KR20170072800A - 커넥터 및 소켓 - Google Patents

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KR20170072800A
KR20170072800A KR1020160169545A KR20160169545A KR20170072800A KR 20170072800 A KR20170072800 A KR 20170072800A KR 1020160169545 A KR1020160169545 A KR 1020160169545A KR 20160169545 A KR20160169545 A KR 20160169545A KR 20170072800 A KR20170072800 A KR 20170072800A
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마사히로 하스누마
마사미치 코바야시
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사파스고교 가부시키가이샤
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Abstract

액체수납 용기의 개구부(410) 내주면에 고정되는 플러그(200)와 플러그(200)에 착탈 가능하게 장착되는 소켓(100)을 구비하고, 플러그(200)는 제1 액체 유출 유로(211)와 제1 액체 유입 유로(212)와 제1 기체유로(213)가 내부에 형성된 플러그 본체(210)를 가지며, 소켓(100)은 제2 액체 유출 유로(111)와 제2 액체 유입 유로(112)와 제2 기체유로(113)가 내부에 형성된 소켓 본체(110)와 유출용 관통 구멍(131)과 유입용 관통 구멍(132)을 가지는 로터리 밸브(130)와 로터리 밸브(130)가 회전한 경우에 열림 상태와 닫힘 상태를 전환하는 개폐 기구(140)를 가지는 커넥터(300)를 제공한다.

Description

커넥터 및 소켓 {CONNECTOR AND SOCKET}
본 발명은 커넥터 및 소켓에 관한 것이다.
종래 반도체 제조에 사용되는 약액 등의 액체수납 용기에 장착되는 플러그 및 소켓이 알려져 있다(예를 들면 특허문헌 1참조).
특허문헌 1에 개시되는 플러그 및 소켓은 가스 공급관에서 소켓에 공급되는 가스에 의해 용기의 내부를 가압하고, 용기에 수용되는 액체를 사이펀 관, 플러그 및 소켓을 개재해서 외부관로에 유도하는 것이다.
일본국 특허 공개 2009-173326호 공보
그러나 특허문헌 1에 개시되는 소켓은, 소켓에 설치한 밸브체와 플러그에 설치한 밸브 시트의 접촉 또는 이간에 의해 액체의 유통 상태를 전환하는 구조로 되어 있고, 유로 단면적이 국소적으로 작아지는 개소가 존재하는 동시에 밸브체를 닫힘 상태로 가압하는 가압기구를 구비하고 있다. 그러므로 액체가 연마재 등을 포함하는 슬러리(고체 입자가 분산된 현탁액)일 경우에는 유로 단면적이 국소적으로 작아지는 개소에 고체 입자가 부착되고, 액체의 유통성을 악화되게 한다. 또 밸브체의 가압기구에 고체 입자가 부착되어 응고하면 밸브체의 개폐가 원활하게 행해지지 않게 된다.
또 특허문헌 1에 개시되는 소켓은, 내부에 형성되는 액체귀환 유로를 개폐하는 기구를 구비하고 있지 않다. 그러므로 소켓을 플러그로부터 분리할 때에 액체귀환 유로에 존재하는 액체가 외부로 유출되어 버린다.
본 발명은 이와 같은 사정에 감안해서 이루어진 것으로, 액체수납 용기에 수납되는 액체가 고체 입자를 포함하는 슬러리라도 액체의 유통성을 악화시키지 않고 또한 플러그로부터 분리할 때에 액체가 외부로 유출하는 것을 억제한 소켓 및 이를 구비한 커넥터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위하여 하기의 수단을 채용하였다.
본 발명의 일 형태에 의한 커넥터는, 제1 축선 방향으로 원통형상으로 형성된 개구부가 상면에 설치된 액체수납 용기에 장착되고, 상기 개구부에 고정되는 플러그와 상기 플러그에 착탈 가능하게 장착되는 소켓을 구비하고, 상기 플러그는 상기 액체수납 용기에 수용된 액체를 인출하는 제1 액체 유출 유로와 상기 액체수납 용기의 외부에서 유입하는 액체를 상기 액체수납 용기의 내부에 유도하는 제1 액체 유입 유로와 상기 액체수납 용기의 내부 공간과 상기 액체수납 용기의 외부 공간의 사이에서 외기를 유통시키는 제1 기체유로가 내부에 형성된 플러그 본체를 가지고, 상기 소켓은 상기 제1 액체 유출 유로에서 인출되는 액체를 외부로 유출시키는 제2 액체 유출 유로와 상기 액체수납 용기의 외부에서 유입하는 액체를 상기 제1 액체 유입 유로로 유도하는 제2 액체 유입 유로와 상기 제1 기체유로에 연결되는 동시에 상기 내부 공간과 상기 외부 공간의 사이에서 외기를 유통시키는 제2 기체유로가 내부에 형성되고, 상기 제2 액체 유출 유로 및 상기 제2 액체 유입 유로를 관통하도록 상기 제1 축선과 교차하는 제2 축선을 따라 원주형의 삽입공이 형성된 소켓 본체와 상기 제2 축선상의 상기 제2 액체 유출 유로가 배치되는 위치에 유출용 관통 구멍이 형성되는 동시에 상기 제2 축선상의 상기 제2 액체 유입 유로가 배치되는 위치에 유입용 관통 구멍이 형성되고, 상기 삽입공에 삽입되는 원주형의 로터리 밸브와 상기 로터리 밸브를 상기 제2 축선 방향으로 회전시키고, 상기 유출용 관통 구멍과 상기 제2 액체 유출 유로가 연통되고 동시에 상기 유입용 관통 구멍과 상기 제2 액체 유입 유로가 연통된 열림 상태와, 상기 유출용 관통 구멍과 상기 제2 액체 유출 유로가 연통되지 않고 동시에 상기 유입용 관통 구멍과 상기 제2 액체 유입 유로가 연통되지 않는 닫힘 상태를 전환하는 개폐 기구를 가진다.
본 발명의 일 형태에 의한 커넥터에 의하면, 예를 들면 소켓이 플러그에 장착된 상태에서 외부의 펌프에 의해 액체를 흡입함으로써, 플러그의 제1 액체 유출 유로에서 인출되는 액체가 소켓의 제2 액체 유통 유로를 개재해서 외부로 유출한다. 또 외부의 펌프에 의해 순환하는 액체가 소켓의 제2 액체 유입 유로를 개재해서 플러그의 제1 액체 유입 유로에서 액체수납 용기의 내부에 유도된다. 또 액체수납 용기에 수용되는 액체의 감소분을 치환하는 양의 외기가 소켓의 제2 기체유로 및 플러그의 제1 기체유로를 개재하여 액체수납 용기의 외부 공간에서 내부 공간으로 유도된다.
이와 같이 본 발명의 제1 형태에 의한 커넥터는, 액체수납 용기에 수용되는 액체의 외부에의 유출과 외부로 유출되어 순환한 액체의 액체수납 용기에의 유입과 액체수납 용기에 수용되는 액체의 감소분에 따른 외기의 도입이 가능한 구조로 되어 있다.
소켓에 설치한 밸브체와 플러그에 설치한 밸브 시트의 접촉 또는 이간에 의해 액체의 유통 상태를 전환하는 구조의 경우 유로 단면적이 국소적으로 작아지는 개소가 존재하는 동시에 밸브체를 닫힘 상태로 가압하는 가압기구를 구비한다. 그러므로 액체가 연마재 등을 포함하는 슬러리(고체 입자가 분산된 현탁액)일 경우에는 유로 단면적이 국소적으로 작아지는 개소에 고체 입자가 부착되고, 액체의 유통성을 악화시킨다. 또 밸브체의 가압기구에 고체 입자가 부착되어 응고하면 밸브체의 개폐가 원활하게 행해지지 않게 될 가능성이 있다.
이에 대하여 본 발명의 일 형태에 의한 커넥터에 의하면, 로터리 밸브를 개폐 기구에 의해 열림 상태 또는 닫힘 상태로 전환하는 것에 의해 유출용 관통 구멍 및 유입용 관통 구멍을 개재해서 제2 액체 유출 유로 및 제2 액체 유입 유로에 액체가 유통되는 열림 상태와, 유출용 관통 구멍 및 유입용 관통 구멍을 개재해서 제2 액체 유출 유로 및 제2 액체 유입 유로에 액체가 유통되지 않는 닫힘 상태를 전환할 수 있다.
그러므로 유로 단면적이 국소적으로 작아지는 개소에 고체 입자를 축적하고, 액체의 유통성을 악화시키는 문제나, 밸브체의 가압기구에 고체 입자가 부착해서 밸브의 개폐가 원활하게 행해지지 않는 문제를 억제할 수 있다.
또 개폐 기구에 의해 로터리 밸브가 닫힘 상태로 되므로, 소켓을 플러그로부터 분리할 때에 소켓 내부에 잔존하는 액체가 외부로 유출하는 것을 억제할 수 있다.
본 발명의 일 형태에 의한 커넥터에 있어서, 상기 로터리 밸브는 일단이 상기 로터리 밸브의 외주면에 개구되는 동시에 타단이 상기 유출용 관통 구멍에 개구되는 제1 배출 구멍과, 일단이 상기 로터리 밸브의 외주면에 개구되는 동시에 타단이 상기 유입용 관통 구멍에 개구되는 제2 배출 구멍을 가지고, 상기 개폐 기구가 상기 로터리 밸브를 상기 닫힘 상태로 한 경우 상기 제1 배출 구멍이 상기 유출용 관통 구멍의 하방에서 상기 제2 액체 유출 유로와 연통되고, 상기 제2 배출 구멍이 상기 유입용 관통 구멍의 하방에서 상기 제2 액체 유입 유로와 연통되는 구성이라도 된다.
이 구성의 커넥터에 의하면, 개폐 기구가 로터리 밸브를 닫힘 상태로 한 경우 유출용 관통 구멍에 잔존한 액체가 제1 배출 구멍을 개재해서 제2 액체 유출 유로에 유도되고, 플러그를 개재해서 액체수납 용기에 유도된다. 또 유입용 관통 구멍에 잔존한 액체가 제2 배출 구멍을 개재해서 제2 액체 유입 유로에 유도되고, 플러그를 개재해서 액체수납 용기에 유도된다. 그러므로 액체수납 용기에 수납되는 액체가 고체 입자를 포함하는 슬러리라도, 고체 입자가 유출용 관통 구멍 및 유입용 관통 구멍에 잔존해서 응고하는 문제를 억제할 수 있다.
상기 구성의 커넥터에 있어서, 상기 소켓 본체는 상기 개폐 기구가 상기 로터리 밸브를 상기 닫힘 상태로 한 경우에 상기 유출용 관통 구멍과 상기 유입용 관통 구멍을 연통시키는 연통구멍을 가질 수도 있다.
이와 같이 하는 것으로, 소켓을 플러그로부터 분리한 후에 제2 액체 유출 유로, 유출용 관통 구멍, 연통구멍, 유입용 관통 구멍, 제2 액체 유입 유로의 순으로 연통된 액체유로가 형성된다. 이 액체유로에 순수 등의 세정용 액체를 유통시킴으로써, 소켓 내부에 잔존하는 고체 입자 등을 세정할 수 있다.
본 발명의 일 형태에 의한 소켓은, 제1 축선 방향으로 원통형상으로 형성된 개구부가 상면에 설치된 액체수납 용기에 장착되는 소켓으로, 상기 개구부에 고정되는 플러그로부터 인출되는 액체를 외부로 유출시키는 액체 유출 유로와, 상기 액체수납 용기의 외부에서 유입하는 액체를 상기 플러그에 유도하는 액체 유입 유로와, 상기 액체수납 용기의 내부 공간과 상기 액체수납 용기의 외부 공간의 사이에서 외기를 유통시키는 기체유로가 내부에 형성되고, 상기 액체 유출 유로 및 상기 액체 유입 유로를 관통하도록 상기 제1 축선과 교차하는 제2 축선을 따라 원주형의 삽입공이 형성된 소켓 본체와, 상기 제2 축선상의 상기 액체 유출 유로가 배치되는 위치에 형성되는 유출용 관통 구멍과 상기 제2 축선상의 상기 액체 유입 유로가 배치되는 위치에 형성되는 유입용 관통 구멍을 가지고, 상기 삽입공에 삽입되는 원주형의 로터리 밸브와 상기 로터리 밸브를 상기 제2 축선 방향으로 회전시키고, 상기 유출용 관통 구멍과 상기 액체 유출 유로가 연통되고 또한 상기 유입용 관통 구멍과 상기 액체 유입 유로가 연통된 열림 상태와, 상기 유출용 관통 구멍과 상기 액체 유출 유로가 연통되지 않고 또한 상기 유입용 관통 구멍과 상기 액체 유입 유로가 연통되지 않는 닫힘 상태를 전환하는 개폐 기구를 구비한다.
본 발명의 일 형태에 의한 소켓에 의하면, 플러그에 장착된 상태에서 외부의 펌프에 의해 액체를 흡입함으로써, 플러그로부터 인출되는 액체가 액체 유통 유로를 개재해서 외부로 유출한다. 또 외부의 펌프에 의해 순환하는 액체가 액체 유입 유로를 개재해서 플러그로부터 액체수납 용기의 내부에 유도된다. 또 액체수납 용기에 수용되는 액체의 감소분을 치환하는 양의 외기가 기체유로 및 플러그를 개재하여 액체수납 용기의 외부 공간에서 내부 공간으로 유도된다.
이와 같이 본 발명의 일 형태에 의한 소켓은, 액체수납 용기에 수용되는 액체 외부로의 유출, 외부로 유출되어 순환한 액체의 액체수납 용기에의 유입 및 액체수납 용기에 수용되는 액체의 감소분에 따른 외기의 도입이 가능한 구조로 되어 있다.
소켓에 설치한 밸브체와 플러그에 설치한 밸브 시트의 접촉 또는 이간에 의해 액체의 유통 상태를 전환하는 구조의 경우, 유로 단면적이 국소적으로 작아지는 개소가 존재하는 동시에 밸브체를 닫힘 상태로 가압하는 가압기구를 구비한다. 그러므로 액체가 연마재 등을 포함하는 슬러리(고체 입자가 분산된 현탁액)일 경우에는 유로 단면적이 국소적으로 작아지는 개소에 고체 입자가 부착되고, 액체의 유통성을 악화시킨다. 또 밸브체의 가압기구에 고체 입자가 부착되어 응고하면 밸브체의 개폐가 원활하게 행해지지 않게 될 가능성이 있다.
이에 대하여 본 발명의 일 형태에 의한 소켓에 의하면, 로터리 밸브를 개폐 기구에 의해 열림 상태 또는 닫힘 상태로 전환하는 것에 의해, 유출용 관통 구멍 및 유입용 관통 구멍을 개재해서 제2 액체 유출 유로 및 제2 액체 유입 유로에 액체가 유통되는 열림 상태와, 유출용 관통 구멍 및 유입용 관통 구멍을 개재해서 제2 액체 유출 유로 및 제2 액체 유입 유로에 액체가 유통되지 않는 닫힘 상태를 전환할 수 있다.
그러므로 유로 단면적이 국소적으로 작아지는 개소에 고체 입자를 축적하고, 액체의 유통성을 악화시키는 문제를 억제할 수 있다. 또 개폐 기구에 의해 제2 액체 유입 유로가 닫힘 상태로 되므로, 소켓을 플러그로부터 분리할 때에 액체귀환 유로에 존재하는 액체가 외부로 유출하는 것을 억제할 수 있다.
본 발명에 의하면, 액체수납 용기에 수납되는 액체가 고체 입자를 포함하는 슬러리라도 액체의 유통성을 악화시키지 않고 또한 플러그로부터 분리할 때에 액체가 외부로 유출하는 것을 억제한 소켓 및 이를 구비한 커넥터를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예의 액체 공급 시스템을 나타내는 구성도이다.
도 2는 소켓이 플러그로부터 이간된 상태의 커넥터를 정면에서 본 부분종단면도이다.
도 3은 소켓이 플러그에 장착된 상태의 커넥터를 정면에서 본 부분종단면도이다.
도 4는 계합홈에 잠금 볼이 계합되어 있지 않은 상태의 볼 로크 기구를 나타내는 부분종단면도이다.
도 5는 계합홈에 잠금 볼이 계합된 상태의 볼 로크 기구를 나타내는 부분종단면도이다.
도 6은 도 3에 나타내는 소켓의 A-A화살표방향에서 본 단면도이다.
도 7은 도 2에 나타내는 소켓의 좌측면도이다.
도 8은 도 3에 나타내는 소켓의 좌측면도이다.
도 9는 도 2에 나타내는 소켓의 부분종단면도이다.
도 10은 도 9에 나타내는 소켓의 B-B화살표방향에서 본 부분단면도이다.
도 11은 도 10에 나타내는 소켓의 C-C화살표방향에서 본 단면도이다.
도 12는 도 3에 나타내는 소켓의 부분종단면도이다.
도 13은 도 12에 나타내는 소켓의 D-D화살표방향에서 본 부분단면도이다.
도 14는 소켓 세정 시스템을 나타내는 구성도이다.
이하 본 발명의 일 실시예의 액체 공급 시스템에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.
도 1에 나타내는 본 실시예의 액체 공급 시스템은 액체수납 용기(400)에 수용되는 액체를 펌프(600)에 의해 흡인해서 복수 개의 공급처 장치(700)에 공급하는 시스템이다.
각 공급처 장치(700)에의 액체 공급량은 공급처 장치(700)에 설치된 유량 조정밸브에 의해 조정된다. 펌프(600)에 의해 흡인된 액체 중, 공급처 장치(700)에 공급되지 않은 나머지 분량은 순환량 조정밸브(800)를 경유해서 다시 액체수납 용기(400)에 복귀된다.
이와 같이 본 실시예의 액체 공급 시스템은 액체수납 용기(400)로부터 인출된 액체의 일부를 공급처 장치(700)에 공급하고, 나머지 액체를 다시 액체수납 용기(400)로 되돌려서 순환시키도록 되어 있다. 이것은 액체수납 용기(400)에 수용되는 액체는 고체 입자가 분산된 현탁액인 슬러리이므로, 고체 입자가 액체수납 용기(400)의 바닥부에 침전하지 않도록 하기 위함이다.
한편 액체 공급 시스템이 순환시키는 액체의 유량은, 순환량 조정밸브(800)의 개방도에 의해 조정된다.
여기서 본 실시예에 있어서의 액체로서 사용되는 슬러리란, 예를 들면 반도체 제조에 있어서의 웨이퍼 연마 방법인 CMP(Chemical Mechanical Polishing)에 사용되는 실리카계 혹은 산화세륨계의 연마재를 포함하는 액체이다.
도 1에 도시한 바와 같이 본 실시예의 액체 공급 시스템이 구비한 액체수납 용기(400)는 액체를 수용하는 용기본체(420)와 용기본체(420) 상면에 설치되고 축선(X1)(제1 축선)방향으로 원통형상으로 형성된 개구부(410)를 구비한다.
도 1에 도시한 바와 같이 본 실시예의 액체 공급 시스템은, 액체수납 용기(400)의 개구부(410)에 장착되는 커넥터(300)를 구비하고 있다. 커넥터(300)는 액체수납 용기(400)에 수용되는 액체를 꺼내서 펌프(600)까지 보내는 액체 유출 유로와, 순환량 조정밸브(800)를 경유한 액체를 액체수납 용기(400)로 되돌리는 액체 유입 유로와, 액체수납 용기(400)에서 감소된 액체량에 따른 외기를 도입하는 기체유로를 구비한 장치이다. 본 실시예의 커넥터(300)는 액체 유출과, 액체 유입과, 감소된 액체량에 따른 외기의 치환을 1개소의 개구부(410)에 장착한 하나의 장치로 실현하는 것이다.
이하 본 실시예의 커넥터(300)에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다.
도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이 본 실시예의 커넥터(300)는 액체수납 용기(400) 상면에 설치된 개구부(410)의 내주면에 형성된 암나사(411a)에 고정되는 플러그(200)와, 플러그(200)에 착탈 가능하게 장착되는 소켓(100)을 구비한다.
도 2는 소켓(100)이 플러그(200)로부터 이간된 상태를 나타내고, 도 3은 소켓(100)이 플러그(200)에 장착된 상태를 나타낸다.
이하 본 실시예의 커넥터(300)가 구비한 플러그(200)에 대해서 설명한다.
도 2에 도시한 바와 같이 플러그(200)는 플러그 본체(210)와, 플러그 본체(210)의 하방에 장착되는 동시에 축선(X1)방향으로 원통상으로 형성되는 내측관(220)과, 플러그 본체(210)에 장착되는 원통상의 외측관(230)과, 외측관(230)과 내측관(220)의 사이를 밀봉하는 밀봉부재(240)를 가진다.
플러그(200)를 구성하는 각 부재는 PFA(테트라플루오로에틸렌·퍼플루오르알킬비닐에테르 공중합체) 등의 플루오르수지 재료 혹은 HDPE(고밀도 폴리에틸렌) 등의 결정성 열가소성 수지에 의해 형성되어 있다.
플러그 본체(210)는 축선(X1)방향으로 대략 원통상으로 형성되는 동시에 상단부의 외주면에 수나사(210a)가 형성된 부재이다. 플러그 본체(210)의 수나사(210a)를 개구부(410)의 내주면에 형성되는 암나사(411a)에 체결함으로써, 플러그 본체(210)가 개구부(410)의 내주면에 고정된다.
또 플러그 본체(210)의 내부에는 제1 액체 유출 유로(211), 제1 액체 유입 유로(212) 및 제1 기체유로(213)가 형성되어 있다.
제1 액체 유출 유로(211)는 액체수납 용기(400)에 수납된 액체를 꺼내서 유출 포트(10)에 유도하는 유로이다. 제1 액체 유입 유로(212)는 액체수납 용기(400)의 외부에서 유입 포트(20)를 개재해서 유입하는 액체를 액체수납 용기(400)의 내부에 유도하는 유로이다. 제1 기체유로(213)는 액체수납 용기(400)의 내부 공간(S1)과 액체수납 용기(400)의 외부 공간(S2)사이에서 외기를 유통시키는 유로이다.
내측관(220)은 축선(X1)을 따라 원통상으로 형성되는 부재이다. 도 1에 도시한 바와 같이 플러그(200)가 액체수납 용기(400)의 개구부(410)에 장착된 상태에서, 내측관(220)의 하단부(제1 하단부)(220a)는 액체수납 용기(400)의 바닥부 근방에 배치된다.
내측관(220)은 플러그 본체(210)의 하단에 열용착에 의해 장착되는 동시에 액체수납 용기(400)에 수용되는 액체를 플러그 본체(210)의 제1 액체 유출 유로(211)에 유도한다.
외측관(230)은 축선(X1)을 따라 원통상으로 형성되는 부재이다. 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 플러그(200)가 액체수납 용기(400)의 개구부(410)에 장착된 상태에서 외측관(230)의 하단부(제2 하단부)(230a)는 내측관(220) 하단부(220a)의 상방에 배치된다.
외측관(230)은 플러그 본체(210) 하방의 외주면에 압입에 의해 장착되는 동시에 내측관(220)의 외측에 배치된다. 외측관(230)의 내주면은 내측관(220)의 외주면과의 사이에, 플러그 본체(210)의 제1 액체 유입 유로(212)에 유도된 액체를 액체수납 용기(400)의 내부로 유도하는 환형유로(214)를 형성한다.
외측관(230)의 하단부(230a)에는 축선(X1)방향의 복수 개소(예를 들면 90°간격으로 4곳)에 환형유로(214)에서 액체수납 용기(400)의 내부로 액체를 유출시키는 복수 개의 유출공(231)이 형성되어 있다.
밀봉부재(240)는 외측관(230) 하단부(230a)의 내주면과 내측관(220)의 외주면과의 사이를 밀봉하는 부재이다. 밀봉부재(240)는 환형유로(214)에서 유입된 액체가 축선(X1)을 따라 그대로 액체수납 용기(400)의 바닥면으로 유도되는 것을 방지한다. 환형유로(214)의 하단이 밀봉부재(240)에 의해 밀봉되어 있기 때문에, 환형유로(214)의 하단에 도달한 액체는 도 2에 화살표로 나타낸 바와 같이 유출공(231)을 개재해서 액체수납 용기(400)의 내부로 유출된다.
환형유로(214)를 따라 상방에서 하방을 향해서 낙하한 액체가 복수 개의 유출공(231)으로부터 수평방향(축선(X1)에 직교하는 방향)으로 유출되므로, 복수 개의 유출공(231)이 개구된 복수의 방향으로 액체가 유출되고, 액체수납 용기(400)의 바닥면 부근의 액체가 양호하게 유동한다. 따라서 액체가 연마재 등을 포함하는 슬러리(고체 입자가 분산된 현탁액)일 경우에는 액체수납 용기(400)의 바닥면 부근에서 고체 입자와 액체가 양호하게 혼합된 상태가 유지된다.
이상의 설명에서는 외측관(230)의 하단부(230a)에 복수 개의 유출공(231)이 형성된 것으로 하였으나, 외측관(230)의 하단부(230a)에 단일의 유출공(231)을 형성하여도 된다.
이하 본 실시예의 커넥터(300)가 구비된 소켓(100)에 대해서 설명한다.
도 2에 도시한 바와 같이 소켓(100)은 소켓 본체(110)와, 소켓 본체(110)에 장착되는 볼 로크 기구(120)와, 소켓 본체(110)에 형성된 원통상의 삽입공(114)에 삽입되는 원주형의 로터리 밸브(130)와, 로터리 밸브(130)를 축선(X2)(제2 축선)방향으로 회전시키는 개폐 기구(140)를 가진다.
소켓 본체(110)는 축선(X1)방향으로 대략 원통상으로 형성되는 부재로, 상단에 유출 포트(10) 및 유입 포트(20)가 장착되는 제1 본체부(110a)와, 하단에 플러그(200)가 삽입되는 제2 본체부(110b)를 가진다. 또 소켓 본체(110)는, 후술하는 도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이 연통부재(110c), 판형부재(110d) 및 판형부재(110e)를 가진다.
제2 본체부(110b)는 제1 본체부(110a)의 하단에 삽입된 상태에서, 후술하는 볼 로크 기구(120)의 소켓 부재(122)에 의해 고정된다.
소켓 본체(110)의 내부에는 제2 액체 유출 유로(111), 제2 액체 유입 유로(112) 및 제2 기체유로(113)가 형성되어 있다.
제2 액체 유출 유로(111)는 유출 포트(10)를 개재해서 제1 액체 유출 유로(211)에서 인출되는 액체를 외부로 유출시키는 유로이다. 제2 액체 유입 유로(112)는 액체수납 용기(400)의 외부에서 유입 포트(20)를 개재해서 유입하는 액체를 제1 액체 유입 유로(212)로 유도하는 유로이다. 제2 기체유로(113)는 제1 기체유로(213)에 연결되는 동시에 액체수납 용기(400)의 내부 공간(S1)과 액체수납 용기(400)의 외부 공간(S2) 사이에서 통기 포트(30)를 개재해서 외기를 유통시키는 유로이다.
볼 로크 기구(120)는 액체수납 용기(400)의 개구부(410)의 외주면에 축선(X1)방향의 둘레방향을 따라 형성된 계합홈(411)에 복수 개의 잠금 볼(121)을 계합한 후, 복수 개의 잠금 볼(121)을 계합홈(411)에 고정하는 기구이다. 볼 로크 기구(120)를 사용하여 소켓 본체(110)를 액체수납 용기(400)의 개구부(410)에 고정함으로써, 소켓(100)과 플러그(200)가 장착된 상태로 고정된다.
볼 로크 기구(120)는 도 2에 도시한 바와 같이 복수 개의 잠금 볼(121), 소켓 부재(제1 원통상부재)(122), 슬리브(제2 원통상부재)(123), 스프링(가압력 발생부)(124), 회전 규제 핀(회전 규제 기구)(125), 스톱 링(126) 및 스프링받이 부재(127)를 가진다.
소켓 부재(122)는 축선(X1)방향으로 원통상으로 형성되는 동시에 구형의 잠금 볼(121)의 외경보다도 소직경의 복수 개의 개구 구멍(122a)을 가지는 부재이다. 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이 복수 개의 잠금 볼(121)은 소켓 부재(122)의 복수 개의 개구 구멍(122a)에 수용된다. 다만 개구 구멍(122a)의 직경보다도 잠금 볼(121)의 외경이 크기 때문에, 잠금 볼(121)이 개구 구멍(122a)으로부터 소켓 부재(122)의 내주측으로 완전히 빠지는 일은 없다.
소켓 부재(122)는 내주면에 형성된 암나사(122b)를 소켓 본체(110)의 제1 본체부(110a)의 외주면에 형성된 수컷나사에 체결함으로써 소켓 본체(110)에 고정된다.
슬리브(123)는 축선(X1)방향으로 원통상으로 형성되는 동시에 소켓 부재(122)의 외주측에 배치되는 부재이다. 슬리브(123)는 소켓 부재(122)에 의해 상단위치가 규제되고 소켓 부재(122)의 하단측의 외주면에 장착된 환형의 스톱 링(126)에 의해 하단 위치가 규제된다. 슬리브(123)는 축선(X1)을 따라 상단위치와 하단 위치의 사이에서 소켓 부재(122)에 대하여 상대적으로 이동 가능하게 되어 있다.
슬리브(123)는 개구 구멍(122a)에 수용되는 복수 개의 잠금 볼(121)을 개구부(410)의 계합홈(411)에 계합한 상태로 규제하는 규제부(123a)를 가진다.
스프링(124)은 축선(X1)을 따르는 상단(일단)이 소켓 부재(122)에 고정되는 동시에 축선(X1)을 따르는 하단(타단)이 스프링받이 부재(127)를 개재해서 슬리브(123)에 고정되는 탄성부재이다. 스프링(124)은 탄성변형에 의한 가압력을 발생하고, 슬리브(123)의 규제부(123a)가 잠금 볼(121)에 접촉하는 하단 위치를 향해서 슬리브(123)를 가압한다. 스프링(124)은 축선(X1)방향의 둘레방향으로 균등한 간격으로 복수 개소(예를 들면 60°간격의 6군데)에 배치된다. 스프링(124)을 균등한 간격으로 복수 개소에 배치함으로써 슬리브(123)에 균등한 가압력이 부여된다.
여기서 스프링받이 부재(127)는 축선(X1)방향으로 환상으로 형성되는 부재로, 스프링(124)을 수용하기 위한 개구 구멍이 복수 개소에 형성된 부재이다.
여기서는 스프링(124)을 축선(X1)방향의 둘레방향으로 균등한 간격으로 복수 개소에 설치하는 것으로 하였으나, 축선(X1)을 중심으로 하여 스프링받이 부재(127)와 동일 직경의 단일 스프링을 설치하도록 해도 좋다.
회전 규제 핀(125)은 소켓 부재(122)에 대하여 슬리브(123)가 축선(X1)방향으로 회전하는 것을 규제하는 부재이다. 회전 규제 핀(125)은 일단이 소켓 부재(122)의 외주면에 고정되고 타단이 슬리브(123)의 내주면에 축선(X1)을 따라 형성된 회전 규제 홈(회전 규제 기구)(123b)에 삽입된다. 회전 규제 핀(125)과 회전 규제 홈(123b)에 의해 구성되는 회전 규제 기구는, 소켓 부재(122)에 대하여 슬리브(123)가 축선(X1)방향으로 회전하는 것을 규제하면서 소켓 부재(122)에 대하여 슬리브(123)가 축선(X1)을 따라 이동하는 것을 허용한다.
여기서 볼 로크 기구(120)를 사용하여 소켓(100)을 액체수납 용기(400)의 개구부(410)에 고정하는 동작에 대해서 설명한다.
도 4에 도시한 바와 같이 액체수납 용기(400)의 개구부(410)에 소켓(100)을 장착할 때에 작업자는 외측에 배치되는 슬리브(123)를 축선(X1)을 따르는 상방으로 끌어 당겨서 슬리브(123)의 규제부(123a)가 잠금 볼(121)에 접촉하지 않도록 대피시킨다.
이 경우 잠금 볼(121)은 개구 구멍(122a)에서 돌출되지 않은 실선의 위치에 배치된다. 작업자는 슬리브(123)를 축선(X1)을 따르는 상방으로 끌어 당긴 상태에서 소켓(100)을 플러그(200) 및 개구부(410)에 삽입함으로써, 도 4에 도시한 상태로 한다.
도 4에 도시한 바와 같이 개구부(410)의 선단부(412)는 상방에서 하방을 향해서 축선(X1)을 중심으로 한 외경이 일정 구배로 커지는 테이퍼 형상으로 되어 있다. 그러므로 소켓(100)을 개구부(410)에 장착할 때에 잠금 볼(121)이 개구 구멍(122a)에서 내측으로 돌출되어 있는 경우에도 잠금 볼(121)이 테이퍼 형상 개구부(410)의 선단부(412)를 따라 외측으로 안내된다. 따라서 잠금 볼(121)과 개구부(410) 선단부(412)의 접촉에 의해 소켓(100)의 개구부(410)에의 장착에 문제가 생기는 것이 억제된다.
작업자는 소켓(100)을 플러그(200)에 삽입하여 도 4에 도시한 상태로 한 후에 슬리브(123)에서 손을 놓음으로써 잠금 볼(121)이 개구부(410)의 계합홈(411)에 계합되고, 소켓(100)이 개구부(410)의 외주면에 고정된 상태로 할 수 있다. 이것은 슬리브(123)를 떼어 놓는 것에 의해 슬리브(123)에 스프링(124)에서 하향의 가압력이 부여되고, 슬리브(123)가 스톱 링(126)에 부딪치게 되는 하단 위치로 이동하기 때문이다.
도 5에 도시한 바와 같이 슬리브(123)가 하단 위치로 이동함으로써 규제부(123a)가 잠금 볼(121)에 접촉하는 위치로 이동하고, 복수 개의 잠금 볼(121)이 계합홈(411)에 고정된 상태가 된다.
다음에 볼 로크 기구(120)를 사용하여 소켓(100)을 액체수납 용기(400)의 개구부(410)에 고정하는 동작의 다른 형태에 대해서 설명한다. 이 형태는 작업자가 슬리브(123)에 접촉하지 않고 소켓(100)을 플러그(200)에 압입함으로써 소켓(100)을 원 터치로 플러그(200)에 장착하는 것이다.
내주면에 플러그(200)가 고정된 액체수납 용기(400)의 개구부(410)에 소켓(100)을 장착할 때에 작업자는 슬리브(123)에 접촉하지 않고 소켓(100)을 플러그(200)에 압입함으로써 잠금 볼(121)이 스프링(124)의 가압력에 대항해서 슬리브(123)가 위쪽으로 압압되어 잠금 볼(121)이 대피한 상태로 한다. 그리고 작업자는 잠금 볼(121)이 계합홈(411)의 위치에 도달하기까지 소켓(100)을 플러그(200)에 압입함으로써 스프링(124)의 가압력에 의해 잠금 볼(121)이 계합홈(411)에 고정된 상태로 한다. 이와 같이 작업자는 복잡한 작업을 필요로 하지 않고 소켓(100)이 개구부(410)의 외주면에 고정된 상태로 할 수 있다.
도 6(도 3에 나타내는 소켓의 A-A화살표 방향에서 본 단면도)에 도시한 바와 같이 복수 개의 잠금 볼(121)이 계합홈(411)에 고정된 상태에서는 복수 개의 잠금 볼(121)이 개구 구멍(122a)에서 내측으로 돌출된 상태가 된다. 복수 개의 잠금 볼(121)의 개구 구멍(122a)에서 내측으로 돌출된 부분이 계합홈(411)에 계합되는 부분으로 된다.
개폐 기구(140)는 후술하는 로터리 밸브(130)에 연결되는 기구로, 로터리 밸브를 축선(X2)방향으로 회전시킴으로써 로터리 밸브(130)를 열림 상태 또는 닫힘 상태 중 어느 하나의 상태로 전환하는 기구이다.
여기서 로터리 밸브(130)의 열림 상태란, 도 3에 도시한 바와 같이 로터리 밸브(130)에 형성되는 유출용 관통 구멍(131)과 소켓 본체(110)의 제2 액체 유출 유로(111)가 연통되고 또한 로터리 밸브(130)에 형성된 유입용 관통 구멍(132)과 소켓 본체(110)의 제2 액체 유입 유로(112)가 연통된 상태를 말한다.
또 로터리 밸브(130)의 닫힘 상태란, 도 2에 도시한 바와 같이 로터리 밸브(130)에 형성되는 유출용 관통 구멍(131)과 소켓 본체(110)의 제2 액체 유출 유로(111)가 연통되지 않고 또한 로터리 밸브(130)에 형성된 유입용 관통 구멍(132)과 소켓 본체(110)의 제2 액체 유입 유로(112)가 연통되지 않는 상태를 말한다.
개폐 기구(140)는 로터리 밸브(130)의 양단부에 연결되는 한 쌍의 잠금 캠(잠금 부재)(141)과 한 쌍의 잠금 캠(141)을 연결하는 동시에 작업자에 의한 개폐 동작을 받아들이는 개폐 암(142)을 가진다.
작업자는 플러그(200)를 개구부(410)의 내주면에 고정하고 소켓(100)을 개구부(410)의 외주면에 장착한 후, 도 7에 나타내는 개폐 암(142)의 선단부를 파지하여 축선(X2)방향으로 시계방향(도 7중에 화살표로 나타내는 방향)으로 회전시킨다. 이에 따라 로터리 밸브(130)는 도 7에 나타내는 닫힘 상태에서 도 8에 나타내는 열림 상태로 전환된다.
한편 작업자는 도 8에 나타내는 개폐 암(142)의 선단부를 파지하여 축선(X2)방향으로 반시계방향(도 8 중에 화살표로 나타내는 방향)으로 회전시킨다. 이에 따라 로터리 밸브(130)는 도 8에 나타내는 열림 상태에서 도 7에 나타내는 닫힘 상태로 전환된다.
작업자는 개폐 암(142)을 도 7에 나타내는 상태에서 도 8에 나타내는 상태로 전환하는 것에 의해, 잠금 캠(141)이 슬리브(123)의 상면(123c)에 접촉하지 않는 잠금 해제 상태를, 잠금 캠(141)이 슬리브(123)의 상면(123c)에 접촉하는 잠금 상태로 전환한다.
한편 잠금 상태에 있어서는 반드시 잠금 캠(141)이 슬리브(123) 상면(123c)에 접촉해있을 필요는 없다. 잠금 상태는 잠금 캠(141)의 하단이 슬리브(123) 상면(123c)에 근접한 위치에 배치되고, 슬리브(123) 상방에의 이동이 규제되는 상태를 포함한다.
작업자는 잠금 상태에 있어서는, 슬리브(123)를 위쪽으로 끌어 당겨서 볼 로크 기구(120)가 개구부(410)에 고정된 상태를 해제할 수 없다. 이것은 슬리브(123) 상면(123c)이 잠금 캠(141)에 접촉해있고, 슬리브(123)가 축선(X1)을 따라 위쪽으로 이동하는 것이 규제되기 때문이다.
이와 같이 본 실시예의 소켓(100)은 로터리 밸브(130)가 열림 상태로 되어 있는 경우에는 슬리브(123)가 축선(X1)을 따라 위쪽으로 이동하는 것이 규제되므로, 오조작 등에 의한 액체의 외부에의 유출을 확실하게 방지할 수 있다.
로터리 밸브(130)는 도 3에 도시한 바와 같이 축선(X1)에 직교하는 축선(X2) 위를 따라서 원주상으로 형성되는 부재이다. 로터리 밸브(130)는 축선(X2)위의 제2 액체 유출 유로(111)가 배치되는 위치에 형성되는 유출용 관통 구멍(131)과 축선(X2)위의 제2 액체 유입 유로(112)가 배치되는 위치에 형성되는 유입용 관통 구멍(132)을 가진다.
로터리 밸브(130)는 축선(X2)방향으로 회전 가능한 상태로, 소켓 본체(110)에 형성되는 삽입공(114)에 삽입되어 있다. 삽입공(114)은 제2 액체 유출 유로(111)를 관통하도록 축선(X2)을 따라 형성되어 있다. 제2 액체 유출 유로(111)는, 삽입공(114)에 의해 상류측 유출 유로(111b)와 하류측 유출 유로(111a)로 분단되어 있다. 또 삽입공(114)은 제2 액체 유입 유로(112)를 관통하도록 축선(X2)을 따라 형성되어 있다. 제2 액체 유입 유로(112)는 삽입공(114)에 의해 상류측 유입 유로(112a)와 하류측 유입 유로(112b)로 분단되어 있다.
여기서 로터리 밸브(130)를 닫힘 상태로 한 경우의 소켓(100)의 각 유로의 유통 상태에 대해서 설명한다.
도 9 및 도 10에 도시한 바와 같이 로터리 밸브(130)는 일단이 로터리 밸브(130)의 외주면에 개구되는 동시에 타단이 유출용 관통 구멍(131)에 개구되는 배출 구멍(제1 배출 구멍)(133)과 일단이 로터리 밸브(130)의 외주면에 개구되는 동시에 타단이 유입용 관통 구멍(132)에 개구되는 배출 구멍(제2 배출 구멍)(134)을 가진다.
배출 구멍(133)은 로터리 밸브(130)가 열림 상태에서 닫힘 상태로 전환된 경우에 유출용 관통 구멍(131)에 잔류하는 액체를 상류측 유출 유로(111b)에 배출하기 위한 구멍이다. 마찬가지로 배출 구멍(134)은 로터리 밸브(130)가 열림 상태에서 닫힘 상태로 전환된 경우에 유입용 관통 구멍(132)에 잔류하는 액체를 하류측 유입 유로(112b)에 배출하기 위한 구멍이다.
도 9 및 도 10에 나타내는 O링(135)은 로터리 밸브(130)
도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이 연통부재(110c)는 내부에 형성된 연통 구멍(115)을 가진다. 연통 구멍(115)은 로터리 밸브(130)가 닫힘 상태의 경우에 유출용 관통 구멍(131)과 유입용 관통 구멍(132)을 연통시키는 구멍이다. 연통 구멍(115)을 설치하는 것에 의해 로터리 밸브(130)가 닫힘 상태의 경우에, 상류측 유출 유로(111b)와 배출 구멍(133)과 유출용 관통 구멍(131)과 유입용 관통 구멍(132)과 배출 구멍(134)과 하류측 유입 유로(112b)가 연통된 상태가 된다.
다음에 로터리 밸브(130)를 열림 상태로 한 경우의 소켓(100)의 각 유로의 유통 상태에 대해서 설명한다.
도 12 및 도 13에 도시한 바와 같이 로터리 밸브(130)를 열림 상태로 한 경우 유출용 관통 구멍(131)과 상류측 유출 유로(111b)와 하류측 유출 유로(111a)가 연통되고 또한 유입용 관통 구멍(132)과 상류측 유입 유로(112a)와 하류측 유입 유로(112b)가 연통된 상태가 된다.
도 12 및 도 13에 도시한 바와 같이 로터리 밸브(130)를 열림 상태로 한 경우 유출용 관통 구멍(131)과 연통 구멍(115)이 연통되지 않은 상태가 된다. 마찬가지로 로터리 밸브(130)를 열림 상태로 한 경우 유입용 관통 구멍(132)과 연통 구멍(115)이 연통되지 않은 상태가 된다.
다음에 도 14를 사용해서 본 실시예의 소켓(100)을 세정하는 소켓 세정 장치(500)에 대해서 설명한다.
소켓 세정 장치(500)는 로터리 밸브(130)를 닫힘 상태로 한 소켓(100)의 내부에 잔류하는 액체를 세정하는 장치이다. 소켓 세정 장치(500)는 본체부(510), 유입 포트(520) 및 유출 포트(530)를 가진다.
본체부(510)는 소켓(100)이 장착되는 개구부(511)와 소켓(100)이 장착된 상태에서 제2 액체 유출 유로(111)와 연통되는 유입 유로(512)와 소켓(100)이 장착된 상태에서 제2 액체 유입 유로(112)와 연통되는 유출 유로(513)를 가진다.
개구부(511)의 외주면에는 계합홈이 형성되어 있고, 소켓(100)의 볼 로크 기구(120)가 고정 가능하게 되어 있다.
소켓(100)을 소켓 세정 장치(500)의 개구부(511)에 장착하고, 로터리 밸브(130)를 닫힘 상태로 하면 도 9에 도시한 바와 같이 연통 구멍(115)을 개재해서 제2 액체 유출 유로(111)와 제2 액체 유입 유로(112)가 연통된 상태가 된다. 로터리 밸브(130)를 닫힘 상태로 한 채로 펌프(900)에 의해 공급원에서 세정용 액체(예를 들면 순수)를 유입 포트(520)에 공급하면, 유입 유로(512)에서 제2 액체 유출 유로(111)로 액체가 유입한다. 제2 액체 유출 유로(111)에 유입된 액체는 연통 구멍(115)을 개재해서 제2 액체 유입 유로(112)로 유입되고, 유출 유로(513)에 유도된다. 유출 유로(513)에 유도된 액체는 유출 포트(530)로부터 유출되어 다시 공급원에 복귀된다.
소켓 세정 장치(500)는 이상과 같이 하여 소켓(100) 내부에 세정액을 순환시킴으로써, 소켓(100)의 상류측 유출 유로(111b), 배출 구멍(133), 유출용 관통 구멍(131), 유입용 관통 구멍(132), 배출 구멍(134), 하류측 유입 유로(112b), 연통 구멍(115)을 세정할 수 있다.
이상 설명한 본 실시예의 커넥터(300)가 이루는 작용 및 효과에 대해서 설명한다.
본 실시예의 커넥터(300)에 의하면, 소켓(100)이 플러그(200)에 장착된 상태에서 펌프(600)에 의해 액체를 흡입함으로써, 플러그(200)의 제1 액체 유출 유로(211)에서 인출되는 액체가 소켓(100)의 제2 액체 유출 유로(111)를 개재해서 외부로 유출된다. 또 외부의 펌프(600)에 의해 순환하는 액체가 소켓(100)의 제2 액체 유입 유로(112)를 개재하여 플러그(200)의 제1 액체 유입 유로(212)에서 액체수납 용기(400)의 내부에 유도된다. 또 액체수납 용기(400)에 수용되는 액체의 감소분을 치환하는 량의 외기가 소켓(100)의 제2 기체유로(113) 및 플러그(200)의 제1 기체유로(213)를 개재하여 액체수납 용기(400)의 외부 공간(S2)에서 내부 공간(S1)에 유도된다.
이와 같이 본 실시예의 커넥터(300)는 액체수납 용기(400)에 수용되는 액체의 외부에의 유출과 외부로 유출되어 순환한 액체의 액체수납 용기(400)에의 유입과 액체수납 용기(400)에 수용되는 액체의 감소분에 따른 외기의 도입이 가능한 구조로 되어 있다.
또 본 실시예의 커넥터(300)에 의하면, 로터리 밸브(130)를 개폐 기구(140)에 의해 열림 상태 또는 닫힘 상태로 전환하는 것에 의해, 유출용 관통 구멍(131) 및 유입용 관통 구멍(132)을 개재해서 제2 액체 유출 유로(111) 및 제2 액체 유입 유로(112)에 액체가 유통되는 열림 상태와, 유출용 관통 구멍(131) 및 유입용 관통 구멍(132)을 개재해서 제2 액체 유출 유로(111) 및 제2 액체 유입 유로(112)에 액체가 유통되지 않는 닫힘 상태를 전환할 수 있다.
그러므로 유로 단면적이 국소적으로 작아지는 개소에 고체 입자를 축적하고, 액체의 유통성을 악화시키는 문제나 밸브체의 가압기구에 고체 입자가 부착해서 밸브의 개폐가 원활하게 행해지지 않는 문제를 억제할 수 있다.
또 개폐 기구(140)에 의해 로터리 밸브(130)가 닫힘 상태로 되므로, 소켓(100)을 플러그(200)로부터 분리할 때에 소켓(100)의 내부에 잔존하는 액체가 외부로 유출하는 것을 억제할 수 있다.
본 실시예의 커넥터(300)에 의하면, 개폐 기구(140)가 로터리 밸브(130)를 닫힘 상태로 한 경우 유출용 관통 구멍(131)에 잔존한 액체가 배출 구멍(133)을 개재해서 상류측 유출 유로(111b)에 유도되고, 플러그(200)를 개재해서 액체수납 용기(400)에 유도된다. 또 유입용 관통 구멍(132)에 잔존한 액체가 배출 구멍(134)을 개재해서 하류측 유입 유로(112b)에 유도되고, 플러그(200)를 개재해서 액체수납 용기(400)에 유도된다. 그러므로 액체수납 용기(400)에 수납되는 액체가 고체 입자를 포함하는 슬러리라도 고체 입자가 유출용 관통 구멍(131) 및 유입용 관통 구멍(132)에 잔존해서 응고하는 문제를 억제할 수 있다.
본 실시예의 커넥터(300)에 있어서, 소켓 본체(110)는 개폐 기구(140)가 로터리 밸브(130)를 닫힘 상태로 한 경우에 유출용 관통 구멍(131)과 유입용 관통 구멍(132)을 연통시키는 연통 구멍(115)을 가진다.
이와 같이 하는 것으로, 소켓(100)을 플러그(200)로부터 분리한 후에 제2 액체 유출 유로(111), 유출용 관통 구멍(131), 연통 구멍(115), 유입용 관통 구멍(132), 제2 액체 유입 유로(112)의 순으로 연통된 액체유로가 형성된다. 이 액체유로에 순수 등의 세정용 액체를 유통시킴으로써, 소켓(100)의 내부에 잔존하는 고체 입자 등을 세정할 수 있다.
〔다른 실시예〕
이상의 설명에서, 액체수납 용기(400)는 도 1에 나타낸 바와 같이 용기본체(420)와 일체로 형성되는 개구부(410)를 구비한 것으로 하였으나, 다른 형태라도 된다. 예를 들면 용기본체(420)와 일체로 원통형상으로 형성되는 개구부(410) 외주면의 계합홈(411)에 축선(X1)방향으로 원통상으로 형성되는 원통상 부재(도시 생략)를 계합한 액체수납 용기(400)를 사용할 수도 있다. 이 경우 원통상 부재는 외주면에 축선(X1)방향의 둘레방향을 따라 형성된 계합홈을 구비한 것으로 한다. 그리고 소켓 본체(110)는 볼 로크 기구(120)의 복수 개의 잠금 볼을 원통상부재의 계합홈에 결합시킴으로써 액체수납 용기(400)에 고정된다.
이와 같이 본 실시예의 액체수납 용기(400)의 개구부는 용기본체(420)와 일체로 원통형상으로 형성되는 개구부(410)와 그 외주면에 계합되는 원통상부재의 쌍방을 포함하는 것으로 된다.

Claims (4)

  1. 제1 축선 방향으로 원통형상으로 형성된 개구부가 상면에 설치된 액체수납 용기에 장착되는 커넥터로서,
    상기 개구부에 고정되는 플러그와,
    상기 플러그에 착탈 가능하게 장착되는 소켓을 구비하고,
    상기 플러그는,
    상기 액체수납 용기에 수용된 액체를 인출하는 제1 액체 유출 유로와 상기 액체수납 용기의 외부에서 유입하는 액체를 상기 액체수납 용기의 내부에 유도하는 제1 액체 유입 유로와, 상기 액체수납 용기의 내부 공간과 상기 액체수납 용기의 외부 공간 사이에서 외기를 유통시키는 제1 기체유로가 내부에 형성된 플러그 본체를 가지고,
    상기 소켓은,
    상기 제1 액체 유출 유로에서 인출되는 액체를 외부로 유출시키는 제2 액체 유출 유로와, 상기 액체수납 용기의 외부에서 유입하는 액체를 상기 제1 액체 유입 유로로 유도하는 제2 액체 유입 유로와, 상기 제1 기체유로에 연결되는 동시에 상기 내부 공간과 상기 외부 공간 사이에서 외기를 유통시키는 제2 기체유로가 내부에 형성되고, 상기 제2 액체 유출 유로 및 상기 제2 액체 유입 유로를 관통하도록 상기 제1 축선과 교차하는 제2 축선을 따라 원주형의 삽입공이 형성된 소켓 본체와,
    상기 제2 축선상의 상기 제2 액체 유출 유로가 배치되는 위치에 형성되는 유출용 관통 구멍과 상기 제2 축선상의 상기 제2 액체 유입 유로가 배치되는 위치에 형성되는 유입용 관통 구멍을 가지고, 상기 삽입공에 삽입되는 원주형의 로터리 밸브와,
    상기 로터리 밸브가 상기 제2 축선 방향으로 회전한 경우에 상기 유출용 관통 구멍과 상기 제2 액체 유출 유로가 연통되고 또한 상기 유입용 관통 구멍과 상기 제2 액체 유입 유로가 연통된 열림 상태와, 상기 유출용 관통 구멍과 상기 제2 액체 유출 유로가 연통되지 않고 또한 상기 유입용 관통 구멍과 상기 제2 액체 유입 유로가 연통되지 않는 닫힘 상태를 전환하는 개폐 기구를 가지는 커넥터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 로터리 밸브는 일단이 상기 로터리 밸브의 외주면에 개구되는 동시에 타단이 상기 유출용 관통 구멍에 개구되는 제1 배출 구멍과, 일단이 상기 로터리 밸브의 외주면에 개구되는 동시에 타단이 상기 유입용 관통 구멍에 개구되는 제2 배출 구멍을 가지고,
    상기 개폐 기구가 상기 로터리 밸브를 상기 닫힘 상태로 한 경우 상기 제1 배출 구멍이 상기 유출용 관통 구멍의 하방에서 상기 제2 액체 유출 유로와 연통되고, 상기 제2 배출 구멍이 상기 유입용 관통 구멍의 하방에서 상기 제2 액체 유입 유로와 연통되는 커넥터.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 소켓 본체는 상기 개폐 기구가 상기 로터리 밸브를 상기 닫힘 상태로 한 경우에 상기 유출용 관통 구멍과 상기 유입용 관통 구멍을 연통시키는 연통구멍을 가지는 커넥터.
  4. 제1 축선 방향으로 원통형상으로 형성된 개구부가 상면에 설치된 액체수납 용기에 장착되는 소켓 으로서,
    상기 개구부에 고정되는 플러그로부터 인출되는 액체를 외부로 유출시키는 액체 유출 유로와, 상기 액체수납 용기의 외부에서 유입하는 액체를 상기 플러그에 유도하는 액체 유입 유로와, 상기 액체수납 용기의 내부 공간과 상기 액체수납 용기의 외부 공간 사이에서 외기를 유통시키는 기체유로가 내부에 형성되고, 상기 액체 유출 유로 및 상기 액체 유입 유로를 관통하도록 상기 제1 축선과 교차하는 제2 축선을 따라 원주형의 삽입공이 형성된 소켓 본체와,
    상기 제2 축선상의 상기 액체 유출 유로가 배치되는 위치에 형성되는 유출용 관통 구멍과 상기 제2 축선상의 상기 액체 유입 유로가 배치되는 위치에 형성되는 유입용 관통 구멍을 가지고, 상기 삽입공에 삽입되는 원주형의 로터리 밸브와,
    상기 로터리 밸브가 상기 제2 축선 방향으로 회전한 경우에, 상기 유출용 관통 구멍과 상기 액체 유출 유로가 연통되고 또한 상기 유입용 관통 구멍과 상기 액체 유입 유로가 연통된 열림 상태와, 상기 유출용 관통 구멍과 상기 액체 유출 유로가 연통되지 않고 또한 상기 유입용 관통 구멍과 상기 액체 유입 유로가 연통되지 않는 닫힘 상태를 전환하는 개폐 기구를 구비하는 소켓.
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