KR20170115125A - 복합 폐가스 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

복합 폐가스 처리 장치가 개시된다. 이는 처리대상 가스에 대하여 플라즈마를 이용한 산화 처리를 수행하는 플라즈마부와, 산화 처리된 가스를 환원 처리하는 환원부와, 플라즈마부 내로 오존을 투입하는 오존공급부를 포함한다. 오존공급부의 오존 공급은 플라즈마부의 후위에서 처리된 가스를 측정하여 그에 상응하는 오존을 공급하며, 그럼으로써 실질적으로 NOx 프리의 처리 결과를 얻을 수 있다.

Description

복합 폐가스 처리 장치{COMPLEX WASTE GAS PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 폐가스 처리 분야에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 질소산화물(NOx) 및 기타 오염물을 포함하는 복합 가스에 대한 효율적인 처리가 가능한 플라즈마를 이용한 복합 폐가스 처리 장치에 관한 것이다.
대다수의 산업현장에서는 유해물질을 포함하는 폐가스를 배출하고 있기 때문에, 적합한 처리를 통해 정화한 후에 배출하여야 한다. 예를 들어 반도체 디바이스 제조와 같이 다양한 화학물질이 이용되는 공정에서는 복합적인 유해가스가 배출되고 있으며, 이를 처리하기 위해 복합적인 처리 과정이 필요하다.
따라서 일반적으로 제조 설비에는 여러 종류의 폐가스 처리장치를 구비하여야 한다. 더구나 근래 들어 환경에 대한 관심이 높아지면서 규제가 한층 강화되기 때문에 기존의 기본적인 처리 장치들 외에 추가적인 장치가 다수 부설되고 있다.
이와 같이 복합 유해물질을 포함하는 폐가스를 처리하는 기존의 일반적인 방식은 각각 처리 타깃 가스를 정해진 개별적인 장치로 이송하면서 처리하기 때문에, 전체 장치들이 차지하는 점유 면적이 실질적으로 커지게 되어 경제적이지 못하다.
스마트폰, 스마트패드, 대형 디스플레이 등이 주요한 산업 생산 제품으로 떠오르면서 해당 제조설비 증축이 확대되고 있다. 그에 따른 배출되는 폐가스의 양이 늘어나기 때문에 질소산화물을 포함하는 복합가스의 처리가 가능한 새로운 장치가 요구되고 있다. 특히, 질소산화물을 포함하는 복합가스의 처리는 O3 등을 이용한 산화 처리 후 환원하여 배출하고 있는데, 기존의 장치에서는 산화 단계에서 충분하고 적정한 O3가 못하는 경우가 발생하고, 그에 따라 NO 등이 그대로 대기로 배출되는 문제가 있다.
나아가, 최근의 질소산화물 규제가 강화에 따라 이미 설치되어 운용되고 있는 제조 설비에도 용이하게 적용될 수 있으면서도 처리 효율이 좋은 시스템 및 장치가 요구된다.
한국특허공개 10-2014-0016129
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 감안한 것으로서, 플라즈마를 이용하여 복합 폐가스를 처리하는 장치로서, 추가적인 오존 투입을 이용하여 폐가스의 처리 효율을 향상시킬 수 있는 복합 폐가스 처리 장치를 제공한다.
본 발명은 플라즈마 처리 후 가스에 대하여 NO 농도를 측정하여 플라즈마부에 오존을 투입함으로서 최적의 폐가스 산화처리가 가능한 복합 폐가스 처리 장치를 제공한다.
본 발명은 복합 폐가스 처리 장치를 제공하며, 이는: 처리대상 가스에 대하여 플라즈마를 이용한 산화 처리를 수행하는 플라즈마부; 산화 처리된 가스를 환원 처리하는 환원부; 및 상기 플라즈마부 내로 오존을 투입하는 오존공급부;를 포함하고, 상기 오존공급부의 오존 공급은 상기 플라즈마부의 후위에서 처리된 가스를 측정하여 그에 상응하는 오존을 공급한다.
상기 플라즈마부의 후위에 배치되어 플라즈마 산화 처리된 가스에 대하여 NO 농도를 측정하는 NOx 분석기를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 장치는 제어부를 더 포함할 수 있고, 상기 제어부는 상기 NOx 분석기의 측정값에 따라 상기 오존공급부의 오존 공급을 제어할 수 있다.
상기 플라즈마부와 상기 오존공급부는 각각 별도의 전원부가 연결될 수 있다.
본 발명에 따르면 복합 폐가스 처리 장치가 제공된다. 이러한 본 발명의 장치는 기존의 플라즈마 산화 처리를 채용하는 장치에서 빈번하게 발생하는 O3 부족으로 인한 NO의 미흡한 처리 문제를 해결한다. 특히, 본 발명의 복합 폐가스 처리 장치에서는 플라즈마 산화 처리 후 배출되는 가스에서 NO의 농도를 측정하여 그에 비례하는 오존을 추가적으로 투입함으로써 처리 후 대기로 배출되는 가스에서 NOx 프리의 결과를 얻을 수 있다. 또한 처리챔버 내에서 플라즈마 발생을 위한 전원과 오존 발생을 위한 전원을 별도로 배치하여 각기 구동함으로써 장치 및 시스템의 안정적인 운용이 가능하다. 이러한 본 발명의 구성은 기존에 설치되어 운용되고 있는 폐가스 처리 시스템에도 경제적인 비용으로 적용될 수 있다는 장점도 갖는다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 복합 폐가스 처리 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 복합 폐가스 처리 장치의 동작을 개략적으로 도시한 동작 흐름도이다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
우선 간략하게 설명하면, 본 발명은 플라즈마를 이용한 복합 폐가스의 산화 처리 후 그를 환원하여 배출하는 복합 폐가스 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명은 플라즈마 산화 처리가 수행되는 산화 단계에서 주로 이용되는 O3가 부족하여 발생되는 문제를 해결한다. 이를테면, 산화 단계에서 O3가 부족하면 질소산화물과 같은 폐가스 성분의 산화 처리가 충분하게 이루어지지 않고, 그대로 배출될 수 있다. 본 발명은 폐가스에 추가적인 오존을 투입함으로써 적정한 산화가 이루어질 수 있도록 한다. 나아가 본 발명은 플라즈마존의 후위에서 NO 농도를 측정하여 그에 상응하는 오존을 플라즈마존으로 투입함으로써 최적의 폐가스의 산화 처리가 구현될 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예의 복합 폐가스 처리 장치를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 복합 폐가스 처리 장치를 개략적으로 도시한 도면이다. 도 2는 본 발명의 복합 폐가스 처리 장치의 동작을 개략적으로 도시한 동작 흐름도이다.
도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 복합 폐가스 처리 장치는 플라즈마부(10), 환원부(20), 및 오존공급부(30)를 포함한다. 도면에서 나타낸 바와 같이 본 발명의 복합 폐가스 처리 장치는 폐가스가 연속적으로 통과하면서 처리될 수 있도록 일체형의 장치로 이루어질 수 있다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않고 플라즈마부(10)와 환원부(20)가 별개로 분리되고 이들 두 장치들은 배관과 같은 가스 이송 수단을 통해 연결된 형태에도 적용될 수 있음은 물론이다.
플라즈마부(10)는, 도면에서 알 수 있는 바와 같이, 처리챔버(11), 처리챔버(11) 내에 배치되는 방전부(미도시) 및 파워부(13)를 포함할 수 있다. 파워부(13)는 교류 또는 직류가 인가되어 챔버 내에서 플라즈마를 발생시킨다.
플라즈마부(10)의 처리챔버(11)는 플라즈마 처리가 이루어지는 공간으로서 외벽을 이루는 하우징에 의해 제공된다. 이러한 하우징에는 가스 인입부(14)와 가스 배출부(15)가 각각 구비된다. 도시한 예에서 가스 인입부(14)와 가스 배출부(15)는 하우징에서 서로 반대의 위치에 연결되는 배관의 형태를 갖고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 여기에서 지칭하는 가스 배출부(15)는 플라즈마부(10)의 가스 배출부(15)이며, 도시한 예에서는 환원부(20)와의 연결부위가 될 수 있다.
바람직하게 본 발명의 복합 폐가스 처리 장치는 처리챔버(11) 내로 오존을 공급하는 오존공급부(30)를 포함한다. 오존공급부(30)는 플라즈마부(10)의 처리챔버(11) 내에서 발생하는 O3가 부족하여 NO가 산화처리되지 않고 배출되는 경우가 빈번하게 발생되기 때문에, 추가적으로 처리챔버(11) 내에 O3를 공급하고자 하는 것이다. 오존공급부(30)는 예를 들어 O2를 이용한 플라즈마 발생을 통해 O3를 생성하는 오존발생기를 적용할 수 있다.
더 바람직하게, 본 발명의 복합 폐가스 처리 장치에서는 플라즈마부(10)의 처리챔버(11) 내에서 플라즈마 산화 처리된 후 배출되는 가스에 대하여 NO 농도를 측정하여 그에 상응하는 오존을 공급하도록 이루어진다. 이를 위해, 플라즈마부(10)의 후위에는 배출되는 가스에 대하여 NO의 농도를 측정하는 NOx 분석기(16)가 배치된다. 바람직하게 이러한 NOx 분석기(16)의 설치는 상술한 가스 배출부(15)에 연결되도록 할 수 있다.
본 발명의 복합 폐가스 처리 장치는 제어부(17)를 더 포함한다. 제어부(17)는 NOx 분석기(16)로부터 전달되는 NO의 농도값에 따라 오존공급부(30)에서 공급하는 O3량을 제어한다. 이러한 구성은 최적의 산화 처리 과정이 구현될 수 있고, 산화되지 않고 배출되는 NOx가 실질적으로 제로 상태가 되도록 할 수 있다.
오존공급부(30)는, 제어부(17)의 제어 하에, 적정한 량의 O3를 발생시켜서 예를 들어 가스 인입부(14)로 공급할 수 있다. 또한 오존공급부(30)는 플라즈마부(10)의 파워부(13)와는 별도의 전원(18)으로 구동되도록 할 수 있다. 따라서 플라즈마부(10)의 플라즈마 처리에서 발생되는 O3와는 별도로 부족한 량의 O3를 안정적으로 공급할 수 있다.
도시한 실시예에서는 NOx 분석기(16)가 플라즈마부(10)의 직후의 가스 배출부(15)에 연결되는 예를 보여주고 있으나, 본 발명은 여기에 한정되는 것이 아니다. 예를 들어, NOx 분석기(16)를 최후단에 배치하여 NO의 농도를 측정하는 것도 가능하다.
이어, 환원부(20)에서는 플라즈마부(10)에서 산화 처리된 가스를 환원시키는 역할을 수행한다. 환원부(20)는 산화된 가스의 환원 및 잔여 O3의 환원 등을 수행하게 된다. 이러한 환원부(20)로는 환원조 및 미스트 분사장치와 같은 요소들로 구현될 수 있다.
이하에서는 도 2를 참조하여 본 발명의 복합 폐가스 처리 장치의 동작을 설명한다.
먼저, 단계 100에서, 처리대상 폐가스가 가스 인입부(14)를 통해 처리챔버(11) 내로 유입된다. 이때 필요에 따라서는 오존공급부(30)가 일부 오존을 같이 투입할 수도 있다.
이어, 단계 110에서, 플라즈마부(10)의 파워부(13)에서 교류 또는 직류 전원을 인가하여 처리챔버(11) 내에서 플라즈마 산화 처리 동작이 일어난다. 이때 복합 폐가스에 포함된 NO, CO, THC 등이 산화 또는 이온화된다.
계속하여, 단계 120에서, 이렇게 플라즈마 산화 처리된 가스들이 플라즈마부(10)의 가스 배출부(15)를 통해 배출한다.
단계 130에서, 플라즈마부(10)의 가스 배출부(15)를 통해 배출되는 가스에 대하여 NOx 분석기(16)가 NO 농도를 측정하고 그 결과를 제어부(17)로 전달한다.
단계 140에서, 제어부(17)는 전달받은 NO 농도값에 따라 오존공급부(30)를 제어하여 플라즈마부(10)의 처리챔버(11) 내로 오존을 공급한다. 오존의 공급은 위에서도 언급한 바와 같이, 바람직하게는 가스 인입부(14)를 통해 수행되어 폐가스와 함께 오존이 함께 처리챔버(11)로 유입될 수 있다.
여기서, 상술한 NOx 분석기(16)의 NO 농도 측정과 제어부(17)의 제어에 따른 오존공급부(30)의 오존 공급은 바람직하게는 실시간 및 연속적으로 수행되도록 할 수 있다. 그러나, 이러한 측정 및 오존 공급은 경우에 따라서는 일정한 주기로 수행되는 것도 가능하다. 예를 들어, 수초 또는 수분 간격으로 측정과 오존 공급이 이루어지도록 할 수 있다.
계속하여, 단계 150에서, 산화 처리된 가스가 환원부(20)로 전달되어 환원된 후 대기로 배출된다.
여기에서는 도시하지 않았지만, 본 발명의 복합 폐가스 처리 장치는 폐가스 내에 포함된 더스트 등을 처리하기 위한 요소가 더 포함될 수 있다.
이러한 본 발명의 복합 폐가스 처리 장치는 플라즈마 처리에서 O3의 부족으로 인해 산화되지 않은 NO가 대기로 방출되는 것을 최대한 억제할 수 있고, 그에 따라 NOx 프리를 실질적으로 구현할 수 있게 된다.
이상, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다 할 것이다.
10: 플라즈마부 11: 처리챔버
13: 파워부 14: 가스 인입부
15: 가스 배출부 16: NOx 분석기
17: 제어부 18: 전원
20: 환원부 30: 오존공급부

Claims (4)

  1. 복합 폐가스 처리 장치로서:
    처리대상 가스에 대하여 플라즈마를 이용한 산화 처리를 수행하는 플라즈마부;
    산화 처리된 가스를 환원 처리하는 환원부; 및
    상기 플라즈마부 내로 오존을 투입하는 오존공급부;를 포함하고,
    상기 오존공급부의 오존 공급은 상기 플라즈마부의 후위에서 처리된 가스를 측정하여 그에 상응하는 오존을 공급하는 것인, 복합 폐가스 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 플라즈마부의 후위에 배치되어 플라즈마 산화 처리된 가스에 대하여 NO 농도를 측정하는 NOx 분석기를 더 포함하는 것인, 복합 폐가스 처리 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    제어부를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 NOx 분석기의 측정값에 따라 상기 오존공급부의 오존 공급을 제어하는 것인, 복합 폐가스 처리 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 플라즈마부와 상기 오존공급부는 각각 별도의 전원부가 연결되는 것인, 복합 폐가스 처리 장치.
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