡핑부를 포함하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 제2 캡핑부를 포함하는 다른 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 금속판을 포함하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 제2 캡핑부를 포함하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 제2 캡핑부를 포함하는 다른 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 금속판을 포함하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈의 제1 캡핑부에 반사방지 필터를 부착하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 15는 본 발명의 적외선 온도 센서 모듈이 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 서로 다른 면에 배치하는 제1 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 16a 내지 도 16h는 본 발명에 따른 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 서로 다른 면에 배치되는 적외선 온도 센서 모듈의 제작 공정을 설명하기 위한 도면들이다.
도 17은 본 발명의 적외선 온도 센서 모듈이 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 서로 다른 면에 배치하는 제2 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 18은 본 발명의 적외선 온도 센서 모듈이 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 서로 다른 면에 배치하는 제3 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 19 및 도 20은 본 발명의 적외선 온도 센서 모듈이 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 서로 다른 면에 배치하는 제4 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 2a 내지 2f는 종래 기술에 따른 써모파일 센서 제조공정을 보여주는 공정단면도이다.
도 3은 일반적인 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈에서의 열 전달을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서모듈에서 적외선 온도 센서와 캡핑부를 연결하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈에서 플립칩 타입의 적외선 온도 센서를 이용하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 제2 캡핑부를 포함하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 제2 캡핑부를 포함하는 다른 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 금속판을 포함하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 제2 캡핑부를 포함하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 제2 캡핑부를 포함하는 다른 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 금속판을 포함하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈의 제1 캡핑부에 반사방지 필터를 부착하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 15는 본 발명의 적외선 온도 센서 모듈이 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 서로 다른 면에 배치하는 제1 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 16a 내지 도 16h는 본 발명에 따른 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 서로 다른 면에 배치되는 적외선 온도 센서 모듈의 제작 공정을 설명하기 위한 도면들이다.
도 17은 본 발명의 적외선 온도 센서 모듈이 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 서로 다른 면에 배치하는 제2 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 18은 본 발명의 적외선 온도 센서 모듈이 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 서로 다른 면에 배치하는 제3 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 19 및 도 20은 본 발명의 적외선 온도 센서 모듈이 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 서로 다른 면에 배치하는 제4 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명과 관련된 실시 예에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다.
도 3은 일반적인 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈에서의 열 전달을 설명하기 위한 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 일반적인 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(300)은 케이스(310), 베이스(320), 커버 윈도우(330), 적외선 온도 센서(340) 및 신호 처리 회로(350)를 포함할 수 있다.
우선 케이스(310)는 외부와 직접 접촉되므로, 외부 온도의 영향을 받음과 동시에 직접적으로 연결된 베이스(320)의 온도에 의한 고체 열 전달에 의한 영향도 받는다. 이 경우, 외부 온도와 베이스(320)의 온도 차이가 많이 나는 경우 열 평형 상태가 이루어질 때까지 케이스(310)의 온도는 변할 수 있다.
적외선 온도 센서(340)는 커버 윈도우(330)를 통해 들어오는 적외선을 통해 온도를 감지하게 되는데, 다른 요인에 의한 영향을 받지 않고 오로지 적외선에 의한 온도 변환만을 감지하는 것이 가장 이상적이다. 그러나, 도 3에 도시된 바와 같이, 일반적인 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(300)에서 적외선 온도 센서(340)는 커버 윈도우(330)를 통해 들어오는 적외선에 의한 영향 뿐만 아니라, 케이스(310)의 온도 변화에 의한 수납 공간 내 공기 열 전달의 영향 및 베이스(320)에 의한 열 전달의 영향을 모두 받을 수 있다. 따라서, 이와 같은 환경에서 적외선 온도 센서(340)는 적외선에 의한 온도 변화 감지 이외에 다른 요인들에 의한 온도 변화까지 함께 감지하게 되므로, 측정하고자 하는 대상물의 온도 측정의 정확도가 떨어질 수 있다. 따라서, 이와 같은 일반적인 비접촉식 온도 센서 모듈(300)의 단점을 보완하고자 캡핑 소자를 추가적으로 포함하는 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈 구조를 이하 설명하도록 하겠다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(400)은 케이스(410), 베이스(420), 커버 윈도우(430), 적외선 온도 센서(440), 신호 처리 회로(450) 및 캡핑부(460)를 포함할 수 있다. 나아가, 도 4에는 도시하지 않았으나, 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(400)은 적외선 온도 센서(440) 및 신호 처리 회로(450)에서 발생되는 열로부터 영향을 최소화하여 정확한 온도 측정을 하기 위하여, 베이스(420) 상에 적외선 온도 센서(440)와 신호 처리 회로(450)가 안착되는 패드 부위에 방열 구조를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(400)의 케이스(410)는 외부로부터 광이 입사할 수 있도록 상부면의 일부가 개방되어 개구부를 형성하고, 내부에 커버 윈도우(430), 적외선 온도 센서(440), 신호 처리 회로(450) 및 캡핑부(460)이 수납되는 수납 공간을 형성하도록 베이스(110)의 상부면과 결합된다. 이 때, 케이스(410)와 베이스(420)는 외부 공기 등의 영향으로부터 내부 온도가 증가되는 것을 방지하기 위하여 상호 밀폐 결합될 수 있다.
도 4에는 도시하지 않았으나, 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(400)의 커버 윈도우(430)는 렌즈 또는 적외선 필터를 포함할 수 있다. 적외선 필터는 케이스(410)의 상부면 내측에 장착되어, 외부에서 케이스(410)의 개구부를 통해 입사되는 광으로부터 적외선 온도 센서(440)가 인식할 수 있는 적외선 영역의 광을 필터링하여 적외선 온도 센서(440)로 전달한다. 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(400)의 커버 윈도우(430)는 케이스(410)의 개구부를 통해 입사되는 광량을 많이 전달하게 할 수 있다.
또한, 도 4 내지 도 12에서는 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 동일 면에 결합되는 실시예들을 설명하고, 도 15 내지 도 20에서는 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 다른 면에 각각 결합되는 실시예들을 설명하도록 하겠다.
본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(400)의 적외선 온도 센서(440)는 커버 윈도우(430)를 통해 전달된 적외선 영역의 광으로부터 대상물의 온도를 감지한다. 도 4에는 도시하지 않았으나, 적외선 온도 센서(440)는 신호 처리 회로(450)와 와이어 등을 통하여 전기적으로 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(400)의 신호 처리 회로(450)는 써미스터(thermistor) 등과 같은 주문형 반도체 집적회로(ASIC : Application Specific Integrated Circuit)로 구비되며, 적외선 온도 센서(440)와 전기적으로 연결된다. 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(400)의 신호 처리 회로(450)는 적외선 온도 센서(440)로부터 감지된 온도를 신호 처리하여 온도를 측정 및 보상하거나 전기적인 신호로 변환한다.
본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(400)의 캡핑부(460)는 적외선 온도 센서(440)와 접합부(470)를 통해 연결될 수 있다. 접합부는 접합재료(bonding material), 접합 층(bonding layer) 등으로도 명명될 수 있다. 접합부(470)를 통해 연결하는 방법에는 Glass frit bonding, Metal bonding, Adhesive bonding 방식 등이 사용될 수 있다. Metal bonding 방식에는 Eutectic bonding(Au-Sn, Au-Si), TLP(Transient Liquid Phase) bonding, Solder bonding 방식 등이 사용될 수 있고, Adhesive bonding은 BCB, Polymide bonding 방식 등이 사용될 수 있다.
캡핑부(460)는 적외선 온도 센서(440)의 상부면에 위치하여 적외선 온도 센서(440)의 멤브레인이 케이스(410) 내 수납 공간으로부터 전달되는 열 전달에 의해 받는 영향을 차단할 수 있다. 또한, 캡핑부(460)는 열 전달이 잘되는 소자로 제작될 수 있고, 적외선 온도 센서(440)와 동일한 온도를 갖도록 설계될 수 있으므로, 적외선 온도 센서(440)의 멤브레인이 외부 온도에 의해 받을 수 있는 영향을 최소화할 수 있는 기술적 효과가 있다.
도 4와 같이 캡핑부를 적외선 온도 센서 상부에 직접 결합시킴으로써 금속 케이스를 사용하는 다른 발명들과 비교했을 때, 재료, 공정,효과 측면에서 뛰어한 기술적 효과를 구현할 수 있다. 즉, 재료 측면에서 다른 발명들이 금속 케이스를 사용하는 반면에 본원 발명은 실리콘 재질 등을 사용하는 캡핑부를 사용할 수 있으며, 공정 측면에서도 캡핑부는 칩(Chip) 제조 공정의 일부에 포함되기 때문에 칩 제조 단계에서 간단하게 생산할 수 있으나, 금속 케이스를 사용하는 다른 발명들은 칩 제조 단계 이후에 각 모듈의 조립 단계에서 하나씩 조립을 해야하는 단점이 있다. 나아가, 온도 센서 정확도 상승 효과 측면에서도 본원 발명은 적외선 온도 센서와 직접 연결되기 때문에 온도차이가 없고 열 평형 상태에 도달하게 되지만, 금속 케이스를 사용하는 다른 발명들은 금속 케이스와 적외선 온도 센서 사이의 거리로 인한 온도 차이가 발생하므로 온도 측정의 정확도가 떨어지는 단점이 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈에서 적외선 온도 센서와 캡핑부를 연결하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(500)의 적외선 온도 센서(510)는 케이스 내 수납 공간으로부터 전달되는 공기 열전달을 차단하기 위하여 캡핑부(520)와 결합될 수 있다. 일 실시예로서 도 5에 도시된 바와 같이, 적외선 온도 센서(510)의 일부분에 접합부를 부착하고, 캡핑부(520)를 적외선 온도 센서(510)의 상부면에 결합시킬 수 있다. 이 때, 적외선 온도 센서(510)는 신호 처리 회로(540)와 와이어(550) 등을 통해 전기적으로 연결되도록 적외선 온도 센서(510)의 상부면 일 영역에 패드(530)를 구비할 수 있다. 나아가, 캡핑부(520)는 패드(530)를 가리지 않도록 적외선 온도 센서(510)와 다른 형태로 설계될 수 있다.
또한, 캡핑부(520)는 상부면에 무반사코팅(anti-reflection coating : AR coating)이 이루어질 수 있고, 이를 통해 적외선 온도 센서(510)에서 감지하는 적외선이 반사되는 것을 방지할 수 있다.
도 5와 같이 적외선 온도 센서 상부면에 캡핑부를 결합함으로써, 공기 열전달을 차단할 수 있고 그 결과 적외선 온도 센서의 온도 측정 정확도가 향상될 수 있는 기술적 효과가 있다.
도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈에서 플립칩 타입의 적외선 온도 센서를 이용하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(600)은 상부면 일부가 개방되고 내부에 수납 공간이 형성되는 케이스(610), 상부면이 케이스(610)와 결합되는 베이스(620), 케이스(610)의 상부면에 설치되고, 케이스(610)의 개방된 일부를 밀폐하는 커버 윈도우(630), 베이스(620)의 상부면에 전기적으로 연결되고, 커버 윈도우(630)로부터 전달된 광을 받아서 대상물의 온도를 감지하는 플립칩(Flip-chip) 타입의 적외선 온도 센서(640) 및 적외선 온도 센서(640)의 상부에 결합되고, 상기 수납 공간으로부터 전달되는 열을 차단하는 제1 캡핑부(660)를 포함할 수 있다. 도 6의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(600)은 적외선 온도 센서(640)와 전기적으로 연결되어 적외선 온도 센서(640)로부터 감지된 온도를 받아서 신호를 처리하는 신호 처리 회로(650)를 더 포함할 수 있고, 제1 캡핑부(660)와 적외선 온도 센서(640)는 접합부(670)를 통해 연결되고, 적외선 온도 센서(640)와 베이스(620)는 금속접합부(680)를 통해 연결될 수 있다.
도 4에 도시된 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(400)과의 차이는 적외선 온도 센서(640)가 플립칩 타입으로 이루어지는 것이며, 적외선 온도 센서(640)가 플립칩 타입으로 구성됨으로써 도 4에서 설명한 캡핑부와 달리 식각 과정을 생략할 수 있는 장점이 있으며, 이는 공정의 간소화 및 공정비용의 감소라는 장점을 가져올 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 제2 캡핑부를 포함하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(700)은 상부면 일부가 개방되고 내부에 수납 공간이 형성되는 케이스(710), 상부면이 케이스(710)와 결합되는 베이스(720), 케이스(710)의 상부면에 설치되고, 케이스(710)의 개방된 일부를 밀폐하는 커버 윈도우(730), 커버 윈도우(730)로부터 전달된 광을 받아서 대상물의 온도를 감지하는 적외선 온도 센서(740), 적외선 온도 센서(710)의 상부에 결합되고, 수납 공간으로부터 전달되는 열을 차단하는 제1 캡핑부(760 및 적외선 온도 센서(740)의 하부에 결합되고, 베이스(720)의 상부면으로부터 전달되는 열을 차단하는 제2 캡핑부(770)를 포함할 수 있다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(700)의 적외선 온도 센서(740)는 상부면에서 제1 캡핑부(760)와 연결되고, 하부면에서는 제2 캡핑부(770)와 연결될 수 있다. 열전도 방식을 통해 제1 캡핑부(760), 적외선 온도 센서(740) 및 제2 캡핑부(770)는 열적 평형 상태에 있을 수 있다. 제1 캡핑부(760)는 케이스(710) 내부 수납공간으로부터 전달되는 공기 열전달을 차단하고, 제2 캡핑부(770)는 베이스(720)의 상부면 영역으로부터 전달되는 공기 열전달을 차단할 수 있다. 이와 같이 설계함으로써, 적외선 온도 센서로부터 전달되는 공기 열전달을 더욱 확실하게 차단할 수 있고, 적외선 온도 센서는 렌즈를 통해 유입되는 적외선으로 인한 온도변환만을 감지할 수 있으므로, 온도 측정의 정확도가 상승하는 기술적 효과가 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 제2 캡핑부를 포함하는 다른 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(800)은 상부면 일부가 개방되고 내부에 수납 공간이 형성되는 케이스(810), 상부면이 케이스와 결합되는 베이스(820), 케이스(810)의 상부면에 설치되고, 케이스(810)의 개방된 일부를 밀폐하는 커버 윈도우(830), 베이스(820)의 상부면에 설치되고, 커버 윈도우(830)로부터 전달된 광을 받아서 대상물의 온도를 감지하는 적외선 온도 센서(840), 적외선 온도 센서(840)의 상부에 결합되고, 수납 공간으로부터 전달되는 열을 차단하는 제1 캡핑부(860) 및 적외선 온도 센서(840)와 베이스(820)의 상부면 사이에 형성되는 수납 공간에서 베이스(820)의 상부면에 결합되고, 적외선 온도 센서(840)의 수납 공간으로부터 전달되는 열을 차단하는 제3 캡핑부(870)를 포함할 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(800)의 적외선 온도 센서(840)는 식각 과정을 거침으로써, 베이스(820)의 상부면과 결합시 일정 영역의 수납 공간을 형성할 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(800)의 적외선 온도 센서(840)는 상부면에서 제1 캡핑부(860)와 접합부(880)를 통해 연결되고, 하부면에서는 베이스(820)와 연결될 수 있다. 반면, 제3 캡핑부(870)는 적외선 온도 센서(840)와 직접적으로 연결되지 않고, 적외선 온도 센서(840)와 베이스(820) 사이에 형성되는 수납 공간에서 베이스(820)의 상부면과 연결될 수 있다. 제1 캡핑부(860)는 케이스(710) 내 수납공간으로부터 전달되는 공기 열전달을 차단하고, 제3 캡핑부(870)는 적외선 온도 센서(840)의 수납 공간으로부터 전달되는 공기 열전달을 차단할 수 있다. 이와 같이 설계함으로써, 적외선 온도 센서로부터 전달되는 공기 열전달은 더욱 확실하게 차단되고 적외선 온도 센서는 렌즈를 통해 유입되는 적외선으로 인한 온도변환만을 감지할 수 있어 온도 측정의 정확도가 상승할 뿐만 아니라, 적외선 온도 센서의 부피도 최소화 할 수 있는 기술적 효과가 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 금속판을 포함하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(900)은 상부면 일부가 개방되고 내부에 수납 공간이 형성되는 케이스(910), 상부면이 케이스(910)와 결합되는 베이스(920), 케이스(910)의 상부면에 설치되고, 케이스(910)의 개방된 일부를 밀폐하는 커버 윈도우(930), 커버 윈도우(930)로부터 전달된 광을 받아서 대상물의 온도를 감지하는 적외선 온도 센서(940), 적외선 온도 센서(940)의 상부에 결합되고, 수납 공간으로부터 전달되는 열을 차단하는 제1 캡핑부(960) 및 적외선 온도 센서(940)의 하부에 결합되고, 베이스(920)의 상부면과 결합하여 베이스(920)의 열을 적외선 온도 센서(940) 및 제1 캡핑부(960)로 전달하는 금속판(970)을 포함할 수 있다. 적외선 온도 센서 모듈(900)은 적외선 온도 센서(940)와 전기적으로 연결되어 적외선 온도 센서(940)로부터 감지된 온도를 받아서 신호를 처리하는 신호 처리 회로(950)를 더 포함할 수 있고, 제1 캡핑부(960)와 적외선 온도 센서(970)는 접합부(980를 통해 연결될 수 있다.
도 9에 도시된 바와 같이, 적외선 온도 센서(940)의 하부면과 베이스(920)의 상부면에 금속판(970)을 위치시킴으로써, 베이스(920), 적외선 온도 센서(940) 및 제1 캡핑부(960)의 온도가 일정해지는 열 평형 상태에 빠르게 도달할 수 있어 적외선 온도 센서(940)의 온도 측정 정확도가 증가할 뿐만 아니라, 금속판(970)을 이용함으로써 공정의 간소화, 모듈의 소형화, 비용 절감 등의 기술적 효과가 나타날 수 있다.
도 10은 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 제2 캡핑부를 포함하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(1000)은 상부면 일부가 개방되고 내부에 수납 공간이 형성되는 케이스(1010), 상부면이 케이스(1010)와 결합되는 베이스(1020), 케이스(1010)의 상부면에 설치되고, 케이스(1010)의 개방된 일부를 밀폐하는 커버 윈도우(1030), 커버 윈도우(1030)로부터 전달된 광을 받아서 대상물의 온도를 감지하는 플립칩(Flip-chip) 타입의 적외선 온도 센서(1040), 적외선 온도 센서(1040)의 상부에 결합되고, 수납 공간으로부터 전달되는 열을 차단하는 제1 캡핑부(1060) 및 적외선 온도 센서(1040)의 하부에서 금속접합부(1090)를 통해 결합되고, 베이스(1020)의 상부면으로부터 전달되는 열을 차단하는 제2 캡핑부(1070)를 포함할 수 있다. 또한, 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1000)은 적외선 온도 센서(1040)와 전기적으로 연결되어 적외선 온도 센서(1040)로부터 감지된 온도를 받아서 신호를 처리하는 신호 처리 회로를 더 포함할 수 있고, 제1 캡핑부(1060)와 적외선 온도 센서(1040)는 접합부(1080)를 통해 연결될 수 있다.
도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(1000)의 적외선 온도 센서(1040)는 플립칩 형태로 설계될 수 있고, 상부면에서 제1 캡핑부(1060)와 연결되고, 하부면에서는 금속접합부(1090)를 통해 제2 캡핑부(1070)와 전기적으로 연결될 수 있다. 열전도 방식을 통해 제1 캡핑부(1060), 적외선 온도 센서(1040) 및 제2 캡핑부(1070)는 열적 평형 상태에 있을 수 있다. 제1 캡핑부(1060)는 케이스(1010) 내 수납공간으로부터 전달되는 공기 열전달을 차단하고, 제2 캡핑부(1070)는 베이스(1020)의 상부면 영역으로부터 전달되는 공기 열전달을 차단할 수 있다. 이와 같이 설계함으로써, 적외선 온도 센서로부터 전달되는 공기 열전달을 더욱 확실하게 차단할 수 있고, 적외선 온도 센서는 렌즈를 통해 유입되는 적외선으로 인한 온도변환만을 감지할 수 있으므로, 온도 측정의 정확도가 상승하는 기술적 효과가 있다.
도 11은 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 제2 캡핑부를 포함하는 다른 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(1100)은 상부면 일부가 개방되고 내부에 수납 공간이 형성되는 케이스(1110), 상부면이 케이스(1110)와 결합되는 베이스(1120), 케이스(1110)의 상부면에 설치되고, 케이스(1110)의 개방된 일부를 밀폐하는 커버 윈도우(1130), 커버 윈도우(1130)로부터 전달된 광을 받아서 대상물의 온도를 감지하는 플립칩(Flip-chip) 타입의 적외선 온도 센서(1140), 적외선 온도 센서(1140)의 상부에 결합되고, 수납 공간으로부터 전달되는 열을 차단하는 제1 캡핑부(1160) 및 적외선 온도 센서(1130)가 접합재료(1190)를 이용하여 베이스(1120)의 상부면과 연결하면서 형성되는 수납 공간에서 베이스(1120)의 상부면에 결합되고, 적외선 온도 센서(1140)의 수납 공간으로부터 전달되는 열을 차단하는 제3 캡핑부(1170)를 포함할 수 있다.
도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(1100)의 적외선 온도 센서(1140)는 상부면에서 제1 캡핑부(1160)와 연결되고, 하부면에서는 접합재료(1190)를 통해 베이스(1120)와 전기적으로 연결될 수 있다. 반면, 제3 캡핑부(1170)는 적외선 온도 센서(1140)와 직접적으로 연결되지 않고, 적외선 온도 센서(1140)와 베이스(1120) 사이에 형성되는 수납 공간에서 베이스(1120)의 상부면과 연결될 수 있다. 제1 캡핑부(1160)는 커버(1110) 내 수납공간으로부터 전달되는 공기 열전달을 차단하고, 제3 캡핑부(1170)는 베이스(1120)의 상부면 영역으로부터 전달되는 공기 열전달을 차단할 수 있다. 이와 같이 설계함으로써, 적외선 온도 센서로부터 전달되는 공기 열전달은 더욱 확실하게 차단되고 적외선 온도 센서는 렌즈를 통해 유입되는 적외선으로 인한 온도변환만을 감지할 수 있어 온도 측정의 정확도가 상승할 뿐만 아니라, 적외선 온도 센서의 부피도 최소화 할 수 있는 기술적 효과가 있다.
도 12는 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈이 제1 캡핑부 및 금속판을 포함하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1200)은 상부면 일부가 개방되고 내부에 수납 공간이 형성되는 케이스(1210), 상부면이 케이스(1210)와 결합되는 베이스(1220), 케이스(1210)의 상부면에 설치되고, 케이스(1210)의 개방된 일부를 밀폐하는 커버 윈도우(1230), 커버 윈도우(1230)로부터 전달된 광을 받아서 대상물의 온도를 감지하는 플립칩(Flip-chip) 타입의 적외선 온도 센서(1240), 적외선 온도 센서(1240)의 상부에 결합되고, 수납 공간으로부터 전달되는 열을 차단하는 제1 캡핑부(1260) 및 적외선 온도 센서(1240)의 하부에 결합되고, 베이스(1220)의 상부면과 결합하여 베이스(1220)의 열을 적외선 온도 센서(1240) 및 제1 캡핑부(1260)로 전달하는 금속판(1270)을 포함할 수 있다.
도 12에 도시된 바와 같이, 적외선 온도 센서(1240)의 하부면과 베이스(1220)의 상부면에 금속판(1270)을 위치시킴으로써, 베이스(1220), 적외선 온도 센서(1240) 및 제1 캡핑부(1260)의 온도가 일정해지는 열 평형 상태에 빠르게 도달할 수 있어 적외선 온도 센서(1240)의 온도 측정 정확도가 증가할 뿐만 아니라, 금속판(1270)을 이용함으로써 공정의 간소화, 모듈의 소형화, 비용 절감 등의 기술적 효과가 나타날 수 있다. 상기 금속판은 금속 시트(sheet) 방식으로 구현할 수도 있다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈의 제1 캡핑부에 반사방지 필터를 부착하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 13은 도 4에 도시된 제1 캡핑부를 제작하는 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 도 13의 (a)의 실리콘 웨이퍼를 도 13의 (b)와 같이 식각한 후, 도 13의 (c)에 도시된 바와 같이 반사방지(anti-reflection) 필터를 코팅, 증착 또는 부착할 수 있다. 나아가, 도 14는 도 6에 도시된 제1 캡핑부를 제작하는 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 도 14의 (a)의 실리콘 웨이퍼를 도 14의 (b)와 같이 식각한 후, 도 14의 (c)에 도시된 바와 같이 반사방지 필터를 코팅, 증착 또는 부착할 수 있다.
이와 같이, 제1 캡핑부에 반사방지 필터를 코팅 또는 증착함으로써, 적외선 영역의 광이 반사되지 않고 잘 흡수되도록 할 수 있고, 적외선 온도 센서가 정확하게 센싱하는데 도움을 줄 수 있다.
도 15는 본 발명의 적외선 온도 센서 모듈이 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 서로 다른 면에 배치하는 제1 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 15에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈은 커버(1510), 렌즈(1512). 케이스(1520), 적외선 온도 센서(1530), 베이스(1540), 신호 처리 회로(ASIC, 1550), 솔더 볼(1560), 몰딩부(1570)을 포함할 수 있다. 나아가, 도 15에는 도시하지 않았으나, 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1500)은 적외선 온도 센서(1530) 및 신호 처리 회로(1550)에서 발생되는 열로부터 영향을 최소화하여 정확한 온도 측정을 하기 위하여, 베이스(1540) 상에 적외선 온도 센서(1530)와 신호 처리 회로(1550)가 안착되는 패드 부위에 방열 구조를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1500)의 커버(1510)는 외부로부터 광이 입사할 수 있도록 일부가 개방되어 개구부를 형성하고, 상부면 또는 하부면에서 커버(1510)의 개구부를 밀폐하면서 집광을 할 수 있는 굴적형 또는 회절형 렌즈(1512)를 구비할 수 있다. 커버(1510)는 단결정 실리콘, 칼코겐 글라스(chalcogenide glass), 사파이어 글라스, 플라스틱 또는 상기 소재들의 조합으로 구성될 수 있다. 커버(1510)는 한쪽 면 또는 양쪽면에 적외선만 선택적으로 투과시키면서 표면반사를 억제하는 투과필터를 구비할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1500)은 커버(1510)의 하부면과 결합하여 적외선 온도 센서 모듈(1500)의 내부 공간 또는 수납 공간을 형성하는 케이스(1520)를 포함할 수 있다. 케이스(1520)는 아연, 알루미늄, 구리, 니켈, 철, 스테인레스 스틸 등의 금속 또는 단결정 실리콘 세라믹, 플라스틱 등의 소재로 구성될 수 있다. 케이스(1520)는 커버(1510)와 일체형으로 형성되어 적외선 온도 센서 모듈(1500)의 외관을 형성할 수 있다. 이 경우, 케이스(1520)의 상부에는 적외선이 투과되는 관통홀 또는 개구부가 형성될 수 있고, 관통홀 또는 개구부를 밀폐하는 형태로 적외선 필터 또는 렌즈가 장착될 수 있다. 또한, 적외선 온도 센서 모듈(1500)의 내부 공간은 상압의 질소, 아르곤 또는 건조 공기 등으로 채워질 수 있고, 내부 공간은 50 토르 또는 100 토르 이하의 진공 상태일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(1500)은 케이스(1520)의 하부면에 결합되고, 적외선 온도 센서(1530) 및 신호 처리 회로(1550)가 장착되는 베이스(1540)를 포함할 수 있다. 베이스(1540)는 실리콘, 유리, 금속, 세라믹 등의 소재로 양면이 균일한 두께로 폴리싱된 웨이퍼 형태의 기판에 전기적 연결을 위한 관통홀 또는 개구부가 형성될 수 있고, 필요한 경우 전체 표면에 절연막이 형성되며, 금속으로 관통홀 또는 개구부가 채워질 수 있다. 또한, 베이스(1540)의 상부면 및 하부면에는 전기적 연결을 용이하게 하기 위한 전기 배선이 형성될 수 있다. 베이스(1540)와 케이스(1520)는 접합부를 통해 연결될 수 있다. 또한, 베이스(1540)는 돌출부가 없고, 상하 폭의 길이가 항상 일정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(1500)은 커버(1510)를 통과하는 적외선을 감지하여 온도를 측정하는 적외선 온도 센서(1530)를 포함할 수 있다. 적외선 온도 센서(1530)는 복수의 열형 적외선 검출부가 반도체 기판의 일면 측에 배치될 수 있다. 적외선 온도 센서(1530)의 적외선 검출부가 배치된 면이 상부로 향하도록 하여 베이스(1540)의 상부면에 결합되는 경우, 신호 전극을 금 또는 알루미늄 와이어로 연결하는 방식으로 센싱된 결과를 신호 처리 회로(1550)에 전달할 수 있다. 또한, 적외선 온도 센서(1530)의 적외선 검출부가 배치된 면이 하부를 향하도록 하여 베이스(1540)의 상부면에 결합되는 경우, 신호 전극을 솔더 볼 또는 금속 범프로 연결하는 방식으로 센싱된 결과를 신호 처리 회로(1550)에 전달할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(1500)은 적외선 온도 센서(1530)가 센싱한 결과를 처리하는 신호 처리 회로(1550)를 포함할 수 있다. 신호 처리 회로(1550)는 베이스(1540)의 하부면에 결합될 수 있다. 신호 처리 회로(1550)는 적외선 온도 센서(1530)로부터 전달되는 신호를 처리하고 온도 보정을 하는 기능을 수행할 수 있다. 또한, 신호 처리 회로(1550)는 전극이 형성된 면이 외부 PCB 기판을 향하도록 베이스(1540)의 하부면과 결합하는 경우, 신호 전극을 금 또는 알루미늄 와이어로 베이스(1540)와 연결할 수 있다. 또한, 신호 처리 회로(1550)는 전극이 형성된 면이 베이스(1540)를 향하도록 베이스(1540)의 하부면과 결합하는 경우, 신호 전극을 솔더 볼 또는 금속 범프를 이용하여 베이스(1540)와 연결할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(1500)의 베이스(1540) 하부면에 부착되는 솔더 볼(1560)은 구형, 실리더형, 직육면체 등의 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(1500)의 커버(1510)와 케이스(1520) 및 케이스(1520)와 베이스(1540)는 접합부(1580)를 통해 연결될 수 있다. 접합부(1580)는 금속, 세라믹, 유기화합물 등의 접합재료 또는 그 조합으로 구성되며, 열을 이용한 용융 또는 소성, 열경화 또는 광경화의 과정을 통해 접합이 이루어질 수 있다.
도 15에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(1500)의 적외선 온도 센서(1530)와 신호 처리 회로(1550)는 금속으로 채워진 관통홀 또는 개구부를 구비한 베이스(1540)의 상부면 및 하부면에 대향하여 실장될 수 있다. 베이스(1540)의 상부면 및 하부면에는 적외선 온도 센서(1530) 및 신호 처리 회로(1550)의 전기적 연결을 용이하게 하기 위한 금속부가 실장될 수 있다. 또한, 베이스(1540)의 하부면에 결합되어 적외선 온도 센서 모듈(1500)과 PCB 기판 사이의 전기적 연결을 수행하고, 신호 처리 회로(1550)가 PCB 기판과 일정 거리를 유지하도록 하는 솔더 볼(Solder ball, 1560)은 적어도 4개 이상일 수 있다. 또한, 베이스(1540)의 하부면에서 솔더 볼(1560) 주변에 배치되는 절연부(1562)를 포함할 수 있다. 또한, 도 15에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 적외선 온도 센서 모듈(1500)은 신호 처리 회로(1550)를 감싸서 신호 처리 회로(1550)를 외부 환경으로부터 보호하고, 열방출을 돕는 몰딩부(1570)를 포함할 수 있다.
도 15에 도시된 바와 같이 적외선 온도 센서 모듈을 제작할 경우, 패키지 크기를 최소화하여 모바일 또는 웨어러블 기기에 효과적으로 장착할 수 있는 기술적 장점이 있다.
또한, 도 15에 도시된 바와 같이 적외선 온도 센서 모듈을 제작할 경우, 베이스의 상부면과 하부면에 각각 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로를 분리하여 배치할 수 있으므로, 신호 처리 회로의 발열에 기인한 적외선 온도 센서의 신호 불균일을 억제할 수 있는 기술적 효과가 있다.
도 16a 내지 도 16h는 본 발명에 따른 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 서로 다른 면에 배치되는 적외선 온도 센서 모듈의 제작 공정을 설명하기 위한 도면들이다.
도 16a에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1500)을 제작하기 위해서는 우선 웨이퍼 상태의 베이스(1540) 또는 기판을 제작할 수 있다. 이 때, 베이스의 일부에 관통홀 또는 개구부를 형성할 수 있고, 금속으로 관통홀 또는 개구부를 채울 수 있다. 또한, 베이스의 상부면 또는 하부면에 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로의 전기적 연결을 위한 금속부를 실장할 수 있다. 또한, 베이스의 하부면에 실장하기 위한 솔더 볼을 제작하기 위한 절연부(1562)를 이 단계에서 제작할 수 있다.
도 16b에 도시된 바와 같이, 베이스(1540)를 제작한 뒤에 베이스(1540)의 상부면에 적외선 온도 센서(1530)를 실장할 수 있다. 적외선 온도 센서(1530)를 도 16b에 도시된 바와 같이, 적외선 검출부가 커버쪽을 향하도록 실장할 경우에는 신호 전극을 금 또는 알루미늄 와이어로 베이스의 금속부와 연결할 수 있다.
그 다음으로 도 16c에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 상태로 커버(1510) 및 렌즈(1512)를 제작할 수 있다. 이 경우, 렌즈(1512)는 커버(1510)의 일면에 장착하면 되고, 뒤에서 커버(1510)를 장착하는 방식에 따라서 렌즈(1512)가 적외선 온도 센서 모듈(1500)의 내부 공간에 포함될 수도 있고, 적외선 온도 센서 모듈(1500) 외부에 노출될 수도 있다.
그 다음 공정으로 도 16d에 도시된 바와 같이, 접합부(1580)를 이용하여 케이스(1520)를 커버(1510)의 일면과 결합시킬 수 있다.
그 다음 공정으로 도 16e에 도시된 바와 같이, 도 16d에서 결합한 케이스(1520) 및 커버(1510)의 결합체를 베이스(1540)의 상부면과 결합할 수 있다. 이 경우, 케이스(1520)의 하부면과 베이스(1540)의 상부면이 결합될 수 있다. 도 16e의 공정에 의하여 내부 공간 또는 수납 공간이 형성되며, 이 공정을 통하여 적외선 온도 센서(1530)는 내부 공간에 실장됨으로써 외부 환경으로부터 차단되어 온도 측정의 정확성이 향상될 수 있다.
그 다음 공정으로 도 16f에 도시된 바와 같이, 도 16e의 공정에 따른 결합체를 뒤집은 상태에서 솔더 볼(1560)를 베이스(1540)의 하부면에 실장할 수 있다. 이 경우, 도 16a 공정에서 절연부(1562)를 실장한 영역에 솔더 볼(1560)를 실장할 수 있다.
그 다음 공정으로 도 16g에 도시된 바와 같이, 베이스(1540)의 하부면에 신호 처리 회로(1550)가 실장될 수 있고, 신호 처리 회로(1550)를 외부 환경으로부터 보호하고, 신호 처리 회로(1550)로부터 발생되는 열을 방출 하기 위한 몰딩부(1570)를 장착할 수 있다.
마지막으로, 도 16h에서 처럼 도 16g의 결합체를 뒤집으면 최종적으로 PCB 기판에 장착하기 위한 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1500)이 완성될 수 있다.
도 17은 본 발명의 적외선 온도 센서 모듈이 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 서로 다른 면에 배치하는 제2 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 17의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1700)은 도 15의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1500)과 달리 렌즈(1520)가 커버(1510)의 상부면에 위치함으로써, 적외선 온도 센서 모듈(1700)의 외부에 노출될 수 있다. 이는 앞서 도 16c의 공정에서 커버(1510)의 일면에 장착되는 렌즈(1520)를 그대로 적외선 온도 센서 모듈(1700)에 사용하되, 렌즈(1520)가 외부에 노출되도록 뒤집어서 결합하는 공정을 수행하면 간단하게 설계 변경이 가능하다. 도 17의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1700)은 렌즈(1520)가 외부로 노출된다는 점을 제외하고는 도 15의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1500)과 동일한 구조 및 기능을 가지므로 중복 설명은 제외한다.
도 18은 본 발명의 적외선 온도 센서 모듈이 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 서로 다른 면에 배치하는 제3 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 18의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1800)은 도 15의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1500)과 달리 적외선 온도 센서(1530)가 플립칩(Flip-chip) 타입일 수 있다. 이 경우, 적외선 온도 센서(1530)의 적외선 검출부가 베이스(1540)를 향하도록 실장되기 때문에 도 15의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1500)의 와이어와 달리, 적외선 온도 센서(1530)는 솔더 볼 또는 금속 범프(1532)를 통해 베이스(1540)의 상부면과 연결될 수 있다. 적외선 온도 센서(1530)가 플립칩 타입인 것은 도 6에서 설명한 것과 동일한 형태이므로 중복 설명을 생략한다. 또한, 적외선 온도 센서(1530)가 플립칩 타입이고, 솔더 볼 또는 금속 범프(1532)가 사용된다는 점을 제외하고는 도 15의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1500)과 구조와 기능이 동일하므로 중복 설명은 생략한다.
도 19 및 도 20은 본 발명의 적외선 온도 센서 모듈이 적외선 온도 센서와 신호 처리 회로가 베이스의 서로 다른 면에 배치하는 제4 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 19의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1900)은 도 15의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1500)과 달리 적외선 온도 센서(1530) 및 신호 처리 회로(1550)이 플립칩(Flip-chip) 타입일 수 있다. 이 경우, 적외선 온도 센서(1530)의 적외선 검출부가 베이스(1540)를 향하도록 실장되기 때문에 도 15의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1500)의 와이어와 달리, 적외선 온도 센서(1530)는 솔더 볼 또는 금속 범프(1532)를 통해 베이스(1540)의 상부면과 연결될 수 있다. 마찬가지로, 신호 처리 회로(1550)의 전극이 형성된 면이 베이스(1540)를 향하도록 실장되기 때문에 도 15의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1500)의 와이어와 달리, 신호 처리 회로 (1550)는 솔더 볼 또는 금속 범프(1552)를 통해 베이스(1540)의 하부면과 연결될 수 있다. 또한, 적외선 온도 센서(1530) 및 신호 처리 회로(1550)가 플립칩 타입이고, 솔더 볼 또는 금속 범프(1532, 1552)가 사용된다는 점을 제외하고는 도 15의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1500)과 구조와 기능이 동일하므로 중복 설명은 생략한다.
또한, 도 20의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(2000)은 도 19의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈(1900)의 신호 처리 회로(1550)를 보호하기 위한 몰딩부(1570)가 추가된 것으로서, 신호 처리 회로(1550)가 어떠한 형태로 베이스(1540)에 결합되든지 간에 몰딩부(1570)가 부가될 수 있다. 그 이외의 구조 및 기능은 도 15 및 도 19의 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈과 동일하므로 중복 설명은 생략한다.
상기와 같이 설명된 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈은 상기 설명된 실시예들의 구성과 방법이 한정되게 적용될 수 있는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.
Claims (20)
- 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈에 있어서,
일면의 일부가 개방되고 상기 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈의 상부를 형성하는 커버;
상기 커버의 하부면과 결합하여 수납 공간을 형성하는 케이스;
상부면이 상기 케이스의 하부면과 결합되는 베이스;
상기 베이스의 상부면에 결합되고, 상기 커버를 통과하는 광을 받아서 온도를 감지하는 적외선 온도 센서;
상기 베이스의 하부면에 결합되고, 상기 적외선 온도 센서와 전기적으로 연결되어 상기 적외선 온도 센서로부터 감지된 온도를 받아서 신호를 처리하는 신호 처리 회로를 포함하는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 커버의 상부면에 설치되고, 상기 커버의 개방된 일부를 밀폐하는 렌즈를 더 포함하는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 커버의 하부면에 설치되고, 상기 커버의 개방된 일부를 밀폐하는 렌즈를 더 포함하는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 커버와 상기 케이스는 접합부를 통해 결합되는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 베이스의 상부면 및 하부면에는 상기 적외선 온도 센서 및 상기 신호 처리회로의 전기적 연결을 용이하게 하기 위한 금속부가 실장되는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 베이스의 하부면에 결합되어 상기 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈과 PCB기판 사이의 전기적 연결을 수행하고, 상기 신호 처리 회로가 상기 PCB 기판과 일정 거리를 유지하도록 하는 솔더 볼(Solder ball)을 더 포함하는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제6 항에 있어서,
상기 베이스의 하부면에서 상기 솔더 볼 주변에 배치되는 절연부를 더 포함하는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 신호 처리 회로를 보호하고, 열 방출을 용이하게 하기 위한 몰딩(molding)부를 더 포함하는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 베이스는 상하 폭의 길이가 일정한 것을 특징으로 하는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 베이스는 실리콘, 유리, 금속 또는 세라믹 중 적어도 하나의 소재로 형성되는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 케이스는 아연, 알루미늄, 구리, 니켈, 철, 스테인레스 스틸, 단결정 실리콘 세라믹 또는 플라스틱 중 적어도 하나의 소재로 형성되는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 수납 공간은 상압의 질소 또는 아르곤이 포함되고, 100 토르(Torr) 이하의 진공상태인,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 커버는 단결정 실리콘, 칼코겐 글라스(chalcogenide glass), 사파이어 글라스, 플라스틱 중 적어도 하나의 소재로 형성되는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 커버의 개방된 일부에서 적외선만 선택적으로 투과하며 표면반사를 억제하는 투과 필더를 더 포함하는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 적외선 온도 센서는 플립칩(Flip-chip) 타입인 것을 특징으로 하는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제15 항에 있어서,
상기 적외선 온도 센서는 솔더 볼 또는 금속 범프를 통해 상기 베이스의 상부면과 연결되는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 신호 처리 회로는 상기 적외선 온도 센서가 감지한 온도를 기 설정된 알고리즘에 따라 보정하는 온도 보정 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 신호 처리 회로는 플립칩 타입인 것을 특징으로 하는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제18 항에 있어서,
상기 신호 처리 회로는 솔더 볼 또는 금속 범프를 통해 상기 베이스의 하부면과 연결되는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
- 제1 항에 있어서,
상기 커버와 상기 케이스는 일체형인 것을 특징으로 하는,
비접촉식 적외선 온도 센서 모듈.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160100194A KR20180016143A (ko) | 2016-08-05 | 2016-08-05 | 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈 |
| PCT/KR2016/009396 WO2017209349A1 (ko) | 2016-05-30 | 2016-08-24 | 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈 |
| US16/305,747 US20200232853A1 (en) | 2016-05-30 | 2016-08-24 | Non-contact type infrared temperature sensor module |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160100194A KR20180016143A (ko) | 2016-08-05 | 2016-08-05 | 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20180016143A true KR20180016143A (ko) | 2018-02-14 |
Family
ID=61229890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020160100194A KR20180016143A (ko) | 2016-05-30 | 2016-08-05 | 비접촉식 적외선 온도 센서 모듈 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20180016143A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220146878A (ko) | 2021-04-26 | 2022-11-02 | 엔사이드 주식회사 | 비접촉식 방수형 측정 장치 |
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2016
- 2016-08-05 KR KR1020160100194A patent/KR20180016143A/ko unknown
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR20220146878A (ko) | 2021-04-26 | 2022-11-02 | 엔사이드 주식회사 | 비접촉식 방수형 측정 장치 |
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