KR20180014310A - 비정질/나노결정 하이브리드 연자성 분말 및 이의 제조방법 - Google Patents

비정질/나노결정 하이브리드 연자성 분말 및 이의 제조방법 Download PDF

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Abstract

비정질-나노결정 하이브리드 연자성 분말 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 연자성 분말 제조방법은 다수의 입자들을 구비하는 비정질 연자성 분말을 준비하는 단계, 상기 비정질 연자성 분말을 볼 밀링하여 상기 입자의 내부 및 표면부에 다수개의 결정핵을 생성하는 단계 및 상기 결정핵이 생성된 분말을 결정화 온도보다 낮은 온도에서 열처리하여 상기 분말의 입자 내부 및 표면부에 나노 결정립을 생성하는 단계를 포함할 수 있다. 본 발명에 따르면, 비정질 연자성 분말의 입자 내부에 결정핵을 생성한 후 열처리함으로써, 상기 연자성 분말의 입자 내부 및 표면 전체에 나노 결정립이 생성되면서도 내부의 결정화도가 표면부보다 높은 비정질 /나노결정 하이브리드 연자성 분말을 제공할 수 있다. 이로써, 고투자율 및 저철손의 고성능 연자성 부품의 재료를 제공할 수 있다.

Description

비정질/나노결정 하이브리드 연자성 분말 및 이의 제조방법{Amorphous/nanocrystalline hybrid soft magnetic powder and method for fabricating the same}
본 발명은 연자성 재료에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 비정질/나노결정 하이브리드 연자성 분말에 관한 것이다.
각종 전력기기에 사용되는 자성재료(Magnetic material)는 일반적으로 그 재료가 갖는 자기특성과 이용방법에 따라 크게 강자성 재료(Magnetically hard materials) 및 연자성 재료(Magnetically soft materials)로 분류될 수 있다.
연자성 재료는 약한 자장으로 크게 자화되는 고투자율을 갖는 것으로, 자석의 자속을 감소시키려는 감자계에 의하여 자속 밀도를 보지하려는 저항이 큰 자성재료를 의미하며, 그 예로, 페라이트(ferrite), 규소강, 퍼멀로이(permalloy), 비정질 합금 등이 포함될 수 있다.
그 중에서도 비정질 합금 소재는 3차원적으로 균일한 연자성 특성, 낮은 와전류 손실, 중주파 및 고주파에서 상대적으로 낮은 철손, 열적 특성의 개선 등의 다양한 장점으로 고기능성, 고효율성의 전력변환 장치 및 전자파 차폐 소재로서 각광받고 있다.
특히, 최근에는 비정질 합금과 기존의 분말 성형 기술을 결합시켜 제조된 연자성 복합 분말은 제품의 경량화 및 소형화 추세에 맞춰 고부가가치를 창출할 수 있을 것으로 기대되어 이에 대한 기술 개발에 많은 관심이 집중되고 있다.
이러한 연자성 분말 소재의 고성능의 지표로 크게 두 가지 특성이 요구되는데 높은 투자율(Magnetic permeability)과 낮은 철손(Iron loss)이다. 투자율이란 자기장의 영향을 받아 자화 할 때에 생기는 자기력선속밀도와 진공 중에서 나타나는 자기장의 세기의 비를 의미하며, 이는 물질의 종류에 영향을 받는다.
철손이란 시간적으로 변화하는 자화력에 의하여 열이 발생하여 생기는 철심의 전력 손실로 히스테리시스 손과 와전류 손의 합을 의미하는데, 이는 물질의 종류, 주파수 영역, 결정립의 크기 등에 영향을 받는다.
한편, 최근에 들어서는, 통상적으로 액상이나 기상으로부터 급냉시켜 비정질 합금으로 만든 후, 열처리에 의해 미세 결정화를 수행하여 나노 결정 합금을 제조하는 기술이 연구 진행 중에 있다.
액상으로부터 급냉시키는 방법으로서는 단일 롤링법, 이중 롤링법, 원심 급랭법, 회전액중 방사법(in-rotating liquid spinning method), 아토마이징법(atomizing method)이나 캐비테이션법(cavitation method) 등이 알려져 있다. 또한, 기상으로부터 급냉시키는 방법으로서는, 스퍼터법, 증착법, 이온 플레이팅법 등이 알려져 있다.
단, 종래에 사용되던 열처리 공정에서는 상기 연자성 분말의 표면에서 핵 생성 및 결정화가 이루어져 내부에 결정화를 형성하기 어려우며, 형성된 결정 입자 또한 수십 nm정도로 결정 입자가 조대화되어 미세하면서도 균일하게 형성되는 연자성 분말 내 나노결정을 얻는 데 어려움이 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2002-64713호
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 비정질 연자성 분말의 입자 내부 및 표면부 전체에 나노 결정 입자가 형성된 고투자율 및 저철손의 고성능 비정질 연자성 분말을 제공함에 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 입자 내부의 결정화도가 표면보다 높은 비정질-나노결정 하이브리드 연자성 분말을 제공함에 있다.
상기 과제를 이루기 위하여 본 발명의 일 측면은 비정질-나노결정 하이브리드 연자성 분말 제조방법을 제공한다. 상기 연자성 분말 제조방법은, 다수의 입자들을 구비하는 비정질 연자성 분말을 준비하는 단계, 상기 비정질 연자성 분말을 볼 밀링하는 단계 및 상기 볼 밀링된 분말을 결정화 온도보다 낮은 온도에서 열처리하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 볼 밀링은 상기 비정질 연자성 분말의 내부에 결정핵을 생성하는 것일 수 있다.
상기 열처리는 상기 결정핵을 조대화하여 결정립을 생성하고, 상기 비정질 연자성 분말의 내부 및 표면부 전체에 결정립이 분포되도록 하는 것일 수 있다.
상기 볼 밀링은 90rpm 내지 110rpm의 속도로 10분 내지 90분 동안 수행하는 것일 수 있다.
상기 열처리는 350℃ 내지 450℃의 온도 및 아르곤 가스 분위기에서 30분 내지 90분 동안 수행되는 것일 수 있다.
상기 비정질 연자성 분말은 합금이고,
상기 합금은 TxAy(70≤ x ≤90, 10≤ y ≤30) 또는 TxAyBz(70≤ x ≤90, 5≤ y ≤30, 5≤ z ≤30)으로 표시되고, 상기 T는 Fe, Co, Ni 또는 이들의 조합이고,
상기 A는 Si, B, Mo, Zr 및 Hf 중 선택되는 적어도 하나의 원소이며, 상기 B는 Cu, P, Nb, Cr 중 선택되는 적어도 하나의 원소일 수 있다.
상기 비정질-나노결정 하이브리드 연자성 분말 내부의 결정화도가 상기 표면부의 결정화도에 비하여 높거나 같은 것일 수 있다.
상기 과제를 이루기 위하여 본 발명의 다른 측면은 비정질-나노결정 하이브리드 연자성 분말을 제공한다. 상기 연자성 분말은, 비정질 매트릭스 및 상기 비정질 매트릭스 내에 분산된 다수의 나노 결정립들을 구비하는 다수의 입자들을 포함할 수 있다.
상기 비정질/나노결정 하이브리드 연자성 분말 내부의 결정화도가 상기 표면부의 결정화도에 비하여 높거나 같을 수 있다.
상기 나노 결정립의 평균 입도는 10nm 미만이고, 상기 비정질/나노결정 하이브리드 연자성 분말 전체의 결정화도는 10% 미만일 수 있다.
상기 비정질 연자성 분말은 합금이고,
상기 합금은 TxAy(70≤ x ≤90, 10≤ y ≤30) 또는 TxAyBz(70≤ x ≤90, 5≤ y ≤30, 5≤ z ≤30)으로 표시되고, 상기 T는 Fe, Co, Ni 또는 이들의 조합이고,
상기 A는 Si, B, Mo, Zr 및 Hf 중 선택되는 적어도 하나의 원소이며, 상기 B는 Cu, P, Nb, Cr 중 선택되는 적어도 하나의 원소일 수 있다.
본 발명에 따르면, 비정질 연자성 분말의 입자 내부에 결정핵을 생성한 후 열처리함으로써, 상기 연자성 분말의 입자 내부 및 표면 전체에 나노 결정립이 생성되면서도 내부의 결정화도가 표면부보다 높은 비정질 /나노결정 하이브리드 연자성 분말을 제공할 수 있다. 이로써, 고투자율 및 저철손의 고성능 연자성 부품의 재료를 제공할 수 있다.
본 발명의 기술적 효과들은 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 연자성 분말 제조방법을 순서대로 나타낸 모식도들이다.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 비교예 및 제조예들에 따른 연자성 분말의 결정화도가 나타난 이미지이다.
도 3은 본 발명의 비교예 및 제조예들에 따른 연자성 분말의 자기적 특성을 측정한 그래프이다.
도 4는 본 발명의 비교예 및 제조예들에 따른 연자성 분말의 X-선회절 분석법(X-ray Diffraction Spectroscopy : XRD)의 분석 결과를 나타낸 그래프이다.
도 5a 및 도 5b는 각각 본 발명의 비교예 및 제조예들에 따른 연자성 분말의 결정립 크기와 XRD 그래프의 반치폭를 나타낸 그래프이다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명이 여러 가지 수정 및 변형을 허용하면서도, 그 특정 실시예들이 도면들로 예시되어 나타내어지며, 이하에서 상세히 설명될 것이다. 그러나 본 발명을 개시된 특별한 형태로 한정하려는 의도는 아니며, 오히려 본 발명은 청구항들에 의해 정의된 본 발명의 사상과 합치되는 모든 수정, 균등 및 대용을 포함한다.
층, 영역 또는 기판과 같은 요소가 다른 구성요소 "상(on)"에 존재하는 것으로 언급될 때, 이것은 직접적으로 다른 요소 상에 존재하거나 또는 그 사이에 중간 요소가 존재할 수도 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 연자성 분말 제조방법을 순서대로 나타낸 모식도들이다.
도 1a를 참조하면, 연자성 입자(100)가 준비될 수 있다. 구체적으로 상기 연자성 입자(100)는 내부가 비정질 매트릭스(100a)로 이루어진 비정질 형태일 수 있으며, 보다 구체적으로는 상기 연자성 입자(100)는 비정질 합금일 수 있다. 이러한 비정질(Amorphous) 구조의 합금은 결정질(crtstalloid)의 합금에 비하여 강도가 수십 배 이상 우수하여 뛰어난 내마모성, 자기적 특성을 가진다. 또한, 자성재료로 상기 비정질 합금을 사용하면 비저항을 높여 열의 발생을 줄일 수 있어 와전류 손실 감소의 효과를 발휘할 수 있다.
상기 비정질 합금은 금속계 합금일 수 있으며, 예를 들어, 상기 비정질 합금은 금속 유리, Fe계 합금, Co계 합금 또는 Ni계 합금일 수 있다. 일 예로, 상기 비정질 합금은 Fe계 합금일 수 있다.
구체적으로, 상기 Fe계 합금은 Fe-반금속계 합금, 즉, Fe를 포함하는 금속(metal)원소와 반금속(metalloid) 원소간의 결합으로 이루어진 것일 수 있으며, 기타 불가피하게 포함되는 불순물을 더 포함할 수도 있다. 본 발명에서의 상기 Fe계 합금의 조성에 대하여는 크게 제한을 두지는 않으나, 상기 Fe계 합금은 비정질 조성을 가질 수 있는 원소의 종류와 조성비를 가질 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 합금은 TxAy(70≤ x ≤90, 10≤ y ≤30) 또는 TxAyBz(70≤ x ≤90, 5≤ y ≤30, 5≤ z ≤30)으로 표시될 수 있다. 상기 T는 Fe, Co, Ni 또는 이들의 조합일 수 있다. 상기 A는 Si, B, Mo, Zr 및 Hf 중 선택되는 적어도 하나의 원소이며, 상기 B는 Cu, P, Nb, Cr 중 선택되는 적어도 하나의 원소일 수 있다.
상기 합금의 비정질 조성을 위한 금속원소와 반금속 원소 또는 반금속 원소들 사이의 조성 분율은 상기 원소들의 종류에 따라 최적의 범위가 달라질 수 있다.
상기 비정질 합금의 분말화 공정 방법에 관하여는 특별히 제한이 있는 것은 아니며, 예컨대, 상기 분말화 공정으로는 상기 비정질 합금 조성물을 용융시켜 용탕(molten metal)을 형성한 후, 질소 등의 고압가스를 분사하여 상기 용탕을 급냉시킨 다음 분쇄과정을 거치는 것일 수 있다.
제조된 연자성 입자(100)는 구형의 형상을 이루며, 상기 연자성 입자(100)의 평균 입도는 10μm 내지 90μm일 수 있다.
도 1b를 참조하면, 상기 연자성 입자(100)들에 기계적 에너지, 구체적으로는 볼 밀링(ball milling)을 수행하여 상기 연자성 입자(100)의 주로 내부에 다수개의 결정핵(200)을 생성할 수 있다.
보다 구체적으로 설명하면, 도 1a에서 설명된 상기 연자성 입자(100)를 볼(ball)과 함께 볼밀 장치에 주입할 수 있다. 예를 들어, 상기 볼(ball)은 스테인레스 강철 볼, 알루미나 볼 또는 지르코늄 볼을 사용할 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 상기 볼밀 장치로는 어트리터(attritor), 3-D 믹서(mixer), 유성형볼밀(Planetary ball-mill), 진동볼밀(vibratory ball-mill) 또는 수평식 볼밀(horizontal ball-mill)을 사용할 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.
일 예로, 상기 볼(ball)과 상기 연자성 입자(100)를 20: 1의 무게비로 혼입할 수 있다. 상기 연자성 입자(100)는 상기 볼밀 장치 내에서 90rpm 내지 110rpm의 속도로 10분 내지 90분동안 볼 밀링이 수행될 수 있다. 구체적으로는, 상기 볼 밀링은 100rpm의 속도로 60분간 수행될 수 있다.
이때, 상기 볼 밀링은 습식 매질하에서 이루어질 수 있으며, 상기 습식 매질은 상기 볼 밀링 수행시 상기 연자성 입자(100)의 형상을 유지하는 효과를 발휘할 수 있다. 예를 들어, 상기 습식 매질은 에탄올일 수 있다.
이러한 고 에너지의 볼 밀링 과정을 통해 상기 연자성 입자(100)의 내부 변형이 일어나 상기 연자성 입자(100)의 내부 및 일부 표면부에 다수개의 결정핵(200)이 생성될 수 있도록 한다. 이때, 상기 결정핵(210)은 표면부보다는 내부에 주로 생성될 수 있다.
도 1c를 참조하면, 상기 결정핵(200)이 생성된 상기 연자성 입자(100)에 열처리를 수행하여 나노 결정립(210)을 형성할 수 있다. 상기 열처리는 상기 연자성 입자(100)의 결정화 온도 근처, 구체적으로 상기 결정화 온도보다 낮은 온도에서 수행될 수 있다. 예컨대, 상기 열처리는 350℃ 내지 450℃의 온도와 비활성 가스 분위기 또는 환원성 가스 분위기에서 30분 내지 90분 동안 수행되는 것일 수 있다. 구체적으로는 상기 열처리는 425℃, 아르곤 가스 분위기에서 60분간 수행되는 것일 수 있다. 이때 상기 열처리시 승온 속도는 1℃/min 내지 20℃/min 일 수 있다.
상기 열처리를 수행함으로써, 상기 연자성 입자(100)의 주로 내부에 생성된 상기 결정핵(200)들이 조대화되어 나노 결정립(210)을 생성하고, 상기 연자성 입자(100)의 표면부에도 일부 결정립(210)이 열처리에 의해 생성될 수 있다. 이로써, 비정질 매트릭스 내에 다수의 나노 결정립들이 내부와 표면에 전체적으로 분산된 다수의 연자성 입자(100)들을 포함하는 비정질/나노결정 하이브리드 연자성 분말을 제공할 수 있다. 또한, 상기 연자성 입자(100) 내부의 결정화도가 상기 표면부의 결정화도보다 높거나 같도록 할 수 있다.
이때, 형성된 상기 나노 결정립(210)의 평균 입도(d)는 1nm 내지 9nm 일 수 있으며, 상기 연자성 분말(300) 내의 전체 결정화도는 10% 미만일 수 있다.
이로써, 종래의 비정질 합금보다 연자기 특성이 우수한 비정질 합금 내에 나노 결정립(210)이 형성된 비정질/나노결정 하이브리드 연자성 분말(300)을 제공할 수 있다.
이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 바람직한 실험예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다.
<제조예 1>
비정질 연자성 합금에 볼 밀링을 수행하여 연자성 분말 제조
Fe계 합금 분말을 준비하였다. 그런 다음, 스테인리스 볼에 상기 분말을 20:1의 무게비로 혼입한 후 에탄올 50ml을 넣고 100rpm으로 1시간 동안 볼 밀링하였다.
<제조예 2>
비정질 연자성 합금에 열처리를 수행하여 연자성 분말 제조
제조예 1의 상기 합금 분말에 볼 밀링을 수행하지 않고 425℃로 Ar 분위기에서 1시간 동안 열처리만 수행하였다.
<제조예 3>
비정질 연자성 합금에 열처리를 수행하여 연자성 분말 제조
제조예 1과 같이 합금 분말에 볼 밀링을 수행한 다음, 제조예 2와 같이 열처리를 수행하여 연자성 분말을 제조하였다.
<비교예>
비정질 연자성 합금에 아무처리도 하지 않은 연자성 분말 제조
제조예 1의 합금 분말을 준비한 다음, 볼 밀링 및 열처리를 모두 수행하지 않은 대조군 연자성 분말을 준비하였다.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 비교예 및 제조예들에 따른 연자성 분말의 결정화가 나타난 이미지이다.
도 2a를 참조하면, 비교예, 즉, 아무처리도 하지 않은 연자성 분말의 경우 표면과 내부 모두 결정화가 일어나지 않아 비정질 형태를 가짐을 확인할 수 있다.
도 2b를 참조하면, 제조예 1, 즉, 볼 밀링만을 수행하여 제조된 연자성 분말의 경우, 주로 내부에 미세한 결정핵이 생성됨을 확인할 수 있다.
도 2c를 참조하면, 제조예 2, 즉, 열처리만을 수행하여 제조된 연자성 분말의 경우, 주로 표면부에 결정립들이 형성된 것을 확인할 수 있다.
도 2d를 참조하면, 제조예 3, 즉, 볼 밀링 후에 열처리를 모두 수행하여 제조된 연자성 분말의 경우, 상기 연자성 분말의 주로 내부에 형성된 결정핵들이 조대화되어 결정립이 생성되고, 표면부에도 일부 결정립들이 생성됨을 확인할 수 있다.즉, 상기 연자성 분말 내부 및 표면부 전체에서 결정립이 생성되되, 내부의 결정화도가 표면보다 더 높은 것을 확인할 수 있다.
도 3은 본 발명의 비교예 및 제조예들에 따른 연자성 분말의 자기적 특성을 측정한 그래프이다.
도 3을 참조하면, 상기 비교예 및 제조예들에 따른 연자성 분말들을 진동 시료 자력계(Vibration sample magnetometer, VSM)를 사용하여 연자성 특성을 측정하였다.
측정 결과, 볼밀링 후 열처리를 수행한 제조예 3의 경우, 가장 높은 투자율을 보여 가장 우수한 연자성 특성을 나타냄을 알 수 있다. 그 다음으로 제조예 2, 제조예 1 및 비교예 순으로 투자율이 낮아짐을 알 수 있다.
도 4는 본 발명의 비교예 및 제조예들에 따른 연자성 분말의 X-선회절 분석법(X-ray Diffraction Spectroscopy : XRD)의 분석 결과를 나타낸 그래프이다.
도 4를 참조하면, 비교예와 제조예 1에서는 강도(intensity)의 피크가 두드러지게 나타나지 않으나, 열처리를 한 분말의 경우(제조예 2 및 3) 강도(intensity)의 피크가 형성됨을 알 수 있다. 이로써, 열처리를 수행한 분말의 경우에 결정화가 더 많이 일어나며, 특히 볼 밀링을 한 후에 열처리를 한 경우(제조예 3)에 가장 강한 피크가 형성되는 것으로 보아 결정화가 가장 많이 일어남을 알 수 있다.
도 5a 및 도 5b는 각각 본 발명의 비교예 및 제조예들에 따른 연자성 분말의 결정립 크기와 XRD 그래프의 반치폭를 나타낸 그래프이다.
도 5a를 참조하면, 비교예 및 제조예들의 분말 모두 10nm 이내의 결정립 크기를 가지고 있음을 알 수 있다. 단, 열처리를 한 분말의 경우(제조예 2 및 3) 열처리를 거치지 않은 분말의 경우(비교예 및 제조예 1)보다 결정의 크기가 더 성장했음을 알 수 있다. 또한 제조예 3, 볼밀링 후 열처리를 한 경우는 결정의 크기가 가장 높게 나타남을 알 수 있다.
도 5b를 참조하면, 볼 밀링 만을 수행한 제조예 1보다 볼 밀링 후 열처리를 수행한 경우에 반치폭 값이 작아진 것을 알 수 있다. 즉, 열처리를 수행한 분말의 경우에 결정화가 더 잘 일어났음을 알 수 있다.
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시 예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시 예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형 예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.
100: 연자성 입자 100a: 비정질 매트릭스
100b: 자연 산화막 200: 결정핵
210: 나노 결정립
300: 비정질/나노결정 하이브리드 연자성 분말
d: 평균 입도

Claims (11)

  1. 다수의 입자들을 구비하는 비정질 연자성 분말을 준비하는 단계;
    상기 비정질 연자성 분말을 볼 밀링하는 단계; 및
    상기 볼 밀링된 분말을 결정화 온도보다 낮은 온도에서 열처리하는 단계를 포함하는 비정질-나노결정 하이브리드 연자성 분말 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 볼 밀링은 상기 비정질 연자성 분말의 내부에 결정핵을 생성하는 것인 비정질-나노결정 하이브리드 연자성 분말 제조방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 열처리는 상기 결정핵을 조대화하여 결정립을 생성하고, 상기 비정질 연자성 분말의 내부 및 표면부 전체에 결정립이 분포되도록 하는 것인 비정질-나노결정 하이브리드 연자성 분말 제조방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 볼 밀링은 90rpm 내지 110rpm의 속도로 10분 내지 90분 동안 수행하는 것인 비정질-나노결정 하이브리드 연자성 분말 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 열처리는 350℃ 내지 450℃의 온도 및 아르곤 가스 분위기에서 30분 내지 90분 동안 수행되는 것인 비정질-나노결정 하이브리드 연자성 분말 제조방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 비정질 연자성 분말은 합금이고,
    상기 합금은 TxAy(70≤ x ≤90, 10≤ y ≤30) 또는 TxAyBz(70≤ x ≤90, 5≤ y ≤30, 5≤ z ≤30)으로 표시되고,
    상기 T는 Fe, Co, Ni 또는 이들의 조합이고,
    상기 A는 Si, B, Mo, Zr 및 Hf 중 선택되는 적어도 하나의 원소이며, 상기 B는 Cu, P, Nb, Cr 중 선택되는 적어도 하나의 원소인 비정질-나노결정 하이브리드 연자성 분말 제조방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 비정질-나노결정 하이브리드 연자성 분말 내부의 결정화도가 상기 표면부의 결정화도에 비하여 높거나 같은 것을 특징으로 하는 비정질-나노결정 하이브리드 연자성 분말 제조방법.
  8. 비정질 매트릭스 및
    상기 비정질 매트릭스 내에 분산된 다수의 나노 결정립들을 구비하는 다수의 입자들을 포함하는 비정질/나노결정 하이브리드 연자성 분말.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 비정질/나노결정 하이브리드 연자성 분말 내부의 결정화도가 상기 표면부의 결정화도에 비하여 높거나 같은 것을 특징으로 하는 비정질/나노결정 하이브리드 연자성 분말.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 나노 결정립의 평균 입도는 10nm 미만이고, 상기 비정질/나노결정 하이브리드 연자성 분말 전체의 결정화도는 10% 미만인 비정질/나노결정 하이브리드 연자성 분말.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 비정질 연자성 분말은 합금이고,
    상기 합금은 TxAy(70≤ x ≤90, 10≤ y ≤30) 또는 TxAyBz(70≤ x ≤90, 5≤ y ≤30, 5≤ z ≤30)으로 표시되고,
    상기 T는 Fe, Co, Ni 또는 이들의 조합이고,
    상기 A는 Si, B, Mo, Zr 및 Hf 중 선택되는 적어도 하나의 원소이며, 상기 B는 Cu, P, Nb, Cr 중 선택되는 적어도 하나의 원소인 비정질-나노결정 하이브리드 연자성 분말.


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