KR20180014786A - 액체 누설 검지 장치 - Google Patents

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KR20180014786A
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노리카즈 오오키
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케이와이비 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명의 액체 누설 검지 장치는, 탄성부(10)를 갖고 액체가 충전되는 실린더(1)에 대해 축방향 이동 가능하게 상기 실린더(1)에 출입하는 로드(2)의 외주에 미끄럼 접촉하는 미끄럼 접촉 부재(S)와, 상기 미끄럼 접촉 부재(S)의 상기 탄성부(10)의 변형을 검지하는 검지부(D)를 구비하여 구성되어 있다.

Description

액체 누설 검지 장치
본 발명은, 액체 누설 검지 장치의 개량에 관한 것이다.
실린더와, 실린더에 대해 출입하는 로드를 구비한 유압 실린더 등에 있어서는, 로드의 외주를 메인 시일로 시일하여 실린더 내로부터의 작동유의 누설을 방지한다. 유압 실린더 등을 장기에 걸쳐 사용하면, 메인 시일의 시일 성능이 저하되거나, 로드의 외주가 손상되거나 하여, 실린더 내로부터 작동유가 미량 누설되는 경우가 있다.
이러한 작동유의 누설을 자동적으로 검지하는 액체 누설 검지 장치로서는, 예를 들어, JPH06207608(A)에 개시되어 있는 바와 같이, 실린더 단(端)의 아래쪽에 깔때기 형상의 받이부를 설치하고, 로드 외주로부터 누설된 작동유를 바닥이 있는 통 형상의 계량부 내에 저류시켜, 단위 시간당의 누설량을 계측하는 것이 있다. 그리고, 이 액체 누설 검지 장치는, 단위 시간당의 누설량이 허용치를 넘으면, 액체 누설이 발생하고 있다고 판단하여, 알려주도록 되어 있다.
액체 누설은, 액압 기기의 작동에 영향을 주기 때문에, 액체 누설을 가능한 한 액체 누설 초기에 검지하는 것이 좋다. 그러나, 종래의 액체 누설 검지 장치에서는, 누설량의 계측에 최저한 필요한 양의 작동유를 계량부에 저류시켜야만 하기 때문에, 액체 누설 검지에 시간이 걸려 조기에 발견할 수 없다.
또한, 종래의 액체 누설 검지 장치에서는, 실제의 작동유의 누설량을 계측하여 액체 누설을 사후적으로 판단하도록 되어 있고, 로드 외주나 메인 시일의 컨디션에 대해 인식할 수 없기 때문에, 액체 누설을 예견할 수 없다.
이에, 본 발명은, 상기 문제를 개선하기 위해서 창안된 것으로, 그 목적은, 액체 누설을 조기에 발견 가능할 뿐 아니라 액체 누설의 예견도 가능한 액체 누설 검지 장치의 제공하는 것이다.
이를 위해, 본 발명의 액체 누설 검지 장치에서는, 탄성부를 갖고 로드의 외주에 미끄럼 접촉하는 미끄럼 접촉 부재와, 미끄럼 접촉 부재의 탄성부의 변형을 검지하는 검지부를 구비하고 있다.
도 1은, 제1 실시형태에 있어서의 액체 누설 검지 장치를 적용한 완충기의 개략 단면도이다.
도 2는, 제1 실시형태에 있어서의 액체 누설 검지 장치의 확대 단면도이다.
도 3은, 제1 실시형태의 일 변형예에 있어서의 액체 누설 검지 장치의 확대 단면도이다.
도 4는, 제1 실시형태의 다른 변형예에 있어서의 액체 누설 검지 장치의 확대 단면도이다.
도 5는, 제1 실시형태에 있어서의 액체 누설 검지 장치의 동작을 설명하는 도면이다.
도 6은, 제2 실시형태에 있어서의 액체 누설 검지 장치의 확대 단면도이다.
도 7은, 제2 실시형태의 액체 누설 검지 장치에 있어서의 미끄럼 접촉 부재의 평면도이다.
도 8은, 제2 실시형태에 있어서의 액체 누설 검지 장치의 동작을 설명하는 도면이다.
이하, 도면에 나타낸 실시형태에 기초하여, 본 발명을 설명한다. 본 발명의 액체 누설 검지 장치는, 완충기(SA)에 적용되고 있다. 완충기(SA)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 통 형상의 실린더(1)와, 실린더(1)에 대해 축 방향 이동 가능하게 실린더(1) 내로 출입하는 로드(2)와, 실린더(1) 내로 미끄럼 이동 자유롭게 삽입됨과 함께 로드(2)에 연결되는 피스톤(3)을 구비하여 구성되어 있다. 또한, 본 예의 경우, 완충기(SA)는, 실린더(1) 내에는 액체로서 작동유가 충전되어 있다.
상세하게는, 완충기(SA)에서의 실린더(1) 내는, 해당 실린더(1) 내로 미끄럼 이동 자유롭게 삽입됨과 함께 로드(2)에 연결되는 피스톤(3)에 의해, 작동유가 충전되는 2개의 압력실(R1, R2)로 구획되어 있다. 또한, 피스톤(3)에는, 2개의 압력실(R1, R2)을 연통하는 감쇠 유로(4)가 설치되어 있고, 이 감쇠 유로(4)는, 통과하는 작동유의 흐름에 저항을 부여하도록 되어 있다. 따라서, 완충기(SA)는, 실린더(1)에 대해 로드(2)가 상대 이동하는 신축 시에, 감쇠 유로(4)를 거쳐 압력실(R1, R2)을 오가는 작동유의 흐름에 저항을 부여하여 압력실(R1, R2) 사이에 차압이 생기게 하여, 감쇠력을 발생하도록 되어 있다. 또한, 이 완충기(SA)는, 실린더(1) 내로 출입하는 로드(2)의 체적 보상을 행하기 위해, 실린더(1) 내로 미끄럼 이동 자유롭게 삽입되는 프리 피스톤(F)으로 압력실(R2)의 아래쪽에 기실(氣室)(G)을 설치하고 있다. 로드(2)의 체적 보상은, 도시는 하지 않았지만, 실린더(1)의 바깥쪽에 리저버를 설치하여 행해도 좋다.
＜제1 실시형태＞
제1 실시형태에 있어서의 액체 누설 검지 장치는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 완충기(SA)의 실린더(1)에 고정되는 환상(環狀)의 로드 가이드(5)에 적층되는 환상의 심금(芯金)(6)의 내주에 설치한 미끄럼 접촉 부재(S)와, 검지부(D)를 구비하여 구성되어 있다.
로드 가이드(5)는, 로드(2)의 실린더(1)에 대한 축 방향 이동을 안내하기 위해, 실린더(1)의 관 끝에 설치되어 있고, 심금(6)은, 로드 가이드(5)의 도 2 중의 위쪽에 적층되어, 로드 가이드(5)와 함께 실린더(1)에 고정되어 있다.
미끄럼 접촉 부재(S)는, 심금(6)의 내주 측에 고정적으로 장착된 환상의 탄성부(10)와, 탄성부(10)의 내주로부터 연장되어 로드(2)의 외주에 미끄럼 접촉하는 환상의 선단부(11)를 구비하고 있고, 이 경우, 탄성부(10) 및 선단부(11)의 양쪽 모두 탄성을 구비한 감압(感壓) 도전성 고무로 형성되어 있다. 감압 도전성 고무는, 고무 재료에 카본, 금속 등의 도전재 입자를 혼합하고 고무 중에 분산시켜 성형하여, 절연체인 고무에 감압 도전성을 부가한 것으로서, 변형에 의해 전기 저항이 변화하도록 되어 있다.
본 예에서는, 미끄럼 접촉 부재(S)는, 탄성부(10)의 반(反) 로드측으로부터 선단부(11)의 선단까지의 종단면이 로드측을 향해 끝이 가늘어지는 형상으로 되어 있고, 로드(2)와 선단부(11)의 선단과의 사이의 접촉 저항의 변화에 의해 전체가 변형하기 쉽도록 되어 있다. 즉, 미끄럼 접촉 부재(S)는, 선단부(11) 측이 로드(2) 측을 향해 끝이 가늘어지는 형상으로 되어 있다. 또한, 미끄럼 접촉 부재(S)와 로드(2)와의 접촉 저항에는, 양자 사이의 마찰력 외에, 미끄럼 접촉 부재(S)와 로드(2)의 쌍방의 미끄럼 접촉면에 있어서의 요철에 기인하여 양자의 축방향으로의 상대 이동을 방해하는 저항도 포함된다.
또한, 심금(6)의 도 2 중의 내주측 위쪽에는, 로드(2)의 외주로서 미끄럼 접촉 부재(S)의 미끄럼 접촉면보다 실린더 바깥쪽에 미끄럼 접촉하여, 로드(2)의 외주에 부착된 진흙, 티끌이나 먼지 등의 이물질을 긁어 떨어뜨려 이물질의 실린더(1) 내로의 침입을 방지하는 더스트(dust) 시일(8)이 설치되어 있다. 더스트 시일(8)은, 미끄럼 접촉 부재(S)와는 다른 재료로 형성되어 있지만, 미끄럼 접촉 부재(S)와 마찬가지의 감압 도전성 고무를 재료로 하여 미끄럼 접촉 부재(S)와 함께 일체 성형되어 심금(6)에 설치하여도 좋다. 더스트 시일(8)과 미끄럼 접촉 부재(S)를 일체 성형하는 경우에는, 가공이 용이해진다.
검지부(D)는, 미끄럼 접촉 부재(S)의 탄성부(10)의 실린더측 면과 반(反) 실린더측 면의 쌍방에 장착되는 환상 전극(12, 13)과, 환상 전극(12, 13)에 전압을 인가하는 전원(E)을 구비한 전기 회로(14)와, 전기 회로(14) 중의 전류를 검출하는 전류 센서(15)와, 전류 센서(15)가 출력하는 신호를 처리하는 처리부(16)를 구비하고 있다.
미끄럼 접촉 부재(S)에 있어서의 선단부(11)가 로드(2)의 외주면에 접촉하여 탄성부(10)에는, 초기 휘어짐이 부여되어 있다. 이 상태로부터 탄성부(10)가 변형하여, 탄성부(10)의 휘어짐량이 변화하면, 환상 전극(12, 13) 사이에 끼워진 탄성부(10)에 있어서의 전기 저항이 변화한다. 탄성부(10)의 전기 저항이 변화하면, 전류 센서(15)에서 검출하는 전류값이 변화한다.
처리부(16)는, 탄성부(10)의 변형에 의해 전류 센서(15)에서 검출하는 전류값의 변화에 기초하여 액체 누설의 유무를 판단한다. 예를 들어, 도 3에 나타내는 바와 같이, 실린더(1) 내로 로드(2)가 침입할 때에, 로드(2)의 외주면에 부착된 이물질(C)이 더스트 시일(8)을 넘고, 나아가, 미끄럼 접촉 부재(S)도 통과한다. 그러면, 이물질(C)이 로드(2)와 함께 실린더(1) 내측으로 이동하고, 선단부(11)가 이물질(C)에 접촉하면, 선단부(11)가 이물질(C)에 의해 밀어 젖혀져, 도 3에 나타내는 바와 같이, 우측 상방으로 밀어 젖혀지고, 탄성부(10)도 탄성변형한다. 이와 같은 이물질(C)의 통과가 없으면, 선단부(11)는, 로드(2)가 실린더(1)에 대해 축방향으로 이동하여도, 로드(2)의 외주면에 미끄럼 접촉하고 있을 뿐이고, 탄성부(10)의 휘어짐량은, 초기 휘어짐량으로부터 거의 변화가 없다. 따라서, 전류 센서(15)는, 이물질(C)이 미끄럼 접촉 부재(S)를 통과하지 않으면, 큰 변동이 없이 안정된 어떤 값의 전류를 검출하지만, 이물질(C)이 미끄럼 접촉 부재(S)를 통과하면, 전류값은 변동한다. 그리고, 미리 이물질(C)의 통과에 의해 탄성부(10)에 변형이 있었을 때에 전류 센서(15)가 검출하는 전류값을 임계값으로 설정하여 두면, 로드(2)의 외주에 부착된 이물질(C)의 메인 시일인 미끄럼 접촉 부재(S)의 통과를 검출할 수 있다. 그리고, 이물질(C)의 메인 시일인 미끄럼 접촉 부재(S)의 통과는, 미끄럼 접촉 부재(S)의 로드(2)에의 접촉면을 손상시키므로 시일성이 저하된다. 이와 같이, 검지부(D)는, 이 이물질(C)의 통과를 검출할 수 있어, 시일성의 저하를 검지할 수 있으므로, 액체 누설을 조기에 발견할 수 있다. 또한, 이 액체 누설 검지 장치에서는, 시일성의 저하를 검지할 수 있기 때문에, 액체 누설까지 이르지 않은 상황이지만 액체 누설의 가능성이 있음을 조기에 발견할 수 있어, 액체 누설을 예견할 수 있다.
또한, 검지부(D)에 있어서의 탄성부(10)의 변형의 검출 원리는, 전술한 감압 도전성 고무의 전기 저항의 변화를 이용하는 것 이외에도, 예를 들어, 압전 소자나 정전 용량 변화를 이용한 센서를 이용해도 좋다. 또한, 검지부(D)는, 탄성부(10)가 완충기(SA)에 액체 누설의 염려가 전혀 없는 정상 상태에 있어서의 자세로부터 변형되어 있는 것을 검출할 수 있으면 되기 때문에, 변형량 그 자체를 검출하는 것 외에, 정상 시부터 변형되었음을 인식할 수 있는 정보를 얻어도 좋다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 압전 소자(20)를 이용하는 경우에는, 예를 들어, 미끄럼 접촉 부재(S)의 탄성부(10)에 압전 소자(20)를 장착하고, 탄성부(10)의 탄성 변형을 압전 소자(20)에 전달하고, 압전 소자(20)의 압전 효과에 의한 전하 변동을 검출하여, 탄성부(10)의 변형을 검출하여도 좋다. 또한, 도 5에 나타내는 바와 같이, 변형에 의해 정전 용량의 변화를 센싱 원리로 하는 정전 용량형의 감압(感壓) 센서(21)를 미끄럼 접촉 부재(S)의 탄성부(10)에 장착하고, 탄성부(10)의 탄성 변형을 감압 센서(21)에 전달하여, 감압 센서(21)가 출력하는 신호의 변화로부터 탄성부(10)의 변형을 검출하여도 좋다. 감압 센서(21)는, 절연 플레이트(21a)와, 절연 플레이트(21a) 상에 붙여진 전극(21b)과, 탄성부(10)와 절연 플레이트(21a)의 사이에 개재하여 장착되어 전극(21b)과의 사이에 간극을 설치하는 환상의 스페이서(21c)를 구비하고 있다. 탄성부(10)의 변형에 의해 전극(21b)과 도전성의 탄성부(10)와의 사이의 거리가 변화하면 정전 용량이 변화하기 때문에, 전극(21b)의 전하를 계측하면, 정전 용량의 변화를 검출할 수 있다. 바꾸어 말하면, 정전 용량이 변화하면 탄성부(10)가 변형되고 있으므로, 이 감압 센서(21)로 탄성부(10)의 변형을 검지할 수 있다. 또한, 압전 소자(20)는, 미끄럼 접촉 부재(S)의 형성 재료의 여하를 불문하고 탄성부(10)의 변형을 검출할 수 있으므로, 미끄럼 접촉 부재(S)는 감압 도전성 고무 이외의 재료로 형성할 수 있다. 감압 센서(21)를 이용하는 경우로서 탄성부(10)에 도전성의 고무를 이용하지 않는 경우, 탄성부(10)의 전극(21b)에 대향하는 부위에 얇은 금속판 등의 도전체를 붙여 두면, 도전체가 아닌 탄성부(10)의 변형을 검지할 수 있다. 또한, 탄성부(10)를 도전체가 아닌 경우, 탄성부(10)에 전술한 환상 전극(12, 13)과 같이 탄성부(10)를 사이에 끼우도록 하여 한 쌍의 전극을 설치해 두고, 탄성부(10)의 변형에 의한 전극 간의 거리의 변화로 생기는 정전 용량의 변화를 검출하여, 탄성부(10)의 변형을 검출해도 좋다. 또한, 압전 소자(20)나 감압 센서(21)는, 미끄럼 접촉 부재(S)의 탄성부(10)와 일체 불가분으로 구성되어도 좋다. 또한, 압전 소자를 이용하지 않는 스트레인 게이지를 이용하여 탄성부(10)의 변형을 검출해도 좋고, 압전 소자(20), 감압 센서(21) 및 스트레인 게이지는, 탄성부(10)에 대해 실린더 측과 반(反) 실린더 측 중 어느 쪽에 설치해도 좋다.
이와 같이 본 발명의 액체 누설 검지 장치에서는, 탄성부(10)를 갖고 로드(2)의 외주에 미끄럼 접촉하는 미끄럼 접촉 부재(S)와, 미끄럼 접촉 부재(S)의 탄성부(10)의 변형을 검지하는 검지부(D)를 구비하고 있다. 이와 같이 액체 누설 검지 장치가 구성되므로, 로드(2)의 외주에 부착된 이물질(C)이 미끄럼 접촉 부재(S)를 통과한 것을 검출할 수 있어서, 메인 시일에 있어서의 시일성의 저하를 검지할 수 있다. 따라서, 본 발명의 액체 누설 검지 장치에 의하면, 로드(2)의 외주를 시일하는 메인 시일의 시일성의 저하를 검지할 수 있으므로, 액체 누설을 조기에 발견할 수 있고, 액체 누설까지 이르지 않은 상황이지만 액체 누설의 가능성이 있음을 조기에 발견하여 액체 누설을 예견할 수 있다.
또한, 본 예의 액체 누설 검지 장치에서는, 탄성부(10)가 감압 도전성 고무로 되고, 검지부(D)가 탄성부(10)의 전기 저항 변화를 검출하여 탄성부(10)의 변형을 검지하고, 이 변형에 기초하여 액체 누설을 검지하도록 되어 있다. 즉, 본 예의 액체 누설 검지 장치는, 검지부(D)가 탄성부(10)의 전기 저항 변화로부터 탄성부(10)의 변형을 검지하고, 이 변형에 기초하여 액체 누설을 검지한다. 이와 같이 액체 누설 검지 장치를 구성하면, 탄성부(10)의 변형을 높은 정밀도로 검출할 수 있어, 액체 누설을 높은 정밀도로 검지할 수 있다.
또한, 검지부(D)는, 탄성부(10)의 변형을 압전 소자(20)로 검지하여도 좋고, 정전 용량의 변화에 의해 검지하도록 하여도 좋다. 이와 같이 하여도, 미끄럼 접촉 부재(S)의 탄성부(10)의 변형을 검출할 수 있어, 액체 누설을 검지할 수 있다.
그리고, 본 예의 액체 누설 검지 장치에서는, 미끄럼 접촉 부재(S)가 탄성부(10)의 로드(2) 측에 로드(2)에 미끄럼 접촉하는 선단부(11)를 갖고, 선단부(11) 측이 로드(2) 측을 향해 끝이 가늘어지는 형상으로 되어 있다. 이와 같이 액체 누설 검지 장치를 구성하면, 로드(2)와 선단부(11)의 선단과의 사이의 접촉 저항의 변화에 의해 탄성부(10)를 포함한 미끄럼 접촉 부재(S)의 전체가 변형하기 쉽기 때문에, 액체 누설을 고정밀도로 검지할 수 있다.
또한, 본 예의 액체 누설 검지 장치에서는, 미끄럼 접촉 부재(S)가 탄성체로 형성되어 로드(2)의 외주를 시일하기 때문에, 미끄럼 접촉 부재(S)가 메인 시일로서 기능하고, 별도, 액체 누설 검지만을 위한 미끄럼 접촉 부재를 설치하지 않아도 되므로, 액체 누설 검지 장치가 적용되는 기기의 비용을 저감할 수 있다. 또한, 미끄럼 접촉 부재(S)는, 로드(2)의 외주를 시일하는 더스트 시일로 되어도 좋고, 그 경우, 더스트 시일(8)을 미끄럼 접촉 부재로서 감압 도전성 고무로 형성하여 탄성부와 선단부를 설치하고, 검지부(D)와 더스트 시일(8)의 변형을 검출하여 액체 누설을 검지하여도 좋다. 더스트 시일(8)의 변형의 검출에는, 압전 소자(20)나 감압 센서(21), 스트레인 게이지를 이용해도 좋음은 물론이다.
＜제2 실시형태＞
제2 실시형태에 있어서의 액체 누설 검지 장치는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 완충기(SA)의 실린더(1)에 고정되는 환상의 로드 가이드(5)의 내주에 설치한 미끄럼 접촉 부재(S1)와, 검지부(D)를 구비하여 구성되어 있다.
미끄럼 접촉 부재(S1)는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 환상의 탄성부(31)와, 탄성부(31)의 내주로부터 로드(2) 측을 향해 연장되는 빗살 형상의 선단부(32)를 구비하고 있다. 선단부(32)는, 선단(先端)으로부터 기단(基端)에 걸쳐 설치한 절입에 의해 둘레 방향으로 분할되는 다수의 가는 이빨(32a)을 구비하고 있고, 이들 이빨(32a)의 기단이 탄성부(31)로 연결되고 있다.
검지부(D)는, 미끄럼 접촉 부재(S1)의 탄성부(31)의 실린더측 면과 반(反) 실린더측 면의 쌍방에 장착되는 환상 전극(12, 13)과, 환상 전극(12, 13)에 전압을 인가하는 전원(E)을 구비한 전기 회로(14)와, 전기 회로(14) 중의 전류를 검출하는 전류 센서(15)와, 전류 센서(15)가 출력하는 신호를 처리하는 처리부(16)를 구비하고 있다.
또한, 미끄럼 접촉 부재(S1)는, 본 실시형태에서는, 메인 시일로서는 기능하지 않고, 미끄럼 접촉 부재(S1)보다 축방향으로 실린더(1) 측에는, 로드(2)의 외주에 미끄럼 접촉하여 실린더(1) 내로부터의 작동유의 누설을 방지하는 메인 시일(33)이 설치되어 있다. 또한, 미끄럼 접촉 부재(S1)의 축방향으로 반(反) 실린더 측에는, 로드(2)의 외주에 미끄럼 접촉하여 실린더(1) 내로의 이물질의 침입을 방지하는 더스트 시일(34)이 설치되어 있다. 이 경우, 미끄럼 접촉 부재(S1), 메인 시일(33) 및 더스트 시일(34)은, 로드 가이드(5)의 내주에 설치한 환상 홈에 장착되고 로드(2)의 외주에 미끄럼 접촉하고 있다.
이와 같이 구성된 액체 누설 검지 장치에서는, 미끄럼 접촉 부재(S1)의 선단부(32)가 빗살 형상으로 되어 있으므로, 도 8에 나타내는 바와 같이, 로드(2)의 외주면이 손상되거나 하여 오목부(35)가 형성되면, 이빨(32a)이 오목부(35) 내로 침입할 수 있다. 이빨(32a)이 오목부(35) 내로 침입하면, 탄성부(31)가 변형하므로, 이 변형을 검지부(D)에서 검출할 수 있다. 오목부(35)가 로드(2)의 외주에 형성되면, 이 오목부(35)가 메인 시일(33)의 선단에 대향하면 오목부(35)를 거쳐 실린더(1) 내로부터 작동유가 누설되게 된다. 이와 같이, 검지부(D)에서 로드(2)의 외주에 오목부(35)가 형성되면 탄성부(31)의 변형에 의해 이를 검출할 수 있기 때문에, 액체 누설을 검지할 수 있다. 또한, 이빨(32a)이 로드(2)의 외주에 부착된 이물질(C)에 접촉하면, 탄성부(31)가 변형되므로, 이물질(C)에 의한 메인 시일(33)의 시일성의 저하도 검출할 수 있다.
따라서, 제2 실시형태의 액체 누설 검지 장치에 있어서도, 로드(2)의 외주를 시일하는 메인 시일의 시일성의 저하를 검지할 수 있으므로, 액체 누설을 조기에 발견할 수 있어, 액체 누설까지 이르지 않은 상황이지만 액체 누설의 가능성이 있는 것을 조기에 발견하여 액체 누설을 예견할 수 있다. 또한, 제2 실시형태의 액체 누설 검지 장치에서는, 선단부(32)가 빗살 형상으로 되어 있어, 로드(2)의 외주에 형성되는 오목부(35)도 검출할 수 있으므로, 로드(2)의 손상에 의한 시일성의 저하도 검지할 수 있어, 한층 더 조기에 액체 누설을 발견할 수 있고, 액체 누설을 보다 효과적으로 예견할 수 있다. 또한, 미끄럼 접촉 부재(S1)가 메인 시일(33)과 더스트 시일(34)의 사이에 배치되어 있으므로, 실린더(1) 내의 고압으로부터 보호될 뿐만 아니라, 실린더(1) 밖의 환경으로부터도 보호된다. 또한, 탄성부(31)의 변형의 검출에 있어서, 압전 소자(20), 감압 센서(21) 또는 스트레인 게이지 등으로 검출하여도 좋다.
전술한 제1 실시형태 및 제2 실시형태의 액체 누설 검지 장치는, 완충기(SA)에 적용되고 있지만, 액압으로 구동하는 직동형의 액추에이터 등의 액압 기기의 로드 외주에 설치해도 좋다. 그리고, 이 액체 누설 검지 장치는, 액체의 종류에 관계없이 액체 누설을 검지할 수 있으므로, 유압 기기 이외에도 실린더에 대해 로드가 출입하는 액압 기기에 적용할 수 있다.
또한, 선단부(11, 32)는, 로드(2)의 외주를 손상시키지 않는 것이라면, 경질(硬質)의 수지 등으로 되어 있어도 좋다. 또한, 제1 실시형태 및 제2 실시형태의 액체 누설 검지 장치는, 실린더(1)의 단부에 배치되어 있으므로, 완충기(SA)에 스트로크(stroke) 센서 등을 설치하는 경우, 배선을 스트로크 센서의 배선과 일괄로 할 수 있으므로, 배선의 처리도 편리하게 된다. 또한, 검지부(D)의 처리부(16)는, 전류 센서(15), 압전 소자(20) 또는 감압 센서(21)로부터의 신호를 무선 통신에 의해 취득하여도 좋다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시형태를 상세하게 설명하였지만, 특허청구의 범위로부터 일탈하지 않는 한, 개조, 변형 및 변경이 가능하다.
본원은, 2015년 11월 4일에 일본 특허청에 출원된 특허출원 제2015－216298호에 기초하는 우선권을 주장하며, 이 출원의 모든 내용은 참조에 의해 본 명세서에 포함된다.

Claims (8)

  1. 액체 누설 검지 장치로서,
    탄성부를 갖고, 액체가 충전되는 실린더에 대해 축방향 이동 가능하게 상기 실린더에 출입하는 로드의 외주에 미끄럼 접촉하는 미끄럼 접촉 부재와,
    상기 미끄럼 접촉 부재의 상기 탄성부의 변형을 검지하는 검지부를 구비한,
    액체 누설 검지 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 탄성부는, 감압 도전성 고무로 되고,
    상기 검지부는, 상기 탄성부의 전기 저항 변화로부터 상기 탄성부의 변형을 검지하고, 상기 변형에 기초하여 액체 누설을 검지하는,
    액체 누설 검지 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 검지부는, 상기 탄성부의 변형을 검지하는 압전 소자를 갖고, 상기 변형에 기초하여 액체 누설을 검지하는,
    액체 누설 검지 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 검지부는, 상기 탄성부의 변형을 정전 용량의 변화로부터 검지하는 감압 센서를 갖고, 상기 변형에 기초하여 액체 누설을 검지하는,
    액체 누설 검지 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 미끄럼 접촉 부재는, 상기 탄성부의 상기 로드측에 상기 로드에 미끄럼 접촉하는 선단부를 갖고, 상기 선단부가 빗살 형상인,
    액체 누설 검지 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 미끄럼 접촉 부재는, 상기 탄성부의 상기 로드측에 상기 로드에 미끄럼 접촉하는 선단부를 갖고, 상기 선단부측이 로드측을 향해 끝이 가늘어지는 형상으로 되는,
    액체 누설 검지 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 미끄럼 접촉 부재는, 탄성체로 형성되고, 상기 로드의 외주를 시일하는,
    액체 누설 검지 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 미끄럼 접촉 부재는, 상기 로드의 외주에 미끄럼 접촉하여 상기 실린더로부터의 액체 누설을 방지하는 메인 시일과, 상기 로드의 외주에 미끄럼 접촉하여 상기 실린더 내로 이물질의 침입을 방지하는 더스트 시일의 사이에 설치되는,
    액체 누설 검지 장치.
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