KR20170044055A - 3차원 배열 검사 지그 구조의 광소자 내구성 검사 장치 및 그에 의한 광소자 내구성 검사 방법 - Google Patents

3차원 배열 검사 지그 구조의 광소자 내구성 검사 장치 및 그에 의한 광소자 내구성 검사 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 3차원 배열 검사 지그 구조의 광소자 내구성 검사 장치 및 그에 의한 광소자 내구성 검사 방법에 관한 것이고, 구체적으로 3차원으로 배열된 검사 지그에 수용된 광소자가 연속적으로 검사되도록 하는 3차원 배열 검사 지그의 광소자 내구성 검사 장치 및 그에 의한 광소자 내구성 검사 방법에 관한 것이다. 3차원 배열 검사 지그 구조의 광소자 내구성 검사 장치는 다수 개의 검사 트레이(22_1 내지 22_N)가 수용된 지그 매거진(20); 및 지그 매거진(20)의 위쪽에 배치되는 검사 로봇(10);을 포함하고, 상기 각각의 검사 트레이(22_1 내지 22_N)는 지그 매거진(20)으로부터 수납 및 배출되는 구조로 수용되고, 검사 로봇(10)은 XYZ축 방향으로 이동 가능한 센서 유닛(11)을 가진다.

Description

3차원 배열 검사 지그 구조의 광소자 내구성 검사 장치 및 그에 의한 광소자 내구성 검사 방법{An Apparatus for Inspecting a Life Time of a Emitting Element with a 3-Dimensional Arrangement Structure of Test Jig and a Method for Inspecting the Same Using thereof}
본 발명은 3차원 배열 검사 지그 구조의 광소자 내구성 검사 장치 및 그에 의한 광소자 내구성 검사 방법에 관한 것이고, 구체적으로 3차원으로 배열된 검사 지그에 수용된 광소자가 연속적으로 검사되도록 하는 3차원 배열 검사 지그의 광소자 내구성 검사 장치 및 그에 의한 광소자 내구성 검사 방법에 관한 것이다.
엘이디(LED), 유기 발광 다이오드(OLED), 레이저 다이오드(LD) 또는 포토다이오드(PD)와 같은 광소자는 개발과정, 생산 과정 또는 제조 과정에서 열화 특성(aging property), 내구성 또는 휘도와 같은 광학 특성이 시험될 필요가 있다. 이와 같은 광소자 검사를 위하여 일반적으로 광소자 칩 또는 모듈이 검사 지그에 고정될 수 있고, 검사 장치가 이동되면서 각각의 검사 지그에 고정된 광소자 칩 또는 모듈이 검사될 필요가 있다. 검사 효율성을 위하여 다수 개의 광소자 칩이 미리 다수 개의 검사 지그에 고정되고 검사 유닛에 의하여 연속적으로 이루어지는 것이 유리하다. 광소자 검사를 위한 다양한 검사 장치가 이 분야에 공지되어 있다.
특허공개번호 제10-2013-0019792호는 펠티어 소자를 이용하여 OLED의 수명시험을 실시하되, 상기 펠티어 소자는 히팅 플레이트 어셈블리에 장착되며, 상기 히팅 플레이트 어셈블리는 상기 펠티어 소자가 장착되며 상기 OLED와 대면하는 열전판과, 상기 열전판에 설치되는 히트 싱크 및 상기 히트 싱크에 부착되는 쿨링팬으로 구성되고, 상기 열전판에는 복수의 펠티어 소자가 장착되며, 상기 복수의 펠티어 소자의 사이 간격은 0~70 mm이며, 상기 열전판에는 펠티어 소자가 설치되는 안착홈이 형성되고, 상기 히팅 플레이트 어셈블리는 가로와 세로 방향으로 복수개 설치되며, 복수개 설치된 상기 히팅 플레이트 어셈블리의 사이 간격은 0~200 mm이며, 상기 열전판에는 히트 싱크가 삽입되는 삽입홈이 형성되는 것을 특징으로 OLED의 수명 예측 시험 장치에 대하여 개시한다.
특허등록번호 제10-1547921호는 유기 전계 발광 표시 타입 패널의 배면이 상측을 향하도록 안착되는 워크 테이블이 장착되는 워크 스테이지; 상기 워크 테이블에 수납된 패널 전면에 형성된 패드부에 접촉되어 상기 패널에 대한 검사를 수행하는 복수의 프로브 유닛; 상기 프로브 유닛이 상기 패드부와 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 프로브 유닛을 Z축 방향으로 이동시키는 프로브 스테이지; 상기 프로브 유닛과 상기 패드부가 접촉되는 부분에 대응되는 패널의 상면 테두리부에 접촉되어 상기 패널의 상향 이동을 제한하는 누름 지그; 상기 누름 지그가 상기 상면 테두리부에 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 누름 지그를 Z축 방향으로 이동시키는 지그 스테이지; 및 상기 워크 스테이지, 프로브 스테이지 및 지그 스테이지를 실장하는 베이스부를 포함하는 오토 프로브 검사 장치에 대하여 개시한다.
다수 개의 광소자 칩에 대하여 검사가 이루어지는 경우 연속적인 검사가 가능하도록 하는 검사 구조가 요구된다. 그러나 상기 선행기술은 지그 트레이에 배열된 다수 개의 검사 지그에 고정된 각각의 광소자 칩이 연속적으로 검사될 수 있는 검사 구조에 대하여 개시하지 않는다.
본 발명은 선행기술이 가진 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.
선행기술1: 특허공개번호 제10-2013-0019792호(금오공과대학교 산학협력단, 2013년02월27일 공개) OLED의 수명 예측 시험 장치 선행기술2: 특허등록번호 제10-1547921호((주)루켄테크놀러지스, 2014년11월03일 공개) 오토 프로브 검사 장치 및 이를 이용한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법
본 발명의 목적은 다수 개의 광소자를 연속적으로 검사될 수 있도록 하면서 검사 결과에 대한 신뢰성이 확보될 수 있도록 하는 3차원 배열 검사 지그 구조의 광소자 내구성 검사 장치 및 그에 의한 광소자 내구성 검사 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 3차원 배열 검사 지그 구조의 광소자 내구성 검사 장치는 다수 개의 검사 트레이가 수용된 지그 매거진; 및 지그 매거진의 위쪽에 배치되는 검사 로봇을 포함하고, 상기 각각의 검사 트레이는 지그 매거진으로부터 수납 및 배출되는 구조로 수용되고, 검사 로봇은 XYZ축 방향으로 이동 가능한 센서 유닛을 가진다.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 지그 매거진에서 각각의 검사 트레이의 온도 조건이 설정된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 3차원 배열 검사 지그 구조에 의한 광소자 내구성 검사 방법은 다수 개의 트레이를 매트릭스 구조로 매거진에 배치하는 단계; 상기 각각의 트레이가 배출 및 수납되는 하나의 방향을 설정하는 단계; 배출 및 수납 위치에서 상기 각각의 트레이의 좌표와 상기 각각의 트레이에 배치된 검사 지그의 좌표를 설정하는 단계; 상기 매거진에서 상기 각각의 트레이의 저장 조건이 설정되는 단계; 상기 검사 지그에 고정된 광소자 칩의 검사를 위한 센서 유닛을 가진 검사 로봇을 배치하는 단계; 상기 다수 개의 트레이 중 하나의 트레이가 배출되는 단계; 제어 유닛에 의하여 상기 배출된 트레이 및 상기 배출된 트레이에 배치된 검사 지그의 좌표가 확인되는 단계; 상기 센서 유닛이 이동되어 상기 각각의 검사 지그를 검사하는 단계; 및 검사 정보가 제어 유닛으로 전송되고, 상기 배출된 트레이가 수납되는 단계를 포함하고, 상기 트레이는 X축 방향으로 이동되고, 상기 검사 로봇은 XYZ축을 따라 이동 가능하도록 배치된다.
본 발명에 따른 검사 장치는 다수 개의 광소자가 연속적으로 검사되도록 하면서 광소자 배열이 3차원 매트릭스 구조로 이루어지는 것에 의하여 검사 효율과 생산성이 향상되도록 한다. 또한 본 발명에 따른 검사 장치는 광소자가 정해진 조건으로 유지되도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다. 추가로 본 발명에 따른 검사 장치는 다수 개의 검사 모듈에 대하여 장시간의 검사가 요구되는 내구성 검사에 적합하다.
도 1은 본 발명에 따른 검사 장치의 실시 예를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 검사 장치에서 광소자 검사가 이루어지는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 검사 장치에 적용되는 검사 지그의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4a 및 4b는 본 발명에 따른 검사 방법의 실시 예를 도시한 것이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 검사 장치의 실시 예를 개략적으로 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 검사 장치는 다수 개의 검사 트레이(22_1 내지 22_N)가 수용된 지그 매거진(20); 및 지그 매거진(20)의 위쪽에 배치되는 검사 로봇(10);을 포함하고, 상기 각각의 검사 트레이(22_1 내지 22_N)는 지그 매거진(20)으로부터 수납 및 배출되는 구조로 수용되고, 검사 로봇(10)은 XYZ-축 방향으로 이동 가능한 센서 유닛(11)을 포함한다.
본 발명에 따른 검사 장치는 엘이디(LED), 유기 발광 다이오드(OLED), 레이저 다이오드(LD) 또는 포토다이오드(PD)와 같은 광소자를 포함하는 임의의 광소자 특성 시험에 적용될 수 있다. 또한 본 발명에 따른 검사 장치는 내구성 시험, 열화 시험(aging test), 전기 특성 시험 및 광학 특성 시험을 비롯한 광소자와 관련된 임의의 시험을 진행될 수 있다. 각각의 시험은 이 분야에서 공지된 방법에 따라 또는 본 발명에 따른 검사 장치의 구조에 따라 적절하게 진행될 수 있다. 본 발명에 따른 검사 장치에서 예를 들어 유기 발광 소자의 시험을 위하여 샘플이 준비될 수 있다. 그리고 준비된 샘플에 대하여 전력을 공급하여 연속적으로 열화를 시키면서 실시간으로 전기적 특성 변화와 광학적 특성변화를 측정하여 수명을 평가할 수 있다. 본 발명에 따른 검사 장치에서 검사를 위한 조건 설정, 센서 유닛의 구조 또는 검사 데이터의 처리는 이 분야에서 공지된 방법에 따라 이루어질 수 있고 본 발명은 이와 같은 것에 의하여 제한되지 않는다.
지그 매거진(20)은 박스 형상이 될 수 있고, 박스 형태의 매거진 프레임(21)을 포함할 수 있다. 매거진 프레임(21)은 매트릭스 구조의 단위체로 나누어질 수 있고, 각각의 단위체에 검사 트레이(22_1 내지 22_N)가 수납 또는 배출이 가능한 구조로 배치될 수 있다. 지그 매거진(20)을 매트릭스 구조로 형성하는 것에 의하여 XYZ축에 따른 좌표 설정이 간단해진다. 각각의 단위체는 동일 크기를 가지거나 서로 다른 크기로 만들어질 수 있다. 그리고 매거진 프레임(21)에 대하여 각각의 검사 트레이(22_1 내지 22_N)는 하나의 방향으로 이동 가능하도록 배치된다. 구체적으로 단위체의 배열 방향에 대하여 수직이 되는 방향으로 이동되도록 배치되고, 각각의 검사 트레이(22_1 내지 22_N)는 슬라이딩 방식으로 배출 또는 수납이 될 수 있다. 필요에 따라 검사 트레이(22_1 내지 22_N)에 이동 손잡이(211)가 형성될 수 있다.
지그 매거진(20)의 위쪽 끝으로부터 아래쪽 끝 부분으로 이동 가능하면서 지그 매거진(20)의 좌측 끝으로부터 우측 끝으로 이동 가능하도록 검사 로봇(10)이 배치될 수 있다. 검사 로봇(10)은 광소자 칩의 검사를 위한 센서 유닛(11) 및 센서 유닛(11)의 이동을 위한 이동 가이드(G)를 포함할 수 있다. 센서 유닛(11)은 이동 가이드(G)에 이동 브래킷(13)에 의하여 결합되어 검사 트레이(22_1 내지 22_N)의 이동 방향 및 이에 수직이 되는 방향을 따라 이동 가능한 구조를 가질 수 있다. 검사 로봇(10)은 센서 유닛(11) 및 센서 유닛(11)과 결합되어 광소자의 위치를 확인하거나 화상처리를 위한 화상 광학계(14)를 포함할 수 있다.
각각의 검사 트레이(22_1 내지 22_N)는 예를 들어 Y축 방향을 따라 수납 및 배출되도록 배치될 수 있고, 센서 유닛(11)은 X, Y 또는 Z 축 방향을 따라 배치된 이동 가이드(G)를 따라 이동될 수 있다. 그리고 검사가 되어야 할 검사 트레이(22_1 내지 22_N)가 지그 매거진(20)으로부터 배출되면, 각각의 검사 지그에 고정된 광소자를 검사할 수 있다. 검사는 예를 들어 휘도와 같은 것이 될 수 있고, 센서 유닛(11)에 의하여 탐지될 수 있다. 배출된 검사 트레이(22_1 내지 22_N)에 배치된 모든 검사 지그의 검사가 완료되면 다른 검사 트레이(22_1 내지 22_N)에 대한 검사가 진행될 수 있다.
본 발명에 따른 검사 장치에서 검사 로봇(10)은 예를 들어 휘도 측정이 가능한 센서 유닛(11)을 포함할 수 있고, 장기간에 걸친 밝기 또는 휘도 변화의 탐지 또는 내구성 탐지에 적용될 수 있다. 다만 센서 유닛(11)은 다양한 광특성 탐지 유닛을 포함할 수 있다.
위에서 설명된 것은 검사 로봇(10)은 XYZ축을 따라 이동되면서 지그 매거진(20)에 수용된 전체 검사 지그의 검사가 가능한 구조를 가진다.
도 2는 본 발명에 따른 검사 장치에서 광소자 검사가 이루어지는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2의 (가)를 참조하면, 검사를 위하여 지그 매거진(20)으로부터 하나의 검사 트레이(22_K)가 배출될 수 있다. 검사 트레이(22_K)에 다수 개의 검사 지그(24)가 배치될 수 있고, 검사 로봇(10)은 검사 트레이(22_K)에 배치된 각각의 검사 지그(24)에 대하여 휘도 검사와 같은 광소자 특성을 검사할 수 있다.
센서 유닛(11)은 위에서 설명된 X, Y, Z축을 따라 배치된 이동 가이드(X, Y, Z)를 따라 이동되어 검사 트레이(22_K)의 검사 시작 지점에 위치될 수 있다. 1 이동 가이드(X)는 지그 매거진(20)의 위쪽에 길이 방향을 따라 배치될 수 있다. 그리고 1 이동 브래킷(131)이 1 이동 가이드(X)를 따라 이동 가능하도록 배치되고, 2 이동 브래킷(132)이 1 이동 브래킷(131)에 결합될 수 있다. 그리고 2 이동 브래킷(132)은 2 이동 가이드(Y)를 따라 이동될 수 있다. 이후 검사 로봇(10)은 3 이동 가이드(Z)를 따라 이동 가능하도록 배치된 3 이동 브래킷(133)에 결합되어 Z축 방향을 따라 이동되어 정해진 검사 지그(24)의 위쪽에 배치될 수 있다. 그리고 필요에 따라 검사 하우징(12) 또는 센서 유닛(11)의 위치가 실린더 유닛에 의하여 Z축 방향을 따라 정밀하게 조절될 수 있다. 센서 유닛(11)은 검사 지그(24)의 위쪽에 위치하여 검사 지그(24)에 배치된 광소자의 휘도를 검사할 수 있다. 센서 유닛(11)과 검사 지그(24) 사이의 위치를 확인하기 위하여 예를 들어 초음파 센서와 같은 근거리 탐지 유닛이 검사 하우징(12) 또는 센서 유닛(11)에 배치될 수 있다.
위에서 제시된 방법에 따라 센서 유닛(11)이 이동되어 첫 번째 검사 지그(24)에 위치될 수 있다. 그리고 첫 번째 검사 지그(24)에 대한 검사가 완료되면 1 이동 가이드(X) 또는 2 이동 가이드(Y)를 따라 이동되어 두 번째 검사 지그(24)에 대한 검사가 이루어지고 검사 데이터가 획득될 수 있다. 이와 같은 방법으로 검사 트레이(22_K)에 배치된 모든 검사 지그(24)에 대한 검사가 완료되면 검사 트레이(22_K)가 지그 매거진(20)에 수용될 수 있다. 그리고 다른 검사 트레이(22_L)가 배출되고 센서 유닛(11)이 1 또는 2 이동 가이드를 따라 이동되어 다른 검사 트레이(22_L)에 배치된 검사 지그(24)를 검사할 수 있다. 이와 같은 방법으로 지그 매거진(20)에 수납된 모든 검사 트레이(22_1 내지 22_N)에 대한 검사가 완료될 수 있다.
이동 가이드(X, Y, Z)는 다양한 방법으로 배치되어 센서 유닛(11)을 정해진 위치로 이동시킬 수 있다. 도 2의 (나)에 도시된 것처럼, 이동 브래킷(13)은 2 이동 가이드(Y)에 이동 가능하도록 배치될 수 있다. 센서 유닛(11)의 XYZ축 이동을 위하여 X축 방향을 따라 연장되는 1 이동 가이드(X); 1 이동 가이드(X)를 따라 이동 가능하도록 배치되는 2 이동 가이드(Y) 및 1 이동 가이드(X)를 Z축 방향을 따라 이동시키는 3 이동 가이드(Z)가 배치될 수 있다. 1, 2 및 3 이동 가이드(X, Y, Z)는 레일 구조, 슬라이딩 구조 또는 이송 벨트 구조로 만들어질 수 있지만 이에 제한되지 않고 이 분야에 공지된 임의의 구조로 만들어질 수 있다. 이와 같이 본 발명에 따른 검사 로봇(10)의 XYZ축 이동은 다양한 방법으로 이루어질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 검사 장치는 광소자의 시간에 따른 휘도 특성과 같은 내구성 검사를 위하여 장기간이 소요되는 검사에 적합하지만 이에 제한되지 않는다. 지그 매거진(20)에 수납된 각각의 광소자 칩에 대하여 일정 주기로 검사가 이루어질 수 있고, 지그 매거진(20)은 조건 설정 유닛을 포함할 수 있다. 예를 들어 지그 매거진(20)은 각각의 검사 트레이(22_1 내지 22_N)에 대한 온도, 습도 또는 공기 분위기를 설정할 수 있다. 그리고 각각의 검사 트레이(22_1 내지 22_N)가 검사를 위한 적합한 조건에서 저장되도록 할 수 있다.
아래에서 각각의 검사 트레이(22_1 내지 22_L)에 배치되는 검사 지그의 실시 예에 대하여 설명된다.
도 3은 본 발명에 따른 검사 장치에 적용되는 검사 지그(24)의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3을 참조하면, 검사 지그(24)는 광소자 칩(30)이 배치되는 하부 지그(241); 및 하부 지그(241)와 접촉하는 상부 지그(242)로 이루어질 수 있다. 그리고 검사 지그(24)의 내부에 광소자 칩(30)이 배치될 수 있다. 광소자 칩은 예를 들어 유기 발광 소자와 같은 광소자(33)가 배치되는 베이스 층(31); 및 광소자(33)를 검사 지그(24)에 배치된 전극과 연결시키는 배선 패턴(32)을 포함할 수 있다.
광소자 칩(30)이 검사 지그(24)의 내부에 수용되고, 검사 지그(24)가 닫힌 상태에서 검사 지그(24)로 전력이 공급되면, 광소자 칩(30)이 발광될 수 있다. 그리고 광소자 칩(30)이 수용된 검사 지그(24)는 검사 트레이에 배치되어 지그 매거진에 수용될 수 있다. 그리고 주기적인 휘도 검사를 위하여 적절한 구동 장치에 의하여 검사 트레이가 지그 매거진으로 배출되고, 발광 상태에 있는 광소자 칩에 대한 휘도 검사가 이루어질 수 있다.
검사 지그(24)는 각각의 검사 트레이에 2차원 매트릭스 구조로 배치될 수 있다. 이와 같이 배치된 검사 지그(24)에 대하여 검사 로봇은 XYZ 3차원 방향으로 이동하면서 각각의 검사 지그(24)를 검사할 수 있다. 검사가 완료된 검사트레이는 구동 장치를 통하여 검사 매거진으로 들어가 적재가 되고 검사가 필요한 검사트레이가 각각으로 배치된 구동 장치를 통하여 배출되면 센서 유닛이 XYZ방향으로 이동하여 검사트레이의 광소자를 검사하기 시작한다.
다양한 방법으로 검사 로봇에 의하여 검사 지그(24)가 검사될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 4a 및 4b는 본 발명에 따른 검사 방법의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4a를 참조하면, 본 발명에 따른 검사 방법은 다수 개의 트레이를 매트릭스 구조로 매거진에 배치하는 단계(P41); 상기 각각의 트레이가 배출 및 수납되는 하나의 방향을 설정하는 단계(P42); 배출 및 수납 위치에서 상기 각각의 트레이의 좌표와 상기 각각의 트레이에 배치된 검사 지그의 좌표를 설정하는 단계(P43); 상기 매거진에서 상기 각각의 트레이의 저장 조건이 설정되는 단계(P44); 상기 검사 지그에 고정된 광소자 칩의 검사를 위한 센서 유닛을 가진 검사 로봇을 배치하는 단계(P45); 상기 다수 개의 트레이 중 하나의 트레이가 배출되는 단계(P46); 제어 유닛에 의하여 상기 배출된 트레이 및 상기 배출된 트레이에 배치된 검사 지그의 좌표가 확인되는 단계(P47); 상기 센서 유닛이 이동되어 상기 각각의 검사 지그를 검사하는 단계(48); 및 검사 정보가 제어 유닛으로 전송되고 상기 배출된 트레이가 수납되는 단계(P49)를 포함하고, 상기 트레이는 X축 방향으로 이동되고, 상기 검사 로봇은 XYZ축을 따라 이동 가능하도록 배치된다.
본 발명에 따른 검사 방법은 자동 공정에 의하여 연속적으로 이루어질 수 있다. 전제 작동 과정은 제어 유닛(41)에 의하여 제어될 수 있다. 다수 개의 검사 트레이(22)는 박스 형상의 지그 매거진에 수납 또는 배출이 가능하도록 배치될 수 있다(P41). 그리고 검사 로봇(10)에 설치된 센서 유닛의 이동 좌표를 설정하기 위하여 각각의 검사 트레이의 이동 방향이 결정될 수 있다(P42). 검사 트레이(22)의 이동 방향이 결정되면 좌표 설정 유닛(43)에 의하여 각각의 검사 트레이(22) 및 검사 트레이(22)에 배치된 검사 지그에 대한 좌표가 설정될 수 있다(P43). 검사 좌표는 XYZ축에 따른 3축 좌표가 될 수 있다. 조건 설정 유닛(45)에 의하여 지그 매거진에 배치된 각각의 검사 트레이(22)에 대한 저장 조건이 설정될 수 있다(P44). 검사 조건은 예를 들어 온도, 습도 또는 공기 분위기 조건을 포함할 수 있고, 각각의 검사 트레이(22)에 대하여 독립적으로 또는 지그 매거진 전체에 대하여 설정될 수 있다. 이와 같은 방법으로 저장 조건이 설정되어 검사 트레이(22)가 지그 매거진에 저장된 상태에서 일정 주기로 각각의 검사 트레이(22)에 배치된 검사 지그가 검사될 수 있다. 센서 유닛이 배치될 수 있고(P45), 제어 유닛(41)은 작동 설정 유닛(42)으로 검사 좌표를 전송할 수 있다. 작동 설정 유닛(42)은 전송된 좌표에 따라 센서 유닛의 이동을 제어할 수 있다. 센서 유닛의 이동을 위하여 위치 센서(47)에 의하여 센서 유닛의 위치가 탐지될 수 있다. 그리고 상태 센서(46)에 의하여 검사 트레이(22)의 수납 또는 배출 여부가 확인될 수 있다. 상태 센서(46)는 또한 각각의 검사 트레이(22)의 저장 상태를 탐지하는 기능을 가질 수 있다.
검사를 위하여 하나의 검사 트레이(22)가 배출되면(P46), 검사 로봇(10)이 검사 위치로 이동되어 각각의 검사 지그를 검사할 수 있다(P48). 그리고 검사 데이터가 제어 유닛(41)으로 전송되고 검사가 완료되면 검사 트레이(22)가 다시 지그 매거진에 수납될 수 있다(P49). 검사 과정에서 검사 트레이(22)의 위치 및 검사 지그의 위치가 위치 센서(47)에 의하여 확인될 수 있고, 작동 설정 유닛(42)은 미리 결정된 프로세서에 따라 센서 유닛을 이동시킬 수 있다.
검사 방법은 다양한 방법으로 이루어질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 검사 장치는 다수 개의 광소자가 연속적으로 검사되도록 하면서 광소자 배열의 배열이 3차원 매트릭스 구조로 이루어지는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다. 또한 본 발명에 따른 검사 장치는 광소자가 정해진 조건으로 유지되도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 하면서 검사 효율이 향상되도록 한다. 추가로 본 발명에 따른 검사 장치는 다수 개의 검사 모듈에 대하여 장시간의 검사가 요구되는 내구성 검사에 적합하다.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
10: 검사 로봇 11: 센서 유닛
12: 검사 하우징 13: 이동 브래킷
14: 화상 광학계 20: 지그 매거진
21: 매거진 프레임 22_1 내지 22_N: 검사 트레이
24: 검사 지그 30: 광소자 칩
31: 베이스 층 32: 배선 패턴
33: 광소자 41: 제어 유닛
42: 작동 설정 유닛 43: 좌표 설정 유닛
45: 조건 설정 유닛 46: 상태 센서
47: 위치 센서 131: 1 이동 브래킷
132: 2 이동 브래킷 133: 3 이동 브래킷
211: 이동 손잡이 241: 하부 지그
242: 상부 지그 G: 이동 가이드
X: 1 이동 가이드 Y: 2 이동 가이드
Z: 3 이동 가이드

Claims (2)

  1. 다수 개의 검사 트레이(22_1 내지 22_N)가 매트릭스 구조로 수용된 지그 매거진(20); 및
    지그 매거진(20)의 위쪽에 배치되는 검사 로봇(10);을 포함하고,
    상기 각각의 검사 트레이(22_1 내지 22_N)는 지그 매거진(20)으로부터 수납 및 배출되는 구조로 수용되고, 검사 로봇(10)은 XYZ축 방향으로 이동 가능한 센서 유닛(11)을 가지고, 지그 매거진(20)에서 각각의 검사 트레이(22_1 내지 22_N)에 대한 온도 조건이 설정되는 것을 특징으로 하는 3차원 배열 검사 지그 구조의 광소자 내구성 검사 장치.
  2. 다수 개의 트레이를 매트릭스 구조로 매거진에 배치하는 단계;
    상기 각각의 트레이가 배출 및 수납되는 하나의 방향을 설정하는 단계;
    배출 및 수납 위치에서 상기 각각의 트레이의 좌표와 상기 각각의 트레이에 배치된 검사 지그의 좌표를 설정하는 단계;
    상기 매거진에서 상기 각각의 트레이의 저장 조건이 설정되는 단계;
    상기 검사 지그에 고정된 광소자 칩의 검사를 위한 센서 유닛을 가진 검사 로봇을 배치하는 단계;
    상기 다수 개의 트레이 중 하나의 트레이가 배출되는 단계;
    제어 유닛에 의하여 상기 배출된 트레이 및 상기 배출된 트레이에 배치된 검사 지그의 좌표가 확인되는 단계;
    상기 센서 유닛이 이동되어 상기 각각의 검사 지그를 검사하는 단계; 및
    검사 정보가 제어 유닛으로 전송되고, 상기 배출된 트레이가 수납되는 단계를 포함하고,
    상기 트레이가 배출 및 수납되는 상기 하나의 방향은 X축 방향이 되고, 상기 검사 로봇은 XYZ축을 따라 이동 가능하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 3차원 배열 검사 지그 구조에 의한 광소자 내구성 검사 방법.
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